JP2695556B2 - Method of manufacturing base material for optical fiber - Google Patents

Method of manufacturing base material for optical fiber

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JP2695556B2 JP3352013A JP35201391A JP2695556B2 JP 2695556 B2 JP2695556 B2 JP 2695556B2 JP 3352013 A JP3352013 A JP 3352013A JP 35201391 A JP35201391 A JP 35201391A JP 2695556 B2 JP2695556 B2 JP 2695556B2
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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ−用母材の製
造方法、特には伝送損失の低い光ファイバ−を与える光
ファイバ−用母材の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform, and more particularly to a method for manufacturing an optical fiber preform that provides an optical fiber with low transmission loss.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバ−用母材は通常四塩化けい素
などのけい素化合物を酸水素火炎中で火炎加水分解さ
せ、ここに発生したシリカ微粉を回転している石英ガラ
スなどの担体上に堆積させて多孔質ガラス母材としたの
ち、これを透明ガラス化することによって作られている
が、この多孔質ガラス母材については透明ガラス化する
前に脱水焼結することが必要とされており、この脱水焼
結は通常脱水剤としての塩素ガス(Cl2ガス)の存在下で
行なわれている。
2. Description of the Related Art A base material for an optical fiber is usually obtained by subjecting a silicon compound such as silicon tetrachloride to flame hydrolysis in an oxyhydrogen flame, and producing fine silica powder on a carrier such as rotating quartz glass. It is made by depositing on a porous glass base material and then making it into a transparent glass.This porous glass base material needs to be dehydrated and sintered before it becomes a transparent glass. The dehydration sintering is usually performed in the presence of chlorine gas (Cl 2 gas) as a dehydrating agent.

【0003】この塩素ガスは腐蝕性が極めて強いもので
あることから、鉄鋼製のボンベなどの容器中に液化され
た状態で封入されているが、このボンベについては高圧
ガス取締法によって特別に大きな腐れしろの厚さが指定
されており、これは内容積が1,000 リットル以下のもの
で3mm、 1,000 リットルを越えるものは5mmとされてい
る。
Since this chlorine gas is extremely corrosive, it is enclosed in a liquefied state in a container such as a steel cylinder, but this cylinder is particularly large due to the high pressure gas control method. The thickness of the rotting margin is specified, which is 3 mm when the internal volume is 1,000 liters or less and 5 mm when the internal volume exceeds 1,000 liters.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この鉄鋼製の
容器中に充填されている液状塩素には通常、この塩素に
溶出した各種重金属の塩化物が濃度として数ppb から数
ppm のオ−ダ−で混入されているために、このような塩
素ガスを多孔質ガラス母材の脱水剤として使用すると多
孔質ガラス母材がこの重金属の塩化物で汚染され、した
がってこれから作られた光ファイバ−用母材から作られ
た光ファイバ−は伝送損失の大きいものになるという不
利が与えられる。
However, in the liquid chlorine filled in the steel container, chlorides of various heavy metals eluted in the chlorine are usually contained in concentrations of several ppb to several ppb.
Due to the ppm order of contamination, the use of such chlorine gas as a dehydrating agent for the porous glass matrix contaminates the porous glass matrix with chlorides of this heavy metal and is therefore made from it. However, the optical fiber made of the base material has a disadvantage that the transmission loss is large.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した光ファイバー用母材の製造方法に関するもの
であり、これは金属容器よりこれに充填されている塩素
を供給してなる塩素含有雰囲気で多孔質ガラス母材を脱
水焼結し、ついで透明ガラス化して光ファイバー用母材
を製造する方法において、該金属容器中の残存塩素量を
容器が内容積1,000 リットル以下のものについては3kg
以上、内容積1,000 リットル以上のものについては5kg
以上に重量管理してなることを特徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method for producing a base material for an optical fiber which solves such disadvantages, and it contains chlorine filled in a metal container to supply chlorine contained therein. In a method for producing a base material for an optical fiber by subjecting a porous glass base material to dehydration sintering in an atmosphere and then making it into a transparent glass, the residual chlorine content in the metal container is measured.
3 kg for containers with an internal volume of 1,000 liters or less
5kg for items with an internal volume of 1,000 liters or more
It is characterized in that the weight is managed as described above .

