JP2751907B2 - Magnetic disk drive and method for monitoring gas concentration in the magnetic disk drive - Google Patents

Magnetic disk drive and method for monitoring gas concentration in the magnetic disk drive

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JP2751907B2
JP2751907B2 JP569896A JP569896A JP2751907B2 JP 2751907 B2 JP2751907 B2 JP 2751907B2 JP 569896 A JP569896 A JP 569896A JP 569896 A JP569896 A JP 569896A JP 2751907 B2 JP2751907 B2 JP 2751907B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置に
関し、特に磁気ディスク装置に搭載されるヘッドディス
クアセンブリ内のガス濃度のモニタ方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive, and more particularly, to a method of monitoring a gas concentration in a head disk assembly mounted on the magnetic disk drive.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置のヘッドディスクアセ
ンブリ(以下、HDAと記述する)には、磁気ディスク
を搭載するスピンドルモータ、磁気ヘッドを搭載したヘ
ッドスタックアッセイ(HSA)等がベース部分または
カバー部分に取り付けられて、組込まれている。通常、
ベース部分およびカバー部分のそれぞれの開口部が噛み
合わされる部分はガスケットを介して圧接され、HDA
の湿度および密封度を確保して外部環境に存在する腐食
性ガスからの影響を避けている。また、ダスト測定、検
査、サーボトラックライタ(STW)の接続を行うため
の開口部分には、プラスチック製の密封ラベルが貼付さ
れることが多い。
2. Description of the Related Art A head disk assembly (hereinafter referred to as HDA) of a magnetic disk drive includes a spindle motor having a magnetic disk, a head stack assay (HSA) having a magnetic head, and the like on a base portion or a cover portion. Installed and incorporated. Normal,
The portion where the respective openings of the base portion and the cover portion are engaged with each other is pressed through a gasket, and
The humidity and the degree of sealing are ensured to avoid the influence of corrosive gas existing in the external environment. In addition, a plastic sealing label is often attached to an opening for performing dust measurement, inspection, and connection of a servo track writer (STW).

【0003】このように、HDAは呼吸口を除き密封さ
れた構造となっているが、磁気ディスク装置のHDAの
内部と外部との温度差や磁気ディスクの回転による気流
が生じると、わずかずつではあるが、HDAの結合部、
ガスケット、ネジ穴等の隙間からの外気の流入が避けら
れない。呼吸口には、通常ブリーズフィルタが取り付け
られている。このブリーズフィルタに、塵埃の除去を目
的とするダストフィルタだけでなくガス吸着剤を用いた
ケミカルフィルタが付加されている場合には、ガス吸着
剤の能力の範囲内で腐食性ガスを吸着して流入する腐食
性ガスを阻止することができる。しかし、腐食性ガスは
呼吸口以外の隙間からも流入する可能性があり、この流
入に対しては無防備である。
[0003] As described above, the HDA has a sealed structure except for the respiratory port. However, when a temperature difference between the inside and the outside of the HDA of the magnetic disk device and an airflow due to the rotation of the magnetic disk occur, the HDA is slightly reduced. There is a joint of HDA,
Inflow of outside air from gaps such as gaskets and screw holes is inevitable. A breathing filter is usually attached to the breathing opening. When a chemical filter using a gas adsorbent is added to this breathe filter as well as a dust filter for the purpose of removing dust, it absorbs corrosive gas within the capacity of the gas adsorbent. Incoming corrosive gases can be prevented. However, the corrosive gas may flow in from gaps other than the breathing port, and there is no defense against this flow.

【0004】従来、磁気ディスク装置は大型コンピュー
タの外部記憶装置として使用され、空調設備の整ったコ
ンピュータルームに設置されてきた。しかし、最近のオ
フィスコンピュータ、EWS、パーソナルコンピュータ
等の普及やその可搬化に伴い、各種コンピュータは設置
環境の善し悪しに関わらず使用されるようになってき
た。したがって、コンピュータに内蔵または外付け形式
で搭載される磁気ディスク装置は悪環境に置かれる可能
性が高まっている。設置環境に腐食性ガスが存在する
と、上述のHDAの隙間からHDA内部に腐食性ガスが
侵入し、徐々にその濃度が増加する。磁気ヘッドのエレ
メント部分や磁気ディスクの媒体層は腐食の可能性があ
り、従来から腐食性ガスの影響が懸念されてきた。ま
た、最近の高密度磁気ディスク装置は、ヘッドの低浮上
化やディスクおよびヘッドの平滑化が進み、腐食性ガス
によるヘッド付着物の発生は、ヘッドクラッシュやヘッ
ド吸着等のヘッドディスクインターフェイス(以下、H
DIと記述する)信頼性に重大な問題を生じるようにな
っている。
Conventionally, a magnetic disk device has been used as an external storage device of a large computer, and has been installed in a computer room equipped with air conditioning equipment. However, with the recent spread and portability of office computers, EWSs, personal computers, and the like, various computers have been used regardless of the installation environment. Therefore, there is an increasing possibility that a magnetic disk device mounted in a computer in a built-in or external form is placed in a bad environment. If a corrosive gas is present in the installation environment, the corrosive gas enters the inside of the HDA through the gap between the HDAs, and its concentration gradually increases. The element portion of the magnetic head and the medium layer of the magnetic disk may be corroded, and there has been a concern about the influence of corrosive gas. In recent high-density magnetic disk devices, head flying and head and disk smoothing have been progressing. H
(Describes DI).

【0005】従来の技術の例としては、「金属試験片法
による電算機の設置環境調査」(中島他:信学技報CP
M92−176、1993−03、電子情報通信学会)
(以下、文献1と記述する)に記載されているように、
コンピュータ、通信機器等の設置環境に存在する腐食性
ガス濃度を長期間の蓄積として測定するために、Ag、
Cu、Fe−Ni、AlまたはFeの金属試験片(以
下、クーポンと記述する)を設置してクーポンの変色の
度合いによって判断する方法がある。
[0005] As an example of the prior art, there is a "Survey of the installation environment of a computer by the metal test piece method" (Nakajima et al .: IEICE Technical Report
M92-176, 1993-03, IEICE)
(Hereinafter referred to as Document 1),
In order to measure the concentration of corrosive gas existing in the installation environment of computers, communication equipment, etc. as a long-term accumulation, Ag,
There is a method in which a metal test piece of Cu, Fe-Ni, Al, or Fe (hereinafter, referred to as a coupon) is provided and the determination is made based on the degree of discoloration of the coupon.

【0006】また、特開平5−182444号公報(以
下、公報1と記述する)に記載されている磁気ディスク
組立体の発明がある。公報1に記載されている発明は、
HDA内部空気の腐食性ガスの汚染によって磁気ディス
ク表面が腐食されるのを防ぎ、内部空気を常に清浄化す
る磁気ディスク組立体を提供することを目的として、H
DAのベースやカバーの内部壁面をAgやCuを主成分
とする材質で表面処理を施して、腐食性ガスを表面処理
に取り込んでいる。
Further, there is an invention of a magnetic disk assembly described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-182444 (hereinafter, referred to as Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-182444). The invention described in Publication 1
An object of the present invention is to provide a magnetic disk assembly that prevents the magnetic disk surface from being corroded by the corrosive gas in the HDA internal air and constantly cleans the internal air.
The base surface of the DA and the inner wall surface of the cover are subjected to a surface treatment with a material mainly composed of Ag or Cu, and corrosive gas is taken into the surface treatment.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】HDAの呼吸口に取り
付けられるブリーズフィルタに、塵埃の除去を目的とす
るダストフィルタだけでなくガス吸着剤を用いたケミカ
ルフィルタが付加されている場合には、流入する腐食性
ガスを吸着することができるが、吸着剤の吸着能力を越
えると内部の腐食性ガス濃度の増加を阻止できなくな
る。また、腐食性ガスは、呼吸口以外のHDAの種々の
隙間からも流入する可能性があり、この場合はHDA内
部に腐食性ガスがそのまま侵入してしまう。さらに、磁
気ディスク装置の外部環境のガス濃度は様々であるの
で、HDA内部のガス濃度が設計通りに維持されている
とは限らず、短期間に腐食性ガスが高濃度に達して、H
DI障害を起こすとともに記憶されている貴重なデータ
が失われる可能性がある。
In the case where a chemical filter using a gas adsorbent as well as a dust filter for removing dust is added to the breathe filter attached to the breathing port of the HDA, the Can be adsorbed, but if the adsorbent's adsorption capacity is exceeded, the increase in the internal corrosive gas concentration cannot be prevented. Further, the corrosive gas may flow from various gaps of the HDA other than the breathing port, and in this case, the corrosive gas enters the HDA as it is. Furthermore, since the gas concentration in the external environment of the magnetic disk device varies, the gas concentration in the HDA is not always maintained as designed, and the corrosive gas reaches a high concentration in a short period of time, and H
A DI failure can occur and valuable stored data can be lost.

