JP2734574B2 - Substrate positioning device in thick film printing process - Google Patents
Substrate positioning device in thick film printing processInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は厚膜印刷工程における基板の位置決め装置に
係り、殊に基板を表裏反転して、基板の両面にパターン
を印刷する厚膜印刷工程に有利な基板の位置決め装置に
関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus for positioning a substrate in a thick film printing process, and more particularly to a thick film printing process for printing a pattern on both surfaces of a substrate by turning the substrate upside down. The present invention relates to a substrate positioning device which is advantageous to the above.
（従来の技術） 基板に電子部品を実装するに先立って行われる厚膜印
刷は、印刷パターンの位置ずれを極小に抑えるために、
きわめて高い印刷精度が要求される。したがって基板を
正確に位置決めしたうえで印刷を行う必要があり、この
ため基板は、直交する２辺を位置決め基準辺として、ロ
ーラのような、クランプ部材を押接して厳密に位置決め
される。(Prior art) Thick film printing, which is performed prior to mounting electronic components on a board, is performed in order to minimize the displacement of the printed pattern.
Extremely high printing accuracy is required. Therefore, it is necessary to perform printing after accurately positioning the substrate. For this reason, the substrate is strictly positioned by pressing a clamp member such as a roller with two orthogonal sides as positioning reference sides.
ところで、基板の両面に電子部品が実装できるよう
に、基板の表裏両面にパターンを印刷し、基板に穿孔さ
れたスルーホールから、印刷されたパターンを吸引手段
により吸引して表裏両面の印刷パターンを接続すること
が行われている。By the way, so that electronic components can be mounted on both sides of the board, a pattern is printed on both the front and back sides of the board, and the printed pattern is sucked by suction means from the through holes drilled in the board to form the printed pattern on both the front and back sides. Connecting has been done.
（発明が解決しようとする課題） 上記のような両面印刷は、先づ基板の表面にパターン
を印刷した後、基板を表裏反転させて基板の裏面にパタ
ーンを印刷する。この場合、表面印刷時と裏面印刷時に
は、それぞれ厳密な位置決めが必要であり、位置決めに
狂いがあると、表面のパターンと裏面のパターンに位置
ずれを生じ、スルーホールから吸引しても、表面のパタ
ーンと裏面のパターンを接続できないこととなる。(Problems to be Solved by the Invention) In the double-sided printing as described above, after a pattern is first printed on the front surface of a substrate, the substrate is turned over and the pattern is printed on the back surface of the substrate. In this case, strict positioning is required at the time of printing on the front side and printing on the back side, respectively.If the positioning is not correct, a misalignment occurs between the pattern on the front side and the pattern on the back side. The pattern and the pattern on the back cannot be connected.
ところが従来の基板の位置決め装置は、位置決め基準
となるクランプ部材は、基板の表面側の２辺に対応する
２ケ所にだけ設けられていたため、表面側に印刷する場
合と、基板を反転させて裏面側に印刷する場合とで位置
ずれを生じやすく、したがって上記のようにスルーホー
ルからの吸引を行っても、表面のパターンと裏面のパタ
ーンを接続できない場合を生じやすい問題があった。However, in the conventional substrate positioning apparatus, the clamping member serving as a positioning reference is provided only at two locations corresponding to the two sides on the front side of the substrate. There is a problem that misregistration is likely to occur when printing on the side, and even when suction from the through holes is performed as described above, a pattern on the front surface and a pattern on the back surface cannot be connected.
したがって本発明は、基板の表面側だけでなく、裏面
反転させて裏面側の場合も、厳密に位置決めすることが
できる基板の位置決め装置を提供することを目的とす
る。Therefore, an object of the present invention is to provide a substrate positioning device capable of precisely positioning not only the front surface side of the substrate but also the back surface by turning the back surface.
