JP2024512319A - 処理装置、検査装置、光学検査のためのシステムおよび対応する方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、試料（１６０）の光学検査のための検査装置（１００）において使用される処理装置（１３０）であって、処理装置（１３０）は、光学検査手段（１１０）と共に使用され、ユーザインタフェース手段（１２０）に通信可能に結合されて、ユーザインタフェース手段（１２０）および／または光学検査手段（１１０）から入力データを受信し、ユーザインタフェース手段（１２０）に出力データを供給するように構成されており、処理装置（１３０）は、データ転送を可能にするために少なくとも１つの他の処理装置（１３０’）に通信可能に結合され、処理装置（１３０）はマスタユニットとして、前記他の処理装置（１３０’）はスレーブユニットとして構成され、処理装置（１３０）は、入力として受信されるデータおよび／または出力として供給されるデータのためのデータストレージ（３３２）を設けるように構成されており、処理装置（１３０）は、他の処理装置（１３０’）が結合されている場合に、当該他の処理装置（１３０’）のそれぞれがデータストレージ（３３２）にアクセスして、入力として受信されるデータを対応する他の処理装置（１３０’）に記憶することおよび／または出力データとしてユーザインタフェース手段（１２０’）に供給されるデータを対応する他の処理装置（１３０’）で取り出すことを可能にするように構成されている、処理装置（１３０）に関する。本発明はさらに、検査システム（３００）、システムおよび対応する方法にも関する。

Description

本発明は、実質的に、試料の光学検査のための検査装置において使用される処理装置、検査装置、複数の検査装置を備えたシステム、複数のユーザのために試料の光学検査を提供する方法および処理装置を動作させる方法に関する。

種々の技術分野において、被験体または試料の光学検査が必要とされている。例えば、医療技術では、ステントのようなコンポーネントにつき、最終的な使用の前に特定の品質要件が検査されなければならない。このような品質検査は、目視によってまたは顕微鏡のような拡大機器を使用することによって実行可能である。合格もしくは不合格等の何らかの検査結果は、手動で、または例えば単純なデジタルシートとして記録することができる。

本発明によれば、独立請求項の特徴を有する、処理装置、検査装置、複数の検査装置を備えたシステム、複数のユーザのために光学検査を提供する方法、処理装置を動作させる方法および対応するコンピュータプログラムが提案される。有利なさらなる発展形態は、各従属請求項および後続の説明の主題を形成する。

本発明は、試料の光学検査（特に光学的品質検査）のための検査装置、当該装置と共にもしくは当該装置において使用される処理装置、特に複数の当該装置を備えたシステムに関する。特に、ここでの試料は、医療用コンポーネントまたは医療用部品、例えばステント、医療用ねじ等を含みうる。ただしもちろん、種々の種類の試料が検査されうる。ここでの検査装置は、光学検査手段（または光学検査装置）と、ユーザインタフェース手段もしくはユーザインタフェースデバイスと、処理装置と、を備える。光学検査手段は、好ましくはカメラ（すなわち画像取得手段）を含み、特にはさらに、試料の詳細検査および拡大のためにユーザが使用可能な顕微鏡も含む。ユーザインタフェース手段は、好ましくはモニタ（ディスプレイ）のような表示手段を備え、さらにキーボードおよび／またはコンピュータマウスのようなユーザ入力手段もしくはユーザ入力デバイスも備える。また、ユーザインタフェース手段は、表示手段であるタッチディスプレイとユーザ入力手段とを組み合わせて備えていてもよい。

カメラは、顕微鏡と組み合わされていてよく、さらにユーザインタフェース手段もしくはその少なくとも一部と組み合わされていてもよい。例えば、顕微鏡を介した試料の（ライブ）撮像を可能にするために、カメラを顕微鏡に取り付けることができる。

処理装置は、ユーザインタフェース手段と通信可能に、また使用される場合にさらにカメラと通信可能に結合される計算ユニットである。これにより、ユーザインタフェース手段および／または光学検査手段（特にカメラ）から入力データを受信し、ユーザインタフェース手段に出力データを供給することができる。このようにして、処理装置により、動作を制御することができる。なお、処理装置は対応するコンポーネントのそれぞれを接続するための個別の通信インタフェースを含むことができるが、複数のコンポーネントを処理装置の共通のインタフェースに接続することもできる。例えば、カメラ用、キーボード用およびコンピュータマウス用の個別のＵＳＢインタフェースを設けることができる（もちろん、キーボードおよびコンピュータマウスを共通のＵＳＢインタフェースに接続することもできる）。ディスプレイ用としてはＨＤＭＩインタフェースを設けることができる。

さらに、品質検査を実行するユーザのための指示等のデータを記憶することのできるストレージ手段が設けられている。また、こうした品質検査において取得されたデータ（品質報告データ）も当該ストレージ手段に記憶することができる。こうしたストレージ手段は、例えばインタフェースを介して処理装置に接続することができ、または通信可能に結合することができる。一般的には、後述するように、それぞれ異なる種類のストレージ手段を使用することができる。