【0006】すなわち、本発明者らは多孔質ガラス母材
の塩素を利用する脱水焼結における重金属塩化物の混入
による不利を解決する方法について種々検討した結果、
重金属塩化物の蒸気圧が塩素の蒸気圧に比べて1/1,000
以下であることから、容器中の塩素は使用開始直後は事
実上重金属塩化物がこれに混入することはなく、この重
金属塩化物の塩素ガスへの混入は塩素ガスの使用によっ
て容器中の液化塩素が減少してゆくにしたがってこれに
含有されている重金属塩化物が徐々に濃縮され、ある限
界を越えたときに重金属塩化物が塩素に混入されるよ
になるということを見出し、したがってこの塩素への重
金属塩化物の混入を防止するためには容器中における塩
素の残量を、容器が内容積1,000 リットル以下のものに
ついては3kg以上、内容積1,000 リットル以上のものに
ついては5kg以上に重量管理すればよいということを確
認して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述す
る。
That is, the present inventors have conducted various studies as a result of various studies on a method for solving the disadvantage due to the incorporation of heavy metal chloride in dehydration sintering using chlorine of the porous glass base material,
The vapor pressure of heavy metal chloride is 1 / 1,000 compared to the vapor pressure of chlorine.
From the following, chlorine in the container is virtually free of heavy metal chlorides immediately after the start of use, and this heavy metal chloride is mixed with chlorine gas by using liquefied chlorine in the container due to the use of chlorine gas. found that but is reduced heavy metal chlorides contained in the accordingly Yuku been gradually concentrated, heavy metal chlorides is <br/> cormorants I is mixed into chlorine when exceeding a certain limit Therefore, in order to prevent the mixing of heavy metal chloride into this chlorine, the chlorine remaining amount in the container should be 1,000 L or less.
About 3kg or more, with an internal volume of 1,000 liters or more
As a result, the present invention was completed after confirming that the weight should be controlled to 5 kg or more . This will be described in more detail below.

【0007】[0007]

【作用】本発明は伝送損失の低い光ファイバを生産す
ることのできる光ファイバー用母材の製造方法に関する
ものであり、これは外付け法などで作られた多孔質ガラ
ス母材を塩素の存在下で脱水焼結するに際し、金属容器
に充填されている塩素の残存塩素量を、容器が内容積1,
000 リットル以下のものについては3kg以上、内容積1,
000 リットル以上のものについては5kg以上に重量管理
することを特徴とするものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber over preform capable of producing low optical Fiber transmission loss, which chlorine was made of such as an external method porous glass preform When dehydrating and sintering in the presence of, the residual chlorine content of the chlorine filled in the metal container is calculated as follows :
For 000 liters or less, 3 kg or more, internal volume 1,
For 000 liters or more, the weight is controlled to 5 kg or more .

【0008】本発明による低い光ファイバ母材の製造は
四塩化けい素などのけい素化合物を酸水素火炎中で火炎
加水分解させ、ここに発生したシリカ微粉末を回転して
いる石英ガラスなどの担体上に堆積させて多孔質ガラス
母材を作り、この多孔質ガラス母材を金属容器に充填さ
れた塩素ガスを供給している塩素含有雰囲気中で脱水焼
結し、ついでこれを透明ガラス化することによって行な
われる。
The production of low optical fiber preforms according to the present invention involves flame hydrolysis of a silicon compound such as silicon tetrachloride in an oxyhydrogen flame, and the fine silica powder generated therein is used for spinning quartz glass or the like. A porous glass base material is made by depositing it on a carrier, and this porous glass base material is dehydrated and sintered in a chlorine-containing atmosphere in which a chlorine gas filled in a metal container is supplied, and then this is made into a transparent glass. It is done by doing.

【0009】しかし、この脱水焼結工程ではここに使用
される塩素ガスが鉄鋼製のボンベなどのような金属容器
に充填されたもので、これにはこの塩素ガスが腐蝕性の
強いものであることから金属容器が浸蝕され、その結
果、この塩素ガスは重金属の塩化物を数ppb から数ppm
のオ−ダ−で含有したものとなり、脱水焼結に使用され
る塩素ガス中にこの重金属塩化物が混入すると多孔質ガ
ラス母材がこの重金属塩化物で汚染され、これが光ファ
イバ母材に混入されるとこれから作られる光ファイバの
伝送損失が大きくなるという不利がもたらされるおそれ
がある。
However, in this dehydration-sintering process, the chlorine gas used here is filled in a metal container such as a steel cylinder, and this chlorine gas is highly corrosive. As a result, the metal container is eroded, and as a result, this chlorine gas contains chlorides of heavy metals from several ppb to several ppm.
When the heavy metal chloride is mixed in the chlorine gas used for dehydration sintering, the porous glass preform is contaminated with the heavy metal chloride, and this is mixed in the optical fiber preform. If this is done, there is a risk that the transmission loss of the optical fiber to be manufactured will be large.