（課題を解決するための手段） このために本発明は、基板ホルダーに開口された基板
の位置決め用開口部の周囲の基板の４辺に対応する位置
に、基板の各辺と直交する方向に前進後退し、クランプ
部材を基板の各辺に押接することによりこの基板を位置
決めするスライダを備えた第１乃至第４のクランプ部を
配設している。そして第１のクランプ部のスライダの前
進後退手段をカム装置にて構成し、第１のクランプ部に
対向する位置に設けられた第２のクランプ部のスライダ
の前進後退手段をエアシリンダにて構成し、互いに対向
する位置に設けられた第３及び第４のクランプ部のスラ
イダの前進後退手段を、カム装置とエアシリンダとから
構成している。(Means for Solving the Problems) For this purpose, the present invention provides a method for mounting a substrate in a direction orthogonal to each side of a substrate at positions corresponding to four sides of the substrate around a positioning opening of the substrate opened in the substrate holder. First to fourth clamp portions provided with sliders for positioning the substrate by moving forward and backward and pressing the clamp member against each side of the substrate are provided. The means for moving the slider forward and backward of the first clamp portion is constituted by a cam device, and the means for moving the slider forward and backward of the second clamp portion provided at a position facing the first clamp portion is constituted by an air cylinder. The means for moving the slider forward and backward of the third and fourth clamp portions provided at positions facing each other is composed of a cam device and an air cylinder.
（作用） 上記構成によれば、基板の表面側に印刷するときは、
基板の位置決め基準となる２辺は第１及び第３のクラン
プ部のクランプ部材が押接されて、正しく位置決めされ
る。また基板を反転させて裏面側に印刷するときは、上
記２辺は第１及び第４のクランプ部のクランプ部材に押
接されて、正しく位置決めされる。(Operation) According to the above configuration, when printing on the front side of the substrate,
The two sides serving as the positioning reference of the substrate are correctly pressed by the clamp members of the first and third clamp portions being pressed against each other. When the substrate is reversed and printing is performed on the back side, the two sides are pressed against the clamp members of the first and fourth clamp portions, and are correctly positioned.
（実施例） 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。Example Next, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は厚膜印刷工程における基板の位置決め装置の
底面図、第２図は側面図であって、１は基板ホルダーで
あり、その中央部には、基板Ｐの位置決め用開口部２が
略矩形状に開口されている。基板Ｐは、その４辺a,b,c,
dのうち、直交する２辺a,dがクランプ時の位置決め基準
辺となっている。基板Ｐには、スルーホールｈが穿孔さ
れており、基板Ｐの表面と裏面に印刷されたパターン
は、それぞれの印刷直後に吸引手段により吸引すること
により、このスルーホールｈを通して接続される。第２
図に示すように、基板Ｐは台板３上に設けられた支持ボ
ックス４上に載置されており、カム５が回転することに
より、ボックス４は昇降する。６はボックス４に接続さ
れたパイプ、７は吸引装置であって、このパイプ６を通
してボックス４内のエアを吸引することにより、基板Ｐ
をボックス４上に吸着固定し、また基板Ｐの上面に印刷
されたパターンをスルーホールｈから吸引する。40は印
刷用のパターンマスク、41はスキージである。FIG. 1 is a bottom view of a substrate positioning device in a thick film printing process, FIG. 2 is a side view, and 1 is a substrate holder. It has a rectangular opening. The substrate P has four sides a, b, c,
Of d, two orthogonal sides a and d are positioning reference sides at the time of clamping. A through hole h is formed in the substrate P, and the patterns printed on the front surface and the back surface of the substrate P are connected through the through hole h by being sucked by the suction means immediately after each printing. Second
As shown in the figure, the substrate P is placed on a support box 4 provided on the base plate 3, and the box 4 moves up and down as the cam 5 rotates. Reference numeral 6 denotes a pipe connected to the box 4, and reference numeral 7 denotes a suction device.
Is fixed on the box 4 by suction, and the pattern printed on the upper surface of the substrate P is sucked from the through hole h. 40 is a pattern mask for printing, and 41 is a squeegee.
第１図において、開口部２の周囲の基板Ｐの４辺に対
応する位置には、第１乃至第４のクランプ部11〜14が配
設されている。第１のクランプ部11は、スライダ15の背
後に板カム16とエアシリンダ17から成るカム装置18を配
設して構成されている。スライダ15の前部にはクランプ
部材となる２個のクランプ用ローラ19,19が装着されて
いる。またシリンダロッド17aの先端のローラ22が板カ
ム16に押接されるように、スライダ15はばね材20により
後方に付勢されている。シリンダロッド17aが突没する
と、スライダ15はガイド材21に沿って上記基板Ｐの辺ａ
と直交する方向に前進後退する。In FIG. 1, first to fourth clamp portions 11 to 14 are provided at positions corresponding to four sides of the substrate P around the opening 2. The first clamp portion 11 is configured by disposing a cam device 18 including a plate cam 16 and an air cylinder 17 behind the slider 15. At the front of the slider 15, two clamping rollers 19, 19 serving as clamping members are mounted. The slider 15 is urged rearward by a spring member 20 so that the roller 22 at the tip of the cylinder rod 17a is pressed against the plate cam 16. When the cylinder rod 17a protrudes and retracts, the slider 15 moves along the guide member 21 on the side a of the substrate P.