この場合、処理装置は、ユーザへの指示およびユーザが品質管理を実行するための指示を提供するために、ストレージ手段および当該ストレージ手段に記憶された指示データにアクセスするように構成することができる。当該指示は、その時点で試料を観察（または検査）しているユーザに対して表示するために、表示手段へと送信される。

複数の試料の同時検査を可能にするために、ここでの検査装置のうちの複数の検査装置につき、１人のユーザが１つの装置を使用することで、複数のユーザまたはオペレータが使用できるようにすることができる。検査装置は対応する処理装置を介して結合可能であり、すなわち、各処理装置は、他の処理装置に通信可能に結合されるように構成されている。各処理装置は、（ローカル）イーサネットネットワークのようなネットワーク内の接続またはインターネットを介した接続のためのイーサネットインタフェースのような通信インタフェースを備えることができる。複数の処理装置（または検査装置）のこのような接続には、関連するデータ（例えば上述した指示データまたは品質報告データ）の処理が必要である。

各処理装置（または検査装置）に個別のストレージ手段を設けるには、それぞれ指示データおよび品質報告データを記憶した一対のストレージ手段が必要である。こうした一対のストレージ手段にはコストがかかり、取り扱いも困難となる。このため、複数の処理装置のすべてに対して単一かつ共通のストレージ手段を設けることができる。

データベースを実行するサーバは、例えばネットワークを介して複数の処理装置に接続することができ、または通信可能に結合することができる。このようなデータベースにより、一般的には多数のデータファイルの管理および記憶が可能となる。このために、顧客のネットワークにデータサービスソフトウェアをインストールすることができる。当該ソフトウェアは例えば顧客のデータベースと通信する。例えば、詳細ステップ、ゴールドイメージ、参照画像および受容基準を含む品質検査もしくは品質管理および対応するワークフローのための指示を作成する管理者に対し、デザイナソフトウェアを供給することができる。実行されるワークフロー（指示データにおける指示）はデータベースに記憶することができ、データサービスソフトウェアを介してユーザまたはオペレータにデプロイすることができる。

オペレータソフトウェアは、管理者によって作成された指示もしくはワークフローを実行するオペレータに供給可能である。ワークフローは、管理者によって更新された新しいバージョンが存在する場合には、自動的にアップグレードすることもできる。オペレータがワークフロー実行中に捕捉した品質報告データ（または品質管理データすなわちＱＣデータ）は、リアルタイムでデータベースに保存可能である。管理者は、デザイナソフトウェアを介して、完成したＱＣ報告をリアルタイムで閲覧することができ、さらにこの報告を承認および／または却下することもできる。データはデータベースに保存されるので、顧客は自身でさらなるデータ分析を行うことができる。

別の可能性は、すべての処理装置が単純なストレージ手段にアクセスできるようにすることである。このことを達成するために、本発明によれば、複数の処理装置のうちの１つの処理装置をマスタユニットとして構成し、この場合に（このときに）他の処理装置（複数の処理装置のうちの残りの処理装置）をスレーブユニットとして構成することが提案される。換言すれば、選択された処理装置がマスタユニットとして構成され、他の処理装置がスレーブユニットとして構成される。さらに、マスタユニットは、入力として受信されるデータおよび／または出力として供給されるデータのためのデータストレージが設けられ、他の処理装置（スレーブユニット）がマスタユニットに結合されている場合に、当該他の処理装置（スレーブユニット）のそれぞれがデータストレージにアクセスして、入力として受信されたデータを対応する他の処理装置に記憶することおよび／またはユーザインタフェース手段に出力として供給されるデータを対応する処理装置で取り出すことを可能にするように構成されている。換言すれば、マスタユニットは、自身に接続されたストレージ手段を処理して、他のすべての処理装置にこのストレージ手段へのアクセスを提供する。このようにして設けられるデータストレージは、特に（ファイルシステムを有する）フォルダベースのストレージとして設けることができる。

データベースソリューションと比較して、フォルダベースのソリューションのような単純なストレージ手段を用いるこうしたソリューションには、例えば顧客側で（サーバを用いた）データベースを設ける必要がない。その代わりに、処理装置のうちの１つがマスタとして使用される（つまり、データベースと同じ役割を果たす）。他の処理装置は、マスタおよびマスタによって設けられるデータストレージに接続されてそこにＱＣデータを保存するスレーブモードで動作する。このような処理装置は一般的にはストレージ手段またはストレージ空間を含むことができるが、（大きなデータ空間が必要となるため）このことは必須ではない。したがって、外部ストレージ手段（または外部ストレージデバイス）をマスタユニットに接続することができる。ここでのストレージ手段は、例えば、ネットワークフォルダ、Ｕディスク（（大型の）ＵＳＢスティックの形態のハードディスクドライブ）、ハードディスクドライブ、ソリッドステートディスク等でありうる。このように、外部ストレージ手段とは、接続された際に、入力として受信されるデータおよび／または出力として供給されるデータのためのデータストレージとして設けられるものを意味する。

複数の処理装置のうちの１つの処理装置がマスタとして、他のすべての処理装置がスレーブとして構成されるが、処理装置のそれぞれは、好ましくは、交互にマスタユニットまたはスレーブユニットとして構成されるように適応化されている。したがって、複数の処理装置のなかから任意の１つの処理装置を選択して、マスタとして構成することができる。このためには、例えば、適切なソフトウェアをインストールしてマスタとしての動作を許可すること（およびデータストレージへのアクセスを許可すること）が必要となりうる。

