JP2691966B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

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JP2691966B2
JP2691966B2 JP6091208A JP9120894A JP2691966B2 JP 2691966 B2 JP2691966 B2 JP 2691966B2 JP 6091208 A JP6091208 A JP 6091208A JP 9120894 A JP9120894 A JP 9120894A JP 2691966 B2 JP2691966 B2 JP 2691966B2
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ultrasonic motor
fixed
vibrator
mode
rotor
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重正 佐藤
忠雄 高木
和男 袴田
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は超音波モータに関するも
のであり、特に、支持構造を有する超音波モータに関す
る。 【0002】 【従来の技術】従来、回転型の超音波モータとしては、
例えば特開昭 59-213286号公報に開示されたものがあ
る。すなわち、回転型の超音波モータは、同公報の明細
書と第2図に開示されているように、固定子であるリン
グ状弾性体の中立軸部材を複数のスプリングで支持し、
このスプリングの端部は回転子を支持するモータフレー
ムに固定されていた。 【0003】このスプリングを用いることにより、固定
子の振動を被回動体に効率よく伝達していた。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の回転
型の超音波モータでは、固定子の振動により固定子と複
数のスプリングとの間で騒音が発生するという問題点が
あった。 【0005】また、複数のスプリングをもちいるため、
超音波モータの構造が複雑になるという問題点があっ
た。 【0006】そこで、本発明では、固定子に相当する振
動子の振動による騒音が発生することなく、かつ、構造
が簡単な超音波モータを提供することを目的とする。 【0007】 【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めの本発明の要旨とするところは、電気機械変換素子に
よって励振される振動子と、前記振動子に生じる振動に
よって回動される回転子とを備えた超音波モータにおい
て、前記振動子は、前記回転子と加圧接触され、前記電
気機械変換素子によって励振されることで振動を発生す
る励振部と、該振動子を固定するための固定部と、前記
励振部を支持するために、前記励振部と前記固定部との
間に位置して前記励振部の振動を減衰させる薄板状の振
動減衰部とが一体に形成された構成を有していることを
特徴とする超音波モータに存する。 【0008】 【作用】振動子は、励振部と固定部とこれらの間に位置
する薄板状の振動減衰部とが一体に形成された構成を有
するので、振動子の振動による騒音が発生することがな
く、構造が複雑になることもない。 【0009】 【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。 【0010】第1図〜第4図は本発明の一実施例を示し
ており、第1図は超音波モータの斜視図、第3図は超音
波モータが組み込まれたレンズ鏡筒の縦断面図である。
第1図および第2図に示すように、超音波モータ1 は、
電気機械変換素子としての圧電体2 によって励振される
振動子の一部を構成し、該圧電体2 によって励振され表
面波を生じるリング状の励振部3 と、励振部3 に生じる
進行波によって回転するリング状の回転子4 と、緩衝材
5 および薄い円板6 を介して励振部3 を回転子4 に摩擦
接触させる付勢部材7 と、上記各部材 2〜7 を挾持すべ
く互いに連結された外筒8,9 とから構成されている。回
転子4 と外筒9 との間には、回転子4 が外筒9 に対して
円滑に回転できるようにボールベアリング10が介装され
ている。 【0011】励振部3 の内周面3aには振動減衰部11が一
体的に形成されており、かつ振動減衰部11には外筒8 の
支持部(レンズ鏡筒の固定部)8aの外周に嵌合した剛体
の固定部12が一体的に形成されている。振動減衰部11
は、励振部3 に生じる振動を減衰するためのもので、励
振部3 の振幅に対して振幅が十分小さくなるようなバネ
定数を有する形状に形成されている。 【0012】前記振動子は、前記励振部3 と、振動減衰
部11と、固定部12とを一体に形成することにより構成さ
れている。 【0013】回転子4 の筒部4aの内周面には光軸方向に
延びた係合溝4bが数ヶ所に形成されている。 【0014】上述したように、超音波モータ1 は一つの
アセンブリーとして組み立てられている。 【0015】次に、上記超音波モータ1 が組み込まれた
レンズ鏡筒13について第3図および第4図に基づいて説
明する。なお、第3図および第4図において超音波モー
タ1はその内部構造を略して示されている。 【0016】第3図に示すように、超音波モータ1 は、
外筒8 がレンズ鏡筒13の固定筒14に回動および摺動可能
にレンズ鏡筒13内に組み込まれている。 【0017】固定筒14は固定胴15に固定されており、固
定胴15にはマウント16が固定されている。固定胴15には
第2光学系L2を保持した固定レンズ枠17が固定されてい
る。固定レンズ枠17のヘリコイドネジ17a には移動レン
ズ枠18のヘリコイドネジ18aが噛み合っている。この移
動レンズ枠18には焦点整合用光学系(以下、第1光学系
と称す)L1が保持されている。移動レンズ枠18の外周に
は、超音波モータ1 の回転子4 の係合溝4bに嵌合する係
合部材たる係合突部18b が光軸方向に延びて数ケ所に形
成されている。移動レンズ枠18にはピン18c が固設され
ている。このピン18c に当接して移動レンズ枠18の回転
角(光軸方向の移動量)を制限するストッパ19が固定筒
14に固設されている。さらに、移動レンズ枠18の後端部
には被写体距離を示す表示部20a を有する目盛板20が固
定されている。この表示部20a の距離目盛は固定筒14に
設けられた窓部21を通して視認できる。 【0018】固定筒14の先端部には手動環22が回動可能
に支持されている。 【0019】固定筒14には、移動レンズ枠18が超音波モ
ータ1 の回動力によって駆動される自動モード(第3図
に示すモードで、以下Aモードと称す)と、手動環22の
回動力によって移動レンズ枠18が駆動される手動モード
(第4図に示すモードで、以下Mモードと称す)とに切
換える切換機構30が設けられている。 【0020】切換機構30のモードセレクタ31は、リング
状に形成されており、固定筒14の外周に摺動可能に嵌合
しており、Aモード位置とMモード位置との間で切換え
可能になっている。モードセレクタ31は固定筒14の長孔
14a に貫通したネジ32によって移動リング33に連結され
ている。この移動リング33は固定筒14と外筒8 との間で
光軸方向に摺動可能に配設されており、該移動リング33
と固定筒14との間には、移動リング33の端面が外筒8 の
被挾持部8b端面に当接させる方向に該移動リング33を付
勢するばね部材34が設けられている。該移動リング33と
外筒8 との間には円環35およびばね部材36が設けられて
いる。さらに、切換機構30には、モードセレクタ31をA
モード位置あるいはMモード位置に切換えた際に、各位
置でモードセレクタ31を係止するストッパ37が設けられ
ている。このストッパ37は、固定筒14の長孔14a に貫通
するとともに固定筒14の案内溝(図示省略)によって光
軸方向に摺動可能なピン部材37a で構成されている。こ
のピン部材37a はばね部材37b によって突出方向に付勢
されており、先端には係合部37c が形成されている。こ
の係合部37c は第3図のAモード位置では固定筒14の内
周面に当接し、第4図のMモード位置では前記不図示の
案内溝の端部に形成され係止穴14b に嵌入するようにな
っている。 【0021】なお、モードセレクタ31をAモード位置に
切換えた際には、自動焦点整合用の制御機構(不図示が
作動状態になって超音波モータ1 への電源の供給が可能
になり、モードセレクタ31をMモード位置に切換えた際
には、前記不図示の制御機構が不作動状態になって超音
波モータ1 への電源の供給が不能になるように構成され
ている。 【0022】なお、前記ばね部材34,36 は、第3図のA
モードにおいて移動レンズ枠18が超音波モータ1 の回動
力によって駆動される際に、外筒8 が固定筒14に対して
回転しないように外筒8 の被挾持部8bを固定筒14に圧接
させている。ばね部材36の付勢力は、第4図のMモード
において手動環22と外筒9 との接触面における摩擦力が
移動レンズ枠18を駆動する駆動力より大きくなるように
設定されている。 【0023】以下に動作を説明する。 【0024】第3図に示すようにモードセレクタ31をA
モード位置に切換えた際には、外筒8 の被挾持部8bはば
ね部材34,36 の付勢力によって固定筒14と移動リング33
との間で挾持されており、かつストッパ37の係合部37c
が固定筒14の内周面に当接することによってモードセレ
クタ31がAモード位置で係止されている。この時、前記
制御機構(不図示)が作動状態になっており、該制御機
構(不図示)によって超音波モータ1 へ電源が供給され
ると励振部3 に進行波が発生するので回転子4が光軸中
心に回転する。回転子4 は固定筒14および外筒8 に対
して回転することとなり、回転子4 の回転は係合溝4bと
係合突部18b との係合によって移動レンズ枠18に伝達さ
れる。移動レンズ枠18のヘリコイドネジ18a は固定レン
ズ枠17のヘリコイドネジ17a に螺合しているので、移動
レンズ枠18は回転しながら光軸方向に移動し、焦点整合
が成される。 【0025】なお、第3図のAモード位置では、超音波
モータ1 の外筒9 は手動環22から離している。 【0026】次に、第3図においてモードセレクタ31を
前方(図の左方)へMモード位置まで摺動させると、移
動リング33が同方向に摺動し、ばね部材34,36 が押し縮
められ、ばね部材36の付勢力によって円環35および外筒
8,9 が前方に変位し、外筒9が手動環22にばね部材36の
付勢力によって圧接される(第4図に示す状態)。この
ようにモードセレクタ31をMモード位置に切換えた際
に、ストッパ37の係合部37c はばね部材37b の付勢力に
よって固定筒14の係止穴14b に嵌入し、これによってモ
ードセレクタ31がMモード位置で係止される。この時、
前記制御機構(不図示)は不作動状態になっており、超
音波モータ1 には、電源は供給されない。 【0027】第4図の状態で手動環22を回動させると、
前記振動子は外筒8 に固定されているとともに振動子の
励振部3 は回転子4 に圧接されているので、手動環22の
回動は外筒9,外筒8,付勢部材7,薄い円板6,緩衝材5,励振
部3 および回転子4 が一体で回動することにより移動レ
ンズ枠18に伝達される。 【0028】そして、第4図のMモードにおいてストッ
パ37を押し込み、モードセレクタ31を後方(図の右方
9) へ摺動させると、モードセレクタ31が上記Aモード
位置に切換わる。 【0029】なお、上記実施例では、前記剛体の固定部
12を外筒8 の支持部8aに支持させたが、該剛体の固定部
12をレンズ鏡筒13側の支持部、例えば固定筒14に支持さ
せるように構成してもよいことは言うまでもない。 【0030】さらに、上記実施例において、剛体の固定
部12および外筒8 の支持部8aのいづれか一方に係合溝を
他方に該係合溝を係合する係合突部をそれぞれ設けれ
ば、振動子に強いトルクが加えられても該振動子が回転
してしまうことはない。 【0031】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、振動子
は、励振部と固定部とこれらの間に位置する薄板状の振
動減衰部とが一体に形成された構成を有するので、振動
子の振動による騒音が発生することがない。 【0032】また、励振部と固定部と振動減衰部とを一
体にして振動子を形成しているので、超音波モータの構
造が簡単である。 【0033】更に、旋盤により同時加工ができるので、
超音波モータ(振動子)を安価に製造することができ
る。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor, and more particularly to an ultrasonic motor having a support structure. [0002] Conventionally, as a rotary ultrasonic motor,
For example, there is one disclosed in JP-A-59-213286. That is, as disclosed in the specification of the publication and FIG. 2, the rotary ultrasonic motor supports a neutral shaft member of a ring-shaped elastic body, which is a stator, with a plurality of springs,
The end of this spring was fixed to the motor frame that supports the rotor. By using this spring, the vibration of the stator is efficiently transmitted to the rotated body. However, the rotary ultrasonic motor described above has a problem that noise is generated between the stator and a plurality of springs due to vibration of the stator. Since a plurality of springs are used,
There is a problem that the structure of the ultrasonic motor becomes complicated. Therefore, it is an object of the present invention to provide an ultrasonic motor having a simple structure which does not generate noise due to vibration of a vibrator corresponding to a stator. [0007] The gist of the present invention for achieving the above object is to provide a vibrator excited by an electromechanical conversion element and a vibrator rotated by the vibration generated in the vibrator. In an ultrasonic motor including a rotor, the vibrator fixes the vibrator by virtue of being in pressure contact with the rotor and generating vibration by being excited by the electromechanical conversion element. And a thin plate-shaped vibration damping portion, which is located between the excitation portion and the fixed portion and damps vibrations of the excitation portion, for integrally supporting the excitation portion. The ultrasonic motor is characterized by having the above configuration. Since the vibrator has a structure in which the exciting portion, the fixed portion, and the thin plate-shaped vibration damping portion located between them are integrally formed, noise due to the vibration of the vibrator is generated. It does not have any complicated structure. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 4 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of an ultrasonic motor, and FIG. 3 is a longitudinal section of a lens barrel incorporating the ultrasonic motor. It is a figure.
