JP2682508B2 - Magnetic head tester device - Google Patents

Magnetic head tester device

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JP2682508B2
JP2682508B2 JP7104376A JP10437695A JP2682508B2 JP 2682508 B2 JP2682508 B2 JP 2682508B2 JP 7104376 A JP7104376 A JP 7104376A JP 10437695 A JP10437695 A JP 10437695A JP 2682508 B2 JP2682508 B2 JP 2682508B2
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magnetic
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッドテスタに
係り、特にハード磁気ディスク等に使用される磁気ヘッ
ドの検査用として好適な磁気ヘッドテスタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head tester, and more particularly to a magnetic head tester suitable for inspecting a magnetic head used for a hard magnetic disk or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、磁気ヘッドの電気的,機械的,ト
ライボロジ的特性を保証するために、各種のテスタが使
用されている。例えば、ハードディスク用浮上型磁気ヘ
ッドでは、通常の製造工程では電気的特性を測定するた
めのテスタと、浮上特性を測定するためのテスタの二種
類のテスタを使用している。この理由は、浮上特性を測
定するためにはガラス円盤を用いてヘッドとガラス円盤
との浮上すきまとを光干渉法によって測定しなければな
らないからである。
2. Description of the Related Art Conventionally, various testers have been used in order to guarantee the electrical, mechanical and tribological characteristics of a magnetic head. For example, in a floating magnetic head for a hard disk, two types of testers are used in a normal manufacturing process: a tester for measuring electrical characteristics and a tester for measuring floating characteristics. The reason for this is that in order to measure the levitation characteristics, it is necessary to measure the levitation clearance between the head and the glass disc by using a glass disc by an optical interference method.

【0003】ヘッドの浮上量を測定するためには、実験
的な特別なヘッドを用いる以外は光干渉法が唯一の方法
である。このため、生産現場で浮上量を測定する場合
は、必ずガラス円盤による浮上量測定機を使わなければ
ならなかった。
Optical interferometry is the only method for measuring the flying height of the head, except that a special experimental head is used. For this reason, when measuring the flying height at the production site, it was necessary to always use a flying height measuring machine using a glass disk.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、浮上量
の測定機の運用は、ヘッドの取扱いやガラス円盤の管理
等,極めて煩雑かつ高度な技術を必要とする作業であ
り、生産工程上効率の悪い作業となっていた。
However, the operation of the flying height measuring machine is an operation that requires extremely complicated and sophisticated techniques such as handling of the head and management of the glass disk, which is inefficient in the production process. It was working.

【0005】[0005]

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに一回の検査で従来の浮上量と電気的特
性の二つの検査を同時に成し得る磁気ヘッドテスタを提
供することを、その目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic head tester capable of improving the disadvantages of the conventional example and, in particular, capable of simultaneously performing two conventional tests of the flying height and the electrical characteristics in one test. , And its purpose.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、動作中の磁気ヘッドの電気的特性を検
出するテスタ本体を有し、前記磁気ヘッドを組み込んだ
スライダと磁気ディスクとの間で生じる摺動ノイズを検
知する微小振動検出センサを備え、この微小振動検出セ
ンサで検出される摺動ノイズを所定の信号処理をして出
力する信号処理回路を備えている。
Means for Solving the Problems To achieve the above object,
Therefore, according to the present invention, there is provided a microvibration detection sensor having a tester main body for detecting the electrical characteristics of a magnetic head in operation and for detecting sliding noise generated between a slider incorporating the magnetic head and a magnetic disk. This small vibration detection sensor
The sliding noise detected by the sensor is processed by the specified signal and output.
It has a signal processing circuit for inputting power.

【0007】又、前述した微小振動検出センサを、先端
部にスライダを装備した磁気ヘッド組立体を保持するア
ーム機構の前記磁気ヘッド組立体保持部側面に装着す
る。
In addition, the above-mentioned minute vibration detection sensor
Holding the magnetic head assembly equipped with a slider
Mounted on the side surface of the magnetic head assembly holder of the boom mechanism.
You.

【0008】そして、前述した信号処理回路から出力さ
れるノイズ信号を表示する摺動ノイズ表示手段を具備す
ると共に、この摺動ノイズ表示手段に、当該摺動ノイズ
表示手段に表示されるノイズ信号を全て記憶するメモリ
を併設する、という構成を採っている。
Then, the signal output from the signal processing circuit described above is output.
Equipped with sliding noise display means for displaying the noise signal
This sliding noise display means
Memory for storing all noise signals displayed on the display means
Featuring a, it adopts a configuration that.

【0009】[0009]

【作 用】磁気ヘッドの浮上開始速度(TOV)は、磁
気ヘッドと磁気ディスク3との接触の有無によって判定
される。磁気ヘッドの浮き上がりが遅い場合は、磁気ヘ
ッドはなかなか浮上せず、磁気ディスクと摺動摩擦を続
け、その間スライダは激しく振動する。この振動は微小
振動検出センサ5に大きな出力として検出される。そし
て、やがて磁気ヘッドが磁気ディスク3の表面から浮き
上がれば、スライダ4は磁気ディスクとの摺動による振
動を受けることがなく、従って、微小振動検出サンサの
出力はなくなる。この微小振動検出サンサの出力をモニ
タすれば、磁気ヘッドの浮上特性の良否を判断すること
ができる。
[Operation] The flying start speed (TOV) of the magnetic head is determined by the presence / absence of contact between the magnetic head and the magnetic disk 3. When the floating of the magnetic head is slow, the magnetic head does not fly easily and continues sliding friction with the magnetic disk, while the slider vibrates violently. This vibration is detected by the minute vibration detection sensor 5 as a large output. Then, when the magnetic head floats above the surface of the magnetic disk 3, the slider 4 is not subjected to the vibration due to the sliding on the magnetic disk, and therefore the output of the minute vibration detecting sensor is lost. By monitoring the output of this minute vibration detecting sensor, it is possible to judge whether the flying characteristics of the magnetic head are good or bad.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図2に基
づいて説明する。まず、図1において、符号1は磁気ヘ
ッド組立体を示し、符号2はアーム機構を示す。このア
ーム機構2は、その先端部で前述した磁気ヘッド組立体
1を保持するように構成されている。また、符号3は磁
気ディスクを示し、符号4は磁気ヘッド組立体1の先端
部に装備されたスライダを示す。このスライダ4部分
に、磁気ヘッドが装備されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. First, in FIG. 1, reference numeral 1 denotes a magnetic head assembly, reference numeral 2 denotes an arm mechanism. The arm mechanism 2 is configured so as to hold the magnetic head assembly 1 described above in its distal end. Reference numeral 3 indicates a magnetic disk, and reference numeral 4 indicates a slider mounted at the tip of the magnetic head assembly 1. A magnetic head is mounted on the slider 4.

【0011】、本実施例では、動作中の磁気ヘッドの
電気的特性を検出するテスタ本体(図示せず)を有し、
前述した磁気ヘッドを組み込んだスライダ4と磁気ディ
スク3との間で生じる摺動ノイズを検知する微小振動検
出センサ5を備えている。
[0011] Further, in this embodiment, has a tester body for detecting an electrical characteristic of the magnetic head during operation (not shown),
It is provided with a minute vibration detection sensor 5 for detecting sliding noise generated between the slider 4 incorporating the above-mentioned magnetic head and the magnetic disk 3.

【0012】この微小振動検出センサ5は、アーム機構
2の前述した磁気ヘッド組立体1の保持部近傍に装備さ
れている。この微小振動検出センサ5は、検出される摺
動ノイズを所定の信号処理として出力する信号処理回路
6を備えている。
[0012] The micro-vibration detecting sensor 5 is instrumentation Bei near the holding portion of the magnetic head assembly 1 described above of the arm mechanism 2. The microvibration detection sensor 5 includes a signal processing circuit 6 that outputs detected sliding noise as predetermined signal processing.

