JP2745976B2 - Laterally pumped laser oscillator - Google Patents

Laterally pumped laser oscillator

Info

Publication number
JP2745976B2
JP2745976B2 JP18581092A JP18581092A JP2745976B2 JP 2745976 B2 JP2745976 B2 JP 2745976B2 JP 18581092 A JP18581092 A JP 18581092A JP 18581092 A JP18581092 A JP 18581092A JP 2745976 B2 JP2745976 B2 JP 2745976B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
casing
main
electrode
gas
laser oscillator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP18581092A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH065957A (en
Inventor
浩司 上田
茂 大坪
直樹 西出
文彦 宮本
良治 小関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibuya Corp
Original Assignee
Shibuya Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibuya Corp filed Critical Shibuya Corp
Priority to JP18581092A priority Critical patent/JP2745976B2/en
Publication of JPH065957A publication Critical patent/JPH065957A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2745976B2 publication Critical patent/JP2745976B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、パルス発振を行う横方
向励起型レーザ発振器の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a laterally pumped laser oscillator that performs pulse oscillation.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、横方向励起型レーザ発振器とし
て、ケーシング内に設けた一対の主電極と、ケーシング
内に設けた複数組の予備電極と、ケーシングの内部空間
に介在させたガスと、上記主電極および予備電極に所要
の電圧を印加する電源とを備え、上記予備電極を放電さ
せて上記主電極間のガスを予備電離させてから上記主電
極を放電させてレーザ光線を励起するように構成したも
のは知られている(例えば特開昭61−13679号公
報)。上記従来のレーザ発振器においては、主電極とは
別に上記予備電極を設けたことによって、主電極による
放電の安定域を高電力密度側まで拡大することができ
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a laterally pumped laser oscillator, a pair of main electrodes provided in a casing, a plurality of spare electrodes provided in a casing, a gas interposed in an internal space of the casing, A power supply for applying a required voltage to the main electrode and the spare electrode, so as to excite the laser beam by discharging the spare electrode and pre-ionizing the gas between the main electrodes, and then discharging the main electrode. The structure is known (for example, JP-A-61-13679). In the above-mentioned conventional laser oscillator, by providing the spare electrode separately from the main electrode, the stable region of the discharge by the main electrode can be expanded to the high power density side.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来の
レーザ発振器においては、上記予備電極をケーシング内
に増設したことによって、レーザ発振器の組立作業が煩
雑になるという欠点がある。しかも、上記予備電極を設
けたことにより、ケーシング内を循環流通されているガ
スの流れに乱れが生じるので、主電極による放電に支障
を来す虞があった。さらに、予備電極間での放電により
該予備電極からダストが発生するので、放電の安定性が
損なわれるという欠点があった。
However, the above-mentioned conventional laser oscillator has a disadvantage that the work of assembling the laser oscillator becomes complicated due to the additional provision of the spare electrode in the casing. In addition, the provision of the spare electrode causes disturbance in the flow of the gas circulating in the casing, which may hinder the discharge by the main electrode. Furthermore, since the discharge between the preliminary electrodes generates dust from the preliminary electrodes, the stability of the discharge is impaired.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上述した事情に鑑み、本
発明は、ケーシング内に設けた一対の主電極と、ケーシ
ングの内部空間に介在させたガスと、上記主電極に所要
の電圧を印加する電源とを備え、上記一対の主電極間で
AC放電させて、上記一対の主電極間のガスを予備電離
させてから上記一対の主電極間をDC放電させてレーザ
光線を励起するように構成した横方向励起型レーザ発振
器を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned circumstances, the present invention provides a pair of main electrodes provided in a casing, a gas interposed in an internal space of the casing, and applying a required voltage to the main electrodes. and a power supply which, in between the upper Symbol pair of main electrodes
By AC discharge, provides a transverse excitation type laser oscillator, which is configured as a between the upper Symbol pair of main electrodes by DC discharge excites the laser beam of the gas between said pair of main electrodes were allowed to pre-ionization It is.

【0005】[0005]

【作用】このような構成によれば、ケーシング内に予備
電極を設けることなく主電極からの放電の安定性を良好
なものとすることができる。しかも、ケーシング内に予
備電極が存在しないので、上記従来のものと比較してレ
ーザ発振器の組立性が良好になり、またガスの流通に乱
れを生じさせることもない。さらに、予備電極が原因と
なってダストが発生するようなことがないため、上記従
来に比較してガスの寿命を長くすることができる。
According to this structure, the stability of the discharge from the main electrode can be improved without providing a spare electrode in the casing. In addition, since there is no spare electrode in the casing, assemblability of the laser oscillator is improved as compared with the above-mentioned conventional one, and there is no disturbance in gas flow. Further, since dust is not generated due to the spare electrode, the life of the gas can be extended as compared with the above-described conventional case.

