JP2691057B2 - Transfer device - Google Patents
Transfer deviceInfo
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- work
- predetermined position
- pulse motor
- transfer
- arm
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- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、所定の位置に嵌り込む搬送ワークを抜き差
しして他の位置との間で移動させる搬送装置に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a transfer device for removing and inserting a transfer work that fits into a predetermined position and moving the transfer work between the transfer work and another position.
「従来の技術」 従来、所定の位置に嵌り込む搬送ワークを抜き差しし
て他の位置との間で移動させる搬送装置では、搬送ワー
クは遊びなく支持され、前記所定の位置に対して正確に
位置決めして行なうものが一般的であった。[Prior Art] Conventionally, in a transfer device that moves a work to be inserted into a predetermined position and then moves the work to another position, the work is supported without play and is accurately positioned with respect to the predetermined position. It was common to do it later.
「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、このような従来の技術では、所定の位
置との干渉を防ぐために精度のよい厳密な動作制御を要
し、機構として大がかりになったり、複雑な構成となっ
て、いたずらに高価な装置になってしまうという問題点
があった。[Problems to be Solved by the Invention] However, in such a conventional technique, accurate and strict motion control is required to prevent interference with a predetermined position, and the mechanism becomes large or complicated. Then, there was a problem that it became an expensive device unnecessarily.
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、位置精度の多少の誤差は許容することがで
き、簡易な構成で容易に搬送ワークを移動させることが
できる搬送装置を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of such a conventional problem, and provides a transfer device capable of allowing a slight error in position accuracy and easily moving a transfer work with a simple configuration. It is intended to be provided.
「課題を解決するための手段」 かかる目的を達成するための本発明の要旨とするとこ
ろは、 所定の位置に嵌り込む搬送ワークを抜き差しして他の
位置との間で移動させる搬送装置において、 前記所定の位置への抜き差し方向に直線移動可能に配
設された移動ベースに、回転ヘッド部と、アーム部と、
パルスモータとを支持し、 前記パルスモータは、前記回転ヘッド部に設けられて
いて、前記アーム部を揺動させるものであって、停止時
は出力軸が所定の保持トルクで停止し、該保持トルクよ
り大きな力では回動変位可能で、該大きな力がなくなる
と復帰する構成のものであり、 前記アーム部は、搬送ワークと係脱可能であって、搬
送ワークと前記所定の位置との間の干渉を許容する程度
に位置決めして搬送ワークを保持するものであり、中継
部を介して前記パルスモータの出力軸に連結されて前記
回転ヘッド部に揺動可能に支持され、 前記中継部は、搬送ワークの一部が前記所定の位置に
嵌り込む際に干渉して、前記アーム部側からの回転力が
生じ、前記パルスモータの出力軸の保持トルクより大き
くなって該出力軸を回転可能な程度の減速比を有し、 搬送ワークと前記所定の位置との少なくとも一方に干
渉時の逃げ用の案内を設けてあることを特徴とする搬送
装置に存する。“Means for Solving the Problem” The gist of the present invention for achieving such an object is that in a transfer device that moves a transfer work to be inserted into and removed from a predetermined position by inserting and removing the transfer work, On a moving base arranged so as to be linearly movable in the inserting / removing direction to / from the predetermined position, a rotary head part, an arm part,
A pulse motor is supported, and the pulse motor is provided in the rotary head unit and swings the arm unit. When stopped, the output shaft stops at a predetermined holding torque, and the holding unit holds the pulse motor. It is configured such that it can be rotationally displaced by a force larger than the torque and returns when the large force disappears. The arm portion is engageable with and disengageable from the transfer work, and is between the transfer work and the predetermined position. To hold the conveyed work by positioning it to such an extent that the interference of the pulse motor is allowed, is connected to the output shaft of the pulse motor via a relay portion, and is swingably supported by the rotary head portion. , When a part of the conveyed work is fitted into the predetermined position, it interferes with each other, and a rotational force from the arm portion side is generated, which becomes larger than the holding torque of the output shaft of the pulse motor and can rotate the output shaft. The degree of Has a speed ratio, it consists in conveying apparatus characterized by is provided with a guide for relief during interference on at least one of the predetermined position and conveying the workpiece.
