JP2556705B2 - Thin film forming equipment - Google Patents
Thin film forming equipmentInfo
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- JP2556705B2 JP2556705B2 JP62171766A JP17176687A JP2556705B2 JP 2556705 B2 JP2556705 B2 JP 2556705B2 JP 62171766 A JP62171766 A JP 62171766A JP 17176687 A JP17176687 A JP 17176687A JP 2556705 B2 JP2556705 B2 JP 2556705B2
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Description
本発明は、液晶配向膜等の薄膜、液晶封入用シールま
たは半導体素子の絶縁被膜などの種々の薄膜を被印刷体
に印刷・形成する薄膜形成装置に関するものである。The present invention relates to a thin film forming apparatus for printing / forming various thin films such as a liquid crystal alignment film or the like, a liquid crystal sealing seal or an insulating film of a semiconductor element on a printing medium.
一般に、紙等の被印刷体に膜状の印刷を行うものとし
てはオフセット印刷などが知られている。しかしなが
ら、このオフセット印刷では、使用可能な印刷インキが
湿し水とあまり乳化しないので、このようなインキを版
に忠実に転移させるためには、80.000〜100.000c.p.s.
の高粘度を有するインキしか使用できなかった。 そのため、例えば、液晶配向膜や液晶封入用シールな
どのような粘度が数10〜30.000c.p.s.の低粘度な印刷イ
ンキを用いることが必要な薄膜を、ガラス板などの剛性
のある板に印刷することはできなかった。 そこで、本出願人は、先に、第3図に示すような薄膜
形成装置を提供している(実開昭58-170864号)。この
装置は、多数のインキセルを有する平板状凹版32と被印
刷体33とを基台31上に並べて載置する。一方、上記凹版
32の近傍に数10〜30.000c.p.s.の粘度を有する高分子溶
液からなるインキを、上記凹版32のインキセルに充填す
るインキ供給装置(図示せず)と印刷ロール34とを有す
る印刷ロール支持枠35を上記基台31に上記凹版32と被印
刷体33との間で移動自在に備えるとともに、該印刷ロー
ル支持枠35に凹版32のインキセルに充填されたインキの
うち余分なインキを凹版からかき落とすドクタ36を備え
て大略構成している。この装置においては、インキ供給
装置から凹版32のインキセルにインキを供給してドクタ
36で余分なインキをかき落としたのち、印刷ロール34を
凹版32に圧接させつつ回転させて、印刷ロール34の合成
樹脂製の柔らかい凸部34aの表面に上記凹版32のインキ
セルのインキを所定パターンに付着させ、インキの付着
した印刷ロール34を被印刷体33上に搬送して印刷ロール
34を回転させつつ凸部34aのインキを被印刷体33の表面
に印刷して上記所定パターンを形成するようにしたもの
がある。 ところで、上記凹版32を形成するに当たり、凹版32を
定盤のみから構成して、該定盤表面に直接的に所定のパ
ターンを形成することも考えられるが、この場合には経
済的に高価なものとなり、また、定盤に直接的にパター
ンを形成するとパターンを交換する場合には定盤全体を
交換する必要があり、交換作業が非常に煩雑なものとな
る。そこで、上記装置では、凹盤32は、定盤32aの上面
に展色板32bを着脱可能に固定し、この展色板32bの表面
に薄い種々のメッキを施してインキセルを形成するよう
にしている。Generally, offset printing is known as a method for performing film-like printing on a printing medium such as paper. However, in this offset printing, the printing inks that can be used do not emulsify much with the fountain solution, so in order to faithfully transfer such inks to the plate, 80.00 to 100.000 cps
Only inks with a high viscosity of 1 could be used. Therefore, for example, a thin film that requires the use of low-viscosity printing ink with a viscosity of several tens to 30.000 cps, such as a liquid crystal alignment film or a liquid crystal sealing seal, should be printed on a rigid plate such as a glass plate. I couldn't. Therefore, the present applicant previously provided a thin film forming apparatus as shown in FIG. 3 (Japanese Utility Model Publication No. 58-170864). In this device, a flat plate intaglio 32 having a large number of ink cells and a printing medium 33 are placed side by side on a base 31. On the other hand, the above intaglio
A printing roll support frame 35 having an ink supply device (not shown) for filling the ink cell of the intaglio 32 with a printing roll 34, and an ink consisting of a polymer solution having a viscosity of several tens to 30.000 cps in the vicinity of 32 is provided. A doctor for movably providing the base 31 between the intaglio 32 and the material 33 to be printed, and for scraping excess ink out of the ink filled in the ink cells of the intaglio 32 on the printing roll support frame 35 from the intaglio It is roughly composed of 36. In this device, the ink is supplied from the ink supply device to the ink cells of the intaglio 32 and the doctor
After scraping off excess ink with 36, the printing roll 34 is rotated while being pressed against the intaglio 32, and the ink of the ink cell of the intaglio 32 is formed into a predetermined pattern on the surface of the soft convex portion 34a made of synthetic resin of the printing roll 34. The printing roll 34 with the ink adhered is conveyed onto the material 33 to be printed and printed.
There is one in which the ink of the convex portion 34a is printed on the surface of the printing object 33 while rotating the 34 to form the above-mentioned predetermined pattern. By the way, in forming the intaglio 32, it is possible to form the intaglio 32 only from the surface plate to form a predetermined pattern directly on the surface plate, but in this case, it is economically expensive. Further, if the pattern is formed directly on the surface plate, it is necessary to replace the entire surface plate when exchanging the pattern, which makes the replacement work very complicated. Therefore, in the above apparatus, the concave plate 32 is configured such that the color spreading plate 32b is detachably fixed to the upper surface of the surface plate 32a, and various kinds of thin plating is applied to the surface of the color spreading plate 32b to form ink cells. There is.