好ましくは、２つの種類双方のストレージが組み合わされる。すなわち、１つの処理装置がマスタユニットとして構成されて、スレーブユニットのためのデータストレージへのアクセスを（もちろんマスタユニット自身へのアクセスも）提供し、さらに、付加的なデータベースが（例えばサーバ上に）設けられる。これにより、それぞれ異なる種類のデータをそれぞれ異なるストレージに記憶することができる。例えば、画像のような大きなデータファイルがデータストレージ（マスタに接続されたストレージ手段）に記憶可能となり、例えば品質報告データをデータベースに記憶することができる。また、必要に応じて、データベースまたはストレージ手段に指示データを記憶することもできる。

本発明はまた、複数のユーザのために光学検査を提供する方法、処理装置を動作させる方法および対応するプログラムコードを含むコンピュータプログラムにも関する。利点およびさらなる好ましい実施形態に関する繰り返しを回避するために、本明細書において対応して適用される上記の処理装置、装置およびシステムに関する論述を参照されたい。

さらに、処理装置のそれぞれは、デジタル顕微鏡カメラおよび試料の撮像を可能にするこのようなカメラを備えた顕微鏡を記載した文献である国際公開第２０２０／１８２０８８号に開示されているカメラ（一種のスマートカメラまたはインテリジェントカメラ）が統合された処理手段によって提供されるタスクの一部もしくは全部を実行できるように構成可能であることに留意されたい。このようなスマートカメラとは対照的に、本発明において提案する処理装置は、カメラとは別個に設けられる装置であり、したがってユーザまたは顧客の必要に応じて種々のカメラと組み合わせて使用することができる。

本発明のさらなる利点および実施形態は、説明および添付の図から明らかとなる。

前述した特徴および以下でさらに説明する特徴は、本発明の範囲から逸脱することなく、それぞれ示されている組み合わせのみならず別の組み合わせにおいてもまたは単独でも使用可能であることに留意されたい。

好ましい実施形態における、本発明による検査装置を示す概略図である。 図１の検査装置の一部である処理装置を示す詳細図である。 好ましい実施形態における、本発明による光学検査のためのシステムを示す概略図である。 好ましい実施形態における、本発明による方法を説明するフロースキーマを概略的に示す図である。

図１には、好ましい実施形態における、本発明による検査装置１００の概略図が示されている。検査装置１００は、光学検査手段１１０、ユーザインタフェース手段１２０および処理装置１３０を備える。光学検査手段１１０は、対物レンズ１１２および接眼レンズ１１４を有する顕微鏡１１２と、カメラ１１６と、を含む。例えば、カメラ１１６は、接眼レンズ１１４とは別個に顕微鏡１１２に結合されており、これにより、ユーザまたはオペレータ１５０が接眼レンズ１１４を介して試料１６０を観察するもしくは光学検査することができると同時に、カメラ１１６によって試料１６０のライブ画像を取得することができる。カメラ１１６は、処理装置１３０に通信可能に結合されている。処理装置１３０は、必要に応じて、取り付けブラケットによって顕微鏡に取り付け可能である。

ユーザインタフェース手段１２０は、モニタまたはディスプレイの形態の表示手段１２２と、入力手段としてのキーボード１２４およびコンピュータマウス１２６と、を含む。これらのコンポーネント、すなわち表示手段１２２、キーボード１２４およびコンピュータマウス１２６のそれぞれは、処理装置１３０に接続されている（通信可能に結合されている）。これにより、ユーザは、表示手段を介して試料を観察するもしくは光学検査することができる。また、別個の接眼レンズは省略することもできる。

図２には、図１の処理装置１３０の詳細図、特に背面図が示されている。処理装置１３０は、プロセッサ（ＣＰＵ）２３１および複数の（通信）インタフェースもしくはポートを備えている。例えば、ここでのインタフェースは、イーサネットインタフェース２３２と、４つのＵＳＢインタフェース２３３（これらは異なる種類のもの、例えばＵＳＢ３．０および／またはＵＳＢ２．０であってよい）と、ＨＤＭＩインタフェース２３４と、を含む。さらに、電源ソケット２３５も設けられている。イーサネットインタフェース２３２を使用して、処理装置１３０をネットワークに接続することができ（以下の論述も参照されたい）、ＵＳＢインタフェース２３３を使用して、処理装置１３０をカメラ１１６、キーボード１２４およびコンピュータマウス１２６に接続することができる。ＨＤＭＩインタフェース２３４は、処理装置１３０を表示手段１２２に接続するために使用可能である。さらに、別のネットワーク接続を提供するために、ＵＳＢインタフェース２３３のうちの１つに接続可能なＷＩＦＩドングル２３６も示されている。必要に応じて、バーコードスキャナおよび／または（ユーザインタフェース手段とみなすことのできる）フットスイッチのような別のコンポーネントを接続することもできる。また、別の（モバイル）ストレージデバイスも接続可能である。なお、これらのインタフェースおよび接続のためのその使用は例示の目的で挙げているにすぎないことに留意されたい。

図３には、好ましい実施形態における、本発明による光学検査のためのシステム３００の概略図が示されている。システム３００は、図１に示した検査装置１００のような検査装置を複数個有する。図１の検査装置１００は、処理装置１３０を含む長方形によって示されているのみである。さらなる詳細については図１、図２および対応する説明を参照されたい。処理装置１３０’を備えた他の３つの検査装置１００’も同様に示されている。検査装置１００’および対応する処理装置１３０’のそれぞれは特に検査装置１００および処理装置１３０に対応し、唯一の相違点は、以下でさらに詳細に説明するように、処理装置１３０がマスタユニットとして構成されている一方、他の処理装置１３０’がスレーブユニットとして構成されていることである。

処理装置１３０，１３０’のそれぞれは例えば対応するイーサネットインタフェース（図２を参照）を使用してイーサネットスイッチ３４０に接続（通信可能に結合）されており、これにより処理装置のそれぞれがネットワーク３４０へと統合される。さらに、サーバ３７０、外部ストレージ手段３８０およびコンピュータ３９０も、ネットワークスイッチ３４０ひいてはネットワーク３４２に接続されている。データベース３７２を備えたサーバ３７０は後述するように任意選択手段である。なお、図示されているネットワーク構造は単なる一例であり、実際には異なっていてもよいことに留意されたい。例えば別のスイッチを使用することができ、特に、いくつかのコンポーネントまたはデバイスがインターネットを介して接続されてもよい。

前述したように、システム３００における処理装置１３０がマスタユニットとして構成されている一方、他の処理装置１３０はスレーブユニットとして使用されているかもしくは構成されている。なお、処理装置１３０，１３０’のそれぞれが（一般的に）マスタユニットとして構成されるように選択可能である。このためには、選択された処理装置にソフトウェアをインストールする必要がありうる。マスタユニット１３０は、スレーブユニット１３０’のためのデータストレージ３３２をストレージ手段３８０上に設けるように構成されている。特に、当該データストレージは、（ファイルシステムを有する）フォルダベースのストレージの形態で設けられる。上述したように、ストレージ手段は、ネットワークフォルダ、ハードディスクドライブ、またはソリッドステートディスクであってよい。

さらに、マスタユニットまたは処理装置のそれぞれに、それぞれ異なるソフトウェアアプリケーション（アプリ）を設けることができ、例えば、種々のワークフロー等を定義する管理者のためのマネージャアプリと、光学的品質検査を実行するユーザのためのオペレータアプリと、が設けられる。

図４には、図３のシステム３００の一部と、好ましい実施形態における、本発明による方法を説明するフロースキーマと、が概略的に示されている。特に、マスタユニットである処理装置１３０、スレーブユニットである１つの処理装置１３０’およびストレージ手段３８０が示されている。上述したように、マスタユニット１３０は、入力として受信されるデータおよび／または出力として供給されるデータのための（ストレージ手段３８０上の）データストレージを設けるように構成されている。さらに、マスタユニット１３０は、スレーブユニットのそれぞれがデータストレージにアクセスして、入力として受信されたデータを対応するスレーブユニットに記憶することおよびユーザインタフェース手段に出力として供給されるデータをデータストレージから対応するスレーブユニットで取り出すことを可能にするように構成されている。

図４では、データ４００はストレージ手段３８０に記憶されており、例えばスレーブユニット１３０’に接続された表示手段１２０’において表示される指示のための指示データを含む。したがって、データ４００は出力データである。スレーブユニット１３０’は、ストレージ手段３８０へのアクセス、ひいてはマスタユニット１３０を介したデータ４００へのアクセスを有するかもしくは許可されている。これにより、例えば、試料の光学的品質検査のための指示を、ユーザインタフェース手段１２０’（またはここに含まれている表示手段）においてユーザに提示することができる。

さらに、データ４１０は、ユーザインタフェース手段１２０’で（当該データは品質報告を含むことができ、例えばキーボードへの入力により）形成可能であり、かつ／または（光学検査手段の一部である）カメラ１１６’から形成可能である。後者の場合、データは画像データを含む。こうした入力データ４１０は、ストレージ手段３８０に記憶されている。スレーブユニット１３０’は、ストレージ手段３８０へのアクセスを有するかもしくは許可されており、したがってマスタユニット１３０を介してデータ４１０を記憶することができる。

なお、他のすべてのスレーブユニットも、マスタユニット１３０を介して同様にストレージ手段３８０にアクセスできることに留意されたい。もちろん、マスタユニット自身も、自身に割り当てられたユーザインタフェース手段および／またはカメラから受信されたデータを記憶するために、ストレージ手段３８０にアクセスして、提示すべきデータをこれらのユーザインタフェース手段で取り出すことができる。

