JP2608408B2 - Positive photosensitive resin composition - Google Patents

Positive photosensitive resin composition

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JP2608408B2
JP2608408B2 JP62116542A JP11654287A JP2608408B2 JP 2608408 B2 JP2608408 B2 JP 2608408B2 JP 62116542 A JP62116542 A JP 62116542A JP 11654287 A JP11654287 A JP 11654287A JP 2608408 B2 JP2608408 B2 JP 2608408B2
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/022Quinonediazides
    • G03F7/023Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は感度、解像度に優れたフォトレジスト材の調
製に有用なポジ型感光性樹脂組成物、その製法ならびに
該樹脂組成物を含む電着液に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a positive photosensitive resin composition useful for preparing a photoresist material having excellent sensitivity and resolution, a method for producing the same, and an electrodeposition solution containing the resin composition. .

従来技術 化学線に照射された時、現像液に可溶性となる所謂ポ
ジ型感光性物質として各種のもの、例えばポリオキシメ
チレンポリマー、0−ニトロカルビノールエステル、O
−ニトロフェニルアセタール、それらのポリエステル、
ベンゾキノンおよびナフトキノンジアジドスルホン酸エ
ステルなどが知られており、就中フェノール性ノボラッ
ク樹脂にキノンジアジドあるいはナフトキノンジアジド
化合物を組み入れた樹脂は、ネガ型感光性組成物に比し
光度の解像力を有するため、半導体装置の製造プロセ
ス、プリント配線板、集積回路板、印刷版の製造プロセ
スなどでのエッチング保護膜形成に広く利用されてい
る。しかしながら従来のノボラック系のポジ型感光性樹
脂組成物においては、フォトレジスト材を得る際、基材
との密着性が劣り、画像の損傷が避けられないという重
大な問題をかかえていた。
2. Description of the Related Art Various kinds of so-called positive-type photosensitive substances which become soluble in a developer when irradiated with actinic radiation, such as polyoxymethylene polymer, 0-nitrocarbinol ester, O
-Nitrophenyl acetal, their polyesters,
Benzoquinone and naphthoquinonediazide sulfonic acid esters are known, among which phenolic novolak resins in which quinonediazide or naphthoquinonediazide compounds are incorporated have a higher luminous resolution than negative-type photosensitive compositions. Is widely used for forming an etching protection film in a manufacturing process of a printed wiring board, an integrated circuit board, and a printing plate. However, the conventional novolak-based positive photosensitive resin composition has a serious problem that, when a photoresist material is obtained, adhesion to a substrate is poor and damage to an image is inevitable.

近時、かかるノボラック樹脂系のポジ型感光性樹脂に
塩形成基を導入し、電着によるポジの感光性耐食膜形成
方法が提案され(特開昭60-207139号など)、非常な注
目を集めている。すなわち特開昭60-207139号発明にお
いては、フェノール性ノボラック樹脂骨格のフェノール
上にキノンジアジド基と水可溶化基とが担持されている
ものを塩の水溶液として用い基体に電着塗布するもので
あり、また特開昭61-218616号にも酸基とキノンジアジ
ド基を有する変性フェノール樹脂生成物を電着塗装する
技術が示されている。かかる技術によれば基材との密着
性を改善することができ、またスルホールを有する回路
板の如く、通常の塗装では適用困難な部位にも均一な塗
膜を形成することができ、また薄膜の形成も容易である
ため極めて有用であるが、電着塗装で薄膜にした場合、
電極反応で発生するガスによるピンホールの発生が不可
避であり、骨格樹脂としてフェノール性ノボラック樹脂
を用いるため、薄膜自体の脆さと熱フロー性の悪さのた
めにピンホールを修復できずエッチングの際に回路断線
などの問題を生じ、近時特に重視されつつある細線形成
には適応できない。また電着液貯蔵時に感光機能の劣化
を生じ、安定性もよくないことが指摘されていた。
Recently, a method of forming a positive photosensitive corrosion-resistant film by electrodeposition by introducing a salt-forming group into such a novolak resin-based positive photosensitive resin has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-207139). I am collecting. That is, in the invention of Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-207139, a phenolic novolak resin skeleton in which a quinonediazide group and a water-solubilizing group are carried on phenol is used as an aqueous solution of a salt and electrodeposited on a substrate. Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-218616 also discloses a technique for electrodeposition coating a modified phenol resin product having an acid group and a quinonediazide group. According to such a technique, it is possible to improve the adhesion to the base material, and to form a uniform coating film on a portion difficult to be applied by ordinary coating, such as a circuit board having through holes, and to form a thin film. Is very useful because it is easy to form, but when thinned by electrodeposition coating,
The generation of pinholes due to the gas generated by the electrode reaction is inevitable, and the phenolic novolak resin is used as the skeletal resin. Problems such as disconnection of the circuit occur, so that the method cannot be applied to the formation of a fine line which has recently been particularly emphasized. It has also been pointed out that the photosensitive function deteriorates during storage of the electrodeposition liquid, and that the stability is not good.

発明が解決しようとする問題点 そこで水分散液とした場合の感光基安定性に優れ、電
着手法により各種基体上に適用することができ、しかも
感度が大でアルカリ現像性に優れ、高解像度画像を形成
することができ、薄膜にした場合もピンホールの発生に
よる回路断線などの欠点がなく、細線の形成に特に有用
なフォトレジストを与え得るポジ型感光性樹脂組成物の
出現が期待されており、かかる樹脂組成物ならびにその
製法を提供することが本発明の主目的である。
Problems to be Solved by the Invention Therefore, the photosensitive group stability in the case of an aqueous dispersion is excellent, and it can be applied to various substrates by an electrodeposition method, and has high sensitivity, excellent alkali developability, and high resolution. Positive photosensitive resin compositions that can form images, have no defects such as circuit breaks due to pinholes even when thinned, and can provide a photoresist particularly useful for forming fine lines are expected. Accordingly, it is a main object of the present invention to provide such a resin composition and a method for producing the same.

問題点を解決するための手段 本発明にしたがえば、上記目的が塩形成基と、式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R1とR2
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、フェニルあるい
は-OSO2B基を表し;nは0または1で;Bはベンゾキノンま
たはナフトキノンジアジド基を表す) で表される少なくとも1つの側鎖を有する数平均分子量
700〜4000ポリエステル樹脂またはポリブタジエン樹脂
からなるポジ型感光性樹脂組成物により達成せられる。
According to the present invention, the object is to provide a salt-forming group, (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
—COCH 2 —, —CH 2 NH— or —CH = CH— groups; R 1 and R 2
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, a phenyl or an —OSO 2 B group; n is 0 or 1; and B represents a benzoquinone or naphthoquinonediazide group). Number average molecular weight having at least one side chain
This can be achieved by a positive photosensitive resin composition comprising 700 to 4000 polyester resin or polybutadiene resin.

数平均分子量700〜4000の範囲内にあるポリエステル
樹脂、ポリブタジエン樹脂は特に熱フロー性に優れ、フ
ェノール性ノボラック樹脂に比し遥かに柔軟な可撓性フ
ィルムを形成することができる。また、熱フロー性が良
好なためピンホールが発生しても、その修復が極めて容
易であり、薄膜化による感度、解像度の向上が可能であ
る。本発明においてはかかる熱フロー性の良好な樹脂骨
格に塩形成基と感光基とが組み込まれている点に第1の
特徴が存する。
Polyester resins and polybutadiene resins having a number average molecular weight in the range of 700 to 4000 are particularly excellent in heat flow properties and can form a much more flexible flexible film than phenolic novolak resins. Further, even if a pinhole is generated due to good heat flow property, it can be easily repaired, and sensitivity and resolution can be improved by thinning. The first feature of the present invention resides in that a salt-forming group and a photosensitive group are incorporated in the resin skeleton having good heat flow properties.

さらに従来のノボラック樹脂系のポジ型感光性樹脂で
は、骨格樹脂のフェノール上にキノンジアジド基と塩形
成基とが担持されていたが、本発明の樹脂においては樹
脂の主鎖に担持される塩形成基と、側鎖フェノール上に
担持されるキノンジアジド基とが偏在しており、しかも
キノンジアジド基は側鎖末端または主鎖末端のフェノー
ル上に担持されている点に第2の特徴を有する。
Further, in the conventional novolak resin-based positive photosensitive resin, a quinonediazide group and a salt-forming group are supported on the phenol of the skeleton resin, but in the resin of the present invention, the salt formation supported on the main chain of the resin is formed. The second feature is that the group and the quinonediazide group supported on the side chain phenol are unevenly distributed, and the quinonediazide group is supported on the phenol at the terminal of the side chain or the terminal of the main chain.

塩形成基とキノンジアジド基が偏在することは上記第
1の特徴と相まって、電着液を調製した際に媒体中で本
発明の樹脂分子は、その疎水性のキノンジアジド部が内
側に、また親水性の塩形成基が外側に位置する配置をと
り、キノンジアジドが塩基/水で分解あるいはカップリ
ングを生じることによる感光機能の劣化を防止すること
になる。キノンジアジド基が側鎖末端または主鎖末端の
フェノール上に位置することは、立体障害がないため樹
脂自体の製造が容易であることのほか、露光時の吸光感
度が良好で、しかもアルカリ現像性もよくなり、コント
ラストの大なる高解像度画像の形成を可能とする。
The uneven distribution of the salt-forming group and the quinonediazide group is combined with the first feature described above. When the electrodeposition solution is prepared, the resin molecule of the present invention has the hydrophobic quinonediazide part in the medium and the hydrophilic quinonediazide part in the medium. In which the salt-forming group is located on the outside to prevent degradation of the photosensitive function due to decomposition or coupling of quinonediazide with base / water. The fact that the quinonediazide group is located on the phenol at the side chain terminal or the main chain terminal means that the resin itself is easy to produce because there is no steric hindrance, the light absorption sensitivity at the time of exposure is good, and the alkali developability is also high. As a result, a high-resolution image with high contrast can be formed.

塩形成基としてはカルボキシル基、スルホン酸基、ホ
スホン酸基、アミノ基、置換アミノ基など電着に利用せ
られる任意の基が用いられ、これらは例えばポリエステ
ル樹脂の場合、多塩基酸と多価アルコールからポリエス
テルを製造する際にエタノールアミン、ジエタノールア
ミン、トリエタノールアミン、ヒドロキシエチルエチレ
ンイミンの如く窒素原子と水酸基を有する化合物あるい
はスルホン酸基を有する多塩基酸、プロパンサルトンの
如きサルトン類を用いるとか、多価アルコールのアルコ
ール性水酸基に対し、カルボキシル基が過剰となるよう
に多塩基酸を用いることなどにより容易に導入され、ま
たポリブタジエン樹脂の場合には、エポキシ化して上記
と同様多塩基酸や1級アミン、2級アミンを反応させる
とか、二重結合を利用してマレイン化することなどによ
り容易に樹脂中に組み込むことができる。
As the salt-forming group, any group used for electrodeposition, such as a carboxyl group, a sulfonic acid group, a phosphonic acid group, an amino group, and a substituted amino group, can be used. When producing polyester from alcohol, a compound having a nitrogen atom and a hydroxyl group, such as ethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, and hydroxyethylethyleneimine, or a polybasic acid having a sulfonic acid group, or a sultone, such as propane sultone, is used. For the alcoholic hydroxyl group of the polyhydric alcohol, the carboxyl group is easily introduced by using a polybasic acid so as to be in excess, and in the case of a polybutadiene resin, it is epoxidized and a polybasic acid or Reacting primary or secondary amines or using double bonds It can be easily incorporated into the resin such as by maleinized by.

で表される感光基は、上記の塩形成基が組み込まれたポ
リエステル樹脂またはエポキシ化ポリブタジエン樹脂に
対し、式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R1とR2
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、フェニルあるい
は-OSO2B基を表し;nは0または1で;Bはベンゾキノンま
たはナフトキノンジアジド基を表す) で表されるカルボン酸を反応せしめるか、あるいは、式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R3とR4
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、あるいはフェニ
ル基を表し;nは0または1) で表されるフェノール性水酸基を有するカルボン酸を反
応させ、次いで1,2−キノンジアジド類のスルホン酸ま
たはそれらのハロゲン化物もしくはエステルを反応せし
めることにより容易に導入せられる。ただ、キノンジア
ジド基は高温において分解せられるため、樹脂製造に際
しては可及的に低温条件を選択することが好ましく、例
えば100℃以上での長時間加熱などは回避せられること
が望ましい。
formula The photosensitive group represented by the formula is a polyester resin or an epoxidized polybutadiene resin into which the above-mentioned salt-forming group is incorporated. (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
—COCH 2 —, —CH 2 NH— or —CH = CH— groups; R 1 and R 2
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, a phenyl or an —OSO 2 B group; n is 0 or 1; and B represents a benzoquinone or naphthoquinonediazide group). Carboxylic acid, or (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
-COCH 2 -, - represents a CH 2 NH- or -CH = CH- group; R 3 and R 4
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, or a phenyl group; n is 0 or 1), and is reacted with a carboxylic acid having a phenolic hydroxyl group; It is easily introduced by reacting a sulfonic acid of 2-quinonediazides or a halide or ester thereof. However, since the quinonediazide group is decomposed at a high temperature, it is preferable to select as low a temperature condition as possible in the production of the resin, and it is desirable to avoid, for example, heating at 100 ° C. or more for a long time.

フェノール性水酸基に対するキノンジアジド基の導入
はキノンジアジドスルホン酸、そのハロゲン化物、無水
物あるいはエステルなどの反応性誘導体を作用せしめる
ことにより容易に実施せられるが、特にハロゲン化合物
を用いる場合、反応は低温で実施可能であり、熱による
キノンジアジドの変質がないために好ましい。
Introduction of a quinonediazide group to a phenolic hydroxyl group can be easily carried out by reacting quinonediazidesulfonic acid, its halide, anhydride, or a reactive derivative such as an ester.However, particularly when a halogen compound is used, the reaction is carried out at a low temperature. It is possible and preferable because there is no heat-induced deterioration of quinonediazide.

より具体的には、ポリエステル樹脂あるいはアルキド
樹脂の場合、多塩基酸(脂肪酸を含む)と多価アルコー
ル(脂肪酸のトリグリセライドを含む)とから樹脂を製
造する際に、式 (式中A、n、R3、R4はそれぞれ前述の通り)で表され
るフェノール性水酸基を有するカルボン酸を用いて、フ
ェノール性水酸基を有するポリエステルあるいはアルキ
ドを合成し、その際さらに窒素原子と水酸基の双方を有
する化合物やスルホン酸基を有する多塩基酸を用いると
か、多塩基酸を過剰にして塩形成基も導入し、次にキノ
ンジアジドスルホン酸またはその反応性誘導体を用いて
キノンジアジド基を導入するか、あるいは過剰の多価ア
ルコールと多塩基酸とから樹脂を製造した後、上記式で
表されるフェノール性水酸基を有するカルボン酸および
塩形成基導入のためのカルボン酸を反応させ、最後に上
記と同様方法でフェノール性水酸基のキノンジアジド基
を導入してもよい。しかしながら、 式 (式中A、n、R1、R2はそれぞれ前述の通り)をポリエ
ステルまたはアルキド樹脂に直接反応せしめる方法はキ
ノンジアジドの熱変質を生じ易いのであまり好ましくは
ない。
More specifically, in the case of a polyester resin or an alkyd resin, when a resin is produced from a polybasic acid (including a fatty acid) and a polyhydric alcohol (including a triglyceride of a fatty acid), (Wherein A, n, R 3 , and R 4 are as described above), and a phenolic hydroxyl group-containing polyester or alkyd is synthesized using a phenolic hydroxyl group-containing carboxylic acid. Or a polybasic acid having a sulfonic acid group or an excess of the polybasic acid to introduce a salt-forming group, and then use a quinonediazidesulfonic acid or a reactive derivative thereof to convert the quinonediazide group. After introducing or preparing a resin from an excess of a polyhydric alcohol and a polybasic acid, a carboxylic acid having a phenolic hydroxyl group represented by the above formula and a carboxylic acid for introducing a salt-forming group are reacted. A quinonediazide group of a phenolic hydroxyl group may be introduced in the same manner as described above. However, the expression (Wherein A, n, R 1 and R 2 are as described above) is directly reacted with the polyester or alkyd resin, since thermal deterioration of quinonediazide is easily caused, and thus it is not preferred.

他方エポキシ化ポリブタジエン樹脂の場合にはエポキ
シ基とカルボキシル基の反応が比較的低温で容易に進行
するため、 式 の化合物を用い、後でキノンジアジド基を導入しても、
あるいは、式 で表される化合物を反応せしめてもかまわない。
On the other hand, in the case of the epoxidized polybutadiene resin, the reaction between the epoxy group and the carboxyl group easily proceeds at a relatively low temperature, Even if a quinonediazide group is introduced later using the compound of
Or the expression May be reacted.

本発明にかかる塩形成基と、式 で表される少なくとも1つの感光基を有する樹脂は、そ
の数平均分子量が700〜4000の範囲内になければならな
い。これは、数平均分子量が700未満ではコントラスト
の良好な像が得られず、また4000を超えると熱フロー性
が不良となり耐ピンホール性が不良となり、またアルカ
リ可溶性が不足し、現像性が悪くなるからである。
A salt-forming group according to the present invention, The number average molecular weight of the resin having at least one photosensitive group represented by formula (1) must be in the range of 700 to 4,000. This means that if the number average molecular weight is less than 700, an image with good contrast cannot be obtained, and if it exceeds 4,000, the heat flow property is poor and the pinhole resistance is poor, and the alkali solubility is insufficient, and the developability is poor. Because it becomes.

尚、キノンジアジド基の量については通常のこの種感
光樹脂の含有量でよいが、一般にキノンジアジド当量で
2.5×10-4〜2×10-3当量/g、好ましくは4×10-4〜2
×10-3当量/gの範囲内で感光材としての充分な機能を発
揮し、高コントラストの像が得られる。
The amount of the quinonediazide group may be the usual content of this kind of photosensitive resin.
2.5 × 10 -4 to 2 × 10 -3 equivalent / g, preferably 4 × 10 -4 to 2
A sufficient function as a photosensitive material is exhibited within the range of × 10 −3 eq / g, and a high-contrast image is obtained.

本発明の樹脂組成物は塗布型塗料として使用すること
もできるが、塩形成基を有するため対イオン基を有する
化合物と共にに水性液とし、電着により基材に適用する
ことができ、優れた密着性の、特に薄い高感度、高解像
度のフォトレジスト膜を与えることができ、耐ピンホー
ル性の良好なことと相まって、プリント配線回路欠陥の
ない、細線形成に理想的なフォトレジスト材を得ること
ができる。また、樹脂自体が従来のフェノール性ノボラ
ック樹脂に比し軟質であり、塩形成基と官能基が偏在し
ているため、電着液中でこれらの基が互いに脊向し、分
散安定性に優れた電着液を与え得る。また所望により、
他の樹脂や感光剤と混合して使用することもできる。
Although the resin composition of the present invention can be used as a coating type paint, it has an aqueous liquid together with a compound having a counter ion group because it has a salt-forming group, and can be applied to a substrate by electrodeposition. Able to provide a photoresist film with high adhesion and particularly high sensitivity and high resolution, combined with good pinhole resistance, to obtain a photoresist material that is free of printed wiring circuit defects and ideal for forming fine wires. be able to. In addition, the resin itself is softer than conventional phenolic novolak resins, and since the salt-forming groups and functional groups are unevenly distributed, these groups are oriented to each other in the electrodeposition solution, and have excellent dispersion stability. Can be provided. Also, if desired
It can be used by mixing with other resins or photosensitizers.

以下、実施例により本発明を説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples.

樹脂製造例1 温度計、コンデンサー、窒素導入管、攪拌羽根デカン
ターを備えた1のセパラブルフラスコにアジピン酸13
1.4倍、無水トリメリット酸172.8部、4−ヒドロキシ安
息香酸124.2部、ネオペンチルグリコール187.2部、キシ
レン18.5部、ジブチル錫オキシド0.18部を加え、180℃
に昇温した後、2時間かけて210℃まで内温を上げ、カ
ルボン酸の酸価が168になるまで反応をつづけた。これ
を130℃まで下げてからバーサティック酸のグリシジル
エステル225部を加え160℃で反応させてカルボン酸の酸
価63の時点で反応を止めた。冷却後ジオキサン180部を
加えてよく攪拌した。
Resin Production Example 1 Adipic acid 13 was placed in a separable flask equipped with a thermometer, a condenser, a nitrogen inlet tube, and a stirring blade decanter.
1.4 times, 172.8 parts of trimellitic anhydride, 124.2 parts of 4-hydroxybenzoic acid, 187.2 parts of neopentyl glycol, 18.5 parts of xylene, 0.18 parts of dibutyltin oxide, and added at 180 ° C.
Then, the internal temperature was raised to 210 ° C. over 2 hours, and the reaction was continued until the acid value of the carboxylic acid reached 168. After the temperature was lowered to 130 ° C., 225 parts of glycidyl ester of versatic acid was added and reacted at 160 ° C. to stop the reaction at an acid value of carboxylic acid of 63. After cooling, 180 parts of dioxane was added and stirred well.

このポリエステル樹脂ワニス400部を温度計、コンデ
ンサー、攪拌羽根を備えた3lのセパラブルフラスコに取
り、さらに1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホニ
ルクロリド96部とアセトン1790部を加えて室温でよく溶
解した。これにトリエチルアミン42.7部を1時間かけて
滴下し、さらに2時間保って反応を終了した。濾過によ
り不溶物を取り除いた後、約20倍量の水を攪拌したとこ
ろへおよそ1時間かけて濾液を滴下し、乾燥で水分を除
去したところ褐色を帯びた樹脂が回収された。このもの
の数平均分子量は1100、蛍光X線によるキノンジアジド
当量は8.9×10-4当量/gであった。
400 parts of this polyester resin varnish is placed in a 3-liter separable flask equipped with a thermometer, a condenser, and a stirring blade, and 96 parts of 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonyl chloride and 1790 parts of acetone are added and dissolved well at room temperature. did. To this, 42.7 parts of triethylamine was added dropwise over 1 hour, and the reaction was maintained for another 2 hours to complete the reaction. After removing insoluble matter by filtration, the filtrate was dropped over about 1 hour to a place where about 20 times the amount of water was stirred, and the water was removed by drying, whereby a brownish resin was recovered. Its number average molecular weight was 1100, and quinonediazide equivalent by fluorescent X-ray was 8.9 × 10 −4 equivalent / g.

樹脂製造例2 樹脂製造例1と同じ装置を用い、無水フタル酸118.4
部、大豆脂肪酸224部、サリチル酸110.4部、1,6−ヘキ
サンジオール94.4部、トリエタノールアミン119.2部、
キシレン19.3部、ジブチル錫オキシド0.12部を加え、17
0℃に昇温した後、2時間かけて210℃まで内温を上げ、
カルボン酸の酸価が2以下になるまで反応をつづけた。
冷却後、ジオキサン140部を加え、よく攪拌した。
Resin Production Example 2 Using the same apparatus as in Resin Production Example 1, phthalic anhydride 118.4
Parts, soybean fatty acid 224 parts, salicylic acid 110.4 parts, 1,6-hexanediol 94.4 parts, triethanolamine 119.2 parts,
19.3 parts of xylene and 0.12 parts of dibutyltin oxide were added, and 17
After heating to 0 ° C, raise the internal temperature to 210 ° C over 2 hours,
The reaction was continued until the acid value of the carboxylic acid became 2 or less.
After cooling, 140 parts of dioxane was added and stirred well.

このアルキド樹脂ワニス400部を温度計、コンデンサ
ー、攪拌羽根を備えた3のセパラブルフラスコに取り、
さらに1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホニルク
ロリド96部とアセトン1790部を加え室温でよく溶解し
た。これにトリエチルアミン42.7部を1時間かけて滴下
し、さらに2時間保って反応を終了した。濾過により不
溶物を取り除いた後、約20倍量の水を攪拌したところ
へ、およそ1時間かけて濾液を滴下し、乾燥で水分を除
去したところ、黒褐色の樹脂が回収された。このものの
数平均分子量は1020、蛍光X線によるキノンジアジド当
量は9.7×10-4当量/gであった。
400 parts of this alkyd resin varnish was placed in a separable flask equipped with a thermometer, a condenser, and a stirring blade.
Further, 96 parts of 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonyl chloride and 1790 parts of acetone were added and dissolved well at room temperature. To this, 42.7 parts of triethylamine was added dropwise over 1 hour, and the reaction was maintained for another 2 hours to complete the reaction. After removing the insoluble matter by filtration, the filtrate was added dropwise over about 1 hour to a place where about 20 times the amount of water was stirred, and the water was removed by drying. As a result, a black-brown resin was recovered. This had a number average molecular weight of 1020 and a quinonediazide equivalent by fluorescent X-ray of 9.7 × 10 −4 equivalent / g.

樹脂製造例3 樹脂製造例1と同じ装置を用い、出光ポリブタジエン
R-45 ERI(出光石油化学社製エポキシ化ポリブタジエ
ン)300部、サリチル酸207部、エチレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート140部、塩化テトラメチルア
ンモニウム5.1部を加え、100℃で反応した。エポキシ当
量がワニスで15000になったところで反応を一旦止めた
後、無水トリメリット酸47.8部を加えて、145℃で反応
させ、ワニス酸価が42.5になったところで反応を止め
た。
Resin Production Example 3 Using the same apparatus as in Resin Production Example 1, Idemitsu Polybutadiene
300 parts of R-45 ERI (epoxidized polybutadiene manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd.), 207 parts of salicylic acid, 140 parts of ethylene glycol monomethyl ether acetate, and 5.1 parts of tetramethylammonium chloride were added and reacted at 100 ° C. After the epoxy equivalent reached 15,000 with a varnish, the reaction was stopped once, 47.8 parts of trimellitic anhydride was added, and the reaction was carried out at 145 ° C. The reaction was stopped when the varnish acid value reached 42.5.

このポリブタジエンワニス300部を温度計、コンデン
サー、攪拌羽根を備えた3のセパラブルフラスコに取
り、さらに1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホニ
ルクロリド139部とアセトン1880部を加えて室温でよく
溶解した。これにトリエチルアミン76.3部を1時間かけ
て滴下し、さらに2時間保って反応を終了した。濾過に
より不溶物を取り除いた後、約20倍量の水を攪拌したと
ころへおよそ1時間かけて濾液を滴下し、乾燥で水分を
除去したところ、黒褐色を帯びた樹脂が回収された。こ
のものの数平均分子量は3500、蛍光X線によるキノンジ
アジド当量は1.58×10-3当量/gであった。
300 parts of this polybutadiene varnish was placed in a 3 separable flask equipped with a thermometer, a condenser, and a stirring blade, and 139 parts of 1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonyl chloride and 1880 parts of acetone were added and dissolved well at room temperature. . To this, 76.3 parts of triethylamine was added dropwise over 1 hour, and the reaction was completed after further keeping for 2 hours. After removing insolubles by filtration, the filtrate was dropped over about 1 hour to a place where about 20 times the amount of water was stirred, and water was removed by drying. As a result, a blackish-brown resin was recovered. This had a number average molecular weight of 3,500 and a quinonediazide equivalent by fluorescent X-ray of 1.58 × 10 −3 equivalent / g.

実施例1 樹脂製造例1で合成した感光性ポリエステル樹脂30部
をエチレングリコールモノエチルエーテル37部とメチル
エチルケトン20部の混合溶媒に溶解させた後、スピンナ
ーを使用してシリコン酸化膜ウエハー上にこの感光液を
塗布した後、80℃で10分オーブン中で乾燥し、膜厚1.5
μmの塗膜を得た。この感光層にラインアンドスペース
パターンを密着し、365nmでの光強度が3.5mW/cm2である
紫外線を30秒間照射し1%メタケイ酸ソーダ水溶液で30
℃、30秒間現像したところ、電子顕微鏡による観察によ
って1.0μmのラインアンドスペースまで解像され、ま
たレジストのピンホール、剥離、割れは認められなかっ
た。
Example 1 After 30 parts of the photosensitive polyester resin synthesized in Resin Production Example 1 was dissolved in a mixed solvent of 37 parts of ethylene glycol monoethyl ether and 20 parts of methyl ethyl ketone, the photosensitive resin was applied on a silicon oxide film wafer using a spinner. After applying the solution, it was dried in an oven at 80 ° C for 10 minutes,
A μm coating was obtained. A line and space pattern is adhered to this photosensitive layer, and irradiated with ultraviolet light having a light intensity of 3.5 mW / cm 2 at 365 nm for 30 seconds, and irradiated with a 1% aqueous sodium metasilicate solution for 30 seconds.
When developed at 30 ° C. for 30 seconds, it was resolved to a line and space of 1.0 μm by observation with an electron microscope, and no pinhole, peeling or cracking of the resist was observed.

実施例2 樹脂製造例1で合成した感光性ポリエステル樹脂60部
をメチルエチルケトン40部に溶解させた後攪拌しながら
トリエチルアミン3.2部と脱イオン水497部を加えて、感
光性ポリエステル樹脂の水分散液を得た。
Example 2 After dissolving 60 parts of the photosensitive polyester resin synthesized in Resin Production Example 1 in 40 parts of methyl ethyl ketone, 3.2 parts of triethylamine and 497 parts of deionized water were added with stirring, and an aqueous dispersion of the photosensitive polyester resin was added. Obtained.

次いで上記水分散液中に0.6mmのスルホールを有する
絶縁板に無電解銅メッキ、電解銅メッキを行った。銅膜
厚35μmのプリント配線板用両面回路基板を浸漬し、回
路基板に正電極を、水分散液を入れた金属容器に負電極
を接続し、80Vの直流電圧を2分間印加し、その後回路
基板を水洗し、100℃のオーブンで5分間乾燥させ、8
μmのポジ型感光性樹脂被膜を形成させた。この樹脂被
膜はピンホールがなく、均一膜厚であり、さらにスルー
ホール内は完全に被覆されていた。
Next, electroless copper plating and electrolytic copper plating were performed on an insulating plate having a through hole of 0.6 mm in the aqueous dispersion. Immerse a double-sided circuit board for printed wiring boards with a copper film thickness of 35 μm, connect the positive electrode to the circuit board, connect the negative electrode to the metal container containing the aqueous dispersion, apply a DC voltage of 80 V for 2 minutes, and then apply the circuit. The substrate is washed with water and dried in an oven at 100 ° C. for 5 minutes.
A positive photosensitive resin film having a thickness of μm was formed. This resin film had no pinholes, had a uniform thickness, and was completely covered in the through holes.

次に上記被膜上に回路パターンを有するポジタイプの
フォトツールマスクを密着させ、365nmの光強度が3.5mW
/cm2の紫外線を両面各々1分間照射し、1%メタケイ酸
ソーダ水溶液で35℃、1分間現像したところ、パターン
に忠実な線幅が再現され、ピンホール、レジスト剥離、
ワレは観察されなかった。
Next, a positive-type photo tool mask having a circuit pattern is brought into close contact with the above-mentioned film, and the light intensity of 365 nm is 3.5 mW.
/ cm 2 for 1 minute on each side and developed with 1% sodium metasilicate aqueous solution at 35 ° C for 1 minute. The line width faithful to the pattern was reproduced.
No crack was observed.

次に露出した銅を塩化第二鉄溶液によりエッチング
し、水洗の後50℃の3%水酸化ナトリウム水溶液により
回路パターン上の樹脂被膜を除去し、目的の最小導体幅
(回路幅)30μmの欠陥のない回路パターンを得た。こ
の時、紫外線の照射されなかったスルーホール内の銅は
エッチングされずに完全に残り、両面の導通が確保さ
れ、樹脂被覆が完全であったことを示している。
Next, the exposed copper is etched with a ferric chloride solution, and after washing with water, the resin film on the circuit pattern is removed with a 3% aqueous sodium hydroxide solution at 50 ° C. to obtain a defect having a desired minimum conductor width (circuit width) of 30 μm. No circuit pattern was obtained. At this time, the copper in the through-hole which was not irradiated with the ultraviolet rays was completely left without being etched, and the conduction on both surfaces was secured, indicating that the resin coating was complete.

各工程の表面、断面を電子顕微鏡で観察したがどの工
程においても欠陥がなかった。また、この水分散液を2
ケ月間保管したが、pH、電導度の変化はわずかであり、
電着によっても異状が観察されなかった。
The surface and cross section of each step were observed with an electron microscope, and no defects were found in any of the steps. Also, this aqueous dispersion was
After storage for months, the changes in pH and conductivity were slight.
No abnormalities were observed by electrodeposition.

実施例3 樹脂製造例2で合成した感光性アルキド樹脂60部をエ
チレングリコールモノブチルエーテル40部に溶解させた
後攪拌しながら酢酸2.6部と脱イオン水697部を加えて、
感光性アルキド樹脂の水分散液を得た。
Example 3 After dissolving 60 parts of the photosensitive alkyd resin synthesized in Resin Production Example 2 in 40 parts of ethylene glycol monobutyl ether, 2.6 parts of acetic acid and 697 parts of deionized water were added with stirring.
An aqueous dispersion of a photosensitive alkyd resin was obtained.

次いで上記水分散液中に0.6mmのスルホールを有する
絶縁板に無電解銅メッキ、電解銅メッキを行った。銅膜
厚35μmのプリント配線板用両面回路基板を浸漬し、回
路基板に負電極を、水分散液を入れた金属容器に正電極
を接続し、80Vの直流電圧を2分間印加し、その後回路
基板を水洗し、100℃のオーブンで5間乾燥させ、7μ
mのポジ型感光性樹脂被膜を形成させた。この樹脂被膜
はピンホールがなく、均一膜厚であり、さらにスルーホ
ール内に完全に被覆されていた。
Next, electroless copper plating and electrolytic copper plating were performed on an insulating plate having a through hole of 0.6 mm in the aqueous dispersion. Immerse a double-sided circuit board for a printed wiring board with a copper film thickness of 35 μm, connect the negative electrode to the circuit board, connect the positive electrode to a metal container containing an aqueous dispersion, apply a DC voltage of 80 V for 2 minutes, and then apply the circuit The substrate is washed with water, dried in an oven at 100 ° C. for 5 minutes, and
m of a positive photosensitive resin film was formed. This resin film had no pinholes, had a uniform thickness, and was completely covered in the through holes.

次に上記被膜上に回路パターンを有するポジタイプのフ
ォトレツールマスクを密着させ、365nmの光強度が3.5mW
/cm2の紫外線を両面各々1分間照射し、1.5%炭酸ソー
ダ水溶液で40℃、1分間現像したところ、パターンに忠
実な線幅が再現され、ピンホール、レジスト剥離、ワレ
は観察されなかった。
Next, a positive type photo-retool mask having a circuit pattern is brought into close contact with the film, and the light intensity at 365 nm is 3.5 mW.
UV rays of 1 cm / cm 2 on both sides for 1 minute each and developed with 1.5% aqueous sodium carbonate solution at 40 ° C for 1 minute, the line width faithful to the pattern was reproduced, and no pinhole, resist peeling or cracking was observed. .

次に露出した銅をアンモニア系のアルカリエッチング
液によりエッチングし、水洗の後、50℃の3%塩酸水溶
液により回路パターン上の樹脂被膜を除去し、目的の最
小導体幅(回路幅)30μmの欠陥のない回路パターンを
得た。この時、紫外線の照射されなかったスルーホール
内の銅はエッチングされずに完全に残り、両面の導通が
確保され樹脂被覆が完全にあったことを示している。
Next, the exposed copper is etched with an ammonia-based alkaline etchant, washed with water, and the resin coating on the circuit pattern is removed with a 3% hydrochloric acid aqueous solution at 50 ° C. to obtain a defect having a desired minimum conductor width (circuit width) of 30 μm. No circuit pattern was obtained. At this time, the copper in the through-hole which was not irradiated with the ultraviolet rays was completely left without being etched, and the conduction of both surfaces was secured, indicating that the resin coating was completely completed.

各工程の表面、断面を電子顕微鏡で観察したがどの工
程においても欠陥がなかった。また、この水分散液を2
ケ月保管したが、pH、電導度の変化はわずかであり、電
着によっても異状が観察されなかった。
The surface and cross section of each step were observed with an electron microscope, and no defects were found in any of the steps. Also, this aqueous dispersion was
After storage for months, changes in pH and conductivity were slight, and no abnormalities were observed by electrodeposition.

実施例4 樹脂製造例3で合成した感光性ポリブタジエン60部を
メチルエチルケトン20部とエチレングリコールモノブチ
ルエーテル部20部に溶解させた後、攪拌しながらトリエ
チルアミン4.2部と脱イオン水896部を加えて感光性ポリ
ブタジエンの水分散液を得た。
Example 4 After dissolving 60 parts of the photosensitive polybutadiene synthesized in Resin Production Example 3 in 20 parts of methyl ethyl ketone and 20 parts of ethylene glycol monobutyl ether, 4.2 parts of triethylamine and 896 parts of deionized water were added with stirring. An aqueous dispersion of polybutadiene was obtained.

次いで上記水分散液中に0.6mmのスルホールを有する
絶縁板に無電解銅メッキ、電解銅メッキを行った。銅膜
厚35μmのプリント配線板用両面回路基板を浸漬し、回
路基板に正電極を、水分散液を入れた金属容器に負電極
を接続し、80Vの直流電圧を3分間印加し、その後回路
基板を水洗し、100℃のオーブンで5分間乾燥させ、9
μmのポジ型感光性樹脂被膜を形成させた。この樹脂被
膜はピンホールがなく、均一膜厚であり、さらにスルー
ホール内は完全に被覆されていた。
Next, electroless copper plating and electrolytic copper plating were performed on an insulating plate having a through hole of 0.6 mm in the aqueous dispersion. A double-sided circuit board for a printed wiring board with a copper film thickness of 35 μm is immersed, the positive electrode is connected to the circuit board, the negative electrode is connected to a metal container containing an aqueous dispersion, and a DC voltage of 80 V is applied for 3 minutes. The substrate is washed with water and dried in an oven at 100 ° C. for 5 minutes.
A positive photosensitive resin film having a thickness of μm was formed. This resin film had no pinholes, had a uniform thickness, and was completely covered in the through holes.

次に上記被膜上に回路パターンを有するポジタイプの
フォトツールマスクを密着させ、365nmの光強度が3.5mW
/cm2の紫外線を両面各々1分間照射し、1.5%メタケイ
酸ソーダ水溶液で40℃、1分間現像したところ、パター
ンに忠実な線幅が再現され、ピンホール、レジスト剥
離、ワレは観察されなかった。
Next, a positive-type photo tool mask having a circuit pattern is brought into close contact with the above-mentioned film, and the light intensity of 365 nm is 3.5 mW.
/ cm 2 for 1 minute on each side and developed with 1.5% sodium metasilicate aqueous solution at 40 ° C for 1 minute, the line width faithful to the pattern was reproduced, and no pinhole, resist peeling or cracking was observed Was.

次に露出した銅を塩化第二鉄溶液によりエッチング
し、水洗の後、50℃の3%水酸化ナトリウム水溶液によ
り回路パターン上の樹脂被膜を除去し、目的の最小導体
幅(回路幅)30μmの欠陥のない回路パターンを得た。
この時、紫外線の照射されなかったスルーホール内の銅
はエッチングされずに完全に残り、両面の導通が確保さ
れ、樹脂被覆が完全であったことを示している。
Next, the exposed copper is etched with a ferric chloride solution, and after washing with water, the resin coating on the circuit pattern is removed with a 3% aqueous sodium hydroxide solution at 50 ° C. to obtain a target minimum conductor width (circuit width) of 30 μm. A defect-free circuit pattern was obtained.
At this time, the copper in the through-hole which was not irradiated with the ultraviolet rays was completely left without being etched, and the conduction on both surfaces was secured, indicating that the resin coating was complete.

各工程の表面、断面を電子顕微鏡で観察したがどの工
程においても欠陥がなかった。また、この水分散液を2
ケ月間保管したが、pH、電導度の変化はわずかであり、
電着によっても異状が観察されなかった。
The surface and cross section of each step were observed with an electron microscope, and no defects were found in any of the steps. Also, this aqueous dispersion was
After storage for months, the changes in pH and conductivity were slight.
No abnormalities were observed by electrodeposition.

比較例1 フェノール、p−第三−ブチルフェノール、ヒドロキ
ノンスルホン酸カリウム塩およびホルムアルデヒド(3
8.8%ホルマリンとして)を、モル比0.75:0.25:0.1:0.8
8にて加熱することによって、ノボラックを製造する。
すべての揮発物を留去した後に146℃の軟化点を有する
樹脂が得られる。そのノボラック(18g)をアセトン(5
0g)中に溶解し、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−
5−スルホニルクロライド(6g)をアセトン(20g)中
へ溶解した溶液で処理する。その混合物を10%炭酸ナト
リウム水溶液に加えることによりpH8に調整し、次に室
温で1時間攪拌する。次に、0.2NHCl溶液(2.5g)に滴
下し、その沈澱を濾別し水洗し、そして真空オーブン中
で35℃にて乾燥して感光性樹脂を得た。
Comparative Example 1 Phenol, p-tert-butylphenol, hydroquinonesulfonic acid potassium salt and formaldehyde (3
8.8% formalin) in a molar ratio of 0.75: 0.25: 0.1: 0.8
Novolak is produced by heating at 8.
After distilling off all volatiles, a resin having a softening point of 146 ° C. is obtained. The novolak (18 g) was added to acetone (5
0g) and 1,2-naphthoquinone-2-diazide-
Treat with a solution of 5-sulfonyl chloride (6 g) in acetone (20 g). The mixture is adjusted to pH 8 by adding to a 10% aqueous sodium carbonate solution and then stirred at room temperature for 1 hour. Next, the mixture was added dropwise to a 0.2N HCl solution (2.5 g), and the precipitate was separated by filtration, washed with water, and dried at 35 ° C. in a vacuum oven to obtain a photosensitive resin.

この樹脂(10g)を1規定の水酸化カリウム溶液で中
和した2−ブトキシエタノール(10g)に溶解し、そし
て水を加えて100gにする。この樹脂をステンレス陰極を
用いて銅クラッドラミネート陽極上に電着させる。80V
で60秒後12μmの厚さの電着層を形成する。これを90℃
で5分間乾燥させた後、樹脂被膜上に回路パターンを有
するポジタイプのフォトツールマスクを密着させ、365n
mの光強度が3.5mW/cm2の紫外線を両面各々1分間照射
し、2%水酸化ナトリウム水溶液で35℃、1分間現像し
て画線を観察したところ、一部にピンホールがあり、画
線の細りがあった。
This resin (10 g) is dissolved in 2-butoxyethanol (10 g) neutralized with 1N potassium hydroxide solution, and water is added to make up to 100 g. The resin is electrodeposited on a copper clad laminate anode using a stainless steel cathode. 80V
After 60 seconds, an electrodeposited layer having a thickness of 12 μm is formed. 90 ℃
After drying for 5 minutes, a positive type photo tool mask having a circuit pattern is brought into close contact with the resin film, and 365n
m light intensity of 3.5 mW / cm 2 was irradiated on both sides for 1 minute, developed with 2% aqueous sodium hydroxide solution at 35 ° C for 1 minute, and the image was observed. The image was thin.

また、この水分散液を10日間保管し、特数を測ったと
ころpHが下がり、電導度は上がっていた。これを同様に
電着したところ、異状付着がみられ露光後の現像不良が
あった。
Further, when this aqueous dispersion was stored for 10 days and the characteristic number was measured, the pH was lowered and the conductivity was increased. When this was electrodeposited in the same manner, abnormal adhesion was observed, and there was defective development after exposure.

フロントページの続き (72)発明者 石川 勝清 寝屋川市池田中町19番17号 日本ペイン ト株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−295549(JP,A) 特開 昭50−117503(JP,A) 特開 昭61−218616(JP,A) 特開 昭60−207139(JP,A)Continuation of front page (72) Inventor Katsumi Ishikawa 19-17 Ikedanakamachi, Neyagawa City Inside Japan Paint Co., Ltd. (56) References JP-A-61-295549 (JP, A) JP-A-50-117503 (JP A) JP-A-61-218616 (JP, A) JP-A-60-207139 (JP, A)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】塩形成基と、 式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R1とR2
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、フェニルあるい
は-OSO2B基を表し;nは0または1で;Bはベンゾキノンま
たはナフトキノンジアジド基を表す) で表される少なくとも1つの側鎖を有する数平均分子量
700〜4000ポリエステル樹脂またはポリブタジエン樹脂
からなるポジ型感光性樹脂組成物。
1. A salt-forming group comprising: (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
—COCH 2 —, —CH 2 NH— or —CH = CH— groups; R 1 and R 2
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, a phenyl or an —OSO 2 B group; n is 0 or 1; and B represents a benzoquinone or naphthoquinonediazide group). Number average molecular weight having at least one side chain
A positive photosensitive resin composition comprising a 700 to 4000 polyester resin or a polybutadiene resin.
【請求項2】塩形成基を有するポリエステル樹脂または
エポキシ化ポリブタジエン樹脂に 式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R1とR2
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、フェニルあるい
は-OSO2B基を表し;nは0または1で;Bはベンゾキノンま
たはナフトキノンジアジド基を表す) で表されるカルボン酸を反応せしめるか、あるいは 式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R3とR4
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、あるいはフェニ
ル基を表し;nは0または1) で表されるフェノール性水酸基を有するカルボン酸を反
応させ、次いで1,2−キノンジアジド類のスルホン酸ま
たはそれらのハロゲン化物もしくはエステルを反応せし
めることを特徴とする 塩形成基と、 式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R1とR2
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、フェニルあるい
は-OSO2B基を表し;nは0または1で;Bはベンゾキノンま
たはナフトキノンジアジド基を表す) で表される少なくとも1つの側鎖を有する数平均分子量
700〜4000のポリエステル樹脂またはポリブタジエン樹
脂からなるポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。
2. A polyester resin having a salt-forming group or an epoxidized polybutadiene resin having the formula (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
—COCH 2 —, —CH 2 NH— or —CH = CH— groups; R 1 and R 2
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, a phenyl or an —OSO 2 B group; n is 0 or 1; and B represents a benzoquinone or naphthoquinonediazide group). React with the carboxylic acid (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
-COCH 2 -, - represents a CH 2 NH- or -CH = CH- group; R 3 and R 4
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, or a phenyl group; n is 0 or 1), and is reacted with a carboxylic acid having a phenolic hydroxyl group; A salt-forming group characterized by reacting a sulfonic acid of 2-quinonediazides or a halide or ester thereof; (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
—COCH 2 —, —CH 2 NH— or —CH = CH— groups; R 1 and R 2
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, a phenyl or an —OSO 2 B group; n is 0 or 1; and B represents a benzoquinone or naphthoquinonediazide group). Number average molecular weight having at least one side chain
A method for producing a positive photosensitive resin composition comprising 700 to 4000 polyester resins or polybutadiene resins.
【請求項3】塩形成基と、 式 (式中Aは置換基を有しまたは有せざるアルキレン基、
-COCH2-、-CH2NH-あるいは−CH=CH−基を表し;R1とR2
はそれぞれH、HO、アルキル基、低級アルコキシ、低級
アルキルチオ、置換アミノ、ハロゲン、フェニルあるい
は-OSO2B基を表し;nは0または1で;Bはベンゾキノンま
たはナフトキノンジアジド基を表す) で表される少なくとも1つの側鎖を有する数平均分子量
700〜4000のポリエステル樹脂またはポリブタジエン樹
脂からなるポジ型感光性樹脂組成物と、前記樹脂の塩形
成基を中和するに足る量の、該塩形成基と対イオンを形
成する化合物とを含む水性液からなるポジ型感光性樹脂
電着液。
3. A salt-forming group, having the formula: (Wherein A is an alkylene group having or not having a substituent,
—COCH 2 —, —CH 2 NH— or —CH = CH— groups; R 1 and R 2
Each represents H, HO, an alkyl group, a lower alkoxy, a lower alkylthio, a substituted amino, a halogen, a phenyl or an —OSO 2 B group; n is 0 or 1; and B represents a benzoquinone or naphthoquinonediazide group). Number average molecular weight having at least one side chain
A positive-type photosensitive resin composition comprising 700 to 4000 polyester resin or polybutadiene resin, and an aqueous solution containing a compound capable of forming a counter ion with the salt-forming group in an amount sufficient to neutralize the salt-forming group of the resin. Positive photosensitive resin electrodeposition liquid composed of liquid.
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