JP2567234B2 - Manufacturing method of solid electrolytic capacitor - Google Patents

Manufacturing method of solid electrolytic capacitor

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JP2567234B2 JP62008695A JP869587A JP2567234B2 JP 2567234 B2 JP2567234 B2 JP 2567234B2 JP 62008695 A JP62008695 A JP 62008695A JP 869587 A JP869587 A JP 869587A JP 2567234 B2 JP2567234 B2 JP 2567234B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、誘電体皮膜上に二酸化鉛層が積層されてな
る固体電解コンデンサの製造法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor in which a lead dioxide layer is laminated on a dielectric film.

(従来の技術及び発明が解決しようとする問題点) 従来から、電解コンデンサに使用される湿式のイオン
電解質の代わりに、誘電体金属酸化皮膜、特にタンタル
電極(陽極)表面を酸化して形成した酸化タンタル皮膜
の上に、固体電解質といわれる半導体二酸化マンガン
(MnO2)層を形成したものが商業的に実用化されたもの
として知られている。
(Problems to be Solved by Conventional Techniques and Inventions) Conventionally, instead of a wet ionic electrolyte used for an electrolytic capacitor, a dielectric metal oxide film, particularly a tantalum electrode (anode) surface is formed by oxidation. It is known that a semiconductor manganese dioxide (MnO 2 ) layer called a solid electrolyte is formed on a tantalum oxide film, which has been commercialized.

そして、同様にして誘電体金属酸化皮膜の上に、MnO2
の代わりに固体電解質として二酸化鉛を用いる試みがな
されていたが、このような初期の試みは商業的に実用化
するところまでいかなかった。
Then, in the same manner, MnO 2 is deposited on the dielectric metal oxide film.
Attempts have been made to use lead dioxide as the solid electrolyte instead of, but such early attempts were not yet commercially viable.

しかし、二酸化鉛は著しく高い導電性を有することか
ら、MnO2層を持つコンデンサに比してすぐれた電気的及
び物理的特性を持つコンデンサを得ることが期待された
が、従来技術ではコンデンサ中に二酸化鉛の層を形成す
る良い方法がないために、実用的なコンデンサを作るこ
とを成功させることができなかった。
However, since lead dioxide has a remarkably high conductivity, it was expected to obtain a capacitor having excellent electrical and physical characteristics as compared with a capacitor having an MnO 2 layer. It was not possible to make a practical capacitor successfully because there was no good way to form a layer of lead dioxide.

このような点を解決する方法の一つとして、コンデン
サに二酸化鉛の層を形成するに当たり、水溶液中の二価
の鉛化合物を酸化、特に過硫酸塩によって酸化して、二
酸化鉛を形成せしめるという反応を利用することが提案
されている。この方法によれば従来の問題、特に誘電体
酸化皮膜上に積層された二酸化鉛層の機械的強度が改善
され、またその二酸化鉛層の形成も簡単になしうるとい
うことからかなり実用的なコンデンサが得られるとされ
ている。
As one of the methods to solve such a point, when forming a lead dioxide layer on a capacitor, a divalent lead compound in an aqueous solution is oxidized, particularly by persulfate, to form lead dioxide. It has been proposed to utilize the reaction. According to this method, the conventional problems, in particular, the mechanical strength of the lead dioxide layer laminated on the dielectric oxide film is improved, and the lead dioxide layer can be easily formed. Is said to be obtained.

ところで、固体電解コンデンサの誘電体は一般的に多
孔質となしたものが使用され、その多孔質誘電体の上に
二酸化鉛の皮膜を積層させて固体電解コンデンサを形成
するということがなされている。したがって二価の鉛化
合物及び酸化剤を含有する水溶液とその多孔質誘電体表
面全体とは二酸化鉛の皮膜を生成させる際に接触してい
る必要があり、その多孔質誘電体表面上に存在する細か
いピットの内部まで二価の鉛化合物及び酸化剤を含有す
る水溶液が浸透していくことが望まれる。
By the way, the dielectric of the solid electrolytic capacitor is generally made porous, and it is said that a film of lead dioxide is laminated on the porous dielectric to form a solid electrolytic capacitor. . Therefore, it is necessary that the aqueous solution containing the divalent lead compound and the oxidizing agent and the entire surface of the porous dielectric material are in contact with each other when the lead dioxide film is formed, and they are present on the porous dielectric surface. It is desired that the aqueous solution containing the divalent lead compound and the oxidizing agent penetrates into the inside of the fine pit.

ところが、多孔質誘電体皮膜である酸化金属皮膜、特
にAl2O3皮膜層は水ぬれが悪く、したがって二酸化鉛皮
膜を積層しようとした場合、そのAl2O3皮膜表面がその
二価の鉛化合物及び酸化剤、特に過硫酸塩を含んだ水溶
液と充分に接触しないこととなり、その結果その誘電体
皮膜上に一様に二酸化鉛皮膜を形成することができない
こととなっていた。そして、このようにして作られた固
体電解コンデンサは均一な製品とすることが難しく、ま
たその電気的特性及び物理的機械的特性も必ずしも満足
できるものではなかった。
However, the metal oxide film that is the porous dielectric film, especially the Al 2 O 3 film layer, has poor wettability with water, and therefore, when a lead dioxide film is to be laminated, the surface of the Al 2 O 3 film is the divalent lead. It has not been sufficiently contacted with an aqueous solution containing a compound and an oxidizing agent, especially persulfate, and as a result, it has been impossible to uniformly form a lead dioxide film on the dielectric film. The solid electrolytic capacitor manufactured in this manner is difficult to make into a uniform product, and its electrical characteristics and physical-mechanical characteristics are not always satisfactory.

特に、多孔質誘電体皮膜上に存在する細かいピットの
内部はその水溶液と充分に接触できないことから、誘電
体層を多孔質とし、その上に二酸化鉛層を形成するとい
う固体電解コンデンサとしての特性を十二分に生かすこ
とができなかった。
In particular, since the inside of the fine pits existing on the porous dielectric film cannot fully contact the aqueous solution, the characteristics of the solid electrolytic capacitor that the dielectric layer is made porous and the lead dioxide layer is formed on it I couldn't make the most of it.

