JP2024101815A - 光電変換装置 - Google Patents

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Abstract

Figure 2024101815000001
【課題】フレームレートが向上し得る光電変換装置を提供する。
【解決手段】各々が入射光に基づいて信号を生成する複数の画素を含む受光部と、前記受光部における受光結果を複数回積算することにより、発光装置の発光から前記受光部における受光までの時間情報と、受光の度数とが対応付けられた度数分布を生成する度数分布生成部と、を有し、前記度数分布生成部は、前記複数の画素のうちの1つの前記受光結果から度数分布を生成する第1モードと、前記複数の画素のうちの複数個の前記受光結果が統合された度数分布を生成する第2モードとのいずれかにより動作し、前記第2モードにおける前記受光結果の第2積算回数は、前記第1モードにおける前記受光結果の第1積算回数よりも少ない。
【選択図】図1

Description

本発明は、光電変換装置に関する。
特許文献1及び特許文献2には、発光部から光を射出し、物体からの反射光を含む光を複数の画素が配された受光部によって受けることにより、物体までの距離を測定する測距装置が開示されている。これらの測距装置は、複数の画素の出力を統合する機能を有している。そして、特許文献1及び特許文献2には、出力を統合する範囲を切り替えることにより空間解像度を変化させる手法が開示されている。
特開2020-091117号公報 特開2021-103101号公報
特許文献1及び特許文献2に開示されているような空間解像度を切り替える機能を有する光電変換装置において、フレームレートの向上が更に要求される場合がある。
本発明は、フレームレートが向上し得る光電変換装置を提供することを目的とする。
本明細書の一開示によれば、各々が入射光に基づいて信号を生成する複数の画素を含む受光部と、前記受光部における受光結果を複数回積算することにより、発光装置の発光から前記受光部における受光までの時間情報と、受光の度数とが対応付けられた度数分布を生成する度数分布生成部と、を有し、前記度数分布生成部は、前記複数の画素のうちの1つの前記受光結果から度数分布を生成する第1モードと、前記複数の画素のうちの複数個の前記受光結果が統合された度数分布を生成する第2モードとのいずれかにより動作し、前記第2モードにおける前記受光結果の第2積算回数は、前記第1モードにおける前記受光結果の第1積算回数よりも少ないことを特徴とする光電変換装置が提供される。
本発明によれば、フレームレートが向上し得る光電変換装置が提供される。
第1実施形態に係る測距装置の概略構成例を示すハードウェアブロック図である。 第1実施形態に係る測距装置の概略構成例を示す機能ブロック図である。 第1実施形態に係るビニング処理を模式的に示すブロック図である。 第1実施形態に係る測距フレーム取得の概略を示す図である。 第1実施形態に係る測距装置の動作を示すフローチャートである。 第2実施形態に係る測距フレーム取得の概略を示す図である。 第2実施形態に係る測距装置の動作を示すフローチャートである。 第3実施形態に係る測距装置の動作の概略を示す模式図である。 第4実施形態に係る測距装置の概略構成例を示す機能ブロック図である。 第4実施形態に係るビニング処理を模式的に示すブロック図である。 第5実施形態に係る光電変換装置の全体構成を示す概略図である。 第5実施形態に係るセンサ基板の構成例を示す概略ブロック図である。 第5実施形態に係る回路基板の構成例を示す概略ブロック図である。 第5実施形態に係る光電変換部及び画素信号処理部の1画素分の構成例を示す概略ブロック図である。 第5実施形態に係るアバランシェフォトダイオードの動作を説明する図である。 第6実施形態に係る機器の概略図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を説明する。複数の図面にわたって同一の要素又は対応する要素には共通の符号が付されており、その説明は省略又は簡略化されることがある。なお、以下の実施形態は本発明を限定するものではなく、また、以下の実施形態で説明されている事項は本発明に必須でないものも含み得る。
[第1実施形態]
図1は、本実施形態に係る測距装置1の概略構成例を示すハードウェアブロック図である。測距装置1は、発光装置2、信号処理回路3及び受光装置4を有している。なお、本実施形態において示す測距装置1の構成は一例であり、図示された構成に限定されるものではない。
測距装置1は、LiDAR(Light Detection And Ranging)等の技術を用いて測距の対象物Xまでの距離を測定する装置である。測距装置1は、発光装置2から射出した光が対象物Xで反射され、受光装置4で受光されるまでの時間差に基づいて、測距装置1から対象物Xまでの距離を計測する。また、測距装置1は、対象物Xを含む所定の測距範囲にレーザー光を射出し、反射光を画素アレイにより受光することにより、距離を二次元状に複数点測定することができる。これにより、測距装置1は、距離画像を生成して出力することができる。このような方式は、Flash LiDARと呼ばれることもある。
受光装置4が受ける光は、対象物Xからの反射光以外に太陽光等の環境光を含む。そのため、測距装置1は、複数の期間(ビン期間)の各々における入射光をカウントした度数分布を生成し、光量がピークとなる期間に反射光が入射したものと判定するという手法を用いて環境光の影響を低減した測距を行う。
発光装置2は、測距装置1の外部にレーザー光等の光を射出する装置である。信号処理回路3は、デジタル信号の演算処理を行うプロセッサ、デジタル信号を記憶するメモリ等を含み得る。当該メモリは、例えば、半導体メモリであり得る。
受光装置4は、入射した光に基づくパルスを含むパルス信号を生成する。受光装置4は、例えば、アバランシェフォトダイオードを光電変換素子として含む光電変換装置である。この場合、1つの光子がアバランシェフォトダイオードに入射して電荷が生成されると、アバランシェ増倍により1つのパルスが生成される。しかしながら、受光装置4は、例えば、他のフォトダイオードを用いた光電変換素子を用いたものであってもよい。
図2は、本実施形態に係る測距装置1の概略構成例を示す機能ブロック図である。測距装置1は、発光部20、受光部40、制御部31、データ伝搬部32、ビニング処理部33、度数分布生成部34、度数分布保持部35及び出力部36を有している。
受光部40は、複数の行及び複数の列をなすように配された複数の画素Pを有している。複数の画素Pの各々は光電変換素子と、光電変換素子からの信号の読み出し用の画素回路とを含む。以下の説明では、光電変換素子はアバランシェフォトダイオードであるものとする。
受光部40及び発光部20は、図1における受光装置4及び発光装置2にそれぞれ対応する。制御部31、データ伝搬部32、ビニング処理部33、度数分布生成部34、度数分布保持部35及び出力部36は、図1における信号処理回路3に対応する。
制御部31は、発光部20に発光のタイミングを制御する発光制御信号を出力する。また、制御部31は、測距距離に応じた露光制御信号と画素Pの走査信号とを受光部40に出力する。また、制御部31は、ビニング処理部33、度数分布生成部34、度数分布保持部35の動作を制御する制御信号を出力する。この制御信号は、例えば、動作モード及び距離情報を通知する機能とフレームの開始及び終了のタイミングを制御する機能とを有する。
画素Pの光電変換素子は、制御部31から出力される露光制御信号が有効な期間に光子を検出した場合に、光を電気信号に変換する。画素Pの画素回路は、光電変換部において変換された電気信号を画素出力信号線に出力する。受光部40には、制御部31から供給される制御パルスを受けて、各画素Pに制御パルスを供給する垂直走査回路(不図示)を有している。垂直走査回路にはシフトレジスタ、アドレスデコーダ等の論理回路が用いられ得る。各画素Pの光電変換部から出力された信号は、各画素Pの画素回路において処理される。画素回路にはメモリが設けられており、メモリは画素Pへの受光の有無を示すデジタル信号(データ)を保持する。
制御部31は、読み出し領域を順次選択する制御パルスを受光部40に出力する。これにより、選択された読み出し領域の画素Pのメモリからデジタル信号が垂直信号線を介してデータ伝搬部32に読み出される。本実施形態では、2行分の画素Pからデジタル信号が並列出力されるものとして説明する。
なお、受光部40には、複数の画素Pが2次元に配されているが、複数の画素Pが1次元に配されていてもよい。また、画素回路の機能は必ずしもすべての画素Pに1つずつ設けられていなくてもよい。例えば、複数の画素Pによって1つの画素回路が共有されていてもよい。この場合、画素回路は複数の画素Pからの信号を順次処理する。また、測距装置1は、光電変換素子を有する第1基板と、画素回路を有する第2基板とが積層された構造であってもよい。これにより、測距装置1が高感度化及び高機能化し得る。
データ伝搬部32は、受光部40の複数の画素Pからのデータを所定のタイミングにおいて一括で取得する。そして、データ伝搬部32は、複数の画素Pから取得したデータを次のデータ入力までの間に一定のクロック周期で出力する。データ伝搬部32は、後段のビニング処理部33及び度数分布生成部34における並列処理数に応じた1クロック当たりの出力データ数によりデータ出力を行う。本実施形態では、ビニング処理部33及び度数分布生成部34には1クロック当たり2行分のデータが並列入力されるものとする。すなわち、データ伝搬部32は、入力されたデータをそのまま出力するものとする。このように受光部40から読み出されるデータの1単位をマイクロフレームと称する。
