JP2591496Y2 - Laser exposure equipment - Google Patents
Laser exposure equipmentInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、レーザヘッドが交換可
能なレーザ露光装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser exposure apparatus with a replaceable laser head.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、ガスレーザによるレーザヘッド
を搭載したレーザ露光装置では、装置の寿命に比べてレ
ーザチューブの寿命が短いため、レーザヘッドの交換作
業が必須である。そして、レーザヘッドの交換に際して
は、新しく装着されたレーザヘッドから出力されるレー
ザ光の光軸が、元のレーザヘッドから出力されるレーザ
光の光軸と一致するように、レーザ光の光軸調整を行う
必要が生じる。2. Description of the Related Art Generally, in a laser exposure apparatus equipped with a laser head using a gas laser, the life of a laser tube is shorter than the life of the apparatus. When replacing the laser head, the optical axis of the laser light output from the newly mounted laser head is aligned with the optical axis of the laser light output from the original laser head. Adjustments need to be made.
【0003】[0003]
【考案が解決しようとする課題】レーザ光の光軸調整は
通常、レーザ光の返りや干渉縞を見て行うが、レーザ露
光装置のように、レーザ光を露光対象に導くための光学
系が既に組み付けられて固定されている場合には、レー
ザヘッドから出力されたレーザ光を光学系の終端側から
戻させてレーザ光の返りを見たり、光学系を経由する光
路とこれとは別の光路とのレーザ光を同一箇所に照射さ
せて該照射箇所に生じる干渉縞を見ることが困難であ
り、光軸調整に時間がかかる不具合がある。また仮に、
光学系の組み付け位置を調整して光軸調整を行うと、レ
ーザヘッドの交換の度に光学系の個々の部品を組み付け
調整しなければならず、作業が面倒となり時間がかかる
不具合がある。[Problem to be Solved by the Invention] The optical axis of the laser beam is usually adjusted by observing the return of the laser beam and interference fringes. However, an optical system for guiding the laser beam to an exposure object like a laser exposure apparatus is used. If it is already assembled and fixed, the laser light output from the laser head is returned from the end of the optical system to see the return of the laser light, or the optical path through the optical system and another optical path. It is difficult to irradiate the laser beam with the optical path to the same location to see the interference fringes generated at the irradiated location, and there is a problem that it takes time to adjust the optical axis. Also, temporarily
If the optical axis is adjusted by adjusting the mounting position of the optical system, it is necessary to assemble and adjust individual components of the optical system every time the laser head is replaced, which is troublesome and time-consuming.
【0004】本考案は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、レーザヘッドの交換に伴うレーザ光の光軸調整を効
率よく行うことができるレーザ露光装置を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned problem, and has as its object to provide a laser exposure apparatus capable of efficiently adjusting the optical axis of laser light accompanying replacement of a laser head.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本考案は、露光用のレーザ光を出力するレーザヘッド
と、前記レーザヘッドを着脱可能に保持する保持部と、
前記レーザ光を照射対象側に導くミラーとを備えるレー
ザ露光装置において、前記ミラーで反射されずに該ミラ
ーを透過したレーザ光の光路上にターゲットを配設し、
前記保持部に前記レーザヘッドの向きを調整する調整部
を設けたことを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a laser head for outputting a laser beam for exposure, a holder for detachably holding the laser head,
In a laser exposure apparatus including a mirror that guides the laser light to the irradiation target side, a target is disposed on an optical path of the laser light transmitted through the mirror without being reflected by the mirror,
An adjustment unit for adjusting the direction of the laser head is provided on the holding unit.
【0006】また、本考案は、前記ミラーは、透光可能
な母材と、該母材に形成された所定厚さの光反射膜とか
らなるものとした。さらに、本考案は、前記ミラーは複
数設けられ、前記ターゲットは、これら複数のミラーの
うち少なくとも2つのミラーに対応して設けられている
ものとした。また、本考案は、前記ターゲットを、前記
レーザ光の照射位置に応じた信号を出力する位置検出器
で構成し、該位置検出器からの出力信号に基づいて前記
レーザ光の前記位置検出器への照射位置を算出する演算
手段と、該演算手段で算出された前記レーザ光の照射位
置を表示する表示手段とをさらに設けるものとした。In the present invention, the mirror comprises a light-transmitting base material and a light reflecting film having a predetermined thickness formed on the base material. Further, in the present invention, a plurality of the mirrors are provided, and the target is provided corresponding to at least two of the plurality of mirrors. In addition, the present invention is configured such that the target is configured with a position detector that outputs a signal corresponding to the irradiation position of the laser light, and based on an output signal from the position detector, the position detector of the laser light is transmitted to the position detector. And a display means for displaying the irradiation position of the laser beam calculated by the calculation means.
【0007】[0007]
【実施例】以下、本考案の実施例について図面に基づい
て説明する。図1は本考案の一実施例によるレーザ露光
装置の要部構成を示す斜視図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a main configuration of a laser exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
【0008】図1において1は、内部にガスレーザのレ
ーザチューブが収納されたレーザヘッドであり、このレ
ーザヘッド1は矢印A方向に摺動可能な保持部2に着脱
可能に保持されている。この保持部2には、レーザヘッ
ド1の下面1a(図2)を2箇所で矢印B方向に位置決
めする2つの位置決めねじ3が、保持部2の下方から貫
通して螺合されており、また、保持部2の側面2aに
は、該保持部2を2箇所で矢印A方向に位置決めする2
つの位置決めねじ4の先端が当て付けられている。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a laser head in which a laser tube of a gas laser is housed. The laser head 1 is detachably held by a holding portion 2 slidable in the direction of arrow A. Two positioning screws 3 for positioning the lower surface 1a (FIG. 2) of the laser head 1 at two locations in the direction of arrow B are screwed into the holding portion 2 from below the holding portion 2, and On the side surface 2a of the holding part 2, the holding part 2 is positioned at two places in the direction of arrow A.
The tips of the two set screws 4 are applied.
【0009】図2は、位置決めねじ3の、レーザヘッド
1及び保持部2への取付関係を示す一部截断側面図であ
り、これに示すように位置決めねじ3は、座金3aを介
してレーザヘッド1側が大径部3bとされ、保持部2側
が小径部3cとされている。そして、大径部3bの先端
はレーザヘッド1の下面1aのねじ孔1bに螺着され、
小径部3cは、保持部2に形成された、座金3aより小
径で小径部3cよりも大径の通孔2bに挿通されてい
る。保持部2の下面2cには、前記通孔2bと連通する
平面略円形の凹部2dが形成されており、通孔2bに挿
通された小径部3cの先端には、前記凹部2dの径より
小径のナット21,22が二重ナットとして螺着され、
該凹部2d内に収容されている。尚、本実施例では位置
決めねじ3,4が調整部に相当している。FIG. 2 is a partially cutaway side view showing a mounting relationship between the positioning screw 3 and the laser head 1 and the holding portion 2. As shown in FIG. 2, the positioning screw 3 is connected to the laser head via a washer 3a. One side is a large diameter part 3b, and the holding part 2 side is a small diameter part 3c. The tip of the large diameter portion 3b is screwed into a screw hole 1b on the lower surface 1a of the laser head 1,
The small diameter portion 3c is inserted into a through hole 2b formed in the holding portion 2 and having a smaller diameter than the washer 3a and a larger diameter than the small diameter portion 3c. The lower surface 2c of the holding portion 2 is formed with a recess 2d having a substantially circular plane and communicating with the through hole 2b. Nuts 21 and 22 are screwed as double nuts,
It is accommodated in the recess 2d. In this embodiment, the positioning screws 3 and 4 correspond to an adjusting unit.
