JP2505165B2 - Resolution measuring device - Google Patents

Resolution measuring device

Info

Publication number
JP2505165B2
JP2505165B2 JP61181079A JP18107986A JP2505165B2 JP 2505165 B2 JP2505165 B2 JP 2505165B2 JP 61181079 A JP61181079 A JP 61181079A JP 18107986 A JP18107986 A JP 18107986A JP 2505165 B2 JP2505165 B2 JP 2505165B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resolution
image pickup
sine wave
pattern
measuring apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP61181079A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6337796A (en
Inventor
純郎 小池
泰章 西田
欣裕 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Broadcasting Corp
Original Assignee
Japan Broadcasting Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Broadcasting Corp filed Critical Japan Broadcasting Corp
Priority to JP61181079A priority Critical patent/JP2505165B2/en
Publication of JPS6337796A publication Critical patent/JPS6337796A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2505165B2 publication Critical patent/JP2505165B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、撮像装置の解像度、特にレンズ・撮像素子
・信号処理回路を含めた総合的なMTF(Modulation Tran
sfer Function)特性を測定する装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention relates to the resolution of an image pickup apparatus, and in particular to a comprehensive MTF (Modulation Tran) including a lens, an image pickup element, and a signal processing circuit.
sfer Function) A device for measuring characteristics.

[開示の概要] 本発明は、撮像装置の解像度測定装置において、より
簡易に制度良く解像度を測定し、且つ、固体撮像装置な
どのように折り返しによる偽信号を発生する撮像装置に
おいても偽信号に影響されることなく解像度を測定し、
更には、偽信号成分となる周波数帯域の特性をも測定可
能にしたものである。
[Summary of the Disclosure] The present invention provides a false signal in a resolution measuring device of an image pickup device, which can more easily and accurately measure the resolution and can generate a false signal due to aliasing such as a solid-state image pickup device. Measure resolution without being affected,
Furthermore, the characteristics of the frequency band that is the false signal component can be measured.

[従来の技術] 従来から、信号処理回路のMTFを求める装置は各種知
られているが、撮像装置の解像度測定には、板ないし紙
製のパネル上に描かれた白黒パターンによる矩形波チャ
ートを用いたAR(アンプリチュードレスポンス)を測定
するのが一般的である。またMTFは、上記ARから近似計
算により求めている。
[Prior Art] Conventionally, various devices for obtaining the MTF of a signal processing circuit are known, but a rectangular wave chart based on a black and white pattern drawn on a plate or a paper panel is used for measuring the resolution of an image pickup device. It is common to measure the used AR (amplitude response). In addition, MTF is obtained by approximate calculation from the above AR.

[発明が解決しようとする問題点] 従来から知られているARの算出方法では、矩形波の輝
度変化パターンを描いた板ないし紙製のパネルチャート
を用いてオシロスコープなどにより矩形波の振動を求め
ているため、読み取り誤差やパネルチャートの提示位置
のずれ等測定者による個人的な差異も誤差の要因となっ
ている。また、撮像管では特に問題とならないが、特に
固体撮像装置などの場合は、矩形波パターンの高調波成
分から生じる偽信号のため、波形振幅を測定するのは困
難であった。
[Problems to be Solved by the Invention] In the conventionally known AR calculation method, the vibration of a rectangular wave is obtained by an oscilloscope or the like using a panel chart made of a plate or paper on which a rectangular wave luminance change pattern is drawn. Therefore, personal differences among measuring persons, such as reading errors and deviations of the presentation position of the panel chart, also cause the errors. Further, although there is no particular problem with the image pickup tube, particularly in the case of a solid-state image pickup device or the like, it is difficult to measure the waveform amplitude because of a false signal generated from the harmonic component of the rectangular wave pattern.

よって本発明の目的は、固体撮像装置の解像度(光学
系,信号処理回路を含めての解像度)を、空間サンプリ
ングによる折り返し歪に影響されることなく測定し得る
よう構成した測定装置を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a measuring device configured to measure the resolution of a solid-state imaging device (resolution including an optical system and a signal processing circuit) without being affected by aliasing distortion due to spatial sampling. It is in.

本発明のその他の目的は、測定用チャートとして矩形
波以外の自由な波形を電子的に発生するテレビジョンモ
ニタを用いることにより、上述した偽信号による測定誤
差を無くし、また自動化に適した装置を提供するととも
に、測定者による誤差のない高精度高速な解像度測定装
置を提供しようとするものである。
Another object of the present invention is to eliminate the measurement error due to the false signal described above by using a television monitor that electronically generates a free waveform other than a rectangular wave as a measurement chart, and to provide an apparatus suitable for automation. In addition to the above, the present invention is intended to provide a high-accuracy and high-speed resolution measuring device which is free from error by a measurer.

