JP2578779B2 - Method for measuring transistor characteristics - Google Patents

Method for measuring transistor characteristics

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JP2578779B2 JP61233523A JP23352386A JP2578779B2 JP 2578779 B2 JP2578779 B2 JP 2578779B2 JP 61233523 A JP61233523 A JP 61233523A JP 23352386 A JP23352386 A JP 23352386A JP 2578779 B2 JP2578779 B2 JP 2578779B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はストリップ線路型の固定治具を用いたトラン
ジスタ特性の測定方法に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for measuring transistor characteristics using a strip line type fixing jig.

従来の技術 FET等のトランジスタの高周波特性(Sパラメータや
雑音指数)を測定するにはトランジスタをまずトランジ
スタ固定装置に実装し、そのトランジスタ固定装置の入
出力に同調回路やバイアス供給回路を接続する方法が一
般的であった。そして、トランジスタ固定装置,同調回
路,バイアス供給回路はそれぞれ独立した装置であり、
それらの装置を接続してトランジスタの高周波特性を測
定していた。しかも、それらの装置は同軸線路型である
ことがほとんどであるためトランジスタ固定装置も同軸
線路型が一般的であった。
Conventional technology To measure the high-frequency characteristics (S parameter and noise figure) of a transistor such as a FET, first mount the transistor on a transistor fixing device, and connect a tuning circuit or bias supply circuit to the input / output of the transistor fixing device. Was common. The transistor fixing device, tuning circuit, and bias supply circuit are independent devices, respectively.
These devices were connected to measure the high frequency characteristics of the transistor. In addition, since these devices are mostly of the coaxial line type, the transistor fixing devices are also generally of the coaxial line type.

第5図に従来の同軸線路型トランジスタ固定装置の一
部分を示す。1はトランジスタ、2,3はそれぞれトラン
ジスタ1の入出力端子,接地端子である。4は同軸線路
の中心導体で中心導体4にはスリット5が設けられてお
り、このスリット5内に入出力端子2を入れて、入出力
端子2の位置決めを行なっている。6は同軸線路の外導
体で外導体6はトランジスタ1の実装部分では狭くなっ
ており、そしてその狭くなった部分には接地端子3を固
定するための浅い溝7が設けてある。そして、外導体6
と同形の別の外導体(図示せず)を外導体6と一体化す
ることによりトランジスタ1は外導体内に実装・固定さ
れる。
FIG. 5 shows a part of a conventional coaxial line type transistor fixing device. Reference numeral 1 denotes a transistor, and reference numerals 2 and 3 denote input / output terminals and a ground terminal of the transistor 1, respectively. Reference numeral 4 denotes a central conductor of the coaxial line, and a slit 5 is provided in the central conductor 4. The input / output terminal 2 is inserted into the slit 5 to position the input / output terminal 2. Numeral 6 denotes an outer conductor of the coaxial line. The outer conductor 6 is narrow at a portion where the transistor 1 is mounted, and a shallow groove 7 for fixing the ground terminal 3 is provided at the narrow portion. And the outer conductor 6
By integrating another outer conductor (not shown) having the same shape with the outer conductor 6, the transistor 1 is mounted and fixed in the outer conductor.

第6図は従来の同軸線路型トランジスタ固定装置を用
いてトランジスタの高周波特性を測定するブロック図で
ある。第6図において8は同軸線路型トランジスタ固定
装置、9は同調回路、10はバイアス供給回路であり、同
軸線路型トランジスタ固定装置8と同調回路9の接続、
および同調回路9とバイアス供給回路10の接続は同軸コ
ネクタで接続される。そして、同調回路9によりトラン
ジスタの入出力整合回路を同調して高周波特性を測定す
る。
FIG. 6 is a block diagram for measuring high-frequency characteristics of a transistor using a conventional coaxial line type transistor fixing device. In FIG. 6, 8 is a coaxial line type transistor fixing device, 9 is a tuning circuit, 10 is a bias supply circuit, and is a connection between the coaxial line type transistor fixing device 8 and the tuning circuit 9;
The connection between the tuning circuit 9 and the bias supply circuit 10 is connected by a coaxial connector. Then, the tuning circuit 9 tunes the input / output matching circuit of the transistor to measure the high frequency characteristics.

