JP2603125B2 - Content reference memory cell - Google Patents

Content reference memory cell

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JP2603125B2
JP2603125B2 JP1035428A JP3542889A JP2603125B2 JP 2603125 B2 JP2603125 B2 JP 2603125B2 JP 1035428 A JP1035428 A JP 1035428A JP 3542889 A JP3542889 A JP 3542889A JP 2603125 B2 JP2603125 B2 JP 2603125B2
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JP
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bit line
terminal
conductive terminal
transistor
memory cell
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貴尚 栄森
秀明 有馬
夏夫 味香
裕一 中島
真一 佐藤
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はメモリセルに関し、特に、内容参照メモリ
セルの改善に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a memory cell, and more particularly to an improvement in a content reference memory cell.

[従来の技術] 第28図はIEEE Journal of Solid State Circuits vo
l.sc−7,No.5,October 1972,pp.364−369に示された内
容参照メモリセルを示す回路図である。第1の絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタMW1(この場合、n−MOSトラ
ンジスタとする)の第1の導通端子は第1のビット線BL
に接続されており、制御端子(ゲート)はワード線WLに
接続されている。同様に、第2のn−MOSトランジスタM
W2の第1の導通端子は第2のビット線▲▼に接続さ
れていて、ゲートはワード線WLに接続されている。
[Prior art] Figure 28 shows the IEEE Journal of Solid State Circuits vo
FIG. 1 is a circuit diagram showing a content reference memory cell shown in l.sc-7, No. 5, October 1972, pp. 364-369. The first conductive terminal of the first insulated gate field effect transistor M W1 (in this case, an n-MOS transistor) is connected to the first bit line BL.
, And the control terminal (gate) is connected to the word line WL. Similarly, the second n-MOS transistor M
The first conduction terminal of W2 is connected to the second bit line ▼, and the gate is connected to the word line WL.

第3のn−MOSトランジスタMS1の第1の導通端子は第
1のビット線BLに接続されており、ゲートは第1のトラ
ンジスタMW1の第2の導通端子に接続されている。同様
に、第4のn−MOSトランジスタMS2の第1の導通端子は
第2のビット線▲▼に接続されていて、ゲートは第
2のトランジスタMW2の第2の導通端子に接続されてい
る。
The first conduction terminal of the third n-MOS transistor M S1 is connected to the first bit line BL, and the gate thereof is connected to the second conduction terminal of the first transistor M W1. Similarly, the first conduction terminal of the fourth n-MOS transistor M S2 is not connected to the second bit line ▲ ▼, gate is connected to the second conduction terminal of the second transistor M W2 I have.

第5のn−MOSトランジスタMDの第1の導通端子は第
3と第4のトランジスタMS1,MS2のそれぞれの第2の導
通端子へ共通に接続されており、ゲートと第2の導通端
子は共通してマッチ線MLに接続されている。
The first conduction terminal of the fifth n-MOS transistor M D are connected in common to a respective second conduction terminal of the third and fourth transistors M S1, M S2, a gate and a second conduction The terminals are commonly connected to a match line ML.

以上のように構成されている従来の内容参照メモリセ
ルにおいて、今、メモリセルはn−MOSトランジスタで
構成されているので、第1のビット線BLを“H"レベルと
し、第2のビット線▲▼を“L"レベルにする。この
ときワード線WLが“H"レベルになれば第1のトランジス
タMW1がオンするので、“H"レベルにある第1のビット
線BLから第3のトランジンスタMS1のゲートに正電荷が
蓄積され、これによって第3のトランジスタMS1もオン
状態となる。他方、ワード線WLの“H"レベルによって第
2のトランジスタMW2もオンするが、第4のトランジス
タMS2のゲートは“L"レベルにある第2のビット線▲
▼に接続されるので、第4のトランジスタMS2はオフ
状態となる。この状態でワード線WLを“L"レベルにすれ
ば情報(データ)の書込みが完了したことになる。今、
この記憶状態をデータ論理“1"とする。
In the conventional content reference memory cell configured as described above, since the memory cell is now formed of an n-MOS transistor, the first bit line BL is set to “H” level and the second bit line is set to “H” level. Set ▲ ▼ to “L” level. Because if this time word line WL is "H" level first transistor M W1 is turned on, a positive charge is accumulated from the first bit line BL at the "H" level to the gate of the third Toranjinsuta M S1 As a result, the third transistor MS1 is also turned on. On the other hand, the second transistor MW2 is also turned on by the "H" level of the word line WL, but the gate of the fourth transistor MS2 has the second bit line at the "L" level.
Is connected to ▼, the fourth transistor MS2 is turned off. If the word line WL is set to the "L" level in this state, the writing of information (data) is completed. now,
This storage state is defined as data logic “1”.

次に、記憶されているデータを検索する場合、マッチ
線MLを“H"レベルにプリチャージし、ビット線対BL,▲
▼に参照したいデータを与える。今、仮にその参照
データとして、“1"を与えるとすれば、第1のビット線
BLが“H"レベルにされ、第2のビット線▲▼が“L"
レベルとされる。このとき、マッチ線MLが“H"レベルな
ので第5のトランジスタMDがオンするが、前述の記憶状
態“1"では第3と第4のトランジスタMS1,MS2がそれぞ
れオン状態とオフ状態にあるので、マッチ線MLは第1の
ビット線BLと接続されて第2のビット線▲▼と遮断
されることになる。しかし、第1のビット線BLが“H"レ
ベルであるので、マッチ線MLの“H"レベルはそのまま維
持される。すなわち、マッチ線MLのプリチャージレベル
“H"が維持されたことによって、記憶されているデータ
が参照データと一致していることを知ることができる。
Next, when searching the stored data, the match line ML is precharged to the “H” level, and the bit line pair BL, ▲
Give the data you want to refer to ▼. Now, if "1" is given as the reference data, the first bit line
BL is set to “H” level, and the second bit line ▲ ▼ is set to “L”.
Level. At this time, since the match line ML is "H" level the transistor M D of the fifth is turned on, the memory state "1" in the third and fourth transistors M S1, M S2 respectively ON and OFF states of the above , The match line ML is connected to the first bit line BL and cut off from the second bit line ▲ ▼. However, since the first bit line BL is at the “H” level, the “H” level of the match line ML is maintained. That is, by maintaining the precharge level “H” of the match line ML, it can be known that the stored data matches the reference data.

他方、参照データとして“0"を与えるとき、第1のビ
ット線BLは“L"レベルにされ、第2のビット線▲▼
は“H"レベルにされる。このとき、オン状態にある第5
のトランジスタMDと第3のトランジスタMS1を通して、
“H"レベルにあるマッチ線MLから“L"レベルにある第1
のビット線BLに電荷が引き抜かれるので、フローティン
グ状態にあるマッチ線MLは“L"レベルとなる。すなわ
ち、マッチ線MLのプリチャージレベル“H"が“L"に変化
したことによって、記憶されているデータが参照データ
と不一致であることを知ることができる。
On the other hand, when "0" is given as reference data, the first bit line BL is set to "L" level and the second bit line BL
Is set to the “H” level. At this time, the fifth
Through transistor M D and the third transistor M S1,
From the match line ML at the “H” level to the first at the “L” level
Since the charge is extracted to the bit line BL, the match line ML in the floating state becomes “L” level. That is, by changing the precharge level “H” of the match line ML to “L”, it can be known that the stored data does not match the reference data.

第29図は特開昭63−31091に示された内容参照メモリ
セルを示す回路図である。このメモリセルにおいて、第
1の不揮発性メモリトランジスタMF1(たとえば、フロ
ーティングゲート型アンバランシュトランジスタ)の第
1の導通端子はワード線WL/マッチ線MLに接続され、コ
ントロールゲートは第1のビット線BLに接続されてお
り、そして、第2の導通端子は接地されている。対称的
に、第2の不揮発性メモリトランジスタMF2の第1の導
通端子はワード線WL/マッチ線MLに接続され、コントロ
ールゲートは第2のビット線▲▼に接続されてお
り、そして、第2の導通端子は接地されている。
FIG. 29 is a circuit diagram showing a content reference memory cell disclosed in JP-A-63-31091. In this memory cell, the first non-volatile memory transistor M F1 (e.g., floating gate type en balun Gerhard transistor) first conduction terminal connected to the word line WL / match line ML, control gate first bit line Connected to BL, and the second conduction terminal is grounded. In contrast, the first conduction terminal of the second non-volatile memory transistor M F2 is connected to the word line WL / match line ML, control gate is connected to the second bit line ▲ ▼ to and the The two conductive terminals are grounded.

第29図の内容参照メモリセルにおいて、今仮に第1の
ビット線BLを“H"レベルにして第2のビット線▲▼
を“L"レベルにし、そしてワード線WLを“H"レベルにす
れば、第1のフローティングゲート型アバランシェトラ
ンジスタMF1においてアバランシェブレークダウンによ
って生じた電子が“H"レベルにあるコントロールゲート
に向かって引き寄せられ、フローティングゲートに電子
が注入される。その結果、第1のフローティングゲート
型アバランシェトランジスタMF1のしきい値電圧VTHが高
くなる。他方、第2のフローティングゲート型アバラン
シェトランジスタMF2のコントロールゲートは“L"レベ
ルにあるので、フローティングゲートへの電子の注入が
生ぜず、しきい値電圧VTHは低いままに保たれる。こう
して、1対の不揮発性メモリトランジスタMF1とMF2へ情
報を書込むことができる。
In the content reference memory cell of FIG. 29, the first bit line BL is temporarily set to "H" level, and the second bit line
Was in the "L" level, and if the "H" level to the word line WL, the electron generated by the avalanche breakdown in the first floating-gate avalanche transistor M F1 is toward the control gate at the "H" level It is attracted and electrons are injected into the floating gate. As a result, the threshold voltage V TH of the first floating-gate avalanche transistor M F1 increases. On the other hand, since the control gate of the second floating-gate avalanche transistor M F2 is in the "L" level, not generated electrons injected into the floating gate, the threshold voltage V TH is kept low while. Thus, it is possible to write a pair of data to the nonvolatile memory transistor M F1 and M F2.

このような書込まれたデータを参照する場合、マッチ
線MLを“H"レベルにプリチャージし、たとえば第1のビ
ット線BLを“H"レベルにして第2のビット線▲▼を
“L"レベルにする。そのとき、第1の不揮発性メモリト
ランジスタMF1のしきい値電圧VTHが高くなっているので
導通しない。また、第2の不揮発性メモリトランジスタ
MF2は、そのしきい値電圧VTHが低いままであるが、コン
トロールゲートの電位が“L"レベルになっているので導
通しない。すなわち、第1と第2の不揮発性メモリトラ
ンジスタがどちらも非導通状態にあって、マッチ線MLの
“H"レベルが維持される。これによって、ビット線対B
L,▲▼に与えられた内容参照データが、記憶されて
いるデータと一致していることがわかる。
When referring to such written data, the match line ML is precharged to the “H” level, for example, the first bit line BL is set to the “H” level, and the second bit line ▲ ▼ is set to the “L” level. "To the level. Then, without conducting the threshold voltage V TH of the first nonvolatile memory transistor M F1 is high. Also, a second nonvolatile memory transistor
M F2 is the remains threshold voltage V TH is low, the potential of the control gate does not conduct since the "L" level. That is, the first and second nonvolatile memory transistors are both in a non-conductive state, and the “H” level of the match line ML is maintained. As a result, bit line pair B
It can be seen that the content reference data given to L, ▲ ▼ matches the stored data.

逆に第1のビット線BLを“L"レベルし、第2のビット
線▲▼を“H"レベルにすれば、第2の不揮発性メモ
リトランジスタMF2が導通状態となる。したがって、こ
の第2の不揮発性メモリトランジスタMF2を通してマッ
チ線MLから電荷が引き抜かれ、マッチ線MLが“L"レベル
に変化する。これによって、第1と第2のビット線対B
L,▲▼に与えられた内容参照データが、記憶されて
いるデータと一致していることがわる。
Conversely, when the first bit line BL is set at "L" level and the second bit line ▼ is set at "H" level, the second nonvolatile memory transistor MF2 is turned on. Accordingly, the second charge from the match line ML via the non-volatile memory transistor M F2 is pulled, the match line ML is changed to "L" level. As a result, the first and second bit line pairs B
It turns out that the content reference data given to L, ▲ ▼ matches the stored data.

[発明が解決しようとする課題] 第28図の内容参照メモリセルでは絶縁ゲート型電界効
果トランジスタのゲートに電荷を蓄えて記憶データを保
持させるので、再書込み(リフレッシュ)を行なう必要
があり、さらに電力が遮断されれば記憶データが失われ
るという課題がある。
[Problems to be Solved by the Invention] In the memory cell referred to in FIG. 28, electric charge is stored in the gate of the insulated gate field effect transistor to hold stored data, so that rewriting (refresh) must be performed. There is a problem that stored data is lost if power is cut off.

他方、第29図の内容参照メモリセルにおいては電力が
遮断されても記憶データは保持されるが、そのメモリセ
ルに記憶されたデータを直接ビット線対から読出すこと
ができない。すなわち、第29図の内容参照メモリセルは
RAMセル(ランダムアクセスメモリセル)として使用す
ることができないという課題がある。
On the other hand, in the content reference memory cell of FIG. 29, the stored data is retained even if the power is cut off, but the data stored in the memory cell cannot be read directly from the bit line pair. That is, the content reference memory cell in FIG.
There is a problem that it cannot be used as a RAM cell (random access memory cell).

以上のような先行技術の課題に鑑みみ、本発明の目的
は、電力が遮断されても記憶データが保持されかつその
データを直接ビット線対から読出すことができ、さらに
消費電力が小さく動作速度の速い内容参照メモリセルを
提供することである。
In view of the above-described problems in the prior art, an object of the present invention is to retain stored data even when power is cut off, and to read the data directly from a bit line pair, and further operate with low power consumption. The object is to provide a fast content reference memory cell.

[課題を解決するための手段] 本発明の1つの態様による内容参照メモリセルは、ビ
ット線対の第1のビット線に接続された第1の導通端
子,ワード線に接続された制御端子,および第2の導通
端子を有する第1の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ
と;ビット線対の第2のビット線に接続された第1の導
通端子,ワード線に接続された制御端子,および第2の
導通端子を有する第2の絶縁ゲート型電界効果トランジ
スタと、;第1のビット線に接続された第1の導通端
子,第2の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの第2の
導通端子に接続された制御端子,および第2の導通端子
を有する第1の不揮発性メモリトランジスタと;第2の
ビット線に接続された第1の導通端子,第1の絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタの第2の導通端子に接続され
た制御端子,および第2の導通端子を有する第2の不揮
発性メモリトランジスタと;第1と第2の不揮発性メモ
リトランジスタのそれぞれの第2の導通端子へ共通に接
続された第1の導通端子,およびマッチ線へ共通に接続
された制御端子と第2の導通端子を有する第3の絶縁ゲ
ート型電界効果トランジスタを含んでいる。
[Means for Solving the Problems] A content reference memory cell according to one aspect of the present invention includes a first conductive terminal connected to a first bit line of a bit line pair, a control terminal connected to a word line, And a first insulated gate field effect transistor having a second conductive terminal; a first conductive terminal connected to the second bit line of the bit line pair; a control terminal connected to the word line; A second insulated gate field effect transistor having a first conductive terminal; and a first conductive terminal connected to the first bit line, and a second conductive terminal of the second insulated gate field effect transistor. A first non-volatile memory transistor having a control terminal and a second conduction terminal; a first conduction terminal connected to a second bit line; a second conduction of the first insulated gate field effect transistor Connect to terminal A second nonvolatile memory transistor having a connected control terminal and a second conductive terminal; and a first commonly connected to respective second conductive terminals of the first and second nonvolatile memory transistors. A third insulated gate field effect transistor having a conduction terminal, a control terminal commonly connected to the match line, and a second conduction terminal is included.

本発明のもう1つの態様による内容参照メモリセルに
おいては、第1と第2の不揮発性メモリトランジスタの
各々の第1の導通端子はビット線対のうちの対応する1
つに直接接続されているのではなく、ワード線によって
導通制御される1つの絶縁ゲート型電界効果トランジス
タを介して接続されている。
In a content reference memory cell according to another aspect of the invention, a first conductive terminal of each of the first and second nonvolatile memory transistors is connected to a corresponding one of the bit line pairs.
They are not directly connected to each other, but are connected via one insulated gate field effect transistor whose conduction is controlled by a word line.

本発明のさらにもう1つの態様による内容参照メモリ
セルにおいては、1対のビット線のみならず1対のワー
ド線を備えており、1対の不揮発性メモリトランジスタ
に記憶されたデータをビット線対からのみならずワード
線対からも読出すことができる。
A content reference memory cell according to still another aspect of the present invention includes not only a pair of bit lines but also a pair of word lines, and stores data stored in a pair of nonvolatile memory transistors in a bit line pair. From the word line pair.

[作用] 本発明による内容参照メモリセルにおいては、不揮発
性メモリトランジスタが記憶データを保持するので、リ
フレッシュ動作が不要であって消費電力が小さくかつ動
作速度が速く、かつ電力が遮断されても記憶データが消
失しない。さらに、1対の不揮発性メモリトランジスタ
の各々の導通端子がビット線対のうちの対応する1つへ
の電気的に接続されるので、記憶されているデータを直
接ビット線対から読出すことができる。
[Operation] In the content reference memory cell according to the present invention, since the nonvolatile memory transistor holds the storage data, the refresh operation is unnecessary, the power consumption is small, the operation speed is high, and the storage is performed even when the power is cut off. No data is lost. Further, since the conductive terminals of each of the pair of nonvolatile memory transistors are electrically connected to the corresponding one of the bit line pairs, the stored data can be directly read from the bit line pairs. it can.

[発明の実施例] 第1図は本発明の一実施例による内容参照メモリセル
を示す回路図である。この図において、第1の絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタMW1(今の場合、n−MOSトラ
ンジスタとする)の第1の導通端子は第1のビット線BL
に接続されており、ゲートはワードWLに接続されてい
る。同様に、第2のn−MOSトランジスタMW2の第1の導
通端子は第2のビット線▲▼に接続されていて、ゲ
ートはワード線WLに接続されている。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a content reference memory cell according to an embodiment of the present invention. In this figure, a first conductive terminal of a first insulated gate field effect transistor M W1 (here, an n-MOS transistor) is connected to a first bit line BL.
And the gate is connected to the word WL. Similarly, the first conduction terminal of the second n-MOS transistor M W2 are be connected to the second bit line ▲ ▼, gate is connected to the word line WL.

第1の不揮発性メモリトランジスタとしてのフローテ
ィングゲート型アバランシェートランジスタMF1の第1
の導通端子は第1のビット線BLに接続されており、コン
トロールゲートは第2のn−MOSトランジスタMW2の第2
の導通端子に接続されている。同様に、第2のフローテ
ィングゲート型アバランシェトランジスタMF2の第1の
導通端子は第2のビット線▲▼に接続されていて、
コントロールゲートは第1のn−MOSトランジスタMW1
第2の導通端子に接続されている。
The first floating-gate avalanche over transistor M F1 of the first nonvolatile memory transistor
Is connected to the first bit line BL, and the control gate is the second terminal of the second n-MOS transistor MW2 .
Is connected to the conduction terminal of Similarly, the first conduction terminal of the second floating-gate avalanche transistor M F2 are be connected to the second bit line ▲ ▼,
The control gate is connected to the second conduction terminal of the first n-MOS transistor MW1 .

第3のn−MOSトランジスタMDの第1の導通端子は第
1と第2のフローティングゲート型アバランシェトラン
ジスタMF1,MF2のそれぞれの第2の導通端子へ共通に接
続されており、ゲートと第2の導通端子は共通してマッ
チ線MLに接続されている。
The first conduction terminal of the third n-MOS transistor M D are connected in common to a respective second conduction terminal of the first and second floating-gate avalanche transistor M F1, M F2, and a gate The second conduction terminals are commonly connected to a match line ML.

以上のように構成された内容参照メモリセルにおい
て、各信号線における“H"レベルは通常は5Vとされる。
しかし、データの書込み時におけるマッチ線MLにおいて
のみ、その“H"レベルはドライバなどによって10Vに引
上げられている。“L"レベルはいずれの場合も0V(GND
電位)であるとする。
In the content reference memory cell configured as described above, the “H” level of each signal line is normally set to 5V.
However, only at the match line ML at the time of data writing, its “H” level is raised to 10 V by a driver or the like. “L” level is 0V (GND
Potential).

今、仮にデータ“1"を書込むために第1のビット線BL
を“H"レベル(5V)とし、第2のビット線BLを“L"レベ
ル(0V)にしたとする。このときワード線WLを“H"レベ
ル(5V)とし、マッチ線MLを“H"レベル(10V)にすれ
ば、フローティングゲート型アバランシェトランジスタ
MF2のソース・ドレイン間でアバランシェブレイクダウ
ンを生じ、フローティングゲートに電子が注入される。
これによって、第2のフローティングゲート型アバラン
シェトランジスタMF2は、そのしきい電圧VTHが高くなっ
てオフ状態となる。
Now, to temporarily write data "1", the first bit line BL
Is set to “H” level (5V), and the second bit line BL is set to “L” level (0V). At this time, if the word line WL is set to “H” level (5V) and the match line ML is set to “H” level (10V), the floating gate type avalanche transistor
Cause avalanche breakdown between the source and the drain of M F2, electrons are injected into the floating gate.
As a result, the threshold voltage VTH of the second floating gate type avalanche transistor MF2 is increased, and the second floating gate type avalanche transistor MF2 is turned off.

第2図を参照して、この第2のフローティングゲート
型アバランシェトランジスタMF2の一例が断面図で示さ
れており、フローティングゲートに電子が注入される過
程が図解されている。このフローティングゲート型アバ
ランシェトランジスタにおいて、p−Si基板1の主面に
は、それぞれソースとドレインになるn+拡散領域2a,2b
が形成されている。これらのソース2aとドレイン2bは、
絶縁層3にあけられたコンタクトホールを介して、それ
ぞれ第1と第2の導通端子として働くソース電極5aとド
レイン電極5bに接続されている。ソース・ドレイン間の
チャンネル領域上の絶縁層領域3a内にはフローティング
ゲート4が設けられており、さらにその上に絶縁層を介
してコントロールゲート6が設けられている。第1の導
通端子5aは“L"レベル(0V)にある第2のビット線▲
▼に接続されており、第2の導通端子5bはオン状態の
第3のn−MOSトランジスタMDを介して“H"レベル(10
V)にあるマッチ線MLに接続されている。すなわち、ド
レイン電位VD=10Vとなっており、ソース・ドレイン間
の電位差は10Vとなる。コントロールゲート電極6はオ
ン状態にある第1のn−MOSトランジスタMW1を介して
“H"レベル(5V)に接続されている。すなわちゲート電
位VG=5Vである。また、p−Si基板1はGND電位にされ
ている。このとき、ソース・ドレイン間にアバランシェ
ブレイクダウンが生じ、図中の矢印で示したように、正
孔はp−Si基板1側に抜け、電子がフローティングゲー
ト4内に注入されて蓄積される。この蓄積された電子に
よる電界効果によって、このフローティングゲート型ア
バランシェトランジスタMF2はそのしきい値電圧VTHが高
くなってオフ状態となるのである。
Referring to FIG. 2 , an example of the second floating gate type avalanche transistor MF2 is shown in a cross-sectional view, illustrating the process of injecting electrons into the floating gate. In the floating gate type avalanche transistor, the main surface of the p-Si substrate 1 has n + diffusion regions 2a and 2b serving as a source and a drain, respectively.
Are formed. These source 2a and drain 2b
Via a contact hole formed in the insulating layer 3, they are connected to a source electrode 5 a and a drain electrode 5 b serving as first and second conduction terminals, respectively. A floating gate 4 is provided in an insulating layer region 3a on a channel region between a source and a drain, and a control gate 6 is further provided thereon via an insulating layer. The first conduction terminal 5a is connected to the second bit line at the "L" level (0 V).
▼ is connected to the second conduction terminal 5b via a third n-MOS transistor M D in the ON state "H" level (10
V) is connected to the match line ML. That is, the drain potential V D is 10 V, and the potential difference between the source and the drain is 10 V. The control gate electrode 6 is connected to the "H" level (5 V) via the first n-MOS transistor MW1 in the ON state. That is, the gate potential V G = 5V. Further, the p-Si substrate 1 is set to the GND potential. At this time, avalanche breakdown occurs between the source and the drain, and as shown by the arrow in the drawing, holes escape to the p-Si substrate 1 side, and electrons are injected into the floating gate 4 and accumulated. Due to the electric field effect of the accumulated electrons, the threshold voltage VTH of the floating gate type avalanche transistor MF2 is increased and the floating gate type avalanche transistor MF2 is turned off.

第1図に戻って、第1のフローティングゲート型アバ
ランシェトランジスタMF1の第2の導通端子には第3の
n−MOSトランジスタMDを介してマッチ線MLの10Vが印加
されるが、第1の導通端子に第1のビット線BLの5Vが接
続されるので、ソース・ドレイン間の電位差は5Vとな
る。さらに、コントロールゲートには第2のn−MOSト
ランジスタMW2を介して第2のビット線▲▼の0Vが
接続されるので、第1のフローティングゲート型アバラ
ンシェトランジスタMF1においては、電子のアバランシ
ェ注入が生じず、オン状態を維持する。
Returning to FIG. 1, the second conduction terminal of the first floating-gate avalanche transistor M F1 is 10V match line ML is applied via the third n-MOS transistor M D, first 5V of the first bit line BL is connected to the conduction terminal of, and the potential difference between the source and the drain becomes 5V. Further, since the control gate second bit line ▲ ▼ is 0V is connected via a second n-MOS transistors M W2, in the first floating-gate avalanche transistor M F1, electron avalanche injection Does not occur and the ON state is maintained.

このように、第1と第2のフローティングゲート型ア
バランシェトランジスタMF1,MF2をそれぞれオン状態と
オフ状態にした後にワード線WLを“L"レベルにすれば、
メモリセルにデータ“1"が書込まれたことになる。但
し、書込まれたデータの消去には紫外線を用いる。
Thus, the first and second floating-gate avalanche transistor M F1, if the M F2 to "L" level of the word line WL after the on and off states, respectively,
This means that data "1" has been written to the memory cell. However, ultraviolet data is used to erase the written data.

書込まれているデータを読出すとき、ビット線対BL,
▲▼をディスチャージした後にマッチ線MLを“H"レ
ベルにし、第3のn−MOSトランジスタMDをオン状態に
する。このとき、仮にデータ“1"が書込まれているとす
れば、“H"レベルにあるマッチ線MLは、オン状態にある
第3のn−MOSトランジスタMDと第1のフローティング
ゲート型アバランシェトランジスタMF1を介して第1の
ビット線BLに接続されるが、オフ状態にある第2のフロ
ーティングゲート型アバアランシェトランジスタMF2
よって第2のビット線▲▼からは遮断されている。
これによって、第1のビット線BLのみの電位が上昇し、
ビット線対BL,▲▼間の電位差をセンスすることに
よってデータを読出すことができる。
When reading the written data, the bit line pair BL,
▲ ▼ to "H" level to match line ML after discharging and the third n-MOS transistor M D in the ON state. At this time, if if data "1" is written, "H" match line ML in the level, the third n-MOS transistor M D and the first floating gate avalanche in the ON state It is connected to the first bit line BL via the transistor M F1, and is blocked second bit line ▲ from ▼ by the second floating gate Abba Alan Chez transistor M F2 in the off state.
As a result, the potential of only the first bit line BL increases,
Data can be read by sensing the potential difference between the pair of bit lines BL and ▲ ▼.

記憶されているデータを検査する場合、マッチ線MLを
“H"レベルにプリチャージし、ビット線対BL,▲▼
に参照したいデータを与える。今、仮にその参照データ
として“1"を与えるとすれば、第1のビット線BLが“H"
レベルにされ、第2のビット線▲▼が“L"レベルに
される。このとき、マッチ線MLがプリチャージされてい
るので第3のn−MOSトランジスタMDがオンするが、記
憶されているデータが“1"であれば第1と第2のフロー
ティングゲート型アバランシェトランジスタMF1,MF2
それぞれオン状態とオフ状態にあるので、マッチ線MLは
第1のビット線BLに接続されて第2のビット線▲▼
と遮断されることになる。しかし、第1のビット線BLが
“H"レベルであるので、マッチ線MLの“H"レベルはその
まま維持される。すなわち、マッチ線MLのプリチャージ
レベル“H"が維持されたことによって、記憶されている
データが参照データと一致していることを知ることがで
きる。
When inspecting the stored data, the match line ML is precharged to the “H” level, and the bit line pair BL, ▲ ▼
Give the data you want to refer to. Now, assuming that "1" is given as the reference data, the first bit line BL becomes "H".
Level, and the second bit line ▲ ▼ is set to “L” level. At this time, since the match line ML is precharged but the third n-MOS transistor M D is turned on, the first and second floating-gate avalanche transistor if the data has been stored is "1" Since M F1 and M F2 are on and off, respectively, the match line ML is connected to the first bit line BL and the second bit line
Will be cut off. However, since the first bit line BL is at the “H” level, the “H” level of the match line ML is maintained. That is, by maintaining the precharge level “H” of the match line ML, it can be known that the stored data matches the reference data.

また、もしデータ“1"が記憶されているときに参照デ
ータ“0"を与えれば、第1のビット線BLが“L"レベルで
第2のビット線▲▼が“H"レベルにされるので、
“H"レベルにあるマッチ線MLから第3のn−MOSトラン
ジスタMDと第1のフローティングゲート型アバランシェ
トランジスタMF1を通して第1のビット線BLに電荷が引
き抜かれ、マッチ線MLが“L"レベルになる。マッチ線ML
の“H"レベルが“L"レベルに変化したことによって、記
憶されているデータが参照データと不一致であったこと
を知ることができる。
If reference data "0" is given while data "1" is stored, first bit line BL is set to "L" level and second bit line ▲ ▼ is set to "H" level. So
"H" charge from the match line ML to a third n-MOS transistor M D and the first bit line BL through the first floating-gate avalanche transistor M F1 in level is extracted, the match line ML becomes "L" Become a level. Match line ML
Is changed from the "H" level to the "L" level, it can be known that the stored data did not match the reference data.

このようなメモリセルを複数個含むメモリセルアレイ
において、或るビット線対BL,の両方の線を“H"レ
ベルにすれば、記憶されているデータにかかわらずマッ
チ線MLの“H"レベルが維持されるので、このメモリビッ
トはドントケア状態、すなわち無視して、他のメモリビ
ットのデータのみを検索できることになる。
In a memory cell array including a plurality of such memory cells, if both lines of a certain bit line pair BL are set to the “H” level, the “H” level of the match line ML is changed regardless of the stored data. Since this memory bit is maintained, this memory bit is in a don't care state, that is, it can be ignored and only the data of the other memory bits can be searched.

以上実施例において、フローティングゲート型アバラ
ンシェトランジスタが記憶データを保持する例を述べた
が、このフローティングゲート型アバランシェトランジ
スタの代わりにMNOS(metal nitride oxide silicon)
型トランジスタを同等に用いることができる。
In the above embodiment, the example in which the floating gate type avalanche transistor holds stored data has been described. Instead of the floating gate type avalanche transistor, MNOS (metal nitride oxide silicon) is used.
Type transistors can be used equally.

第3図はMNOS型トランジスタの一例を示す断面図であ
る。第3図のMNOS型トランジスタは第2図のフローティ
ングゲート型アバランシェトランジスタに類似している
が、チャンネル領域上に酸化膜10,窒化膜11およびコン
トロールゲート6が順次積層されている。これらの層1
0,11および6は絶縁膜7によって覆われており、コント
ロールゲート6は絶縁膜7にあけられたコンタクトホー
ルを介してゲート電極5cに接続されている。このMNOS型
トランジスタは酸化膜10と窒化膜11の界面付近に電子を
蓄積することができ、フローティングゲート型アバラン
シェトランジスタと同様に動作させることができる。
FIG. 3 is a sectional view showing an example of an MNOS transistor. The MNOS type transistor of FIG. 3 is similar to the floating gate type avalanche transistor of FIG. 2, but an oxide film 10, a nitride film 11, and a control gate 6 are sequentially stacked on a channel region. These layers 1
0, 11 and 6 are covered with an insulating film 7, and the control gate 6 is connected to the gate electrode 5c via a contact hole formed in the insulating film 7. This MNOS transistor can accumulate electrons near the interface between the oxide film 10 and the nitride film 11, and can be operated in the same manner as a floating gate type avalanche transistor.

第1図の実施例において、不揮発性メモリトランジス
タMF1,MF2としてFLOTOX(フローティングゲートトンネ
ルオキサイド)型トランジスタをも用いることができ
る。その場合、データの書込時はすべての“H"レベルを
たとえば10Vとし、データの読出時および検索時にはす
べての“H"レベルをたとえば5Vとすればよい。また、FL
OTOX型トランジスタに書込まれたデータは電気的に消去
することができる。
In the embodiment shown in FIG. 1 , a FLOTOX (floating gate tunnel oxide) transistor can be used as the nonvolatile memory transistors M F1 and M F2 . In this case, all "H" levels may be set to, for example, 10 V when writing data, and may be set to, for example, 5 V when reading and searching data. Also FL
Data written to the OTOX transistor can be electrically erased.

第4図を参照して、FLOTOX型トランジスタの一例が断
面図で示されており、フローティングゲートに電子が注
入される過程が図解されている。このFLOTOX型トランジ
スタにおいて、p−Si基板1の主面には、それぞれ第1
と第2の導通端子として働く2つのn+拡散領域2a,2bが
形成されており、絶縁層3によって覆われている。2つ
のn+拡散領域2a,2b間のチャンネル領域とn+拡散領域2a
の上方に、絶縁層を介してフローティングゲート4が設
けられており、さらにその上に絶縁層を介してコントロ
ールゲート6が設けられている。第2の導通端子2bに接
続されるマッチ線MLがフローティング状態であって、第
1の導通端子2aに第2のビット線▲▼の0Vが接続さ
れた状態において、コントロールゲート6に第1のビッ
ト線BLの10Vが印加されれば、極めて薄くされた絶縁層
の領域3bを通して、電子が矢印eで示したようにn+拡散
領域2aからフローティングゲート4内にトンネリングし
て蓄積される。この蓄積された電子による電界効果によ
って、このFLOTOX型トランジスタはそのしきい値電圧V
THが高くなってオフ状態となるのである。
Referring to FIG. 4, an example of a FLOTOX transistor is shown in a cross-sectional view, illustrating the process of injecting electrons into the floating gate. In this FLOTOX transistor, the first surface of the p-Si substrate 1
And two n + diffusion regions 2 a and 2 b serving as second conduction terminals are formed, and are covered with the insulating layer 3. Channel region between two n + diffusion regions 2a and 2b and n + diffusion region 2a
, A floating gate 4 is provided via an insulating layer, and a control gate 6 is further provided thereon via an insulating layer. When the match line ML connected to the second conductive terminal 2b is in a floating state, and the first conductive terminal 2a is connected to 0V of the second bit line ▲ ▼, the first control gate 6 is connected to the control gate 6. When a voltage of 10 V is applied to the bit line BL, electrons are tunneled and accumulated in the floating gate 4 from the n + diffusion region 2a through the extremely thin insulating layer region 3b as shown by an arrow e. Due to the electric field effect of the accumulated electrons, the FLOTOX transistor has its threshold voltage V
TH becomes high and it is turned off.

第5図と第6図は本発明の他の2つの実施例を示す回
路図である。これらの実施例によるメモリセルは、第1
図のメモリセルと全く等価な回路を有している。しか
し、これらのメモリセルを半導体装置として実現する場
合に、互いに交差する配線が実施例間で異なることにな
る。集積回路のレイアウトにおいて、どの配線が交差す
るかはチップ面積の大小に影響するので、場合に応じて
上述の実施例のうち適切なものを選択すればよい。
FIGS. 5 and 6 are circuit diagrams showing two other embodiments of the present invention. The memory cell according to these embodiments has a first
The circuit has a circuit completely equivalent to the memory cell shown in FIG. However, when these memory cells are realized as a semiconductor device, wirings crossing each other are different between the embodiments. In the layout of the integrated circuit, which wiring crosses affects the size of the chip area. Therefore, an appropriate one of the above embodiments may be selected depending on the case.

第7図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。このメモリセルは第1図のメモリセルにおけ
る第1と第2のn−MOSトランジスタMW1,MW2をそれぞれ
第1と第2のp−MOSトランジスタMW1′,MW2′に置き換
えたものである。したがって、データを書込むときにワ
ード線を“L"レベル(0V)とし、読出時および検索時に
“H"レベル(5V)としてやれば、第1のメモリセルと同
様に動作する。
FIG. 7 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell is replaced with a first and second n-MOS transistors M W1, M W2 the first respectively second p-MOS transistor M W1 ', M W2' in the memory cell of FIG. 1 is there. Therefore, if the word line is set to the "L" level (0 V) when writing data, and set to the "H" level (5 V) at the time of reading and searching, the same operation as the first memory cell is performed.

第8図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。このメモリセルは第1図のメモリセルに類似
しているが、第1の不揮発性メモリトランジスタMF1
第1の導通端子は直接第1のビット線BLに接続されてお
らず、第1のn−MOSトランジスタMW1を介して接続され
ている。同様に、第2の不揮発性メモリトランジスタM
F2の第1の導通端子も直接第2のビット線▲▼に接
続されておらず、第2のn−MOSトランジスタMW2を介し
て接続されている。第8図のメモリセルも、ワード線WL
“H"レベルにすることによって第1図のメモリセルと同
等に動作することが明らかであろう。
FIG. 8 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. This memory cell is similar to the memory cell of FIG. 1, a first conduction terminal of the first non-volatile memory transistor M F1 is not directly connected to the first bit line BL, and first It is connected via an n-MOS transistor MW1 . Similarly, the second nonvolatile memory transistor M
The first conduction terminal of F2 is not directly connected to the second bit line ▼, but is connected via the second n-MOS transistor MW2 . The memory cell shown in FIG.
It will be apparent that the operation at the “H” level is equivalent to that of the memory cell of FIG.

第9図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第9図のメモリセルは第7図のメモリセルに
類似しているが、第1の不揮発性メモリトランジスタM
F1の第1の導通端子はpチャンネル型の第1のMOSトラ
ンジスタMW1′を介して第1のビット線BLに接続されて
おり、第2の不揮発性メモリトランジスタMF2の第1の
導通端子もpチャンネル型の第2のMOSトランジスタ
MW2′を介して第2のビット線▲▼に接続されてい
る。第9図のメモリトランジスタも、ワード線WLを“L"
レベルにすることによって、第7図のメモリセルと同様
に動作することが明らかであろう。
FIG. 9 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 9 is similar to the memory cell of FIG. 7, except that the first nonvolatile memory transistor M
The first conduction terminal of F1 is connected to the first bit line BL via a first MOS transistor M W1 'of p-channel type, a first conduction terminal of the second non-volatile memory transistor M F2 Is also a p-channel type second MOS transistor
It is connected to the second bit line ▲ ▼ via M W2 ′. The memory transistor of FIG. 9 also sets the word line WL to “L”.
It will be apparent that the level operation behaves similarly to the memory cell of FIG.

第10図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。このメモリセルは、第8図のメモリセルにお
ける第2のn−MOSトランジスタMW2をp−MOSトランジ
スタMW2′に置き換えたものであり、それに伴って、そ
のp−MOSトランジスタMW2′のゲートが接続される第2
のワード線▲▼を備えている。第10図のメモリセル
も、第2のワード線WLを“L"レベルにすることによっ
て、第8図のメモリセルと同様に動作することが明らか
であろう。
FIG. 10 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. This memory cell is obtained by replacing the second n-MOS transistor MW2 in the memory cell of FIG. 8 with a p-MOS transistor MW2 ', and accordingly, the gate of the p-MOS transistor MW2 ' Is connected to the second
Word line ▲ ▼. It will be apparent that the memory cell of FIG. 10 operates similarly to the memory cell of FIG. 8 by setting the second word line WL to the “L” level.

第11図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第11図のメモリセルは、第10図のメモリセル
と類似しているが、第1の不揮発性メモリトランジスタ
MF1の第1の導通端子が直接第1のビット線BLに接続さ
れており、第2の不揮発性メモリトランジスタMF2の第
1の導通端子も直接第2のビット線▲▼に接続され
ている。
FIG. 11 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 11 is similar to the memory cell of FIG. 10, except that the first nonvolatile memory transistor
The first conduction terminal of M F1 is connected directly to the first bit line BL, and a first conduction terminal of the second non-volatile memory transistor M F2 also direct a second bit line ▲ ▼ to be connected I have.

第12図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第12図のメモリセルは第8図のメモリセルに
類似しているが、第2のn−MOSトランジスタMW2のゲー
ト端子は第2のワード線▲▼に接続されている。ま
た第12図のメモリセルは、第1のワード線WLに接続され
た第1の導通端子,第1のビット線BLに接続された制御
端子,および第1の不揮発性メモリトランジスタMF1
第1の導通端子に接続された第2の導通端子を有する第
4のn−MOSトランジスタMB1を含み、かつ第2のワード
線▲▼に接続された第1の導通端子,第2のビット
線▲▼に接続された制御端子,および第2の不揮発
性メモリトランジスタMF2の第1の導通端子に接続され
た第2の導通端子を有する第5のn−MOSトランジスタM
B2を含んでいる。さらに、第12図のメモリセルは、第1
と第2の不揮発性メモリトランジスタMF1,MF2の第2の
導通端子へ共通に接続された第1の導通端子,および第
2のマッチ線ML2へ共通に接続されたゲート端子と第2
の導通端子を有する第6のn−MOSトランジスタMD2を含
んでいる。
FIG. 12 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 12 is similar to the memory cell of FIG. 8, except that the gate terminal of the second n-MOS transistor MW2 is connected to the second word line ▼. The memory cell in FIG. 12 includes a first conduction terminal connected to the first word line WL, a control terminal connected to the first bit line BL, and a first non-volatile memory transistor MF1 . A first conduction terminal connected to a second word line and a second bit line including a fourth n-MOS transistor MB1 having a second conduction terminal connected to the first conduction terminal; A fifth n-MOS transistor M having a control terminal connected to ▼ and a second conduction terminal connected to the first conduction terminal of the second nonvolatile memory transistor MF2
Contains B2 . Further, the memory cell of FIG.
When the second non-volatile memory transistor M F1, the first conduction terminal, and the second to the match line ML 2 and gate terminal connected to a common second, which is connected to the common to the second conduction terminal of M F2
A sixth n-MOS transistor MD2 having a conduction terminal of.

このような構造を有する第12図のメモリセルにおい
て、第2のワード線▲▼へ第1のワード線WLと同じ
信号を与えれば、第8図のメモリセルと同様に、ビット
線対BL,▲▼から第1と第2の不揮発性メモリトラ
ンジスタMF1,MF2へデータを書込みかつそこから読出し
得ることが理解されよう。また、ビット線対BL,▲
▼へ内容参照データを与えれば、第1のマッチ線ML1
プリチャージされた電位が変化するか否かによって、記
憶されているデータが参照データと一致しているか否か
を判断できることも理解されよう。
In the memory cell of FIG. 12 having such a structure, when the same signal as that of the first word line WL is applied to the second word line ▼, the bit line pair BL, It will be understood from ▲ that data can be written to and read from the first and second nonvolatile memory transistors M F1 and M F2 . Also, the bit line pair BL, ▲
Be given a content reference data to ▼, depending on whether the first precharged potential of the match line ML 1 is changed, also whether the stored data matches the reference data can be determined understood Let's do it.

ところで、第12図のメモリセルにおいて、ビット線対
BL,▲▼とワード線WL,▲▼は互いに対称な関係
にあり、ワード線対WL,▲▼からも第1と第2の不
揮発性メモリトランジスタMF1,MF2内へデータを書込む
ことができ、かつそこから読出し得ることも理解されよ
う。また、ワード線対WL,▲▼へ内容参照データを
与えるとき、プリチャージされた第2のマッチ線ML2
電位が変化するか否かによって、記憶されているデータ
が参照データと一致しているか否かを知り得ることも理
解されよう。
By the way, in the memory cell of FIG.
BL, ▲ ▼ and the word line WL, ▲ ▼ is in symmetrical relationship with each other, the word line pair WL, ▲ ▼ from also the first and second non-volatile memory transistor M F1, writing the data into the M F2 It can also be seen and can be read therefrom. Further, when providing the word line pair WL, ▲ ▼ content reference data to, depending on whether the second potential of the match line ML 2 precharged is changed, the data stored matches the reference data It will also be appreciated that it may be known or not.

第13図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第13図のメモリセルは第12図のメモリセルと
類似しているが、第1と第2のn−MOSトランジスタ
MW1,MW2および第4と第5のn−MOSトランジスタMB1,M
B2がそれぞれp−MOSトランジスタMW1′,MW2′,MB1′,
およびMB2′に置き換えられている。第13図のメモリセ
ルにおいても、ワード線対WL,▲▼またはビット線
対BL,▲▼へ適切な信号電位を与えることによっ
て、第12図のメモリセルと同様な動作がなされ得ること
が理解されよう。
FIG. 13 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 13 is similar to the memory cell of FIG. 12, but has first and second n-MOS transistors.
M W1 and M W2 and the fourth and fifth n-MOS transistors M B1 and M B1
B2 are p-MOS transistors M W1 ′, M W2 ′, M B1 ′,
And MB2 '. It is understood that the same operation as the memory cell in FIG. 12 can be performed in the memory cell in FIG. 13 by applying an appropriate signal potential to the word line pair WL, ▲ or the bit line pair BL, ▲ ▼. Let's do it.

第14図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。この内容参照メモリセルはIBM Technical Di
sclosure Bulletin,Vol.26,No.1,June 1983,pp.191−19
2に示された不揮発性SRAMセル100を含んでいる。この不
揮発性SRAMセル100において、第1のn−MOSトランジス
タT1の第1の導通端子は第1ビット線BLに接続されてお
り、ゲートはワード線WLに接続され、第2の導通端子は
第1のデータノードN1に接続されている。第1の不揮発
性メモリトランジスタTF1の第1の導通端子は第1のデ
ータノードN1に接続され、コントロールゲートはプログ
ラミング線VPに接続されており、そして第2の導通端子
は電源線VDに接続されている。同様に、第2のn−MOS
トランジスタT2の第1の導通端子は第2のビット線▲
▼に接続され、ゲートはワード線WLに接続されてお
り、第2の導通端子は第2のデータノードN2に接続され
ている。第2の不揮発性メモリトランジスタTF2の第1
の導通端子は第2のデータノードN2に接続され、コント
ロールゲートはプログラミング線VPに接続されており、
そして第2の導通端子は電源線VDに接続されている。さ
らに、第3のn−MOSトランジスタT3の第1の導通端子
は第1のデータノードN1に接続され、ゲートは第2のデ
ータノードN2に接続されており、そして第2の導通端子
は接地線に接続されている。また、第4のn−MOSトラ
ンジスタT4の第1の導通端子は第2のデータノードN2に
接続されており、ゲートは第1のデータノードN1に接続
され、そして第1の導通端子は接地線に接続されてい
る。
FIG. 14 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. This content reference memory cell is an IBM Technical Di
sclosure Bulletin, Vol. 26, No. 1, June 1983, pp. 191-19
2 includes the nonvolatile SRAM cell 100 shown in FIG. In this nonvolatile SRAM cell 100, the first conduction terminal of the first n-MOS transistor T1 is connected to the first bit line BL, the gate is connected to the word line WL, and the second conduction terminal is the second conduction terminal. It is connected to one data node N1. The first conduction terminal of the first non-volatile memory transistor TF1 is connected to the first data node N1, the control gate is connected to a programming line V P, and a second conduction terminal to the power supply line V D It is connected. Similarly, the second n-MOS
The first conduction terminal of the transistor T2 is connected to the second bit line ▲
, The gate is connected to the word line WL, and the second conduction terminal is connected to the second data node N2. First of the second nonvolatile memory transistor TF2
The conduction terminal connected to the second data node N2, the control gate is connected to a programming line V P,
The second conduction terminal connected to the power supply line V D. Further, the first conduction terminal of the third n-MOS transistor T3 is connected to the first data node N1, the gate is connected to the second data node N2, and the second conduction terminal is connected to the ground line. It is connected to the. Further, the first conduction terminal of the fourth n-MOS transistor T4 is connected to the second data node N2, the gate is connected to the first data node N1, and the first conduction terminal is connected to the ground line. It is connected to the.

第15図はSRAMセル100における不揮発性メモリトラン
ジスタTF1,TF2として用い得るFLOTOX型トランジスタの
断面図を概略的に示している。第15図のFLOTOX型トラン
ジスタは第4図のものと類似しているが、フローティン
グゲート4と基板1との間に薄くされた絶縁層領域3bを
有しておらず、その代わりに、フローティングゲート4
とコントロールゲート6との間に薄くされた絶縁層の領
域3cを有している。
FIG. 15 schematically shows a cross-sectional view of a FLOTOX transistor that can be used as the nonvolatile memory transistors TF1 and TF2 in the SRAM cell 100. The FLOTOX transistor of FIG. 15 is similar to that of FIG. 4, but does not have a thinned insulating layer region 3b between the floating gate 4 and the substrate 1, and instead has a floating gate 4
And the control gate 6 have a thinned insulating layer region 3c.

不揮発性SRAMセル100における通常の書込みや読出し
の動作において、FLOTOX型トランジスタTF1,TF2はそれ
らのフローティングゲートが帯電しておらず、通常のデ
プレッション負荷として働く。それらの負荷トランジス
タTF1,TF2のコントロールゲートは接地電位(0V)にさ
れている。しかし、電力遮断が差し迫ったとき、通常は
5Vである電源電圧VDがプログラミング電位の約15Vに上
昇する。今仮に、第1のデータノードN1が“H"レベル
(5V)であって、第2のデータノードN2が“L"レベル
(0V)にあるとすれば、第1のFLOTOX型トランジスタTF
1のプログラミングゲート6からフローティングゲート
4内へ電子が注入され、そのフローティングゲート4は
負に帯電する。他方、第2のデータノードN2は接地電位
にあるので、第2のFLOTOX型トランジスタTF2のフロー
ティングゲートへは電子の注入が生じず、通常の中性状
態にある。これによって、データは第1と第2のFLOTOX
型トランジスタT1,T2のフローティングゲートに不揮発
的に保持される。
In a normal write or read operation in the nonvolatile SRAM cell 100, the floating gates of the FLOTOX transistors TF1 and TF2 are not charged, and work as a normal depression load. The control gates of these load transistors TF1 and TF2 are set to the ground potential (0 V). But when power cuts are imminent, usually
Supply voltage V D is 5V rises to approximately 15V programming voltage. Now, assuming that the first data node N1 is at "H" level (5V) and the second data node N2 is at "L" level (0V), the first FLOTOX transistor TF
Electrons are injected into the floating gate 4 from one programming gate 6, and the floating gate 4 is negatively charged. On the other hand, since the second data node N2 is at the ground potential, no electrons are injected into the floating gate of the second FLOTOX transistor TF2, and the second data node N2 is in a normal neutral state. This allows the data to be stored in the first and second FLOTOX
It is held in a nonvolatile manner in the floating gates of the type transistors T1 and T2.

電力が復帰したとき、まずワード線WLを“H"レベルに
しかつビット線対BL,▲▼を“L"レベルにすること
によって、第1と第2のデータノードN1とN2が“L"レベ
ルにされる。次に、電源線VDとプログラミング線VPの両
方を15Vに上昇させる。第1のFLTOX型トランジスタTF1
は、そのフローティングゲートが負に帯電しているので
非導通状態になる傾向にある。他方、第2のFLTOX型ト
ランジスタTF2は、そのフローティングゲートが帯電状
態にないので、導通状態となる傾向にある。したがっ
て、第1のデータノードN1は接地電位に留まり、第2の
データノードN2はプログラミング電位に向けて帯電す
る。こうして、電力遮断前に第1と第2のデータノード
N1,2に蓄えられていたデータと逆のデータが蓄えられ
る。そして電源電圧VDが5Vに戻され、第1のFLOTOX型ト
ランジスタT1のフローティングゲート4からプログラミ
ングゲート6へ電子が引抜かれ、そのフローティングゲ
ートは中性状態に戻る。その後に、プログラミング線VP
が接地電位に戻される。これによって、不揮発性SRAMセ
ル100は通常の読出し書込みが可能となる。なお、電力
復帰後に第1と第2のデータノードN1,N2に蓄えられた
反転データは、一度読出してインバータを介して再書込
みすることによって、容易に元のデータに戻すことがで
きる。
When the power is restored, first, the word line WL is set to the “H” level and the bit line pair BL, ▼ is set to the “L” level, whereby the first and second data nodes N1 and N2 are set to the “L” level. To be. Then, raise both power line V D and programming line V P to 15V. First FLTOX transistor TF1
Have a tendency to become non-conductive because the floating gate is negatively charged. On the other hand, the second FLTOX transistor TF2 tends to be conductive because its floating gate is not charged. Therefore, the first data node N1 remains at the ground potential and the second data node N2 charges toward the programming potential. Thus, the first and second data nodes before the power interruption
Data opposite to the data stored in N1,2 is stored. The power supply voltage V D is returned to 5V, from the floating gate 4 of the first FLOTOX transistor T1 to the programming gate 6 is electrons withdrawn, the floating gate is returned to a neutral state. After that, the programming line VP
Is returned to the ground potential. As a result, the nonvolatile SRAM cell 100 can perform normal reading and writing. The inverted data stored in the first and second data nodes N1 and N2 after power recovery can be easily returned to the original data by reading once and rewriting via the inverter.

第14図の内容参照メモリセルは、不揮発性SRAMセル10
0に加えて4つのn−MOSトランジスタT5−T8からなる内
容参照回路200をさらに含んでいる。第5のn−MOSトラ
ンジスタT5の第1の導通端子はマッチ線MLに接続されて
おり、ゲートは第1のビット線BLに接続されている。第
6のn−MOSトランジスタT6の第1の導通端子は第5の
n−MOSトランジスタT5の第2の導通端子に接続され、
ゲートは第2のデータノードN2に接続されており、そし
て第2の導通端子は接地線に接続されている。対称的
に、第7のn−MOSトランジスタT7の第1の導通端子は
マッチ線MLに接続され、ゲートは第2のビット線▲
▼に接続されている。第8のn−MOSトランジスタT8の
第1の導通端子は第7のn−MOSトランジスタT7の第2
の導通端子に接続され、ゲートは第1のデータノードN1
に接続されており、そして第2の導通端子は接地線に接
続されている。
14 is a nonvolatile SRAM cell 10
It further includes a content reference circuit 200 consisting of four n-MOS transistors T5-T8 in addition to zero. The first conduction terminal of the fifth n-MOS transistor T5 is connected to the match line ML, and the gate is connected to the first bit line BL. A first conduction terminal of the sixth n-MOS transistor T6 is connected to a second conduction terminal of the fifth n-MOS transistor T5;
The gate is connected to the second data node N2, and the second conduction terminal is connected to the ground line. Symmetrically, the first conduction terminal of the seventh n-MOS transistor T7 is connected to the match line ML, and the gate is connected to the second bit line ▲.
Connected to ▼. The first conduction terminal of the eighth n-MOS transistor T8 is connected to the second conduction terminal of the seventh n-MOS transistor T7.
And the gate is connected to the first data node N1.
And the second conduction terminal is connected to a ground line.

以上のように構成された内容参照メモリセルにおいて
検索動作を行なう場合、まずビット線対BL,▲▼を
“L"レベルにプリディスチャージし、第5と第7のn−
MOSトランジスタT5,T7を非導通状態にして、その後にマ
ッチ線MLをプリチャージする。今、仮にSRAMセル100に
記憶されているデータを“1"とする。すなわち、第1の
データノードN1が“H"レベルであって、第2のデータノ
ードN2が“L"レベルであるとすれば、第6のn−MOSト
ランジスタT6は非導通状態であって、第8のn−MOSト
ランジスタT8は導通状態となっている。そこで、ビット
線対BL,▲▼に“1"の参照データ(すなわち、“H"
レベルのBL,“L"レベルの▲▼)を与えれば、第5
のn−MOSトランジスタT5が導通状態となって、第7の
n−MOSトランジスタT7が非導通状態となる。すなわ
ち、第6のn−MOSトランジスタT6と第7のn−MOSトラ
ンジスタT7が非導通状態であるので、プリチャージされ
たマッチ線の電位が維持される。これによって、ビット
線対BL,▲▼に与えられた参照データがSRAMセル100
内に記憶されたデータと一致していることがわかる。
When performing a search operation in the content reference memory cell configured as described above, first, the bit line pair BL, ▲ is pre-discharged to “L” level, and the fifth and seventh n−
The MOS transistors T5 and T7 are turned off, and then the match line ML is precharged. Now, assume that the data stored in the SRAM cell 100 is “1”. That is, assuming that the first data node N1 is at "H" level and the second data node N2 is at "L" level, the sixth n-MOS transistor T6 is in a non-conductive state, The eighth n-MOS transistor T8 is conducting. Therefore, the reference data of "1" (that is, "H") is applied to the bit line pair BL, ▲ ▼.
Level BL, “L” level ▲ ▼) gives the 5th
N-MOS transistor T5 is turned on, and the seventh n-MOS transistor T7 is turned off. That is, since the sixth n-MOS transistor T6 and the seventh n-MOS transistor T7 are non-conductive, the potential of the precharged match line is maintained. As a result, the reference data given to the bit line pair BL,
It can be seen that the data matches the data stored in.

逆に、ビット線対BL,▲▼に“0"の参照データ
(すなわち、“L"レベルのBL,“H"レベルの▲▼)
を与えれば、第5のn−MOSトランジスタT5が非導通状
態となり、第7のn−MOSトランジスタT7が導通状態と
なる。すなわち、第7と第8のn−MOSトランジスタT7,
T8の双方が導通状態となるので、マッチ線MLから接地線
へ電荷が引抜かれ、マッチ線MLは接地電位となる。これ
によって、ビット線対BL,▲▼に与えられた参照デ
ータがSRAMセル100内に記憶されたデータと不一致であ
ったことがわかる。
Conversely, reference data of “0” is applied to the bit line pair BL, ▲ ▼ (that is, “L” level BL, “H” level ▲ ▼)
, The fifth n-MOS transistor T5 is turned off, and the seventh n-MOS transistor T7 is turned on. That is, the seventh and eighth n-MOS transistors T7,
Since both T8s are in a conductive state, charges are extracted from the match line ML to the ground line, and the match line ML is set to the ground potential. This indicates that the reference data given to the bit line pair BL, ▲ ▼ did not match the data stored in the SRAM cell 100.

ところで、第14図の内容参照メモリセルにおいて、ビ
ット線対BL,▲▼に内容参照データが与えられてい
るとき、第5と第7のn−MOSトランジスタT5,T7のいず
れか一方が必ず導通状態となっている。したがって、参
照データと記憶されているデータが一致した場合におい
ても、第5と第6のn−MOSトランジスタT5,T6の間に形
成される寄生容量12または第7と第8のn−MOSトラン
ジスタT7,T8の間に形成される寄生容量13のいずれか
へ、プリチャージされたマッチ線MLの電荷の一部が流入
する。したがって、マッチ線MLの電位が低下し、内容参
照のエラーを生じるおそれがある。
By the way, in the content reference memory cell of FIG. 14, when the content reference data is given to the bit line pair BL, ▲ ▼, one of the fifth and seventh n-MOS transistors T5, T7 must be conductive. It is in a state. Therefore, even when the reference data and the stored data match, the parasitic capacitance 12 formed between the fifth and sixth n-MOS transistors T5 and T6 or the seventh and eighth n-MOS transistors A part of the precharged charge of the match line ML flows into one of the parasitic capacitances 13 formed between T7 and T8. Therefore, there is a possibility that the potential of the match line ML decreases and an error in content reference occurs.

第16図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第16図のメモリセルは第14図のメモリセルに
類似しているが、第5のn−MOSトランジスタT15aのゲ
ートが第2のデータノードN2に接続されており、第6の
n−MOSトランジスタT6のゲートが第1のビット線BLに
接続されている。また対称的に、第7のn−MOSトラン
ジスタT7aのゲートが第1のデータノードN1に接続され
ており、第8のn−MOSトランジスタT8aのゲートが第2
のビット線▲▼に接続されている。第16図のメモリ
セルにおいてデータ“1"が記憶されている場合(すなわ
ち、“H"レベルのデータノードN1,“L"レベルのデータ
ノードN2)、第7のn−MOSトランジスタT7aが導通状態
となっているので、マッチ線MLをプリチャージする間に
寄生容量13も同時にプリチャージされることになる。し
たがって、ビット線BL,▲▼に与えられた参照デー
タがSRAMセル100内に記憶されたデータと一致していた
ときにマッチ線MLからさらに寄生容量13へ電荷が流入す
ることはない。すなわち、データが一致したときにマッ
チ線MLの電位の部分的な低下が生じず、内容参照の誤動
作が防止される。
FIG. 16 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 16 is similar to the memory cell of FIG. 14, except that the gate of the fifth n-MOS transistor T15a is connected to the second data node N2 and the sixth n-MOS transistor The gate of T6 is connected to the first bit line BL. Also, symmetrically, the gate of the seventh n-MOS transistor T7a is connected to the first data node N1, and the gate of the eighth n-MOS transistor T8a is connected to the second data node N1.
Are connected to the bit line ▲ ▼. When data "1" is stored in the memory cell of FIG. 16 (that is, "H" level data node N1 and "L" level data node N2), the seventh n-MOS transistor T7a is conductive. Therefore, the parasitic capacitance 13 is simultaneously precharged while the match line ML is precharged. Therefore, when the reference data applied to the bit lines BL and ▼ matches the data stored in the SRAM cell 100, no further charge flows into the parasitic capacitance 13 from the match line ML. That is, when the data match, the potential of the match line ML does not partially drop, and the malfunction of the content reference is prevented.

第17図は本発明のさらにもう1つ実施例を示す回路図
である。第17図のメモリセルは第14図のメモリセルと類
似しているが、SRAMセル100内の第1と第2のトランス
ファゲートT1′,T2′がp−MOSトランジスタで構成され
ている。また、第5ないし第8のMOSトランジスタT5′
−T8′もpチャンネル型である。第17図のメモリセルに
おいて、トランスファゲートT1′,T2′を活性化するた
めにはワード線WLを“L"レベルにすればよいことが理解
されよう。また、内容参照動作をさせる場合、マッチ線
▲▼は接地電位にプリディスチャージされ、第6と
第8のMOSトランジスタT6′,T8′の第2の導通端子は電
源電圧VCCに接続されている。したがって、第17図のメ
モリセルも第14図のメモリセルと同様に動作し得ること
が理解されよう。
FIG. 17 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 17 is similar to the memory cell of FIG. 14, except that the first and second transfer gates T1 'and T2' in the SRAM cell 100 are constituted by p-MOS transistors. Further, the fifth to eighth MOS transistors T5 '
-T8 'is also a p-channel type. In the memory cell of FIG. 17, it can be understood that the word line WL should be set to "L" level in order to activate the transfer gates T1 'and T2'. Also, if for a content addressable operation, the match line ▲ ▼ is pre-discharge to the ground potential, the sixth MOS transistors T6 of the 8 ', T8' second conduction terminal of which is connected to the power supply voltage V CC . Therefore, it will be understood that the memory cell of FIG. 17 can operate similarly to the memory cell of FIG.

第18図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第18図のメモリセルは第16図のメモリセルに
類似しているが、第1と第2のトランスファゲートT
1′,T2′がp−MOSトランジスタで構成されており、第
5ないし第8のMOSトランジスタT5′−T8′もpチャン
ネル型である。第18図のメモリセルも第16図のメモリセ
ルと同様に動作させ得ることが理解されよう。
FIG. 18 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 18 is similar to the memory cell of FIG. 16, except that the first and second transfer gates T
1 'and T2' are composed of p-MOS transistors, and the fifth to eighth MOS transistors T5 'to T8' are also p-channel transistors. It will be appreciated that the memory cell of FIG. 18 can operate similarly to the memory cell of FIG.

ところで、SRAMセル100内の1対のトランスファゲー
トがnチャンネル型のMOSトランジスタで構成されてい
る場合、それらのトランジスタのバックゲート効果を考
慮すれば、読出し後のビット線BL,▲▼間に大きな
電位差を得るためには、読出し開始前にビット線対BL,
▲▼を電源電位“H"レベルにプリチャージしておく
ことが望ましい。逆に、1対のトランスファゲートがp
チャンネル型のMOSトランジスタで構成されている場
合、読出し後にビット線対BL,▲▼の間に大きな電
位差を得るためには、読出し開始前にビット線対BL,▲
▼がプリディスチャージされていることが望まし
い。一方、内容参照回路200内においてビット線によっ
て導通状態が制御される1対のMOSトランジスタがnチ
ャンネル型とのき、内容参照開始前にはビット線対BL,
▲▼が接地電位にプリディスチャージされていなけ
ればならない。なぜならば、内容参照開始前にプリチャ
ージされたマッチ線MLの電位を維持しなければならない
からである。逆に、ビット線対BL,▲▼によって導
通状態が制御されるこれら1対のMOSトランジスタがp
チャネル型である場合、内容参照開始前にはビット線対
BL,▲▼を“H"レベルにプリチャージしなければな
らない。なぜならば、内容参照開始前にプリディスチャ
ージされたマッチ線MLの電位を維持しなければならない
からである。
By the way, when a pair of transfer gates in the SRAM cell 100 are formed by n-channel MOS transistors, a large distance between the read bit lines BL and ▲ ▼ is considered in consideration of the back gate effect of those transistors. To obtain the potential difference, the bit line pair BL,
It is desirable to precharge ▲ ▼ to the power supply potential “H” level. Conversely, a pair of transfer gates is p
In the case of a channel type MOS transistor, in order to obtain a large potential difference between the pair of bit lines BL and ▲ ▼ after reading, the bit line pair BL, ▲
It is desirable that ▼ is pre-discharged. On the other hand, when a pair of MOS transistors whose conduction state is controlled by the bit line in the content reference circuit 200 is of an n-channel type, the bit line pair BL,
▲ ▼ must be pre-discharged to ground potential. This is because the potential of the precharged match line ML must be maintained before the content reference is started. Conversely, the pair of MOS transistors, whose conduction state is controlled by the bit line pair BL,
In case of channel type, before starting the content reference
BL, ▲ ▼ must be precharged to “H” level. This is because the potential of the pre-discharged match line ML must be maintained before the content reference is started.

すなわち、SRAMセル100内の1対のトランスファゲー
トのMOSトランジスタと内容参照回路200内においてビッ
ト線において導通状態が制御される1対のMOSトランジ
スタとがどちらもnチャンネル型である場合、データの
読出し時にはビット線対をプリチャージしなければなら
ず、内容参照動作時にはビット線対をプリディスチャー
ジしなければならない。逆に、SRAMセル100内の1対の
トランスファゲートのMOSトランジスタと内容参照回路2
00内においてビット線対BL,▲▼によって導通状態
が制御される1対のMOSトランジスタとがいずれもpチ
ャンネル型である場合、データ読出し時にはビット線対
BL,▲▼がプリディスチャージされ、内容参照動作
時にはプリチャージされなければならない。
That is, when both the pair of transfer gate MOS transistors in the SRAM cell 100 and the pair of MOS transistors whose conduction state is controlled in the bit line in the content reference circuit 200 are n-channel type, data reading is performed. Sometimes, the bit line pair must be precharged, and during the content reference operation, the bit line pair must be precharged. Conversely, a pair of transfer gate MOS transistors in the SRAM cell 100 and the content reference circuit 2
If the pair of MOS transistors whose conduction state is controlled by the pair of bit lines BL and ▲ in 00 are both p-channel type, the bit line pair is
BL and ▲ ▼ are pre-discharged and must be pre-charged during the content reference operation.

第19図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第19図のメモリセルは第18図のメモリセルに
類似しているが、SRAMセル100内の1対のトランスファ
ゲートT1,T2がnチャンネル型のMOSトランジスタで構成
されている。一方、内容参照回路内の4つのMOSトラン
ジスタはpチャンネル型である。したがって、この内容
参照メモリセルにおいて、データを読出すときはビット
線対BL,▲▼がプリチャージされ、内容参照時にお
いてもビット線対BL,▲▼はプリチャージされる。
すなわち、動作モードの変化に応じてビット線対BL,▲
▼のプリチャージとプリディスチャージを繰返す必
要がなく、消費電力の削減および動作速度の改善をもた
らすことができる。
FIG. 19 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 19 is similar to the memory cell of FIG. 18, except that a pair of transfer gates T1 and T2 in the SRAM cell 100 are formed by n-channel MOS transistors. On the other hand, the four MOS transistors in the content reference circuit are of the p-channel type. Therefore, in this content reference memory cell, when data is read, bit line pair BL, ▼ is precharged, and also when the content is referenced, bit line pair BL, ▼ is precharged.
That is, the bit line pair BL, ▲
It is not necessary to repeat the precharge and predischarge of ▼, which can reduce power consumption and improve operation speed.

第20図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第20図のメモリセルは第19図のメモリセルと
類似しているが、第5と第7のMOSトランジスタT5b,T7b
がnチャンネル型である。そのことに伴って、第5のMO
SトランジスタT5bのゲートは第1のデータノードN1に接
続され、第7のMOSトランジスタT7bのゲートは第2のデ
ータノードN2に接続されている。第20図のメモリセルも
第19図のメモリセルと同様に動作することが理解されよ
う。
FIG. 20 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 20 is similar to the memory cell of FIG. 19, except that the fifth and seventh MOS transistors T5b, T7b
Is an n-channel type. Along with that, the 5th MO
The gate of the S transistor T5b is connected to the first data node N1, and the gate of the seventh MOS transistor T7b is connected to the second data node N2. It will be appreciated that the memory cell of FIG. 20 operates similarly to the memory cell of FIG.

第21図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第21図のメモリセルは第16図のメモリセルと
類似しているが、SRAMセル100内の1対のトランスファ
ゲートT1′,T2′がpチャンネル型のMOSトランジスタで
構成されている。第21図のメモリセルも第16図のメモリ
セルと同様に動作させ得ることが理解されよう。
FIG. 21 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 21 is similar to the memory cell of FIG. 16, except that a pair of transfer gates T1 'and T2' in the SRAM cell 100 are formed by p-channel MOS transistors. It will be appreciated that the memory cell of FIG. 21 can operate similarly to the memory cell of FIG.

第22図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第22図のメモリセルにおいては、第5と第7
のMOSトランジスタT5b′,T7b′がpチャンネル型であ
る。それに伴って、第5のMOSトランジスタT5b′のゲー
トが第1のデータノードN1に接続され、第7のMOSトラ
ンジスタT7b′のゲートが第2のデータノードN2に接続
されている。第22図のメモリセルも第21図のメモリセル
と同様に動作させ得ることが理解されよう。
FIG. 22 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. In the memory cell shown in FIG.
MOS transistors T5b 'and T7b' are p-channel type. Accordingly, the gate of the fifth MOS transistor T5b 'is connected to the first data node N1, and the gate of the seventh MOS transistor T7b' is connected to the second data node N2. It will be appreciated that the memory cell of FIG. 22 can operate similarly to the memory cell of FIG.

第23図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第23図のメモリセルにおいては、内容参照回
路200がわずか3つのMOSトランジスタで構成されてい
る。すなわち、第5のn−MOSトランジスタT5cの第1の
導通端子とゲートが共通してマッチ線MLに接続されてお
り、その第2の導通端子は第6と第7のn−MOSトラン
ジスタT6c,T7cの第1の導通端子へ共通に接続されてい
る。第6のn−MOSトランジスタT6cのゲートは第1のデ
ータノードN1に接続されており、第2の導通端子は第1
のビット線BLに接続されている。第7のn−MOSトラン
ジスタT7cのゲートは第2のデータノードN2に接続され
ており、第2の導通端子は第2のビット線▲▼に接
続されている。
FIG. 23 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. In the memory cell of FIG. 23, the content reference circuit 200 is composed of only three MOS transistors. That is, the first conductive terminal and the gate of the fifth n-MOS transistor T5c are commonly connected to the match line ML, and the second conductive terminal is connected to the sixth and seventh n-MOS transistors T6c, T6c, Commonly connected to the first conduction terminal of T7c. The gate of the sixth n-MOS transistor T6c is connected to the first data node N1, and the second conduction terminal is connected to the first data node N1.
Are connected to the bit line BL. The gate of the seventh n-MOS transistor T7c is connected to the second data node N2, and the second conduction terminal is connected to the second bit line ▲ ▼.

このメモリセルにおいて1対のトランスファゲートT
1,T2はnMOSトランジスタで構成されているので、データ
の読出し開始前にビット線対BL,▲▼をプリチャー
ジすることが望ましい。一方、内容参照時において、今
仮に“1"のデータ(“H"レベルのノードN1,“L"レベル
のノードN2)が蓄えられているとすれば、第6のn−MO
SトランジスタT6cが導通状態にあり、第7のn−MOSト
ランジスタT7cが非導通状態にある。したがって、内容
参照開始前において、ビット線対BL,▲▼は読出し
開始前と同様にプリチャージすればよい。すなわち、ビ
ット線対BL,▲▼を動作モードに応じてプリチャー
ジとプリディスチャージを切換える必要がない。したが
って、消費電力の削減と動作速度の改善を図ることがで
きる。
In this memory cell, a pair of transfer gates T
Since 1 and T2 are constituted by nMOS transistors, it is desirable to precharge the bit line pair BL, ▲ ▼ before starting data reading. On the other hand, at the time of referring to the contents, if it is assumed that data of "1" (node N1 at "H" level, node N2 at "L" level) is stored, the sixth n-MO
The S transistor T6c is in a conductive state, and the seventh n-MOS transistor T7c is in a non-conductive state. Therefore, before the start of content reference, the bit line pair BL, ▼ may be precharged in the same manner as before the start of reading. That is, there is no need to switch the precharge and predischarge of the bit line pair BL, ▲ ▼ according to the operation mode. Therefore, power consumption can be reduced and operation speed can be improved.

内容参照時においてビット線対BL,▲▼がプリチ
ャージされた後に、マッチ線MLをプリチャージする。今
仮にビット線対BL,▲▼へ“1"の参照データ(“H"
レベルのBL,“L"レベルの▲▼)を与えれば、第6
のn−MOSトランジスタT6cは導通状態にあるが、第1の
ビット線BLが“H"レベルにあるので、マッチ線MLのプリ
チャージされた電位が保持される。これによって、内容
参照データと記憶されていたデータが一致していること
がわかる。
After the bit line pair BL, ▲ ▼ is precharged when referring to the contents, the match line ML is precharged. Suppose now that bit line pair BL, ▲ ▼ is referenced with “1” reference data (“H”
If the level BL, “L” level ▲ ▼) is given, the sixth
The n-MOS transistor T6c is in a conductive state, but since the first bit line BL is at the “H” level, the precharged potential of the match line ML is held. This indicates that the content reference data and the stored data match.

一方、参照データ“0"を与えれば、第1のビット線BL
が“L"レベルになるので、マッチ線MLから第5と第6の
n−MOSトランジスタT5c,T6cを介して第1のビット線BL
へ電荷が引抜かれる。これによって、マッチ線MLの電位
が低下し、内容参照データが記憶されているデータと不
一致であったことがわかる。
On the other hand, when the reference data “0” is given, the first bit line BL
Becomes "L" level, the first bit line BL from the match line ML via the fifth and sixth n-MOS transistors T5c and T6c.
The charge is extracted. As a result, it can be seen that the potential of the match line ML decreases and the content reference data does not match the stored data.

第24図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第24図のメモリセルは第23図のメモリセルと
類似しているが、1対のトランスファゲートT1′,T2′
がn−MOSトランジスタで構成されており、さらに内容
参照回路内の3つのMOSトランジスタT5c′,T6c′,T7c′
がpチャンネル型である。このメモリセルにおいては、
読出し時にピット線対BL,▲▼をプリディスチャー
ジしてワード線WLを“L"レベルにすればよい。また、内
容参照開始前には、ビット線対BL,▲▼をプリディ
スチャージしてマッチ線MLを“L"レベルにすればよいこ
とが理解されよう。すなわち、第24図のメモリセルにお
いても、動作モードに応じてビット線対BL,▲▼の
プリチャージとプリディスチャージを切換える必要がな
い。
FIG. 24 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 24 is similar to the memory cell of FIG. 23, except that a pair of transfer gates T1 ', T2'
Are constituted by n-MOS transistors, and three MOS transistors T5c ', T6c', T7c 'in the content reference circuit are further provided.
Is a p-channel type. In this memory cell,
At the time of reading, the pit line pair BL, ▲ ▼ may be pre-discharged to set the word line WL to “L” level. Further, it can be understood that the bit line pair BL, ▲ ▼ may be pre-discharged to bring the match line ML to the “L” level before the content reference is started. That is, also in the memory cell of FIG. 24, there is no need to switch between the precharge and the predischarge of the bit line pair BL, ▲ in accordance with the operation mode.

第25図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第25図のメモリセルは第23図のメモリセルと
類似しているが、内容参照回路200内の3つのMOSトラン
ジスタT5c′,T6c′,T7c′のみがpチャンネル型であ
る。このメモリセルにおいては、読出し開始前にはビッ
ト線対BL,▲▼をプリチャージすることが望ましい
が、内容参照開始前にはビット線対BL,▲▼をプリ
ディスチャージしなければならないことが理解されよ
う。したがって、第25図のメモリセルにおいては、動作
モードに応じてビット線対BL,▲▼のプリチャージ
とプリディスチャージを切換えねばならず、第23図のメ
モリセルと比べて消費電力と動作速度の観点において若
干不利である。
FIG. 25 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 25 is similar to the memory cell of FIG. 23, except that only three MOS transistors T5c ', T6c' and T7c 'in the content reference circuit 200 are of the p-channel type. In this memory cell, it is desirable to precharge the bit line pair BL, ▲ ▼ before the start of reading, but it is understood that the bit line pair BL, ▲ ▼ must be pre-discharged before the start of content reference. Let's do it. Therefore, in the memory cell of FIG. 25, the precharge and predischarge of the bit line pair BL, ▲ ▼ must be switched according to the operation mode, and the power consumption and operation speed are lower than those of the memory cell of FIG. It is slightly disadvantageous in view.

第26図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第26図のメモリセルは第23図のメモリセルと
類似しているが、第6と第7のMOSトランジスタT6d′,T
7d′がpチャンネル型である。このことに伴って、第6
のMOSトランジスタT6d′の第2の導通端子は第2のビッ
ト線▲▼に接続されており、第7のMOSトランジス
タT7d′の第2の導通端子が第1のビット線BLに接続さ
れている。このメモリセルにおいては、データの読出し
前にはビット線対BL,▲▼をプリチャージすること
が望ましく、内容参照開始前にはビット線対BL,▲
▼をプリチャージしなければならないことが理解されよ
う。すなわち、第26図のメモリセルにおいては、第23図
のメモリセルにおけると同様に、動作モードに応じてビ
ット線対BL,▲▼のプリチャージとプリディスチャ
ージを切換える必要がない。
FIG. 26 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 26 is similar to the memory cell of FIG. 23, except that the sixth and seventh MOS transistors T6d ', T6
7d 'is a p-channel type. Along with this, the sixth
The second conduction terminal of the MOS transistor T6d 'is connected to the second bit line ▲ ▼, and the second conduction terminal of the seventh MOS transistor T7d' is connected to the first bit line BL. . In this memory cell, it is desirable to precharge the bit line pair BL, ▲ ▼ before reading data, and to start bit line pair BL, ▲
It will be understood that ▼ must be precharged. That is, in the memory cell of FIG. 26, it is not necessary to switch between the precharge and the predischarge of the bit line pair BL, ▼ in accordance with the operation mode, as in the memory cell of FIG.

第27図は本発明のさらにもう1つの実施例を示す回路
図である。第27図のメモリセルは第24図のメモリセルと
類似しているが、第6と第7のMOSトランジスタT6d,T7d
がnチャンネル型である。そのことに伴って、第6のMO
SトランジスタT6dの第2の導通端子は第2のビット線▲
▼に接続されており、第7のMOSトランジスタT7dの
第2のビット線は第1のビット線BLに接続されている。
このメモリセルにおいては、データの読出し前にはビッ
ト線対BL,▲▼をプリディスチャージすることが望
ましく、内容参照開始前にはビット線対BL,▲▼を
プリディスチャージしなければならないことが理解され
よう。すなわち、このメモリセルにおいても、第24図の
メモリセルにおけると同様に、動作モードに応じてビッ
ト線対BL,▲▼のプリチャージとプリディスチャー
ジを切換える必要がない。
FIG. 27 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention. The memory cell of FIG. 27 is similar to the memory cell of FIG. 24, except that the sixth and seventh MOS transistors T6d, T7d
Is an n-channel type. As a result, the sixth MO
The second conduction terminal of the S transistor T6d is connected to the second bit line ▲
The second bit line of the seventh MOS transistor T7d is connected to the first bit line BL.
In this memory cell, it is desirable to pre-discharge bit line pair BL, ▲ ▼ before reading data, and it is necessary to pre-discharge bit line pair BL, ▲ ▼ before starting content reference. Let's do it. That is, also in this memory cell, there is no need to switch between the precharge and predischarge of the bit line pair BL, ▼ in accordance with the operation mode, as in the memory cell of FIG.

以上の実施例において示されたメモリセルにおいて、
書込みの際のビット線電圧を可変にしたり、書込み時間
を可変にすることによってメモリセルごとの重みづけを
行なうことができ、それによって曖昧さを許す連想シス
テムに適したメモリセルにすることが可能である。
In the memory cell shown in the above embodiment,
By making the bit line voltage at the time of writing variable or making the writing time variable, weighting can be performed for each memory cell, thereby making the memory cell suitable for an associative system that allows ambiguity. It is.

[発明の効果] 以上のように、本発明によれば、電力が遮断されても
記憶データを保持しかつ記憶されているデータを直接ビ
ット線対から読出すことができる内容参照メモリセルを
提供することができる。さらに、本発明による内容参照
メモリセルは低消費電力かつ高速で動作することができ
る。
[Effect of the Invention] As described above, according to the present invention, there is provided a content reference memory cell capable of retaining stored data and reading stored data directly from a bit line pair even when power is cut off. can do. Furthermore, the content reference memory cell according to the present invention can operate with low power consumption and high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の一実施例による内容参照メモリセル
の回路図である。 第2図ないし第4図は、種々の不揮発性メモリトランジ
スタの構造を概略的に示す断面図である。 第5図ないし第14図は、本発明のさらに種々の実施例を
示す回路図である。 第15図は、さらにもう1つの不揮発性半導体メモリセル
の構造を概略的に示す断面図である。 第16図ないし第27図は、本発明のさらに種々の実施例を
示す回路図である。 第28図と第29図は、先行技術による内容参照メモリセル
を示す回路図である。 図において、MF1とMF2は不揮発性メモリトランジスタ、
MW1,MW2,MDはMOSトランジスタ、BLと▲▼はビット
線対、WLはワード線、そしてMLはマッチ線を示す。 なお、各図において、同一符号は同一内容または相当
部分を示す。
FIG. 1 is a circuit diagram of a content reference memory cell according to one embodiment of the present invention. 2 to 4 are cross-sectional views schematically showing structures of various nonvolatile memory transistors. FIGS. 5 to 14 are circuit diagrams showing further various embodiments of the present invention. FIG. 15 is a sectional view schematically showing the structure of yet another nonvolatile semiconductor memory cell. FIGS. 16 to 27 are circuit diagrams showing further various embodiments of the present invention. FIG. 28 and FIG. 29 are circuit diagrams showing prior art content reference memory cells. In the figure, MF1 and MF2 are nonvolatile memory transistors,
M W1, M W2, M D is a MOS transistor, BL and ▲ ▼ bit line pair, WL denotes a word line, and ML represents the match line. In each drawing, the same reference numerals indicate the same contents or corresponding parts.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 味香 夏夫 兵庫県伊丹市瑞原4丁目1番地 三菱電 機株式会社エル・エス・アイ研究所内 (72)発明者 中島 裕一 兵庫県伊丹市瑞原4丁目1番地 三菱電 機株式会社エル・エス・アイ研究所内 (72)発明者 佐藤 真一 兵庫県伊丹市瑞原4丁目1番地 三菱電 機株式会社エル・エス・アイ研究所内 (56)参考文献 特開 昭49−119543(JP,A) 特開 昭62−99994(JP,A) 特開 昭61−246996(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Natsuo Mika 4-1-1 Mizuhara, Mizuhara, Itami-shi, Hyogo Mitsubishi Electric Machinery Co., Ltd. No. 1 In Mitsubishi Electric Corporation LSI Research Institute (72) Inventor Shinichi Sato 4-1-1 Mizuhara, Itami-shi, Hyogo Mitsubishi Electric Corporation LSI Research Institute (56) References JP 49-119543 (JP, A) JP-A-62-99994 (JP, A) JP-A-61-246996 (JP, A)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ビット線対の第1ビット線に接続された第
1の導通端子,ワード線に接続された制御端子,および
第2の導通端子を有する第1の絶縁ゲート型電界効果ト
ランジスタと、 前記ビット線対の第2のビット線に接続された第1の導
通端子,ワード線に接続された制御端子,および第2の
導通端子を有する第2の絶縁ゲート型電界効果トランジ
スタと、 前記第1のビット線に接続された第1の導通端子,前記
第2の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの前記第2の
導通端子に接続された制御端子,および第2の導通端子
を有する第1の不揮発性メモリトランジスタと、 前記第2のビット線に接続された第1の導通端子,前記
第1の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの前記第2の
導通端子に接続された制御端子,および第2の導通端子
を有する第2の不揮発性メモリトランジスタと、 前記第1と第2の不揮発性メモリトランジスタのそれぞ
れの前記第2の導通端子へ共通に接続された第1の導通
端子,およびマッチ線へ共通に接続された制御端子と第
2の導通端子を有する第3の絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタを含むことを特徴とする内容参照メモリセル。
A first insulated gate field effect transistor having a first conductive terminal connected to a first bit line of a bit line pair, a control terminal connected to a word line, and a second conductive terminal; A second insulated gate field effect transistor having a first conduction terminal connected to a second bit line of the bit line pair, a control terminal connected to a word line, and a second conduction terminal; A first conductive terminal connected to a first bit line, a control terminal connected to the second conductive terminal of the second insulated gate field effect transistor, and a first conductive terminal having a second conductive terminal A non-volatile memory transistor; a first conductive terminal connected to the second bit line; a control terminal connected to the second conductive terminal of the first insulated gate field effect transistor; Conduction end A first conductive terminal commonly connected to the second conductive terminal of each of the first and second nonvolatile memory transistors, and a common connection to a match line. And a third insulated gate field effect transistor having a control terminal and a second conduction terminal.
【請求項2】ビット線対の第1ビット線に接続された第
1の導通端子,ワード線に接続された制御端子,および
第2の導通端子を有する第1の絶縁ゲート型電界効果ト
ランジスタと、 前記ビット線対の第2のビット線に接続された第1の導
通端子,前記ワード線に接続された制御端子,および第
2の導通端子を有する第2の絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタと、 前記第1の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの前記第
2の導通端子に接続された第1の導通端子,前記第2の
絶縁ゲート型電界効果トランジスタの前記第2の導通端
子に接続された制御端子,および第2の導通端子を有す
る第1の不揮発性メモリトランジスタと、 前記第2の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの前記第
2の導通端子に接続された第1の導通端子,前記第1の
絶縁ゲート型電界効果トランジスタの前記第2の導通端
子に接続された制御端子,および第2の導通端子を有す
る第2の不揮発性メモリトランジスタと、 前記第1と第2の不揮発性メモリトランジスタのそれぞ
れの前記第2の導通端子へ共通に接続された第1の導通
端子,およびマッチ線へ共通に接続された制御端子と第
2の導通端子を有する第3の絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタを含むことを特徴とする内容参照メモリセル。
A first insulated gate field effect transistor having a first conduction terminal connected to a first bit line of the bit line pair, a control terminal connected to a word line, and a second conduction terminal; A second insulated gate field effect transistor having a first conductive terminal connected to a second bit line of the bit line pair, a control terminal connected to the word line, and a second conductive terminal; A first conductive terminal connected to the second conductive terminal of the first insulated gate field effect transistor, and a control terminal connected to the second conductive terminal of the second insulated gate field effect transistor , And a first non-volatile memory transistor having a second conductive terminal; a first conductive terminal connected to the second conductive terminal of the second insulated gate field effect transistor; A second nonvolatile memory transistor having a control terminal connected to the second conductive terminal of the edge gate type field effect transistor and a second conductive terminal; and each of the first and second nonvolatile memory transistors And a third insulated gate field effect transistor having a control terminal and a second conduction terminal commonly connected to the second conduction terminal, and a control terminal commonly connected to the match line. A content reference memory cell characterized by the following.
【請求項3】ビット線対の第1ビット線に接続された第
1の導通端子,ワード線対の第1のワード線に接続され
た制御端子,および第2の導通端子を有する第1の絶縁
ゲート型電界効果トランジスタと、 前記第1のワード線に接続された第1の導通端子,前記
第1のビット線に接続された制御端子,および第2の導
通端子を有する第2の絶縁ゲート型電界効果トランジス
タと、 前記ビット線対の第2のビット線に接続された第1の導
通端子,前記ワード線対の第2のワード線に接続された
制御端子,および第2の導通端子を有する第3の絶縁ゲ
ート型電界効果トランジスタと、 前記第2のワード線に接続された第1の導通端子,前記
第2のビット線に接続された制御端子,および第2の導
通端子を有する第4の絶縁ゲート型電界効果トランジス
タと、 前記第1と第2の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの
それぞれの前記第2の導通端子へ共通に接続された第1
の導通端子,前記第3と第4の絶縁ゲート型電界効果ト
ランジスタのそれぞれの前記第2の導通端子へ共通に接
続された制御端子,および第2の導通端子を有する第1
の不揮発性メモリトランジスタと、 前記第3と第4の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの
それぞれの前記第2の導通端子へ共通に接続された第1
の導通端子,前記第1と第2の絶縁ゲート型電界効果ト
ランジスタのそれぞれの前記第2の導通端子へ共通に接
続された制御端子,および第2の導通端子を有する第2
の不揮発性メモリトランジスタと、 前記第1と第2の不揮発性メモリトランジスタのそれぞ
れの前記第2の導通端子へ共通に接続された第1の導通
端子,および前記ワード線対に並行な第1のマッチ線へ
共通に接続された制御端子と第2の導通端子を有する第
5の絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、 前記第1と第2の不揮発性メモリトランジスタのそれぞ
れの前記第2の導通端子へ共通に接続された第1の導通
端子,および前記ビット線対に並行な第2のマッチ線へ
共通に接続された制御端子と第2の導通端子を有する第
6の絶縁ゲート型電界効果トランジスタを含むことを特
徴とする内容参照メモリセル。
A first conductive terminal connected to the first bit line of the pair of bit lines, a control terminal connected to the first word line of the pair of word lines, and a first conductive terminal having a second conductive terminal. An insulated gate field effect transistor; a second insulated gate having a first conductive terminal connected to the first word line, a control terminal connected to the first bit line, and a second conductive terminal Type field effect transistor, a first conductive terminal connected to a second bit line of the bit line pair, a control terminal connected to a second word line of the word line pair, and a second conductive terminal. A third insulated gate field effect transistor having a first conductive terminal connected to the second word line, a control terminal connected to the second bit line, and a second conductive terminal. 4 insulated gate field effect transformer Star and, first connected to the common to each of the second conduction terminal of said first and second insulated gate field effect transistor
And a control terminal commonly connected to the second conductive terminal of each of the third and fourth insulated gate field effect transistors; and a first conductive terminal having a second conductive terminal.
And a first common terminal commonly connected to the second conductive terminal of each of the third and fourth insulated gate field effect transistors.
A second conductive terminal, a control terminal commonly connected to the second conductive terminal of each of the first and second insulated gate field effect transistors, and a second conductive terminal.
A first conductive terminal commonly connected to the second conductive terminal of each of the first and second nonvolatile memory transistors, and a first parallel terminal parallel to the word line pair. A fifth insulated gate field effect transistor having a control terminal and a second conduction terminal commonly connected to the match line; and a second conduction terminal of each of the first and second nonvolatile memory transistors. A sixth insulated gate field effect transistor having a first conductive terminal connected in common, a control terminal commonly connected to a second match line parallel to the bit line pair, and a second conductive terminal; A content reference memory cell comprising:
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