As shown in FIGS. 1 and 2, the ultrasonic motor 1 is
A part of a vibrator excited by the piezoelectric body 2 as an electromechanical conversion element constitutes a part of a vibrator, and is rotated by a ring-shaped exciting part 3 excited by the piezoelectric body 2 to generate a surface wave and a traveling wave generated in the exciting part 3. Ring-shaped rotor 4 and cushioning material
5 and a thin disk 6, and comprises a biasing member 7 for frictionally contacting the excitation part 3 with the rotor 4, and outer cylinders 8 and 9 connected to each other so as to hold each of the above members 2 to 7. There is. A ball bearing 10 is interposed between the rotor 4 and the outer cylinder 9 so that the rotor 4 can smoothly rotate with respect to the outer cylinder 9. A vibration damping portion 11 is integrally formed on the inner peripheral surface 3a of the excitation portion 3, and the vibration damping portion 11 has an outer periphery of a support portion (fixing portion for the lens barrel) 8a of the outer cylinder 8. The rigid fixing portion 12 fitted to the is integrally formed. Vibration damping unit 11
Is for damping the vibration generated in the excitation unit 3, and is formed in a shape having a spring constant such that the amplitude is sufficiently smaller than the amplitude of the excitation unit 3. The vibrator is constructed by integrally forming the excitation unit 3, the vibration damping unit 11, and the fixed unit 12. Engagement grooves 4b extending in the optical axis direction are formed at several locations on the inner peripheral surface of the cylindrical portion 4a of the rotor 4. As mentioned above, the ultrasonic motor 1 is assembled as one assembly. Next, the lens barrel 13 incorporating the ultrasonic motor 1 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. In FIGS. 3 and 4, the ultrasonic motor 1 is shown with its internal structure omitted. As shown in FIG. 3, the ultrasonic motor 1 is
An outer cylinder 8 is incorporated in the lens barrel 13 so as to be rotatable and slidable on a fixed barrel 14 of the lens barrel 13. The fixed barrel 14 is fixed to a fixed barrel 15, and a mount 16 is fixed to the fixed barrel 15. A fixed lens frame 17 holding the second optical system L2 is fixed to the fixed barrel 15. The helicoid screw 18a of the movable lens frame 18 meshes with the helicoid screw 17a of the fixed lens frame 17. The movable lens frame 18 holds a focus matching optical system (hereinafter referred to as a first optical system) L1. Engaging projections 18b, which are engaging members that fit into the engaging grooves 4b of the rotor 4 of the ultrasonic motor 1, are formed on the outer periphery of the movable lens frame 18 at several positions extending in the optical axis direction. A pin 18c is fixed to the movable lens frame 18. A stopper 19 that contacts the pin 18c and limits the rotation angle (movement amount in the optical axis direction) of the movable lens frame 18 is a fixed cylinder.
It is fixed to 14. Further, a scale plate 20 having a display section 20a showing the subject distance is fixed to the rear end of the movable lens frame 18. The distance scale of the display portion 20a can be visually recognized through the window portion 21 provided in the fixed barrel 14. A manual ring 22 is rotatably supported at the tip of the fixed barrel 14. In the fixed barrel 14, the moving lens frame 18 is driven by the turning force of the ultrasonic motor 1 (the mode shown in FIG. 3 and hereinafter referred to as A mode) and the turning force of the manual ring 22. There is provided a switching mechanism 30 for switching to a manual mode in which the moving lens frame 18 is driven by (the mode shown in FIG. 4 and hereinafter referred to as M mode). The mode selector 31 of the switching mechanism 30 is formed in a ring shape and is slidably fitted to the outer periphery of the fixed barrel 14 so that the mode selector 31 can be switched between the A mode position and the M mode position. Has become. The mode selector 31 is a long hole of the fixed cylinder 14.
