JP2743734B2 - Processing head of laser processing machine - Google Patents

Processing head of laser processing machine

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JP2743734B2
JP2743734B2 JP4254005A JP25400592A JP2743734B2 JP 2743734 B2 JP2743734 B2 JP 2743734B2 JP 4254005 A JP4254005 A JP 4254005A JP 25400592 A JP25400592 A JP 25400592A JP 2743734 B2 JP2743734 B2 JP 2743734B2
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housing
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pressure
workpiece
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斉 荒牧
隆一 中井
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機の加工ヘッ
ドの改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a processing head of a laser beam machine.

【従来の技術】従来、レーザ加工機の加工ヘッドとし
て、レーザ光線を集光する集光レンズを収納したハウジ
ングと、ハウジングに対してレーザ光線の光軸に沿って
相対変位可能なノズルとを備え、被加工物の板厚や材質
等の加工条件に応じてハウジング内に収納した集光レン
ズの焦点位置を調整するものは知られている(例えば特
公平2−57478号公報、特開平4−52096号公
報)。このような従来の装置では、上記ノズルとハウジ
ングとにわたって弾装したばねによってノズルを下方に
付勢するとともに、ロック,アンロック機構によってノ
ズルをハウジングの所要高さ位置に保持するようにして
いる。そして、被加工物の加工条件に応じて集光レンズ
の焦点位置(ハウジングの高さ)を変更した際には、ハ
ウジングに対してノズルを所要量だけ昇降させて該ノズ
ルをロック機構によってハウジングに保持するようにし
ている。したがって、集光レンズの焦点位置を位置を変
更しても、ノズルと被加工物との間隔を一定に維持する
ことができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a processing head of a laser processing machine has a housing housing a condenser lens for condensing a laser beam, and a nozzle capable of being displaced relative to the housing along the optical axis of the laser beam. A method of adjusting the focal position of a condenser lens housed in a housing according to processing conditions such as a thickness and a material of a workpiece is known (for example, Japanese Patent Publication No. 2-57478, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 4-57478). No. 52096). In such a conventional apparatus, the nozzle is urged downward by a spring elastically mounted between the nozzle and the housing, and the nozzle is held at a required height position of the housing by a lock / unlock mechanism. When the focal position (height of the housing) of the condenser lens is changed according to the processing conditions of the workpiece, the nozzle is moved up and down by a required amount with respect to the housing, and the nozzle is moved to the housing by the lock mechanism. I keep it. Therefore, even if the focal position of the condenser lens is changed, the distance between the nozzle and the workpiece can be kept constant.

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、ハウジングにノズルを保持するためにロ
ック,アンロック機構を設けているので、加工ヘッドが
大型化するという欠点があった。しかも、集光レンズの
焦点位置を変更した際には、ノズルと被加工物との間隔
を一定にとするために、次のような調整作業を行ってい
た。すなわち、先ずロック,アンロック機構によるノズ
ルのロック状態を解除し、次にハウジングおよびノズル
を下降させて、該ノズルの下端を基準面となる被加工物
に当接させ、その後にロック,アンロック機構によって
ノズルをハウジングにロックし、最後にハウジングを上
昇させてノズルの下端を基準面から離隔させるという作
業過程でノズルの位置調整を行っていたものである。し
たがって、このような従来の装置では、ノズルの位置調
整に手間がかかるという欠点があった。
However, in the above-mentioned conventional apparatus, since the lock and unlock mechanisms are provided to hold the nozzle in the housing, there is a disadvantage that the working head becomes large. In addition, when the focal position of the condenser lens is changed, the following adjustment work is performed in order to keep the distance between the nozzle and the workpiece constant. That is, first, the locked state of the nozzle by the lock / unlock mechanism is released, then the housing and the nozzle are lowered, and the lower end of the nozzle is brought into contact with the workpiece serving as the reference plane. The mechanism adjusts the position of the nozzle in the process of locking the nozzle to the housing, and finally raising the housing to separate the lower end of the nozzle from the reference plane. Therefore, such a conventional apparatus has a disadvantage that it takes time to adjust the position of the nozzle.