「作用」 搬送装置は、搬送ワークを所定の位置に嵌り込み、あ
るいは、嵌め込まれている搬送ワークに接続して搬送ワ
ークを抜き取って他の位置との間で移動させる。"Operation" The transfer device inserts the transfer work into a predetermined position, or connects to the inserted transfer work to extract the transfer work and move it to another position.
搬送ワークを所定の位置に嵌め込むときは、他の位置
で搬送ワークを回転ヘッド部のアーム部に係合させて受
け取り、アーム部が所定の位置に差し込める方向になる
ようにパルスモータを通電制御してアーム部を回動させ
てから停止させ、次いで、移動ベースを直線移動させて
所定の位置に搬送ワークを嵌め込む。When inserting the transferred work into the specified position, the transferred work is received by engaging it with the arm of the rotary head at another position, and the pulse motor is energized so that the arm can be inserted into the specified position. The arm part is controlled to rotate and then stopped, and then the moving base is linearly moved to fit the transferred work into a predetermined position.
嵌め込むとき、僅かな位置ずれにより搬送ワークの一
部が所定の位置の入り口等にぶつかり、アーム部が小角
度回動されると、アーム部側に回転力が生じ、この回転
力はパルスモータの保持トルクより大きくなり、中継部
を介してパルスモータが回動される。When fitting, a part of the conveyed work collides with the entrance or the like at a predetermined position due to a slight displacement, and when the arm part is rotated by a small angle, a rotating force is generated on the arm part side, and this rotating force is a pulse motor. Becomes larger than the holding torque of the pulse motor, and the pulse motor is rotated via the relay section.
すなわち、パルスモータの特性からして、その出力軸
を停止させて保持しているときの位置で、保持トルク以
上の力を加えると、無理なく回転し、しかも、開放する
と元に戻る。In other words, due to the characteristics of the pulse motor, if a force greater than the holding torque is applied at the position where the output shaft is stopped and held, the output motor will rotate without difficulty and will return to its original position when released.
そして前記のようにアーム部側が回転すると、中継部
はこの回転をパルスモータに伝達し、パルスモータは保
持トルクに抗して回動され、搬送ワークは所定の位置に
差し込まれ、アーム部は搬送ワークを離し、パルスモー
タの復元力でアーム部は元の位置に戻る。Then, when the arm side rotates as described above, the relay section transmits this rotation to the pulse motor, the pulse motor is rotated against the holding torque, the transfer work is inserted into a predetermined position, and the arm section transfers. The work is released, and the arm part returns to the original position by the restoring force of the pulse motor.
搬送ワークを所定の位置から取り出すときは、所定の
位置に抜き差しできる方向にアーム部を位置させ、移動
ベースを直線移動させて所定の位置の搬送ワークにアー
ム部を係合あるいは把持させる。When the transfer work is taken out from the predetermined position, the arm portion is positioned in a direction in which it can be inserted into and removed from the predetermined position, and the moving base is linearly moved to engage or grip the transfer work at the predetermined position.
このとき、僅かな位置ずれにより搬送ワークのとアー
ム部との位置関係に誤差が生じてアーム部が振れようと
すると、中継部を介してパルスモータが回動され、干渉
することなく、またパルスモータに無理が生じることな
く搬送を続行することができる。At this time, if an error occurs in the positional relationship between the workpiece and the arm due to a slight misalignment and the arm attempts to swing, the pulse motor is rotated through the relay section, and the pulse motor does not interfere with the pulse movement. Conveyance can be continued without overloading the motor.
「実施例」 以下、図面に基づき本発明の一実施例を説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
各図は本発明の一実施例を示している。 Each drawing shows an embodiment of the present invention.