上述したように、サーバ３７０上に設けられたデータベース３７２を任意選択手段として使用することができる。当該データベース３７２は、例えば、ＭａｒｉａＤＢ１０．４または１０．５、ＭｙＳＱＬ８またはＳＱＬｌｉｔｅ３をベースにしたものとすることができる。データベース３７２へのアクセスは、処理装置１３０，１３０’のそれぞれがマスタユニットとして構成されているかまたはスレーブユニットとして構成されているかにかかわらず、直接に利用可能である。この場合、こうしたそれぞれ異なるストレージにそれぞれ異なる種類のデータを記憶することができる。例えば（好ましくは上述したカメラによって入力データとして取得される）画像のような大きなデータファイルをデータストレージ３８０に記憶することができ、また、例えば品質報告データをデータベース３７２に記憶することができる。また、ユーザプロファイル、ワークフロー（指示データ）、ＱＣデータ、（ＱＣ）報告、監査証跡等のデータも、データベースに記憶することができる。なお、データベースを使用しない実施形態では、すべてのデータが外部ストレージ（またはフォルダベースのストレージ）に記憶されることに留意されたい。

さらに、処理装置のオペレーティングシステムのバックアップを外部ストレージ装置および／またはデータベース用サーバに記憶することもできる。

さらに、コンピュータ３９０（図３を参照）は、デザイナソフトウェア（すなわち、管理者等が特定のデータもしくはワークフローを定義するもしくは作成するために使用されるソフトウェア）によって動作可能である。こうしたデザイナソフトウェアは、ユーザ管理、ワークフロー管理、ビルダおよびＵＩデザイナ、報告管理、データ管理、Ｑマトリクス（品質検査／報告を定義するマトリクス）および測定装置管理のために使用可能である。使用される構成およびストレージに応じて、コンピュータ３９０は、データベースに（直接に）、または（スレーブユニットに許可されたアクセスと同様に）マスタユニットを介して外部ストレージにアクセスする。

上述したように、データベースを有するサーバは、一般的には、外部ストレージ手段に代えて、または外部ストレージ手段なしで（つまりマスタ－スレーブ構成なしで）、使用可能である。このことは本発明の一部ではないが、簡潔に説明しておく。この場合、データベースは、ユーザプロファイル、ワークフロー（指示データ）、ＱＣデータ、（ＱＣ）報告、監査証跡を記憶でき、さらに画像（または画像データ）も記憶することができる。この場合、コンピュータ３９０は、このデータベースのみにアクセスする。

本明細書で使用されるように、用語「および／または（かつ／または）」は、関連する記載項目のうちの１つまたは複数の項目のあらゆるすべての組み合わせを含んでおり、「／」として略記されることがある。

いくつかの態様を装置の文脈において説明してきたが、これらの態様が、対応する方法の説明も表していることが明らかであり、ここではブロックまたは装置がステップまたはステップの特徴に対応している。同様に、ステップの文脈において説明された態様は、対応する装置の対応するブロックまたは項目または特徴の説明も表している。

いくつかの実施形態は、図１から図４のうちの１つまたは複数の図に関連して説明されたようなシステムを含んでいる顕微鏡に関する。択一的に、顕微鏡は、図１から図４のうちの１つまたは複数の図に関連して説明されたようなシステムの一部であってもよい、または図１から図４のうちの１つまたは複数の図に関連して説明されたようなシステムに接続されていてもよい。図１は本明細書に記載された方法を実施するように構成された検査装置１００（システム）の概略図を示している。システム１００は、顕微鏡１１２とコンピュータシステム１３０（処理装置）とを含んでいる。顕微鏡１１２または検査装置１００は、撮像するように構成されており、かつコンピュータシステム１３０に接続されている。コンピュータシステム１３０は、本明細書に記載された方法の少なくとも一部を実施するように構成されている。コンピュータシステム１３０は、機械学習アルゴリズムを実行するように構成されていてもよい。コンピュータシステム１３０と顕微鏡１１２は別個の存在物であってもよいが、１つの共通のハウジング内に一体化されていてもよい。コンピュータシステム１３０は、顕微鏡１１２の中央処理システムの一部であってもよく、かつ／またはコンピュータシステム１３０は、顕微鏡１１２のセンサ、アクター、カメラまたは照明ユニット等の、顕微鏡１１２の従属部品の一部であってもよい。