Forward and backward in a direction orthogonal to.
第２のクランプ部12は、第１のクランプ部11と対向す
る位置にあり、クランプ用ローラ19が装着されたスライ
ダ25と、このスライダを前進後退させるエアシリンダ26
から成っている。第１及び第２のクランプ部11,12はＹ
−Ｙ線上にあり、シリンダ26が駆動してスライダ25が前
進することにより、第１のクランプ部11のローラ19,19
と第２のクランプ部12のローラ19とにより、基板Ｐを両
側部から挟持してクランプする。The second clamp portion 12 is located at a position facing the first clamp portion 11, and has a slider 25 on which a clamping roller 19 is mounted, and an air cylinder 26 for moving the slider forward and backward.
Consists of The first and second clamp portions 11, 12 are Y
The cylinder 19 is driven and the slider 25 moves forward, so that the rollers 19 and 19 of the first clamp portion 11
The substrate P is clamped while being clamped from both sides by the roller 19 of the second clamp unit 12.
第３のクランプ部13と第４のクランプ部14は同一構造
であって、Ｘ−Ｘ線上に互いに対向して配設されてい
る。なおＸ−Ｘ線が基板Ｐの搬送方向である。28はベー
ス板、29はベース板28上に配設されたスライダ30,31は
基板28とスライダ29を前進後退を案内するガイド材であ
る。32はスライダ29の背後に設けられた板カム33とエア
シリンダ34から成るカム装置であって、エアシリンダ34
のロッドが突没すると、スライダ29を載せたベース板28
はばね材35のばね力に抗して前進する。36,36はベース
板28上のスライダ29の両側部に設けられたエアシリンダ
であって、そのロッドが突没することにより、スライダ
29をベース板28上をスライドさせて前進後退させる。し
たがって第３及び第４のクランプ部13,14のスライダ29
は、カム装置32若しくはシリンダ36,36の何れの手段に
よっても前進後退することができる。The third clamp portion 13 and the fourth clamp portion 14 have the same structure, and are disposed facing each other on the line XX. Note that the line XX is the transport direction of the substrate P. Reference numeral 28 denotes a base plate, and 29 denotes sliders and 31 provided on the base plate 28, and guide members for guiding the substrate 28 and the slider 29 forward and backward. Numeral 32 denotes a cam device comprising a plate cam 33 provided behind the slider 29 and an air cylinder 34.
When the rod is pushed down, the base plate 28 on which the slider 29 is placed
Moves forward against the spring force of the spring material 35. Reference numerals 36, 36 denote air cylinders provided on both sides of the slider 29 on the base plate 28.
29 is slid on the base plate 28 to move forward and backward. Therefore, the sliders 29 of the third and fourth clamp portions 13 and 14
Can be moved forward and backward by any means of the cam device 32 or the cylinders 36,36.
上記のように各クランプ部11〜14は、カム装置18,32
とシリンダ25,36を使い分け使用することにより前進後
退させて、各ローラ19を基板Ｐの各辺ａ〜ｄに押接する
ようになっており、その理由は次の通りである。すなわ
ち、カム装置は厳密な位置決めが可能な特長を有する
が、クランプ力（ローラ19を基板Ｐに押当する力）を調
整しにくく、クランプ力が過大になると基板Ｐが破損さ
れやすい難点があるのに対し、シリンダは厳密な位置決
めは行いにくいが、エア圧を加減することによりクラン
プ力を調整しやすい特長を有している。したがってかか
るカム装置とシリンダのこのような特長に着眼し、基板
Ｐの基準辺（本実施例では辺a,d）には、厳密な位置決
めが可能なカム装置を駆動してローラ19を押接し、また
非基準辺（本実施例では辺b,c）には、クランプ力の調
整が可能なシリンダを駆動して、ローラ19を押接するも
のである。As described above, each of the clamp portions 11 to 14 is provided with a cam device 18, 32.