【課題を解決するための手段】上述した事情に鑑み、本
発明は、レーザ光線を集光する集光レンズを収納したハ
ウジングと、このハウジングに摺動自在に嵌装されて該
ハウジングに対してレーザ光線の光軸に沿って相対変位
可能なノズルと、ハウジングとノズルとにわたって弾装
されてハウジングに対してノズルを一方向に付勢するば
ねと、上記ハウジングの外周部とノズルの内周面との間
に形成した圧力室と、上記圧力室に圧縮空気を供給して
上記ノズルをばねの付勢方向とは反対方向に付勢する圧
縮空気の供給源と、上記圧力室に供給する圧縮空気の圧
力を調整して、ハウジングに対するノズルの保持位置を
調整する調整手段とを備えるレーザ加工機の加工ヘッド
を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned circumstances, the present invention provides a housing containing a condenser lens for condensing a laser beam, and a housing slidably fitted to the housing and mounted on the housing. A nozzle that can be relatively displaced along the optical axis of the laser beam, a spring that is elastically mounted over the housing and the nozzle to bias the nozzle in one direction relative to the housing, an outer peripheral portion of the housing, and an inner peripheral surface of the nozzle A compressed air supply source for supplying compressed air to the pressure chamber to urge the nozzle in a direction opposite to the urging direction of the spring; An adjusting means for adjusting a pressure of air to adjust a holding position of a nozzle with respect to a housing is provided.

【作用】このような構成によれば、被加工物の板厚、材
質等の加工条件に応じて焦点レンズの焦点位置を変更し
たとき、すなわちハウジングと被加工物との間隔を変更
したときには、上記圧力室に所要の圧力の圧縮空気を供
給すれば、ばねの弾撥力と圧力室内に供給された圧縮空
気とがバランスする位置にノズルが停止して、そのまま
の位置にノズルを保持することができる。そのため、焦
点レンズの焦点位置と圧力室に供給する圧縮空気との関
係を予め決定しておけば、加工条件に応じて焦点レンズ
の焦点位置を変更しても、ノズルと被加工物との間隔を
一定にすることができる。また、従来、ノズルをハウジ
ングの所定位置に保持するために必要であったロック,
アンロック機構を省略することができる。したがって、
従来に比較して構成が簡単で、かつノズルの位置調整が
簡単な加工ヘッドを提供することができる。
According to such a configuration, when the focal position of the focus lens is changed in accordance with the processing conditions such as the plate thickness and the material of the workpiece, that is, when the distance between the housing and the workpiece is changed, If compressed air of a required pressure is supplied to the pressure chamber, the nozzle stops at a position where the resilience of the spring and the compressed air supplied to the pressure chamber are balanced, and the nozzle is held at the same position. Can be. Therefore, if the relationship between the focus position of the focus lens and the compressed air supplied to the pressure chamber is determined in advance, even if the focus position of the focus lens is changed in accordance with the processing conditions, the distance between the nozzle and the workpiece is changed. Can be kept constant. Further, a lock, which was conventionally required to hold the nozzle in a predetermined position of the housing,
The unlock mechanism can be omitted. Therefore,
It is possible to provide a processing head whose configuration is simpler than that of the related art and whose nozzle position is easily adjusted.

【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図1において、1はレーザ加工機の加工ヘッドであ
り、この加工ヘッド1は図示しない可動フレームに鉛直
下方に向けて取り付けられている。そして、可動フレー
ムがX方向に移動されることによって、加工ヘッド1も
X方向に移動することができる。また、加工ヘッド1は
図示しない昇降機構によって上記可動フレームに対して
