JP2563118B2 - Copper or copper alloy material for flexible printed circuit board and manufacturing method thereof - Google Patents

Copper or copper alloy material for flexible printed circuit board and manufacturing method thereof

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JP2563118B2
JP2563118B2 JP32840387A JP32840387A JP2563118B2 JP 2563118 B2 JP2563118 B2 JP 2563118B2 JP 32840387 A JP32840387 A JP 32840387A JP 32840387 A JP32840387 A JP 32840387A JP 2563118 B2 JP2563118 B2 JP 2563118B2
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    • B21B27/005Rolls with a roughened or textured surface; Methods for making same
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/022Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates
    • HELECTRICITY
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はフレキシブル回路基板用銅又は銅合金素材及
びその製造方法に関するものであり、特にはかかる用途
に適したエッチング性、屈曲性等を改良した銅又は銅合
金素材及びその製造方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a copper or copper alloy material for a flexible circuit board and a method for producing the same, and particularly, to improve etching properties, flexibility, etc. suitable for such applications. And a method for producing the same.

[従来の技術] ICやLSI等の著しい進歩とともに、これらの素子を搭
載する回路基板の開発も広範囲にしかも急速に進められ
た。
[Prior Art] With the remarkable progress of ICs and LSIs, the development of circuit boards on which these elements are mounted has been extensively and rapidly advanced.

上記のように回路基板の主目的は、その上に搭載され
た素子の相互接続にあるが、その他低誘電率絶縁体、低
抵抗導体などの電気的特性、フレキシブルあるいは剛性
などの機械的特性、熱伝達特性、信頼性、経済性などが
要求されている。
As described above, the main purpose of the circuit board is to interconnect the elements mounted on it, but other low dielectric constant insulators, electrical characteristics such as low resistance conductors, mechanical characteristics such as flexibility or rigidity, Heat transfer characteristics, reliability, economy, etc. are required.

このような回路基板には大別して、樹脂基板、セラミ
ック基板、金属基板がある。そしてセラミック基板はハ
イブリッドIC用として、樹脂基板はプリント回路用とし
てそれぞれ発展し、金属基板は両者の中間に位置するも
のである。
Such circuit boards are roughly classified into resin boards, ceramic boards, and metal boards. The ceramic substrate has been developed for hybrid ICs, the resin substrate has been developed for printed circuits, and the metal substrate is located between them.

このような基板の中で樹脂基板は、エポキシ、フェノ
ール、ポリイミド等の樹脂又はこれらと紙、ガラス等の
他の材料との複合基板に銅箔をラミネートし、接着剤あ
るいは加熱加圧により一体化して形成されたものであ
る。
Among such substrates, the resin substrate is a resin substrate such as epoxy, phenol, or polyimide, or a composite substrate of these and other materials such as paper and glass, laminated with copper foil, and integrated with an adhesive or heat and pressure. It was formed by.

上記の樹脂基板のうちフレキシブル回路(プリント)
基板は、ポリイミド等の可撓性のある樹脂に屈曲性に優
れた10〜60μm程度の圧延銅箔をラミネートした基板
で、電子機器の広範囲な用途に用いられている。
Flexible circuit (print) of the above resin boards
The substrate is a substrate obtained by laminating a rolled copper foil having a flexibility of about 10 to 60 μm on a flexible resin such as polyimide, and is used in a wide range of electronic devices.

上記の銅箔をラミネートした回路基板は、エッチング
により線巾及び線間隔100μm程度にまでファイン化さ
れた配線パターンが形成される。
On the circuit board laminated with the above copper foil, a fine wiring pattern having a line width and a line interval of about 100 μm is formed by etching.

そして高密度のためには上記の線巾及び線間隔が50μ
mのパターンも検討されている。
And for high density, the above line width and line spacing are 50μ.
The m pattern is also being considered.

前記フレキシブルプリント回路基板は、銅及び銅合金
素材を樹脂と接着し、これをさらにエッチングして配線
パターンを作る。
In the flexible printed circuit board, copper and copper alloy materials are adhered to a resin, and this is further etched to form a wiring pattern.