【0008】これらの問題点を解消するために、クーポ
ンを電子機器の設置環境に取り付けることによって、腐
食性ガス濃度の一定期間内の蓄積状況をモニタすること
が従来から行われている。しかし、電子機器内部、特に
磁気ディスク装置のHDA内部のように密封された環境
の腐食性ガス濃度を知ることはできなかった。また、ク
ーポンによる測定の場合には、結果を短時間に知るには
色見本との目視比較があるが、定量性に欠ける。さら
に、変色したクーポンを化学分析することによってある
程度定量的な測定ができるとされているが十分ではな
く、この方法は破壊測定のバッチ処理であるので、HD
A内部のガス濃度を同時にモニタすることが不可能であ
るという問題点があった。
In order to solve these problems, monitoring of the accumulation state of the corrosive gas concentration for a certain period of time by attaching a coupon to an installation environment of electronic equipment has been conventionally performed. However, it has not been possible to know the corrosive gas concentration in a sealed environment such as inside an electronic device, especially inside an HDA of a magnetic disk device. Further, in the case of measurement using a coupon, there is a visual comparison with a color sample to know the result in a short time, but it lacks quantitativeness. Further, it is said that quantitative analysis can be performed to some extent by chemically analyzing the discolored coupon, but this is not sufficient, and this method is a batch process of destructive measurement.
There is a problem that it is impossible to simultaneously monitor the gas concentration inside A.

【0009】このように、従来は変色したクーポンを取
り外して色見本と目視比較したり化学分析したりしてい
たので、磁気ディスク装置に搭載されて密封されたHD
A内部の腐食性ガス濃度を自動的にモニタする目的にク
ーポンを適用することはできなかった。
As described above, conventionally, the discolored coupon has been removed and visually compared with a color sample or subjected to chemical analysis. Therefore, the HD mounted on the magnetic disk device and sealed.
The coupon could not be applied for the purpose of automatically monitoring the corrosive gas concentration inside A.

【0010】このような点に鑑み本発明は、HDA内部
の腐食性ガス濃度を容易にモニタし、危険状態に達する
前に磁気ディスク装置を停止させ、磁気ディスクの障害
を未然に防ぐ磁気ディスク装置および装置内部の腐食性
ガス濃度のモニタ方法を提供することを目的とする。
In view of the foregoing, the present invention provides a magnetic disk drive that easily monitors the concentration of corrosive gas in an HDA, stops the magnetic disk drive before reaching a dangerous state, and prevents a failure of the magnetic disk. Another object of the present invention is to provide a method for monitoring the concentration of corrosive gas inside a device.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

(1)本発明の磁気ディスク装置は、外囲器とヘッドキ
ャリッジと磁気ヘッドと磁気ディスクとモータとを備え
るヘッドディスクアセンブリを有する磁気ディスク装置
であって、前記ヘッドディスクアセンブリが内部に金属
試験片を備え、該金属試験片が導体基板および不導体基
板のうちの1つを具備する基板を備え、該金属試験片を
用いて腐食性ガス濃度を測定する。このとき、前記基板
が少なくとも1つの金属薄膜を備え、該金属薄膜がA
g、Cu、Fe−Ni、AlおよびFeのうちの1種類
の金属を備えることができる。また、前記基板が不導体
基板を具備し、前記ヘッドディスクアセンブリが、前記
金属薄膜の対向する2辺間の電気抵抗値の変化を測定す
る電気抵抗測定手段と、前記モータの動作を制御するモ
ータ制御手段とを備えることができる。
(1) A magnetic disk drive according to the present invention is a magnetic disk drive having a head disk assembly including an envelope, a head carriage, a magnetic head, a magnetic disk, and a motor, wherein the head disk assembly has a metal test piece therein. Wherein the metal test piece comprises a substrate having one of a conductive substrate and a non-conductive substrate, and the corrosive gas concentration is measured using the metal test piece. At this time, the substrate includes at least one metal thin film, and the metal thin film has
g, Cu, Fe-Ni, one kind of metal of Al and Fe can be provided. An electric resistance measuring unit for measuring a change in electric resistance between two opposing sides of the metal thin film; and a motor for controlling an operation of the motor. Control means.

【0012】上記本発明の磁気ディスク装置内ガス濃度
のモニタ方法は、前記電気抵抗測定手段が前記金属薄膜
の対向する2辺間の電気抵抗値の変化を測定し、該電気
抵抗値があらかじめ設定されている値よりも大きくなる
と、前記モータ制御手段が前記モータの動作を制御して
当該磁気ディスク装置の動作を停止する。
In the method for monitoring gas concentration in a magnetic disk drive of the present invention, the electric resistance measuring means measures a change in electric resistance between two opposing sides of the metal thin film, and the electric resistance is set in advance. When the value exceeds the set value, the motor control means controls the operation of the motor to stop the operation of the magnetic disk device.

【0013】(2)上記本発明の磁気ディスク装置は、
前記金属薄膜がパターンを備え、該パターンの一方の端
部と他方の端部との間の距離を該金属薄膜の対向する2
辺間の距離よりも大きくすることができる。
(2) The magnetic disk drive of the present invention is
The metal thin film includes a pattern, and a distance between one end and the other end of the pattern is set to a distance between two ends of the metal thin film.
It can be larger than the distance between the sides.

【0014】上記本発明の磁気ディスク装置内ガス濃度
のモニタ方法は、前記電気抵抗測定手段が前記金属薄膜
に備えられている前記パターンの一方の端部と他方の端
部との間の電気抵抗値の変化を測定し、該電気抵抗値が
あらかじめ設定されている値よりも大きくなると、前記
モータ制御手段が前記モータの動作を制御して当該磁気
ディスク装置の動作を停止する。
In the method for monitoring gas concentration in a magnetic disk drive according to the present invention, the electric resistance measuring means may include an electric resistance between one end and the other end of the pattern provided on the metal thin film. The change in the value is measured, and when the electric resistance value becomes larger than a preset value, the motor control means controls the operation of the motor to stop the operation of the magnetic disk device.

【0015】(3)また、上記本発明の磁気ディスク装
置は、前記ヘッドディスクアセンブリが、前記金属試験
片に光を照射する照射手段と、該金属試験片から反射さ
れる光を検出する反射光量検出手段と、該反射光量検出
手段で検出した反射光量の変化を測定する反射光量測定
手段と、前記モータの動作を制御するモータ制御手段と
を備える。
(3) In the magnetic disk drive of the present invention, the head disk assembly may include an irradiating means for irradiating the metal test piece with light, and a reflected light amount for detecting light reflected from the metal test piece. A detecting means; a reflected light quantity measuring means for measuring a change in the reflected light quantity detected by the reflected light quantity detecting means; and a motor control means for controlling the operation of the motor.