搬送装置10は、所定の位置にあって横ならびに列をな
す多段スタックA,A…に嵌め込んで収納される搬送ワー
クWを抜き差しして他の位置との間で移動させるもので
ある。搬送ワークWには、縦方向に嵌合溝W1が形成さ
れ、先端には案内傾斜面W2,W2が形成されている。The transfer device 10 is for inserting and removing the transfer work W, which is stored in the multi-stage stacks A, A, ... The transfer work W is formed with a fitting groove W1 in the vertical direction, and guide inclined surfaces W2 and W2 are formed at the tip.
多段スタックAは、上下に連なる棚A1,A1…を有し、
それらの開口A2,A2…を搬送装置10に向けて配設されて
いる。多段スタックAは図示省略した昇降機構によりい
ずれかの棚A1が常時所定の高さになるように設定されて
いる。The multi-stage stack A has shelves A1, A1 ...
The openings A2, A2 ... Are arranged so as to face the transport device 10. The multi-stage stack A is set such that one of the shelves A1 is always at a predetermined height by a lifting mechanism (not shown).
搬送装置10は、固定ベース20に移動ベース30を支持
し、移動ベース30に回転ヘッド部40を支持して成る。The transfer device 10 includes a movable base 30 supported by a fixed base 20 and a rotary head section 40 supported by the movable base 30.
固定ベース20には、移動ベース30および回転ヘッド部
40が所定の位置にあるスタックAの棚A1への搬送ワーク
Wの抜き差し方向に直線移動可能なよう移動ベース30を
摺動可能に支持する縦案内レール21,21が設けられてい
る。The fixed base 20 includes a movable base 30 and a rotary head unit.
Vertical guide rails 21 and 21 slidably supporting the moving base 30 are provided so that the transfer work W can be linearly moved in the insertion / removal direction of the transferred work W to / from the shelf A1 of the stack A at a predetermined position.
固定ベース20の上面の両端部にリール22,22が配設さ
れ、移動ベース30を直線移動させる無端の駆動ベルト23
がリール22,22に掛け渡されている。駆動ベルト23の一
部は移動ベース30に連結されており、駆動ベルト23を駆
動する縦駆動モータ24が一方のリール22を回転させるよ
う装着されている。Endless drive belts 23 are provided on both ends of the upper surface of the fixed base 20 for linearly moving the moving base 30.
Are hung on reels 22 and 22. A part of the drive belt 23 is connected to the moving base 30, and a vertical drive motor 24 that drives the drive belt 23 is mounted so as to rotate one reel 22.
移動ベース30には、横並びの多段スタックA,A…のそ
れぞれの正面に移動できるよう回転ヘッド部40を横方向
に案内する横案内レール31が設けられている。The moving base 30 is provided with a lateral guide rail 31 that laterally guides the rotary head unit 40 so that the rotary head unit 40 can be moved to the front of each of the horizontally arranged multi-stage stacks A, A.
固定ベース20と同様に移動ベース30の上面の両端部に
リール32,32が配設され、回転ヘッド部40を横方向に移
動させる無端の駆動ベルト33がリール32,32に掛け渡さ
れている。駆動ベルト33の一部は回転ヘッド部40に連結
されており、駆動ベルト33を駆動する横駆動モータ34が
一方のリール32を回転させるように装着されている。Similar to the fixed base 20, reels 32 and 32 are arranged at both ends of the upper surface of the moving base 30, and an endless drive belt 33 that moves the rotary head unit 40 in the lateral direction is wound around the reels 32 and 32. . A part of the drive belt 33 is connected to the rotary head portion 40, and a lateral drive motor 34 that drives the drive belt 33 is mounted so as to rotate one reel 32.
