JP2512790B2 - Feed instruction accuracy inspection method and its gage - Google Patents

Feed instruction accuracy inspection method and its gage

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、送り指示精度検査方法及びそのゲージに係
り、特に、触針式形状測定機の送り指示精度を検査する
ための送り指示精度検査方法及びそのゲージに関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a feed instruction accuracy inspection method and a gauge thereof, and particularly to a feed instruction accuracy inspection for inspecting the feed instruction accuracy of a stylus shape measuring machine. Method and its gauge.

〔従来の技術〕 触針式形状測定機は、触針を被測定物の加工面等に接
触させて移動し、ワークの表面粗さや、輪郭形状を測定
するものである。従って、ワークの表面粗さや、輪郭形
状を高精度に測定する為には、触針式形状測定機が読み
取る値(測定値)と、被測定物の真の値との誤差(以下
「送り指示精度」と称する。)を検査して校正すること
が不可欠である。
[Prior Art] A stylus-type shape measuring instrument measures the surface roughness and contour shape of a workpiece by moving the stylus while bringing it into contact with a processed surface of a workpiece. Therefore, in order to measure the surface roughness and contour shape of the work with high accuracy, the error between the value (measured value) read by the stylus shape measuring machine and the true value of the measured object (hereinafter referred to as "feed instruction"). It is essential to inspect and calibrate).

従来、この送り指示精度の検査は、ラックマスタや倍
率校正台等を使用して行われている。
Conventionally, the inspection of the feed instruction accuracy is performed using a rack master, a magnification calibration table, or the like.

ラックマスタは、第7図に示すように、上面にラック
歯1Aが加工されている。このラックマスタ1を使用して
送り指示精度を検査する場合、先ず、触針式測定機の定
盤上にラックマスタ1を載置する。次に、触針式形状測
定機の触針をラック歯1Aに沿って移動させてL1、L2を測
定し、この測定値とラック歯1Aの真のL1、L2の値とを比
較して送り指示精度の検査を行う。
As shown in FIG. 7, the rack master has rack teeth 1A formed on its upper surface. When the feed instruction accuracy is inspected using the rack master 1, first, the rack master 1 is placed on the surface plate of the stylus type measuring machine. Next, move the stylus of the stylus shape measuring instrument along the rack tooth 1A to measure L 1 and L 2, and then measure this value and the true L 1 and L 2 values of the rack tooth 1A. The feed instruction accuracy is inspected by comparison.

また、倍率校正台を使用して送り指示精度を検査する
場合、第8図に示すように、校正台2上に第1のブック
ゲージ4をセットし、ブロックゲージ4の左端面に校正
片6を当接し、校正片6の傾斜面6Aを触針7でトレース
して傾斜面6Aの位置を記録する。次に、第1のブロック
ゲージ4に替えて、第2のブロックゲージ8をセット
し、このブロックゲージ8の左端面に校正片6を当接し
て同様に校正片6の傾斜面6Aを記録する。次いで、二箇
所に記録された傾斜面6Aの位置から、第1のブロックゲ
ージ4の長さと、第2のブロックゲージ8の長さとの
差、即ち、L3を算出し、この値と真の値とを比較して送
り指示精度を検査する。
When inspecting the feed instruction accuracy using the magnification calibration table, as shown in FIG. 8, the first book gauge 4 is set on the calibration table 2 and the calibration piece 6 is placed on the left end surface of the block gauge 4. And the inclined surface 6A of the calibration piece 6 is traced with the stylus 7 and the position of the inclined surface 6A is recorded. Next, the second block gauge 8 is set in place of the first block gauge 4, the calibration piece 6 is brought into contact with the left end surface of this block gauge 8, and the inclined surface 6A of the calibration piece 6 is similarly recorded. . Next, the difference between the length of the first block gauge 4 and the length of the second block gauge 8, that is, L 3, is calculated from the positions of the inclined surfaces 6A recorded at the two positions, and this value and the true value are calculated. Check the feed indication accuracy by comparing with the value.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、ラックマスタは加工上、基準面となる
ラック歯を高精度に加工することが出来ないので、ラッ
クマスタを使用して触針式形状測定機の送り指示精度を
高精度に検査することが困難であるという問題がある。
However, because the rack master cannot process the rack teeth that are the reference surface with high accuracy, the rack master can be used to accurately check the feed instruction accuracy of the stylus profiler. There is a problem that it is difficult.

また、倍率校正台2は、第1、第2のブロックゲージ
4、8を取り換えてその寸法差を算出するので、段取り
時のブロックゲージのずれや、時間、温度ドリフトで精
度が低下するという問題がある。
Further, since the magnification calibration table 2 replaces the first and second block gauges 4 and 8 and calculates the dimensional difference between them, there is a problem in that the accuracy deteriorates due to the deviation of the block gauge during setup, time, and temperature drift. There is.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、触
針式形状測定機の送り指示精度を高精度に検査すること
が出来る送り指示精度検査方法及びそのゲージを提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a feed instruction accuracy inspection method and a gauge thereof capable of highly accurately inspecting the feed instruction accuracy of a stylus shape measuring machine. .

〔問題点を解決する為の手段〕[Means for solving problems]

本発明は前記目的を達成するために、複数のブロック
ゲージを凹部と凸部とが交互に形成されるように隣接し
て配設し、複数の凹部に各々ローラゲージを配設し、複
数のローラゲージを同方向に付勢して凹部の壁面にロー
ラゲージを接触し、ローラゲージがブロックゲージと接
触している側から、触針式形状測定機の触針で、ブロッ
クゲージとローラゲージとをトレースしてブロックゲー
ジとローラゲージの形状を記録し、記録した図面からロ
ーラゲージの中心間距離を求め、この値と、ブロックゲ
ージ及びローラゲージの規定寸法から算出したローラゲ
ージの中心間距離とを比較して触針式形状測定機の送り
指示精度を検査することを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of block gauges adjacent to each other so that concave portions and convex portions are alternately formed, and a plurality of concave portions are respectively provided with roller gauges. The roller gauge is urged in the same direction to contact the wall surface of the recess with the roller gauge, and from the side where the roller gauge is in contact with the block gauge, use the stylus of the stylus shape measuring instrument to connect the block gauge and the roller gauge. Trace the trace to record the shapes of the block gauge and roller gauge, find the center distance of the roller gauge from the recorded drawings, and use this value and the center distance of the roller gauge calculated from the specified dimensions of the block gauge and roller gauge. It is characterized by inspecting the feed instruction accuracy of the stylus type shape measuring machine by comparing the above.

〔作用〕[Action]

本発明によれば、送り指示精度検査ゲージは、市販の
寸法精度が明らかなブロックゲージと、ローラゲージと
を組み合わせて構成されるので、低コストで送り指示精
度検査ゲージを製造することが出来、更に、各々のブロ
ックゲージとローラゲージとの寸法精度が明らかなの
で、触針式形状測定機の送り指示精度を高精度に検査す
ることが出来る。
According to the present invention, the feed instruction accuracy inspection gauge is configured by combining a commercially available block gauge with clear dimensional accuracy and a roller gauge, so that the feed instruction accuracy inspection gauge can be manufactured at low cost, Further, since the dimensional accuracy of each block gauge and roller gauge is clear, it is possible to inspect the feed instruction accuracy of the stylus type shape measuring instrument with high accuracy.

〔実施例〕〔Example〕

以下添付図面に従って本発明に係る送り指示精度検査
方法及びそのゲージの好まし実施例を詳説する。
Preferred embodiments of a feed instruction accuracy inspection method and a gauge thereof according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図に示すように本発明に係る送り指示精度検査ゲ
ージ10は、主に、ケース12と、ブロックゲージアッセン
ブリ14と、ローラゲージ16A乃至16Gとから構成されてい
る。
As shown in FIG. 1, the feed instruction accuracy inspection gauge 10 according to the present invention mainly includes a case 12, a block gauge assembly 14, and roller gauges 16A to 16G.

ケース12は、第2図に示すように、溝12Aが形成さ
れ、上面に基準面12B、12Bが形成されている。このケー
ス12の両側面には、ロッド18、18…の一端が固着されて
いる。ロッド18、18…の他端には溝部18A、18A…が形成
されている。また、第1図に示すように、ケース12の両
端部には、右側の板材22と左側の板材24とが固定されて
いる。板材22にはストッパ26が取付けられ、板材24に
は、ねじ28が螺合されている。このボルト28の端部に
は、フランジ28Aが形成され、第1図上で、フランジ28A
の左側のボルト28の端部には、スプリング29が嵌合され
ている。尚、第2図上で12Bは、ケース12のカバーであ
る。
As shown in FIG. 2, the case 12 has a groove 12A formed therein and reference surfaces 12B, 12B formed on the upper surface thereof. One ends of rods 18, 18 ... Are fixed to both side surfaces of the case 12. Grooves 18A, 18A ... Are formed at the other ends of the rods 18, 18. Further, as shown in FIG. 1, a right side plate member 22 and a left side plate member 24 are fixed to both ends of the case 12. A stopper 26 is attached to the plate member 22, and a screw 28 is screwed into the plate member 24. A flange 28A is formed at the end of the bolt 28, and the flange 28A is shown in FIG.
A spring 29 is fitted to the end of the bolt 28 on the left side of the. Incidentally, 12B in FIG. 2 is a cover of the case 12.

