JP2625330B2 - Pinhole position control method for confocal optical system and its control device - Google Patents

Pinhole position control method for confocal optical system and its control device

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光源側ピンホールと
検出器側ピンホールの位置が共役の位置関係にある、例
えばレーザ・スキャン顕微鏡等の共焦点光学系におい
て、これら光源側ピンホール位置と検出器側ピンホール
位置の位置調整を自動化する技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a confocal optical system such as a laser scanning microscope in which the positions of a light source side pinhole and a detector side pinhole are in a conjugate positional relationship. And technology for automating the position adjustment of the pinhole position on the detector side.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、共焦点光学系としては、例えば
レーザ・スキャン顕微鏡等がよく知られており、図3
は、特に従来のレーザ・スキャン顕微鏡の構成を示すブ
ロック図である。
2. Description of the Related Art Generally, for example, a laser scanning microscope is well known as a confocal optical system.
FIG. 2 is a block diagram particularly showing a configuration of a conventional laser scanning microscope.

【0003】このレーザ・スキャン顕微鏡(図3)で
は、第1の光源1から照射された光が光源側ピンホール
2で絞り込まれ、レンズ3aで平行光線に修正されてビ
ームスプリッタ4により光路を直角方向に変更される。
そして、XYスキャナ5で光路を変更させることで、対
物レンズ3bで集光した光をスキャンさせ、試料6に照
射する。
In this laser scanning microscope (FIG. 3), light emitted from a first light source 1 is narrowed down by a light source side pinhole 2, corrected into a parallel light by a lens 3a, and a beam splitter 4 forms an optical path at a right angle. Changed to the direction.
Then, by changing the optical path by the XY scanner 5, the light condensed by the objective lens 3 b is scanned and irradiated on the sample 6.

【0004】一方、この試料6の反射光又は蛍光は対物
レンズ3bにより平行光束に修正され、XYスキャナ
5、及びビームスプリッタ4を介してレンズ3cで集光
されて、さらに、検出器側ピンホール7で絞り込まれた
スポット光の中心部のみが検出器8で検出される。
On the other hand, the reflected light or fluorescent light of the sample 6 is corrected to a parallel light beam by an objective lens 3b, and is condensed by a lens 3c via an XY scanner 5 and a beam splitter 4, and further, is pinhole-detected. Only the central part of the spot light narrowed down at 7 is detected by the detector 8.

【0005】従来、この共焦点光学系の各ピンホール
2、7の位置の検出は、まず、試料6に代えて平面ミラ
ーを置き、実際に第1の光源1を点灯させて集光レンズ
3c、あるいは検出器側ピンホール7を光軸に対して直
交する面上で移動させ(移動方法としては、精密な送り
機構を持つXYステージが利用されることが多い)、最
も光量が得られる検出器側ピンホール7の位置を最適位
置としていた。
Conventionally, the position of each of the pinholes 2 and 7 of the confocal optical system is detected by first placing a plane mirror in place of the sample 6 and actually turning on the first light source 1 to collect the condensing lens 3c. Alternatively, the detector-side pinhole 7 is moved on a plane orthogonal to the optical axis (an XY stage having a precise feed mechanism is often used as a moving method), and detection is performed to obtain the maximum amount of light. The position of the container side pinhole 7 was set as the optimum position.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の共焦点光学系に
おいては以上のように、当該光路中にフィルタ等の光学
素子を挿入するなどした場合、光源側及び検出器側ピン
ホールが共役位置からずれることが起こるので、試料の
代わりに平面ミラーを置くなどして手動により、各ピン
ホールの位置合わせを行わなければならないなどの課題
があった。
As described above, in the conventional confocal optical system, when an optical element such as a filter is inserted into the optical path, the pinholes on the light source side and the detector side move from the conjugate position. Since the displacement occurs, there is a problem that the pinholes must be manually aligned by placing a plane mirror instead of the sample.