度数分布生成部34は、制御部31から入力される測定距離情報に基づいて、ビニング処理部33から出力される受光結果を示すデータを距離ごとに複数回積算する。ここで測定距離情報は、現時点において受光部40で測定を行っている距離の設定を示す情報を含む。測定距離は光の飛行時間に比例するため、この測定距離情報は発光部20における発光から受光部40における受光までの時間情報と言い換えることもできる。本実施形態では、1つの距離ごとに複数回のマイクロフレームの測定が行われる。そして、発光から露光制御信号の有効化までの時間を変えながら複数の距離の測定を行う。度数分布生成部34は、距離に応じた階級ごとにマイクロフレームを積算することにより、距離を階級とし、受光回数を度数とし、階級と度数とが対応付けられた度数分布を生成する。
度数分布保持部35は、度数分布生成部34において生成された度数分布を保持するメモリを有する。出力部36は、測距装置1の外部に所定のフォーマットで情報を出力するインターフェースである。度数分布保持部35に保持された情報は、出力部36を介して外部の信号処理装置にそのまま出力してもよい。あるいは、度数分布保持部35は、度数分布からピークを検出するピーク検出処理を行って距離情報を生成し、外部の信号処理装置に距離情報を出力してもよい。
図3(a)及び図3(b)は、本実施形態に係るビニング処理を模式的に示すブロック図である。図3(a)及び図3(b)は、受光部40、ビニング処理部33及び度数分布生成部34のうちのビニング処理に関連する要素をより詳細に示している。度数分布生成部34は、制御部31からの制御信号に応じて、ビニング処理が無効化されている状態(第1モード)と、ビニング処理が有効化されている状態(第2モード)のいずれかで動作可能である。図3(a)はビニング処理が無効化されている場合の動作を示しており、図3(b)はビニング処理が有効化されている場合の動作を示している。図3(a)及び図3(b)に示されているように、本実施形態におけるビニング処理は、互いに隣接する2行及び互いに隣接する2列の4つの画素Pのビニング処理が行われるが、ビニング処理の対象となる画素Pの数はこれに限られず、複数個であればよい。
図3(a)及び図3(b)に示されているように、ビニング処理部33は、加算器AD1と選択回路SL1を有している。また、度数分布生成部34は、4つの画素Pに対応する4つの加算器AD2と、4つの画素に対応する4つのメモリMEM1とを有している。図3(a)及び図3(b)において、ハッチングを付して示されている要素は動作を行わない要素を示している。
加算器AD1には、4つの画素Pからの出力信号が入力される。加算器AD1は、これらの入力信号を加算して選択回路SL1に出力する機能を有する。選択回路SL1は、加算器AD1の出力信号と、4つの画素Pのうちの1つの画素からの出力信号とが入力される。選択回路SL1は、制御部31からの制御信号に応じて、これらの信号のいずれかを出力する。
4つの加算器AD2のうちの1つには選択回路SL1の出力信号が入力され、他の3つの加算器AD2には、3つの画素Pの出力信号がそれぞれ入力される。加算器AD2は、対応するメモリMEM1に記憶されているデータに入力された信号の値を加算して再び対応するメモリMEM1に書き戻す機能を有する。
図3(a)に示されているように、ビニング処理が無効化されている場合には、選択回路SL1は、制御部31からの制御信号に応じて、1つの画素Pからの信号を出力する。これにより、各画素Pの出力信号はビニング処理がなされずにそのまま対応する加算器AD2に入力される。各加算器AD2は、各画素Pの出力信号に応じて、メモリMEM1に保持されているデータの値を0又は1だけ加算する。すなわち、度数分布生成部34は、ビニング処理が無効化されている場合には、1回の読み出しが行われるごとに最大で1だけ度数を加算する。この処理において、加算器AD1は使用されない。
図3(b)に示されているように、ビニング処理が有効化されている場合には、選択回路SL1は、制御部31からの制御信号に応じて、4つの画素Pからの信号が加算器AD1により加算された信号を出力する。この信号が入力される加算器AD2は、各画素Pの出力信号の総和に応じて、メモリMEM1に保持されているデータの値を0から4のいずれかだけ加算する。また、この場合にはビニング処理により3つの加算器AD2は使用されず、出力される信号の数は1/4になる。度数分布生成部34は、ビニング処理が有効化されている場合には、1回の読み出しが行われるごとに最大で4だけ度数を加算する。また、取得される信号の空間解像度は行方向及び列方向のいずれも1/2になる。なお、ビニング処理時に使用されなくなるメモリMEM1の記憶領域については、電源の供給を停止又は減少させる等の手法により省電力処理を行うことが好適である。これにより、ビニング処理が有効化されている場合のメモリMEM1の消費電力をビニング処理が無効化されている場合のメモリMEM1の消費電力よりも小さくすることができる。
図4は、本実施形態に係る測距フレーム取得の概略を示す図である。図4には、1つの測距結果に相当する測距フレームと、測距フレームの生成に用いられるサブフレームと、サブフレームの生成に用いられるマイクロフレームとの取得期間がブロックを横方向に並べることにより模式的に示されている。図4の横方向は時間の経過を示しており、1つのブロックが1つの測距フレーム、サブフレーム又はマイクロフレームの取得期間を示している。また、図4には、発光部20の発光期間を制御する制御信号と受光部40における受光期間を制御する露光制御信号が示されている。なお、図4は、ビニング処理が無効化されている場合を前提としている。
図4の「測距期間」には、1測距期間に含まれる複数のフレーム期間FL1、FL2、…が示されている。フレーム期間FL1は1測距期間における第1フレーム期間を示しており、フレーム期間FL2は1測距期間における第2フレーム期間を示している。フレーム期間とは、測距装置1が1回の測距を行い、測距装置1から対象物Xまでの距離(測距結果)を示す信号を外部に出力する期間である。
1つの測距フレームは複数のサブフレームから生成される。図4の「フレーム期間」には、1フレーム期間に含まれる複数のサブフレーム期間SF_1、SF_2、…、SF_nと、度数分布からピークを判定して出力するピーク出力期間POUTとが示されている。サブフレーム期間SF_1は1フレーム期間における第1サブフレーム期間を示しており、サブフレーム期間SF_2は1フレーム期間における第2サブフレーム期間を示している。本実施形態ではサブフレームの個数は1フレーム当たりn個であるものとする(nは2以上の整数)。サブフレーム期間SF_nは1フレーム期間における第nサブフレーム期間を示している。
1つのサブフレームは複数のマイクロフレームから生成される。図4の「サブフレーム期間」には、1サブフレーム期間に含まれる複数のマイクロフレーム期間MF_1、MF_2、…、MF_mが示されている。マイクロフレーム期間MF_1は1サブフレーム期間における第1マイクロフレーム期間を示しており、マイクロフレーム期間MF_2は1サブフレーム期間における第2マイクロフレーム期間を示している。本実施形態ではマイクロフレームの個数は1サブフレーム当たりm個であるものとする(mは2以上の整数)。マイクロフレーム期間MF_mは1サブフレーム期間における第mサブフレーム期間を示している。このマイクロフレームの個数mは、受光結果の積算回数に相当する。
図4の「発光」及び「露光制御信号」は、1マイクロフレーム期間における、発光部20の発光期間と、受光部40に入力される露光制御信号とを示している。「発光」がハイレベルである発光期間LAに発光部20は発光する。また、「露光制御信号」がハイレベルである露光期間LBに受光部40の画素Pに光が入射すると、画素Pにおいて入射光の検出が行われる。発光期間LAの開始から露光期間LBの開始までの期間T_kは、発光から受光までの光の飛行時間に相当する。すなわち、期間T_kの長さは、対応するマイクロフレームにおける測距距離に相当する。なお、kは、対応するサブフレーム期間の番号であり、1からnまでの整数である。
複数のマイクロフレーム期間MF_1、MF_2、…、MF_mの各々において、発光期間LAの開始から露光期間LBの開始までの期間T_kは同一である。すなわち、1つのサブフレーム期間においては、m回の受光データの読み出し(マイクロフレームの取得)が行われる。各画素Pにおいて1つのマイクロフレーム期間内に1回以上光子が検出された場合に、当該画素は受光データとして「1」を出力する。1つのサブフレーム期間に取得されたm個のサブフレームを積算することにより、光子が検出されたマイクロフレームの個数を示すデータが生成される。
複数のサブフレーム期間SF_1、SF_2、…、SF_nの各々において、期間T_1、T_2、…、T_nの長さは互いに異なる。これにより、複数のサブフレーム期間SF_1、SF_2、…、SF_nの各々において、異なる距離における受光の度数分布が取得される。ピーク出力期間POUTにおいて、サブフレーム期間SF_1、SF_2、…、SF_nの各々の度数からピーク(最大値)が検出される。このピークに対応する期間T_kの長さは測距装置1から対象物Xまでの距離に比例する。
図5は、本実施形態に係る測距装置1の動作を示すフローチャートである。図5は測距期間の開始から終了までの動作を示している。ステップS11からステップS23の間のループにおける一周の処理は、図4における1つのサブフレームを取得する処理を示している。ステップS11からステップS20(又はステップS21)の間のループにおける一周の処理は、図4における1つのマイクロフレームを取得する処理を示している。
ステップS11において、制御部31は、発光部20を制御して、所定の測距範囲内にパルス光を発する。また、制御部31は、受光部40を制御して入射光の検出のための露光処理を開始させる。ステップS11の処理が初回である場合には、発光と受光の間隔に相当する期間(露光制御信号間隔)は、T_1に設定されている。