発明が解決しようとする問題点 以上のような従来の同軸線路型トランジスタ固定装
置、および、その同軸線路型トランジスタ固定装置を用
いたトランジスタの高周波特性測定方法では次のような
問題点があった。
Problems to be Solved by the Invention The conventional coaxial line type transistor fixing device as described above and the method for measuring high frequency characteristics of a transistor using the coaxial line type transistor fixing device have the following problems.

まず同軸線路型トランジスタ固定装置では、トランジ
スタ1の接地端子3による寄生インダクタンスを小さく
するため、外部導体6の形状をトランジスタ1のパッケ
ージ形状に合わせ、トランジスタ1と外部導体6間に生
じる間隙を小さくする必要がある。従って、パッケージ
形状の異なるトランジスタに対しては外部導体の形状の
異なるものが必要となり、そのために、パッケージごと
に外導体の異なるトランジスタ固定装置が必要になると
いう欠点があった。また、同じパッケージ形状のトラン
ジスタであっても、接地端子3の幅が溝7の幅より狭い
ものに対しては、トランジスタ1の位置固定を再現性よ
く行なえない、接地端子3の幅が溝7の幅より広いもの
に対してはトランジスタ1を実装できなくなるなどの欠
点があった。更に、中心導体4は平面状でなく、円柱状
であるため、トランジスタ1の入出力端子2を中心導体
4に固着させるには、中心導体4の形状を部分的に平面
状にする必要があり、そのために中心導体4を加工する
など構成が複雑になったり、中心導体4を空間で堅固に
支持しておくために、その支持方法に特別の工夫がいる
など構造的に複雑になるという欠点があった。
First, in the coaxial line type transistor fixing device, in order to reduce the parasitic inductance due to the ground terminal 3 of the transistor 1, the shape of the external conductor 6 is adjusted to the package shape of the transistor 1, and the gap generated between the transistor 1 and the external conductor 6 is reduced. There is a need. Therefore, transistors having different outer conductor shapes are required for transistors having different package shapes, and therefore, there is a disadvantage that a transistor fixing device having a different outer conductor is required for each package. Further, even if the transistors have the same package shape, if the width of the ground terminal 3 is smaller than the width of the groove 7, the position of the transistor 1 cannot be fixed with good reproducibility. There is a drawback that the transistor 1 cannot be mounted on a transistor having a width larger than the width. Furthermore, since the center conductor 4 is not flat but cylindrical, the shape of the center conductor 4 must be partially flat to fix the input / output terminal 2 of the transistor 1 to the center conductor 4. However, for this reason, the structure becomes complicated, for example, by processing the center conductor 4, or the structure becomes complicated, for example, there is a special contrivance in the supporting method for firmly supporting the center conductor 4 in space. was there.

次に、第6図に示すように同軸線路型トランジスタ固
定装置8を用いた高周波特性測定方法では、同調手段や
バイアス供給手段として同軸コネクタ付きの同調回路9
やバイアス供給回路10を使用するため、測定系が大きく
なる、測定系の損失が大きいため測定精度が低下する、
同調回路9とトランジスタとの距離が離れるので同調の
周波数特性が狭帯域となり同調がとりにくくなるなどで
測定時間がかかる、トランジスタが実際に使用される実
装回路では誘電体基板上のストリップ線路による平面回
路であるのに対して測定系は同軸線路による回路である
ため測定系による特性結果が実際の回路への実装時の特
性結果と必ずしも一致しないという問題点をかかえてい
た。
Next, as shown in FIG. 6, in the high-frequency characteristic measuring method using the coaxial line type transistor fixing device 8, a tuning circuit 9 having a coaxial connector as tuning means or bias supply means is used.
And the use of the bias supply circuit 10, the measurement system becomes large, the loss of the measurement system is large, and the measurement accuracy decreases
Since the distance between the tuning circuit 9 and the transistor is large, the frequency characteristic of the tuning becomes narrow and the tuning becomes difficult. For this reason, it takes a long measurement time. In contrast to the circuit, the measurement system is a circuit using a coaxial line, so that the characteristic result of the measurement system does not always coincide with the characteristic result when mounted on an actual circuit.