コンピュータシステム１３０は、１つまたは複数のプロセッサおよび１つまたは複数のストレージデバイスを備えるローカルコンピュータデバイス（例えば、パーソナルコンピュータ、ラップトップ、タブレットコンピュータまたは携帯電話）であってもよく、または分散コンピュータシステム（例えば、ローカルクライアントおよび／または１つまたは複数のリモートサーバファームおよび／またはデータセンター等の様々な場所に分散されている１つまたは複数のプロセッサおよび１つまたは複数のストレージデバイスを備えるクラウドコンピューティングシステム）であってもよい。コンピュータシステム１３０は、任意の回路または回路の組み合わせを含んでいてもよい。１つの実施形態では、コンピュータシステム１３０は、任意の種類のものとすることができる、１つまたは複数のプロセッサを含んでいてもよい。本明細書で使用されるように、プロセッサは、例えば、顕微鏡または顕微鏡部品（例えばカメラ）のマイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、複合命令セットコンピューティング（ＣＩＳＣ）マイクロプロセッサ、縮小命令セットコンピューティング（ＲＩＳＣ）マイクロプロセッサ、超長命令語（ＶＬＩＷ）マイクロプロセッサ、グラフィックプロセッサ、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、マルチコアプロセッサ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）または任意の他の種類のプロセッサまたは処理回路等のあらゆる種類の計算回路を意図していてもよいが、これらに限定されない。コンピュータシステム１３０に含まれ得る他の種類の回路は、カスタム回路、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）等であってもよく、例えばこれは、携帯電話、タブレットコンピュータ、ラップトップコンピュータ、双方向無線機および類似の電子システム等の無線装置において使用される１つまたは複数の回路（通信回路等）等である。コンピュータシステム１３０は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）の形態のメインメモリ等の特定の用途に適した１つまたは複数の記憶素子を含み得る１つまたは複数のストレージデバイス、１つまたは複数のハードドライブおよび／またはコンパクトディスク（ＣＤ）、フラッシュメモリカード、デジタルビデオディスク（ＤＶＤ）等のリムーバブルメディアを扱う１つまたは複数のドライブ等を含んでいてもよい。コンピュータシステム１３０はディスプレイ装置、１つまたは複数のスピーカーおよびキーボードおよび／またはマウス、トラックボール、タッチスクリーン、音声認識装置を含み得るコントローラ、またはシステムのユーザがコンピュータシステム１３０に情報を入力することおよびコンピュータシステム１３０から情報を受け取ることを可能にする任意の他の装置も含んでいてもよい。

ステップの一部または全部は、例えば、プロセッサ、マイクロプロセッサ、プログラマブルコンピュータまたは電子回路等のハードウェア装置（またはハードウェア装置を使用すること）によって実行されてもよい。いくつかの実施形態では、極めて重要なステップのいずれか１つまたは複数が、そのような装置によって実行されてもよい。

一定の実装要件に応じて、本発明の実施形態は、ハードウェアまたはソフトウェアで実装され得る。この実装は、非一過性の記録媒体によって実行可能であり、非一過性の記録媒体は、各方法を実施するために、プログラマブルコンピュータシステムと協働する（または協働することが可能である）、電子的に読取可能な制御信号が格納されている、デジタル記録媒体等であり、これは例えば、フロッピーディスク、ＤＶＤ、ブルーレイ、ＣＤ、ＲＯＭ、ＰＲＯＭおよびＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭまたはＦＬＡＳＨメモリである。したがって、デジタル記録媒体は、コンピュータ読取可能であってもよい。

本発明のいくつかの実施形態は、本明細書に記載のいずれかの方法が実施されるように、プログラマブルコンピュータシステムと協働することができる、電子的に読取可能な制御信号を有するデータ担体を含んでいる。

一般的に、本発明の実施形態は、プログラムコードを備えるコンピュータプログラム製品として実装可能であり、このプログラムコードは、コンピュータプログラム製品がコンピュータ上で実行されるときにいずれかの方法を実施するように作動する。このプログラムコードは、例えば、機械可読担体に格納されていてもよい。

別の実施形態は、機械可読担体に格納されている、本明細書に記載のいずれかの方法を実施するためのコンピュータプログラムを含んでいる。

したがって、換言すれば、本発明の実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに本明細書に記載のいずれかの方法を実施するためのプログラムコードを有するコンピュータプログラムである。

したがって、本発明の別の実施形態は、プロセッサによって実行されるときに本明細書に記載のいずれかの方法を実施するために、格納されているコンピュータプログラムを含んでいる記録媒体（またはデータ担体またはコンピュータ読取可能な媒体）である。データ担体、デジタル記録媒体または被記録媒体は、典型的に、有形である、かつ／または非一過性である。本発明の別の実施形態は、プロセッサと記録媒体を含んでいる、本明細書に記載されたような装置である。

したがって、本発明の別の実施形態は、本明細書に記載のいずれかの方法を実施するためのコンピュータプログラムを表すデータストリームまたは信号シーケンスである。データストリームまたは信号シーケンスは例えば、データ通信接続、例えばインターネットを介して転送されるように構成されていてもよい。

別の実施形態は、処理手段、例えば、本明細書に記載のいずれかの方法を実施するように構成または適合されているコンピュータまたはプログラマブルロジックデバイスを含んでいる。

別の実施形態は、本明細書に記載のいずれかの方法を実施するために、インストールされたコンピュータプログラムを有しているコンピュータを含んでいる。

本発明の別の実施形態は、本明細書に記載のいずれかの方法を実施するためのコンピュータプログラムを（例えば、電子的にまたは光学的に）受信機に転送するように構成されている装置またはシステムを含んでいる。受信機は、例えば、コンピュータ、モバイル機器、記憶装置等であってもよい。装置またはシステムは、例えば、コンピュータプログラムを受信機に転送するために、ファイルサーバを含んでいてもよい。

いくつかの実施形態では、プログラマブルロジックデバイス（例えばフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ）が、本明細書に記載された方法の機能の一部または全部を実行するために使用されてもよい。いくつかの実施形態では、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイは、本明細書に記載のいずれかの方法を実施するためにマイクロプロセッサと協働してもよい。一般的に、有利には、任意のハードウェア装置によって方法が実施される。

Claims (16)

