JP2582720Y2 - NOx sensor - Google Patents

NOx sensor

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JP2582720Y2
JP2582720Y2 JP1991064812U JP6481291U JP2582720Y2 JP 2582720 Y2 JP2582720 Y2 JP 2582720Y2 JP 1991064812 U JP1991064812 U JP 1991064812U JP 6481291 U JP6481291 U JP 6481291U JP 2582720 Y2 JP2582720 Y2 JP 2582720Y2
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nox
heater
exhaust gas
adsorption layer
adsorbing
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修 坂本
正 上村
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Isuzu Motors Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案はディーゼルエンジン等の
内燃機関の排気ガス中のNOx(窒素酸化物)濃度を検
出するためのNOxセンサに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a NOx sensor for detecting NOx (nitrogen oxide) concentration in exhaust gas of an internal combustion engine such as a diesel engine.

【0002】[0002]

【従来の技術】ディーゼルエンジン等の内燃機関の排気
ガス中には光化学スモッグ等の環境汚染を誘発するNO
x(窒素酸化物)が含まれているため、これを正確に検
出して排気ガス中のNOxをオンライン的にコントロー
ルするNOxセンサが望まれている。
2. Description of the Related Art In exhaust gas of an internal combustion engine such as a diesel engine, NO which induces environmental pollution such as photochemical smog is included.
Since x (nitrogen oxide) is contained, a NOx sensor that accurately detects this and controls NOx in exhaust gas online is desired.

【0003】従来、文献などで提案されているNOxセ
ンサの基本構造は図10に示すように、排気ガスの流路
内に設けられたセラミック基板aに、NOxを吸着する
銅フタロシアンからなる吸着層bを設け、さらに、この
吸着層bの両端に、金蒸着した電極cを設けたものであ
る。すなわち、この吸着層bに排気ガス中のNOx分子
が付着するとNOx分子と銅フタロシアン等からなる吸
着層bとの間で電子の授受が行われて、電子濃度が変化
することにより、吸着層bの電気抵抗が変化するため、
これを検出器dで検出することによって排気ガス中のN
Ox濃度を測定しようとするものである。
[0003] Conventionally, the basic structure of a NOx sensor proposed in literatures or the like is, as shown in FIG. 10 , an adsorbent made of copper phthalocyanine for adsorbing NOx on a ceramic substrate a provided in a flow path of exhaust gas. A layer b is provided, and further, gold-deposited electrodes c are provided at both ends of the adsorption layer b. That is, when NOx molecules in the exhaust gas adhere to the adsorbing layer b, electrons are exchanged between the NOx molecules and the adsorbing layer b made of copper phthalocyanine or the like, and the electron concentration changes. Since the electrical resistance of b changes,
By detecting this with the detector d , the N in the exhaust gas is reduced .
Ox concentration is to be measured .

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たNOxセンサの吸着層bは一旦、NOx分子を吸着し
てしまうと脱NOxし難いため、2度目以降の測定が不
可能であった。また、上述したように、このNOxセン
サは排気ガスの流路内といった限られたスペース内に設
けられることになるが、上記吸着層bはフラットな面状
であるため、その反応接触面積が小さいものであった、
従って、NOx吸着率が低くなり、発生出力が少なくて
精度が悪い欠点があり、実際の使用には問題があった。
However, once the adsorbing layer b of the above-mentioned NOx sensor has adsorbed NOx molecules, it is difficult to remove NOx, so that measurement after the second time is impossible. Further, as described above, this NOx sensor is provided in a limited space such as in the flow path of the exhaust gas. However, since the adsorbing layer b has a flat surface, its reaction contact area is small. Was a thing,
Therefore, the NOx adsorption rate is low, the output is small, and the accuracy is poor. Therefore, there is a problem in actual use.

【0005】そこで本考案は上述した問題点を有効に解
決するために案出されたものであり、その目的はNOx
分子の吸着率を向上させてNOx濃度測定精度を高める
ことができると共に、繰り返し再利用することができる
新規なNOxセンサを提供するものである。
Accordingly, the present invention has been devised in order to effectively solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to provide NOx.
Improve NOx concentration measurement accuracy by improving molecule adsorption rate
And a novel NOx sensor that can be reused repeatedly .

