JP2595084Y2 - Position adjustment jig - Google Patents

Position adjustment jig

Info

Publication number
JP2595084Y2
JP2595084Y2 JP1993018315U JP1831593U JP2595084Y2 JP 2595084 Y2 JP2595084 Y2 JP 2595084Y2 JP 1993018315 U JP1993018315 U JP 1993018315U JP 1831593 U JP1831593 U JP 1831593U JP 2595084 Y2 JP2595084 Y2 JP 2595084Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
jig
orienter
turn storage
hole
turn
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1993018315U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0678879U (en
Inventor
義仁 小林
晋一 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP1993018315U priority Critical patent/JP2595084Y2/en
Publication of JPH0678879U publication Critical patent/JPH0678879U/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2595084Y2 publication Critical patent/JP2595084Y2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この考案は、位置調整用治具に関
し、特に、2個の部材相互間を3方向について正確に位
置決めする位置調整用治具に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position adjusting jig, and more particularly to a position adjusting jig for accurately positioning two members in three directions.

【0002】[0002]

【従来の技術】相互に位置調整されるべき部材がIC試
験装置の部材である場合を例として従来例を説明する。
図4において、IC105が装填されたマガジン101
はマガジンストッカ100から取り出されて昇降装置1
02により供給側マガジン支持部103に傾斜してセッ
トされる。マガジン101に装填されたIC105はマ
ガジン101から自重により案内レール上を斜方に降下
し、エスケープ装置106に送り込まれる。エスケープ
装置106は送り込まれた一連のIC105を1個づつ
分配器107に供給する。ところで、恒温槽109内に
おいては上述の案内レールは8ないし36本の案内レー
ルに分岐しており、これら案内レールのそれぞれに分配
器107によってIC105を分配する。恒温槽109
内の案内レールのそれぞれに分配されたIC105は予
熱部案内レール111において加熱或は冷却され、急速
に恒温槽109内の温度に調整される。恒温槽109内
の温度に調整された案内レール上のIC105は姿勢変
換器112により垂直案内レール113に導入される。
2. Description of the Related Art A conventional example will be described by taking as an example a case where members to be mutually adjusted are members of an IC test apparatus.
In FIG. 4, a magazine 101 loaded with an IC 105 is shown.
Is lifted out of the magazine stocker 100
02 is set to be inclined to the supply side magazine support portion 103. The IC 105 loaded in the magazine 101 descends obliquely on the guide rail by its own weight from the magazine 101 and is sent to the escape device 106. The escape device 106 supplies the sent series of ICs 105 to the distributor 107 one by one. By the way, in the constant temperature bath 109, the above-mentioned guide rail is branched into 8 to 36 guide rails, and the distributor 105 distributes the IC 105 to each of these guide rails. Constant temperature bath 109
The ICs 105 distributed to each of the guide rails in the inside are heated or cooled by the preheating unit guide rails 111 and quickly adjusted to the temperature in the thermostat 109. The IC 105 on the guide rail adjusted to the temperature in the thermostat 109 is introduced into the vertical guide rail 113 by the attitude converter 112.

【0003】テスト部108においては、例えば8本の
垂直案内レール113のそれぞれに対して4個のICソ
ケットが準備され、合計32個のICの測定試験を同時
に実施することができる。テストが終了したIC105
はICターンストレージ300に送り込まれる。次い
で、IC105を保持したままのICターンストレージ
300を水平駆動してオリエンタ114の上方に位置決
めする。
In the test section 108, for example, four IC sockets are prepared for each of the eight vertical guide rails 113, and measurement tests of a total of 32 ICs can be performed simultaneously. Tested IC105
Is sent to the IC turn storage 300. Next, the IC turn storage 300 holding the IC 105 is horizontally driven and positioned above the orienter 114.

