JP2564017Y2 - Automatic device supply sorting machine - Google Patents

Automatic device supply sorting machine

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JP2564017Y2
JP2564017Y2 JP1991040598U JP4059891U JP2564017Y2 JP 2564017 Y2 JP2564017 Y2 JP 2564017Y2 JP 1991040598 U JP1991040598 U JP 1991040598U JP 4059891 U JP4059891 U JP 4059891U JP 2564017 Y2 JP2564017 Y2 JP 2564017Y2
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JP
Japan
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sample
rail
tray
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contactor
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徳男 唐沢
和信 井浦
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この考案はデバイス自動供給選別
機(以下ハンドラと言う)に関し、特に処理能力の向上
に係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic device feeder / sorter (hereinafter referred to as a "handler"), and more particularly to an improvement in processing capacity.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のハンドラでは、以下の順序で作業
が行われていた。 (a) トレイより試料(例えばレーザダイオード)を1個
保持して試験治具まで移動し、所定の姿勢でセットす
る。 (b) 各種の試験を行う。
2. Description of the Related Art In a conventional handler, operations are performed in the following order. (a) One sample (for example, a laser diode) is held from a tray, moved to a test jig, and set in a predetermined posture. (b) Perform various tests.

【0003】(c) 試験治具にセットされた試験済試料を
保持して、試験結果によって、別のトレイにランク別に
分類して収容する。 (d) 前記(a) 〜(c) の作業を繰り返す。
(C) The tested sample set in a test jig is held, and classified into different trays according to the test results and stored in another tray. (d) Repeat the above operations (a) to (c).

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】従来のハンドラでは、
(a) 試料を試験治具にセットする作業と、(b) 性能試験
と、(c) 試験済の試料を別のトレイに収容する作業とが
直列的に行われているため、処理能力が低い欠点があっ
た。この考案の目的は、性能試験とその他の作業とを並
列的に行うようにして、ハンドラの処理能力を向上させ
ようとするものである。
[Problem to be solved by the invention] In the conventional handler,
(a) The operation of setting the sample on the test jig, (b) the performance test, and (c) the operation of storing the tested sample in another tray are performed in series. There were low drawbacks. The purpose of this invention is to improve performance of the handler by performing performance tests and other operations in parallel.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この考案のデバイス自動
供給選別機は、測定テーブルと、その測定テーブル上に
取付けられたYレールと、そのYレールと直角に配さ
れ、Yレールに沿って移動自在に前記測定テーブル上に
取付けられたXレールと、そのXレールに移動自在に取
付けられ、試料を保持するチャックと、が設けられる。
According to the present invention, a device automatic supply / selection apparatus is provided with a measuring table, a Y-rail mounted on the measuring table, and arranged at right angles to the Y-rail and moved along the Y-rail. An X-rail freely mounted on the measurement table and a chuck movably mounted on the X-rail and holding a sample are provided.

【0006】また、前記測定テーブル上に取付けられ、
試料と電気的に接続した状態で収容保持する複数のコン
タクタと、前記測定テーブル上に取付けられたヘッド用
レールと、そのヘッド用レールに移動自在に取付けら
れ、前記各コンタクタ上に順次対向して配されるテスト
ヘッドとが設けられる。前記任意のコンタクタに試料を
セットする作業及び前記任意のコンタクタの試験済試料
を他の場所に移動させる作業は、他の任意のコンタクタ
にセットした試料の試験中に行うように各部の動作が制
御部により制御される。
[0006] Further, it is mounted on the measurement table,
A plurality of contactors that house and hold in a state of being electrically connected to the sample, a head rail mounted on the measurement table, and movably mounted on the head rail, sequentially facing each of the contactors; And a test head to be arranged. Work of moving the post-test sample <br/> of work and the optional contactor sets samples to said arbitrary contactor elsewhere, as performed during the test of the sample was set in any other contactor The operation of each unit is controlled by the control unit.