【0010】図1において5は、レーザヘッド1から出
力されるレーザ光Lをポリゴンミラー6に導く光学系で
あり、該光学系5には、前記レーザ光Lの光路を折曲す
る反射ミラー51,52,53、レーザ光Lの変調用の
A/O変調器54、変調されたレーザ光Lの径を太くす
るためのレンズ系55等が設けられている。7は、ポリ
ゴンミラー6で走査偏向された後の走査光L11を露光
対象(図示せず)に等速で走査させるためのfθレン
ズ、8は走査光L11を不図示の露光対象に垂直に照射
させるためのコンデンサレンズ、9はfθレンズ7を通
過した走査光L11を反射してコンデンサレンズ8に導
く反射ミラーである。In FIG. 1, reference numeral 5 denotes an optical system for guiding a laser beam L output from the laser head 1 to a polygon mirror 6. The optical system 5 includes a reflecting mirror 51 for bending the optical path of the laser beam L. , 52, 53, an A / O modulator 54 for modulating the laser light L, a lens system 55 for increasing the diameter of the modulated laser light L, and the like. Reference numeral 7 denotes an fθ lens for scanning the scanning object L (not shown) at a constant speed with the scanning light L11 scanned and deflected by the polygon mirror 6, and 8 irradiates the scanning light L11 vertically to the exposure object (not shown). Reference numeral 9 denotes a condenser mirror for reflecting the scanning light L11 passing through the fθ lens 7 and guiding the scanning light L11 to the condenser lens 8.
【0011】反射ミラー51,52,53は、例えばガ
ラスやプラスチック等の透光可能な母材51a,52
a,53aと、該母材51a,52a,53aの一面に
蒸着等により形成された光反射膜51b,52b,53
bとからなり、該光反射膜51b,52b,53bの厚
さは、この光反射膜51b,52b,53bに照射され
たレーザ光Lの一部が反射されずに漏れて、該光反射膜
51b,52b,53bを通過することができる所定厚
さとされている。尚、本実施例では、反射ミラー51,
52,53が請求項に記載したミラーに相当している。The reflecting mirrors 51, 52 and 53 are made of a transparent base material 51a, 52 such as glass or plastic.
a, 53a and light reflecting films 51b, 52b, 53 formed on one surface of the base materials 51a, 52a, 53a by vapor deposition or the like.
b, the thickness of the light reflecting films 51b, 52b, 53b is such that part of the laser light L applied to the light reflecting films 51b, 52b, 53b leaks without being reflected, and The thickness is set to a predetermined value that allows the thickness to pass through 51b, 52b, and 53b. In this embodiment, the reflection mirror 51,
52 and 53 correspond to the mirrors described in the claims.
【0012】さらに、図1において10は、反射ミラー
51,52の光反射膜51b,52bで反射されずにこ
れを透過したレーザ光Lの光路上に配設された位置検出
器である。位置検出器10は、図3に示すように4つの
出力端子101乃至104を備えており、出力端子10
1,102からは、水平方向におけるレーザ光Lの照射
位置Pxに応じた値の電圧が出力され、出力端子10
3,104からは、垂直方向におけるレーザ光Lの照射
位置Pyに応じた値の電圧が出力される。Further, in FIG. 1, reference numeral 10 denotes a position detector disposed on the optical path of the laser light L transmitted through the reflection mirrors 51, 52 without being reflected by the light reflection films 51b, 52b. The position detector 10 has four output terminals 101 to 104 as shown in FIG.
From the output terminals 10 and 102, a voltage having a value corresponding to the irradiation position Px of the laser beam L in the horizontal direction is output.
From 3,104, a voltage having a value corresponding to the irradiation position Py of the laser beam L in the vertical direction is output.
【0013】図3に示すように、位置検出器10の4つ
の出力端子101乃至104は信号処理回路(演算回路
に相当)11に接続されており、図2中では1つの位置
検出器10のみを示しているが、実際には、反射ミラー
51,52の背面側に配設された2つの位置検出器10
からのそれぞれ4つの出力端子101乃至104(計8
つの出力端子)が信号処理回路11に接続されている。
そして、信号処理回路11では、各位置検出器10の4
つの出力端子101乃至104から出力された電圧V1
乃至V4と、各位置検出器10の受光面105の水平及
び垂直方向の長さSx,Syとに基づいて、反射ミラー
51,52の光反射膜51b,52bを透過して各位置
検出器10に照射されたレーザ光Lの水平及び垂直方向
の照射位置Px,Pyを算出する。As shown in FIG. 3, four output terminals 101 to 104 of the position detector 10 are connected to a signal processing circuit (corresponding to an arithmetic circuit) 11, and only one position detector 10 is shown in FIG. However, actually, two position detectors 10 disposed on the back side of the reflection mirrors 51 and 52 are shown.
Output terminals 101 to 104 (8 in total)
(Two output terminals) are connected to the signal processing circuit 11.