ステップS12において、ある画素Pに露光期間内に光子が入射された場合(ステップS12におけるYES)、処理はステップS13に移行して当該画素Pは光子の検出を示す光子検出信号(受光パルス)を生成する。光子検出信号は、画素P内のメモリに受光データとして保持される。露光期間内に光子が入射されなかった画素については(ステップS12におけるNO)、処理はステップS14に移行する。これらのステップS12及びステップS13の処理は各画素Pにおいて並行して行われる。
ステップS14において、制御部31の読み出し走査の制御に基づいて、受光データが所定領域内の画素Pからデータ伝搬部32を介してビニング処理部33に読み出される。
ステップS15において、ビニング処理部33は、制御部31からのビニングの有無を示す制御信号に基づいて、受光データのビニング処理が有効化されているか否かを判定する。ビニングが有効化されている場合(ステップS15におけるYES)、処理はステップS16に移行する。ビニングが無効化されている場合(ステップS15におけるNO)、処理はステップS17に移行する。
ステップS16において、図3(b)に示されているように、ビニング処理部33と度数分布生成部34は、4つの画素Pからの受光データを統合して度数分布を生成するビニング処理を行う(第2モード)。
ステップS17において、図3(a)に示されているように、ビニング処理部33と度数分布生成部34は、ビニング処理を行わない。すなわち、画素Pからの受光データに基づいて、画素Pごとに度数分布が生成される(第1モード)。
ステップS18において、制御部31は、読み出し対象領域の全画素データの読み出しが完了したか否かを判定する。読み出しが完了していない場合(ステップS18におけるNO)、処理はステップS14に移行し、読み出し領域を変更して読み出しが継続される。読み出しが完了している場合(ステップS18におけるYES)、処理はステップS19に移行する。
ステップS19において、ビニング処理部33は、制御部31からのビニングの有無を示す制御信号に基づいて、受光データのビニング処理が有効化されているか否かを判定する。ビニング処理が有効化されている場合(ステップS19におけるYES)、処理はステップS20に移行する。ビニング処理が無効化されている場合(ステップS19におけるNO)、処理はステップS21に移行する。
ビニング処理が無効化されている場合であるステップS21において、制御部31は、当該サブフレームにおいて取得済みのマイクロフレーム数がm以上であるか否かを判定する。取得済みのマイクロフレーム数がm未満である場合(ステップS21におけるNO)、処理はステップS11に移行し、次のマイクロフレームの取得が行われる。取得済みのマイクロフレーム数がm以上である場合(ステップS21におけるYES)、処理はステップS22に移行する。この処理により、ビニング処理が無効化されている場合にはm個(第1積算回数)のマイクロフレームが取得され、積算される。
ビニング処理が有効化されている場合であるステップS20において、制御部31は、当該サブフレームにおいて取得済みのマイクロフレーム数がm/4以上であるか否かを判定する。取得済みのマイクロフレーム数がm/4未満である場合(ステップS20におけるNO)、処理はステップS11に移行し、次のマイクロフレームの取得が行われる。取得済みのマイクロフレーム数がm/4以上である場合(ステップS20におけるYES)、処理はステップS22に移行する。この処理により、ビニング処理が有効化されている場合にはm/4個(第2積算回数)のマイクロフレームが取得され、積算される。
図3に示されているように、ビニング処理が有効化されている場合には、1マイクロフレームあたり最大で4まで度数が加算され得る。これに対し、ビニング処理が無効化されている場合には、1マイクロフレームあたりに加算され得る度数は最大でも1である。したがって、ビニング処理が有効化されている場合には、ビニング処理が無効化されている場合と比べて4倍(ビニングされる画素の個数倍)早く測距結果が度数分布に加算される。したがって、ビニング処理が有効化されている場合には、ビニング処理が無効化されている場合に対し、1サブフレーム当たりのマイクロフレーム数が1/4(ビニングされる画素数の逆数)になるようにステップS20、S21の処理の閾値が設定されている。これにより、ビニング処理が有効化されている場合には、ビニング処理が無効化されている場合に対し、測距フレームの生成に要する時間が1/4程度に短縮される。
ステップS22において、制御部31は、露光制御信号間隔がT_n(最終サブフレームにおける露光制御信号間隔)であるか否かを判定する。露光制御信号間隔がT_nではない場合(ステップS22におけるNO)、処理はステップS23に移行する。露光制御信号間隔がT_nである場合(ステップS22におけるYES)、処理はステップS24に移行する。
ステップS23において、制御部31は、露光制御信号間隔の設定値を次のサブフレーム用の値に変更する。例えば、露光制御信号間隔がT_1である場合には、制御部31は、露光制御信号間隔をT_2に変更する。その後、処理はステップS11に移行し、次のサブフレームの取得が行われる。
ステップS24において、露光制御信号間隔がT_1からT_nまでのn種類である度数分布が度数分布保持部35に取得済みである。度数分布保持部35又は外部の信号処理装置は、度数分布のピークを検出するピーク検出処理を行って距離情報を生成する。このピーク検出処理は、例えば取得された複数の階級にわたる度数の最大値を取得して、最大値に対応する露光制御信号間隔に基づいて測距装置1から対象物Xまでの距離を算出する処理であり得る。より具体的には、ピークに対応する露光制御信号間隔をT_p、光速をc(約30万km/s)とするとき、距離YはY=c×T_p/2により算出することができる。
ステップS25において、制御部31は、測距を終了するか否かを判定する。測距を終了すると判定された場合(ステップS25におけるYES)、本処理は終了する。測距を終了しないと判定された場合(ステップS25におけるNO)、処理はステップS11に移行し、次の測距フレームの取得が行われる。
上述のように、本実施形態によれば、ビニング処理が有効化されている場合において、取得するマイクロフレームの数を低減することができ、処理時間が短縮され得る。したがって、フレームレートが向上し得る光電変換装置が提供される。
マイクロフレーム数の低減の具体例を説明する。例えば、1サブフレーム当たりの光子検出数の最大値が63であり、測距処理が128距離分(128サブフレーム)だけ行われる場合を想定する。この場合、1距離及び1画素当たりの度数分布の保持に要する記憶容量は6ビットである。1距離当たりの度数の最大値が63である場合、1サブフレーム当たりのマイクロフレーム数は、ビニング処理が無効化されている場合には63であり、ビニング処理が有効化されている場合には16である。なお、16×4の値は64であり、ビニング処理が無効化されている場合には光子検出数が64であることもあり得るが、この場合には1つの度数が切り捨てられ、63が保持される。ビニング処理が無効化されている場合の128距離分のマイクロフレーム数は、63×128=8064マイクロフレームである。これに対し、ビニング処理が有効化されている場合の128距離分のマイクロフレーム数は、16×128=2048マイクロフレームである。したがって、マイクロフレーム数は、概ねビニング対象の画素数の逆数に比例する。したがって、ビニング対象の画素数が多いほどマイクロフレーム数がより低減される。
本実施形態においては、ビニング有無によるマイクロフレーム数の変化割合が1:4に固定されているが、この変化割合は制御部31の制御に応じて動的に変更されてもよい。例えば、対象物の反射率が低く受光の度数が十分に確保できない場合には、ビニング処理を行うことで光子の検出確率を増大させることができる。このような用途でビニング処理が行われる場合には、ビニングが有効化されている場合のマイクロフレーム数をビニングが無効化されている場合の1/4回より多く(ビニングされる画素数の逆数よりも多く)してもよい。これにより、光子の受光度数を増大させることができ、信号の精度が向上する。また、これとは逆に対象物の反射率が高い場合には、ビニングが有効化されている場合のマイクロフレーム数をビニングが無効化されている場合の1/4回より小さく(ビニングされる画素数の逆数よりも小さく)してもよい。これにより、処理がより高速化される。すなわち、ビニングが無効化されている場合のマイクロフレーム数に対するビニングが有効化されている場合のマイクロフレーム数の比の値は、ビニングされる画素数の逆数以上であってもよく、ビニングされる画素数の逆数未満であってもよい。
なお、本実施形態の度数分布保持部35は、すべてのマイクロフレームを記憶することを前提としているが、一部のデータを保持しない構成であってもよい。例えば、複数のサブフレームのうちの最大値のもののみを保持する等の手法を採用することにより、記憶容量を削減してもよい。
[第2実施形態]
本実施形態では、第1実施形態の1つの測距フレーム期間の間に距離解像度が異なる2段階の測距を行う変形例を説明する。本実施形態において、第1実施形態と共通する要素については説明を省略又は簡略化する場合がある。
図6は、本実施形態に係る測距フレーム取得の概略を示す図である。図6の「フレーム期間」に示されているように、1つの測距フレーム期間が、第1段階STAと第2段階STBの2つの段階に区分されている。フレーム期間の第1段階STAには、複数のサブフレーム期間SFA_1、SFA_2、…、SFA_n1においてn1個のサブフレームの取得が行われ、その後、ピーク出力期間POUTAにピークの判定及び出力が行われる。フレーム期間の第2段階STBには、複数のサブフレーム期間SFB_1、SFB_2、…、SFB_n2においてn2個のサブフレームの取得が行われ、その後、ピーク出力期間POUTBにピークの判定及び出力が行われる。なお、n1、n2はいずれも2以上の整数である。
