JP2551885Y2 - electronic microscope - Google Patents
electronic microscopeInfo
- Publication number
- JP2551885Y2 JP2551885Y2 JP2590692U JP2590692U JP2551885Y2 JP 2551885 Y2 JP2551885 Y2 JP 2551885Y2 JP 2590692 U JP2590692 U JP 2590692U JP 2590692 U JP2590692 U JP 2590692U JP 2551885 Y2 JP2551885 Y2 JP 2551885Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sample holder
- wire
- electron microscope
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】 本考案は、サイドエントリータ
イプの電子顕微鏡用試料ホルダを備えた電子顕微鏡に関
する。INVENTION The present invention relates to a function to <br/> electron microscope with a specimen holder for an electron microscope of the side entry type.
【０００２】[0002]
【従来の技術】 図４，図５および図６は、サイドエン
トリータイプの電子顕微鏡用試料ホルダを説明するため
に示したものである。まず、図４に示す試料ホルダにお
いては、試料１は、ざ金２を介してリング状ネジ３によ
り試料ホルダ４に固定されている。また、図５に示す試
料ホルダにおいては、試料１は、スプリングリング５に
より試料ホルダ６に固定されている。また、図６に示す
試料ホルダにおいては、試料１は、ネジ７により試料ホ
ルダ８に取り付けられた押さえ板９により、試料ホルダ
８に固定されている。2. Description of the Related Art FIGS. 4, 5 and 6 show a sample holder for a side entry type electron microscope. First, in the sample holder shown in FIG. 4, the sample 1 is fixed to the sample holder 4 with a ring-shaped screw 3 via a metal plate 2. In the sample holder shown in FIG. 5, the sample 1 is fixed to the sample holder 6 by a spring ring 5. In the sample holder shown in FIG. 6, the sample 1 is fixed to the sample holder 8 by a holding plate 9 attached to the sample holder 8 by screws 7.
【０００３】[0003]
【考案が解決しようとする課題】 近時の電子顕微鏡に
おいては、分解能向上の目的で上磁極と下磁極のギャッ
プを狭める事が行われている。それに伴ない、そのギャ
ップ間に挿入する試料ホルダを薄くすることが必要とな
っている。しかしながら、図４に示した試料ホルダを薄
くするためにリング状ネジ３のピッチを少なくすると、
試料を試料ホルダにネジ止めする作業が非常に困難にな
り、試料を破損させる恐れがある。また、図６に示す試
料ホルダにおいては、押さえ板９を薄くすることが考え
られるが、試料ホルダを薄くするために、ネジ７の上面
を薄くした押さえ板９の上面と一致した所で止める作業
は非常に厄介である。ネジ７が押さえ板９の上面より出
ると、ネジ７が上磁極に当たる場合があり、また、ネジ
７を試料ホルダに入れすぎると押さえ板９を試料ホルダ
８に固定できない。[Problems to be Solved by the Invention] In recent electron microscopes, a gap between an upper magnetic pole and a lower magnetic pole has been narrowed for the purpose of improving resolution. Accordingly, it is necessary to make the sample holder inserted between the gaps thin. However, if the pitch of the ring-shaped screw 3 is reduced to make the sample holder shown in FIG. 4 thinner,
The operation of screwing the sample to the sample holder becomes extremely difficult, and the sample may be damaged. In the sample holder shown in FIG. 6, it is conceivable to make the holding plate 9 thin. Is very annoying. When the screw 7 comes out from the upper surface of the holding plate 9, the screw 7 may hit the upper magnetic pole, and when the screw 7 is put in the sample holder too much, the holding plate 9 cannot be fixed to the sample holder 8.
【０００４】また、図７に示すように、上磁極１０と下
磁極１１のギャップを狭める事により、試料から発生す
るＸ線を検出するＸ線検出器１２の信号取り出し角θを
小さくする必要がある。このため、前記図４に示す試料
ホルダにおいては、リング状ネジ３が試料から放出され
るＸ線を吸収し、また、図５および図６に示す試料ホル
ダにおいては、スプリングリング５，押さえ板９がそれ
ぞれＸ線を吸収してしまう。その結果、Ｘ線検出器１２
の検出効率が低下し、Ｘ線分析が正確に行われない。Further, as shown in FIG. 7, it is necessary to reduce a signal extraction angle θ of an X-ray detector 12 for detecting X-rays generated from a sample by narrowing a gap between an upper magnetic pole 10 and a lower magnetic pole 11. is there. For this reason, in the sample holder shown in FIG. 4, the ring-shaped screw 3 absorbs X-rays emitted from the sample, and in the sample holder shown in FIGS. 5 and 6, the spring ring 5, the holding plate 9 Respectively absorb X-rays. As a result, the X-ray detector 12
X-ray analysis is not performed accurately.
【０００５】本考案はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、薄く且つＸ線分析が正確に行なえる
電子顕微鏡用試料ホルダを備えた電子顕微鏡を提供する
ことにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an electron microscope provided with a sample holder for an electron microscope which is thin and can perform X-ray analysis accurately.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
考案の電子顕微鏡は、試料に電子線を照射し、該電子線
の照射により試料から放出されたＸ線を検出するように
した電子顕微鏡において、試料面を押さえるように試料
ホルダ本体上に張られたワイヤーと、該ワイヤーの一端
を試料ホルダ本体に係止するための機構を備え、前記ワ
イヤーの長手方向は略Ｘ線検出方向と平行にされている
電子顕微鏡用試料ホルダを備えたことを特徴とする。An electron microscope according to the present invention that achieves the above object irradiates a sample with an electron beam.
To detect X-rays emitted from the sample by irradiation
The electron microscope provided with a wire stretched over the sample holder main body so as to press the sample surface, and a mechanism for locking one end of the wire to the sample holder main body, and the longitudinal direction of the wire is substantially X-ray detected. Parallel to the direction
An electron microscope sample holder is provided .
【０００７】[0007]
【実施例】 以下に図面を参照して本考案の電子顕微鏡
用試料ホルダを説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A sample holder for an electron microscope according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【０００８】図１（ａ）は本考案の試料ホルダを横方向
から見た図、図１（ｂ）は上から見た図、図１（ｃ）は
図１（ｂ）のＣ−Ｃ´断面を示した図、図１（ｄ）は図
１ （ｂ）のＢ−Ｂ´断面を示した図である。図におい
て、１３は孔Ｏを有する試料ホルダである。１４ａ，１
４ｂ，１４ｃ，はそれぞれピンで、試料ホルダ１３に固
定されている。１５はワイヤーである。FIG. 1 (a) is a view of the sample holder of the present invention viewed from the lateral direction, FIG. 1 (b) is a view viewed from above, and FIG. 1 (c) is
FIG. 1B shows a cross section taken along the line CC ′ of FIG. 1B, and FIG.
It is the figure which showed BB 'cross section of 1 (b) . In the figure, reference numeral 13 denotes a sample holder having a hole O. 14a, 1
Reference numerals 4b and 14c denote pins, which are fixed to the sample holder 13. 15 is a wire.
【０００９】以下に、試料１を試料ホルダ１３に固定す
る方法について説明する。Hereinafter, a method of fixing the sample 1 to the sample holder 13 will be described.
【００１０】まず、試料１を試料ホルダ１３にセットす
る。そして、１本のワイヤー１５の一端をピン１４ａに
引っ掛け固定する。そして、ワイヤー１５をピン１４ｂ
に引っ掛け、そのワイヤー１５の他端を引っ張りながら
ピン１４ｃに引っ掛けて固定する。以上のようにして、
試料１は、ワイヤー１５により試料ホルダ１３に固定さ
れる。なお、ワイヤー１５の材質としては、電子線の照
射によるＸ線の発生を抑える目的で、カーボン繊維など
の軽元素を使用する。さて、Ｘ線検出器が図１（ｃ）に
示すように、前記Ｃ−Ｃ´断面に平行でかつ光軸に対し
てピン１４ｂと反対側にα傾斜した方向にあれば、試料
からＸ線検出器の方向に放出されたＸ線、すなわちＸ線
検出方向に放出されたＸ線はワイヤー１５に吸収される
ことなくＸ線検出器に検出される。しかし、このような
Ｘ線検出器の配置とは異なって、仮にＸ線検出器が図１
（ｄ）に示すように、前記Ｂ−Ｂ´断面に平行でかつ光
軸に対してα傾斜した方向にあると、試料からＸ線検出
方向に放出されるＸ線はワイヤー１５に吸収されてしま
う。そのため、図１（ｃ）に示したように、ワイヤー１
５の長手方向が略Ｘ線検出方向と平行になるようにワイ
ヤーを試料ホルダに取り付ける必要がある。 First, the sample 1 is set on the sample holder 13. Then, one end of one wire 15 is hooked and fixed to the pin 14a. Then, connect the wire 15 to the pin 14b.
A hook, fixed hooks to the pin 14c while pulling the other end of the wire 1 5. As described above,
The sample 1 is fixed to a sample holder 13 by a wire 15. In addition, as a material of the wire 15, a light element such as carbon fiber is used for the purpose of suppressing generation of X-rays due to electron beam irradiation. Now, the X-ray detector is shown in FIG.
As shown, it is parallel to the CC ′ section and with respect to the optical axis.
If it is in the direction inclined by α to the opposite side of the pin 14b, the sample
X-rays emitted from in the direction of the X-ray detector, ie, X-rays
X-rays emitted in the detection direction are absorbed by the wire 15
Without being detected by the X-ray detector. But like this
Unlike the arrangement of the X-ray detector, if the X-ray detector
As shown in (d), light parallel to the BB 'section and light
X-ray detection from the sample when it is in the direction inclined by α with respect to the axis
X-rays emitted in the direction are absorbed by wire 15
U. Therefore, as shown in FIG.
5 so that its longitudinal direction is substantially parallel to the X-ray detection direction.
Must be attached to the sample holder.
【００１１】また、上記実施例においては、ワイヤー１
５をピンに引っ掛けて固定するようにしたが、図２に示
すように、試料ホルダ１３に穴を開け、杭１６によりワ
イヤー１５を試料ホルダ１３に固定させてもよい。In the above embodiment, the wire 1
Although 5 is fixed by hooking on the pin, a hole may be formed in the sample holder 13 and the wire 15 may be fixed to the sample holder 13 by the stake 16 as shown in FIG.
【００１２】また、図３に示すように、ワイヤーを試料
上に２本平行に張るようにしてもよい。１４ｄはピンで
ある。なお、ワイヤーは、ワイヤーの長手方向が略Ｘ線
検出方向と平行になるように張る。このようにすれば、
試料から放出されるＸ線のうちＸ線検出器に向かうＸ線
がワイヤーにより吸収される事はなく、Ｘ線分析が正確
に行われる。Further, as shown in FIG. 3, two wires may be stretched in parallel on the sample. 14d is a pin. The length of the wire is approximately X-ray.
Stretch so as to be parallel to the detection direction . If you do this,
Of the X-rays emitted from the sample, X-rays directed to the X-ray detector are not absorbed by the wire, and X-ray analysis is performed accurately.
【００１３】[0013]
【考案の効果】 本考案によれば、試料をワイヤーによ
り試料ホルダに固定するようにしたので、試料ホルダを
薄くすることができる。その結果、上磁極と下磁極のギ
ャップを狭める事ができ、分解能を向上させることがで
きる。また、ワイヤーの長手方向は略Ｘ線検出方向と平
行にされているので、試料より放出されるＸ線は該ワイ
ヤーに吸収されずにＸ線検出器に検出される。この結
果、Ｘ線分析が正確に行われる。According to the present invention, since the sample is fixed to the sample holder by the wire, the thickness of the sample holder can be reduced. As a result, the gap between the upper magnetic pole and the lower magnetic pole can be narrowed, and the resolution can be improved. Further, since the longitudinal direction of the wire is substantially parallel to the X-ray detection direction, the X-ray emitted from the sample is detected by the X-ray detector without being absorbed by the wire. As a result, X-ray analysis is performed accurately.
【図１】本考案の試料ホルダの一実施例を示したもの。FIG. 1 shows an embodiment of a sample holder of the present invention.
【図２】ワイヤーを試料ホルダに固定する様子を示した
もの。FIG. 2 shows how a wire is fixed to a sample holder.
【図３】本考案の他の実施例を示したもの。FIG. 3 shows another embodiment of the present invention.
【図４，図５，図６】従来の試料ホルダを示したもの。FIGS. 4, 5, and 6 show a conventional sample holder.
【図７】Ｘ線検出器の位置を説明するために示したも
の。FIG. 7 is a view for explaining a position of an X-ray detector.
１ 試料 ２ ざ金 ３ リング状ネジ ４，６，８，１３ 試料ホルダ ５ スプリングリング ７ ネジ ９ 押さえ板 １０ 上磁極 １１ 下磁極 １２ Ｘ線検出器 １４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ ピン １５ ワイヤー １６ 杭 REFERENCE SIGNS LIST 1 sample 2 bevel 3 ring screw 4, 6, 8, 13 sample holder 5 spring ring 7 screw 9 holding plate 10 upper magnetic pole 11 lower magnetic pole 12 X-ray detector 14a, 14b, 14c, 14d pin 15 wire 16 pile
Claims (1)
により試料から放出されたＸ線を検出するようにした電
子顕微鏡において、試料面を押さえるように試料ホルダ
本体上に張られたワイヤーと、該ワイヤーの一端を試料
ホルダ本体に係止するための機構を備え、前記ワイヤー
の長手方向は略Ｘ線検出方向と平行にされている電子顕
微鏡用試料ホルダを備えたことを特徴とする電子顕微
鏡。1. A sample is irradiated with an electron beam, and the sample is irradiated with the electron beam.
To detect X-rays emitted from the sample
The microscope comprises a wire stretched on the sample holder body so as to press the sample surface, and a mechanism for locking one end of the wire to the sample holder body, and the longitudinal direction of the wire is substantially in the X-ray detection direction. Electron microscope parallel to
Electron microscope characterized by having a sample holder for a microscope
Mirror .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2590692U JP2551885Y2 (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | electronic microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2590692U JP2551885Y2 (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | electronic microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0579858U JPH0579858U (en) | 1993-10-29 |
| JP2551885Y2 true JP2551885Y2 (en) | 1997-10-27 |
Family
ID=12178830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2590692U Expired - Lifetime JP2551885Y2 (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | electronic microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551885Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112014006378T5 (en) * | 2014-03-28 | 2017-01-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | A sample holder for a charged particle beam device and a charged particle beam device |
| JP6326341B2 (en) * | 2014-09-29 | 2018-05-16 | 日本電子株式会社 | Sample holder and electron microscope |
-
1992
- 1992-03-27 JP JP2590692U patent/JP2551885Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0579858U (en) | 1993-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5717485A (en) | Foreign substance inspection apparatus | |
| Betzig et al. | Combined shear force and near‐field scanning optical microscopy | |
| US5029250A (en) | Pattern configuration measuring apparatus | |
| JPS61161644A (en) | Apparatus for forming synthetic signal representing correct image of sample | |
| JP5958914B2 (en) | Transmission EBSD method | |
| JP4717481B2 (en) | Scanning probe microscope system | |
| JP2551885Y2 (en) | electronic microscope | |
| Isaacson et al. | Near‐field scanning optical microscopy II | |
| US6353231B1 (en) | Pinhole detector for electron intensity distribution | |
| US4916315A (en) | Scanning electron microscope for observing and measuring minute pattern of sample | |
| JP2010085376A (en) | Method for measuring pattern using scanning electron microscope | |
| JP3032967B2 (en) | Apparatus and method for inspecting a smooth surface of a sample | |
| JPH06338281A (en) | Scanning electron microscope | |
| JPH0243091Y2 (en) | ||
| JP4146103B2 (en) | Electron beam apparatus equipped with a field emission electron gun | |
| US5369274A (en) | Method and an apparatus for the examination of structures on membrane surfaces | |
| JP2500423Y2 (en) | electronic microscope | |
| JP3190989B2 (en) | X-ray collimator | |
| CN214174205U (en) | Scanning electron microscope sample fixing device | |
| JP2002162333A (en) | Near field probe, manufacturing method of near field probe and near field microscope using near field probe | |
| JP2008269967A (en) | Electron beam spin detector | |
| JP2653084B2 (en) | Surface analyzer | |
| JP2901637B2 (en) | Scanning X-ray microscope | |
| JPS5823172Y2 (en) | Hansha Denshi Kenshitsu Sochi | |
| JPS6378056A (en) | Total reflection fluorescent x-ray analyzer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970610 |