JP2528659B2 - Measuring instrument and its manufacturing method - Google Patents
Measuring instrument and its manufacturing methodInfo
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- JP2528659B2 JP2528659B2 JP62160800A JP16080087A JP2528659B2 JP 2528659 B2 JP2528659 B2 JP 2528659B2 JP 62160800 A JP62160800 A JP 62160800A JP 16080087 A JP16080087 A JP 16080087A JP 2528659 B2 JP2528659 B2 JP 2528659B2
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Description
【発明の詳細な説明】 この発明は度量衡学に関するものであり、かつ特定的
には表面半径、形または表面組織のようなワークピース
の特性を測定し得る器具に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to metrology, and in particular to an instrument capable of measuring properties of a workpiece such as surface radius, shape or surface texture.
精密構成要素を製造するとき、それらが最終のユーザ
により所要の仕様を満たすことを確実にするようにその
表面をチェックすることが望ましい。このようなチェッ
クは度量衡器具により行なわれ、それは精巧でありかつ
かなり感応しやすく、かつそれらを不慮の損傷から保護
するために生産ラインから離れて置かれた特別測定室に
伝統的に置かれてきた。その結果、チェックのために生
産ラインから測定室まで、かつそれからさらなる処理の
ためにそれらを生産ラインに戻すように構成要素を運ぶ
ことが必要であった。これは時間の浪費であり、かつし
たがって費用がかかり、かつそれゆえに特定的に、同じ
構成要素が大量に製造されかつあらゆるものが望ましく
はチェックされるべきである場合に測定動作の効率を改
良する必要がある。伝統的には、度量衡器具の開発は、
現代の器具においてコンピュータ制御される、測定動作
において行なわれるルーチンを改良することにより、そ
の精度を増大し、かつ動作速度を増加することに集中し
た。速度の増加に対するこのアプローチは当然、測定動
作自体にかかる時間を減じるのみであった。When manufacturing precision components, it is desirable to check their surfaces to ensure that they meet the specifications required by the end user. Such checks are performed by metrology tools, which are delicate and fairly sensitive and have traditionally been placed in special measuring rooms located away from the production line to protect them from accidental damage. It was As a result, it was necessary to carry the components from the production line to the measurement room for checking and then back to the production line for further processing. This is time consuming and therefore costly, and therefore specifically improves the efficiency of the measurement operation when the same component is manufactured in large quantities and everything should preferably be checked. There is a need. Traditionally, the development of metrology tools
We focused on increasing its accuracy and operating speed by improving the routines performed in the measuring operation, which are computer controlled in modern instruments. This approach to increasing speed naturally only reduced the time taken for the measurement operation itself.
この発明の目的は、多数の同じ構成要素がチェックさ
れ得る効率を急激に増加させることである。The purpose of the present invention is to dramatically increase the efficiency with which many identical components can be checked.
一局面ではこの発明は、ワークピースの表面をチェッ
クするためのセンサが、保護ハウジング内に置かれる引
込んだ位置と、チェックされるべきワークピースの表面
と係合するためにハウジングから突出した動作位置との
間で移動するために配置される度量衡器具を提供する。In one aspect, the invention provides a sensor for checking the surface of a workpiece in a retracted position placed within a protective housing, and a motion protruding from the housing to engage the surface of the workpiece to be checked. Provide a metrology instrument that is arranged to move to and from a position.
他の局面では、この発明は、連続する同じワークピー
ス上で測定を行なうために、予め定められた経路に沿っ
て、または予め定められた経路のまわりでセンサを繰返
し移動させるように動作可能である駆動手段を有する度
量衡器具を提供する。好ましい実施例では、器具が異な
る構成要素をチェックするために用いられ得るように各
々がそれぞれの異なる前記予め定められた経路を提供す
る、複数個の状態のうちのいずれかのものに機構を設定
するための手段が設けられる。In another aspect, the invention is operable to repeatedly move a sensor along or around a predetermined path to make measurements on the same workpiece in series. A metrology instrument having a drive means. In a preferred embodiment, the mechanism is set to any one of a plurality of states, each providing a respective different said predetermined path so that the instrument can be used to check different components. Means for doing so are provided.
この発明のさらなる局面は、単一スタートボタンの駆
動に応答して予め定められた測定サイクルを行ない、そ
れによって連続する類似のワークピース上で前記サイク
ルを繰返し行なうことを可能にするために動作可能であ
る器具を提供することである。A further aspect of the present invention is operable to perform a predetermined measurement cycle in response to actuation of a single start button, thereby allowing the cycle to be repeated on similar workpieces in series. Is to provide an instrument.
他の局面では、この発明はセットアップ命令および/
またはデータを入力するための第1の手段と、予め定め
られた測定サイクルを繰返し開始するための、前記第1
の手段から分かれた第2の手段とを有する器具を提供す
る。第2の手段は、好ましくは単一ボタンである。第1
の手段は好ましくは、器具から取り外し可能な端末装置
である。In another aspect, the invention provides a setup instruction and / or
Or a first means for entering data and the first means for repeatedly starting a predetermined measurement cycle.
And a second means separate from the means of. The second means is preferably a single button. First
The means is preferably a terminal device removable from the instrument.
さらなる局面では、この発明は、少なくとも大部分の
前記製造されたワークピース上で度量衡動作が行なわれ
る多数の同じワークピースを作るための方法を提供す
る。In a further aspect, the invention provides a method for making a number of identical workpieces on which metrology operations are performed on at least a majority of the manufactured workpieces.
この発明は、添付の図面を参照して例としてさらに述
べられる。The invention will be further described by way of example with reference to the accompanying drawings.
第1図を参照すると、器具は主ユニット500、端末装
置502およびプリンタ504を含む。Referring to FIG. 1, the device includes a main unit 500, a terminal device 502 and a printer 504.
ユニット500はハウジング506を含み、その上部6にワ
ークピース支持構造508が装着され、かつ測定道具510を
含む。構造508および道具510は、他の図面を参照して、
より詳細に述べられる。道具510は、ハウジング506の前
部壁面514、1対の側面隔壁516および横方向隔壁518間
に規定された仕切り512に置かれる。仕切り512に置かれ
たファン520は、ハウジング506を下方からその底部壁52
2内の孔を介して仕切り512内に大気を引き入れ、かつこ
の大気は道具510上を通過し、かつその端縁がハウジン
グ506の上部6の下方で間隔を置いた隔壁516の上方端縁
上に出るようにされる。電気および電子回路(第1図に
は図示せず)は、ハウジング506の後部に向かう仕切り5
24に置かれる。ファン520の作用により仕切り512を介し
て通過する大気は道具510を気温に維持し、かつそれら
が仕切り524からの暖かい大気により加熱されないよう
にする。この配置が器具の精度の安定において特に有利
であることがわかった、なぜなら述べられた大気移動が
迅速に器具を安定状態にすることがわかったからであ
る。この点について、道具510の温度の変化は、その熱
膨張または収縮を生じ得、これは不正確な測定を順にも
たらし得る。The unit 500 comprises a housing 506, on top of which a workpiece support structure 508 is mounted and a measuring tool 510. The structure 508 and tool 510 are
Described in more detail. The tool 510 is placed in a partition 512 defined between a front wall 514 of the housing 506, a pair of side bulkheads 516 and a lateral bulkhead 518. The fan 520, which is placed on the partition 512, moves the housing 506 from below to the bottom wall 52
Atmosphere is drawn into the partition 512 through a hole in 2 and this atmosphere passes over the tool 510 and its edge is on the upper edge of the partition 516 which is spaced below the upper part 6 of the housing 506. Will be sent to. The electrical and electronic circuitry (not shown in FIG. 1) has a partition 5 towards the rear of the housing 506.
Placed at 24. The atmosphere passing through the partition 512 by the action of the fan 520 maintains the tools 510 at ambient temperature and prevents them from being heated by the warm atmosphere from the partition 524. This arrangement has been found to be particularly advantageous in stabilizing the accuracy of the instrument, since the atmospheric transfer described has been found to quickly stabilize the instrument. In this regard, changes in the temperature of the tool 510 can cause its thermal expansion or contraction, which in turn can result in inaccurate measurements.
前向きディジタルディスプレイ526および528は、ハウ
ジング506の後部に向けて装着される。情報ディスプレ
イプレート530は、或る数字コードがディスプレイ526上
に表われることの重要性を示すようにディスプレイ526
の前部に位置決めされる。スイッチ532、534および536
は、それぞれ電源をオンにしかつオフにし、プリンタ50
4が測定動作の結果をプリントするようにそれを活性化
し、かつ測定動作を開始するために設けられる。Front facing digital displays 526 and 528 are mounted towards the rear of housing 506. The information display plate 530 displays the display 526 to show the importance of some numeric code appearing on the display 526.
Positioned in front of the. Switches 532, 534 and 536
Power on and off the printer 50 respectively
4 is provided for activating it to print the result of the measuring operation and for starting the measuring operation.
端末装置502は、キーボード538、ならびに図形および
本文を表示し得る液晶ディスプレイ540を含む。端末装
置502およびプリンタ504は各々、接続解除可能データケ
ーブル542によりユニット500に接続される。The terminal device 502 includes a keyboard 538 and a liquid crystal display 540 capable of displaying graphics and text. The terminal device 502 and the printer 504 are each connected to the unit 500 by a disconnectable data cable 542.
この発明の好ましい実施例の構造および動作の以下の
より詳細な説明は、器具が、レースの凹状トロイダル表
面を測定するために用いられるべきものであることを仮
定してなされる。The following more detailed description of the structure and operation of the preferred embodiment of the present invention is made assuming that the instrument is to be used to measure the concave toroidal surface of a race.
第2図を参照すると、レース2はその半径および形が
この発明の好ましい実施例による器具によりチェックさ
れるべきである凹状トロイダル表面4を有し、かつ大量
生産方法により製造されかつそのあらゆるものがチェッ
クされるべきである多数のこのようなレースのうちの1
個である。このチェックを行なうための度量衡器具は、
それが実質的に損傷の危険なく生産ラインに直接隣接し
た作業台(図示せず)上に位置決めされ得るように構成
され、かつチェックされるべき特定のレース2に特に適
する測定サイクルを高速度および高反復速度で行なうた
めに配置される。Referring to FIG. 2, the race 2 has a concave toroidal surface 4 whose radius and shape are to be checked by an instrument according to a preferred embodiment of the present invention, and which is manufactured by a mass production method and all of which are One of the many such races that should be checked
Individual. The metrology tool to perform this check is
It is configured so that it can be positioned on a work table (not shown) directly adjacent to the production line without substantial risk of damage, and has a measuring cycle of high speed and high speed which is particularly suitable for the particular race 2 to be checked. Deployed to perform at high repetition rates.
構造508は、レース2が支持される治具(第2図には
図示せず)を含む。スタイラス8(その先端のみが第2
図に可視的である)は、第2図における一点鎖線10で示
される閉鎖経路のまわりで、各測定サイクルにおいて1
回だけ移動されるように配置される。器具が動作してい
ないとき、スタイラス8はそれがハウジング内に引込む
位置12に置かれる。このとき、上部6に設けられた孔14
はシャッタ16により被覆され、かつしたがってスタイラ
スは不慮の損傷に対して十分に安全である。器具が活性
化されるとき、スタイラスは矢印15で示された方向に経
路10のまわりを移動するようにされる。このように、ま
ずスタイラスが位置12から位置18までワークピースから
離れた方向に一般に水平方向に移動され、かつそれから
それは開口14を介して位置20に垂直方向に移動され、シ
ャッタ16はその前に開口14から離れた位置まで移動され
ている。スタイラスはそれから、それがレース2の表面
と係合する位置22までワークピースに向けて一般に水平
方向に移動する。その後スタイラスは、先端が、チェッ
クされるべき表面と接触したままである間、再度下向き
に移動される。下向き移動の間、所要の測定がなされ得
るように、スタイラスに関連の変換器の出力が検出され
る。スタイラスが点24に到達すると、それはワークピー
ス表面から先端を解放するように、図面に見られるよう
に右向きに水平方向にわずかな距離だけ移動され、かつ
それから位置12に戻され、それによってサイクルを完了
する。点22と24との間のスタイラスの移動は、測定値を
とるのに適する速度で行なわれ、それは比較的遅い。他
の点の間、特定的に点18および20と点24および12との間
の移動は、全サイクルを行なうのにかかる時間を最少に
するために高速度で行なわれる。スタイラスが位置12に
戻されると、シャッタ16は開口14を被覆するように再度
移動される。The structure 508 includes a jig (not shown in FIG. 2) on which the race 2 is supported. Stylus 8 (only its tip is second
(Visible in the figure) is 1 in each measurement cycle, around the closed path indicated by the dashed line 10 in FIG.
Arranged to move only once. When the instrument is not in motion, the stylus 8 is placed in the position 12 where it retracts into the housing. At this time, the holes 14 provided in the upper portion 6
Is covered by the shutter 16 and thus the stylus is sufficiently safe against accidental damage. When the instrument is activated, the stylus is caused to move around path 10 in the direction indicated by arrow 15. Thus, the stylus is first moved horizontally, away from the workpiece, from position 12 to position 18, and then it is moved vertically through position 14 to position 20, with shutter 16 in front of it. It has been moved to a position away from the opening 14. The stylus then moves generally horizontally towards the work piece to position 22 where it engages the surface of race 2. The stylus is then moved downward again while the tip remains in contact with the surface to be checked. During the downward movement, the output of the transducer associated with the stylus is detected so that the required measurements can be made. When the stylus reaches point 24, it is moved horizontally a short distance to the right, as seen in the drawing, to release the tip from the workpiece surface, and then back into position 12, thereby completing the cycle. Complete. The movement of the stylus between points 22 and 24 is done at a speed suitable for taking measurements, which is relatively slow. The movement between the other points, in particular between points 18 and 20 and points 24 and 12, is done at high speed to minimize the time it takes to complete the entire cycle. When the stylus is returned to position 12, shutter 16 is moved again to cover aperture 14.
もし点18と20との間の移動の間、スタイラスが26また
は26aで示されるような障害物に出くわすならば、器具
はこれを感知し、かつスタイラスは図面の矢印29で示さ
れるように右に水平方向に、すわなちワークピース場所
から離れてまず移動するようにされ、かつそれから器具
のハウジング内に引込められかつ矢印30で示されるよう
に破線で示された経路28に沿って位置12に戻される。If during movement between points 18 and 20, the stylus encounters an obstacle such as 26 or 26a, the instrument senses this and the stylus will move to the right as indicated by arrow 29 in the drawing. Horizontally, i.e., first moved away from the workpiece location, and then retracted into the housing of the instrument and positioned along a path 28 indicated by dashed lines as indicated by arrow 30. Returned to 12.
第3図ないし第6図を参照すると、スタイラス8は誘
導性変換器32により保持され、それは管形エンクロージ
ャ38の両端部に置かれるベアリング36において摺動可能
な垂直方向に往復可能なロッド34の上方端部に装着さ
れ、管形エンクロージャ38は、変換器32を含みかつその
上部6が第2図に例示されるハウジング40内に固定され
る。ロッド34、かつそれゆえに変換器32の垂直往復運動
はレバー42により達成され、それはその中心44でハウジ
ング40に対して旋回され、かつ一端部でホーク46が変換
器支持構造50のグルーブ48において係合されかつその反
対側の端部で合釘52が、一定速度のモータ60により駆動
される垂直方向スピンドル58に固定されるカム56のスロ
ット54において係合される。スピンドル58が回転される
につれて、レバー42は第3図で示される位置から第4図
で示される位置まで振動し、位置18から位置20までスタ
イラスを移動させ、かつそれから位置22から位置12まで
スタイラスを移動させて戻すように、第3図で示された
位置まで振動して戻る。カムスロット54の形状は、第5
図で例示される。合釘52がカム54aの部分にあるとき、
スタイラスは位置12にある。合釘52がスロット54の急勾
配部分54bを下方に移動するようにカム56が回転する
時、スタイラス8は位置18から位置20まで迅速に移動さ
れる。スロット54の部分54cは、カム56が一定速度で回
転すると変換器がゆっくりとしかも一定速度で位置22か
ら位置24に向けて移動するように上向きに緩やかに傾斜
する。このように、この一定速度の移動の間、スタイラ
ス8はテスト中の表面を横切る。この横断を開始したす
ぐ後の予め定められた点で、シャフト58とともに回転す
るために固定されるディスク63a(特に第3図参照)に
おけるスリット(図示せず)を介して通過する光に応答
する光学感知ユニット61a(第6図)により、データロ
ギングを開始するための信号が発生される。変換器32が
位置24に到達すると、合釘52は部分54dに入り、それは
変換器32が、ワークピース表面から解放された後、位置
24から位置12まで迅速に移動されるように急勾配に高く
なる。第6図でわかるように、光学感知ユニット61は、
スタイラスが位置12に戻ると、すなわちスピンドル58の
1回転の後、スピンドル58に固定されたディスク63にお
いて形成されるスリット(図示せず)を検出し、モータ
60を消勢する。Referring to FIGS. 3-6, the stylus 8 is held by an inductive transducer 32, which is slidable in bearings 36 located at opposite ends of the tubular enclosure 38, of a vertically reciprocable rod 34. Mounted at the upper end, the tubular enclosure 38 contains the transducer 32 and its upper part 6 is fixed in the housing 40 illustrated in FIG. The vertical reciprocating movement of the rod 34, and thus of the transducer 32, is achieved by a lever 42, which is pivoted with respect to the housing 40 at its center 44, and at one end a hawk 46 engaged in a groove 48 in the transducer support structure 50. A dowel 52 is mated and at its opposite end engaged in a slot 54 of a cam 56 which is secured to a vertical spindle 58 driven by a constant speed motor 60. As the spindle 58 is rotated, the lever 42 oscillates from the position shown in FIG. 3 to the position shown in FIG. 4, moving the stylus from position 18 to position 20 and then from position 22 to position 12. To oscillate back to the position shown in FIG. The shape of the cam slot 54 is the fifth
Illustrated in the figure. When the dowel 52 is on the cam 54a,
The stylus is in position 12. The stylus 8 is rapidly moved from position 18 to position 20 as the cam 56 rotates so that the dowel 52 moves down the steep portion 54b of the slot 54. Portion 54c of slot 54 slopes gently upward so that the transducer moves slowly from position 22 to position 24 at constant speed as cam 56 rotates at constant speed. Thus, during this constant velocity movement, the stylus 8 crosses the surface under test. At a predetermined point shortly after starting this traversal, it responds to light passing through a slit (not shown) in a disc 63a (see in particular FIG. 3) which is fixed for rotation with the shaft 58. A signal for initiating data logging is generated by the optical sensing unit 61a (Fig. 6). When the transducer 32 reaches position 24, the dowel 52 enters the portion 54d, which is located after the transducer 32 is released from the workpiece surface.
Go up steeply to move quickly from 24 to position 12. As can be seen in FIG. 6, the optical sensing unit 61 is
When the stylus returns to position 12, ie, after one revolution of the spindle 58, the slit (not shown) formed in the disk 63 fixed to the spindle 58 is detected and the motor
Turn off 60.
変換器32は、その一般に水平方向の移動を可能にする
平行なリンク仕掛けにより構造50上に保持され、それに
よってスタイラスが位置12から位置18まで、かつ位置20
から位置22まで搬送される。平行リンク仕掛けは、一般
に垂直方向に延び、かつその上方端部が変換器32に枢軸
的に接続されかつその下方端部が構造50に枢軸的に接続
されるリンク62を含む。その下方端部が構造50に固定さ
れかつその上方端部が変換器32と係合する垂直方向に延
びる板ばね64は、第3図および第4図で見られるように
変換器32を左に付勢する。ばねの力はねじ66により調整
可能であり、かつこの配置により変換器32は、スタイラ
ス22がテスト中の表面を横切る間、その最も左の位置に
維持される。The transducer 32 is held on the structure 50 by parallel linking arrangements that allow its generally horizontal movement, which causes the stylus to move from position 12 to position 18 and position 20.
To be transported to position 22. The parallel link arrangement includes a link 62 extending generally vertically and having its upper end pivotally connected to the transducer 32 and its lower end pivotally connected to the structure 50. A vertically extending leaf spring 64 having its lower end secured to the structure 50 and its upper end engaging the transducer 32 causes the transducer 32 to move to the left as seen in FIGS. 3 and 4. Energize. The spring force is adjustable by screws 66, and this arrangement keeps the transducer 32 in its leftmost position while the stylus 22 traverses the surface under test.
スタイラスが位置12から位置18まで移動するような、
変換器32の右への移動はカム70により達成され、それは
スピンドル58に固定され、かつ一方の端部72aでハウジ
ング40に対して旋回されかつその他方の端部でカム70と
係合するローラ74、および変換器32と係合する低摩擦突
出部76を保持するレバー72を介して変換器32に作用す
る。このように、スピンドル58が、ロッド34の上向き移
動を開始するようにモータ60により回転されると、カム
70もまた変換器32を右に移動させるように回転する。位
置12から位置18までのスタイラスの移動は第2図で水平
方向に示されるが、それは第3図ないし第5図で例示さ
れる機構での上向きの成分を含むことが認められる。ス
タイラスが位置20に到達すると、カム70の表面部分70a
はローラ74に至り、こうして変換器32が左に移動し得
る。As the stylus moves from position 12 to position 18,
Movement of the transducer 32 to the right is accomplished by a cam 70, which is fixed to a spindle 58 and which is pivoted relative to the housing 40 at one end 72a and engages the cam 70 at the other end. Acts on the converter 32 via a lever 72 which holds 74 and a low friction protrusion 76 which engages the converter 32. Thus, when the spindle 58 is rotated by the motor 60 to start the upward movement of the rod 34, the cam
70 also rotates to move transducer 32 to the right. The movement of the stylus from position 12 to position 18 is shown horizontally in FIG. 2, but it is recognized that it includes an upward component in the mechanism illustrated in FIGS. 3-5. When the stylus reaches position 20, the surface portion 70a of the cam 70
Reaches the roller 74 and thus the transducer 32 can be moved to the left.
もし位置18から位置20までの上向き移動の間、スタイ
ラス8が、第2図で例示される26のような障害物に出く
わすならば、変換器32は右に偏向される。これは、スタ
イラス8の上方端部に面取りした表面8aを設けることに
より助けられる。平行リンク仕掛け62は、この移動を与
えるように構成される。このように右に移動すると、変
換器32により保持されるプレート79は、モータ60を逆転
させるように用いられる信号を発生する光学感知ユニッ
ト81内に移動し、そのためスタイラスはその保護ハウジ
ング40内に即座に引き戻され、こうしてこのような障害
物による損傷の危険を最少にする。If the stylus 8 encounters an obstacle, such as 26 illustrated in FIG. 2, during the upward movement from position 18 to position 20, the transducer 32 is deflected to the right. This is aided by providing a chamfered surface 8a at the upper end of the stylus 8. Parallel link device 62 is configured to provide this movement. Thus moving to the right, the plate 79 held by the transducer 32 moves into the optical sensing unit 81 which produces a signal used to reverse the motor 60, so that the stylus is in its protective housing 40. It is pulled back immediately, thus minimizing the risk of damage from such obstacles.
第3図、第7図および第8図で最良に見られるよう
に、シャッタ16はスピンドル80の一端部に固定され、そ
れは開口14が開放される位置までシャッタ16を偏らせる
ねじればね82により包囲される。スピンドル80の下方端
部は、レバー84を保持し、これはその上にローラー86を
有し、これはスピンドル58に固定されたカム88によりそ
の上で係合される。カム88の盛りあがった部分88aはそ
の上に位置決めされ、そのためそれはスピンドル58が、
変換器32が十分に下げられかつスタイラス8が従ってハ
ウジング40内に引込められる位置にあるとき、ローラ86
と係合する。測定サイクルの初めにスピンドル58が回転
すると、カム88の部分88aはローラ86から離れて移動
し、それによってねじればね82が第7図および第8図の
破線で示されるその開放位置までシャッタを移動させ、
その位置でそれはストップ90と係合する。位置24におい
てワークピース表面と接触しないスタイラス8の移動
は、第6図、第9図および第10図で最良に見られる通常
静止したカム94と係合する変換器32により保持された低
摩擦フォロワ92(第6図)により達成される。カム94
は、フォロワ92がステップを上ると、変換器32が右に移
動され、そのためスタイラス8がワークピース表面と接
触しなくなるように移動し、かつスタイラス8が位置24
から位置12まで移動するにつれてフォロワ92とカム94と
の間の協働がスタイラス8をワークピース表面と接触し
ないままで維持するように配置されたステップ94aを含
む。位置24の垂直方向の場所は、第9図および第10図で
見られ得るようにカム94をその横軸のまわりで回転させ
ることにより調節可能である。一旦カム94の位置が測定
されるべきワークピースに依存して設定されると、それ
はすべての同じワークピースを測定するために設定位置
に残る。しかしながら、もしたとえば異なる大きさのワ
ークピースがチェックされるべきであるならば、カム94
は、表面の所要部分が測定された後スタイラスがワーク
ピース表面から引込められるように、位置24の垂直方向
の場所を調整するように新たな位置まで回転されてもよ
い。変換器のこの右方向移動は、プレートまたはブレー
ド79の突出部分79aを検出する光学検出器81aにより検出
される。As best seen in FIGS. 3, 7 and 8, the shutter 16 is fixed to one end of a spindle 80, which is surrounded by a twist ledge 82 which biases the shutter 16 to the position where the opening 14 is opened. To be done. The lower end of the spindle 80 carries a lever 84, which has a roller 86 thereon, which is engaged thereon by a cam 88 fixed to the spindle 58. The raised portion 88a of the cam 88 is positioned above it so that the spindle 58
When the transducer 32 is fully lowered and the stylus 8 is in a position to be retracted within the housing 40, the rollers 86
Engage with. As the spindle 58 rotates at the beginning of the measurement cycle, the portion 88a of the cam 88 moves away from the roller 86, causing the twisting rod 82 to move the shutter to its open position, which is indicated by the dashed lines in FIGS. 7 and 8. Let
In that position it engages the stop 90. The movement of the stylus 8 at position 24 without contact with the workpiece surface results in a low friction follower held by the transducer 32 which engages a normally stationary cam 94 best seen in FIGS. 6, 9 and 10. This is achieved by 92 (Fig. 6). Cam 94
As the follower 92 steps up, the transducer 32 is moved to the right so that the stylus 8 is no longer in contact with the workpiece surface and the stylus 8 is in position 24.
From position 12 to position 12, the cooperation between follower 92 and cam 94 includes a step 94a arranged to keep stylus 8 out of contact with the workpiece surface. The vertical location of position 24 is adjustable by rotating the cam 94 about its transverse axis, as can be seen in FIGS. 9 and 10. Once the position of the cam 94 is set depending on the workpiece to be measured, it remains in the set position for measuring all the same workpieces. However, if different sized workpieces are to be checked, the cam 94
The may be rotated to a new position to adjust the vertical location of position 24 so that the stylus is retracted from the workpiece surface after the required portion of the surface has been measured. This rightward movement of the transducer is detected by an optical detector 81a which detects the protruding portion 79a of the plate or blade 79.
異なるワークピースを適応させかつチェックされるべ
きワークピースに従ってカム94の位置を設定するため
に、器具には、各々が特定のワークピースのために設計
された多くの異なる治具またはアダプタが設けられる。
1個のこのような治具は、第7図、第10図および第11図
において100で示される。各治具100は所要の位置に治具
を正確に置くためにハウジング40の上部6に固定された
それぞれのピン106を受取る孔102およびスロット104を
備えて形成され、かつ回転可能固定装置108(詳細には
図示されずかつ述べられない)は治具を上部6に固定す
るために設けられる。各治具は、スタイラス8がハウジ
ング40から突き出すときそこを通過するであろう、治具
の開口112に関して、予め定められた大きさのワークピ
ースを正確に位置決めする寸法でありかつ形状の位置決
めせり持受け110を有する。ばね荷重レバー114は、ワー
クピース2をせり持受け110と係合して所定位置に保持
するために設けられる。各治具は下向き突出ピン116を
有し、それは治具により支持されるべきワークピースの
寸法に従ってカム94の回転位置を設定するためのもので
ある。ピン116はねじ山(図示せず)により治具100内に
固定され、それによってその垂直位置はワークピースの
特定の大きさに対して治具をセットアップするとき調節
され得る。第10図で示されるようにピン116はプランジ
ャ118と係合し、それは上部6により支持されたスリー
ブ119において摺動可能であり、かつその下方端部はカ
ム94が装着されるシャフト122に固定されたレバー120と
係合する。第10図で見られるように、逆時計回りにシャ
フト122を偏らせるためにばねバイアス手段(図示せ
ず)が設けられる。To accommodate different workpieces and set the position of the cam 94 according to the workpieces to be checked, the instrument is provided with many different jigs or adapters, each designed for a particular workpiece. .
One such jig is shown at 100 in FIGS. 7, 10 and 11. Each jig 100 is formed with a hole 102 and a slot 104 for receiving a respective pin 106 fixed to the upper portion 6 of the housing 40 for accurately placing the jig in the required position, and a rotatable locking device 108 ( (Not shown in detail and not mentioned) are provided for fixing the jig to the upper part 6. Each jig is sized and shaped to accurately position a workpiece of a predetermined size with respect to the jig opening 112 that the stylus 8 will pass through when protruding from the housing 40. It has a carrying 110. The spring loaded lever 114 is provided to engage the work piece 2 with the barb 110 and hold it in place. Each jig has a downwardly projecting pin 116 for setting the rotational position of the cam 94 according to the dimensions of the workpiece to be supported by the jig. The pin 116 is secured within the jig 100 by threads (not shown) so that its vertical position can be adjusted when setting up the jig for a particular size of workpiece. As shown in FIG. 10, a pin 116 engages a plunger 118 which is slidable in a sleeve 119 carried by the upper part 6 and whose lower end is fixed to a shaft 122 on which a cam 94 is mounted. Engage the lever 120 that has been removed. As seen in FIG. 10, spring biasing means (not shown) are provided to bias the shaft 122 counterclockwise.
第13図および第14図は、器具を較正するために用いら
れる治具130を示す。それは、次のことを除き、治具100
と同じである、すなわちそれはせり持受け110およびレ
バー114を含まず代わりに正確に位置決めされた凹所134
内に置かれかつ治具130の上部のブロック138に固定され
た板ばね136により所定位置に保持された高精密ボール
ベアリングのような高精密ボール132が設けられる。治
具130はエレメント140が設けられ、それは、治具130が
その上に装着されるとき器具を較正モードに設定するた
めにハウジング40の上部6の下側に置かれたマイクロス
イッチ142に作用する。したがって、較正は必要なだけ
頻繁に、容易になしとげられるだろう。13 and 14 show the jig 130 used to calibrate the instrument. It is a fixture 100, except for the following:
Same as that of the invention, i.e. it does not include the barb 110 and lever 114 but instead is a precisely positioned recess 134.
A high precision ball 132, such as a high precision ball bearing, is provided and held in place by a leaf spring 136 secured within a block 138 above the jig 130. The jig 130 is provided with an element 140, which acts on a microswitch 142 placed on the underside of the top 6 of the housing 40 to set the instrument in the calibration mode when the jig 130 is mounted thereon. . Therefore, calibration will be easily accomplished as often as necessary.
第15図を参照すると、主ユニット500はマイクロプロ
セッサ600を含み、それは関連のメモリ602が設けられ、
かつ端末装置502およびプリンタ506がケーブル542によ
りそれに接続される。インタフェイスボード604は、測
定ボタン536およびプリントボタン534、較正マイクロス
イッチ142、ならびに光学感知ユニット81、61a、81a、6
1によりそれぞれ発生された信号に応答して、障害物を
示し、データロギングを開始し、データロギングを停止
し、かつモータ60を停止するためにプロセッサ600に制
御信号を与える。インタフェイスボード604はマイクロ
プロセッサ600の制御の下で、ディジタルディスプレイ5
26および528にも信号を与える。Referring to FIG. 15, the main unit 500 includes a microprocessor 600, which is provided with an associated memory 602,
And the terminal device 502 and the printer 506 are connected to it by a cable 542. The interface board 604 includes a measurement button 536 and a print button 534, a calibration microswitch 142, and optical sensing units 81, 61a, 81a, 6
Responsive to the signals respectively generated by 1 to indicate an obstacle, start data logging, stop data logging and provide control signals to processor 600 to stop motor 60. The interface board 604, under the control of the microprocessor 600, has a digital display 5
Also signal 26 and 528.
ゲージボード606は変換器32からのアナログ出力信号
を受取り、かつマイクロプロセッサ600に与えるために
これをディジタル形態に変換する。変換器32の出力は、
それがワークピース表面を横切るにつれて変換器32の等
間隔を置いた位置で読出される。これは位置検出配置に
より達成され、それは変換器32の位置を検出し、かつ一
方が変換器32とともに移動しかつ他方が固定される、光
学格子608および光学読出ヘッド610を含む。格子608
は、光源612により照らされる。Gauge board 606 receives the analog output signal from transducer 32 and converts it to digital form for application to microprocessor 600. The output of the converter 32 is
It is read at evenly spaced positions on the transducer 32 as it traverses the workpiece surface. This is accomplished by a position sensing arrangement that includes an optical grating 608 and an optical read head 610 that detects the position of the transducer 32 and one moves with the transducer 32 and the other is fixed. Lattice 608
Is illuminated by a light source 612.
コンピュータ600は、端末装置502が接続されるとき、
器具が端末装置502から制御されかつ測定ボタン536また
はプリントボタン534からのいかなる信号も無視される
ようにプログラミングされる。端末装置502が接続解除
されると、器具は測定ボタン536およびプリントボタン5
34により制御され、測定ボタン536の駆動によりプロセ
ッサ600は測定サイクルを実行するようにされ、そこで
変換器が第2図で例示される無限経路のまわりで移動さ
れ、変換器からのデータがロギングされ、かつそのデー
タ上で測定が行なわれる。これはこの発明の好ましい実
施例の重要な局面である、なぜなら端末装置502を用い
て、熟練オペレータにより器具がセットアップされ得
て、かつセットアップの後、比較的未熟なオペレータが
単にワークピースを治具内に配置しかつ測定ボタン536
を駆動することにより連続するワークピース上で測定を
実行し得るからである。When the terminal device 502 is connected to the computer 600,
The instrument is programmed to be controlled from the terminal device 502 and ignore any signal from the measure button 536 or print button 534. When the terminal device 502 is disconnected, the device will measure button 536 and print button 5
Controlled by 34, actuation of measurement button 536 causes processor 600 to perform a measurement cycle, where the transducer is moved around an infinite path illustrated in FIG. 2 and data from the transducer is logged. , And measurements are made on that data. This is an important aspect of the preferred embodiment of the present invention, because with the terminal 502 the tool can be set up by a skilled operator, and after set up, a relatively untrained operator simply jigs the workpiece. Place inside and measure button 536
The measurement can be performed on successive workpieces by driving the.
端末装置502がプロセッサ600に接続されると、ディス
プレイ540上に表示されたメニューの援助で種々のプロ
グラムが入れられ得る。好ましい主メニューの例は以下
のとおりである。When the terminal device 502 is connected to the processor 600, various programs can be entered with the aid of the menu displayed on the display 540. An example of a preferred main menu is as follows.
1.測定/較正 2.結果 3.セットアップ 4.入力パラメータ 5.プリントプロファイル 6.プリントサマリ 連続する同じワークピースとともに用いるために器具
をセットアップするために、スタイラス8が測定サイク
ルにおいてワークピースの表面と接触しないで移動され
る位置24の場所を規定するように、第1に適当な治具10
0を選択しかつ第2にピン116の位置を調整することが必
要である。このように、治具を選択した後、これは器具
上に装着され、かつそれからテストされるべき大量生産
されたワークピース(レース2)の実例が治具に装着さ
れる。品目3が主メニューから選択され、かつこれによ
りプログラムが入れられ、そこで粗のスケール620およ
び精のスケール622が移動可能ポインタ624および626と
ともに液晶ディスプレイ540上に表示され、それらは粗
のスケール620および精のスケール622にそれぞれ関連
し、かつスタイラス22の偏向をミリメータで可視的に表
示し、この偏向はプロセッサ600により、誘導性変換器
により発生された信号の大きさから得られる。粗のスケ
ール620は正および負の方向の零点からの偏向を示し、
かつ0.1mmを表わす目盛を含む。精のスケール622は、0.
01mmの偏向を表わす目盛を含む。手動駆動ボタン628
(第15図)は、器具をセットアップする熟練オペレータ
の制御の下で、プロセッサ600がモータをオンにするか
またはオフにするために設けられる。このボタン628は
好ましくは器具上の、大量生産されたワークピース上で
テストを行なう比較的未熟なオペレータには容易にアク
セス可能ではないような位置に置かれる。ボタン628を
用い、かつポインタ624および626の移動に注目すると、
器具をセットアップするオペレータにより変換器は第2
図で示される無限経路のまわりで移動するようにされ得
て、かつポインタにより、オペレータは、スタイラスが
凹状部分を含むワークピース表面を横切るにつれて、か
つ変換器が位置24において離れて移動されるにつれてス
タイラスの偏向を観測し得る。好ましくは、位置24はレ
ース2の凹状部分の端部の下方からほんのわずかな距離
に置かれ、かつこうしてボタン628ならびにスケール620
および622の援助で、突出部116の位置は凹状表面の端部
の下方からほんのわずかの距離に位置24に所要の場所を
設けるように調整される。このように、停止データログ
信号は不必要な遅延なくユニット81aにより発生され
て、そのためプロセッサ600はいかなる不必要な遅延も
なしに集められたデータ上の所要の計算を実行し始め、
これらの計算はユニット81aからの信号に応答して始ま
る。器具の動作速度は、高められてもよい。1. Measurement / Calibration 2. Results 3. Setup 4. Input Parameters 5. Print Profile 6. Print Summary In order to set up the instrument for use with the same work piece in series, the stylus 8 makes contact with the work piece surface during the measurement cycle. First, a suitable jig 10 to define the location of position 24 to be moved without contact.
It is necessary to select 0 and secondly adjust the position of the pin 116. Thus, after selecting the jig, it is mounted on the fixture and then an example of a mass-produced workpiece (race 2) to be tested is mounted on the jig. Item 3 is selected from the main menu and is thereby entered into a program where coarse scale 620 and fine scale 622 are displayed on liquid crystal display 540 along with moveable pointers 624 and 626, which are coarse scale 620 and Each is associated with a fine scale 622 and visually displays the deflection of the stylus 22 in millimeters, which deflection is obtained by the processor 600 from the magnitude of the signal generated by the inductive transducer. The coarse scale 620 shows the deviation from zero in the positive and negative directions,
And includes a scale that represents 0.1 mm. The scale 622 of the spirit is 0.
Includes a scale that represents a 01 mm deflection. Manual drive button 628
(FIG. 15) is provided for processor 600 to turn the motor on or off, under the control of a skilled operator setting up the instrument. This button 628 is preferably located on the instrument such that it is not readily accessible to a relatively untrained operator performing tests on mass-produced workpieces. Using button 628 and noting the movement of pointers 624 and 626,
The transducer is set up by the operator to set up the instrument.
It can be made to move around the infinite path shown and the pointer allows the operator to move as the stylus crosses the workpiece surface containing the concave portion and as the transducer is moved away at position 24. The stylus deflection can be observed. Preferably, position 24 is located only a short distance below the end of the concave portion of race 2 and thus button 628 and scale 620.
And with the aid of 622, the position of the protrusion 116 is adjusted to provide the required location at position 24 only a short distance below the end of the concave surface. Thus, the stall datalog signal is generated by unit 81a without unnecessary delay so that processor 600 begins performing the required calculations on the collected data without any unnecessary delay,
These calculations begin in response to the signal from unit 81a. The speed of movement of the instrument may be increased.
器具を用いる前に、或るパラメータを入力することも
また必要である。これは主メニューから品目4を選択す
ることにより達成され、それに応答して入力パラメータ
表が表示される。この好ましい例は以下のとおりであ
る。It is also necessary to enter certain parameters before using the instrument. This is accomplished by selecting item 4 from the main menu and in response the input parameter table is displayed. A preferred example of this is as follows.
1.ユニット(メトリック/インペリアル) 2.百分率無視(0…30) 3.スタイラス先端半径(5ないし99ミクロン) 4.プリントフォーマット(プロファイル/サマリ) この表を用いて、オペレータは測定がなされるべきで
あるユニットをまず入れる。次に、オペレーターはいわ
ゆる「長さ無視」(IGNORE LENGTH)を入れる。これは
第19図から理解され、それは測定される凹状プロファイ
ルの開始および終了に長さ無視を示す。このように、行
なわれる計算においてプロファイル長の30%までが無視
されてもよい。選択された特定の数字は、チェックされ
るべきワークピースに依存する。第19図はまた、位置24
を、かつワークピース表面を残した離れたスタイラス先
端の経路を破線で示す。1. Unit (Metric / Imperial) 2. Percentage ignored (0 ... 30) 3. Stylus tip radius (5 to 99 microns) 4. Print format (Profile / Summary) Using this table, the operator should make a measurement First, insert the unit. Next, the operator enters the so-called "ignore length" (IGNORE LENGTH). This can be seen from Figure 19, which shows length neglect at the beginning and end of the concave profile being measured. Thus, up to 30% of the profile length may be ignored in the calculations performed. The particular number selected depends on the workpiece to be checked. FIG. 19 also shows position 24
And the path of the remote stylus tip leaving the workpiece surface is shown by the dashed line.
その後スタイラス先端の半径が入れられ、かつそれか
ら所要のプリントフォーマット、すなわちプロファイル
のトレースは所要であるかどうか、または半径およびピ
ーク−低点測定(P-V)の単なる数字のプリントが必要
であるかどうかが入れられる。Then the radius of the stylus tip is entered and then whether the required print format, i.e. the trace of the profile, is required, or whether a simple numerical print of the radius and peak-to-low point measurement (PV) is required. Can be put in.
上記のように器具がセットアップされた後、それが用
いられる前にそれを較正する必要がある。較正は実際、
たとえセットアップが変えられなくてもたとえば一日に
1回規則的に行なわれるべきである。器具を較正するた
めに、較正ボールを有する較正治具(第14図)が器具に
装着される。較正はそれから、(もし端末装置が接続さ
れるならば)主メニューから品目1を選択することによ
り、または測定ボタン536を単に押すことにより行なっ
てもよい。第18図は較正する際に横切られるボール表面
の部分を例示し、ボール表面を離れた後のスタイラス先
端の経路が破線で示される。器具は較正ボール132の半
径および形態を用いて予めプログラミングされ、かつこ
うしてこれから、かつ較正サイクルで得られたデータか
ら、器具は較正を行なうように所要の計算を行なう。こ
れらは周知の態様で行なわれてもよく、かつしたがって
さらなる説明を必要としない。After the instrument is set up as described above, it needs to be calibrated before it can be used. The calibration is actually
Even if the set-up cannot be changed, it should be done regularly, for example once a day. To calibrate the instrument, a calibration jig (FIG. 14) with calibration balls is attached to the instrument. The calibration may then be performed by selecting item 1 from the main menu (if the terminal is connected) or by simply pressing the measure button 536. FIG. 18 illustrates the portion of the ball surface that is traversed during calibration and the path of the stylus tip after leaving the ball surface is shown in dashed lines. The instrument is pre-programmed with the radius and configuration of the calibration ball 132, and thus from this, and from the data obtained in the calibration cycle, the instrument makes the necessary calculations to perform the calibration. These may be done in well-known fashion and thus require no further explanation.
主メニューからの品目2は器具にストアされた過去の
結果の表示を可能にし、かつ品目5および6は入力パラ
メータ4からいずれが選択されても、プロファイルをプ
リントするかまたはサマリをプリントするための命令を
与える。Item 2 from the main menu allows for the display of past results stored in the instrument, and items 5 and 6 are for printing a profile or a summary no matter which input parameter 4 is selected. Give orders.
端末装置が接続されて測定が行なわれる場合、結果は
第17図で示された形態でディスプレイ540上に表示さ
れ、そこでは横の直線630が表面の半径を表わし、トレ
ース632が形態エラーを表わし、かつ半径およびP-V測定
値は図示されたディスプレイの上部に表示される。さら
に、端末装置502が接続されるかどうかにかかわらず、
半径はディスプレイ526に表示され、かつP-Vはディスプ
レイ528に表示される。When the terminal is connected and a measurement is made, the results are displayed on the display 540 in the configuration shown in Figure 17, where the horizontal straight line 630 represents the radius of the surface and the trace 632 represents the morphological error. , And the radius and PV measurements are displayed at the top of the illustrated display. Furthermore, whether or not the terminal device 502 is connected,
The radius is displayed on display 526 and the PV is displayed on display 528.
上記の説明から、一旦器具がセットアップされかつ較
正されると、それが、今まで達成されなかった効率で連
続する同じワークピースをチェックするのに用いられて
もよいことが理解される。特に、比較的未熟なオペレー
タは、単に各ワークピースを治具内に配置し、かつ測定
ボタンを駆動しなければならないだけである。測定ボタ
ンの駆動は、測定サイクルの開始を引き起こし、これは
始めの急な突出、データロギングに適する速度への速度
変化、データロギングの目的のためのワークピースの横
断、その移動がコンピュータ内でデータ計算プログラム
を開始する、ワークピース表面から離れる上昇、および
保護ハウジング内のその静止点へのその後の急な引込み
を有するその無限経路のまわりでのスタイラスの移動を
含む。ロギングされたデータ上で行なわれる計算に続
き、コンピュータは2個のディジタルディスプレイ526
および528上に半径およびP-Vの値を表示し、そこからオ
ペレータはワークピースが受入れ可能であるかどうかを
知ることができる。測定サイクルにおいてコンピュータ
が従うべき好ましいルーチンは以下のとおりである。From the above description, it is understood that once the instrument has been set up and calibrated, it may be used to check the same workpiece in succession with efficiencies not previously achieved. In particular, relatively unskilled operators simply have to place each workpiece in the jig and actuate the measurement button. The actuation of the measuring button causes the start of the measuring cycle, which causes a sudden protrusion at the beginning, a speed change to a speed suitable for data logging, a crossing of the workpiece for the purpose of data logging, its movement in the computer. Including a stylus movement about its infinite path with the computation program initiating, rising away from the workpiece surface and subsequent abrupt retraction to its rest point in the protective housing. Following the calculations performed on the logged data, the computer has two digital displays 526
Radius and PV values are displayed on and 528 from which the operator can know if the workpiece is acceptable. The preferred routine that the computer should follow in the measurement cycle is as follows.
1.データログ 2.フィルタデータ 3.プロファイル長を決定するように湾曲表面の端縁を検
出 4.もし較正するならば、較正定数を計算 5.弧状補償の計算 6.プロファイル長の80%を利用して、半径を計算 7.得られた結果から半径を減算 8.長さ無視を考慮に入れてピーク−低点を計算 9.結果を表示 このすべては、1分あたりいくつかのワークピースが
チェックされ得るように、わずか数秒間しかかからない
サイクル内で行なわれるだろう。レースの測定に応用さ
れたこの発明の好ましい実施例では、1分あたり4個の
ワークピースのスループットが達成され得る。1. Datalog 2. Filter data 3. Detect edges of curved surface to determine profile length 4. Calculate calibration constant if calibrated 5. Calculate arc compensation 6. 80% of profile length Utilize to calculate radius 7. Subtract radius from obtained result 8. Calculate peak-low point taking into account length ignoring 9. Show result This is all a few workpieces per minute Will be done in a cycle that only takes a few seconds so that can be checked. In a preferred embodiment of the present invention applied to race measurement, a throughput of 4 workpieces per minute can be achieved.
器具が、異なる時間に異なる状態になることが上の説
明から認められる。好ましくは、器具が任意の所与の時
間にある状態は、ディジタルディスプレイ526上に表示
された数字コードで示される。かつ好ましくは、コード
は表示プレート530上に示される。適当なコードの例は
以下のとおりである。It will be appreciated from the above description that the device will be in different states at different times. Preferably, the status of the instrument at any given time is indicated by the numeric code displayed on digital display 526. And preferably, the code is shown on the display plate 530. An example of suitable code is:
1.レディ状態。この状態では、器具は待機モードであ
る。1. Ready state. In this state, the instrument is in standby mode.
2.測定状態。治具100が設けられ、かつ測定ボタンまた
は端末装置からの命令に応答して測定サイクルが実行さ
れているとき、器具はこの状態にある。2. Measurement status. The fixture is in this state when the fixture 100 is provided and a measurement cycle is being performed in response to a measurement button or command from the terminal.
3.較正。これは2であるが、較正治具は器具内の所定位
置にある。3. Calibration. This is 2, but the calibration jig is in place in the instrument.
4.プリント。これは自明である。4. Print. This is self-evident.
5.端末装置使用中。これは自明である。5. The terminal is in use. This is self-evident.
6.エラー。発生する特定のエラーは好ましくは、以下の
ようは付加的ディジットで示される、すなわち 001 較正されていない 002 手動スイッチ628使用中 003 障害物 004 振切れ状態 005 プロファイルの端縁が検出されていない 006 プリンタが準備されていない で示される。6. Error. The specific error that occurs is preferably indicated by an additional digit as follows: 001 Not calibrated 002 Manual switch 628 In use 003 Obstacle 004 Out-of-state 005 Profile edge not detected 006 The printer is not ready.
ディジタルディスプレイに隣接した機械の上部にこの
ステータスコードの表示を設けることにより、機械の効
率および比較的未熟なオペレータによる利用に対するそ
の適性が高められる。Providing this status code indication on the top of the machine adjacent to the digital display enhances the efficiency of the machine and its suitability for use by relatively untrained operators.
第20図は、異なる大きさのレースをとるために調整さ
れてもよい治具の変更された形態を例示する。第20図で
は、エレメント110は、エレメント110内のスロット704
を介して通過するねじ切りされたシャンク(図示せず)
を有するノブ702を緩めることにより矢印700の方向に調
整可能である。さらに、レバー114はブロック706上に装
着され、それは矢印708の方向に摺動可能であり、かつ
図示されていない手段により選択された位置に締め付け
られ得る。このように、プレート110およびブロック706
の位置を調整することにより、異なる大きさのレースは
スタイラス8が測定サイクルの間従う無限経路に関して
適応され、かつ正確に置かれ得る。多くの変更は、この
発明の範囲内でなされてもよい。たとえば、もし器具が
唯一の特定の形式のワークピースとともに用いられるべ
きであるならば、交換可能な治具は設けられる必要はな
く、かつ器具はスタイラスが1個の予め定められた経路
に単に従うことが可能であるように配置され得る。スタ
イラスの引込んだ位置が、ワークピースの装着された治
具または支持の下方であるべきことがかなり好ましい
が、代わりに、変換器および関連の機構ならびに保護ハ
ウジングが、テスト中のワークピースの装着される場所
の一方の側に位置決めされ得るように配置することが可
能であり、この場合スタイラスの突出および引込み移動
は垂直ではなく水平になり得る。さらなる代替のものと
して、この機構および保護ハウジングはワークピース場
所の上方に設けられてもよい。しかしながら、ワークピ
ースが保護ハウジングの上方に位置決めされ、かつテス
ト中のワークピース表面が保護ハウジングから離れて延
びる、図面で示された配置は、器具上のワークピースの
位置決めおよびテスト後の器具からその除去に最高の便
利さおよび効率の良さを与えることが一般に考えられ
る。単一モータにより駆動される単一スピンドル上に多
くのカムが装着された、図示されたカム配置が、スタイ
ラスの主たる移動をもたらすための有利な機構を提供
し、かつこのように効率の良い、丈夫なかつ比較的低い
価格の器具が提供され得ることが認められる。カムは種
々の移動のタイミングを与え、かつそれらは互いに関し
て固定され、かつ実際ともに直接に固定されてもよいの
で、カムにより生じられる移動の同期が失われ得ない。
変換器からの信号の受取りおよび処理の開始は、様々な
異なる方法、たとえばワークピースの凹状部分4の端縁
を感知することにより、スタイラスとワークピースとの
間の接触を感知することにより、スピンドル58の特定の
角位置を感知することにより、または任意の他の適当な
態様で行なわれてもよい。スタイラスは測定動作と測定
動作との間にはハウジング内に引込められるので、スタ
イラスまたは変換器に対する損傷の危険は実質的になく
なる。連続する同じワークピースの各々を測定するため
に変換器がこの経路に従うように器具がセットアップさ
れるので、かつ変換器の移動が、突き出されかつ引込め
られるとき高速度であり、かつワークピースと接触する
とき、測定に適する比較的低い速度であるので、最高の
効率で、しかも生産の流れを阻止することなく測定が完
了され得る。さらに、装置が多くの異なるワークピース
とともに用いられるべきである場合、交換可能治具はこ
のような代わりのワークピースを処理するために器具を
再設定するための簡単でかつ効率の良い手段を設ける。FIG. 20 illustrates a modified version of the jig that may be adjusted to race different sizes. In FIG. 20, element 110 has slot 704 within element 110.
Threaded shank (not shown) passing through
It can be adjusted in the direction of the arrow 700 by loosening the knob 702 having. Further, the lever 114 is mounted on the block 706, which is slidable in the direction of arrow 708 and can be clamped in a selected position by means not shown. Thus, plate 110 and block 706
By adjusting the position of, different sized races can be adapted and accurately positioned with respect to the infinite path that the stylus 8 follows during the measurement cycle. Many modifications may be made within the scope of the invention. For example, if the tool is to be used with only one particular type of workpiece, then a replaceable jig need not be provided, and the tool simply follows one predetermined path with the stylus. Can be arranged as is possible. It is highly preferred that the retracted position of the stylus should be below the fixture or support on which the work piece is mounted, but instead the transducer and associated features and protective housing should allow the work piece to be mounted during testing. It can be positioned so that it can be positioned on one side of the place where the stylus protrusion and retraction movement can be horizontal rather than vertical. As a further alternative, the mechanism and protective housing may be provided above the workpiece location. However, the arrangement shown in the drawings, in which the workpiece is positioned above the protective housing and the surface of the workpiece under test extends away from the protective housing, is the positioning of the workpiece on the instrument and its removal from the instrument after testing. It is generally considered to give the removal the greatest convenience and efficiency. The illustrated cam arrangement, with many cams mounted on a single spindle driven by a single motor, provides an advantageous mechanism for providing the primary movement of the stylus and is thus efficient. It will be appreciated that a rugged and relatively low cost instrument can be provided. Since the cams provide the timing of the various movements and they may be fixed with respect to each other and in fact directly together, the synchronization of the movements caused by the cams cannot be lost.
Reception of signals from the transducer and initiation of processing can be accomplished in a variety of different ways, such as by sensing the edges of the concave portion 4 of the workpiece, by sensing the contact between the stylus and the workpiece. This may be done by sensing 58 specific angular positions, or in any other suitable manner. Since the stylus is retracted within the housing between measuring operations, the risk of damage to the stylus or transducer is substantially eliminated. Since the instrument is set up so that the transducer follows this path to measure each of the same workpieces in succession, and the movement of the transducer is high when ejected and retracted, and The measurement can be completed with maximum efficiency and without interrupting the production flow because of the relatively low velocity suitable for measurement when in contact. Furthermore, if the device should be used with many different workpieces, the replaceable jig provides a simple and efficient means for reconfiguring the instrument to handle such alternative workpieces. .
器具は、半径および形態が測定されるべきであるとい
う仮定の下で図面を参照して述べられたが、表面組織の
ような他の測定を行なうのに適するこの発明に従った器
具を提供することもまた可能である。Although the instrument has been described with reference to the drawings under the assumption that the radius and morphology should be measured, it provides an instrument according to the invention suitable for making other measurements such as surface texture. It is also possible.
第1図は、この発明の好ましい実施例に従った器具の概
略斜視図である。 第2図は、この発明の好ましい実施例の動作の原理を例
示する図面である。 第3図は、この発明の好ましい実施例の一部を介する断
面である。 第4図は、第3図に類似するが、異なる状態の器具を示
す断面である。 第5図は、第3図および第4図の器具に含まれたカムト
ラックの展開図である。 第6図は、第3図で示されたラインVI-VIに関する概略
断面図である。 第7図は、第3図で示された器具の平面図である。 第8図は、第7図で示された器具の一部の動作を例示す
る図面である。 第9図は、第6図のラインIX-IXに関する概略部分断面
図である。 第10図は、第9図で示されるが、反対の方向から見た器
具の部分の概略部分断面図である。 第11図は、器具が設けられた除去可能治具の平面図であ
る。 第12図は、第11図の治具を器具上に装着して示す、部分
的に切り取られた側面図である。 第13図は、器具を較正する際に用いられるための代わり
の治具の平面図である。 第14図は、第13図の治具を器具上の所定位置に示す、部
分的に切り取られた側面図である。 第15図は、この発明の好ましい実施例に含まれる電子回
路のブロック図である。 第16図は、好ましい実施例に含まれるディスプレイ装置
上に作られるディスプレイを示す。 第17図は、作られ得るディスプレイの他の形態を示す。 第18図は、上記の図面の器具において行なわれる較正動
作を理解するのを助けるための図面である。 第19図は、好ましい実施例における測定動作の実行を理
解するのを助けるための図面である。 第20図は、好ましい実施例で用いられてもよい治具の代
わりの形態の概略斜視図である。 図において、2はレース、8はスタイラス、10,28は経
路、32は変換器、40,506はハウジング、500は主ユニッ
ト、508はワークピース支持構造、600はマイクロプロセ
ッサである。FIG. 1 is a schematic perspective view of an instrument according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is a drawing illustrating the principle of operation of the preferred embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-section through a portion of the preferred embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross-section similar to FIG. 3 but showing the device in a different state. FIG. 5 is an exploded view of the cam track included in the instrument of FIGS. 3 and 4. FIG. 6 is a schematic sectional view taken along the line VI-VI shown in FIG. FIG. 7 is a plan view of the device shown in FIG. FIG. 8 is a drawing illustrating the operation of a part of the instrument shown in FIG. 7. FIG. 9 is a schematic partial sectional view taken along the line IX-IX in FIG. FIG. 10 is a schematic partial cross-sectional view of the portion of the instrument shown in FIG. 9 but viewed in the opposite direction. FIG. 11 is a plan view of a removable jig provided with a device. FIG. 12 is a partially cut-away side view showing the jig of FIG. 11 mounted on an instrument. FIG. 13 is a plan view of an alternative jig for use in calibrating the instrument. FIG. 14 is a partially cutaway side view showing the jig of FIG. 13 in place on the instrument. FIG. 15 is a block diagram of an electronic circuit included in the preferred embodiment of the present invention. FIG. 16 shows a display made on the display device included in the preferred embodiment. FIG. 17 shows another form of display that can be made. FIG. 18 is a drawing to help understand the calibration operation performed in the instrument of the above figures. FIG. 19 is a drawing to help understand the performance of the measurement operation in the preferred embodiment. FIG. 20 is a schematic perspective view of an alternative form of jig that may be used in the preferred embodiment. In the figure, 2 is a race, 8 is a stylus, 10 and 28 are paths, 32 is a transducer, 40 and 506 are housings, 500 is a main unit, 508 is a workpiece support structure, and 600 is a microprocessor.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アラン・ジェラルド・メリルズ イギリス、エル・イー・10 1・エイ・ エフ、ヒンクレイ マウント・ロード、 6 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Alan Gerald Merrills El E10 1A / F, UK, Hinckley Mount Road, 6
Claims (30)
の度量衡器具(500)であって、 保護用のハウジング(506)と、 前記ハウジングに対して予め定められた位置にワークピ
ースを置くためのワークピース位置付け手段(508)
と、 前記ハウジング内に配置された表面センサ(8)と、 前記表面センサが予め定められた経路(10)に従うよう
に配置された駆動手段(60、58、42、34)とを含み、そ
こにおいて前記表面センサは前記ハウジングから突出
し、測定動作を行なうために前記表面を横切り、その後
前記ハウジング(506)内に引込められ、前記駆動手段
(60、58、42、34)は、前記経路(10)がループを含む
ように配置され、前記表面センサ(8)は前記ループに
おいて一方向に移動する場合はワークピース表面を横切
り、前記ループにおいて反対方向に移動する場合は前記
ワークピース表面から間隔が開けられ、前記駆動手段
(60、58、42、34)は、前記表面センサ(8)がワーク
ピース表面を横切る場合は前記一方向において比較的遅
い速度で移動し、前記ワークピース表面から間隔を開け
られた場合は前記反対方向に比較的速い速度で移動する
ようにさらに配置される、器具。1. A metrology tool (500) for measuring the surface of a workpiece (2), comprising a protective housing (506) and placing the workpiece in a predetermined position relative to said housing. Positioning means for workpieces (508)
A surface sensor (8) arranged in the housing, and a driving means (60, 58, 42, 34) arranged so that the surface sensor follows a predetermined path (10), At the surface sensor protrudes from the housing, traverses the surface to perform a measurement operation, and is then retracted into the housing (506), the drive means (60, 58, 42, 34) being connected to the path ( 10) is arranged to include a loop, the surface sensor (8) being across the workpiece surface when moving in one direction in the loop and spaced from the workpiece surface when moving in the opposite direction in the loop. And the drive means (60, 58, 42, 34) move at a relatively slow speed in the one direction when the surface sensor (8) crosses the workpiece surface, If the scan surface spaced further arranged to move at a relatively high speed in the opposite direction, the instrument.
して一般に垂直である、特許請求の範囲第1項に記載の
器具。2. The device of claim 1 wherein said one direction is generally perpendicular to said housing (506).
速い速度で突出するよう動作可能である、特許請求の範
囲第1項ないし第2項のいずれかに記載の器具。3. An instrument according to any one of claims 1 to 2 wherein the drive means is operable to project the surface sensor at a relatively fast rate.
速い速度で前記ハウジング内に引込めるよう動作可能で
ある、特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに
記載の器具。4. An instrument as claimed in any one of claims 1 to 3 in which the drive means is operable to retract the surface sensor into the housing at a relatively fast rate.
ンサ(8)はワークピース表面の位置から離れる方向に
動かされる、特許請求の範囲第1項ないし第4項のいず
れかに記載の器具。5. A surface sensor (8) according to any one of claims 1 to 4, wherein the surface sensor (8) is moved away from the position of the workpiece surface before the retracting operation is started. Equipment.
サがワークピース表面から離れる点を調整するための手
段(94)を含む、特許請求の範囲第5項に記載の器具。6. The instrument of claim 5 wherein the instrument includes means (94) for adjusting the point at which the surface sensor separates from the workpiece surface after a measurement operation.
動作の前またはその間に、前記表面センサが測定するべ
きワークピース表面の位置から離れる方向に移動し、前
記突出動作の後、前記表面センサが測定するべきワーク
ピース表面の位置に向かって移動するよう、前記表面セ
ンサ(8)を移動させるために動作可能である、特許請
求の範囲第1項ないし第6項のいずれかに記載の器具。7. The drive means (50, 58, 42, 34) is moved in a direction away from the position of the workpiece surface to be measured by the surface sensor before or during the projecting movement, so that the projecting movement is performed. 7. Any one of claims 1 to 6 which is then operable to move the surface sensor (8) such that the surface sensor moves towards the position of the workpiece surface to be measured. The device described in Crab.
でありかつ互いに対して固定される第1および第2のカ
ム(56、70)と、前記第1および第2カムを駆動するた
めの単一モータ(60)と、前記第1および第2カムを前
記表面センサに接続する手段(42、34)とを含む、特許
請求の範囲第1項ないし第7項のいずれかに記載の器
具。8. The drive means drives first and second cams (56, 70) rotatable with respect to a common shaft and fixed to each other, and the first and second cams. 8. A motor according to any one of claims 1 to 7, comprising a single motor (60) for the purpose of connecting the first and second cams to the surface sensor (42, 34). Equipment.
前記ハウジングの開口を開放および閉鎖するシャッタ
(16)と、前記表面センサがハウジング内に引っ込めら
れる場合は前記シャッタを閉鎖位置に移動させ、かつ前
記表面センサがハウジングから突出する場合は、前記シ
ャッタを開放位置に移動させる手段(58、80、82、84、
86、88)とを含む、特許請求の範囲第1項ないし第8項
のいずれかに記載の器具。9. A shutter (16) for opening and closing an opening in the housing in which the surface sensor (8) moves, and for moving the shutter to a closed position when the surface sensor is retracted into the housing. And when the surface sensor projects from the housing, means for moving the shutter to the open position (58, 80, 82, 84,
86, 88) and the device according to any one of claims 1 to 8.
ムと同軸であり、かつ固定されるさらなるカム(88)に
よって動作可能であり、前記単一モータによって駆動さ
れる、特許請求の範囲第8項または第9項に記載の器
具。10. The shutter is operable by a further cam (88) which is coaxial with and fixed to the first and second cams and is driven by the single motor. The device according to item 8 or 9.
表面に接触するように用いられるスタイラスである、特
許請求の範囲第1項ないし第10のいずれかに記載の器
具。11. An instrument according to any one of claims 1 to 10 wherein the surface sensor (8) is a stylus used to contact the surface of a workpiece.
は、前記ハウジング(506)に取りはずし可能に固定さ
れ、かつ前記表面センサによって前記測定動作が行なわ
れる位置において、予め定められた大きさおよび形のワ
ークピース(2)を置くように配置されたワークピース
支持装置(100)を含む、特許請求の範囲第1項ないし
第11項のいずれかに記載の器具。12. The workpiece positioning means (508).
Is detachably fixed to the housing (506) and is arranged to place a workpiece (2) of a predetermined size and shape at a position where the measuring operation is performed by the surface sensor. An instrument according to any one of claims 1 to 11 including a piece support device (100).
は形のそれぞれのワークピースに適用され、かつ互いに
対して交換可能である複数個の前記ワークピース支持装
置(100)を含む、特許請求の範囲第12項に記載の器
具。13. The tool comprises a plurality of said workpiece support devices (100) adapted for respective workpieces of different sizes and / or shapes and exchangeable with respect to each other. Apparatus according to clause 12.
は、異なる大きさおよび/または形にワークピースを受
取るように調整可能であるワークピース支持装置(10
0)を含む、特許請求の範囲第1項ないし第11項のいず
れかに記載の器具。14. The workpiece positioning means (508).
Is a workpiece support device (10) that is adjustable to receive workpieces of different sizes and / or shapes.
A device according to any one of claims 1 to 11 including 0).
るべきその表面すべてが実質的に同じ前記位置に置かれ
るようにワークピースを収容する、特許請求の範囲第14
項に記載の器具。15. The workpiece support apparatus contains a workpiece such that all of its surfaces to be measured are in substantially the same position.
The device according to item.
器具に装着された場合に特許請求の範囲第6項の前記調
整を果たすよう配置される、特許請求の範囲第6項に従
属する場合の第12項ないし第15項のいずれかに記載の器
具。16. The workpiece support device (100) comprises:
Device according to any of claims 12 to 15 when dependent on claim 6, arranged to perform the adjustment of claim 6 when mounted on the device. .
ハウジングの上部に置かれる、特許請求の範囲第1項な
いし第16項のいずれかに記載の器具。17. An instrument according to any of claims 1 to 16 wherein the workpiece positioning means is located on top of the housing.
える組合わせにおいて、前記治具は器具に対して取付け
可能かつ取りはずし可能であり、前記表面センサによっ
て感知されるよう配置される較正エレメント(132)を
有し、前記器具は、較正動作を開始するための信号を与
えるために、前記治具の装着を感知する手段(142)を
含む、特許請求の範囲第1項ないし第17項のいずれかに
記載の器具。18. A combination comprising a jig (130) for calibrating an instrument, wherein the jig is attachable to and detachable from the instrument and is arranged to be sensed by the surface sensor. A device according to any one of claims 1 to 17, further comprising an element (132), said instrument comprising means (142) for sensing the mounting of said jig to provide a signal for initiating a calibration operation. The device according to any one of paragraphs.
サが障害物と係合したことに応答して、前記表面センサ
が前記ハウジングにただちに引込むよう動作可能である
障害物感知手段(79、81)を含む、特許請求の範囲第1
項ないし第18項のいずれかに記載の器具。19. The obstacle sensing means (79,) wherein the instrument is operable to immediately retract the surface sensor into the housing in response to the surface sensor engaging an obstacle during a projecting motion. Claim 1 including 81)
Item 18. The device according to any one of items 18 to 18.
こに偏向を引起こすよう面取りされた端部を有する、特
許請求の範囲第19項に記載の器具。20. The device of claim 19 wherein the surface sensor has a chamfered end that causes deflection upon impact with an obstacle.
面から離れる方向において前記表面センサの移動を感知
するよう動作可能である、特許請求の範囲第19項または
第20項に記載の器具。21. An apparatus according to claim 19 or 20, wherein the obstacle sensing means is operable to sense movement of the surface sensor in a direction away from the workpiece surface.
クルを開始させ、前記測定サイクルを繰返すために繰返
し駆動される、単一の手動動作可能な制御部材(536)
を含む、特許請求の範囲第1項ないし第21項のいずれか
に記載の器具。22. A single manually operable control member (536) wherein the instrument starts the measurement cycle when driven and is repeatedly driven to repeat the measurement cycle.
An instrument according to any one of claims 1 to 21, including:
記ワークピースに測定動作を行なうためのコンピュータ
手段(600)と、データを前記コンピュータ手段に入力
するための端末手段(502)とを含み、前記制御部材(5
36)は前記端末手段と独立しており、かつ前記測定動作
を行なうよう前記コンピュータ手段に命令するために駆
動可能である、特許請求の範囲第22項に記載の器具。23. The instrument includes computer means (600) for performing a measurement operation on the workpiece using the surface sensor and terminal means (502) for inputting data to the computer means. , The control member (5
An instrument according to claim 22, wherein 36) is independent of said terminal means and is drivable for instructing said computer means to perform said measuring operation.
を行なう命令を前記端末手段が受取るよう配置される、
特許請求の範囲第23項に記載の器具。24. The computer means is arranged for the terminal means to receive instructions for performing the measuring operation.
The device according to claim 23.
し可能でありかつ切離し可能である、特許請求の範囲第
23項に記載の器具。25. The terminal means is removable and separable from the instrument.
The device according to paragraph 23.
を用いてセットアップ動作の実行のためにプログラムさ
れ、前記セットアップ動作は前記制御部材の駆動によっ
てその後は繰返し可能である測定サイクルを規定する、
特許請求の範囲第23項または第24項に記載の器具。26. The computer means is programmed for performing a set-up operation using the terminal means, the set-up operation defining a measurement cycle which can then be repeated by actuation of the control member.
The device according to claim 23 or 24.
4)と、前記第1の仕切り内に置かれ、かつ動作におい
て熱を発生する電気手段と、前記ハウジング内の第2の
仕切り(512)と、前記第2の仕切りにあり、かつ温度
変化に感応する測定手段(510)と、前記第1の仕切り
からの熱による前記測定手段における温度変化を少なく
とも制限するように、前記第2の仕切りに大気を引込
み、かつ前記大気が前記測定手段上をとおり、次に前記
第2の仕切りから出ることを引起こす、手段(520)と
を含む、特許請求の範囲第1項ないし第26項のいずれか
に記載の器具。27. A first partition (52) in the housing.
4), electrical means that are placed in the first partition and generate heat in operation, a second partition (512) in the housing, and the second partition and that are subject to temperature changes. Atmospheric air is drawn into the second partition so as to at least limit temperature changes in the sensitive measuring means (510) and the measuring means due to heat from the first partition, and the atmosphere is above the measuring means. A device as claimed in any one of claims 1 to 26, including a means (520) for causing the second partition to exit.
るための方法であって、大量生産によってワークピース
を製造する方法を含み、前記方法は、前記ワークピース
の表面に連続して同じ度量衡動作を行なうのに適した状
態に、度量衡器具を設けるステップと、前記同じ度量衡
動作を前記度量衡器具を用いて前記製造されたプロダク
トの少なくとも大部分に行なうステップとを含み、 前記度量衡器具は、ワークピースの表面を測定するため
の度量衡器具であって、 保護用のハウジングと、 前記ハウジングに対して予め定められた位置にワークピ
ースを置くためのワークピース位置付け手段と、 前記ハウジング内に配置された表面センサと、 前記表面センサが予め定められた経路に従うように配置
された駆動手段とを含み、そこにおいて前記表面センサ
は前記ハウジングから突出し、測定動作を行なうために
前記表面を横切り、その後前記ハウジング内に引込めら
れ、前記駆動手段は、前記経路がループを含むように配
置され、前記表面センサは前記ループにおいて一方向に
移動する場合はワークピース表面を横切り、前記ループ
において反対方向に移動する場合は前記ワークピース表
面から間隔が開けられ、前記駆動手段は、前記表面セン
サがワークピース表面を横切る場合は前記一方向におい
て比較的遅い速度で移動し、前記ワークピース表面から
間隔を開けられた場合は前記反対方向に比較的速い速度
で移動するようにさらに配置される、方法。28. A method for producing a large number of identical workpieces (2), including a method of manufacturing workpieces by mass production, said method comprising successively measuring the same surface of said workpieces with the same metrology. Providing the metrology tool in a state suitable for performing an operation, and performing the same metrology operation on at least a majority of the manufactured product using the metrology tool, the metrology tool comprising: A metrology tool for measuring the surface of a piece, comprising: a protective housing, a workpiece positioning means for placing the workpiece at a predetermined position relative to the housing, and a workpiece positioning means arranged in the housing. A surface sensor and drive means arranged such that the surface sensor follows a predetermined path, wherein The surface sensor projects from the housing, traverses the surface to perform a measurement operation, and is then retracted into the housing, the drive means being arranged such that the path comprises a loop, and the surface sensor is When moving in one direction in the loop, it traverses the workpiece surface, when moving in the opposite direction in the loop, it is spaced from the workpiece surface, and the drive means is when the surface sensor traverses the workpiece surface. Is further arranged to move at a relatively slow speed in said one direction and at a relatively fast speed in said opposite direction when spaced from said workpiece surface.
造されたワークショップで行なわれる、特許請求の範囲
第28項に記載の方法。29. The method of claim 28, wherein the metrology operation is performed in a workshop in which the workpiece was manufactured.
タをロギングし、かつ度量衡情報を与えるために前記デ
ータを処理し、さらに前記器具は、前記度量衡情報を出
力するよう動作可能であり、前記ロギング、処理および
出力すべてが前記ワークショップにおいて行なわれる、
特許請求の範囲第29項に記載の方法。30. The instrument logs data from the workpiece and processes the data to provide metrology information, and the instrument is further operable to output the metrology information. , Processing and output are all done in the workshop,
A method according to claim 29.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8615772 | 1986-06-27 | ||
GB8615772A GB2192062B (en) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | Metrological apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6336107A JPS6336107A (en) | 1988-02-16 |
JP2528659B2 true JP2528659B2 (en) | 1996-08-28 |
Family
ID=10600219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62160800A Expired - Lifetime JP2528659B2 (en) | 1986-06-27 | 1987-06-27 | Measuring instrument and its manufacturing method |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4825557A (en) |
EP (1) | EP0254429B1 (en) |
JP (1) | JP2528659B2 (en) |
CN (1) | CN87104449A (en) |
DE (1) | DE3781342T2 (en) |
GB (1) | GB2192062B (en) |
IN (1) | IN169910B (en) |
RU (1) | RU1769805C (en) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2936545B2 (en) * | 1988-06-24 | 1999-08-23 | 株式会社日立製作所 | Scanning probe microscope |
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- 1987-06-24 DE DE8787305648T patent/DE3781342T2/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-26 RU SU874202853A patent/RU1769805C/en active
- 1987-06-27 CN CN198787104449A patent/CN87104449A/en active Pending
- 1987-06-27 JP JP62160800A patent/JP2528659B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU1769805C (en) | 1992-10-15 |
DE3781342D1 (en) | 1992-10-01 |
JPS6336107A (en) | 1988-02-16 |
EP0254429B1 (en) | 1992-08-26 |
EP0254429A1 (en) | 1988-01-27 |
CN87104449A (en) | 1988-02-03 |
DE3781342T2 (en) | 1992-12-17 |
IN169910B (en) | 1992-01-11 |
GB2192062B (en) | 1990-02-28 |
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