回転ヘッド部40の上端にはパルスモータ41が装着さ
れ、パルスモータ41の回転軸42に中継部たる中継ブラケ
ット43が固結して装着され、中継ブラケット43の先にア
ーム部45が支持されている。A pulse motor 41 is mounted on the upper end of the rotary head portion 40, a relay bracket 43, which is a relay portion, is fixedly mounted on the rotary shaft 42 of the pulse motor 41, and an arm portion 45 is supported at the tip of the relay bracket 43. There is.
パルスモータ41はアーム部45の回転位置を制御して揺
動させるもので、パルスモータ41が停止する角度位置が
スタックAへの抜き差し方向になるよう設定されてい
る。The pulse motor 41 controls and oscillates the rotational position of the arm portion 45, and is set so that the angular position at which the pulse motor 41 stops is in the insertion / removal direction to / from the stack A.
アーム部45は、抜き差し方向を向いた搬送ワークWの
嵌合溝W1に挿通して嵌合する所定の巾に形成されてい
る。The arm portion 45 is formed to have a predetermined width so that the arm portion 45 can be inserted into and fitted into the fitting groove W1 of the transfer work W facing in the inserting / removing direction.
次に作用を説明する。 Next, the operation will be described.
搬送装置10は、搬送ワークWを所定の位置にあるスタ
ックAに嵌め込み、あるいは、嵌め込まれている搬送ワ
ークWに接続して搬送ワークWを抜き取って他の位置と
の間で移動させる。The transfer device 10 inserts the transfer work W into the stack A at a predetermined position, or connects to the inserted transfer work W to extract the transfer work W and move it to another position.
搬送ワークWをスタックAに嵌め込むときは、他の位
置で嵌合溝W1にアーム部45を挿通して嵌合させることに
より搬送ワークWを回転ヘッド部40のアーム部45に係合
させて受け取り、横駆動モータ34を起動してリール32を
回転させ、駆動ベルト33により横案内レール31に沿って
回転ヘッド部40を横方向に移動させる。When the transfer work W is fitted into the stack A, the transfer work W is engaged with the arm part 45 of the rotary head part 40 by inserting the arm part 45 into the fitting groove W1 at another position and fitting the same. Upon reception, the lateral drive motor 34 is activated to rotate the reel 32, and the drive belt 33 moves the rotary head portion 40 laterally along the lateral guide rail 31.
パルスモータ41は、アーム部45が所定の位置にあるス
タックAに差し込める方向になるよう回転制御され、ア
ーム部45が回動して搬送ワークWが多段スタックAの開
口A2の正面の方向を向いたらその位置に停止するようパ
ルスモータ41が制御され、アーム部45も当該角度位置に
保持される。The pulse motor 41 is rotationally controlled so that the arm portion 45 can be inserted into the stack A located at a predetermined position, and the arm portion 45 is rotated so that the transported work W is directed in the front direction of the opening A2 of the multi-stage stack A. When facing, the pulse motor 41 is controlled so as to stop at that position, and the arm portion 45 is also held at the angular position.
次に、縦駆動モータ24に通電してリール22を回転さ
せ、駆動ベルト23により移動ベース30を縦案内レール2
1,21に沿って多段スタックAに近接する方向に直線移動
させる。回転ヘッド部40も移動ベース30とともに移動
し、搬送ワークWは先端から開口A2に入り多段スタック
Aの棚A1内に挿通される。Next, the vertical drive motor 24 is energized to rotate the reel 22, and the drive belt 23 moves the moving base 30 to the vertical guide rail 2
Move straight along 1,21 in the direction close to the multi-stage stack A. The rotary head part 40 also moves together with the moving base 30, and the transferred work W enters the opening A2 from the tip and is inserted into the shelf A1 of the multi-stage stack A.
搬送ワークWを棚A1に嵌め込むとき、僅かな位置ずれ
があると、搬送ワークWの先端の一部が所定の位置にあ
るスタックAの開口A2の縁にぶつかることがある。ぶつ
かる部分は案内傾斜面W2であるので、案内されてアーム
部45が小角度回動される。When the transfer work W is fitted into the shelf A1, if there is a slight misalignment, a part of the front end of the transfer work W may hit the edge of the opening A2 of the stack A at a predetermined position. Since the hitting portion is the guide inclined surface W2, the arm 45 is guided and rotated by a small angle.
