JP2543963B2 - Semiconductor automatic marking equipment - Google Patents

Semiconductor automatic marking equipment

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JP2543963B2
JP2543963B2 JP63203604A JP20360488A JP2543963B2 JP 2543963 B2 JP2543963 B2 JP 2543963B2 JP 63203604 A JP63203604 A JP 63203604A JP 20360488 A JP20360488 A JP 20360488A JP 2543963 B2 JP2543963 B2 JP 2543963B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、半導体自動マーキング装置の構造に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to the structure of a semiconductor automatic marking device.

(従来の技術) 半導体素子では、型番や製造年月日などを外囲器にマ
ーキングして需要者の便を図っているが、その装置に
は、マニュアル(Manual)作業を含んでいるのが通常で
あった。即ち、半導体素子を組込んだ外囲器を収容した
マガジンは、マーキング処理を施す場所より多少高い位
置に設置し、オペレータが個々の外囲器を押出して自重
を利用する手段により坂を搬送後、予定のマーキング処
理を行っていた。
(Prior Art) For semiconductor devices, the model number and the date of manufacture are marked on the envelope to make it convenient for customers. However, the device includes manual work. It was normal. That is, the magazine containing the envelope with the semiconductor element installed is set at a position slightly higher than the place where the marking process is performed, and the operator pushes out the individual envelopes and uses the self-weight to convey the slope. I was doing the planned marking process.

この坂には、金属製板が専ら利用され、外囲器との間
には、多少の隙間がどうしてもできた。しかも、マーキ
ング処理を終わった外囲器は、この位置付近に配置した
別のマガジンに高圧エアーブロー(Air Blow)などを利
用して収納していた。(発明が解決しようとする課題) 上記のように金属製板とマガジンの間には、隙間がで
きているために半導体素子を組込んだ外囲器の搬送中に
引かかる事故が発生し易く、高圧エアーブローによる送
りが不確実になるなどのために稼働率が低下する。
A metal plate was exclusively used for this slope, and there was some gap between it and the envelope. Moreover, the envelope that had undergone the marking process was stored in another magazine located near this position using high pressure air blow (Air Blow) or the like. (Problems to be Solved by the Invention) As described above, since there is a gap between the metal plate and the magazine, it is easy for an accident to occur during transportation of the envelope in which the semiconductor element is incorporated. However, the availability will decrease due to uncertain feeding due to high-pressure air blow.

更に、固定レールが使用されているので、装置自体が
大型化になりがちであり、スペースが要る難点がある。
Further, since the fixed rail is used, the device itself tends to be large in size, and there is a problem that space is required.

本発明は、このような事情から成されたもので、小型
で、しかも、搬送途中の事故をなくして高稼働率が達成
できる半導体自動マーキング装置を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a semiconductor automatic marking device that is small in size and can achieve a high operating rate without accidents during transportation.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は、平坦な部分を有する架台と,この架台の平
坦部分に設置するローダ部及びアンローダ部と,前記ロ
ーダ部及びアンローダ部の中間に設置され、複数の半導
体素子を収納可能な固定マガジンと,この固定マガジン
に形成する第1の列状凹部と,前記ローダ部から引出さ
れた半導体素子を収納する供給マガジンと,この供給マ
ガジンに形成する第2の列状凹部と,この第2の列状凹
部を前記固定マガジンの列状凹部に沿って配置する手段
と、前記平坦部分に設けられ半導体素子を前記固定マガ
ジンから持上げて前記供給マガジンに移動させるシリン
ダ機構と,前記供給マガジンに収納した半導体素子を位
置決めする機構と,マーキング済み半導体素子を前記固
定マガジンに送る機構と,固定マガジンに収納された半
導体素子を空の前記供給マガジンに転送する機構と、こ
の前記供給マガジンに転送された半導体素子を前記アン
ローダ部に移動する機構とに特徴がある。
[Means for Solving the Problems] (Means for Solving the Problems) The present invention provides a mount having a flat portion, a loader section and an unloader section installed on the flat section of the mount, and an intermediate portion between the loader section and the unloader section. A fixed magazine that is installed and can store a plurality of semiconductor elements, a first row-shaped recess formed in this fixed magazine, a supply magazine that stores the semiconductor elements pulled out from the loader section, and a supply magazine formed in this supply magazine Second row-shaped recesses, means for arranging the second row-shaped recesses along the row-shaped recesses of the fixed magazine, and semiconductor chips provided on the flat portion lifted from the fixed magazine to the supply magazine. A cylinder mechanism for moving the semiconductor element to a fixed magazine, a mechanism for positioning the semiconductor element housed in the supply magazine, a mechanism for sending the marked semiconductor element to the fixed magazine, A mechanism for transferring the semiconductor element housed in the constant magazine empty the supply magazine, is characterized in that the semiconductor element is transferred to the said supply magazine into a mechanism for moving the unloader unit.

(作用) 本発明の被処理半導体素子は、マガジン ツウ マガ
ジンによる搬送方式また、マガジン内でマーキングを実
施する方式を採っているので、従来のマーキング装置に
必要だったシュートレールを省略して簡素化を計ると共
に、小型でかつ、高稼働率が達成される。
(Operation) The semiconductor element to be processed of the present invention adopts a magazine-to-magazine carrying method and a method of performing marking in the magazine. Therefore, the chute rail required for the conventional marking device is omitted and simplified. In addition to being able to measure the size, small size and high operating rate can be achieved.

(実施例) 第1図a,b,c乃至第4図により本発明の一実施例を説
明する。この半導体自動マーキング装置は、第1図bに
示した架台1の一面には、第1図aのように平坦部2を
設け、更に、平坦部2には第1図cに明らかなようにロ
ーダ部3とアンローダ部4を配置し、その中間には、固
定マガジン5を設置する。
(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 a, b, c to 4. In this semiconductor automatic marking device, a flat portion 2 is provided on one surface of the gantry 1 shown in FIG. 1b as shown in FIG. 1a, and further, the flat portion 2 is provided as shown in FIG. 1c. A loader unit 3 and an unloader unit 4 are arranged, and a fixed magazine 5 is installed in the middle thereof.

この固定マガジン5及び後述する供給マガジン6に
は、第2図及び第4図に明らかなように、被処理半導体
素子7…を収納可能となるように第1の列状凹部8と第
2の列状凹部9を夫々形成し、その最終端にストッパピ
ン10を設置する。
As will be apparent from FIGS. 2 and 4, the fixed magazine 5 and the supply magazine 6 to be described later contain the first row-shaped concave portions 8 and the second row-shaped concave portions 8 so that the semiconductor elements 7 to be processed can be stored. Each of the row-shaped recesses 9 is formed, and the stopper pin 10 is installed at the final end thereof.

上記のように、本発明に係わる半導体自動マーキング
装置は、被処理半導体素子7…をマガジン ツウ マガ
ジン方式により搬送するために固定マガジン5と供給マ
ガジン6を平行関係を設置する。両マガジンを非平行に
配置すると、装置の大型化及び機構が複雑になるなどの
難点があるためである。従って、第1の列状凹部8の軸
方向の延長線上に供給マガジン6を配置するのが最良で
あるが、第1の列状凹部8に沿って第2の列状凹部9を
設置しても、あまり部品点数も増えないので可能であ
る。
As described above, in the semiconductor automatic marking apparatus according to the present invention, the fixed magazine 5 and the supply magazine 6 are installed in parallel so as to convey the semiconductor elements 7 to be processed by the magazine-to-magazine method. This is because if the two magazines are arranged non-parallel to each other, there are problems such as an increase in size of the apparatus and a complicated mechanism. Therefore, it is best to arrange the supply magazine 6 on the extension line of the first row-shaped recess 8 in the axial direction, but install the second row-shaped recess 9 along the first row-shaped recess 8. However, it is possible because the number of parts does not increase so much.

架台1の平坦部2に配置されたローダ部3には、被処
理半導体素子7…を収納した供給マガジン6が供給され
ており、その中から引きだした一個を第1図に示す第1
のシリンダ11により固定マガジン5の第1の列状凹部8
に沿った位置に移動し、この引きだした状態を第1図b
の側面図に示した。ローダ部3から引だされてから第1
のシリンダ11により移動される供給マガジン6に形成す
る第2の列状凹部9の位置は、固定マガジン5に設置し
た第1の列状凹部8と同一線上に配置されるのが最も都
合がよい。
A supply magazine 6 accommodating the semiconductor elements 7 to be processed is supplied to the loader section 3 arranged on the flat section 2 of the gantry 1, and one of the supply magazines is extracted from the supply magazine 6 shown in FIG.
First cylinder 8 of fixed magazine 5 by cylinder 11 of
Move to the position along with and pull out this state as shown in Fig. 1b.
Shown in the side view. First after being pulled out from the loader section 3
The position of the second row-shaped recess 9 formed in the supply magazine 6 which is moved by the cylinder 11 is most conveniently arranged on the same line as that of the first row-shaped recess 8 installed in the fixed magazine 5. .

次に、供給マガジン6に収納された被処理半導体素子
7…のマーキング工程に入るが、所定の位置に配置する
のには、位置決め機構が必要となるが、先ず実際の操作
について説明する。
Next, the process of marking the semiconductor elements 7 to be processed housed in the supply magazine 6 is started, but a positioning mechanism is required to arrange them at a predetermined position. First, the actual operation will be described.

供給マガジン6に収納された被処理半導体素子7…
は、第3図に示した搬送爪12により所定の位置に移動す
るが、マーキング部13との対応関係を維持するためにワ
ークストッパ14と第1の位置決めピン15によりこの所定
の位置を確保する。
The semiconductor elements 7 to be processed stored in the supply magazine 6 ...
Moves to a predetermined position by the transfer claw 12 shown in FIG. 3, but this predetermined position is secured by the work stopper 14 and the first positioning pin 15 in order to maintain the corresponding relationship with the marking portion 13. .

マーキング部13は、第1図cに明らかなように、支持
台16に搭載され、その上端に回動自在なアーム部17が設
置されており、その端部には、上記所定の位置に位置決
めされた被処理半導体素子7に対向できるように窓部18
が配置されており、必要な型番、製造年月日などをマー
キングする。このマーキング部13には、例えばレーザ装
置が適用できる。
As is apparent from FIG. 1c, the marking portion 13 is mounted on a support base 16 and has a rotatable arm portion 17 installed at its upper end, which is positioned at the predetermined position at the end portion thereof. The window portion 18 is provided so as to face the processed semiconductor element 7 thus processed.
Is placed, and the required model number, manufacturing date, etc. are marked. A laser device, for example, can be applied to the marking unit 13.

このマーキング工程では、第1図aに示した第1のス
テッピングモータ19と連動した搬送爪12(第3図)によ
り個々の被処理半導体素子7を移動する構造が採られて
いる。
In this marking process, a structure is adopted in which the individual semiconductor elements 7 to be processed are moved by the transfer claws 12 (FIG. 3) which are interlocked with the first stepping motor 19 shown in FIG. 1A.

また、第1図に示したステッピングモータ22により各
列移動及びアンローダ部の受渡し部(図示せず)まで移
動する。
Further, the stepping motor 22 shown in FIG. 1 moves each column and moves to a delivery section (not shown) of the unloader section.

この工程を終えた被処理半導体素子7は、第3図に示
したブローノズル20から噴出するエアにより固定マガジ
ン5の第2の列状凹部9に強制的に移動させる。
After completion of this step, the semiconductor element 7 to be processed is forcibly moved to the second row-shaped concave portion 9 of the fixed magazine 5 by the air ejected from the blow nozzle 20 shown in FIG.

このように本発明では、ステッピングモータ19,搬送
爪12、ワークストッパ14,位置決めピン15を含めて位置
決め機構と称する。
As described above, in the present invention, the stepping motor 19, the transfer claw 12, the work stopper 14, and the positioning pin 15 are collectively referred to as a positioning mechanism.

更に、マーキングする機構には、支持台16に搭載した
マーキング部13、アーム部17,窓部18及びブローノズル2
0を含むものである。
Further, the marking mechanism includes a marking portion 13, an arm portion 17, a window portion 18 and a blow nozzle 2 mounted on the support base 16.
It includes 0.

次に固定マガジン5に移動され、位置決め、マーキン
グ処理を終えた被処理半導体素子7…は、再び供給マガ
ジン6の空の第2凹部9に第4図に示したワーク戻し爪
21の稼働により搬送する。このワーク戻し爪21を本発明
では、転送する機構とする。
Next, the semiconductor elements 7 to be processed, which have been moved to the fixed magazine 5 and have been subjected to positioning and marking processing, are again placed in the empty second concave portion 9 of the supply magazine 6 to return the work returning pawls shown in FIG.
Transported by the operation of 21. In the present invention, the work return pawl 21 is a transfer mechanism.

このマーキング工程を終えた被処理半導体素子7を収
納した供給マガジン6はアンローダ4の空所に収容して
上記マガジン ツウ マガジンを達成する。即ち、マー
キング済み被処理半導体素子7…を収納した供給マガジ
ン6は、一個ずつアンローダ4に隣接する位置に第2の
シリンダ22により移動して置かれ、アンローダ4より高
く積上げられた一個がアンローダ4内に移動して収容さ
れるマガジン ツウ マガジンが達成される。
The supply magazine 6 containing the semiconductor elements 7 to be processed after the marking step is housed in the empty space of the unloader 4 to achieve the above-mentioned magazine-to-magazine. That is, the supply magazines 6 accommodating the marked semiconductor elements 7 to be processed are moved one by one to the position adjacent to the unloader 4 by the second cylinder 22, and one stacked higher than the unloader 4 is placed. A magazine-to-magazine that can be moved inside and accommodated is achieved.

前記のように供給マガジン6から、第2シリンダ22に
よって被処理半導体素子7を一個ずつアンローダ4に隣
接する位置に高く積み上げられた後、アンローダ4内に
一個が収容されるので、第2シリンダ22、供給マガジン
6及びアンローダ4を、本発明では供給マガジンに転送
された半導体素子を前記アンローダ部に移動する機構と
する。
As described above, after the semiconductor chips 7 to be processed are stacked one by one from the supply magazine 6 to the position adjacent to the unloader 4 by the second cylinder 22, one semiconductor device 7 is housed in the unloader 4. In the present invention, the supply magazine 6 and the unloader 4 are mechanisms for moving the semiconductor elements transferred to the supply magazine to the unloader section.

[発明の効果] このような半導体自動マーキング装置では、 イ.高稼働率即ち、被処理半導体素子の搬送路として利
用するマガジン ツウ マガジンでは、つなぎ目が一個
所だけであるので、強制的な搬送が可能になった。
[Advantages of the Invention] In such a semiconductor automatic marking device, High availability, that is, a magazine to be used as a transport path for semiconductor elements to be processed In the to-magazine, there is only one joint, so forced transport is possible.

ロ.装置の小型化 マーキングをマガジン内で実施する
ことにより、装置の機構が簡単になり、小型及び低価格
となった。
B. Miniaturization of the device By implementing the marking in the magazine, the mechanism of the device was simplified, and the size and cost were reduced.

ハ.作業性の向上 被処理半導体素子を収納するマガジ
ンは、この半導体マーキング自動装置における最少面積
の側面側に配置するローダとアンローダに収納できたの
で、作業者の作業面積が小さくされ、ひいては作業性が
向上できた。
C. Improved workability Since the magazine that stores the semiconductor elements to be processed could be stored in the loader and unloader that are placed on the side of the smallest area in this semiconductor marking automatic device, the work area of the operator was reduced, and thus the workability was improved. I was able to improve.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図a,b,cは、本発明の一実施例の上面図、側面図及
び断面図、第2図は、この装置の一部品の斜視図、第3
図は、この装置の要部の断面図、第4図は、他の要部の
斜視図である。 1……架台、2……平坦部、3……ローダ部 4……アンローダ部、5……固定マガジン 6……供給マガジン、7……被処理半導体素子 8,9……第1,2の凹部、14……ワークストッパ 15……位置決めピン、11,21……シリンダ 12……搬送爪、13……マーキング部 19……ステッピンクモータ 21……ワーク戻し爪 22……各別送り用ステッピングモータ
1 a, b, c are a top view, a side view and a cross-sectional view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of one component of this device,
FIG. 4 is a sectional view of the main part of this apparatus, and FIG. 4 is a perspective view of the other main part. 1 ... Stand, 2 ... Flat part, 3 ... Loader part, 4 ... Unloader part, 5 ... Fixed magazine, 6 ... Supply magazine, 7 ... Semiconductor element to be processed 8, 9 ... First and second Recess, 14 …… Work stopper 15 …… Positioning pin, 11,21 …… Cylinder 12 …… Conveying pawl, 13 …… Marking part 19 …… Stepping pin motor 21 …… Work return pawl 22 …… Individual feed stepping motor

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】平坦な部分を有する架台と,この架台の平
坦部分に設置するローダ部及びアンローダ部と,前記ロ
ーダ部及びアンローダ部の中間に設置され、複数の半導
体素子を収納可能な固定マガジンと,この固定マガジン
に形成する第1の列状凹部と,前記ローダ部から引出さ
れた半導体素子を収納する供給マガジンと,前記固定マ
ガジンから引出された半導体素子を収納する供給マガジ
ンと,この供給マガジンに形成する第2の列状凹部と,
この第2の列状凹部を前記固定マガジンの列状凹部に沿
って配置する手段と,前記平坦部分に設けられ半導体素
子を前記固定マガジンから持上げて前記供給マガジンに
移動させるシリンダ機構と,前記供給マガジンに収納し
た半導体素子を位置決めする機構と,マーキング済み半
導体素子を前記固定マガジンに送る機構と,固定マガジ
ンに収納された半導体素子を空の前記供給マガジンに転
送する機構と,この前記供給マガジンに転送された半導
体素子を前記アンローダ部に移動する機構とを具備する
ことを特徴とする半導体自動マーキング装置
1. A mount having a flat part, a loader part and an unloader part installed on the flat part of the mount, and a fixed magazine installed in the middle of the loader part and the unloader part and capable of storing a plurality of semiconductor elements. A first row-shaped recess formed in the fixed magazine; a supply magazine for storing the semiconductor elements pulled out from the loader section; a supply magazine for storing the semiconductor elements pulled out from the fixed magazine; A second row of recesses formed in the magazine,
Means for arranging the second row-shaped recess along the row-shaped recess of the fixed magazine; a cylinder mechanism provided on the flat portion for lifting a semiconductor element from the fixed magazine and moving it to the supply magazine; A mechanism for positioning the semiconductor elements housed in the magazine, a mechanism for sending the marked semiconductor elements to the fixed magazine, a mechanism for transferring the semiconductor elements housed in the fixed magazine to the empty supply magazine, and a mechanism for supplying the supply magazine. A semiconductor automatic marking device comprising: a mechanism for moving the transferred semiconductor element to the unloader unit.
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