(問題点を解決するための手段) 本発明者はかかる問題に鑑み鋭意研究の結果、誘電体
皮膜と二価の鉛化合物及び酸化剤とを含有する水溶液と
を接触させ、誘電体皮膜上に二酸化鉛皮膜を積層させて
固体電解コンデンサを製造する際に、予め誘電体皮膜を
界面活性剤を含む溶液に浸漬、乾燥した後、その二価の
鉛化合物及び酸化剤を含有する水溶液に接触させること
により、そうした問題点が解消できることを見出だし
た。
(Means for Solving Problems) As a result of earnest research in view of such problems, the present inventor has brought the dielectric film into contact with an aqueous solution containing a divalent lead compound and an oxidizing agent to form a film on the dielectric film. When a solid electrolytic capacitor is manufactured by stacking lead dioxide films, the dielectric film is previously immersed in a solution containing a surfactant, dried, and then contacted with an aqueous solution containing the divalent lead compound and oxidant. By doing so, they have found that such problems can be solved.

こうした方法を採用すると、その誘電体皮膜表面とそ
の水溶液との接触が良好となり、二酸化鉛の析出がその
誘電体皮膜表面の細かいピット内においても達成される
と共にその誘電体皮膜と二酸化鉛皮膜との密着性も優れ
ており、さらに得られた固体電解コンデンサは優れた電
気的特性等を有するものとなるのである。
If such a method is adopted, the contact between the surface of the dielectric film and the aqueous solution will be good, and the precipitation of lead dioxide will be achieved even in the fine pits on the surface of the dielectric film, and the dielectric film and the lead dioxide film will be formed. Is excellent in adhesion, and the obtained solid electrolytic capacitor has excellent electrical characteristics and the like.

本発明はすなわち、陽極箔上の誘電体金属酸化物皮膜
に、鉛(II)化合物と過硫酸塩とを含有する溶液を接触
して二酸化鉛皮膜を積層する固体電解コンデンサの製造
法において、前記陽極箔の誘電体金属酸化物皮膜を予め
界面活性剤を含む溶液に浸漬、乾燥した後、それを行う
ことを特徴とする固体電解コンデンサの製造法である。
That is, the present invention provides a method for producing a solid electrolytic capacitor in which a dielectric metal oxide film on an anode foil is contacted with a solution containing a lead (II) compound and a persulfate to laminate a lead dioxide film. The method for producing a solid electrolytic capacitor is characterized in that the dielectric metal oxide film of the anode foil is previously dipped in a solution containing a surfactant, dried, and then performed.

なお、本発明の誘電体金属酸化物皮膜は、金属陽極箔
の表面を陽極酸化して形成した常法によるものであるこ
とが好ましい。
The dielectric metal oxide film of the present invention is preferably formed by an ordinary method formed by anodizing the surface of the metal anode foil.

さらにまた、誘電体皮膜を、鉛を二酸化鉛に酸化する
ための二価の鉛化合物と過硫酸塩とよりなる溶液と接触
するに当たっては、鉛(II)化合物、例えば酢酸鉛及び
溶解し易い銀塩とよりなる酸性溶液と、アルカリ金属及
びアンモニウムから選ばれた過硫酸塩を含有する溶液を
使用し、該誘電体皮膜上に二酸化鉛皮膜を積層して固体
電解コンデンサを製造することも好ましい。
Furthermore, in contacting the dielectric film with a solution consisting of a divalent lead compound for oxidizing lead to lead dioxide and a persulfate, a lead (II) compound such as lead acetate and easily soluble silver is used. It is also preferable to manufacture a solid electrolytic capacitor by using an acidic solution containing a salt and a solution containing a persulfate selected from alkali metals and ammonium and laminating a lead dioxide film on the dielectric film.

本発明で使用される界面活性剤としては、誘電体皮膜
と該誘電体皮膜と接触する溶液との接触性を高めるもの
であれば、特に限定されない。
The surfactant used in the present invention is not particularly limited as long as it enhances the contact property between the dielectric film and the solution in contact with the dielectric film.

本発明で使用される界面活性剤としては、それを溶液
に添加することにより、誘電体皮膜表面の複雑かつ非常
に細かいピット内のすみずみに至るまでその溶液を浸透
せしめるようなものであれば、特に限定されない。
As the surfactant used in the present invention, if the surfactant is added to the solution, it can penetrate the solution to the complex and very fine pits on the surface of the dielectric film. It is not particularly limited.

本発明で使用される界面活性剤としては、それを用い
て製造された固体電解コンデンサの電気的特性及び物理
的機械的特性を改善しうるようなものであれば、特に限
定することなく様々なものが使用できる。
The surfactant used in the present invention is not particularly limited as long as it can improve the electrical properties and physical mechanical properties of the solid electrolytic capacitor manufactured using the same. Things can be used.

本発明で用いることのできる界面活性剤としては、水
溶性界面活性剤及び油溶性界面活性剤があげられるが、
水溶性界面活性剤がより好適に使用できる。
Examples of the surfactant that can be used in the present invention include water-soluble surfactants and oil-soluble surfactants,
A water-soluble surfactant can be used more preferably.

ここで使用される水溶性界面活性剤としては、イオン
性界面活性剤及び非イオン性界面活性剤があげられ、さ
らにこのイオン性界面活性剤としては陽イオン界面活性
剤、陰イオン界面活性剤及び両性イオン界面活性剤があ
げられる。
Examples of the water-soluble surfactant used here include an ionic surfactant and a nonionic surfactant, and further, the ionic surfactant includes a cationic surfactant, an anionic surfactant and Examples include zwitterionic surfactants.

また、本発明で用いることのできる界面活性剤として
は高分子界面活性剤、有機金属界面活性剤、フッ素系界
面活性剤及び反応性界面活性剤があげられる。
In addition, examples of the surfactant that can be used in the present invention include polymer surfactants, organometallic surfactants, fluorine-based surfactants and reactive surfactants.

ここで使用される陰イオン界面活性剤としては好まし
くはカルボン酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル、リン
酸エステル、ホスホン酸塩等があげられ、より好適には
式R−COO-のカルボン酸塩、式R−SO3 -のスルホン酸
塩、R−O・SO3 -の硫酸エステル、式 のリン酸エステル、式R ホスホン酸エステル(上式中Rはアルキル基である。)
等があげられる。こられについて具体的なものについて
いうと、ラウリン酸ソーダ、ミリスチン酸ソーダ、パル
ミチン酸ソーダ、ステアリン酸ソーダ、ステアリン酸カ
リ、パルミチン酸カリ、ミリスチン酸カリ、ラウリン酸
カリ等の脂肪酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、例
えばABS及びLASとして知られたもの、アルキルナフタレ
ンスルホン酸塩、アルキルスルホン酸塩、例えばSASと
して知られたもの、α−オレフィンスルホン酸塩、例え
ばAOSとして知られたも、α−スルホン化脂肪酸塩、N
−メチル−N−オレイルタウリン、例えばIgepon Tと
して知られたもの、石油スルホン酸塩、アルキル硫酸
塩、硫酸化ヒマシ油、硫酸化オリーブ油などの硫酸化油
脂、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ポリ
オキシエチレンアルキルフエニルエーテル硫酸塩、ポリ
オキシエチレンスチレン化フエニルエーテル硫酸塩、ア
ルキルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル
リン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフエニルエーテ
ルリン酸塩、ナフタレンスルホン酸塩ホルムアルデヒド
縮合物などがあげられる。
Preferably carboxylate as anionic surface active agent used herein, sulfonate, sulfate esters, phosphoric acid esters, are exemplified phosphonic acid salts, and more preferably the formula R-COO - carboxylate the formula R-SO 3 - sulfonate, R-O · SO 3 - sulfuric acid esters of the formula Phosphate ester of formula R Phosphonic acid ester (wherein R is an alkyl group)
And the like. Specific examples of these include fatty acid salts such as sodium laurate, sodium myristate, sodium palmitate, sodium stearate, potassium stearate, potassium palmitate, potassium myristate, potassium laurate, and alkylbenzene sulfonic acid. Salts such as those known as ABS and LAS, alkylnaphthalene sulfonates, alkyl sulfonates such as SAS, α-olefin sulfonates such as AOS, also α-sulfonated Fatty acid salt, N
-Methyl-N-oleyl taurine, for example known as Igepon T, petroleum sulfonates, alkyl sulphates, sulphated fats and oils such as sulphated castor oil, sulphated olive oil, polyoxyethylene alkyl ether sulphates, polyoxys Ethylene alkyl phenyl ether sulfate, polyoxyethylene styrenated phenyl ether sulfate, alkyl phosphate, polyoxyethylene alkyl ether phosphate, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphate, naphthalene sulfonate formaldehyde condensation Things can be given.

ここで使用される陽イオン界面活性剤としては、アミ
ン塩、例えば第一級アミン塩、第二級アミン塩、第三級
アミン塩等があげられる他、第四級アンモニウム塩、ホ
スホニウム塩、スルホニウム塩等があげられ、より好適
には (上式中Rはアルキル基、R1〜R3はそれぞれ同一であっ
ても異なっていてもよいアルキル基である。)等があげ
られる。これらについて具体的なものをあげると、例え
ばオクチルアミン塩、ドデシルエタノールアミン塩、N
−(エチルステアリン酸)−N−ジエタノールアミン
塩、トリメチルドデシルアンモニウム塩、N−ヘキサ・
ドデシルピリジウム塩、ラウリル・イソキノリニウム
塩、ジメチル・ドデシル・フェニルフォスホニウム塩、
ドデシル・ベンジルメチルスルフォニウム塩があげられ
る。
Examples of the cationic surfactant used here include amine salts such as primary amine salts, secondary amine salts and tertiary amine salts, as well as quaternary ammonium salts, phosphonium salts and sulfonium salts. Salt and the like can be mentioned, more preferably (In the above formula, R is an alkyl group, and R 1 to R 3 are alkyl groups which may be the same or different.) And the like. Specific examples of these include, for example, octylamine salt, dodecylethanolamine salt, N
-(Ethylstearic acid) -N-diethanolamine salt, trimethyldodecyl ammonium salt, N-hexa.
Dodecylpyridinium salt, lauryl isoquinolinium salt, dimethyl dodecyl phenylphosphonium salt,
Dodecyl benzyl methyl sulfonium salt is mentioned.

ここで使用される両性イオン界面活性剤としては、分
子中にスルホン酸基とアミン又はアンモニウム塩基を有
するもの、分子中にスルホン酸基とアミン又はアンモニ
ウム塩基を有するもの、分子中に硫酸エステル基とアミ
ン又はアンモニウム塩基を有するもの等があげられ、よ
り好適には (上式中Rはアルキル基、R1〜R2は同一でも異なってい
てもよいアルキル基及びR3はアルキレン基である。)等
があげられる。これらについて具体的なものをあげる
と、例えばN−オクタデシル・オキシメチル−N,N−ジ
メチルベタイン、N−ヘプタデシル−N−エチル−スル
フォベタインがあげられる。
As the zwitterionic surfactant used here, those having a sulfonic acid group and an amine or ammonium base in the molecule, those having a sulfonic acid group and an amine or ammonium base in the molecule, and a sulfate ester group in the molecule Examples thereof include those having an amine or ammonium base, and more preferably (In the above formula, R is an alkyl group, R 1 and R 2 are the same or different alkyl groups, and R 3 is an alkylene group.) And the like. Specific examples of these include N-octadecyloxymethyl-N, N-dimethylbetaine and N-heptadecyl-N-ethyl-sulfobetaine.

ここで使用される非イオン性界面活性剤としては、例
えば次のようなものがあげられる。
Examples of the nonionic surfactant used here include the following.

R−COO−CH2−CH2−O−CH2−…CH2−OH、R−COO−
C6H11O4、R−COO−C12H21O10、R−CO・NH−R1−OH、 R−CO−[O−CH2−CH2−CH2]−OH、R−CO−N−
[O−CH2−CH2]n−OH、R−[O−CH2−CH2]n−O
H、R−NH−[O−CH2−CH2]n−OH、R−S−[O・C
H2−CH2]n−OH、 H−[O−CH2−CH2−]n−[O−CH2−CH2]n−OH (上式中Rはアルキル基で、R1及びR2は同一でも異なっ
ていてもよいアルキル基である。) これらについて具体的なものをあげるとポリオキシエ
チレン(n=5)ラウリン酸エステル、ポリオキシエチ
レン(n=5)ラウリルアミン、ポリオキシエチレン
(n=15)ラウリルアマイド、ポリオキシエチレン(n
=13)オレイルアルコール、ポリオキシエチレン(n=
8)オクチルフェノール、トリエチルグリコール・モノ
ラウリル・エーテル、ヘキサエチレングリコールステア
リン酸エステルなどがある。
R-COO-CH 2 -CH 2 -O-CH 2 - ... CH 2 -OH, R-COO-
C 6 H 11 O 4, R -COO-C 12 H 21 O 10, R-CO · NH-R 1 -OH, R-CO- [O-CH 2 -CH 2 -CH 2] -OH, R-CO-N-
[O-CH 2 -CH 2] n-OH, R- [O-CH 2 -CH 2] n-O
H, R-NH- [O- CH 2 -CH 2] n-OH, R-S- [O · C
H 2 -CH 2] n-OH , H- [O-CH 2 -CH 2 -] n- in [O-CH 2 -CH 2] n-OH ( above formula R is an alkyl group, R 1 and R 2 may be the same or different alkyl Specific examples of these are polyoxyethylene (n = 5) lauric acid ester, polyoxyethylene (n = 5) laurylamine, polyoxyethylene (n = 15) lauryl amide, and polyoxy. Ethylene (n
= 13) oleyl alcohol, polyoxyethylene (n =
8) Octylphenol, triethyl glycol monolauryl ether, hexaethylene glycol stearate, etc.

またここで使用されるフッ素界面活性剤としては、上
記陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、両性イオ
ン界面活性剤及び非イオン性界面活性剤の疎水基の炭素
に結合した水素原子の代わりに、その一部または全部を
フッ素原子で置換したものがあげられる。
Further, the fluorine surfactant used here is a substitute for the hydrogen atom bonded to the carbon of the hydrophobic group of the above-mentioned anionic surfactant, cationic surfactant, zwitterionic surfactant and nonionic surfactant. In which a part or all of them are substituted with a fluorine atom.

これらについて具体的なものをあげるとパーフルオロ
ブタン酸塩、[1〜10]ジフルオロデカン酸塩、パーフ
ルオロオクチルアミン塩、N−パーフルオロペンタデシ
ル−N−エチルスルフォベタインなどがある。
Specific examples of these include perfluorobutanoate, [1-10] difluorodecanoate, perfluorooctylamine salt, and N-perfluoropentadecyl-N-ethylsulfobetaine.

ここで使用される有機金属界面活性剤としては上記陰
イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、両性イオン界
面活性剤及び非イオン性界面活性剤の主鎖中にSi,Ti,S
n,Zr,Ge等の金属を有するものがあげられる。
Examples of the organometallic surfactant used here include Si, Ti, S in the main chain of the above-mentioned anionic surfactant, cationic surfactant, zwitterionic surfactant and nonionic surfactant.
Examples thereof include those having metals such as n, Zr and Ge.

これらについて具体的なものをあげると、例えば7−
(トリエチルシラノ)ヘキサン酸塩、(BuO)・Ti[O
Ti(OBu)(OCOC17H553OTi(OBu)]などである。
Specific examples of these are, for example, 7-
(Triethylsilano) hexanoate, (BuO) 3・ Ti [O
Ti (OBu) (OCOC 17 H 55 ) 3 OTi (OBu) 2 ] and the like.

本発明において、誘電体皮膜に浸漬する界面活性剤溶
液は、誘電体皮膜表面に該溶液が十分に接触でき、浸透
するような濃度のものであれば特に限定されず、使用す
る界面活性剤の種類、使用する誘電体皮膜の性質及び添
加される溶液中の溶質の種類及び濃度に従って適宜最高
な値を用いることができる。
In the present invention, the surfactant solution to be immersed in the dielectric film is not particularly limited as long as it has a concentration such that the solution can sufficiently contact and penetrate the surface of the dielectric film. Depending on the type, the nature of the dielectric film used and the type and concentration of the solute in the solution to be added, an optimum maximum value can be used.

仮に濃度が低くても、誘電体皮膜の浸漬、乾燥を数回
にわたって行えば、所望量の界面活性剤を誘電体皮膜上
に保持することができる。
Even if the concentration is low, the desired amount of surfactant can be retained on the dielectric film by dipping and drying the dielectric film several times.

その濃度は通常非常に低い濃度でも有効に使用するこ
とができ、10-5mol/という希薄な溶液であってもよ
い。
The concentration can usually be effectively used even at a very low concentration, and may be a dilute solution of 10 −5 mol /.

しかし必要以上に多量の界面活性剤を保持させること
は実質上無意味であり、また経済的にも不利である。
However, it is substantially meaningless to retain a larger amount of surfactant than necessary, and it is economically disadvantageous.

使用界面活性剤の濃度はより好適には、0.05Wt%から
1.0Wt%の水溶液濃度、特に好適には約0.1Wt%の濃度と
なるようにするのがよい。
The concentration of the surfactant used is more preferably 0.05 Wt%
The concentration of the aqueous solution is 1.0 Wt%, particularly preferably about 0.1 Wt%.

本発明で使用する界面活性剤は、誘電体皮膜表面と水
溶液との間に水の表面張力を下げ複雑かつ非常に細かい
ピット内のすみずみに至るまで水溶液を浸透させ、その
結果として二酸化鉛皮膜の形成が良好になるようなもの
であれば、前記界面活性剤のすべてのものが使用できる
ものである。
The surfactant used in the present invention lowers the surface tension of water between the surface of the dielectric film and the aqueous solution to allow the aqueous solution to penetrate to the complex and very fine pits, resulting in the lead dioxide film. All of the above-mentioned surfactants can be used as long as the formation of the above is good.

本発明の方法によって得られる固体電解コンデンサ
を、その好ましい具体例を模式図で図示すると第1図の
ように陽極側から陰極側へ、アルミニウム層1、Al2O3
誘電体層2、二酸化鉛層3、コロイダルカーボン層4、
銀ペースト層5の順の模式図で現される。なお、更にア
ルミニウム層1には陽極側リード線6が、銀ペースト層
5には陰極側リード線7が各々接続されている。
A preferred specific example of the solid electrolytic capacitor obtained by the method of the present invention is shown schematically in FIG. 1. From the anode side to the cathode side, the aluminum layer 1, Al 2 O 3
Dielectric layer 2, lead dioxide layer 3, colloidal carbon layer 4,
The silver paste layer 5 is shown in the order of schematic diagrams. Further, an anode side lead wire 6 is connected to the aluminum layer 1 and a cathode side lead wire 7 is connected to the silver paste layer 5.