また本発明のその他の目的は、従来測定ができなかっ
た偽信号成分となる周波数帯域をも測定可能にし、制度
良くMTFを測定することを可能にした解像度測定装置を
提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a resolution measuring device that can measure a frequency band that is a false signal component that could not be conventionally measured, and that can accurately measure MTF.

[問題点を解決するための手段] かかる目的を達成するために、本発明では、テレビジ
ョンモニタ上に輝度変化パターンとして表示した単一の
正弦波パターン、または該正弦波のn−1倍とn+1倍
(nは自然数)の周波数の間の複数の周波数の異なる正
弦波を合成したパターン、もしくは単一の正弦波を低い
周波数の関数で変調して得られるパターンを被測定撮像
装置により撮像し、得られた撮像出力信号のARをフーリ
エ変換手段を用いて解析して解像度の測定を行うもので
ある。
[Means for Solving Problems] In order to achieve such an object, in the present invention, a single sine wave pattern displayed as a luminance change pattern on a television monitor, or n-1 times the sine wave pattern is used. An image to be measured is used to image a pattern obtained by combining sine waves of different frequencies between n + 1 times (n is a natural number) or a pattern obtained by modulating a single sine wave with a function of a low frequency. The resolution of the AR of the obtained image pickup output signal is analyzed by using the Fourier transform means.

[実施例] 本発明の実施例について、図面を参照して説明する。[Examples] Examples of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明を適用した一実施例の全体構成図であ
る。本図に示す1は、撮像管カメラあるいは固体カメラ
などの撮像装置(被測定装置)である。2は本発明によ
る測定解析および制御を行う装置本体である。3は本発
明による表示部であり、テレビジョンモニタを用いる。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of an embodiment to which the present invention is applied. Reference numeral 1 shown in the figure is an imaging device (device under test) such as an imaging tube camera or a solid-state camera. Reference numeral 2 is an apparatus main body for performing measurement analysis and control according to the present invention. A display unit 3 according to the present invention uses a television monitor.

本実施例では、テレビジョンモニタ3に輝度変化パタ
ーンとして表示された正弦波関数を、撮像装置1により
撮像する。撮像装置1より出力された映像信号を、本実
施例による解像度測定装置2に入力する。すなわち、前
置回路4により所定の帯域制限および増幅を行い、A/D
コンバータ5によりディジタル信号化し、信号処理回路
6によりフーリエ変換を用いたスペクトル分析からARを
求め、MTF特性検出回路7により解像度を算出する。こ
のとき、テレビジョンモニタ3に表示する正弦波関数は
正弦波発生器8により発生し、テレビジョンモニタ3で
表示した時に輝度歪を生じないようガンマ補正回路9に
より適当なガンマ補正を行う。
In this embodiment, the sine wave function displayed as the brightness change pattern on the television monitor 3 is imaged by the imaging device 1. The video signal output from the image pickup apparatus 1 is input to the resolution measuring apparatus 2 according to this embodiment. That is, the front-end circuit 4 performs predetermined band limitation and amplification, and the A / D
The converter 5 converts the signal into a digital signal, the signal processing circuit 6 obtains AR from spectrum analysis using Fourier transform, and the MTF characteristic detection circuit 7 calculates the resolution. At this time, the sine wave function displayed on the television monitor 3 is generated by the sine wave generator 8, and an appropriate gamma correction is performed by the gamma correction circuit 9 so as not to cause luminance distortion when displayed on the television monitor 3.

以上の構成では、表示装置の周波数特性(MTF)が測
定に影響を与えることのないよう表示映像を適当に縮小
して撮像されるようにするため、テレビジョンモニタ3
と撮像装置1の距離を適当に設定する。ここでは簡単の
ため、表示する映像と撮像した映像の大きさの比が2:1
となるよう設定した場合について説明を行う。
With the above-described configuration, the television monitor 3 is configured to appropriately reduce the size of the display image so that the frequency characteristic (MTF) of the display device does not affect the measurement.
And the distance between the image pickup device 1 are set appropriately. For the sake of simplicity, the size ratio of the displayed image and the captured image is 2: 1.
The case where the settings are made so that

以上の設定の下に、正弦波発生器8から発生する信号
の周波数と信号処理回路6で変換されたスペクトル周波
数との関係はちょうど1:2となる。よって、任意の周波
数で撮像した映像信号に含まれるスペクトル成分を検出
するのが容易となり、従来のチャートを用いた方式に比
べ、細かな周波数間隔の測定が可能となる。しかも、正
弦波を用いているため、MTFを直接求めることが可能と
なる。
Under the above settings, the relationship between the frequency of the signal generated from the sine wave generator 8 and the spectrum frequency converted by the signal processing circuit 6 is exactly 1: 2. Therefore, it becomes easy to detect the spectrum component included in the video signal imaged at an arbitrary frequency, and it becomes possible to measure a finer frequency interval as compared with the method using the conventional chart. Moreover, since the sine wave is used, the MTF can be directly calculated.