Then, in the signal processing circuit 11, 4
V1 output from the output terminals 101 to 104
Through V4 and the horizontal and vertical lengths Sx and Sy of the light receiving surface 105 of each position detector 10 through the light reflecting films 51b and 52b of the reflection mirrors 51 and 52 and each position detector 10 The irradiation positions Px and Py in the horizontal and vertical directions of the laser light L applied to the laser beam L are calculated.
【0014】尚、信号処理回路11によるレーザ光Lの
水平及び垂直方向の照射位置Px,Pyの算出は、式P
x=(Sx/2)×{(V1−V2)/(V1+V
2)}と、式Py=(Sy/2)×{(V3−V4)/
(V3+V4)}とを用いて行われる。また、算出され
た照射位置Px,Pyは、受光面105の中心位置P0
からの座標値となっている。そして、図3に示すよう
に、信号処理回路11にはCRTディスプレイ等を備え
る表示装置(表示手段に相当)12が接続されており、
この表示装置12には、信号処理回路11で算出された
照射位置Px,Pyが表示される。The calculation of the irradiation positions Px and Py of the laser beam L in the horizontal and vertical directions by the signal processing circuit 11 is expressed by the equation P
x = (Sx / 2) × {(V1−V2) / (V1 + V
2) 式 and the formula Py = (Sy / 2) × {(V3-V4) /
(V3 + V4)}. Further, the calculated irradiation positions Px and Py correspond to the center position P0 of the light receiving surface 105.
From the coordinate value. As shown in FIG. 3, a display device (corresponding to a display means) 12 having a CRT display or the like is connected to the signal processing circuit 11,
On the display device 12, the irradiation positions Px and Py calculated by the signal processing circuit 11 are displayed.
【0015】次に、上記構成による本実施例のレーザ露
光装置において、レーザヘッド1の交換後にレーザ光L
の光軸調整を行う場合について説明する。まず、レーザ
ヘッド1を保持部2に保持させ、該レーザヘッド1から
レーザ光Lを出力させる。すると、レーザ光Lは反射ミ
ラー51の光反射膜51bで反射されて光学系5のA/
O変調器54やレンズ系55等を通過して、さらに反射
ミラー52,53で反射されてポリゴンミラー6に照射
される。Next, in the laser exposure apparatus of the present embodiment having the above-described configuration, the laser beam L
The case where the optical axis adjustment is performed will be described. First, the laser head 1 is held by the holding unit 2, and the laser light L is output from the laser head 1. Then, the laser light L is reflected by the light reflection film 51b of the reflection mirror 51, and A / A of the optical system 5
The light passes through the O modulator 54, the lens system 55, and the like, is further reflected by the reflection mirrors 52 and 53, and is irradiated on the polygon mirror 6.
【0016】このとき、反射ミラー51,52,53に
照射されたレーザ光Lはその殆どが光反射膜51b,5
2b,53bで反射されるが、一部は該光反射膜51
b,52b,53bを透過して反射ミラー51,52,
53の背面側に至る。このため、光反射膜51b,52
bを透過したレーザ光Lが反射ミラー51,52の背面
側に配設された位置検出器10の受光面105に照射さ
れ、その照射位置Px,Pyに応じた値の電圧が各位置
検出器10の4つの出力端子101乃至104から信号
処理回路11に入力されて、各位置検出器10へのレー
ザ光Lの照射位置Px,Pyが信号処理回路11で算出
されて表示装置12に表示される。At this time, most of the laser light L applied to the reflecting mirrors 51, 52, 53 is reflected by the light reflecting films 51b, 5b.
2b and 53b, but partially reflected by the light reflecting film 51.
b, 52b, 53b, and the reflection mirrors 51, 52,
53 to the back side. For this reason, the light reflecting films 51b, 52
The laser beam L having passed through b is applied to the light receiving surface 105 of the position detector 10 disposed on the back side of the reflection mirrors 51 and 52, and a voltage having a value corresponding to the irradiation position Px or Py is applied to each position detector. The input positions Px and Py of the laser beam L to the position detectors 10 are input to the signal processing circuit 11 from the four output terminals 101 to 104, and are calculated by the signal processing circuit 11 and displayed on the display device 12. You.
【0017】ところで、反射ミラー51,52の背面側
に配設された2つの位置検出器10は、交換前の光軸調
整済のレーザヘッドから出力されて光反射膜51b,5
2bを透過したレーザ光が、それぞれ2つの位置検出器
10の中心位置に照射されるように、あらかじめ位置決
めされている。従って、レーザヘッド1の交換を行う作
業者は、表示装置12に表示された2つの位置検出器1
0へのレーザ光Lの照射位置Px,Pyを見ながら位置
決めねじ3,4を回動操作し、2つの位置検出器10へ
のレーザ光Lの照射位置Px,Pyの値が「0」となる
ように、即ち、反射ミラー51,52を透過したレーザ
光Lが2つの位置検出器10の受光面105の中心位置
に照射されるように、レーザヘッド1の位置決め調整を
行う。By the way, the two position detectors 10 disposed on the back side of the reflection mirrors 51 and 52 are output from the laser heads whose optical axes have been adjusted before the replacement, and the light reflection films 51b and 5 are provided.
The laser beam transmitted through 2b is positioned in advance so as to be applied to the center positions of the two position detectors 10, respectively. Therefore, the operator who replaces the laser head 1 needs two position detectors 1 displayed on the display device 12.
Rotating the positioning screws 3 and 4 while observing the irradiation positions Px and Py of the laser light L to 0, the values of the irradiation positions Px and Py of the laser light L to the two position detectors 10 become “0”. In other words, the positioning of the laser head 1 is adjusted so that the laser beam L transmitted through the reflection mirrors 51 and 52 is applied to the center positions of the light receiving surfaces 105 of the two position detectors 10.
【0018】まず、レーザヘッド1の矢印B方向への位
置決め調整を行う際には、座金3aを回転させて2つの
ナット21,22を保持部2に対して空転させつつ位置
決めねじ3を一体に回転させ、該位置決めねじ3に対し
てレーザヘッド1を進退させて、レーザヘッド1と保持
部2との間隔を調整することにより行う。また、レーザ
ヘッド1の矢印A方向への位置決め調整を行う際には、
2つのナット21,22を1つずつ順に緩めて、位置決
めねじ3の保持部2への締め付け固定を解除し、この状
態で位置決めねじ4を適宜回転させて保持部2の側面2
aに対して進退させ、該位置決めねじ4の先端に保持部
2の側面2aを当て付けて再度2つのナット21,22
を締め付けることにより行う。First, when adjusting the positioning of the laser head 1 in the direction of arrow B, the washer 3a is rotated to rotate the two nuts 21 and 22 with respect to the holding portion 2 while the positioning screw 3 is integrated. It is rotated by moving the laser head 1 forward and backward with respect to the positioning screw 3 to adjust the distance between the laser head 1 and the holding unit 2. When adjusting the positioning of the laser head 1 in the direction of arrow A,
The two nuts 21 and 22 are loosened one by one in order to release the fastening of the positioning screw 3 to the holding portion 2, and in this state, the positioning screw 4 is appropriately rotated to rotate the side surface 2 of the holding portion 2.
a, the side surface 2a of the holding portion 2 is applied to the tip of the positioning screw 4, and the two nuts 21 and 22 are again
By tightening.
【0019】尚、本実施例の構成では、レーザヘッド1
の矢印A方向への位置決め調整は、前記保持部2の通孔
2bと位置決めねじ3の小径部3cとの径の差や、前記
保持部2の凹部2dとナット21,22との径の差の範
囲内で行うことができる。In the configuration of this embodiment, the laser head 1
Is adjusted in the direction of arrow A by adjusting the difference in diameter between the through hole 2b of the holding part 2 and the small diameter part 3c of the positioning screw 3 or the difference in diameter between the recess 2d of the holding part 2 and the nuts 21 and 22. Can be performed within the range of
【0020】このように、本実施例のレーザ露光装置に
よれば、反射ミラー51,52に照射されてその光反射
膜51b,52bを透過したレーザ光Lの光路上に位置
検出器10をそれぞれ配設し、各位置検出器10の4つ
の出力端子101乃至104から出力される電圧V1乃
至V4に基づいて、各位置検出器10へのレーザ光Lの
照射位置Px,Pyを信号処理回路11で算出して、そ
の算出されたレーザ光Lの照射位置Px,Pyを表示装
置12に表示させると共に、前記レーザヘッド1を保持
する保持部2に、該レーザヘッドの向きを調整する位置
決めねじ3,4を設ける構成とした。As described above, according to the laser exposure apparatus of the present embodiment, the position detector 10 is placed on the optical path of the laser beam L irradiated to the reflecting mirrors 51 and 52 and transmitted through the light reflecting films 51b and 52b. The signal processing circuit 11 determines the irradiation positions Px and Py of the laser beam L to each position detector 10 based on the voltages V1 to V4 output from the four output terminals 101 to 104 of each position detector 10. , And the calculated irradiation positions Px and Py of the laser light L are displayed on the display device 12, and the holding unit 2 holding the laser head 1 is provided with a positioning screw 3 for adjusting the direction of the laser head. , 4 are provided.
【0021】このため、レーザヘッド1の交換の際に、
該交換されたレーザヘッド1からレーザ光Lを出力さ
せ、該レーザ光Lが各位置検出器10の受光面105の
中心位置に照射されるようにレーザヘッド1の向きを位
置決めねじ3,4の回動操作により調整することで、レ
ーザ光Lの光軸を正確な位置に容易に調整することがで
き、レーザヘッド1の交換に伴うレーザ光Lの光軸調整
を効率よく行うことができる。Therefore, when the laser head 1 is replaced,
The laser beam L is output from the exchanged laser head 1, and the direction of the laser head 1 is adjusted by the positioning screws 3 and 4 so that the laser beam L is applied to the center position of the light receiving surface 105 of each position detector 10. By adjusting by rotating operation, the optical axis of the laser light L can be easily adjusted to an accurate position, and the optical axis of the laser light L accompanying the replacement of the laser head 1 can be efficiently adjusted.
【0022】尚、本実施例では、全部で3つある反射ミ
ラーのうち2つの反射ミラーの背面側に位置検出器を配
設したが、全ての反射ミラーの背面側に位置検出器をそ
れぞれ配設した構成としてもよい。また、本実施例で
は、反射ミラーに照射されてこれを透過したレーザ光の
光路上に位置検出器を配設して、該位置検出器へのレー
ザ光の照射位置を電気的に検出する構成としたが、位置
検出器の代わりに、例えば、光軸調整されたレーザ光が
照射されるべき箇所に指標が記されたターゲットを配設
してもよい。この場合には、レーザヘッドの交換を行う
作業者が、ターゲットに照射されるレーザ光の照射位置
を見ながら、該レーザ光の照射位置が前記指標に一致す
るようにレーザヘッドの位置決め調整を行うことで、レ
ーザ光の光軸を正確な位置に容易に調整することができ
る。In this embodiment, the position detectors are arranged on the back side of two of the three reflecting mirrors in total, but the position detectors are arranged on the back side of all the reflecting mirrors. It is good also as a structure provided. Further, in the present embodiment, a position detector is provided on the optical path of the laser light radiated to the reflection mirror and transmitted therethrough, and the irradiation position of the laser light to the position detector is electrically detected. However, instead of the position detector, for example, a target on which an index is written may be provided at a position to be irradiated with the laser light whose optical axis has been adjusted. In this case, the operator who replaces the laser head adjusts the positioning of the laser head so that the irradiation position of the laser light matches the index while observing the irradiation position of the laser light applied to the target. Thus, the optical axis of the laser beam can be easily adjusted to an accurate position.
【0023】[0023]
【考案の効果】上述したように本考案によれば、レーザ
ヘッドから出力された露光用のレーザ光をミラーで照射
対象側に導くレーザ露光装置において、前記ミラーで反
射されずに該ミラーを透過したレーザ光の光路上にター
ゲットを配設し、前記保持部に前記レーザヘッドの向き
を調整する調整部を設けたので、前記ターゲットに照射
されたレーザ光の照射位置を確認しながら調整部を操作
してレーザヘッドの向きを調整することで、レーザ光の
光軸を正確な位置に容易に調整することができ、レーザ
ヘッドの交換に伴うレーザ光の光軸調整を効率よく行う
ことができる。As described above, according to the present invention, in a laser exposure apparatus for guiding an exposure laser beam output from a laser head to an irradiation target side by a mirror, the laser beam passes through the mirror without being reflected by the mirror. The target is disposed on the optical path of the laser light, and the holding unit is provided with an adjustment unit for adjusting the direction of the laser head. Therefore, the adjustment unit is checked while confirming the irradiation position of the laser light applied to the target. By operating and adjusting the direction of the laser head, the optical axis of the laser light can be easily adjusted to an accurate position, and the optical axis of the laser light accompanying the replacement of the laser head can be efficiently adjusted. .
【図1】本考案の一実施例によるレーザ露光装置の要部
構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a main part of a laser exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す位置決めねじのレーザヘッド及び保
持部への取付関係を示す一部截断側面図である。FIG. 2 is a partially cutaway side view showing a mounting relationship between the positioning screw shown in FIG. 1 and a laser head and a holding unit.
【図3】図1に示す位置検出器へのレーザ光の照射位置
を検出する検出系の概略構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a detection system that detects an irradiation position of a laser beam to the position detector illustrated in FIG.
1 レーザヘッド 2 保持部 3,4 位置決めねじ(調整部) 10 位置検出器(ターゲット) 11 信号処理回路(演算手段) 12 表示装置(表示手段) 51,52 反射ミラー(ミラー) L レーザ光 Px,Py レーザ光照射位置 51a,52a 母材 51b,52b 光反射膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser head 2 Holding part 3, 4 Positioning screw (adjustment part) 10 Position detector (target) 11 Signal processing circuit (arithmetic means) 12 Display device (display means) 51, 52 Reflection mirror (mirror) L Laser light Px, Py laser beam irradiation position 51a, 52a Base material 51b, 52b Light reflecting film
Claims (4)
ドと、 前記レーザヘッドを着脱可能に保持する保持部と、 前記レーザ光を照射対象側に導くミラーと、 を備えるレーザ露光装置において、 前記ミラーで反射されずに該ミラーを透過したレーザ光
の光路上にターゲットを配設し、 前記保持部に前記レーザヘッドの向きを調整する調整部
を設けた、 ことを特徴とするレーザ露光装置。1. A laser exposure apparatus comprising: a laser head that outputs laser light for exposure; a holding unit that detachably holds the laser head; and a mirror that guides the laser light to an irradiation target side. A laser exposure apparatus, comprising: a target disposed on an optical path of a laser beam transmitted through the mirror without being reflected by the mirror; and an adjusting unit for adjusting a direction of the laser head in the holding unit.
材に形成された所定厚さの光反射膜とからなる請求項1
記載のレーザ露光装置。2. The mirror according to claim 1, wherein the mirror comprises a base material capable of transmitting light and a light reflecting film having a predetermined thickness formed on the base material.
The laser exposure apparatus according to claim 1.
ットは、これら複数のミラーのうち少なくとも2つのミ
ラーに対応して設けられている請求項1又は2記載のレ
ーザ露光装置。3. The laser exposure apparatus according to claim 1, wherein a plurality of said mirrors are provided, and said target is provided corresponding to at least two of said plurality of mirrors.
位置に応じた信号を出力する位置検出器で構成し、該位
置検出器からの出力信号に基づいて前記レーザ光の前記
位置検出器への照射位置を算出する演算手段と、該演算
手段で算出された前記レーザ光の照射位置を表示する表
示手段とをさらに設けた請求項1、2又は3記載のレー
ザ露光装置。4. The target is constituted by a position detector that outputs a signal corresponding to the irradiation position of the laser light, and the target of the laser light to the position detector is output based on an output signal from the position detector. 4. The laser exposure apparatus according to claim 1, further comprising a calculation unit for calculating an irradiation position, and a display unit for displaying the irradiation position of the laser beam calculated by the calculation unit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1992056875U JP2591496Y2 (en) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | Laser exposure equipment |
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JPH0613265U JPH0613265U (en) | 1994-02-18 |
JP2591496Y2 true JP2591496Y2 (en) | 1999-03-03 |
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JP (1) | JP2591496Y2 (en) |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP1992056875U patent/JP2591496Y2/en not_active Expired - Fee Related
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JPH0613265U (en) | 1994-02-18 |
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