本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、トランジ
スタのパッケージおよびパッケージ端子の形状に対して
柔軟に対応でるトランジスタ固定装置を提供することを
目的とする。
The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a transistor fixing device that can flexibly respond to the shapes of a package and a package terminal of a transistor.

問題点を解決するための手段 本発明は接地導体板上に配置された誘電体基板と、こ
の誘電体基板上に形成されたストリップ線路と、前記接
地導体板上に設けられた端子接地導体と、前記誘電体基
板上に配置された遮へい板と、この遮へい板に取り付け
られ、かつ、トランジスタの入出力端子を前記ストリッ
プ線路上に圧着する誘電体棒と、前記遮へい板に固着さ
れ、かつ、前記トランジスタの接地端子を前記端子接地
導体上に圧着する接地端子圧着部と、前記トランジスタ
の前記接地端子の先端側に設けられ、前記接地端子を位
置決めする接地端子位置決め部品と、前記遮へい板およ
び前記接地導体板の両方に対して垂直方向に設けられた
ピン穴にかん合するガイドピンを有し、前記トランジス
タの入出力整合回路を前記誘電体基板上に設けるととも
に、前記入出力整合回路の形状を前記トランジスタの実
装回路と同一形状あるいはほぼ同一形状にしたことを特
徴とするトランジスタ固定装置を用いて、前記トランジ
スタの特性を測定するトランジスタ特性の測定方法であ
る。
Means for Solving the Problems The present invention relates to a dielectric substrate disposed on a ground conductor plate, a strip line formed on the dielectric substrate, and a terminal ground conductor provided on the ground conductor plate. A shield plate disposed on the dielectric substrate, a dielectric bar attached to the shield plate, and pressing the input / output terminal of the transistor onto the strip line, and fixed to the shield plate, and A ground terminal crimping part for crimping the ground terminal of the transistor onto the terminal ground conductor; a ground terminal positioning component provided on the tip side of the ground terminal of the transistor for positioning the ground terminal; the shielding plate and the shielding plate; A guide pin that is fitted in a pin hole provided in a direction perpendicular to both of the ground conductor plates, and an input / output matching circuit of the transistor is provided on the dielectric substrate. And a transistor characteristic measuring method for measuring the characteristics of the transistor by using a transistor fixing device, wherein the shape of the input / output matching circuit is made the same or almost the same as the mounting circuit of the transistor. is there.

作用 本発明は上記した構成により、トランジスタを平面状
の誘電体基板上に固定できるため、パッケージ形状に対
して柔軟に対応できるだけでなく、同じ誘電体基板上に
同調回路やバイアス供給回路を形成できるので測定系を
小さくできる。更に、同調回路を実装回路と同じにする
ことにより、実装時の特性を測定系により事前に評価で
きるだけでなく測定時間を大幅に短縮できるものであ
る。更にまた、ガイドピンの存在によりトランジスタの
接地端子および入出力端子が接地端子圧着部および誘電
体棒により圧着される場所が正確に位置決めされるとと
もに圧着力の再現性も良くなるので、トランジスタ特性
の測定結果に信頼性とともに再現性が得られ、更には、
遮へい板を接地導体板に押さえつける圧力を加えるだけ
でトランジスタを固定できるためトランジスタを取り替
える作業が早くなりトランジスタの取り替え作業時間を
大幅に短縮できる。
According to the present invention, the transistor can be fixed on a planar dielectric substrate by the above-described configuration, so that not only can the package be flexibly adapted to the package shape, but also a tuning circuit and a bias supply circuit can be formed on the same dielectric substrate. Therefore, the measuring system can be made smaller. Furthermore, by making the tuning circuit the same as the mounting circuit, not only can the characteristics at the time of mounting be evaluated in advance by the measurement system, but also the measurement time can be greatly reduced. Furthermore, the presence of the guide pins accurately positions the ground terminal and the input / output terminal of the transistor to be crimped by the ground terminal crimping portion and the dielectric rod, and improves the reproducibility of the crimping force. The reproducibility as well as the reliability of the measurement results is obtained.
Since the transistor can be fixed only by applying pressure to press the shielding plate against the ground conductor plate, the work of replacing the transistor is quickened, and the time for replacing the transistor can be greatly reduced.