本実施例ではディジタル信号化して離散的なフーリエ
変換を行うことにより、高速フーリエ変換(FFT)など
の手法を用いて短時間かつ正確に目的の周波数のスペク
トル成分を求めることが可能である。
In this embodiment, by converting the signal into a digital signal and performing a discrete Fourier transform, it is possible to accurately obtain a spectral component of a target frequency in a short time by using a method such as a fast Fourier transform (FFT).

FFTなどの離散的なフーリエ変換を行う場合、特に映
像信号については計算に用いる時間窓の幅を1水平期間
(1H)より大きくすることができないため、その1Hを周
期とする周波数のn倍(nは自然数)の周波数成分につ
いてのみ計算がなされることになる。撮像された映像信
号成分が正確にこの周波数にならない場合、すなわち上
述した縮小率が設定した値と僅かに異なった場合には、
時間窓の窓関数により多少の誤差を生じる。
When performing discrete Fourier transform such as FFT, the width of the time window used for calculation cannot be made larger than one horizontal period (1H), especially for video signals, so n times the frequency with 1H as the period ( Only n frequency components (n is a natural number) are calculated. If the imaged video signal component does not have this frequency exactly, that is, if the above-mentioned reduction ratio is slightly different from the set value,
The window function of the time window causes some error.

これらの誤差を少なくするため、従来からフーリエ変
換の手法として、ハミング窓関数を乗じてからフーリエ
変換を行う方法が知られている。しかし、かかる演算を
行っても、正確にn倍の周波数になる場合と、n倍の周
波数とは僅かに異なる周波数になる場合とでは、目的と
する周波数のスペクトル成分に僅かな誤差を生じる。
In order to reduce these errors, conventionally known as a method of Fourier transform is a method of multiplying by a Hamming window function and then performing Fourier transform. However, even if such an operation is performed, a slight error occurs in the spectral component of the target frequency when the frequency is exactly n times and when the frequency is slightly different from the n times frequency.

次に、この誤差を更に少なくする一例について述べ
る。例えば前述のn−1倍とn+1倍の周波数の間の複
数の周波数成分を合成した波形を表示することにより、
前述した誤差を少なくすることができる。すなわち、複
数の周波数成分のうち、いずれかはn倍の周波数に一致
するため、誤差が平均化され、全体として精度を高くす
ることが可能となる。更に同様な理由で、正弦波を適当
な関数で振幅変調することにより、適当にスペクトルを
分散させ、もって精度を高くすることが可能である。
Next, an example of further reducing this error will be described. For example, by displaying a waveform in which a plurality of frequency components between the above n-1 times and n + 1 times the frequencies are displayed,
The above-mentioned error can be reduced. That is, since any one of the plurality of frequency components matches the n-fold frequency, the errors are averaged and the accuracy as a whole can be improved. Further, for the same reason, amplitude modulation of the sine wave by an appropriate function makes it possible to appropriately disperse the spectrum and thus improve the accuracy.

上述した周波数成分の数を多くした極限の例を考える
と、 上記(1)式の関数を用いることと等価である。ここに
θ=ωtである。
Considering the limit example in which the number of frequency components is increased, This is equivalent to using the function of the above formula (1). Where θ = ωt.

上記(1)式は、また となり、既述の振幅変調の関数としてsinθ/θとなる
関数を用いた場合と同様である。よって、この関数を用
いることにより分散したスペクトルの振幅特性をほぼ平
坦にすることができ、更に高い精度が得られる。
Equation (1) above is Is similar to the case where a function of sin θ / θ is used as the above-described function of amplitude modulation. Therefore, by using this function, the amplitude characteristic of the dispersed spectrum can be made almost flat, and higher accuracy can be obtained.

以上述べた手法は、テレビジョンモニタの図形歪やレ
ンズの図形歪による周波数のずれに対しても有効であ
り、高精度な解像度測定装置を提供することが可能とな
る。
The method described above is effective for the frequency shift due to the graphic distortion of the television monitor and the graphic distortion of the lens, and it becomes possible to provide a highly accurate resolution measuring device.