「サブフレーム期間」には、第1段階STAの1サブフレーム期間に含まれる複数のマイクロフレーム期間MFA_1、MFA_2、…、MFA_m1が示されている。また、「サブフレーム期間」には、第2段階STBの1サブフレーム期間に含まれる複数のマイクロフレーム期間MFB_1、MFB_2、…、MFB_m2も示されている。なお、m1、m2はいずれも2以上の整数である。
第1段階STAにおいてはビニング処理が有効化されており、第2段階STBにおいてはビニング処理が無効化されている。また、図6の「第1段階の露光制御信号」及び「第2段階の露光制御信号」に示されているように、第1段階STAの露光期間LDは、第2段階STBの露光期間LBよりも長い。
図7は、本実施形態に係る測距装置1の動作を示すフローチャートである。図7は測距期間の開始から終了までの動作を示している。
ステップS31において、制御部31は、第1段階STA用の露光制御信号の有効期間(露光期間LDのハイレベルの期間)を第1の長さに設定する。第1の長さは、後述するステップS34で設定される第2の長さよりも長い。言い換えると、第1段階STAでは、反射光の検出期間が長く、距離方向の解像度が低い状態での測距が行われる。
第1段階STAに相当するステップS32において、測距装置1は、ビニング処理を有効化し、かつ、測距の距離範囲を全範囲に設定した状態で図5と同様の測距処理を行う。すなわち、図5のステップS15、S19においてYESが選択される状態で図5と同様の測距処理が行われる。したがって、第1実施形態と同様に、1サブフレーム当たりのマイクロフレーム数はビニング処理が無効化されている場合に比べて1/4である。
ステップS33において、測距装置1は、ステップS32の処理で得られた度数分布(第2度数分布)から取得された距離情報から対象物Xの概略距離を取得する。第2段階STBの測距の取得範囲は、この概略距離に基づいて設定される。以上の処理により、画素Pの行方向及び列方向の解像度と距離方向の解像度とがいずれも低い距離情報の取得が行われる。
ステップS34において、制御部31は、第2段階STB用の露光制御信号の有効期間(露光期間LBのハイレベルの期間)を第2の長さに設定する。第2の長さは、第1の長さよりも短い。言い換えると、第2段階STBでは、第1段階STAよりも距離方向の解像度が高い状態での測距が行われる。
第2段階STBに相当するステップS35において、測距装置1は、ビニング処理を無効化し、かつ、測距の距離範囲を対象物Xの概略距離の近傍の所定範囲に狭く設定した状態で図5と同様の測距処理を行う。すなわち、図5のステップS15、S19においてNOが選択される状態で図5と同様の測距処理が行われる。以上の処理により、画素Pの行方向及び列方向の解像度と距離方向の解像度とがいずれも高い距離情報の取得が行われる。なお、第2段階STBにおいて測距が行われる所定範囲は、例えば、第1段階STAの1つのサブフレームがカバーする距離範囲に相当する。
ステップS36において、測距装置1は、ステップS32の処理で得られた距離情報のうち、対象物Xの概略距離の近傍の部分をステップS35の処理で得られた度数分布(第1度数分布)から取得された距離情報に置き換えることで距離情報の更新を行う。
ステップS37において、制御部31は、測距を終了するか否かを判定する。測距を終了すると判定された場合(ステップS37におけるYES)、本処理は終了する。測距を終了しないと判定された場合(ステップS37におけるNO)、処理はステップS31に移行し、次の測距フレームの取得が行われる。
本実施形態によれば、対象物Xの近傍の解像度を維持しつつ、取得するマイクロフレームの数を低減することができ、処理時間が短縮され得る。したがって、第1実施形態と同様の効果が得られることに加え、対象物Xの近傍の精度を維持しつつフレームレートが向上し得る光電変換装置が提供される。
ここで、全距離をビニングせずに測距処理を行う場合のマイクロフレーム数と本実施形態のマイクロフレーム数との比較について説明する。例えば、第1実施形態と同様に1サブフレーム当たりの光子検出数の最大値が63であり、距離分解能が128である場合、1測距フレームを得るためのマイクロフレーム数は8064である。これに対し、本実施形態においては第1段階STAの距離分解能が8であり、第2段階STBの距離分解能が16であるものとし、第2段階STBの測定範囲は第1段階STAの1つのサブフレームがカバーする範囲であるものとする。この場合、第1段階STAにおけるマイクロフレーム数は16×8=128マイクロフレームであり、第2段階STBにおけるマイクロフレーム数は63×16=1008マイクロフレームである。これらの合計は1136マイクロフレームであるため、対象物Xの近傍の解像度を維持しつつ、取得するマイクロフレームの数を低減することができる。
なお、第1段階STAにおいて対象物Xが存在しないことが既知である距離範囲については読み出しを行わないようにしてもよい。この場合、測距処理を更に高速化することができる。
[第3実施形態]
本実施形態では、第1実施形態のビニング処理の有無の切り替えの適用例等を説明する。本実施形態において、第1実施形態と共通する要素については説明を省略又は簡略化する場合がある。本実施形態で説明する適用例は自動運転、運転補助等のための車両用の測距処理であるが、適用例はこれに限られるものではない。
図8(a)、図8(b)及び図8(c)は、本実施形態に係る測距装置1の動作の概略を示す模式図である。図8(a)は、車載カメラにより撮像された車両外の画像の例である。図8(a)には、測距の対象物B1からB7が図示されている。
図8(b)は、図8(a)の奥行方向における測距装置1と対象物B1からB7との位置を模式的に示す図である。測距装置1は位置L0にあるものとする。また、対象物B1からB7は、位置L0から位置LMAXの間にあるものとする。位置LMAXは測距範囲の中の最も測距装置1から遠い位置である。位置L0から位置LTHの間(距離が閾値未満)を近距離とし、位置LTHから位置LMAXの間(距離が閾値以上)を遠距離とする。すなわち、位置LTHは近距離と遠距離の間の閾値である。
図8(c)は、測距の距離範囲及びビニングの有無の設定を時系列で模式的に示す図である。図8(c)の1つのボックスは1測距フレームを示しており、ボックス内の記載は測距処理の条件を示している。図8(c)に示されているように、異なる条件での測距が複数回繰り返し行われる。「L0-LTH」は、位置L0から位置LTHの間の近距離の範囲で測距が行われることを示している。「LTH-LMAX」は、位置LTHから位置LMAXの間の遠距離の範囲で測距が行われることを示している。「ビニング」は、第1実施形態で述べたビニング処理が有効化されていることを示している。「非ビニング」は、第1実施形態で述べたビニング処理が無効化されていることを示している。図8(c)に示されているように、位置L0から位置LTHの間の近距離の測距が行われる場合にはビニング処理が有効化され、位置LTHから位置LMAXの間の遠距離の測距が行われる場合にはビニング処理が無効化されているという設定が採用されている。また、図8(c)に示されているように、近距離の測距は遠距離の測距よりも高頻度に行われている。
上述のような設定がなされていることによる効果を説明する。一般的に、自車両との距離が近い対象物の衝突可能性は、自車両との距離が遠い対象物の衝突可能性よりも高い。したがって、車両用の測距においては、近距離の測距の高頻度化が望まれる。図8(a)及び図8(b)の例においては、近距離にある対象物B1、B2、B3が、遠距離にある対象物B4、B5、B6、B7と比較して自車両に影響を与える可能性が高い。したがって、本実施形態では、近距離の測距は遠距離の測距よりも高頻度に行われている。これにより、衝突可能性が高い近距離の対象物を高頻度に測距することで対象物をより早く検知することができる。
また、一般的に近距離にある対象物は、遠距離にある対象物に比べて、画像中の大きさが大きい傾向がある。したがって、ビニング処理が行われることにより画素Pの行方向及び列方向の解像度が低下しても物体の検出への影響は小さい。したがって、本実施形態では、近距離の測距が行われる場合にはビニング処理が有効化され、遠距離の測距が行われる場合にはビニング処理が無効化されている。これにより、近距離の測距を高速かつ高頻度に行うことができ、遠距離の測距の解像度が確保される。
したがって、本実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果が得られることに加え、距離に応じて適正な検知頻度と解像度が確保できる測距装置1が提供される。
遠距離の測距の際には、露光制御信号の有効期間の長さを、近距離の測距の際と比較して長くすることにより、距離分解能を低下させてもよい。これにより、取得するマイクロフレームの数を低減することができ、処理時間が短縮され得る。
図8(c)では、位置LTHから位置LMAXの間の測距が一括して行われる例を示しているがこれに限られない。例えば、位置LTHから位置LMAXの間の測距を複数の処理に分割し、これらの複数の処理を近距離の測距の間の異なる期間に分割して実行してもよい。これにより、近距離の測距の周期を一定にすることができるため、近距離の測距の時間間隔を短縮することができる。
第1実施形態と同様に、ビニング有無によるマイクロフレーム数の変化割合は1:4であってもよいが、これに限られない。例えば、対象物の距離が近い場合は、発光部20から発せられた光の反射光が受光部40において検出されやすい。したがって、マイクロフレーム数を1/4よりも小さくしてもよく、その場合にも外乱の影響を受けにくい。