実 施 例 第1図,第2図は本発明のストリップ線路型のトラン
ジスタ固定装置の一実施例である。第1図,第2図にお
いて、11は接地導体板で、接地導体板11上には誘電体基
板12が配置されている。13は端子接地導体で、接地導体
板11から突起するように設けられており、その高さは誘
電体基板12の厚さにほぼ等しい。一方、誘電体基板12に
は溝穴12が設けられた端子接地導体13がこの溝穴14には
まるようになっている。トランジスタ15は、トランジス
タ15の接地端子16が端子接地導体13上に重なるように配
置されるが、17はトランジスタ15を位置決めするための
接地端子位置決め部品で、この位置決め部品17の先端に
は、接地端子16の幅より少し広くした溝18が設けられて
いる。接地端子位置決め部品17は、トランジスタ15の接
地端子16ならびに入出力端子19がストリップ線路20に対
して対称位置にくるようにするものであり、接地端子16
が位置決めできるような位置でネジ留めされている。21
は遮へい板で、遮へい板21のトランジスタ15に対向する
部分においては遮へい板21の高さは台座22により低くな
っている。この台座22上には接地端子16を接地端子導体
13に圧着させるための接地端子圧着部23と入出力端子19
をストリップ線路20に圧着させるための誘電体棒24が取
り付けられている。25はガイドピンで、ガイドピン25は
接地誘導体板11および遮へい板21に垂直に設けられたピ
ン穴26とかん合するように作られている。従って、第1
図(a),(b)のようにトランジスタ15を位置決め
し、その上から第1図(c)に示す遮へい板21をかぶ
せ、遮へい板21を接地導体板11に押えつけると、トラン
ジスタ15の接地端子16は接地導体板11に接地され、入出
力端子19はストリップ線路20に圧着されて、ストリップ
線路型のトランジスタ固定装置として機能する。
Embodiments FIGS. 1 and 2 show an embodiment of a strip line type transistor fixing device according to the present invention. In FIGS. 1 and 2, reference numeral 11 denotes a ground conductor plate, on which a dielectric substrate 12 is disposed. Reference numeral 13 denotes a terminal ground conductor, which is provided so as to protrude from the ground conductor plate 11, and has a height substantially equal to the thickness of the dielectric substrate 12. On the other hand, a terminal ground conductor 13 provided with a slot 12 is fitted in the slot 14 in the dielectric substrate 12. The transistor 15 is disposed so that the ground terminal 16 of the transistor 15 is overlapped on the terminal ground conductor 13, and 17 is a ground terminal positioning component for positioning the transistor 15. A groove 18 slightly wider than the width of the terminal 16 is provided. The ground terminal positioning component 17 is such that the ground terminal 16 and the input / output terminal 19 of the transistor 15 are located symmetrically with respect to the strip line 20.
Are screwed in such a position that they can be positioned. twenty one
Is a shielding plate, and the height of the shielding plate 21 is reduced by the pedestal 22 in a portion of the shielding plate 21 facing the transistor 15. On this pedestal 22, the ground terminal 16 is connected to the ground terminal conductor.
Ground terminal crimping part 23 for crimping to 13 and input / output terminal 19
A dielectric rod 24 for attaching the wire to the strip line 20 is attached. Reference numeral 25 denotes a guide pin, and the guide pin 25 is formed so as to be engaged with a pin hole 26 provided vertically to the grounding dielectric plate 11 and the shielding plate 21. Therefore, the first
When the transistor 15 is positioned as shown in FIGS. 1A and 1B, a shielding plate 21 shown in FIG. 1C is placed over the transistor 15 and the shielding plate 21 is pressed against the ground conductor plate 11, and the transistor 15 The ground terminal 16 is grounded to the ground conductor plate 11, and the input / output terminal 19 is crimped to the strip line 20 to function as a strip line type transistor fixing device.

上記第1図および第2図に示した実施例では、トラン
ジスタ15のパッケージ形状が多少変化しても、トランジ
スタ15の配置が妨害されることがないので、パッケージ
形状の変化に対して柔軟性がある。接地端子16の長さお
よび幅の変化に対しては接地端子位置決め部品17の長さ
寸法および位置決め部品17の先端にある溝18の溝幅を変
えるなど、接地端子位置決め部品17のみを取替えること
により対応できる。更に、ストリップ線路20は平坦であ
るので、トランジスタ15の入出力端子19の圧着には特別
に複雑な加工を必要としない簡単な構成でよい。また遮
へい板21のトランジスタ15に対向する部分に台座22を設
けて遮へい板21の高さを低くしているので、トランジス
タ15の入出力端子19近辺での電磁界の輻射が押えられ、
電気特性の良好なトランジスタ固定装置が得られる。更
にまた、遮へい板21および接地導体板11の両方に対して
垂直方向に設けられたピン穴26にかん合するガイドピン
25を有することにより、遮へい板21と接地導体板11との
位置関係が正確に決まることに加えて、接地導体板11に
遮へい板21を押さえつけるときに加わる力をガイドピン
25と平行にできる結果として、トランジスタ15の接地端
子16および入出力端子19が接地端子圧着部23および誘電
体棒24により圧着される場所が正確に位置決めされると
ともに圧着力の再現性も良くなるので、トランジスタ特
性の測定結果に信頼性とともに再現性が得られる。ま
た、かん合穴26とガイドピン25の存在により遮へい板21
を接地導体板11に押えつける圧力を加えるだけでトラン
ジスタ15を固定できるためトランジスタ15を取り替える
作業が早くなりトランジスタ15の取り替え作業時間を短
縮できる。
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, even if the package shape of the transistor 15 is slightly changed, the arrangement of the transistor 15 is not disturbed. is there. By changing the length and width of the grounding terminal 16 by changing the length of the grounding terminal positioning part 17 and the groove width of the groove 18 at the tip of the positioning part 17, only the grounding terminal positioning part 17 is replaced. Can respond. Further, since the strip line 20 is flat, a simple structure that does not require any special complicated processing for crimping the input / output terminal 19 of the transistor 15 is sufficient. Further, since the height of the shielding plate 21 is reduced by providing the pedestal 22 in a portion of the shielding plate 21 facing the transistor 15, radiation of an electromagnetic field near the input / output terminal 19 of the transistor 15 is suppressed,
A transistor fixing device having good electric characteristics can be obtained. Furthermore, a guide pin that fits into a pin hole 26 provided in a direction perpendicular to both the shield plate 21 and the ground conductor plate 11.
25, the positional relationship between the shield plate 21 and the ground conductor plate 11 is accurately determined, and the force applied when the shield plate 21 is pressed against the ground conductor plate 11
As a result, the place where the ground terminal 16 and the input / output terminal 19 of the transistor 15 are crimped by the ground terminal crimping part 23 and the dielectric rod 24 is accurately positioned, and the reproducibility of the crimping force is improved. Therefore, reproducibility as well as reliability can be obtained in the measurement results of the transistor characteristics. Also, the presence of the mating hole 26 and the guide pin 25 makes the shielding plate 21
Since the transistor 15 can be fixed only by applying pressure for pressing the transistor 15 to the ground conductor plate 11, the work of replacing the transistor 15 is quickened, and the work for replacing the transistor 15 can be shortened.

第3図は本発明のストリップ線路型のトランジスタ固
定装置の別の実施例で、遮へい板の構造に関するもので
あり、第1図(c)と同一箇所には同一番号を付して説
明する。第3図において、21は遮へい板、22は台座、23
は接地端子圧着部、24は誘電体棒である。誘電体棒24は
比誘電率が低く、誘電体損失が小さい弾性のある誘電体
材料、例えば四フッ化エチレン樹脂で作られている。ネ
ジ27により誘電棒24の台座22からの突出長を調整し、ト
ランジスタ15の入出力端子19のストリップ線路20への圧
着強度を調整できる。
FIG. 3 shows another embodiment of the strip line type transistor fixing device according to the present invention, which relates to the structure of a shielding plate. The same portions as those in FIG. 1 (c) are denoted by the same reference numerals. In FIG. 3, 21 is a shielding plate, 22 is a pedestal, 23
Is a ground terminal crimping part, and 24 is a dielectric rod. The dielectric rod 24 is made of an elastic dielectric material having a low relative dielectric constant and a small dielectric loss, for example, an ethylene tetrafluoride resin. The protrusion length of the dielectric rod 24 from the pedestal 22 is adjusted by the screw 27, and the pressure bonding strength of the input / output terminal 19 of the transistor 15 to the strip line 20 can be adjusted.

上記第3図に示した実施例では、入出力端子19のスト
リップ線路20への圧着を誘電体棒24の弾性を利用し、し
かもネジ27により圧着強度を自由に調整できるため、入
出力端子19とストリップ線路20間の接触抵抗を極めて少
なくできるとともに、圧着の再現性を確実にできるもの
である。
In the embodiment shown in FIG. 3, the compression of the input / output terminal 19 to the strip line 20 is performed by utilizing the elasticity of the dielectric rod 24 and the compression strength can be freely adjusted by the screw 27. The contact resistance between the wire and the strip line 20 can be extremely reduced, and the reproducibility of crimping can be ensured.

第4図は本発明のストリップ線路型のトランジスタ固
定装置の別の実施例で、同調回路およびバイアス供給回
路の構成に関するものであり、第2図と同一箇所には同
一番号を付して説明する。誘電体基板12上には低域通過
フィルタで形成されているバイアス供給回路28,トラン
ジスタ15の同調回路29,直流阻止回路30が設けられてい
る。14は溝穴で、端子接地導体13が、この溝穴14にはい
るようになってい。31は接地端子位置決め部品17を接地
導体板11にネジで固定するためのネジ穴である。通常、
溝穴14の幅はトランジスタ15のパッケージ寸法の大きさ
よりも狭く、接地端子16の幅よりも広くなるように選ん
である。その理由は、同調回路29がトランジスタ15に最
も近接して設けられた場合にも端子接地導体13に同調回
路29が接触しないようにするためである。
FIG. 4 shows another embodiment of the strip line type transistor fixing device according to the present invention, which relates to the configuration of a tuning circuit and a bias supply circuit, and the same parts as those in FIG. . On the dielectric substrate 12, a bias supply circuit 28 formed by a low-pass filter, a tuning circuit 29 for the transistor 15, and a DC blocking circuit 30 are provided. Reference numeral 14 denotes a slot, into which the terminal grounding conductor 13 enters. Reference numeral 31 denotes a screw hole for fixing the ground terminal positioning component 17 to the ground conductor plate 11 with a screw. Normal,
The width of the slot 14 is selected to be smaller than the size of the package of the transistor 15 and larger than the width of the ground terminal 16. The reason is to prevent the tuning circuit 29 from contacting the terminal ground conductor 13 even when the tuning circuit 29 is provided closest to the transistor 15.

