JP2620949B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents
Photosensitive resin compositionInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、金属との密着性がすぐれた感光性樹脂組成
物に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition having excellent adhesion to a metal.
従来の技術 ベースフィルム(通常はポリエステルフィルムを用い
る)上に感光性樹脂組成物を層状に塗布成層し、その上
から保護フィルム(通常はポリエチレンフィルムを用い
る)を積層したラミネートフィルムは、一般にドライフ
ィルムと称され、プリント配線板の製造用、金属の精密
加工用に広く使用されている。2. Description of the Related Art A laminated film obtained by coating a photosensitive resin composition in layers on a base film (usually using a polyester film) and then laminating a protective film (usually using a polyethylene film) on the base film is generally a dry film. It is widely used for manufacturing printed wiring boards and precision metal processing.
その使用にあたっては、まずドライフィルムから保護
フィルムを剥離して感光性樹脂組成物層の側を銅張基板
の銅面に貼り付けた後、パターンマスクをベースフィル
ム上に当てた状態で露光し(ベースフィルムを剥離除去
してから露光する場合もある)、ついでベースフィルム
を剥離除去して現像に供する。露光後の現像方式として
は、溶剤現像型のものと稀アルカリ現像型のものとがあ
る。In the use, first, the protective film is peeled off from the dry film, the photosensitive resin composition layer side is adhered to the copper surface of the copper-clad substrate, and then the pattern mask is exposed on the base film ( In some cases, exposure is performed after the base film is removed, and then the base film is removed and subjected to development. As a development method after exposure, there are a solvent development type and a dilute alkali development type.
ドライフィルムのほか、金属面に直接感光性樹脂組成
物を塗布成層し、その上に積層したポリエステルフィル
ムなどのフィルムを介してパターンマスクを密着させ、
露光を行う方法もよく知られている。In addition to the dry film, the photosensitive resin composition is applied directly on the metal surface and layered, and the pattern mask is adhered through a film such as a polyester film laminated on it,
Exposure methods are also well known.
ドライフィルムの場合は、金属との密着性が小さい
と、ラミネート後のドライフィルムのカッティングの
際、あるいは露光後現像前にベースフィルムを剥離除去
する際、レジストの一部が基板から浮き上ったり欠けた
りするなどのトラブルを生ずることがある。In the case of dry film, if the adhesion to metal is low, part of the resist may rise from the substrate when cutting the dry film after lamination or peeling off the base film before development after exposure. Troubles such as chipping may occur.
また金属との密着性が不足すると、現像液、さらには
エッチング液(エッチング法の場合)やメッキ前処理剤
・メッキ液(メッキ法の場合)が、レジストと金属との
界面から浸入し、レジスト浮き、アンダーエッチングあ
るいはアンダープレーティングなどを生じて良好なパタ
ーン再現性が得られず、さらにはなはだしい場合には断
線やショートを惹き起こして不良品となることもある。If the adhesion to the metal is insufficient, the developing solution, the etching solution (in the case of the etching method), the plating pretreatment agent and the plating solution (in the case of the plating method) infiltrate from the interface between the resist and the metal, and Good pattern reproducibility cannot be obtained due to floating, under-etching or under-plating, and in severe cases, disconnection or short circuit may be caused, resulting in defective products.
そこで、このようなレジスト−金属間の密着不良を改
良するために、 感光性樹脂組成物に密着付与剤を添加する方法、 バインダーポリマーを改良する方法、 フォトレジスト層を物理的に粗面化する方法、 などが試みられている。Therefore, in order to improve such poor adhesion between the resist and the metal, a method of adding an adhesion promoter to the photosensitive resin composition, a method of improving the binder polymer, and physically roughening the photoresist layer Methods, and so on.
上記の方法に関する文献としては、特公昭58−2403
5号公報(ベンゾトリアゾール、ベンゾイミダゾール、
ベンゾチアゾールなどを添加)、特開昭56−67845号公
報(ジフェニルチオカルバゾン)、特開昭57−192946号
公報(複素環化合物)、特開昭59−46642号公報(モノ
アザインドールおよびその誘導体)、特開昭59−48752
号公報(イミダゾール、チアゾール、テトラゾール、ト
リアゾール)、特開昭59−113432号公報(カルボチオ酸
アミド誘導体)、特開昭59−125725号公報(ローダミン
類)、特開昭59−125726号公報(テトラゾールまたはそ
の誘導体)、特開昭59−125727号公報(ロフィン)、特
開昭59−125728号公報(テオフィリン)、特開昭59−15
2439号公報(2−置換−4,6−ジチオール−s−トリア
ジン誘導体)、特開昭60−135931号公報(テトラゾール
体チオール)、特開昭60−138540号公報(複素環チオー
ル化合物)、特開昭60−12543号公報(ジアゾール化合
物)、特開昭60−12544号公報(ジアゾール化合物)、
特開昭61−166541号公報(ベンゾトリアゾールカルボン
酸類)、特開昭61−172139号公報(複素環チオール化合
物)、特開昭61−186952号公報(5−アミノテトラゾー
ル)、特開昭61−190330号公報(β−ジケトン誘導
体)、特開昭61−198146号公報(複素環化合物)、特開
昭61−223836号公報(複素環化合物)などがある。References regarding the above method include Japanese Patent Publication No. 58-2403.
No. 5 (benzotriazole, benzimidazole,
Benzothiazole and the like), JP-A-56-67845 (diphenylthiocarbazone), JP-A-57-192946 (heterocyclic compound), JP-A-59-46642 (monoazaindole and its derivatives) Derivatives), JP-A-59-48752
JP (Imidazole, thiazole, tetrazole, triazole), JP-A-59-113432 (carbothioamide derivative), JP-A-59-125725 (rhodamines), JP-A-59-125726 (tetrazole) Or its derivatives), JP-A-59-125727 (rophin), JP-A-59-125728 (theophylline), and JP-A-59-15
No. 2439 (2-substituted-4,6-dithiol-s-triazine derivative), Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 60-133591 (tetrazole thiol), Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 60-138540 (heterocyclic thiol compound), JP-A-60-12543 (diazole compound), JP-A-60-12544 (diazole compound),
JP-A-61-166541 (benzotriazole carboxylic acids), JP-A-61-172139 (heterocyclic thiol compound), JP-A-61-186952 (5-aminotetrazole), JP-A-61-16952 JP-A-190330 (β-diketone derivative), JP-A-61-198146 (heterocyclic compound), JP-A-61-223836 (heterocyclic compound) and the like.