一方、対象物の距離が遠い場合には、発光部20から発せられた光の反射光が受光部40において検出されにくい。したがって、遠距離の測距の場合にもビニング処理が有効化されてもよく、反射光の検出率を向上させることができる。また、例えば、ビニング処理によって使用されなくなる画素用の度数分布の記憶領域を活用することにより、遠距離の測距における1サブフレームあたりのマイクロフレーム数を増加させてもよく、検出精度が向上し得る。
[第4実施形態]
上述の第1実施形態乃至第3実施形態においては、露光制御信号を用いて測距範囲を制御する方式による測距装置1の構成及び制御手法に関して説明した。しかしながら、測距装置1に適用可能な方式はこれに限定されない。これ以外の方式として、TDC(Time-to-Digital Converter)と呼ばれる回路を用いる手法も適用可能である。この手法では、発光と同時に発光からの経過時間を計測するカウンタに時間カウント動作を開始させ、画素が反射光を受光したことを示す受光パルスの受信時の時間カウンタ値とカウンタの動作周波数から、対象物の距離が取得される。本実施形態では、TDCを用いる手法の適用例を説明する。本実施形態において、第1実施形態乃至第3実施形態と共通する要素については説明を省略又は簡略化する場合がある。
図9は、本実施形態に係る測距装置1の概略構成例を示す機能ブロック図である。本実施形態の測距装置1は、図2の構成のビニング処理部33及び度数分布保持部35に代えて時間カウント部37及び時間変換部38を有している。
制御部31は、発光部20に発光のタイミングを制御する発光制御信号を出力する。制御部31は、この発光制御信号と同期するように、時間カウント部37における時間カウントの動作開始及び動作終了を制御する制御信号を出力する。また、制御部31は、受光部40に対し、画素Pを駆動する駆動パルスを出力し、画素Pの露光の制御及び所定領域の画素Pからの受光パルスの出力の制御を行う。また、制御部31は、1回の測距における測定回数(発光及び受光の処理の繰り返し回数)の制御を行う。この測定回数は度数分布の生成のための受光結果の積算回数である。
画素Pは、実施形態1乃至3で示した露光制御信号による露光制御処理は行わない。これに代えて、画素Pは、時間カウント部37の時間カウント動作の有効期間中に光子を検出したタイミングで、受光パルスを時間変換部38に出力する動作を行う。
時間カウント部37は、クロック信号に基づいて時間カウントを行うカウンタを含み得る。時間カウント部37は、制御部31から時間カウント動作の開始制御を受けた時に、時間変換部38に対して時間カウント値の出力を開始する。そして、時間カウント部37は、制御部31から時間カウント動作の終了制御を受けた時に、時間カウント値の出力を停止する。
時間変換部38は、上述のTDCを含む。時間変換部38は、時間カウント部37から出力される時間カウント値を参照して、各画素Pが出力する受光パルスを受けた時点の時間カウント値をデータ伝搬部32に出力する。データ伝搬部32は、各画素Pの受光タイミングを示す時間カウント値を、1サイクルに所定の画素数分だけ出力する。この時間カウント値は、発光から受光までの光の飛行時間を示すため、測距装置1から対象物Xまでの距離に相当する。
度数分布生成部34は、制御部31から出力される制御信号とデータ伝搬部32から出力される時間カウント値に基づいて、時間(又は距離)を階級とし、受光回数を度数とする度数分布を生成する。制御部31から出力される制御信号がビニング処理の無効化を指示している場合、度数分布生成部34は、複数の画素Pのそれぞれについて度数分布を生成する。一方、制御部31から出力される制御信号がビニング処理の有効化を指示している場合、度数分布生成部34は、ビニング対象である複数の画素Pの出力信号に対応する時間カウント値を1つに統合した度数分布を生成する。
図10(a)及び図10(b)は、本実施形態に係るビニング処理を模式的に示すブロック図である。図10(a)及び図10(b)は、受光部40、制御部31、時間カウント部37、時間変換部38及び度数分布生成部34のうちのビニング処理に関連する要素をより詳細に示している。図10(a)はビニング処理が無効化されている場合の動作を示しており、図10(b)はビニング処理が有効化されている場合の動作を示している。図10(a)及び図10(b)に示されているように、本実施形態におけるビニング処理は、隣接する2行及び2列の4つの画素Pのビニング処理が行われるものとするが、ビニングの対象となる画素Pの数はこれに限られない。なお、データ伝搬部32はビニング処理の説明において不要であるため、図10(a)及び図10(b)において図示が省略されている。
図10(a)及び図10(b)において、4つの画素Pにはこれらを区別するために「画素A」、「画素B」、「画素C」及び「画素D」のラベルが付されている。度数分布生成部34は、4つの比較器CMPと、4つのメモリMEM2と、ビニング制御回路341とを有している。4つの比較器CMPには、これらを区別するために「比較器A」、「比較器B」、「比較器C」及び「比較器D」のラベルが付されている。「比較器A」、「比較器B」、「比較器C」及び「比較器D」は、それぞれ「画素A」、「画素B」、「画素C」及び「画素D」に対応して配されている。4つのメモリMEM2には、これらを区別するために「メモリA」、「メモリB」、「メモリC」及び「メモリD」のラベルが付されている。「メモリA」、「メモリB」、「メモリC」及び「メモリD」は、それぞれ「画素A」、「画素B」、「画素C」及び「画素D」に対応して配されている。
図9を参照して説明したように、時間変換部38は、複数の画素Pのそれぞれについて画素Pから出力される受光パルスを受けた時点の時間カウント値を度数分布生成部34に出力する。図10(a)及び図10(b)の例では、4つの画素Pのすべてについて時間変換部38は、「2」を出力するものとする。
比較器CMPは、入力された時間カウント値をワンホットのデジタルデータに変換してビニング制御回路341に出力する。本例では比較器CMPには「2」が入力されているので、比較器CMPは2桁目が「1」でありそれ以外の桁が「0」であるデジタルデータを出力する。このワンホットのデジタルデータは、メモリMEM2の各桁への加算値を指示する情報である。
ビニング制御回路341は、制御部31から出力される制御信号に応じてビニング処理の有効化と無効化を切り替え可能である。また、ビニング制御回路341は、4つのメモリに記憶されているデジタルデータの各桁に所定の値を加算する処理を行うことができる。
図10(a)に示されているように、ビニング処理が無効化されている場合には、ビニング制御回路341は、各画素Pに対応するメモリMEM2に対して、ワンホットのデジタルデータの値を加算する処理を行う。図10(a)の例では各メモリMEM2の2桁目の値を1だけ加算する処理が行われる。この動作を繰り返すことで、各メモリMEM2には対応する画素Pの度数分布が生成される。
図10(b)に示されているように、ビニング処理が有効化されている場合には、ビニング制御回路341は、1つのメモリMEM2(図10(b)におけるメモリA)に対して、4つのワンホットのデジタルデータの値を合算した値を加算する処理を行う。図10(a)の例では1つのメモリMEM2の2桁目の値を4だけ加算する処理が行われる。この動作を繰り返すことで、1つのメモリMEM2に4つの画素Pの出力が統合された度数分布が生成される。なお、図10(b)において、ハッチングを付して示されているメモリMEM2は度数分布の記憶動作を行わないメモリMEM2を示している。記憶動作を行わないメモリMEM2については、電源の供給を停止又は減少させる等の手法により省電力処理を行うことが好適である。これにより、ビニング処理が有効化されている場合のメモリMEM2の消費電力をビニング処理が無効化されている場合のメモリMEM2の消費電力よりも小さくすることができる。
4つの画素Pにおいて同じ距離にある対象物Xが検出される場合には、ビニング処理を行うことによりビニング処理が無効化されている場合に比べて4倍の速度で度数分布が生成される。したがって、ビニング処理を行うことにより画素Pの行方向及び列方向の解像度は低下するものの、ビニング処理が無効化されている場合に比べて概ね1/4の測定回数で度数分布を生成することができる。
上述のように、TDCを用いた本実施形態の構成においても第1実施形態乃至第3実施形態と同様に、ビニング処理が有効化されている場合において、測定回数を低減することができ、処理時間が短縮され得る。したがって、フレームレートが向上し得る光電変換装置が提供される。
本実施形態では、度数分布の生成前に各画素Pの出力信号のビニング処理が行われる構成を示しているが、ビニング処理のタイミングはこれに限られない。例えば、各画素Pの度数分布を個別に生成し、距離の算出の際に複数の度数分布を合算してもよい。この場合にもビニング処理が有効化されている場合の測定回数をビニング処理が無効化されている場合の測定回数よりも少なくすることで処理時間が短縮され得る。
[第5実施形態]
本実施形態では、第1実施形態乃至第4実施形態に係る測距装置1に適用され得る、アバランシェフォトダイオードを含む光電変換装置の具体的な構成例について述べる。本実施形態の構成例は一例であり、測距装置1に適用可能な光電変換装置はこれに限られない。
図11は、本実施形態に係る光電変換装置100の全体構成を示す概略図である。光電変換装置100は、互いに積層されたセンサ基板11(第1基板)と、回路基板21(第2基板)とを有する。センサ基板11と回路基板21とは、電気的に相互に接続されている。センサ基板11は、複数の行及び複数の列をなすように配された複数の画素101が配された画素領域12を有している。回路基板21は、複数の行及び複数の列をなすように配された複数の画素信号処理部103が配された第1回路領域22と、第1回路領域22の外周に配された第2回路領域23とを有している。第2回路領域23は、複数の画素信号処理部103を制御する回路等を含み得る。センサ基板11は、入射光を受ける光入射面と、光入射面に対向する接続面とを有している。センサ基板11は、接続面側において回路基板21と接続されている。すなわち、光電変換装置100は、いわゆる裏面照射型である。
