JP2672902B2 - 非線型光学効果波長変換レーザ - Google Patents

非線型光学効果波長変換レーザ

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、非線形光学効果波長変
換レーザに関し、詳しくはリング型共振器を用いる非線
型光学波長変換レーザに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、非線形光学効果を利用して、
非線形媒質に光を入射させて、高調波を発生させる技術
が既知である。例えば、第2高調波発生(またはSHG
(second harmonic generation))を行う適切な中心対
称性を欠く2次の非線形媒質を用いれば、波長ωのレー
ザ光を入射するだけで、容易に2ωの光が得られるた
め、短波長への波長変換素子として頻繁に用いられてい
る。また効率のよいSHGの条件は、位相整合が満たさ
れるときであり、非線形媒質が複屈折性を有していて、
第2高調波の屈折率が基本波の屈折率と一致するような
結晶方位と偏光配置が存在するときに満たされる。位相
整合可能な2次の非線形材料(SHG素子)としては、
KH2 PO4(KDP),LiNbO3,KNbO3 ,KT
P,Ag3 AsS3,CO( NH2)2(UREA)などがあ
る。しかし、SHG素子にレーザを一度入射させて放出
しただけで所定の波長のレーザを取り出すと、出力効率
が悪いという欠点がある。
【0003】このような出力効率を改善するため、上記
2次の非線形材料として例えばKNbO3 よりなるモノ
リシック・リング型共振器を用いて第2高調波を発生す
る非線型光学波長変換技術が提案されている。アメリカ
応用物理学会の会報Vol.56,No23,4,Ju
ne,1990,第2291頁〜第2292頁には、図
2に示すような、ダイオードレーザ11と、レンズ13
と、一組のプリズム14と、アイソレータ15と、レン
ズ17と、SHG素子19と、SHG素子19からの反
射光を検出する光検出器21と、光検出器からの検出信
号を増幅するRF増幅器23と、双安定ミキサ25と、
双安定ミキサ25にRF周波数信号を混合し、またダイ
オードレーザの制御信号にRF周波数信号をフィルタ2
9を介して混合するRF信号発生器27と、双安定ミキ
サ25からのヘテロダイン信号を増幅して、ダイオード
レーザにフィードバック出力する増幅器32と、増幅器
の出力に直流バイアス成分を加える直流電源33とから
構成される装置が開示されている。
【0004】この装置において、GaAlAsダイオー
ドレーザの波長が例えば856nmであるレーザ光をK
NbO3 よりなるモノリシック・リング型共振器の一方
の端面に入射して、この共振器の他方の端面から428
nmの波長のレーザ光、即ち青色レーザ光を射出する。
かかる構成の非線形光学波長変換を行う場合、リング型
共振器の共振周波数にダイオードレーザの発振周波数を
ほぼ一致させる必要があるが、この例におけるダイオー
ドレーザの波長は電流変動に対して、〜2GHz/mA
変移し、温度変動に対して〜40GHz/℃変移する。
この温度変動要因として、周囲温度の変動と、ダイオー
ドレーザ自体の光学的に誘導される自己加熱現象との熱
変動があり、このためダイオードレーザからの赤外光出
力の変動をもたらし、これがリング型共振器から出力さ
れる第2の高調波としての青色レーザ出力に影響を与え
る。
【0005】そのため、この例においては、リング型共
振器から第2高調波を安定に発生するため、この非線形
光学波長変換装置で重要な構成として、レーザ発振周波
に対し比較低周波をその側波帯に重畳し、その低周波成
分を含むレーザ光の一部を共振器の一方の端面で反射さ
せて反射光を光検出器で検出し、反射光の信号を用い
て、リング型共振器の共振状態を検知し、この検知した
共振状態に基づいてダイオードレーザの発振をフィード
バック制御し、ダイオードレーザの発振周波数を一定に
維持する手段が開示されている。
【0006】しかし、従来の非線型光学効果変換レーザ
では、長時間の時間間隔で考慮すると周波数は安定して
おらず、非線型光学結晶も温度制御しているが、半導体
レーザ自体が長時間使用していると、半導体レーザ自体
の発熱の問題が生じ、結晶組成が変化し、発振波長が変
化してしまう。従来の装置では、電流だけでレーザの出
力および発振波長を同時に制御しているので、波長を制
御すると、出力が変動してしまうという問題点があっ
た。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解消するため、非線形光学効果変換レーザの発振周波
数を安定化する非線形光学効果波長変換レーザを提供す
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明は、半導体レーザからのレーザ光をリング型
共振器を用いて非線形光学波長変換する非線形光学効果
波長変換レーザにおいて、半導体レーザに設けられて所
定の温度に維持する熱電変換素子と、半導体レーザに設
けられ、その温度を計測する温度センサと、この温度セ
ンサからの半導体レーザの温度に相当する検出信号と所
定の温度設定に対応する基準電圧信号およびリング型共
振器からのヘテロダイン誤差信号の低周波成分を加算し
た信号とを比較する比較器と、比較器から出力される差
電圧信号に基づいて熱電変換素子を駆動する駆動手段と
を有することを特徴とする非線形光学効果波長変換レー
ザを提供する。
【0009】
【作用】本発明は、ダイオードレーザの電流変動に対す
る周波数変動に比べて、その温度変動(ドリフト)に対
する周波数ドリフトが例えば〜20倍程度大きく関与す
ることを注目し、このダイオードレーザの温度ドリフト
を制御することを主眼とするものである。
【0010】本発明は、従来のSHG素子からの反射光
を信号としてレーザ発振器を電流で制御していたのに加
えて、レーザ光源の温度を一定に制御し、所定の発振波
長を維持する熱電変換素子を設け、この熱電変換素子を
レーザ光源に設けられた温度センサからの検出信号を比
較器にて基準電圧と比較し、これらの差電圧を求める。
基準電圧信号にはさらにSHG素子からの反射光に含ま
れる誤差信号の低周波成分を加えているため、レーザ光
源の温度ドリフトに応じた制御を行える。その後、この
比較器からの差電圧信号を駆動手段にフィードバックし
て、所定の温度範囲に熱電変換素子を維持し、このため
熱電変換素子の所定の温度範囲に対応して、レーザ光源
が所定の温度範囲に維持されるものである。
【実施例】本発明に係る非線形光学効果波長変換レーザ
の安定発振回路の一実施例を図面に参照して詳細に説明
する。
【0011】本発明の装置は、半導体(ダイオード)レ
ーザ11と、レンズ13と、アイソレータ15と、レン
ズ17と、SHG素子19と、SHG素子19からの反
射光を検出する光検出器21と、光検出器からの検出信
号を増幅するRF増幅器23と、双安定ミキサ25と、
双安定ミキサ25にRF周波数信号を混合し、またダイ
オードレーザの制御信号にRF周波数信号をフィルタ2
9を介して混合するRF信号発生器27と、高周波成分
と低周波成分とをそれぞれ増幅して、それぞれダイオー
ドレーザにフィードバックされる高周波成分Hおよび比
較器に送られる低周波成分Lを出力する増幅器31と、
増幅器の高周波成分Hの出力に直流バイアス成分を加え
る直流電源33と、増幅器からの低周波成分Lに基準電
圧が加えられてその一方の入力端子に入力される比較器
35と、比較器の出力が入力されるドライバ段37と、
ドライバ段37の出力により所定の温度範囲に制御され
る冷却装置としてのペルティエ素子39と、ダイオード
レーザに設けられてダイオードレーザの温度を測定し、
その出力信号を比較器の他方の入力端に入力する温度セ
ンサ41とから構成される。
【0012】以下の説明において、ダイオードレーザと
して発振周波数が856nmのGaAlAsダイオード
レーザを用い、このダイオードレーザから射出されたレ
ーザ光をKNbO3 結晶を用いたリング型共振器に入射
させて、428nmの波長の光を射出させる際に、ヘテ
ロダイン検波方式を用い、温度制御系を用いて、ダイオ
ードレーザ11を温度に影響されずに安定して発振させ
る一例について説明する。
【0013】上記回路において、2つのフィードバック
回路を有する。第1のフィードバック回路は、ダイオー
ドレーザおよびレーザ光学系を除いて、反射光を検出す
る光検出器21と、RF増幅器23と、ミキサ25と、
増幅器31とから主に構成される。この第1のフィード
バック回路は、リング型共振器からの反射光を検出し、
そのレーザ光の周波数のフラツキに対応する高周波成分
を取り出して、その成分に基づいてダイオードレーザ1
1を電流制御するためのものであり、発振出力および発
振周波数を一定に維持するための回路である。また第2
のフィードバック回路は、温度センサ41と、増幅器3
1と、比較器35と、ドライバ段37と、ペルティエ素
子39とから主に構成される。この第2のフィードバッ
ク回路は、ダイオードレーザの長時間使用(または経年
変化)時における周波数ドリフトに対応する低周波成分
を取り出して、その成分に基づいてダイオードレーザ1
1を一定の温度に維持制御するための回路であり、ダイ
オードレーザ11の発振周波数が温度ドリフトに応じて
変移するのを防止し、一定の発振周波数に維持するため
のものである。
【0014】SHG素子19は、第2高調波発生のため
のモノリシック・リング型共振器であり、例えば数ミリ
程度の長さのKNbO3 の結晶の両端面を磨き上げ、こ
れら両端面に湾曲したミラーを設けて、ミラー軸に対し
て平行に平坦な内部反射面としている。結晶の配向をS
HG素子をリングの通路の長手方向に沿って位相整合す
るように選択する。これにより、他方の端面から青色レ
ーザ出力が発生される。このモノリシックKNbO3
晶共振器を熱電変換素子を用いた熱電冷却器の上に配置
して、位相整合された第2の高調波が安定に出力される
ように温度制御する。
【0015】ダイオードレーザ11としては、特に限定
はないが、例えばシングル・モードで高出力が得られる
ダイオードレーザであれば、公知の素子のいずれもが使
用可能である。ダイオードレーザの発振周波数が所定の
波長に同調させるため、ダイオードレーザの温度を制御
し、注入電流を制御する。このため、シングル・モード
出力が得られる。
【0016】レンズ13は、収束用のレンズであり、所
定の焦点距離を有するものを用意し、またレンズの後段
に一対の組合せプリズムをさらに配置してもよい。アイ
ソレータ15は、ファラデー型アイソレータであり、ダ
イオードレーザから射出された光が反射も散乱もされ
ず、反射光が発生しないように光を分離する。レンズ1
7は、空間モード整合のため、リング型共振器19の基
準モードに結合するように所定の焦点距離のものを選択
する。
【0017】ダイオードレーザ11は、その周波数を2
00MHz幅の空洞共振器に整合させる必要がある。従
来技術の項にても説明したように、このダイオードレー
ザの波長は電流変動に対して、〜2GHz/mA変移
し、温度変動に対して〜40GHz/℃変移し、温度変
動に対してダイオードレーザの周波数が大きく変移して
いる。この温度変動要因として、周囲温度の変動と、ダ
イオードレーザ自体の光学的に誘導される自己加熱現象
との熱変動があり、このためダイオードレーザからの赤
外光出力の変動をもたらし、これがリング型共振器19
から出力される第2の高調波としての青色レーザ出力に
大きな影響を与える。
【0018】このため上述した第1のフィードバック回
路を用いて、リング型共振器19に入射するレーザ光の
周波数をリング型共振器19の共振周波数に一致するよ
うに制御する。このための技術として、周波数変調(F
M)のサイドバンド(側波帯)をレーザ周波数の周囲に
発生させるため、コンデンサ29による容量性結合を用
いて直流注入電流にラジオ周波数(RF)発振器27か
らの小さなRF電流(325MHz)を重畳させるもの
である。このようにして形成されたFM光スペクトルを
共振器に投射し、共振器の端面でヘテロダイン・スペク
トロスコピー信号を有する光が反射される。この信号
は、搬送周波数が空洞共振器の周波数と一致する場合に
零となる。このため共振器の入射端面から反射された光
を光検出器21でヘテロダイン検波により信号光と局発
光との周波数の差分としての交流電気信号が得られ、次
段のRF増幅器23で増幅する。双安定ミキサー25
は、共振器の入射端面から反射された光の光学的ヘテロ
ダインスペクトロスコピー信号の位相検出のために使用
される。双安定ミキサー25の出力は、増幅器31に入
力され、増幅器31でフィルタ等により高周波成分Hお
よび低周波成分Lに分波されるが、その高周波成分Hが
増幅されて、ダイオードレーザ11に送られるRF発振
器27からの容量性結合された信号とともに直流電源3
3からのレーザ注入電流に結合される。
【0019】第2のフィードバック回路において、ヘテ
ロダインスペクトロスコピー信号の低周波成分Lが分波
されて、増幅されて比較器35に出力される。比較器3
5の一方の入力端には、増幅器31からの低周波成分L
の信号に、温度設定用の基準電圧が加えられて入力され
る。比較器35の他方の入力端には温度センサ41から
のダイオードレーザ11の表面温度に対応した検出信号
が入力される。比較器35では、両入力電圧の差分を
得、それを出力端から出力する。比較器35から出力さ
れた差分の電圧信号は、ドライバ段37に入力されて、
ペルティエ素子39へ出力される制御信号の発生に用い
られる。この第2のフィードバック回路により、ペルテ
ィエ素子39は、ダイオードレーザ11が856nmの
赤外光を射出する所定の温度(この温度はダイオードレ
ーザの種類等によって異なる)に維持させるか、または
ダイオードレーザが856nmの赤外光を安定して射出
する温度範囲に維持される。
【0020】熱電変換素子としてペルティエ素子を例示
したが、その他の熱電変換素子を用いることも可能であ
り、また熱電変換素子とPID温調回路とを併用させ
て、半導体ダイオードレーザの恒温による発振波長や出
力の安定化に用いることもできる。
【0021】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種
々、様々にその本発明の要旨の範囲内において変形、変
更が可能である。
【0022】
【発明の効果】本発明は、レーザ光源の温度を一定に制
御し、所定の発振波長を維持する熱電変換素子を設け、
この熱電変換素子をレーザ光源に設けられた温度センサ
からの検出信号を比較器にて基準電圧と比較し、これら
の差電圧を求める。基準電圧信号にはさらにSHG素子
からの反射光に含まれる誤差信号の低周波成分を加えて
いるため、レーザ光源の温度ドリフトに応じたフィード
バック制御を行える。したがって、レーザ光源は安定な
周波数と高出力なものとなり、このレーザ光が入射され
たリング型共振器から出射される第2高調波は高出力な
ものが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の非線形光学効果変換レーザの回路構成
を示す概略的な回路ずである。
【図2】従来の非線形光学効果変換レーザの回路構成を
示す概略的な回路ずである。
【符号の説明】
11 ダイオードレーザ 13,17 レンズ 15 アイソレータ 19 リング型共振器 21 光検出器 23 RF増幅器 25 双安定ミキサー 27 RF発振器 29 コンデンサ 31 増幅器 33 直流発生源 35 比較器 37 ドライバ段 39 ペルティエ素子 41 温度センサ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体レーザからのレーザ光をリング型
    共振器を用いて非線形光学波長変換する非線形光学効果
    波長変換レーザにおいて、半導体レーザに設けられて所
    定の温度に維持する熱電変換素子と、半導体レーザに設
    けられ、その温度を計測する温度センサと、この温度セ
    ンサからの半導体レーザの温度に相当する検出信号と所
    定の温度設定に対応する基準電圧信号およびリング型共
    振器からのヘテロダイン誤差信号の低周波成分を加算し
    た信号とを比較する比較器と、比較器から出力される差
    電圧信号に基づいて熱電変換素子を駆動する駆動手段と
    を有することを特徴とする非線形光学効果波長変換レー
    ザ。
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