本発明の方法において用いられる誘電体皮膜の基板と
してはその酸化物がすぐれた誘電体材料であることが知
られているものが好適で、アルミニウムに限らず、その
他、タンタル、ニオビウム、チアン、ジルコン等であつ
てもよい。この基板はその表面をエッチング等により処
理してその表面を多孔質化したものが特に好ましい。そ
して、その基板表面を多孔質化するに当たっては既知の
どのような方法も本来的に採用することができるが、よ
り好適にはエッチングによる方法が便利で優れている。
このエッチング法は上記した基板となる金属の箔を酸水
溶液、好適には塩酸水溶液中で交流電解エッチングをす
ることによりなされる。この場合使用し得る酸水溶液と
しては、公知のエッチング用のものから選択しうるが、
その酸としては硫酸、塩酸等の鉱酸が好ましい。そし
て、このエッチング処理も、その基板である金属層をど
の程度まで多孔質化するかにより、適宜任意の条件を選
んで行うことができる。
As the substrate of the dielectric film used in the method of the present invention, those whose oxides are known to be excellent dielectric materials are preferable, and not only aluminum but also tantalum, niobium, thiane, zircon. And so on. It is particularly preferable that the surface of the substrate is treated by etching or the like to make the surface porous. Any known method can be used essentially for making the substrate surface porous, but the etching method is more convenient and superior.
This etching method is performed by subjecting the metal foil to be the above-mentioned substrate to AC electrolytic etching in an acid aqueous solution, preferably hydrochloric acid aqueous solution. The aqueous acid solution that can be used in this case can be selected from known etching solutions.
Mineral acids such as sulfuric acid and hydrochloric acid are preferable as the acid. This etching process can also be performed by appropriately selecting arbitrary conditions depending on the degree to which the metal layer that is the substrate is made porous.

本発明に従った固体電解コンデンサの製造方法の最初
の工程は、第1図にその好ましい構造模式図を示すごと
く、アルミニウム層1の上にAl2O3誘電体層2を形成す
る工程に相当するものである。
The first step of the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention is equivalent to the step of forming an Al 2 O 3 dielectric layer 2 on an aluminum layer 1 as shown in the preferable structural schematic view of FIG. To do.

すなわち、上記したようにして得られた基板の金属層
の表面に誘電体皮膜を形成する。その誘電体皮膜の形成
法としては基板の金属層の表面を酸化処理して行うこと
ができる。その酸化処理方法としては、公知の様々の方
法が採用できるが、好適には電気的な酸化方法があげら
れる。この電気的な酸化方法としては、例えば、電圧60
〜80V、好適には電圧70Vで、陽極酸化することによりな
されたものである。
That is, a dielectric film is formed on the surface of the metal layer of the substrate obtained as described above. The dielectric film can be formed by oxidizing the surface of the metal layer of the substrate. Although various known methods can be adopted as the oxidation treatment method, an electrical oxidation method is preferable. This electrical oxidation method includes, for example, a voltage of 60
It is made by anodizing at -80 V, preferably 70 V.

また、このような陽極酸化は、クエン酸、リン酸ある
いはこれに類するものを含有する適当な陽極酸化に普通
に使用される電解液中で行うことができる。
Also, such anodization can be carried out in an electrolyte commonly used for suitable anodization containing citric acid, phosphoric acid or the like.

この電気的に酸化を行う条件は、その酸化皮膜の厚さ
をどの程度のものにするか、あるいはその使用する基板
の金属層の材質がどのようなものであるかによって任意
に適切な条件を選択して行うことが望ましく、例えば、
使用電圧、酸化時間を調節して行うことができる。
The conditions for this electrical oxidation may be any appropriate conditions depending on the thickness of the oxide film or the material of the metal layer of the substrate used. It is desirable to select it, for example,
It can be performed by adjusting the working voltage and the oxidation time.

このようにして形成された誘電体皮膜はその使用され
た基板の金属の酸化物からなるもので、酸化アルミニウ
ム(Al2O3)その他、Ta2O5、Nb2O5、TiO2、ZrO2等があ
げられる。
The dielectric film thus formed is made of the metal oxide of the substrate used, and includes aluminum oxide (Al 2 O 3 ), Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 , TiO 2 , and ZrO. 2 etc.

また本発明における誘電体皮膜は通常の皮膜形態のも
のだけでなく、通常の固体電解コンデンサとしての使用
に耐えうるものであればどのように形態のものであって
もよく、必ずしも均一な皮膜でなければならないという
ことはない。そしてその皮膜の形態は必要に応じて適宜
選択することができる。
Further, the dielectric film in the present invention is not limited to a normal film form, and may have any form as long as it can be used as a normal solid electrolytic capacitor, and is not necessarily a uniform film. It doesn't have to be. And the form of the film can be appropriately selected as required.

本発明に従った固体電解コンデンサの製造法の次の工
程は、第1図に示されるように、Al2O3誘電体層2の上
に二酸化鉛層3を形成する工程に相当するものである。
The next step of the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention corresponds to the step of forming the lead dioxide layer 3 on the Al 2 O 3 dielectric layer 2 as shown in FIG. is there.

ところで、二酸化鉛は次式に示すように過硫酸塩で溶
液中、特に水溶液中の二価の鉛化合物を酸化することに
より作られる。
By the way, lead dioxide is produced by oxidizing a divalent lead compound in a solution, particularly in an aqueous solution, with a persulfate as shown in the following formula.

Pb2++S2O8 2-+2H2O +PbO2↓+2SO4 2-+4H+ しかし、このまま誘電体層の表面の上でこのような反
応を行うと、通常生ずる二酸化鉛は表面に付着し難い。
Pb 2+ + S 2 O 8 2- + 2H 2 O + PbO 2 ↓ + 2SO 4 2 + 4H + However, if such a reaction is carried out on the surface of the dielectric layer as it is, lead dioxide usually produced is hard to adhere to the surface. .

さらに上記のようにして形成された誘電体層はその表
面を溶液と接触させた場合にその表面が充分に溶液と接
触し難いという問題がある。
Further, the dielectric layer formed as described above has a problem that it is difficult to sufficiently contact the surface with the solution when the surface is contacted with the solution.

上記誘電体層は大抵の場合基板となる膜形成金属を多
孔質処理して、その表面積の増大をはかっているが、そ
の表面は複雑でかつ細かいピットなどが存在している。
In most cases, the above-mentioned dielectric layer is formed by subjecting a film-forming metal to be a substrate to a porous treatment to increase its surface area, but its surface has complicated and fine pits.

したがって上記問題は、溶液の表面張力などの影響で
その誘導体層の表面のすみずみまで溶液が浸透しないた
めに生じるものと考えられる。
Therefore, it is considered that the above-mentioned problem occurs because the solution does not penetrate to the entire surface of the derivative layer under the influence of the surface tension of the solution.

また、その誘電体層は基板の金属を酸化処理して得ら
れた金属酸化物から構成されており、このような金属酸
化物層は必ずしも溶液との接触性が良好でない。特に、
酸化アルミニウム皮膜は、水に対する濡れ性が悪く、普
通によく使用する水溶液を用いた場合、その酸化アルミ
ニウム皮膜の表面は良好に処理することができない。す
なわち、その皮膜表面上の複雑で細かいピット内のすみ
ずみに酸化鉛層の形成をなすことができず、得られた固
体電解コンデンサの電気的特性が悪いのみでなく、その
固体電解コンデンサの物理的機械的性質も不良なものと
なる。
Further, the dielectric layer is composed of a metal oxide obtained by oxidizing the metal of the substrate, and such a metal oxide layer does not always have good contact with the solution. In particular,
The aluminum oxide film has poor wettability with water, and the surface of the aluminum oxide film cannot be satisfactorily treated when an aqueous solution which is commonly used is used. That is, it is not possible to form a lead oxide layer in every corner of the complex and fine pits on the surface of the film, and not only the electric characteristics of the obtained solid electrolytic capacitor are poor, but also the physical characteristics of the solid electrolytic capacitor are poor. The mechanical and mechanical properties are also poor.

さらに、二酸化鉛を形成させるのに使用される溶液中
には、二価の鉛化合物、過硫酸塩といった溶質のほか、
そのPHを調節するための溶質が加えられることから、そ
の溶液自体の表面張力等が増大することとなり、その誘
電体層の複雑で細かいピットを有する表面のすみずみま
でその溶液が浸透し難くなる。
In addition, in the solution used to form lead dioxide, in addition to solutes such as divalent lead compounds and persulfates,
Since the solute for adjusting the PH is added, the surface tension of the solution itself increases, and it becomes difficult for the solution to permeate to every corner of the surface of the dielectric layer that has complex and fine pits. .

しかしながら、本発明者の研究によれば、そうした問
題点は予め誘電体皮膜を界面活性剤を含む溶液に浸漬、
乾燥して、表面に界面活性剤を保持した誘電体皮膜を前
記溶液に接触することによって一挙に解決することがで
きるのである。
However, according to the research conducted by the present inventor, such a problem is that the dielectric film is previously immersed in a solution containing a surfactant,
The solution can be solved all at once by drying and contacting the dielectric film having the surface active agent retained thereon with the solution.

すなわち、上記で得られた誘電体皮膜の表面を、常法
により、鉛(II)化合物、例えば酢酸塩、及び過硫酸ナ
トリウム、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどか
らなる群から選ばれた過硫酸塩、を含む溶液と接触させ
る際に、予め誘電体皮膜を陰イオン性、陽イオン性、両
性、非イオン性、フッ素系及び有機金属系の前記した界
面活性剤から選ばれた一種又は2種以上を組み合わせて
含んだ界面活性剤を含む溶液に浸漬、乾燥させておくこ
とにより、その誘電体皮膜の表面上に効果的に二酸化鉛
の皮膜を形成させるのである。
That is, the surface of the dielectric film obtained above is treated by a conventional method with a lead (II) compound, for example, an acetic acid salt, and a persulfate selected from the group consisting of sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like. When contacting with a solution containing, the dielectric film is preliminarily selected from the anionic, cationic, amphoteric, nonionic, fluorine-based and organometallic surfactants, or one or more selected from the above-mentioned surfactants. By soaking in a solution containing a surfactant containing a combination of the above and drying, a lead dioxide film is effectively formed on the surface of the dielectric film.

本発明では界面活性剤が、誘電体皮膜の表面と固体電
解質である二酸化鉛との接触面に介在して、誘電体皮膜
と固体電解質との密着を行うので、固体電解質中に界面
活性剤が分散したり、固体電解質層中に残留することに
より、固体電解質層の導電度へ影響を与えたり、固体電
解質の強度を低下させることもない。
In the present invention, the surfactant intervenes in the contact surface between the surface of the dielectric film and lead dioxide, which is the solid electrolyte, and adheres the dielectric film and the solid electrolyte. By dispersing or remaining in the solid electrolyte layer, the conductivity of the solid electrolyte layer is not affected and the strength of the solid electrolyte is not reduced.

ここで形成される二酸化鉛皮膜の厚さは、誘電体皮膜
の表面を二酸化鉛皮膜形成溶液に望ましい厚さの二酸化
鉛層が得られるまで繰り返し接触処理するか、あるいは
二酸化鉛皮膜形成溶液のPHを変化させその二酸化鉛層の
形成速度及び層の厚さを調節することによりなすことが
できる。
The thickness of the lead dioxide film formed here is such that the surface of the dielectric film is subjected to repeated contact treatment until a lead dioxide layer having a desired thickness is obtained in the lead dioxide film forming solution, or the pH of the lead dioxide film forming solution is PH. By adjusting the formation rate of the lead dioxide layer and the thickness of the layer.

この二酸化鉛皮膜形成溶液のPHを変化させる手法とし
ては、例えば弱酸性又は中性の溶液をアルカリ性にする
ことがあげられる。このアルカリ性側にする具体的な方
法としては、水酸化アンモニウム、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム等の溶液を徐々に加え、所望のPH値、例
えば10〜12、特に最適なPH値10.3となるようにすること
があげられる。
As a method of changing the pH of the lead dioxide film forming solution, for example, a weakly acidic or neutral solution is made alkaline. As a concrete method for making this alkaline side, ammonium hydroxide, sodium hydroxide,
It is possible to gradually add a solution of potassium hydroxide or the like so as to obtain a desired PH value, for example, 10 to 12, and particularly an optimum PH value of 10.3.

この形成される二酸化鉛皮膜の厚さは、通常の固体電
解コンデンサとして要求される範囲を任意に選択して選
ぶことができる。
The thickness of the formed lead dioxide film can be selected by arbitrarily selecting the range required for a normal solid electrolytic capacitor.

一般に固体電解コンデンサとしては、4000〜6000オン
グストロームの範囲にまで膜を成長させることが望まし
いとされている。
Generally, it is considered desirable for a solid electrolytic capacitor to grow a film in the range of 4000 to 6000 angstroms.

更に、別の方法としては、(a)所要の過硫酸アンモ
ニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウムから選ばれ
た過硫酸塩を含有する溶液と、(b)二価の鉛化合物、
例えば酢酸鉛及び水酸化アンモニウム、水酸化カリウ
ム、水酸化ナトリウムから選ばれたアルカリを含有する
溶液とを、誘電体皮膜の表面上で混合することによって
もよい。
Furthermore, as another method, (a) a solution containing a required persulfate selected from ammonium persulfate, sodium persulfate and potassium persulfate, and (b) a divalent lead compound,
For example, a solution containing lead acetate and an alkali selected from ammonium hydroxide, potassium hydroxide and sodium hydroxide may be mixed on the surface of the dielectric film.

