JP2514596Y2 - Electrostatic sensor device - Google Patents

Electrostatic sensor device

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JP2514596Y2
JP2514596Y2 JP6657390U JP6657390U JP2514596Y2 JP 2514596 Y2 JP2514596 Y2 JP 2514596Y2 JP 6657390 U JP6657390 U JP 6657390U JP 6657390 U JP6657390 U JP 6657390U JP 2514596 Y2 JP2514596 Y2 JP 2514596Y2
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electrode pattern
detection electrode
detection
circuit board
forming portion
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昇 増田
哲夫 大澤
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、被検出体との微小静電容量の変化を検出す
る静電センサ装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial field of application] The present invention relates to an electrostatic sensor device for detecting a change in a minute electrostatic capacitance with respect to an object to be detected.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

最近、共振器としてセラミック共振器を用いた静電セ
ンサ装置が提案されている。この種の装置は、第4図に
示すように、発振回路1と、同調回路2と、この同調回
路2に接続され、被検出体との静電容量変化を検出する
電極針等からなる検出部3と、検波回路4と、増幅回路
5とからなる。前記発振回路1と同調回路2はそれぞれ
別個独立のセラミック共振器を含み、例えば、第5図に
示すように、発振回路1の固定発振周波数f1に対して
同調回路2の共振周波数f0をわずかにずれた位置に設
定しておき、検出部3によって検出される微小静電容量
の変化ΔCに対応させて共振周波数をf0からΔfだけ
偏倚させ、前記静電容量の変化ΔCを出力電圧ΔVの変
化に変換し、これを検波増幅して取り出すものである。
Recently, an electrostatic sensor device using a ceramic resonator as a resonator has been proposed. As shown in FIG. 4, this type of device includes an oscillation circuit 1, a tuning circuit 2, and a detection needle which is connected to the tuning circuit 2 and includes an electrode needle or the like for detecting a capacitance change with an object to be detected. It includes a unit 3, a detection circuit 4, and an amplification circuit 5. The oscillation circuit 1 and the tuning circuit 2 include ceramic resonators that are independent of each other. For example, as shown in FIG. 5, the resonance frequency f 0 of the tuning circuit 2 is set to the fixed oscillation frequency f 1 of the oscillation circuit 1. The capacitance is set to a position slightly deviated, and the resonance frequency is deviated from f 0 by Δf in correspondence with the change ΔC of the small capacitance detected by the detection unit 3, and the change ΔC of the capacitance is output. It is converted into a change in ΔV, detected and amplified, and taken out.

通常、この種の装置では、第6図に示すように、プリ
ント基板6上に同調回路としてのセラミック共振器7が
配設される。そして、このセラミック共振器7の出力端
子8はプリント基板6上に形成された導体パターン10に
ハンダを用いて接続され、さらに導体パターン10には検
出部3を構成する電極針11の基端側がハンダ接続されて
いる。電極針11の先端部はプリント基板6から外側に突
出して図示されていない被検出体に対向し、被検出体の
動き等を静電容量の微小変化として検出する。プリント
基板6にはさらに発振回路1、検波回路4および増幅回
路5が形成され、これらの回路が形成されたプリント基
板6は導体ケース12によって覆われ、プリント基板6上
の各回路は外部と静電的に遮断されるのである。
Normally, in this type of device, as shown in FIG. 6, a ceramic resonator 7 as a tuning circuit is arranged on a printed circuit board 6. The output terminal 8 of the ceramic resonator 7 is connected to the conductor pattern 10 formed on the printed circuit board 6 by using solder, and the conductor pattern 10 is provided with the base end side of the electrode needle 11 constituting the detecting portion 3. Solder connected. The tip of the electrode needle 11 projects outward from the printed circuit board 6 and faces an unillustrated object to be detected, and detects the movement of the object to be detected as a minute change in capacitance. The printed circuit board 6 is further provided with an oscillator circuit 1, a detection circuit 4 and an amplifier circuit 5. The printed circuit board 6 on which these circuits are formed is covered with a conductor case 12, and each circuit on the printed circuit board 6 is kept quiet from the outside. It is electrically cut off.