【0004】ここで、図5を参照してICターンストレ
ージ300とオリエンタ114とによるIC105の転
送について説明する。ICターンストレージ300は、
IC案内レール303、案内レール303を支持する筒
状体302、筒状体302を回転駆動する駆動装置30
4、ICストッパ用シリンダ305より成る。オリエン
タ114はその一方の端部において水平軸に軸支されて
いる。このオリエンタ114は水平軸について回転して
案内レール303に整列する鉛直軸方向の状態と、受取
側マガジン101に整列する斜方向の状態とを採ること
ができる。
Here, the transfer of the IC 105 by the IC turn storage 300 and the orienter 114 will be described with reference to FIG. IC turn storage 300
IC guide rail 303, tubular body 302 supporting guide rail 303, drive device 30 for rotationally driving tubular body 302
4. Composed of an IC stopper cylinder 305. The orienter 114 is supported at one end thereof on a horizontal axis. The orienter 114 can take a state in a vertical axis direction in which the orienter 114 rotates about a horizontal axis and aligns with the guide rail 303 and a state in an oblique direction in which the orienter 114 aligns with the receiving magazine 101.

【0005】上述した通り、ICターンストレージ30
0に保持されるIC105はオリエンタ114に落下転
送せしめられるのであるが、この際垂直案内レール11
3の鎖線で示されるIC105の通路と同様に鎖線で示
される案内レール303の通路とは整合していてIC1
05はスムーズにICターンストレージ300に進入す
ることができる。ついで、ICターンストレージ300
は矢印Fにより示される水平方向に駆動されてから駆動
装置304により筒状体302を回転駆動することによ
り案内レール303を180゜回動し、鉛直軸方向の状
態を採るオリエンタ114の上方に位置決めされる。位
置決めされたところで、ICターンストレージ300に
保持されるIC105をオリエンタ114に落下転送せ
しめ、次いでオリエンタ114を回動してこれを受取側
マガジン101に整列する斜方向の状態とする。オリエ
ンタ114から受取側マガジン支持部116に支持され
る受取側マガジン101にIC105を収容したところ
で一連の試験測定は終了したことになる。
As described above, the IC turn storage 30
The IC 105 held at 0 is dropped and transferred to the orienter 114. At this time, the vertical guide rail 11
3 is aligned with the path of the guide rail 303 indicated by the dashed line, similarly to the path of the IC 105 indicated by the dashed line.
05 can smoothly enter the IC turn storage 300. Next , IC turn storage 300
Is positioned above the orienter 114 cylindrical body 302 of the guide rails 303 and 180 ° rotated by driving the rotation by the drive unit 304 from being driven in the horizontal direction, taking the vertical axis direction position shown by the arrow F Is done. When positioned, the IC 105 held in the IC turn storage 300 is dropped and transferred to the orienter 114, and then the orienter 114 is rotated to make it obliquely aligned with the receiving magazine 101. A series of test measurements at accommodating the receiving Gawama Gajin 101 IC105 supported on the receiving magazine support 116 from the orienter 114 will be completed.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】ICターンストレージ
300の鉛直軸とオリエンタ114の鉛直軸とが正確に
整列して両者間の位置決めがなされていなければ、IC
をICターンストレージ300からオリエンタ114に
落下転送することができない。従って、ICターンスト
レージ300とオリエンタ114との間の相互位置調整
をする必要があって、これには図6に示される位置調整
用治具が使用されている。
If the vertical axis of the IC turn storage 300 and the vertical axis of the orienter 114 are accurately aligned and not positioned between them, the IC
Cannot be dropped from the IC turn storage 300 to the orienter 114. Therefore, it is necessary to perform mutual position adjustment between the IC turn storage 300 and the orienter 114, and the position adjustment jig shown in FIG. 6 is used for this.