上記第4図に示した実施例では、同調回路29はトラン
ジスタ15に近接して設けられるので同調の周波数特性が
広帯域となる。同調回路29が固定されているので測定時
間が短縮される、同調回路29を実装回路と同一形状とす
ることにより実装回路にトランジスタを実装した時の特
性を正確に予測できる。特に、雑音指数特性のように精
度の高い測定が要求され、しかも実装回路での特性を精
度よく予測することが求められる場合には効果的であ
る。バイアス供給回路28を同調回路29と同じ誘電体基板
12上に形成するので、測定系を小さくできると同時に損
失を小さくできるので測定精度を向上させられる。しか
も測定結果を実装回路への実装時の特性結果と定量的に
極めて近い値にすることが可能となり、その実用的効果
は非常に大きい。
In the embodiment shown in FIG. 4, the tuning circuit 29 is provided close to the transistor 15, so that the tuning frequency characteristic becomes wide. Since the tuning circuit 29 is fixed, the measurement time is reduced. By making the tuning circuit 29 the same shape as the mounted circuit, the characteristics when the transistor is mounted on the mounted circuit can be accurately predicted. In particular, it is effective when a highly accurate measurement such as a noise figure characteristic is required and it is required to accurately predict the characteristic of the mounted circuit. The bias supply circuit 28 is the same dielectric substrate as the tuning circuit 29
Since it is formed on 12, the measurement accuracy can be improved because the measurement system can be made small and the loss can be made small. In addition, the measurement result can be quantitatively extremely close to the characteristic result at the time of mounting on the mounting circuit, and the practical effect is very large.