ブロックゲージアッセンブリ14は、第3図に示すよう
に、上端部が突出したブロックゲージ30A乃至30Hと、下
端部が突出したブロックゲージ31A乃至31Gとから成り、
ブロックゲージ30A乃至30Hの上端は、ブロックゲージ31
A乃至31Gの上端部よりH1上方に突出して配置されてい
る。従って、ブロックゲージアッセンブリ14の上側と下
側には、交互に凹凸が形成されている。このゲージアッ
センブリ14は、第1図に示すように、ケース12の溝12A
内に配置され、一方の端部はスプリング29で、第1図上
で左方向(矢印A方向)に付勢され、他方の端部はスト
ッパ26に接触している。また、ブロックゲージアッセン
ブリ14の下側の複数の凸面は、溝12Aの底面に載置され
ている。更に、ブロックゲージアッセンブリ14の下側の
複数の凸部には、ロッド34、34…が配置されている。こ
のロッド34の直径は、凹部の深さ寸法より小さく、(H1
−H2−H3)の寸法になっている。また、第1図に示すよ
うに、ブロックゲージ31A乃至31Gの上面は、ケース12の
基準面12BよりH2下方に配置されている。
As shown in FIG. 3, the block gauge assembly 14 is composed of block gauges 30A to 30H whose upper ends protrude and block gauges 31A to 31G whose lower ends protrude,
The upper end of the block gauges 30A to 30H is the block gauge 31.
It is arranged so as to project above H 1 from the upper ends of A to 31G. Therefore, irregularities are alternately formed on the upper side and the lower side of the block gauge assembly 14. As shown in FIG. 1, the gauge assembly 14 is provided with a groove 12A of the case 12.
It is disposed inside, and one end is urged to the left (in the direction of arrow A) in FIG. 1 by a spring 29, and the other end is in contact with the stopper 26. The plurality of convex surfaces on the lower side of the block gauge assembly 14 are placed on the bottom surface of the groove 12A. Further, rods 34, 34 ... Are arranged on the plurality of convex portions on the lower side of the block gauge assembly 14. The diameter of this rod 34 is smaller than the depth of the recess, and (H 1
It has become the size of -H 2 -H 3). Further, as shown in FIG. 1, the upper surfaces of the block gauges 31A to 31G are arranged below the reference surface 12B of the case 12 by H 2 .

ローラゲージ16A乃至16Gは、第1図に示すように、ゲ
ージアッセンブリ14の上側の凹部に配置されている。こ
のローラゲージの両端の溝部には、第2図に示すよう
に、スプリング36、36の一端が各々係止されている。こ
のスプリング36の他端は、ロッド18の溝部18Aに係止さ
れている。従って、ローラゲージ16A乃至16Gは、スプリ
ング36、36…で左下側方向に勢力されているので、基準
面12B、12Bと、ブロックゲージ30A乃至30Gの凸部の右側
の壁面とに接触している。また、第4図に示すように、
ローラゲージ16A乃至16Gの中心位置は、ブロックゲージ
30A乃至30Gの上面よりH3下方に配置されている。
The roller gauges 16A to 16G are arranged in the recesses on the upper side of the gauge assembly 14 as shown in FIG. As shown in FIG. 2, one ends of springs 36, 36 are respectively engaged with the groove portions on both ends of this roller gauge. The other end of the spring 36 is locked in the groove 18A of the rod 18. Therefore, since the roller gauges 16A to 16G are urged by the springs 36, 36 in the lower left direction, the roller gauges 16A to 16G are in contact with the reference surfaces 12B and 12B and the wall surfaces on the right side of the convex portions of the block gauges 30A to 30G. . Also, as shown in FIG.
The center position of the roller gauges 16A to 16G is the block gauge.
It is arranged below the upper surface of 30A to 30G by H 3 .

前記の如く構成された本発明に係る送り指示精度検査
方法及びそのゲージの作用について説明する。
The operation of the feed instruction accuracy inspection method and the gauge thereof according to the present invention configured as described above will be described.

先ず、図示しない触針式形状測定機の定盤上に、本発
明に係る送り指示精度検査ゲージ10を触針の送り方向と
平行に載置し、触針式形状測定機の触針をブロックゲー
ジ30Aの上面に載置する。載置した触針は、第4図に示
す矢印B方向、即ち、ブロックゲージ30A、ローラゲー
ジ16A、ブロックゲージ30B…に沿って順次移動し、触針
式形状測定機で第5図に示す図形を記録する。この記録
された図形から半円弧の中心座標P1(X1、Y1)、P
2(X2、Y2)、P3(X3、Y3)の値をそれぞれ求め、P1、P
2間の距離L4と、P2、P3間の距離L5との値を以下の式か
ら求める。
First, the feed instruction accuracy inspection gauge 10 according to the present invention is placed parallel to the feed direction of the stylus on the surface plate of the stylus type shape measuring device (not shown), and the stylus of the stylus type shape measuring device is blocked. Place on top of gauge 30A. The mounted stylus moves in the direction of arrow B shown in FIG. 4, that is, along the block gauge 30A, the roller gauge 16A, the block gauge 30B, ... To record. From this recorded figure, the center coordinates P 1 (X 1 , Y 1 ) of the semi-circle, P
Obtain the values of 2 (X 2 , Y 2 ) and P 3 (X 3 , Y 3 ) respectively, and obtain P 1 , P
The value of the distance L 4 between 2 and the distance L 5 between P 2 and P 3 is calculated from the following formula.

また、第6図に示すように、ブロックゲージ30A乃至3
0H及び31A乃至31Gと、ローラゲージ16A乃至16Gとの規定
寸法(A1、A2、A3、B1、B2、D1、D2、D3)からL6とL7
の値を、以下の式で算出して求める。
Further, as shown in FIG. 6, block gauges 30A to 3A
Values of L 6 and L 7 from the specified dimensions (A 1 , A 2 , A 3 , B 1 , B 2 , D 1 , D 2 , D 3 ) of 0H and 31A to 31G and roller gauges 16A to 16G Is calculated by the following formula.

従って、L4及びL6の値と、L5及びL7との値を比較して
触針式形状測定機の指定精度を検査する。
Therefore, to check the value of L 4 and L 6, the specified precision of probe type shape measuring apparatus by comparing the values of L 5 and L 7.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明に係る送り指示精度検査
方法及びそのゲージによれば、送り指示精度検査ゲージ
は、市販の寸法精度が明らかなブロックゲージと、ロー
ラゲージとを組み合わせて構成されている。従って、低
コストで高精度の精度検出ゲージを作成することが出
来、更に、送り指示精度を高精度に検出することが出来
る。
As described above, according to the feed instruction accuracy inspection method and the gauge thereof according to the present invention, the feed instruction accuracy inspection gauge is configured by combining a commercially available block gauge whose dimensional accuracy is clear and a roller gauge. . Therefore, a highly accurate precision detection gauge can be created at low cost, and further, the feed instruction precision can be detected with high precision.

また、ローラゲージを記録した半円弧の図から、ロー
ラゲージの中心座標を求めるので、触針の先端形状や外
部振動による撓み等の誤差を除去でき、送り方向の送り
指示精度を正確に検査することが出来る。
In addition, since the center coordinates of the roller gauge are obtained from the half-circle diagram in which the roller gauge is recorded, errors such as the tip shape of the stylus and bending due to external vibration can be eliminated, and the feed instruction accuracy in the feed direction can be accurately inspected. You can

