JP2615953B2 - Ultrasonic motor and its driving method - Google Patents

Ultrasonic motor and its driving method

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JP2615953B2 JP63325192A JP32519288A JP2615953B2 JP 2615953 B2 JP2615953 B2 JP 2615953B2 JP 63325192 A JP63325192 A JP 63325192A JP 32519288 A JP32519288 A JP 32519288A JP 2615953 B2 JP2615953 B2 JP 2615953B2
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
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    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/106Langevin motors

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超音波モータおよびその駆動方法に関し、特
にステータである圧電振動子に超音波振動を励振させ前
記ステータに圧接されたロータを摩擦力によって回転さ
せる超音波モータおよびその駆動方法に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor and a method of driving the same, and more particularly, to ultrasonically oscillate a piezoelectric vibrator serving as a stator to apply a frictional force to a rotor pressed against the stator. The present invention relates to an ultrasonic motor rotated by a motor and a driving method thereof.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、かかる超音波モータとしては、縦一捩り複合圧
電振動子を有するステータの端面にロータを圧接し、こ
れを摩擦力により回転させる構成の超音波モータが知ら
れている。例えば、かかるモータは特開昭61−12177号
公報等にも記載されている通りである。
Conventionally, as such an ultrasonic motor, there has been known an ultrasonic motor having a configuration in which a rotor is pressed against an end face of a stator having a vertical one-twist composite piezoelectric vibrator and the rotor is rotated by frictional force. For example, such a motor is as described in JP-A-61-12177.

第4図はかかる従来の一例を示す超音波モータの断面
図である。
FIG. 4 is a sectional view of an ultrasonic motor showing an example of such a conventional motor.

第4図に示すように、この従来の超音波モータは捩り
振動励振用圧電素子41と縦振動励振用圧電素子42とを円
柱あるいは円筒状超音波振動体43および44で挾みボルト
で締めつけることにより一体化したステータと、このス
テータ端面に圧接したロータ45とを有し、捩り振動励振
用圧電素子41と縦振動励振用圧電素子42とにそれぞれ独
立の交流電圧を印加して前記ステータの端面に楕円運動
を誘起し、この楕円運動を利用してロータ45に回転運動
を与えるものである。
As shown in FIG. 4, in this conventional ultrasonic motor, a piezoelectric element 41 for torsional vibration excitation and a piezoelectric element 42 for longitudinal vibration excitation are sandwiched between cylindrical or cylindrical ultrasonic vibrators 43 and 44 and tightened with bolts. And a rotor 45 pressed against the end face of the stator by applying independent AC voltages to the piezoelectric element 41 for torsional vibration excitation and the piezoelectric element 42 for longitudinal vibration excitation, respectively. The elliptical motion is induced in the rotor 45, and the elliptical motion is used to give a rotary motion to the rotor 45.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

ところで、捩り振動波の音速は縦振動波の約6割であ
るため、上述した構成のステータにおいて、捩り振動の
共振周波数と縦振動の共振周波数とを一致させることは
困難である。従って、上述した構成のステータにおい
て、捩り振動を共振駆動させれば縦振動は非共振駆動と
なり、逆に縦振動を共振駆動させれば捩り振動は非共振
駆動となる。
By the way, since the sound speed of the torsional vibration wave is about 60% of the longitudinal vibration wave, it is difficult to make the resonance frequency of the torsional vibration coincide with the resonance frequency of the longitudinal vibration in the stator having the above-described configuration. Accordingly, in the stator having the above-described configuration, if the torsional vibration is driven by resonance, the longitudinal vibration becomes non-resonant drive, and if the longitudinal vibration is driven by resonance, the torsional vibration becomes non-resonant drive.

周知のように、非共振駆動は共振駆動と比較して、同
一電力で駆動する場合には得られる振幅が極端に小さく
なる。その結果、上述した構成のステータ端面に誘起さ
れる楕円運動の振幅は縦方向あるいは捩れ方向いずれか
一方の振幅が小さくなってしまうために、効率の高いモ
ータを実現することができないという欠点がある。
As is well known, the amplitude obtained in non-resonant driving when driving with the same power is extremely small compared to resonant driving. As a result, the amplitude of the elliptical motion induced on the end face of the stator having the above-described configuration is reduced in either the longitudinal direction or the torsional direction. .

また、上述した構成のステータにおいて、捩り振動励
振用圧電素子と縦振動励振用圧電素子とに互いに異なっ
た周波数の交流電圧を印加することにより、二種類の振
動を共振駆動させることも可能ではあるが、この場合に
は共振周波数が異なるため、ステータの端面に規則的に
楕円運動を誘起することができず、ロータを安定して回
転させることができないという欠点がある。
Further, in the stator having the above-described configuration, it is also possible to drive two kinds of vibrations in resonance by applying AC voltages having different frequencies to the piezoelectric element for torsional vibration excitation and the piezoelectric element for longitudinal vibration excitation. However, in this case, since the resonance frequencies are different, there is a disadvantage that the elliptical motion cannot be induced regularly on the end face of the stator, and the rotor cannot be rotated stably.

本発明の目的は、かかるステータおよびロータを高効
率で且つ安定して回転させることのできる超音波モータ
とその駆動方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an ultrasonic motor capable of rotating the stator and the rotor with high efficiency and stably, and a driving method thereof.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の超音波モータは、縦一捩り複合圧電振動子を
ステータとして超音波振動を励起させ、前記ステータに
圧接されたロータを回転させる超音波モータにおいて、
前記ロータの圧接面を凸状面とし且つその凸状面が圧接
方向に対してばね手段を形成するように前記ロータが中
ぐりされて構成される。
The ultrasonic motor of the present invention is an ultrasonic motor that excites ultrasonic vibration using a vertical one-twist composite piezoelectric vibrator as a stator and rotates a rotor pressed against the stator.
The pressure contact surface of the rotor is a convex surface, and the rotor is bored so that the convex surface forms a spring means in the pressure contact direction.

また、本発明の超音波モータの駆動方法は、超音波モ
ータを駆動する超音波モータの駆動方法において、前記
ロータおよびステータの圧接力を調整して前記ロータの
凸状面とステータ面との接触面積を変えることにより、
前記ロータおよびステータ全体の縦振動の共振周波数を
捩れ振動の共振周波数に一致させて駆動するように構成
される。
Also, the ultrasonic motor driving method according to the present invention is the ultrasonic motor driving method for driving an ultrasonic motor, wherein the pressure contact force between the rotor and the stator is adjusted to make contact between the convex surface of the rotor and the stator surface. By changing the area,
The rotor and the stator are driven such that the resonance frequency of the longitudinal vibration of the entire rotor and the stator match the resonance frequency of the torsional vibration.

〔作用〕[Action]

本発明の超音波モータを構成するステータは単体では
捩り振動半波長共振周波数と縦振動半波長共振周波数と
が異っている。しかし、このステータにロータを圧接す
ると、捩り振動はステータとロータの圧接境界が摺動面
となっているため振動の拘束にならず捩り振動共振周波
数はほとんど変化しないが、縦振動はロータの質量が作
用する方向の振動であるためステータとロータからなる
全体の構成による縦振動共振周波数が生じる。本発明の
ロータは圧接面が凸状の面を有し、且つその凸状面が圧
接方向に対してばね性をもつように中ぐりされている。
従って、ネジの如き手段でロータをステータに締付け圧
接すると、圧接力の増大によってロータ凸面とステータ
面との接触面積が増大する。この接触面積の変化はステ
ータとロータの結合力の変化となり縦振動の共振周波数
が変化することになる。それ故、このロータとステータ
の締付け力の調整により縦振動を捩り振動の共振周波数
に一致させることができ、同一周波数で共振駆動するこ
とができる。
The stator constituting the ultrasonic motor according to the present invention has a torsional vibration half-wave resonance frequency and a longitudinal vibration half-wave resonance frequency different from each other. However, when the rotor is pressed against the stator, the torsional vibration does not restrict the vibration because the pressure-contact boundary between the stator and the rotor is a sliding surface, and the torsional vibration resonance frequency hardly changes. Is a vibration in the direction in which the vibration acts, so that a longitudinal vibration resonance frequency is generated due to the entire configuration including the stator and the rotor. The rotor of the present invention has a pressing surface having a convex surface, and the convex surface is boring so as to have spring properties in the pressing direction.
Accordingly, when the rotor is tightened and pressed against the stator by means such as a screw, the contact area between the rotor convex surface and the stator surface increases due to an increase in the pressing force. This change in the contact area results in a change in the coupling force between the stator and the rotor, and a change in the resonance frequency of the longitudinal vibration. Therefore, by adjusting the tightening force of the rotor and the stator, the longitudinal vibration can be matched with the resonance frequency of the torsional vibration, and the resonance drive can be performed at the same frequency.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示す超音波モータの断面
図である。
FIG. 1 is a sectional view of an ultrasonic motor showing one embodiment of the present invention.

第1図に示すように、本実施例はステータ10と、この
ステータ10に接触する凸状面21を有し中ぐりされたロー
タ17とを備えている。このステータ10は捩り振動励振用
圧電セラミック素子11と縦振動励振用圧電セラミック素
子12を二つの金属ブロック13,14で挾み、ボルト15,ナッ
ト16を用いて強固に締付けて構成される。この捩り振動
励振用圧電セラミック素子11は外径20mm、内径8mm、厚
さ0.5mmの円周方向に分極されたセラミック板が積層さ
れて構成され、各セラミック板の上下面はメタライズさ
れ、間に金属薄板を挾み極性が互いに逆になるように積
層されている。かかる金属薄板は外部で電気的に並列接
続されている。また、縦振動励振用圧電セラミック素子
12は外径20mm、内径8mm、厚さ0.5mmの厚み方向に分極さ
れたセラミック板を積層したものであり、構成は前述し
た捩り振動励振用11に準じている。
As shown in FIG. 1, this embodiment includes a stator 10 and a boring rotor 17 having a convex surface 21 that comes into contact with the stator 10. The stator 10 is constructed by sandwiching a piezoelectric ceramic element 11 for torsional vibration excitation and a piezoelectric ceramic element 12 for longitudinal vibration excitation between two metal blocks 13 and 14, and firmly tightening them with bolts 15 and nuts 16. This torsional vibration excitation piezoelectric ceramic element 11 is formed by laminating circumferentially polarized ceramic plates having an outer diameter of 20 mm, an inner diameter of 8 mm, and a thickness of 0.5 mm, and the upper and lower surfaces of each ceramic plate are metallized, and They are stacked so that the polarities are opposite to each other with the metal sheet sandwiched therebetween. Such thin metal plates are electrically connected in parallel outside. Also, a piezoelectric ceramic element for longitudinal vibration excitation
Reference numeral 12 denotes a laminated ceramic plate having an outer diameter of 20 mm, an inner diameter of 8 mm, and a thickness of 0.5 mm which is polarized in the thickness direction, and has a configuration similar to that of the torsional vibration excitation 11 described above.

一方、上述構成のステータ10に対向配置されたロータ
17はベアリング18が挿入されてボルト15にはめ込まれ、
圧接用ナット19およびスペーサ20によりステータ10の金
属ブロック13に締付けられ圧接されている。このロータ
17はステータ10に対向する圧接面21がテーパ状の凸面と
なっており、しかもこの圧接面21がばね性をもつように
ロータ17の内部が中ぐりされている。従って、圧接用ナ
ット19によりロータ17をステータ10に締付けると、ロー
タ17はその締付力を受けて圧接面21が変形する。
On the other hand, a rotor disposed opposite to the stator 10 having the above-described configuration.
In 17, a bearing 18 is inserted and fitted into a bolt 15,
The metal block 13 of the stator 10 is tightened and pressed by the pressing nut 19 and the spacer 20. This rotor
In 17, a pressure contact surface 21 facing the stator 10 is a tapered convex surface, and the inside of the rotor 17 is bored so that the pressure contact surface 21 has a spring property. Therefore, when the rotor 17 is fastened to the stator 10 by the pressing nut 19, the rotor 17 receives the tightening force and the pressing surface 21 is deformed.

第2図は第1図における超音波モータを構成するかか
るロータの断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of such a rotor constituting the ultrasonic motor in FIG.

第2図に示すように、このロータ17は圧接用ナットに
より矢印A,Bに示す締付力を受けると圧接面21が破線の
ように変形する。
As shown in FIG. 2, when the rotor 17 receives a tightening force indicated by arrows A and B by the pressing nut, the pressing surface 21 is deformed as shown by a broken line.

このとき、圧接面21は凸状であるため、締付け力が増
すにしたがってステータ10の面になじむように接触面積
が増加する。この結果、ステータ10とロータ17の接合に
よりモータ全体の縦振動の共振周波数が生じるので、締
付け力を調整することにより縦振動の共振周波数を捩り
振動共振周波数に一致させることができる。この結果、
縦と捩りの振動を同一の共振周波数で駆動できるので、
ロータ17は高効率で回転することができる。
At this time, since the press contact surface 21 is convex, the contact area increases so as to conform to the surface of the stator 10 as the tightening force increases. As a result, a resonance frequency of the longitudinal vibration of the entire motor is generated by joining the stator 10 and the rotor 17, so that the resonance frequency of the longitudinal vibration can be matched with the resonance frequency of the torsional vibration by adjusting the tightening force. As a result,
Since vertical and torsional vibrations can be driven at the same resonance frequency,
The rotor 17 can rotate with high efficiency.

また、本実施例のロータ17は自らばね性を有するの
で、締付け力の調整および縦振動の共振周波数の調整が
容易になる。更に、ロータ17の中ぐり加工により、各種
ばね性の異なるロータが得られるので、形状寸法を変え
ることにより合成振動の共振周波数を調整することもで
きるようになる。
In addition, since the rotor 17 of the present embodiment has a spring property by itself, it is easy to adjust the tightening force and the resonance frequency of the longitudinal vibration. Further, by boring the rotor 17, rotors having various spring properties can be obtained, so that the resonance frequency of the synthetic vibration can be adjusted by changing the shape and size.

第3図は本発明の他の実施例を説明するための超音波
モータを構成するロータの断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a rotor constituting an ultrasonic motor for explaining another embodiment of the present invention.

第3図に示すように、本実施例におけるロータ22の圧
接面23は球状の凸面を形成しているとともに、ロータ22
は中ぐりされている。かかるロータ22の場合でも、ロー
タ22と圧接面23に接触するステータとの締付力を変化さ
せることにより、二つの共振周波数を前述した実施例と
同様に一致させることができる。
As shown in FIG. 3, the pressure contact surface 23 of the rotor 22 in this embodiment forms a spherical convex surface, and
Is boring. Even in the case of such a rotor 22, the two resonance frequencies can be matched in the same manner as in the above-described embodiment by changing the tightening force between the rotor 22 and the stator that comes into contact with the press contact surface 23.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明の超音波モータとその駆
動方法は、モータ全体の構成で共振周波数が決められる
縦振動と略ステータで決まる捩り振動共振とを利用した
ものであり、しかも縦振動の共振周波数のみをロータと
ステータの締付力で変化させる構成とすることにより、
容易に二つの共振周波数を一致させることができるの
で、高効率の超音波モータを実現できるという効果があ
る。
As described above, the ultrasonic motor and the driving method of the present invention utilize longitudinal vibration in which the resonance frequency is determined by the overall configuration of the motor and torsional vibration resonance which is determined substantially by the stator. By adopting a configuration in which only the resonance frequency is changed by the tightening force of the rotor and the stator,
Since the two resonance frequencies can be easily matched, there is an effect that a highly efficient ultrasonic motor can be realized.

また、本発明はロータ自体にばね性を持たせることに
より、コイルばねが不用になるので、小型且つ安定した
超音波モータおよびその駆動方法が実現されるという効
果がある。
In addition, the present invention has an effect that a small and stable ultrasonic motor and a method of driving the ultrasonic motor can be realized since the coil spring is unnecessary by giving the rotor itself a spring property.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す超音波モータの断面
図、第2図は第1図における超音波モータを構成するロ
ータの断面図、第3図は本発明の他の実施例を説明する
ための超音波モータを構成するロータの断面図、第4図
は従来の一例を示す超音波モータの断面図である。 10……ステータ、11……捩り振動励振用圧電セラミック
素子、12……縦振動励振用圧電セラミック素子、13,14
……金属ブロック、15……ボルト、16……ナット、17,2
2……ロータ、18……ベアリング、19……圧接用ナッ
ト、20……スペーサ、21,22……圧接面。
1 is a sectional view of an ultrasonic motor showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of a rotor constituting the ultrasonic motor in FIG. 1, and FIG. 3 is another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross-sectional view of a rotor constituting an ultrasonic motor for explaining the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view of an ultrasonic motor showing an example of the related art. 10: stator, 11: piezoelectric ceramic element for torsional vibration excitation, 12: piezoelectric ceramic element for longitudinal vibration excitation, 13, 14
…… Metal block, 15… Bolt, 16 …… Nut, 17,2
2 ... Rotor, 18 ... Bearing, 19 ... Pressing nut, 20 ... Spacer, 21,22 ... Press contact surface.

フロントページの続き (72)発明者 井上 武志 東京都港区芝5丁目33番1号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 高橋 貞行 東京都港区芝5丁目33番1号 日本電気 株式会社内Continuation of the front page (72) Inventor Takeshi Inoue 5-33-1, Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation (72) Inventor Sadayuki Takahashi 5-33-1, Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】縦一捩り複合圧電振動子をステータとして
超音波振動を励起させ、前記ステータに圧接されたロー
タを回転させる超音波モータにおいて、前記ロータの圧
接面を凸状面とし且つその凸状面が圧接方向に対してば
ね手段を形成するように前記ロータが中ぐりされている
ことを特徴とする超音波モータ。
1. An ultrasonic motor that excites ultrasonic vibrations by using a longitudinally-twisted composite piezoelectric vibrator as a stator and rotates a rotor pressed against the stator, wherein the pressing surface of the rotor has a convex surface and the convex surface thereof An ultrasonic motor, wherein the rotor is bored such that the surface of the rotor forms a spring means in the pressing direction.
【請求項2】請求項1記載の超音波モータを駆動する超
音波モータの駆動方法において、前記ロータおよびステ
ータの圧接力を調整して前記ロータの凸状面とステータ
面との接触面積を変えることにより、前記ロータおよび
ステータ全体の縦振動の共振周波数を捩れ振動の共振周
波数に一致させて駆動することを特徴とする超音波モー
タの駆動方法。
2. A method of driving an ultrasonic motor for driving an ultrasonic motor according to claim 1, wherein a contact area between a convex surface of said rotor and a stator surface is changed by adjusting a pressure contact force between said rotor and said stator. The driving method of the ultrasonic motor, wherein the driving is performed by making the resonance frequency of the longitudinal vibration of the entire rotor and the stator coincide with the resonance frequency of the torsional vibration.
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