JP2553384Y2 - Bellows seal valve - Google Patents
Bellows seal valveInfo
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- JP2553384Y2 JP2553384Y2 JP1991021688U JP2168891U JP2553384Y2 JP 2553384 Y2 JP2553384 Y2 JP 2553384Y2 JP 1991021688 U JP1991021688 U JP 1991021688U JP 2168891 U JP2168891 U JP 2168891U JP 2553384 Y2 JP2553384 Y2 JP 2553384Y2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、例えば半導体産業にお
ける高純度ガス流通系に用いられるベローズシール弁に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bellows seal valve used for a high-purity gas distribution system in the semiconductor industry, for example.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体工場において使用されるＮ2 、Ａ
r 、Ｏ2 等のガスは、高純度であることが要求されてい
る。そのため、特に大口径（例えば５０〜８０ｍｍ）の
配管に用いられる遮断弁としては、図３に例示するよう
なベローズシール弁が採用されている。2. Description of the Related Art N 2 , A used in semiconductor factories
Gases such as r and O 2 are required to have high purity. Therefore, a bellows seal valve as illustrated in FIG. 3 is employed as a shutoff valve particularly used for a pipe having a large diameter (for example, 50 to 80 mm).
【０００３】この種のベローズシール弁は、鍛造された
弁箱本体ａを備え、この弁箱本体ａの内部には、弁軸と
一体化された弁体ｄおよび弁軸を覆うベローズｂが収容
されている。そして、上記ベローズｂや弁体ｄを始めと
して、弁箱本体ａのシール用のガスケットのようなガス
と接する全ての部品は、金属材料にて構成されており、
これらの部品には、Ｒmax が０．７μm 以下の研磨が施
されている。[0003] This type of bellows seal valve includes a forged valve box body a, and a valve body d integrated with a valve shaft and a bellows b for covering the valve shaft are housed inside the valve box body a. Have been. In addition, all parts that come into contact with gas, such as the bellows b and the valve element d, such as a gasket for sealing the valve box body a, are made of a metal material.
These parts are polished so that Rmax is 0.7 μm or less.
【０００４】このため、上記ベローズシール弁は、吸蔵
ガスの放出量や外部リーク量が少なく、また、弁箱本体
ａの内部に摺動部分が存在しないために微粒子発生量も
少なく抑えられ、ガスの純度を高める点において、鋳造
弁箱を有する玉形弁に比べて格段に優れているといった
利点がある。For this reason, the bellows seal valve has a small amount of occluded gas and a small amount of external leakage. Further, since there is no sliding portion inside the valve box main body a, the amount of generated fine particles is also reduced. There is an advantage that it is much superior to a globe valve having a cast valve box in terms of increasing the purity of
【０００５】しかしながら、上記従来のベローズシール
弁は、弁体ｄのシール部ｅが三弗化エチレン樹脂にて構
成されているので、閉弁時の締切能力は優れているもの
の、シール部ｅからのガス放出量が多く、不純物濃度１
ppb レベルという要望には対応することができない。However, in the above-mentioned conventional bellows seal valve, the sealing portion e of the valve body d is made of ethylene trifluoride resin, so that the closing performance at the time of closing the valve is excellent, Outgassing is large and impurity concentration is 1
We cannot respond to requests for ppb level.
【０００６】このような欠点を除去するため、図４に示
すように、上記弁体ｄを金属製にしてガス放出量の軽減
を図り、そのために低下した閉弁時の締切能力を向上さ
せるために、弁座ｆとの相互当接部を円錐状に形成した
ものが知られている。In order to eliminate such disadvantages, as shown in FIG. 4, the valve body d is made of metal so as to reduce the amount of gas emission, and to improve the shutoff ability at the time of closing the valve. In addition, there is known a configuration in which a mutual contact portion with a valve seat f is formed in a conical shape.