【0007】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、光源側及び検出器側ピンホールが
共役位置にある共焦点光学系において、これら各ピンホ
ールの位置を自動的に調整する方法及び装置を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems. In a confocal optical system in which a light source side and a detector side pinholes are located at conjugate positions, the positions of these pinholes are automatically determined. It is an object to provide a method and apparatus for adjusting.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る共
焦点光学系のピンホール位置制御方法は、共焦点光学系
における検出器側ピンホールと検出器との間に、該検出
器側ピンホールを通過させる光を照射する第2の光源を
設置し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホール
を通過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位
置に対応しているスポット光として、当該共焦点光学系
の光路上から交互に集光して取出し、このスポット光の
位置ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピン
ホールの位置ずれを検出することを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a pinhole position control method for a confocal optical system, the method comprising: providing a pinhole position between a detector side pinhole and a detector in the confocal optical system; A second light source for irradiating light passing through the pinhole is provided, and light passing through the pinholes on the light source side and the detector side respectively corresponds to the positions of the pinholes on the light source side and the detector side. As a spot light, the light is alternately condensed and taken out from the optical path of the confocal optical system, and by detecting the position shift of the spot light, the position shift of the pinhole on the light source side and the detector side can be detected. Features.

【0009】また、請求項2の発明では、上記共焦点光
学系のピンホール位置制御方法を自動的に実現する装置
として、前記検出器側ピンホールと検出器との間に設置
され、該検出器側ピンホールを通過させる光を照射する
第2の光源と、前記第1及び第2の光源から照射された
光を当該共焦点光学系から集光して取出したスポット光
であって、該光源側及び検出器側ピンホールの位置にそ
れぞれ対応したスポット光の位置を検出する位置検出装
置と、前記検出器側ピンホールあるいは前記検出器側ピ
ンホールを介して検出器に試料からの反射光又は蛍光を
結像させるレンズを光軸に対して垂直方向に移動させる
駆動手段と、前記位置検出装置から出力される前記光源
側及び検出器側ピンホールに対応したスポット光の位置
情報に基づいて、前記駆動手段に対して移動指示を行う
制御手段を備えたことを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, an apparatus for automatically realizing the pinhole position control method for the confocal optical system is provided between the detector side pinhole and a detector. A second light source for irradiating light passing through the container-side pinhole, and a spot light obtained by condensing and irradiating light emitted from the first and second light sources from the confocal optical system, A position detecting device for detecting the positions of the spot lights respectively corresponding to the positions of the light source side and the detector side pinholes, and reflected light from the sample to the detector via the detector side pinholes or the detector side pinholes Or, based on driving means for moving a lens for forming an image of fluorescent light in a direction perpendicular to the optical axis, and position information of spot light corresponding to the pinholes on the light source side and the detector side output from the position detection device. , It is characterized by comprising a control means for moving instructions to the serial driving means.

【0010】[0010]

【作用】請求項1の発明では、共焦点光学系における検
出器側ピンホールと検出器との間に、該検出器側ピンホ
ールの位置を示す第2の光源を設置し、前記光源側及び
検出器側それぞれのピンホールを通過した光を、該光源
側及び検出器側ピンホールの位置に対応しているスポッ
ト光として、当該共焦点光学系の光路上から交互に集光
して取出して、位置検出装置でこのスポット光の位置ず
れを検出するように構成したので、同じ位置(1つの位
置検出器)で光源側及び検出器側ピンホールの位置を確
認することができる。
According to the first aspect of the present invention, a second light source indicating the position of the detector-side pinhole is provided between the detector-side pinhole and the detector in the confocal optical system, and the light source side and the second light source are provided. The light that has passed through the respective pinholes on the detector side is alternately condensed and extracted from the optical path of the confocal optical system as spot light corresponding to the positions of the light source side and the detector side pinholes. Since the position deviation of the spot light is detected by the position detection device, the positions of the pinholes on the light source side and the detector side can be confirmed at the same position (one position detector).

【0011】また、請求項2の発明では、これらの動作
を実施する検出手段(第2の光源及び位置検出器)、制
御手段、駆動手段を設けることで、ピンホール位置の自
動制御化が可能になる。
According to the second aspect of the present invention, the pinhole position can be automatically controlled by providing detection means (second light source and position detector), control means and driving means for performing these operations. become.