1. 試料（１６０）の光学検査のための検査装置（１００）において使用される処理装置（１３０）であって、
   前記処理装置（１３０）は、光学検査手段（１１０）と共に使用され、ユーザインタフェース手段（１２０）に通信可能に結合されて、前記ユーザインタフェース手段（１２０）および／または前記光学検査手段（１１０）から入力データを受信し、前記ユーザインタフェース手段（１２０）に出力データを供給するように構成されており、
   前記処理装置（１３０）は、データ転送を可能にするために、それぞれ対応する光学検査手段と共に使用されるように構成された少なくとも１つの他の処理装置（１３０’）に通信可能に結合され、対応するユーザインタフェース手段（１２０’）に通信可能に結合されて、前記対応するユーザインタフェース手段（１２０’）および／または前記対応する光学検査手段から入力データ（４１０）を受信し、前記対応するユーザインタフェース手段（１２０’）に出力データ（４００）を供給するように構成されており、
   前記処理装置（１３０）は、マスタユニットとして、前記他の処理装置（１３０’）は、スレーブユニットとして構成され、
   前記処理装置（１３０）は、入力として受信されるデータおよび／または出力として供給されるデータのためのデータストレージ（３３２）を設けるように構成されており、
   前記処理装置（１３０）は、前記他の処理装置（１３０’）が結合されている場合に、前記他の処理装置（１３０’）のそれぞれが前記データストレージ（３３２）にアクセスして、入力として受信されるデータ（４１０）を対応する他の処理装置（１３０’）に記憶することおよび／または出力データとして前記ユーザインタフェース手段（１２０’）に供給されるデータ（４００）を前記対応する他の処理装置（１３０’）で取り出すことを可能にするように構成されている、
   処理装置（１３０）。
2. 前記処理装置（１３０）は、外部ストレージ手段（３８０）に通信可能に結合され、これに結合されている場合に、入力として受信されるデータ（４１０）および／または出力として供給されるデータ（４００）のためのデータストレージ（３３２）として前記外部ストレージ手段を用意するように構成されている、
   請求項１記載の処理装置（１３０）。
3. 前記処理装置（１３０）によって設けられるデータストレージ（３３２）は、フォルダベースのストレージ（３８２）として構成されている、
   請求項１または２記載の処理装置（１３０）。
4. 前記処理装置（１３０）は、交互にマスタユニットまたはスレーブユニットとして構成されるように適応化されている、
   請求項１から３までのいずれか１項記載の処理装置（１３０）。
5. 前記処理装置（１３０）は、前記ユーザインタフェース手段（１２０）を介して光学検査のための指示を提供するように構成されており、前記指示は、出力として供給されるデータでありかつ／またはこれを含み、かつ／または、入力としてのデータを生成するための指示でありかつ／またはこれを含む、
   請求項１から４までのいずれか１項記載の処理装置（１３０）。
6. 試料（１６０）の光学検査のための検査装置（１００）であって、前記検査装置（１００）は、
   光学検査手段（１１０）と、ユーザインタフェース手段（１２０）と、前記ユーザインタフェース手段（１２０）に通信可能に結合された、請求項１から５までのいずれか１項記載の処理装置（１３０）と、を備える、
   検査装置（１００）。
7. 複数のユーザ（１５０）のための、試料（１６０）の光学検査のためのシステム（３００）であって、前記システム（３００）は、複数の検査装置（１００，１００’）を備え、
   各検査装置（１００，１００’）は、光学検査手段（１１０）と、ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）と、前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）に通信可能に結合された処理装置（１３０，１３０’）と、を備え、各処理装置（１３０，１３０’）は、前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）および／または前記光学検査手段から入力データ（４１０）を受信し、前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）に出力データ（４００）を供給するように構成されており、
   前記複数の検査装置（１００，１００’）の前記処理装置（１３０，１３０’）は、データ転送を可能にするために相互に通信可能に結合されており、
   前記複数の処理装置（１３０）のうちの１つの処理装置は、請求項１から５までのいずれか１項記載の処理装置であって、マスタユニットとして構成され、前記複数の処理装置のうちの残りの処理装置（１３０’）は、スレーブユニットとして構成され、
   前記スレーブユニット（１３０’）のそれぞれは、前記マスタユニット（１３０）によって設けられるデータストレージ（３３２）にアクセスして、前記ユーザインタフェース手段（１２０’）を介して入力として受信されたデータ（４１０）を対応するスレーブユニット（１３０’）に記憶し、かつ／または、前記光学検査手段から入力として受信されたデータを前記対応するスレーブユニット（１３０’）に記憶し、かつ／または、前記ユーザインタフェース手段（１２０’）に出力として供給されるデータ（４００）を前記対応するスレーブユニット（１３０’）で取り出すように構成されている、
   システム（３００）。
8. 前記マスタユニット（１３０）は、請求項２記載の処理装置であり、
   前記システム（３００）は、前記マスタユニット（１３０）に通信可能に結合された外部ストレージ手段（３８０）をさらに備える、
   請求項７記載のシステム（３００）。
9. 前記処理装置（１３０，１３０’）のそれぞれは、交互にマスタユニットまたはスレーブユニットとして構成されるように適応化されている、
   請求項７または８記載のシステム（３００）。
