JP2554275B2 - Liquid photosensitive resin composition - Google Patents

Liquid photosensitive resin composition

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JP2554275B2
JP2554275B2 JP1011262A JP1126289A JP2554275B2 JP 2554275 B2 JP2554275 B2 JP 2554275B2 JP 1011262 A JP1011262 A JP 1011262A JP 1126289 A JP1126289 A JP 1126289A JP 2554275 B2 JP2554275 B2 JP 2554275B2
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【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、液状感光性樹脂組成物に関し、さらに詳し
くは、印刷配線板製造用のソルダーレジスト等の永久保
護マスクの形成に使用可能な、紫外線露光に対して高感
度で、しかも硬化後の塗膜の電気特性や耐薬品性にも優
れた、光硬化および熱硬化がともに可能な液状感光性樹
脂組成物に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a liquid photosensitive resin composition, and more specifically, it can be used for forming a permanent protective mask such as a solder resist for producing a printed wiring board. The present invention relates to a liquid photosensitive resin composition capable of both photocuring and heat curing, which has high sensitivity to ultraviolet light exposure and has excellent electrical properties and chemical resistance of a coating film after curing.

(従来の技術) 従来、印刷配線板業界において、ソルダーレジスト、
化学めっき用レジスト等の永久保護マスクに使用されて
いる樹脂組成物はエポキシ樹脂、メラミン樹脂等の熱硬
化性樹脂を主成分としたものであり、パターン形成に
は、スクリーン印刷法が多く用いられてきた。ソルダー
レジストの主な目的はハンダ付け時のハンダ付け領域を
限定し、ハンダブリッジ等を防ぐこと、導体の腐食を防
止すること、さらに長期にわたって導体間の電気絶縁性
を保持することにある。
(Prior art) Conventionally, in the printed wiring board industry, solder resist,
Resin compositions used for permanent protection masks such as resists for chemical plating are mainly composed of thermosetting resins such as epoxy resins and melamine resins, and screen printing is often used for pattern formation. Have been. The main purpose of the solder resist is to limit the soldering area at the time of soldering, prevent solder bridges, etc., prevent corrosion of the conductors, and maintain electrical insulation between the conductors for a long period of time.

しかしながら、近年、超LSI等の高密度実装化に伴っ
て、導体間隔の縮小化が要求され、また導体間の電気絶
縁性の要求も厳しく、ソルダーレジスト等も寸法精度の
優れたものが要求されるようになっているが、ススリー
ン印刷法は本質的に低解像度であり、カスレ、ピンホー
ル(高粘度インキの場合)あるいはブリード、にじみ、
だれ(低粘度の場合)といった現象が発生し、印刷配線
板の高密度化に対応できなくなってきている。
However, in recent years, along with the high-density mounting of VLSI and the like, it has been required to reduce the conductor spacing, the demand for electrical insulation between conductors is strict, and solder resists and the like with excellent dimensional accuracy are also required. However, the three-screen printing method has an inherently low resolution, and it may cause blurring, pinholes (for high-viscosity ink) or bleeding, bleeding,
Phenomenon such as sagging (in the case of low viscosity) has occurred, and it is becoming difficult to cope with higher density of printed wiring boards.

そこで、写真法(像露光に続く現像により画像を形
成)でパターンを形成でき、高感度、高解像度でかつ、
基板との密着性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電気特性
や機械的特性にも優れた感光性樹脂組成物が、現在注目
されている。
Therefore, a pattern can be formed by a photographic method (an image is formed by development following image exposure), which has high sensitivity, high resolution, and
At present, a photosensitive resin composition, which has excellent adhesion to a substrate and also has excellent electrical properties and mechanical properties of a coating film after curing, has been attracting attention.

また、近年、作業環境、大気および水質汚濁等の問題
から、アルカリ性水溶液または水で現像できる感光性樹
脂組成物が望まれている。
Further, in recent years, a photosensitive resin composition that can be developed with an alkaline aqueous solution or water has been desired due to problems such as work environment, air and water pollution.

写真法により、パターン形成される印刷配線板用の永
久保護マスクとして、ドライフィルム型あるいは液状の
現像可能な感光性樹脂組成物が開発されている。
A dry film type or liquid developable photosensitive resin composition has been developed as a permanent protection mask for a printed wiring board to be patterned by a photographic method.

ドライフィルム型の感光性樹脂組成物として、例え
ば、特開昭57−55914号公報等にウレタンジ(メタ)ア
クリレート、線状高分子化合物および光増感剤からなる
感光性樹脂組成物が、また、特開昭62−247353号公報に
特定のノボラックエポキシ樹脂の(メタ)アクリル変性
樹脂と光増感剤からなる感光性樹脂組成物が開示されて
いる。
As a dry film type photosensitive resin composition, for example, a photosensitive resin composition comprising urethane di (meth) acrylate, a linear polymer compound and a photosensitizer in JP-A-57-55914 and the like, JP-A-62-247353 discloses a photosensitive resin composition comprising a (meth) acrylic modified resin of a specific novolac epoxy resin and a photosensitizer.

しかしながら、一般的に、ドライフィルム型の感光性
樹脂組成物の場合、加熱圧着の際に気泡を生じ易く、耐
熱性や密着性にも不安があり、それらの問題を解決する
為に、特開昭52−52703号公報等に開示されたように、
減圧下で加熱圧着等の特殊な工程を必要とし、さらに
は、この様な工程を用いても、完全な耐熱性や密着性は
保証されない。
However, generally, in the case of a dry film type photosensitive resin composition, bubbles are likely to be generated during thermocompression bonding, and there is concern about heat resistance and adhesiveness. As disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 52-52703,
A special process such as heating and pressure bonding under reduced pressure is required, and even if such a process is used, complete heat resistance and adhesion are not guaranteed.

一方、液状の現像可能な感光性樹脂組成物は、使用直
前に印刷配線板に液状のまま直接塗布されるため工程数
が少なく、また液状であるため、凹凸の激しい印刷配線
板に対しても優れた画像を形成でき、例えば、導体間隔
の狭い印刷配線板のための永久保護マスク用感光性樹脂
組成物として好適である。
On the other hand, a liquid developable photosensitive resin composition has a small number of steps because it is directly applied to a printed wiring board in a liquid state immediately before use. It can form an excellent image and is suitable as, for example, a photosensitive resin composition for a permanent protection mask for a printed wiring board having a narrow conductor interval.

しかしながら、この液状感光性樹脂組成物も、印刷配
線板上に塗布した後、直接パターンマスクを塗膜面に密
着させて露光するとパターンマスクが汚れるという欠点
を有する。
However, this liquid photosensitive resin composition also has a drawback that the pattern mask is stained when exposed to light by directly applying the pattern mask to the coating film surface after coating on the printed wiring board.

このパターンマスクの汚れを解決する方法として、特
開昭57−164595号公報等に開示されているように、印刷
配線板に液状感光性樹脂組成物を塗布した後、乾燥して
造膜する通常の方法とは異なり、乾燥せず液状のままパ
ターンマスクを間隔を開けて配置し、露光硬化させ、未
硬化の液状感光性樹脂組成物を除去するという特殊な方
法がある。しかし、乾燥造膜しないため、被覆された液
状感光性組成物表面とパターンマスクとの間隔を開ける
必要がありその分だけ解像度が悪くなり、また特殊な装
置を装備するため高価になるなど難点がある。
As a method for solving the contamination of the pattern mask, as disclosed in JP-A-57-164595, a liquid photosensitive resin composition is applied to a printed wiring board and then dried to form a film. In contrast to the above method, there is a special method in which the pattern masks are arranged in a liquid state without being dried, with an interval therebetween, exposed to light and cured, and the uncured liquid photosensitive resin composition is removed. However, since dry film formation is not performed, it is necessary to provide a space between the surface of the coated liquid photosensitive composition and the pattern mask, and the resolution is deteriorated by that amount, and it is expensive because a special device is equipped. is there.

また、特開昭58−24144、59−2049号公報等には、活
性光線を透過する透明な可撓性支持体またはパターンマ
スク上に液状感光性樹脂組成物を均一な厚さに塗布し、
直ちに、可撓性支持体またはパターンマスクを移動し液
状感光性樹脂組成物の塗布面を印刷配線板に向け一定圧
で押圧することにより、印刷配線板上に液状感光性樹脂
組成物を一定厚に積層し、次いで、露光し、可撓性支持
体またはパターンマスクを剥離し現像することによるソ
ルダーレジストの製造方法が開示されている。この方法
では、透明な可撓性支持体またはパターンマスクに液状
感光性樹脂組成物を均一な厚さで塗布した後、印刷配線
板に向けて一定圧で押圧するときに、印刷配線板に凹凸
があるため気泡の巻き込みを生じ、画像中に気泡が少な
からず生じ、耐熱性や密着性に不安があり、さらに、特
定の装置を必要とし高価になるなどの問題がある。
Further, JP-A-58-24144, 59-2049, etc., a liquid photosensitive resin composition is applied to a uniform thickness on a transparent flexible support or a pattern mask which transmits actinic rays,
Immediately, by moving the flexible support or the pattern mask and pressing the coated surface of the liquid photosensitive resin composition toward the printed wiring board with a constant pressure, the liquid photosensitive resin composition on the printed wiring board is fixed to a predetermined thickness. A method of manufacturing a solder resist is disclosed by stacking on a substrate, then exposing, peeling and developing a flexible support or a pattern mask. In this method, the liquid photosensitive resin composition is applied to a transparent flexible support or a pattern mask in a uniform thickness, and then, when the printed wiring board is pressed at a constant pressure, the printed wiring board is uneven. Therefore, there is a problem that air bubbles are entrained, a large number of air bubbles are generated in the image, heat resistance and adhesiveness are uncertain, and further, a specific device is required and the cost becomes high.

さらに、特開昭61−102652、62−27736号公報には、
印刷配線板上に液状感光性組成物を塗布した後、透明な
可撓性支持体またはパターンマスクを一定圧で押圧し、
パターンマスクを介して露光し、可撓性支持体またはパ
ターンマスクを剥離した後で現像することによるソルダ
ーレジストの製造方法が開示されている。これらの方法
においても可撓性支持体またはパターンマスクを一定圧
で押圧し、露光するための特定の装置を必要とし高価に
なるなどの問題がある。
Furthermore, in JP-A-61-102652 and 62-27736,
After applying the liquid photosensitive composition on the printed wiring board, pressing a transparent flexible support or pattern mask with a constant pressure,
A method for producing a solder resist by exposing through a pattern mask, peeling off the flexible support or the pattern mask, and then developing is disclosed. Also in these methods, there is a problem that a flexible support or a pattern mask is pressed with a constant pressure and a specific device for exposing is required, which is expensive.