また、かかるフレキシブルプリント回路基板用素材は
ショットブラストや液体ホーニングといった方法でダル
加工されたロールで圧延加工され、ある程度の表面粗さ
をもった状態で供給されている。さらに近年、新たなダ
ル加工方法として放電加工による方法も考えられてい
る。
Further, such a material for a flexible printed circuit board is rolled by a roll that has been dull processed by a method such as shot blasting or liquid honing, and is supplied with a certain surface roughness. Further, in recent years, a method using electric discharge machining has been considered as a new dull machining method.

[発明が解決しようとする問題点] 上記回路基板は、配線パターンの線間隔が狭くなって
きている為、エッチング性が良好であり、微細な回路が
正確に作製できる事が要求されてきている。このエッチ
ング性を改善するには、適正な範囲にする必要がある。
表面粗さが適正な範囲にないと、レジスト膜が部分的に
剥離して適正なエッチング形状が創出されず、また、逆
に部分的に密着しすぎてエッチング後、強アルカリで除
去ができないといった問題が生じていた。
[Problems to be Solved by the Invention] In the above-mentioned circuit board, since the line interval of the wiring pattern is becoming narrower, it is required that the circuit board has good etching property and a fine circuit can be accurately manufactured. . In order to improve this etching property, it is necessary to make it within a proper range.
If the surface roughness is not within the proper range, the resist film will be partially peeled off and an appropriate etching shape will not be created. Conversely, if the surface is too closely adhered, it cannot be removed with a strong alkali after etching. There was a problem.

また、フレキシブルプリント回路基板は、その名の如
く従来のプリント回路基板と異なり、屈曲して機器に設
置されたり、可動部として用いられるものである。電子
機器の小型化、高密度化に伴ない、フレキシブルプリン
ト回路基板の破断が重要な問題となってきた。従って、
より可撓性の良好なフレキシブルプリント回路基板が強
く求められていた。
Further, as its name implies, the flexible printed circuit board is different from the conventional printed circuit board in that it is bent and installed in a device or used as a movable part. Breakage of flexible printed circuit boards has become an important issue as electronic devices have become smaller and higher in density. Therefore,
There has been a strong demand for a flexible printed circuit board having better flexibility.

また、フレキシブルプリント回路基板用素材をショッ
トブラストや液体ホーニングといった方法でダル加工さ
れたロールを圧延加工する方法では、また以下の様な問
題点を有している。
Further, the method of rolling a dull-processed roll of a flexible printed circuit board material by a method such as shot blasting or liquid honing has the following problems.

第1に、ショットブラストや液体ホーニングでダル加
工したダルロールは消耗が激しく、フレキシブルプリン
ト回路基板用素材の様に0.01〜0.06mmの板厚の材料を1t
on以上(長さにすれば10,000m)も圧延するとコイルの
前後端の表面粗さが著しく異なってくる。
First, dull rolls that have been dull-processed by shot blasting or liquid honing are extremely worn out, and materials with a plate thickness of 0.01 to 0.06 mm, such as flexible printed circuit board materials, can be used for 1 t.
When rolled more than on (10,000 m in length), the surface roughness at the front and rear ends of the coil is significantly different.

従って前端は粗さが大きめに後端が小さめになること
が避けられない。
Therefore, it is inevitable that the front end has a large roughness and the rear end has a small size.

第2に、これらの方法で作製したロールのダル目(凹
凸の状態)は鋭角的であり、それ故ダル圧延中に材料表
面をけずり、材料表面に汚れとして金属粉を付着させた
り、さらに著しい時には微細な押し込み傷をつくる。こ
れは、後の脱脂でも十分に除去することが難しく、それ
故にフレキシブルプリント回路基板を製造する際のむら
の原因となる。
Secondly, the rolls produced by these methods have sharp dullness (roughness), and therefore the material surface is scraped during the dull rolling, and metal powder adheres to the material surface as stains. Sometimes it makes a fine indentation. This is difficult to remove sufficiently even after degreasing, which causes unevenness in manufacturing the flexible printed circuit board.

第3に、これらの方法で作製した素材のダル仕上げ面
もロールと同じく鋭角的な凸部を有しやすく、それが脱
脂やレジスト塗布工程でのゴムロール等を削り、新たな
汚れの原因となる。
Thirdly, the dull-finished surface of the material produced by these methods is likely to have a sharp convex portion like the roll, which scrapes rubber rolls in the degreasing and resist coating steps and causes new stains. .