この場合、その混合処理は、上記(a)の溶液中に
(b)の溶液を添加混合することによって行うことがで
きる。
In this case, the mixing treatment can be performed by adding and mixing the solution (b) to the solution (a).

本発明にしたがった固体電解コンデンサの製法の次の
工程は、第1図にその好ましい構造模式図を示すごと
く、二酸化鉛層3の上に陰極電極層(コロイダルカーボ
ン層4と銀ペースト層5とより構成されている)を密着
することからなる。
The next step of the method for producing a solid electrolytic capacitor according to the present invention is, as shown in the preferred structural schematic diagram of FIG. 1, a cathode electrode layer (colloidal carbon layer 4 and silver paste layer 5) on a lead dioxide layer 3. (Composed of more).

このような陰極電極層は固体電解コンデンサとして用
いる上で許容されるものであれば特に限定することなく
様々な方法が使用できる。
There is no particular limitation on the cathode electrode layer as long as it is acceptable for use as a solid electrolytic capacitor, and various methods can be used.

以上、主として膜形成金属よりなる箔を用いてそれに
固体電解コンデンサを製造する方法について説明した
が、この方法は他の形態の固体電解コンデンサの製造に
も用いることができる。
Although the method of manufacturing a solid electrolytic capacitor using a foil mainly made of a film-forming metal has been described above, this method can also be used for manufacturing a solid electrolytic capacitor of another form.

例えばある特定の基板上に蒸着法によって膜形態金属
を形成する等の印刷により作成される固体電解コンデン
サや巻線等を利用したものにも応用できる。
For example, the present invention can be applied to the one using a solid electrolytic capacitor, winding, etc., which is created by printing such as forming a film form metal on a specific substrate by vapor deposition.

上記で説明した図面及び処理の説明は、本発明の理解
のためにされたものであって、その他に様々の変形をと
ることができることは当業者であれば容易に認識できる
ところであろう。
Those skilled in the art can easily recognize that the drawings and the description of the processes described above are provided for the understanding of the present invention and that various modifications can be made.

(実施例) 以下に実施例にて本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
(Examples) The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1 基材として高純度(99.99)のアルミニウム箔を用
い、このアルミニウム箔の表面を塩酸水溶液中で交流電
解エッチングを施し、表面積を拡大させる。
Example 1 A high-purity (99.99) aluminum foil is used as a substrate, and the surface of this aluminum foil is subjected to AC electrolytic etching in a hydrochloric acid aqueous solution to increase the surface area.

次にエッチングした後よく洗い、エッチングしたアル
ミニウム箔の表面に電圧約90Vで陽極酸化処理を行い、A
l2O3の誘電体酸化皮膜を形成した。得られた皮膜の静電
容量は28μF/10cm2(ただし、水浴中での測定値)であ
った。これを幅6mm×長さ27mmに切断し、陽極側リード
線を接続した。
Next, after etching, wash it well, and anodize the surface of the etched aluminum foil at a voltage of about 90 V.
A dielectric oxide film of l 2 O 3 was formed. The capacitance of the obtained film was 28 μF / 10 cm 2 (however, the measured value in a water bath). This was cut into a width of 6 mm and a length of 27 mm, and the anode side lead wire was connected.

次に、これを0.1wt%の非イオン界面活性剤(「花王
アミート」商品名)を含む水に浸漬する。これを乾燥し
た後、酢酸塩(Pb(OCOCH3)・3H2O)の1mol/溶
液20gとペルオキソ二硫酸アンモニウム(NH42S2O8)2
mol/溶液20gを混合した溶液に浸漬して80℃で20分間
反応させる。この操作を2〜3回繰り返すことによっ
て、誘電体皮膜上に二酸化鉛(PbO2)皮膜を形成させ
る。
Next, this is immersed in water containing 0.1 wt% of a nonionic surfactant (trade name of "Kao Amate"). After drying this, 1 mol / solution 20 g of acetate (Pb (OCOCH 3 ) 2 ) 3H 2 O) and ammonium peroxodisulfate (NH 4 ) 2 S 2 O 8 ) 2
Immerse in a mixed solution of 20 mol / solution and react at 80 ° C for 20 minutes. By repeating this operation 2-3 times, a lead dioxide (PbO 2 ) film is formed on the dielectric film.

その後水洗いをい行い130℃で1時間乾燥し、二酸化
鉛皮膜3とAl2O3(多孔質)誘電体層2の形成されたア
ルミニウム箔を得る。次にその二酸化鉛層3の表面にコ
ロイダルカーボン4を塗布し、さらにその上にアクリル
系溶剤に銀粉末を分散させた導電ペースト「ドータイト
XA−167(商品名)」(銀ペースト)5を表面に塗布し
後、一昼夜乾燥させ、陰極側リード線7を接続して、固
体電解コンデンサとなした。なお、このコンデンサの構
造模式図は第1図に示したとおりである。
Then, it is washed with water and dried at 130 ° C. for 1 hour to obtain an aluminum foil on which the lead dioxide film 3 and the Al 2 O 3 (porous) dielectric layer 2 are formed. Next, colloidal carbon 4 is applied to the surface of the lead dioxide layer 3, and a conductive paste "Dotite" in which silver powder is dispersed in an acrylic solvent is further applied.
"XA-167 (trade name)" (silver paste) 5 was applied on the surface and dried overnight and the cathode side lead wire 7 was connected to form a solid electrolytic capacitor. The structural schematic diagram of this capacitor is as shown in FIG.

次に得られた固体電解コンデンサの電気的特性を測定
した。
Next, the electrical characteristics of the obtained solid electrolytic capacitor were measured.

その結果、該固体電解コンデンサの静電容量(C)は
1.8μF、損失角の正接(tanδ)は4.7%、漏れ電流(L
C)は0.3μA(25V)*であった。
As a result, the capacitance (C) of the solid electrolytic capacitor is
1.8μF, loss angle tangent (tan δ) is 4.7%, leakage current (L
C) was 0.3 μA (25V) *.

但し*:25V印加して3分後の電流値 比較例1 上記実施例1で使用したものと同じアルミニウム箔を
用い、上記実施例1と同様にしてその表面にAl2O3誘電
体酸化皮膜を形成した。
However, *: current value 3 minutes after applying 25 V. Comparative Example 1 The same aluminum foil as that used in Example 1 above was used, and an Al 2 O 3 dielectric oxide film was formed on the surface in the same manner as in Example 1 above. Was formed.

