JP2651103B2 - Electro-optic element - Google Patents

Electro-optic element

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JP2651103B2
JP2651103B2 JP5039937A JP3993793A JP2651103B2 JP 2651103 B2 JP2651103 B2 JP 2651103B2 JP 5039937 A JP5039937 A JP 5039937A JP 3993793 A JP3993793 A JP 3993793A JP 2651103 B2 JP2651103 B2 JP 2651103B2
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electro
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豊 森
雅樹 野田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光電圧・電界センサに使
用される電気光学素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electro-optical element used for a photovoltaic / electric field sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】電気光学素子として、光電圧・電界セン
サの一構成部材として使用されその両面に設けた両電極
間に印加される電圧に応じた電気光学効果を発揮する電
気光学素子、すなわちポッケルス素子がある。当該電気
光学素子は、例えば特開昭61−223821号公報に
示されているように使用されて、光電圧・電界センサを
構成するものである。
2. Description of the Related Art As an electro-optical element, an electro-optical element which is used as a component of an optical voltage / electric field sensor and exhibits an electro-optical effect according to a voltage applied between both electrodes provided on both surfaces thereof, that is, Pockels There are elements. The electro-optical element is used, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-223821 to constitute an optical voltage / electric field sensor.

【0003】近年、当該光電圧・電界センサは下記のご
とく、ロボット等による自動組立により製造される。す
なわち、光電圧・電界センサを構成する各構成部材を接
着剤を塗布した状態でパレット上にセットしておき、ロ
ボット等を駆動して同ロボットにより各構成部材を移送
し、ステージの所定位置に配置した基板上の所定の位置
に各構成部材を順次配置して組付け、次いで各構成部材
に塗布してある接着剤を硬化する製造手段が採られてい
る。また、かかる製造手段を採る場合には、パレット上
セットする以前に電気光学素子の両電極にリード線を
接続する手段と、光電圧・電界センサとして組立終了し
た後に電気光学素子の両電極にリード線を接続する手段
とがある。
In recent years, the optical voltage / electric field sensor is manufactured by automatic assembly by a robot or the like as described below. That is, each component constituting the optical voltage / electric field sensor is set on a pallet in a state where an adhesive is applied, and a robot is driven to transfer each component by the robot, and is moved to a predetermined position on the stage. A manufacturing means is employed in which the constituent members are sequentially arranged and assembled at predetermined positions on the arranged substrate, and then the adhesive applied to the constituent members is cured. When such a manufacturing means is adopted, means for connecting lead wires to both electrodes of the electro-optical element before setting on the pallet, and means for connecting both electrodes of the electro-optical element after the assembly as an optical voltage / electric field sensor is completed. There is a means for connecting a lead wire.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、電気光学素
子の電極にリード線を接続した場合には、電極のリード
線接続部分が盛り上がって平坦状態ではなくなる。この
ため、このような電気光学素子をパレット上にセットし
た場合には、水平状態を基準としてどちらかの方向へ傾
くことになる。従って、前者のリード線接続手段を採る
場合には、電気光学素子はパレット上では傾いて不安定
な状態にセットされることになる。このようなセット
態の電気光学素子をロボット等により移送して基板上に
組付ける場合には、電気光学素子が基板における設定さ
れた位置からわずかにずれることになり、設定位置に正
確にかつ設定された正確な姿勢には組付けられない。こ
の結果、光電圧・電界センサの各構成部材間に光路のず
れが発生し、測定精度おび測定感度が低下することにな
る。
When a lead wire is connected to an electrode of an electro-optical element, a portion where the lead wire of the electrode is connected rises and becomes non-flat. Therefore, when such an electro-optical element is set on a pallet , the electro-optical element is tilted in either direction based on the horizontal state. Therefore, when the former lead wire connecting means is employed, the electro-optical element is inclined and set to an unstable state on the pallet. When such a set -state electro-optical element is transferred by a robot or the like and assembled on a substrate, the electro-optical element slightly deviates from a set position on the substrate, and the set position is changed. It is not assembled to the correct and set accurate posture. As a result, a deviation of the optical path occurs between the components of the optical voltage / electric field sensor, and the measurement accuracy and the measurement sensitivity are reduced.

【0005】また、後者のリード線接続手段を採る場合
には、電気光学素子が設定された位置に正確にかつ正確
な姿勢に組付けられるため、測定精度および測定感度は
良好である。しかしながら、電気光学素子においては一
方の面の一方の電極にリード線を接続した後、基板を反
転して他方の面の他方の電極にリード線を接続しなけれ
ばならず、基板を反転させてリード線を接続する作業が
一工程増えるためリード線の接続作業が煩雑でかつ作業
時間が増大するとともに、コストの面でも不利となる。
[0005] In the case of using the latter lead wire connecting means, the measurement accuracy and the measurement sensitivity are good because the electro-optical element is accurately and accurately mounted at the set position. However, in an electro-optical element, after connecting a lead wire to one electrode on one surface, the substrate must be inverted and a lead wire must be connected to the other electrode on the other surface. Since the operation of connecting the lead wires is increased by one step, the connection work of the lead wires is complicated, the operation time is increased, and the cost is disadvantageous.

【0006】従って、本発明の目的は、このような問題
に対処することにある。
Accordingly, it is an object of the present invention to address such problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、光電圧・電界
センサの一構成部材として使用されその両面に設けた両
電極間に印加される電圧に応じた電気光学効果を発揮す
る電気光学素子において、前記両面の一方の面に設けた
一方の電極の一部を他方の面に延出して露呈させ、他方
の面に設けた他方の電極と前記一方の電極の前記露呈部
とにリード線等導電性部材を電気的に接続したことを特
徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an electro-optical element which is used as a component of an optical voltage / electric field sensor and exhibits an electro-optical effect according to a voltage applied between both electrodes provided on both surfaces thereof. , A part of one electrode provided on one surface of the both surfaces is extended to the other surface to be exposed, and lead wires are provided on the other electrode provided on the other surface and the exposed portion of the one electrode. The invention is characterized in that the isoconductive members are electrically connected.

【0008】[0008]

【発明の作用・効果】このように構成した電気光学素子
においては、各電極に対する導電性部材の接続は光電圧
・電界センサの各構成部材を基板に組付けた後になされ
る。この場合、組付けに当っては電気光学素子をその他
方の面が上向きになるようにしてパレット上にセット
し、組付け後基板上において電気光学素子の他方の面が
上方に向くように配慮する。これにより、電気光学素子
の上面に他方の電極と一方の電極の露呈部が存在し、こ
れら両者には基板を反転することなく各導電性部材を容
易に接続することができる。また、かかる接続手段を採
ることにより、電気光学素子は基板の設定された位置に
正確に、かつ正確な姿勢で組付けられ、測定精度および
測定感度の高い光電圧・電界センサが得られる。
In the electro-optical element configured as described above, the connection of the conductive member to each electrode is performed after each constituent member of the optical voltage / electric field sensor is mounted on the substrate. In this case, when assembling, set the electro-optical element on a pallet with the other side facing upward, and take care that the other side of the electro-optical element faces upward on the board after assembly. I do. Accordingly, the other electrode and the exposed portion of the one electrode are present on the upper surface of the electro-optical element, and each conductive member can be easily connected to both of them without inverting the substrate. Further, by employing such connection means, the electro-optical element can be accurately and accurately mounted at a set position on the substrate, and a photovoltage / electric field sensor having high measurement accuracy and measurement sensitivity can be obtained.

【0009】[0009]

【実施例】以下本発明を図面に基づいて説明するに、図
1には本発明に係る電気光学素子であるポッケルス素子
を使用した光電圧・電界センサの概略構成が示されてい
る。当該光電圧・電界センサは基板11上に一対の第
1,第2コリメータ12,13、一対の第1,第2偏光
ビームスプリッタ(PBS)14,15、1/4波長板
16、および本発明に係るポッケルス素子20を備えて
いる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of an optical voltage / electric field sensor using a Pockels element which is an electro-optical element according to the present invention. The optical voltage / electric field sensor includes a pair of first and second collimators 12 and 13, a pair of first and second polarizing beam splitters (PBS) 14 and 15, a 波長 wavelength plate 16 on a substrate 11, and the present invention. Is provided.

【0010】各PBS14,15は基板11の先端縁部
の左右両側に位置して接着固定されており、波長板16
およびポッケルス素子20は両PBS14,15間に所
定の間隔を保持して直列的に位置して接着固定されてい
る。また、各コリメータ12,13は各PBS14,1
5に直交状に位置して接着固定されている。かかる構成
の光電圧・電界センサはポッケルス素子20の構成を除
き公知であり、従来の光電圧・電界センサと同様に下記
のごとく動作する。
The PBSs 14 and 15 are adhesively fixed at the right and left sides of the front edge of the substrate 11.
The Pockels element 20 is adhesively fixed at a predetermined distance between the PBSs 14 and 15 in series. Each of the collimators 12 and 13 is connected to each of the PBSs 14 and 1.
5 and is adhesively fixed at a position orthogonal thereto. The optical voltage / electric field sensor having such a configuration is known, except for the configuration of the Pockels element 20, and operates as described below, similarly to the conventional optical voltage / electric field sensor.

【0011】すなわち、当該光電圧・電界センサにおい
ては、図示しない光源から出射された光は光ファイバー
を介して第1コリメータ12に入射され、同コリメータ
12のロッドレンズでコリメートされて第1PBS14
に入射される。この入射光は、第1PBS14において
直線偏光に変換されるとともに方向変換されて波長板1
6に入射され、波長板16において互いに直交する偏光
成分の間に90゜の位相差が生じて光学的バイアスが付
与されてポッケルス素子20に入射される。この入射光
は、ポッケルス素子20により印加された被測定電圧に
応じた位相変調が付加されて第2PBS15に入射さ
れ、同PBS15において被測定電圧に比例した光強度
変化に変換される。第2PBS15から出射した光は第
2コリメータ13に入射され、同コリメータ13が有す
るロッドレンズにて集光されて図示しない受光器に出射
される。
That is, in the optical voltage / electric field sensor, light emitted from a light source (not shown) is incident on the first collimator 12 via an optical fiber, collimated by the rod lens of the collimator 12, and collimated by the first PBS 14.
Is incident on. This incident light is converted into linearly polarized light and direction-converted in the first PBS 14 to be converted into a wave plate 1.
6, a 90 ° phase difference is generated between polarization components orthogonal to each other in the wave plate 16, an optical bias is applied, and the light enters the Pockels device 20. This incident light is incident on the second PBS 15 after being subjected to phase modulation according to the voltage to be measured applied by the Pockels element 20, and is converted into a light intensity change proportional to the voltage to be measured in the PBS 15. The light emitted from the second PBS 15 enters the second collimator 13, is condensed by a rod lens of the collimator 13, and is emitted to a light receiver (not shown).

【0012】しかして、ポッケルス素子20は図2に示
すように所定の厚みの長方体の素子本体21と、素子本
体21の先端側の中央部の表裏両面に平板状の第1,第
2電極22,23が設けられている。素子本体21の表
面は本発明の他方の面に該当するとともに第1電極22
が他方の電極に該当し、素子本体21の裏面は本発明の
一方の面に該当するとともに第2電極23が一方の電極
に該当する。
As shown in FIG. 2, the Pockels element 20 has a rectangular element main body 21 having a predetermined thickness, and first and second flat plate-like first and second surfaces on the front and back surfaces at the center of the front end of the element main body 21. Electrodes 22 and 23 are provided. The surface of the element body 21 corresponds to the other surface of the present invention and the first electrode 22
Corresponds to the other electrode, the back surface of the element body 21 corresponds to one surface of the present invention, and the second electrode 23 corresponds to one electrode.

【0013】第2電極23は電極本体23aとそれより
幅狭のリード部23bとからなり、リード部23bは素
子本体21の後端縁を通って表面に延出され、その先端
部が第1電極22に所定に間隔を保持して対向してい
る。素子本体21に電圧を印加する各リード線24a,
24bの先端は第1電極22と、第2電極23のリード
部23bにおける第1電極22に対向する部位に接続さ
れている。
The second electrode 23 is composed of an electrode body 23a and a lead portion 23b narrower than the electrode body 23a. The lead portion 23b extends to the surface through the rear edge of the element body 21 and has a tip portion of the first portion. The electrode 22 is opposed to the electrode 22 at a predetermined interval. Each lead wire 24 a for applying a voltage to the element body 21,
The tip of 24 b is connected to the first electrode 22 and to a portion of the lead 23 b of the second electrode 23 that faces the first electrode 22.

【0014】図3には、当該光電圧・電界センサの自動
組立工程のフローチャートが示されている。当該組立工
程においては、光電圧・電界センサの各構成部材の必要
カ所に接着剤を塗布し、同各構成部材をパレット上の所
定の位置にセットした状態で作業を開始する。先づ、ス
テップ31にてロボットを起動させ、ステップ32にて
基板11をステージに配置する。次いで、ステップ33
にて第1,第2PBS14,15、ステップ34にて波
長板15、ステップ35にてポッケルス素子20、ステ
ップ36にて第1,第2コリメータ12,13を組付け
る。その後、ステップ37にて組付けられた各構成部材
に塗布されている接着剤を硬化して、各構成部材を基板
11に固着する。最後に、ステップ38にてポッケルス
素子20の表面に位置する第1電極22と、第2電極2
3のリード部23bの先端部に各リード線24a,24
bの先端部を接続して組立工程を終了する。
FIG. 3 shows a flowchart of an automatic assembly process of the optical voltage / electric field sensor. In the assembling process, an adhesive is applied to necessary portions of the respective components of the optical voltage / electric field sensor, and the operation is started with the respective components set at predetermined positions on the pallet . First, in step 31, the robot is activated, and in step 32, the substrate 11 is placed on the stage. Then, step 33
Then, the first and second PBSs 14 and 15 are assembled, the wavelength plate 15 is assembled in Step 34, the Pockels element 20 is assembled in Step 35, and the first and second collimators 12 and 13 are assembled in Step 36. After that, the adhesive applied to each of the components assembled in step 37 is cured, and each component is fixed to the substrate 11. Finally, in step 38, the first electrode 22 located on the surface of the Pockels device 20 and the second electrode 2
No. 3 lead wires 24a, 24
The leading end of b is connected to complete the assembling process.

【0015】このように、当該電気光学素子20におい
ては、各電極22,23に対するリード線24a,24
bの接続が光電圧・電界センサの各構成部材を基板11
に組付けた後になされる。この場合、両リード線24
a,24bの接続部位である第1電極22、および第2
電極23のリード部23bの先端部は、組付けられた
ッケルス素子20の表面に位置している。このため、こ
れら両者22,23bに各リード線24a,24bを接
続する場合、基板11を反転することなく容易に接続す
ることができる。また、かかる接続手段を採ることによ
り、ポッケルス素子20は基板11の設定された位置に
正確に、かつ正確な姿勢で組付けられ、測定精度および
測定感度の高い光電圧・電界センサが得られる。
As described above, in the electro-optical element 20, the lead wires 24a, 24a for the electrodes 22, 23 are provided.
b connects each component of the optical voltage / electric field sensor to the substrate 11
It is done after assembling. In this case, both lead wires 24
a, a first electrode 22 which is a connection portion between
Tip of the lead portion 23b of the electrode 23 was assembled Po
It is located on the surface of the Keckels element 20 . For this reason, when connecting the lead wires 24a and 24b to these two 22 and 23b, the connection can be easily made without inverting the substrate 11. Further, by adopting such connection means, the Pockels element 20 is accurately and accurately mounted at the set position of the substrate 11, and a photovoltage / electric field sensor having high measurement accuracy and measurement sensitivity can be obtained.

【0016】なお、当該光電圧・電界センサと、各構成
部材の組付け後各リード線を基板を反転させて各電極に
接続する手段を採って得られた従来の光電圧・電界セン
サとの特性を比較したところ、測定精度および測定感度
共同一のレベルにあった。
It is to be noted that the optical voltage / electric field sensor and the conventional optical voltage / electric field sensor obtained by adopting means for connecting each lead wire to each electrode by inverting the substrate after assembling the constituent members. When the characteristics were compared, they were at the same level of measurement accuracy and measurement sensitivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るポッケルス素子を使用して構成し
た光電圧・電界センサの概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical voltage / electric field sensor configured using a Pockels element according to the present invention.

【図2】同ポッケルス素子の表面側から見た斜視図
(a)、同ポッケルス素子の裏面側から見た斜視図
(b)である。
FIG. 2A is a perspective view of the Pockels element viewed from the front side, and FIG. 2B is a perspective view of the Pockels element viewed from the back side.

【図3】同光電圧・電界センサの自動組立工程のフロー
チャートである。
FIG. 3 is a flowchart of an automatic assembling process of the optical voltage / electric field sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…基板、12,13…コリメータ、14,15…偏
光ビームスプリッタ(PBS)、16…波長板、20…
ポッケルス素子、21…素子本体、22…第1電極(他
方の電極)、23…第2電極(一方の電極)、23a…
電極本体、23b…リード部。
11: substrate, 12, 13: collimator, 14, 15: polarizing beam splitter (PBS), 16: wavelength plate, 20:
Pockels element , 21 element body, 22 first electrode (other electrode), 23 second electrode (one electrode), 23a
Electrode body, 23b ... lead part.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光電圧・電界センサの一構成部材として使
用されその両面に設けた両電極間に印加される電圧に応
じた電気光学効果を発揮する電気光学素子において、前
記両面の一方の面に設けた一方の電極の一部を他方の面
に延出して露呈させ、他方の面に設けた他方の電極と前
記一方の電極の前記露呈部とに導電性部材を電気的に接
続したことを特徴とする電気光学素子。
1. An electro-optical element which is used as a constituent member of an optical voltage / electric field sensor and exerts an electro-optical effect according to a voltage applied between both electrodes provided on both surfaces thereof, wherein one of the two surfaces is provided. A part of the one electrode provided on the other surface is extended and exposed, and a conductive member is electrically connected to the other electrode provided on the other surface and the exposed portion of the one electrode. An electro-optical element comprising:
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