又、鋭角的な凹凸を有しているため、屈曲時の微細ク
ラシック発生源となり、可撓性を著しく低下させること
が判明した。
Further, it has been found that it has a sharp convexo-concave pattern and becomes a source of generation of fine classics at the time of bending, resulting in a marked decrease in flexibility.

さらに、放電加工によるものは、フレキシブルプリン
ト回路基板として適するに十分微細な粗さの表面を作製
することが難しい。
Furthermore, it is difficult to produce a surface having a fine enough roughness suitable for a flexible printed circuit board by the electric discharge machining.

本発明は、上記の問題点に鑑みなされたもので、フレ
キシブルプリント回路基板用銅又は銅合金素材として、
エッチング性、可撓性を改善したものを提供せんとする
ものである。
The present invention has been made in view of the above problems, as a flexible printed circuit board copper or copper alloy material,
It is intended to provide a material having improved etching property and flexibility.

[問題点を解決するための手段] 本発明は、表面粗さをRa0.2〜1.0μm、Rmax1.0〜5.0
μmとしたことを特徴とするフレキシブルプリント回路
基板用銅又は銅合金素材および最終冷間圧延工程におい
て、レーザー加工により表面ダル加工を施した圧延ロー
ルを用いて素材の表面粗さをRa0.2〜1.0μm、Rmax1.0
〜5.0μmとすることを特徴とするフレキシブルプリン
ト回路基板銅又は銅合金素材の製造方法である。
[Means for Solving Problems] In the present invention, the surface roughness is Ra 0.2 to 1.0 μm, R max 1.0 to 5.0.
In the final cold rolling process and copper or copper alloy material for flexible printed circuit boards, the surface roughness of the material is Ra 0.2 ~ by using a rolling roll surface-dulled by laser processing. 1.0 μm, R max 1.0
The method for producing a copper or copper alloy material for a flexible printed circuit board is characterized by setting the thickness to 5.0 μm.

回路基板用の銅又は合金素材の表面粗さは前述のとお
りレジスト密着性に大きく影響を与える。表面粗さが0.
2μmより小さいとレジストの密着力が弱くなり、レジ
スト流れ等の不良の原因となりむらが発生する。またRa
が1.0μmより大きいと、レジストの密着力も強くなる
ため、現像不良やエッチング後の剥離不良の原因とな
り、また、エッジ面がガサガサになる原因となる。よっ
てRaを0.2〜1.0μmに制御することが必要である。
The surface roughness of the copper or alloy material for the circuit board has a great influence on the resist adhesion as described above. Surface roughness is 0.
If it is less than 2 μm, the adhesion of the resist is weakened, causing defects such as resist flow and unevenness. Also Ra
Is more than 1.0 μm, the adhesive strength of the resist is also strong, which causes poor development and poor peeling after etching, and also causes the edge surface to be rough. Therefore, it is necessary to control Ra to 0.2 to 1.0 μm.

しかしながら、上記のRaの規定だけでは適切なフレキ
シブルプリント回路基板用材料を得ることができない。
However, it is not possible to obtain an appropriate material for a flexible printed circuit board only by the above definition of Ra.

すなわち、Rmaxが1.0μmより小さいとレジストの密
着力が弱くなり、エッチングむらが発生する。また、R
maxが5.0μmより大きいと、薄板であるため、板厚変動
におよぼす影響が大きくなり、回路基板そのものの板厚
変動を招くとともに不均一な応力集中が生じやすく、可
撓性を低下させる原因となる。よってRmaxを1.0〜5.0μ
mに制御することが必要である。
That is, when R max is less than 1.0 μm, the adhesive force of the resist becomes weak and uneven etching occurs. Also, R
When max is larger than 5.0 μm, it is a thin plate, so that the influence on the plate thickness fluctuation becomes large, which causes the plate thickness fluctuation of the circuit board itself and tends to cause non-uniform stress concentration, which causes a decrease in flexibility. Become. Therefore, R max is 1.0 to 5.0 μ
It is necessary to control to m.