誘電体皮膜に界面活性剤含有水溶液による処理を行わ
なかった以外は、上記実施例1と同様に処理して、アル
ミニウム箔のAl2O3誘電体皮膜面上に二酸化鉛層を形成
させた。このものを実施例1と同様にして固体電解コン
デンサとした。
A lead dioxide layer was formed on the Al 2 O 3 dielectric coating surface of the aluminum foil by the same treatment as in Example 1 except that the dielectric coating was not treated with the surfactant-containing aqueous solution. This was made into a solid electrolytic capacitor in the same manner as in Example 1.

そして実施例1と同様にして、その電気的特性を測定
したところ、静電容量(C)は1.5μF、損失角(tan
δ)は0.098、漏れ電流(LC)は0.6μAであった。
Then, when the electrical characteristics were measured in the same manner as in Example 1, the capacitance (C) was 1.5 μF and the loss angle (tan
δ) was 0.098 and the leakage current (LC) was 0.6 μA.

実施例2 表面のAl2O3誘電体皮膜の静電容量が59μF/10cm2(た
だし、水浴中での測定値)である高倍率エッチングAl箔
を使用したことと、界面活性剤としてフッ素系界面活性
剤である「ダイキンユニタイン(陰イオン性)」(商品
名)を0.1wt%含有する水溶液に、誘電体皮膜を浸漬
し、乾燥したことのほかは、実施例1と同じくして実験
を行った。
Example 2 The use of a high-magnification etched Al foil in which the electrostatic capacity of the Al 2 O 3 dielectric film on the surface was 59 μF / 10 cm 2 (however, measured value in a water bath), and the fluorine-based surfactant was used. Experiments were performed in the same manner as in Example 1 except that the dielectric film was dipped and dried in an aqueous solution containing 0.1 wt% of the surfactant "Daikin Unitine (anionic)" (trade name). I went.

その結果、得られた固体電解コンデンサの電気的特性
は、静電容量(C)は4.0μF、損失角の正接(tanδ)
は6.8%、漏れ電流(LC)は0.4μA(25V)*であっ
た。
As a result, the electric characteristics of the obtained solid electrolytic capacitor were as follows: capacitance (C) 4.0 μF, tangent of loss angle (tan δ)
Was 6.8% and the leakage current (LC) was 0.4 μA (25V) *.

但し、*25V印加して3分後の電流値 比較例2 上記実施例2で使用したものと同じ高倍率エッチング
アルミニウム箔を用いた。
However, a current value 3 minutes after * 25 V was applied Comparative Example 2 The same high-magnification etched aluminum foil used in Example 2 was used.

誘電体皮膜に界面活性剤含有水溶液による処理を行わ
なかった以外は、上記実施例1と同様に処理して、アル
ミニウム箔の表面上に二酸化鉛層を形成させた。このも
のを実施例1と同様にして固体電解コンデンサとした。
A lead dioxide layer was formed on the surface of the aluminum foil in the same manner as in Example 1 except that the dielectric coating was not treated with the surfactant-containing aqueous solution. This was made into a solid electrolytic capacitor in the same manner as in Example 1.

そして実施例1と同様にして、その電気的特性を測定
したところ、静電容量(C)は3.0μF、損失角(tan
δ)は0.120、漏れ電流(LC)は1.9μAであった。
Then, when the electrical characteristics were measured in the same manner as in Example 1, the capacitance (C) was 3.0 μF and the loss angle (tan
δ) was 0.120 and the leakage current (LC) was 1.9 μA.

これらの結果から、本発明の界面活性剤を用いた実施
例方法により得られた固体電解コンデンサは、その静電
容量が界面活性剤を用いない比較例方法により得られた
ものの1.2倍以上に増大していることが判る。
From these results, the solid electrolytic capacitor obtained by the example method using the surfactant of the present invention has the capacitance increased to 1.2 times or more that of the solid electrolytic capacitor obtained by the comparative example method using no surfactant. You can see that

また、損失角の正接(tanδ)及び漏れ電流(LC)も
大幅に減少していて、固体電解コンデンサとしての電気
的特性が非常に良好なものであることが判る。
Also, the tangent (tan δ) of the loss angle and the leakage current (LC) are greatly reduced, and it can be seen that the electric characteristics of the solid electrolytic capacitor are very good.

(発明の効果) 以上に詳細に説明したとおり、本発明方法によれば、
誘電体層の細かいピット内にまで二酸化鉛が析出して形
成され、誘電体と二酸化鉛との密着性も向上するため、
得られる二酸化鉛を電解質とする固体電解コンデンサ
は、電気的特性が非常に優れたものとなる。
(Effect of the Invention) As described in detail above, according to the method of the present invention,
Since lead dioxide is deposited and formed even in the fine pits of the dielectric layer, the adhesion between the dielectric and lead dioxide is also improved,
The obtained solid electrolytic capacitor using lead dioxide as an electrolyte has very excellent electrical characteristics.

とりわけ、静電容量は格段に増大し、損失角の正接及
び漏れ電流も大幅に減少した電解コンデンサが容易に得
られる。
In particular, it is easy to obtain an electrolytic capacitor in which the capacitance is remarkably increased and the tangent of the loss angle and the leakage current are greatly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明の実施例で得られる固体電解コンデン
サの構造模式図を示す。 1:アルミニウム層、2:Al2O3誘電体層、 3:二酸化鉛層、4:コロイダルカーボン層、 5:銀ペースト層、6:陽極側リード線、 7:陰極側リード線
FIG. 1 shows a structural schematic diagram of a solid electrolytic capacitor obtained in an example of the present invention. 1: Aluminum layer, 2: Al 2 O 3 dielectric layer, 3: Lead dioxide layer, 4: Colloidal carbon layer, 5: Silver paste layer, 6: Anode side lead wire, 7: Cathode side lead wire

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】陽極箔上の誘電体金属酸化物皮膜に、鉛
(II)化合物と過硫酸塩とを含有する溶液を接触させて
二酸化鉛皮膜を積層する固体電解コンデンサの製造法に
おいて、前記陽極箔の誘電体金属酸化物皮膜を予め界面
活性剤を含む溶液に浸漬、乾燥した後、前記鉛(II)化
合物と過硫酸塩とを含有する溶液を接触をさせることを
特徴とする固体電解コンデンサの製造法。
1. A method for producing a solid electrolytic capacitor, comprising laminating a lead dioxide film by bringing a solution containing a lead (II) compound and a persulfate into contact with a dielectric metal oxide film on an anode foil. The dielectric metal oxide film of the anode foil is immersed in a solution containing a surfactant in advance and dried, and then a solution containing the lead (II) compound and a persulfate is brought into contact with the solid electrolyte. Capacitor manufacturing method.
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