〔考案が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the device]

しかしながら、従来の提案装置は、電極針11が導体パ
ターン10上にハンダ等を用いて接続されるものであるた
め、電極針11のハンダ接続位置が一定せず、セラミック
共振器7の出力端子8の位置から電極針11の先端までの
距離がまちまちとなり、グランドに対する静電容量が大
きくなって共振点がずれ、装置の検出性能が不安定にな
るという問題がある。
However, in the conventional proposed device, since the electrode needle 11 is connected to the conductor pattern 10 by using solder or the like, the solder connection position of the electrode needle 11 is not constant and the output terminal 8 of the ceramic resonator 7 is not fixed. There is a problem in that the distance from the position to the tip of the electrode needle 11 varies, the capacitance with respect to the ground increases, the resonance point shifts, and the detection performance of the device becomes unstable.

すなわち、この種の静電センサ装置では、第7図に示
すように、セラミック共振器7の共振周波数fは、出力
端子8から電極針11の先端までの距離がnλ/4(λは共
振周波数信号の波長,nは1以上の整数)の位置になった
ときに急激に変化して最も不安定となり、この不安定領
域はnλ/4を中心として±λ/10の領域におよぶ。装置
の小型化を図り、かつ、高感度での検出を達成するため
に、例えば1GHz〜3GHz等の非常に高い共振周波数を使用
すると、電極針11をハンダ付けする際に、わずかでも位
置がずれると、出力端子8と電極針11の先端までの距離
が前記共振周波数fの不安定領域に入ってしまい、装置
の検出性能が不安定になるという問題が生じる。
That is, in this type of electrostatic sensor device, as shown in FIG. 7, the resonance frequency f of the ceramic resonator 7 is nλ / 4 (λ is the resonance frequency) from the output terminal 8 to the tip of the electrode needle 11. When the wavelength of the signal, n is an integer of 1 or more), it suddenly changes and becomes the most unstable, and this unstable region extends to a region of ± λ / 10 around nλ / 4. When a very high resonance frequency such as 1 GHz to 3 GHz is used in order to reduce the size of the device and achieve detection with high sensitivity, the electrode needle 11 is slightly misaligned when soldered. Then, the distance between the output terminal 8 and the tip of the electrode needle 11 enters the unstable region of the resonance frequency f, and the detection performance of the device becomes unstable.

本考案は上記従来の課題を解決するためになされたも
のであり、その目的は、電極針のハンダ接続に際しての
位置ずれに起因する装置性能の不安定化を防止し、セラ
ミック共振器の出力端子から電極針の先端までの長さが
共振周波数の不安定領域に入ることがない検出性能の安
定した静電センサ装置を提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to prevent destabilization of the device performance due to the positional deviation at the time of solder connection of the electrode needle, and to prevent the output terminal of the ceramic resonator. An object of the present invention is to provide an electrostatic sensor device with stable detection performance in which the length from the electrode needle to the tip of the electrode needle does not fall within the unstable region of the resonance frequency.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本考案は上記目的を達成するために、次のように構成
されている。すなわち、本考案は、共振器をセラミック
共振器によって構成した静電センサ装置であって、セラ
ミック共振器が実装される回路基板の基端側は導体ケー
ス内に収容され、導体ケースの開口部からは回路基板の
電極パターン形成部が導体ケースの外側に突出して形成
されており、この電極パターン形成部には検出電極パタ
ーンが電極パターン形成部の基端側から先端側に向かっ
て電極パターン形成部の前記突出方向に伸張して形成さ
れ、検出電極パターンの基端側は前記セラミック共振器
の出力端子に接続され、検出電極パターンの伸張先端面
は被検出体に対向する静電容量変化の検出電極面になっ
ていることを特徴として構成されている。
The present invention is configured as follows to achieve the above object. That is, the present invention is an electrostatic sensor device in which a resonator is formed of a ceramic resonator, and a base end side of a circuit board on which the ceramic resonator is mounted is housed in a conductor case, and an opening portion of the conductor case is provided. The electrode pattern forming portion of the circuit board is formed so as to project to the outside of the conductor case, and the detection electrode pattern is formed on the electrode pattern forming portion from the base end side to the tip end side of the electrode pattern forming portion. Of the detection electrode pattern is connected to the output terminal of the ceramic resonator, and the extended front end surface of the detection electrode pattern is for detecting a capacitance change facing the object to be detected. It is characterized by having an electrode surface.