かかる表面粗さをもった素材は、レーザー加工により
表面ダル加工を施した圧延ロールによって最終冷間圧延
を施すことによって得られる。その理由は以下のとおり
である。
A material having such a surface roughness can be obtained by performing final cold rolling with a rolling roll subjected to surface dull processing by laser processing. The reason is as follows.

レーザー加工により表面ダル加工を施した圧延ロール
を用いると、レーザービームによるクレーターの大き
さ、深さ、分布等が自在に制御でき、かつなめらかな凹
凸を形成する事ができる。従って、このようなロールを
用いて圧延した材料の表面も凸部がなけらかになってお
り、可撓性、エッチング性が著しく向上するとともに、
Ra、Rmaxの制御も極めて容易になる。
When a rolling roll subjected to surface dull processing by laser processing is used, the size, depth, distribution, etc. of the craters can be freely controlled by the laser beam, and smooth unevenness can be formed. Therefore, the surface of the material rolled using such a roll also has a smooth convex portion, and the flexibility and the etching property are significantly improved, and
Control of Ra and R max is also extremely easy.

第1図は、ロールR表面上に形成されたクレータの一
つを誇張して描いたものである。ロール表面から突出す
る隆起Pが示されている。
FIG. 1 is an exaggerated drawing of one of the craters formed on the surface of the roll R. The ridge P protruding from the roll surface is shown.

第2図は、第1図に示したロールで圧延した場合の材
料表面を示したものである。図の上段にクレータの上面
図を示した。このロールの断面曲線をその下に示し、こ
のロールにより形成される材料表面を示したものであ
る。
FIG. 2 shows the surface of the material when it is rolled by the roll shown in FIG. The top view of the crater is shown in the upper part of the figure. The cross-section curve for this roll is shown below, showing the material surface formed by this roll.

次に圧延ロールのダルの加工法について述べる。 Next, the method of processing the dull of the rolling roll will be described.

第5図は、レーザー加工法により圧延ロールをダル加
工する作業状況を示す。レーザービーム発生及び指向装
置Lにおいて発生せしめられたレーザービームは、レー
ザービーム導通管1に差向けられる。
FIG. 5 shows a working situation in which a rolling roll is dull processed by a laser processing method. The laser beam generated in the laser beam generating and directing device L is directed to the laser beam conduit 1.

ダル加工すべき圧延ロールRは、ロール支承装置4に
回転自在に支承されている。ロール軸の一方(ここでは
右側)は回転駆動装置(図示なし)からの駆動軸9に接
合されている。ビーム導通管1の先端には、伸縮継手を
介して或いは入れ子方式で収縮チューブ2が設けられ、
更にその先端にはレーザー焦点装置3が付設され、導通
管1及び伸縮チューブ2を通過してきたレーザービーム
を圧延ロールRの表面上に焦点合わせするよう収斂す
る。レーザー焦点装置3は、支持腕5により支持され
る。支持腕5は適宜の移動機構によりロール長さに沿っ
てその長さ全体にわたり移動自在である。移動機構はこ
こでは、支持腕を担持するキャリア6とそれを移動する
スクリュー棒7及び駆動モーターMから構成されるもの
として示してあるが、その他スライド方式、自走方式等
任意の移動機構を採用しうることはもちろんである。支
持腕の移動に応じてレーザー焦点装置はロール長手方向
にそしてロール全長にあってチョッパー8が設けられ、
これは回転自在であると共に、支持腕と同期された速度
でロール長手方向に沿って直線移動自在である。レーザ
ービームは、チョッパー8の周辺に形成されたスリット
を通してロール表面に達する。
The rolling roll R to be dulled is rotatably supported by the roll supporting device 4. One of the roll shafts (right side here) is joined to a drive shaft 9 from a rotary drive device (not shown). A contraction tube 2 is provided at the tip of the beam conducting tube 1 via an expansion joint or in a nested manner.
Further, a laser focusing device 3 is attached to the tip thereof, and converges the laser beam having passed through the conducting tube 1 and the expansion tube 2 so as to focus on the surface of the rolling roll R. The laser focusing device 3 is supported by the support arm 5. The support arm 5 is movable along the length of the roll over the entire length by an appropriate moving mechanism. Here, the moving mechanism is shown as composed of the carrier 6 carrying the supporting arm, the screw rod 7 for moving the carrier 6 and the drive motor M, but any other moving mechanism such as a slide system or a self-propelled system is adopted. Of course you can. According to the movement of the supporting arm, the laser focusing device is provided with the chopper 8 in the longitudinal direction of the roll and along the entire length of the roll,
It is rotatable and linearly movable in the longitudinal direction of the roll at a speed synchronized with the supporting arm. The laser beam reaches the roll surface through a slit formed around the chopper 8.

