JP2675551B2 - 流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は広義的には流体流動分野、及びその流量調
整、制御装置に関する。さらに狭義的に種々の酸、溶
剤、及び脱イオン水等の腐蝕性液体の流量を制御した
り、調整したりする技術に関する。 〔従来技術と問題点〕 流体流量の調整は産業において実行された必須の段階
である。 例えば種々の苛性及び腐蝕性酸は種々の集積回路装置
の製造に用いられる。即ち、運ばれる種々の酸の量を知
ることは特に重要であり、従って正確に流量を測定する
ことは重大なことである。 又、集積回路跡を腐蝕する際、使用される化学薬品の
性質により、化学薬品を貯蔵したり、運搬したりする装
置は、上記システムの種々の構成要素に化学薬品が触れ
た場合発生する可能性のある腐蝕や劣化に対し不浸透性
でなければならない。劣化に対して不浸透性でないシス
テムにおいて本来の危険性は明らかである。 本発明は、上記した従来技術が有する課題を解決する
ものであり、その目的は、苛性及び腐蝕性の液体に対し
て反応しない材料から形成され、しかも極めて正確な流
量測定値を得ることができる流量計を提供することにあ
る 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、その本体を通って軸方向に形成される通路
を有する計量チューブを含む流量計である。通路の一端
は流量計の排出口としての機能を持ち、流量計を通路す
る流体はこの口を介して出る。計量チューブにはその軸
方向両端から中間の位置に上記通路と交差するオリフィ
スが設けられる。さらに本発明は軸方向にボアを形成し
た覗きチューブを有する。ボアはオリフィスが閉塞され
ない状態において計量チューブの通路と流体連通状態に
ある。覗きチューブのボアは、チューブに沿って軸方向
移動するように配置された流量検出素子を収納する。こ
の流量検出素子は覗きチューブと計量チューブとの交差
点から離れた地点に向かって付勢される。ボアに対する
検出素子の大きさや空間的関係は検出素子がオリフィス
に臨接するボア端部に近づくと、より多くの量の流体
が、流量検出素子とボアを形成する壁面との間の環状空
間を通過せしめられるようになっている。弁部材は、通
路内に配置されてその軸方向で択一的、かつオリフィス
を横切るように位置決めする。従って、流量計を通る流
体流動は弁部材の位置を調節することにより調整され
る。流動を可能ならしめるオリフィス部分の大きさを増
大、或いは減少させるように弁部材が調整される時、ボ
アに沿った流量検出素子の位置が変わる。弁部材がオリ
フィスを通過する流体の流量を増やすように位置された
時、流量検出素子は流体流動により、オリフィスに臨接
するボアの端部に向けて押しやられる。さらに流量調整
後、素子が安定する流量検出素子の軸方向位置に依存す
る流量計通過流体の容量レベルを確認する手段が設けら
れる。 オリフィスは略円形開口を有し、他方、オリフィスを
横切る方向に移動して流量を変化せしめる弁部材の前端
縁は略直線状に延びる。したがって弁部材の前端縁がオ
リフィスを横切る際に円形オリフィスに対し一本の弦を
形成する。先縁は弁部材が動く軸線に対しほぼ垂直にな
ることが企図される。 明白ではあるが、オリフィスが流体流動を可能ならし
めるため初めに開かれると、非常に小さな領域のみが露
出される。しかしながら弁部材が引っ込み、同じ特性の
直線距離が増加すると、流動は先の同一距離引き込みに
おけるそれよりも大きくなる。従って計量調整において
さらなる識別がなされ得る。覗きチューブには、そのボ
アの大径部が計量チューブと覗きチューブの交点に一層
近づくことが可能なようにじょうご状のボアを設けるこ
とができる。この論述から明らかなように、流量を決定
する流量検出素子の直径寸法を一定にし、オリフィスの
大部分を露出するように弁部材を引き込めると、それに