It is connected to the moving ring 33 by a screw 32 penetrating the 14a. The moving ring 33 is arranged between the fixed cylinder 14 and the outer cylinder 8 so as to be slidable in the optical axis direction.
A spring member 34 for urging the moving ring 33 in a direction in which the end surface of the moving ring 33 contacts the end surface of the held portion 8b of the outer cylinder 8 is provided between the fixed cylinder 14 and the fixed cylinder 14. An annular ring 35 and a spring member 36 are provided between the moving ring 33 and the outer cylinder 8. Further, the switching mechanism 30 has a mode selector 31
A stopper 37 is provided for locking the mode selector 31 at each position when switching to the mode position or the M mode position. The stopper 37 is composed of a pin member 37a which penetrates the elongated hole 14a of the fixed barrel 14 and is slidable in the optical axis direction by a guide groove (not shown) of the fixed barrel 14. The pin member 37a is biased in the protruding direction by a spring member 37b, and an engaging portion 37c is formed at the tip. The engaging portion 37c abuts on the inner peripheral surface of the fixed barrel 14 in the A mode position of FIG. 3, and is formed in the end of the guide groove (not shown) in the locking hole 14b in the M mode position of FIG. It is designed to fit in. Incidentally, when the mode selector 31 is switched to the A mode position, a control mechanism for automatic focusing (not shown in the figure is activated so that power can be supplied to the ultrasonic motor 1, When the selector 31 is switched to the M mode position, the control mechanism (not shown) becomes inoperative so that power supply to the ultrasonic motor 1 is disabled. , The spring members 34 and 36 are the same as those shown in FIG.
In this mode, when the movable lens frame 18 is driven by the rotating force of the ultrasonic motor 1, the held portion 8b of the outer cylinder 8 is pressed against the fixed cylinder 14 so that the outer cylinder 8 does not rotate with respect to the fixed cylinder 14. ing. The urging force of the spring member 36 is set so that the frictional force at the contact surface between the manual ring 22 and the outer cylinder 9 in the M mode of FIG. 4 is larger than the driving force for driving the movable lens frame 18. The operation will be described below. As shown in FIG. 3, the mode selector 31 is set to A
When switched to the mode position, the held portion 8b of the outer cylinder 8 is fixed to the fixed cylinder 14 and the movable ring 33 by the urging force of the spring members 34 and 36.
And the engaging portion 37c of the stopper 37.
By contacting the inner peripheral surface of the fixed barrel 14, the mode selector 31 is locked at the A mode position. At this time, the control mechanism (not shown) is in an operating state, and when power is supplied to the ultrasonic motor 1 by the control mechanism (not shown), a traveling wave is generated in the excitation unit 3, so that the rotor 4 Rotates around the optical axis. The rotor 4 rotates with respect to the fixed cylinder 14 and the outer cylinder 8, and the rotation of the rotor 4 is transmitted to the movable lens frame 18 by the engagement between the engagement groove 4b and the engagement protrusion 18b. Since the helicoid screw 18a of the movable lens frame 18 is screwed into the helicoid screw 17a of the fixed lens frame 17, the movable lens frame 18 moves in the optical axis direction while rotating to achieve focus alignment. At the A mode position in FIG. 3, the outer cylinder 9 of the ultrasonic motor 1 is separated from the manual ring 22. Next, in FIG. 3, when the mode selector 31 is slid forward (to the left in the figure) to the M mode position, the moving ring 33 slides in the same direction, and the spring members 34, 36 are compressed. And the ring 35 and the outer cylinder by the biasing force of the spring member 36.