昇降自在に設けられており、後述する制御装置によって
この昇降機構を制御して加工ヘッド1を昇降させるよう
になっている。それによって、加工テーブル2上の被加
工物3にレーザ光線Lを照射する際の集光レンズ4の焦
点位置を調整することができる。被加工物3を載置した
加工テーブル2は、上記X方向と直交するY方向に移動
可能となっているので、加工テーブル2と加工ヘッド1
とをXY方向に相対移動させることにより、被加工物3
に切断、穿孔等の所要のレーザ加工を施すことができ
る。加工ヘッド1は、上記可動フレームに昇降自在に設
けたハウジング5と、このハウジング5の下端外周に摺
動自在に嵌装したノズル6とから構成してあり、上記ハ
ウジング5の上方内周部に上記集光レンズ4を固定して
設けている。ハウジング5の所要位置には、アシストガ
スの供給通路5aを形成してあり、被加工物3にレーザ
光線Lを照射してレーザ加工を施す際に、この供給通路
5aを介してハウジング5内にアシストガスを供給する
ようにしている。その際には、ハウジング5の内部空間
およびノズル6の内部空間を介して被加工物3の加工位
置にアシストガスが供給されるようになっている。ハウ
ジング5における供給通路5aを設けた位置よりも下方
側は、下端部が縮径するテーパ部5bとしてあり、さら
にテーパ部5bにおける下端外周部は、下端部が小径と
なる段付筒状に形成している。すなわち、テーパ部5b
における最下方部は、小径外周部5cとしてあり、それ
から連続する上方部は、小径外周部5cよりも大径の大
径外周部5dとしている。また、それら両外周部5c,
5dの境界部は半径方向外方に膨出させて大径外周部5
dよりも大径のフランジ部5eとしてあり、これら両外
周部5c,5dおよびフランジ部5eに、ノズル6の内
周部を摺動自在に嵌装させている。一方、ノズル6は段
付筒状に形成してあり、その下方側小径部の内周面は、
レーザ光線Lおよびアシストガスが通過するテーパ孔6
aとしている。このテーパ孔6aよりも上方となる内周
部は、テーパ孔6aよりも拡径させた小径内周部6bと
してあり、また小径内周部6bから連続する上方内周部
は、該小径内周部6bよりも拡径させた大径内周部6c
としてあり、さらに大径内周部6cの上端は半径方向内
方に膨出させたストッパ部6dとしている。そして、こ
のノズル6における小径内周部6bをハウジング5の小
径外周部5cに、また大径内周部6cをハウジング5の
フランジ部5eに、さらにストッパ部6dをハウジング
5の大径外周部5dにそれぞれ摺動自在に嵌装させてい
る。これら各摺動部分の気密を保持するために、本実施
例では、上記ノズル6のストッパ部6d、ハウジング5
のフランジ部5eおよび小径外周部5cの所要位置にそ
れぞれシール部材7を装着している。このようにしてハ
ウジング5の下端部にノズル6を嵌装することによっ
て、ハウジング5の大径外周部5dないしフランジ部5
eおよび、それらに対向するノズル6の大径内周部6c
ないしストッパ部6dとによって筒状の空間が形成され
ており、この空間を構成するフランジ部5eとストッパ
部6dとにわたって所定のばね定数を備えた圧縮ばね8
を弾装している。この圧縮ばね8の弾撥力によって、上
記ノズル6はハウジング5に対して常時上方側にむけて
付勢されている。また、上記ハウジング5の小径外周部
5cないしフランジ部5eと、それらに対向するノズル
6の大径内周部6cとそれに隣接する段部端面とによっ
て、リング状の空間が形成されており、その空間を圧力
室9としている。圧力室9は、ノズル6に穿設した半径
方向の貫通孔6eおよびそれに接続した導管10とによ
って圧縮空気供給源13に接続してあり、したがって、
この圧縮空気供給源13から圧力室9に圧縮空気を供給
することができる。そして、圧力室9に圧縮空気を供給
した際には、その圧縮空気の圧力によって上記圧縮ばね
8の弾撥力に抗してノズル6を下方に付勢するようにな
っている。これに対して、圧力室9内に圧縮空気が供給
されていない状態では、上記圧縮ばね8によって上方に
付勢されたノズル6は、図1に示したストッパ部6dが
ハウジング5の大径外周部5dとテーパ部5bとの境界
部に当接した位置で停止している。さらに、上記導管1
0の途中には、電気信号に比例して空気圧を変化させる
レギュレータからなる圧力調整手段14を設けてあり、
この圧力調整手段14によって圧力室9に供給する圧縮
空気の圧力を調整することができる。本実施例では、被
加工物3の加工条件に応じて集光レンズの4の焦点位置
を変更した際には、その変更した集光レンズの4の焦点
位置に合わせて、ハウジング5に対してノズル6を所要
量だけ昇降させるようにしてあり、それによってノズル
6の下端部と被加工物3との間隔δを一定に維持するよ
うにしている。そのために、本実施例では、制御装置1
5に、予め被加工物3の板厚、材質等の加工条件に応じ
て最適な集光レンズ4の高さ(ハウジング5の高さ)を
記憶させるようにしている。また、それと同時に、被加
工物3とノズル6の下端との間隔δが一定となるよう
に、各加工条件の集光レンズ4の高さに対応して圧力室
9に供給すべき圧縮空気の圧力を制御装置15に記憶さ
せている。より詳細には、圧力室9に供給する圧縮空気
の圧力の大小によって、圧力室9内の圧縮空気がノズル
6を下方に付勢する付勢力と圧縮ばね8がノズル6を上
方に付勢する弾撥力とがバランスして停止する位置が決
まるので、上記各加工条件における集光レンズ4の高さ
(ハウジング5の高さ)に対応させて、被加工物3とノ
ズル6の下端との間隔δが一定となるような各加工条件
における圧力を制御装置15にあらかじめ記憶させるよ
うにしている。なお、上記圧縮ばね8を収納した空間
は、テーパ部5bに穿設した連通孔5fによってテーパ
部5bの内部空間に連通させてあり、そのため、テーパ
部5b内にアシストガスを供給した際には、上記連通孔
5fを介してアシストガスは圧縮ばね8を収納した空間
内にも導入される。そして、本実施例では、このアシス
トガスの供給時に、上記空間内に導入されたアシストガ
スによってノズル6を上方に付勢する付勢力と、アシス
トガスがノズル6のテーパ孔6aに作用してノズル6を
下方に付勢する付勢力とをバランスさせるようにしてい
るので、被加工物3の加工条件によって変化するアシス
トガスの圧力によるノズル6への影響を避けることがで
きる。以上の構成によれば、被加工物3の板厚、材質等
の加工条件を変更する際には、そのことを制御装置15
に入力すると、制御装置15は予め記憶したデータに基
づいて図示しない昇降機構によってハウジング5を所要
量だけ昇降させて、集光レンズ4を最適な焦点位置とな
る高さに位置させる。またそれと同時に、制御装置15
は、該集光レンズ4の位置に対応するように、予め記憶
した圧縮空気圧とノズル6の高さとに関するデータに基
づいて、圧力調整機構14に選択した圧縮空気圧を伝達
する。これにより、圧力調整手段14は、圧縮空気供給
源13から給送される圧縮空気の圧力を制御装置15か
ら伝達された所定圧力に調整するので、その所定圧力の
圧縮空気が圧力室9に供給される。これによって、圧力
室9の圧縮空気の圧力と圧縮ばね8による付勢力とがバ
ランスする位置までノズル6がハウジング対して昇降さ
れてから停止する。そして、そのままの圧力の圧縮空気
を圧力室9に供給することによって、ハウジング5にノ
ズル6を保持することができ、したがって、ノズル6の
下端と被加工物3との間隔δを一定に維持することがで
きる。このような本実施例によれば、被加工物3の板
厚、材料等の加工条件に応じて集光レンズ4の焦点位置
を変更した際には、その加工条件に対応してハウジング
5に対するノズル6の保持位置が自動的に調整され、し
たがって、加工条件を変更した際のノズル6の位置調整
作業をきわめて簡単に行うことができる。また、従来の
加工ヘッドは、ノズル6をハウジング5に固定するため
にロック,アンロック機構を設けていたので、その分だ
け加工ヘッドが大型化していたが、上述した本実施例に
よれば、そのようなロック,アンロック機構が必要ない
ので、従来に比較して加工ヘッド1の構成を簡略化する
ことができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiment. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a processing head of a laser processing machine, and the processing head 1 is attached to a movable frame (not shown) vertically downward. Then, by moving the movable frame in the X direction, the processing head 1 can also move in the X direction. The processing head 1 is provided so as to be able to move up and down with respect to the movable frame by a lifting mechanism (not shown). The control device described later controls this lifting mechanism to move the processing head 1 up and down. Thereby, the focal position of the condenser lens 4 when the workpiece 3 on the processing table 2 is irradiated with the laser beam L can be adjusted. Since the processing table 2 on which the workpiece 3 is mounted is movable in the Y direction orthogonal to the X direction, the processing table 2 and the processing head 1
Are relatively moved in the X and Y directions to obtain the workpiece 3
Required laser processing, such as cutting and drilling, can be performed. The processing head 1 comprises a housing 5 provided on the movable frame so as to be able to move up and down, and a nozzle 6 slidably fitted on the outer periphery of the lower end of the housing 5. The condenser lens 4 is fixedly provided. At a required position of the housing 5, an assist gas supply passage 5a is formed. When the workpiece 3 is irradiated with a laser beam L to perform laser processing, the assist gas is supplied into the housing 5 through the supply passage 5a. Assist gas is supplied. At that time, the assist gas is supplied to the processing position of the workpiece 3 via the internal space of the housing 5 and the internal space of the nozzle 6. The lower portion of the housing 5 below the position where the supply passage 5a is provided is a tapered portion 5b having a reduced diameter at the lower end. doing. That is, the tapered portion 5b
The lowermost portion in the above is a small-diameter outer peripheral portion 5c, and the continuous upper portion is a large-diameter outer peripheral portion 5d having a larger diameter than the small-diameter outer peripheral portion 5c. Further, both outer peripheral portions 5c,
The boundary portion 5d is bulged radially outward to form a large-diameter outer peripheral portion 5d.
The inner peripheral portion of the nozzle 6 is slidably fitted to the outer peripheral portions 5c and 5d and the flange portion 5e. On the other hand, the nozzle 6 is formed in a stepped cylindrical shape, and an inner peripheral surface of a lower small diameter portion thereof is
Tapered hole 6 through which laser beam L and assist gas pass
a. The inner peripheral portion above the tapered hole 6a is a small-diameter inner peripheral portion 6b which is larger in diameter than the tapered hole 6a, and the upper inner peripheral portion continuous from the small-diameter inner peripheral portion 6b is the small-diameter inner peripheral portion. Large-diameter inner peripheral part 6c which is larger in diameter than part 6b
The upper end of the large-diameter inner peripheral portion 6c is formed as a stopper portion 6d bulging radially inward. The small-diameter inner peripheral portion 6b of the nozzle 6 is connected to the small-diameter outer peripheral portion 5c of the housing 5, the large-diameter inner peripheral portion 6c is connected to the flange portion 5e of the housing 5, and the stopper portion 6d is connected to the large-diameter outer peripheral portion 5d of the housing 5. Are slidably fitted to each other. In this embodiment, in order to maintain the airtightness of each sliding portion, the stopper 6d of the nozzle 6 and the housing 5
The seal members 7 are mounted at required positions of the flange portion 5e and the small-diameter outer peripheral portion 5c. By fitting the nozzle 6 at the lower end of the housing 5 in this manner, the large-diameter outer peripheral portion 5d or the flange portion 5
e and the large-diameter inner peripheral portion 6c of the nozzle 6 facing them
A cylindrical space is formed by the stopper portion 6d and the compression spring 8 having a predetermined spring constant over the flange portion 5e and the stopper portion 6d constituting this space.
Is armed. Due to the elasticity of the compression spring 8, the nozzle 6 is always urged upward with respect to the housing 5. Further, a ring-shaped space is formed by the small-diameter outer peripheral portion 5c or the flange portion 5e of the housing 5, the large-diameter inner peripheral portion 6c of the nozzle 6 opposed thereto, and the step end face adjacent thereto. The space is a pressure chamber 9. The pressure chamber 9 is connected to a compressed air supply 13 by a radial through hole 6e drilled in the nozzle 6 and a conduit 10 connected thereto, and
Compressed air can be supplied from the compressed air supply source 13 to the pressure chamber 9. When compressed air is supplied to the pressure chamber 9, the pressure of the compressed air urges the nozzle 6 downward against the elasticity of the compression spring 8. On the other hand, when the compressed air is not supplied into the pressure chamber 9, the nozzle 6 urged upward by the compression spring 8 causes the stopper 6 d shown in FIG. It stops at a position where it contacts the boundary between the portion 5d and the tapered portion 5b. Further, the conduit 1
In the middle of 0, there is provided a pressure adjusting means 14 composed of a regulator that changes the air pressure in proportion to the electric signal,
The pressure of the compressed air supplied to the pressure chamber 9 can be adjusted by the pressure adjusting means 14. In this embodiment, when the focal position of the condenser lens 4 is changed in accordance with the processing conditions of the workpiece 3, the housing 5 is moved in accordance with the changed focal position of the condenser lens 4. The nozzle 6 is moved up and down by a required amount, so that the distance δ between the lower end of the nozzle 6 and the workpiece 3 is kept constant. For this purpose, in the present embodiment, the control device 1
5 stores in advance the optimum height of the condenser lens 4 (the height of the housing 5) according to the processing conditions such as the plate thickness and the material of the workpiece 3. At the same time, the compressed air to be supplied to the pressure chamber 9 corresponding to the height of the condensing lens 4 under each processing condition so that the distance δ between the workpiece 3 and the lower end of the nozzle 6 becomes constant. The pressure is stored in the control device 15. More specifically, the pressure of the compressed air supplied to the pressure chamber 9 causes the compressed air in the pressure chamber 9 to urge the nozzle 6 downward, and the compression spring 8 urges the nozzle 6 upward. Since the stop position is determined by balancing the repelling force, the position of the workpiece 3 and the lower end of the nozzle 6 corresponding to the height of the condenser lens 4 (height of the housing 5) under each of the above processing conditions is determined. The pressure under each processing condition such that the interval δ is constant is stored in the control device 15 in advance. The space accommodating the compression spring 8 is communicated with the internal space of the tapered portion 5b by a communication hole 5f formed in the tapered portion 5b. Therefore, when the assist gas is supplied into the tapered portion 5b, The assist gas is also introduced into the space accommodating the compression spring 8 through the communication hole 5f. In the present embodiment, when the assist gas is supplied, the urging force for urging the nozzle 6 upward by the assist gas introduced into the space and the assist gas act on the tapered hole 6a of the nozzle 6 Since the urging force for urging the workpiece 6 downward is balanced, it is possible to avoid the influence on the nozzle 6 due to the pressure of the assist gas that changes depending on the processing conditions of the workpiece 3. According to the above configuration, when changing the processing conditions such as the thickness and the material of the workpiece 3, the change is performed by the control device 15.