本明細書において、「平面視」とは、光入射面とは反対側の面に対して垂直な方向から視ることを指す。また、断面とは、センサ基板11の光入射面とは反対側の面に対して垂直な方向における面を指す。なお、微視的に見て光入射面が粗面である場合もあり得るが、その場合には巨視的に見たときの光入射面を基準として平面視を定義する。
以下では、センサ基板11と回路基板21とは、ダイシングされたチップであるものとして説明するが、センサ基板11と回路基板21とは、チップに限定されるものではない。例えば、センサ基板11と回路基板21とは、ウエハであってもよい。また、センサ基板11と回路基板21とがダイシング済みのチップである場合には、光電変換装置100は、ウエハ状態で積層した後にダイシングされることにより製造されてもよく、ダイシングされた後に積層されることにより製造されてもよい。
図12は、センサ基板11の配置例を示す概略ブロック図である。画素領域12には、複数の行及び複数の列をなすように配された複数の画素101が配されている。複数の画素101の各々は、光電変換素子としてアバランシェフォトダイオード(以下、APDと呼ぶ)を含む光電変換部102を基板内に有している。
APDで生じる電荷対のうち信号電荷として用いられる電荷の導電型を第1導電型と呼ぶ。第1導電型とは、信号電荷と同じ極性の電荷を多数キャリアとする導電型を指す。また、第1導電型と反対の導電型、すなわち、信号電荷と異なる極性の電荷を多数キャリアとする導電型を第2導電型と呼ぶ。以下の説明のAPDにおいては、APDのアノードは固定電位とされており、APDのカソードから信号が取り出される。したがって、第1導電型の半導体領域とはN型半導体領域であり、第2導電型の半導体領域とはP型半導体領域である。なお、APDのカソードが固定電位とされ、APDのアノードから信号が取り出される構成であってもよい。この場合は、第1導電型の半導体領域とはP型半導体領域であり、第2導電型の半導体領域とはN型半導体領域である。また、以下では、APDの一方のノードを固定電位とする場合について説明するが、両方のノードの電位が変動する構成であってもよい。
図13は、回路基板21の構成例を示す概略ブロック図である。回路基板21は、複数の行及び複数の列をなすように配された複数の画素信号処理部103が配された第1回路領域22を有している。
また、回路基板21には、垂直走査回路110、水平走査回路111、読み出し回路112、画素出力信号線113、出力回路114及び制御信号生成部115が配されている。図12に示されている複数の光電変換部102と、図13に示されている複数の画素信号処理部103は、それぞれ、画素101ごとに設けられた接続配線を介して電気的に接続されている。
制御信号生成部115は、垂直走査回路110、水平走査回路111及び読み出し回路112を駆動する制御信号を生成し、これらの各部に供給する制御回路である。これにより、制御信号生成部115は、各部の駆動タイミング等の制御を行う。
垂直走査回路110は、制御信号生成部115から供給された制御信号に基づいて、複数の画素信号処理部103の各々に制御信号を供給する。垂直走査回路110は、第1回路領域22の行ごとに設けられている駆動線を介して各画素信号処理部103に対して行ごとに制御信号を供給する。なお、後述するように、この駆動線は各行について複数本であり得る。垂直走査回路110にはシフトレジスタ、アドレスデコーダ等の論理回路が用いられ得る。これにより、垂直走査回路110は、画素信号処理部103から信号を出力させる行の選択を行う。
画素101の光電変換部102から出力された信号は、画素信号処理部103で処理される。画素信号処理部103は、光電変換部102に含まれるAPDから出力されるパルスをカウントすることによりデジタル信号を取得して保持する。
画素信号処理部103は、必ずしもすべての画素101に1つずつ設けられていなくてもよい。例えば、複数の画素101によって1つの画素信号処理部103が共有されていてもよい。この場合、画素信号処理部103は、各光電変換部102から出力された信号を順次処理することにより、各画素101に対して信号処理の機能を提供する。
水平走査回路111は、制御信号生成部115から供給された制御信号に基づいて、読み出し回路112に制御信号を供給する。画素信号処理部103は、第1回路領域22の列ごとに設けられている画素出力信号線113を介して読み出し回路112に接続されている。1つの列の画素出力信号線113は、対応する列の複数の画素信号処理部103に共有されている。画素出力信号線113は、複数の配線を含んでおり、少なくとも、各画素信号処理部103からデジタル信号を読み出し回路112に出力する機能と、信号を出力させる列を選択するための制御信号を画素信号処理部103に供給する機能とを有している。読み出し回路112は、制御信号生成部115から供給された制御信号に基づいて、出力回路114を介して光電変換装置100の外部の記憶部又は信号処理部に信号を出力する。
画素領域12における光電変換部102の配列は1次元状であってもよい。また、画素信号処理部103の機能は、必ずしもすべての画素101に1つずつ設けられていなくてもよい。例えば、複数の画素101によって1つの画素信号処理部103が共有されていてもよい。この場合、画素信号処理部103は、各光電変換部102から出力された信号を順次処理することにより、各画素101に対して信号処理の機能を提供する。
図12及び図13に示されているように、平面視で画素領域12に重なる領域に、複数の画素信号処理部103が配された第1回路領域22が配される。そして、平面視において、センサ基板11の端と画素領域12の端との間に重なるように、垂直走査回路110、水平走査回路111、読み出し回路112、出力回路114、制御信号生成部115が配される。言い換えると、センサ基板11は、画素領域12と画素領域12の周りに配された非画素領域とを有する。そして、回路基板21において、平面視で非画素領域に重なる領域に、垂直走査回路110、水平走査回路111、読み出し回路112、出力回路114及び制御信号生成部115が配された第2回路領域23(図11において前述)が配されている。
なお、画素出力信号線113の配置、読み出し回路112の配置及び出力回路114の配置は図13に示されているものに限定されない。例えば、画素出力信号線113が行方向に延びて配されており、対応する行の複数の画素信号処理部103に共有される配置であってもよい。そして、各行の画素出力信号線113が接続されるように読み出し回路112が配されていてもよい。
図14は、本実施形態に係る光電変換部102及び画素信号処理部103の1画素分の構成例を示す概略ブロック図である。図14には、センサ基板11に配された光電変換部102と回路基板21に配された画素信号処理部103との接続関係を含むより具体的な構成例が模式的に示されている。なお、図14においては図13における垂直走査回路110と画素信号処理部103との間の駆動線を駆動線213、214、215として示している。
光電変換部102は、APD201を有している。画素信号処理部103は、クエンチ素子202、波形整形部210、カウンタ回路211、選択回路212及びゲーティング回路216を有している。なお、画素信号処理部103は、波形整形部210、カウンタ回路211、選択回路212及びゲーティング回路216の少なくとも1つを有していればよい。
APD201は、光電変換により入射光に応じた電荷を生成する。APD201のアノードには、電圧VL(第1電圧)が供給される。また、APD201のカソードは、クエンチ素子202の第1端子及び波形整形部210の入力端子に接続されている。APD201のカソードには、アノードに供給される電圧VLよりも高い電圧VH(第2電圧)が供給される。これにより、APD201のアノードとカソードには、APD201がアバランシェ増倍動作をするような逆バイアス電圧が供給される。逆バイアス電圧が供給されているAPD201において、入射光により電荷が生じると、この電荷がアバランシェ増倍を起こし、アバランシェ電流が発生する。
なお、APD201に逆バイアスの電圧が供給される場合の動作モードには、ガイガーモードとリニアモードとがある。ガイガーモードはアノード及びカソードの電位差が降伏電圧より大きい電位差で動作させるモードであり、リニアモードはアノード及びカソードの電位差が降伏電圧近傍又はそれ以下で動作させるモードである。
ガイガーモードで動作させるAPDをSPAD(Single Photon Avalanche Diode)と呼ぶ。このとき、例えば、電圧VL(第1電圧)が-30Vであり、電圧VH(第2電圧)が1Vである。APD201は、リニアモードで動作させてもよく、ガイガーモードで動作させてもよい。SPADの場合はリニアモードのAPDに比べて電位差が大きくなりアバランシェ増倍の効果が顕著となるため、SPADであることが好ましい。
クエンチ素子202は、アバランシェ増倍による信号増倍時に負荷回路(クエンチ回路)として機能する。クエンチ素子202は、APD201に供給する電圧を抑制して、アバランシェ増倍を抑制する(クエンチ動作)。また、クエンチ素子202は、クエンチ動作による電圧降下に応じた電流を流すことにより、APD201に供給する電圧を電圧VHへと戻す(リチャージ動作)。クエンチ素子202は、例えば、抵抗素子であり得る。
波形整形部210は、光子検出時に得られるAPD201のカソードの電位変化を整形して、パルス信号を出力する。波形整形部210としては、例えば、インバータ回路が用いられる。図14には、波形整形部210としてインバータを1つ用いた例が示されているが、波形整形部210は、複数のインバータを直列接続した回路を用いてもよく、波形整形効果を有するその他の回路であってもよい。