〔作用〕[Action]

本考案では、回路基板の電極パターン形成部に前記提
案装置の電極針に対応する部分が検出電極のパターンと
して形成されているので、セラミック共振器の出力端子
とその検出電極パターンの伸張先端面までの距離はばら
つきのない一定の値となり、その距離を前記nλ/4±λ
/10の領域を避けた適切な値に設定することが容易とな
り、装置の検出性能の安定化を図ることが可能となる。
In the present invention, since the portion corresponding to the electrode needle of the proposed device is formed in the electrode pattern forming portion of the circuit board as the detection electrode pattern, the output terminal of the ceramic resonator and the extended tip surface of the detection electrode pattern Is a constant value with no variation, and the distance is calculated as nλ / 4 ± λ
It becomes easy to set an appropriate value while avoiding the area of / 10, and it becomes possible to stabilize the detection performance of the device.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。
なお、本実施例の説明において前記提案装置と同一の部
分には同一符号を付してその重複説明は省略する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
In the description of the present embodiment, the same parts as those of the proposed device are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted.

第1図〜第3図には本考案に係る静電センサ装置の一
実施例が示されている。これらの図において、回路基板
として機能するプリント基板6の片面側には前記提案装
置と同様に、同調回路としてのセラミック共振器がグラ
ンド実装面9上に配設されるとともに、発振回路1と検
波回路4と増幅回路5等の回路(図示せず)が形成され
ている。この実施例では、セラミック静電装置の回路が
2チャンネル形成されており、これに伴い、同調回路と
してのセラミック共振器も2個配設されており、両セラ
ミック共振器7a,7bは出力端子8a,8bを互いに向き合わせ
て近接配置されている。プリント基板6上には各出力端
子8a,8bが挿入する挿入孔13a,13bが開けられており、こ
の挿入孔13a,13bに、対応するセラミック共振器7a,7bの
出力端子8a,8bが挿入固定されている。
1 to 3 show an embodiment of the electrostatic sensor device according to the present invention. In these figures, a ceramic resonator as a tuning circuit is disposed on the ground mounting surface 9 on one side of the printed circuit board 6 functioning as a circuit board, similarly to the proposed device, and the oscillation circuit 1 and the detection circuit are detected. Circuits (not shown) such as the circuit 4 and the amplifier circuit 5 are formed. In this embodiment, two circuits of the ceramic electrostatic device are formed, and along with this, two ceramic resonators as a tuning circuit are also arranged, and both ceramic resonators 7a and 7b have output terminals 8a. , 8b are arranged close to each other. Insert holes 13a and 13b into which the output terminals 8a and 8b are inserted are formed on the printed circuit board 6, and the output terminals 8a and 8b of the corresponding ceramic resonators 7a and 7b are inserted into the insertion holes 13a and 13b. It is fixed.

前記プリント基板6にはセラミック共振器7a,7bの配
設部分を基部側として外側に突出する電極パターン形成
部14が形成されている。この電極パターン形成部14の表
面には焼付け、エッチング、蒸着等の適宜の手段を用い
て検出電極パターン15a,15bが形成されている。この検
出電極パターン15a,15bの基端側はそれぞれ対応する挿
入孔13a,13bを含んでおり、各チャンネルのセラミック
共振器7a,7bの出力端子8a,8bは前記挿入孔13a,13bに挿
入された状態で、対応する検出電極パターン15a,15bと
ハンダ接続されている。前記検出電極パターン15a,15b
の先端側は第2図に示すように、電極パターン形成部14
の先端位置まで伸張され、そのパターンの伸張先端面は
被検出体(図示せず)に対向する静電容量変化の検出電
極面16a,16bになっている。
An electrode pattern forming portion 14 is formed on the printed circuit board 6 so as to project outward with the portion where the ceramic resonators 7a and 7b are provided as the base side. Detection electrode patterns 15a and 15b are formed on the surface of the electrode pattern forming portion 14 by using an appropriate means such as baking, etching, vapor deposition or the like. The base end sides of the detection electrode patterns 15a and 15b include corresponding insertion holes 13a and 13b, respectively, and the output terminals 8a and 8b of the ceramic resonators 7a and 7b of the respective channels are inserted into the insertion holes 13a and 13b. In this state, it is soldered to the corresponding detection electrode patterns 15a and 15b. The detection electrode patterns 15a, 15b
As shown in FIG. 2, the tip side of the electrode pattern forming portion 14
To the tip position, and the extended tip surfaces of the pattern are detection electrode surfaces 16a, 16b facing the object to be detected (not shown) for detecting capacitance change.