更に、凹凸上に組み合わせた複数個のブロックゲージ
の凹部に配置されたローラゲージを同一方向に付勢し、
凹部を形成するブロックゲージの壁面に当接することに
より、ローラゲージ径の誤差の累積を防止することが出
来る。尚、この場合、ローラゲージの中心間距離には、
ローラゲージ径の誤差は1/2しか影響しない。
Furthermore, the roller gauges arranged in the recesses of the plurality of block gauges combined on the unevenness are biased in the same direction,
By abutting on the wall surface of the block gauge forming the concave portion, it is possible to prevent the accumulation of errors in the roller gauge diameter. In this case, the distance between the centers of the roller gauge is
Roller gauge diameter error only affects 1/2.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明に係る送り指示精度検出ゲージの一部断
面図、第2図は第1図のA−A断面図、第3図は本発明
に係る送り指示精度検出ゲージに使用するブロックゲー
ジアッセンブリの側面図、第4図は本発明に係る送り指
示精度検出ゲージの要部断面図、第5図は本発明に係る
送り指示精度検出ゲージを触針式形状測定機でトレース
した図面、第6図は本発明に係る送り指示精度検出ゲー
ジに使用するブロックゲージとローラゲージとの各々の
寸法を示した側面図、第7図は従来の送り指示精度検査
用ゲージの側面図、第8図は従来の他の送り指示精度検
査用倍率校正台の側面図である。 10……送り指示精度検出ゲージ、12……ケース、12B…
…基準面、14……ブロックゲージアッセンブリ、16A乃
至16G……ローラゲージ、30A乃至30H、31A乃至31G……
ブロックゲージ、36……スプリング。
FIG. 1 is a partial sectional view of a feed instruction accuracy detection gauge according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is a block used for the feed instruction accuracy detection gauge according to the present invention. FIG. 4 is a side view of the gauge assembly, FIG. 4 is a sectional view of a main part of the feed instruction accuracy detection gauge according to the present invention, and FIG. 5 is a drawing in which the feed instruction accuracy detection gauge according to the present invention is traced by a stylus type shape measuring machine. FIG. 6 is a side view showing respective dimensions of a block gauge and a roller gauge used in a feed instruction accuracy detection gauge according to the present invention, and FIG. 7 is a side view of a conventional feed instruction accuracy inspection gauge, and FIG. FIG. 1 is a side view of another conventional magnification calibration table for feed instruction accuracy inspection. 10 …… Feed indication accuracy detection gauge, 12 …… Case, 12B…
… Reference surface, 14 …… Block gauge assembly, 16A to 16G …… Roller gauge, 30A to 30H, 31A to 31G ……
Block gauge, 36 ... Spring.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−122413(JP,A) 特開 昭58−160047(JP,A) 実開 昭54−125256(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-58-122413 (JP, A) JP-A-58-160047 (JP, A) Practical application Sho-54-125256 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のブロックゲージを凹部と凸部とが交
互に形成されるように隣接して配設し、 複数の凹部に各々ローラゲージを配設し、 複数のローラゲージを同方向に付勢して凹部の壁面にロ
ーラゲージを接触し、 ローラゲージがブロックゲージと接触している側から、
触針式形状測定機の触針で、ブロックゲージとローラゲ
ージとをトレースしてブロックゲージとローラゲージの
形状を記録し、 記録した図面からローラゲージの中心間距離を求め、こ
の値と、ブロックゲージ及びローラゲージの規定寸法か
ら算出したローラゲージの中心間距離とを比較して触針
式形状測定機の送り指示精度を検査することを特徴とす
る送り指示精度検査方法。
1. A plurality of block gauges are arranged adjacent to each other so that concave portions and convex portions are alternately formed, and roller gauges are respectively arranged in the plurality of concave portions, and the plurality of roller gauges are arranged in the same direction. Energize and bring the roller gauge into contact with the wall surface of the recess, and from the side where the roller gauge is in contact with the block gauge,
Trace the block gauge and roller gauge with the stylus of a stylus shape measuring machine, record the shapes of the block gauge and roller gauge, find the center distance of the roller gauge from the recorded drawings, and use this value and the block A feed instruction accuracy inspection method characterized by inspecting a feed instruction accuracy of a stylus type shape measuring machine by comparing a center distance of the roller gauge calculated from a specified dimension of the gauge and the roller gauge.
【請求項2】複数のブロックゲージを凹部と凸部が交互
に形成されるように隣接して配設したブロックゲージア
ッセンブリと、 ブロックゲージアッセンブリの両端面を押圧してブロッ
クゲージアッセンブリを一体的に保持可能なケースと、 各々の凹部に配設された複数のローラゲージと、 複数のローラゲージを同方向に付勢して凹部の壁面にロ
ーラゲージを接触させる付勢手段と、 を有することを特徴とする送り指示精度検出ゲージ。
2. A block gauge assembly in which a plurality of block gauges are arranged adjacent to each other so that concave portions and convex portions are alternately formed, and both end surfaces of the block gauge assembly are pressed to integrally form the block gauge assembly. A case capable of holding, a plurality of roller gauges disposed in each recess, and an urging means for urging the plurality of roller gauges in the same direction to bring the roller gauge into contact with the wall surface of the recess. Characteristic feed indication accuracy detection gauge.
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