【0012】[0012]

【実施例】以下、この発明の一実施例を図1及び2を用
いて説明する。なお、図中同一部分には同一符号を付し
て説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the drawings, the same portions are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0013】図1は、請求項1の発明に係る共焦点光学
系のピンホール位置制御方法を説明するための共焦点光
学系の構成図であり、検出器側ピンホール7の位置を示
すために、検出器8と検出器側ピンホール7との間に第
2の光源9を設け、この第2の光源9から照射される光
を検出器側ピンホール7の方向に光路変更させるため
に、レンズ3d及びビームスプリッタ4aを設置してい
る。
FIG. 1 is a block diagram of a confocal optical system for explaining a pinhole position control method of the confocal optical system according to the first aspect of the present invention, and shows a position of a pinhole 7 on a detector side. In addition, a second light source 9 is provided between the detector 8 and the detector-side pinhole 7, and the light emitted from the second light source 9 is changed in the optical path in the direction of the detector-side pinhole 7. , A lens 3d and a beam splitter 4a.

【0014】また、当該共焦点光学系の光路上から光源
側及び検出器側ピンホール2、7の位置に対応している
光は、ビームスプリッタ4cを介してレンズ3eで集光
されたスポット光として、位置検出器10としてのPS
D(Position Sensitive Detector )で検出できるよう
に構成されている。
Light corresponding to the positions of the pinholes 2 and 7 on the light source side and the detector side from the optical path of the confocal optical system is spot light condensed by the lens 3e via the beam splitter 4c. As the position detector 10
It is configured so that it can be detected by D (Position Sensitive Detector).

【0015】第1の光源1から照射された光は、光源側
ピンホール2を通過し、ビームスプリッタ4b、4cに
よりある割合で反射され、PSD10上にスポット光を
形成する。一方、第2の光源9から照射された光は、ビ
ームスプリッタ4aを介して検出器側ピンホール7を通
過する。そして、この検出器側ピンホール7を通過した
光はビームスプリッタ4b、4cを経て同様にPSD1
0上にスポット光を形成する。
Light emitted from the first light source 1 passes through the light source side pinhole 2 and is reflected at a certain ratio by the beam splitters 4b and 4c to form a spot light on the PSD 10. On the other hand, the light emitted from the second light source 9 passes through the detector-side pinhole 7 via the beam splitter 4a. The light that has passed through the detector side pinhole 7 passes through the beam splitters 4b and 4c, and similarly passes through the PSD1.
A spot light is formed on 0.

【0016】この時、PSD10上に形成されたスポッ
ト光が一致していれば光源側ピンホール2と検出器側ピ
ンホール7、そして、試料6上のスポットがすべて共役
位置にあるといえる。
At this time, if the spot lights formed on the PSD 10 coincide with each other, it can be said that the light source side pinhole 2, the detector side pinhole 7, and the spot on the sample 6 are all at conjugate positions.

【0017】なお、この実施例では位置合わせとして、
第1及び第2の光源1、9を交互に点灯させたが、一方
のみを点滅させて、PSD10からの位置出力が等しく
なるように光源側ピンホール2、あるいは検出器側ピン
ホール7を移動させるようにしても同様の効果を奏す
る。
In this embodiment, the positioning is
The first and second light sources 1 and 9 are alternately turned on, but only one of them is blinked and the light source side pinhole 2 or the detector side pinhole 7 is moved so that the position output from the PSD 10 becomes equal. The same effect can be obtained even if it is performed.

【0018】次に、請求項2の発明について図2を用い
て説明する。
Next, the second aspect of the present invention will be described with reference to FIG.

【0019】図2は、請求項2の発明に係る共焦点光学
系のピンホール位置制御装置の一実施例の構成を示すブ
ロック図であり、共焦点走査顕微鏡に応用した例であ
る。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a pinhole position control device for a confocal optical system according to the second aspect of the present invention, which is an example applied to a confocal scanning microscope.

【0020】このピンホール位置制御装置は、前述した
ように該検出器側ピンホール7の位置を示す第2の光源
9と、第1の光源1から照射された光を当該共焦点光学
系からビームスプリッタ4c及びレンズ3cで交互に集
光して取出したスポット光を位置検出器10であるPS
Dで検出している。
This pinhole position control device, as described above, uses the second light source 9 indicating the position of the detector-side pinhole 7 and the light emitted from the first light source 1 through the confocal optical system. The spot light, which is alternately condensed and extracted by the beam splitter 4c and the lens 3c, is used as the position detector PS.
D detects.

【0021】そして、制御手段11ではこのPSD10
で検出された各スポット位置からその位置ずれ量を検出
し、このスポット位置を一致させるように駆動手段12
としての2軸ステージに移動指示を出す。
The control means 11 controls the PSD 10
The position shift amount is detected from each of the spot positions detected by the driving means 12 and the driving means 12
And issues a movement instruction to the two-axis stage.

【0022】これにより、2軸ステージ12は検出器8
に試料6からの反射光を集光させる可動レンズ3cを移
動させ、光源側及び検出器側ピンホール2、7を共役の
位置に自動的に修正する。
Thus, the two-axis stage 12 is connected to the detector 8
The movable lens 3c for condensing the reflected light from the sample 6 is moved to automatically correct the pinholes 2 and 7 on the light source side and the detector side to conjugate positions.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、共焦点
光学系における検出器側ピンホールと検出器との間に、
該検出器側ピンホールの位置を示す第2の光源を設置
し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホールを通
過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位置に
対応しているスポット光として、当該共焦点光学系の光
路上から交互に集光して取出し、このスポット光の位置
ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピンホー
ルの位置ずれを検出するように構成しているので、簡単
に光源側ピンホールと検出器側ピンホールの共役位置の
位置合わせを可能にする効果がある。
As described above, according to the present invention, between the detector side pinhole and the detector in the confocal optical system,
A second light source indicating the position of the detector-side pinhole is installed, and light passing through the respective light-source-side and detector-side pinholes corresponds to the positions of the light-source-side and detector-side pinholes. As a spot light, the light is alternately condensed and extracted from the optical path of the confocal optical system, and by detecting the position shift of the spot light, the position shift of the pinhole on the light source side and the detector side is detected. Therefore, there is an effect that the conjugate position of the light source side pinhole and the detector side pinhole can be easily adjusted.

【0024】また、上記共焦点光学系のピンホール位置
制御方法を自動的に実現する装置として、検出手段(第
2の光源及び位置検出器)、制御手段、駆動手段を設け
ることで、各ピンホールの位置合わせの自動化が実現で
き、位置修正での個人差が発生しない効果がある。
Further, as a device for automatically realizing the pinhole position control method of the confocal optical system, a detection means (second light source and position detector), a control means, and a drive means are provided so that each pin is provided. Automation of hole alignment can be realized, and there is an effect that individual differences in position correction do not occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】請求項1の発明に係る共焦点光学系のピンホー
ル位置制御方法を説明するための共焦点光学系の構成図
である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a confocal optical system for explaining a pinhole position control method of the confocal optical system according to the first embodiment of the present invention.

【図2】請求項2の発明に係る共焦点光学系のピンホー
ル位置制御装置の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a pinhole position control device for a confocal optical system according to the invention of claim 2;

【図3】従来の共焦点光学系としてのレーザ・スキャン
顕微鏡の構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a laser scan microscope as a conventional confocal optical system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…第1の光源、2…光源側ピンホール、3a、3b、
3c、3d、3e…レンズ、4a、4b、4c…ビーム
スプリッタ、5…XYスキャナ、6…試料、7…検出器
側ピンホール、8…検出器、9…第2の光源、10…P
SD、11…制御手段、12…2軸ステージ。
1 ... first light source, 2 ... light source side pinhole, 3a, 3b,
3c, 3d, 3e: lens, 4a, 4b, 4c: beam splitter, 5: XY scanner, 6: sample, 7: detector side pinhole, 8: detector, 9: second light source, 10: P
SD, 11: control means, 12: two-axis stage.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 裕司 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 寺田 浩敏 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 松浦 浩幸 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−140914(JP,A) 特開 昭62−208017(JP,A) 特開 平4−42117(JP,A) 実開 平4−130919(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yuji Nakajima 1126, Nomachi, Ichinomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Inside (72) Inventor Hirotoshi Terada 1126, Nomachi, Ichinomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Hamamatsu Photonics Co., Ltd. (72) Inventor Hiroyuki Matsuura 1126 Nomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture 1 Hamamatsu Photonics Co., Ltd. (56) References JP-A-61-140914 (JP, A) JP-A-62-208017 (JP, A) JP-A-4-42117 (JP, A) JP-A-4-130919 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 第1の光源から試料に対して照射する光
を絞り込む光源側ピンホールと、検出器で検出する該試
料からの反射光又は蛍光を絞り込む検出器側ピンホール
とを、共役の位置に設置するための共焦点光学系のピン
ホール位置制御方法において、 前記検出器側ピンホールと検出器との間に、該検出器側
ピンホールを通過させる光を照射する第2の光源を設置
し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホールを通
過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位置に
対応しているスポット光として、当該共焦点光学系の光
路上から交互に集光して取出し、このスポット光の位置
ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピンホー
ルの位置ずれを検出することを特徴としている共焦点光
学系のピンホール位置制御方法。
1. A conjugate light source-side pinhole for narrowing light emitted from a first light source onto a sample and a detector-side pinhole for narrowing reflected light or fluorescence from the sample detected by a detector. In a pinhole position control method of a confocal optical system for setting at a position, a second light source for irradiating light passing through the detector-side pinhole is provided between the detector-side pinhole and a detector. Installed, and light passing through the pinholes on the light source side and the detector side is alternated from the optical path of the confocal optical system as spot light corresponding to the positions of the pinholes on the light source side and the detector side. A pinhole position control method for a confocal optical system, wherein the position shift of the light source side and the detector side pinhole is detected by detecting the position shift of the spot light.
【請求項2】 第1の光源から試料に対して照射する光
を絞り込む光源側ピンホールと、検出器で検出する該試
料からの反射光又は蛍光を絞り込む検出器側ピンホール
とを、共役の位置に設置するための共焦点光学系のピン
ホール位置制御装置において、 前記検出器側ピンホールと検出器との間に設置され、該
検出器側ピンホールを通過させる光を照射する第2の光
源と、 前記第1及び第2の光源から照射された光を当該共焦点
光学系から集光して取出したスポット光であって、該光
源側及び検出器側ピンホールの位置にそれぞれ対応した
スポット光の位置を検出する位置検出装置と、 前記検出器側ピンホールあるいは前記検出器側ピンホー
ルを介して検出器に試料からの反射光又は蛍光を結像さ
せるレンズを光軸に対して垂直方向に移動させる駆動手
段と、 前記位置検出装置から出力される前記光源側及び検出器
側ピンホールに対応したスポット光の各位置情報に基づ
いて、前記駆動手段に対して移動指示を行う制御手段と
を備えた共焦点光学系のピンホール位置制御装置。
2. A conjugate light source-side pinhole for narrowing down light emitted from a first light source to a sample and a detector-side pinhole for narrowing down reflected light or fluorescence from the sample detected by a detector. In a pinhole position control device of a confocal optical system for installing at a position, a second device is provided between the detector-side pinhole and the detector, and irradiates light passing through the detector-side pinhole. A light source, and a spot light obtained by condensing light emitted from the first and second light sources from the confocal optical system and corresponding to the positions of the light source side and the detector side pinholes, respectively. A position detection device that detects the position of the spot light, and a lens that forms an image of reflected light or fluorescence from a sample on the detector via the detector-side pinhole or the detector-side pinhole, perpendicular to the optical axis. Moved in the direction A drive unit for performing a movement instruction to the drive unit based on each position information of the spot light corresponding to the light source side and the detector side pinhole output from the position detection device. Pinhole position control device for confocal optical system.
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US7764589B2 (en) 2004-04-21 2010-07-27 Panasonic Corporation Confocal optical system aperture detector that measures a light quantity balance of light received to detect a position displacement, and a confocal optical system aperture position controller, an optical head and a position detecting method performing the same

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