【0006】[0006]

【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図1は横方向励起型レーザ発振器の電気回路を示し
たものであり、レーザ発振器は、図示しないガスを封入
したケーシング1を備えており、このケーシング1内に
一対の電極2a,2bから構成した主電極2を設けてい
る。そして、後述するように、本実施例では主電極2を
予備電極として兼用できるように構成しているので、従
来ケーシング1内に設けていた予備電極を省略してい
る。図2に拡大して示すように、本実施例における主電
極2の各電極2a,2bを板状に形成するとともに、そ
の板状とした両電極2a,2bの一方の平坦面を相互に
対向させてあり、かつ、そのように対向させた両電極2
a,2bの間隔を10mm以下の距離に近接させて設け
ている。他方、上記両電極2a,2bにおける対向して
いない側の面には、その長手方向、すなわち紙面と直交
する方向に溝を形成してあり、その溝内に熱交換器とし
ての導管3を取り付けている。この導管3は、ケーシン
グ1の外部に設けた冷却媒体の供給源に接続してあり、
供給源から水あるいは油等の冷却媒体を導管3内に流通
させることによって、両電極2a,2bを冷却するよう
にしている。本実施例では、上述のように、両電極2
a,2bの間隔をわずか数ミリに設定してあり、さらに
主電極2は冷却されることによって温度上昇が抑制され
るようになっている。そのため、放電によって温度上昇
した主電極2の間のガスと主電極2の表面との間に温度
差が生じるので、ケーシング1内のガスはケーシング1
内を自然対流するようになっている。したがって、本実
施例では、従来ケーシング1内に設けていたガス循環用
のファンを省略してあり、それによって、ケーシング1
を小型化している。また、本実施例では従来ケーシング
1内に設けていた予備電極を省略したことにより、ガス
の劣化を抑制してガスの寿命を長くすることができる。
そのため、本実施例では、レーザ発振器の組立の際に、
所要量のガスをケーシング1内に供給して長時間密封し
て運転可能である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an electric circuit of a laterally pumped laser oscillator. The laser oscillator includes a casing 1 in which gas (not shown) is sealed. A main electrode 2 composed of a pair of electrodes 2a and 2b is provided in the casing 1. As will be described later, in the present embodiment, the main electrode 2 is configured so as to be able to double as a spare electrode, so that the spare electrode conventionally provided in the casing 1 is omitted. As shown enlarged in FIG. 2, each electrode 2a, 2b of the main electrode 2 in this embodiment is formed in a plate shape, and one flat surface of the plate-shaped electrodes 2a, 2b is opposed to each other. And both electrodes 2 which are so opposed
The interval between a and 2b is provided close to a distance of 10 mm or less. On the other hand, a groove is formed in the surface of the two electrodes 2a and 2b that are not opposed to each other in the longitudinal direction, that is, in the direction orthogonal to the paper surface, and the conduit 3 as a heat exchanger is mounted in the groove. ing. This conduit 3 is connected to a cooling medium supply source provided outside the casing 1,
By flowing a cooling medium such as water or oil from the supply source into the conduit 3, the electrodes 2a and 2b are cooled. In this embodiment, as described above, both electrodes 2
The distance between a and 2b is set to only a few millimeters, and the main electrode 2 is cooled to suppress a rise in temperature. As a result, a temperature difference occurs between the gas between the main electrodes 2 whose temperature has risen due to the discharge and the surface of the main electrode 2.
Natural convection inside. Therefore, in the present embodiment, the gas circulation fan provided in the conventional casing 1 is omitted.
Has been downsized. Further, in this embodiment, since the spare electrode provided in the conventional casing 1 is omitted, the deterioration of the gas can be suppressed and the life of the gas can be prolonged.
Therefore, in this embodiment, when assembling the laser oscillator,
A required amount of gas is supplied into the casing 1 so that the casing can be sealed and operated for a long time.

【0007】図1に示すように、上記主電極2は、直流
電源4に接続すると同時に、コイル5を介して交流電源
6に接続するようにしている。この交流電源6は数10
KHzないし数100KHzの高電圧を主電極2に供給
することができる。そして、本実施例では、先ず交流電
源6から主電極2に交流の高電圧を印加して主電極2間
のガスを予備電離させ、次にその数10ns後に直流電
源4から主電極2に直流の高電圧を印加するようにして
あり、それによって主電極2を主放電させてレーザ光線
を励起するように構成している。すなわち、直流電源4
と主電極2との間には、その最も上流側にスイッチ9を
設けるとともに主放電用の主コンデンサ10を設けてあ
り、この主コンデンサ10の下流には可飽和リアクトル
11を設けている。上記可飽和リアクトル11の下流側
と、上記スイッチ9の下流側とにわたっては容量移行用
の予備コンデンサ12を設けるとともに、それよりも下
流側にインダクタ13を設けている。上記可飽和リアク
トル11は、スイッチ9がONされた時の電流と電圧に
ずれを生じさせ、スイッチ9にかかる電力を小さくし、
それによってスイッチ9にかかる負荷を軽減する機能を
備えている。
As shown in FIG. 1, the main electrode 2 is connected to a DC power supply 4 and, at the same time, to an AC power supply 6 via a coil 5. This AC power supply 6 has several tens
A high voltage of KHz to several hundred KHz can be supplied to the main electrode 2. In this embodiment, first, an AC high voltage is applied from the AC power supply 6 to the main electrode 2 to pre-ionize the gas between the main electrodes 2, and then a few 10 ns later, the DC power is applied from the DC power supply 4 to the main electrode 2. The high voltage is applied so that the main electrode 2 is main-discharged to excite the laser beam. That is, the DC power supply 4
A switch 9 is provided on the most upstream side between the main electrode 2 and the main electrode 2, and a main capacitor 10 for main discharge is provided. A saturable reactor 11 is provided downstream of the main capacitor 10. A spare capacitor 12 for capacitance transfer is provided between the downstream side of the saturable reactor 11 and the downstream side of the switch 9, and an inductor 13 is provided further downstream than the spare capacitor 12. The saturable reactor 11 causes a difference between the current and the voltage when the switch 9 is turned on, reduces the power applied to the switch 9,
Thus, a function of reducing the load on the switch 9 is provided.

【0008】以上の構成において、先ず交流電源6の電
圧が主電極2に印加され、該主電極2の間のガスが予備
電離される。次に、スイッチ9がONされ、主コンデン
サ10を介して直流電源4の電圧が上記主電極2に印加
される。これによって、主電極2から放電が開始される
ので従来と同様にレーザ光線が励起される。そして、過
熱した主電極2は図2に示した導管3によって冷却さ
れ、冷却された主電極2と放電のために過熱されたガス
との温度差によってケーシング1内のガスに高速対流が
生じるので、ガスはケーシング1内を循環されるように
なる。上述した本実施例によれば、従来ケーシング1内
に設けていた予備電極およびファンを省略しているの
で、レーザ発振器の組立作業性が良好なものとなり、し
かも予備電極によってケーシング1内を循環するガスの
流れに乱流が生じるようなこともない。さらに、予備電
極およびファンを省略したことによってケーシング1そ
のものを小型化することができ、ひいてはレーザ発振器
を小型化することができる。また、ケーシング1内に予
備電極が存在しないので、予備電極が原因となってダス
トが生じるようなことなく、そのため、ケーシング1内
のガスの劣化を抑制してガスの寿命を長くすることがで
きる。また、上述のように両電極2a,2b間の寸法を
狭くしたことにより、放電によって発生するショックウ
エーブのケーシング1内面からの反射が電極2a,2b
間に侵入することを防止することができる。そのため、
放電時のショックウエーブによる悪影響を排除すること
ができる。
In the above configuration, first, the voltage of the AC power supply 6 is applied to the main electrode 2, and the gas between the main electrodes 2 is preionized. Next, the switch 9 is turned on, and the voltage of the DC power supply 4 is applied to the main electrode 2 via the main capacitor 10. As a result, a discharge is started from the main electrode 2, so that the laser beam is excited as in the conventional case. Then, the heated main electrode 2 is cooled by the conduit 3 shown in FIG. 2, and a high-speed convection occurs in the gas in the casing 1 due to a temperature difference between the cooled main electrode 2 and the gas heated for discharging. The gas is circulated in the casing 1. According to the above-described embodiment, since the spare electrode and the fan provided in the conventional casing 1 are omitted, the workability of assembling the laser oscillator is improved, and the spare electrode circulates in the casing 1. There is no turbulence in the gas flow. Furthermore, by omitting the spare electrode and the fan, the size of the casing 1 itself can be reduced, and the size of the laser oscillator can be reduced. In addition, since there is no spare electrode in the casing 1, dust is not generated due to the spare electrode. Therefore, deterioration of the gas in the casing 1 can be suppressed and the life of the gas can be extended. . Further, since the dimension between the two electrodes 2a and 2b is reduced as described above, the reflection of the shock wave from the inner surface of the casing 1 caused by the discharge is caused by the electrodes 2a and 2b.
It is possible to prevent intrusion in between. for that reason,
It is possible to eliminate an adverse effect due to a shock wave at the time of discharging.

