JP2515909B2 - Method for producing high-purity monoalkylphosphine - Google Patents

Method for producing high-purity monoalkylphosphine

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JP2515909B2 JP2110569A JP11056990A JP2515909B2 JP 2515909 B2 JP2515909 B2 JP 2515909B2 JP 2110569 A JP2110569 A JP 2110569A JP 11056990 A JP11056990 A JP 11056990A JP 2515909 B2 JP2515909 B2 JP 2515909B2
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monoalkylphosphine
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phosphorus
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高純度のモノアルキルホスフィンの製造方法
にかかり、特には、トリハロゲン化リンをハロゲン化ア
ルミニウムの存在下にハロゲン化アルキルと反応させ、
これを加水分解してジハロゲノホスホニルRP(O)X2
ただし、Rはアルキル基、Xはハロゲンを示す。を得、
次いで、このジハロゲノホスホニルを還元してモノアル
キルホスフィンを製造する方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a high-purity monoalkylphosphine, and particularly to reacting a phosphorus trihalide with an alkylhalide in the presence of an aluminum halide. ,
This is hydrolyzed to give dihalogenophosphonyl RP (O) X 2 ,
However, R represents an alkyl group and X represents a halogen. Got
Then, it relates to a method for producing the monoalkylphosphine by reducing the dihalogenophosphonyl.

高純度のモノアルキルホスフィンは、MOCVD(Metalor
ganic Chemical Vapour Deposit−ion)法等によるエピ
タキシャル成長の原料として有用なものである。
High-purity monoalkylphosphine can be obtained by MOCVD (Metalor
It is useful as a raw material for epitaxial growth by the ganic Chemical Vapor Deposit-ion) method or the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ガリウム−リン、インジウム−リン等、リンと周期律
表、第III族元素とからなる単結晶は、半導体として有
用であるが、このような単結晶半導体のエピタキシーを
得る方法として、有機金属気相化学成長法が開発されて
いる。このためのリン原料として近年、有機リン化合物
が注目されている〔例えば、ジャーナル オブ クリス
タル グロース(J.Cry.Growth),77(1986)p11〕。
Gallium-phosphorus, indium-phosphorus, etc., a single crystal composed of phosphorus and the periodic table, Group III element is useful as a semiconductor, as a method for obtaining the epitaxy of such a single crystal semiconductor, organometallic vapor phase Chemical growth methods are being developed. Organic phosphorus compounds have recently attracted attention as a phosphorus raw material for this purpose [eg, Journal of Crystal Growth (J. Cry. Growth), 77 (1986) p11].

また有機リン化合物の中でも結晶への炭素混入が少な
いという理由から、モノアルキルホスフィンが多く使用
されている。
Further, among organic phosphorus compounds, monoalkylphosphine is often used because carbon is less mixed into crystals.

このモノアルキルホスフィンの合成法として、 二塩化亜ホスホニルのリチウムアルミニウムハイド
ライドや金属ナトリウムによる還元 2RPCl2+LiAlH4→2RPH2+LiAlCl4 ホスホン酸ジアルキルや塩化ホスホニルのリチウム
アルミニウムハイドライドによる還元 ホスフィンとオレフィンの反応 PH3+R=RPH2+R2PH+R3P などが知られている。
As a method for synthesizing this monoalkylphosphine, reduction of phosphonyl dichloride with lithium aluminum hydride or sodium metal 2RPCl 2 + LiAlH 4 → 2RPH 2 + LiAlCl 4 Reduction of dialkyl phosphonates and phosphonyl chloride with lithium aluminum hydride The reaction of phosphine and olefin PH 3 + R = RPH 2 + R 2 PH + R 3 P is known.