【0013】この信号処理回路6から出力されるノイズ
信号は、摺動ノイズ表示手段7に入力され表示されるよ
うになっている。また、この摺動ノイズ表示手段7には
メモリ8が併設され、摺動ノイズ表示手段7で表示され
るノイズ信号を全て記憶し得るようになっている。
The noise signal output from the signal processing circuit 6 is input to the sliding noise display means 7 and displayed. Further, the sliding noise display means 7 is additionally provided with a memory 8 so that all the noise signals displayed by the sliding noise display means 7 can be stored.

【0014】また、前述した微小振動検出センサ5は、
本実施例では圧電素子を利用したAEセンサが使用され
ている。また、この微小振動検出センサ5は、具体的に
アーム機構2の前述した磁気ヘッド組立体1の保持部
側面に装備されている。これにより、磁気ヘッド組立体
1に生じる微小振動を、高感度に検知し得るようになっ
ている。
Further, the minute vibration detection sensor 5 described above is
In this embodiment, an AE sensor using a piezoelectric element is used. In addition, this minute vibration detection sensor 5 is specifically
Is mounted on the side surface of the holding portion of the above-described magnetic head assembly 1 of the arm mechanism 2. As a result, minute vibrations generated in the magnetic head assembly 1 can be detected with high sensitivity.

【0015】これを更に詳述すると、従来の磁気ヘッド
(スライダ4部分)の浮上量測定では、測定用のガラス
円盤が所定の回転をしている時に、磁気ヘッドの浮上量
および浮上姿勢が規定の範囲内に入っているかどうかを
検査しているが、これらの特性は実際には磁気ヘッドが
浮上を開始する時の特性を測定することによって判断す
ることができる。
More specifically, in the conventional flying height measurement of the magnetic head (slider 4 portion), the flying height and the flying attitude of the magnetic head are defined when the glass disk for measurement is rotating a predetermined amount. The characteristics are actually checked by measuring the characteristics when the magnetic head starts to fly.

【0016】即ち、磁気ディスク装置全体の運転開始時
において、磁気ディスク3が回転をはじめ、やがて速度
を増し、磁気ヘッドが浮き上がる際のコンタクトスター
トから完全に浮き上がるまでの浮き上がり特性を測定す
ることにより、磁気組立体1における磁気ヘッドの浮上
が安定且つ妥当か否かの判断をすることができる。
That is, at the start of operation of the entire magnetic disk device, the magnetic disk 3 starts to rotate and then increases in speed, and the floating characteristic from contact start when the magnetic head is lifted to complete floating is measured, It is possible to judge whether the flying of the magnetic head in the magnetic assembly 1 is stable and appropriate.

【0017】具体的には、磁気ヘッド(スライダ4部
分)が磁気ディスク3から浮き上がるときの磁気ヘッド
と磁気ディスク3との相対速度を知ることによって、磁
気ヘッドの浮上安定性を判断し得る。
Specifically, the flying stability of the magnetic head can be determined by knowing the relative speed between the magnetic head and the magnetic disk 3 when the magnetic head (the slider 4 portion) is lifted from the magnetic disk 3.

【0018】磁気ディスク3が所定の回転に達した時
に、浮上量が規格よりも低い磁気ヘッド或いは浮上姿勢
の良好でない磁気ヘッドは浮き上がりにくくなる。この
ため、浮上開始速度(テイク・オフ・ベロシティ:TO
V)は、設計中心値のパラメータを有する磁気ヘッドよ
りも大きくなる。一方、設計中心値よりも小さな荷重或
いは大きな浮上面面積を有する磁気ヘッドは、標準の磁
気ヘッドよりも小さい浮上開始速度(TOV)をもつこ
とになる。
When the magnetic disk 3 reaches a predetermined rotation, a magnetic head whose flying height is lower than the standard or a magnetic head whose flying attitude is not good are difficult to lift. Therefore, the ascending velocity (take off velocity: TO
V) is larger than that of the magnetic head having the parameter of the design center value. On the other hand, a magnetic head having a load smaller than the design center value or a large air bearing surface area has a smaller flying start velocity (TOV) than the standard magnetic head.