対して流量計を通過する流量は増加するため、流量検出
素子はオリフィスに向かう方向に押し立てられ、覗きチ
ューブ内での流量検出素子周りの大なる環状域はチュー
ブを通る流体の容量を増大せしめることになる。従っ
て、オリフィスに一層近く流量検出素子の軸方向位置を
とると、オリフィスから少し離れた距離をおいたそれよ
りも大きな流量を示すことになる。 覗きチューブには連続した表示目盛が設けられる。計
量チューブ内で弁部材を軸方向に動かすことで流量が調
節された時、種々の表示に対しての流量検出素子の位置
を見ることにより流量を確認することができる。いかな
る特定の覗きチューブ、流量検出素子の組合わせに対し
ても、ある表示での素子位置がある容積流量値を示すよ
うに流量計の目盛りを決めることができる。 この開示から明らかなことであるが、流量検出素子は
必然的にボアを画成する壁面に近接するように維持され
ない。その結果、もしボアと共軸状な関係を維持するよ
うな処置が施さなければ検出子はボアと共軸関係から解
除されて自由になる可能性がある。即ち、不正確な測定
となる。 しかしながら本発明はボアと共軸を成し、流量検出素
子内の中央孔を通過するロッドを用いることを企図して
いる。これにより検出子はボアと共軸状の関係を維持す
ることができる。 計量チューブ、覗きチューブ、流量検出素子及び弁部
材は、腐蝕性酸、溶剤及び脱イオン水に対し不溶解性の
材料から形成される例えば計量チューブや流量検出素子
の一実施例はテフロン（商標）から形成することができ
る。本発明のその他の実施例として、完全なステンレス
鋼か、或いはステンレス鋼とテフロン（商標）の組合わ
せのどちらかによって流量検出素子を形成することも可
能である。覗きチューブはPFAテフロン（商標）から作
ることができる。 従って本発明は流体、特に流量計を形成する特定の材
料と容易に化学反応する特定の液体について使用可能な
流量計を改善することにある。流量計の構造により、そ
れを通過する流体流れのかなり正確な読みを提供する。
より多くの特徴、及びこれらの特徴から得られる利点は
実施例、請求の範囲、添付図面を参照することで明らか
になる。 〔実施例〕 複数の図面を通して同様の要素を同様なる参照番号で
示す図面を参照すれば、第１図は本発明の流量計10をプ
レート又は壁12に据え付けた状態を示す。流量計10は上
・下据え付け具を有し、上据え付け具は後述する計量チ
ューブ18より延びる。下据え付け具16は覗きチューブ22
を据え付けるエルボ20部分を有する。 各据え付け具は据え付けのためにねじ込みボス14,16
を備え、それらは対応する穴24,26を介してプレート12
内に延びる。第１図にはボス14,16内に内ねじ穴28,30が
示され、夫々、外ねじ入口チューブ継手、外ねじ出口チ
ューブ継手（図示せず）を受容する。締め付けナット3
2,34はボス14,16上に設けられる。チューブ継手はボス1
4,16の中にねじ込まれ、ナット32,34が堅固に締着され
る。徐々に締着力を強めると、それに比例して増大した
圧力がチューブ端部に課せられ、適合ボス14,16内でし
っかりと保持することができる。 流量計10の作動部分は、前述したように好ましい実施
例において、据え付けプレート12に流量計10を固着する
上据え付け具と一体で形成される計量チューブ18を含
む。計量チューブ18はその中にチューブ18の長手軸に、
通常共軸なる通路を形成する。通路は細い第１通路部分
36と、半径方向に拡張された第２通路部分38とを有す
る。 弁部材40は、第２通路部分38（以下、単に通路38と称
する）の軸線に沿って移動かつ選択的位置決め可能に、
通路38内に受容される。この移動は、据え付けプレート
12から離れた計量チューブ18端部より延びる弁部材40端
部に固着した刻み付きノブ42を回転することにより達成
される。弁部材40への刻み付きノブ42の固着はねじ44に
よってなされ、その頭部はねじ44が締め込まれた時、ノ
ブ42の溝46の中に受容される。 内部に内ねじチャンネル50を形成したプラグ48はプレ
ート12から離れた計量チューブ18端部を閉塞する。その
チャンネル50は、それを通過して延びる弁部材40の外ね
じ部分52と同様の寸法を以ってこれと螺合する。プラグ
48は締め込まれ、定位置に保持されて据え付けプレート
12から離れた計量チューブ18端部を閉塞する。 通路38に沿う弁部材40の軸方向移動は、プラグ48より
通路38の内外へ部材40を出入れすることによってなされ
る。 シール54はプラグ48によって定位置に保持され、流量
計10によって計量される流体のいかなる洩出をも防止す
る。シール54は肩部58となる半径方向に拡張された部分
56を有し、プラグ48が端部を閉塞すべく通路38内方へね
じ込まれた時、肩部58は通路38内部の軸方向に対向する
肩部60と接触係合する。シール54の半径方向拡張部分56
は、プラグ48が完全に締め込まれた時、シール54の肩部
58が通路38を成す内壁により形成された肩部60と係合す
ることにより定位置にしっかりと保持されるような軸方
向寸法を有する。 第１図から明らかなように、据え付けプレート12に最
も近い弁部材40の端部は、すべての位置で同じ大きさで
ある通路38の直径に近似した直径を有する。その結果、
弁部材40は通路38を実質的に封止し、弁部材40を超える
軸方向流れを阻止する。 計量チューブ18は、チューブ18側方から通路38に向か
って接近する内ねじ孔62を有する。次に孔62は、弁部材
40の閉塞部分66と同じ大きさである通路位置で通路38と
交差するオリフィス64を介し、通路38と流体連通する。
この関係により、弁部材40がオリフィス64を完全に覆う
位置にある時弁部材40は、オリフィス64を介する通路38
への流体連通を阻止することが可能となる。 覗きチューブ22はその上端部によって、オリフィス64
を介して通路38と連通する孔62にねじ込み整合される。
覗きチューブ22の下端部は、下継手を有するエルボ20に
整合される。 覗きチューブ22にはチューブ22の対向する端部間で延
びるボア68が形成される。ボア68の下端部はエルボ20の
直角チャンネル70と連通し、ボア68の上端部はオリフィ
ス64を介して計量チューブ18の通路38と連通する。その
結果、入口継手から出口継手までの連続したチャンネル
が形成され、少くともオリフィス64の一部が閉塞されな
い地点まで弁部材40が引き込まれた時、上記チャンネル
を通る流体流動が可能となる。 ボア68には第１図に示すようにテーパが付けられ、計
量チューブ18と整合する覗きチューブ22端部で一層大き
な径を有する。流量検出素子72は、ボアに沿って軸方向
に動けるようにボア68内に置かれる。代表例として流量
計10は、計量チューブ18の延長軸がほぼ水平に向き、覗
きチューブ22の延長軸がほぼ、垂直に向くように方向付
けられる。そのように流量計10を方向付けすると、流量
検出素子72は下方に付勢されることが理解されよう。図
に示す実施例においては、流量検出素子72は重力により
下方に付勢される。 しかしながら流量計10のその他の配向も想定している
ことが理解されよう。多分、それでも計量チューブ18か
ら離れる方向に流量検出素子72を偏奇することが採用さ
れるが、そのような配向が実行された時、他の付勢方法
が用いられるであろう。 流量を決定する流量検出素子であるフロート72の直径
74は、第３図擬似線74′で示したようにその直径が本発
明の一実施例から他の実施例へと変更し得るものだとし
ても、ボア68の内径より小さい。これは、フロート72が
最も小さな内径断面であるボア68底部に近い位置にある
時でさえも真実である。ボア68と共軸状にフロート72を
保持するためには従って、ロッド76をガイドとして使用
することができる。その際ロッド76は、ボア68の軸線上
に置かれ、フロート72の中央の孔78を通過する。 ロッド76は下据え付け具を有するエルボ20内のチャン
ネルの壁80の中に据え付けられる。ロッド76は、フロー
ト72が覗きチューブ22の全長に沿って実質上、自由に動
けるような長さを持つ。ロッド76の上端には流量検出素
子72がロッド76から外れないようにするため、孔78より
大きなビード82が形成される。 使用の際、第１図に示す流量計10が据え付けプレート
12に固着される時、弁部材40は一般にオリフィス64を完
全に閉塞する位置にある。入口チューブ及び出口チュー
ブは、流量計10がプレート12に据え付けられた後に夫々
のボス14,16に整合され、据え付けナット32,34が締め込
まれる。流体システムの弁（図示せず）は、流量計10へ
定常圧で流体を流動させるため開放され得る。計量は、
その次に刻み付ノブ42を操作し、通路38内で弁部材40が
オリフィス64の少くとも一部が覆われない初期地点まで
撤退することにより達成される。 第１図には据え付けプレート12に最も近い平面84を有
する弁部材40が示されている。従って、弁部材40の前方
端縁部は円形オリフィス64に対し一部の弦のように機能
する。従ってオリフィス64の非閉塞部分は初め三日月に
類似した形状を呈する。弁部材40がオリフィス64を一層
露出するように引き込まれると、弁部材40の前方端縁部
によって形成される弦はオリフィス64を一層露出するよ
うに横切るようになる。 この開示から明らかなように、流量計10を介して可能
となった初期流動は比較的小さい。例えば仮りに最初に
露出されるオリフィス64の開口面積が、弁部材40を通路
38内で軸方向へ0.005インチ（約0.13mm）移動させたと
きのものであるとすると、ある程度の流れが導かれる。
仮りに弁部材40がさらに0.005インチ（約0.13mm）引き
込まれると、さらなる流動量が導入されるが、その量は
２つ以上の要因によって初期容量を超えるものになる。
これは弁部材40の移動方向に対し横断する方向におい
て、覆われないオリフィス64の増えた部分の寸法が、最
初に露出された部分の寸法よりも大きいことを意味す
る。従って、流量を調整及び制御する際、さらなる区別
が実行され得る。即ち、より小さい調整によって所望の
流量変化が可能になる。 前述したように覗きチューブ22のボア68は、フロート
72がボア68内に上方に移動するにつれ半径方向外方へ張
り出ている。その結果、流動が起こるフロート72周りの
環状空間86の断面域は、フロート72がチューブ22内を上
昇するに従って、一層大きくなる。弁部材40を通路38内
で一層引き込ませることでより多くの流れが導かれる
と、ボア68を通過する流れがオリフィス64を一層露出し
た結果、実際に導かれるであろう流量に近づくように増
加した流れはフロート72を上昇せしめる。 明白であるがその際、調整ノブ42の操作によって弁部
材40の引き込みに対応したフロート72の位置は、流量計
10を通る実際の流動容量と相互関係を持つ。特定の流量
計には、覗きチューブ22のボア68を形成する壁がいかに
傾斜していてもチューブ22内のフロート72のどんな位置
に対しても実際の流量が表に作られるように目盛がつけ
られる。目盛88は覗きチューブ22に刻み目をつけること
により特定の流量レベルを指示するように印付けされ
る。第１図に示す実施例は、チューブ22に沿って等間隔
に置かれた目盛88を示している。目盛88に対するフロー
ト72の位置を強調するため、覗きチューブ22の周囲部に
当て紙（図示せず）を貼ることも可能である。 弁部材40の引き込みに対応するフロート72の位置に影
響を及ぼすもう一つの要因はフロート72の重量である。
即ちフロート重量を変えることができる。仮りにそれを
重く形成すると、流量計10の限界を超えないで一層大な
る流動を確かめることが可能となる。又、覗きチューブ
22のボア68を形成する内壁に特定の傾斜角を持たせた流
量計10を、特定のフロート72と組み合わせて目盛り付け
し、どんな特定位置のフロート72によっても流量を知ら
れるようにすることも可能である。 第４図に、覗きチューブ直径傾斜とフロートの種々組
合わせに対する一連のカーブ90,92,94を示す。一番左の
カーブ90は一層感度の高い流量計10を示す。その流量は
フロート72が目盛１から目盛10まで上昇する際、水50cc
/分から水400cc/分の間でのみ変化する。故に、比較的
大きな手動調整で結果として小さな流量変化が可能にな
ることが明白であろう。 中央及び一番右のカーブ92,94はより粗い感度を持つ
流量計を示す。例えば中央のカーブ92は、フロート72を
目盛１から目盛10まで上昇させる流量調整が結果として
実際、水200cc/分から水1800cc/分まで増加することに
なる流量計を示す。従って弁部材40の位置を微調整する
と結果として、最初カーブ90で示した流量計の同様な手
動変化と比較した場合、全流量において比較的大きな変
化がある。 本発明による流量計10を使用する際ユニットの購入者
は、ある範囲内で計量を実行しようと認識する。仮りに
計量されるべき容量が比較的低い場合、一番左のカーブ
90により特徴づけられる流量計が多分最適選択となるで
あろう。その流量計を使用するとき大きな識別能力が得
られる。しかしながら仮りに流量が大きな範囲を超えて
計量されるべき時、中央や一番右のカーブで特徴づけら
れた流量計が必要となるであろう。 これまで限定された構造の変形は本発明の範囲内に包
含されることが理解されよう。例えばオリフィス64の形
状や大きさを変えることも可能であり、従ってそれに応
じて特徴も調整し得る。第１図には円形のオリフィス64
が示されているがオリフィス64を長楕円形に形成しても
良く、弁部材40の移動軸と同一直線上か、或いはそれに
対し垂直であるかの長楕円の実際の伸びは、得られるべ
き所望の特徴に依存する。 本発明が企図するもう一つの変形は、覗きチューブ22
内に形成されるボアが傾斜せず幾分、階段状の直径を有
することにある。チューブ22の下端部で直径は96に示す
ように一様に狭く、片やその直径は98に示すように、そ
の上で均一に拡大された区分で拡張している。その直径
区分はお互いに共軸である。即ち、軸方向上向きの肩部
100が形成される。 この実施例においてフロート102には円錐テーパ壁104
が設けられ、その壁は下方に延びるにつれ内側にテーパ
付けられている。フロート102の一番大きな直径は上端
部にありその結果、流量計10を介して流動が導かれない
場合、フロート102の上端部99は肩部100に近接する。し
かしながら、流量計10を介して流動が導かれた場合、フ
ロート102は覗きチューブ22のボア内で上昇する。フロ
ート102にテーパ付けしたため、異なるボア直径により
覗きチューブ22内に形成された肩部100の端縁と、フロ
ート102との間の環状スペース106は、フロート102の上
昇と共に増加する。 ボアに対するフロート102の大きさ及び空間的関係
は、フロート102がオリフィス64に近接するボアの端部
に近づくにつれ、フロート102の周りのボアを介する流
量が次第に増加するようになっている。この実施例は低
い流量調整が望まれる際、特に好ましいものとなる。 企図されるもう一つの変形は覗きチューブが計量チュ
ーブの下流側に位置することにある。発明のこの観点に
関して言えば、計量チューブの上流側にチューブを置く
ことが必ずしも重要でないことが理解されよう。 流量計10は特に苛性や腐蝕性化学薬品を伴う使用に応
用されるため、種々の構成要素は化学薬品と接触するこ
とにより発生し得る化学反応に対し不浸透性なるプラス
チック材より作ることができる。例えば、好ましい実施
例においては流量チューブ18、エルボ継手20、及びフロ
ート72は、少くとも部分的にテフロン（商標）から作ら
れることを想定している。フロート72が上昇するロッド
76は、塩素化テトラフルオロエチレンから作ることがで
きる。覗きチューブ22はそれ自体、PFAテフロン（商
標）より作ることができる。外部の構成要素はポリ塩化
ビニルより作ることができる。フロート72をより重くす
る実施例では、テフロン（商標）フロート72にステンレ
ス鋼を埋め込むか、或いは全体をステンレス鋼で置き換
えることも可能である。その結果、全ての流量計組立体
が液体に伴う化学反応に対して不溶性、かつ不浸透性に
作ることが可能となる。 本発明の種々の特徴及び利点は以上の記述の通りであ
る。当然、本開示は数多くの点で例証したに過ぎない。
特に部品の形状、大きさ及び配置の事項において本発明
の範囲を超えることなく詳細な変更が可能である。本発
明の範囲は添付された特許請求の範囲に定義されてい
る。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の流量計を据え付けプレートに据え付け
た部分的断面図； 第２図は第１図の流量計の覗きチューブの側断面図； 第３図は第１図流量計の流量検出素子の拡大側断面図； 第４図は種々の覗きチューブ／流量検出素子形状に対応
する種々のカーブであって、種々の目盛りの読みで示し
た流量をプロットするカーブを図示するグラフ； 第５図は別の覗きチューブ構造を示す拡大側断面図。 10……流量計、18……計量チューブ、 22……覗きチューブ、40……弁部材、 64……オリフィス、68……ボア、 72……流量検出素子。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−61007（ＪＰ，Ａ) 実開 昭48−63063（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−39071（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−163920（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 １．（ａ）軸方向に形成された通路と、該通路に沿って
   該通路と交差するように設けられたオリフィスとを備え
   る計量チューブ、（ｂ）軸方向に形成され、上記オリフ
   ィスの非閉塞時に該オリフィスを介して上記計量チュー
   ブの上記通路と流体連通関係に置かれるボアと、該ボア
   内を軸方向移動可能に配置され、上記計量チューブから
   離れる方向へ付勢される流量検出素子とを備え、該ボア
   と該流量検出素子とが、該流量検出素子が上記オリフィ
   ス近傍のボア端部に接近するに従い該流量検出素子の周
   囲で該ボアを通過する流体流量が徐々に増加するような
   寸法関係及び配置関係を有してなる覗きチューブ、
   （ｃ）上記ボアを通過する流体流量を調整すべく上記通
   路に沿って軸方向にかつ上記オリフィスを横切る方向に
   該通路内で選択的位置決め可能に配置され、該ボアを通
   過する流体流量を増加させる位置に移動するに従い流体
   流れが前記流量検出素子を上記オリフィス近傍のボア端
   部に向けて押し進めるように構成される弁部材、及び
   （ｄ）上記ボア内で到達された上記流量検出素子の軸方
   向位置に基づき、流量計を通過する流体容量を確認する
   確認手段、を具備し、上記計量チューブ、上記覗きチュ
   ーブ、上記流量検出素子及び上記弁部材が、腐蝕性酸、
   溶剤及び脱イオン水に対し不溶解性の材料から形成され
   た流量計において、 上記オリフィスが、上記通路の壁面にて略円形の開口部
   を有するとともに、 上記弁部材の前端縁が、上記オリフィスの上記略円形の
   開口部に対し弦を成すように該開口部に交差して、上記
   ボアの通過流量を増加させる方向へ該弁部材が上記通路
   内で移動するに従い、徐々に拡張される弓形開口が該オ
   リフィスに形成されること、 を特徴とする流量計。 ２．上記ボアの直径は、上記オリフィスに近づくに従っ
   て半径方向外方に張り出し、流量を決定する上記流量検
   出素子の直径寸法は一定である特許請求の範囲第１項に
   記載の流量計。 ３．上記通路を規定する軸線はほぼ水平に方向付けら
   れ、上記ボアを規定する軸線はほぼ垂直に方向付けられ
   る特許請求の範囲第１項に記載の流量計。 ４．上記流量検出素子は計量チューブから離れる方向へ
   重力により付勢される特許請求の範囲第３項に記載の流
   量計。 ５．上記確認手段は上記覗きチューブに沿って付けられ
   た一連の表示目盛を有し、各目盛は特定の流量値を示す
   特許請求の範囲第１項に記載の流量計。 ６．上記覗きチューブは透明であり、上記表示目盛に対
   して上記流量検出素子が見える特許請求の範囲第５項に
   記載の流量計。 ７．上記計量チューブ、上記覗きチューブ及び上記弁部
   材はプラスチック材から形成される特許請求の範囲第１
   項に記載の流量計。 ８．上記流量検出素子はテフロン（商標）より形成され
   る特許請求の範囲第１項に記載の流量計。 ９．上記流量検出素子はステンレス鋼より形成される特
   許請求の範囲第１項に記載の流量計。 １０．上記流量検出素子はテフロン（商標）とステンレ
   ス鋼の組合せから形成される特許請求の範囲第１項に記
   載の流量計。 １１．（ａ）略水平方向の軸線を有してその軸方向に形
   成された通路と、該通路に沿って該通路と交差するよう
   に設けられたオリフィスとを備える計量チューブ、
   （ｂ）略垂直方向の軸線を有してその軸方向に形成さ
   れ、上記オリフィスの非閉塞時に該オリフィスを介して
   上記計量チューブの上記通路と流体連通関係に置かれる
   ボアと、該ボア内を軸方向移動可能に配置され、上記計
   量チューブから離れる方向へ重力により付勢される流量
   検出素子と、該流量検出素子を該ボアと共軸状に保持す
   る共軸保持手段とを備え、該ボアと該流量検出素子と
   が、該流量検出素子が上記オリフィス近傍のボア端部に
   接近するに従い該流量検出素子の周囲で該ボアを通過す
   る流体流量が徐々に増加するような寸法関係及び配置関
   係を有してなる覗きチューブ、（ｃ）上記ボアを通過す
   る流体流量を調整すべく上記通路に沿って軸方向にかつ
   上記オリフィスを横切る方向に該通路内で選択的位置決
   め可能に配置され、該ボアを通過する流体流量を増加さ
   せる位置に移動するに従い流体流れが前記流量検出素子
   を上記オリフィス近傍のボア端部に向けて押し進めるよ
   うに構成される弁部材、及び（ｄ）上記ボア内で到達さ
   れた上記流量検出素子の軸方向位置に基づき、流量計を
   通過する流体容量を確認する確認手段、を具備し、上記
   計量チューブ、上記覗きチューブ、上記流量検出素子及
   び上記弁部材が、腐蝕性酸、溶剤及び脱イオン水に対し
   不溶解性の材料から形成された流量計において、 上記オリフィスが、上記通路の壁面にて略円形の開口部
   を有するとともに、 上記弁部材の前端縁が、上記オリフィスの上記略円形の
   開口部に対し弦を成すように該開口部に交差して、上記
   ボアの通過流量を増加させる方向へ該弁部材が上記通路
   内で移動するに従い、徐々に拡張される弓形開口が該オ
   リフィスに形成されること、 を特徴とする流量計。 １２．上記流量検出素子の中央には孔が形成され、上記
   共軸保持手段は、上記ボアの軸線上に配置されて上記流
   量検出素子の中央に形成された該孔を通過するロッドか
   らなる特許請求の範囲第11項に記載の流量計。