しかしながら、上記構造のものでは、上記展色板を上
記定盤上に全面に渡って正確に平坦に配置することは困
難であって、微視的に見れば、どうしても展色板が波打
ち形状になるので、印刷ロールの凸部の展色板に対する
接触圧を全面に渡って一定にすることがむつかしく、そ
のため印刷ロールの凸部に一定厚さの所定パターンを転
移させることが困難となり、その結果、被印刷体上に印
刷される印刷膜の厚さを所定厚さに形成することが困難
であるといった問題があった。 従って、本発明の目的は、上記問題点を解決すること
にあって、印刷ロールに対して一定厚さのインキを転移
させることができて、所定厚さの薄膜を被印刷体に高精
度で印刷することができる薄膜形成装置を提供すること
にある。However, in the case of the above structure, it is difficult to dispose the spreading plate on the surface plate accurately and flatly over the entire surface, and from a microscopic viewpoint, the spreading plate inevitably has a wavy shape. Therefore, it is difficult to make the contact pressure of the convex portion of the printing roll to the color-developing plate constant over the entire surface, so that it becomes difficult to transfer a predetermined pattern of a constant thickness to the convex portion of the printing roll. However, there is a problem that it is difficult to form the thickness of the printing film printed on the printing medium to a predetermined thickness. Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is possible to transfer an ink having a constant thickness to a printing roll, and to accurately form a thin film having a predetermined thickness on a printing medium. It is to provide a thin film forming apparatus capable of printing.
上記目的を達成するために、本発明は、印刷ロールに
一定量の数10〜30,000c.p.s.の低粘度インキを供給する
凹版を板体ではなく円筒体として構成し、この円筒体す
なわち凹版ロールの表面に深さ10〜90μmの多数のイン
キセルを有するように構成した。すなわち、深さ10〜90
μmの多数のインキセルを表面に有して、基台の支持枠
に回転自在に支持された凹版ロールと、該凹版ロールの
表面に10〜30,000c.p.s.の低粘度インキを供給するノズ
ル手段と、上記凹版ロールの周囲の所定箇所で上記支持
枠に取り付けられ、該凹版ロールに供給されたインキを
凹版ロールの表面に広げて上記インキセル内に一定量の
インキを保持させるドクタと、上記凹版ロールの下方で
上記支持枠に回転自在に支持され、且つ該凹版ロールに
接触する凸部を有して上記凹版ロールの表面のインキセ
ル内のインキを上記凸部に転移させる印刷ロールと、被
印刷体を載置し且つ上記碁台上で上記印刷ロールに接触
する印刷位置と被印刷体搬入側へ離れた被印刷体載置位
置または被印刷体搬出側へ離れた搬出位置との間を水平
スライド移動可能に備えられた定盤と、上記印刷ロール
および凹版ロールのそれぞれの回転と上記定盤の水平ス
ライド移動とを同期させて駆動する駆動装置と、上記印
刷ロールと凹版ロールの間の凹版ロールのみを駆動させ
る駆動力伝達系を接続または切断するクラッチとを備え
ており、該クラッチは、上記定盤が上記印刷位置から被
印刷体載置位置側へ離れる方向へ水平スライド移動する
ときに上記駆動力伝達系を切断する。In order to achieve the above object, the present invention configures an intaglio plate that supplies a constant amount of low-viscosity ink of several tens to 30,000 cps to a printing roll as a cylinder instead of a plate, and the surface of the cylinder, that is, the intaglio roll. It has a large number of ink cells with a depth of 10 to 90 μm. I.e. depth 10-90
an intaglio roll having a large number of μm ink cells on its surface and rotatably supported by a supporting frame of a base; nozzle means for supplying a low-viscosity ink of 10 to 30,000 cps to the surface of the intaglio roll; A doctor attached to the support frame at a predetermined position around the intaglio roll, which spreads the ink supplied to the intaglio roll on the surface of the intaglio roll to hold a certain amount of ink in the ink cells, and a lower portion of the intaglio roll. A printing roll, which is rotatably supported by the support frame and has a convex portion that comes into contact with the intaglio roll and transfers the ink in the ink cells on the surface of the intaglio roll to the convex portion, and a substrate to be printed are mounted. It is possible to slide horizontally between the printing position where it is placed and in contact with the printing roll on the board and the printing object mounting position that is separated to the printing material loading side or the unloading position that is separated to the printing material unloading side. Prepared for Driven platen, a drive device that drives the respective rotations of the printing roll and the intaglio roll and the horizontal slide movement of the platen in synchronization, and drives only the intaglio roll between the printing roll and the intaglio roll. A clutch for connecting or disconnecting the driving force transmission system is provided, and the clutch transmits the driving force transmission system when the platen horizontally slides in a direction away from the printing position to the printing object mounting position side. Disconnect.