発明の効果 以上のように本発明によれば、トランジスタ固定装置
をストリップ線路型にしているので、トランジスタのパ
ッケージ形状に対してトランジスタの固定手段が柔軟に
なる効果を有する。ガイドピンによりトランジスタ特性
の測定結果に信頼性とともに再現性が得られるととも
に、トランジスタの取り替え作業時間を短縮できる。更
に、トランジスタ固定装置の誘電体基板上に同調回路と
ともにバイアス供給回路を構成できるので測定系を小さ
くできる、測定時間を大幅に短縮できる、実用的な特性
結果が得られるなど極めて実用的価値の大きい効果が得
られる。
Effect of the Invention As described above, according to the present invention, the transistor fixing device is of the strip line type, so that there is an effect that the means for fixing the transistor is flexible with respect to the package shape of the transistor. The use of the guide pin can provide not only reliability and reproducibility of the measurement result of the transistor characteristics, but also shorten the time required for replacing the transistor. Furthermore, since a bias supply circuit can be configured together with a tuning circuit on the dielectric substrate of the transistor fixing device, the measurement system can be reduced, the measurement time can be significantly reduced, and practical characteristic results can be obtained. The effect is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図(a),(b),(c)は本発明の一実施例にお
けるトランジスタ固定装置の平面図,側面図および斜視
図、第2図は第1図のトランジスタ固定装置の分解斜視
図、第3図は本発明の別の実施例におけるトランジスタ
固定装置の遮へい板の部分的断面図、第4図は本発明の
別の実施例におけるトランジスタ固定装置の誘電体基板
の構成図、第5図(a),(b)は従来の同軸線路型の
トランジスタ固定装置の平面図および同図(a)のA−
A′断面図、第6図は従来の同軸線路型トランジスタ固
定装置を用いたトランジスタの高周波特性測定のブロッ
ク図である。 11……接地導体板、12……誘電体基板、13……端子接地
導体、14……溝穴、15……トランジスタ、16……接地端
子、17……接地端子位置決め部品、18……溝、19……入
出力線路、20……ストリップ線路、21……遮へい板、22
……台座、23……接地端子圧着部、24……誘電体棒、25
……ガイドピン、26……ピン穴、27……ネジ、28……バ
イアス供給回路、29……同調回路、30……直流阻止回
路、31……ネジ穴。
1 (a), 1 (b) and 1 (c) are a plan view, a side view and a perspective view of a transistor fixing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the transistor fixing device of FIG. FIG. 3 is a partial cross-sectional view of a shielding plate of a transistor fixing device according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a structural view of a dielectric substrate of the transistor fixing device according to another embodiment of the present invention. FIGS. 1A and 1B are a plan view of a conventional coaxial line type transistor fixing device and FIG.
FIG. 6 is a block diagram of a high frequency characteristic measurement of a transistor using a conventional coaxial line type transistor fixing device. 11: Ground conductor plate, 12: Dielectric substrate, 13: Terminal ground conductor, 14: Slot hole, 15: Transistor, 16: Ground terminal, 17: Ground terminal positioning component, 18: Groove , 19 ... I / O line, 20 ... Strip line, 21 ... Shield plate, 22
… Pedestal, 23… ground terminal crimping part, 24… dielectric rod, 25
... Guide pin, 26 ... Pin hole, 27 ... Screw, 28 ... Bias supply circuit, 29 ... Tuning circuit, 30 ... DC blocking circuit, 31 ... Screw hole.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】接地導体板上に配置された誘電体基板と、
この誘電体基板上に形成されたストリップ線路と、前記
接地導体板上に設けられた端子接地導体と、前記誘電体
基板上に配置された遮へい板と、この遮へい板に取り付
けられ、かつ、トランジスタの入出力端子を前記ストリ
ップ線路上に圧着する誘電体棒と、前記遮へい板に固着
され、かつ、前記トランジスタの接地端子を前記端子接
地導体上に圧着する接地端子圧着部と、前記トランジス
タの前記接地端子の先端側に設けられ、前記接地端子を
位置決めする接地端子位置決め部品と、前記遮へい板お
よび前記接地導体板の両方に対して垂直方向に設けられ
たピン穴にかん合するガイドピンを有し、前記トランジ
スタの入出力整合回路を前記誘導体基板上に設けるとと
もに、前記入出力整合回路の形状を前記トランジスタの
実装回路と同一形状あるいはほぼ同一形状にしたことを
特徴とするトランジスタ固定装置を用いて、前記トラン
ジスタの特性を測定するトランジスタ特性の測定方法。
A dielectric substrate disposed on a ground conductor plate;
A strip line formed on the dielectric substrate, a terminal ground conductor provided on the ground conductor plate, a shielding plate disposed on the dielectric substrate, a transistor attached to the shielding plate, and a transistor A dielectric rod for crimping the input / output terminal of the transistor on the strip line, a ground terminal crimping part fixed to the shielding plate, and crimping a ground terminal of the transistor on the terminal ground conductor; A ground terminal positioning component that is provided on the tip side of the ground terminal and positions the ground terminal; and a guide pin that fits into a pin hole provided in a direction perpendicular to both the shield plate and the ground conductor plate. The input / output matching circuit of the transistor is provided on the dielectric substrate, and the shape of the input / output matching circuit is the same as that of the mounting circuit of the transistor. Or using transistors fixing device being characterized in that substantially the same shape, the measurement method of a transistor characteristic measuring characteristics of said transistor.
【請求項2】遮へい板に取り付けられた誘電体棒の、遮
へい板からの突出長を前記遮へい板に設けられたネジに
より可変できるようにするとともに、前記誘電体棒を弾
性材としたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
のトランジスタ特性の測定方法。
2. The method according to claim 1, wherein the length of protrusion of the dielectric rod attached to the shielding plate from the shielding plate can be changed by a screw provided on the shielding plate, and the dielectric rod is made of an elastic material. The method for measuring transistor characteristics according to claim 1, characterized in that:
【請求項3】接地端子圧着部に金属導体を使用するとと
もに、トランジスタに対向する部分においては遮へい板
の高さを低く設定したことを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載のトランジスタ特性の測定方法。
3. The transistor characteristic according to claim 1, wherein a metal conductor is used for the ground terminal crimping portion, and a height of the shielding plate is set low at a portion facing the transistor. Measuring method.
【請求項4】トランジスタのバイアス電圧の供給回路を
誘電体基板上にストリップ線路で形成したことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のトランジスタ特性の測
定方法。
4. The method according to claim 1, wherein the transistor bias voltage supply circuit is formed by a strip line on a dielectric substrate.
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