JP2630034B2 - Lead bending measuring device - Google Patents

Lead bending measuring device

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JP2630034B2
JP2630034B2 JP2195629A JP19562990A JP2630034B2 JP 2630034 B2 JP2630034 B2 JP 2630034B2 JP 2195629 A JP2195629 A JP 2195629A JP 19562990 A JP19562990 A JP 19562990A JP 2630034 B2 JP2630034 B2 JP 2630034B2
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智之 木田
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、表面実装型集積回路装置の外郭体より外方
に伸びる複数のリードにおけるリードにおいて、この伸
びる方向でのリード曲り量を測定し、かつリードの先端
面の同一平面度(以下単に平坦度と言う)を測定するリ
ード曲り測定装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention measures the amount of lead bending in a direction in which a plurality of leads extend outward from an outer body of a surface mount integrated circuit device. Also, the present invention relates to a lead bending measuring device for measuring the same flatness (hereinafter, simply referred to as flatness) of a lead end surface.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、表面実装型集積回路装置(以下単にICと言う)
は、プリント配線板のパッドにリードの先端部をはんだ
付けすることによって、実装されていた。また、最近
は、ICのリードの本数が増加傾向にあり、プリント配線
板のパッドも、そのピッチ間隔及びその位置精度が厳し
くなるとともになり、このため、リードの曲り及び平坦
度についても厳しい要求がなされるように至った。
Conventionally, surface mount type integrated circuit device (hereinafter simply referred to as IC)
Was mounted by soldering the tips of the leads to the pads of the printed wiring board. In recent years, the number of IC leads has been increasing, and the pitch and position accuracy of printed circuit board pads have become stricter. For this reason, strict requirements have been placed on the bending and flatness of the leads. It has been done.

このリード曲り測定装置は、リードの伸る方向でのリ
ード曲りを測定する測定装置と、リードの先端部の曲
り、すなわち、リードの先端面の平坦度測定装置の二種
類の測定装置とにより構成されている。また、このリー
ド曲り測定検査においてはは、まず、いずれかの測定装
置を使用して一方向の曲りを測定し、次に、この一方向
に対して直角方向のリードの曲りを測定し、これらの測
定値とそれぞれの判定基準値と比較して、測定値の両者
が判定基準値以下であれば、曲りのないリードをもつIC
として良品としていた。
This lead bending measuring device is composed of a measuring device for measuring the lead bending in the direction in which the lead extends, and a bending device for the tip of the lead, that is, a flatness measuring device for the leading end surface of the lead. Have been. In this lead bending measurement inspection, first, one of the measuring devices is used to measure the bending in one direction, and then, the bending of the lead in a direction perpendicular to the one direction is measured. IC with unbent leads if both measured values are less than or equal to the criterion value
As good.

第11図、第12図及び第13図は従来のリード曲り測定装
置におけるリードの先端面の平坦度を測定する測定装置
の例を説明するためのそれぞれ概略を示す図である。従
来、この種のリード先端部の平坦度測定装置の一例とし
ては、例えば、第11図に示すように、IC3を搭載した検
査ステージ2aの外方より光源21よりリード24の先端面及
び検査ステージ2aに光を投射し、その透過光によりエリ
アセンサカメラ1で撮像し、この撮像データを二値化し
て、各リード24が示す明点群でなるプロファイルと検査
ステージ2aの表面が示す暗点群でなるプロファイルとの
間隔を算出して、この全算出された結果の中から最大値
を求め、リードの平坦度としていた。
FIGS. 11, 12, and 13 are schematic diagrams each illustrating an example of a measuring device for measuring the flatness of the tip end surface of a lead in a conventional lead bending measuring device. Conventionally, as an example of this type of flatness measuring device for the leading end of a lead, for example, as shown in FIG. Light is projected onto the area 2a, an image is captured by the area sensor camera 1 by the transmitted light, the image data is binarized, and a profile consisting of a group of bright points indicated by each lead 24 and a group of dark points indicated by the surface of the inspection stage 2a , And the maximum value was obtained from all the calculated results, which was taken as the flatness of the lead.

また、第12図に示すような測定装置を使用して、例え
ば、光源21をIC3の他端側より照射し、リード24と検査
ステージ2aとの隙間を撮像して、この隙間を最大値を検
索することにより、リードの平坦度を求める方法もあっ
た。
Further, using a measuring device as shown in FIG. 12, for example, the light source 21 is irradiated from the other end side of the IC 3, an image of the gap between the lead 24 and the inspection stage 2a is taken, and this gap is set to a maximum value. There is also a method of obtaining the flatness of a lead by searching.

さらに、第13図に示すように、リード24と検査ステー
ジ2aの間に、光ファイバアレイ34を挿入し、この光ファ
イバアレイ34より発する光で、リード24を投影し、この
投影像をエリアセンサカメラ1で撮像し、前述の例で述
べた方法で、リードの平坦度を測定していた。
Further, as shown in FIG. 13, an optical fiber array 34 is inserted between the lead 24 and the inspection stage 2a, the lead 24 is projected with light emitted from the optical fiber array 34, and the projected image is An image was taken by the camera 1 and the flatness of the lead was measured by the method described in the above example.