さらに、上記に示した液状感光性組成物を乾燥させず
に、そのままレジストパターンに従って露光する方法に
おいて、液状感光性組成物は、多数の反応性モノマーを
含む液状プレポリマーを使用するため、耐酸性、耐薬品
性等の特性が通常の方法に較べて劣るという問題もあ
る。
Furthermore, in the method of exposing according to the resist pattern as it is, without drying the liquid photosensitive composition shown above, since the liquid photosensitive composition uses a liquid prepolymer containing a large number of reactive monomers, acid resistance However, there is also a problem that the properties such as chemical resistance are inferior to those of ordinary methods.

液状感光性樹脂を塗布後、加熱乾燥し、パターンマス
クを密着させて露光し、現像することにより、ソルダー
レジストを形成する方法としては、特開昭61−243869等
に開示されているような、ノボラック型エポキシ化合
物、不飽和モノカルボン酸および多塩基酸無水物を反応
して得られる化合物を含む液状レジストインキ組成物、
特開昭62−187722等に開示されているような、不飽和基
とカルボキシル基を有するビスフェノール型エポキシ樹
脂を主成分とする液状樹脂組成物がある。
After applying a liquid photosensitive resin, it is heated and dried, a pattern mask is brought into close contact with light to expose it, and a method for forming a solder resist by developing is as disclosed in JP-A-61-243869. A liquid resist ink composition containing a novolac type epoxy compound, a compound obtained by reacting an unsaturated monocarboxylic acid and a polybasic acid anhydride,
There is a liquid resin composition containing a bisphenol type epoxy resin having an unsaturated group and a carboxyl group as a main component, as disclosed in JP-A-62-187722.

しかし、これらの液状感光性樹脂組成物も、感度、お
よび硬化後の塗膜の電気特性、耐薬品性等の特性が不十
分である。
However, these liquid photosensitive resin compositions are also inadequate in sensitivity and properties such as electric properties and chemical resistance of the coating film after curing.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、前記従来の技術的課題を解決し、印
刷配線板上に気泡のない均一な厚みの感光性樹脂層を形
成することができ、また、感光性樹脂を塗布した印刷配
線板を露光前に加熱することにより、感光性樹脂塗膜表
面の粘着性をなくして塗膜表面とパターンマスクとを密
着して露光することができる、光硬化および熱硬化がと
もに可能で、高感度であり、硬化後の塗膜の電気特性、
機械的特性、耐薬品性に優れ、しかもアルカリ性水溶液
により現像可能な液状感光性樹脂組成物を提供すること
にある。
(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional technical problems and to form a photosensitive resin layer having a uniform thickness without bubbles on a printed wiring board, and By heating a printed wiring board coated with a photosensitive resin before exposure, the adhesiveness of the surface of the photosensitive resin coating film can be eliminated and the coating surface and the pattern mask can be closely contacted and exposed to light. Both thermosetting and thermosetting are possible, high sensitivity, electrical characteristics of the coating film after curing,
Another object of the present invention is to provide a liquid photosensitive resin composition which has excellent mechanical properties and chemical resistance and can be developed with an alkaline aqueous solution.

(問題点を解決する為の手段) 本発明者等は、次の様な液状感光性樹脂組成物を用い
ることにより、上記の問題点を解決できることを見出
し、本出願に到った。
(Means for Solving Problems) The present inventors have found that the above problems can be solved by using the following liquid photosensitive resin composition, and arrived at the present application.

(A)下記一般式(I)の繰り返し単位を有する高分子
重合体、同一分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和二
重結合を有する化合物、および飽和あるいは不飽和多塩
基酸無水物を順次反応して得られる変性ポリスチレン樹
脂 一般式(I) (式中、Rは水素、またはメチル基、Arはフェニレン、
または置換フェニレンを意味する。) (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有
する重合性化合物 (C)少なくとも1個のエポキシ基を有するエポキシ化
合物 (D)光重合開始剤または光重合開始剤系 (E)エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒 (F)有機溶剤 を含有する液状感光性樹脂組成物。
(A) A high-molecular polymer having a repeating unit of the following general formula (I), a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated double bond in the same molecule, and a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride are sequentially reacted. Modified polystyrene resin obtained by the general formula (I) (In the formula, R is hydrogen or a methyl group, Ar is phenylene,
Or, it means a substituted phenylene. ) (B) Polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond (C) Epoxy compound having at least one epoxy group (D) Photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system (E) Epoxy A liquid photosensitive resin composition containing a thermosetting catalyst (F) for organic reaction of a group, an organic solvent.

本発明の、液状感光性樹脂組成物の各成分について以
下に説明する。
Each component of the liquid photosensitive resin composition of the present invention will be described below.

(A)の変性ポリスチレン樹脂は、一般式(I)の繰
り返し単位を有する高分子重合体、同一分子中にエポキ
シ基とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、およ
び飽和あるいは不飽和多塩基酸無水物を順次反応させる
ことにより得られる。
The modified polystyrene resin (A) is a high molecular polymer having a repeating unit of the general formula (I), a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated double bond in the same molecule, and a saturated or unsaturated polybasic acid. It is obtained by sequentially reacting anhydrides.

一般式(I)の繰り返し単位を有する高分子重合体と
しては、4−ビニルフェノール、4−イソプロペニルフ
ェノール、2−エチル−4−ビニルフェノール、2−イ
ソプロピル−4−ビニルフェノール、2,6−ジイソプロ
ピル−4−ビニルフェノール、2,6−ジ−t−ブチル−
4−ビニルフェノール、2,6−ジ−t−ブチル−4−イ
ソプロペニルフェノール、ブロム化−4−ビニルフェノ
ール、ブロム化4−イソプロペニルフェノール等の単独
重合体、またはこれらと共重合可能な単量体との共重合
体が挙げられる。これらの内、特に好ましい具体例とし
てはポリ(4−ビニルフェノール)、ポリ(4−イソプ
ロペニルフェノール)、4−イソプロペニルフェノール
/アクリロニトリル共重合体、4−ビニルフェノール/
メタクリル酸メチル共重合体が挙げられる。
As the polymer having a repeating unit represented by the general formula (I), 4-vinylphenol, 4-isopropenylphenol, 2-ethyl-4-vinylphenol, 2-isopropyl-4-vinylphenol, 2,6- Diisopropyl-4-vinylphenol, 2,6-di-t-butyl-
Homopolymers such as 4-vinylphenol, 2,6-di-t-butyl-4-isopropenylphenol, brominated-4-vinylphenol, and brominated 4-isopropenylphenol, or a homopolymer copolymerizable therewith Examples thereof include copolymers with monomers. Among these, particularly preferable specific examples include poly (4-vinylphenol), poly (4-isopropenylphenol), 4-isopropenylphenol / acrylonitrile copolymer, and 4-vinylphenol /
A methyl methacrylate copolymer is mentioned.

また、同一分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和二
重結合を有する化合物としては、まずエポキシアルキル
(メタ)アクリレートが挙げられる。この様な化合物と
しては、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリ
レート、3,4−エポキシブチルアクリレート、3,4−エポ
キシブチルメタクリレート、4,5−エポキシペンチルア
クリレート、4,5−エポキシペンチルメタクリレート、
5,6−エポキシヘキシルアクリレート、5,6−エポキシヘ
キシルメタクリレート、6,7−エポキシヘプチルアクリ
レート、6,7−エポキシヘプチルメタクリレート、10,11
−エポキシウンデシルアクリレート、10,11−エポキシ
ウンデシルメタクリレート、4−グリシジルシクロヘキ
シルアクリレート、4−グリシジルシクロヘキシルメタ
クリレート等が挙げられる。また、ジグリシジルエーテ
ル化合物と(メタ)アクリル酸との1:1付加反応物も用
いることができる。ジグリシジルエーテル化合物として
は、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、エチレン
グリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコー
ルジグリシジルエーテル、テトラメチレングリコールジ
グリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジ
ルエーテル等が挙げられる。また、ジオールのモノグリ
シジルエーテルモノ(メタ)アクリレートも用いること
ができる。ジオールとしては、ビスフェノールA、エチ
レングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレ
ングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレング
リコール、ジテトラメチレングリコール等が挙げられ
る。また、ジカルボン酸のモノグリシジルエステルモノ
(メタ)アクリロキシエチルエステルも用いることがで
きる。ジカルボン酸としては、フタル酸、シクロヘキセ
ンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、マレイ
ン酸、マロン酸、コハク酸等が挙げられる。また、1−
クロロ−2,3−エポキシプロピルアクリレート、1−ク
ロロ−2,3−エポキシプロピルメタクリレート、2−ブ
ロモ−3,4−エポキシブチルアクリレート、2−ブロモ
−3,4−エポキシブチルメタクリレート、2−(エポキ
シエチルオキシ)−エチルアクリレート、2−(エポキ
シエチルオキシ)−エチルメタクリレート、2−(3,4
−エポキシブチルオキシ)−エチルアクリレート、2−
(3,4−エポキシブチルオキシ)−エチルメタクリレー
ト等も用いることができる。これらの内、特に好ましい
具体例としてはグリシジルアクリレート、グリシジルメ
タクリレートが挙げられる。
Moreover, as a compound which has an epoxy group and an ethylenically unsaturated double bond in the same molecule, an epoxy alkyl (meth) acrylate is mentioned first. Such compounds include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, 3,4-epoxybutyl acrylate, 3,4-epoxybutyl methacrylate, 4,5-epoxypentyl acrylate, 4,5-epoxypentylmethacrylate,
5,6-epoxyhexyl acrylate, 5,6-epoxyhexyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl acrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate, 10,11
-Epoxy undecyl acrylate, 10,11-epoxy undecyl methacrylate, 4-glycidyl cyclohexyl acrylate, 4-glycidyl cyclohexyl methacrylate and the like can be mentioned. A 1: 1 addition reaction product of a diglycidyl ether compound and (meth) acrylic acid can also be used. Examples of the diglycidyl ether compound include bisphenol A diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, tetramethylene glycol diglycidyl ether, and diethylene glycol diglycidyl ether. Further, monoglycidyl ether mono (meth) acrylate of diol can also be used. Examples of the diol include bisphenol A, ethylene glycol, propylene glycol, tetramethylene glycol, diethylene glycol, dipropylene glycol and ditetramethylene glycol. Further, monoglycidyl ester mono (meth) acryloxyethyl ester of dicarboxylic acid can also be used. Examples of the dicarboxylic acid include phthalic acid, cyclohexene dicarboxylic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, maleic acid, malonic acid, succinic acid and the like. Also, 1-
Chloro-2,3-epoxypropyl acrylate, 1-chloro-2,3-epoxypropyl methacrylate, 2-bromo-3,4-epoxybutyl acrylate, 2-bromo-3,4-epoxybutyl methacrylate, 2- (epoxy Ethyloxy) -ethyl acrylate, 2- (epoxyethyloxy) -ethyl methacrylate, 2- (3,4
-Epoxybutyloxy) -ethyl acrylate, 2-
(3,4-Epoxybutyloxy) -ethylmethacrylate etc. can also be used. Of these, glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate are particularly preferable.

また、飽和あるいは不飽和多塩基酸無水物としては、
無水コハク酸、無水メチルコハク酸、無水2,3−ジメチ
ルコハク酸、無水2,2−ジメチルコハク酸、無水エチル
コハク酸、無水ドデセニルコハク酸、無水ノネニルコハ
ク酸、無水マレイン酸、無水メチルマレイン酸、無水2,
3−ジメチルマレイン酸、無水2−クロロマレイン酸、
無水2,3−ジクロロマレイン酸、無水ブロモマレイン
酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水シスアコ
ット酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、テ
トラクロロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、
ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フ
タル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エンドメチ
レンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレン
テトラヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸および5
−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル
−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物など
の二塩基酸無水物、無水トリメリット酸、3,3′,4,4′
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の多塩基酸無水物
などが使用できる。これらの内、上記の二塩基酸無水物
が好ましく、特に無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタ
ル酸が好ましい。
Further, as the saturated or unsaturated polybasic acid anhydride,
Succinic anhydride, methylsuccinic anhydride, 2,3-dimethylsuccinic anhydride, 2,2-dimethylsuccinic anhydride, ethylsuccinic anhydride, dodecenylsuccinic anhydride, nonenylsuccinic anhydride, maleic anhydride, methylmaleic anhydride, anhydrous 2,2.
3-dimethylmaleic acid, 2-chloromaleic anhydride,
2,3-dichloromaleic anhydride, bromomaleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, cisaccot anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, tetrachlorophthalic anhydride, tetrabromophthalic anhydride,
Hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride and 5
Dibasic acid anhydride such as-(2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, trimellitic anhydride, 3,3 ', 4,4'
-Polybasic acid anhydrides such as benzophenone tetracarboxylic acid can be used. Of these, the above dibasic acid anhydrides are preferable, and succinic anhydride and tetrahydrophthalic anhydride are particularly preferable.

それぞれを順次反応させて、変性ポリスチレン樹脂を
得るが、それらを反応させる比率は、一般式(I)の繰
り返し単位を有する高分子重合体の水酸基1当量に対し
て、同一分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和二重結
合を有する化合物0.5〜1.2当量、好ましくは、0.8〜1.1
当量であり、多塩基酸無水物0.1〜1.1当量、好ましく
は、0.3〜1.0当量である。同一分子中にエポキシ基とエ
チレン性不飽和二重結合を有する化合物が0.5当量未満
では感度が低下し、1.2当量を越えると粘着性の問題が
生ずる。また、多塩基酸無水物が0.1当量未満では、現
像性の低下、樹脂のゲル化が起こり、1.1当量を越える
と粘着性や、結晶の析出等の問題が生ずる。
The modified polystyrene resins are obtained by sequentially reacting each of them, and the ratio of reacting them is such that the epoxy group in the same molecule is equivalent to the hydroxyl group of 1 equivalent of the polymer having the repeating unit of the general formula (I). Compound having an ethylenically unsaturated double bond 0.5 to 1.2 equivalents, preferably 0.8 to 1.1
The amount is equivalent to 0.1 to 1.1 equivalents of polybasic acid anhydride, preferably 0.3 to 1.0 equivalent. If the amount of the compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated double bond in the same molecule is less than 0.5 equivalent, the sensitivity is lowered, and if it exceeds 1.2 equivalent, the tackiness problem occurs. Further, if the polybasic acid anhydride is less than 0.1 equivalent, the developability is lowered and the resin is gelated. If it exceeds 1.1 equivalent, problems such as tackiness and crystal precipitation occur.

これらの変性ポリスチレン樹脂は単独で、または2種
以上混合して用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固
形分100重量部に対して、10〜60重量部が好ましく、特
に20〜50重量部用いることが好ましい。10重量部未満で
は現像性、硬化膜の強度が低下し、60重量部を越えると
液粘度が高くなり、作業性が低下する。
These modified polystyrene resins may be used alone or in combination of two or more, and are preferably 10 to 60 parts by weight, particularly 20 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the liquid photosensitive resin composition. It is preferable to use a part. If it is less than 10 parts by weight, the developability and the strength of the cured film are lowered, and if it exceeds 60 parts by weight, the liquid viscosity becomes high and the workability is lowered.

本発明に用いられる少なくとも1個のエチレン性不飽
和二重結合を有する重合性化合物としては、まず1価ま
たは多価アルコールのアクリル酸またはメタクリル酸の
エステルが挙げられる。
Examples of the polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond used in the present invention include acrylic acid or methacrylic acid esters of monohydric or polyhydric alcohols.

1価または多価アルコールのアクリル酸またはメタク
リル酸のエステルにおける1価アルコールとしては、例
えばメタノール、エタノール、プロパノール、イソプロ
パノール、n−ブタノール、イソブタノール、t−ブタ
ノール、シクロヘキシルアルコール、ベンジルアルコー
ル、オクチルアルコール、2−エチルヘキサノール、ラ
ウリルアルコール、n−デカノール、ウンデカノール、
セチルアルコール、ステアリルアルコール、メトキシエ
チルアルコール、エトキシエチルアルコール、ブトキシ
エチルアルコール、ポリエチレングリコールモノメチル
アルコール、ポリエチレングリコールモノエチルアルコ
ール、2−ヒドロキシ−3−クロロプロパン、ジメチル
アミノアルコール、ジエチルアミノアルコール、グリシ
ドール、2−トリメトキシシリルエタノール、エチレン
クロロヒドリン、エチレンブロモヒドリン、2,3−ジブ
ロムプロパノール、アリルアルコール、オレイルアルコ
ール、エポキシステアリルアルコール、フェノール、ナ
フトール等が挙げられる。また多価アルコールとして
は、例えばエチレングリコール、1,2−プロパンジオー
ル、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,
5−ペンタンジオール、ヘキサンジオール、ヘプタンジ
オール、オクタンジオール、ノナンジオール、ドデカン
ジオール、ネオペンチルグリコール、1,10−デカンジオ
ール、2−ブテン−1,4−ジオール、2−n−ブチル−
2−エチルプロパンジオール、シクロヘプタンジオー
ル、1,4−シクロヘキサンジメタノール、3−シクロヘ
キセン−1,1−ジエタノール、ポリエチレングリコール
(ジエチレングリコール、トリエチレングリコール
等)、ポリプロピレングリコール(ジプロピレングリコ
ール、トリプロピレングリコール等)、ポリスチレンオ
キシドグリコール、ポリテトラヒドロフラングリコー
ル、キシリレンジオール、ビス(β−ヒドロキシエトキ
シ)ベンゼン、3−クロル−1,2−プロパンジオール、
2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジエチ
ル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジフェニル−1,3−
プロパンジオール、デカリンジオール、1,5−ジヒドロ
キシ−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン、2,5−ジメチ
ル−2,5−ヘキサンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサ
ンジオール、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−
1,3−プロパンジオール、2−エチル−2−メチル−1,3
−プロパンジオール、3−ヘキセン−2,5−ジオール、
ヒドロキシベンジルアルコール、2−メチル−1,4−ブ
タンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、
1−フェニル−1,2−エタンジオール、2,2,4,4−テトラ
メチル−1,3−シクロブタンジオール、2,3,5,6−テトラ
メチル−p−キシレン−α,α′−ジオール、1,1,4,4
−テトラフェニル−2−ブチン−1,4−ジオール、1,1′
−ビ−2−ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、1,
1′−メチレン−ジ−2−ナフトール、ビフェノール、
2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ブタン、1,1−ビ
ス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、ビス
(ヒドロキシフェニル)メタン、カテコール、レゾルシ
ノール、2−メチルレゾルシノール、4−クロロレゾル
シノール、ピロガロール、α−(1−アミノエチル)−
p−ヒドロキシベンジルアルコール、2−アミノ−2−
メチル−1,3−プロパンジオール、2−アミノ−2−エ
チル−1,3−プロパンジオール、3−アミノ−1,2−プロ
パンジオール、N−(3−アミノプロピル)−ジエタノ
ールアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)ピペ
ラジン、1,3−ビス(ヒドロキシメチル)ウレア、1,2−
ビス(4−ピリジル)−1,2−エタンジオール、N−n
−ブチルジエタノールアミン、ジエタノールアミン、N
−エチルジエタノールアミン、3−メルカプト−1,2−
プロパンジオール、3−ピペリジン−1,2−プロパンジ
オール、2−(2−ピリジル)−1,3−プロパンジオー
ル、α−(1−アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジ
ルアルコール、グリセリン、トリメチロールエタン、ト
リメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペン
タエリスリトール、トリペンタエリスリトール、ソルビ
トール、グリコース、α−マンニトール、ブタントリオ
ール、1,2,6−トリヒドロキシヘキサン、1,2,4−ベンゼ
ントリオール、トリエタノールアミン、2,2−ビス(ヒ
ドロキシメチル)−2,2′,2″−ニトリロトリエタノー
ル等が挙げられる。これらの1価または多価アルコール
のアクリル酸またはメタクリル酸のエステルのうち、エ
チレングリコールジアクリレート、エチレンリコールジ
メタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタエ
リスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタメタクリレート、グリセリントリアクリレー
ト、グリセリントリメタクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ
メタクリレート、トリメチロールエタントリアクリレー
ト、トリメチロールエタントリメタクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジメタクリレート、ソルビトールヘキサアクリレー
ト、ソルビトールヘキサメタクリレート、ソルビトール
ペンタアクリレート、ソルビトールペンタメタクリレー
ト等が好ましい。
Examples of the monohydric alcohol in the ester of acrylic acid or methacrylic acid of monohydric or polyhydric alcohol include, for example, methanol, ethanol, propanol, isopropanol, n-butanol, isobutanol, t-butanol, cyclohexyl alcohol, benzyl alcohol, octyl alcohol, 2-ethylhexanol, lauryl alcohol, n-decanol, undecanol,
Cetyl alcohol, stearyl alcohol, methoxyethyl alcohol, ethoxyethyl alcohol, butoxyethyl alcohol, polyethylene glycol monomethyl alcohol, polyethylene glycol monoethyl alcohol, 2-hydroxy-3-chloropropane, dimethylamino alcohol, diethylamino alcohol, glycidol, 2-trimethoxy. Examples thereof include silyl ethanol, ethylene chlorohydrin, ethylene bromohydrin, 2,3-dibromopropanol, allyl alcohol, oleyl alcohol, epoxystearyl alcohol, phenol and naphthol. Examples of the polyhydric alcohol include ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,
5-pentanediol, hexanediol, heptanediol, octanediol, nonanediol, dodecanediol, neopentyl glycol, 1,10-decanediol, 2-butene-1,4-diol, 2-n-butyl-
2-ethylpropanediol, cycloheptanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, 3-cyclohexene-1,1-diethanol, polyethylene glycol (diethylene glycol, triethylene glycol, etc.), polypropylene glycol (dipropylene glycol, tripropylene glycol, etc.) ), Polystyrene oxide glycol, polytetrahydrofuran glycol, xylylene diol, bis (β-hydroxyethoxy) benzene, 3-chloro-1,2-propanediol,
2,2-Dimethyl-1,3-propanediol, 2,2-diethyl-1,3-propanediol, 2,2-diphenyl-1,3-
Propanediol, decalin diol, 1,5-dihydroxy-1,2,3,4-tetrahydronaphthalene, 2,5-dimethyl-2,5-hexanediol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, 2-ethyl -2- (hydroxymethyl)-
1,3-propanediol, 2-ethyl-2-methyl-1,3
-Propanediol, 3-hexene-2,5-diol,
Hydroxybenzyl alcohol, 2-methyl-1,4-butanediol, 2-methyl-2,4-pentanediol,
1-phenyl-1,2-ethanediol, 2,2,4,4-tetramethyl-1,3-cyclobutanediol, 2,3,5,6-tetramethyl-p-xylene-α, α'-diol , 1,1,4,4
-Tetraphenyl-2-butyne-1,4-diol, 1,1 '
-Bi-2-naphthol, dihydroxynaphthalene, 1,
1'-methylene-di-2-naphthol, biphenol,
2,2-bis (4-hydroxyphenyl) butane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane, bis (hydroxyphenyl) methane, catechol, resorcinol, 2-methylresorcinol, 4-chlororesorcinol, pyrogallol, α -(1-aminoethyl)-
p-hydroxybenzyl alcohol, 2-amino-2-
Methyl-1,3-propanediol, 2-amino-2-ethyl-1,3-propanediol, 3-amino-1,2-propanediol, N- (3-aminopropyl) -diethanolamine, N, N- Bis (2-hydroxyethyl) piperazine, 1,3-bis (hydroxymethyl) urea, 1,2-
Bis (4-pyridyl) -1,2-ethanediol, Nn
-Butyldiethanolamine, diethanolamine, N
-Ethyldiethanolamine, 3-mercapto-1,2-
Propanediol, 3-piperidine-1,2-propanediol, 2- (2-pyridyl) -1,3-propanediol, α- (1-aminoethyl) -p-hydroxybenzyl alcohol, glycerin, trimethylolethane, Trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, sorbitol, glucose, α-mannitol, butanetriol, 1,2,6-trihydroxyhexane, 1,2,4-benzenetriol, triethanolamine, 2 2,2-bis (hydroxymethyl) -2,2 ′, 2 ″ -nitrilotriethanol and the like. Among these esters of acrylic acid or methacrylic acid of monohydric or polyhydric alcohols, ethylene glycol diacrylate and ethylene recall. Dimethacrylate, polyethylene Recall diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol Pentamethacrylate, glycerin triacrylate, glycerin trimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, neopentyl Call dimethacrylate, sorbitol hexaacrylate, sorbitol hexa methacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol pentaacrylate methacrylate are preferred.

また、モノアミンもしくはポリアミンのアクリルアミ
ドまたはメタクリルアミドも使用することができる。こ
こにおけるモノアミンとしては、例えばエチルアミン、
ブチルアミン、アミルアミン、ヘキシルアミン、オクチ
ルアミン、シクロヘキシルアミン、9−アミノデカリン
等のモノアルキルアミン、アリルアミン、メタアリルア
ミン、ベンジルアミン等のモノアルケニルアミン、およ
びアニリン、トルイジン、p−アミノスチレン等の芳香
族アミンが挙げられる。またポリアミンとしては、例え
ばエチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメ
チレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチ
レンジアミン、ヘキサメチレンビス(2−アミノプロピ
ル)アミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテト
ラアミン、ポリエチレンポリアミン、トリス(2−アミ
ノエチル)アミン、4,4′−メチレンビス(シクロヘキ
シルアミン)、N,N′−ビス(2−アミノエチル)−1,3
−プロパンジアミン、N,N′−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,4−ブタンジアミン、N,N′−ビス(3−アミノ
プロピル)エチレンジアミン、N,N′−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,3−プロパンジアミン、1,3−シクロヘ
キサンビス(メチルアミン)、フェニレンジアミン、キ
シリレンジアミン、β−(4−アミノフェニル)エチル
アミン、ジアミノトルエン、ジアミノアントラセン、ジ
アミノナフタレン、ジアミノスチレン、メチレンジアニ
リン、2,4−ビス(4−アミノベンジル)アニリン、ア
ミノフェニルエーテル等が挙げられる。
It is also possible to use acrylamides or methacrylamides of monoamines or polyamines. Examples of the monoamine here include ethylamine,
Butylamine, amylamine, hexylamine, octylamine, cyclohexylamine, monoalkylamines such as 9-aminodecalin, monoalkenylamines such as allylamine, methallylamine, benzylamine, and aromatic amines such as aniline, toluidine, p-aminostyrene. Is mentioned. Examples of polyamines include ethylenediamine, trimethylenediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, octamethylenediamine, hexamethylenebis (2-aminopropyl) amine, diethylenetriamine, triethylenetetraamine, polyethylenepolyamine, tris (2-amino). Ethyl) amine, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine), N, N'-bis (2-aminoethyl) -1,3
-Propanediamine, N, N'-bis (3-aminopropyl) -1,4-butanediamine, N, N'-bis (3-aminopropyl) ethylenediamine, N, N'-bis (3-aminopropyl) -1,3-propanediamine, 1,3-cyclohexanebis (methylamine), phenylenediamine, xylylenediamine, β- (4-aminophenyl) ethylamine, diaminotoluene, diaminoanthracene, diaminonaphthalene, diaminostyrene, methylenedi Examples include aniline, 2,4-bis (4-aminobenzyl) aniline, aminophenyl ether and the like.

さらに、アリル化合物、例えばギ酸、酢酸、プロピオ
ン酸、酪酸、ラウリン酸、安息香酸、クロル安息香酸、
マロン酸、シュウ酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシ
ン酸、フタル酸、テレフタル酸、ヘキサヒドロフタル
酸、クロレンド酸およびトリメリット酸等のモノまたは
ポリカルボン酸のモノまたはポリアリルエステル、ベン
ゼンジスルホン酸、ナフタレンジスルホン酸等のモノま
たはポリスルホン酸のモノまたはポリアリルエステル、
ジアリルアミン、N,N′−ジアリルシュウ酸ジアミド、
1,3−ジアリル尿素、ジアリルエーテル、トリアリルイ
ソシアヌレート等も用いることができる。
Further, allyl compounds such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, lauric acid, benzoic acid, chlorobenzoic acid,
Mono- or polyallyl esters of mono- or polycarboxylic acids such as malonic acid, oxalic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, phthalic acid, terephthalic acid, hexahydrophthalic acid, chlorendic acid and trimellitic acid, benzenedisulfonic acid, Mono- or polyallyl esters of mono- or polysulfonic acids such as naphthalenedisulfonic acid,
Diallylamine, N, N′-diallyl oxalic acid diamide,
1,3-diallyl urea, diallyl ether, triallyl isocyanurate and the like can also be used.

また、例えばジビニルベンゼン、p−アリルスチレ
ン、p−イソピロペニルスチレン、ジビニルスルホン、
エチレングリコールジビニルエーテル、グリセロールト
リビニルエーテル、ジビニルスフシネート、ジビニルフ
タレート、ジビニルテレフタレート等のポリビニル化合
物、2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピ
ルトリメチルアンモニウムクロリド、メタクリロイルオ
キシフェニルトリメチルアンモニウムクロリド等のイオ
ン性基を有するアクリル酸またはメタクリル酸のエステ
ル化合物も用いることができる。
Further, for example, divinylbenzene, p-allylstyrene, p-isopyropenylstyrene, divinylsulfone,
It has a polyvinyl compound such as ethylene glycol divinyl ether, glycerol trivinyl ether, divinyl succinate, divinyl phthalate and divinyl terephthalate, and an ionic group such as 2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyltrimethylammonium chloride and methacryloyloxyphenyltrimethylammonium chloride. An ester compound of acrylic acid or methacrylic acid can also be used.

さらに、市販の重合性モノマーまたはオリゴマー、例
えば東亜合成化学工業社製アロニックスM5700、M6100、
M8030、M152、M205、M215、M315、M325等のアクリレー
ト系モノマー、新中村化学工業社製のNKエステルABPE−
4、U−4HA、CB−1、CBX−1、日本化薬社製KAYARAD
R604、DPCA−30、DPCA−60、KAYAMAR PM−1、PM−2、
サンノプコ社製フォトマー4061、5007等のアクリレート
またはメタクリレート系モノマー、昭和高分子社製リポ
キシVR60、VR90、SP1509等のエポキシアクリレート、同
社製スピラックE−4000X、U3000等のスピロアセタール
構造とアクリル基またはメタクリル基とを有するスピラ
ン樹脂等も用いることができる。
Further, commercially available polymerizable monomers or oligomers, for example, Alonix M5700, M6100, manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.
Acrylate monomers such as M8030, M152, M205, M215, M315, M325, NK ester ABPE manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.
4, U-4HA, CB-1, CBX-1, KAYARAD manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
R604, DPCA-30, DPCA-60, KAYAMAR PM-1, PM-2,
Acrylate or methacrylate monomers such as Sannopco's Photomer 4061, 5007, epoxy acrylates such as Showa Polymer's Lipoxy VR60, VR90, SP1509 etc., Spiro acetal structure such as Spyrac E-4000X, U3000 made by the same company and acrylic or methacrylic group It is also possible to use a spirane resin having and.

これらの化合物は単独で、または2種以上混合して用
いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重量部
に対して、1〜40重量部が好ましく、特に2〜30重量部
用いることが好ましい。1重量部未満では感度が低下
し、40重量部を越えると硬化膜の電気的特性、機械的特
性が低下する。
These compounds may be used alone or in combination of two or more, and preferably 1 to 40 parts by weight, particularly 2 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the liquid photosensitive resin composition. It is preferable. If it is less than 1 part by weight, the sensitivity will be reduced, and if it exceeds 40 parts by weight, the electrical properties and mechanical properties of the cured film will be deteriorated.

本発明に用いられる少なくとも1個のエポキシ基を有
する化合物としては、例えばブチルグリシジルエーテ
ル、オクチルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエ
ーテル、アリールグリシジルエーテル、フェニルグリシ
ジルエーテル等の炭素数2〜20のアルコールのグリシジ
ルエーテル類、ポリエチレングリコールジグリシジルエ
ーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテ
ル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピ
レングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグ
リコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオー
ルジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコ
ールジグリシジルエーテル、グリセロールトリグリシジ
ルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテル、ジグリセロールテトラグリシジルエーテル、ポ
リグリセロールポリグリシジルエーテル等の、ポリオー
ルのポリグリシジルエーテル類、2,6−ジグリシジルフ
ェニルグリシジルエーテル、2,6,2′,6′−テトラメチ
ル−4,4′−ビフェニルジグリシジルエーテル、ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノール
A型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、
水素添加型ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェ
ノールS型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノールS
型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化
フェノールノボラック型エポキシ樹脂および臭素化エポ
キシ樹脂等のグリシジルエーテル型エポキシ化合物、ア
リサイクリックジエポキシアセタール、アリサイクリッ
クジエポキシアジペイト、アリサイクリックジエポキシ
アジペートおよびビニルシクロヘキセンジオキサイド等
の環式脂肪族エポキシ化合物、グリシジルアクリレー
ト、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロキシフタ
ル酸ジグリシジルエステル、ソルビン酸グリシジルエス
テル、オレイン酸グリシジルエステルおよびリノレイン
酸グリシジルエステル等の不飽和酸グリシジルエステル
類、ブチルグリシジルエステル、オクチルグリシジルエ
ステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステルお
よびダイマー酸グリシジルエステル等のアルキルカルボ
ン酸グリシジルエステル類および安息香酸グリシジルエ
ステル、o−フタル酸ジグリシジルエステルおよびジグ
リシジルp−オキシ安息香酸等の芳香族カルボン酸グリ
シジルエステル類等のグリシジルエステル型エポキシ化
合物、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、ト
リグリシジル−p−アミノフェノール、トリグリシジル
−m−アミノフェノール、ジグリシジルアニリン、ジグ
リシジルトルイジン、テトラグリシジル−m−キシリレ
ンジアミン、ジグリシジルトリブロムアニリンおよびテ
トラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグ
リシジルアミン型エポキシ化合物、ジグリシジルヒダン
トイン、グリシジルグリシドオキシアルキルヒダントイ
ンおよびトリグリシジジルイソシアヌレート等の複素環
式エポキシ化合物等が挙げられる。これらの内、2,6,
2′,6′−テトラメチル−4,4′−ビフェニルジグリシジ
ルエーテル、ノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポ
キシ化合物が好ましい。
Examples of the compound having at least one epoxy group used in the present invention include glycidyl ethers of alcohol having 2 to 20 carbon atoms such as butyl glycidyl ether, octyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, aryl glycidyl ether and phenyl glycidyl ether. , Polyethylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, dibromoneopentyl glycol diglycidyl ether, Glycerol triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, diglycerol Polyglycidyl ethers of polyols such as traglycidyl ether and polyglycerol polyglycidyl ether, 2,6-diglycidylphenyl glycidyl ether, 2,6,2 ′, 6′-tetramethyl-4,4′-biphenyldiglycidyl ether Ether, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin,
Hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, hydrogenated bisphenol S
Type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, halogenated phenol novolac type epoxy resin, brominated epoxy resin and other glycidyl ether type epoxy compounds, alicyclic diepoxy acetal, alicyclic diepoxy adipate , Cyclic aliphatic epoxy compounds such as alicyclic diepoxy adipate and vinylcyclohexenedioxide, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, tetrahydroxyphthalic acid diglycidyl ester, sorbic acid glycidyl ester, oleic acid glycidyl ester and linoleic acid glycidyl ester Unsaturated acid glycidyl esters, butyl glycidyl ester, octyl glycidyl ester, hexahydro Glycidyl esters such as alkyl carboxylic acid glycidyl esters such as thallic acid diglycidyl ester and dimer acid glycidyl ester, and benzoic acid glycidyl ester, aromatic carboxylic acid glycidyl esters such as o-phthalic acid diglycidyl ester and diglycidyl p-oxybenzoic acid Ester type epoxy compound, tetraglycidyldiaminodiphenylmethane, triglycidyl-p-aminophenol, triglycidyl-m-aminophenol, diglycidylaniline, diglycidyltoluidine, tetraglycidyl-m-xylylenediamine, diglycidyltribromoaniline and tetra Glycidyl amine type epoxy compounds such as glycidyl bisaminomethylcyclohexane, diglycidyl hydantoin, glycidyl glycidoxyal Ruhidantoin and heterocyclic epoxy compounds such as triglycidyl Gilles isocyanurate. Of these, 2,6,
2 ', 6'-Tetramethyl-4,4'-biphenyldiglycidyl ether, novolac type epoxy resin, and heterocyclic epoxy compound are preferable.

これらのエポキシ化合物は単独または2種以上混合し
て用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重
量部に対して、1〜40重量部が好ましく、特に5〜30重
量部使用することが好ましい。1重量部未満では硬化膜
の強度、耐薬品性、電気的特性が不足し、40重量部を越
えると液の安定性が低下する。
These epoxy compounds may be used alone or in admixture of two or more, and preferably 1 to 40 parts by weight, particularly 5 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the liquid photosensitive resin composition. It is preferable. If it is less than 1 part by weight, the strength, chemical resistance and electrical properties of the cured film will be insufficient, and if it exceeds 40 parts by weight, the stability of the liquid will decrease.

本発明に用いられる光重合開始剤としては、例えばベ
ンジル、ジアセチル等のα−ジケトン類、ベンゾイン等
のアシロイン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等
のアシロインエーテル類、チオキサントン、2,4−ジエ
チルチオキサントン、チオキサントン−1−スルホン
酸、チオキサントン−4−スルホン酸等のチオキサント
ン類、ベンゾフェノン、4,4′−ビス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、アセトフェノ
ン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、α,α′−ジ
メトキシアセトキシアセトフェノン、2,2′−ジメトキ
シ−2−フェニルアセトフェノン、p−メトキシアセト
フェノン、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルフォリノ−1−プロパノン等のアセトフ
ェノン類およびアントラキノン、1,4−ナフトキノン等
のキノン類、フェナシルクロライド、トリブロモメチル
フェニルスルホン、トリス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン等のハロゲン化合物、ジ−t−ブチルパーオ
キサイド等の過酸化物などが挙げられる。
As the photopolymerization initiator used in the present invention, for example, benzyl, α-diketones such as diacetyl, acyloins such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, acyloin ethers such as benzoin isopropyl ether, thioxanthone, 2 Thioxanthones such as 4,4-diethylthioxanthone, thioxanthone-1-sulfonic acid and thioxanthone-4-sulfonic acid, benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino)
Benzophenones such as benzophenone, acetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, α, α′-dimethoxyacetoxyacetophenone, 2,2′-dimethoxy-2-phenylacetophenone, p-methoxyacetophenone, 2-methyl- [4- (methylthio) Phenyl] -2-morpholino-1-propanone and other acetophenones and anthraquinones, 1,4-naphthoquinone and other quinones, phenacyl chloride, tribromomethylphenyl sulfone, tris (trichloromethyl) -s-
Examples thereof include halogen compounds such as triazine and peroxides such as di-t-butyl peroxide.

これらの光重合開始剤は単独または2種以上混合して
用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重量
部に対して、0.1〜20重量部が好ましく、特に0.2〜10重
量部使用することが好ましい。0.1重量部未満では感度
が低下し、20重量部を越えると結晶の析出、下部の硬化
不足等が起こる。
These photopolymerization initiators may be used alone or in admixture of two or more, and are preferably 0.1 to 20 parts by weight, particularly 0.2 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the liquid photosensitive resin composition. Preference is given to using. If it is less than 0.1 part by weight, the sensitivity will be lowered, and if it exceeds 20 parts by weight, crystals will be precipitated and the lower part will be insufficiently cured.

エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒としては、ジ
エチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラ
エチレンペンタミン、イミノビスプロピルアミン(ジプ
ロピルトリアミン)、ビス(ヘキサメチレン)トリアミ
ン、1,3,6−トリスアミノメチルヘキサン等のポリアミ
ン類、トリメチルヘキサメチレンジアミン、ポリエーテ
ルジアミン、ジエチルアミノプロピルアミン等のポリメ
チレンジアミン類、メンセンジアミン、イソフォロンジ
アミン、ビス(4−アミノ−3−メチルシクロヘキシ
ル)メタンおよびN−アミノエチルピペラジン等の脂環
族ポリアミン類等の脂肪族第一アミン、メタフェニレン
ジアミン、ジアミノフェニルメタン、ジアミノフェニル
スルフォンおよび芳香族ジアミン共融混合物等の芳香族
第一アミン類、ポリアミンエポキシ樹脂アダクト、ポリ
アミン−エチレンオキシドアダクト、ポリアミン−プロ
ピレンオキシドアダクト、シアノエチル化ポリアミン、
ケトイミン等の変性アミン、ピペリジン、ピペラジン、
モルフォリン等の第二アミン、および、テトラメチルグ
アニジン、トリエタノールアミン、ベンジルジメチルア
ミン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノ
ール等の第三アミン等のアミン化合物類、無水フタル
酸、無水トリメリット酸、エチレングリコールビス(ア
ンヒドロトリメリテート)、グリセリントリス(アンヒ
ドロトリメリテート)、無水ピロメリット酸、3,3′,4,
4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物等の芳香
族酸無水物、無水マレイン酸、無水コハク酸、テトラヒ
ドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、
エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエン
ドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、アルケニル無水
コハク酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒ
ドロ無水フタル酸、メチルシクロヘキセンテトラカルボ
ン酸無水物等の環状脂肪族酸無水物、ポリアジピン酸無
水物、ポリアゼライン酸無水物、ポリセバシン酸無水物
等の脂肪族酸無水物、および、クロレンド酸無水物、テ
トラブロモ無水フタル酸等のハロゲン化酸無水物等の酸
無水物類、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−
メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2
−ヘプタデシルイミダゾール、2−フェニルイミダゾー
ル、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シア
ノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル
−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエ
チル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル
−2−ウンデシルイミダゾリウム・トリメリテート、1
−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウム・トリメ
リテート、2−メチルイミダゾリウム・イソシアヌレー
ト、2−フェニルイミダゾリウム・イソシアヌレート、
2,4−ジアミノ−6−〔2−メチルイミダゾリル−
(1)〕−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−
6−〔2−エチル−4−メチルイミダゾリル−(1)〕
−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−〔2
−ウンデシルイミダゾリル−(1)〕−エチル−S−ト
リアジン、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシ
メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキ
シメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニ
ル−4,5−ジ(シアノエトキシメチル)イミダゾール、
1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウ
ム・クロライドおよび1,3−ジベンジル−2−メチルイ
ミダゾリウム・クロライド等のイミダゾール化合物類、
ノボラック型フェノール樹脂、クレゾール型フェノール
樹脂、レゾルシノール型フェノール樹脂およびポリビニ
ルフェノール等のフェノール類、三フッ化ホウ素−アミ
ン錯体、五フッ化ホウ素−アミン錯体および五フッ化ヒ
素−アミン錯体等のルイス酸−アミン錯体類、ジシアン
ジアミド、o−トリルビグアニド、フェニルビグアニド
およびα−2,5−ジメチルビグアニド等のジシアンジア
ミド誘導体、コハク酸ヒドラジド、アジピン酸ヒドラジ
ド、イソフタル酸ヒドラジドおよびp−オキシ安息香酸
ヒドラジド等の有機酸ヒドラジド類、ジアミノマレオニ
トリルおよびベンジルジアミノマレオニトリル等のジア
ミノマレオニトリル誘導体、メラミンおよびN,N−ジア
リルメラミン等のメラミン誘導体、アミンイミド誘導
体、ポリメルカプタン類等の公知のエポキシ硬化促進剤
を用いることができる。
Thermosetting catalysts for thermally reacting epoxy groups include diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, iminobispropylamine (dipropyltriamine), bis (hexamethylene) triamine, 1,3,6-trisaminomethyl. Polyamines such as hexane, trimethylhexamethylenediamine, polyetherdiamine, polymethylenediamines such as diethylaminopropylamine, menthenediamine, isophoronediamine, bis (4-amino-3-methylcyclohexyl) methane and N-aminoethyl Aliphatic primary amines such as alicyclic polyamines such as piperazine, metaphenylene diamine, diaminophenylmethane, diaminophenyl sulfone and aromatic diamines such as eutectic mixtures of aromatic diamines, polyamines Epoxy resin adduct, a polyamine - ethylene oxide adduct, a polyamine - propylene oxide adducts, cyanoethylated polyamine,
Modified amines such as ketoimine, piperidine, piperazine,
Secondary amines such as morpholine, and amine compounds such as tetramethylguanidine, triethanolamine, benzyldimethylamine, tertiary amines such as 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, phthalic anhydride, Trimellitic anhydride, ethylene glycol bis (anhydro trimellitate), glycerin tris (anhydro trimellitate), pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,
Aromatic acid anhydrides such as 4′-benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride,
Endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, alkenylsuccinic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylcyclohexenetetracarboxylic anhydride and other cyclic aliphatic acid anhydrides, polyadipic acid Aliphatic acid anhydrides such as anhydrides, polyazelaic acid anhydrides and polysebacic acid anhydrides, and acid anhydrides such as chlorendic acid anhydrides and halogenated acid anhydrides such as tetrabromophthalic anhydride, 2-methylimidazole , 2-ethyl-4-
Methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2
-Heptadecyl imidazole, 2-phenyl imidazole, 1-benzyl-2-methyl imidazole, 1-cyanoethyl-2-methyl imidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methyl imidazole, 1-cyanoethyl-2-undecyl imidazole , 1-Cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1
-Cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2-methylimidazolium isocyanurate, 2-phenylimidazolium isocyanurate,
2,4-diamino-6- [2-methylimidazolyl-
(1)]-Ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-
6- [2-ethyl-4-methylimidazolyl- (1)]
-Ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-6- [2
-Undecylimidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenyl- 4,5-di (cyanoethoxymethyl) imidazole,
Imidazole compounds such as 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride and 1,3-dibenzyl-2-methylimidazolium chloride;
Phenols such as novolak type phenolic resin, cresol type phenolic resin, resorcinol type phenolic resin and polyvinyl phenol, Lewis acids such as boron trifluoride-amine complex, boron pentafluoride-amine complex and arsenic pentafluoride-amine complex Amine complexes, dicyandiamide, o-tolylbiguanide, dicyandiamide derivatives such as phenylbiguanide and α-2,5-dimethylbiguanide, organic acid hydrazides such as succinic hydrazide, adipic hydrazide, isophthalic hydrazide and p-oxybenzoic hydrazide. , Diaminomaleonitrile, benzyldiaminomaleonitrile and other diaminomaleonitrile derivatives, melamine and N, N-diallylmelamine and other melamine derivatives, amine imide derivatives, polymercaptans It can be used in the known epoxy curing accelerator.

これらの熱硬化触媒は単独または2種以上混合して用
いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重量部
に対して、0.01〜10重量部が好ましく、特に0.05〜5重
量部使用することが好ましい。0.01重量部未満では硬化
膜の強度が不足し、10重量部を越えると結晶の析出、液
の安定性の低下が起こる。
These thermosetting catalysts may be used alone or as a mixture of two or more, and are preferably 0.01 to 10 parts by weight, particularly preferably 0.05 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the liquid photosensitive resin composition. Preferably. If it is less than 0.01 parts by weight, the strength of the cured film will be insufficient, and if it exceeds 10 parts by weight, crystals will precipitate and the stability of the liquid will be reduced.

本発明に用いられる有機溶剤としては、メチルエチル
ケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キ
シレン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、ブチルセロ
ソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカビト
ール等のカルビトール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セ
ロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カ
ルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート
等の酢酸エステル類などがある。
The organic solvent used in the present invention, methyl ethyl ketone, ketones such as cyclohexanone, toluene, aromatic hydrocarbons such as xylene, cellosolve, cellosolves such as butyl cellosolve, carbitol, carbitols such as butyl cavitol, acetic acid. There are acetic acid esters such as ethyl, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate and butyl carbitol acetate.

これらの有機溶剤は、液状感光性樹脂組成物100重量部
に対して、10〜50重量部が好ましく、特に20〜40重量部
使用することが好ましい。10重量部未満では液粘度が高
く、50重量部を越えると液粘度が低く、いずれも作業性
が低下する。
These organic solvents are preferably used in an amount of 10 to 50 parts by weight, particularly preferably 20 to 40 parts by weight, based on 100 parts by weight of the liquid photosensitive resin composition. If it is less than 10 parts by weight, the liquid viscosity is high, and if it exceeds 50 parts by weight, the liquid viscosity is low, and the workability is deteriorated.

本発明の液状感光性樹脂組成物には、乾燥時の重合防
止のために熱重合防止剤を配合することが好ましい。熱
重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、p−メ
トキシフェノール、p−t−ブチルカテコール、2,6−
ジ−t−ブチル−p−クレゾール、β−ナフトール、ピ
ロガロール等の芳香族ヒドロキシ化合物、ベンゾキノ
ン、p−トルキノン等のキノン類、ナフチルアミン、ピ
リジン、p−トルイジン、フェノチアジン等のアミン
類、N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンのアルミ
ニウム塩またはアンモニウム塩、フロラニール、ニトロ
ベンゼン等が挙げられる。
It is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the liquid photosensitive resin composition of the present invention in order to prevent polymerization during drying. As the thermal polymerization inhibitor, for example, hydroquinone, p-methoxyphenol, pt-butylcatechol, 2,6-
Aromatic hydroxy compounds such as di-t-butyl-p-cresol, β-naphthol and pyrogallol, quinones such as benzoquinone and p-toluquinone, amines such as naphthylamine, pyridine, p-toluidine and phenothiazine, N-nitrosophenyl Aluminum hydroxide or ammonium salt of hydroxylamine, floranyl, nitrobenzene and the like can be mentioned.

さらに、本発明の液状感光性樹脂組成物には、粘着付
与剤、密着促進剤、分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベ
リング剤、消泡剤、難燃化剤、光沢剤、着色剤等の補助
的添加剤を必要に応じて配合してもよい。
Furthermore, the liquid photosensitive resin composition of the present invention includes a tackifier, an adhesion promoter, a dispersant, a plasticizer, an anti-sagging agent, a leveling agent, a defoaming agent, a flame retardant, a glossing agent, a coloring agent, etc. You may mix the auxiliary additive of this as needed.

粘着付与剤または密着促進剤としては、例えばアルキ
ルフェノール/ホルムアルデヒドノボラック樹脂、ポリ
ビニルエチルエーテル、ポリビニルイソブチルエーテ
ル、ポリビニルブチラール、ポリイソブチレン、スチレ
ン−ブタジエン共重合体ゴム、ブチルゴム、塩化ビニル
−酢酸ビニル共重合体、塩化ゴム、アクリル樹脂系粘着
剤、芳香族系、脂肪族系または脂環族系の石油樹脂等が
挙げられる。
Examples of the tackifier or adhesion promoter include alkylphenol / formaldehyde novolac resin, polyvinyl ethyl ether, polyvinyl isobutyl ether, polyvinyl butyral, polyisobutylene, styrene-butadiene copolymer rubber, butyl rubber, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, Examples thereof include chlorinated rubber, acrylic resin-based adhesives, aromatic, aliphatic or alicyclic petroleum resins.

粘着付与剤または密着促進剤の添加により、光硬化後
の感光性樹脂の基板との密着性が高まり、特に、銅印刷
配線板および半田印刷配線板に使用する際にその効果が
大きく発揮される。
The addition of the tackifier or the adhesion promoter enhances the adhesion of the photosensitive resin after photo-curing to the substrate, and particularly when used for a copper printed wiring board and a solder printed wiring board, the effect is greatly exhibited. .

分散剤は液状感光性組成物の分散性、保存安定性等を
向上させるために使用される。可塑剤、垂れ防止剤、レ
ベリング剤および消泡剤の配合の必要性は、液状感光性
樹脂組成物の使用方法、すなわち液状感光性樹脂組成物
の塗膜の作成方法に依存し、使用する種類と量は適宜選
択される。
The dispersant is used to improve dispersibility, storage stability and the like of the liquid photosensitive composition. The necessity of blending a plasticizer, an anti-sagging agent, a leveling agent, and an antifoaming agent depends on the method of using the liquid photosensitive resin composition, that is, the method of forming a coating film of the liquid photosensitive resin composition, and the type used. And the amount is selected appropriately.

これらの補助的添加剤は、単一の化合物が一種類の性
質(分散性、可塑性、垂れ防止性、レベリング性または
消泡性)を示すのみではなく、複数の添加効果を示すこ
とがある。例えば、分散剤は、液状感光性樹脂組成物の
可塑剤、レベリング剤および消泡剤としても働くことが
あり、また分散剤、垂れ防止剤、レベリング剤および消
泡剤は、光硬化後の感光性樹脂組成物の光沢性にも効果
を示し、光沢剤として働くこともある。
These supplementary additives may not only exhibit one kind of property (dispersibility, plasticity, anti-sagging, leveling or defoaming properties), but may also exhibit a plurality of additive effects. For example, the dispersant may also act as a plasticizer, a leveling agent and an antifoaming agent for the liquid photosensitive resin composition, and the dispersant, the anti-sagging agent, the leveling agent and the antifoaming agent may be used as a photosensitizer after photocuring. It also has an effect on the glossiness of the resin composition and may act as a brightener.

分散剤としては、例えばフッ素含有高分子化合物、界
面活性剤、改質レシチン、非シリコン系の長鎖カルボン
酸アミン塩、有機モントモリライトなどが用いられる。
As the dispersant, for example, a fluorine-containing polymer compound, a surfactant, a modified lecithin, a non-silicon-based amine salt of a long-chain carboxylic acid, an organic montmorillite, or the like is used.

可塑剤としては、例えばエチレングリコールジフタレ
ート、ジエチレングリコールジフタレート、エチレング
リコールジカプリン酸エステル、ジエチレングリコール
ジカプリン酸エステル等のグリコールエステル類、ジメ
チルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレ
ート、ジオクチルフタレート、ジアリールフタレート、
ブチルベンジルフタレート等のフタル酸エステル類、ト
リフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート等
のリン酸エステル類、ジエチルマレート、ジブチルアジ
ペート、クエン酸トリエチル、ラウリル酸エチル等が用
いられる。
As the plasticizer, for example, ethylene glycol diphthalate, diethylene glycol diphthalate, ethylene glycol dicaprate, glycol esters such as diethylene glycol dicaprate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, diaryl phthalate,
Phthalates such as butylbenzyl phthalate, phosphates such as triphenyl phosphate and tricresyl phosphate, diethyl malate, dibutyl adipate, triethyl citrate, ethyl laurate and the like are used.

垂れ防止剤としては、例えばタルク、マイカ、二酸化
ケイ素、二酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシ
ウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウ
ム、硫酸バリウム等の無機質の微粉末が用いられる。
As the anti-sagging agent, for example, inorganic fine powder such as talc, mica, silicon dioxide, titanium dioxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, magnesium sulfate, barium sulfate and the like are used.

着色剤としては、例えば酸化チタン、カーボンブラッ
ク、酸化鉄などの無機顔料、メチレンブルー、クリスタ
ルバイオレット、ローダミンB、フクシン、オーラミ
ン、アゾ系染料、アントラキノン系染料等の有機染料、
フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン等のフ
タロシアニン系またはアゾ系有機顔料が用いられる。
Examples of the coloring agent include inorganic pigments such as titanium oxide, carbon black, and iron oxide; organic dyes such as methylene blue, crystal violet, rhodamine B, fuchsin, auramine, azo dyes, and anthraquinone dyes;
A phthalocyanine-based or azo-based organic pigment such as phthalocyanine blue and phthalocyanine green is used.

また難燃化剤としては、例えば三酸化アンチモン、水
酸化ジルコニウム、メタホウ酸バリウム、水酸化マグネ
シウム、水酸化アルミニウム等の無機系難燃化剤、テト
ラブロモビスフェノールA、塩素化パラフィン、パーク
ロロペンタシクロデカン、テトラブロモベンゼン、塩素
化ジフェニル等のハロゲン系難燃化剤、および塩化ホス
フォニトリル誘導体、ビニルホスフォネート、アリルホ
スフォネート、トリス(β−クロロエチル)ホスフォネ
ート、トリクレジルホスフォネート、リン酸アンモミウ
ム等のリン系難燃化剤が用いられる。
Examples of the flame retardant include inorganic flame retardants such as antimony trioxide, zirconium hydroxide, barium metaborate, magnesium hydroxide, and aluminum hydroxide, tetrabromobisphenol A, chlorinated paraffin, perchloropentacyclo. Halogen-based flame retardants such as decane, tetrabromobenzene, chlorinated diphenyl, and chlorophosphonitrile derivatives, vinylphosphonates, allylphosphonates, tris (β-chloroethyl) phosphonates, tricresylphosphonates, Phosphorus flame retardants such as ammonium phosphate are used.

このようにして得られる本発明の液状感光性樹脂組成
物を用いて画像を形成するに際しては、この液状感光性
樹脂組成物を基板に塗布後、加熱硬化して表面を非粘着
性とし、次いで硬化塗膜にパターンマスクを密着させて
露光しアルカリ性水溶液により現像し、未硬化膜を溶出
し、画像を得る。
When an image is formed using the liquid photosensitive resin composition of the present invention thus obtained, the liquid photosensitive resin composition is applied to a substrate and then heat-cured to make the surface non-tacky, and then A pattern mask is brought into close contact with the cured coating film, exposed to light, and developed with an alkaline aqueous solution to elute the uncured film to obtain an image.

本発明の液状感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方
法としては、たとえば、スプレー法、ディップ法、はけ
塗り法、ローラー塗装法、フローコーター法、カーテン
コート法、スクリーン印刷法等が挙げられ、特に印刷配
線板や薄膜金属等に塗布するには、ローラー塗装法、カ
ーテンコート法、スクリーン印刷法等が好ましい。
Examples of the method for applying the liquid photosensitive resin composition of the present invention onto a substrate include a spray method, a dipping method, a brush coating method, a roller coating method, a flow coater method, a curtain coating method, a screen printing method and the like. In particular, a roller coating method, a curtain coating method, a screen printing method and the like are preferable for coating a printed wiring board, a thin film metal or the like.

本発明の液状感光性樹脂組成物は、熱および光のいず
れを用いても硬化することができ、特にホトレジストと
して用いる際には、活性光線を照射する前に、塗膜を加
熱硬化して塗膜表面の粘着性を消失させる。この際の加
熱硬化の条件は、例えば70〜120℃で5〜30分が好まし
い。このように加熱硬化する結果、非粘着性となり、硬
化塗膜にパターンマスクを密着させて露光することが可
能となる。
The liquid photosensitive resin composition of the present invention can be cured by using either heat or light, and particularly when it is used as a photoresist, the coating film is heated and cured before being irradiated with actinic rays. The tackiness of the film surface is lost. The conditions for heat curing at this time are, for example, preferably 70 to 120 ° C. and 5 to 30 minutes. As a result of heat-curing in this way, it becomes non-adhesive, and it becomes possible to bring a pattern mask into close contact with the cured coating film for exposure.

本発明の液状感光性樹脂組成物の光硬化に用いられる
露光光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラ
ンプおよびレーザー光線等が挙げられるが、300nm〜400
nm付近の紫外線を放射する高圧水銀灯、超高圧水銀灯ま
たはメタルハライドランプを光源とした露光装置を用い
ることが好ましい。
Examples of the exposure light source used for photocuring the liquid photosensitive resin composition of the present invention include a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp and a laser beam, but 300 nm to 400 nm.
It is preferable to use an exposure device that uses a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, or a metal halide lamp that emits ultraviolet rays in the vicinity of nm as a light source.

本発明の液状感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液に
より現像することができる。現像液としては、例えば水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭
酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、アンモニ
ア等の0.1〜10重量%の水溶液を用いることができる
が、しかし場合によっては、アミン類、例えばブチルア
ミン、ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アリルアミン
等の1級アミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルアミ
ン等の2級アミン、トリエチルアミン等の3級アミン、
エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノー
ルアミン、2−アミノ−1,3−プロパンジオール等のヒ
ドロキシルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペラジ
ン、ピペリジン等の環状アミン、ヒドラジン、エチレン
ジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン、前
記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重炭酸塩、アルカリ金属リ
ン酸塩、ピロリン酸塩等の塩基性塩、テトラメチルアン
モニウムヒドロキシド、コリン等の4級アンモニウム塩
ヒドロキシド等を使用することもできる。
The liquid photosensitive resin composition of the present invention can be developed with an aqueous alkaline solution. As the developer, for example, an aqueous solution of 0.1 to 10% by weight of sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium carbonate, ammonia or the like can be used, but in some cases, amine Examples, primary amines such as butylamine, hexylamine, benzylamine and allylamine, secondary amines such as diethylamine and benzylethylamine, tertiary amines such as triethylamine,
Hydroxylamines such as ethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, 2-amino-1,3-propanediol, cyclic amines such as morpholine, pyridine, piperazine and piperidine, polyamines such as hydrazine, ethylenediamine and hexamethylenediamine, It is also possible to use basic salts such as sulfates, carbonates, bicarbonates, alkali metal phosphates and pyrophosphates, and quaternary ammonium salt hydroxides such as tetramethylammonium hydroxide and choline.

また、本発明の液状感光性樹脂組成物は、画像形成
後、必要に応じて加熱処理により後硬化することによっ
て、耐熱性のより向上した硬化膜とすることもできる。
この際の条件は、例えば、120〜170℃で10〜60分が好ま
しい。
In addition, the liquid photosensitive resin composition of the present invention can also be post-cured by heat treatment as necessary after image formation to form a cured film having more improved heat resistance.
The conditions at this time are, for example, preferably 120 to 170 ° C. and 10 to 60 minutes.

露光前の硬化および画像形成後の後硬化における加熱
処理は、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉など加熱装
置をもちいることが出来る。
A heating device such as a hot-air circulating drying oven or a far infrared drying oven can be used for the heat treatment in the curing before exposure and the post-curing after image formation.

以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明する
が、本発明はこの実施例によって限定されるものではな
い。なお、他にことわりのない限り「部」は「重量部」
を表す。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not limited to these examples. Unless otherwise specified, parts are parts by weight
Represents

(合成例−1) レジンML(丸善石油(株)製 ポリ(4−ビニルフェ
ノール))100部、グリシジルメタクリレート116部、フ
ェノチアジン0.15部をカルビトールアセテート144部に
溶解し、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド1.
9部を加え、80℃で12時間攪拌する。
(Synthesis Example-1) 100 parts of resin ML (poly (4-vinylphenol) manufactured by Maruzen Petroleum Co., Ltd.), 116 parts of glycidyl methacrylate, and 0.15 part of phenothiazine were dissolved in 144 parts of carbitol acetate, and benzyltriethylammonium chloride 1.
Add 9 parts and stir at 80 ° C. for 12 hours.

この反応物に、テトラヒドロ無水フタル酸120.2部を
加え、80℃で4時間攪拌することにより、変性ポリスチ
レン樹脂1を得た。
120.2 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added to this reaction product, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 4 hours to obtain modified polystyrene resin 1.

(合成例−2) 合成例−1のカルビトールアセテート144部を127部
に、テトラヒドロ無水フタル酸120.2部を無水コハク酸7
9部に変更する他は合成例−1と同様にして変性ポリス
チレン樹脂2を得た。
(Synthesis Example-2) 144 parts of carbitol acetate of Synthesis Example-1 was added to 127 parts, and 120.2 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added to 7 parts of succinic anhydride.
Modified polystyrene resin 2 was obtained in the same manner as in Synthesis Example-1 except that the content was changed to 9 parts.

(合成例−3) エピクロンN−673(大日本インキ(株)製 クレゾ
ールノボラック型エポキシ樹脂 エポキシ当量210)100
部、アクリル酸35.7部、ハイドロキノン0.07部をカルビ
トールアセテート88.8部に溶解し、ベンジルトリエチル
アンモニウムクロライド1.07部を加え、80℃で12時間攪
拌する。
(Synthesis example-3) Epiclon N-673 (Dainippon Ink and Chemicals, Inc. cresol novolac type epoxy resin, epoxy equivalent 210) 100
Parts, acrylic acid 35.7 parts, and hydroquinone 0.07 parts are dissolved in carbitol acetate 88.8 parts, benzyltriethylammonium chloride 1.07 parts is added, and the mixture is stirred at 80 ° C. for 12 hours.

この反応物に、テトラヒドロ無水フタル酸70.4部を加
え、80℃で4時間攪拌することにより、重合性樹脂3を
得た。
70.4 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added to this reaction product, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 4 hours to obtain a polymerizable resin 3.

(合成例−4) 合成例−3のカルビトールアセテート88.8部を78.4部
に、テトラヒドロ無水フタル酸70.4部を無水コハク酸4
6.2部に変更する他は合成例−3と同様にして重合性樹
脂4を得た。
(Synthesis Example-4) 88.8 parts of carbitol acetate of Synthesis Example-3 was added to 78.4 parts, and 70.4 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added to succinic anhydride 4
Polymerizable resin 4 was obtained in the same manner as in Synthesis Example-3 except that the amount was changed to 6.2 parts.

(実施例−1) <成分M> 合成例−1で得た変性ポリスチレン樹脂1 350部 フローレン「AC−300」 15部 (共栄社油脂化学工業(株)製の消泡剤) フタロシアニン・グリーン 2.5部 イルガキュア907 27.5部 (チバガイギー社製の光重合開始剤) シリカ 5部 硫酸バリウム 90部 1−ベンジル−2−メチルイミダゾール 10部 成分 M 合計 500部 <成分N> トリグリシジル 100部 イソシアヌレート ジペンタエリスリトール 36部 ヘキサアクリレート タルク 14部 セロソルブアセテート 50部 成分 N 合計 200部 上記成分M、Nを、それぞれ別々にロールミルにより
混練してインキを調整した。
(Example-1) <Component M> Modified polystyrene resin 1 obtained in Synthesis Example-1 350 parts Floren "AC-300" 15 parts (Antifoaming agent manufactured by Kyoeisha Oil and Fat Chemical Co., Ltd.) Phthalocyanine green 2.5 parts Irgacure 907 27.5 parts (photopolymerization initiator manufactured by Ciba-Geigy) Silica 5 parts Barium sulfate 90 parts 1-Benzyl-2-methylimidazole 10 parts Ingredient M Total 500 parts <Ingredient N> Triglycidyl 100 parts Isocyanurate Dipentaerythritol 36 parts Hexaacrylate Talc 14 parts Cellosolve acetate 50 parts Component N Total 200 parts The above components M and N were separately kneaded by a roll mill to prepare an ink.

次いで、成分Mと成分Nを混練し、液状感光性樹脂組
成物を得た。
Next, the component M and the component N were kneaded to obtain a liquid photosensitive resin composition.

(比較例−1) 実施例−1の変性ポリスチレン樹脂1の代わりに、合
成例−3で得た重合性樹脂3を用いる他は実施例−1と
同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。
(Comparative Example-1) A liquid photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example-1 except that the polymerizable resin 3 obtained in Synthesis Example-3 was used instead of the modified polystyrene resin 1 in Example-1. Obtained.

(実施例−2) 実施例−1の変性ポリスチレン樹脂1の代わりに、合
成例−2で得た変性ポリスチレン樹脂2を用いる他は実
施例−1と同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。
(Example-2) A liquid photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example-1 except that the modified polystyrene resin 2 obtained in Synthesis Example-2 was used instead of the modified polystyrene resin 1 of Example-1. Obtained.

(比較例−2) 実施例−1の変性ポリスチレン樹脂1の代わりに、合
成例−4で得た重合性樹脂4を用いる他は実施例−1と
同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。
(Comparative Example-2) A liquid photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example-1 except that the polymerizable resin 4 obtained in Synthesis Example-4 was used instead of the modified polystyrene resin 1 in Example-1. Obtained.

これらの液状感光性樹脂組成物の性能を、以下の方法
により、評価した結果を表−1に示す。
The results of evaluating the performance of these liquid photosensitive resin compositions by the following methods are shown in Table 1.

、塗膜の形成 銅張積層板を、研磨、洗浄、水分除去により前処理を
行う。前処理した銅張積層板上に各種条件で調整した液
状感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法により全面に塗
布し、熱風循環式乾燥炉中において70℃で30分間乾燥
し、塗膜を得た。
, Formation of coating film The copper clad laminate is pretreated by polishing, washing and removing water. A liquid photosensitive resin composition prepared under various conditions was applied to the pretreated copper-clad laminate over the entire surface by a screen printing method, and dried at 70 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation drying oven to obtain a coating film. .

、現像性の評価 下記の条件にて塗膜を現像し、塗膜が溶解する時間を
測定した。
Evaluation of developability The coating film was developed under the following conditions and the time taken for the coating film to dissolve was measured.

、感度の評価 濃度の段差0.15(ΔlogE)の階段ウェッジを塗膜に密
着させ、5KW超高圧水銀灯で1000mj/cm2露光し、塗膜が
溶解する時間の2倍の時間で現像してウェッジに対応す
る陰画像を得、画像が完全に溶出した段数(クリア段
数)を調べた。
, Evaluation of sensitivity A step wedge with a density difference of 0.15 (ΔlogE) was adhered to the coating film, exposed to 1000 mj / cm 2 with a 5KW ultra-high pressure mercury lamp, and developed at a time twice as long as the coating film was dissolved to form a wedge. Corresponding negative images were obtained and the number of steps (clear steps) in which the image was completely eluted was examined.

、鉛筆硬度の評価 クリア段数が12段になる露光量でベタ露光し、と同
様に現像した後、熱風乾燥炉中において140℃で50分間
後硬化し、JIS K 5400 6−14に準じて測定した。
, Pencil hardness evaluation Solid exposure was carried out at an exposure amount that the clear step number was 12, and after development in the same manner as above, it was post-cured at 140 ° C for 50 minutes in a hot air drying oven and measured according to JIS K 5400 6-14. did.

、密着性の評価 鉛筆硬度の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行
い、JIS K 5400 6−15に準じて、碁盤目試験を行った。
Evaluation of Adhesion Like the evaluation of pencil hardness, exposure, development and post-curing were performed, and a cross-cut test was performed according to JIS K 5400 6-15.

、絶縁抵抗の評価 IPC−B−25テストパターンを形成した両面銅張積層
板を用いた以外は、鉛筆硬度の評価方法と同様に、露光
・現像・後硬化を行い、JIS Z 3197に従って、絶縁抵抗
を、アドバンテスト(株)製の「TR−8601」を用いて、
DC500V印加後、1分での抵抗値を調べた。
, Evaluation of insulation resistance Except that a double-sided copper clad laminate with an IPC-B-25 test pattern was used, exposure, development and post-curing were performed in the same manner as in the pencil hardness evaluation method, and insulation was performed according to JIS Z 3197. Resistance is measured by using "TR-8601" manufactured by Advantest Co., Ltd.
After applying DC500V, the resistance value at 1 minute was examined.

、耐溶剤性の評価 絶縁抵抗の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行
い、試料を1,1,1−トリクロロエタン中に、20℃で1時
間浸漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に判定
した。
, Evaluation of solvent resistance Similar to the evaluation of insulation resistance, exposure, development and post-curing were performed, and the sample was immersed in 1,1,1-trichloroethane at 20 ° C for 1 hour. Adhesion was evaluated comprehensively.

、耐酸性の評価 耐溶剤性と同様に、露光・現像・後硬化を行い、試料
を10vol%の硫酸水溶液中に、20℃で30分間浸漬させた
のち、塗膜の状態と密着性を総合的に判定した。
, Evaluation of acid resistance Similar to solvent resistance, exposure, development and post-curing were performed, and the sample was immersed in a 10 vol% sulfuric acid aqueous solution at 20 ° C for 30 minutes. It was decided.

(発明の効果) 上記の実施例から明らかなように、本発明の液状感光
性樹脂組成物は、印刷配線板に塗布後、加熱による乾燥
により塗膜表面の粘着性をなくしパターンマスクを密着
させて露光することができ、 高感度であり、アルカリ性水溶液により現像が可能であ
る。
(Effect of the invention) As is clear from the above examples, the liquid photosensitive resin composition of the present invention is applied to a printed wiring board and then dried by heating to eliminate the tackiness of the coating film surface and bring the pattern mask into close contact. Can be exposed It has high sensitivity and can be developed with an alkaline aqueous solution.

さらに、現像後、熱硬化により電気特性、機械的特性
および耐薬品性に優れた組成物であり、印刷配線板の永
久保護マスクとして使用可能な液状感光性樹脂組成物で
ある。
Furthermore, it is a liquid photosensitive resin composition which is a composition excellent in electrical properties, mechanical properties and chemical resistance after development by thermosetting and which can be used as a permanent protection mask for printed wiring boards.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−2601(JP,A) 特開 昭63−11930(JP,A) 特開 昭63−278052(JP,A) 特開 昭64−6014(JP,A) 特開 平1−203424(JP,A) 特開 平2−43551(JP,A) 特開 平2−166452(JP,A) 特開 平2−294371(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-49-2601 (JP, A) JP-A-63-11930 (JP, A) JP-A-63-278052 (JP, A) JP-A-64- 6014 (JP, A) JP-A-1-203424 (JP, A) JP-A-2-43551 (JP, A) JP-A-2-166452 (JP, A) JP-A-2-294371 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(A)下記一般式(I)の繰り返し単位を
有する高分子重合体、同一分子中にエポキシ基とエチレ
ン性不飽和二重結合を有する化合物、および飽和あるい
は不飽和多塩基酸無水物を順次反応して得られる変性ポ
リスチレン樹脂 一般式(I) (式中、Rは水素、またはメチル基、Arはフェニレン、
または置換フェニレンを意味する。) (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有
する重合性化合物 (C)少なくとも1個のエポキシ基を有するエポキシ化
合物 (D)光重合開始剤または光重合開始剤系 (E)エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒 (F)有機溶剤 を含有する液状感光性樹脂組成物。
1. A polymer having a repeating unit represented by the following general formula (I), a compound having an epoxy group and an ethylenically unsaturated double bond in the same molecule, and a saturated or unsaturated polybasic acid. Modified polystyrene resin obtained by sequentially reacting anhydrides General formula (I) (In the formula, R is hydrogen or a methyl group, Ar is phenylene,
Or, it means a substituted phenylene. ) (B) Polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond (C) Epoxy compound having at least one epoxy group (D) Photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system (E) Epoxy A liquid photosensitive resin composition containing a thermosetting catalyst (F) for organic reaction of a group, an organic solvent.
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