【0007】[0007]

【実施例】この考案の実施例を図1を参照して説明す
る。ベース2上にフレーム3が組み立てられ、フレーム
3上に方形の測定テーブル4が水平に取付けられる。測
定テーブル4の一端にYレール6が、他端に円柱状の支
持台7がそれぞれ前後方向(Y方向)に固定される。Y
レール6と直角にXレール5が配され、その一端がYレ
ール6に前後方向に移動自在に係合され、他端は円柱状
の支持台7の外周面上に載せられる。1個の試料をつか
むことのできるチャック11がX方向(Y方向と直角)
に移動自在にXレール5に取付けられる。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. A frame 3 is assembled on a base 2, and a rectangular measuring table 4 is horizontally mounted on the frame 3. A Y-rail 6 is fixed to one end of the measurement table 4, and a cylindrical support 7 is fixed to the other end in the front-rear direction (Y direction). Y
An X-rail 5 is disposed at right angles to the rail 6, one end of which is movably engaged with the Y-rail 6 in the front-rear direction, and the other end of which is mounted on the outer peripheral surface of a columnar support 7. The chuck 11 that can hold one sample is in the X direction (perpendicular to the Y direction)
To the X rail 5 so as to be movable.

【0008】測定テーブル4の後端部は段部4aにより
一段低くされており、その後端部上に試料をセットする
コンタクタC1,C2が取付けられる。またX方向に沿
ったヘッド用レール14が測定テーブル4上の後端に固
定され、試料を試験するためのセンサが取付けられてい
るテストヘッド16がヘッド用レール14にX方向に移
動自在に取付けられる。
The rear end of the measurement table 4 is lowered by a step 4a, and contactors C1 and C2 for setting a sample are mounted on the rear end. A head rail 14 along the X direction is fixed to the rear end on the measurement table 4, and a test head 16 on which a sensor for testing a sample is mounted is movably mounted on the head rail 14 in the X direction. Can be

【0009】ベース2上にシリンダ台18が設けられ、
その上にシリンダ19,20が取付けられ、シリンダの
ピストン19a,20aの先端にトレイ置台19b,2
0bがそれぞれ取付けられる。トレイ置台19b上に試
料をマトリックス状に収容保持したトレイ23が載せら
れる。一方、トレイ置台20b上に試験済みの試料を分
類して収容するためのトレイ24が載せられる。これら
のトレイ23,24は測定テーブル4のトレイ用孔2
6,27内に測定テーブル4とほゞ同じ高さに保持され
る。
A cylinder table 18 is provided on the base 2,
Cylinders 19 and 20 are mounted thereon, and tray mounts 19b and 2 are provided at the tips of pistons 19a and 20a of the cylinders.
0b are respectively attached. A tray 23 that holds and holds samples in a matrix is placed on the tray table 19b. On the other hand, a tray 24 for sorting and storing the tested samples is placed on the tray mounting table 20b. These trays 23 and 24 are provided in the tray holes 2 of the measurement table 4.
It is held at approximately the same height as the measurement table 4 in 6, 27.

【0010】トレイを搬送するためのコンベア31がベ
ース2上に設けられる。ベース2の両端側にトレイ保持
具32,33及びトレイガイド34,35が取付けられ
る。トレイ保持具32にはトレイ置台19b,20bに
それぞれ供給するための試料入りトレイ及び空トレイが
積み重ねられている。(しかし、図1Aには図示してい
ない。)なお、コンベア31には孔38が形成されてい
て、この孔を通してピストン19a,20a及びトレイ
置台19b,20bは上下の移動が行われる。
[0010] A conveyor 31 for transporting the tray is provided on the base 2. The tray holders 32 and 33 and the tray guides 34 and 35 are attached to both ends of the base 2. The tray holder 32 has a stack of sample-containing trays and empty trays to be supplied to the tray tables 19b and 20b, respectively. (However, it is not shown in FIG. 1A.) A hole 38 is formed in the conveyor 31, and the pistons 19 a and 20 a and the tray mounting tables 19 b and 20 b move up and down through this hole.

【0011】各部の動作を制御する制御部40がベース
2上に設けられる。ハンドラの動作 制御部40により制約されて行われるハンドラの主な動
作を図2〜図5を参照して順に説明する。 コンベア31及びシリンダ19,20を用いて、試
料トレイ23及び空トレイ24を測定テーブル4のトレ
イ用孔26,27内に保持する。
A control section 40 for controlling the operation of each section is provided on the base 2. The main operation of the handler, which is performed by being restricted by the operation control unit 40 of the handler, will be described in order with reference to FIGS. The sample tray 23 and the empty tray 24 are held in the tray holes 26 and 27 of the measurement table 4 using the conveyor 31 and the cylinders 19 and 20.

【0012】 チャック11をXレール5に沿って移
動させ、そのXレール5をYレール6に沿って移動させ
て、チャック11を試料a上に位置させてから試料aを
保持させる。次に、チャック11を同様にX,Y方向に
移動させてコンタクタC1上に位置させ、試料aをコン
タクタC1にセットする。 ストヘッド16をヘッド用レール14に沿って移
動させ、試料a上にセットさせた後、試験を開始する。
The chuck 11 is moved along the X rail 5, and the X rail 5 is moved along the Y rail 6, so that the chuck 11 is positioned on the sample a and then the sample a is held. Next, the chuck 11 is similarly moved in the X and Y directions to be positioned on the contactor C1, and the sample a is set on the contactor C1. Te Sutoheddo 16 is moved along the head rail 14, after being set on the sample a, starting the tests.

【0013】 試料aの試験中に、試料bをチャック
11によりトレイ23より取り出してコンタクタC2に
セットする。 試料aの試験終了後直ちにテストヘッド16を試料
b上にセットし、試験を開始する。 試料bの試験中に、試料aをその試験結果により、
トレイ24の所定位置に移動させる。性能によってA,
B,Cの3ランクに分類する場合には、例えばトレイ2
4の右、中、左の各列をそれぞれA,B,Cランクの位
置とする。従って試料がAランクであれば図Cのよう
に右列の前端より順次並べられる。
During the test of the sample a, the sample b is taken out of the tray 23 by the chuck 11 and set on the contactor C2. Immediately after the test of the sample a is completed, the test head 16 is set on the sample b, and the test is started. During the test of sample b, sample a was
The tray 24 is moved to a predetermined position. Depending on the performance, A,
To classify into three ranks B and C, for example, tray 2
The right, middle, and left columns of 4 are the positions of A, B, and C ranks, respectively. Therefore samples are sequentially arranged from the front end of the right column as shown in FIG. 3 C if A rank.

【0014】 試料bの試験中に、チャック11を用
いて試料cをコンタクタC1にセットする。 試料bの試験終了後直ちにテストヘッド16を試料
c上にセットし、試験を開始する。 試料cの試験中に、チャック11を用いて試料bを
その試験結果によりトレイ24内に分類して収容する。
During the test of the sample “b”, the sample “c” is set on the contactor C 1 using the chuck 11. Immediately after the test of the sample b is completed, the test head 16 is set on the sample c to start the test. During the test of the sample c, the chuck 11 is used to sort and store the sample b in the tray 24 according to the test result.

【0015】以下、前記〜の動作が繰り返される。
トレイ24のランク別列のいずれかが一杯になれば図1
のシリンダ及びコンベア31を動作させてトレイ保持具
33に保持させ、代わりに空のトレイが配される。また
トレイ23が空になれば、同様にその空トレイを所定の
位置に移動させ、新しい試料トレイ23が図2Aのよう
にセットされる。なお、トレイの搬送については、この
考案と直接関係ないので詳しい説明を省略する。試験済
みの試料を分類する必要がなければトレイ24に所定の
順序で収容すればよい。
Hereinafter, the above operations (1) to (4) are repeated.
FIG. 1 shows that one of the rank-based rows of the tray 24 becomes full.
The cylinder and the conveyor 31 are operated to be held by the tray holder 33, and an empty tray is arranged instead. When the tray 23 becomes empty, the empty tray is similarly moved to a predetermined position, and a new sample tray 23 is set as shown in FIG. 2A. The transport of the tray is not directly related to the present invention and will not be described in detail. If it is not necessary to sort the tested samples, they may be stored in the tray 24 in a predetermined order.

【0016】[0016]

【考案の効果】この考案によれば、測定テーブル4上に
2個のコンタクタC1,C2(一般的には複数個)が取
付けられ、一方のコンタクタにセットした試料の試験中
に、他方のコンタクタの試験済試料がトレイ24内に分
類され、代わりに新しい試料がセットされる。このよう
に、この考案ではチャック11による試料の移動は一方
の試料の試験中に並列的に行われるので、直列的に作業
を進める従来の装置に比較し、処理能力を大幅に向上で
きる。
According to the present invention, two contactors C1 and C2 (generally, a plurality of contactors) are mounted on the measurement table 4, and during the test of the sample set in one of the contactors, the other contactor C1, C2 is used. Are sorted in tray 24 and a new sample is set instead. As described above, in the present invention, the movement of the sample by the chuck 11 is performed in parallel during the test of one of the samples, so that the processing capacity can be greatly improved as compared with the conventional apparatus which works in series.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この考案の実施例を示す図で、Aは平面図、B
は正面図。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, wherein A is a plan view, and B is
Is a front view.

【図2】図1のハンドラのコンタクタC1に試料をセッ
トし、試験を開始するまでのハンドラの動作を説明する
ための平面図。
FIG. 2 is a plan view for explaining an operation of the handler until a sample is set in a contactor C1 of the handler of FIG. 1 and a test is started.

【図3】図2に続いてコンタクタC1の試料を試験中に
コンタクタC2に試料をセットし、C2の試料の試験中
にC1の試料を分類するまでのハンドラの動作を説明す
るための平面図。
FIG. 3 is a plan view for explaining the operation of the handler until the sample is set to the contactor C2 during the test of the contactor C1 and the C1 sample is classified during the test of the C2 sample, following FIG. 2; .

【図4】図3に続いてコンタクタC2の試料を試験中に
コンタクタC1に試料をセットし、C1の試料の試験中
にC2の試料を分類するまでのハンドラの動作を説明す
るための平面図。
FIG. 4 is a plan view for explaining the operation of the handler until the sample is set to the contactor C1 during the test of the contactor C2 and the C2 sample is classified during the test of the C1 sample, following FIG. 3; .

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 測定テーブルと、 その測定テーブル上に取付けられたYレールと、 そのYレールと直角に配され、Yレールに沿って移動自
在に前記測定テーブル上に取付けられたXレールと、 そのXレールに移動自在に取付けられ、試料を保持する
チャックと、 前記測定テーブル上に取付けられ、試料と電気的に接続
した状態で収容保持する複数のコンタクタと、 前記測定テーブル上に取付けられたヘッド用レールと、 そのヘッド用レールに移動自在に取付けられ、前記各コ
ンタクタ上に順次対向して配されるテストヘッドと、 前記任意のコンタクタに試料をセットする作業及び前記
任意のコンタクタの試験済料を他の場所に移動させる
作業は、他の任意のコンタクタにセットした試料の試験
中に行うように各部の動作を制御する制御部とを具備す
ることを特徴とする、 デバイス自動供給選別機。
A measuring table, a Y-rail mounted on the measuring table, an X-rail arranged at right angles to the Y-rail and movably mounted on the measuring table along the Y-rail; A chuck movably mounted on the X rail and holding the sample; a plurality of contactors mounted on the measurement table and housed and held in a state of being electrically connected to the sample; and mounted on the measurement table. and the rail head, mounted movably to the head rail, the test head which is disposed to sequentially face on each of the contactors, the work and the optional contactor of attempts to set a sample on the arbitrary contactor work of moving the Kensumi specimen to another location, control for controlling the operation of each part to perform in the test samples was set in any other contactor Characterized by comprising a preparative, device autofeed sorter.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2657314B2 (en) * 1988-11-30 1997-09-24 東京エレクトロン株式会社 Semiconductor inspection equipment

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