【0019】このため、浮上開始速度(TOV)を測定
することによって、磁気ヘッドの浮上に関する特性を十
分に知ることが可能であり、従って、かかる場合は従来
例で成されていたガラス円盤を用いた浮上量測定を行わ
なくてもよいこととなる。
Therefore, by measuring the flying start velocity (TOV), it is possible to fully know the flying characteristics of the magnetic head. Therefore, in such a case, the glass disk used in the conventional example is used. It is not necessary to measure the flying height.

【0020】本実施例では、浮上型ヘッドのこのような
特性に鑑み、電気的特性を測定する磁気ヘッドテスタに
浮上開始速度(TOV)を測定する機能を併設し、これ
によって、一台のテスタで磁気ヘッドの電気的,且つト
ライボロジ的な特性を同時に検査することを可能とす
る。
In the present embodiment, in consideration of such characteristics of the flying type head, a magnetic head tester for measuring electrical characteristics is provided with a function for measuring the flying start speed (TOV). It is possible to simultaneously inspect the electrical and tribological characteristics of the magnetic head.

【0021】図1では、前述したように、磁気ヘッドの
電気特性を測定するセンサ部分と、磁気ヘッド組立体1
および磁気ディスク3との関係を示したものである。
In FIG. 1, as described above, the sensor portion for measuring the electrical characteristics of the magnetic head and the magnetic head assembly 1 are used.
And the relationship with the magnetic disk 3.

【0022】磁気ヘッド組立体1は、前述したようにア
ーム機構2の先端部に固定され、磁気ディスク3の上に
ロードされている。磁気ヘッド組立体1の先端には磁気
変換器を装備したスライダ4が取り付けられている。こ
のスライダ4から引き出されたリード線4Aは、磁気ヘ
ッドテスタ本体(図示せず)に接続され、磁気ヘッド組
立体1の電気的特性が検査される。
The magnetic head assembly 1 is fixed to the tip of the arm mechanism 2 and loaded on the magnetic disk 3 as described above. A slider 4 equipped with a magnetic converter is attached to the tip of the magnetic head assembly 1. The lead wire 4A drawn from the slider 4 is connected to a magnetic head tester main body (not shown), and the electrical characteristics of the magnetic head assembly 1 are inspected.

【0023】アーム機構2には、AEセンサから成る微
小振動検出センサ5が取り付けられており、信号取り出
し用のリード線5Aが引き出されている。
A micro-vibration detecting sensor 5 composed of an AE sensor is attached to the arm mechanism 2, and a lead wire 5A for taking out a signal is drawn out.

【0024】微小振動検出センサ5を構成するAE(Ac
oustic Emission )センサは、センサ取り付け部に伝搬
してくる極めて小さい機械的振動を検出することができ
るので、スライダ4にて発生した振動はアーム機構2を
通じてAEセンサで検出することができる。
AE (Ac
Since the oustic emission sensor can detect extremely small mechanical vibrations propagating to the sensor mounting portion, the vibration generated by the slider 4 can be detected by the AE sensor through the arm mechanism 2.

【0025】ところで、磁気ヘッドの浮上開始速度(T
OV)は、磁気ヘッドと磁気ディスク3との接触の有無
によって判定できる。磁気ヘッドの浮き上がりが遅い場
合は、磁気ヘッドはなかなか浮上せず、磁気ディスクと
摺動摩擦を続け、その間スライダは激しく振動する。こ
の振動はAEセンサである微小振動検出センサ5に大き
な出力として検出される。そして、やがて磁気ヘッドが
磁気ディスク3の表面から浮き上がれば、スライダ4は
磁気ディスクとの摺動による振動を受けることがなく、
従ってAEセンサの出力はなくなる。
By the way, the flying start speed (T
OV) can be determined by the presence / absence of contact between the magnetic head and the magnetic disk 3. When the floating of the magnetic head is slow, the magnetic head does not fly easily and continues sliding friction with the magnetic disk, while the slider vibrates violently. This vibration is detected as a large output by the minute vibration detection sensor 5 which is an AE sensor. Then, when the magnetic head eventually floats up from the surface of the magnetic disk 3, the slider 4 is not subjected to vibration due to sliding with the magnetic disk,
Therefore, the output of the AE sensor disappears.

【0026】図2に、磁気ディスクが回転を始めてから
浮上開始速度(TOV)に達するまでのAEセンサの出
力を示したものである。この図2において、出力が急激
に大きくなり,又急激に小さくなって一定の値に達した
点が浮上開始速度(TOV)である。一定の値は磁気デ
ィスク3が回転を続けることによるノイズである。この
AEセンサの出力をモニタすれば、磁気ヘッドの浮上特
性の良否を判断することができる。
FIG. 2 shows the output of the AE sensor from when the magnetic disk starts rotating to when it reaches the flying start speed (TOV). In FIG. 2, the point at which the output suddenly increases and then suddenly decreases and reaches a constant value is the flying start velocity (TOV). The constant value is noise due to the magnetic disk 3 continuing to rotate. By monitoring the output of the AE sensor, it is possible to judge whether the flying characteristics of the magnetic head are good or bad.

【0027】このように、磁気ヘッドの電気的特性を測
定する磁気ヘッドテスタ本体に、又磁気ヘッドのコンタ
クト・スタートに伴う磁気ヘッドと磁気ディスクとの機
械的な摺動信号を検出できるAEセンサをアーム機構2
に併設することによって、磁気ヘッドの浮上開始速度
(TOV)と電気的特性を一台の磁気ヘッドテスタで一
回の作業で行うことができる。
Thus, the magnetic head tester body for measuring the electrical characteristics of the magnetic head, and the AE sensor capable of detecting the mechanical sliding signal between the magnetic head and the magnetic disk due to the contact start of the magnetic head. Arm mechanism 2
The magnetic head flying speed (TOV) and electrical characteristics of the magnetic head can be obtained by one magnetic head tester in one operation.

【0028】このように、AEセンサによって磁気ヘッ
ドの浮き上がり特性を判断することが可能なことは上述
した通りであるが、AEセンサは磁気ディスク3の回転
が停止するときの磁気ヘッドの着陸に伴う摺動も当然検
出することができる。このため、コンタクト・ストップ
の際のタッチダウン速度(タッチ・ダウン・ベロシテ
ィ:TDV)も検出することができる。
As described above, the floating characteristic of the magnetic head can be determined by the AE sensor as described above. However, the AE sensor accompanies the landing of the magnetic head when the rotation of the magnetic disk 3 is stopped. Of course, sliding can also be detected. Therefore, the touchdown speed (touch down velocity: TDV) at the time of contact stop can also be detected.

【0029】従って、タッチダウン速度(TDV)によ
って磁気ヘッドの浮上特性を判定することも可能であ
る。また、この浮上開始速度(TOV)とタッチダウン
速度(TDV)の二つの値を用いて浮上の安定を判断し
てもよい。
Therefore, it is also possible to judge the flying characteristic of the magnetic head by the touchdown speed (TDV). Further, it is also possible to determine the stability of levitation by using two values of the levitation start speed (TOV) and the touchdown speed (TDV).

【0030】以上のように、この浮上開始速度(TO
V)とタッチダウン速度(TDV)のの信号は、磁気ヘ
ッドの電気的な書き込み読み出し能力を検査する磁気ヘ
ッド用テスタ装置と組み合わせて、さまざま機能を実現
することができる。
As described above, the ascending start speed (TO
The V) and touchdown speed (TDV) signals can be combined with a magnetic head tester device for inspecting the electrical write / read capability of the magnetic head to realize various functions.

【0031】例えば、浮上開始速度(TOV)が所定の
値よりも大きい場合には磁気ヘッド−磁気ディスク系の
トライボロジ的な障害が予想されるので、直ちに電気的
特性の測定を中止することが必要となる。或いは、タッ
チダウン速度(TDV)が小さすぎるときは、浮上量が
高すぎて電気的特性が不良となることが予想されるの
で、電気的特性の測定を中止することもできる。このよ
うにすれば検査をきわめて効率よく行うことができる。
For example, when the flying start speed (TOV) is higher than a predetermined value, a tribological failure of the magnetic head-magnetic disk system is expected, so it is necessary to immediately stop the measurement of electrical characteristics. Becomes Alternatively, when the touchdown speed (TDV) is too low, it is expected that the flying height will be too high and the electrical characteristics will be poor, so the measurement of the electrical characteristics can be stopped. In this way, the inspection can be performed very efficiently.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、磁気ヘッドと磁気ディスクとの摺
動ノイズを検出するための微小振動検出センサを備えた
ことにより、電気的な特性を測定する磁気ヘッドテスタ
に浮上量測定にかわる浮上特性を代替できるようなトラ
イボロジ特性を測定する能力を具備させることが可能と
なり、このため、一回の検査で従来の浮上特性と電気的
特性の二つを同時に測定する事が可能となり、その結
果、従来よりヘッドの取扱いやガラス円盤の管理等,極
めて煩雑かつ高度な技術を必要とする浮上量測定を、著
しく単純化するこができ、これによって生産性を大幅に
向上させることができるという従来にない優れた磁気ヘ
ッド用テスタ装置を提供することができる。
Since the present invention is constructed and functions as described above, according to the present invention, by providing the minute vibration detecting sensor for detecting the sliding noise between the magnetic head and the magnetic disk, the electric It is possible to equip the magnetic head tester that measures the characteristics with the ability to measure the tribological characteristics that can replace the flying characteristics in place of the flying height measurement. Therefore, the conventional flying characteristics and electrical characteristics can be tested with a single inspection. It becomes possible to measure two of them simultaneously, and as a result, it is possible to significantly simplify the flying height measurement, which requires extremely complicated and advanced technology such as handling of the head and management of the glass disk. As a result, it is possible to provide an unprecedented excellent magnetic head tester device capable of significantly improving productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例である磁気ヘッドテスターの
一部分である磁気ヘッドと磁気ディスクを示す斜視図で
ある。
FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head and a magnetic disk that are part of a magnetic head tester according to an embodiment of the present invention.

【図2】磁気ディスクが回転を始めてから浮上開始速度
(TOV)に達するまでのAEセンサの出力を示す線図
である。
FIG. 2 is a diagram showing the output of the AE sensor from when the magnetic disk starts rotating to when it reaches the flying start speed (TOV).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気ヘッド組立体 2 アーム機構 3 磁気ディスク 4 スライダ 5小振動検出センサ 6 信号処理回路 7 表示手段1 magnetic head assembly 2 arm mechanism 3 magnetic disk 4 slider 5 infinitesimal vibration detection sensor 6 signal processing circuit 7 display means

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 動作中の磁気ヘッドの電気的特性を検出
するテスタ本体を有し、前記磁気ヘッドを組み込んだス
ライダと磁気ディスクとの間で生じる摺動ノイズを検知
する微小振動検出センサを備え、この微小振動検出セン
サで検出される摺動ノイズを所定の信号処理をして出力
する信号処理回路を設けて成る磁気ヘッド用テスタ装置
において前記 微小振動検出センサを、先端部にスライダを装備し
た磁気ヘッド組立体を保持するアーム機構の前記磁気ヘ
ッド組立体保持部側面に装着し、前記 信号処理回路から出力されるノイズ信号を表示する
摺動ノイズ表示手段を具備すると共に、この摺動ノイズ
表示手段に、当該摺動ノイズ表示手段に表示されるノイ
ズ信号を全て記憶するメモリを併設したことを特徴とす
る磁気ヘッド用テスタ装置。
1. A microvibration detection sensor having a tester body for detecting electrical characteristics of a magnetic head in operation and for detecting sliding noise generated between a slider incorporating the magnetic head and a magnetic disk. , This small vibration detection sensor
The sliding noise detected by the controller is output after predetermined signal processing.
Device for magnetic head comprising signal processing circuit
In the magnetic f of the micro vibration detection sensor, arm mechanism for holding the magnetic head assembly equipped with a slider to the distal portion
Attached to head assembly holding portion side, as well as provided with a sliding noise display means for displaying the noise signal output from the signal processing circuit, the sliding noise
The display means displays the noise displayed on the sliding noise display means.
A tester device for a magnetic head, which is provided with a memory for storing all the signals .
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