電極パターン形成部14にはさらに、検出電極パターン
15a,15bの外側と検出電極パターン15a,15b間にグランド
パターン17a,17b,17cが設けられており、検出電極パタ
ーン15aはグランドパターン17a、17bによって挟まれ、
また、検出電極パターン15bはグランドパターン17b,17c
によって挟まれており、検出電極パターン15a,15bはグ
ランドパターン17bにより静電的に遮断されて各パター
ン15a,15b周りの固定容量C0のバラツキが押さえられて
いる。これらグランドパターン17a,17b,17cの基端側は
前記グランド実装面9に接続されている。電極パターン
形成部14の反対側の面には導体パターン18が形成されて
おり、同パターン18の外側からプリント基板6の内部を
通って検出電極パターン15a,15bに侵入する電界を遮断
している。
The electrode pattern forming unit 14 further includes a detection electrode pattern.
Ground patterns 17a, 17b, 17c are provided between the outside of 15a, 15b and the detection electrode patterns 15a, 15b, and the detection electrode pattern 15a is sandwiched by the ground patterns 17a, 17b,
Further, the detection electrode pattern 15b is a ground pattern 17b, 17c.
The detection electrode patterns 15a and 15b are electrostatically cut off by the ground pattern 17b to suppress variations in the fixed capacitance C 0 around the patterns 15a and 15b. The base ends of the ground patterns 17a, 17b, 17c are connected to the ground mounting surface 9. A conductor pattern 18 is formed on the opposite surface of the electrode pattern forming portion 14 and blocks an electric field that penetrates the detection electrode patterns 15a and 15b from the outside of the pattern 18 through the inside of the printed circuit board 6. .

前記プリント基板6の回路形成部分は導体ケース12に
よって覆われており、電極パターン形成部14は導体ケー
ス12に設けた開口部から外に突出している。前記電極パ
ターン形成部14は導体によって形成された筒状の保護カ
バー20によって覆われており、この保護カバー20の基端
側はねじ止め等により導体ケース12に固定されている。
本実施例では、保護カバー20の先端面と電極パターン形
成部14の突出先端面、つまり、保護カバー20の先端面と
検出電極パターン15a,15bの検出電極面16a,16bとは同一
平面上に一致させてあり、保護カバー20の先端面を被検
出体と検出電極面16a,16bとの距離を定める基準面とし
て利用できるようになっている。
The circuit forming portion of the printed circuit board 6 is covered with the conductor case 12, and the electrode pattern forming portion 14 projects outward from an opening provided in the conductor case 12. The electrode pattern forming portion 14 is covered with a cylindrical protective cover 20 formed of a conductor, and the base end side of the protective cover 20 is fixed to the conductor case 12 by screwing or the like.
In the present embodiment, the tip surface of the protective cover 20 and the protruding tip surface of the electrode pattern forming portion 14, that is, the tip surface of the protective cover 20 and the detection electrode patterns 16a, 16b of the detection electrode patterns 15a, 15b are on the same plane. They are matched with each other, and the tip end surface of the protective cover 20 can be used as a reference surface for determining the distance between the object to be detected and the detection electrode surfaces 16a and 16b.

本実施例の装置は、前記提案装置の電極針11と同様
に、検出電極面16a,16bを被検出体に対向し、被検出体
の移動等に伴う微小静電容量の変化を検出することで、
それぞれ対応するセラミック共振器7a,7bから電圧の検
出信号が取り出されるのである。この実施例によれば、
検出電極パターン15a,15bはプリント基板6上に一体的
にパターン形成されているので、セラミック共振器7a,7
bの出力端子8a,8bから対応する検出電極面16a,16bまで
の距離を共振周波数が不安定となるnλ/4±λ/10の領
域を避けた距離に正確に設定することが可能となり、こ
れにより、装置検出性能の安定化を達成することができ
る。
The device of the present embodiment, similarly to the electrode needle 11 of the proposed device, the detection electrode surface 16a, 16b facing the object to be detected, it is possible to detect the change in the small capacitance due to the movement of the object to be detected. so,
Voltage detection signals are taken out from the corresponding ceramic resonators 7a and 7b. According to this embodiment,
Since the detection electrode patterns 15a and 15b are integrally formed on the printed circuit board 6, the ceramic resonators 7a and 7b are formed.
It is possible to accurately set the distance from the output terminals 8a, 8b of b to the corresponding detection electrode surfaces 16a, 16b to a distance avoiding the region of nλ / 4 ± λ / 10 where the resonance frequency becomes unstable, As a result, stabilization of the device detection performance can be achieved.