【0016】上記本発明の磁気ディスク装置内ガス濃度
のモニタ方法は、前記照射手段が前記金属試験片に光を
照射し、前記反射光量検出手段が該金属試験片から反射
される光を検出し、前記反射光量測定手段が該反射光量
検出手段で検出した反射光量の変化を測定し、該反射光
量があらかじめ設定されている値よりも小さくなると、
前記モータ制御手段が前記モータの動作を制御して当該
磁気ディスク装置の動作を停止する。
In the method for monitoring gas concentration in a magnetic disk drive according to the present invention, the irradiating means irradiates the metal test piece with light, and the reflected light amount detecting means detects light reflected from the metal test piece. The reflected light amount measuring means measures a change in the reflected light amount detected by the reflected light amount detecting means, and when the reflected light amount becomes smaller than a preset value,
The motor control means controls the operation of the motor to stop the operation of the magnetic disk device.

【0017】ここで、反射光量の変化の測定は、コンパ
クトディスクのピックアップと同様の原理で行われる。
すなわち、発光ダイオード(以下、LEDと記述する)
から照射されたレーザ光がクーポンで反射されるので、
この反射光量の変化をディテクタによって検知する。ま
た、クーポンの色の変化を測定すれば腐食性ガスによる
反応生成物の種類を知ることができる。
Here, the measurement of the change in the amount of reflected light is performed on the same principle as that of a pickup of a compact disk.
That is, a light emitting diode (hereinafter, referred to as an LED)
Since the laser light emitted from is reflected by the coupon,
This change in the amount of reflected light is detected by a detector. Further, by measuring the change in the color of the coupon, the type of the reaction product due to the corrosive gas can be known.

【0018】(4)さらに、上記本発明の磁気ディスク
装置は、前記基板が透明の不導体基板を具備し、前記ヘ
ッドディスクアセンブリが、前記金属試験片に光を照射
する照射手段と、該金属試験片を透過する光を検出する
透過光量検出手段と、該透過光量検出手段で検出した透
過光量の変化を測定する透過光量測定手段と、前記モー
タの動作を制御するモータ制御手段とを備える。
(4) Further, in the magnetic disk drive of the present invention, the substrate includes a transparent non-conductive substrate, and the head disk assembly irradiates the metal test piece with light; The apparatus includes a transmitted light amount detecting unit that detects light transmitted through the test piece, a transmitted light amount measuring unit that measures a change in the transmitted light amount detected by the transmitted light amount detecting unit, and a motor control unit that controls an operation of the motor.

【0019】上記本発明の磁気ディスク装置内ガス濃度
のモニタ方法は、前記照射手段が前記金属試験片に光を
照射し、前記透過光量検出手段が該金属試験片を透過す
る光を検出し、前記透過光量測定手段が該透過光量検出
手段で検出した透過光量の変化を測定し、該透過光量が
あらかじめ設定されている値よりも大きくなると、前記
モータ制御手段が前記モータの動作を制御して当該磁気
ディスク装置の動作を停止する。
In the method for monitoring gas concentration in a magnetic disk drive according to the present invention, the irradiating means irradiates the metal test piece with light, and the transmitted light quantity detecting means detects light transmitted through the metal test piece. The transmitted light quantity measuring means measures a change in the transmitted light quantity detected by the transmitted light quantity detecting means, and when the transmitted light quantity becomes larger than a preset value, the motor control means controls the operation of the motor. The operation of the magnetic disk device is stopped.

【0020】ここで、透過光量の変化の測定は、光量の
変化をセンサで検知することによって行われる。また、
クーポンの色の変化を測定すれば腐食性ガスによる反応
生成物の種類を知ることができる。
Here, the change in the amount of transmitted light is measured by detecting the change in the amount of light with a sensor. Also,
By measuring the change in the color of the coupon, the type of the reaction product due to the corrosive gas can be known.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】本発明は、クーポンの変化をその
場で検知する方法において、腐食性ガスによるクーポン
の変化が電気抵抗値や光学的な変化に反映されることに
着目し、それらを容易に検知することができるクーポン
を提案する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention relates to a method of detecting a change in a coupon on the spot, focusing on the fact that a change in the coupon due to a corrosive gas is reflected on an electric resistance value and an optical change. We propose a coupon that can be easily detected.

【0022】具体的には、不導体基板上に金属薄膜を形
成することによって、金属薄膜の電気抵抗値の変化を測
定することができる。また、金属薄膜にパターンを形成
することによって、電気抵抗値の変化の測定が容易とな
る。さらに、基板上に金属薄膜を形成することによっ
て、反射光量の変化を容易に測定することができる。透
過光量の変化を測定する場合には、透明基板を用いるこ
とによって、透過光量の変化を容易に測定することがで
きる。
Specifically, by forming a metal thin film on a non-conductive substrate, it is possible to measure a change in the electric resistance value of the metal thin film. Further, by forming a pattern on the metal thin film, it is easy to measure the change in the electric resistance value. Further, by forming a metal thin film on a substrate, a change in the amount of reflected light can be easily measured. When measuring the change in the amount of transmitted light, the change in the amount of transmitted light can be easily measured by using a transparent substrate.

【0023】これらの測定は、HDA内部にクーポンと
組合わせて設置したセンサによって行う。センサが検知
した信号を制御回路に伝えることによって、腐食性ガス
濃度が危険な濃度に近付くとアラームを発したり磁気デ
ィスクの回転を停止させることができる。センサからは
電気的な信号が出力されるので、HDA外部に取り出す
ことが容易であり、通常HDAの裏側に取り付けられる
パッケージに信号が伝えられ、パッケージ内の制御回路
が腐食性ガス濃度を自動的に測定し、危険を予知し、さ
らに障害を未然に防ぐことが可能となる。このとき、制
御回路を含むパッケージをHDA内部に取り付ければ、
信号をHDA外部に取り出す必要はない。
These measurements are performed by sensors installed in the HDA in combination with coupons. By transmitting a signal detected by the sensor to the control circuit, an alarm can be issued or the rotation of the magnetic disk can be stopped when the corrosive gas concentration approaches a dangerous concentration. Since an electrical signal is output from the sensor, it is easy to take it out of the HDA. The signal is transmitted to a package usually mounted on the back side of the HDA, and the control circuit in the package automatically detects the corrosive gas concentration. Measurements, predict dangers, and prevent failures. At this time, if the package containing the control circuit is mounted inside the HDA,
There is no need to take the signal out of the HDA.

【0024】本発明におけるクーポンは、金属のみから
成る薄片や金属箔でも良い。しかし、電気抵抗値の変化
を測定するためには、厚みが数十μm以下、好ましくは
数μm以下であることが望ましく、金属片をこのように
薄くすることは容易でないので、不導体基板上に金属薄
膜を形成する構造をとるのが良い。不導体基板として
は、ガラス、石英、各種プラスチック、樹脂テープ等を
使用することができる。不導体基板上には、スパッタ
法、蒸着法、イオンプレーティング等の乾式めっき法、
または電気めっき法、無電解めっき法等の湿式めっき法
によって、Ag、Cu、Fe−Ni、Al、Fe等の金
属薄膜を形成することができる。
The coupon in the present invention may be a flake or metal foil made of metal only. However, in order to measure the change in the electric resistance value, it is desirable that the thickness be several tens μm or less, preferably several μm or less. It is preferable to adopt a structure in which a metal thin film is formed. As the non-conductive substrate, glass, quartz, various plastics, resin tape, and the like can be used. On nonconductive substrates, dry plating methods such as sputtering, vapor deposition, ion plating,
Alternatively, a metal thin film of Ag, Cu, Fe—Ni, Al, Fe, or the like can be formed by a wet plating method such as an electroplating method or an electroless plating method.

【0025】電気めっき法による場合には、不導体基板
表面にあらかじめ乾式めっき法によってシードレイヤを
形成しておく必要がある。無電解めっき法による場合に
は、不導体基板表面に乾式めっき法によってシードレイ
ヤを形成しておくか、触媒化処理を行う必要がある。触
媒化処理としては、プラスチックめっきの前処理である
活性化処理法を用いることができる。これには、酸性領
域で行う塩化すず溶液による感受性化処理と塩化パラジ
ウム溶液による活性化処理との2段階活性化処理法、酸
性領域で行うすず/パラジウムコロイド触媒溶液と酸・
アルカリ溶液とを用いた促進化処理から成る1段階活性
化処理法、アルカリ性領域で行うすず/パラジウム錯体
触媒溶液を用いた1段階活性化処理法による活性化処理
方法等がある。また、銀のような触媒金属粉を分散した
塗料で表面を塗装する方法もある。こうして形成した金
属薄膜にパターンを形成する際には、フォトレジストに
露光してレジストパターンを形成した後に、酸でエッチ
ングする方法を用いることができる。
In the case of using the electroplating method, it is necessary to previously form a seed layer on the surface of the non-conductive substrate by a dry plating method. In the case of the electroless plating method, it is necessary to form a seed layer on the surface of the non-conductive substrate by a dry plating method or to perform a catalyzing treatment. As the catalyzing treatment, an activation treatment, which is a pretreatment for plastic plating, can be used. This includes a two-step activation treatment method of sensitization treatment with a tin chloride solution performed in an acidic region and activation treatment with a palladium chloride solution, and a tin / palladium colloidal catalyst solution and an acid.
There are a one-step activation treatment method comprising an accelerating treatment using an alkali solution and an activation treatment method using a one-step activation treatment method using a tin / palladium complex catalyst solution performed in an alkaline region. There is also a method of painting the surface with a paint in which a catalytic metal powder such as silver is dispersed. When a pattern is formed on the metal thin film thus formed, a method of exposing a photoresist to form a resist pattern and then etching with an acid can be used.

【0026】透明基板上に金属薄膜を形成するクーポン
の場合には、不導体基板として、上述したガラス、石
英、各種プラスチック、樹脂テープ等のうちの透明な材
料を用いること以外は、不導体基板上に金属薄膜を形成
するクーポンの場合と同様にして作製することができ
る。
In the case of a coupon for forming a metal thin film on a transparent substrate, the non-conductive substrate is the same as the non-conductive substrate except that the above-mentioned transparent material such as glass, quartz, various plastics, and resin tape is used as the non-conductive substrate. It can be manufactured in the same manner as in the case of a coupon for forming a metal thin film thereon.

【0027】金属薄膜の膜厚は、数μm以下、好ましく
は1μm以下であることが望ましい。透明基板上に金属
薄膜を形成したクーポンの透過光の変化によって腐食性
ガス濃度を測定する場合には、0.1μm以下、好まし
くは0.02μm以下であることが望ましい。
It is desirable that the thickness of the metal thin film is several μm or less, preferably 1 μm or less. When measuring the concentration of corrosive gas by changing the transmitted light of a coupon having a metal thin film formed on a transparent substrate, the concentration is preferably 0.1 μm or less, more preferably 0.02 μm or less.

【0028】腐食性ガスによってクーポンの金属表面は
化学反応を起こして変化するが、上述の文献1や公報1
に記載されているように、腐食性ガスの種類とクーポン
の金属の種類とによって化学反応が異なる。硫化水素ガ
ス(H2 S)や塩素ガス(Cl2 )と銀との反応では、
硫化銀(Ag2 S)や塩化銀(AgCl)を生成する。
硫化水素ガス(H2 S)、塩素ガス(Cl2 )、二酸化
硫黄ガス(SO2 )、または二酸化窒素ガス(NO2
と銅との反応では、水酸化銅(Cu2 O、CuO)、塩
基性硫酸銅(3Cu(OH)2 ・CuSO4 )、塩化物
(3Cu(OH)2 ・CuCl2 )、硫化銅(CuS、
Cu2 S)等を生成する。
The metal surface of the coupon undergoes a chemical reaction and changes due to the corrosive gas.
The chemical reactions differ depending on the type of corrosive gas and the type of metal of the coupon, as described in US Pat. In the reaction of hydrogen sulfide gas (H 2 S) or chlorine gas (Cl 2 ) with silver,
It produces silver sulfide (Ag 2 S) and silver chloride (AgCl).
Hydrogen sulfide gas (H 2 S), chlorine gas (Cl 2 ), sulfur dioxide gas (SO 2 ), or nitrogen dioxide gas (NO 2 )
In the reaction between copper and copper, copper hydroxide (Cu 2 O, CuO), basic copper sulfate (3Cu (OH) 2 .CuSO 4 ), chloride (3Cu (OH) 2 .CuCl 2 ), copper sulfide (CuS ,
Cu 2 S) and the like are generated.

【0029】すなわち、SO2 やH2 SはAg、Cu、
Fe−Niの硫化物を生成し、塩素ガスはAg、Alの
塩化物を生成し、水蒸気はFe等の酸化物を生成するの
で、ガス種によってクーポンは異なる色に変色する。銅
クーポンに対して、SO2 では黄褐色に、H2 Sでは青
黒色に、HClでは濃い茶色になる等、変色の様子は、
上述の文献1の表1に、腐食性ガスによる金属の腐食生
成物の色調として記載されている。
That is, SO 2 and H 2 S are Ag, Cu,
Since a sulfide of Fe—Ni is generated, a chlorine gas generates a chloride of Ag and Al, and a water vapor generates an oxide such as Fe, the coupon changes its color depending on the gas type. The discoloration of the copper coupon, such as yellowish brown with SO 2 , blue black with H 2 S and dark brown with HCl,
Table 1 of the above-mentioned document 1 describes the color tone of a corrosion product of a metal caused by a corrosive gas.

【0030】これらの生成物は電気伝導度が低いので、
クーポンの電気抵抗値が増加する。また、これらの生成
物は光の反射率が低い場合が多いので、反射光量が減少
する。さらに、これらの生成物は光の透過率が高い場合
が多いので、透過光量が増加する。したがって、クーポ
ンの電気抵抗値、反射光量、または透過光量の変化を検
知することによって、HDA内部の腐食性ガスの蓄積の
度合いを知ることができる。
Since these products have low electric conductivity,
The electric resistance value of the coupon increases. In addition, since these products often have low light reflectance, the amount of reflected light decreases. Further, since these products often have high light transmittance, the amount of transmitted light increases. Therefore, the degree of accumulation of corrosive gas inside the HDA can be known by detecting a change in the electric resistance value, reflected light amount, or transmitted light amount of the coupon.

【0031】[0031]

【実施例】以下、本発明の第1の実施例および第2の実
施例について、図面に基づき説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment and a second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0032】[1]第1の実施例 図1は、本発明の第1の実施例におけるHDAの断面図
であり、クーポンの金属薄膜の電気抵抗値の変化を測定
することによって、磁気ディスク装置のHDA内部の腐
食性ガス濃度をモニタする方法を説明するための図であ
る。
[1] First Embodiment FIG. 1 is a cross-sectional view of an HDA according to a first embodiment of the present invention. By measuring the change in the electric resistance of a metal thin film of a coupon, a magnetic disk drive is measured. FIG. 4 is a diagram for explaining a method of monitoring the corrosive gas concentration inside the HDA.

【0033】図1に示したHDAは、HDAベース・カ
バー1と、ヘッドキャリッジ2と、磁気ヘッド3と、磁
気ディスク4と、呼吸口5と、クーポンの金属薄膜6
と、クーポンの不導体基板7と、電気抵抗値測定部8
と、モータ制御部9と、スピンドルモータ10と、パッ
ケージ11とを有する構成となっている。第1の実施例
においては、クーポンの金属薄膜6としてFe薄膜を用
いるので、以下、Fe薄膜6と記述する。また、腐食性
ガスとしては、二酸化硫黄ガスを考える。
The HDA shown in FIG. 1 includes an HDA base cover 1, a head carriage 2, a magnetic head 3, a magnetic disk 4, a breathing opening 5, and a metal thin film 6 of a coupon.
And the non-conductive substrate 7 of the coupon and the electrical resistance value measuring unit 8
, A motor control unit 9, a spindle motor 10, and a package 11. In the first embodiment, since the Fe thin film is used as the metal thin film 6 of the coupon, it will be described as the Fe thin film 6 hereinafter. As the corrosive gas, a sulfur dioxide gas is considered.

【0034】HDAのケースとなるHDAベース・カバ
ー1は、ガスケットを介して結合されており、呼吸口5
以外の部分を塞いで密閉構造となっている。しかし、H
DAの結合部、ネジ穴、スピンドルモータ10等からリ
ークがあり、わずかずつではあるが外気の流入が避けら
れない。
The HDA base cover 1 serving as an HDA case is connected via a gasket and has a breathing port 5.
The other parts are closed to form a closed structure. But H
There is a leak from the DA coupling portion, the screw hole, the spindle motor 10 and the like, and the inflow of outside air is inevitable, albeit little by little.

【0035】HDAの内部には、不導体基板上にFe薄
膜6を形成したクーポンが取り付けられ、Fe薄膜6の
対向する2辺にそれぞれ端子が設けられている。Fe薄
膜6の端子からHDA外部にリード線が取り出され、H
DA下部に取り付けられたパッケージの電気抵抗値測定
部8およびモータ制御部9に接続されている。Fe薄膜
6の端子からリード線を介して出力された電気抵抗値
は、電気抵抗値測定部8で測定され、さらにスピンドル
モータ10を制御するモータ制御部9に入力される。
Inside the HDA, a coupon in which an Fe thin film 6 is formed on a non-conductive substrate is attached, and terminals are provided on two opposite sides of the Fe thin film 6, respectively. A lead wire is taken out from the terminal of the Fe thin film 6 to the outside of the HDA.
It is connected to the electric resistance value measuring unit 8 and the motor control unit 9 of the package attached to the lower part of the DA. The electric resistance output from the terminal of the Fe thin film 6 via the lead wire is measured by the electric resistance measuring unit 8 and further input to the motor control unit 9 for controlling the spindle motor 10.

【0036】HDA内に腐食性ガスとして二酸化硫黄ガ
スが侵入して時間が経過すると、二酸化硫黄ガスの濃度
と経過時間とに応じた膜厚の化合物が、Fe薄膜6上に
形成される。これは、赤いさび状の化合物となるので、
Fe薄膜6の電気伝導度が低下して電気抵抗値が増加す
る。電気抵抗値測定部8は、Fe薄膜6の電気抵抗値の
変化を測定して磁気ディスク装置のHDA内部の腐食性
ガス濃度をモニタする。腐食性ガス濃度があらかじめ設
定された値を越えて電気抵抗値があらかじめ設定された
値よりも大きくなると、モータ制御部9は磁気ディスク
装置の停止機構を作動させる。このようにして、危険状
態に達する前に磁気ディスク装置を停止させることがで
きる。
When the sulfur dioxide gas enters as a corrosive gas into the HDA and elapses, a compound having a film thickness corresponding to the concentration of the sulfur dioxide gas and the elapsed time is formed on the Fe thin film 6. This is a red rust compound,
The electric conductivity of the Fe thin film 6 decreases and the electric resistance increases. The electric resistance measurement unit 8 monitors the concentration of corrosive gas inside the HDA of the magnetic disk device by measuring the change in the electric resistance of the Fe thin film 6. When the corrosive gas concentration exceeds the preset value and the electric resistance value becomes larger than the preset value, the motor control unit 9 activates the stop mechanism of the magnetic disk device. In this way, the magnetic disk device can be stopped before the dangerous state is reached.

【0037】第1の実施例においては、金属薄膜として
Fe薄膜を用いたが、Fe以外のAg、Cu、Fe−N
i、Al等の金属薄膜を形成したクーポンを用いた場合
も同様に、電気抵抗値の変化によって各種腐食性ガス濃
度をモニタすることができる。また、不導体基板として
は、上述したガラス、石英、各種プラスチック、樹脂テ
ープ等を用いることができる。
In the first embodiment, the Fe thin film was used as the metal thin film. However, Ag, Cu, Fe--N
Similarly, when using a coupon formed with a metal thin film of i, Al, or the like, the concentration of various corrosive gases can be monitored by a change in electric resistance. Further, as the non-conductive substrate, the above-mentioned glass, quartz, various plastics, resin tapes and the like can be used.

【0038】[2]第2の実施例 図2は、本発明の第2の実施例におけるクーポンの平面
図であり、クーポンの金属薄膜上に形成されたパターン
の電気抵抗値の変化を測定することによって、磁気ディ
スク装置のHDA内部の腐食性ガス濃度をモニタする方
法を説明するための図である。
[2] Second Embodiment FIG. 2 is a plan view of a coupon according to a second embodiment of the present invention, in which a change in electric resistance of a pattern formed on a metal thin film of the coupon is measured. FIG. 7 is a diagram for explaining a method of monitoring the corrosive gas concentration inside the HDA of the magnetic disk device by using the method.

【0039】第2の実施例におけるクーポンは、図1を
用いて説明した第1の実施例におけるクーポンと同様で
あり、図1のHDAに適用することができる。また、第
2の実施例においては、不導体基板としてガラス基板を
用いる。また、金属薄膜としては、第1の実施例と同様
にFe薄膜を用いる。
The coupon in the second embodiment is the same as the coupon in the first embodiment described with reference to FIG. 1, and can be applied to the HDA in FIG. In the second embodiment, a glass substrate is used as the non-conductive substrate. As the metal thin film, an Fe thin film is used as in the first embodiment.

【0040】図2に示したクーポンはほぼ正方形であ
り、その表面に8本の溝が等間隔で形成されている。溝
が形成された部分はFe薄膜が除去されていて、ガラス
の不導体基板が表面に現れている。このようなパターン
は、IC製造プロセスで多用されている、フォトレジス
ト塗布→露光→現像→エッチングという工程によって、
容易に作製することができる。
The coupon shown in FIG. 2 is substantially square, and has eight grooves formed at regular intervals on the surface thereof. The Fe thin film has been removed from the portion where the groove has been formed, and the glass non-conductive substrate appears on the surface. Such a pattern is often used in an IC manufacturing process, by a process of photoresist coating → exposure → development → etching.
It can be easily manufactured.

【0041】金属薄膜の電気抵抗値は、断面積に反比例
して長さに比例する。図2に示すような8本の溝を等間
隔で金属薄膜に形成することによって、断面積は1/9
となり、AからBまでの長さは約9倍となっている。し
たがって、AからBまでの電気抵抗値は、金属薄膜にパ
ターンを形成していない場合と比較して、約81倍とな
っている。図1に示したHDAにおいて、図2に示した
クーポンを用いてAおよびBの部分を端子として外部に
リード線を取り出すことによって、同じ面積の金属薄膜
を用いた場合でも、第1の実施例と比較してクーポンの
電気抵抗値が約81倍となり、磁気ディスク装置のHD
A内部の腐食性ガス濃度を高感度にモニタすることがで
きる。
The electric resistance value of the metal thin film is inversely proportional to the cross-sectional area and proportional to the length. By forming eight grooves as shown in FIG. 2 in the metal thin film at equal intervals, the sectional area becomes 1/9.
And the length from A to B is about 9 times. Therefore, the electric resistance value from A to B is about 81 times as compared with the case where no pattern is formed on the metal thin film. In the HDA shown in FIG. 1, by using the coupon shown in FIG. 2 to take out the lead wires to the outside with the portions of A and B as terminals, even if a metal thin film of the same area is used, the first embodiment The electric resistance of the coupon is about 81 times that of the
The corrosive gas concentration inside A can be monitored with high sensitivity.

【0042】第2の実施例においては、金属薄膜として
Fe薄膜を用いたが、Fe以外のAg、Cu、Fe−N
i、Al等の金属薄膜にパターンを形成したクーポンを
用いた場合も同様に、電気抵抗値の変化によって各種腐
食性ガス濃度をモニタすることができる。また、不導体
基板としてガラス基板を用いたが、ガラス以外の石英、
各種プラスチック、樹脂テープ等を用いることができ
る。
In the second embodiment, the Fe thin film was used as the metal thin film, but Ag, Cu, Fe--N
Similarly, when a coupon in which a pattern is formed on a metal thin film of i, Al, or the like is used, the concentration of various corrosive gases can be monitored by a change in electric resistance. In addition, although a glass substrate was used as the non-conductive substrate, quartz other than glass,
Various plastics, resin tapes, and the like can be used.

【0043】[3]第3の実施例 図3は、本発明の第3の実施例におけるHDAの断面図
であり、クーポンの反射光量の変化を測定することによ
って、磁気ディスク装置のHDA内部の腐食性ガス濃度
をモニタする方法を説明するための図である。
[3] Third Embodiment FIG. 3 is a sectional view of an HDA according to a third embodiment of the present invention. By measuring a change in the amount of reflected light of the coupon, the inside of the HDA of the magnetic disk device is measured. It is a figure for explaining a method of monitoring corrosive gas concentration.

【0044】図3に示したHDAは、HDAベース・カ
バー1と、ヘッドキャリッジ2と、磁気ヘッド3と、磁
気ディスク4と、呼吸口5と、クーポン16と、発光・
受光検知部17と、反射光量計測部18と、モータ制御
部9と、スピンドルモータ10と、パッケージ11とを
有する構成となっている。また、発光・受光検知部17
は、LED17aとディテクタ17bとを備えている。
第3の実施例においては、クーポン16として表面の平
滑なポリカーボネイト基板上にAlの薄膜を形成したも
のを用いる。また、腐食性ガスとしては、塩素ガスを考
える。
The HDA shown in FIG. 3 has an HDA base cover 1, a head carriage 2, a magnetic head 3, a magnetic disk 4, a breather port 5, a coupon 16,
The configuration includes a light reception detection unit 17, a reflected light amount measurement unit 18, a motor control unit 9, a spindle motor 10, and a package 11. Also, the light emission / light reception detection unit 17
Has an LED 17a and a detector 17b.
In the third embodiment, a coupon 16 is used in which a thin film of Al is formed on a polycarbonate substrate having a smooth surface. Further, chlorine gas is considered as the corrosive gas.

【0045】第1の実施例と同様に、図3に示したHD
Aも密閉構造となっているが、やはりHDAには種々の
リークがあり、わずかずつではあるが外気の流入が避け
られない。
As in the first embodiment, the HD shown in FIG.
A also has a closed structure, but HDA also has various leaks, and the inflow of outside air is inevitable, albeit little by little.

【0046】HDAの内部には、クーポン16が取り付
けられ、クーポン16のAl薄膜が形成されている面に
対向してLED17aが配置されている。LED17a
から発光されたレーザ光はAl薄膜によって反射され、
クーポンとLED17aとの間に配置されたハーフミラ
ー(不図示)を介してディテクタ17bに導かれる。デ
ィテクタ17bからはHDA外部にリード線が取り出さ
れ、HDA下部に取り付けられたパッケージ内の反射光
量計測部18およびモータ制御部9に接続されている。
ディテクタ17bからリード線を介して出力された電気
信号は、反射光量計測部18で常時光量変化が計測さ
れ、さらにその信号はスピンドルモータ10を制御する
モータ制御部9に入力される。
A coupon 16 is mounted inside the HDA, and an LED 17a is arranged to face the surface of the coupon 16 on which the Al thin film is formed. LED 17a
The laser light emitted from is reflected by the Al thin film,
The light is guided to the detector 17b via a half mirror (not shown) arranged between the coupon and the LED 17a. A lead wire is drawn out of the HDA from the detector 17b, and is connected to the reflected light amount measurement unit 18 and the motor control unit 9 in a package attached below the HDA.
An electric signal output from the detector 17b via a lead wire is constantly measured for a change in the amount of reflected light by a reflected light amount measuring unit 18, and the signal is input to a motor control unit 9 that controls the spindle motor 10.

【0047】HDA内に腐食性ガスとして塩素ガスが侵
入して時間が経過すると、塩素ガスの濃度と経過時間と
に応じた膜厚の化合物が、クーポン16のAl薄膜上に
形成される。これは白いさび状の化合物となるので、A
l薄膜の光の反射率が低下して反射光量が減少する。反
射光量計測部18は、Al薄膜の反射光量の変化を計測
して磁気ディスク装置のHDA内部の腐食性ガス濃度を
モニタする。腐食性ガス濃度があらかじめ設定された値
を越えて反射光量があらかじめ設定された値よりも小さ
くなると、モータ制御部9は磁気ディスク装置の停止機
構を作動させる。このようにして、危険状態に達する前
に磁気ディスク装置を停止させることができる。
When chlorine gas as a corrosive gas enters the HDA and the time elapses, a compound having a film thickness corresponding to the concentration of the chlorine gas and the elapsed time is formed on the Al thin film of the coupon 16. Since this becomes a white rust-like compound, A
(1) The reflectance of light of the thin film decreases, and the amount of reflected light decreases. The reflected light amount measuring unit 18 monitors the concentration of corrosive gas inside the HDA of the magnetic disk device by measuring the change in the reflected light amount of the Al thin film. When the corrosive gas concentration exceeds a preset value and the amount of reflected light becomes smaller than the preset value, the motor control unit 9 operates the stop mechanism of the magnetic disk device. In this way, the magnetic disk device can be stopped before the dangerous state is reached.

【0048】第3の実施例においては、金属薄膜として
Al薄膜を用いたが、Al以外のAg、Cu、Fe−N
i、Fe等の金属薄膜を形成したクーポンを用いた場合
も同様に、反射光量の変化によって各種腐食性ガス濃度
をモニタすることができる。また、不導体基板として表
面の平滑なポリカーボネイト基板を用いたが、ポリカー
ボネイト以外のガラス、石英、各種プラスチック、樹脂
テープ等を用いることができる。さらに、第3の実施例
においては反射光量の変化を計測するので、不導体基板
の代わりに、表面が平滑に仕上げられているNi、Al
等の金属板を用いることができる。この場合には、金属
薄膜を形成しなくても、金属板のみでクーポンとして用
いることができる。
In the third embodiment, an Al thin film was used as the metal thin film. However, Ag, Cu, Fe--N
Similarly, when a coupon having a metal thin film of i, Fe or the like is used, the concentration of various corrosive gases can be monitored by the change in the amount of reflected light. Further, although a polycarbonate substrate having a smooth surface is used as the non-conductive substrate, glass, quartz, various plastics, resin tapes, and the like other than polycarbonate can be used. Further, in the third embodiment, since the change in the amount of reflected light is measured, instead of the non-conductive substrate, Ni, Al
Etc. can be used. In this case, it is possible to use a metal plate alone as a coupon without forming a metal thin film.

【0049】[4]第4の実施例 図4は、本発明の第4の実施例におけるHDAの断面図
であり、クーポンの透過光量の変化を測定することによ
って、磁気ディスク装置のHDA内部の腐食性ガス濃度
をモニタする方法を説明するための図である。
[4] Fourth Embodiment FIG. 4 is a sectional view of an HDA according to a fourth embodiment of the present invention. By measuring a change in the amount of transmitted light of the coupon, the inside of the HDA of the magnetic disk device is measured. It is a figure for explaining a method of monitoring corrosive gas concentration.

【0050】図4に示したHDAは、HDAベース・カ
バー1と、ヘッドキャリッジ2と、磁気ヘッド3と、磁
気ディスク4と、呼吸口5と、クーポン16と、発光部
であるLED17aと、受光検知部であるディテクタ1
7bと、透過光量計測部28と、モータ制御部9と、ス
ピンドルモータ10と、パッケージ11とを有する構成
となっている。第4の実施例においては、クーポン16
として表面の平滑なポリカーボネイト基板上にFeの薄
膜を形成したものを用いる。また、腐食性ガスとして
は、水蒸気を考える。
The HDA shown in FIG. 4 has an HDA base cover 1, a head carriage 2, a magnetic head 3, a magnetic disk 4, a breather port 5, a coupon 16, an LED 17a as a light emitting section, and a light receiving section. Detector 1 that is a detection unit
7b, a transmitted light amount measurement unit 28, a motor control unit 9, a spindle motor 10, and a package 11. In the fourth embodiment, coupon 16
Used is a polycarbonate substrate having a smooth surface and an Fe thin film formed on the substrate. In addition, steam is considered as the corrosive gas.

【0051】第1の実施例と同様に、図4に示したHD
Aも密閉構造となっているが、やはりHDAには種々の
リークがあり、わずかずつではあるが外気の流入が避け
られない。
As in the first embodiment, the HD shown in FIG.
A also has a closed structure, but HDA also has various leaks, and the inflow of outside air is inevitable, albeit little by little.

【0052】HDAの内部には、クーポン16が取り付
けられ、クーポン16を挟んでLED17aとディテク
タ17bとが配置されている。図4においては、クーポ
ン16のFe薄膜が形成されている面に対向してディテ
クタ17bが配置されている。ディテクタ17bからは
HDA外部にリード線が取り出され、HDA下部に取り
付けられたパッケージ内の透過光量計測部28およびモ
ータ制御部9に接続されている。ディテクタ17bから
リード線を介して出力された電気信号は、透過光量計測
部28で常時光量変化が計測され、さらにその信号はス
ピンドルモータ10を制御するモータ制御部9に入力さ
れる。
A coupon 16 is mounted inside the HDA, and an LED 17a and a detector 17b are arranged with the coupon 16 interposed therebetween. In FIG. 4, a detector 17b is arranged to face the surface of the coupon 16 on which the Fe thin film is formed. A lead wire is taken out of the HDA from the detector 17b, and is connected to the transmitted light amount measurement unit 28 and the motor control unit 9 in the package attached below the HDA. An electric signal output from the detector 17b via a lead wire is constantly measured for a change in the amount of transmitted light by a transmitted light amount measurement unit 28, and the signal is input to a motor control unit 9 that controls the spindle motor 10.

【0053】腐食性ガスが侵入する前の状態において
は、LED17aから発光されるレーザ光は、クーポン
16のFe薄膜によって阻止され、ディテクタ17bで
検出される透過光量はほとんどない。ところが、HDA
内に腐食性ガスとして水蒸気が侵入して時間が経過する
と、水蒸気の濃度と経過時間とに応じた膜厚の化合物
が、クーポン16のFe薄膜上に形成される。これはF
eの酸化物となるので、Feの状態と比較すると、光の
透過率が上昇して透過光量が増加する。透過光量計測部
28は、クーポンを透過する光量の変化を計測して磁気
ディスク装置のHDA内部の腐食性ガス濃度をモニタす
る。腐食性ガス濃度があらかじめ設定された値を越えて
透過光量があらかじめ設定された値よりも大きくなる
と、モータ制御部9は磁気ディスク装置の停止機構を作
動させる。このようにして、危険状態に達する前に磁気
ディスク装置を停止させることができる。
In a state before the corrosive gas enters, the laser light emitted from the LED 17a is blocked by the Fe thin film of the coupon 16, and the transmitted light amount detected by the detector 17b is almost nil. However, HDA
When water vapor enters as a corrosive gas and elapses of time, a compound having a film thickness corresponding to the concentration of the water vapor and the elapsed time is formed on the Fe thin film of the coupon 16. This is F
Since it becomes an oxide of e, the light transmittance increases and the amount of transmitted light increases as compared with the state of Fe. The transmitted light amount measuring unit 28 monitors the concentration of corrosive gas inside the HDA of the magnetic disk device by measuring a change in the amount of transmitted light through the coupon. When the corrosive gas concentration exceeds a preset value and the amount of transmitted light becomes larger than the preset value, the motor control unit 9 activates the stop mechanism of the magnetic disk device. In this way, the magnetic disk device can be stopped before the dangerous state is reached.

【0054】第4の実施例においては、金属薄膜として
Fe薄膜を用いたが、Fe以外のAg、Cu、Fe−N
i、Al等の金属薄膜を形成したクーポンを用いた場合
も同様に、透過光量の変化によって各種腐食性ガス濃度
をモニタすることができる。また、不導体基板として表
面の平滑なポリカーボネイト基板を用いたが、ポリカー
ボネイト以外のガラス、石英、各種プラスチック、樹脂
テープ等のうち、透明のものを用いることができる。さ
らに、図4においてはクーポン16のFe薄膜が形成さ
れている面に対向してディテクタ17bを配置したが、
クーポン16のFe薄膜が形成されている面に対向して
LED17aを配置しても良い。
In the fourth embodiment, the Fe thin film was used as the metal thin film. However, Ag, Cu, Fe--N
Similarly, when a coupon formed with a metal thin film such as i or Al is used, the concentration of various corrosive gases can be monitored by the change in the amount of transmitted light. In addition, although a polycarbonate substrate having a smooth surface is used as the non-conductive substrate, a transparent substrate other than polycarbonate, such as glass, quartz, various plastics, and resin tapes can be used. Further, in FIG. 4, the detector 17b is arranged to face the surface of the coupon 16 on which the Fe thin film is formed.
The LED 17a may be arranged to face the surface of the coupon 16 on which the Fe thin film is formed.

【0055】なお、第1ないし第4の実施例で説明した
クーポンにおいては、1つの基板上に1種類の金属薄膜
を形成したが、上述の文献1に記載されている「腐食性
ガス測定キット」のように、数種類の金属薄膜を1つの
基板上に形成することができる。このようにすることに
よって、腐食性ガスの種類に応じて使用する金属薄膜を
変えて、より多くの種類の腐食性ガスに対応した測定を
行うことができる。
In the coupons described in the first to fourth embodiments, one kind of metal thin film is formed on one substrate. ", Several types of metal thin films can be formed on one substrate. By doing so, the measurement corresponding to more types of corrosive gases can be performed by changing the metal thin film used according to the type of corrosive gas.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、HDA内
に備えられたクーポンにAg、Cu、Fe−Ni、A
l、Fe等の金属薄膜を形成して、磁気ディスク装置の
HDA内に腐食性ガスが侵入したときに、腐食性ガスの
種類や濃度、および経過時間に応じた膜厚の化合物がク
ーポンに形成されて生じる電気的な変化や光学的な変化
を検知することによって、磁気ディスク装置のHDA内
部の腐食性ガスの種類、濃度、および蓄積状態を容易に
モニタすることができる。
As explained above, according to the present invention, Ag, Cu, Fe-Ni, A
When a corrosive gas enters the HDA of a magnetic disk drive by forming a metal thin film such as l, Fe, etc., a compound having a film thickness corresponding to the type and concentration of the corrosive gas and the elapsed time is formed on the coupon. The type, concentration, and accumulation state of the corrosive gas inside the HDA of the magnetic disk drive can be easily monitored by detecting the electrical change or optical change that occurs.

【0057】また、クーポンの電気抵抗値、反射光量、
または透過光量の変化を測定する部分である電気抵抗値
測定部、反射光量計測部、または透過光量計測部と磁気
ディスク装置の停止機構であるモータ制御部とを連動さ
せることによって、危険状態に達する前に磁気ディスク
装置を停止させることができ、磁気ディスクの障害を未
然に防ぐことができる。
Further, the electric resistance value of the coupon, the amount of reflected light,
Alternatively, a dangerous state is reached by interlocking the electric resistance value measuring unit, the reflected light amount measuring unit, or the transmitted light amount measuring unit, which measures the change in the transmitted light amount, with the motor control unit, which is the stop mechanism of the magnetic disk device. The magnetic disk device can be stopped beforehand, and failure of the magnetic disk can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例におけるHDAの断面図FIG. 1 is a sectional view of an HDA according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例におけるクーポンの平面
FIG. 2 is a plan view of a coupon according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施例におけるHDAの断面図FIG. 3 is a sectional view of an HDA according to a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第4の実施例におけるHDAの断面図FIG. 4 is a sectional view of an HDA according to a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 HDAベース・カバー 2 ヘッドキャリッジ 3 磁気ヘッド 4 磁気ディスク 5 呼吸口 6 クーポンの金属薄膜(Fe薄膜) 7 クーポンの不導体基板 8 電気抵抗値測定部 9 モータ制御部 10 スピンドルモータ 11 パッケージ 16 クーポン 17 発光・受光検知部 17a LED 17b ディテクタ 18 反射光量計測部 28 透過光量計測部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 HDA base cover 2 Head carriage 3 Magnetic head 4 Magnetic disk 5 Breath opening 6 Metal thin film (Fe thin film) of a coupon 7 Non-conductive board of a coupon 8 Electric resistance measurement part 9 Motor control part 10 Spindle motor 11 Package 16 Coupon 17 Light emitting / receiving detector 17a LED 17b Detector 18 Reflected light amount measuring unit 28 Transmitted light amount measuring unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G11B 19/22 G11B 19/22 A 25/04 101 25/04 101K ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G11B 19/22 G11B 19/22 A 25/04 101 25/04 101K

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 外囲器とヘッドキャリッジと磁気ヘッド
と磁気ディスクとモータとを備えるヘッドディスクアセ
ンブリを有する磁気ディスク装置において、 前記ヘッドディスクアセンブリが内部に金属試験片を備
え、該金属試験片が導体基板および不導体基板のうちの
1つを具備する基板を備え、 該金属試験片を用いて腐食性ガス濃度を測定することを
特徴とする、磁気ディスク装置。
1. A magnetic disk drive having a head disk assembly including an envelope, a head carriage, a magnetic head, a magnetic disk, and a motor, wherein the head disk assembly has a metal test piece inside, and the metal test piece is A magnetic disk drive, comprising: a substrate having one of a conductive substrate and a non-conductive substrate; and measuring a corrosive gas concentration using the metal test piece.
【請求項2】 前記基板が少なくとも1つの金属薄膜を
備え、該金属薄膜がAg、Cu、Fe−Ni、Alおよ
びFeのうちの1種類の金属を備えることを特徴とす
る、請求項1に記載の磁気ディスク装置。
2. The method of claim 1, wherein the substrate comprises at least one metal thin film, wherein the metal thin film comprises one of Ag, Cu, Fe—Ni, Al and Fe. The magnetic disk device according to the above.
【請求項3】 前記基板が不導体基板を具備し、 前記ヘッドディスクアセンブリが、前記金属薄膜の対向
する2辺間の電気抵抗値の変化を測定する電気抵抗測定
手段と、前記モータの動作を制御するモータ制御手段と
を備えることを特徴とする、請求項2に記載の磁気ディ
スク装置。
3. The method according to claim 1, wherein the substrate includes a non-conductive substrate, the head disk assembly measures electric resistance change between two opposing sides of the metal thin film, and controls operation of the motor. 3. The magnetic disk drive according to claim 2, further comprising: a motor control unit for controlling.
【請求項4】 前記電気抵抗測定手段が前記金属薄膜の
対向する2辺間の電気抵抗値の変化を測定し、該電気抵
抗値があらかじめ設定されている値よりも大きくなる
と、前記モータ制御手段が前記モータの動作を制御して
当該磁気ディスク装置の動作を停止する、請求項3に記
載されている磁気ディスク装置内ガス濃度のモニタ方
法。
4. An electric resistance measuring means for measuring a change in electric resistance between two opposing sides of the metal thin film, and when the electric resistance becomes larger than a preset value, the motor control means. 4. The method according to claim 3, wherein the controller controls the operation of the motor to stop the operation of the magnetic disk device.
【請求項5】 前記金属薄膜がパターンを備え、該パタ
ーンの一方の端部と他方の端部との間の距離が該金属薄
膜の対向する2辺間の距離よりも大きい、請求項3に記
載の磁気ディスク装置。
5. The metal thin film according to claim 3, wherein the metal thin film has a pattern, and a distance between one end and the other end of the pattern is larger than a distance between two opposite sides of the metal thin film. The magnetic disk device according to the above.
【請求項6】 前記電気抵抗測定手段が前記金属薄膜に
備えられている前記パターンの一方の端部と他方の端部
との間の電気抵抗値の変化を測定し、該電気抵抗値があ
らかじめ設定されている値よりも大きくなると、前記モ
ータ制御手段が前記モータの動作を制御して当該磁気デ
ィスク装置の動作を停止する、請求項5に記載されてい
る磁気ディスク装置内ガス濃度のモニタ方法。
6. The electric resistance measuring means measures a change in electric resistance between one end and the other end of the pattern provided on the metal thin film, and the electric resistance is measured beforehand. 6. The method according to claim 5, wherein the motor control means controls the operation of the motor and stops the operation of the magnetic disk device when the value becomes larger than a set value. .
【請求項7】 前記ヘッドディスクアセンブリが、前記
金属試験片に光を照射する照射手段と、該金属試験片か
ら反射される光を検出する反射光量検出手段と、該反射
光量検出手段で検出した反射光量の変化を測定する反射
光量測定手段と、前記モータの動作を制御するモータ制
御手段とを備える、請求項1または2に記載の磁気ディ
スク装置。
7. The head disk assembly detects the light by irradiating the metal test piece with light, detecting the amount of light reflected from the metal test piece, and detecting the amount of reflected light by the reflected light amount detector. 3. The magnetic disk drive according to claim 1, further comprising: a reflected light amount measuring unit that measures a change in a reflected light amount; and a motor control unit that controls an operation of the motor.
【請求項8】 前記照射手段が前記金属試験片に光を照
射し、前記反射光量検出手段が該金属試験片から反射さ
れる光を検出し、前記反射光量測定手段が該反射光量検
出手段で検出した反射光量の変化を測定し、該反射光量
があらかじめ設定されている値よりも小さくなると、前
記モータ制御手段が前記モータの動作を制御して当該磁
気ディスク装置の動作を停止する、請求項7に記載され
ている磁気ディスク装置内ガス濃度のモニタ方法。
8. The irradiating means irradiates the metal test piece with light, the reflected light quantity detecting means detects light reflected from the metal test piece, and the reflected light quantity measuring means uses the reflected light quantity detecting means. A change in the detected reflected light amount is measured, and when the reflected light amount becomes smaller than a preset value, the motor control means controls the operation of the motor to stop the operation of the magnetic disk device. 7. A method for monitoring a gas concentration in a magnetic disk device described in 7.
【請求項9】 前記基板が透明の不導体基板を具備し、 前記ヘッドディスクアセンブリが、前記金属試験片に光
を照射する照射手段と、該金属試験片を透過する光を検
出する透過光量検出手段と、該透過光量検出手段で検出
した透過光量の変化を測定する透過光量測定手段と、前
記モータの動作を制御するモータ制御手段とを備える、
請求項2に記載の磁気ディスク装置。
9. The apparatus according to claim 9, wherein the substrate comprises a transparent non-conductive substrate, the head disk assembly irradiating the metal test piece with light, and a transmitted light amount detecting means for detecting light transmitted through the metal test piece. Means, a transmitted light quantity measuring means for measuring a change in transmitted light quantity detected by the transmitted light quantity detecting means, and a motor control means for controlling the operation of the motor,
The magnetic disk drive according to claim 2.
【請求項10】 前記照射手段が前記金属試験片に光を
照射し、前記透過光量検出手段が該金属試験片を透過す
る光を検出し、前記透過光量測定手段が該透過光量検出
手段で検出した透過光量の変化を測定し、該透過光量が
あらかじめ設定されている値よりも大きくなると、前記
モータ制御手段が前記モータの動作を制御して当該磁気
ディスク装置の動作を停止する、請求項9に記載されて
いる磁気ディスク装置内ガス濃度のモニタ方法。
10. The light irradiating means irradiates the metal test piece with light, the transmitted light quantity detecting means detects light transmitted through the metal test piece, and the transmitted light quantity measuring means detects with the transmitted light quantity detecting means. The change in the transmitted light amount is measured, and when the transmitted light amount becomes larger than a preset value, the motor control means controls the operation of the motor to stop the operation of the magnetic disk device. Monitoring method of the gas concentration in the magnetic disk device described in the above.
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