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の第一の考案は、ディーゼルエンジン排気ガスの流路
内に設けられ、排気ガス中のNOx(窒素酸化物)濃度
を検出するためのNOxセンサにおいて、ヒータ線を埋
め込んだ面状ヒータを形成すると共に、該面状ヒータ表
面に、複数の凹凸或いは複数の孔部が形成された絶縁基
又は多孔質基板を設け、該絶縁基板又は多孔質基板
面に、上記排気ガス中のNOxを吸着するための銅フタ
ロシアニン又はニッケルフタロシアンをコーティングし
て吸着層を形成したものであり、第二の考案は、ディー
ゼルエンジン排気ガスの流路内に設けられ、排気ガス
中のNOx(窒素酸化物)濃度を検出するためのNOx
センサにおいて、ヒータ線を埋め込んだ断面星形の棒状
ヒータを形成すると共に、該棒状ヒータの表面に、上記
排気ガス中のNOxを吸着するための銅フタロシアニン
又はニッケルフタロシアンをコーティングして吸着層を
形成したものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, a first invention is provided in a flow path of exhaust gas of a diesel engine to detect the concentration of NOx (nitrogen oxide) in the exhaust gas. in NOx sensor, so as to form a plane heater with embedded heating wire, the said surface shaped heater surface, a plurality of irregularities or a plurality of insulating substrates or porous substrate hole portion is formed, the insulating substrate or A porous substrate surface is coated with copper phthalocyanine or nickel phthalocyanine for adsorbing NOx in the exhaust gas to form an adsorption layer, and the second invention is a diesel engine . NOx for detecting NOx (nitrogen oxide) concentration in the exhaust gas, which is provided in the exhaust gas flow path
In the sensor, a copper phthalocyanine for adsorbing NOx in the exhaust gas is formed on a surface of the rod-shaped heater having a star-shaped cross section in which a heater wire is embedded.
Alternatively, an adsorption layer is formed by coating nickel phthalocyanine .

【0007】[0007]

【作用】本考案は上述したように構成したことから、排
気ガス中のNOxを吸着するための吸着層の表面積が増
加することによって、その反応接触面積が増加してNO
xの吸着率が向上することになる。また、この吸着層
は、絶縁基板又は多孔質基板を介して面状ヒータ上に、
または断面星形をした棒状ヒータの表面に設けられてい
るため、これらヒータによって加熱されることで吸着し
たNOx分子が効果的に除去され、この結果、NOxの
測定を繰り返し何度も行うことが可能となる。
Since the present invention is constructed as described above, the surface area of the adsorption layer for adsorbing NOx in the exhaust gas is increased , so that the reaction contact area is increased and the NOx is reduced.
The x adsorption rate is improved. Also, this adsorption layer
Is on a planar heater via an insulating substrate or a porous substrate,
Or it is provided on the surface of a rod-shaped heater with a star-shaped cross section.
Therefore, if heated by these heaters,
NOx molecules are effectively removed, resulting in NOx
The measurement can be repeated many times.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本考案の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0009】図1及び図2は第一の考案であるNOxセ
ンサ1の第一の実施例を示したものである。このNOx
センサ1はディーゼルエンジン等の内燃機関の排気ガス
の流路内に設けられ、排気ガス中のNOx(窒素酸化
物)濃度を検出するためのものであり、図示するよう
に、ヒータ線9aを埋め込んだセラミックの面状ヒー
タ2の片面或いは両面に絶縁基板3を設けると共に、こ
の絶縁基板3の表面に複数の孔部5が穿設された多孔質
基板4を設け、さらにこの多孔質基板4の表面に吸着層
6を形成した構造となっている。
FIGS. 1 and 2 show a first embodiment of the NOx sensor 1 according to the first invention. This NOx
The sensor 1 is provided in a flow path of exhaust gas of an internal combustion engine such as a diesel engine and detects the concentration of NOx (nitrogen oxide) in the exhaust gas. As shown in FIG. An insulating substrate 3 is provided on one or both sides of a planar heater 2 made of ceramics, and a porous substrate 4 having a plurality of holes 5 is provided on the surface of the insulating substrate 3. Has an adsorption layer 6 formed on the surface thereof.

【0010】この吸着層6は排気ガス中のNOxを吸着
するものであり、多孔質基板4の表面に銅フタロシアニ
ンやニッケルフタロシニアン等の排気ガス中のNOxを
吸着する物質を蒸着法などによってコーティングしたも
のである。そして、その表面積は多孔質基板4の大きさ
に対して、大きくなっている。また、図2に示すよう
に、この吸着層6の両端部には電極7が接続されてお
り、吸着層6の電気抵抗を検出部8で測定して、排気ガ
ス中のNOx濃度を検出している。
This adsorbing layer 6 is for adsorbing NOx in the exhaust gas, and a material such as copper phthalocyanine or nickel phthalocyanine, which adsorbs NOx in the exhaust gas, is deposited on the surface of the porous substrate 4 by a vapor deposition method or the like. It is coated. The surface area is larger than the size of the porous substrate 4. As shown in FIG. 2, electrodes 7 are connected to both ends of the adsorbing layer 6, and the electric resistance of the adsorbing layer 6 is measured by the detecting unit 8 to detect the NOx concentration in the exhaust gas. ing.

【0011】また、面状ヒータ2のヒータ線9aにはヒ
ータ電源9が接続されており、絶縁基板3及び多孔質基
板4を400℃以上に加熱して、多孔質基板4の吸着層
6に吸着したNOxを除去して、これを再生している。
A heater power supply 9 is connected to the heater wire 9a of the planar heater 2, and heats the insulating substrate 3 and the porous substrate 4 to 400 ° C. or higher to apply the heat to the adsorbing layer 6 of the porous substrate 4. The adsorbed NOx is removed and regenerated.

【0012】以上において、この吸着層6に排気ガス中
のNOx分子が付着するとNOx分子と、銅フタロシア
ン等からなる吸着層6との間で電子の授受が行われて、
電子濃度が変化することにより、吸着層6の電気抵抗が
変化し、これを検出部8によって検出し、排気ガス中の
NOx濃度を測定する。そして、測定が終えるとヒータ
電源9から通電されたヒータ線9aによって面状ヒータ
2を加熱し、これによって絶縁基板3及び多孔質基板4
を400℃以上に加熱すると多孔質基板4の吸着層6に
吸着したNOxが除去され、吸着層6が再生されること
になる。
In the above, when NOx molecules in the exhaust gas adhere to the adsorption layer 6, electrons are exchanged between the NOx molecules and the adsorption layer 6 made of copper phthalocyanine or the like.
When the electron concentration changes, the electric resistance of the adsorption layer 6 changes. This is detected by the detection unit 8, and the NOx concentration in the exhaust gas is measured. Then, when the measurement is completed, the planar heater 2 is heated by the heater wire 9a energized from the heater power supply 9, whereby the insulating substrate 3 and the porous substrate 4 are heated.
Is heated to 400 ° C. or higher, NOx adsorbed on the adsorption layer 6 of the porous substrate 4 is removed, and the adsorption layer 6 is regenerated.

【0013】すなわち、本実施例では多数の孔部5が穿
設された多孔質基板4に吸着層6を形成したことによ
り、多孔質基板4に大きさに比較して、吸着層6の表面
積を極めて大きくすることが可能となるため、NOxと
吸着層6との反応接触面積が増加して吸着層6へのNO
xの吸着率が向上し、正確なNOx濃度測定が可能とな
る。また、面状ヒータ2の加熱によって吸着層6が再生
されるため、繰り返し再利用することが可能となる。
That is, in this embodiment, since the adsorption layer 6 is formed on the porous substrate 4 in which many holes 5 are formed, the surface area of the adsorption layer 6 is smaller than the size of the porous substrate 4. Can be made extremely large, so that the reaction contact area between NOx and the adsorption layer 6 increases, and NO
The x adsorption rate is improved, and accurate NOx concentration measurement is possible. Further, the adsorption layer 6 is regenerated by heating the planar heater 2.
Therefore, it can be reused repeatedly.

【0014】尚、本実施例では、平板状の絶縁基板3を
介して多孔質基板4表面に吸着層6を形成した場合で説
明したが、この絶縁基板3自体が複数の凹凸或いは複数
の孔部を有してその表面積が増大していれば、その絶縁
基板3の表面に直接吸着層6を形成したり、又は図3に
示すようにこの絶縁基板3を省略した構造としても良
い。
In this embodiment, a flat insulating substrate 3 is used.
In the case where the adsorption layer 6 is formed on the surface of the porous substrate 4 through the
As described above, the insulating substrate 3 itself has a plurality of irregularities or a plurality of irregularities.
If the surface area is increased by having a hole of
The adsorption layer 6 is formed directly on the surface of the substrate 3 or as shown in FIG.
As shown, the structure may be such that the insulating substrate 3 is omitted .

【0015】次に、図4は本考案第二の実施例を示し
たものである。図示するように、このNOxセンサ1a
はヒータ線9aを埋め込んだ面状ヒータ2の片面或いは
両面に、表面が波形に形成された絶縁基板3aを設ける
と共に、この絶縁基板3aの表面に銅フタロシアンやニ
ッケルフタロシニアン等をコーティングして吸着層6a
を形成したものである。また、この吸着層6aには上記
の実施例と同様に電極7が接続されており、吸着層6a
の電気抵抗を検出部8で測定して、排気ガス中のNOx
濃度を検出している。また、面状ヒータ2のヒータ線9
aにも同様にヒータ電源9が接続されており、絶縁基板
3aを400℃以上に加熱して、絶縁基板3aの吸着層
6に吸着したNOxを除去して、これを再生している。
FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention. As shown, the NOx sensor 1a
Is provided on one or both sides of the planar heater 2 in which the heater wire 9a is embedded, an insulating substrate 3a having a corrugated surface, and the surface of the insulating substrate 3a is coated with copper phthalocyanine, nickel phthalocyanine, or the like. Adsorption layer 6a
Is formed. An electrode 7 is connected to the adsorbing layer 6a in the same manner as in the above embodiment.
Of the NOx in the exhaust gas
The concentration has been detected. Also, the heater wire 9 of the planar heater 2
Similarly, a heater power supply 9 is connected to a, and the insulating substrate 3a is heated to 400 ° C. or higher to remove NOx adsorbed on the adsorbing layer 6 of the insulating substrate 3a, and is regenerated.

【0016】すなわち、本実施例は絶縁基板3aの表面
を波形に形成することで、上記の実施例と同様に吸着層
6の表面積を増加させて、単位素子面積当たりの反応面
積を大きくとることにより、吸着層6へのNOxの吸着
率を向上させたものである。次に、図5は第一の考案で
あるNOxセンサ1bの第三の実施例を示したものであ
る。図示するように、このNOxセンサ1bはヒータ線
9aを埋め込んだ面状ヒータ2の片面或いは両面に複数
の凸部10を形成し、これら表面に銅フタロシアニンや
ニッケルフタロシニアン等の排気ガス中のNOxを吸着
する物質を蒸着法などによってコーティングして吸着層
6bを形成したものである。そして、上記実施例と同様
に面状ヒータ2のヒータ線9aにヒータ電源9を接続す
ると共に、吸着層6bの両端部に検出部8を接続したも
のである。
That is, in the present embodiment, the surface of the insulating substrate 3a is formed into a corrugated shape, so that the surface area of the adsorption layer 6 is increased and the reaction area per unit element area is increased as in the above embodiment. Thus, the adsorption rate of NOx to the adsorption layer 6 is improved. Next, FIG. 5 shows a third embodiment of the NOx sensor 1b according to the first invention. As shown in the figure, the NOx sensor 1b has a plurality of convex portions 10 formed on one or both surfaces of a planar heater 2 in which a heater wire 9a is embedded. A substance that adsorbs NOx is coated by a vapor deposition method or the like to form an adsorption layer 6b. As in the above embodiment, the heater power supply 9 is connected to the heater wire 9a of the planar heater 2, and the detectors 8 are connected to both ends of the adsorption layer 6b.

【0017】本実施例ではこの複数の凸部10が吸着層
6bの表面積を増大させることになり、上記の実施例と
同様に、単位素子面積当たりの反応面積を大きくとるこ
とが可能となって、吸着層6bへのNOxの吸着率を向
上させることができる。
In this embodiment, the plurality of projections 10 increase the surface area of the adsorbing layer 6b, so that the reaction area per unit element area can be increased similarly to the above embodiment. In addition, the adsorption rate of NOx to the adsorption layer 6b can be improved.

【0018】次に、図6は第二の考案であるNOxセン
サ1cの一実施例を示したものである。図示するよう
に、このNOxセンサ1cはヒータ線9aを埋め込んだ
断面星形の棒状ヒータ2aの表面に、上記排気ガス中の
NOxを吸着するための銅フタロシアニンやニッケルフ
タロシアニン等をコーティングして吸着層6cを形成し
たものである。そして、上記実施例と同様にこの棒状ヒ
ータ2aのヒータ線9aにヒータ電源9を接続すると共
に、吸着層6bの両端部に検出部8を接続したものであ
る。
Next, FIG. 6 shows an embodiment of the NOx sensor 1c according to the second invention. As shown in the figure, the NOx sensor 1c is formed by coating the surface of a bar-shaped heater 2a having a star-shaped cross section in which a heater wire 9a is embedded with copper phthalocyanine or nickel phthalocyanine for adsorbing NOx in the exhaust gas. 6c. As in the above embodiment, the heater power supply 9 is connected to the heater wire 9a of the rod-shaped heater 2a, and the detection units 8 are connected to both ends of the adsorption layer 6b.

【0019】このように、本実施例ではヒータ部を断面
星形の棒状に形成することで、吸着層6cの表面積を大
きくとることが可能となり、上記実施例と同様な効果が
得られるといった他に、排気流路(図示せず)を流れる
排気ガスの圧力損失を少なくするといった新たな効果が
得られる。また、このNOxセンサ1cによる検出精度
を向上させるためには、図7に示すように、これら棒状
のNOxセンサ1cを複数、平行に配列し、これらを架
け渡すように、その両端部に電極7aを設け、この電極
7aにヒータ電源9を接続すると共に、吸着層6bの両
端部に検出部8を接続したものでも良い。
As described above, in this embodiment, by forming the heater portion in a bar shape having a star-shaped cross section, it is possible to increase the surface area of the adsorption layer 6c, and the same effect as that of the above embodiment can be obtained. Furthermore, a new effect of reducing the pressure loss of the exhaust gas flowing through the exhaust passage (not shown) can be obtained. In order to improve the detection accuracy of the NOx sensor 1c, as shown in FIG. 7, a plurality of these rod-shaped NOx sensors 1c are arranged in parallel, and electrodes 7a are provided at both ends thereof so as to bridge them. The heater 7 may be connected to the electrode 7a, and the detectors 8 may be connected to both ends of the adsorption layer 6b.

【0020】尚、本実施例ではヒータ部を断面星型の棒
状体としたが、これに限定されず、棒状体の側部に、上
述したNOxセンサ1〜1bのように複数の凹凸部を形
成したり、波形状に形成してその表面積を増大させるこ
とによって上記と同様の効果を得ることができる。
In this embodiment, the heater portion is a bar having a star-shaped cross section. However, the present invention is not limited to this. A plurality of concave and convex portions such as the above-described NOx sensors 1 to 1b are provided on the side of the bar. The same effect as described above can be obtained by forming or forming a wave shape to increase the surface area.

【0021】[0021]

【0022】[0022]

【0023】[0023]

【0024】図8及び図9は上記各実施例で使用する面
状ヒータ及び棒状ヒータ2aの製造方法の一実施例を示
したものである。先ず、図8で示す製造方法は面状ヒー
タ2及び棒状ヒータ2aを構成するセラミック等の絶縁
性物質を粉体化し、この絶縁粉体12をヒータ線9aを
囲繞するように配置した後、プラズマ焼結法やホットプ
レス法等によって焼結し、所定の形状に固化成形したも
のである。一方、図9で示す製造方法はヒータ線9aを
構成するようなNi−Cr、W等の物質を粉体化し、こ
のヒータ粉体13を連続的に配置し、この周囲に面状ヒ
ータ2及び棒状ヒータ2aを構成する絶縁性物質を粉体
化した絶縁粉体12を囲繞するように配置した後、上述
と同様にプラズマ焼結法やホットプレス法等によって焼
結して所定の形状に固化成形し、このヒータ2cの両端
部にヒータ線9a及びヒータ電源9を接続したものであ
る。
FIGS. 8 and 9 show one embodiment of a method of manufacturing the sheet heater and the bar heater 2a used in each of the above embodiments. First, according to the manufacturing method shown in FIG. 8, an insulating material such as ceramic constituting the planar heater 2 and the rod-shaped heater 2a is powdered, and the insulating powder 12 is arranged so as to surround the heater wire 9a. It is obtained by sintering by a sintering method, a hot pressing method, or the like, and solidifying and forming into a predetermined shape. On the other hand, the manufacturing method shown in FIG. 9 powders a substance such as Ni—Cr or W that forms the heater wire 9a, continuously arranges the heater powder 13, and surrounds the sheet heater 2 and the After arranging it so as to surround the insulating powder 12 made of an insulating material constituting the rod-shaped heater 2a, it is sintered by a plasma sintering method or a hot press method and solidified into a predetermined shape as described above. A heater wire 9a and a heater power supply 9 are connected to both ends of the heater 2c.

【0025】このように、面状ヒ−タ2及び棒状ヒータ
2aを構成する絶縁性物質、及びヒータを構成する物質
を粉体化することで、所望の形状のヒ−タを容易に製造
することができる。
As described above, the insulating material constituting the sheet heater 2 and the rod-shaped heater 2a and the material constituting the heater are powdered, whereby a heater having a desired shape can be easily manufactured. be able to.

【0026】[0026]

【考案の効果】以上要するに本考案によれば、吸着層の
単位面積当たりの反応接触面積が増加することにより、
NOxの吸着率が向上するため、NOx濃度の検出精度
が向上すると共に、ヒータの加熱によって吸着層が効果
的に再生されるため、繰り返し再利用することが可能と
なる等といった優れた効果を発揮する。
[Effects of the Invention] In short , according to the present invention, the adsorption layer
By increasing the reaction contact area per unit area,
NOx adsorption rate is improved, so NOx concentration detection accuracy
And the adsorption layer is effective by heating the heater.
That can be reused repeatedly.
It has excellent effects such as becoming.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第一の考案の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the first invention.

【図2】第一の考案の一実施例を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of the first invention.

【図3】第一の考案の変形実施例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a modified embodiment of the first invention.

【図4】第一の考案の第二実施例を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a second embodiment of the first invention.

【図5】第一の考案の第三実施例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a third embodiment of the first invention.

【図6】第二の考案の一実施例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an embodiment of the second invention.

【図7】第二の考案の他の一実施例を示す斜視図であ
る。
FIG. 7 is a perspective view showing another embodiment of the second invention.

【図8】ヒータの製造方法の一実施例を示す説明図であ
る。
FIG. 8 is an explanatory view showing one embodiment of a method for manufacturing a heater.
You.

【図9】ヒータの製造方法の他の一実施例を示す説明図
である。
FIG. 9 is an explanatory view showing another embodiment of the method for manufacturing a heater.
It is.

【図10】従来のNOxセンサの基本構造を示す概略図
である。
FIG. 10 is a schematic diagram showing a basic structure of a conventional NOx sensor.
It is.

【符号の説明】 1、1a,1b、1c、1d NOxセンサ 2 面状ヒータ 2a 棒状ヒータ 3、3a 絶縁基板 5 孔部 6、6a,6b、6c、6d 吸着層 9a ヒータ線 10 凸部 11 吸着粉体[Description of Symbols] 1, 1a, 1b, 1c, 1d NOx sensor 2 Planar heater 2a Bar heater 3, 3a Insulating substrate 5 Hole 6, 6, 6a, 6b, 6c, 6d Adsorption layer 9a Heater wire 10 Convex portion 11 Adsorption powder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−193051(JP,A) 特開 平1−148953(JP,A) 特開 平1−206252(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 27/12────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-2-193051 (JP, A) JP-A-1-148953 (JP, A) JP-A-1-206252 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 6 , DB name) G01N 27/12

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 ディーゼルエンジン排気ガスの流路内
に設けられ、排気ガス中のNOx(窒素酸化物)濃度を
検出するためのNOxセンサにおいて、ヒータ線を埋め
込んだ面状ヒータを形成すると共に、該面状ヒータ表面
に、複数の凹凸或いは複数の孔部が形成された絶縁基板
又は多孔質基板を設け、該絶縁基板又は多孔質基板表面
に、上記排気ガス中のNOxを吸着するための銅フタロ
シアニン又はニッケルフタロシアンをコーティングして
吸着層を形成したことを特徴とするNOxセンサ。
1. A NOx sensor provided in a flow path of an exhaust gas of a diesel engine for detecting a NOx (nitrogen oxide) concentration in the exhaust gas, wherein a planar heater having a heater wire embedded therein is formed. An insulating substrate having a plurality of irregularities or a plurality of holes formed on the surface of the planar heater
Alternatively , a NOx sensor comprising a porous substrate , and an adsorption layer formed by coating copper phthalocyanine or nickel phthalocyanine for adsorbing NOx in the exhaust gas on the surface of the insulating substrate or the porous substrate. .
【請求項2】 ディーゼルエンジン排気ガスの流路内
に設けられ、排気ガス中のNOx(窒素酸化物)濃度を
検出するためのNOxセンサにおいて、ヒータ線を埋め
込んだ断面星形の棒状ヒータを形成すると共に、該棒状
ヒータの表面に、上記排気ガス中のNOxを吸着するた
めの銅フタロシアニン又はニッケルフタロシアンをコー
ティングして吸着層を形成したことを特徴とするNOx
センサ。
2. A NOx sensor provided in a flow path of an exhaust gas of a diesel engine and detecting a NOx (nitrogen oxide) concentration in the exhaust gas. NOx formed by coating the surface of the rod-shaped heater with copper phthalocyanine or nickel phthalocyanine for adsorbing NOx in the exhaust gas.
Sensor.
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