【0007】図6において、aはターンストレージ治
具、cはオリエンタ治具である。図5におけるICター
ンストレージ300の筒状体302にIC案内レール3
03の代わりにターンストレージ治具aを取り付ける一
方、オリエンタ114にその案内レール400の代わり
にオリエンタ治具cを取り付ける。ターンストレージ治
具aおよびオリエンタ治具cそれぞれには直線細溝が形
成されている。そして、これら直線細溝に嵌合するゲー
ジgを2本準備しておく。ICターンストレージ300
の鉛直軸とオリエンタ114の鉛直軸とが整列して両者
間の位置決めがなされたところで、ターンストレージ治
具aの直線細溝およびオリエンタ治具cの直線細溝が整
列し、両直線細溝にゲージgを嵌合したときに両ゲージ
g間に段差のないことを確認してICターンストレージ
300の鉛直軸とオリエンタ114の鉛直軸とが正確に
整列したものとしている。
In FIG. 6, a is a turn storage jig, and c is an oriental jig. The IC guide rail 3 is attached to the cylindrical body 302 of the IC turn storage 300 in FIG.
A turn storage jig a is attached in place of 03, and an orienter jig c is attached to the orienter 114 instead of its guide rail 400. A straight narrow groove is formed in each of the turn storage jig a and the orienter jig c. Then, two gauges g to be fitted into these linear narrow grooves are prepared. IC turn storage 300
When the vertical axis of the orienter 114 and the vertical axis of the orienter 114 are aligned and positioned therebetween, the linear narrow groove of the turn storage jig a and the linear narrow groove of the orienter jig c are aligned, and When the gauge g is fitted, it is confirmed that there is no step between the two gauges g, and the vertical axis of the IC turn storage 300 and the vertical axis of the orienter 114 are accurately aligned.

【0008】しかし、ICターンストレージ300は水
平方向に自由度を有する一方、オリエンタ114はIC
ターンストレージ300の駆動方向と直交する方向に自
由度を有する上にこの方向について回動するものである
ところから、上述の確認に依っては正確な確認をするこ
とはできなかった。例えば、両ゲージg間に段差のない
ことが確認できても、これは単に両ゲージgの先端のみ
に段差がないことが確認されたに過ぎず、厳密には上述
の3方向の整合をすべて確認することができたものとす
ることはできない。
However, while the IC turn storage 300 has a degree of freedom in the horizontal direction, the orienter 114
Since it has a degree of freedom in a direction orthogonal to the drive direction of the turn storage 300 and rotates in this direction, accurate confirmation could not be made based on the above-described confirmation. For example, even if it can be confirmed that there is no step between the two gauges g, it is simply confirmed that there is no step only at the tip of the two gauges g. It cannot be said that it could be confirmed.

【0009】この考案は、上述の通りの問題を解消した
ICテスタのテストハンドラの位置調整用治具を提供す
るものである。
The present invention provides a jig for adjusting the position of a test handler of an IC tester which has solved the above-mentioned problems.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】直立して水平方向に駆動
位置決めされる第1の部材であるICターンストレージ
300と、第1の部材の駆動方向と直交する方向に駆動
位置決めされると共に一端部において水平軸回りに回動
せしめられて鉛直状態およびその他の状態に位置決めさ
れる第2の部材であるオリエンタ114とを相互に位置
調整する位置調整用治具において、貫通孔を有し第1の
部材に取り付けられる第1の治具であるターンストレー
ジ治具Bを具備し、第1の治具の貫通孔と鉛直方向に整
合する貫通孔を有し第2の部材に取り付けられる第2の
治具であるオリエンタ治具Cを具備し、第1の治具の貫
通孔と第2の治具の貫通孔の双方に挿通されるピンゲー
ジGを具備することを特徴とする位置調整用治具を構成
した。
An IC turn storage 300 which is a first member which is driven and positioned in an upright and horizontal direction, is driven and positioned in a direction orthogonal to a driving direction of the first member, and has one end. In a position adjusting jig which is rotated about a horizontal axis and mutually adjusts an orienter 114 which is a second member positioned in a vertical state and other states, a first member having a through hole and having a through hole is provided. A second jig attached to the second member, having a turn storage jig B as a first jig attached to the member, having a through hole vertically aligned with a through hole of the first jig; An orienter jig C as a jig, and a pin gauge G inserted into both the through-hole of the first jig and the through-hole of the second jig. Configured.

【0011】[0011]

【実施例】この考案の実施例を図1、図2および図3を
参照して説明する。図5におけるICターンストレージ
300の筒状体302にIC案内レール303の代わり
にターンストレージ治具Bを取り付ける一方、オリエン
タ114にその案内レール400の代わりにオリエンタ
治具Cを取り付ける。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 3. FIG. A turn storage jig B is attached to the tubular body 302 of the IC turn storage 300 in FIG. 5 instead of the IC guide rail 303, and an orienter jig C is attached to the orienter 114 instead of the guide rail 400.

【0012】ターンストレージ治具Bは、その外形寸法
は筒状体302にIC案内レール303と同様に嵌合す
ることができる外形寸法であり、その長さ方向に貫通孔
が穿設されている。オリエンタ治具Cは、その案内レー
ル400の代わりにオリエンタ治具Cに取り付けられ、
ターンストレージ治具Bの貫通孔と整合する貫通孔が穿
設されている。そして、これら貫通孔に嵌合するピンゲ
ージGを通常は2種類準備しておく。
The external dimensions of the turn storage jig B are such that it can be fitted to the cylindrical body 302 in the same manner as the IC guide rail 303, and a through hole is formed in the length direction thereof. . The oriental jig C is attached to the oriental jig C instead of the guide rail 400,
A through-hole matching the through-hole of the turn storage jig B is formed. Usually, two types of pin gauges G to be fitted into these through holes are prepared.

【0013】ICターンストレージ300の貫通孔とオ
リエンタ114の貫通孔とを一応整列せしめて両者間の
位置決めがなされたところで、ターンストレージ治具B
の貫通孔およびオリエンタ治具Cの貫通孔の双方にピン
ゲージGが嵌合することができたことを確認し、ICタ
ーンストレージ300とオリエンタ114とは上述の3
方向についてすべて正確に位置調整されたものとする。
When the through-hole of the IC turn storage 300 and the through-hole of the orienter 114 are temporarily aligned and positioned between them, the turn storage jig B
It was confirmed that the pin gauge G could be fitted into both the through hole of the orienter jig C and the through hole of the orienter jig C.
It is assumed that the positions have been accurately adjusted in all directions.

【0014】以下、ICターンストレージ300および
オリエンタ114の位置調整について説明する。 (1) ターンストレージ300のストッパをOF
F、ターンストレージキャリヤをON、ターンストレー
ジシャッタをON、ターンストレージ180゜をONに
する。ここで、ターンストレージ300の左右両端の筒
状体302にターンストレージ治具Bを取り付ける。
Hereinafter, the position adjustment of the IC turn storage 300 and the orienter 114 will be described. (1) Turn stopper of turn storage 300 off
F, Turn storage carrier ON, turn storage shutter ON, turn storage 180 ° ON. Here, the turn storage jig B is attached to the tubular bodies 302 at both left and right ends of the turn storage 300.

【0015】 (2) ターンストレージ治具Bの真上から見て、ター
ンストレージ治具Bの下部の穴とオリエンタ治具の穴が
一致する様に、(3)以降の調整をする。 (3) 図2において、両穴が互いに前後方向にずれて
いる場合は、ストッパを調整することにより両穴を一
致させる。 (4) 図2において、両穴が互いに左右方向にずれて
いる場合は、ストッパを調整することにより両穴を一
致させる。
(2) The adjustment from (3) onward is made so that the hole at the bottom of the turn storage jig B and the hole of the orienter jig coincide with each other when viewed from directly above the turn storage jig B. (3) In FIG. 2, when both holes are shifted from each other in the front-rear direction, the holes are made to coincide by adjusting the stopper. (4) In FIG. 2, when both holes are shifted from each other in the left-right direction, the holes are made to coincide by adjusting the stopper.

【0016】 (5) 両穴が互いに一致したことを確認したところ
で、一旦ターンストレージ治具Bを取り外し、ターンス
トレージ300の左右両端の筒状体302に図3に示さ
れる如くピンゲージGA 差し込む。ここで、ターンスト
レージ治具Bをその穴がピンゲージGA に嵌合した状態
で、再びターンストレージ300の左右両端の筒状体3
02に取り付ける。
[0016] (5) where it is confirmed that both holes are matched with each other, once removed the turn storage jig B, insert pin gauge G A as shown in the cylindrical body 302 of the left and right ends of the turn storage 300 in FIG. Here, the turn storage jig B at a state where the hole was fitted to a pin gauge G A, the cylindrical body 3 of the left and right ends of the turn storage 300 again
02.

【0017】 (6) ピンゲージGA がターンストレージ治具Bの上
部の穴の中心に位置することを確認する。 (7) ピンゲージGA がターンストレージ治具Bの上
部の穴の中心に位置しない場合はICターンストレージ
300およびオリエンタ114が鉛直方向に互いに整合
しないことを意味しているので、図3におけるストッパ
と図2におけるストッパとによりオリエンタ114
の角度とターンストレージ300の位置とを調整する。
[0017] (6) a pin gauge G A to confirm that in the center of the top of the hole of the turn storage jig B. (7) Since the pin gauge G A is the case not located in the center of the top hole of the turn storage jig B means that the IC turns the storage 300 and orienter 114 are not aligned with each other in the vertical direction, and the stopper in Fig. 3 With the stopper in FIG.
And the position of the turn storage 300 are adjusted.

【0018】 (8) (7)の調整が終了したところで、今度はピン
ゲージGB をターンストレージ治具Bの穴に差込み、ピ
ンゲージGB がオリエンタ治具の穴にスムーズに進入す
ることを確認する。 (9) (8)の確認が終了したところで、ターンスト
レージ治具Bをターンストレージ300の左右両端の筒
状体302以外の筒状体に入れ替え、同様にピンゲージ
B がオリエンタ治具の穴にスムーズに進入することを
確認する。
[0018] (8) at the adjustment of the (7) has been completed, this time to make sure that the Insert the pin gauge G B into the hole of the turn storage jig B, and pin gauge G B to enter smoothly into the hole of the orienter jig . (9) When the confirmation (8) is completed, replace the turn storage jig B to the tubular body other than the cylindrical body 302 of the left and right ends of the turn storage 300, similarly pin gauge G B is the hole in the orienter jig Make sure you enter smoothly.

【0019】[0019]

【考案の効果】以上の通りであって、この考案の位置調
整用治具は、直立して水平方向に駆動位置決めされる第
1の部材300と、第1の部材の駆動方向と直交する方
向に駆動位置決めされると共に一端部において水平軸回
りに回動せしめられて鉛直状態およびその他の状態に位
置決めされる第2の部材114とを相互に位置調整する
場合に、これを極く簡単容易に実施することができる。
As described above, the position adjusting jig according to the present invention includes a first member 300 that is driven and positioned in an upright and horizontal direction, and a direction orthogonal to the driving direction of the first member. When the second member 114 which is driven and positioned at one end and rotated about a horizontal axis at one end and positioned in the vertical state and the other state is mutually adjusted, this is extremely easily and easily performed. Can be implemented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この考案の治具を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a jig of the present invention.

【図2】この考案の治具による相互位置調整を説明する
図。
FIG. 2 is a view for explaining mutual position adjustment by the jig of the present invention.

【図3】この考案の治具による相互位置調整を説明する
図。
FIG. 3 is a view for explaining mutual position adjustment by the jig of the present invention.

【図4】IC試験装置におけるICの転送を説明する
図。
FIG. 4 is a view for explaining IC transfer in the IC test apparatus.

【図5】ICターンストレージ300とオリエンタ11
4とを説明する図。
FIG. 5: IC turn storage 300 and Oriental 11
FIG.

【図6】位置調整用治具の従来例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a conventional example of a position adjusting jig.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

114 オリエンタ 300 ICターンストレージ B ターンストレージ治具 C オリエンタ治具 G ピンゲージ 114 Oriental 300 IC turn storage B Turn storage jig C Oriental jig G Pin gauge

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 直立して水平方向に駆動位置決めされる
第1の部材と、第1の部材の駆動方向と直交する方向に
駆動位置決めされると共に一端部において水平軸回りに
回動せしめられて鉛直状態およびその他の状態に位置決
めされる第2の部材とを相互に位置調整する位置調整用
治具において、貫通孔を有し第1の部材に取り付けられ
る第1の治具を具備し、第1の治具の貫通孔と鉛直方向
に整合する貫通孔を有し第2の部材に取り付けられる第
2の治具を具備し、第1の治具の貫通孔と第2の治具の
貫通孔の双方に挿通されるピンゲージを具備することを
特徴とする位置調整用治具。
A first member that is driven and positioned in an upright and horizontal direction; a first member that is driven and positioned in a direction perpendicular to a driving direction of the first member and that is rotated about a horizontal axis at one end; A position adjusting jig for mutually adjusting the position of a second member positioned in a vertical state and other states, comprising: a first jig having a through-hole and attached to the first member; A second jig having a through hole vertically aligned with the through hole of the first jig and being attached to the second member is provided, and the through hole of the first jig and the through hole of the second jig are provided. A position adjusting jig comprising a pin gauge inserted into both holes.
JP1993018315U 1993-04-12 1993-04-12 Position adjustment jig Expired - Fee Related JP2595084Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1993018315U JP2595084Y2 (en) 1993-04-12 1993-04-12 Position adjustment jig

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1993018315U JP2595084Y2 (en) 1993-04-12 1993-04-12 Position adjustment jig

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0678879U JPH0678879U (en) 1994-11-04
JP2595084Y2 true JP2595084Y2 (en) 1999-05-24

Family

ID=11968186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1993018315U Expired - Fee Related JP2595084Y2 (en) 1993-04-12 1993-04-12 Position adjustment jig

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2595084Y2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107971983B (en) * 2017-11-09 2023-12-05 奥士康科技股份有限公司 Needle gauge field management visualization management equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0678879U (en) 1994-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6590383B2 (en) Contact arm and electronic device testing apparatus using the same
US6906546B2 (en) Semiconductor device inspection apparatus and inspection method
KR100248569B1 (en) Probe system
US8022719B2 (en) Carrier tray for use with prober
US4975637A (en) Method and apparatus for integrated circuit device testing
US11360115B2 (en) Inspection system
CN106885982A (en) Carrier for processing component, component and method
US6404212B1 (en) Testing of BGA and other CSP packages using probing techniques
US6034524A (en) Apparatus and method for testing flexible circuit substrates
TWI296143B (en) Method and apparatus for alignment of carriers, carrier handlers and semiconductor handling equipment
JP2595084Y2 (en) Position adjustment jig
CN108198776A (en) Assembly machine for a mobile device with a mobile carrier receptacle
US20160313384A1 (en) Portable vacuum chamber and an associated automated test system and method for the testing of electronic devices
KR20000052405A (en) Transportation and active temperature control of integrated circuits for test
JP2006317346A (en) Probing system and prober
US4935694A (en) Probe card fixture
JP3328034B2 (en) Setting method of probe replacement position coordinates in probe automatic replacement unit
JPS63301537A (en) Wafer prober
TWI734002B (en) Carrier for electronic component testing device
JPS6114581A (en) Manufacture of testing jig
JP2000356666A (en) Electronic part testing tray conveyance device, testing device and test method of electronic part
KR20090061838A (en) Wafer align and id reading apparatus for use of multi sorter
JPH0715921B2 (en) Marking device for simultaneous measurement of multiple chips
JP2000049200A (en) Prober
JPH03290943A (en) Semiconductor testing system apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990119

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees