JP2531568Y2 - Cartridge filter - Google Patents

Cartridge filter

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JP2531568Y2
JP2531568Y2 JP11825890U JP11825890U JP2531568Y2 JP 2531568 Y2 JP2531568 Y2 JP 2531568Y2 JP 11825890 U JP11825890 U JP 11825890U JP 11825890 U JP11825890 U JP 11825890U JP 2531568 Y2 JP2531568 Y2 JP 2531568Y2
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filtrate
header
cap nut
filter element
tube
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英樹 葉山
誠 姫野
富夫 属
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Nitto Denko Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は水、薬品等から不純物,微粒子等を除去する
場合に使用するフィルターに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial application field) The present invention relates to a filter used for removing impurities, fine particles and the like from water, chemicals and the like.

(従来の技術) 水,薬品等から不純物,微粒子等を除去する場合、カ
ートリッジフィルターを使用することがある。
(Prior Art) When removing impurities, fine particles and the like from water and chemicals, a cartridge filter may be used.

第5図は従来のエレメント交換型カートリッジフィル
ターの一例を示し、原液流入路21′と濾液流出路22′と
を有するケースヘッダー2′の濾液流出路口221′に、
フィルターエレメント3′の濾液集水ポート端部31′を
Oリングmを会して挿入し、該フィルターエレメント
3′を筒状ケース1′内に収容し、この筒状ケース1′
の上端開口にケースヘッダーを螺合してある。
FIG. 5 shows an example of a conventional element exchange type cartridge filter, in which a filtrate outlet 221 'of a case header 2' having a stock solution inlet 21 'and a filtrate outlet 22' is provided.
The end 31 ′ of the filtrate collecting port of the filter element 3 ′ is inserted with the O-ring m in between, and the filter element 3 ′ is housed in the cylindrical case 1 ′.
The case header is screwed into the upper opening of the.

このエレメント交換型カートリッジフィルターにおい
ては、フィルターエレメント3′とケースヘッダー2′
との間が着脱自在とされ、ディスポーザブル型(フィル
ターエレメントとケースヘッダーとの間が溶着などによ
って一体化されているタイプ)とは異なり、フィルター
エレメント3′のみの交換が可能である。従って、フィ
ルターエレメント3′が目詰り等によって使用不可とな
っても、ディスポーザブル型とは異なり、全体の交換は
不要であって、フィルターエレメント3′のみを交換す
ればよく、ケースについてはそのまま使用でき、コスト
的に有利である。
In this element exchange type cartridge filter, the filter element 3 'and the case header 2'
Is detachable, and unlike the disposable type (type in which the filter element and the case header are integrated by welding or the like), only the filter element 3 'can be replaced. Therefore, even if the filter element 3 'becomes unusable due to clogging or the like, unlike the disposable type, the entire element does not need to be replaced, and only the filter element 3' needs to be replaced, and the case can be used as it is. It is cost effective.

(解決しようとする課題) しかしながら、上記エレメント交換型カートリッジフ
ィルターにおいては、Oリングmが原液、若しくは濾液
に接触し、この液の性質如何によっては、Oリングから
の微量成分の溶出が避けられず、濾液の液質低下,Oリン
グのシール性低下が余儀なくされる。例えば、半導体の
シリコンウェハの洗浄工程においては、硫酸、硝酸等の
薬液を循環方式で使用し、洗浄により含まれてくる微粒
子を濾過によって除去しており、半導体の品質保証上、
微量の微粒子をも除去しなければならないが、上記のエ
レメント交換型カートリッジフィルターでは強酸による
Oリングからの微量成分の溶出が避けられず、上記洗浄
工程での薬液の濾過処理に使用し難い。
(Problem to be Solved) However, in the above-mentioned element exchange type cartridge filter, the O-ring m comes into contact with the undiluted solution or the filtrate, and depending on the properties of this solution, elution of a trace component from the O-ring cannot be avoided. In addition, the quality of the filtrate decreases and the sealing property of the O-ring decreases. For example, in the process of cleaning a semiconductor silicon wafer, a chemical solution such as sulfuric acid or nitric acid is used in a circulating manner, and fine particles included in the cleaning are removed by filtration.
Although trace amounts of fine particles must also be removed, elution of the trace components from the O-ring by the strong acid is unavoidable with the above-mentioned element-exchange type cartridge filter, and it is difficult to use the filter for the chemical solution in the washing step.

本考案の目的は上記のエレメント交換型カートリッジ
フィルターにおいて、ケースヘッダーとフィルターエレ
メントとの接続構造を改良することにより、上記Oリン
グ方式の不利、即ち、濾液の液質低下,液溜りの発生,
フィルターエレメントにおける交換時での抜け落ち等を
排除することにある。
An object of the present invention is to improve the connection structure between the case header and the filter element in the above-mentioned element-exchange type cartridge filter, so that the disadvantages of the above-mentioned O-ring system, that is, deterioration of the liquid quality of the filtrate, generation of liquid pool,
An object of the present invention is to eliminate dropouts and the like during replacement of a filter element.

(課題を解決するための手段) 本考案のカートリッジフィルターはケース内にフィル
ターエレメントが収容され、該フィルターエレメントの
濾液集水ポート端部がケースの濾液流出口に連通されて
成るフィルターにおいて、上記フィルターエレメントの
濾液集水ポート端部をチューブで形成し、ケースの濾液
流路口を、外周面に袋ナット螺合用溝を有する管状に形
成し、濾液集水ポート端チューブ部をケースの濾液流路
口管部に挿入し、該口管部の袋ナット螺合用溝に袋ナッ
トを螺合し、濾液集水ポート端チューブ部上のリングを
袋ナットにより締め付けたことを特徴とする構成、又
は、フィルターエレメントの濾液集水ポート端部をチュ
ーブで形成し、ケースの濾液流路口を、外周面に袋ナッ
ト螺合用溝を有し先端面がテーパ面である管状に形成
し、濾液集水ポート端チューブ部の先端をフレア状にし
てヘッダーの濾液流路口管部先端のテーパ面上に挿入
し、その挿入したチューブ部先端と濾液流路口管部先端
のテーパ面とを、該口管部の袋ナット螺合用溝に螺合し
た袋ナットによって緊圧したことを特徴とする構成であ
る。
(Means for Solving the Problems) In the cartridge filter of the present invention, a filter element is accommodated in a case, and an end of a filtrate collecting port of the filter element is communicated with a filtrate outlet of the case. The end of the filtrate collection port of the element is formed by a tube, the filtrate passage port of the case is formed into a tubular shape having a cap nut screw groove on the outer peripheral surface, and the filtrate collection port end tube is connected to the filtrate passage port tube of the case. Or a filter element, wherein a cap nut is screwed into a cap nut screwing groove of the mouth pipe part, and a ring on the filtrate collection port end tube part is tightened with the cap nut, or a filter element. The end of the filtrate collection port is formed by a tube, and the filtrate flow path port of the case is formed in a tubular shape with a groove for screwing a cap nut on the outer peripheral surface and a tapered end surface. And the tip of the filtrate collection port end tube part is flared and inserted on the tapered surface of the header of the filtrate flow channel opening of the header, and the tapered surface of the inserted tube tip and the distal end of the filtrate flow channel opening is formed. Are tightened by a cap nut screwed into the cap nut screwing groove of the mouth tube portion.

(実施例の説明) 以下、図面により本考案の実施例について説明する。(Explanation of embodiment) Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本考案の実施例を示す説明図である。 FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of the present invention.

第1図において、1は上端開口の筒状ケースである。
2は筒状ケース1の上端に螺合したケースヘッダーであ
り、原液流入路21と濾液流出路22とを備え、濾液流出路
口221を、外周面に螺子溝222を有する環状に形成してあ
る。211は空気抜き孔である。3は筒状ケース1内に収
容したフィルターエレメントであり、濾液集水ポート端
部31をチューブで形成してある。4はチューブ31上に挿
通したリング、5は袋ナットであり、この袋ナット5を
ケースヘッダー3の濾液流出口管部221に螺合し、該ナ
ット5の締め付けにより、リング4をチューブ31に緊圧
してある。上記リング4をチューブ31に一体に設けるこ
ともできる。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cylindrical case having an upper end opening.
Reference numeral 2 denotes a case header that is screwed to the upper end of the cylindrical case 1 and includes a stock solution inflow path 21 and a filtrate outflow path 22, and a filtrate outflow port 221 is formed in an annular shape having a screw groove 222 on the outer peripheral surface. . 211 is an air vent hole. Reference numeral 3 denotes a filter element housed in the cylindrical case 1, and the filtrate collection port end 31 is formed by a tube. Reference numeral 4 denotes a ring inserted through the tube 31, and reference numeral 5 denotes a cap nut. The cap nut 5 is screwed into the filtrate outlet tube portion 221 of the case header 3, and the ring 4 is connected to the tube 31 by tightening the nut 5. I'm nervous. The ring 4 may be provided integrally with the tube 31.

上記において、ケースヘッダー2を含むケース1,濾液
集水ポート端チューブ部31を含むフィルターエレメント
部材,リング4並びに袋ナット5等は、耐薬品性に優れ
たプラスチック、例えばポリプロピレン,フッ素樹脂、
例えば、PFA,FEP,ETFE等から成形される。
In the above, the case 1 including the case header 2, the filter element member including the filtrate collection port end tube portion 31, the ring 4, the cap nut 5, etc. are made of a plastic having excellent chemical resistance, for example, polypropylene, fluororesin,
For example, it is formed from PFA, FEP, ETFE, or the like.

上記フィルターエレメント3には、通常ブリーツ型が
使用される。又、第2図に示すように、濾液通路を有す
る支持円板aの両面に、中心に孔を有する膜b,bを添付
し、該膜の内周端縁並びに外周端縁を支持円板aに封止
し、このようにして形成したユニットcをスペサーdを
介して積重一体化し、濾液取出口32を有する端板2aを上
記積重体の一体に固着し、その濾液取出口32にチューブ
31を溶着し、閉孔用端板2bを上記積重体の他端に固着
し、中央に集液ポートeを確保したディスク型も使用で
きる。上記濾液取出口32とチューブ31とを一体とするこ
ともできる。
The filter element 3 is usually a pleated type. As shown in FIG. 2, membranes b and b having a hole at the center are attached to both sides of a support disk a having a filtrate passage, and the inner and outer peripheral edges of the membrane are supported by the support disks. a, the unit c thus formed is stacked and integrated via a spacer d, an end plate 2a having a filtrate outlet 32 is fixed integrally to the stack, and the filtrate outlet 32 is connected to the end plate 2a. tube
Alternatively, a disk type in which the end plate 2b for a hole is fixed to the other end of the stack by welding the hole 31 and a liquid collecting port e is secured in the center can be used. The filtrate outlet 32 and the tube 31 may be integrated.

上記において、リング4には、第3図Aに示すように
先端面41がテーパ面であって、該テーパ面41に縮径用の
スリット42,…を設けたものも使用できる。第3図Bは
第3図Aに示すリング4と袋ナット5とを使用したケー
スヘッダー2の濾液流出口管部221とフィルターエレメ
ント3の濾液集水ポート端チューブ部31との接続構造を
示している。
In the above, a ring 4 may be used in which the distal end surface 41 is a tapered surface as shown in FIG. 3A, and the tapered surface 41 is provided with slits 42 for reducing the diameter. FIG. 3B shows a connection structure between the filtrate outlet pipe section 221 of the case header 2 and the filtrate collecting port end tube section 31 of the filter element 3 using the ring 4 and the cap nut 5 shown in FIG. 3A. ing.

第4図は本考案の別実施例を示し、上記のリング4を
使用せずに、フィルターエレメント3の濾液集水ポート
端チューブ部31の先端をフレア加工し、ケースヘッダー
2の濾液流出口管部221の先端をこのフレア面に適合す
るテーパ面223に形成し、このテーパ面223にフィルター
エレメント3の濾液集水ポート端チューブ部31のフレア
面310を当接し、袋ナット5の締め付けによってこの当
接面を緊圧してある。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which the end of the filtrate collecting port end tube portion 31 of the filter element 3 is flared without using the ring 4 and the filtrate outlet pipe of the case header 2 is formed. The tip of the portion 221 is formed as a tapered surface 223 that conforms to the flare surface. The flare surface 310 of the filtrate collection port end tube portion 31 of the filter element 3 abuts on the tapered surface 223, and the cap nut 5 is tightened. The contact surface is under pressure.

尚、本考案はケース底面側に原液流入口を、ケース上
端側(ヘッダー側)に濾液流出口をそれぞれ有するカー
トリッジフィルター、ケース上端側に原液流入口を、ケ
ース底面側に濾液流出口をそれぞれ有するカートリッジ
フィルターにも適用できる。
In addition, the present invention has a cartridge filter having a stock solution inlet on the case bottom side, a filtrate outlet on the case upper end side (header side), a stock solution inlet on the case upper side, and a filtrate outlet on the case bottom side, respectively. Also applicable to cartridge filters.

(考案の効果) 本考案のカートリッジフィルターは上述した通りの構
成であり、袋ナットを用いたリング締め付け方式又はフ
レア接続方式によって、ケースヘッダーの濾液流出口管
部とフィルターエレメントの濾液集水ポート端チューブ
部とを接続しているから、これらの間をOリングを介す
ることなく着脱自在に接続でき、フィルターエレメント
単独の交換自在性を保持しつつ、Oリングからの不純成
分溶出による濾液の液質低下を防止できる。又、上記ケ
ースヘッダーの濾液流出口管部とフィルターエレメント
の濾液集水ポート端チューブ部とを通常の管接続と同
様、内面を平滑にして接続できるから、濾液溜りの発生
を防止でき、濾液滞留による濾液の変質を回避できる。
更に、袋ナットの締め付け力によりフィルターエレメン
トを充分強固に支持できるから、上記実施例のように、
フィルターエレメントの濾液集水ポート端が接続される
濾液流出口がケース上端側にある場合、カートリッジフ
ィルターを配管に接続したままで、ケースを取外してフ
ィルターエレメントを交換する際、フィルターエレメン
トでの自重による抜け落ちを防止でき、安全である。
(Effects of the Invention) The cartridge filter of the present invention has the same configuration as described above, and is connected to the filtrate outlet tube of the case header and the filtrate collecting port end of the filter element by a ring tightening method or a flare connection method using a cap nut. Since it is connected to the tube part, it can be connected and removed freely without an O-ring between them, and while maintaining the interchangeability of the filter element alone, the quality of the filtrate by elution of impure components from the O-ring Drop can be prevented. Further, since the filtrate outlet port of the case header and the filtrate collecting port end tube of the filter element can be connected to each other by smoothing the inner surface in the same manner as a normal pipe connection, it is possible to prevent the generation of a filtrate pool and to prevent the filtrate from being retained. The deterioration of the filtrate due to is avoided.
Further, since the filter element can be sufficiently firmly supported by the tightening force of the cap nut, as in the above embodiment,
If the filtrate outlet to which the filtrate collection port end of the filter element is connected is at the top end of the case, when removing the case and replacing the filter element with the cartridge filter connected to the piping, the filter element will lose its own weight. It is safe to prevent falling off.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本考案の実施例を示す説明図、第2図は本考案
において使用するフィルターエレメントの一例を示す説
明図、出す3図Aは本考案において使用するリングの別
例を示す説明図、第3図Bは第3図Aに示すリングを使
用した本考案の別実施例の要部を示す説明図、第4図は
本考案の他の別実施の要部を示す説明図、第5図は従来
例を示す説明図である。 1……筒状ケース、21……原液流入路、22……濾液流出
路、221……濾液流出口管部、222……袋ナット螺合用
溝、3……フィルターエレメント、31……濾液集水端チ
ューブ部、310……濾液集水端チューブ部先端のテーパ
面、4……リング、5……袋ナット。
FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing an example of a filter element used in the present invention, and FIG. 3A is an explanatory view showing another example of a ring used in the present invention. FIG. 3B is an explanatory view showing a main part of another embodiment of the present invention using the ring shown in FIG. 3A. FIG. 4 is an explanatory view showing another main part of another embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory view showing a conventional example. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cylindrical case, 21 ... Undiluted solution inflow path, 22 ... Filtrate outflow path, 221 ... Filtrate outflow tube part, 222 ... Groove for screwing a cap nut, 3 ... Filter element, 31 ... Filtrate collection Water end tube section, 310 ... Tapered surface at the end of filtrate collection end tube section, 4 ... Ring, 5 ... Cap nut.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−254217(JP,A) 実開 昭59−30809(JP,U) 実開 平1−132208(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-1-254217 (JP, A) JP-A-59-30809 (JP, U) JP-A-1-132208 (JP, U)

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】原液流入路と濾液流出路とを有するヘッダ
ーが筒状ケースの上端に取着され、筒状ケース内にフィ
ルターエレメントが収容され、該フィルターエレメント
の濾液集水ポート端部が上記ヘッダーの濾液流出口に連
通されて成るフィルターにおいて、上記フィルターエレ
メントの濾液集水ポート端部をチューブで形成し、ヘッ
ダーの濾液流路口を、外周面に袋ナット螺合用溝を有す
る管状に形成し、濾液集水ポート端チューブ部をヘッダ
ーの濾液流路口管部に挿入し、該口管部の袋ナット螺合
用溝に袋ナットを螺合し、濾液集水ポート端チューブ部
上のリングを袋ナットにより締め付けたことを特徴とす
るカートリッジフィルター。
1. A header having an undiluted solution inflow passage and a filtrate outflow passage is attached to an upper end of a cylindrical case, and a filter element is accommodated in the cylindrical case. In the filter connected to the filtrate outlet of the header, the end of the filtrate collecting port of the filter element is formed by a tube, and the filtrate passage port of the header is formed in a tubular shape having a cap nut screw groove on the outer peripheral surface. Then, insert the filtrate collection port end tube portion into the filtrate flow passage port tube portion of the header, screw a cap nut into the cap nut screwing groove of the mouth tube portion, and seal the ring on the filtrate collection port end tube portion. A cartridge filter characterized by being tightened by a nut.
【請求項2】原液流入路と濾液流出路とを有するヘッダ
ーが筒状ケースの上端に取着され、筒状ケース内にフィ
ルターエレメントが収容され、該フィルターエレメント
の濾液集水ポート端部が上記ヘッダーの濾液流出口に連
通されて成るフィルターにおいて、フィルターエレメン
トの濾液集水ポート端部をチューブで形成し、ヘッダー
の濾液流路口を、外周面に袋ナット螺合用溝を有し先端
面がテーパ面である管状に形成し、濾液集水ポート端チ
ューブ部の先端をフレア状にしてヘッダーの濾液流路口
管部先端のテーパ面上に挿入し、その挿入したチューブ
部先端と濾液流路口管部先端のテーパ面とを、該口管部
の袋ナット螺合用溝に螺合した袋ナットによって緊圧し
たことを特徴とするカートリッジフィルター。
2. A header having a stock solution inflow passage and a filtrate outflow passage is attached to an upper end of a cylindrical case, and a filter element is accommodated in the cylindrical case. In the filter connected to the filtrate outlet of the header, the end of the filtrate collecting port of the filter element is formed by a tube, and the filtrate passage opening of the header is provided with a groove for screwing a cap nut on the outer peripheral surface and the tip surface is tapered. The filtrate collecting port end tube section is flared and inserted into the tapered surface of the header of the filtrate channel opening of the header, and the inserted tube section tip and the filtrate channel opening tube are formed. A cartridge filter characterized in that a tapered surface at the tip is pressed by a cap nut screwed into a cap nut screwing groove of the mouth tube portion.
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