アーム部45側からの回動によりアーム部45側に回転力
が生じ、中継部たる中継ブラケット43はこの回転をパル
スモータ41に伝達する。パルスモータ41の出力軸の保持
トルクより回転力が大きいので、パルスモータ41は保持
トルクに抗して無理なく回動され、搬送ワークWは所定
の位置にあるスタックAに差し込まれる。Rotational force is generated on the arm portion 45 side by the rotation from the arm portion 45 side, and the relay bracket 43, which is a relay portion, transmits this rotation to the pulse motor 41. Since the rotational force is larger than the holding torque of the output shaft of the pulse motor 41, the pulse motor 41 is smoothly rotated against the holding torque, and the transported work W is inserted into the stack A at a predetermined position.
スタックAに搬送ワークWを差し込んでアーム部45が
搬送ワークWを開放すると、パルスモータ41の複元力で
アーム部45は元の角度位置に復帰する。When the transfer work W is inserted into the stack A and the arm 45 opens the transfer work W, the composite force of the pulse motor 41 causes the arm 45 to return to the original angular position.
搬送ワークWを所定の位置にあるスタックAから取り
出すときは、所定の位置にあるスタックAに抜き差しで
きる方向にアーム部45を位置させてパルスモータ41を停
止保持し、移動ベース30を直線移動させて所定の位置に
あるスタックAの搬送ワークWにアーム部45を係合ある
いは把持させる。When the transfer work W is taken out from the stack A at a predetermined position, the arm portion 45 is positioned in a direction in which it can be inserted into and removed from the stack A at a predetermined position, the pulse motor 41 is stopped and held, and the moving base 30 is linearly moved. Then, the arm portion 45 is engaged with or grasped by the transport work W of the stack A located at a predetermined position.
このとき、僅かな位置ずれにより搬送ワークWとアー
ム部45との位置関係に誤差が生じてアーム部45が振れよ
うとすると、中継部たる中継ブラケット43を介してパル
スモータ41が回動され、干渉することなく、またパルス
モータ41に無理が生ずることなく搬送を続行することが
できる。At this time, if an error occurs in the positional relationship between the transported work W and the arm portion 45 due to a slight displacement and the arm portion 45 tries to swing, the pulse motor 41 is rotated via the relay bracket 43 that is a relay portion. The conveyance can be continued without causing interference and without causing any strain on the pulse motor 41.
なお、前記実施例では、中継部を減速作用のない中継
ブラケットにより構成したが、アーム部側からの回転力
がパルスモータの出力軸を回転可能な程度の減速比の減
速作用を有する中継部としてもよい。また、干渉時の逃
げ用の案内は、所定の位置側、すなわち前記実施例では
スタックの棚の開口に設けてもよいことはいうまでもな
い。In addition, in the above-described embodiment, the relay portion is configured by the relay bracket that does not have a decelerating action, but as a relay portion having a decelerating action with a reduction ratio that allows the output force of the pulse motor to be rotated by the rotational force from the arm side. Good. Further, it goes without saying that the guide for escape at the time of interference may be provided at a predetermined position side, that is, at the opening of the shelf of the stack in the above embodiment.
「発明の効果」 本発明に係る搬送装置によれば、パルスモータの特性
を利用して位置ずれを吸収するようにしたので、干渉を
防ぐための厳密な動作制御を要さず、位置精度の多少の
誤差は許容することができ、簡易な構成で円滑かつ容易
に搬送ワークを移動することができる搬送装置となる。[Advantages of the Invention] According to the carrier device of the present invention, since the positional deviation is absorbed by utilizing the characteristics of the pulse motor, the strict operation control for preventing the interference is not required, and the positional accuracy is improved. A slight error can be tolerated, and the transfer device can move the transfer work smoothly and easily with a simple structure.
各図は本発明の一実施例を示しており、第1図は搬送装
置の平面図、第2図は同じく正面図、第3図は第2図II
I矢視図である。 W…搬送ワーク、A…多段スタック 10…搬送装置、20…固定ベース 30…移動ベース、40…回転ヘッド部 41…パルスモータ 43…中継ブラケット(中継部) 45…アーム部Each drawing shows one embodiment of the present invention. Fig. 1 is a plan view of a conveying device, Fig. 2 is a front view of the same, and Fig. 3 is Fig. 2 II.
FIG. W ... Transport work, A ... Multi-stage stack 10 ... Transport device, 20 ... Fixed base 30 ... Moving base, 40 ... Rotating head part 41 ... Pulse motor 43 ... Relay bracket (relay part) 45 ... Arm part
Claims (1)
しして他の位置との間で移動させる搬送装置において、 前記所定の位置への抜き差し方向に直線移動可能に配設
された移動ベースに、回転ヘッド部と、アーム部と、パ
ルスモータとを支持し、 前記パルスモータは、前記回転ヘッド部に設けられてい
て、前記アーム部を揺動させるものであって、停止時は
出力軸が所定の保持トルクで停止し、該保持トルクより
大きな力では回動変位可能で、該大きな力がなくなると
復帰する構成のものであり、 前記アーム部は、搬送ワークと係脱可能であって、搬送
ワークと前記所定の位置との間の干渉を許容する程度に
位置決めして搬送ワークを保持するものであり、中継部
を介して前記パルスモータの出力軸に連結されて前記回
転ヘッド部に揺動可能に支持され、 前記中継部は、搬送ワークの一部が前記所定の位置に嵌
り込む際に干渉して、前記アーム部側からの回転力が生
じ、前記パルスモータの出力軸の保持トルクより大きく
なって該出力軸を回転可能な程度の減速比を有し、 搬送ワークと前記所定の位置との少なくとも一方に干渉
時の逃げ用の案内を設けてあることを特徴とする搬送装
置。1. A transfer device for inserting / removing a transfer work to be inserted into a predetermined position and moving the transfer work to / from another position, wherein a transfer base is provided so as to be linearly movable in the inserting / removing direction to / from the predetermined position. A rotary head unit, an arm unit, and a pulse motor, wherein the pulse motor is provided in the rotary head unit and swings the arm unit. It is configured to stop at a predetermined holding torque, to be rotationally displaceable with a force larger than the holding torque, and to return when the large force disappears, wherein the arm portion is detachable from a transfer work, The workpiece is held by positioning it so as to allow interference between the workpiece and the predetermined position, and is connected to the output shaft of the pulse motor via a relay section to swing to the rotary head section. Movement The relay portion interferes when a part of the conveyed work is fitted into the predetermined position, and a rotational force is generated from the arm portion side. A conveyance device having a reduction ratio that is large enough to rotate the output shaft and is provided with a guide for escape at the time of interference at least one of the conveyance work and the predetermined position.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2196520A JP2691057B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2196520A JP2691057B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Transfer device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0485203A JPH0485203A (en) | 1992-03-18 |
JP2691057B2 true JP2691057B2 (en) | 1997-12-17 |
Family
ID=16359106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2196520A Expired - Lifetime JP2691057B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Transfer device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2691057B2 (en) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6247143A (en) * | 1985-08-27 | 1987-02-28 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Wafer supplying apparatus |
JP2506356B2 (en) * | 1987-01-10 | 1996-06-12 | 日本真空技術株式会社 | Wafer transfer device |
JPH02178946A (en) * | 1988-12-29 | 1990-07-11 | Tokyo Electron Ltd | Production device for semiconductor |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP2196520A patent/JP2691057B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0485203A (en) | 1992-03-18 |
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