【0009】(第2実施例) 次に、図3は本発明の第2実施例を示したものであり、
この第2実施例では、上記第1実施例の電気回路の構成
を前提とした上で、第1実施例の各電極2a,2bに設
けた導管3の代わりに従来公知のフアン116および熱
交換器117をケーシング101内に設けたものであ
る。その他の構成は上記第1実施例と同じであり、第1
実施例の各部材と対応する部材にはそれぞれ100を加
算した部材番号を付している。このような構成の第2実
施例においても、ケーシング101内から予備電極を省
略しているので、レーザ発振器の組立作業性が良好なも
のとなり、また予備電極によってケーシング101内を
循環流通するガスの流れに乱れが生じるようなことがな
い。
Second Embodiment Next, FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention.
In the second embodiment, on the premise of the configuration of the electric circuit of the first embodiment, a conventionally known fan 116 and a heat exchanger are used instead of the conduits 3 provided in the electrodes 2a and 2b of the first embodiment. The container 117 is provided in the casing 101. Other configurations are the same as those of the above-described first embodiment.
The members corresponding to the respective members of the embodiment are respectively given the member numbers obtained by adding 100. Also in the second embodiment having such a configuration, the spare electrode is omitted from the inside of the casing 101, so that the workability of assembling the laser oscillator is improved, and the spare electrode allows the gas circulating in the casing 101 to be circulated. There is no turbulence in the flow.

【0010】(第3実施例) 次に図4は本発明の第3実施例を示したものであり、こ
の第3実施例では、図3に示した第2実施例における交
流電源106側の構成を変更したものである。つまり、
上記第2実施例におけるコイル105の代わりにリング
コイル218およびマッチングユニット219を用いた
ものである。そのほかの構成は上記第2実施例と同じで
あり、第2実施例の各部材と対応する部材には、それぞ
れ100を加算した部材番号を付している。このような
第3実施例によっても上記第2実施例と同様の作用効果
を得ることができる。
(Third Embodiment) Next, FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention. In the third embodiment, the AC power supply 106 side in the second embodiment shown in FIG. The configuration has been changed. That is,
A ring coil 218 and a matching unit 219 are used in place of the coil 105 in the second embodiment. Other configurations are the same as those of the second embodiment, and members corresponding to the respective members of the second embodiment are given member numbers obtained by adding 100 to each of them. According to the third embodiment, the same operation and effect as those of the second embodiment can be obtained.

【0011】(第4実施例) 最後に、図5は本発明の第4実施例を示したものであ
り、この第4実施例は、上記第3実施例におけるスイッ
チ209を省略する一方、ケーシング201の内部構成
を上記第1実施例と同様に構成したものである。すなわ
ち、スイッチを省略したことに伴って上記主コンデンサ
210の代わりにコイル320を設けてあり、リングコ
イル318は補助コンデンサ312の下流側にそれと並
列に設けている。レーザを発振する際には、交流電源3
06から小さな電流を供給し、主電極302a,302
b間に予備放電を発生させる。その後、交流電源306
の電流を瞬間的に急上昇させる。これにより、主電極3
02a,302b間が導通し、コンデンサ312に蓄え
られたエネルギーが流れ主放電が行われる。この第4実
施例では、上記第3実施例および第1実施例と対応する
各部材にそれぞれ100あるいは300を加算した部材
番号を付している。この第4実施例によれば、上述した
第1実施例と同様の作用効果を得ることができることは
明らかである。
(Fourth Embodiment) Finally, FIG. 5 shows a fourth embodiment of the present invention. In the fourth embodiment, the switch 209 in the third embodiment is omitted, while the casing The internal configuration of 201 is the same as that of the first embodiment. That is, the coil 320 is provided instead of the main capacitor 210 in accordance with the omission of the switch, and the ring coil 318 is provided downstream of the auxiliary capacitor 312 in parallel with the auxiliary capacitor 312. When oscillating the laser, the AC power supply 3
06, a small current is supplied to the main electrodes 302a and 302a.
A preliminary discharge is generated between b. Then, the AC power supply 306
Instantaneously increase the current. Thereby, the main electrode 3
The connection between 02a and 302b is conducted, the energy stored in the capacitor 312 flows, and the main discharge is performed. In the fourth embodiment, the members corresponding to those in the third embodiment and the first embodiment are given member numbers obtained by adding 100 or 300, respectively. According to the fourth embodiment, it is apparent that the same operation and effect as those of the first embodiment can be obtained.

【0012】[0012]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較するとレーザ発振器の組立性が良好になり、またガ
スの流通に乱れを生じさせることもないという効果が得
られる。さらに、従来に比較してガスの寿命を長くする
ことができるという効果が得られる。
As described above, according to the present invention, the assemblability of the laser oscillator is improved as compared with the prior art, and the effect that the gas flow is not disturbed is obtained. Further, an effect is obtained that the life of the gas can be prolonged as compared with the related art.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す回路図FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】図1の要部の詳細な拡大図FIG. 2 is a detailed enlarged view of a main part of FIG. 1;

【図3】本発明の第2実施例を示す回路図FIG. 3 is a circuit diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3実施例を示す回路図FIG. 4 is a circuit diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第4実施例を示す回路図FIG. 5 is a circuit diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケーシング 2 主電極 4 直流電源 6 交流電源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 2 Main electrode 4 DC power supply 6 AC power supply

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮本 文彦 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷 工業株式会社内 (72)発明者 小関 良治 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷 工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−48485(JP,A) 特開 昭63−217680(JP,A) 特開 平3−18071(JP,A) 特開 昭60−260171(JP,A) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Fumihiko Miyamoto 58, Ozuda Honcho, Kanazawa, Ishikawa Prefecture Inside Shibuya Kogyo Co., Ltd. 56) References JP-A-58-48485 (JP, A) JP-A-63-217680 (JP, A) JP-A-3-18071 (JP, A) JP-A-60-260171 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ケーシング内に設けた一対の主電極と、
ケーシングの内部空間に介在させたガスと、上記主電極
に所要の電圧を印加する電源とを備え、上記一対の主電
極間でAC放電させて、上記一対の主電極間のガスを予
備電離させてから上記一対の主電極間をDC放電させて
レーザ光線を励起するように構成したことを特徴とする
横方向励起型レーザ発振器。
A pair of main electrodes provided in a casing;
Comprising a gas interposed into the inner space of the casing, and a power source for applying a predetermined voltage to the main electrode, the upper Symbol pair of main conductive
Laterally by AC discharge machining gap, characterized by being configured between upper Symbol pair of main electrodes to excite the laser beam by DC discharge gas between said pair of main electrodes were allowed to pre-ionization Excitation type laser oscillator.
JP18581092A 1992-06-19 1992-06-19 Laterally pumped laser oscillator Expired - Fee Related JP2745976B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18581092A JP2745976B2 (en) 1992-06-19 1992-06-19 Laterally pumped laser oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18581092A JP2745976B2 (en) 1992-06-19 1992-06-19 Laterally pumped laser oscillator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH065957A JPH065957A (en) 1994-01-14
JP2745976B2 true JP2745976B2 (en) 1998-04-28

Family

ID=16177291

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18581092A Expired - Fee Related JP2745976B2 (en) 1992-06-19 1992-06-19 Laterally pumped laser oscillator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2745976B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3157978B2 (en) 1994-03-09 2001-04-23 キヤノン株式会社 Liquid ejection device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH065957A (en) 1994-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0283044B1 (en) Laser apparatus
JP2745976B2 (en) Laterally pumped laser oscillator
JP4899026B2 (en) Laser equipment
JPS639393B2 (en)
JPH0786672A (en) Laser oscillator
JPH0237707B2 (en)
EP0565262A1 (en) Gas laser device
JPS61284984A (en) Gas laser
GB2145274A (en) Gas laser system
JP3259161B2 (en) Gas laser oscillation device
JP2003249703A (en) Discharge-excited gas laser apparatus
JP2578014Y2 (en) Dielectric plate of laser device
JP2592829B2 (en) Gas laser device
JPH0744034Y2 (en) High frequency excitation gas laser device
JPH0714092B2 (en) Gas gas laser oscillator
JPH0711481Y2 (en) Gas laser oscillator
JPH08191163A (en) Gas laser device
JPH1079539A (en) Carbon dioxide gas laser oscillator
JPS6317578A (en) Main discharge electrode for discharge type laser device
Price et al. Laser sources for strobe photorecording
JPS6190484A (en) Pulse laser oscillator
Vasil'tsov et al. High-power-industrial CO2 lasers based upon new concepts of gas discharge and optical schemes
JP2004273816A (en) Gas laser device
JP2003218434A (en) Laser oscillator and laser using it
JPS61189683A (en) Discharge-excited short pulse laser device

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19980113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080213

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090213

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090213

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100213

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110213

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110213

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213

Year of fee payment: 14

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees