JP2604013B2 - Tandem accelerator - Google Patents

Tandem accelerator

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JP2604013B2
JP2604013B2 JP20342788A JP20342788A JP2604013B2 JP 2604013 B2 JP2604013 B2 JP 2604013B2 JP 20342788 A JP20342788 A JP 20342788A JP 20342788 A JP20342788 A JP 20342788A JP 2604013 B2 JP2604013 B2 JP 2604013B2
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heat
acceleration tube
energy side
tube
connection duct
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Inventor
英司 岩本
Original Assignee
日新ハイボルテージ株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明はタンデム加速装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a tandem accelerator.

(従来の技術) 周知のようにタンデム加速装置は、イオンビームの荷
電変換に使用されるもので、低エネルギー側の加速管と
高エネルギー側の加速管と、その間に配置される、荷電
変換部であるチャージストリッパーによって、主として
構成されている。
(Prior Art) As is well known, a tandem accelerator is used for charge conversion of an ion beam, and includes a low energy side acceleration tube, a high energy side acceleration tube, and a charge conversion unit disposed therebetween. Mainly composed of a charge stripper.

第2図は従来のこの種タンデム加速装置を示し、1は
低エネルギー側の加速管で、(ステンレスからなる接続
ダクト2を介して、冷却フイン3を備えた冷却板4に接
続されている。5は冷却板4に支持されているカナール
である。
FIG. 2 shows a conventional tandem accelerator of this type, wherein 1 is a low-energy side acceleration tube which is connected to a cooling plate 4 provided with a cooling fin 3 via a connection duct 2 made of stainless steel. Reference numeral 5 denotes a canal supported by the cooling plate 4.

6はダクトで、冷却板4に一方の端面が取り付けられ
ており、内部にはカナール7が設置されてある。8は高
エネルギー側の加速管で、ダクト6に取り付けられてい
る。冷却板4、カナール5,7およびダクト6によって荷
電変換部9が構成されている。12はストリッパー用ガス
をカナール7に供給するガス導入パイプである。
Numeral 6 denotes a duct, one end face of which is attached to the cooling plate 4 and a canal 7 is installed inside. Reference numeral 8 denotes an acceleration tube on the high energy side, which is attached to the duct 6. The cooling plate 4, the canals 5 and 7 and the duct 6 constitute a charge conversion unit 9. Reference numeral 12 denotes a gas introduction pipe for supplying gas for stripper to the canal 7.

加速管1側からの負イオンビーム10は、カナール5,7
の中心を通って加速管8に導かれる。その途中で負イオ
ンビーム10は、カナール中のストリッパー用ガスと衝突
して荷電変換される。以上の構成、作用はすでによく知
られている。
The negative ion beam 10 from the accelerator tube 1 side is Canal 5,7
Is guided to the accelerating tube 8 through the center. On the way, the negative ion beam 10 collides with the stripper gas in the canal and is charged-converted. The above configuration and operation are already well known.

(発明が解決しようとする課題) ところでこのような構成において、ビームがカナール
5,7内を通過するとき、全てのビームが損失なく通過す
るのではなく、ビーム電流、加速電圧、ビーム集束の条
件によっては、カナール5の中心孔5Aの周辺に衝突して
ストップしてしまうことがある。
(Problems to be Solved by the Invention) By the way, in such a configuration, the beam is
When passing through 5,7, not all beams pass through without loss, but depending on the conditions of beam current, acceleration voltage, and beam convergence, they collide with the periphery of central hole 5A of canal 5 and stop. Sometimes.

このときビームが持っている運動エネルギーは、熱エ
ネルギーに変換される。この熱は大電流タンデムでは場
合によっては数100W以上になることがある。
At this time, the kinetic energy of the beam is converted to heat energy. This heat can be several hundred watts or more in high current tandem in some cases.

発生した熱は冷却板4に伝導され、フイン3から絶縁
ガス中に放散されるが、その一部は接続ダクト2を伝わ
って、加速管1に伝導されることがある。
The generated heat is transmitted to the cooling plate 4 and dissipated from the fins 3 into the insulating gas. A part of the generated heat may be transmitted to the acceleration tube 1 through the connection duct 2.

ところが周知のように加速管1は、ガラスと金属電極
とによって構成され、それらは接着剤によって接合され
ているので熱に弱い。そのため前記のように伝導されて
きた熱によって、この加速管1は大きなダメージを受け
ることがある。
However, as is well known, the accelerating tube 1 is composed of glass and metal electrodes, and they are bonded to each other by an adhesive, so that they are weak to heat. Therefore, the accelerated tube 1 may be seriously damaged by the heat conducted as described above.

この発明はカナール5にビームが衝突して発生する熱
によって、加速管1がダメージを受けないようにするこ
とを目的とする。
An object of the present invention is to prevent the accelerating tube 1 from being damaged by heat generated when a beam collides with the canal 5.

(課題を解決するための手段) この発明は荷電変換部と低エネルギー側加速管とを接
続する接続ダクトに断熱材を設けたことを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) The present invention is characterized in that a heat insulating material is provided in a connection duct connecting the charge conversion unit and the low energy side acceleration tube.

(作用) カナールにビームが衝突したことによって発生する熱
のうちの一部が、接続ダクトを介して低エネルギー側の
加速管に伝導されようとするが、この接続ダクトには断
熱材が設置されているため、ここでの熱勾配が大きくな
っているので、加速管への熱の伝導は小さくなる。これ
によって加速管をビームによる発熱から保護することが
できるようになる。
(Action) Some of the heat generated by the collision of the beam with the canal tends to be conducted to the low-energy side accelerating tube through the connection duct. Insulation is installed in this connection duct. Therefore, since the heat gradient here is large, the conduction of heat to the acceleration tube is small. As a result, the acceleration tube can be protected from heat generated by the beam.

(実施例) この発明の実施例を第1図によって説明する。なお第
2図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部
分を示す。この発明にしたがい、接続ダクト2に断熱材
11を設ける。これはたとえば熱伝導率の小さいセラミッ
クスなどを環状にして構成されており、これを接続ダク
ト2の中間に設置してある。
(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same reference numerals as in FIG. 2 denote the same or corresponding parts. According to the present invention, the connecting duct 2 is provided with a heat insulating material.
11 is provided. This is made of, for example, ceramics having a low thermal conductivity in the form of a ring, which is installed in the middle of the connection duct 2.

接続ダクト2と断熱材11との接着は、メタルボンディ
ングで行なうことにより、耐熱性をもたすようにすると
よい。なお加速管1と接続ダクト2との間の真空シール
接続は、作業性の良いゴムOリングを用い、接続ダクト
2と冷却板4との間、および冷却板4とダクト6との間
の、各真空シール接続は、耐熱性のある金属ガスケット
または金属Oリングを用いるとよい。
The connection between the connection duct 2 and the heat insulating material 11 is preferably performed by metal bonding so as to have heat resistance. The vacuum seal connection between the accelerating tube 1 and the connection duct 2 uses a rubber O-ring having good workability, and is used between the connection duct 2 and the cooling plate 4 and between the cooling plate 4 and the duct 6. Each vacuum seal connection may use a heat resistant metal gasket or metal O-ring.

カナール5にイオンが衝突したことによって熱が発生
したとき、その熱の一部が接続ダクト2より加速管1に
向かおうとするが、接続ダクト2は断熱材11の存在によ
って熱勾配が大きくなっているため、加速管1までの熱
伝導は著しく低減されるようになる。これによって加速
管1の熱に対するダメージが軽減されるようになる。
When heat is generated by collision of ions with the canal 5, a part of the heat tends to go to the acceleration tube 1 from the connection duct 2, but the connection duct 2 has a large thermal gradient due to the presence of the heat insulating material 11. Therefore, heat conduction to the acceleration tube 1 is significantly reduced. Thus, damage to the heat of the acceleration tube 1 is reduced.

(発明の効果) 以上詳述したようにこの発明によれば、荷電変換部に
衝突するイオンによって発生する熱によって、低エネル
ギー側の加速管が熱的ダメージを受けるのを極力回避
し、もってこの加速管の熱に対する安全性を確保するこ
とができるといった効果を奏する。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, the heat generated by the ions colliding with the charge conversion unit can minimize the thermal damage to the low-energy side acceleration tube. This has the effect that the safety of the accelerator tube against heat can be ensured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの発明の実施例を示す断面図、第2図は従来
例の断面図である。 1……低エネルギー側の加速管、2……接続ダクト、3
……フイン、4……冷却板、5,7……カナール、6……
ダクト、8……高エネルギー側の加速管、10……負イオ
ンビーム、11……断熱材、
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional example. 1 ... low-energy side acceleration tube, 2 ... connection duct, 3
... fin, 4 ... cooling plate, 5,7 ... canal, 6 ...
Duct, 8 Accelerator tube on high energy side, 10 Negative ion beam, 11 Insulation material,

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】低エネルギー側の加速管と高エネルギー側
の加速管との間に荷電変換部を配置し、前記荷電変換部
を接続ダクトを介して低エネルギー側の加速管に連結し
てなるタンデム加速装置において、前記荷電変換部と低
エネルギー側の加速管との間の熱勾配を大きくするよう
に、前記接続ダクトに断熱材を設けてなるタンデム加速
装置。
1. A charge conversion unit is arranged between a low energy side acceleration tube and a high energy side acceleration tube, and the charge conversion unit is connected to the low energy side acceleration tube via a connection duct. In the tandem accelerator, the connection duct is provided with a heat insulating material so as to increase a thermal gradient between the charge conversion unit and the low-energy side acceleration tube.
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US7498588B1 (en) 2008-05-07 2009-03-03 International Business Machines Corporation Tandem accelerator having low-energy static voltage injection and method of operation thereof

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