第14図は従来のリード曲り測定装置におけるリードの
伸る方向でのリード曲りを測定する測定装置の例を説明
するための概略を示す図、第15図は第14図の測定装置の
動作を説明するためのフローチャート図、第16図(a)
及び(b)は第14図の測定装置のアルゴリズムを説明す
るための図である。一方、ICのリードを伸る方向での曲
りを測定する測定装置は、例えば、第14図に示すよう
に、IC3を搭載するとともに導電性ガラス板等で製作さ
れた検査ステージ2bと、この検査ステージ2bの裏面から
光を照射する光源21と、検査ステージ2bより光が透過し
て外部に拡散する光で投影されるリード24の像を撮像す
るエリアセンサカメラ1とを有している。
FIG. 14 is a diagram schematically illustrating an example of a measuring device for measuring a lead bending in a direction in which a lead extends in a conventional lead bending measuring device, and FIG. 15 illustrates an operation of the measuring device of FIG. Flow chart for explanation, FIG. 16 (a)
And (b) is a diagram for explaining the algorithm of the measuring device of FIG. On the other hand, as shown in FIG. 14, for example, as shown in FIG. 14, a measuring device for measuring the bending in the direction in which the lead of the IC is extended is equipped with an IC 3 and an inspection stage 2b made of a conductive glass plate. The light source 21 irradiates light from the back surface of the stage 2b, and the area sensor camera 1 captures an image of the lead 24 projected by light transmitted through the inspection stage 2b and diffused outside.

この測定装置で、リードの曲りを測定する場合は、ま
ず、第15図の(WINDOW3、4の設定)で、リード24の根
元の撮像領域と、リードの先端部の撮像領域を、例え
ば、第16図(a)に示すように、リード24に対するWIND
OW3及びWINDOW4の撮像領域に設定する。次に、(各WIND
OWの垂直プロファイル作成)で、エリアセンサカメラ1
でWINDOW領域を撮像し明暗の二値化処理する。このこと
により、第16図(b)に示すように、リードの先端部と
根元部のプロファイルが得られる。次に、(プロファイ
ルの立上り、立下り点、e、f、g、hの検索)で、第
16図(b)のe、f、g及びhの座標点を求める。次
に、(中点、m1、m2算出)で、第16図(b)の中点m1及
びm2を下記の式で求める。すなわち、 m1=e+f/2、m2=g+h/2 を求め、次に、(曲り量算出m2−m1)で、リードの曲り
量を測定していた。
When measuring the bending of the lead with this measuring device, first, in (setting of windows 3 and 4) of FIG. 16 As shown in FIG.
Set to the imaging area of OW3 and WINDOW4. Then, (each WIND
OW vertical profile creation), area sensor camera 1
Captures the WINDOW area and performs light / dark binarization processing. As a result, as shown in FIG. 16 (b), a profile of the tip portion and the root portion of the lead is obtained. Next, search for the rising and falling points of the profile, e, f, g, and h
16 The coordinate points of e, f, g and h in FIG. Next, the midpoints m1 and m2 in FIG. 16 (b) are determined by the following equation in (calculation of midpoints, m1 and m2). That is, m1 = e + f / 2 and m2 = g + h / 2 were obtained, and then the bending amount of the lead was measured by (bending amount calculation m2−m1).

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、上述した従来のリード曲り測定装置で
は、リードの曲りとリードの先端部の平面度を測定する
装置が、それぞれ独立してあるため、装置自体が大きく
なるという欠点がある。また、二度に分けて測定するた
め、リードと検査ステージの接触回数が増え、リードの
めっき面が損傷しやすいという欠点がある。
However, in the above-described conventional lead bending measuring apparatus, there is a disadvantage that the apparatus for measuring the bending of the lead and the flatness of the tip of the lead is independent of each other, and therefore the apparatus itself becomes large. In addition, since the measurement is performed twice, the number of contacts between the lead and the inspection stage increases, and there is a disadvantage that the plated surface of the lead is easily damaged.

一方、第14図に示した曲り測定装置では、WINDOWの領
域の大きさの設定や、リードの曲り量により測定値の誤
差を生ずるという欠点がある。例えば、リードの幅が20
0μm、リードの外郭体より突出量が700μmで、実際の
曲り角度がリードの伸る方向に対して12度であったとす
ると、リードの実際の曲り量140μmに対して、測定装
置の算出量が90μmを測定するといった誤差を生じ、不
良品を良品と判定する誤判定を起すという問題がある。
On the other hand, the bending measuring apparatus shown in FIG. 14 has a drawback that an error in the measured value occurs due to the setting of the size of the WINDOW area and the amount of bending of the lead. For example, if the lead width is 20
0 μm, the protrusion amount from the outer shell of the lead is 700 μm, and if the actual bending angle is 12 degrees with respect to the direction in which the lead extends, the calculated amount of the measuring device is 140 μm for the actual bending amount of the lead. There is a problem that an error such as measurement of 90 μm occurs, and an erroneous determination of a defective product as a non-defective product occurs.

本発明の目的は、かかる欠点を解消するリード曲り測
定装置を提供することである。
It is an object of the present invention to provide a lead bending measuring device which overcomes such disadvantages.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の特徴は、表面実装型集積回路装置の外郭体の
側面から外方に伸び折れ曲り折れ曲げ返されてなるリー
ドの平坦な先端部を表面に載置するとともに裏面側から
光を入光し他面外に前記光を拡散させる導電性白色拡散
樹脂体と、前記導電性白色拡散樹脂体の該表面から突出
し前記リードの裏面の曲り部分と前記外郭体との間にあ
る空間部に入り込み前記表面実装型集積回路装置を位置
決めする突起部材を有しかつ前記導電性白色拡散樹脂体
の該表面から拡散される前記光を前記突起部材により前
記リードの外方に伸びる方向と平行な方向の光と該方向
と垂直方向の光に分岐する光分岐手段と、これら二方向
の該光による前記リードのそれぞれの各部の投影像を撮
像する撮像機構と、これら撮像機構の画像データを二値
化処理する二値化処理機構と、これらの二値化処理され
る画像データによって前記リードの投影輪郭を作成する
プロファイル処理機構と、前記平行な方向の光によって
前記リードの伸びる方向の投影輪郭における二値化デー
タにより複数の前記リードの該先端部でなる平面の平面
度を算出する第1の算出機構と、前記垂直方向の光によ
って前記リードの伸びる方向に対して垂直方向の投影輪
郭における二値化データにより前記リードの伸びる方向
での曲り量を算出する第2の算出機構とを有するリード
曲り測定装置である。
A feature of the present invention is that a flat tip portion of a lead formed by extending and bending outwardly from the side surface of an outer package of a surface mount type integrated circuit device is placed on the front surface, and light enters from the rear surface side. A conductive white diffusing resin body for diffusing the light out of the other surface; and a space protruding from the front surface of the conductive white diffusing resin body and between the bent portion of the back surface of the lead and the outer body. A projection member for positioning the surface-mounted integrated circuit device, and the light diffused from the surface of the conductive white diffusion resin body is directed in a direction parallel to a direction extending outward of the lead by the projection member. Light splitting means for splitting light into light and light in a direction perpendicular to the direction; an image pickup mechanism for picking up projection images of respective parts of the lead by the light in these two directions; and binarization of image data of these image pickup mechanisms Binarization processing to process A profile processing mechanism for creating a projection contour of the lead by the image data subjected to the binarization processing; and a plurality of binarization data in the projection contour in a direction in which the lead extends by the light in the parallel direction. A first calculating mechanism for calculating the flatness of a plane formed by the tip of the lead, and the lead of the lead based on binarized data in a projection contour perpendicular to a direction in which the lead extends by the light in the vertical direction. A lead bending measuring device having a second calculating mechanism for calculating a bending amount in an extending direction.

また、前記第2の算出機構が三角関数演算を行なうこ
とが望ましい。さらに、前記撮像機構が線状の投影像を
撮像することが望ましい。
Further, it is desirable that the second calculation mechanism performs a trigonometric function operation. Further, it is desirable that the imaging mechanism captures a linear projection image.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示すリード曲り測定装置
の主要部の構造を示す斜視図、第2図は第1図のリード
曲り測定装置における光路を説明するための図、第3図
は第1図のリード曲り測定装置の全体の構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a main part of a lead bending measuring apparatus showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view for explaining an optical path in the lead bending measuring apparatus of FIG. 1, and FIG. FIG. 2 is a block diagram showing the overall configuration of the lead bending measuring device of FIG.

この実施例でのリード曲り測定装置の主要部は、第1
図及び第2図に示すように、IC3を表面に載置するとと
もに裏面側に置かれた光源21より入光して本体の他面外
に前記光を拡散させる検査ステージ2である導電性乳白
色拡散樹脂体と、第2図に示すように、IC3の外郭体の
側面より伸るリード24にその伸る方向及びこの方向と直
角方向に光を分岐し、かつこれら光を異なる輝度に形成
するとともに検査ステージ2の表面上に形成される光学
プリズム機能をもつ突起部7と、これら分岐される二方
向の光に投影されるリード24のそれぞれの各部の投影像
をプリズム6あるいはミラー5を介して撮像する撮像機
構であるエリアセンサカメラ1とを有している。
The main part of the lead bending measuring apparatus in this embodiment is the first part.
As shown in FIG. 2 and FIG. 2, a conductive milky white, which is an inspection stage 2 for mounting the IC 3 on the front surface and receiving light from the light source 21 placed on the rear surface side and diffusing the light outside the other surface of the main body. As shown in FIG. 2, the diffusion resin body branches light into a lead 24 extending from the side surface of the outer body of the IC 3 in a direction in which the light extends and in a direction perpendicular to this direction, and forms these lights with different brightness. In addition, the projected image of each part of the lead 24 projected on the bidirectional light branched from the projection part 7 having an optical prism function formed on the surface of the inspection stage 2 via the prism 6 or the mirror 5 And an area sensor camera 1 which is an image pickup mechanism for picking up images.

ここで、導電性薄乳白色拡散樹脂4と導電性濃乳白色
拡散樹脂22は乳濁度が異なり、光源21からの光は、この
2種類の乳白色拡散樹脂を通ることによって、検査ステ
ージ2上面での輝度に変化を付けている。すなわち、検
査ステージ2の面に平行な光が、上方に発生される光よ
り輝度が弱いと、この上方に発する光と乱反射を起し、
平坦度を測定する平行な光が食われ、平坦度測定におい
て、誤差を生ずるので、より輝度が強くなるように、混
濁度を設計している。
Here, the conductive light milky-white diffusion resin 4 and the conductive dark milky-white diffusion resin 22 have different milk turbidities, and the light from the light source 21 passes through the two kinds of milky-white diffusion resins, thereby causing the light on the upper surface of the inspection stage 2. The brightness is changed. That is, if the light parallel to the surface of the inspection stage 2 has lower brightness than the light generated upward, the light emitted upward will cause irregular reflection,
Since the parallel light for measuring the flatness is consumed and an error occurs in the flatness measurement, the turbidity is designed so that the luminance becomes stronger.

また、金属性遮光板23は不要な光が発散しないように
設けられている。さらに、突起部7は、ICの外郭体とリ
ード24の湾曲部内に入り込む形状をしており、エリアセ
ンサカメラ1に対する位置ずれや、角度補正することな
く、IC3を載置することが出来る。
Further, the metallic light shielding plate 23 is provided so that unnecessary light does not diverge. Further, the protrusion 7 is shaped so as to enter into the outer body of the IC and the curved portion of the lead 24, so that the IC 3 can be placed without any positional displacement with respect to the area sensor camera 1 and without correcting the angle.

一方、この主要部以外に、第3図に示すように、エリ
アセンサカメラ1からの投影像を取り込む画像取り込み
部8と、この投影画像データを一時的に記憶する画像メ
モリ9と、この画像データを二値化処理する二値化処理
部8aと、これらの二値化処理される画像データによって
リード24の投影輪郭を作成するプロファイル作成部12
と、演算処理及び記憶部からなるCPU32から構成され
る。
On the other hand, in addition to the main part, as shown in FIG. 3, an image capturing unit 8 for capturing a projection image from the area sensor camera 1, an image memory 9 for temporarily storing the projection image data, and And a profile creation unit 12 that creates a projection contour of the lead 24 based on the binarized image data.
And a CPU 32 comprising an arithmetic processing unit and a storage unit.

また、このCPU32は、リードの伸る方向の投影輪郭に
おける二値化データにより複数の前記リードの先端面で
なる面の平面度を算出するコプラナリティ算出部13と、
リードの伸びる方向に対して直角方向の投影輪郭におけ
る二値化データによりリードの伸る方向での曲り量を算
出するリード曲り算出部33である中心値算出部10及び三
角演算部11と、コプラナリティ算出部13と曲り量算出部
33の結果と外部記憶装置16が記憶する良否判定基準と比
較して良否を判定する良否判定部14とで構成される。
The CPU 32 further includes a coplanarity calculation unit 13 that calculates the flatness of a surface formed by a plurality of tips of the leads based on the binarized data in the projected contour in the direction in which the leads extend,
A center value calculator 10 and a triangular calculator 11 which are lead bend calculators 33 for calculating the amount of bend in the direction in which the lead extends in accordance with the binarized data in the projected contour perpendicular to the direction in which the lead extends; Calculation unit 13 and bending amount calculation unit
The quality determination unit 14 determines the quality by comparing the result of 33 with the quality determination criterion stored in the external storage device 16.

さらに、このCPU32には、算出結果と判定結果をI/O 1
7a及び17bを介して記憶する外部記憶装置15及16と、こ
の算出結果及び判定結果をI/O 17c及び17dを表示した
り、プリントアウトしたりするCRT18及びプリンタ19
と、判定基準をI/O 17dを介して外部記憶装置16に入力
するキーボード20を有している。
Further, the CPU 32 has the I / O 1
External storage devices 15 and 16 for storing via the 7a and 17b, and a CRT 18 and a printer 19 for displaying the I / O 17c and 17d and printing out the calculation results and the determination results.
And a keyboard 20 for inputting determination criteria to the external storage device 16 via the I / O 17d.

第4図は第1図のリード曲り測定装置の平坦度を算出
するアルゴリズムを説明するための図、第5図から第7
図までは測定値を算出する方法を説明するためのフロー
チャート図、第8図は平坦度を算出する方法を説明する
ための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining an algorithm for calculating the flatness of the lead bending measuring device of FIG. 1, and FIGS.
Up to the figure, a flowchart for explaining a method of calculating a measured value, and FIG. 8 is a diagram for explaining a method of calculating a flatness.

次に、このリード曲り測定装置の測定手順及び測定値
算出方法を説明する。まず、IC3に透過した光による投
影像はそれぞれのエリアセンサカメラ1で映像される。
次に、この投影像は画像取り込み部7により取り込ま
れ、例えば、6ビット、64階調の多値データとして処理
され、一旦、画像メモリ9に蓄積される。次に、この蓄
積された多値データは、予め設定されたスレッショルド
レベルで二値化され、再び、画像メモリ9に二値データ
として蓄積される。
Next, a measurement procedure and a measurement value calculation method of the lead bending measurement device will be described. First, a projected image by the light transmitted through the IC 3 is imaged by each area sensor camera 1.
Next, the projected image is captured by the image capturing unit 7, processed as, for example, 6-bit, 64-gradation multi-valued data, and temporarily stored in the image memory 9. Next, the stored multi-value data is binarized at a preset threshold level, and is stored again in the image memory 9 as binary data.