ゲーティング回路216は、波形整形部210から出力されたパルス信号を所定の期間だけ通過させるようなゲーティングを行う回路である。ゲーティング回路216をパルス信号が通過可能な期間には、APD201に入射した光子が後段のカウンタ回路211でカウントされる。したがって、ゲーティング回路216は、画素101において入射光に基づく信号生成が行われる露光期間を制御する。パルス信号を通過させる期間は駆動線215を介して垂直走査回路110から供給される制御信号により制御される。図14には、ゲーティング回路216としてAND回路を1つ用いた例が示されている。AND回路の2つの入力端子には、パルス信号と制御信号が入力される。AND回路はこれらの論理積をカウンタ回路211に出力する。なお、ゲーティング回路216は、ゲーティングを実現するものであればよく、AND回路以外の回路構成であってもよい。また、波形整形部210とゲーティング回路216は、NAND回路等の論理回路を用いることにより一体化されていてもよい。
カウンタ回路211は、波形整形部210からゲーティング回路216を介して出力されたパルス信号をカウントし、カウント値を示すデジタル信号を保持する。また、駆動線213を介して垂直走査回路110から制御信号が供給されたとき、カウンタ回路211は保持している信号をリセットする。カウンタ回路211は、例えば1ビットカウンタであり得る。
選択回路212には、図13に示されている垂直走査回路110から、図14に示されている駆動線214を介して制御信号が供給される。この制御信号に応じて、選択回路212は、カウンタ回路211と画素出力信号線113との電気的な接続、非接続を切り替える。選択回路212は、例えば、カウンタ回路211に保持されている値に応じた信号を出力するためのバッファ回路等を含む。
なお、図14の例では、選択回路212においてカウンタ回路211と画素出力信号線113との電気的な接続、非接続の切り替えが行われているが、画素出力信号線113への信号出力を制御する手法はこれに限定されない。例えば、クエンチ素子202とAPD201との間、光電変換部102と画素信号処理部103との間等のノードにトランジスタ等のスイッチを配し、電気的な接続、非接続を切り替えることにより、画素出力信号線113への信号出力を制御してもよい。また、光電変換部102に供給される電圧VH又は電圧VLの値をトランジスタ等のスイッチを用いて変えることにより画素出力信号線113への信号出力を制御してもよい。
図15(a)、図15(b)及び図15(c)は、本実施形態に係るAPD201の動作を説明する図である。図15(a)は、図14におけるAPD201、クエンチ素子202、波形整形部210を抜き出して示した図である。図15(a)に示されるように、APD201、クエンチ素子202及び波形整形部210の入力端子の接続ノードをnodeAとする。また、図15(a)に示されるように、波形整形部210の出力側をnodeBとする。
図15(b)は、図15(a)におけるnodeAの電位の時間変化を示すグラフである。図15(c)は、図15(a)におけるnodeBの電位の時間変化を示すグラフである。時刻t0から時刻t1の期間において、図15(a)のAPD201には、VH-VLの電圧が印加されている。時刻t1において光子がAPD201に入射すると、APD201においてアバランシェ増倍が生じる。これにより、クエンチ素子202にアバランシェ電流が流れ、nodeAの電位は降下する。その後、電位降下量が更に大きくなり、APD201に印加される電圧が徐々に小さくなる。そして、時刻t2においてAPD201におけるアバランシェ増倍が停止する。これにより、nodeAの電圧レベルはある一定値よりも降下しなくなる。その後、時刻t2から時刻t3の期間において、nodeAには電圧VHのノードから電圧降下分を補う電流が流れ、時刻t3においてnodeAは元の電位に整定する。
上述の過程において、nodeAの電位がある閾値よりも低い期間においてnodeBの電位はハイレベルになる。このようにして、光子の入射によって生じたnodeAの電位の降下の波形は、波形整形部210によって整形され、nodeBにパルスとして出力される。
本実施形態によれば、第1又は第2実施形態の測距装置1に適用され得る、アバランシェフォトダイオードを用いた光電変換装置が提供される。
[第6実施形態]
図16(a)、図16(b)は、本実施形態における車載測距装置に関する機器のブロック図である。機器80は、上述した実施形態の測距装置1の一例である距離計測部803と、距離計測部803からの信号を処理する信号処理装置(処理装置)を有する。機器80は、対象物までの距離を計測する距離計測部803と、計測された距離に基づいて衝突可能性があるか否かを判定する衝突判定部804とを有する。ここで、距離計測部803は、対象物までの距離情報を取得する距離情報取得手段の一例である。すなわち、距離情報とは、対象物までの距離等に関する情報である。衝突判定部804は距離情報を用いて、衝突可能性を判定してもよい。
機器80は車両情報取得装置810と接続されており、車速、ヨーレート、舵角などの車両情報を取得することができる。また、機器80には、衝突判定部804での判定結果に基づいて、車両に対して制動力を発生させる制御信号を出力する制御装置である制御ECU820が接続されている。また、機器80は、衝突判定部804での判定結果に基づいて、ドライバーへ警報を発する警報装置830とも接続されている。例えば、衝突判定部804の判定結果として衝突可能性が高い場合、制御ECU820はブレーキをかける、アクセルを戻す、エンジン出力を抑制するなどして衝突を回避、被害を軽減する車両制御を行う。警報装置830は音等の警報を鳴らす、カーナビゲーションシステム等の画面に警報情報を表示する、シートベルトやステアリングに振動を与えるなどしてユーザに警告を行う。機器80のこれらの装置は上述のように車両を制御する動作の制御を行う移動体制御部として機能する。
本実施形態では車両の周囲、例えば前方又は後方を機器80で測距する。図16(b)は、車両前方(測距範囲850)を測距する場合の機器を示している。測距制御手段としての車両情報取得装置810が、測距動作を行うように機器80又は距離計測部803に指示を送る。このような構成により、測距の精度をより向上させることができる。
上述では、他の車両と衝突しないように制御する例を説明したが、他の車両に追従して自動運転する制御、車線からはみ出さないように自動運転する制御等にも適用可能である。更に、機器は、自動車等の車両に限らず、例えば、船舶、航空機、人工衛星、産業用ロボット及び民生用ロボット等の移動体(移動装置)に適用することができる。加えて、移動体に限らず、高度道路交通システム(ITS)、監視システム等、広く物体認識又は生体認識を利用する機器に適用することができる。
[変形実施形態]
本発明は、上述の実施形態に限らず種々の変形が可能である。例えば、いずれかの実施形態の一部の構成を他の実施形態に追加した例や、いずれかの実施形態の一部の構成を他の実施形態の一部の構成と置換した例も、本発明の実施形態である。
本明細書の開示内容は、本明細書に記載した概念の補集合を含んでいる。すなわち、本明細書に例えば「AはBである」旨(A=B)の記載があれば、「AはBではない」旨(A≠B)の記載を省略しても、本明細書は「AはBではない」旨を開示又は示唆しているものとする。なぜなら、「AはBである」旨を記載している場合には、「AはBではない」場合を考慮していることが前提だからである。
本明細書の開示内容は、以下の構成を含む。
(構成1)
各々が入射光に基づいて信号を生成する複数の画素を含む受光部と、
前記受光部における受光結果を複数回積算することにより、発光装置の発光から前記受光部における受光までの時間情報と、受光の度数とが対応付けられた度数分布を生成する度数分布生成部と、
を有し、
前記度数分布生成部は、前記複数の画素のうちの1つの前記受光結果から度数分布を生成する第1モードと、前記複数の画素のうちの複数個の前記受光結果が統合された度数分布を生成する第2モードとのいずれかにより動作し、
前記第2モードにおける前記受光結果の第2積算回数は、前記第1モードにおける前記受光結果の第1積算回数よりも少ない
ことを特徴とする光電変換装置。
(構成2)
前記複数の画素の各々は、前記発光装置の発光から光の入射までの経過時間が露光期間内である場合に受光を示す信号を出力し、
互いに異なる複数の露光期間の各々における前記受光の度数から前記度数分布が生成される
ことを特徴とする構成1に記載の光電変換装置。
(構成3)
前記第2モードにおける前記露光期間の長さは、前記第1モードにおける前記露光期間の長さよりも長い
ことを特徴とする構成2に記載の光電変換装置。
(構成4)
前記発光装置の発光から前記受光部における受光までの経過時間を示す時間カウント値を前記時間情報として取得する時間変換部を更に有し、
前記度数分布生成部は、前記時間カウント値に応じた複数の階級ごとに前記受光の度数を積算することにより前記度数分布を生成する
ことを特徴とする構成1に記載の光電変換装置。
(構成5)
前記度数分布生成部は、前記第2モードにより生成された第2度数分布から取得された距離情報に基づいて、前記第1モードにより生成される第1度数分布の取得範囲を設定する
ことを特徴とする構成1乃至4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成6)
前記第1度数分布の取得範囲は、前記第2度数分布の取得範囲よりも狭い
ことを特徴とする構成5に記載の光電変換装置。
(構成7)
前記第1度数分布から取得される距離情報の距離分解能は、前記第2度数分布から取得される距離情報の距離分解能よりも高い
ことを特徴とする構成5又は6に記載の光電変換装置。
(構成8)
前記度数分布生成部は、測距を行う距離範囲に応じて前記第1モードと前記第2モードの切り替えを行う