By using the cylinders 25 and 36 selectively, the rollers 19 are moved forward and backward to press the rollers 19 against the respective sides a to d of the substrate P for the following reason. That is, although the cam device has a feature that enables precise positioning, it is difficult to adjust the clamping force (the force pressing the roller 19 against the substrate P), and there is a problem that the substrate P is easily damaged when the clamping force is excessive. On the other hand, the cylinder is difficult to perform strict positioning, but has a feature that the clamping force can be easily adjusted by adjusting the air pressure. Therefore, focusing on such features of the cam device and the cylinder, the roller 19 is pressed against the reference side of the substrate P (sides a and d in this embodiment) by driving the cam device capable of strict positioning. The roller 19 is pressed against a non-reference side (sides b and c in this embodiment) by driving a cylinder capable of adjusting the clamping force.
第２図の部分拡大図に示すように、ローラ19の上部に
は、外方へ突出するつば部19aが形成されており、この
つば部19aが基板Ｐの各辺ａ〜ｄに押接してクランプす
る。このようにローラ19につば部19aを形成することに
より、ローラ19が支持ボックス４に当らないようにし、
支持ボックス４を基板Ｐの大きさに最大限近づけて、基
板Ｐの縁部に穿孔されたスルーホールｈからも、エアの
吸引ができるようにしている。As shown in the partial enlarged view of FIG. 2, a flange portion 19a is formed on the upper portion of the roller 19 so as to protrude outward. The flange portion 19a presses against each side a to d of the substrate P, and Clamp. By forming the flange 19a on the roller 19 in this way, the roller 19 is prevented from hitting the support box 4,
The support box 4 is made as close as possible to the size of the substrate P so that air can be sucked from the through holes h formed in the edge of the substrate P.
この装置は上記のような構成より成り、次に動作の説
明を行う。This device is configured as described above, and the operation will be described next.
基板Ｐがコンベヤ（図外）に搬送されて支持ボックス
４上に載せられると、吸引装置７が作動して基板Ｐを吸
着固定するとともに、カム５が回転して、基板Ｐを開口
部２に上昇させる。この場合、各クランプ部11〜14の各
ローラ19は、基板Ｐの縁部に当らないように後退してい
る。次に第１のクランプ部11のカム装置18のシリンダ17
が作動してスライダ15が前進し、そのローラ19が基準辺
ａに押接するとともに、第２のクランプ部12のシリンダ
26が作動してスライダ25が前進して、そのローラ19は非
基準辺ｃに押接し、したがって基板Ｐの対向する２辺a,
cは、第１及び第２のクランプ部11,12のローラ19により
挟持されるようにしてクランプされる。また第４のクラ
ンプ部14のカム装置32のシリンダ34が作動してスライダ
29を載せたベース板28が前進し、そのローラ19が基準辺
ｄに押接するとともに、第３のクランプ部13のシリンダ
36が作動してそのスライダ29はベース板28上を前進し
て、そのローラ19は非基準辺ｂに押接し、したがって基
板Ｐの２辺b,dは両クランプ部13,14のローラ19により挟
持されてクランプされる。上記動作において、基板Ｐの
位置決め基準辺となる２辺a,dに押接するローラ19は、
位置精度の高いカム装置18,32に駆動されて前進する
が、非基準辺b,cに押接するローラ19は、クランプ力を
エア圧により自由に調整できるシリンダ25,36により駆
動される。When the substrate P is conveyed to a conveyor (not shown) and placed on the support box 4, the suction device 7 operates to suction-fix the substrate P, and the cam 5 rotates to move the substrate P to the opening 2. To raise. In this case, each roller 19 of each of the clamp portions 11 to 14 is retracted so as not to hit the edge of the substrate P. Next, the cylinder 17 of the cam device 18 of the first clamp portion 11
Is actuated, the slider 15 advances, the roller 19 presses against the reference side a, and the cylinder of the second clamp portion 12
26 operates to move the slider 25 forward, so that the roller 19 presses against the non-reference side c, and therefore the two opposite sides a,
c is clamped so as to be sandwiched by the rollers 19 of the first and second clamp portions 11 and 12. In addition, the cylinder 34 of the cam device 32 of the fourth clamp portion 14 operates to move the slider.
The base plate 28 on which the plate 29 is mounted advances, the roller 19 presses against the reference side d, and the cylinder of the third clamp portion 13
When the slider 36 is operated, the slider 29 advances on the base plate 28, and the roller 19 presses against the non-reference side b. Therefore, the two sides b and d of the substrate P are moved by the rollers 19 of both the clamp portions 13 and 14. It is clamped by being pinched. In the above operation, the roller 19 that presses against the two sides a and d serving as the positioning reference sides of the substrate P is
The rollers 19, which are driven by the cam devices 18 and 32 with high positional accuracy and move forward, but press against the non-reference sides b and c, are driven by cylinders 25 and 36 whose clamping force can be freely adjusted by air pressure.
このようにして基板Ｐが開口部２に位置決めされたな
らば、スキージ41が摺動し基板Ｐの上面にパターンが印
刷される。次に各ローラ19は後退してクランプ状態は解
除され、支持ボックス４は下降するとともに、吸引装置
７による基板Ｐの吸引は停止され、基板Ｐはコンベヤ
（図外）により次の乾燥工程へ搬送されて、印刷された
パターンを乾燥焼成する。When the substrate P is positioned in the opening 2 in this manner, the squeegee 41 slides and a pattern is printed on the upper surface of the substrate P. Next, the rollers 19 are retracted to release the clamped state, the support box 4 is lowered, the suction of the substrate P by the suction device 7 is stopped, and the substrate P is transported to the next drying step by a conveyor (not shown). Then, the printed pattern is dried and fired.
乾燥焼成が終了すれば、基板Ｐは表裏反転されて、再
び支持ボックス４上へ搬送され、上記と同様にして、基
板Ｐの反対面にパターンが印刷され、吸引装置７の吸引
力により、スルーホールｈを通して表裏両面のパターン
は接続される。この場合、第３図に示すように、表裏反
転された基板Ｐの基準辺ａは、その位置に変更はないた
め、上述した表面印刷の場合と同様に、第１のクランプ
部11のローラ19により位置決めされるが、表裏反転され
て位置が変った基準辺ｄは、第３のクランプ部13のロー
ラ19に押接されて位置決めされる。この場合も、基準辺
a,dは厳密な位置決めが必要であり、したがって基準辺
ｄを位置決めする第３のクランプ部13のスライダ29はカ
ム装置32により駆動され、また非基準辺ｂを位置決めす
る第４のクランプ部14のスライダ29はシリンダ36,36に
より駆動される。このように本装置は、第３のクランプ
部13と第４のクランプ部14にはカム装置32とシリンダ36
を併設し、これらを使い分けることにより、基準辺ｄと
非基準辺ｂの位置決めを行うようにしているので、表裏
反転される基板Ｐの位置決めを正確に行うことができ
る。After the completion of the drying and baking, the substrate P is turned upside down, transported again to the support box 4, and a pattern is printed on the opposite surface of the substrate P in the same manner as described above. The patterns on both sides are connected through the hole h. In this case, as shown in FIG. 3, since the position of the reference side a of the substrate P, which has been turned upside down, does not change, the rollers 19 of the first clamp unit 11 are moved in the same manner as in the case of the front surface printing described above. The reference side d whose position has been changed by being turned upside down is pressed against the roller 19 of the third clamp portion 13 and positioned. Also in this case, the reference side
Strict positioning is required for a and d. Therefore, the slider 29 of the third clamp portion 13 for positioning the reference side d is driven by the cam device 32, and the fourth clamp portion 14 for positioning the non-reference side b. Is driven by cylinders 36, 36. As described above, the present device includes the cam device 32 and the cylinder 36 on the third clamp portion 13 and the fourth clamp portion 14.
The reference side d and the non-reference side b are positioned by properly using them, so that the substrate P, which is turned upside down, can be accurately positioned.