Then, the control device 15 raises and lowers the housing 5 by a required amount by an elevating mechanism (not shown) based on data stored in advance, and positions the condenser lens 4 at a height where an optimum focal position is obtained. At the same time, the control device 15
Transmits the selected compressed air pressure to the pressure adjusting mechanism 14 based on the data on the compressed air pressure and the height of the nozzle 6 stored in advance so as to correspond to the position of the condenser lens 4. Thereby, the pressure adjusting means 14 adjusts the pressure of the compressed air supplied from the compressed air supply source 13 to the predetermined pressure transmitted from the control device 15, so that the compressed air of the predetermined pressure is supplied to the pressure chamber 9. Is done. As a result, the nozzle 6 is moved up and down with respect to the housing to a position where the pressure of the compressed air in the pressure chamber 9 and the urging force of the compression spring 8 are balanced, and then stopped. The nozzle 6 can be held in the housing 5 by supplying the compressed air of the same pressure to the pressure chamber 9, and therefore, the distance δ between the lower end of the nozzle 6 and the workpiece 3 is kept constant. be able to. According to this embodiment, when the focal position of the condenser lens 4 is changed according to the processing conditions such as the thickness of the workpiece 3 and the material, the housing 5 is moved in accordance with the processing conditions. The holding position of the nozzle 6 is automatically adjusted, so that the operation of adjusting the position of the nozzle 6 when the processing conditions are changed can be performed extremely easily. Further, the conventional processing head is provided with a lock and unlock mechanism for fixing the nozzle 6 to the housing 5, so that the processing head becomes larger by that amount. Since such a lock and unlock mechanism is not required, the configuration of the processing head 1 can be simplified as compared with the related art.

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較すると構成が簡単で、かつノズルの位置調整が簡単
な加工ヘッドを提供できるという効果が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a processing head having a simpler structure and a simpler nozzle position adjustment than the conventional one.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す概略の構成図FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 加工ヘッド 3 被加工物 5 ハウジン
グ 6 ノズル 8 圧縮ばね 9 圧力室 13 圧縮空気供給源 14 圧力調整手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing head 3 Workpiece 5 Housing 6 Nozzle 8 Compression spring 9 Pressure chamber 13 Compressed air supply source 14 Pressure adjusting means

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レーザ光線を集光する集光レンズを収納
したハウジングと、このハウジングに摺動自在に嵌装さ
れて該ハウジングに対してレーザ光線の光軸に沿って相
対変位可能なノズルと、ハウジングとノズルとにわたっ
て弾装されてハウジングに対してノズルを一方向に付勢
するばねと、上記ハウジングの外周部とノズルの内周面
との間に形成した圧力室と、上記圧力室に圧縮空気を供
給して上記ノズルをばねの付勢方向とは反対方向に付勢
する圧縮空気の供給源と、上記圧力室に供給する圧縮空
気の圧力を調整して、ハウジングに対するノズルの保持
位置を調整する圧力調整手段とを備えることを特徴とす
るレーザ加工機の加工ヘッド。
1. A housing housing a condenser lens for condensing a laser beam, a nozzle slidably fitted in the housing and capable of being displaced relative to the housing along the optical axis of the laser beam. A spring that is elastically mounted over the housing and the nozzle and urges the nozzle in one direction with respect to the housing; a pressure chamber formed between an outer peripheral portion of the housing and an inner peripheral surface of the nozzle; A compressed air supply source for supplying compressed air to urge the nozzle in a direction opposite to a spring urging direction, and adjusting a pressure of the compressed air supplied to the pressure chamber to hold the nozzle with respect to the housing. And a pressure adjusting means for adjusting the pressure of the laser beam.
JP4254005A 1992-08-28 1992-08-28 Processing head of laser processing machine Expired - Fee Related JP2743734B2 (en)

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