上記の方法に関する文献としては、特開昭57−1924
20号公報(脂肪族アゾ基含有モノマーを共重合)、特開
昭60−19135公報(ポリビニルブチラールを配合)など
がある。References relating to the above method include JP-A-57-1924.
JP-A No. 20 (copolymerizing an aliphatic azo group-containing monomer) and JP-A-60-19135 (comprising polyvinyl butyral).
上記の方法に関する文献としては、特開昭60−3963
5号公報(マット化ポリエチレンを使用、あるいはフォ
トレジスト層をブラシ様のもので粗面化)などがある。References relating to the above method include JP-A-60-3963.
No. 5 (using matte polyethylene or roughening the photoresist layer with a brush-like one).
このように、銅張基板の銅面など金属面への感光性樹
脂組成物層の成層、露光、エッチング、メッキの段階で
はレジスト−金属間の強固な密着性が要求されるが、そ
の後の工程である硬化レジスト除去工程においては、硬
化レジストが容易に剥離除去されることことが要求され
る。As described above, in the steps of laminating a photosensitive resin composition layer on a metal surface such as a copper surface of a copper-clad substrate, exposing, etching, and plating, strong adhesion between a resist and a metal is required. In the cured resist removing step, it is required that the cured resist is easily peeled and removed.
硬化レジストの剥離除去は、溶剤現像型の感光性樹脂
組成物の場合には溶剤を用いて比較的容易になされる
が、この種の溶剤として使われている塩化メチレンなど
は毒性を有しかつコストが高いので、工業的には制約が
ある。In the case of a solvent-developable photosensitive resin composition, the removal of the cured resist is relatively easily performed using a solvent, but methylene chloride and the like used as this kind of solvent have toxicity and Due to high cost, there are industrial restrictions.
一方、稀アルカリ現像型の感光性樹脂組成物の場合
は、硬化レジストの剥離除去をアルカリ剥離液を用いて
行うのが工業的には有利であり、最近ではこの方法が多
く採用されているが、剥離速度が遅いために生産性の低
下を招くこと、ハンダメッキの場合はSn、Pbのアルカリ
溶出が起こることなどの問題点があり、また剥離状態が
不良であればレジスト残りや銅面の変色が生じ、エッチ
ング不良やハンダ付け不良等の不良品を発生させること
になる。On the other hand, in the case of a diluted alkali-developing photosensitive resin composition, it is industrially advantageous to perform stripping and removal of the cured resist using an alkali stripping solution, and recently, this method is often used. However, there is a problem in that productivity is reduced due to a slow peeling rate, and in the case of solder plating, Sn and Pb are eluted with alkali. Discoloration occurs, resulting in defective products such as poor etching and poor soldering.
アルカリ剥離液による硬化レジストの剥離除去性を向
上させるために、該剥離液にブチルセロソルブ、アミン
系化合物、含窒素複素環化合物などを添加する方法が提
案されている。(たとえば、特開昭62−50832号公報、
特開昭62−106459号公報参照) アルカリ剥離液による硬化レジストの剥離除去性を向
上させる別の方法として、感光性樹脂組成物の側から改
善を行う方法も提案されており、特開昭60−57337号公
報および特開昭60−80843号公報には、バインダーポリ
マーにカルボン酸基を多く導入する方法が示されてい
る。A method of adding butyl cellosolve, an amine compound, a nitrogen-containing heterocyclic compound, or the like to the stripping solution has been proposed in order to improve the stripping and removing properties of the cured resist using an alkali stripping solution. (For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-50832,
As another method for improving the strippability of a cured resist with an alkali stripping solution, a method of improving the photosensitive resin composition from the side has been proposed, as disclosed in JP-A-62-106459. JP-A-57337 and JP-A-60-80843 disclose a method of introducing a large number of carboxylic acid groups into a binder polymer.
発明が解決しようとする課題 レジスト−金属間の密着性改良方法のうち、密着付与
剤を添加する方法は、密着付与剤の多量添加を必要とし
たり、レジスト除去後の金属面が赤色に変色し、エッチ
ング、メッキ、ハンダ付けに際して悪影響を及ぼした
り、感光特性に作用して組成物の安定性を損なったりす
ることがあり、さらにレジストが稀アルカリ現像型の場
合には、硬化レジストのアルカリ剥離液による剥離除去
性が不良となることが多い。Problems to be Solved by the Invention Among the methods for improving the adhesion between a resist and a metal, the method of adding an adhesion-imparting agent requires the addition of a large amount of the adhesion-imparting agent, or the metal surface after the resist is removed turns red. May adversely affect the etching, plating, and soldering, or may affect the photosensitive properties and impair the stability of the composition. Often causes poor removability.
硬化レジストをアルカリ剥離液で剥離除去する場合に
おいて、硬化レジストの剥離除去性を向上させるために
アルカリ剥離液にブチルセロソルブ、アミン系化合物、
含窒素複素環化合物などを添加する方法は、剥離装置に
耐溶剤性を有する材質のものを用いなければならないこ
と、廃液負荷が増大することなどの不利がある。When stripping and removing the cured resist with an alkali stripping solution, butyl cellosolve, an amine compound,
The method of adding a nitrogen-containing heterocyclic compound or the like has disadvantages in that a material having solvent resistance must be used for the stripping device, and the waste liquid load increases.
また、硬化レジストの剥離除去性を向上させるべくバ
インダーポリマーにカルボン酸基を多く導入する方法
は、レジストの耐薬品性を低下させたり、他のレジスト
物性を損なうことがあり、また剥離除去性は向上して
も、金属との密着性が低下することがある。In addition, the method of introducing a large amount of carboxylic acid groups into the binder polymer to improve the peelability of the cured resist may reduce the chemical resistance of the resist or impair the properties of other resists. Even if improved, the adhesion to the metal may be reduced.
本発明は、このような状況に鑑み、金属との密着性の
良好な感光性樹脂組成物を提供すること、また稀アルカ
リ現像型の感光性樹脂組成物とした場合には、金属との
密着性が良好でかつ硬化レジストのアルカリ剥離液によ
る剥離除去性が良好な感光性樹脂組成物を提供すること
を目的になされたものである。In view of such circumstances, the present invention provides a photosensitive resin composition having good adhesion to a metal, and when a photosensitive resin composition of a dilute alkali development type is used, the adhesion to a metal is improved. It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition having good properties and a good removability of a cured resist with an alkali stripping solution.
課題を解決するための手段 本発明の感光性樹脂組成物は、ベースポリマー
(A)、光重合性モノマー(B)および光重合開始剤
(C)からなる組成物であって、前記光重合性モノマー
(B)の少なくとも一部がアセトアセチル基含有エチレ
ン性不飽和化合物(b)であることを特徴とするもので
ある。Means for Solving the Problems The photosensitive resin composition of the present invention is a composition comprising a base polymer (A), a photopolymerizable monomer (B) and a photopolymerization initiator (C), At least a part of the monomer (B) is an acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b).
以下本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.
ベースポリマー(A) ベースポリマー(A)としては、従来よりベースポリ
マー/光重合性モノマー/光重合開始剤系の感光性樹脂
組成物のベースポリマーとして用いられている種々のポ
リマー、たとえば、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ
系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂などを用いること
ができる。Base Polymer (A) As the base polymer (A), various polymers conventionally used as a base polymer of a base resin / photopolymerizable monomer / photopolymerization initiator-based photosensitive resin composition, for example, acrylic polymers Resins, polyester resins, polyamide resins, polyurethane resins, epoxy resins, polyvinyl alcohol resins, and the like can be used.
ベースポリマー(A)として特に好ましい樹脂は、ア
クリル酸エステルまたは/およびメタクリル酸エステル
を主成分とし、必要に応じエチレン性不飽和カルボン酸
や他の共重合可能なモノマーを共重合したアクリル系樹
脂である。稀アルカリ現像型とするときは、エチレン性
不飽和カルボン酸を15〜30重量%程度(酸価で100〜200
mgKOH/g程度)共重合することが必要である。Particularly preferred resin as the base polymer (A) is an acrylic resin containing an acrylate or / and a methacrylate as a main component and optionally copolymerizing an ethylenically unsaturated carboxylic acid or another copolymerizable monomer. is there. When using a dilute alkali developing type, the ethylenically unsaturated carboxylic acid is added in an amount of about 15 to 30% by weight (acid value of 100 to 200%).
It is necessary to copolymerize (about mgKOH / g).
ここでアクリル酸エステルとしては、メチルアクリレ
ート、エチルアクリレート、プロピルアクリレート、ブ
チルアクリレート、ヘキシルアクリレート、2−エチル
ヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、
ベンジルアクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレ
ート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、グリシジルアクリレートなどが例示
され、メタクリル酸エステルとしては、メチルメタクリ
レート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレー
ト、ブチルメタクリレート、ヘキシルメタクリレート、
2−エチルヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメ
タクリレート、ベンジルメタクリレート、ジメチルアミ
ノエチルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレ
ート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、グリシジル
メタクリレートなどが例示される。Here, as the acrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, cyclohexyl acrylate,
Benzyl acrylate, dimethylaminoethyl acrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, glycidyl acrylate and the like are exemplified.Examples of methacrylates include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, hexyl methacrylate,
Examples thereof include 2-ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate, and glycidyl methacrylate.
エチレン性不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、
メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボン酸が好適
に用いられ、そのほか、マレイン酸、フマール酸、イタ
コン酸などのジカルボン酸、あるいはそれらの無水物や
ハーフエステルも用いることができる。これらの中で
は、アクリル酸とメタクリル酸が好ましい。As the ethylenically unsaturated carboxylic acid, acrylic acid,
Monocarboxylic acids such as methacrylic acid and crotonic acid are preferably used, and dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid, or anhydrides and half esters thereof can also be used. Among these, acrylic acid and methacrylic acid are preferred.
他の共重合可能モノマーとしてはアクリルアミド、メ
タクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリ
ル、スチレン、α−メチルスチレン、酢酸ビニル、アル
キルビニルエーテルなどが例示できる。Examples of other copolymerizable monomers include acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, styrene, α-methylstyrene, vinyl acetate, and alkyl vinyl ether.
光重合性モノマー(B) 光重合性モノマー(B)としては、その少なくとも一
部がアセトアセチル基含有エチレン性不飽和化合物
(b)である光重合性モノマーが用いられる。Photopolymerizable monomer (B) As the photopolymerizable monomer (B), a photopolymerizable monomer at least part of which is an acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) is used.
まずアセトアセチル基含有エチレン性不飽和化合物
(b)以外の光重合性モノマー(B)としては、エチレ
ングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジ
アクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレー
ト、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピ
レングリコールジアクリレート、ブチレングリコールジ
アクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、1,6−ヘキサングリコールジアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、グリセリンジアク
リレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート、2,2−ビス(4−アクリロ
キシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−
アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒ
ドロキシ−3−アクリロイルオキシプロピルアクリレー
ト、エチレングリコールジグリシジルエーテルジアクリ
レート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ
アクリレート、1,6−ヘキサメチルジグリシジルエーテ
ルジアクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジア
クリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリア
クリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジ
エチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレン
グリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジ
メタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリ
レート、ブチレングリコールジメタクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサング
リコールジメタクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、グリセリンジメタクリレート、ペン
タエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート、2,2−ビス(4−メタクリロキシジ
エトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−メタク
リロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロ
キシ−3−メタクリロイルオキシプロピルメタクリレー
ト、エチレングリコールジグリシジルエーテルジメタク
リレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル
ジメタクリレート、1,6−ヘキサメチルジグリシジルエ
ーテルジメタクリレート、フタル酸ジグリシジルエステ
ルジメタクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテ
ルポリメタクリレートなどの多官能モノマーがあげられ
る。これらの多官能モノマーと共に、単官能モノマーを
適当量併用することもできる。First, as the photopolymerizable monomer (B) other than the acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b), ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, Butylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, 1,6-hexane glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, glycerin diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, 2,2- Bis (4-acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-
(Acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether diacrylate, diethylene glycol diglycidyl ether diacrylate, 1,6-hexamethyldiglycidyl ether diacrylate, diglycidyl phthalate Ester diacrylate, glycerin polyglycidyl ether polyacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, propylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 1,6 -Hexane glycol dimethacrylate G, trimethylolpropane trimethacrylate, glycerin dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, 2,2-bis (4-methacryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis ( 4-methacryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl methacrylate, ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate, diethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate, 1,6-hexamethyldiglycidyl ether dimethacrylate, phthalic acid Multifunctional monomers such as diglycidyl ester dimethacrylate and glycerin polyglycidyl ether polymethacrylate It is below. An appropriate amount of a monofunctional monomer can be used together with these polyfunctional monomers.
単官能モノマーの例としては、2−ヒドロキシエチル
アクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、
2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−フェノキシ−
2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−アクリロイ
ルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、3−ク
ロロ−2−ヒドロキシプロピルアクリレート、グリセリ
ンモノアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルア
シッドホスフェート、フタル酸誘導体のハーフアクリレ
ート、N−メチロールアクリルアミドや、2−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタ
クリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、2
−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレー
ト、2−メタクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピ
ルフタレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、グリセリンモノメタクリレート、2−メ
タクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、フタ
ル酸誘導体のハーフメタクリレート、N−メチロールメ
タクリルアミドなどがあげられる。Examples of monofunctional monomers include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate,
2-hydroxybutyl acrylate, 2-phenoxy-
2-hydroxypropyl acrylate, 2-acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, 3-chloro-2-hydroxypropyl acrylate, glycerin monoacrylate, 2-acryloyloxyethyl acid phosphate, half acrylate of phthalic acid derivative, N-methylol acrylamide And 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate,
-Phenoxy-2-hydroxypropyl methacrylate, 2-methacryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, 3-chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, glycerin monomethacrylate, 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate, half methacrylate of phthalic acid derivative, N -Methylol methacrylamide and the like.
アセトアセチル基含有エチレン性不飽和化合物(b) 光重合性モノマー(B)のうちのアセトアセチル基含
有エチレン性不飽和化合物(b)は、たとえば次の方法
によって取得される。Acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) The acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) of the photopolymerizable monomer (B) is obtained, for example, by the following method.
官能基含有エチレン性不飽和化合物にジケテンを反
応させる。The diketene is reacted with the functional group-containing ethylenically unsaturated compound.
官能基含有エチレン性不飽和化合物とアセト酢酸エ
ステルとをエステル交換反応する。A transesterification reaction between the functional group-containing ethylenically unsaturated compound and the acetoacetic ester is performed.
の場合の官能基としてはヒドロキシル基、アミド
基、ウレタン基、アミノ基、カルボキシ基などがあげら
れる。Examples of the functional group in the above case include a hydroxyl group, an amide group, a urethane group, an amino group and a carboxy group.
ここで官能基含有エチレン性不飽和化合物としては、
上述の光重合性モノマー(B)の項で述べたような多官
能モノマーや単官能モノマーが用いられる。Here, as the functional group-containing ethylenically unsaturated compound,
A polyfunctional monomer or a monofunctional monomer as described in the section of the photopolymerizable monomer (B) is used.
上記の場合のジケテンの反応は、無触媒のほか、第
三級アミン、酸(硫酸など)、塩基性塩(酢酸ナトリウ
ムなど)、有機金属化合物(ジブチルスズラウリレート
など)の触媒存在下に行うことができる。The reaction of diketene in the above case should be carried out in the absence of a catalyst and in the presence of a catalyst of a tertiary amine, an acid (such as sulfuric acid), a basic salt (such as sodium acetate), or an organic metal compound (such as dibutyltin laurylate). Can be.
上記の場合のアセト酢酸エステルの反応は、酢酸カ
ルシウム、酢酸亜鉛、酸化鉛などのエステル交換触媒の
存在下に行うことが望ましい。The reaction of the acetoacetic ester in the above case is desirably performed in the presence of a transesterification catalyst such as calcium acetate, zinc acetate, and lead oxide.
光重合開始剤(C) 光重合開始剤(C)としては、たとえば、ベンゾイ
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn
−ブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベン
ジルジフェニルジスルフィド、アゾビスイソブチロニト
リル、ジベンジル、ジアセチル、アントラキノン、ナフ
トキノン、ベンゾフェノン、p,p′−ビス(ジメチルア
ミノ)ベンゾフェノン、ピバロインエチルエーテル、ベ
ンゾイルパーオキサイド、ベンジルケタール、1,1−ジ
クロロアセトフェノン、p−t−ブチルジクロロアセト
フェノン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオ
キサントン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジ
メトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジクロ
ロ−4−フェノキシアセトフェノン、ミヒラーズケト
ン、フェニルグリオキシレート、α−ヒドロキシイソブ
チルフェノン、ジベゾスパロン、ベンゾフェノンアミン
系、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキ
シ−2−メチル−1−プロパノン、2−メチル−[4−
(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プ
ロパノン、ロイコクリスタルバイオレット、トリブロモ
フェニルスルホン、トリブロモメチルフェニルスルホ
ン、p−メトキシフェノール、ビクトリアピュアブルー
などがあげられ、これらを適当に組合せて用いることが
できる。Photopolymerization initiator (C) Examples of the photopolymerization initiator (C) include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n
Butyl ether, benzoin phenyl ether, benzyl diphenyl disulfide, azobisisobutyronitrile, dibenzyl, diacetyl, anthraquinone, naphthoquinone, benzophenone, p, p'-bis (dimethylamino) benzophenone, pivaloin ethyl ether, benzoyl peroxide, Benzyl ketal, 1,1-dichloroacetophenone, pt-butyldichloroacetophenone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2 -Dichloro-4-phenoxyacetophenone, Michler's ketone, phenylglyoxylate, α-hydroxyisobutylphenone, dibezosparone, benzophenoneamine, 1- (4-isopropyl Eniru) -2-hydroxy-2-methyl-1-propanone, 2-methyl - [4-
(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, leuco crystal violet, tribromophenylsulfone, tribromomethylphenylsulfone, p-methoxyphenol, Victoria Pure Blue and the like, and these may be used in an appropriate combination. Can be.
配合割合 次に、感光性樹脂組成物を構成する各成分の割合を説
明する。Next, the ratio of each component constituting the photosensitive resin composition will be described.
ベースポリマー(A)100重量部に対する光重合性モ
ノマー(B)の割合は、5〜150重量部、特に40〜100重
量部の範囲から選ぶことが望ましい。光重合性モノマー
(B)の過少は硬化不良、可撓性の低下、現像速度の遅
延を招き、光重合性モノマー(B)の過多は粘着性の増
大、コールドフロー、硬化レジストの剥離速度低下をを
招く。The ratio of the photopolymerizable monomer (B) to 100 parts by weight of the base polymer (A) is desirably selected from the range of 5 to 150 parts by weight, particularly 40 to 100 parts by weight. Insufficient photopolymerizable monomer (B) causes poor curing, reduced flexibility, and delays in development speed. Excessive photopolymerizable monomer (B) results in increased tackiness, cold flow, and reduced peeling speed of the cured resist. Invite.
光重合性モノマー(B)に占めるアセトアセチル基含
有エチレン性不飽和化合物(b)の割合は、1〜100重
量%、特に5〜40重量%であることが望ましい。アセト
アセチル基含有エチレン性不飽和化合物(b)の割合が
余りに少ないときは所期の目的を達成しえない。The proportion of the acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) in the photopolymerizable monomer (B) is preferably 1 to 100% by weight, particularly preferably 5 to 40% by weight. If the proportion of the acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) is too small, the intended purpose cannot be achieved.
光重合開始剤(C)の配合割合は、ベースポリマー
(A)と光重合性モノマー(B)との合計量に対し0.5
〜10重量%程度とするのが適当である。The mixing ratio of the photopolymerization initiator (C) is 0.5 to the total amount of the base polymer (A) and the photopolymerizable monomer (B).
It is appropriate to use about 10% by weight.
なお、上記各成分のほかに、重合禁止剤、溶剤、可塑
剤、着色剤、表面張力改質剤、安定剤、消泡剤などの公
知の添加剤を配合することができる。In addition to the above components, known additives such as a polymerization inhibitor, a solvent, a plasticizer, a colorant, a surface tension modifier, a stabilizer, and an antifoaming agent can be added.
成層方法 上記の感光性樹脂組成物は、これをポリエステルフィ
ルムなどのベースフィルム面に塗工した後、その塗工面
の上からポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコール
系フィルムなどの保護フィルムを被覆してドライフィル
ムとする。Layering method The above photosensitive resin composition is applied to a base film surface such as a polyester film, and then coated with a protective film such as a polyethylene film or a polyvinyl alcohol film from the coated surface to form a dry film. I do.
ドライフィルムのほか、金属面に直接感光性樹脂組成
物を塗布成層することもできる。In addition to a dry film, a photosensitive resin composition can be directly applied and formed on a metal surface.
露光 ドライフィルムの場合は、ベースフィルムと感光性樹
脂組成物層との接着力および保護フィルムと感光性樹脂
組成物層との接着力を比較し、接着力の低い方のフィル
ムを剥離してから感光性樹脂組成物層の側を銅張基板の
銅面などの金属面に貼り付けた後、他方のフィルム上に
パターンマスクを密着させて露光する。感光性樹脂組成
物層が粘着性を有しないときは、前記他方のフィルムを
剥離してからパターンマスクを感光性樹脂組成物層に直
接接触させて露光することもできる。Exposure In the case of a dry film, compare the adhesive strength between the base film and the photosensitive resin composition layer and the adhesive strength between the protective film and the photosensitive resin composition layer, and peel off the lower adhesive film. After attaching the side of the photosensitive resin composition layer to a metal surface such as a copper surface of a copper-clad substrate, exposure is performed by bringing a pattern mask into close contact with the other film. When the photosensitive resin composition layer has no tackiness, the other film may be peeled off and then the pattern mask may be brought into direct contact with the photosensitive resin composition layer for exposure.
金属面に直接塗工した場合は、その塗工面に直接また
はポリエステルフィルムなどを介してパターンマスクを
接触させ、露光に供する。When the coating is applied directly to the metal surface, a pattern mask is brought into contact with the coating surface directly or via a polyester film or the like, and exposed.
露光は通常紫外線照射により行い、その際の光源とし
ては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯カーボンアーク灯、キ
セノン灯、メタルハライドランプ、ケミカルランプ、ブ
ラックライトなどが用いられる。露光量は、40〜1000mJ
/cm2程度とすることが多い。紫外線照射後は、必要に応
じ加熱を行って硬化の完全を図ることもできる。Exposure is usually performed by ultraviolet irradiation, and as a light source at that time, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a carbon arc lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, a chemical lamp, a black light, or the like is used. Exposure amount is 40 ~ 1000mJ
/ cm 2 in many cases. After the ultraviolet irradiation, heating can be performed as necessary to complete the curing.
現像 露光後は、レジスト上のフィルムを剥離除去してから
現像を行う。Development After exposure, the film on the resist is peeled off and developed.
本発明の感光性樹脂組成物が稀アルカリ現像型である
ときは、露光後の現像は、炭酸ソーダ、水酸化ナトリウ
ム、炭酸カリウムなどのアルカリの稀薄水溶液を用いて
行う。溶剤現像型であるときは、1,1,1−トリクロロエ
タンなどの溶剤を用いて現像を行う。When the photosensitive resin composition of the present invention is a dilute alkali developing type, development after exposure is performed using a dilute aqueous solution of an alkali such as sodium carbonate, sodium hydroxide, or potassium carbonate. In the case of a solvent development type, development is performed using a solvent such as 1,1,1-trichloroethane.
エッチング、メッキ エッチング法を採用するときは、塩化第二鉄水溶液や
塩化第二銅水溶液などのエッチング液を用いて常法に従
ってエッチングを行う。メッキ法を採用するときは、脱
脂剤、ソフトエッチング剤などのメッキ前処理剤を用い
て前処理を行った後、メッキ液を用いてメッキを行う。Etching and Plating When an etching method is employed, etching is performed according to a conventional method using an etching solution such as an aqueous ferric chloride solution or an aqueous cupric chloride solution. When the plating method is adopted, a pretreatment is performed using a plating pretreatment agent such as a degreasing agent or a soft etching agent, and then plating is performed using a plating solution.
用途 本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板の製造
用、金属の精密加工用をはじめ、種々の用途に用いるこ
とができる。Uses The photosensitive resin composition of the present invention can be used for various uses, such as for manufacturing printed wiring boards and precision processing of metals.
作用および発明の効果 本発明の感光性樹脂組成物は、金属との密着性が良好
であり、密着性不良に基くレジスト浮き、アンダーエッ
チング、アンダープレーティング、断線、ショートなど
のトラブルを生じない。Functions and Effects of the Invention The photosensitive resin composition of the present invention has good adhesion to metal and does not cause troubles such as resist floating, underetching, underplating, disconnection, and short circuit due to poor adhesion.
また稀アルカリ現像型の感光性樹脂組成物とした場合
には、金属との密着性が良好であるにかかわらず、硬化
レジストのアルカリ剥離液による易剥離除去性を確保す
ることができる。In addition, when a photosensitive resin composition of a rare alkali developing type is used, it is possible to ensure easy peeling and removal of the cured resist with an alkali peeling liquid regardless of good adhesion to a metal.
実 施 例 次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。以下
「部」、「%」とあるのは重量基準で表わしたものであ
る。EXAMPLES Next, the present invention will be further described with reference to examples. Hereinafter, “parts” and “%” are expressed on a weight basis.
実験にあたり次の材料を準備した。 The following materials were prepared for the experiment.
ベースポリマー(A) A−1 平均分子量9万のメチルメタクリレート/エチルアク
リレート/メタクリル酸(重量比60/15/25)共重合体の
メチルエチルケトン/メチルセロソルブ/トルエン(重
量比70/15/15)混合溶剤による40%溶液 A−2 平均分子量11万のメチルメタクリレート/2−エチルヘ
キシルアクリレート/アクリロニトリル(重量比70/20/
10)共重合体のメチルエチルケトン/トルエン/メチル
セロソルブ(重量比70/25/5)混合溶剤による40%溶液 光重合性モノマー(B) B−1 トリメチロールプロパントリアクリレート B−2 テトラエチレングリコールジアクリレート B−3 テトラエチレングリコールジメタクリレート B−4 2,2−ビス(4−メタクリロキシポリエトキシフェニ
ル)プロパン 光重合性モノマー(B)のうちアセトアセチル基含有エ
チレン性不飽和化合物(b) b−1 2−アセトアセチル化エチルメタクリレート b−2 3−フェノキシ−2−アセトアセチルプロピルアクリ
レート b−3 2−アセトアセチル化プロピルアクリレート b−4 2−メタクリロイルオキシエチル−2′−アセトアセ
チルプロピルフタレート b−5 ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルジア
クリレートジアセトアセチル化付加物 b−6 2−アセトアセチル化エチルアクリレート b−7 1,6−ヘキサメチルジグリシジルエーテルジアクリレ
ートアセトアセチル化物 b−8 ペンタエリスリトールトリアクリレートアセトアセチ
ル化物 b−9 エチレングリコールジグリシジルエーテルジメタクリ
レートアセトアセチル化物 b−10 フタル酸ジグリシジルエステルジアクリレートモノア
セトアセチル化物 (なお、いずれも官能基含有エチレン性不飽和化合物の
官能基を完全にアセトアセチル化したものを使用し
た。) 光重合開始剤(C) C−1 の混合物 C−2 の混合物 実施例1〜4 〈処方〉 下記の処方で実施例1の感光性樹脂組成物を調製し
た。Base Polymer (A) A-1 A methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid (weight ratio 60/15/25) copolymer having an average molecular weight of 90,000 is mixed with methyl ethyl ketone / methyl cellosolve / toluene (weight ratio 70/15/15). 40% solution by solvent A-2 Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / acrylonitrile having an average molecular weight of 110,000 (weight ratio 70/20 /
10) 40% solution of the copolymer in a mixed solvent of methyl ethyl ketone / toluene / methyl cellosolve (weight ratio 70/25/5) Photopolymerizable monomer (B) B-1 Trimethylolpropane triacrylate B-2 Tetraethylene glycol diacrylate B-3 Tetraethylene glycol dimethacrylate B-4 2,2-bis (4-methacryloxypolyethoxyphenyl) propane Among the photopolymerizable monomers (B), an acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) b-1 2-acetoacetylated ethyl methacrylate b-2 3-phenoxy-2-acetoacetylpropyl acrylate b-3 2-acetoacetylated propyl acrylate b-4 2-methacryloyloxyethyl-2'-acetoacetylpropyl phthalate b-5 polypropylene Glycol jig Ricidyl ether diacrylate diacetoacetylated adduct b-6 2-acetoacetylated ethyl acrylate b-7 1,6-hexamethyldiglycidyl ether diacrylate acetoacetylated b-8 pentaerythritol triacrylate acetoacetylated b- 9 Ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate acetoacetylated product b-10 Diglycidyl phthalate diacrylate monoacetoacetylated product (In all cases, the product obtained by completely acetoacetylating the functional group of the functional group-containing ethylenically unsaturated compound is used. Used.) Photopolymerization initiator (C) C-1 A mixture of C-2 Examples 1 to 4 <Formulation> The photosensitive resin composition of Example 1 was prepared according to the following formulation.
また、b−1 3部に代えて、b−2 5部(実施例
2)、b−3 3部(実施例3)、b−4 3部(実施
例4)を用いた場合につき、それぞれ感光性樹脂組成物
を調製した。 Also, in the case where 5 parts of b-2 (Example 2), 3 parts of b-3 (Example 3), and 3 parts of b-4 (Example 4) are used instead of 3 parts of b-1, A photosensitive resin composition was prepared.
〈ドライフィルムの作成〉 上記組成物を均一に溶解後、25μm厚のポリエステル
フィルム上に塗布し、90℃で8分熱風乾燥機にて乾燥
後、その上から30μm厚のポリエチレンフィルムを積層
した。乾燥後の感光性樹脂組成物層の厚みは50μmであ
った。<Preparation of Dry Film> After the above composition was uniformly dissolved, it was applied on a 25 μm-thick polyester film, dried at 90 ° C. for 8 minutes with a hot-air drier, and then a 30 μm-thick polyethylene film was laminated thereon. The thickness of the photosensitive resin composition layer after drying was 50 μm.
〈銅張基板へのラミネート〉 このようにして得られたドライフィルムを、ラミネー
ターを用いて、予め表面研磨を施した銅厚40μmの銅張
基板2枚に、ロール温度90℃、ロール圧力3kg/cm2、ラ
ミネート速度1.5m/minの条件でポリエチレンフィルムを
剥離しながらラミネートした。<Lamination on Copper-Clad Substrate> The dry film thus obtained was applied to two 40-μm-thick copper-clad substrates having been subjected to surface polishing in advance using a laminator at a roll temperature of 90 ° C. and a roll pressure of 3 kg / roll. Lamination was performed while peeling off the polyethylene film under the conditions of cm 2 and a lamination speed of 1.5 m / min.
〈露光〉 次に、3KW超高圧水銀灯を光源とする露光機を用い
て、露光量が80mJ/cm2となるように、1枚については全
面露光、他の1枚についてはパターンマスクを介しての
露光を行った。この際のパターンは、ライン巾50、60、
70、80、100、150、200、300μmに対して、それぞれラ
イン間隔50、60、70、80、100、150、200μmを有して
いるものを用いた。<Exposure> Next, using an exposure machine using a 3KW ultra-high pressure mercury lamp as a light source, one exposure is performed through the entire surface, and the other exposure is performed through a pattern mask so that the exposure amount is 80 mJ / cm 2. Was exposed. The pattern at this time is line width 50, 60,
Those having line intervals of 50, 60, 70, 80, 100, 150 and 200 μm were used for 70, 80, 100, 150, 200 and 300 μm, respectively.
〈現像〉 露光終了後、ポリエステルフィルムを剥離してから、
温度30℃の1%炭酸ソーダ水溶液を使用して、スプレー
圧1.0kg/cm2、現像時間60秒の条件でスプレー現像を行
った。<Development> After the exposure, peel off the polyester film,
Spray development was performed using a 1% aqueous sodium carbonate solution at a temperature of 30 ° C. under the conditions of a spray pressure of 1.0 kg / cm 2 and a development time of 60 seconds.
〈密着性試験〉 全面露光した基板は、露光後15分後および現像後15分
後に、カッターで1mm角100個のマス目の切り傷をつけて
セロハン粘着テープによる剥離試験に供し、密着性を調
べた。<Adhesion test> 15 minutes after exposure and 15 minutes after development, the substrate exposed on the entire surface was cut into 100 square squares of 1 mm square with a cutter and subjected to a peeling test using cellophane adhesive tape to check the adhesion. Was.
〈エッチング〉 一方、パターン露光基板は、塩化第二銅酸性エッチン
グ液を用いて、液温50℃、スプレー圧1.5kg/cm2、90秒
の条件でエッチングを行った。<Etching> On the other hand, the pattern exposure substrate was etched using a cupric chloride acidic etching solution under the conditions of a liquid temperature of 50 ° C., a spray pressure of 1.5 kg / cm 2 and 90 seconds.
〈細線密着力の評価〉 現像後およびエッチング後の細線密着力の評価は、レ
ジストライン間隔80〜200μmにおける欠け、断線、レ
ジスト浮きが生じない最小レジストライン巾で表示し
た。<Evaluation of Fine Line Adhesion> The evaluation of the fine line adhesion after development and after etching was represented by the minimum resist line width at which a chipping, disconnection and resist floating at a resist line interval of 80 to 200 μm did not occur.
〈硬化レジストの剥離除去〉 次に、4%水酸化ナトリウム水溶液を用いて、50℃、
スプレー圧1.5kg/cm2の条件で硬化レジスト(大きさ10c
m×10cm、全面露光)の剥離除去を行い、このときの剥
離除去時間を測定し、剥離片の状態を観察した。<Removal of the cured resist> Next, using a 4% aqueous sodium hydroxide solution at 50 ° C.
Curing resist (size 10c under the conditions of a spray pressure of 1.5 kg / cm 2
(m × 10 cm, whole surface exposure), and the stripping removal time at this time was measured, and the state of the stripped piece was observed.
〈銅面の変色の有無の観察〉 現像後のレジスト除去された銅面の変色の有無と、レ
ジスト剥離後の銅面の変色の有無とを観察した。<Observation of Discoloration of Copper Surface> The presence or absence of discoloration of the copper surface from which the resist was removed after development and the presence or absence of discoloration of the copper surface after removal of the resist were observed.
比較例1 実施例1の処方中、b−1を除いた組成で同様の実験
を行った。Comparative Example 1 A similar experiment was performed with the composition of Example 1 except that b-1 was omitted.
比較例2 実施例1の処方中、b−1に代えて2−メルカプトベ
ンゾチアゾール0.8部を用いたほかは同様の実験を行っ
た。Comparative Example 2 The same experiment was performed as in Example 1, except that 0.8 parts of 2-mercaptobenzothiazole was used instead of b-1.
以上、実施例1〜4および比較例1〜2の結果を第1
表に示す。As described above, the results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2
It is shown in the table.
実施例5〜8 下記の処方で実施例5の感光性樹脂組成物を調製し
た。 Examples 5 to 8 The photosensitive resin compositions of Example 5 were prepared according to the following formulations.
また、b−5 10部に代えて、b−6 4部およびb
−7 6部(実施例6)、b−8 5部およびb−1
5部(実施例7)、b−9 5部およびb−1 4部
(実施例8)を用いた場合につき、それぞれ感光性樹脂
組成物を調製した。 Also, instead of b-5 10 parts, b-6 4 parts and b
-7 6 parts (Example 6), b-8 5 parts and b-1
A photosensitive resin composition was prepared for each of the cases where 5 parts (Example 7), 5 parts of b-9 and 14 parts of b-14 (Example 8) were used.
以下、実施例1と同様にして現像まで行い、パターン
露光基板を作成した。Thereafter, development was performed in the same manner as in Example 1 to prepare a pattern-exposed substrate.
次に常法に従って銅メッキおよび直接ハンダメッキを
行い、断面観察からアンダープレーティングの有無を調
べた。Next, copper plating and direct solder plating were performed according to a conventional method, and the presence or absence of underplating was examined by observing the cross section.
比較例3 実施例5の処方中、b−5を除いた組成で同様の実験
を行った。Comparative Example 3 A similar experiment was performed using the composition of Example 5 except that b-5 was omitted.
以上、実施例5〜8および比較例3の結果を第2表に
示す。Table 2 shows the results of Examples 5 to 8 and Comparative Example 3.
実施例9〜11 下記の処方で実施例9の感光性樹脂組成物を調製し
た。 Examples 9 to 11 The photosensitive resin compositions of Example 9 were prepared according to the following formulation.
また、b−8 5部に代えて、b−8 2部およびb
−1 3部(実施例10)、b−10 5部(実施例11)を
用いた場合につき、それぞれ感光性樹脂組成物を調製し
た。 Also, instead of b-8 5 parts, b-8 2 parts and b
A photosensitive resin composition was prepared for each of the cases of using 13 parts (Example 10) and 5 parts of b-10 (Example 11).
上記組成物を均一に溶解後、アプリケーターを用いて
35μm銅厚の銅張基板上に塗布し、100℃で10分熱風乾
燥機にて乾燥した。乾燥後の感光性樹脂組成物層の厚み
は40μmであった。After uniformly dissolving the above composition, use an applicator
The composition was applied on a copper-clad substrate having a thickness of 35 μm and dried with a hot air drier at 100 ° C. for 10 minutes. The thickness of the photosensitive resin composition layer after drying was 40 μm.
次に、3KW超高圧水銀灯を光源とする露光機を用い
て、露光量が80mJ/cm2となるようにして実施例1と同様
のパターン露光を行った。Next, the same pattern exposure as in Example 1 was performed using an exposure machine using a 3 KW ultra-high pressure mercury lamp as a light source so that the exposure amount was 80 mJ / cm 2 .
露光終了後、温度20℃の1,1,1−トリクロロエタンを
使用して、スプレー圧1.5kg/cm2、現像時間40秒の条件
でスプレー現像を行った。After the exposure was completed, spray development was performed using 1,1,1-trichloroethane at a temperature of 20 ° C. under the conditions of a spray pressure of 1.5 kg / cm 2 and a development time of 40 seconds.
以下、実施例1と同様にして評価を行ったが、実施例
1の場合とほぼ同様の好ましい結果が得られた。Hereinafter, evaluation was performed in the same manner as in Example 1. As a result, almost the same preferable results as in Example 1 were obtained.
Claims (6)
(B)および光重合開始剤(C)からなる組成物であっ
て、前記光重合性モノマー(B)の少なくとも一部がア
セトアセチル基含有エチレン性不飽和化合物(b)であ
る感光性樹脂組成物。1. A composition comprising a base polymer (A), a photopolymerizable monomer (B) and a photopolymerization initiator (C), wherein at least a part of the photopolymerizable monomer (B) is an acetoacetyl group. A photosensitive resin composition comprising an ethylenically unsaturated compound (b).
光重合性モノマー(B)の割合が5〜150重量部である
請求項1記載の感光性樹脂組成物。2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the proportion of the photopolymerizable monomer (B) is 5 to 150 parts by weight based on 100 parts by weight of the base polymer (A).
セチル基含有エチレン性不飽和化合物(b)の割合が1
〜100重量%である請求項1記載の感光性樹脂組成物。3. The ratio of the acetoacetyl group-containing ethylenically unsaturated compound (b) to the photopolymerizable monomer (B) is 1%.
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the amount is from 100 to 100% by weight.
ある請求項1記載の感光性樹脂組成物。4. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the base polymer (A) is an acrylic resin.
ン酸成分を含む樹脂である請求項4記載の感光性樹脂組
成物。5. The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the acrylic resin is a resin containing an ethylenically unsaturated carboxylic acid component.
る請求項1記載の感光性樹脂組成物。6. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is a photosensitive resin composition for a dry film.
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JP4550288A JP2620949B2 (en) | 1988-02-27 | 1988-02-27 | Photosensitive resin composition |
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1988
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