このうちの方法は、沸点の近接する多種の化合物が
副生するため単離精製が難かしく、高純度のモノアルキ
ルホスフィンを得ることが困難である。またの方法
は、原料の二塩化亜ホスホニルが不安定化合物であるこ
と、二塩化亜ホスホニル合成時にその原料のハロゲン化
アルキルと二塩化亜ホスホニルとの分離が難しく、また
原料に用いるアルミニウム、亜鉛などの金属から不純物
の混入もあり、この方法でも高純度のモノアルキルホス
フィンを得ることは極めて困難である。
Of these methods, various compounds having boiling points close to each other are by-produced, and thus isolation and purification are difficult, and it is difficult to obtain high-purity monoalkylphosphine. Another method is that the starting phosphonyl dichloride is an unstable compound, it is difficult to separate the starting alkyl halide and phosphonyl dichloride from the starting phosphonyl dichloride, and aluminum, zinc, etc. used as the starting material. Due to the inclusion of impurities from the above metal, it is extremely difficult to obtain high-purity monoalkylphosphine even by this method.

ところで、の方法のうち、ホスホン酸ジアルキルの
還元によるものはアルコールが副生し、これが生成物の
モノアルキルホスフィンと相互作用し、モノアルキルホ
スフィンを単離することが極めて困難である。一方、二
塩化ホスホニルを還元する方法では、塩化水素が生じる
が、この除去は容易であり、高純度のモノアルキルホス
フィンの製造は容易であると考えられる。しかしなが
ら、従来、この合成では、中間体の二塩化ホスホニルの
合成を当量の三塩化アルミニウムや三塩化リンに、2倍
〜3倍過剰のハロゲン化アルキルを加えて錯体を作り、
これにほぼ当量の塩酸を加えて加水分解した後、溶媒を
除去するという方法が行なわれていた〔ジャーナル オ
ブ オーガニック ケミストリー(J.Ory.Chem.)16
(1952)p892〕。しかし、この方法では、収率が40〜50
%と低く、また、未反応のハロゲン化アルキルや水を分
離することが困難で、高純度のモノアルキルホスフィン
を得ることが極めて難しいという問題点があった。しか
も、この還元反応では、反応溶媒としてジエチルエーテ
ルを用いており〔モナッシュ(Monatsch.),90,(195
9),p148〕、この溶媒のエーテルとモノアルキルホスフ
ィンの間に相互作用が生じ、モノアルキルホスフィンの
沸点が比較的低いため、このエーテルを完全に分離する
ことが困難であるという問題点があった。
By the way, in the above method, the reduction of dialkyl phosphonate produces an alcohol as a by-product, which interacts with the product monoalkylphosphine, and it is extremely difficult to isolate the monoalkylphosphine. On the other hand, in the method of reducing phosphonyl dichloride, hydrogen chloride is generated. However, it is considered that the removal is easy and the production of high-purity monoalkylphosphine is easy. However, conventionally, in this synthesis, the synthesis of the intermediate phosphonyl dichloride was carried out by adding a 2- to 3-fold excess of alkyl halide to an equivalent amount of aluminum trichloride or phosphorus trichloride to form a complex,
A method was used in which an approximately equivalent amount of hydrochloric acid was added to this to hydrolyze, and then the solvent was removed [Journal of Organic Chemistry (J.Ory.Chem.) 16 ,
(1952) p892]. However, this method yields 40-50
%, And it is difficult to separate unreacted alkyl halide and water, and it is extremely difficult to obtain high-purity monoalkylphosphine. Moreover, in this reduction reaction, diethyl ether was used as the reaction solvent [Monatsch., 90 , (195
9), p148], an interaction occurs between the ether of the solvent and the monoalkylphosphine, and the boiling point of the monoalkylphosphine is relatively low, which makes it difficult to completely separate the ether. It was

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

本発明は、上記の問題点を解決したもので、本発明の
目的は、純度99.99%以上の高純度のモノアルキルホス
フィンを高収率で製造する方法を提供することにある。
The present invention has solved the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for producing a high-purity monoalkylphosphine having a purity of 99.99% or more in a high yield.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明は、トリハロゲン化リンをハロゲン化アルミニ
ウムの存在下にハロゲン化アルキルと反応させ、これを
加水分解してジハロゲノホスホニルを得、次いで、この
ジハロゲノホスホニルを還元してモノアルキルホスフィ
ンを製造する方法において、前記加水分解により得られ
たジハロゲノホスホニルを当該ジハロゲノホスホニルよ
り低沸点の有機溶媒で抽出した後、当該有機溶媒を蒸留
により100ppm以下に除去し、次いで、モノアルキルホス
フィンより高沸点の有機溶媒の存在下にジハロゲノホス
ホニルを還元することからなる純度99.99%以上の高純
度モノアルキルホスフィンの製造方法である。
The present invention is directed to reacting a phosphorus trihalide with an alkyl halide in the presence of aluminum halide, hydrolyzing it to give a dihalogenophosphonyl, which is then reduced to give a monoalkylphosphine. In the method for producing, after the dihalogenophosphonyl obtained by the hydrolysis is extracted with an organic solvent having a lower boiling point than the dihalogenophosphonyl, the organic solvent is removed by distillation to 100 ppm or less, and then monoalkyl. A method for producing a high-purity monoalkylphosphine having a purity of 99.99% or more, which comprises reducing dihalogenophosphonyl in the presence of an organic solvent having a boiling point higher than that of phosphine.

本発明は、いずれのアルキル基を有するモノアルキル
ホスフィンでも適用することができるが、イソプロピ
ル、tert−ブチル、フェニル等、その中でも、tert−ブ
チルがMOCVD等において好適に用いられ、特に好まし
い。
The present invention can be applied to any monoalkylphosphine having an alkyl group, but isopropyl, tert-butyl, phenyl and the like, among which, tert-butyl is preferably used in MOCVD and the like, and is particularly preferable.

本発明で云うトリハロゲン化リンをハロゲン化アルミ
ニウムの存在下にハロゲン化アルキルと反応させ、これ
を加水分解してジハロゲノホスホニルを得る方法とは、
例えば、当量のトリハロゲン化アルミニウムとトリハロ
ゲン化リンに、0.5〜3倍のハロゲン化アルキルを加え
て攪拌することにより、[RPX3+[AlX4-からなる錯
体を作り、これに塩酸を加えて加水分解する方法であ
る。尚、トリハロゲン化アルミニウムとしては、三塩化
アルミニウム、三臭化アルミニウム、三ヨウ化アルミニ
ウム等を、またトリハロゲン化リンとしては、三塩化リ
ン、三臭化リン、三ヨウ化リン等を、さらには、ハロゲ
ン化アルキルとしては、塩化アルキル、臭化アルキル或
いはヨウ化アルキル等を用いることができ、このアルキ
ル基は目的とするモノアルキルホスフィンの種類により
適宜選定される。
In the present invention, a method of reacting phosphorus trihalide with an alkyl halide in the presence of aluminum halide, and hydrolyzing this to obtain dihalogenophosphonyl,
For example, the equivalents of aluminum trihalide and trihalide phosphorus, by stirring by adding from 0.5 to 3 times the halogenated alkyl, [RPX 3] + [AlX 4] - create a complex consisting of hydrochloric acid thereto Is a method of adding and hydrolyzing. As the aluminum trihalide, aluminum trichloride, aluminum tribromide, aluminum triiodide, etc., and as the phosphorus trihalogenide, phosphorus trichloride, phosphorus tribromide, phosphorus triiodide, etc., As the alkyl halide, alkyl chloride, alkyl bromide, alkyl iodide, or the like can be used, and the alkyl group is appropriately selected according to the kind of the intended monoalkylphosphine.