また、プリント基板6上に複数チャンネルの検出電極
パターン15a,15bを近接形成しても、その両パターン15
a,15bの間にはグランドパターン17bが介設されて静電的
に遮断されるから、検出電極パターン15a,15bから出る
電波の相互干渉を防止することができ、また、浮遊分布
容量が均一化するので、共振周波数が安定化し、これに
伴い、各チャンネルの静電センサ装置の回路動作を安定
化することができる。また、検出電極パターン15a,15b
はグランドパターン17a,17cと導体パターン18による静
電遮断効果により周りの回路等との静電遮断が達成され
ており、しかも、導体の保護カバー20により内外的に電
波の輻射が遮断されるから、回路動作の安定化をよりい
っそう図ることができる。
In addition, even if the plurality of channels of the detection electrode patterns 15a and 15b are formed on the printed circuit board 6 in close proximity to each other, both patterns 15
Since a ground pattern 17b is provided between a and 15b to electrostatically block it, mutual interference of radio waves emitted from the detection electrode patterns 15a and 15b can be prevented, and the stray distribution capacitance is uniform. Since the resonance frequency is stabilized, the circuit operation of the electrostatic sensor device of each channel can be stabilized accordingly. In addition, the detection electrode patterns 15a, 15b
The ground patterns 17a, 17c and the conductor pattern 18 have achieved an electrostatic shield effect from the surrounding circuits and the like due to the electrostatic shield effect, and furthermore, the conductor protective cover 20 shields radio wave radiation internally and externally. It is possible to further stabilize the circuit operation.

また、各検出電極パターン15a,15bは保護カバー20に
より外力に対して保護されているから、検出電極パター
ン15a,15bの検出電極面16a,16bが他の部材に接触したり
衝突したりして損傷することがなく、静電検出部の信頼
性を高め、装置の長寿命化を達成することができる。
Further, since each detection electrode pattern 15a, 15b is protected against external force by the protective cover 20, the detection electrode patterns 16a, 16b of the detection electrode patterns 15a, 15b may contact or collide with other members. It is possible to improve the reliability of the electrostatic detection unit without being damaged and to prolong the life of the device.

さらに、装置構成が極めて簡易であるから、装置製造
も容易となり、装置コストの低減化を図ることができ
る。
Further, since the device configuration is extremely simple, the device can be easily manufactured, and the device cost can be reduced.

なお、本考案は上記実施例に限定されることはなく、
様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記実施例で
は、回路基板としてプリント基板を用いたが、これを多
層基板により構成してもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various embodiments may be adopted. For example, although the printed circuit board is used as the circuit board in the above embodiment, it may be formed of a multilayer board.

また、上記実施例ではプリント基板上に2チャンネル
の静電センサ装置の回路を形成したが、3チャンネル以
上の回路を形成してもよく、また、1チャンネルだけの
回路を形成してもよい。
Further, in the above embodiment, the circuit of the two-channel electrostatic sensor device is formed on the printed circuit board, but the circuit of three or more channels may be formed, or the circuit of only one channel may be formed.

さらに、実施例では、検出電極パターン15a,15bが形
成されている面と反対側のプリント基板の面に導体パタ
ーン18を形成したが、この導体パターン18を省略するこ
とができる。
Further, in the embodiment, the conductor pattern 18 is formed on the surface of the printed board opposite to the surface on which the detection electrode patterns 15a and 15b are formed, but the conductor pattern 18 can be omitted.

〔考案の効果〕[Effect of device]

本考案は、回路基板に電極パターン形成部を突出形成
し、この電極パターン形成部に検出電極パターンを回路
基板と一体に形成し、この検出電極パターンの基端側を
セラミック共振器の出力端子に接続し、検出電極パター
ンの伸張先端面を検出電極面として形成したものである
から、セラミック共振器の出力端子から前記検出電極面
との距離をばらつきなく一定の値に形成することが可能
となる。したがって、その距離を共振周波数が不安定と
なる長さを避けた距離に正確に設定することが可能とな
り、装置の検出性能を安定化させることが可能となる。
また、装置構成が簡易であり、装置製造も容易となるの
で、本考案の優れた装置を安価に提供することができ
る。
According to the present invention, an electrode pattern forming portion is formed to project on a circuit board, a detection electrode pattern is formed integrally with the circuit board on the electrode pattern forming portion, and the base end side of the detection electrode pattern is used as an output terminal of a ceramic resonator. Since the extension tip surface of the detection electrode pattern is connected and formed as the detection electrode surface, the distance from the output terminal of the ceramic resonator to the detection electrode surface can be formed to a constant value without variation. . Therefore, the distance can be accurately set to a distance that avoids the length at which the resonance frequency becomes unstable, and the detection performance of the device can be stabilized.
Further, since the device configuration is simple and the device is easily manufactured, the excellent device of the present invention can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案に係る静電センサ装置の一実施例を示す
要部断面構成図、第2図は同実施例装置の正面図、第3
図は第2図の一部省略側面図、第4図はセラミック共振
器を用いた静電センサ装置の1チャンネルの回路構成を
示すブロック図、第5図は静電センサ装置の静電容量検
出例の説明図、第6図はセラミック共振器を用いた提案
装置の説明図、第7図はセラミック共振器の出力端子か
ら電極針の先端までの距離と共振周波数の関係を示す特
性説明図である。 1……発振回路、2……同調回路、3……検出部、4…
…検波回路、5……増幅回路、6……プリント基板、7,
7a,7b……セラミック共振器、8,8a,8b……出力端子、9
……グランド実装面、10……導体パターン、11……電極
針、12……導体ケース、13a,13b……挿入孔、14……電
極パターン形成部、15a,15b……検出電極パターン、16
a,16b……検出電極面17a,17b,17c……グランドパター
ン、18……導体パターン、20……保護カバー。
FIG. 1 is a sectional view showing the construction of an essential part of an electrostatic sensor device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of the device of the same embodiment.
2 is a side view with a part of FIG. 2 omitted, FIG. 4 is a block diagram showing a circuit configuration of one channel of an electrostatic sensor device using a ceramic resonator, and FIG. 5 is electrostatic capacitance detection of the electrostatic sensor device. Fig. 6 is an explanatory diagram of an example, Fig. 6 is an explanatory diagram of a proposed device using a ceramic resonator, and Fig. 7 is a characteristic explanatory diagram showing the relationship between the distance from the output terminal of the ceramic resonator to the tip of the electrode needle and the resonance frequency. is there. 1 ... Oscillation circuit, 2 ... Tuning circuit, 3 ... Detector, 4 ...
… Detector circuit, 5 …… Amplifier circuit, 6 …… Printed circuit board, 7,
7a, 7b …… Ceramic resonator, 8,8a, 8b …… Output terminal, 9
...... Ground mounting surface, 10 …… conductor pattern, 11 …… electrode needle, 12 …… conductor case, 13a, 13b …… insertion hole, 14 …… electrode pattern forming part, 15a, 15b …… detection electrode pattern, 16
a, 16b …… Detection electrode surface 17a, 17b, 17c …… Ground pattern, 18 …… Conductor pattern, 20 …… Protective cover.

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of utility model registration request] 【請求項1】共振器をセラミック共振器によって構成し
た静電センサ装置であって、セラミック共振器が実装さ
れる回路基板の基端側は導体ケース内に収容され、導体
ケースの開口部からは回路基板の電極パターン形成部が
導体ケースの外側に突出して形成されており、この電極
パターン形成部には検出電極パターンが電極パターン形
成部の基端側から先端側に向かって電極パターン形成部
の前記突出方向に伸張して形成され、検出電極パターン
の基端側は前記セラミック共振器の出力端子に接続さ
れ、検出電極パターンの伸張先端面は被検出体に対向す
る静電容量変化の検出電極面になっている静電センサ装
置。
1. An electrostatic sensor device comprising a resonator as a ceramic resonator, wherein a base side of a circuit board on which the ceramic resonator is mounted is housed in a conductor case, and an opening of the conductor case is provided. The electrode pattern forming portion of the circuit board is formed so as to project to the outside of the conductor case, and the detection electrode pattern is formed on the electrode pattern forming portion of the electrode pattern forming portion from the base end side to the tip end side of the electrode pattern forming portion. The detection electrode pattern is formed to extend in the projecting direction, the base end side of the detection electrode pattern is connected to the output terminal of the ceramic resonator, and the extension front end surface of the detection electrode pattern is a detection electrode for capacitance change facing the object to be detected. The electrostatic sensor device that is the surface.
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