次に、平坦度を測定するには、IC3の四隅のエリアセ
ンサカメラ1で得られる画像により平坦度を算出する。
これには、第8図に示すように、WINDOW5内のリード24
のプロファイル及び金属性遮光板23(検査ステージ面)
は暗黒点群として、リード24と検査ステージ面との間は
明点群として画像メモリ9に蓄積されている。次に、プ
ロファイル作成部12は、各リードに対応するWINDOW5毎
に明点群でなる明点群プロファイル35を作成する。次
に、コプラナリティ算出部13は、まず、各WINDOW5毎
に、その垂直高さの最小値を検索し、全てのWINDOW5毎
の最小値の中の最大値を抽出し、これを平坦度とする。
次に、この平坦度値は、I/O 17aを通して外部記憶装置1
5に記憶されると同時に良否判定部14に送られる。次
に、外部記憶装置16に記憶された平坦度の判定基準と比
較し、良否を判定する。
Next, to measure the flatness, the flatness is calculated from the images obtained by the area sensor cameras 1 at the four corners of the IC3.
To do this, as shown in FIG.
Profile and metal shading plate 23 (inspection stage surface)
Are stored in the image memory 9 as a group of dark points and as a group of bright points between the lead 24 and the inspection stage surface. Next, the profile creating unit 12 creates a bright spot group profile 35 composed of a bright spot group for each window 5 corresponding to each lead. Next, the coplanarity calculation unit 13 first searches the minimum value of the vertical height for each WINDOW 5, extracts the maximum value among the minimum values for all the WINDOWs 5, and sets this as the flatness.
Next, this flatness value is stored in the external storage device 1 through the I / O 17a.
5 and sent to the pass / fail judgment unit 14 at the same time. Next, it is compared with a flatness determination criterion stored in the external storage device 16 to determine pass / fail.

次に、リードの伸る方向での曲りの測定について説明
する。これも、前述したように、まず、エリアセンサカ
メラ1による撮像領域WINDOW1及び2は、第5図のステ
ップAで、予め設定される。次に、ステップBで、二値
化処理された撮像データより、中心値算出部10で、第4
図に示す、WINDOW1の一辺L1(座標値WG1yとする)とリ
ード24の交点a、bと、WINDOW2の一辺L2(座標値WG2y
とする)とリード24との交点c、dを求める。
Next, measurement of bending in the direction in which the lead extends will be described. As described above, first, the imaging areas WINDOW1 and WINDOW2 by the area sensor camera 1 are set in advance in step A of FIG. Next, in step B, the center value calculating unit 10 calculates the fourth value from the binarized image data.
FIG, WINDOW1 of one side L 1 (a coordinate value WG1y) the intersection of the lead 24 a, and b, WINDOW2 of side L 2 (coordinate values WG2y
) And the lead 24 are determined.

次に、第4図に示す中点WG1、WG2を上記のa、b、c
及びd点の座標より算出する。
Next, the midpoints WG1, WG2 shown in FIG.
And the coordinates of point d.

すなわち、 WG1(WG1x、WG1y)、 WG2(WG2x、WG2y)を求める。 That is, WG1 (WG1x, WG1y) and WG2 (WG2x, WG2y) are obtained.

次に、第5図のステップCで、第4図に示す曲り角度
θを算出する。
Next, in step C of FIG. 5, the bending angle θ shown in FIG. 4 is calculated.

すなわち、 を求める。That is, Ask for.

次に、ステップEで、第4図のSTPの座標値を求め
る。そして、引続き、ステップFで、SBPの座標値を求
める。そして、ステップGで、曲り量を算出する。
Next, in step E, the coordinate values of STP in FIG. 4 are obtained. Then, in step F, the coordinate value of SBP is obtained. Then, in step G, the amount of bending is calculated.

なお、STP及びSBPの各座標の求める算出フローは、第
6図及び第7図に示すように、曲り角度θより三角関数
を利用して三角演算部11で算出される。
The calculation flow for obtaining the coordinates of STP and SBP is calculated by the triangular operation unit 11 using the trigonometric function from the bending angle θ, as shown in FIGS. 6 and 7.

このように求められた各リードの曲り量は、I/O 17a
を遠して外部記憶装置15に蓄積される。また、各リード
の曲り量の中の最大値は、良否判定部14に送られる。次
に、規格データ用の外部記憶装置16はI/O 17dを介して
キーボード20より入力されたリード曲り量の判定基準値
及び平坦度の判定基準値を蓄積する。
The bending amount of each lead determined in this way is I / O 17a
And is stored in the external storage device 15. The maximum value of the bending amounts of the leads is sent to the pass / fail judgment unit 14. Next, the external storage device 16 for standard data accumulates the judgment reference value of the lead bending amount and the judgment reference value of the flatness input from the keyboard 20 via the I / O 17d.