本発明では、このようにして得られた加水分解物の塩
酸水溶液からジハロゲノホスホニルを当該ジハロゲノホ
スホニルより低沸点の有機溶媒で抽出するものである。
この抽出溶媒としては、水と分離する性質を有し、該ジ
ハロゲノホスホニルをよく溶かし、該ジハロゲノホスホ
ニルに比べ沸点が低いものであれば、どのようなもので
も用いることができ、特には、ジエチルエーテル、テト
ラヒドロフラン等のエーテル類、ジクロロメタン、クロ
ロホルム等のハロゲン化アルキル類等が好適である。こ
の抽出溶媒による抽出工程を設けることにより、従来、
当量近傍で加水分解を行って収率が低下していたものを
大量の塩酸を加え、十分に加水分解を行うことが可能と
なる。また、この抽出の際は、さらに多くの水〜濃塩酸
等を加えることができ、望ましくは、1〜6規定の塩酸
を添加するとよい。本抽出溶媒の使用量は、ジハロゲノ
ホスホニルが溶解する量を最低限とし、それ以上はいく
ら加えても問題はないが、あまり大量に加えると溶媒を
留去させるときに操作が煩雑となる。このため、ジハロ
ゲノホスホニルを溶解させるに必要な最低量とすること
が好ましい。尚、この抽出溶媒の添加は、錯体を塩酸で
加水分解する前でも、加水分解した後のいずれで行って
も良いが、分解する前が特に好ましい。
In the present invention, dihalogenophosphonyl is extracted from an aqueous hydrochloric acid solution of the hydrolyzate thus obtained with an organic solvent having a lower boiling point than that of the dihalogenophosphonyl.
As the extraction solvent, any solvent can be used, so long as it has a property of separating from water, dissolves the dihalogenophosphonyl well, and has a lower boiling point than the dihalogenophosphonyl, Preferred are ethers such as diethyl ether and tetrahydrofuran, and alkyl halides such as dichloromethane and chloroform. By providing the extraction step with this extraction solvent,
It is possible to add a large amount of hydrochloric acid to the product that has been hydrolyzed in the vicinity of the equivalent amount and the yield has been lowered, and sufficiently perform the hydrolysis. Further, during this extraction, a larger amount of water to concentrated hydrochloric acid or the like can be added, and preferably 1 to 6 N hydrochloric acid is added. The amount of this extraction solvent used is such that the amount of dihalogenophosphonyl dissolved is the minimum, and no problem is added even if it is added more, but if added in too large a quantity, the operation becomes complicated when the solvent is distilled off. . Therefore, it is preferable that the amount is the minimum amount necessary to dissolve the dihalogenophosphonyl. The extraction solvent may be added either before or after the complex is hydrolyzed with hydrochloric acid, but it is particularly preferably before the decomposition.

この抽出分離後のジハロゲノホスホニルを含む溶液
は、所望により、無水硫酸ナトリウム、無水硫酸マグネ
シウム等の脱水剤を加えて脱水することができる。
The solution containing the dihalogenophosphonyl after the extraction and separation can be dehydrated by adding a dehydrating agent such as anhydrous sodium sulfate or anhydrous magnesium sulfate, if desired.

次に、この抽出分離後のジハロゲノホスホニルを含む
溶液から溶媒を蒸留により100ppm以下に留去する。とい
うのは、正確な理由は不明であるが、この段階で当該溶
媒を、例えば精密蒸留等により100ppm以下に除去しなけ
れば、当該ジハロゲノホスホニルを還元して得られる製
品であるモノアルキルホスフィンの純度を99.9%以上の
高純度のものとすることができないからである。この操
作が本発明の最大の特徴である。そして、当該ジハロゲ
ノホスホニルをこれをモノアルキルホスホニルより沸点
の高い有機溶媒に溶解し、還元する。この溶媒として
は、当該モノアルキルホスフィンに比べ、沸点が50℃以
上高いものが好ましく、特には、ジブチルエーテル、ジ
フェニルエーテルなどのエーテル類が、還元剤等の溶解
性から好ましい。この有機溶媒に溶解するジハロゲノホ
スホニルの濃度は、10〜40重量%となるようにすること
が、還元反応を円滑に進めるために望ましい。一方、還
元剤としては、リチウムアルミニウムハイドライドや金
属ナトリウムなどを用いることができ、この還元剤はジ
ハロゲノホスホニルに対して、当量以上を用いると良
い。このようにして還元されたモノアルキルホスフィン
は、蒸留分離することにより、純度99.99%以上の高純
度のモノアルキルホスフィンとして得ることができる。
Next, the solvent is distilled off from the solution containing the dihalogenophosphonyl after the extraction and separation to 100 ppm or less by distillation. The exact reason for this is unknown, but the monoalkylphosphine, which is a product obtained by reducing the dihalogenophosphonyl unless the solvent is removed to 100 ppm or less at this stage, for example, by precision distillation. This is because it is not possible to achieve a purity of 99.9% or higher. This operation is the greatest feature of the present invention. Then, the dihalogenophosphonyl is dissolved in an organic solvent having a boiling point higher than that of the monoalkylphosphonyl and reduced. As this solvent, those having a boiling point higher than that of the monoalkylphosphine by 50 ° C. or more are preferable, and ethers such as dibutyl ether and diphenyl ether are particularly preferable from the viewpoint of solubility of the reducing agent and the like. It is desirable that the concentration of the dihalogenophosphonyl dissolved in this organic solvent be 10 to 40% by weight so that the reduction reaction can proceed smoothly. On the other hand, as the reducing agent, lithium aluminum hydride, metallic sodium, or the like can be used, and the reducing agent is preferably used in an equivalent amount or more with respect to dihalogenophosphonyl. The monoalkylphosphine reduced in this manner can be obtained as a highly pure monoalkylphosphine having a purity of 99.99% or more by distillation separation.

〔実施例〕〔Example〕

(実施例1) 三塩化リン50g(0.36モル)と塩化アルミニウム48g
(0.36モル)を容器にいれ、氷冷しながら、塩化−tert
−ブチル40ml(0.36モル)を攪拌しながら滴下した。引
き続き攪拌しながら昇温し、70℃で[t−BuPCl3+[A
lCl4-からなる錯体を得た。この固体を200mlのジエチ
ルエーテルにより分散し、氷冷下で2規定の塩酸400ml
を滴下し、錯体を分解した。脱水したエーテル層を10mm
Hgの減圧下に蒸留し、二塩化tert−ブチルホスホニルを
44.3g得た。粗収率70%であった。この中には少量のジ
エチルエーテル、塩化−tert−ブチルが混入していた。
このため、10mmHgの減圧下に精密蒸留し、40.0g(0.23
モル)の白色結晶を得た。この中のジエチルエーテル、
塩化−tert−ブチルは、100ppm以下であった。この白色
結晶40.0gをジ−n−ブチルエーテル150mlに溶解し、こ
れを、LiAlH417.3gを100mlのジ−n−ブチルエーテルに
懸濁させたものに加え、2時間攪拌して還元し、常圧蒸
留を行い、沸点54℃の無色透明液体を14.5gを得た。こ
の中には少量のジ−n−ブチルエーテルが含まれてい
た。繰り返しの精密蒸留により13.0g(0.14モル)の留
分を得た。この中のジ−n−ブチルエーテルは100ppm以
下であった。
(Example 1) Phosphorus trichloride 50 g (0.36 mol) and aluminum chloride 48 g
(0.36 mol) in a container, and while cooling with ice, chloride -tert
-Butyl 40 ml (0.36 mol) was added dropwise with stirring. Then, the temperature is raised with stirring, and [t-BuPCl 3 ] + [A
lCl 4] - to give a complex consisting of. This solid was dispersed with 200 ml of diethyl ether, and 400 ml of 2N hydrochloric acid under ice cooling.
Was added dropwise to decompose the complex. 10 mm of dehydrated ether layer
Distilled under reduced pressure of Hg to remove tert-butylphosphonyl dichloride.
44.3 g was obtained. The crude yield was 70%. A small amount of diethyl ether and -tert-butyl chloride were mixed in this.
Therefore, precision distillation was performed under a reduced pressure of 10 mmHg, and 40.0 g (0.23
White crystals of (mol) were obtained. Diethyl ether in this,
The content of -tert-butyl chloride was 100 ppm or less. 40.0 g of this white crystal was dissolved in 150 ml of di-n-butyl ether, and this was added to a suspension of 17.3 g of LiAlH 4 in 100 ml of di-n-butyl ether, and the mixture was stirred for 2 hours for reduction and reduced to normal pressure. Distillation was performed to obtain 14.5 g of a colorless transparent liquid having a boiling point of 54 ° C. This contained a small amount of di-n-butyl ether. Repeated precision distillation gave a fraction of 13.0 g (0.14 mol). Di-n-butyl ether in this was 100 ppm or less.

(比較例1) 実施例1と同条件で錯体を合成、分解し、得られた二
塩化−tert−ブチルホスホニルを精密蒸留することな
く、ジ−n−ブチルエーテル中で、LiAlH4により還元し
た。得られた無色透明液体16.0g中には、ジエチルエー
テル、塩化tert−ブチル、ジ−n−ブチルエーテルが含
まれていた。繰り返しの精密蒸留によりジ−n−ブチル
エーテルは100ppm以下に低減できたが、塩化−tert−ブ
チル、ジエチルエーテルが0.1wt%以上認められた。
(Comparative Example 1) a complex synthesis, decomposed under the same conditions as in Example 1, without precision distillation the resulting two -tert- chloride Buchiruhosuhoniru, in di -n- butyl ether was reduced with LiAlH 4. Diethyl ether, tert-butyl chloride, and di-n-butyl ether were contained in 16.0 g of the obtained colorless transparent liquid. Although di-n-butyl ether could be reduced to 100 ppm or less by repeated precision distillation, 0.1 wt% or more of -tert-butyl chloride and diethyl ether were recognized.

(比較例2) 実施例と同条件で合成、精製し、ジエチルエーテル、
塩化tert−ブチルが100ppmを下回った二塩化−tert−ブ
チルホスホニル40.0g(0.23モル)をジエチルエーテル
中でLiAlH4により還元した。得られた無色透明液体20.5
g中には、大量(30%以上)のジエチルエーテルが含ま
れていた。繰り返しの精密蒸留を行ってもジエチルエー
テルの除去は全く困難であった。
(Comparative Example 2) Synthesis and purification under the same conditions as in Example, diethyl ether,
40.0 g (0.23 mol) of tert-butylphosphonyl dichloride with tert-butyl chloride below 100 ppm were reduced with LiAlH 4 in diethyl ether. The colorless transparent liquid obtained 20.5
A large amount (30% or more) of diethyl ether was contained in g. It was quite difficult to remove diethyl ether even after repeated precision distillation.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のような本発明は、加水分解により得られたジハ
ロゲノホスホニルを当該ジハロゲノホスホニルより低沸
点の有機溶媒で抽出した後、当該有機溶媒を蒸留により
100ppm以下に除去し、次いで、モノアルキルホスフィン
より高沸点の有機溶媒の存在下にジハロゲノホスホニル
を還元するようにしたので、純度99.99%以上の高純度
のモノアルキルホスフィンを高収率で製造できるという
格別の効果を奏する
The present invention as described above, the dihalogenophosphonyl obtained by hydrolysis is extracted with an organic solvent having a lower boiling point than the dihalogenophosphonyl, and then the organic solvent is distilled.
Since it was reduced to 100 ppm or less, and then dihalogenophosphonyl was reduced in the presence of an organic solvent having a higher boiling point than monoalkylphosphine, high-purity monoalkylphosphine with a purity of 99.99% or more was produced in high yield. Has the special effect of being able to

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】トリハロゲン化リンをハロゲン化アルミニ
ウムの存在下にハロゲン化アルキルと反応させ、これを
加水分解してジハロゲノホスホニルを得、次いでこのジ
ハロゲノホスホニルを還元して、モノアルキルホスフィ
ンを製造する方法において、前記加水分解により得られ
たジハロゲノホスホニルを当該ジハロゲノホスホニルよ
り低沸点の有機溶媒で抽出した後、当該有機溶媒を蒸留
により100ppm以下に除去し、次いでモノアルキルホスフ
ィンより高沸点の有機溶媒の存在下にジハロゲノホスホ
ニルを還元することを特徴とする純度99.99%以上の高
純度モノアルキルホスフィンの製造方法。
1. A phosphoryl trihalide is reacted with an alkyl halide in the presence of an aluminum halide, which is hydrolyzed to give a dihalogenophosphonyl, which is then reduced to give a monoalkyl In the method for producing phosphine, after dihalogenophosphonyl obtained by the hydrolysis is extracted with an organic solvent having a lower boiling point than the dihalogenophosphonyl, the organic solvent is removed by distillation to 100 ppm or less, and then monoalkyl. A method for producing a high-purity monoalkylphosphine having a purity of 99.99% or more, which comprises reducing dihalogenophosphonyl in the presence of an organic solvent having a boiling point higher than that of phosphine.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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「MonatscbheftefuerChemieundVerwandteTeileAndererWissenscbaften」90,P.148〜156,1959

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