8, 9 are displaced forward, and the outer cylinder 9 is pressed against the manual ring 22 by the urging force of the spring member 36 (state shown in FIG. 4). In this way, when the mode selector 31 is switched to the M mode position, the engaging portion 37c of the stopper 37 is fitted into the locking hole 14b of the fixed barrel 14 by the urging force of the spring member 37b, whereby the mode selector 31 is moved to the M mode. Locked in mode position. At this time,
The control mechanism (not shown) is in the inoperative state, and the ultrasonic motor 1 is not supplied with power. When the manual ring 22 is rotated in the state shown in FIG. 4,
Since the vibrator is fixed to the outer cylinder 8 and the excitation part 3 of the vibrator is pressed against the rotor 4, the rotation of the manual ring 22 is caused by the outer cylinder 9, the outer cylinder 8, the biasing member 7, The thin disc 6, the cushioning member 5, the excitation unit 3, and the rotor 4 rotate together to be transmitted to the movable lens frame 18. When the stopper 37 is pushed in in the M mode shown in FIG. 4 and the mode selector 31 is slid backward (to the right 9 in the figure), the mode selector 31 is switched to the A mode position. In the above embodiment, the rigid body fixing portion is used.
12 is supported by the supporting portion 8a of the outer cylinder 8, but the rigid body fixing portion
Needless to say, the lens barrel 13 may be configured to be supported by the supporting portion on the lens barrel 13 side, for example, the fixed barrel 14. Further, in the above embodiment, one of the rigid fixing portion 12 and the supporting portion 8a of the outer cylinder 8 may be provided with an engaging groove, and the other may be provided with an engaging protrusion engaging with the engaging groove. Even if a strong torque is applied to the vibrator, the vibrator does not rotate. As described above, according to the present invention, the vibrator has a structure in which the excitation portion, the fixed portion, and the thin plate-shaped vibration damping portion located between them are integrally formed. Therefore, no noise is generated due to the vibration of the vibrator. Further, since the vibrator is formed by integrally forming the exciting part, the fixed part and the vibration damping part, the structure of the ultrasonic motor is simple. Further, since the lathes can be simultaneously processed,
An ultrasonic motor (vibrator) can be manufactured at low cost.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の一実施例を示し、超音波モータの斜視
図である。 【図2】本発明の一実施例を示し、主要部の拡大斜視図
である。 【図3】本発明の一実施例を示し、レンズ鏡筒の縦断面
図である。 【図4】本発明の一実施例を示し、レンズ鏡筒の縦断面
図である。 【符号の説明】 1 …超音波モータ 2 …圧電素子(電気機械変換素子) 3 …励振部 3a…内周面 4 …回転子 8a…外筒の支持部(レンズ鏡筒の固定部) 11…振動減衰部 12…固定部 13…レンズ鏡筒 L1…第1光学系(撮影レンズ)
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of an ultrasonic motor showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged perspective view of a main part according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a lens barrel showing an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a lens barrel showing an embodiment of the present invention. [Description of symbols] 1 ... Ultrasonic motor 2 ... Piezoelectric element (electromechanical conversion element) 3 ... Excitation part 3a ... Inner peripheral surface 4 ... Rotor 8a ... Outer cylinder support (lens barrel fixed part) 11 ... Vibration damping part 12 ... Fixed part 13 ... Lens barrel L1 ... First optical system (shooting lens)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 1.電気機械変換素子によって励振される振動子と、 前記振動子に生じる振動によって回動される回転子とを
備えた超音波モータにおいて、 前記振動子は、前記回転子と加圧接触され、前記電気機
械変換素子によって励振されることで振動を発生する励
振部と、該振動子を固定するための固定部と、前記励振
部を支持するために、前記励振部と前記固定部との間に
位置して前記励振部の振動を減衰させる薄板状の振動減
衰部とが一体に形成された構成を有していることを特徴
とする超音波モータ。
(57) [Claims] In an ultrasonic motor including a vibrator excited by an electromechanical conversion element and a rotor rotated by vibration generated in the vibrator, the vibrator is brought into pressure contact with the rotor, An excitation unit that generates vibrations by being excited by a mechanical conversion element, a fixing unit for fixing the vibrator, and a position between the excitation unit and the fixing unit for supporting the excitation unit. The ultrasonic motor is characterized in that it has a configuration in which a thin plate-shaped vibration damping portion for damping the vibration of the excitation portion is integrally formed.
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