次に、良否判定部14は、三角演算部11及びコプラナリ
ティ算出部13から送られるリードの曲り量及び平坦度
と、I/O 17bを介して送られる外部記憶装置16の判定基
準値と比較し、測定結果に対する良否判定を行なう。そ
して、その良否を外部記憶装置15に蓄積する。また、CR
T18、プリンタ19はI/O 17c及び17dを介して外部記憶装
置15及び16から、データ及び測定結果の表示及び出力を
行なう。
Next, the pass / fail judgment unit 14 compares the lead bending amount and flatness sent from the triangular operation unit 11 and the coplanarity calculation unit 13 with the judgment reference value of the external storage device 16 sent via the I / O 17b. , The quality of the measurement result is determined. Then, the quality is stored in the external storage device 15. Also, CR
At T18, the printer 19 displays and outputs data and measurement results from the external storage devices 15 and 16 via the I / Os 17c and 17d.

第9図は本発明の他の実施例を示すリード曲り測定装
置の主要部を説明するための図、第10図は第9図のリー
ド曲り測定装置の全体の構成を示すブロック図である。
この実施例におけるリード曲り測定装置は、第9図及び
第10図に示すように、前述の実施例で説明したエリアセ
ンサカメラの代りにラインセンサカメラとしたことであ
る。そして、このラインセンサカメラ25をIC3の一端側
にあるリード24から他端側にあるリード24まで、移動
し、各リード面を走査し、線状の透過光を入光して撮像
し、これら撮像データを二値化し、前述の実施例と同様
に演算処理することによって、リードのリードの伸びる
方向の曲り及びリードの先端部の同一平面度を測定する
ことである。
FIG. 9 is a diagram for explaining a main part of a lead bending measuring device showing another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a block diagram showing an entire configuration of the lead bending measuring device of FIG.
As shown in FIGS. 9 and 10, the lead bending measuring device in this embodiment is a line sensor camera instead of the area sensor camera described in the above embodiment. Then, the line sensor camera 25 is moved from the lead 24 on one end side of the IC 3 to the lead 24 on the other end side, scans each lead surface, receives linear transmission light, captures an image, and This is to measure the bending of the lead in the direction in which the lead extends and the flatness of the tip of the lead by binarizing the imaging data and performing arithmetic processing in the same manner as in the above-described embodiment.

このため、第9図に示すように、IC3の一側面のリー
ドを撮像する二つのラインセンサカメラ25を一つのブロ
ック体に収納し、このブロック体をIC3の側面に沿って
移動させるボールねじ31及びナットを設け、このボール
ねじ31を回転させるサーボモータ27を取り付け、さら
に、ラインセンサカメラ25の位置検出用のリニアスケー
ル26及びサーボモータ27と、このリニアスケール26を読
み取るデコーダ29と、このデコーダ29によりドライバ28
を制御するコントローラ30とを設けたことである。
For this reason, as shown in FIG. 9, two line sensor cameras 25 for imaging the leads on one side of IC3 are housed in one block, and a ball screw 31 for moving this block along the side of IC3. And a nut, and a servomotor 27 for rotating the ball screw 31 is attached. Further, a linear scale 26 and a servomotor 27 for detecting the position of the line sensor camera 25, a decoder 29 for reading the linear scale 26, 29 by 28 driver
And a controller 30 for controlling the

勿論、本図面では、IC3の四隅からそれぞれリード24
が突出しているので、このラインセンサカメラ25を移動
するブロック及び駆動機構は四対が設けられることにな
る。また、リード24を撮像するラインセンサカメラを同
一ブロックに収納するために、リード表面を撮像するラ
インセンサカメラ25の前段には、光路を変更するため
に、プリズム6a、6b、6c及びミラー5aが設けられてい
る。なお、第9図では、紙面都合上、ボールねじ31の方
向が実際の方行と90度ずらして描かれている。
Of course, in this drawing, the leads 24
Are projected, so that four pairs of blocks and drive mechanisms for moving the line sensor camera 25 are provided. In addition, in order to accommodate the line sensor camera for imaging the lead 24 in the same block, a prism 6a, 6b, 6c and a mirror 5a are provided in front of the line sensor camera 25 for imaging the lead surface in order to change the optical path. Is provided. In FIG. 9, the direction of the ball screw 31 is shifted by 90 degrees from the actual direction due to space limitations.

さらに、このリード曲り測定装置は、第10図に示すよ
うに、ラインセンサカメラ25の位置制御するコントロー
ラ30がCPU32に接続されている。それ以外は、画像取込
み部8を含めた以降の構成は、前述の実施例と同じであ
る。
Further, in this lead bending measuring apparatus, a controller 30 for controlling the position of the line sensor camera 25 is connected to a CPU 32, as shown in FIG. Otherwise, the configuration including the image capturing unit 8 is the same as that of the above-described embodiment.