10. 前記システム（３００）は、データベース（３７２）、特に複数の処理装置（１３０，１３０’）に通信可能に結合されたサーバ（３７０）上に設けられたデータベース（３７２）をさらに備え、前記データベース（３７２）により、入力として受信されるデータ（４１０）および／または出力として供給されるデータ（４００）のためのストレージが前記複数の処理装置（１３０，１３０’）のそれぞれに設けられる、
    請求項７から９までのいずれか１項記載のシステム（３００）。
11. 前記システム（３００）は、少なくとも１種類のデータに対して前記マスタユニットによって設けられるデータストレージ（３３２）を使用し、他の少なくとも１種類のデータに対するストレージとして前記データベースを使用するように構成されている、
    請求項１０記載のシステム（３００）。
12. 前記処理装置のそれぞれは、対応するインタフェース手段を介して光学検査のための指示を提供するように構成されており、前記指示は、出力として供給されるデータでありかつ／またはこれを含み、かつ／または、入力としてのデータを生成するための指示でありかつ／またはこれを含む、
    請求項７から１１までのいずれか１項記載のシステム（３００）。
13. 前記光学検査手段（１１０）のそれぞれは、対応する処理装置（１３０，１３０’）に通信可能に結合された顕微鏡（１１２）およびカメラ（１１６，１１６’）を含み、かつ／または、
    前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）のそれぞれは、表示手段（１２２）および入力手段（１２４，１２６）を含む、
    請求項７から１２までのいずれか１項記載のシステム（３００）。
14. 複数のユーザ（１５０）のために試料（１６０）の光学検査を提供する方法であって、前記方法は、
    複数の検査装置（１００，１００’）を用意するステップであって、前記検査装置（１００，１００’）を用意するステップは、各検査装置に対して、光学検査手段（１１０）と、ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）と、前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）に通信可能に結合された処理装置（１３０，１３０’）と、を設けるステップを含み、各処理装置（１３０，１３０’）は、前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）および／または前記光学検査手段（１１０）から入力データ（４１０）を受信し、前記ユーザインタフェース手段（１２０，１２０’）に出力データ（４００）を供給するように構成されているステップと、さらに、
    前記複数の検査装置（１００，１００’）の前記処理装置（１３０，１３０’）を、データ転送を可能にするために相互に通信可能に結合するステップと、
    前記複数の処理装置のうちの１つの処理装置（１３０）をマスタユニットとして、前記複数の処理装置のうちの残りの処理装置（１３０’）をスレーブユニットとして構成するステップと、
    前記マスタユニット（１３０）を、入力として受信されるデータ（４１０）および／または出力として供給されるデータ（４００）のためのデータストレージ（３３２）が設けられるように構成するステップと、
    前記スレーブユニット（１３０’）のそれぞれが前記マスタユニット（１３０）によって設けられるデータストレージ（３３２）にアクセスして、前記ユーザインタフェース手段（１２０’）から入力として受信されるデータ（４１０）を対応するスレーブユニット（１３０’）および／または対応するスレーブユニット（１３０’）の光学検出手段に記憶し、かつ／または、前記ユーザインタフェース手段（１２０’）に出力として供給されるデータ（４００）を対応するスレーブユニット（１３０’）で取り出すように構成するステップと、
    を含む方法。
15. 試料（１６０）の光学検査のための検査装置（１００）において使用される処理装置（１３０）を動作させる方法であって、
    前記処理装置（１３０）は、光学検査手段（１１０）と共に使用され、ユーザインタフェース手段（１２０）に通信可能に結合されて、前記ユーザインタフェース手段（１２０）および／または前記光学検査手段（１１０）から入力を受信し、前記ユーザインタフェース手段（１２０）を介してユーザに出力を供給する、ように構成されており、
    前記処理装置（１３０）は、データ転送を可能にするために少なくとも１つの他の処理装置（１３０’）に通信可能に結合され、前記他の処理装置のそれぞれは、前記光学検査手段と共に使用され、前記ユーザインタフェース手段に通信可能に結合されて、対応するユーザインタフェース手段および／または対応する光学検査手段から入力を受信し、前記対応するユーザインタフェース手段に出力を供給するように構成されており、
    前記処理装置（１３０）は、マスタユニットとして、前記他の処理装置（１３０’）は、スレーブユニットとして構成され、
    前記方法は、
    前記処理装置（１３０）に、入力として受信されるデータおよび／または出力として供給されるデータのためのデータストレージ（３３２）を設けるステップと、
    前記処理装置（１３０）により、他の処理装置（１３０’）が結合されている場合に、前記他の処理装置（１３０’）のそれぞれが前記データストレージ（３３２）にアクセスして、前記ユーザインタフェース手段および／または前記光学検査手段を介して入力として受信されるデータを対応する他の処理装置に記憶することおよび／または前記ユーザインタフェース手段に出力として供給されるデータを前記対応する処理装置で取り出すことを可能にするステップと、
    を含む方法。
16. プロセッサ上または処理システム（１３０）上で実行される際に、請求項１５記載の方法を実行するためのプログラムコードを含む、コンピュータプログラム。

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