（発明の効果） 以上説明したように本発明は、基板ホルダーに開口さ
れた基板の位置決め用開口部の周囲の基板の４辺に対応
する位置に、基板の各辺と直交する方向に前進後退し、
クランプ用ローラを基板の各辺に押接することによりこ
の基板を位置決めするスライダを備えた第１乃至第４の
クランプ部を配設して基板の位置決め装置を構成し、か
つ第１のクランプ部のスライダの前進後退手段をカム装
置にて構成し、第１のクランプ部に対向する位置に設け
られた第２のクランプ部のスライダの前進後退手段をエ
アシリンダにて構成し、互いに対向する位置に設けられ
た第３及び第４のクランプ部のスライダの前進後退手段
をカム装置とエアシリンダとにより構成しているので、
基板の基準辺を位置精度の高いカム装置により駆動され
るクランプ部材により位置決めし、また非基準辺にはク
ランプ力の調整を行いやすいスリンダに駆動されるクラ
ンプ部材により位置決めして、表裏反転される基板の位
置決めを有利に行うことができる。(Effects of the Invention) As described above, the present invention moves forward and backward in a direction orthogonal to each side of the substrate at positions corresponding to the four sides of the substrate around the positioning opening of the substrate opened in the substrate holder. And
A first to fourth clamp units having sliders for positioning the substrate by pressing a clamping roller against each side of the substrate are provided to constitute a substrate positioning device, and the first clamp unit is provided with a first clamp unit. The forward and backward means of the slider is constituted by a cam device, and the forward and backward means of the slider of the second clamp portion provided at a position opposed to the first clamp portion is constituted by an air cylinder. Since the slider forward and backward means of the third and fourth clamp portions provided is constituted by the cam device and the air cylinder,
The reference side of the substrate is positioned by a clamp member driven by a cam device with high positional accuracy, and the non-reference side is positioned by a clamp member driven by a slender that facilitates adjustment of the clamping force, and is turned upside down. The positioning of the substrate can be advantageously performed.
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は位置
決め装置の底面図、第２図は側面図、第３図は基板を表
裏反転した場合の部分底面図である。 １……基板ホルダー ２……位置決め用開口 11……第１のクランプ部 12……第２のクランプ部 13……第３のクランプ部 14……第４のクランプ部 15,25,29……スライダ 18,32……カム装置 19……クランプ部材 26,36……シリンダ1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a bottom view of a positioning device, FIG. 2 is a side view, and FIG. 3 is a partial bottom view when a substrate is turned upside down. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate holder 2 ... Positioning opening 11 ... First clamp part 12 ... Second clamp part 13 ... Third clamp part 14 ... Fourth clamp part 15, 25, 29 ... Slider 18, 32 Cam device 19 Clamp member 26, 36 Cylinder
Claims (1)
用開口部の周囲の基板の４辺に対応する位置に、基板の
各辺と直交する方向に前進後退し、クランプ部材を基板
の各辺に押接することによりこの基板を位置決めするス
ライダを備えた第１乃至第４のクランプ部を配設して成
り、上記第１のクランプ部のスライダの前進後退手段が
カム装置から成り、第１のクランプ部に対向する位置に
設けられた上記第２のクランプ部のスライダの前進後退
手段がエアシリンダから成り、互いに対向する位置に設
けられた第３及び第４のクランプ部のスライダの前進後
退手段が、カム装置とエアシリンダとから成ることを特
徴とする厚膜印刷工程における基板の位置決め装置。An advancing / retreating member which moves forward and backward in a direction orthogonal to each side of the substrate at a position corresponding to four sides of the substrate around a positioning opening of the substrate opened in the substrate holder; A first to a fourth clamp portion provided with a slider for positioning the substrate by pressing against the first clamp portion, wherein the slider advance / retreat means of the first clamp portion comprises a cam device, and The means for moving the slider of the second clamp provided at a position facing the clamp comprises an air cylinder, and means for moving the slider of the third and fourth clamps provided at a position opposed to each other. Comprises a cam device and an air cylinder, wherein the substrate is positioned in a thick film printing process.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP29382888A JP2734574B2 (en) | 1988-11-21 | 1988-11-21 | Substrate positioning device in thick film printing process |
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| US7121199B2 (en) * | 2004-10-18 | 2006-10-17 | Speedline Technologies, Inc. | Method and apparatus for supporting and clamping a substrate |
-
1988
- 1988-11-21 JP JP29382888A patent/JP2734574B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02139239A (en) | 1990-05-29 |
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