上記構成においては、上記ノズル手段から数10〜30,0
00c.p.s.の低粘度インキが上記凹版ロールの表面に供給
される。凹版ロールは上記駆動装置により回転駆動され
る。この回転する凹版ロールに上記ドクタが接触するこ
とによって、余分なインキが除去されるとともに、該凹
版ロールの深さ10〜90μmのインキセル内に一定量のイ
ンキが充填・保持される。そののち、凹版ロールと印刷
ロールとが上記駆動装置より回転されて該凹版ロールの
インキセル内に充填されたインキが印刷ロールの凸部に
転移させられる。印刷ロールの下方の基台上で水平スラ
イド移動する定盤の上に被印刷体が載置され、該定盤が
印刷ロールの真下の印刷位置で該印刷ロールと転動接触
する。このとき、印刷ロールの凸部のインキが薄幕とな
って被印刷体に印刷される。 定盤の水平スライド移動は、印刷ロールの回転を駆動
する駆動装置によって印刷ロールの回転運動と同期して
移動される。すなわち、凹版ロールと定盤は共に印刷ロ
ールの回転運動に同期して駆動される。印刷ロールはそ
の駆動装置によって正逆回転され、これに伴って定盤の
水平スライド移動は往復方向になされるが、凹版ロール
の回転はクラッチの接続によって正回転の場合のみ印刷
ロールに同期して回転し、逆回転の場合にはクラッチが
切断されて回転しない。 したがって、凹版ロール、印刷ロールおよび定盤は、
各印刷動作時には同期するが、各復帰動作時において
は、凹版ロールだけが停止して他の二つとは同期しな
い。なお、復帰動作時には印刷ロールと定盤とは互いに
同期状態を保ちつつ逆方向に運動する。結果的として、
印刷ロールと定盤の位置関係は互いにずれることなく一
定に保たれ、凹版ロールは復帰動作時の不要な運動から
解放される。また、凹版ロールとドクタとの接触関係に
いおいては、凹版ロールが一方向へしか回転しないの
で、その回転はドクタに対して常に順方向となり、ドク
タおよび凹版ロールの双方を損傷させない。In the above configuration, from the nozzle means a few 10-30,0
A low viscosity ink of 00c.ps is supplied to the surface of the intaglio roll. The intaglio roll is rotationally driven by the drive device. By contacting the doctor with the rotating intaglio roll, excess ink is removed, and a certain amount of ink is filled and held in the ink cell having a depth of 10 to 90 μm of the intaglio roll. After that, the intaglio roll and the printing roll are rotated by the driving device, and the ink filled in the ink cells of the intaglio roll is transferred to the convex portion of the printing roll. An object to be printed is placed on a surface plate that slides horizontally on a base below the printing roll, and the surface plate makes rolling contact with the printing roll at a printing position directly below the printing roll. At this time, the ink on the convex portion of the printing roll becomes a thin curtain and is printed on the printing medium. The horizontal slide movement of the surface plate is moved in synchronization with the rotational movement of the printing roll by a drive device that drives the rotation of the printing roll. That is, both the intaglio roll and the surface plate are driven in synchronization with the rotational movement of the printing roll. The printing roll is rotated in the forward and reverse directions by the driving device, and accordingly, the horizontal slide movement of the surface plate is made in the reciprocating direction, but the rotation of the intaglio roll is synchronized with the printing roll only in the forward rotation by the connection of the clutch. It rotates, and in the case of reverse rotation, the clutch is disengaged and does not rotate. Therefore, the intaglio roll, printing roll and surface plate are
During each printing operation, it is synchronized, but during each return operation, only the intaglio roll is stopped and is not synchronized with the other two. During the returning operation, the printing roll and the surface plate move in opposite directions while maintaining a synchronous state with each other. As a result,
The positional relationship between the printing roll and the surface plate is kept constant without being displaced from each other, and the intaglio roll is released from unnecessary movement during the returning operation. Further, in the contact relationship between the intaglio roll and the doctor, since the intaglio roll rotates only in one direction, the rotation is always in the forward direction with respect to the doctor and does not damage both the doctor and the intaglio roll.
以上の説明より明らかなように、本発明によれば次の
ごとき優れた効果が発揮される。 すなわち、一般に、円筒体の表面は平板の表面に比べ
て高精度に仕上げ加工することができるので、所定パタ
ーンを形成する凹版ロールの表面を高精度に仕上げ加工
でき、凹版ロールの表面に、所定パターンに配列された
多数のインキセルを直接的に備えることができ、凹版ロ
ールの所定パターンを形成した表面に対する印刷ロール
の凸部の接触圧が全面に亙って一定になりやすく、被印
刷体上に印刷される印刷膜の厚さを全面に亙って高精度
で所定値にすることができる。特に、インキを凹版ロー
ルへ供給するのがノズル手段であることから、例えばイ
ンキだまりの中へ凹版ロールを浸漬させるインキ供給手
段を用いるよりも、常に新鮮なインキが凹版ロール上に
供給でき、ゴミが付着する等のインキ質を低下させるこ
とがない。 また、凹版ロール、印刷ロールおよび定盤を一つのモ
ータで駆動でき、コスト低減および装置の小型化に寄与
しうる。 さらに、クラッチは印刷ロールと定盤との同期関係を
切断することなく、印刷ロールおよび定盤に対する凹版
ロールの同期関係だけを接続または切断するので、凹版
ロールが逆回転しようとするときにこのクラッチを切断
すれば、凹版ロールは回転を停止し、これに接触してい
るドクタを損傷させることがない。 このとき、印刷ロールは、柔軟性凸部により凹版ロー
ルとの接触における衝撃を吸収又は逃がすので、損傷す
ることがない。定盤は、凹版ロールが逆回転するときに
は被印刷体が既に搬出されているので、印刷ロールと接
触せず、損傷することがない。また、凹版ロールが逆回
転しようとするときにこのクラッチを切断すれば、凹版
ロールは逆回転せず、ドクタにより正回転時にかきとら
れた不要なインキが凹版ロール表面に一定以上量で不均
一に広げられることがない。As is clear from the above description, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited. That is, in general, the surface of the cylindrical body can be finished with higher accuracy than the surface of the flat plate, so that the surface of the intaglio roll forming a predetermined pattern can be finished with high accuracy, and the surface of the intaglio roll is A large number of ink cells arranged in a pattern can be directly provided, and the contact pressure of the convex portion of the printing roll with respect to the surface of the intaglio roll on which the predetermined pattern is formed tends to be constant over the entire surface. The thickness of the printing film printed on the entire surface can be set to a predetermined value with high accuracy over the entire surface. In particular, since it is the nozzle means that supplies the ink to the intaglio roll, it is possible to always supply fresh ink onto the intaglio roll, rather than using an ink supply means that immerses the intaglio roll in an ink pool, for example. It does not deteriorate the quality of the ink such as adherence. Further, the intaglio roll, the printing roll and the surface plate can be driven by one motor, which can contribute to cost reduction and downsizing of the apparatus. Further, the clutch does not disconnect the synchronous relationship between the printing roll and the surface plate, but only connects or disconnects the synchronous relationship between the printing roll and the intaglio roll to the surface plate, so that when the intaglio roll tries to rotate in reverse, this clutch After cutting, the intaglio roll stops rotating and does not damage the doctor contacting it. At this time, the printing roll absorbs or escapes the impact caused by the contact with the intaglio roll by the flexible convex portion, so that the printing roll is not damaged. When the intaglio roll rotates in the reverse direction, the platen does not come into contact with the printing roll and is not damaged because the printing medium has already been carried out. Also, if this clutch is disengaged when the intaglio roll tries to rotate in the reverse direction, the intaglio roll will not rotate in the reverse direction, and the unnecessary ink scraped off by the doctor during the forward rotation will be uneven on the surface of the intaglio roll over a certain amount. Never be spread out.
以下に、本発明にかかる実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。 第1図に示すように、基台1の支持枠2に、インキ供
給装置5とドクタ6と凹版ロール3と印刷ロール4とが
夫々支持されている。印刷ロール駆動装置の駆動すなわ
ち印刷ロール駆動モータ7の駆動によりギヤ8,9の噛合
に基づき印刷ロール4と凹版ロール3とが同期回転させ
られる。また、上記支持枠2の下方の基台1の上には、
ガラス板等の剛性板からなる被印刷体10を載置した被印
刷体支持定盤11が移動可能に配置されている。印刷ロー
ル駆動モータ7の駆動により第2ギヤ9、第5ギヤ19、
第6ギヤ20、第4ギヤ18、定盤駆動シャフト17さらに第
3ギヤ16を回転させ、さらにラック13を移動させること
により、定盤11に載置された被印刷体10が印刷位置Aを
経て被印刷体載置位置Bと搬出位置Cとの間を上記基台
1の上で水平スライド移動する。インキは、インキ供給
装置5から凹版ロール3に供給され、余分なインキはド
クタ6で掻き落とされ、さらに凹版ロール3から印刷ロ
ールへ転移させられ所定パターンとなる。さらにそのの
ち、所定パターンのインキが転移された印刷ロール4は
印刷位置Aの被印刷体10の表面に接触させられ、最終的
に被印刷体10に所定パターンの高分子薄膜が印刷形成さ
れるべく、本実施例の薄膜形成装置は大略構成されてい
る。 上記支持枠2は、長方形台からなる上記基台1の中央
部所定位置に一対の支持板2a,2aが対向するように配置
されてなる。この一対の支持板2a,2aからなる支持枠2
には、その上部に上記凹版ロール3が回転自在に支持さ
れるとともに、上記凹版ロール3の斜め下方に位置して
上記印刷ロール4も回転自在に支持されている。また、
凹版ロール3の近傍の支持枠上端部には、該凹版ロール
3の表面に接触して余分なインキを掻き落とすためのド
クタブレード6aを備えたドクタ6が固定されている。 インキ供給装置5は、このドクタ6のドクタブレード
6aよりも上方の位置から凹版ロール3の表面上にインキ
を供給する。 上記インキ供給装置5は、ドクタ6の凹版ロール3と
は反対側の支持枠上端部に一対のレール15,15が架設さ
れ、このレール15,15上にインキ供給体5aが移動自在に
設けられるとともに、このインキ供給体5aのインキノズ
ル5bが上記ドクタ6の上方を越えて凹版ロール3の表面
上方にまで延ばされて構成されている。上記インキ供給
体5aは、図示しないワイヤ等を介してモータまたはエア
シリングの駆動により、上記一対のレール15,15沿いに
往復して、凹版ロール3の表面上にインキを落とす。こ
のインキは、例えば、粘性が数10〜30,000c.p.s.程度の
ものであり、合成樹脂または樹脂前駆体及び溶剤の混合
物等からなるものである。 上記ドクタ6は図示しないエアシリンダの駆動により
凹版ロール3に接触する位置と凹版ロール3から離脱す
る位置とに移動するドクタブレード6aを備えており、こ
のブレード6aが凹版ロール3の表面に接触して、凹版ロ
ール3の表面上に落とされたインキを該表面沿いに広げ
て、凹版ロール3のインキセル3b内にインキを充填させ
るようにする。 上記凹版ロール3は、回転軸3cに胴部3aが固定されて
なり、この胴部3aは銅製芯の表面にメッキ層を形成して
なり、このメッキ層の表面には第2図に示すように多数
のインキセル3b,…,3bを備えている。このインキセル3b
は例えば深さ10〜数10μmのものである。回転軸3cで支
持された胴部3aは、印刷ロール4の胴部4bの凸部4aに一
定の圧力で接している。上記凹版ロール3の回転軸3cは
両端が支持枠2の支持板2a,2aに夫々回転自在に支持さ
れ、該回転軸3cが支持枠2の一方の支持板2aから外方へ
突出した一方端には、歯付きクラッチ12を介して接続・
切断自在に第1ギヤ8が取り付けられている。 また、上記印刷ロール4は、その回転軸4cに胴部4bが
固定され、この胴部周面所定箇所には例えば、ブチルゴ
ム等のゴムもしくはナイロン系樹脂等の合成樹脂または
感光性ゴムもしくは感光性樹脂などからなる軟質製凸部
4aを備えており、この凸部4aに上記凹版ロール3のイン
キが転写される。上記回転軸4cはその両端が支持板2a,2
aに回転自在に支持され、支持枠2の上記一方の支持板2
aから外方へ突出した該回転軸4cの一方端に第2ギヤ9
が固定されている。そしてこの第2ギヤ9と上記第1ギ
ヤ8とが噛合されている。上記印刷ロール4の回転軸4c
の他方端、すなわち第2ギヤ9が固定されていない方の
一方端は、支持枠2の上記他方の支持板2aから外方へ突
出して上記印刷ロール駆動モータ7に連結されている。
従って、該印刷ロール駆動モータ7の駆動により印刷ロ
ール4を回転駆動すると、歯付きクラッチ12が接続され
ている場合には第2ギヤ9と第1ギヤ8とのかみ合いに
より凹版ロール3も印刷ロール4と同期回転する。 一方、上記定盤11は基台1の上に載置されている。こ
の基台1の上面には、支持枠下方の印刷位置Aと該支持
枠下方から被印刷体搬入側へ離れた被印刷体載置位置B
と支持枠下方から被印刷体搬出側へ離れた搬出位置Cの
間の両端に夫々案内レール14,14が固定されている。定
盤11は、これら案内レール14,14に係合し、基台1の上
で案内レール14,14沿いに両位置A,B,C間を移動する。こ
の定盤11は、その上面に板状被印刷体10を載置し、被印
刷体10の位置を決めてこれを保持する。また、定盤11の
下端面には、案内レール14,14に対して平行なラック13
が取り付けられている。このラック13には第3ギヤ16が
噛合しており、この第3ギヤ16の正逆回転により定盤11
がラック13とともに往復運動するように構成されてい
る。第3ギヤ16は支持枠2a,2a間に回転自在に架設され
た定盤駆動シャフト17に固定されており、定盤駆動シャ
フト17の一方端は一方の支持枠2aから外方へ突出して第
4ギヤ18が取り付けられている。第4ギヤ18は、第5ギ
ヤ19および第6ギヤ20を介して第2ギヤ9に連結されて
おり、その回転方向は第2ギヤ9に対して逆回転するよ
うに連結されている。したがって、印刷ロール4の回転
と定盤11の水平スライド移動とは、互いに一義的な位置
関係で同期して運動する。そして、上記被印刷体10は定
盤11の印刷位置Aで上記印刷ロール4に接触し、印刷ロ
ール4のインキを被印刷体10上に転移させて印刷・形成
する。なお、印刷ロール4の回転と被印刷体10の水平ス
ライド移動とは、第2ギヤ9および第4,5,6ギヤ18,19,2
0の噛合および第3ギヤ16とラック13との噛合によって
機械的に同期される。 上記構成によれば、第1図の状態すなわち定盤11が被
印刷体載置位置Bにある状態から印刷ロール駆動モータ
7を矢印R方向へ回転させる場合には歯付きクラッチ12
が接続され、印刷ロール4の回転に伴って第2ギヤ9か
ら第1ギヤ8および歯付きクラッチ12を介して凹版ロー
ル3が回転し、一方、第2ギヤ9の回転とともに、第5
ギヤ19、第6ギヤ20、第4ギヤ18さらに第3ギヤ16がそ
れぞれ回転し、印刷ロール4の回転に同期してラック13
とともに定盤11が印刷位置Aを経て搬出位置Cへ移動す
る。逆に、定盤11が搬出位置Cにある状態から、印刷ロ
ール駆動モータ7を矢印L方向へ回転させる場合には、
歯付きクラッチ12が切断され、印刷ロール4が逆回転し
ても凹版ロール3は逆回転せず、定盤11が搬出位置Cか
ら印刷位置Aを経て被印刷体載置位置Bへ移動する。凹
版ロール3の回転方向に関しては、これが回転するとき
は常にドクターブレード6aに対して順方向の回転とな
り、ブレード6aも凹版ロール3も互いに損傷することは
ない。 また、凹版ロール3はインキをドクタ6でかきとった
後に印刷ロール4に転移する方向に常に回転するので、
不要なインキが凹版ロール表面に一定以上量で付均一に
広げられることがない。 上記実施例によれば、一般に、機械加工において円筒
体または円柱体の表面は平板の表面に比べて高精度に仕
上げ加工することができるので、インキセルを形成する
凹版ロール3の表面を高精度に仕上げ加工することがで
き、凹版ロール3の表面に、深さ10〜数10μmの多数の
インキセル3b,…,3bを直接的に備えることができ、凹版
ロール3の所定パターンを形成した表面に対する印刷ロ
ール4の軟質の凸部4aの接触圧が全面に亙って一定にな
りやすく、被印刷体上に印刷される印刷膜の厚さを全面
に亙って高精度で所定値にすることができる。また、印
刷ロール駆動モータ7で印刷ロール4と凹版ロール3と
を同期して回転させ、且つ印刷ロール4と定盤11とも同
期させて連動させるようにしたので、これらの同期運転
機構が簡単なものとなる。また、凹版ロール3をパター
ンの異なった凹版ロール3に交換して支持枠2にはめ込
むようにすれば、簡単にかつ確実にパターンの交換作業
が行え、交換により印刷ロール4の凸部4aと被印刷体10
との位置関係が狂うことが少ない。また、印刷された被
印刷体10は、基台1の一端の被印刷体搬入側から他端の
被印刷体搬出側に基台1上を移動するので、従来のよう
に基台1に対して被印刷体搬入位置と搬出位置とが同一
位置ではないので、被印刷体10の搬入・搬出作業が円滑
に行うことができ、印刷作業効率を向上させることがで
きる。 なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、その他種々の態様で実施できる。例えば、駆動モー
タは、印刷ロール4に備えるのではなく、凹版ロール3
に備えてもよく、ギヤ18,1,9,20等に備えるようにして
もよい。Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, an ink supply device 5, a doctor 6, an intaglio roll 3, and a printing roll 4 are supported by a support frame 2 of a base 1, respectively. By driving the printing roll driving device, that is, driving the printing roll driving motor 7, the printing roll 4 and the intaglio roll 3 are synchronously rotated based on the meshing of the gears 8 and 9. In addition, on the base 1 below the support frame 2,
An object-to-be-printed support platen 11 on which an object to be printed 10 made of a rigid plate such as a glass plate is placed is movably arranged. By driving the printing roll drive motor 7, the second gear 9, the fifth gear 19,
By rotating the sixth gear 20, the fourth gear 18, the platen drive shaft 17 and the third gear 16 and further moving the rack 13, the printing medium 10 placed on the platen 11 moves to the printing position A. After that, a horizontal slide movement is performed on the base 1 between the printing object mounting position B and the unloading position C. The ink is supplied from the ink supply device 5 to the intaglio roll 3, the excess ink is scraped off by the doctor 6, and further transferred from the intaglio roll 3 to the printing roll to form a predetermined pattern. After that, the printing roll 4 to which the ink of the predetermined pattern has been transferred is brought into contact with the surface of the printing medium 10 at the printing position A, and finally a polymer thin film having the predetermined pattern is formed by printing on the printing medium 10. Therefore, the thin film forming apparatus of the present embodiment has a general structure. The support frame 2 is arranged such that a pair of support plates 2a, 2a face each other at a predetermined position in the center of the base 1 made of a rectangular base. A support frame 2 including the pair of support plates 2a, 2a
In addition, the intaglio roll 3 is rotatably supported on the upper part thereof, and the printing roll 4 is rotatably supported at a position diagonally below the intaglio roll 3. Also,
A doctor 6 having a doctor blade 6a for contacting the surface of the intaglio roll 3 and scraping off excess ink is fixed to the upper end of the support frame near the intaglio roll 3. The ink supply device 5 is a doctor blade of this doctor 6.
Ink is supplied onto the surface of the intaglio roll 3 from a position above 6a. In the ink supply device 5, a pair of rails 15 and 15 are installed on the upper end of the supporting frame of the doctor 6 opposite to the intaglio roll 3, and the ink supply body 5a is movably provided on the rails 15 and 15. At the same time, the ink nozzle 5b of the ink supply member 5a is configured to extend above the doctor 6 and above the surface of the intaglio roll 3. The ink supply body 5a reciprocates along the pair of rails 15 and 15 by driving a motor or an air silling through a wire (not shown) or the like to drop ink on the surface of the intaglio roll 3. This ink has, for example, a viscosity of about several tens to 30,000 cps, and is made of a synthetic resin or a mixture of a resin precursor and a solvent. The doctor 6 is equipped with a doctor blade 6a that moves to a position where it comes into contact with the intaglio roll 3 and a position where it leaves the intaglio roll 3 by driving an air cylinder (not shown), and this blade 6a comes into contact with the surface of the intaglio roll 3. Then, the ink dropped on the surface of the intaglio roll 3 is spread along the surface so that the ink is filled in the ink cells 3b of the intaglio roll 3. The intaglio roll 3 has a body 3a fixed to a rotary shaft 3c, and the body 3a is formed by forming a plating layer on the surface of a copper core. The surface of the plating layer is as shown in FIG. , And a large number of ink cells 3b, ..., 3b. This ink cell 3b
Has a depth of 10 to several tens of μm, for example. The body 3a supported by the rotating shaft 3c is in contact with the convex portion 4a of the body 4b of the printing roll 4 with a constant pressure. Both ends of the rotary shaft 3c of the intaglio roll 3 are rotatably supported by the support plates 2a, 2a of the support frame 2, and the rotary shaft 3c has one end protruding outward from one support plate 2a of the support frame 2. Is connected via the toothed clutch 12.
A first gear 8 is attached so as to be freely cut. Further, the printing roll 4 has a body 4b fixed to a rotary shaft 4c thereof, and a rubber such as butyl rubber or a synthetic resin such as nylon resin, a photosensitive rubber or a photosensitive rubber is provided at a predetermined position on the body circumferential surface. Soft protrusion made of resin, etc.
4a, and the ink of the intaglio roll 3 is transferred to the convex portion 4a. Both ends of the rotary shaft 4c have support plates 2a, 2
The one support plate 2 of the support frame 2 which is rotatably supported by a.
The second gear 9 is provided at one end of the rotary shaft 4c protruding outward from a.
Has been fixed. The second gear 9 and the first gear 8 are meshed with each other. Rotating shaft 4c of the printing roll 4
The other end, that is, the one end to which the second gear 9 is not fixed, protrudes outward from the other support plate 2a of the support frame 2 and is connected to the print roll drive motor 7.
Therefore, when the printing roll 4 is rotationally driven by the driving of the printing roll driving motor 7, when the toothed clutch 12 is connected, the intaglio roll 3 is also printed by the meshing of the second gear 9 and the first gear 8. It rotates synchronously with 4. On the other hand, the surface plate 11 is placed on the base 1. On the upper surface of the base 1, a print position A below the support frame and a print object placement position B separated from below the support frame to the print object carry-in side.
Guide rails 14 and 14 are fixed to both ends between a carry-out position C separated from the lower part of the support frame to the print-material carrying-out side. The surface plate 11 engages with the guide rails 14, 14 and moves on the base 1 along the guide rails 14, 14 between the positions A, B, C. The platen 11 has a plate-shaped object to be printed 10 placed on its upper surface, determines the position of the object to be printed 10 and holds it. The bottom surface of the surface plate 11 has a rack 13 parallel to the guide rails 14, 14.
Is attached. A third gear 16 meshes with the rack 13, and the forward and reverse rotations of the third gear 16 cause the surface plate 11 to rotate.
Are configured to reciprocate with the rack 13. The third gear 16 is fixed to a surface plate drive shaft 17 that is rotatably installed between the support frames 2a, 2a, and one end of the surface plate drive shaft 17 projects outward from one of the support frames 2a and Four gears 18 are attached. The fourth gear 18 is connected to the second gear 9 via the fifth gear 19 and the sixth gear 20, and the rotation direction thereof is connected to the second gear 9 so as to rotate in the reverse direction. Therefore, the rotation of the printing roll 4 and the horizontal sliding movement of the surface plate 11 move synchronously in a unique positional relationship. Then, the printing medium 10 comes into contact with the printing roll 4 at the printing position A of the surface plate 11, and the ink of the printing roll 4 is transferred onto the printing medium 10 to print / form. The rotation of the printing roll 4 and the horizontal sliding movement of the object to be printed 10 cause the second gear 9 and the fourth, fifth, sixth gears 18, 19, 2 to move.
It is mechanically synchronized by the meshing of 0 and the meshing of the third gear 16 and the rack 13. According to the above configuration, when the print roll drive motor 7 is rotated in the direction of arrow R from the state of FIG.
And the intaglio roll 3 rotates from the second gear 9 via the first gear 8 and the toothed clutch 12 as the printing roll 4 rotates, while the second gear 9 rotates and the fifth
The gear 19, the sixth gear 20, the fourth gear 18, and the third gear 16 rotate, respectively, and the rack 13 is synchronized with the rotation of the printing roll 4.
At the same time, the surface plate 11 moves to the carry-out position C via the printing position A. On the contrary, when the printing roll drive motor 7 is rotated in the arrow L direction from the state where the surface plate 11 is at the carry-out position C,
Even if the toothed clutch 12 is disengaged and the printing roll 4 rotates in the reverse direction, the intaglio roll 3 does not rotate in the reverse direction, and the platen 11 moves from the carry-out position C to the printing position A to the printing medium mounting position B. With respect to the rotation direction of the intaglio roll 3, when it rotates, it always rotates in the forward direction with respect to the doctor blade 6a, and neither the blade 6a nor the intaglio roll 3 is damaged. Further, since the intaglio roll 3 is always rotated in the direction in which the ink is scraped off by the doctor 6 and then transferred to the printing roll 4,
Unwanted ink does not spread evenly over the surface of the intaglio roll and spread evenly. According to the above-described embodiment, generally, in machining, the surface of the cylindrical body or the cylindrical body can be finished with higher accuracy than the surface of the flat plate, so that the surface of the intaglio roll 3 forming the ink cell can be processed with high accuracy. The surface of the intaglio roll 3 can be finished and can be directly provided with a large number of ink cells 3b, ..., 3b having a depth of 10 to several tens of μm, and printing can be performed on the surface of the intaglio roll 3 on which a predetermined pattern is formed. The contact pressure of the soft convex portion 4a of the roll 4 tends to be constant over the entire surface, and the thickness of the printing film printed on the printing medium can be set to a predetermined value with high accuracy over the entire surface. it can. Further, since the printing roll 4 and the intaglio roll 3 are synchronously rotated by the printing roll driving motor 7 and the printing roll 4 and the surface plate 11 are also synchronously interlocked with each other, these synchronous operation mechanisms are simple. Will be things. If the intaglio roll 3 is replaced with an intaglio roll 3 having a different pattern and fitted into the support frame 2, the pattern can be replaced easily and surely, and the protrusion 4a of the printing roll 4 and the covered portion can be replaced. Print 10
The positional relationship with In addition, the printed substrate 10 moves on the base 1 from the substrate loading side at one end of the substrate 1 to the printing substrate unloading side at the other end of the substrate 1, so that it is different from the conventional substrate 1 in the conventional manner. Since the print target carry-in position and the print target carry-out position are not at the same position, the print target 10 can be carried in and out smoothly, and the printing work efficiency can be improved. The present invention is not limited to the above embodiment, but can be implemented in various other modes. For example, the drive motor is not provided in the printing roll 4 but in the intaglio roll 3
The gears 18, 1, 9, 20 and the like may be provided.
第1図は本発明の一実施例にかかる薄膜形成装置の斜視
図、第2図は凹版ロールのインキセルを示す要部断面
図、第3図は従来の薄膜形成装置を示す説明図である。 1……基台、2……支持枠、2a……支持板、3……凹版
ロール、3a……胴部、3b……インキセル、4……印刷ロ
ール、4a……凸部、5……インキ供給装置、5a……イン
キ供給体、5b……インキノズル、6……ドクタ、6a……
ドクタブレード、7……印刷ロール駆動モータ、8……
第1ギヤ、9……第2ギヤ、10……被印刷体、11……定
盤、12……歯付きクラッチ、13……ラック、14……案内
レール、15……レール、16……第3ギヤ、17……定盤駆
動シャフト、18……第4ギヤ、19……第5ギヤ、20……
第6ギヤFIG. 1 is a perspective view of a thin film forming apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of an essential part showing an ink cell of an intaglio roll, and FIG. 3 is an explanatory view showing a conventional thin film forming apparatus. 1 ... Base, 2 ... Support frame, 2a ... Support plate, 3 ... Intaglio roll, 3a ... Body part, 3b ... Ink cell, 4 ... Printing roll, 4a ... Convex part, 5 ... Ink supply device, 5a ... Ink supply body, 5b ... Ink nozzle, 6 ... Doctor, 6a ...
Doctor blade, 7 ... Printing roll drive motor, 8 ...
1st gear, 9 ... 2nd gear, 10 ... Printed material, 11 ... Surface plate, 12 ... Toothed clutch, 13 ... Rack, 14 ... Guide rail, 15 ... Rail, 16 ... 3rd gear, 17 ... surface plate drive shaft, 18 ... 4th gear, 19 ... 5th gear, 20 ...
6th gear
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/31 H01L 21/31 A (56)参考文献 特開 昭55−161650(JP,A) 特開 昭58−12758(JP,A) 特開 昭56−51892(JP,A) 特開 昭61−242096(JP,A)─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical indication location H01L 21/31 H01L 21/31 A (56) References JP-A-55-161650 (JP, A) JP-A-58-12758 (JP, A) JP-A-56-51892 (JP, A) JP-A-61-242096 (JP, A)
Claims (1)
を表面に有して、基台(1)の支持枠(2)に回転自在
に支持された凹版ロール(3)と、 該凹版ロール(3)の表面に10〜30,000c.p.s.の低粘度
インキを供給するノズル手段(5b)と、 上記凹版ロール(3)の周囲の所定箇所で上記支持枠
(2)に取り付けられ、該凹版ロール(3)に供給され
たインキを凹版ロール(3)の表面に広げて上記インキ
セル(3b)内に一定量のインキを保持させるドクタ
(6)と、 上記凹版ロール(3)の下方で上記支持枠(2)に回転
自在に支持され、且つ該凹版ロール(3)に接触する凸
部(4a)を有して上記凹版ロール(3)の表面のインキ
セル(3b)内のインキを上記凸部(4a)に転移させる印
刷ロール(4)と、 被印刷体(10)を載置し且つ上記基台(1)上で上記印
刷ロール(4)に接触する印刷位置と被印刷体搬入側へ
離れた被印刷体載置位置または被印刷体搬出側へ離れた
搬出位置との間を水平スライド移動可能に備えられた定
盤(11)と、 上記印刷ロール(4)および凹版ロール(3)のそれぞ
れの回転と上記定盤(11)の水平スライド移動とを同期
させて駆動する駆動装置(7,8,9,13,16,17,18,19,20)
と、 上記印刷ロール(4)と凹版ロール(3)の間の凹版ロ
ール(3)のみを駆動させる駆動力伝達系を接続または
切断するクラッチ(12)とを備え、該クラッチ(12)
は、上記定盤(11)が上記印刷位置から被印刷体載置位
置側へ離れる方向へ水平スライド移動するときに上記駆
動力伝達系を切断することを特徴とする薄膜形成装置。1. A large number of ink cells (3b) having a depth of 10 to 90 μm.
And a surface of the intaglio roll (3) rotatably supported by the support frame (2) of the base (1), and a low-viscosity ink of 10 to 30,000 cps on the surface of the intaglio roll (3). The nozzle means (5b) for supplying and the ink supplied to the intaglio roll (3) attached to the support frame (2) at a predetermined position around the intaglio roll (3) and the surface of the intaglio roll (3). A doctor (6) for spreading a predetermined amount of ink in the ink cell (3b) and rotatably supported by the support frame (2) below the intaglio roll (3), and A printing roll (4) having a convex portion (4a) in contact with the convex plate (4a) and transferring the ink in the ink cell (3b) on the surface of the intaglio roll (3) to the convex portion (4a); A printing position on which the (10) is placed and which is in contact with the printing roll (4) on the base (1); A platen (11) provided so as to be horizontally slidable between a print object placement position distant to the print object carry-in side or a carry-out position distant to the print object carry-out side; the printing roll (4); Driving device (7,8,9,13,16,17,18,19,20) for driving each rotation of the intaglio roll (3) and the horizontal slide movement of the surface plate (11) in synchronization with each other.
And a clutch (12) for connecting or disconnecting a driving force transmission system for driving only the intaglio roll (3) between the printing roll (4) and the intaglio roll (3), the clutch (12)
Is a thin film forming apparatus characterized in that the driving force transmission system is disconnected when the surface plate (11) horizontally slides in a direction away from the printing position to the printing object mounting position side.
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