ことを特徴とする構成1乃至4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成9)
前記度数分布生成部は、所定の閾値よりも小さい距離の測距を行う場合に前記第2モードにより動作し、前記閾値以上の距離の測距を行う場合に前記第1モードにより動作する
ことを特徴とする構成8に記載の光電変換装置。
(構成10)
前記度数分布生成部は前記第1モード又は前記第2モードでの動作を複数回繰り返し行い、
前記度数分布生成部が前記第2モードで動作する頻度は、前記度数分布生成部が前記第1モードで動作する頻度よりも大きい
ことを特徴とする構成8又は9に記載の光電変換装置。
(構成11)
前記度数分布生成部は、一定の周期により前記第2モードでの動作を行う
ことを特徴とする構成10に記載の光電変換装置。
(構成12)
前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、1より小さく、前記第2モードにおいて統合される画素の個数の逆数以上である
ことを特徴とする構成1乃至11のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成13)
前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、前記第2モードにおいて統合される画素の個数の逆数未満である
ことを特徴とする構成1乃至11のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成14)
前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、動的に変更される
ことを特徴とする構成1乃至11のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成15)
前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、前記第2モードにおいて統合される画素の個数の逆数に等しい
ことを特徴とする構成1乃至11のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成16)
前記画素はアバランシェフォトダイオードを含む
ことを特徴とする構成1乃至15のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成17)
前記第2モードにおいて前記受光結果が統合される画素のうちの少なくとも2つが互いに隣接している
ことを特徴とする構成1乃至16のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成18)
前記第2モードにおける前記度数分布を記憶するメモリの消費電力は、前記第1モードにおける前記メモリの消費電力よりも小さい
を備えることを特徴とする構成1乃至17のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成19)
前記度数分布に基づく距離情報を出力する出力部を更に有する
を備えることを特徴とする構成1乃至18のいずれか1項に記載の光電変換装置。
(構成20)
移動体であって、
構成1乃至19のいずれか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置により取得される距離情報に基づいて前記移動体を制御する移動体制御部と、
を備えることを特徴とする移動体。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
なお、上述の実施形態は、いずれも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
1 測距装置
34 度数分布生成部
40 受光部

Claims (20)

  1. 各々が入射光に基づいて信号を生成する複数の画素を含む受光部と、
    前記受光部における受光結果を複数回積算することにより、発光装置の発光から前記受光部における受光までの時間情報と、受光の度数とが対応付けられた度数分布を生成する度数分布生成部と、
    を有し、
    前記度数分布生成部は、前記複数の画素のうちの1つの前記受光結果から度数分布を生成する第1モードと、前記複数の画素のうちの複数個の前記受光結果が統合された度数分布を生成する第2モードとのいずれかにより動作し、
    前記第2モードにおける前記受光結果の第2積算回数は、前記第1モードにおける前記受光結果の第1積算回数よりも少ない
    ことを特徴とする光電変換装置。
  2. 前記複数の画素の各々は、前記発光装置の発光から光の入射までの経過時間が露光期間内である場合に受光を示す信号を出力し、
    互いに異なる複数の露光期間の各々における前記受光の度数から前記度数分布が生成される
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  3. 前記第2モードにおける前記露光期間の長さは、前記第1モードにおける前記露光期間の長さよりも長い
    ことを特徴とする請求項2に記載の光電変換装置。
  4. 前記発光装置の発光から前記受光部における受光までの経過時間を示す時間カウント値を前記時間情報として取得する時間変換部を更に有し、
    前記度数分布生成部は、前記時間カウント値に応じた複数の階級ごとに前記受光の度数を積算することにより前記度数分布を生成する
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  5. 前記度数分布生成部は、前記第2モードにより生成された第2度数分布から取得された距離情報に基づいて、前記第1モードにより生成される第1度数分布の取得範囲を設定する
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  6. 前記第1度数分布の取得範囲は、前記第2度数分布の取得範囲よりも狭い
    ことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。
  7. 前記第1度数分布から取得される距離情報の距離分解能は、前記第2度数分布から取得される距離情報の距離分解能よりも高い
    ことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。
  8. 前記度数分布生成部は、測距を行う距離範囲に応じて前記第1モードと前記第2モードの切り替えを行う
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  9. 前記度数分布生成部は、所定の閾値よりも小さい距離の測距を行う場合に前記第2モードにより動作し、前記閾値以上の距離の測距を行う場合に前記第1モードにより動作する
    ことを特徴とする請求項8に記載の光電変換装置。
  10. 前記度数分布生成部は前記第1モード又は前記第2モードでの動作を複数回繰り返し行い、
    前記度数分布生成部が前記第2モードで動作する頻度は、前記度数分布生成部が前記第1モードで動作する頻度よりも大きい
    ことを特徴とする請求項8に記載の光電変換装置。
  11. 前記度数分布生成部は、一定の周期により前記第2モードでの動作を行う
    ことを特徴とする請求項10に記載の光電変換装置。
  12. 前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、1より小さく、前記第2モードにおいて統合される画素の個数の逆数以上である
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  13. 前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、前記第2モードにおいて統合される画素の個数の逆数未満である
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  14. 前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、動的に変更される
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  15. 前記第1積算回数に対する前記第2積算回数の比は、前記第2モードにおいて統合される画素の個数の逆数に等しい
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  16. 前記画素はアバランシェフォトダイオードを含む
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  17. 前記第2モードにおいて前記受光結果が統合される画素のうちの少なくとも2つが互いに隣接している
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  18. 前記第2モードにおける前記度数分布を記憶するメモリの消費電力は、前記第1モードにおける前記メモリの消費電力よりも小さい
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  19. 前記度数分布に基づく距離情報を出力する出力部を更に有する
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
  20. 移動体であって、
    請求項1乃至19のいずれか1項に記載の光電変換装置と、
    前記光電変換装置により取得される距離情報に基づいて前記移動体を制御する移動体制御部と、
    を備えることを特徴とする移動体。
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