従って、ロール回転速度、支持腕(従ってレーザー焦
点装置)及びチョパーの移動速度、チョッパー回転速
度、チョッパースリットの大きさの設定により、またレ
ーザー出力の調整により、様々の表面粗さ及び形態を容
易に創出することができる。
Therefore, various surface roughness and morphology can be easily adjusted by setting the roll rotation speed, the moving speed of the supporting arm (and hence the laser focusing device) and the chopper, the chopper rotation speed, the size of the chopper slit, and by adjusting the laser output. Can be created.

圧延ロール表面にそこに焦点を合わせたレーザービー
ムを照射すると、焦点を中心とする円形部分の材料の溶
融が生じ、それが拡大すると中心部から金属蒸気が噴出
し、その後にクレータ状の円形穴が生じる。そして、特
筆すべきは、の円形穴周縁に沿って円環状の隆起Pがコ
ントロールされた態様で生成されることである。この隆
起がフレキシブルプリント回路基板用素材表面のダル加
工に使用しうるものである。
When the laser beam focused on the surface of the rolling roll is irradiated, melting of the material in the circular portion centered on the focal point occurs, and when it expands, metal vapor is ejected from the center, and then a crater-shaped circular hole. Occurs. It should be noted that the annular ridge P is generated in a controlled manner along the peripheral edge of the circular hole. This ridge can be used for dulling the surface of the material for a flexible printed circuit board.

レーザー加工によりロール上にダル加工されたこのク
レータは再現性良くロール全体に生成され、クレータの
大きさ及び深さ並びにその分布配列模様も自在に制御し
うる。第3図にレーザー加工によりダル加工されたフレ
キシブルプリント回路基板用素材の表面粗さのプロフィ
ールを第4図に従来の液体ホーニング加工のダルロール
で圧延した素材の表面粗さのプロフィールを示したが、
液体ホーニングのものは表面に鋭角的な凸部を有してい
るのに対しレーザー加工の方はなめらかな表面形態とな
っている。
This crater dull-processed on the roll by laser processing is reproducibly generated on the entire roll, and the size and depth of the crater and its distribution arrangement pattern can be freely controlled. Fig. 3 shows the surface roughness profile of the material for flexible printed circuit boards dull-processed by laser processing, and Fig. 4 shows the surface roughness profile of the material rolled by the conventional liquid honing dull roll.
The liquid honing type has a sharp convex portion on the surface, whereas the laser processing type has a smooth surface form.

従って、レーザー加工によるダル肌は従来にくらべ、
金属粉付着による汚れやゴムロールの削りによるレジス
ト液の汚れ等の問題は生じないものである。
Therefore, the laser-processed dull skin is
There is no problem such as stains due to adhesion of metal powder or stains of resist solution due to scraping of a rubber roll.

さらに本発明では、かかる圧延ロールによる最終冷間
圧延後に必要に応じて形状矯正を行う。この形状矯正は
ローラーレベラー、テンションレベラー、テンションロ
ーラーレベラーなど適宜の矯正手段を用いて行うことが
できる。
Further, in the present invention, after the final cold rolling by such a rolling roll, the shape is corrected if necessary. This shape correction can be performed using an appropriate correction means such as a roller leveler, a tension leveler, and a tension roller leveler.

[実施例] 第5図に示した様な装置を用いて、チョッパーの回転
数、ロール回転数及びレーザービーム出力を調整するこ
とにより各種の表面形態を有するダルロールを作製し
た。
[Example] Dull rolls having various surface morphologies were produced by adjusting the number of rotations of the chopper, the number of rotations of the roll, and the laser beam output using the apparatus shown in FIG.

これらのロールに合わせ従来の液体ホーニングによっ
てダル加工したロールをも合わせ、フレキシブルプリン
ト回路基板用銅又は銅合金を板厚0.035mmに圧延した。
圧延後の表面粗さRa、Rmaxを測定し、脱脂、レジスト塗
布−露光・現像−エッチング穿孔−レジスト除去なる工
程でフレキシブルプリント回路を製造し、フレキシルプ
リント回路のむら品位を調査した。
A roll dull-processed by conventional liquid honing was also combined with these rolls, and copper or copper alloy for flexible printed circuit boards was rolled to a thickness of 0.035 mm.
The surface roughness Ra and R max after rolling were measured, and a flexible printed circuit was manufactured by the steps of degreasing, resist coating-exposure / development-etching perforation-resist removal, and the uneven quality of the flexyl printed circuit was investigated.

可撓性はJIS P8115に準拠し、折り曲げ角度135゜、曲
げ半径0.8mm、荷重1.5kgの条件でMIT耐揉疲労試験機を
用いて破断までの回数を調査した。
Flexibility complies with JIS P8115, and the number of breaks was investigated using a MIT massage fatigue tester under the conditions of a bending angle of 135 °, a bending radius of 0.8 mm, and a load of 1.5 kg.

この結果を第1表に示す。 The results are shown in Table 1.

第1表においてRa、RmaxはJIS等に定められた定義お
よび測定法に従うものであり、次の通りである。
In Table 1, Ra and R max comply with the definitions and measurement methods defined in JIS and the like, and are as follows.

Ra:中心線平均粗さと呼ばれ、粗さ曲線からその中心
線の方向に測定長さlの部分を抜き取り、この抜取り部
分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY軸とし、粗さ曲線
をy=f(x)で表わしたとき、次の式によって求めら
れる値をマイクロメートル(μm)で表したものをい
う。
Ra: It is called center line average roughness, and a portion of measurement length 1 is extracted from the roughness curve in the direction of the center line, the center line of this extracted portion is taken as the X axis, and the direction of longitudinal magnification is taken as the Y axis. When a curve is represented by y = f (x), the value obtained by the following formula is represented by micrometers (μm).

Ra=1/l∫0 1|f(x)|dx Rmax;最大高さと呼ばれ、断面曲線から基準長さだけ抜
き取った部分(抜き取り部分)の平均線に平行な2直線
で抜き取り部分をはさんだとき、この2直線の間隔を断
面曲線の縦倍率の方向に測定して、その値をマイクロメ
ートル単位(μm)で表わしたもをいう。
Ra = 1 / l∫ 0 1 | f (x) | dx R max ; It is called the maximum height, and the extracted part is two straight lines parallel to the average line of the part (extracted part) extracted from the section curve by the reference length. When sandwiched, the distance between these two straight lines is measured in the direction of the longitudinal magnification of the sectional curve, and the value is expressed in units of micrometers (μm).

第1表から明らかな様に本発明例1〜4はレーザーに
よりダル加工をした圧延ロールで表面粗さをある一定領
域に制御したので、むらのない良好なマスクを得ること
が可能であった。
As is clear from Table 1, in Examples 1 to 4 of the present invention, since the surface roughness was controlled to a certain region by the rolling roll that was dull processed by the laser, it was possible to obtain a good mask without unevenness. .

一方、比較例1〜2もレーザーダルの例であるが、比
較例1はRa、Rmaxが小さすぎるためエッチング工程中に
レジスト流れが生じ、そのためにむら品位を害した。ま
た比較例2はRa、Rmaxが大きすぎるためエッチング後の
レジスト除去工程でレジストが取りきれず、またガス孔
になりむら品位が悪くなった。
On the other hand, Comparative Examples 1 and 2 are also examples of laser dull, but in Comparative Example 1, resist flow occurred during the etching process because Ra and R max were too small, which impaired the uneven quality. Further, in Comparative Example 2, since Ra and R max were too large, the resist could not be removed completely in the resist removing step after etching, and gas holes became uneven, resulting in poor quality.

また、表面粗さが粗すぎるため、可撓性が劣化してい
る。
Further, since the surface roughness is too rough, the flexibility is deteriorated.

比較例3、4は液体ホーニング加工での例であるが、
表面の鋭角的な凸部のためゴムロールを削ったカスがレ
ジスト液を汚してしまったことと、脱脂不良のためレジ
ストの密着性が悪いため、むら品位の悪いものとなっ
た。
Comparative examples 3 and 4 are examples of liquid honing,
Due to the sharp convex portion of the surface, scraps from the rubber roll soiled the resist solution, and the poor adhesion of the resist due to poor degreasing resulted in poor unevenness.

また、表面の鋭角的な凹凸部のため、可撓性が劣化し
ている。
Also, the flexibility is deteriorated due to the acute-angled irregularities on the surface.

[発明の効果] 本発明は上記のようにエッチング性、可撓性を改善
し、信頼性が増し、フレキシブルプリント回路基板とし
て、微細化に十分対応できるものである。
[Advantages of the Invention] The present invention improves etching properties and flexibility as described above, increases reliability, and is sufficiently adaptable to miniaturization as a flexible printed circuit board.

そしてこのような基板はICやLSI等の実装密度を高
め、これを用いた電子機器はさらに新たな用途や機能に
展開されていくことが十分に期待できるものである。
It is highly promising that such a board will increase the packaging density of ICs, LSIs, etc., and that electronic equipment using this will be further developed into new applications and functions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はレーザー法により形成されたダル加工クレータ
の断面図、第2図はクレータの上面、断面輪郭及びフレ
キシブルプリント回路基板用素材に生成されたダル加工
輪郭を関連づけて示す説明図、第3図はレーザー加工ダ
ルロールで圧延した材料の表面粗さプロフィール、第4
図は従来の液体ホーニング加工ダルロールで圧延した表
面プロフィールである。第5図は圧延ロールにレーザー
法によりダル加工を施すための装置の一例の一部断面で
示す斜視図である。 L……レーザービーム発生及び指向装置、 1……ビーム導通管、2……伸縮チューブ、3……レー
ザー焦点装置、4……ロール支承装置、5……支持腕、
6……キャリヤ、7……スクリュー棒、8……チョッパ
ー、9……駆動軸、M……モーター、P……隆起、R…
…ロール。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a dulling crater formed by a laser method, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing the upper surface of the crater, a cross-sectional contour, and a dulling contour generated in a material for a flexible printed circuit board in association with each other. The figure shows the surface roughness profile of the material rolled by laser processing dull roll, No. 4
The figure is a surface profile rolled on a conventional liquid honing dull roll. FIG. 5 is a perspective view showing a partial cross section of an example of an apparatus for dulling a rolling roll by a laser method. L ... Laser beam generating and directing device, 1 ... Beam conducting tube, 2 ... Telescopic tube, 3 ... Laser focusing device, 4 ... Roll support device, 5 ... Support arm,
6 ... Carrier, 7 ... Screw rod, 8 ... Chopper, 9 ... Drive shaft, M ... Motor, P ... Raised, R ...
…roll.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】表面粗さをRa0.2〜1.0μm、Rmax1.0〜5.0
μmとしたことを特徴とするフレキシブルプリント回路
基板用銅又は銅合金素材。
1. Surface roughness Ra 0.2-1.0 μm, R max 1.0-5.0
A copper or copper alloy material for flexible printed circuit boards characterized by having a thickness of μm.
【請求項2】最終冷間圧延工程において、レーザー加工
により表面ダル加工を施した圧延ロールを用いて素材の
表面粗さをRa0.2〜1.0μm、Rmax1.0〜5.0μmとするこ
とを特徴とするフレキシブルプリント回路基板用銅又は
銅合金素材の製造方法。
2. The final cold rolling step is characterized in that the surface roughness of the material is Ra 0.2 to 1.0 μm and R max 1.0 to 5.0 μm by using a rolling roll surface-dulled by laser processing. A method for manufacturing a copper or copper alloy material for a flexible printed circuit board.
【請求項3】最終冷間圧延後形状矯正を行う特許請求の
範囲第(2)項記載のフレキシブルプリント回路基板用
銅又は銅合金素材の製造方法。
3. The method for producing a copper or copper alloy material for a flexible printed circuit board according to claim 2, wherein shape correction is performed after the final cold rolling.
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