【0010】そのため、この塩素ガスの使用に当っては
この重金属塩化物が塩素ガス中に混入しないようにする
必要があるが、重金属塩化物の蒸気圧が塩素の蒸気圧の
1/1,000 以下であることから、この重金属塩化物の塩素
への混入は塩素ガスの使用によって容器中の液化塩素が
減少してこれに含有されている重金属塩化物が徐々に濃
縮され、これがある限界を越えたときに発生することが
見出されているので、この容器中に残存する塩素量を
容器が内容積1,000 リットル以下のものについては3kg
以上、内容積1,000 リットル以上のものについては5kg
以上に重量管理すればこの重金属塩化物の塩素への混入
はこれを防止できる。
Therefore, when using this chlorine gas, it is necessary to prevent this heavy metal chloride from mixing into the chlorine gas. However, the vapor pressure of the heavy metal chloride is not the vapor pressure of chlorine.
Since it is 1 / 1,000 or less, mixing of this heavy metal chloride into chlorine reduces the liquefied chlorine in the container by using chlorine gas, and the heavy metal chloride contained in this is gradually concentrated, which is since it has been found to occur when exceeding the limit, the amount of chlorine remaining in the container,
3 kg for containers with an internal volume of 1,000 liters or less
5kg for items with an internal volume of 1,000 liters or more
If the weight is controlled as described above, this heavy metal chloride can be prevented from being mixed with chlorine.

【0011】したがって、本発明ではこの重金属塩化物
の塩素への混入を防止するために容器中に残存する塩素
量を前記の範囲以上とするのであるが、この容器内に残
存する塩素量の管理は圧力を測定する方法あるいは重量
を計測することによって行えばよいが、この圧力測定に
よる場合にはこの圧力が周囲の温度の影響を受けるこ
と、また塩素ガスの蒸発速度の影響を受けることから、
所定の圧力で塩素の使用を停止しても、実際に容器中に
残存している液化塩素量には大きなバラツキがでる。
Therefore, in the present invention, the amount of chlorine remaining in the container is set to be in the above range or more in order to prevent the incorporation of the heavy metal chloride into chlorine. Control of the amount of chlorine remaining in the container is required. bur has yo be performed by measuring a method or weight measuring pressure, in the case of pressure measurements of this that this pressure is affected by the temperature of the surrounding, also being affected by the evaporation rate of the chlorine gas From
Even if the use of chlorine is stopped at a predetermined pressure, the amount of liquefied chlorine actually remaining in the container varies widely.

【0012】したがって、この容器に残存する塩素量の
管理は重量管理することが必要で、これは実験の結果、
容器が内容積1,000 リットル以下のものについては3kg
以上、これが内容積1,000 リットル以上のものについて
は5kg以上とすることがよく、このようにすれば容器か
ら出る塩素ガス重金属塩化物が混入されることがないの
で、このようにして作られた光ファイバ母材からの線
引ききで得られた光ファイバの損失抵抗は0.35 dB/km
以下となり、特にこれが大きくなることはないという有
利性が与えられる。
Therefore, it is necessary to control the amount of chlorine remaining in this container by weight.
3 kg for containers with an internal volume of 1,000 liters or less
As mentioned above, it is preferable to set the weight to 5 kg or more for the one having an inner volume of 1,000 liters or more. In this way, the chlorine gas heavy metal chlorides from the container will not be mixed, so the light produced in this way fiber - drawing-out the resulting optical fiber from the preform - the loss resistance of 0.35 dB / miles
The following is given, with the advantage that it is not particularly large.

【0013】[0013]

【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例、比較例 VAD法により直径100mφ、長さ1,000mm 、密度0.25g/
cm3 のコア用多孔質ガラス母材を作り、これを鉄鋼製の
50kg入りボンベに充填した塩素ガスを3g/分、ヘリウム
ガスを2g/分で送入している反応炉中に入れ、1,200 ℃
で脱水焼結したのち、1,500 ℃で透明ガラス化してコア
用石英ガラスロッドを作製した。
Next, examples of the present invention and comparative examples will be described. Examples, Comparative Examples VAD method 100 mφ diameter, 1,000 mm length, density 0.25 g /
We made a porous glass base material for the core of cm 3 and made it from steel.
Chlorine gas filled in a 50 kg cylinder was placed at 3 g / min, and helium gas was fed at 2 g / min into a reaction furnace at 1,200 ° C.
After dehydration and sintering at 1, transparent glass was formed at 1,500 ° C to produce a quartz glass rod for core.