次に、このリード曲り測定装置の動作を説明する。ま
ず、IC3のリード24における透過像の一つは、ミラー5
を介してラインセンサカメラ25の1つに、他の透過像は
プリズム6a、6b、6c及びミラー5aを介して他のラインセ
ンサカメラ25に入光し、撮像される。このとき、ライン
センサカメラ25を収納しているブロックがサーボモータ
27及びボールねじ31で一方向に送られ、各リード24を順
次撮像する。次に、これら投影像は、画像取込み部7に
とり込まれ、二値化処理部8aにより二値化される。次
に、前述の実施例と同様に、データ処理され、演算が行
なわれ、リードの曲り、及び平坦度が測定され、判定基
準と比較され良否判定される。
Next, the operation of the lead bending measuring device will be described. First, one of the transmission images at the lead 24 of the IC 3 is a mirror 5
The other transmitted image enters one of the line sensor cameras 25 via the prisms 6a, 6b, 6c and the mirror 5a, and is picked up. At this time, the block containing the line sensor camera 25 is
It is sent in one direction by 27 and a ball screw 31, and each lead 24 is sequentially imaged. Next, these projection images are captured by the image capturing unit 7 and binarized by the binarization processing unit 8a. Next, similarly to the above-described embodiment, data processing and calculation are performed, the bending of the lead and the flatness are measured, and the pass / fail is determined by comparison with a criterion.

この実施例のリード曲り測定装置は、前述の実施例の
それと比べ、領域を撮像するのではなく、走査方向であ
る幅をスリット状の線とし、かつ水平解像度の高いライ
ンセンサカメラを用いることによって、リード曲り量の
測定精度をより向上することが出来る利点がある。ま
た、センサカメラの視野に制限されることがないので、
よる大きなICにも適用出来るという利点もある。
The lead bending measuring apparatus of this embodiment is different from that of the above-described embodiment in that the width in the scanning direction is set as a slit-shaped line and a line sensor camera having a high horizontal resolution is used instead of imaging the area. This has the advantage that the measurement accuracy of the lead bending amount can be further improved. Also, since it is not limited by the field of view of the sensor camera,
There is also an advantage that it can be applied to larger ICs.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明は、リードの伸びる方向に
透過する光及びこの方向と直角方向に透過する光を同時
に分割発生する光学機構と、これら透過光によるリード
の投影像を撮像する二つの撮像機構とを設け、これら撮
像データを二値化し、一方向の撮像データを演算処理し
てリード先端部の平坦度を求め、他方向の撮像データを
三角関数演算処理することによってリードの伸びる方向
の曲りと、リードの伸びる方向での曲り及びリードの先
端部の同一平面度とを同時に測定出来、また、より正確
に判定することが出来る小型のリード曲り測定装置が得
られるという効果がある。
As described above, the present invention provides an optical mechanism that simultaneously generates light that is transmitted in the direction in which the lead extends and light that is transmitted in a direction perpendicular to this direction, and two imaging devices that capture a projected image of the lead using these transmitted light. A mechanism is provided for binarizing the image data, calculating the image data in one direction to obtain the flatness of the tip of the lead, and performing the trigonometric function operation on the image data in the other direction to calculate the direction in which the lead extends. There is an effect that a small lead bending measuring device capable of simultaneously measuring the bending, the bending in the direction in which the lead extends, and the same flatness of the tip of the lead, and more accurately determining the bending can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例を示すリード曲り測定装置の
主要部の構造を示す斜視図、第2図は第1図のリード曲
り測定装置における光路を説明するための図、第3図は
第1図のリード曲り測定装置の全体の構成を示すブロッ
ク図、第4図は第1図のリード曲り測定装置の平坦度を
算出するアルゴリズムを説明するための図、第5図から
第7図までは測定値を算出する方法を説明するためのフ
ローチャート図、第8図は平坦度を算出する方法を説明
するための図、第9図は本発明の他の実施例を示すリー
ド曲り測定装置の主要部を説明するための図、第10図は
第9図のリード曲り測定装置の全体の構成を示すブロッ
ク図、第11図、第12図及び第13図は従来のリード曲り測
定装置におけるリードの先端面の平坦度を測定する測定
装置の例を説明するためのそれぞれ概略を示す図、第14
図は従来のリード曲り測定装置におけるリードの伸る方
向でのリード曲りを測定する測定装置の例を説明するた
めの概略を示す図、第15図は第14図の測定装置の動作を
説明するためのフローチャート図、第16図(a)及び
(b)は第14図の測定装置のアルゴリズムを説明するた
めの図である。 1……エリアセンサカメラ、2、2a、2b……検査ステー
ジ、3……IC、4……導電性乳薄白色拡散樹脂、5、5a
……ミラー、6、6a、6b、6c……プリズム、7……突起
部、8……画像取込み部、8a……二値化処理部、9……
画像メモリ、10……中心値算出部、11……三角演算部、
12……プロファイル作成部、13……コプラナリティ算出
部、14……良否判定部、15、16……外部記憶装置、17
a、17b、17c、17d……I/O、18……CRT、19……プリン
タ、20……キーボード、21……光源、22……導電性濃乳
白色拡散樹脂、23……金属性遮光板、24……リード、25
……ラインセンサカメラ、26……リニアスケール、27…
…サーボモータ、28……ドライバ、29……デコーダ、30
……コントローラ、31……ボールねじ。32……CPU、33
……リード曲り算出部、34……光ファイバアレイ、35…
…明点群プロファイル。
FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a main part of a lead bending measuring apparatus showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view for explaining an optical path in the lead bending measuring apparatus of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a block diagram showing the overall configuration of the lead bending measuring device of FIG. 1, FIG. 4 is a diagram for explaining an algorithm for calculating the flatness of the lead bending measuring device of FIG. 1, and FIGS. Up to the figure, a flowchart for explaining a method of calculating a measured value, FIG. 8 is a diagram for explaining a method of calculating flatness, and FIG. 9 is a lead bending measurement showing another embodiment of the present invention. FIG. 10 is a diagram for explaining the main part of the device, FIG. 10 is a block diagram showing the entire configuration of the lead bending measuring device of FIG. 9, and FIGS. 11, 12, and 13 are conventional lead bending measuring devices. Of an example of a measuring device for measuring the flatness of the tip end surface of a lead in Each diagram showing an outline of a fit, 14
FIG. 1 is a diagram schematically illustrating an example of a measuring device for measuring lead bending in a direction in which a lead extends in a conventional lead bending measuring device. FIG. 15 illustrates the operation of the measuring device in FIG. FIGS. 16 (a) and (b) are diagrams for explaining the algorithm of the measuring apparatus of FIG. 1 area sensor camera, 2, 2a, 2b inspection stage, 3 IC, 4 conductive milky white diffusion resin, 5 5a
...... Mirror, 6, 6a, 6b, 6c ... Prism, 7 ... Protrusion, 8 ... Image capturing unit, 8a ... Binarization processing unit, 9 ...
Image memory, 10: Central value calculation unit, 11: Triangular operation unit,
12: profile creation unit, 13: coplanarity calculation unit, 14: pass / fail judgment unit, 15, 16 ... external storage device, 17
a, 17b, 17c, 17d …… I / O, 18 …… CRT, 19 …… Printer, 20 …… Keyboard, 21 …… Light source, 22 …… Conductive dark milky white diffusion resin, 23 …… Metallic light shielding plate , 24 …… lead, 25
…… Line sensor camera, 26 …… Linear scale, 27…
... Servo motor, 28 ... Driver, 29 ... Decoder, 30
…… Controller, 31 …… Ball screw. 32 …… CPU, 33
…… lead bending calculator, 34 …… optical fiber array, 35…
… Bright point cloud profile.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】表面実装型集積回路装置の外郭体の側面か
ら外方に伸び折れ曲り折れ曲げ返されてなるリードの平
坦な先端部を表面に載置するとともに裏面側から光を入
光し他面外に前記光を拡散させる導電性白色拡散樹脂体
と、前記導電性白色拡散樹脂体の該表面から突出し前記
リードの裏面の曲り部分と前記外郭体との間にある空間
部に入り込み前記表面実装型集積回路装置を位置決めす
る突起部材を有しかつ前記導電性白色拡散樹脂体の該表
面から拡散される前記光を前記突起部材により前記リー
ドの外方に伸びる方向と平行な方向の光と該方向と垂直
方向の光に分岐する光分岐手段と、これら二方向の該光
による前記リードのそれぞれの各部の投影像を撮像する
撮像機構と、これら撮像機構の画像データを二値化処理
する二値化処理機構と、これらの二値化処理される画像
データによって前記リードの投影輪郭を作成するプロフ
ァイル処理機構と、前記平行な方向の光によって前記リ
ードの伸びる方向の投影輪郭における二値化データによ
り複数の前記リードの該先端部でなる平面の平面度を算
出する第1の算出機構と、前記垂直方向の光によって前
記リードの伸びる方向に対して垂直方向の投影輪郭にお
ける二値化データにより前記リードの伸びる方向での曲
り量を算出する第2の算出機構とを有することを特徴と
するリード曲り測定装置。
1. A flat end portion of a lead, which is extended and bent from the side surface of an outer package of a surface mount type integrated circuit device, is placed on the front surface, and light enters from the rear surface side. A conductive white diffusion resin body for diffusing the light out of the other surface, and a space protruding from the surface of the conductive white diffusion resin body and entering the space between the bent portion of the back surface of the lead and the outer shell; A projection member for positioning the surface-mounted integrated circuit device, and the light diffused from the surface of the conductive white diffusion resin body is directed in a direction parallel to a direction extending outward of the lead by the projection member. A light branching means for branching light into a direction perpendicular to the direction, an image pickup mechanism for picking up an image of each part of the lead by the light in these two directions, and a binarization process of image data of the image pickup mechanism. Binarization processing machine A profile processing mechanism for creating a projected contour of the lead by the image data subjected to the binarization processing; and a plurality of the binary data in the projected contour of the lead extending direction by the light in the parallel direction. A first calculating mechanism for calculating the flatness of a plane formed by the tip of the lead; and the lead extending by the binary light in a projection contour perpendicular to the direction in which the lead extends by the vertical light. And a second calculating mechanism for calculating a bending amount in a direction.
【請求項2】前記第2の算出機構が三角関数演算を行な
うことを特徴とする請求項1記載のリード曲り測定装
置。
2. The lead bending measuring apparatus according to claim 1, wherein said second calculating mechanism performs a trigonometric function operation.
【請求項3】前記撮像機構が線状の投影像を撮像するこ
とを特徴とする請求項1及び22記載のリード曲り測定装
置。
3. The lead bending measuring apparatus according to claim 1, wherein the imaging mechanism captures a linear projection image.
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