【０００７】[0007]
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように弁体ｄにおける弁座ｆとの当接部を円錐状に形成
したベローズシール弁にあっては、上記樹脂製シール部
ｅに比べて締切能力が劣り、しかも、弁体ｄの開閉時に
は多量の金属粒子を生成し、耐久性も劣るなどの不具合
がある。However, in the bellows seal valve in which the contact portion of the valve body d with the valve seat f is formed in a conical shape as described above, compared to the resin seal portion e, There is a problem that the shut-off capacity is inferior, and a large amount of metal particles are generated when opening and closing the valve element d, and the durability is inferior.
【０００８】本考案は上述のような問題点を解決するた
めになされたもので、弁体をガス放出量の少ない金属製
としたにも拘わらず、締切能力に優れたベローズシール
弁の提供を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a bellows seal valve having excellent shut-off capability despite the fact that the valve body is made of metal with a small amount of gas emission. Aim.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案に係るベローズシール弁は、ガスが流れる弁
室を有する金属製の弁箱と； 上記弁室に形成され、この弁室内の弁孔を取り囲むよう
に配置された環状弁座と； 上記弁室に突出して配置され、上記弁孔に接離する方向
に往復動されるとともに、この弁室に突出された部分が
金属製のベローズによって覆われた弁軸と； この弁軸に設けられ、上記環状弁座に接離可能に接する
ことにより、上記弁孔を開閉する金属製の弁体と；を備
えている。 そして、本考案においては、上記弁体の上記環状弁座と
向かい合う端部に、上記環状弁座に接する弾性変形が可
能な金属薄板を配置し、の金属薄板と上記弁体の端部と
の間に、上記金属薄板の背後に接する弾性変形が可能な
クッション部材を介在させるとともに、このクッション
部材は、上記弁体に対しボールを中心に同心的に揺動可
能な調心機構を介して上記弁体の端部に支持されている
ことを特徴としている。In order to achieve the above object, a bellows seal valve according to the present invention comprises: a metal valve box having a valve chamber through which gas flows; formed in the valve chamber; An annular valve seat disposed so as to surround the valve hole; protrudingly disposed in the valve chamber, reciprocating in a direction approaching / separating from the valve hole, and a portion protruding into the valve chamber being made of metal. A valve shaft that is covered by a bellows; and a metal valve body that is provided on the valve shaft and that opens and closes the valve hole by coming into contact with and detaching from the annular valve seat. Then, in the present invention, an elastically deformable metal thin plate in contact with the annular valve seat is disposed at an end of the valve body facing the annular valve seat, and the metal thin plate and the end of the valve body are disposed. An elastically deformable cushion member in contact with the back of the thin metal plate is interposed therebetween, and the cushion member is connected to the valve body through a centering mechanism that can swing concentrically about a ball with respect to the valve body. It is characterized by being supported by the end of the valve body.
【００１０】[0010]
【作用】上記の構成によれば、弁体を含むガスと接する
全ての部品が金属製であるため、これら部品からの吸蔵
ガスの放出量が少なくて済む。しかも、弁軸が往復動さ
れた時には、弁体の金属薄板が環状弁座に対し軸方向に
接離するから、金属微粒子を生ずるような摺接作用を伴
うことがなく、不純物の発生を未然に防止することがで
きる。According to the above construction, since all parts in contact with the gas including the valve body are made of metal, the amount of occluded gas released from these parts can be reduced. In addition, when the valve shaft is reciprocated, the thin metal plate of the valve body comes into contact with and separates from the annular valve seat in the axial direction. Therefore, there is no sliding action that generates metal fine particles, and generation of impurities is prevented. Can be prevented.
【００１１】また、上記構成において、弁軸が弁孔に向
けて移動されると、弁体の金属薄板が環状弁座に接離可
能に突き当たり、弁孔を閉じる。この場合、金属薄板が
傾斜する等して、環状弁座と金属薄板との平行度が損な
われたとしても、金属薄板の一部が環状弁座に接した時
点で、この金属薄板の背後に接しているクッション部材
がボールを支点として同心的に揺動する。そのため、金
属薄板が環状弁座に沿うように弾性変形し、上記金属薄
板の傾きに伴う不良分を大まかに吸収する。Further, in the above configuration, when the valve shaft is moved toward the valve hole, the thin metal plate of the valve body comes into contact with and separates from the annular valve seat to close the valve hole. In this case, even if the parallelism between the annular valve seat and the metal sheet is impaired due to the inclination of the metal sheet or the like, when a part of the metal sheet comes into contact with the annular valve seat, the metal sheet is placed behind the metal sheet. The cushion member in contact swings concentrically with the ball as a fulcrum. For this reason, the thin metal plate is elastically deformed along the annular valve seat, and roughly absorbs a defect due to the inclination of the thin metal plate.
【００１２】この際、金属薄板は、環状弁座に接してい
るため、この接触部に生じる摩擦力が上記金属薄板の変
形を妨げようとする抵抗となり、調心機構のみでは上記
平行度不良を完全に矯正することができない。しかる
に、上記金属薄板の背後には、弾性変形が可能なクッシ
ョン部材が介在されているので、上記金属薄板が環状弁
座に接すると、その時の接触圧力に応じてクッション部
材が弾性変形し、上記ボールを含む調心機構で矯正しき
れなかった不良分を吸収する。At this time, since the thin metal plate is in contact with the annular valve seat, the frictional force generated at this contact portion is a resistance for preventing the deformation of the thin metal plate. It cannot be completely corrected. However, since the elastically deformable cushion member is interposed behind the thin metal plate, when the thin metal plate contacts the annular valve seat, the cushion member is elastically deformed according to the contact pressure at that time, and Absorbs defects that could not be corrected by the centering mechanism including the ball.
【００１３】この結果、環状弁座と金属薄板との接触部
分の面圧が周方向に沿って均等化され、弁体を金属製と
した構成でありながら、閉弁時の締切性能を高めること
ができる。As a result, the surface pressure of the contact portion between the annular valve seat and the thin metal plate is equalized along the circumferential direction, and the closing performance at the time of closing the valve is improved while the valve body is made of metal. Can be.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、図面を参照して本考案の一実施例を説
明する。図１において、ベローズシール弁の弁箱１は、
本体２およびこの本体２に連結された蓋体３を備えてい
る。この弁箱１の内部には、高純度のガスが流れる弁室
４が形成されている。上記本体２は、流入路５、流出路
６および弁孔７を備えている。流入路５および流出路６
は、上記弁室４に連なっており、弁孔７は、流入路５と
弁室４との連通部分に位置されている。弁室４の底部に
は、環状弁座８が突設されており、この環状弁座８は、
弁孔７を取り囲むように配置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, the valve box 1 of the bellows seal valve is
A main body 2 and a lid 3 connected to the main body 2 are provided. Inside the valve box 1, a valve chamber 4 through which high-purity gas flows is formed. The main body 2 includes an inflow path 5, an outflow path 6, and a valve hole 7. Inflow channel 5 and outflow channel 6
Is connected to the valve chamber 4, and the valve hole 7 is located at a communication portion between the inflow path 5 and the valve chamber 4. An annular valve seat 8 is provided at the bottom of the valve chamber 4 so as to project therefrom.
It is arranged so as to surround the valve hole 7.
【００１５】図１に示すように、上記蓋体３は、弁軸１
０を支持している。弁軸１０は、蓋体３を貫通して上記
弁室４に突出する一端部を有し、この弁軸１０の一端部
は、上記弁孔７と向かい合っている。この弁軸１０の一
端部には、弁体９が一体に形成されている。弁体９は、
弁孔７よりも大径な主部１３を有し、この主部１３の外
周部が上記環状弁座８と向かい合っている。As shown in FIG. 1, the lid 3 is
Supports 0. The valve shaft 10 has one end that penetrates the lid 3 and protrudes into the valve chamber 4, and one end of the valve shaft 10 faces the valve hole 7. The valve body 9 is formed integrally with one end of the valve shaft 10. The valve 9 is
The main part 13 has a larger diameter than the valve hole 7, and the outer peripheral part of the main part 13 faces the annular valve seat 8.
【００１６】弁軸１０の弁体９とは反対側の他端部は、
蓋体３を貫通して弁箱１の外方に突出されている。この
弁軸１０の他端部には、ハンドル１１が取り付けられて
いる。このハンドル１１を回動操作すると、弁軸１０が
軸方向に往復動され、上記弁体９の主部１３が環状弁座
８に接離する方向に移動されるようになっている。そし
て、弁軸１０における弁室４に突出された部分は、ベロ
ーズ１２によって覆われている。The other end of the valve shaft 10 on the side opposite to the valve body 9 is
It penetrates through the lid 3 and projects outside the valve box 1. A handle 11 is attached to the other end of the valve shaft 10. When the handle 11 is rotated, the valve shaft 10 is reciprocated in the axial direction, and the main portion 13 of the valve body 9 is moved in the direction of coming into contact with and separating from the annular valve seat 8. The portion of the valve shaft 10 protruding from the valve chamber 4 is covered by the bellows 12.
【００１７】図２に示すように、弁体９の主部１３は、
環状弁座８と向かい合う先端部を有している。主部１３
の先端部には、弁孔７に向けて開放された凹所１５が形
成されている。この主部１３の先端部には、弾性変形が
可能な金属薄板１４が配置されている。金属薄板１４
は、その外周縁部を主部１３の先端部に連結すること
で、この主部１３と一体化されており、上記凹所１５の
開放端を覆っている。As shown in FIG. 2, the main part 13 of the valve body 9
It has a tip portion facing the annular valve seat 8. Main part 13
A concave portion 15 opened toward the valve hole 7 is formed at the tip of the. An elastically deformable thin metal plate 14 is disposed at the tip of the main portion 13. Metal sheet 14
Is integrated with the main part 13 by connecting its outer peripheral edge to the tip of the main part 13, and covers the open end of the recess 15.
【００１８】凹所１５には、支持部材１７が収容されて
いる。支持部材１７は、弾性材料にて構成されたクッシ
ョン部材１６を有している。クッション部材１６は、金
属薄板１４の背後に位置し、上記環状弁座８とは反対側
の方向から金属薄板１４に接している。A support member 17 is accommodated in the recess 15. The support member 17 has a cushion member 16 made of an elastic material. The cushion member 16 is located behind the sheet metal 14 and is in contact with the sheet metal 14 from a direction opposite to the annular valve seat 8.
【００１９】また、上記凹所１５と支持部材１７との間
には、調心機構１８が介在されている。調心機構１８
は、一対の円錐状凹部１９と、これら円錐状凹部１９の
間に嵌装されたボール２０とを備えている。円錐状凹部
１９は、凹所１５の底面と支持部材１７との相互対向部
に形成され、上記ボール２０を挟んで互いに向かい合っ
ている。そして、ボール２０は、上記円錐状凹部１９に
回転自在に接している。An alignment mechanism 18 is interposed between the recess 15 and the support member 17. Alignment mechanism 18
Has a pair of conical recesses 19 and a ball 20 fitted between the conical recesses 19. The conical concave portion 19 is formed at the mutually opposing portion of the bottom surface of the concave portion 15 and the supporting member 17 and faces each other with the ball 20 interposed therebetween. The ball 20 is rotatably in contact with the conical recess 19.
【００２０】そのため、クッション部材１６を含む支持
部材１７は、上記凹所１５において、ボール２０を中心
に同心的に揺動可能に上記弁体９の主部１３に支持され
ている。Therefore, the support member 17 including the cushion member 16 is supported by the main portion 13 of the valve body 9 in the recess 15 so as to be able to swing concentrically about the ball 20.
【００２１】なお、図２おいて、符号２１は、金属薄板
１４の外部リーク検出用の貫通孔を示し、この貫通孔２
１は、上記ベローズ１２で囲まれた空間部分と上記凹所
１５とを結んでいる。In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a through hole for detecting an external leak of the thin metal plate 14, and the through hole 2
The reference numeral 1 connects the space surrounded by the bellows 12 and the recess 15.
【００２２】また、上記弁箱１の流入路５から弁孔７お
よび弁室４を経て流出路６に至る全てのガスと接する部
分は、金属材料にて構成されているとともに、このガス
と接する部分には、所望の研磨（例えばＲmax が０．７
μm 以下）が施されている。A portion of the valve box 1 which comes into contact with all the gas from the inflow path 5 through the valve hole 7 and the valve chamber 4 to the outflow path 6 is made of a metal material and is in contact with this gas. The desired polishing (for example, Rmax of 0.7
μm or less).
【００２３】さらに、弁箱１は、弁座８に対する弁体９
の締付力が過大になるのを防止するための制限機構２２
を備えている。この制限機構２２は、蓋体３側に支持さ
れた固定部２３と、弁軸１０側に支持された可動部２４
とで構成されている。Further, the valve box 1 is provided with a valve body 9 with respect to the valve seat 8.
Limiting mechanism 22 for preventing the tightening force of
It has. The limiting mechanism 22 includes a fixed portion 23 supported on the lid 3 side and a movable portion 24 supported on the valve shaft 10 side.
It is composed of
【００２４】次に、上記実施例の作用について説明す
る。上記実施例においては、弁体９を含む全てのガスと
接する部分が金属材料にて構成されているので、吸蔵ガ
スの放出量が極少で、弁室４を流れるガスの純度に実質
的な悪影響を及ぼすことがない。Next, the operation of the above embodiment will be described. In the above-described embodiment, since the portions in contact with all the gas including the valve body 9 are made of a metal material, the amount of occluded gas released is very small, and the purity of the gas flowing through the valve chamber 4 is substantially adversely affected. Has no effect.
【００２５】また、上記構成によると、弁軸１０が弁孔
７に向けて移動されると、弁体９の先端の金属薄板１４
が環状弁座８に軸方向から突き当たり、弁孔７を閉じ
る。そのため、金属薄板１４と環状弁座８との接触部分
に金属粒子を生じるような摺接動作を伴うことがなく、
不純物の発生を未然に防止することができる。Further, according to the above configuration, when the valve shaft 10 is moved toward the valve hole 7, the thin metal plate 14 at the tip of the valve body 9 is moved.
Abuts against the annular valve seat 8 in the axial direction to close the valve hole 7. Therefore, there is no sliding operation that generates metal particles at the contact portion between the thin metal plate 14 and the annular valve seat 8,
Generation of impurities can be prevented beforehand.
【００２６】この場合、金属薄板１４が傾斜する等し
て、環状弁座８と金属薄板１４との平行度が損なわれた
としても、金属薄板１４の一部が環状弁座８に突き当た
った時点で、この金属薄板１４と凹所１５の底面との間
に介在されている支持部材１７がボール２０を支点とし
て同心的に揺動する。この揺動により、金属薄板１４が
環状弁座８に沿うように弾性的に変形し、金属薄板１４
の傾斜に伴う不良分を大まかに吸収する。In this case, even if the parallelism between the annular valve seat 8 and the thin metal plate 14 is impaired due to the inclination of the thin metal plate 14 or the like, the time when a part of the thin metal plate 14 abuts against the annular valve seat 8 is reduced. Then, the support member 17 interposed between the thin metal plate 14 and the bottom surface of the recess 15 swings concentrically with the ball 20 as a fulcrum. Due to this swing, the thin metal plate 14 is elastically deformed along the annular valve seat 8, and the thin metal plate 14
Approximately absorbs the failure due to the inclination of
【００２７】この際、金属薄板１４と環状弁座８との接
触部には、摩擦力が存在するので、この摩擦力が上記金
属薄板１４の変形を妨げようとする抵抗となり、上記ボ
ール２０を有する調心機構１８のみでは、金属薄板１４
の傾きを完全に矯正することはできない。しかるに、上
記支持部材１７は、金属薄板１４に接するクッション部
材１６を有しているので、金属薄板１４が環状弁座８に
接すると、その時の接触圧力に応じてクッション部材１
６が弾性的に変形し、上記調心機構１８で矯正しきれな
い不良分を吸収する。At this time, since a frictional force exists in the contact portion between the thin metal plate 14 and the annular valve seat 8, the frictional force becomes a resistance for preventing the deformation of the thin metal plate 14, and the ball 20 is displaced. Only the centering mechanism 18 having the metal sheet 14
Can not be completely corrected. However, since the support member 17 has the cushion member 16 which comes into contact with the thin metal plate 14, when the thin metal plate 14 comes into contact with the annular valve seat 8, the cushion member 1 is set in accordance with the contact pressure at that time.
6 is elastically deformed and absorbs a defect that cannot be corrected by the centering mechanism 18.
【００２８】したがって、調心機構１８とクッション部
材１６との相乗作用により、環状弁座８と金属薄板１４
との接触部分の面圧を周方向に沿って均等化することが
でき、弁体９を金属製とした構成でありながら、閉弁時
の締切性能を高めることができる。Therefore, the synergistic action of the centering mechanism 18 and the cushion member 16 causes the annular valve seat 8 and the thin metal plate 14
The surface pressure of the contact portion with the valve body can be equalized along the circumferential direction, and the closing performance at the time of closing the valve can be enhanced while the valve body 9 is made of metal.
【００２９】この結果、Ｈe ガスによる漏洩試験におい
ても、安定して１×１０-8 torr l/sec 以下という成績
が得られた。さらに、弁箱１に制限機構２２を付加する
ことにより、弁座８と弁体９との面圧および開度をそれ
ぞれ適正に設定することができる。As a result, even in a leak test using He gas, a stable result of 1 × 10 −8 torr l / sec or less was obtained. Furthermore, by adding the restriction mechanism 22 to the valve box 1, the surface pressure and the opening of the valve seat 8 and the valve element 9 can be set appropriately.
【００３０】[0030]
【考案の効果】以上詳述したように本考案によれば、弁
体を含む全てのガスと接する部分が金属材料にて構成さ
れているので、吸蔵ガスの放出量が極少で、弁室を流れ
るガスの純度に実質的な悪影響を及ぼすことはない。ま
た、弁体の端部の金属薄板は、環状弁座に軸方向から離
脱可能に突き当たるので、金属薄板と環状弁座との接触
部分に金属粒子を生じるような摺接動作を伴うことがな
く、不純物の発生を未然に防止することができる。As described in detail above, according to the present invention, since the portion in contact with all gases including the valve body is made of a metal material, the amount of occluded gas released is very small, and the valve chamber is There is no substantial adverse effect on the purity of the flowing gas. In addition, since the metal sheet at the end of the valve body abuts against the annular valve seat so as to be detachable from the axial direction, there is no accompanying sliding operation that generates metal particles at the contact portion between the metal sheet and the annular valve seat. In addition, generation of impurities can be prevented beforehand.
【００３１】しかも、上記構成によると、金属薄板が環
状弁座に突き当たった時点で、この金属薄板と弁体との
間の支持部材がボールを支点として同心的に揺動するの
で、金属薄板が環状弁座に沿うように弾性的に変形し、
金属薄板の傾斜に伴う平行度不良を大まかに吸収する。
それとともに、金属薄板が環状弁座に接すると、その時
の接触圧力に応じてクッション部材が弾性的に変形し、
上記ボールを含む調心機構で矯正しきれない不良分を吸
収する。したがって、調心機構とクッション部材との相
乗作用により、環状弁座と金属薄板との接触部分の面圧
を周方向に沿って均等化することができ、弁体を金属製
としたにも拘わらず、閉弁時の締切性能を高めることが
できるといった利点がある。Further, according to the above configuration, at the time when the metal sheet strikes the annular valve seat, the supporting member between the metal sheet and the valve element swings concentrically with the ball as a fulcrum, so that the metal sheet is Elastically deformed along the annular valve seat,
Roughly absorbs the parallelism defect due to the inclination of the metal sheet.
At the same time, when the sheet metal contacts the annular valve seat, the cushion member is elastically deformed in accordance with the contact pressure at that time,
Absorbs a defect that cannot be corrected by the centering mechanism including the ball. Therefore, by the synergistic action of the centering mechanism and the cushion member, the surface pressure of the contact portion between the annular valve seat and the thin metal plate can be equalized along the circumferential direction. Therefore, there is an advantage that the closing performance at the time of closing the valve can be improved.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本考案の一実施例を示すベローズシール弁の断
面図。FIG. 1 is a sectional view of a bellows seal valve showing one embodiment of the present invention.
【図２】金属薄板を含む弁体と環状弁座との位置関係を
示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a positional relationship between a valve body including a thin metal plate and an annular valve seat.
【図３】従来のベローズシール弁の断面図。FIG. 3 is a sectional view of a conventional bellows seal valve.
【図４】従来のベローズシール弁において、その弁体回
りの断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of a conventional bellows seal valve around its valve body.
１…弁箱、４…弁室、７…弁孔、８…環状弁座、９…弁
体、１０…弁軸、１２…ベローズ、１４…金属薄板、１
６…クッション部材、１８…調心機構、２０…ボール。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Valve box, 4 ... Valve chamber, 7 ... Valve hole, 8 ... Annular valve seat, 9 ... Valve body, 10 ... Valve shaft, 12 ... Bellows, 14 ... Metal sheet, 1
6 ... Cushion member, 18 ... Centering mechanism, 20 ... Ball.
Claims (1)
と； 上記弁室に形成され、この弁室内の弁孔を取り囲むよう
に配置された環状弁座と； 上記弁室に突出して配置され、上記弁孔に接離する方向
に往復動されるとともに、この弁室に突出された部分が
金属製のベローズによって覆われた弁軸と； この弁軸に設けられ、上記環状弁座に接離可能に接する
ことにより、上記弁孔を開閉する金属製の弁体と；を備
えているベローズシール弁において、 上記弁体の上記環状弁座と向かい合う端部に、上記環状
弁座に接する弾性変形が可能な金属薄板を配置し、 この金属薄板と上記弁体の端部との間に、上記金属薄板
の背後に接する弾性変形が可能なクッション部材を介在
させるとともに、 このクッション部材は、上記弁体に対しボールを中心に
同心的に揺動可能な調心機構を介して上記弁体の端部に
支持されていることを特徴とするベローズシール弁。A metal valve box having a valve chamber through which gas flows; an annular valve seat formed in the valve chamber and disposed so as to surround a valve hole in the valve chamber; A valve shaft which is arranged and reciprocated in a direction of coming into contact with / separating from the valve hole, and a portion protruding from the valve chamber is covered with a metal bellows; A metal valve element that opens and closes the valve hole by contacting and releasable with the ring valve seat; and an end portion of the valve element facing the annular valve seat; An elastically deformable metal sheet that is in contact therewith is disposed, and an elastically deformable cushion member that is in contact with the metal sheet behind the metal sheet is interposed between the metal sheet and the end of the valve body. , With the ball centered on the valve body A bellows seal valve supported by an end of the valve body via a centering mechanism that can swing concentrically.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991021688U JP2553384Y2 (en) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | Bellows seal valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991021688U JP2553384Y2 (en) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | Bellows seal valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04117971U JPH04117971U (en) | 1992-10-22 |
| JP2553384Y2 true JP2553384Y2 (en) | 1997-11-05 |
Family
ID=31907388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991021688U Expired - Lifetime JP2553384Y2 (en) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | Bellows seal valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-04-04 JP JP1991021688U patent/JP2553384Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04117971U (en) | 1992-10-22 |
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