【0014】ついでこのコア用石英ガラスロッドにクラ
ッド用合成石英管をかぶせ、ロットインチュ−ブ法で光
ファイバ用母材を作り、これから1,900 ℃で線引きして
125μm の光ファイバを製出し、このものの波長1.3 μm
における位送損失を測定した。しかし、この場合、鉄
鋼製ボンベ中における残存塩素量を重量管理することと
し、これを7kg、 4kg、 3kg(実施例1,2,3)また
は0.5kg、0.3kg (比較例1,2)としたところ、得られ
た光ファイバの伝送損失は表1に示したとおりであり、
実施例の場合には0.35〜0.36 dB/kmと安定していたが、
比較例の場合には重金属塩化物が混入したために位送損
失は0.41〜0.57dB/km と高いものとなった。
Then, the quartz glass rod for the core is covered with a synthetic quartz tube for the clad, and a preform for an optical fiber is prepared by the lot-incubation method, and then drawn at 1,900 ° C.
A 125 μm optical fiber was produced and the wavelength of this product was 1.3 μm.
The transfer loss at was measured. However, in this case, the amount of residual chlorine in the steel cylinder is controlled by weight, and the amount is set to 7 kg, 4 kg, 3 kg (Examples 1, 2, 3) or 0.5 kg, 0.3 kg (Comparative Examples 1, 2). Then, the transmission loss of the obtained optical fiber is as shown in Table 1,
In the case of the example, it was stable at 0.35 to 0.36 dB / km,
In the case of the comparative example, since the heavy metal chloride was mixed, the transmission loss was as high as 0.41 to 0.57 dB / km.

【0015】[0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】[0016]

【発明の効果】本発明は前記したように金属容器よりこ
れを充填されている塩素を供給してなる塩素含有雰囲気
中で多孔質ガラス母材を脱水焼結し、ついで透明ガラス
化して光ファイバ用母材を製造する方法において、該
金属容器中の残存塩素量を、容器が内容積1,000 リット
ル以下のものについては3kg以上、内容積1,000 リット
ル以上のものについては5kg以上に重量管理するので、
これによれば容器中に存在している重金属塩化物が塩素
ガスに混入することがなくなり多孔質ガラス母材が重金
属塩化物で汚染されることがなく、したがってこれから
作られる光ファイバ用母材を線引きして得られる光フ
ァイバの伝送損失を安定して低く押えることができ、
品質のよい光ファイバを安定して得ることができると
いう有利性が与えられる。
As described above, according to the present invention, the porous glass base material is dehydrated and sintered in the chlorine-containing atmosphere in which chlorine is filled from the metal container, and then the glass material is transparentized into an optical fiber. -In the method of manufacturing a base metal for a container, the amount of residual chlorine in the metal container is determined by the internal volume of the container being 1,000 liters.
3kg or more and 1,000 liters in internal volume
For items over 5kg, we will control the weight to over 5kg ,
This without heavy metal chlorides that are present in the container is a porous glass preform no longer be incorporated into the chlorine gas is contaminated with heavy metals chlorides According, therefore now fiber-optic preform made transmission loss of the optical full <br/> Aiba chromatography obtained by drawing the stable to be able to suppress low,
Advantage is provided that can be stably obtained a good optical fiber over quality.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 磯部工場内 (72)発明者 神屋 和雄 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 磯部工場内 (56)参考文献 特開 平2−192426(JP,A) 特開 昭62−113717(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hideo Hirasawa, 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Isobe factory (72) Inventor, Kazuo Kamiya 2--13, Isobe, Annaka-shi, Gunma No. 1 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Isobe factory (56) Reference JP-A-2-192426 (JP, A) JP-A-62-113717 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】金属容器よりここに充填されている塩素を
供給してなる塩素含有雰囲気中で多孔質ガラス母材を脱
水焼結し、ついで透明ガラス化して光ファイバー用母材
を製造する方法において、該金属容器中の残存塩素量を
容器が内容積1,000 リットル以下のものについては3kg
以上、内容積1,000 リットル以上のものについては5kg
以上に重量管理してなることを特徴とする光ファイバー
用母材の製造方法。
1. A method for producing an optical fiber preform by dehydrating and sintering a porous glass preform in a chlorine-containing atmosphere in which chlorine is filled from a metal container and then making the glass into transparent glass. , The residual chlorine amount in the metal container
3 kg for containers with an internal volume of 1,000 liters or less
5kg for items with an internal volume of 1,000 liters or more
A method for manufacturing a base material for an optical fiber, characterized in that the weight is controlled as described above.
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