第2図は、撮像装置の前面に小形化した本測定装置を
接続した実施例を示す。すなわち、本発明よる解像度測
定装置は小形化が容易であるので、本図に示す如くテレ
ビジョンモニタ3をレンズ12を介して撮像装置1の前面
に取り付けることにより、画角および位置の調整が容易
となる。
FIG. 2 shows an embodiment in which a downsized main measuring device is connected to the front surface of the image pickup device. That is, since the resolution measuring device according to the present invention can be easily miniaturized, the angle of view and the position can be easily adjusted by mounting the television monitor 3 on the front surface of the image pickup device 1 via the lens 12 as shown in the figure. Becomes

[発明の効果] 従来の技術では、空間的なサンプリングを伴う固体撮
像素子により解像度チャートの高周波成分が折返し歪と
なって現われ、真の解像度の測定を妨害していたが、本
発明ではテレビジョンモニタを用いて正弦波による解像
度パターンを撮像・測定する構成としてあるので、折返
し歪による妨害を除去し測定精度をあげることができ
る。
[Advantages of the Invention] In the prior art, the high-frequency component of the resolution chart appears as aliasing distortion due to the solid-state image sensor with spatial sampling, which hinders the measurement of the true resolution. Since the monitor is used to capture and measure the resolution pattern of the sine wave, the interference due to the aliasing distortion can be removed and the measurement accuracy can be improved.

また、従来は測定できなかった折返し歪みによる偽信
号成分となる周波数帯域の測定も可能である。
Further, it is possible to measure a frequency band that is a false signal component due to aliasing distortion, which could not be measured conventionally.

さらに、互いに異なった周波数を有する複数の正弦波
の合成波でも電子的に簡単に発生することができるの
で、これを解像度パターンとして用いることにより、撮
像時の縮尺率が変わった場合にも解像度を精度良く測定
することが可能となる。
Furthermore, even a composite wave of a plurality of sinusoidal waves having different frequencies can be easily generated electronically, and by using this as a resolution pattern, the resolution can be improved even when the scale ratio during imaging changes. It is possible to measure with high accuracy.

本発明は板ないし紙製のパネルチャートを用いずテレ
ビジョンモニタを用いているため測定者の個人差による
測定誤差も無く、小形化・自動化が可能であり、簡易か
つ高精度な解像度測定装置を実現することができる。
Since the present invention uses a television monitor without using a panel chart made of a board or paper, there is no measurement error due to individual differences of measurers, miniaturization and automation are possible, and a simple and highly accurate resolution measuring device is provided. Can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明を適用した解像度測定装置の一実施例を
示すブロック図、 第2図は本発明による解像度測定装置を小形化し、撮像
装置の前面に取り付けた状態を示す概略構成図である。 1……撮像装置、3……テレビジョンモニタ、4……前
置回路、5……A/Dコンバータ、6……信号処理回路、
7……MTF特性検出回路、8……正弦波発生器、9……
ガンマ補正回路、10……測定結果プロット回路。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a resolution measuring apparatus to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a state in which the resolution measuring apparatus according to the present invention is miniaturized and attached to the front surface of an image pickup apparatus. . 1 ... Imaging device, 3 ... Television monitor, 4 ... Front-end circuit, 5 ... A / D converter, 6 ... Signal processing circuit,
7 ... MTF characteristic detection circuit, 8 ... Sine wave generator, 9 ...
Gamma correction circuit, 10 ... Measurement result plotting circuit.

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】表示装置による解像度パターンを被測定撮
像装置により撮像し、得られた撮像出力信号のAR(アン
プリチュードレスポンス)を解析して前記被測定撮像装
置の解像度の測定を行う解像度測定装置において、1個
以上の周波数の正弦波を発生する正弦波発生器と該正弦
波発生器の出力を輝度変化パターンとして表示するテレ
ビジョンモニタとからなる表示装置と、 前記撮像出力信号をフーリエ変換し、解像度パターンを
構成する正弦波の周波数に相当する成分の信号レベルを
検出することにより解像度の測定を行うフーリエ変換手
段と を有することを特徴とする解像度測定装置。
1. A resolution measuring device for measuring the resolution of the image pickup device under measurement by analyzing the AR (amplitude response) of the obtained image pickup output signal by imaging the resolution pattern of the display device by the image pickup device under measurement. In, a display device including a sine wave generator that generates a sine wave of one or more frequencies and a television monitor that displays the output of the sine wave generator as a brightness change pattern; and Fourier transform the imaging output signal. And a Fourier transform means for measuring the resolution by detecting the signal level of a component corresponding to the frequency of the sine wave forming the resolution pattern.
【請求項2】前記フーリエ変換手段として、離散的なフ
ーリエ変換手段を用いることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の解像度測定装置。
2. The resolution measuring apparatus according to claim 1, wherein discrete Fourier transforming means is used as the Fourier transforming means.
【請求項3】前記正弦波発生器が、ωt/sinωt sin n
ωtなる波形信号を発生するものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の解像度測定装置。
3. The sine wave generator is ωt / sin ωt sin n
The resolution measuring apparatus according to claim 1, wherein the resolution measuring apparatus generates a waveform signal of ωt.
【請求項4】前記表示装置による解像度パターンを前記
被測定撮像装置により撮像するにあたり、前記被測定撮
像装置の撮像面に投影された前記テレビジョンモニタの
走査線の間隔が当該被測定撮像装置の走査線の間隔より
等しいかまたは小さくなるように縮小して投影する投影
手段を介して撮像することを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の解像度測定装置。
4. When the resolution pattern of the display device is imaged by the image pickup device under test, the interval between the scanning lines of the television monitor projected on the image pickup surface of the image pickup device under measurement is determined by the distance of the image pickup device under measurement. The resolution measuring apparatus according to claim 1, wherein the resolution measuring apparatus captures an image through a projecting unit that projects by reducing the distance to be equal to or smaller than the interval between the scanning lines.
【請求項5】前記表示装置は、前記テレビジョンモニタ
のγ特性と逆の特性のγ補正を、表示パターンに補正し
て表示するγ補正手段を有することを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の解像度測定装置。
5. The display device has a γ correction means for correcting and displaying a γ correction having a characteristic opposite to the γ characteristic of the television monitor in a display pattern. The resolution measuring device according to the item.
JP61181079A 1986-07-31 1986-07-31 Resolution measuring device Expired - Fee Related JP2505165B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61181079A JP2505165B2 (en) 1986-07-31 1986-07-31 Resolution measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61181079A JP2505165B2 (en) 1986-07-31 1986-07-31 Resolution measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6337796A JPS6337796A (en) 1988-02-18
JP2505165B2 true JP2505165B2 (en) 1996-06-05

Family

ID=16094441

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61181079A Expired - Fee Related JP2505165B2 (en) 1986-07-31 1986-07-31 Resolution measuring device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2505165B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101601131B1 (en) * 2014-10-20 2016-03-08 한국생산기술연구원 resolution chart generaton apparatus and resolution evaluating system using the same

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06269013A (en) * 1993-03-17 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Automatic convergence correction device
JPH06269015A (en) * 1993-03-17 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Picture correction device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61245691A (en) * 1985-04-24 1986-10-31 Mitsubishi Electric Corp Video camera adjusting device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101601131B1 (en) * 2014-10-20 2016-03-08 한국생산기술연구원 resolution chart generaton apparatus and resolution evaluating system using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6337796A (en) 1988-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7207319B2 (en) Two-dimensional flicker measuring device, two-dimensional flicker measuring system, two-dimensional flicker measuring method, and two-dimensional flicker measuring program
Masaoka Line-based modulation transfer function measurement of pixelated displays
JPS63266484A (en) Checking of display characteristic
US4659936A (en) Line width measuring device and method
JPH067694B2 (en) Video camera transfer function determination method
JP2505165B2 (en) Resolution measuring device
CN210571299U (en) System for measuring optical parameters of small-field projection module
CA2097531C (en) Ultrasonic imaging system
JP2000287227A (en) Method for measuring sharpness of display device
KR100190646B1 (en) Video signal test apparatus and method using personal computer
JP3523308B2 (en) Display resolution measurement device
KR100207646B1 (en) Measuring method of convergence of color braun tube and apparatus thereof
JPH07270278A (en) Inspecting method for display device
CN112556992B (en) Method and system for measuring optical parameters of small-view-field projection module
JP2723900B2 (en) Lens inspection method
JPH11271021A (en) Waveform analyzer and displacement measuring apparatus using the analyzer
Bai et al. Test and analysis on variable-integration low-light-level CCD camera signal and noise properties
JPS63205571A (en) Crest value measuring instrument
JPH09292215A (en) Displacement measuring device and displacement measuring method
JP2807038B2 (en) Tester for image sensor
JPS62254082A (en) Sound source prober
JP3190061B2 (en) Method and apparatus for processing electrical output of a photoelectric conversion device having pixels
JPH0143056Y2 (en)
JPH0529421A (en) Inspection of lead for surface mounting component
JPH05215641A (en) Mft measuring instrument

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees