JP2024081881A - HEAD CHIP, LIQUID JET HEAD, LIQUID JET RECORDING APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING HEAD CHIP - Google Patents

HEAD CHIP, LIQUID JET HEAD, LIQUID JET RECORDING APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING HEAD CHIP Download PDF

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Abstract

【課題】接着強度の低下を抑制する。【解決手段】ヘッドチップは、複数の部材を備える。複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材101及び第2部材102とする。ヘッドチップは、第1部材101において第2部材102が接着される第1部材側接着面101fに下地として形成される下地接着層111と、下地接着層111と第2部材102との間に形成される本接着層112と、を備える。下地接着層111の未硬化時の粘度は、本接着層112の未硬化時の粘度よりも低い。【選択図】図7[Problem] To suppress a decrease in adhesive strength. [Solution] A head chip includes a plurality of members. Two of the plurality of members that are bonded to each other are a first member 101 and a second member 102. The head chip includes an undercoat adhesive layer 111 formed as a undercoat on a first member side adhesive surface 101f of the first member 101 to which the second member 102 is bonded, and a main adhesive layer 112 formed between the undercoat adhesive layer 111 and the second member 102. The viscosity of the undercoat adhesive layer 111 when uncured is lower than the viscosity of the main adhesive layer 112 when uncured. [Selected Figure] Figure 7

Description

本開示の実施形態は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、及びヘッドチップの製造方法に関する。 Embodiments of the present disclosure relate to a head chip, a liquid jet head, a liquid jet recording device, and a method for manufacturing the head chip.

特許文献1には、基板と、基板に固定される圧電部材と、基板の表面の圧電部材が固定される領域に形成される第1接着剤層と、第1接着剤層と圧電部材との間に形成される第2接着剤層と、を備えるインクジェットヘッドが開示されている。第1接着剤層及び第2接着剤層は、互いに異なる色の接着剤で形成される。例えば、第1接着剤層は、第1の色の接着剤をスプレーによって塗布して形成される。圧電部材の基板への接着面には、第2接着剤層を形成する接着剤(第2の色の接着剤)が塗布される。この状態で、圧電部材を基板上の第1接着剤層の上に置き、互いに接着させる。 Patent Document 1 discloses an inkjet head including a substrate, a piezoelectric member fixed to the substrate, a first adhesive layer formed in an area on the surface of the substrate where the piezoelectric member is fixed, and a second adhesive layer formed between the first adhesive layer and the piezoelectric member. The first adhesive layer and the second adhesive layer are formed with adhesives of different colors. For example, the first adhesive layer is formed by applying an adhesive of a first color by spraying. An adhesive (adhesive of a second color) that forms a second adhesive layer is applied to the bonding surface of the piezoelectric member to the substrate. In this state, the piezoelectric member is placed on the first adhesive layer on the substrate and bonded to each other.

特開2015-107556号公報JP 2015-107556 A

しかし、スプレーによる接着剤の塗布では、基板の表面の細かい凹凸が第1接着剤層によって十分に埋められない場合がある。例えば、基板の表面において高低差の大きい凹凸面では、凹凸面に沿った接着面が形成されてしまう可能性が高い。そのため、被接着部材同士の接着面積が減少し、接着強度が低下する可能性が高い。 However, when applying adhesive by spraying, the first adhesive layer may not be able to fully fill in the small irregularities on the surface of the substrate. For example, on an uneven surface with large differences in height on the surface of the substrate, there is a high possibility that an adhesive surface will be formed that follows the uneven surface. This will likely reduce the adhesive area between the bonded members, and reduce the adhesive strength.

本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、接着強度の低下を抑制することを目的とする。 This disclosure was made in consideration of the above problems, and aims to prevent a decrease in adhesive strength.

(1)本開示の一態様に係るヘッドチップは、複数の部材を備え、前記複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材及び第2部材とし、前記第1部材において前記第2部材が接着される接着面に下地として形成される下地接着層と、前記下地接着層と前記第2部材との間に形成される本接着層と、を備え、前記下地接着層の未硬化時の粘度は、前記本接着層の未硬化時の粘度よりも低い。 (1) A head chip according to one aspect of the present disclosure includes a plurality of members, two of which are bonded to each other as a first member and a second member, a base adhesive layer formed as a base on the adhesive surface of the first member to which the second member is bonded, and a main adhesive layer formed between the base adhesive layer and the second member, and the viscosity of the base adhesive layer when uncured is lower than the viscosity of the main adhesive layer when uncured.

本態様に係るヘッドチップによれば、下地接着層の未硬化時の粘度が本接着層の未硬化時の粘度以上に高い場合と比較して、第1部材において第2部材が接着される接着面の凹凸の奥まで下地接着層を入り込ませやすい。このため、被接着部材同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。 According to the head chip of this embodiment, the base adhesive layer can easily penetrate deep into the unevenness of the adhesive surface of the first member to which the second member is adhered, compared to when the viscosity of the base adhesive layer when uncured is higher than the viscosity of the adhesive layer when uncured. This makes it possible to prevent a reduction in the adhesive area between the adherend members. Therefore, it is possible to prevent a decrease in adhesive strength.

(2)(1)の態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、平坦面を有してもよい。 (2) In the head chip of aspect (1), the base adhesive layer may have a flat surface on the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.

この構成によれば、下地接着層において本接着層が形成される面に凹凸がある場合と比較して、下地接着層と本接着層との界面に気泡が入りにくくなる。したがって、接着剤層に空洞ができることに起因する密着度の低下を抑制することができる。 With this configuration, air bubbles are less likely to get into the interface between the base adhesive layer and the main adhesive layer, compared to when the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed is uneven. Therefore, it is possible to suppress a decrease in adhesion caused by the formation of cavities in the adhesive layer.

(3)(1)の態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状を有してもよい。 (3) In the head chip of aspect (1), the base adhesive layer may have a curved or bent shape on the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.

この構成によれば、下地接着層において本接着層が形成される面が平坦面である場合と比較して、被接着部材同士の接着面積が増える。したがって、接着強度が更に向上する。 With this configuration, the bonding area between the bonded members is increased compared to when the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed is a flat surface. This further improves the adhesive strength.

(4)(1)から(3)の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第2部材において前記本接着層が形成される部分が食い込む楔形状を有してもよい。 (4) In a head chip according to any one of the aspects (1) to (3), the base adhesive layer may have a wedge shape in which the portion of the second member on which the main adhesive layer is formed bites into the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.

この構成によれば、下地接着層が有する楔形状と第2部材において本接着層が形成される部分とのアンカー効果により、接着強度が向上する。加えて、単純な面同士(例えば平面同士)の接着構造と比較して、楔形状の表面積分だけ接着面積が増えるため、接着強度が更に向上する。 With this configuration, the adhesive strength is improved by the anchor effect between the wedge shape of the base adhesive layer and the portion of the second member where this adhesive layer is formed. In addition, compared to an adhesive structure between simple surfaces (e.g., flat surfaces), the adhesive area increases by the surface area of the wedge shape, further improving the adhesive strength.

(5)(1)から(4)の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝を有してもよい。 (5) In the head chip of any one of (1) to (4), the base adhesive layer may have an escape groove into which an excess portion of the main adhesive layer fits on the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.

この構成によれば、本接着層の余剰部分が逃げ溝に入るため、本接着層のはみだし量を減少させることができる。加えて、下地接着層において本接着層が形成される面から逃げ溝への気泡の移動が許容されるため、下地接着層において本接着層が形成される面に気泡が残存することを抑制することができる。したがって、下地接着層において本接着層が形成される面に気泡を含むことによる接着強度の低下を抑制することができる。 With this configuration, the excess portion of the adhesive layer enters the escape groove, reducing the amount of overflow of the adhesive layer. In addition, air bubbles are permitted to move from the surface of the base adhesive layer on which the adhesive layer is formed to the escape groove, preventing air bubbles from remaining on the surface of the base adhesive layer on which the adhesive layer is formed. Therefore, a decrease in adhesive strength due to air bubbles on the surface of the base adhesive layer on which the adhesive layer is formed can be prevented.

(6)(1)から(5)の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第2部材を位置決めする凹部又は凸部を有してもよい。 (6) In the head chip of any one of aspects (1) to (5), the base adhesive layer may have a recess or protrusion for positioning the second member on the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.

この構成によれば、下地接着層の凹部又は凸部により、第2部材の位置決めのために別のマークを用意する必要がなくなる。さらに、はめあいでの位置決めが可能となることによって、マークを手動で合わせる位置決めが不要となる。したがって、容易に正確な位置決めが可能となる。 With this configuration, the recesses or protrusions of the base adhesive layer eliminate the need to prepare a separate mark for positioning the second component. Furthermore, positioning by fit is possible, eliminating the need to manually align the marks. Therefore, accurate positioning is possible with ease.

(7)本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、(1)から(6)の何れかの態様のヘッドチップを備える。 (7) A liquid jet head according to one aspect of the present disclosure includes a head chip according to any one of aspects (1) to (6).

本態様に係る液体噴射ヘッドによれば、接着強度の低下を抑制できる液体噴射ヘッドが得られる。 The liquid jet head according to this embodiment can provide a liquid jet head that can suppress a decrease in adhesive strength.

(8)本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、(7)の態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと、を備える。 (8) A liquid jet recording device according to one aspect of the present disclosure includes a liquid jet head according to aspect (7) and a carriage to which the liquid jet head is attached.

本態様に係る液体噴射記録装置によれば、接着強度の低下を抑制できる液体噴射記録装置が得られる。 The liquid jet recording device according to this aspect provides a liquid jet recording device that can suppress a decrease in adhesive strength.

(9)本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法であって、前記複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材及び第2部材とし、前記第1部材において前記第2部材が接着される接着面に下地として下地接着層を形成する第1工程と、前記第1工程の後、前記下地接着層と前記第2部材との間に本接着層を形成する第2工程と、を含み、前記第1工程では、押圧板を用いて前記下地接着層となる接着剤を前記第1部材の前記接着面に押し付ける。 (9) A method for manufacturing a head chip according to one aspect of the present disclosure is a method for manufacturing a head chip having a plurality of members, in which two of the plurality of members to be bonded to each other are a first member and a second member, and includes a first step of forming a base adhesive layer as a base on an adhesive surface of the first member to which the second member is bonded, and a second step of forming this adhesive layer between the base adhesive layer and the second member after the first step, in which the adhesive that becomes the base adhesive layer is pressed against the adhesive surface of the first member using a pressure plate.

本態様に係るヘッドチップの製造方法によれば、押圧板を用いて下地接着層となる接着剤を第1部材の接着面に押し付けることにより、第1部材において第2部材が接着される接着面の凹凸の奥まで下地接着層を入り込ませることができる。このため、被接着部材同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。加えて、押圧板の押し付ける面の形状を転写することができるため、下地接着層において本接着層が形成される面を所望の形状・状態にすることができる。このため、凹凸を有する第1部材の接着面に直接接着するよりも、接着強度を確保することができる。 According to the head chip manufacturing method of this aspect, by using a pressure plate to press the adhesive that will become the base adhesive layer onto the adhesive surface of the first member, the base adhesive layer can penetrate deep into the unevenness of the adhesive surface of the first member to which the second member is adhered. This makes it possible to prevent a decrease in the adhesive area between the adherends. This makes it possible to prevent a decrease in adhesive strength. In addition, since the shape of the surface that the pressure plate presses against can be transferred, the surface of the base adhesive layer on which this adhesive layer is formed can be given the desired shape and state. This makes it possible to ensure greater adhesive strength than by directly adhering to the adhesive surface of the first member, which has unevenness.

第1実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of an inkjet printer according to a first embodiment. 第1実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic diagram of an inkjet head and an ink circulation unit according to the first embodiment. 第1実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of an inkjet head according to a first embodiment; 第1実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。1 is a cross-sectional view of an inkjet head according to a first embodiment. 第1実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。1 is a cross-sectional view of an inkjet head according to a first embodiment. 図5のVI-VI断面を含む図である。6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 5. 第1実施形態に係る第1部材及び第2部材を接着する接着剤層の説明図である。3A and 3B are explanatory diagrams of an adhesive layer that bonds a first member and a second member according to the first embodiment. 第1実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。3A to 3C are explanatory diagrams of a first step of the manufacturing method of the head chip according to the first embodiment. 第2実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。11 is an explanatory diagram of a first step of a manufacturing method of a head chip according to a second embodiment. FIG. 第3実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。13 is an explanatory diagram of a first step of a manufacturing method of a head chip according to a third embodiment. FIG. 図10に続く、第3実施形態に係る第1工程の説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of the first step according to the third embodiment, following FIG. 10 . 第4実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。13 is an explanatory diagram of a first step of a manufacturing method for a head chip according to a fourth embodiment. FIG. 第5実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の一例の説明図である。13 is an explanatory diagram of an example of a first step of a manufacturing method for a head chip according to a fifth embodiment. FIG. 第5実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の他の例の説明図である。13 is an explanatory diagram of another example of the first step of the manufacturing method of the head chip according to the fifth embodiment. FIG. 第6実施形態に係る第1部材及び第2部材を接着する接着剤層の説明図である。13 is an explanatory diagram of an adhesive layer that bonds a first member and a second member according to the sixth embodiment. FIG. 第7実施形態に係る第1部材及び第2部材を接着する接着剤層の説明図である。13 is an explanatory diagram of an adhesive layer that bonds a first member and a second member according to a seventh embodiment. FIG. 第7実施形態に係る接着剤層のはみ出し部の説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram of a protruding portion of an adhesive layer according to a seventh embodiment. 第8実施形態に係るヘッドチップの斜視図である。FIG. 23 is a perspective view of a head chip according to an eighth embodiment. 第8実施形態に係るヘッドチップの製造方法の一工程の斜視図である。FIG. 23 is a perspective view showing a step of a manufacturing method for a head chip according to the eighth embodiment. 第8実施形態に係るヘッドチップの平面図である。FIG. 23 is a plan view of a head chip according to an eighth embodiment.

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。実施形態では、本開示の液体噴射ヘッドチップ(以下、単に「ヘッドチップ」という。)を備えた液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク(液体)を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ(以下、単に「プリンタ」という。)を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。 Embodiments according to the present disclosure will be described below with reference to the drawings. In the embodiments, an inkjet printer (hereinafter simply referred to as a "printer") that uses ink (liquid) to record on a recording medium will be described as an example of a liquid ejection device equipped with a liquid ejection head equipped with a liquid ejection head chip (hereinafter simply referred to as a "head chip") according to the present disclosure. Note that in the drawings used in the following description, the scale of each component has been appropriately changed so that each component is of a recognizable size.

以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。また、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。 In the embodiments and variations described below, corresponding configurations may be given the same reference numerals and descriptions thereof may be omitted. In addition, in the following description, expressions indicating relative or absolute arrangements, such as "parallel," "orthogonal," "center," and "coaxial," do not only strictly indicate such arrangements, but also indicate a state in which there is a relative displacement with a tolerance or an angle or distance to the extent that the same function is obtained.

<第1実施形態>
<プリンタ>
図1はプリンタ1の概略構成図である。
図1に示すように、本実施形態のプリンタ1は、一対の搬送手段2,3と、インクタンク4と、インクジェットヘッド5(液体噴射ヘッド)と、インク循環手段6と、走査手段7と、を備える。なお、以下の説明では、必要に応じてX,Y,Zの直交座標系を用いて説明する。X方向は、被記録媒体P(例えば、紙等)の搬送方向である。Y方向は、走査手段7の走査方向である。Z方向は、X方向及びY方向に直交する上下方向である。
First Embodiment
<Printer>
FIG. 1 is a schematic diagram of a printer 1. As shown in FIG.
As shown in Fig. 1, the printer 1 of this embodiment includes a pair of transport means 2, 3, an ink tank 4, an inkjet head 5 (liquid ejection head), an ink circulation means 6, and a scanning means 7. In the following description, an X, Y, Z orthogonal coordinate system will be used as necessary. The X direction is the transport direction of a recording medium P (e.g., paper, etc.). The Y direction is the scanning direction of the scanning means 7. The Z direction is the up-down direction perpendicular to the X and Y directions.

搬送手段2,3は、被記録媒体PをX方向に搬送する。具体的に、搬送手段2は、Y方向に延設されたグリットローラ11と、グリットローラ11に平行に延設されたピンチローラ12と、グリットローラ11を軸回転させるモータ等の駆動機構(不図示)と、を備える。搬送手段3は、Y方向に延設されたグリットローラ13と、グリットローラ13に平行に延設されたピンチローラ14と、グリットローラ13を軸回転させる駆動機構(不図示)と、を備える。 The conveying means 2 and 3 convey the recording medium P in the X direction. Specifically, the conveying means 2 includes a grit roller 11 extending in the Y direction, a pinch roller 12 extending parallel to the grit roller 11, and a drive mechanism (not shown) such as a motor that rotates the grit roller 11 about its axis. The conveying means 3 includes a grit roller 13 extending in the Y direction, a pinch roller 14 extending parallel to the grit roller 13, and a drive mechanism (not shown) that rotates the grit roller 13 about its axis.

インクタンク4は、一方向に並んで複数設けられている。実施形態において、複数のインクタンク4は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ収容するインクタンク4Y,4M,4C,4Kである。実施形態において、インクタンク4Y,4M,4C,4Kは、X方向に並んで配置されている。 A plurality of ink tanks 4 are provided lined up in one direction. In this embodiment, the ink tanks 4 are ink tanks 4Y, 4M, 4C, and 4K, which respectively contain ink of four colors: yellow, magenta, cyan, and black. In this embodiment, ink tanks 4Y, 4M, 4C, and 4K are arranged lined up in the X direction.

図2に示すように、インク循環手段6は、インクタンク4とインクジェットヘッド5との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環手段6は、インク供給管21及びインク排出管22を有する循環流路23と、インク供給管21に接続された加圧ポンプ24と、インク排出管22に接続された吸引ポンプ25と、を備える。例えば、インク供給管21及びインク排出管22は、インクジェットヘッド5を支持する走査手段7の動作に追従可能な可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。 As shown in FIG. 2, the ink circulation means 6 circulates ink between the ink tank 4 and the inkjet head 5. Specifically, the ink circulation means 6 includes a circulation flow path 23 having an ink supply pipe 21 and an ink discharge pipe 22, a pressure pump 24 connected to the ink supply pipe 21, and a suction pump 25 connected to the ink discharge pipe 22. For example, the ink supply pipe 21 and the ink discharge pipe 22 are made of flexible hoses that are flexible enough to follow the operation of the scanning means 7 that supports the inkjet head 5.

加圧ポンプ24は、インク供給管21内を加圧し、インク供給管21を通してインクジェットヘッド5にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド5に対してインク供給管21側は正圧となっている。
吸引ポンプ25は、インク排出管22内を減圧し、インク排出管22内を通してインクジェットヘッド5からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド5に対してインク排出管22側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ24及び吸引ポンプ25の駆動により、インクジェットヘッド5とインクタンク4との間を、循環流路23を通して循環可能となっている。
The pressure pump 24 pressurizes the inside of the ink supply pipe 21 and sends ink to the inkjet head 5 through the ink supply pipe 21. As a result, the ink supply pipe 21 side relative to the inkjet head 5 is under positive pressure.
The suction pump 25 reduces the pressure inside the ink discharge tube 22 and sucks ink from the inkjet head 5 through the ink discharge tube 22. This creates a negative pressure on the ink discharge tube 22 side relative to the inkjet head 5. The ink can be circulated between the inkjet head 5 and the ink tank 4 through the circulation flow path 23 by driving the pressure pump 24 and the suction pump 25.

図1に示すように、走査手段7は、インクジェットヘッド5をY方向に往復走査させる。具体的に、走査手段7は、Y方向に延設された一対のガイドレール31,32と、一対のガイドレール31,32に移動可能に支持されたキャリッジ33と、キャリッジ33をY方向に移動させる駆動機構34と、を備える。なお、搬送手段2,3及び走査手段7は、インクジェットヘッド5と被記録媒体Pとを相対的に移動させる移動機構として機能する。 As shown in FIG. 1, the scanning means 7 scans the inkjet head 5 back and forth in the Y direction. Specifically, the scanning means 7 includes a pair of guide rails 31, 32 extending in the Y direction, a carriage 33 movably supported on the pair of guide rails 31, 32, and a drive mechanism 34 that moves the carriage 33 in the Y direction. The transport means 2, 3 and the scanning means 7 function as a movement mechanism that moves the inkjet head 5 and the recording medium P relative to each other.

駆動機構34は、X方向におけるガイドレール31,32の間に配設されている。駆動機構34は、Y方向に間隔をあけて配設された一対のプーリ35,36と、一対のプーリ35,36間に巻回された無端ベルト37と、一方のプーリ35を回転駆動させる駆動モータ38と、を備える。 The drive mechanism 34 is disposed between the guide rails 31 and 32 in the X direction. The drive mechanism 34 includes a pair of pulleys 35 and 36 spaced apart in the Y direction, an endless belt 37 wound between the pair of pulleys 35 and 36, and a drive motor 38 that drives and rotates one of the pulleys 35.

キャリッジ33は、無端ベルト37に連結されている。キャリッジ33には、複数のインクジェットヘッド5が搭載されている。実施形態において、複数のインクジェットヘッド5は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ吐出するインクジェットヘッド5Y,5M,5C,5Kである。実施形態において、インクジェットヘッド5Y,5M,5C,5Kは、Y方向に並んで配置されている。 The carriage 33 is connected to an endless belt 37. A plurality of inkjet heads 5 are mounted on the carriage 33. In this embodiment, the plurality of inkjet heads 5 are inkjet heads 5Y, 5M, 5C, and 5K that eject ink of four colors, yellow, magenta, cyan, and black, respectively. In this embodiment, the inkjet heads 5Y, 5M, 5C, and 5K are arranged side by side in the Y direction.

<インクジェットヘッド>
図3に示すように、インクジェットヘッド5は、一対のヘッドチップ40A,40Bと、流路プレート41と、入口マニホールド42と、出口マニホールド(不図示)と、帰還プレート43と、ノズルプレート44(噴射プレート)と、を備える。インクジェットヘッド5は、吐出チャネル54におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクタンク4との間でインクを循環させる循環式(エッジシュート循環式)のものである。
<Inkjet head>
3, the inkjet head 5 includes a pair of head chips 40A, 40B, a flow path plate 41, an inlet manifold 42, an outlet manifold (not shown), a feedback plate 43, and a nozzle plate (ejection plate) 44. The inkjet head 5 is of a circulation type (edge chute circulation type) that circulates ink between the ink tank 4 and the ink jet head 5, among so-called edge chute types that eject ink from the tip of the ejection channel 54 in the channel extension direction.

<ヘッドチップ>
一対のヘッドチップ40A,40Bは、第1ヘッドチップ40Aおよび第2ヘッドチップ40Bである。以下、第1ヘッドチップ40Aを中心に説明する。第2ヘッドチップ40Bにおいて、第1ヘッドチップ40Aと同一の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
第1ヘッドチップ40Aは、アクチュエータプレート51と、カバープレート52と、を備える。
<Head chip>
The pair of head chips 40A, 40B is a first head chip 40A and a second head chip 40B. The following description will focus on the first head chip 40A. In the second head chip 40B, the same components as those in the first head chip 40A are given the same reference numerals, and detailed descriptions thereof will be omitted.
The first head chip 40A includes an actuator plate 51 and a cover plate 52 .

<アクチュエータプレート>
アクチュエータプレート51の外形は、X方向に長手を有しかつZ方向に短手を有する矩形板状をなしている。実施形態において、アクチュエータプレート51は、分極方向が厚さ方向(Y方向)で異なる2枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である(図6参照)。例えば、圧電基板は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等からなるセラミックス基板が好適に用いられる。
<Actuator plate>
The actuator plate 51 has a rectangular plate shape with its long sides in the X direction and its short sides in the Z direction. In this embodiment, the actuator plate 51 is a so-called chevron type laminated substrate in which two piezoelectric substrates having different polarization directions in the thickness direction (Y direction) are laminated (see FIG. 6). For example, a ceramic substrate made of PZT (lead zirconate titanate) or the like is preferably used as the piezoelectric substrate.

アクチュエータプレート51のY方向における第1主面(アクチュエータプレート側第1主面)には、複数のチャネル54,55が形成されている。実施形態において、アクチュエータプレート側第1主面は、アクチュエータプレート51のY方向内側面51f1(以下「AP側Y方向内側面51f1」という。)である。ここで、Y方向内側は、インクジェットへッド5のY方向中心側(Y方向において流路プレート41の側)を意味する。実施形態において、アクチュエータプレート側第2主面は、アクチュエータプレート51のY方向外側面(図中符号51f2で示す。)である。 A plurality of channels 54, 55 are formed on the first main surface in the Y direction of the actuator plate 51 (first main surface on the actuator plate side). In the embodiment, the first main surface on the actuator plate side is the Y direction inner surface 51f1 of the actuator plate 51 (hereinafter referred to as the "AP side Y direction inner surface 51f1"). Here, the inner side in the Y direction means the center side in the Y direction of the inkjet head 5 (the side of the flow path plate 41 in the Y direction). In the embodiment, the second main surface on the actuator plate side is the Y direction outer surface of the actuator plate 51 (indicated by the reference symbol 51f2 in the figure).

各チャネル54,55は、Z方向(第1方向)に延びる直線状に形成されている。各チャネル54,55は、X方向(第2方向)に間隔をあけて交互に形成されている。各チャネル54,55間は、アクチュエータプレート51からなる駆動壁56によってそれぞれ画成されている。一方のチャネル54は、インクが充填される吐出チャネル54(噴射チャネル)である。他方のチャネル55は、インクが充填されない非吐出チャネル55(非噴射チャネル)である。 Each channel 54, 55 is formed in a straight line extending in the Z direction (first direction). Each channel 54, 55 is formed alternately at intervals in the X direction (second direction). Each channel 54, 55 is defined between by a driving wall 56 made of the actuator plate 51. One channel 54 is an ejection channel 54 (ejection channel) that is filled with ink. The other channel 55 is a non-ejection channel 55 (non-ejection channel) that is not filled with ink.

図4は、第1ヘッドチップ40Aにおける吐出チャネル54の断面を含む図である。
図4に示すように、吐出チャネル54は、下端部に位置する延在部54aと、延在部54aから上方に連なる切り上がり部54bと、を有している。
延在部54aは、Z方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。切り上がり部54bは、上方に向かうに従い溝深さが漸次浅くなっている。
FIG. 4 is a diagram including a cross section of the ejection channel 54 in the first head chip 40A.
As shown in FIG. 4, the discharge channel 54 has an extending portion 54a located at the lower end, and a cut-up portion 54b continuing upward from the extending portion 54a.
The extending portion 54a has a uniform groove depth over the entire length in the Z direction. The raised portion 54b has a groove depth that gradually becomes shallower toward the top.

図3に示すように、非吐出チャネル55の上端部は、アクチュエータプレート51の上端面で開口している。非吐出チャネル55の下端部は、アクチュエータプレート51の下端面で開口している。 As shown in FIG. 3, the upper end of the non-ejection channel 55 opens at the upper end surface of the actuator plate 51. The lower end of the non-ejection channel 55 opens at the lower end surface of the actuator plate 51.

図5は、第1ヘッドチップ40Aにおける非吐出チャネル55の断面を含む図である。
図5に示すように、非吐出チャネル55は、下端部に位置する延在部55aと、延在部55aから上方に連なる切り上がり部55bと、を有している。
延在部55aは、Z方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。切り上がり部55bは、上方に向かうに従い溝深さが漸次浅くなっている。
FIG. 5 is a diagram including a cross section of the non-ejection channel 55 in the first head chip 40A.
As shown in FIG. 5, the non-ejection channel 55 has an extending portion 55a located at the lower end, and a cut-up portion 55b continuing upward from the extending portion 55a.
The extending portion 55a has a uniform groove depth over the entire length in the Z direction. The raised portion 55b has a groove depth that gradually becomes shallower toward the top.

図4に示すように、吐出チャネル54の内面には、共通電極61が形成されている。アクチュエータプレート51のうち、吐出チャネル54に対して上方に位置する部分51e(以下「AP側尾部51e」という。)のY方向内側面には、アクチュエータプレート側共通パッド62(以下「AP側共通パッド62」という。)が形成されている。AP側共通パッド62は、共通電極61に連続している。図3に示すように、AP側共通パッド62は、AP側尾部51eのY方向内側面上でX方向に間隔をあけて複数配置されている。 As shown in FIG. 4, a common electrode 61 is formed on the inner surface of the ejection channel 54. An actuator plate side common pad 62 (hereinafter referred to as "AP side common pad 62") is formed on the Y direction inner surface of a portion 51e (hereinafter referred to as "AP side tail 51e") of the actuator plate 51 located above the ejection channel 54. The AP side common pad 62 is continuous with the common electrode 61. As shown in FIG. 3, a plurality of AP side common pads 62 are arranged at intervals in the X direction on the Y direction inner surface of the AP side tail 51e.

図5に示すように、非吐出チャネル55の内面には、個別電極63が形成されている。図6に示すように、個別電極63は、非吐出チャネル55の内面のうち、X方向で対向する内側面に各別に形成されている。したがって、各個別電極63のうち、同一の非吐出チャネル55内で対向する個別電極63同士は、非吐出チャネル55の底面において電気的に分離されている。個別電極63は、非吐出チャネル55の内側面全体(Y方向及びZ方向の全体)に亘って形成されている。 As shown in FIG. 5, individual electrodes 63 are formed on the inner surface of the non-ejection channel 55. As shown in FIG. 6, the individual electrodes 63 are formed separately on the inner surfaces of the non-ejection channel 55 that face each other in the X direction. Therefore, among the individual electrodes 63, the individual electrodes 63 that face each other within the same non-ejection channel 55 are electrically separated at the bottom surface of the non-ejection channel 55. The individual electrodes 63 are formed over the entire inner surface of the non-ejection channel 55 (the entire Y direction and Z direction).

図5に示すように、AP側尾部51eのY方向内側面には、アクチュエータプレート側個別配線64(以下「AP側個別配線64」という。)が形成されている。図3に示すように、AP側個別配線64は、AP側尾部51eのY方向内側面のうちAP側共通パッド62よりも上方に位置する部分をX方向に延在している。AP側個別配線64は、吐出チャネル54を間に挟んで対向する個別電極63同士を接続している。 As shown in FIG. 5, actuator plate side individual wiring 64 (hereinafter referred to as "AP side individual wiring 64") is formed on the Y direction inner surface of the AP side tail portion 51e. As shown in FIG. 3, the AP side individual wiring 64 extends in the X direction on the Y direction inner surface of the AP side tail portion 51e that is located above the AP side common pad 62. The AP side individual wiring 64 connects opposing individual electrodes 63 with the ejection channel 54 in between.

<カバープレート>
図3に示すように、カバープレート52の外形は、X方向に長手を有しかつZ方向に短手を有する矩形板状をなしている。カバープレート52のうち、AP側Y方向内側面51f1と対向する第1主面(カバープレート側第1主面)は、AP側Y方向内側面51f1に接合されている。実施形態において、カバープレート側第1主面は、カバープレート52のY方向外側面52f1(以下「CP側Y方向外側面52f1」という。)である。ここで、Y方向外側は、インクジェットへッド5のY方向中心側とは反対側(Y方向において流路プレート41の側とは反対側)を意味する。実施形態において、カバープレート側第2主面は、カバープレート52のY方向内側面52f2(以下「CP側Y方向内側面52f2」という。)である。
<Cover plate>
As shown in FIG. 3, the cover plate 52 has a rectangular plate shape with a long side in the X direction and a short side in the Z direction. The first main surface (cover plate side first main surface) of the cover plate 52 facing the AP side Y direction inner surface 51f1 is joined to the AP side Y direction inner surface 51f1. In the embodiment, the cover plate side first main surface is the Y direction outer surface 52f1 (hereinafter referred to as the "CP side Y direction outer surface 52f1") of the cover plate 52. Here, the Y direction outer side means the opposite side to the Y direction center side of the inkjet head 5 (the opposite side to the flow path plate 41 side in the Y direction). In the embodiment, the cover plate side second main surface is the Y direction inner surface 52f2 (hereinafter referred to as the "CP side Y direction inner surface 52f2") of the cover plate 52.

カバープレート52には、カバープレート52をY方向(第3方向)に貫通するとともに、吐出チャネル54に連通する液体供給路70が形成されている。液体供給路70は、カバープレート52をY方向内側に開口する共通インク室71と、共通インク室71に連通するとともにY方向外側に開口しかつX方向に間隔をあけて配置された複数のスリット72と、を含む。共通インク室71は、スリット72を通して各吐出チャネル54内に各別に連通している。一方、共通インク室71は、非吐出チャネル55には連通していない。 The cover plate 52 is formed with a liquid supply passage 70 that penetrates the cover plate 52 in the Y direction (third direction) and communicates with the ejection channels 54. The liquid supply passage 70 includes a common ink chamber 71 that opens on the inside of the cover plate 52 in the Y direction, and a plurality of slits 72 that communicate with the common ink chamber 71, open on the outside in the Y direction, and are spaced apart in the X direction. The common ink chamber 71 communicates with each of the ejection channels 54 through the slits 72. On the other hand, the common ink chamber 71 does not communicate with the non-ejection channels 55.

図4に示すように、カバープレート52において、液体供給路70の内面には共通電極65(以下「液体供給路内電極65」という。)が形成されている。CP側Y方向外側面52f1におけるスリット72の周囲には、カバープレート側共通パッド66(以下「CP側共通パッド66」という。)が形成されている。CP側Y方向内側面52f2における共通インク室71の周囲には、共通引出配線67が形成されている。図3に示すように、カバープレート52の上端には、カバープレート52のZ方向内側に窪むとともに、X方向に間隔をあけて配置された複数の凹部73が形成されている。 As shown in FIG. 4, a common electrode 65 (hereinafter referred to as the "liquid supply path inner electrode 65") is formed on the inner surface of the liquid supply path 70 in the cover plate 52. A cover plate side common pad 66 (hereinafter referred to as the "CP side common pad 66") is formed around the slit 72 on the CP side Y direction outer surface 52f1. A common lead wiring 67 is formed around the common ink chamber 71 on the CP side Y direction inner surface 52f2. As shown in FIG. 3, a plurality of recesses 73 are formed on the upper end of the cover plate 52, recessed inward in the Z direction of the cover plate 52 and spaced apart in the X direction.

図4に示すように、共通引出配線67は、カバープレート52のうち、アクチュエータプレート51に対して上方に位置する部分52e(以下「CP側尾部52e」という。)のY方向外側面まで引き出されている。これにより、複数の吐出チャネル54の内面に形成された共通電極61は、AP側共通パッド62、CP側共通パッド66、液体供給路内電極65および共通引出配線67を経て、共通端子68においてフレキシブル基板45(外部配線)と電気的に接続される。実施形態において、共通引出配線67及び液体供給路内電極65は、共通電極61とフレキシブル基板45とを接続する接続配線60を構成している。 As shown in FIG. 4, the common outgoing wiring 67 is drawn out to the Y-direction outer surface of the portion 52e (hereinafter referred to as the "CP side tail portion 52e") of the cover plate 52 located above the actuator plate 51. As a result, the common electrode 61 formed on the inner surface of the multiple ejection channels 54 is electrically connected to the flexible substrate 45 (external wiring) at the common terminal 68 via the AP side common pad 62, the CP side common pad 66, the liquid supply path inner electrode 65, and the common outgoing wiring 67. In the embodiment, the common outgoing wiring 67 and the liquid supply path inner electrode 65 constitute the connection wiring 60 that connects the common electrode 61 and the flexible substrate 45.

カバープレート52には、カバープレート側個別配線69(以下「CP側個別配線69」という。)が形成されている。CP側個別配線69は、アクチュエータプレート51とカバープレート52とを接合したときにおけるAP側個別配線64に対応する位置に配置されたカバープレート側個別パッド69a(以下「CP側個別パッド69a」という。)と、CP側個別パッド69aから上側ほどX方向外方に位置するように傾斜した後に上方に直線状に延びて形成された個別端子69bと、を備える。 Cover plate side individual wiring 69 (hereinafter referred to as "CP side individual wiring 69") is formed on the cover plate 52. The CP side individual wiring 69 includes cover plate side individual pads 69a (hereinafter referred to as "CP side individual pads 69a") arranged at positions corresponding to the AP side individual wiring 64 when the actuator plate 51 and the cover plate 52 are joined, and individual terminals 69b formed by extending linearly upward after being inclined so as to be positioned outward in the X direction toward the upper side from the CP side individual pads 69a.

個別端子69bは、CP側尾部52eのY方向外側面の上端まで延出している。これにより、複数の非吐出チャネル55の内面に形成された個別電極63は、AP側個別配線64およびCP側個別パッド69aを経て、個別端子69bにおいてフレキシブル基板45(図5参照)と電気的に接続される。実施形態において、CP側尾部52eのY方向外側面は、フレキシブル基板45が接続される接続面とされている。 The individual terminals 69b extend to the upper end of the Y-direction outer surface of the CP-side tail 52e. As a result, the individual electrodes 63 formed on the inner surface of the multiple non-ejection channels 55 are electrically connected to the flexible substrate 45 (see FIG. 5) at the individual terminals 69b via the AP-side individual wiring 64 and the CP-side individual pads 69a. In the embodiment, the Y-direction outer surface of the CP-side tail 52e serves as the connection surface to which the flexible substrate 45 is connected.

<流路プレート>
流路プレート41は、第1ヘッドチップ40Aと第2ヘッドチップ40BとのY方向間に挟持されている。図3に示すように、流路プレート41の外形は、X方向に長手を有しかつZ方向に短手を有する矩形板状をなしている。流路プレート41のY方向における第1主面41f1(第1ヘッドチップ40A側を向く面)には、第1ヘッドチップ40AにおけるCP側Y方向内側面52f2が接合されている。流路プレート41のY方向における第2主面41f2(第2ヘッドチップ40B側を向く面)には、第2ヘッドチップ40BにおけるCP側Y方向内側面52f2が接合されている。
<Flow path plate>
The flow path plate 41 is sandwiched between the first head chip 40A and the second head chip 40B in the Y direction. As shown in FIG. 3, the outer shape of the flow path plate 41 is a rectangular plate having a long side in the X direction and a short side in the Z direction. The CP-side Y-direction inner side surface 52f2 of the first head chip 40A is joined to the first main surface 41f1 (surface facing the first head chip 40A) in the Y direction of the flow path plate 41. The CP-side Y-direction inner side surface 52f2 of the second head chip 40B is joined to the second main surface 41f2 (surface facing the second head chip 40B) in the Y direction of the flow path plate 41.

流路プレート41の各主面41f1,41f2には、共通インク室71に各別に連通する入口流路74と、帰還プレート43の循環路76に各別に連通する出口流路75と、が形成されている。流路プレート41は、入口流路74と出口流路75とがZ方向に並ぶように形成されている。 Each of the main surfaces 41f1 and 41f2 of the flow path plate 41 is formed with an inlet flow path 74 that is individually connected to the common ink chamber 71, and an outlet flow path 75 that is individually connected to the circulation path 76 of the feedback plate 43. The flow path plate 41 is formed so that the inlet flow path 74 and the outlet flow path 75 are aligned in the Z direction.

各入口流路74は、共通インク室71にインクを流入させる前に一時的にインクを貯蔵する入口液体貯蔵部74sを含む。図3に示すように、入口液体貯蔵部74sは、上下幅を一定に維持して流路プレート41の上下中央部をX方向に直線状に延在している。図4に示すように、流路プレート41には、入口流路74をY方向における第1ヘッドチップ40A側と第2ヘッドチップ40B側とに仕切る入口流路仕切り壁41aが設けられている。 Each inlet flow channel 74 includes an inlet liquid storage section 74s that temporarily stores ink before the ink flows into the common ink chamber 71. As shown in FIG. 3, the inlet liquid storage section 74s extends linearly in the X direction at the center of the top and bottom of the flow channel plate 41 while maintaining a constant vertical width. As shown in FIG. 4, the flow channel plate 41 is provided with an inlet flow channel partition wall 41a that divides the inlet flow channel 74 into the first head chip 40A side and the second head chip 40B side in the Y direction.

出口流路75は、流路プレート41のX方向の他端面において図示しない出口マニホールドに接続されている。出口マニホールドは、インク排出管22(図1参照)に接続されている。各出口流路75は、循環路76から流出したインクを一時的に貯蔵する出口液体貯蔵部75sを含む。図3に示すように、出口液体貯蔵部75sは、上下幅を一定に維持して流路プレート41の下端部をX方向に直線状に延在している。 The outlet flow passages 75 are connected to an outlet manifold (not shown) at the other end surface in the X direction of the flow passage plate 41. The outlet manifold is connected to the ink discharge pipe 22 (see FIG. 1). Each outlet flow passage 75 includes an outlet liquid storage section 75s that temporarily stores ink flowing out of the circulation path 76. As shown in FIG. 3, the outlet liquid storage section 75s extends linearly in the X direction at the lower end of the flow passage plate 41 while maintaining a constant vertical width.

図4に示すように、流路プレート41には、出口流路75をY方向における第1ヘッドチップ40A側と第2ヘッドチップ40B側とに仕切る出口流路仕切り壁41bが設けられている。図4の断面視で、流路プレート41のうち、CP側尾部52eとY方向で重なる部分には、入口流路74及び出口流路75が形成されていない。すなわち、流路プレート41のうち、CP側尾部52eとY方向で重なる部分は、中実部材41cとされている。 As shown in FIG. 4, the flow path plate 41 is provided with an outlet flow path partition wall 41b that divides the outlet flow path 75 into the first head chip 40A side and the second head chip 40B side in the Y direction. In the cross-sectional view of FIG. 4, the inlet flow path 74 and the outlet flow path 75 are not formed in the portion of the flow path plate 41 that overlaps with the CP side tail portion 52e in the Y direction. In other words, the portion of the flow path plate 41 that overlaps with the CP side tail portion 52e in the Y direction is made of a solid member 41c.

<入口マニホールド>
図3に示すように、入口マニホールド42は、各ヘッドチップ40A,40B及び流路プレート41のX方向の一端面にまとめて接合されている。入口マニホールド42には、各入口流路74に連通する供給路77が形成されている。入口マニホールド42は、インク供給管21(図1参照)に接続されている。
<Inlet manifold>
3, the inlet manifold 42 is joined together to one end surface in the X direction of each of the head chips 40A, 40B and the flow path plate 41. The inlet manifold 42 is formed with a supply path 77 that communicates with each inlet flow path 74. The inlet manifold 42 is connected to the ink supply pipe 21 (see FIG. 1).

<帰還プレート>
帰還プレート43の外形は、X方向に長手を有しかつY方向に短手を有する矩形板状をなしている。帰還プレート43は、各ヘッドチップ40A,40B及び流路プレート41の下端面にまとめて接合されている。帰還プレート43には、各ヘッドチップ40A,40Bの吐出チャネル54と出口流路75との間を接続する複数の循環路76が形成されている。複数の循環路76は、第1循環路76a及び第2循環路76bを含む。複数の循環路76は、帰還プレート43をZ方向に貫通している。
<Feedback plate>
The feedback plate 43 has a rectangular plate shape with a long side in the X direction and a short side in the Y direction. The feedback plate 43 is joined together to the lower end surfaces of the head chips 40A, 40B and the flow path plate 41. The feedback plate 43 has a plurality of circulation paths 76 formed therein, which connect the ejection channels 54 of the head chips 40A, 40B to the outlet flow paths 75. The plurality of circulation paths 76 include a first circulation path 76a and a second circulation path 76b. The plurality of circulation paths 76 penetrate the feedback plate 43 in the Z direction.

図4に示すように、第1循環路76aは、Y方向に延在している。第1循環路76aにおけるY方向の内側端部は、出口流路75内に連通している。第1循環路76aにおけるY方向の外側端部は、第1ヘッドチップ40Aの吐出チャネル54内に各別に連通している。 As shown in FIG. 4, the first circulation path 76a extends in the Y direction. The inner end of the first circulation path 76a in the Y direction is connected to the outlet flow path 75. The outer end of the first circulation path 76a in the Y direction is connected to each of the ejection channels 54 of the first head chip 40A.

図5に示すように、第2循環路76bは、Y方向に延在している。第2循環路76bにおけるY方向の内側端部は、出口流路75内に連通している。第2循環路76bにおけるY方向の外側端部は、第2ヘッドチップ40Bの吐出チャネル54内に各別に連通している。 As shown in FIG. 5, the second circulation path 76b extends in the Y direction. The inner end of the second circulation path 76b in the Y direction is connected to the outlet flow path 75. The outer end of the second circulation path 76b in the Y direction is connected to each of the ejection channels 54 of the second head chip 40B.

<ノズルプレート>
図3に示すように、ノズルプレート44の外形は、X方向に長手を有しかつY方向に短手を有する矩形板状をなしている。ノズルプレート44は、帰還プレート43の下端面に接合されている。ノズルプレート44には、ノズルプレート44をZ方向に貫通する複数のノズル孔78(噴射孔)が配列されている。複数のノズル孔78は、第1ノズル孔78a及び第2ノズル孔78bを含む。
<Nozzle plate>
3, the nozzle plate 44 has an outer shape like a rectangular plate with its long sides in the X direction and its short sides in the Y direction. The nozzle plate 44 is joined to the lower end surface of the feedback plate 43. The nozzle plate 44 has an array of multiple nozzle holes 78 (injection holes) that penetrate the nozzle plate 44 in the Z direction. The multiple nozzle holes 78 include a first nozzle hole 78a and a second nozzle hole 78b.

図4に示すように、各第1ノズル孔78aは、第1循環路76aを介して第1ヘッドチップ40Aの対応する吐出チャネル54にそれぞれ連通している。
図5に示すように、各第2ノズル孔78bは、第2循環路76bを介して第2ヘッドチップ40Bの対応する吐出チャネル54にそれぞれ連通している。
一方、各非吐出チャネル55は、ノズル孔78a,78bには連通しておらず、帰還プレート43により下方から覆われている。
As shown in FIG. 4, each of the first nozzle holes 78a communicates with a corresponding ejection channel 54 of the first head chip 40A via a first circulation path 76a.
As shown in FIG. 5, each of the second nozzle holes 78b communicates with a corresponding ejection channel 54 of the second head chip 40B via a second circulation path 76b.
On the other hand, each of the non-ejection channels 55 does not communicate with the nozzle holes 78a, 78b, and is covered from below by the feedback plate 43.

<接着剤層>
図7は、第1実施形態に係る第1部材101及び第2部材102を接着する接着剤層110の説明図である。
図7を併せて参照し、ヘッドチップ40A,40Bは、吐出チャネル54(液体が通過するチャネルに相当)を有するアクチュエータプレート51を含む複数の部材を備える。複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材101及び第2部材102とする。ヘッドチップ40A,40Bは、第1部材101と第2部材102との間に接着剤層110を備える。
<Adhesive Layer>
FIG. 7 is an explanatory diagram of an adhesive layer 110 that bonds the first member 101 and the second member 102 according to the first embodiment.
7, the head chips 40A and 40B include a plurality of members including an actuator plate 51 having an ejection channel 54 (corresponding to a channel through which liquid passes). Two of the plurality of members that are bonded to each other are a first member 101 and a second member 102. The head chips 40A and 40B include an adhesive layer 110 between the first member 101 and the second member 102.

接着剤層110は、第1部材101において第2部材102が接着される接着面101fに下地として形成される下地接着層111と、下地接着層111と第2部材102との間に形成される本接着層112と、を備える。接着剤層110は、下地接着層111の上に本接着層112が積層されることで形成されている。下地接着層111の未硬化時の粘度は、本接着層112の未硬化時の粘度よりも低い。 The adhesive layer 110 comprises a base adhesive layer 111 formed as a base on the adhesive surface 101f of the first member 101 to which the second member 102 is adhered, and a main adhesive layer 112 formed between the base adhesive layer 111 and the second member 102. The adhesive layer 110 is formed by laminating the main adhesive layer 112 on the base adhesive layer 111. The viscosity of the base adhesive layer 111 when uncured is lower than the viscosity of the main adhesive layer 112 when uncured.

例えば、接着剤層110は、熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂等の樹脂材料で形成されていてもよい。例えば、下地接着層111は、エポキシ系接着剤等で形成されているとよい。例えば、本接着層112は、アクリル系接着剤等で形成されていてもよい。なお、下地接着層111及び本接着層112の形成材料は、上記に限定されない。例えば、下地接着層111及び本接着層112の形成材料は、設計仕様に応じて変更することができる。 For example, the adhesive layer 110 may be formed from a resin material such as a thermosetting resin or an ultraviolet-curing resin. For example, the base adhesive layer 111 may be formed from an epoxy-based adhesive. For example, the main adhesive layer 112 may be formed from an acrylic-based adhesive. Note that the materials for the base adhesive layer 111 and the main adhesive layer 112 are not limited to those mentioned above. For example, the materials for the base adhesive layer 111 and the main adhesive layer 112 can be changed according to the design specifications.

図7の例では、第1部材101において第2部材102が接着される接着面101f(以下「第1部材側接着面101f」ともいう。)を示している。図7では、第1部材側接着面101f上にある細かい凹凸を誇張して示しており、符号101aは凹部の一例を、符号101bは凸部の一例を示している。なお、図7では対比のために、第1部材側接着面101fが平坦であったと仮想した場合の仮想線101vを2点鎖線で示している。ここで、下地接着層111は、第1部材側接着面101fの凹凸の奥(凹部101a内)まで入り込んでいる。下地接着層111は、第1部材側接着面101fを全体的に隙間なく覆っている。 The example of FIG. 7 shows the adhesive surface 101f (hereinafter also referred to as the "first member adhesive surface 101f") of the first member 101 to which the second member 102 is adhered. In FIG. 7, the fine irregularities on the first member adhesive surface 101f are exaggerated, with reference numeral 101a indicating an example of a concave portion and reference numeral 101b indicating an example of a convex portion. For comparison, in FIG. 7, a two-dot chain line indicates a virtual line 101v in the case where the first member adhesive surface 101f is assumed to be flat. Here, the base adhesive layer 111 penetrates deep into the irregularities of the first member adhesive surface 101f (inside the concave portion 101a). The base adhesive layer 111 covers the entire first member adhesive surface 101f without any gaps.

下地接着層111は、下地接着層111において本接着層112が形成される面(下地接着層111の上面に相当)に、平坦面111fを有する。 The base adhesive layer 111 has a flat surface 111f on the surface of the base adhesive layer 111 on which the main adhesive layer 112 is formed (corresponding to the upper surface of the base adhesive layer 111).

下地接着層111の上面(平坦面111f)は、第2部材102において第1部材101が接着される接着面(以下「第2部材側接着面102f」ともいう。第2部材102の下面に相当)に対して全体的に平行な平面となっている。下地接着層111の上面は、第1部材側接着面101f上にある凹凸の上端(凸部101bの最上端)を面内に有する平面状に形成されている。 The upper surface (flat surface 111f) of the base adhesive layer 111 is a flat surface that is generally parallel to the adhesive surface of the second member 102 to which the first member 101 is adhered (hereinafter also referred to as the "second member side adhesive surface 102f"; equivalent to the lower surface of the second member 102). The upper surface of the base adhesive layer 111 is formed in a flat surface that includes the upper ends (the uppermost ends of the convex portions 101b) of the irregularities on the first member side adhesive surface 101f within the plane.

本接着層112は、第2部材102の下面(第2部材側接着面102fに相当)と下地接着層111の上面(平坦面111f)との間に介在している。本接着層112は、第2部材側接着面102fを全体的に隙間なく覆っている。本接着層112は、下地接着層111の上面(平坦面111f)を全体的に隙間なく覆っている。下地接着層111と本接着層112との界面103は、第1部材側接着面101f上にある凹凸の上端(凸部101bの最上端)を面内に有する。界面103は、下地接着層111と本接着層112とが互いに接している境界を意味する。 The adhesive layer 112 is interposed between the lower surface of the second member 102 (corresponding to the second member side adhesive surface 102f) and the upper surface (flat surface 111f) of the base adhesive layer 111. The adhesive layer 112 covers the entire second member side adhesive surface 102f without any gaps. The adhesive layer 112 covers the entire upper surface (flat surface 111f) of the base adhesive layer 111 without any gaps. The interface 103 between the base adhesive layer 111 and the adhesive layer 112 has the upper end (the uppermost end of the convex portion 101b) of the irregularities on the first member side adhesive surface 101f within the plane. The interface 103 refers to the boundary where the base adhesive layer 111 and the adhesive layer 112 are in contact with each other.

<プリンタの動作方法>
次に、プリンタ1を利用して、被記録媒体Pに文字や図形等を記録する場合のプリンタ1の動作方法について説明する。
なお、初期状態として、図1に示す4つのインクタンク4にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク4内のインクがインク循環手段6を介してインクジェットヘッド5内に充填された状態となっている。
<How the printer works>
Next, a method of operation of the printer 1 when using the printer 1 to record characters, figures, etc. on the recording medium P will be described.
1 are each filled with a sufficient amount of ink of a different color. Also, the ink in the ink tanks 4 is filled in the inkjet head 5 via the ink circulation means 6.

図1に示すように、初期状態のもと、プリンタ1を作動させると、搬送手段2,3のグリットローラ11,13が回転することで、これらグリットローラ11,13及びピンチローラ12,14間に被記録媒体Pを搬送方向(X方向)に向けて搬送する。また、被記録媒体Pの搬送と同時に、駆動モータ38がプーリ35,36を回転させて無端ベルト37を動かす。これにより、キャリッジ33がガイドレール31,32にガイドされながらY方向に往復移動する。
そして、キャリッジ33の往復移動の間に、各インクジェットヘッド5より4色のインクを被記録媒体Pに適宜吐出させることで、被記録媒体Pに文字や画像等の記録を行うことができる。
1, when the printer 1 is operated in the initial state, the grit rollers 11 and 13 of the conveying means 2 and 3 rotate, conveying the recording medium P in the conveying direction (X direction) between the grit rollers 11 and 13 and the pinch rollers 12 and 14. At the same time as the recording medium P is conveyed, the drive motor 38 rotates the pulleys 35 and 36 to move the endless belt 37. As a result, the carriage 33 reciprocates in the Y direction while being guided by the guide rails 31 and 32.
During the reciprocating movement of the carriage 33, the inkjet heads 5 eject ink of four colors onto the recording medium P as appropriate, thereby enabling characters, images, and the like to be recorded on the recording medium P.

ここで、各インクジェットヘッド5の動きについて説明する。
本実施形態のようなエッジシュートタイプのうち、縦循環式のインクジェットヘッド5では、まず図2に示す加圧ポンプ24及び吸引ポンプ25を作動させることで、循環流路23内にインクを流通させる。この場合、インク供給管21を流通するインクは、図3に示す入口マニホールド42の供給路77を通り、流路プレート41の各入口流路74内に流入する。各入口流路74内に流入したインクは、各共通インク室71を通過した後、スリット72を通って各吐出チャネル54内に供給される。各吐出チャネル54内に流入したインクは、帰還プレート43の循環路76を通して出口流路75内で集合し、その後図示しない出口マニホールドを通して図2に示すインク排出管22に排出される。インク排出管22に排出されたインクは、インクタンク4に戻された後、再びインク供給管21に供給される。これにより、インクジェットヘッド5とインクタンク4との間でインクを循環させる。
Here, the movement of each ink-jet head 5 will be described.
In the vertical circulation type inkjet head 5 of the edge shoot type as in this embodiment, the pressurizing pump 24 and the suction pump 25 shown in FIG. 2 are first operated to circulate ink in the circulation flow path 23. In this case, the ink flowing through the ink supply tube 21 passes through the supply path 77 of the inlet manifold 42 shown in FIG. 3 and flows into each inlet flow path 74 of the flow path plate 41. The ink that flows into each inlet flow path 74 passes through each common ink chamber 71, and is then supplied to each ejection channel 54 through the slit 72. The ink that flows into each ejection channel 54 is collected in the outlet flow path 75 through the circulation path 76 of the feedback plate 43, and then is discharged to the ink discharge tube 22 shown in FIG. 2 through the outlet manifold (not shown). The ink discharged to the ink discharge tube 22 is returned to the ink tank 4 and then supplied to the ink supply tube 21 again. In this way, the ink is circulated between the inkjet head 5 and the ink tank 4.

そして、キャリッジ33(図1参照)によって往復移動が開始されると、フレキシブル基板45を介して各電極61,63に駆動電圧を印加する。この際、個別電極63を駆動電位Vddとし、共通電極61を基準電位GNDとして各電極61,63間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル54を画成する2つ駆動壁56に厚み滑り変形が生じ、これら2つの駆動壁56が非吐出チャネル55側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート51は、厚さ方向(Y方向)に分極処理された2枚の圧電基板が積層されているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁56におけるY方向の中間位置を中心にしてV字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル54があたかも膨らむように変形する。 When the carriage 33 (see FIG. 1) starts reciprocating, a drive voltage is applied to each electrode 61, 63 via the flexible substrate 45. At this time, the individual electrode 63 is set to a drive potential Vdd, and the common electrode 61 is set to a reference potential GND, and a drive voltage is applied between each electrode 61, 63. Then, thickness slip deformation occurs in the two drive walls 56 that define the ejection channel 54, and these two drive walls 56 deform so as to protrude toward the non-ejection channel 55 side. That is, since the actuator plate 51 of this embodiment is made of two piezoelectric substrates that have been polarized in the thickness direction (Y direction) and are stacked, applying a drive voltage causes a V-shaped bending deformation centered on the middle position of the drive wall 56 in the Y direction. As a result, the ejection channel 54 deforms as if it is bulging.

2つの駆動壁56の変形によって、吐出チャネル54の容積が増大すると、共通インク室71内のインクがスリット72を通って吐出チャネル54内に誘導される。そして、吐出チャネル54の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル54の内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔78に到達したタイミングで、各電極61,63間に印加した駆動電圧をゼロにする。
これにより、駆動壁56が復元し、一旦増大した吐出チャネル54の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル54の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔78から吐出させることができる。この際、インクはノズル孔78を通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように被記録媒体Pに文字や画像等を記録することができる。
When the volume of the ejection channel 54 increases due to the deformation of the two driving walls 56, the ink in the common ink chamber 71 is guided into the ejection channel 54 through the slit 72. The ink guided into the ejection channel 54 becomes a pressure wave and propagates into the ejection channel 54. When this pressure wave reaches the nozzle hole 78, the driving voltage applied between the electrodes 61, 63 is set to zero.
As a result, the driving wall 56 is restored, and the volume of the ejection channel 54, which had increased once, returns to its original volume. This action increases the pressure inside the ejection channel 54, and pressurizes the ink. As a result, the ink can be ejected from the nozzle hole 78. At this time, the ink is ejected as liquid ink droplets as it passes through the nozzle hole 78. This makes it possible to record characters, images, and the like on the recording medium P, as described above.

なお、インクジェットヘッド5の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁56が吐出チャネル54の内側に変形し、吐出チャネル54があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、各電極61,63間に印可する電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート51の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル54が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル54が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めても構わない。 The method of operation of the inkjet head 5 is not limited to the above. For example, the drive wall 56 in the normal state may be deformed inwardly of the ejection channel 54, so that the ejection channel 54 appears to be recessed inward. In this case, this can be achieved by applying a voltage between the electrodes 61, 63 with a polarity opposite to that of the voltage described above, or by reversing the polarization direction of the actuator plate 51 without changing the polarity of the voltage. In addition, the ejection channel 54 may be deformed so as to bulge outward, and then deformed so as to recess inward, thereby increasing the pressure of the ink when ejected.

<ヘッドチップの製造方法>
本実施形態のヘッドチップの製造方法は、吐出チャネル54を有するアクチュエータプレート51を含む複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法であって、複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材101及び第2部材102とし、第1部材101において第2部材102が接着される第1部材側接着面101fに下地として下地接着層111を形成する第1工程と、第1工程の後、下地接着層111と第2部材102との間に本接着層112を形成する第2工程と、を含み、第1工程では、押圧板120を用いて下地接着層111となる接着剤を第1部材101の接着面に押し付ける。
なお、ヘッドチップの製造方法は、上述した各ヘッドチップ40A,40Bともに同様の方法により行うことが可能である。
<Method of Manufacturing Head Chip>
The manufacturing method of the head chip of this embodiment is a manufacturing method of a head chip equipped with a plurality of members including an actuator plate 51 having an ejection channel 54, and includes a first step of forming a base adhesive layer 111 as a base on the first member side adhesive surface 101f of the first member 101 to which the second member 102 is adhered, and a second step of forming a main adhesive layer 112 between the base adhesive layer 111 and the second member 102 after the first step, in which an adhesive that becomes the base adhesive layer 111 is pressed against the adhesive surface of the first member 101 using a pressure plate 120.
Incidentally, the head chips 40A and 40B can be manufactured in the same manner.

ヘッドチップの製造方法は、第1部材101及び第2部材102を準備する部材準備工程と、第1部材101及び第2部材102を互いに接着する部材接着工程と、を含む。 The method for manufacturing the head chip includes a member preparation process for preparing a first member 101 and a second member 102, and a member bonding process for bonding the first member 101 and the second member 102 to each other.

部材準備工程では、上述したアクチュエータプレート51等を含む複数の部材(第1部材101及び第2部材102)を準備する。例えば、アクチュエータプレート51、カバープレート52及び流路プレート41の少なくとも一つが第1部材101に相当し、帰還プレート43が第2部材102に相当する(側面-平面での接着)。例えば、アクチュエータプレート51、カバープレート52及び流路プレート41の少なくとも一つの側面(表面)をダイサー等で削る場合は、表面が粗くなるため、第1部材101の接着面に凹凸ができることになる。なお、アクチュエータプレート51が第1部材101に相当する場合は、カバープレート52が第2部材102に相当してもよい(平面同士の接着)。部材準備工程の後、部材接着工程に移行する。 In the member preparation process, multiple members (first member 101 and second member 102) including the actuator plate 51 described above are prepared. For example, at least one of the actuator plate 51, cover plate 52, and flow path plate 41 corresponds to the first member 101, and the feedback plate 43 corresponds to the second member 102 (side-flat adhesion). For example, when the side (surface) of at least one of the actuator plate 51, cover plate 52, and flow path plate 41 is cut with a dicer or the like, the surface becomes rough, resulting in unevenness on the adhesive surface of the first member 101. Note that when the actuator plate 51 corresponds to the first member 101, the cover plate 52 may correspond to the second member 102 (flat adhesion). After the member preparation process, the process proceeds to the member adhesion process.

部材接着工程では、上述した接着剤層110により、第1部材101及び第2部材102を互いに接着する。部材接着工程は、第1部材側接着面101fに下地接着層111を形成する第1工程と、下地接着層111と第2部材102との間に本接着層112を形成する第2工程と、を含む。 In the member bonding process, the first member 101 and the second member 102 are bonded to each other by the adhesive layer 110 described above. The member bonding process includes a first process of forming a base adhesive layer 111 on the first member side bonding surface 101f, and a second process of forming a main adhesive layer 112 between the base adhesive layer 111 and the second member 102.

図8は、第1実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。
図8を併せて参照し、第1工程では、押圧板120を用いて下地接着層111となる接着剤(以下「下地接着剤」ともいう。)を第1部材側接着面101fに押し付ける。押圧板120は、スプレー等による塗布では平坦化できないような高低差のある第1部材側接着面101f上の凹凸に対して、接着に適した接着面を形成するための板部材である。本実施形態では、接着に適した接着面が平坦面111fである。そのため、押圧板120は、平坦面111fに沿う平面状の転写面120fを有する。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a first step of the method for manufacturing the head chip according to the first embodiment.
8, in the first step, the adhesive (hereinafter also referred to as "base adhesive") that will become the base adhesive layer 111 is pressed against the first member side adhesive surface 101f using a pressure plate 120. The pressure plate 120 is a plate member for forming an adhesive surface suitable for adhesion on the unevenness on the first member side adhesive surface 101f that has a height difference that cannot be flattened by application by spraying or the like. In this embodiment, the adhesive surface suitable for adhesion is the flat surface 111f. Therefore, the pressure plate 120 has a planar transfer surface 120f that follows the flat surface 111f.

第1工程では、第1部材側接着面101f上の凹凸を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、平面状の転写面120fを有する押圧板120を、下地接着剤の上方(図8の矢印方向)から押し付ける。その後、押圧板120を下地接着剤から離反させる。例えば、押圧板120を離反するタイミング(工程)は、以下の(1)から(3)が挙げられる。
(1)下地接着剤塗布→押圧板押し付け→押圧板離反(下地接着剤は未硬化の状態)
これにより、本接着剤とのなじみを良くできる。
(2)下地接着剤塗布→押圧板押し付け→下地接着剤仮硬化→押圧板離反
これにより、下地接着層の接着面形状の転写性が高くなり、本接着剤とのなじみを良くできる。
(3)下地接着剤塗布→押圧板押し付け→下地接着剤完全硬化→押圧板離反
これにより、下地接着層の接着面形状の転写性が高くなる。
In the first step, after applying the base adhesive to the extent that the unevenness on the first member side adhesive surface 101f is filled, the pressing plate 120 having the planar transfer surface 120f is pressed from above the base adhesive (in the direction of the arrow in FIG. 8). Then, the pressing plate 120 is separated from the base adhesive. For example, the timing (step) for separating the pressing plate 120 may be the following (1) to (3).
(1) Apply base adhesive → press plate → press plate detach (base adhesive is uncured)
This allows for better compatibility with the adhesive.
(2) Apply base adhesive → press with pressure plate → temporarily harden base adhesive → separate pressure plate. This improves the transferability of the adhesive surface shape of the base adhesive layer and allows for better compatibility with the main adhesive.
(3) Applying base adhesive -> pressing with pressure plate -> base adhesive completely hardening -> detaching with pressure plate. This improves the transferability of the adhesive surface shape of the base adhesive layer.

例えば、押圧板120は、下地接着剤に対して離型性があるポリテトラフルオロエチレンやガラス等の材料で形成されている。例えば、下地接着剤の形成材料がエポキシ系接着剤である場合は、押圧板120の形成材料はポリテトラフルオロエチレンであることが好ましい。例えば、押圧板120の形成材料は、設計仕様に応じて変更することができる。 For example, the pressure plate 120 is formed from a material such as polytetrafluoroethylene or glass that has releasability against the base adhesive. For example, if the base adhesive is made from an epoxy adhesive, it is preferable that the material used to form the pressure plate 120 is polytetrafluoroethylene. For example, the material used to form the pressure plate 120 can be changed according to the design specifications.

本実施形態では、下地接着剤の粘度(下地接着層111の未硬化時の粘度に相当)は、本接着層112となる接着剤(以下「本接着剤」ともいう。)の粘度(本接着層112の未硬化時の粘度に相当)よりも低い。このため、下地接着剤の粘度が本接着剤の粘度以上に高い場合と比較して、第1工程において第1部材側接着面101f上の凹凸の奥まで下地接着剤を入り込ませやすい。 In this embodiment, the viscosity of the base adhesive (corresponding to the viscosity of the base adhesive layer 111 when uncured) is lower than the viscosity of the adhesive (hereinafter also referred to as the "main adhesive") that becomes the main adhesive layer 112 (corresponding to the viscosity of the main adhesive layer 112 when uncured). Therefore, in the first step, it is easier to make the base adhesive penetrate deep into the irregularities on the first component side adhesive surface 101f, compared to when the viscosity of the base adhesive is higher than or equal to the viscosity of the main adhesive.

その後、第1部材側接着面101fに塗布された下地接着剤を、加熱や紫外線照射等で硬化させる。これにより、第1部材側接着面101fに下地接着層111が形成される。第1工程の後、第2工程に移行する。なお、下地接着剤は未硬化の状態で第2工程に移行することもある。 Then, the base adhesive applied to the first component side adhesive surface 101f is cured by heating, ultraviolet irradiation, or the like. As a result, a base adhesive layer 111 is formed on the first component side adhesive surface 101f. After the first process, the process moves to the second process. Note that the base adhesive may also move to the second process in an uncured state.

第2工程では、下地接着層111と第2部材102との間に本接着層112を形成する。第2工程では、先ず、本接着剤を下地接着層111の上面(平坦面111f)に塗布する。次に、本接着剤を介して下地接着層111の上面に第2部材102を配置する。その後、下地接着層111と第2部材102との間の本接着剤を、加熱や紫外線照射等で硬化させる。これにより、下地接着層111と第2部材102との間に本接着層112が形成される。すなわち、接着剤層110(下地接着層111及び本接着層112)を介して、第1部材101及び第2部材102が互いに接着される。なお、第2工程では、本接着剤だけでなく、下地接着剤も一緒に硬化することもある。
以上の工程により、ヘッドチップが得られる。
In the second step, the main adhesive layer 112 is formed between the base adhesive layer 111 and the second member 102. In the second step, the main adhesive is first applied to the upper surface (flat surface 111f) of the base adhesive layer 111. Next, the second member 102 is placed on the upper surface of the base adhesive layer 111 via the main adhesive. Then, the main adhesive between the base adhesive layer 111 and the second member 102 is cured by heating, ultraviolet irradiation, or the like. As a result, the main adhesive layer 112 is formed between the base adhesive layer 111 and the second member 102. That is, the first member 101 and the second member 102 are bonded to each other via the adhesive layer 110 (base adhesive layer 111 and main adhesive layer 112). In addition, in the second step, not only the main adhesive but also the base adhesive may be cured together.
Through the above steps, a head chip is obtained.

なお、第2工程の前に、第2部材102において第1部材101が接着される接着面(第2部材側接着面102f)に下地接着層111を形成してもよい。例えば、第1工程と同様、押圧板120を用いて下地接着剤を第2部材側接着面102fに押し付けてもよい。これにより、下地接着層111(2層)及び本接着層112を介して、第1部材101及び第2部材102を互いに接着することができる。例えば、第2部材側接着面102fに対する下地接着層111の設置態様は、設計仕様に応じて変更することができる。 Before the second step, a base adhesive layer 111 may be formed on the adhesive surface (second member side adhesive surface 102f) of the second member 102 to which the first member 101 is adhered. For example, as in the first step, a pressure plate 120 may be used to press the base adhesive against the second member side adhesive surface 102f. This allows the first member 101 and the second member 102 to be adhered to each other via the base adhesive layer 111 (two layers) and the main adhesive layer 112. For example, the installation mode of the base adhesive layer 111 on the second member side adhesive surface 102f can be changed according to the design specifications.

例えば、第1工程及び第2工程は、インクジェットヘッドの製造方法に適用してもよい。例えば、インクジェットヘッドの製造方法は、上述したアクチュエータプレートを含む複数の部材を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材101及び第2部材102とし、第1部材101において第2部材102が接着される接着面に下地として下地接着層111を形成する第1工程と、第1工程の後、下地接着層111と第2部材102との間に本接着層112を形成する第2工程と、を含み、第1工程では、押圧板120を用いて下地接着層111となる接着剤を第1部材101の接着面に押し付けてもよい。 For example, the first and second steps may be applied to a method for manufacturing an inkjet head. For example, the method for manufacturing an inkjet head includes a plurality of members including the actuator plate described above, and includes a first step of forming a base adhesive layer 111 as a base on the adhesive surface of the first member 101 to which the second member 102 is attached, and a second step of forming a main adhesive layer 112 between the base adhesive layer 111 and the second member 102 after the first step. In the first step, the adhesive to be the base adhesive layer 111 may be pressed against the adhesive surface of the first member 101 using a pressure plate 120.

例えば、アクチュエータプレート51を第1部材101とし、帰還プレート43を第2部材102としてもよい。例えば、アクチュエータプレート51と帰還プレート43とを互いに接着する前に、アクチュエータプレート51をダイシングソーで切断する場合がある。この場合、アクチュエータプレート51の表面(切断面)は、JIS(JIS B 0601、ISO 25178)で定義される算術平均粗さ(Ra)が非常に大きい。そのため、アクチュエータプレート51の表面(切断面)は、周期や高さ、形状がばらついている粗面となる可能性が高い。また、アクチュエータプレート51の表面(粗面)をグラインダー等で研磨することも困難である。特に、アクチュエータプレート51がPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等からなるセラミックス基板で構成される場合は、研磨などでアクチュエータプレート51の表面を平滑化することは極めて困難である。 For example, the actuator plate 51 may be the first member 101, and the feedback plate 43 may be the second member 102. For example, the actuator plate 51 may be cut with a dicing saw before the actuator plate 51 and the feedback plate 43 are bonded to each other. In this case, the surface (cut surface) of the actuator plate 51 has a very large arithmetic mean roughness (Ra) defined by JIS (JIS B 0601, ISO 25178). Therefore, the surface (cut surface) of the actuator plate 51 is likely to be a rough surface with variations in period, height, and shape. In addition, it is difficult to polish the surface (rough surface) of the actuator plate 51 with a grinder or the like. In particular, when the actuator plate 51 is made of a ceramic substrate made of PZT (lead zirconate titanate) or the like, it is extremely difficult to smooth the surface of the actuator plate 51 by polishing or the like.

例えば、アクチュエータプレート51の表面(粗面)に対してスプレーによる接着剤の塗布を行った場合は、アクチュエータプレート51表面の細かい凹凸が接着剤によって十分に埋められない場合がある。例えば、アクチュエータプレート51表面において高低差の大きい凹凸面では、凹凸面に沿った接着面が形成されてしまう可能性が高い。そのため、被接着部材同士(アクチュエータプレート51及び帰還プレート43)の接着面積が減少し、接着強度が低下する可能性が高い。 For example, if adhesive is applied to the surface (rough surface) of the actuator plate 51 by spraying, the fine irregularities on the surface of the actuator plate 51 may not be sufficiently filled with adhesive. For example, if the surface of the actuator plate 51 has an uneven surface with a large difference in height, there is a high possibility that an adhesive surface will be formed along the uneven surface. As a result, the adhesive area between the adherends (actuator plate 51 and feedback plate 43) will decrease, and the adhesive strength will likely decrease.

これに対し本製造方法によれば、アクチュエータプレート51の表面(切断面)が上記の粗面となっている場合であっても、上述した押圧板120を用いて下地接着層111となる接着剤をアクチュエータプレート51の表面(第1部材側接着面101fに相当)に押し付けることで、アクチュエータプレート51の表面の凹凸の奥まで下地接着層111を入り込ませることができる。このため、被接着部材同士(アクチュエータプレート51及び帰還プレート43)の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制する上で実益が大きい。 In contrast, according to the present manufacturing method, even if the surface (cut surface) of the actuator plate 51 is rough as described above, the adhesive that will become the base adhesive layer 111 can be pressed against the surface of the actuator plate 51 (corresponding to the first member side adhesive surface 101f) using the pressure plate 120 described above, allowing the base adhesive layer 111 to penetrate deep into the unevenness of the surface of the actuator plate 51. This makes it possible to prevent a reduction in the adhesive area between the adherend members (the actuator plate 51 and the feedback plate 43). This is therefore of great practical benefit in preventing a decrease in adhesive strength.

<作用効果>
本実施形態のヘッドチップ40A,40Bは、吐出チャネル54を有するアクチュエータプレート51を含む複数の部材を備える。複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材101及び第2部材102とする。ヘッドチップ40A,40Bは、第1部材101において第2部材102が接着される第1部材側接着面101fに下地として形成される下地接着層111と、下地接着層111と第2部材102との間に形成される本接着層112と、を備える。下地接着層111の未硬化時の粘度は、本接着層112の未硬化時の粘度よりも低い。
<Action and effect>
The head chips 40A and 40B of this embodiment include a plurality of members including an actuator plate 51 having an ejection channel 54. Two of the plurality of members that are bonded to each other are a first member 101 and a second member 102. The head chips 40A and 40B include a base adhesive layer 111 formed as a base on a first member side adhesive surface 101f of the first member 101 to which the second member 102 is bonded, and a main adhesive layer 112 formed between the base adhesive layer 111 and the second member 102. The viscosity of the base adhesive layer 111 when uncured is lower than the viscosity of the main adhesive layer 112 when uncured.

この構成によれば、下地接着層111の未硬化時の粘度が本接着層112の未硬化時の粘度以上に高い場合と比較して、第1部材側接着面101fの凹凸の奥まで下地接着層111を入り込ませやすい。このため、被接着部材101,102同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。 With this configuration, it is easier for the base adhesive layer 111 to penetrate deep into the irregularities of the first member side adhesive surface 101f, compared to when the viscosity of the base adhesive layer 111 when uncured is higher than the viscosity of the main adhesive layer 112 when uncured. This makes it possible to prevent a reduction in the adhesive area between the adherend members 101, 102. Therefore, it is possible to prevent a decrease in adhesive strength.

本実施形態の下地接着層111は、下地接着層111において本接着層112が形成される面に、平坦面111fを有する。
この構成によれば、下地接着層111において本接着層112が形成される面に凹凸がある場合と比較して、下地接着層111と本接着層112との界面103に気泡が入りにくくなる。したがって、接着剤層110に空洞ができることに起因する密着度の低下を抑制することができる。
The base adhesive layer 111 of this embodiment has a flat surface 111f on the surface of the base adhesive layer 111 on which the main adhesive layer 112 is formed.
With this configuration, compared to a case where the surface of the base adhesive layer 111 on which the main adhesive layer 112 is formed is uneven, air bubbles are less likely to get into the interface 103 between the base adhesive layer 111 and the main adhesive layer 112. Therefore, it is possible to suppress a decrease in adhesion caused by the formation of cavities in the adhesive layer 110.

本実施形態のインクジェットヘッド5は、上述したヘッドチップ40A,40Bを備える。
この構成によれば、接着強度の低下を抑制できるインクジェットヘッド5が得られる。
The inkjet head 5 of this embodiment includes the head chips 40A and 40B described above.
According to this configuration, it is possible to obtain the inkjet head 5 capable of suppressing a decrease in adhesive strength.

本実施形態のプリンタ1は、上述したインクジェットヘッド5と、インクジェットヘッド5が取り付けられるキャリッジ33と、を備える。
この構成によれば、接着強度の低下を抑制できるプリンタ1が得られる。
The printer 1 of this embodiment includes the inkjet head 5 described above, and a carriage 33 to which the inkjet head 5 is attached.
According to this configuration, a printer 1 capable of suppressing a decrease in adhesive strength can be obtained.

本実施形態のヘッドチップの製造方法は、吐出チャネル54を有するアクチュエータプレート51を含む複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法である。複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材101及び第2部材102とする。ヘッドチップの製造方法は、第1部材101において第2部材102が接着される第1部材側接着面101fに下地として下地接着層111を形成する第1工程と、第1工程の後、下地接着層111と第2部材102との間に本接着層112を形成する第2工程と、を含む。第1工程では、押圧板120を用いて下地接着層111となる下地接着剤を第1部材側接着面101fに押し付ける。 The head chip manufacturing method of this embodiment is a method for manufacturing a head chip having a plurality of members including an actuator plate 51 having an ejection channel 54. Two of the plurality of members that are bonded to each other are a first member 101 and a second member 102. The head chip manufacturing method includes a first step of forming a base adhesive layer 111 as a base on the first member side bonding surface 101f of the first member 101 to which the second member 102 is bonded, and a second step of forming a main adhesive layer 112 between the base adhesive layer 111 and the second member 102 after the first step. In the first step, a pressure plate 120 is used to press the base adhesive that will become the base adhesive layer 111 against the first member side bonding surface 101f.

この方法によれば、押圧板120を用いて下地接着剤を第1部材側接着面101fに押し付けることにより、第1部材側接着面101fの凹凸の奥まで下地接着層111を入り込ませることができる。このため、被接着部材101,102同士の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制することができる。加えて、押圧板120の押し付ける面の形状を転写することができるため、下地接着層111において本接着層112が形成される面を所望の形状・状態にすることができる。このため、凹凸を有する第1部材101の接着面に直接接着するよりも、接着強度を確保することができる。 According to this method, the base adhesive layer 111 can penetrate deep into the unevenness of the first member side adhesive surface 101f by pressing the base adhesive against the first member side adhesive surface 101f using the pressing plate 120. This makes it possible to prevent the adhesion area between the adherend members 101, 102 from decreasing. This makes it possible to prevent a decrease in adhesive strength. In addition, since the shape of the pressing surface of the pressing plate 120 can be transferred, the surface of the base adhesive layer 111 on which the main adhesive layer 112 is formed can be made into the desired shape and state. This makes it possible to ensure adhesive strength more than by directly adhering to the adhesive surface of the first member 101, which has unevenness.

<変形例>
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ1を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
<Modification>
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above embodiment, the inkjet printer 1 is described as an example of a liquid ejecting apparatus, but the liquid ejecting apparatus is not limited to a printer. For example, a fax machine, an on-demand printer, or the like may be used.

上述した実施形態では、ノズル孔78が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド5について説明したが、これに限られない。例えば、ノズル孔が三列以上のインクジェットヘッド5としてもよく、ノズル孔が一列のインクジェットヘッド5としてもよい。 In the above embodiment, a two-row type inkjet head 5 in which the nozzle holes 78 are arranged in two rows has been described, but this is not limited to this. For example, an inkjet head 5 with three or more rows of nozzle holes may also be used, or an inkjet head 5 with a single row of nozzle holes may also be used.

上述した実施形態では、吐出チャネル54と非吐出チャネル55とが交互に配列された構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、全チャネルから順次インクを吐出する、いわゆる3サイクル方式のインクジェットヘッドに本発明を適用しても構わない。 In the above embodiment, a configuration in which the ejection channels 54 and the non-ejection channels 55 are arranged alternately has been described, but the present invention is not limited to this configuration. For example, the present invention may be applied to an inkjet head of a so-called three-cycle system in which ink is ejected sequentially from all channels.

上述した実施形態では、アクチュエータプレートとしてシェブロンタイプを用いた構成について説明したが、これに限られない。すなわち、モノポールタイプ(分極方向が厚さ方向で一方向)のアクチュエータプレートを用いても構わない。 In the above embodiment, a chevron type actuator plate is used, but the present invention is not limited to this. In other words, a monopole type actuator plate (polarization direction is in one direction, the thickness direction) may also be used.

上述した実施形態では、入口流路74が流路プレート41のX方向の一端面で開口している構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、入口流路74を流路プレート41のZ方向の一端面で開口させてもよいし、入口流路74を流路プレート41のY方向の一端面で開口させてもよい。 In the above embodiment, the inlet flow path 74 is configured to open at one end surface of the flow path plate 41 in the X direction, but the present invention is not limited to this configuration. For example, the inlet flow path 74 may be configured to open at one end surface of the flow path plate 41 in the Z direction, or the inlet flow path 74 may be configured to open at one end surface of the flow path plate 41 in the Y direction.

上述した実施形態では、出口流路75が流路プレート41のX方向の他端面で開口している構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、出口流路75を流路プレート41のZ方向の一端面で開口させてもよいし、出口流路75を流路プレート41のY方向の一端面で開口させてもよい。 In the above embodiment, the outlet flow path 75 is configured to open at the other end surface of the flow path plate 41 in the X direction, but the present invention is not limited to this configuration. For example, the outlet flow path 75 may be configured to open at one end surface of the flow path plate 41 in the Z direction, or the outlet flow path 75 may be configured to open at one end surface of the flow path plate 41 in the Y direction.

上述した実施形態では、循環路側流路断面積がチャネル側流路断面積よりも小さい構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、循環路側流路断面積をチャネル側流路断面積以上の大きさとしてもよい。 In the above-described embodiment, a configuration in which the circulation path side flow path cross-sectional area is smaller than the channel side flow path cross-sectional area has been described, but this is not the only possible configuration. For example, the circulation path side flow path cross-sectional area may be equal to or larger than the channel side flow path cross-sectional area.

上述した実施形態では、CP側Y方向外側面52f1がフレキシブル基板45の接続面とされている構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、CP側Y方向内側面52f2が接続面とされていてもよい。 In the above embodiment, the configuration in which the CP side Y direction outer surface 52f1 serves as the connection surface for the flexible substrate 45 has been described, but this is not the only possible configuration. For example, the CP side Y direction inner surface 52f2 may serve as the connection surface.

上述した実施形態では、流路プレート41のうちCP側尾部52eとY方向で重なる部分が中実部材41cとされている構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、流路プレート41のうちCP側尾部52eとY方向で重なる部分を中空部材としてもよい。 In the above embodiment, the portion of the flow path plate 41 that overlaps with the CP-side tail portion 52e in the Y direction is configured as a solid member 41c, but this is not the only possible configuration. For example, the portion of the flow path plate 41 that overlaps with the CP-side tail portion 52e in the Y direction may be configured as a hollow member.

上述した実施形態では、流路プレート41が同一の部材により一体に形成された構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、流路プレート41が複数の部材の組合せで形成されていてもよい。 In the above embodiment, the flow path plate 41 is integrally formed from the same material, but the present invention is not limited to this configuration. For example, the flow path plate 41 may be formed from a combination of multiple materials.

上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成(いわゆる、シャトル機)を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成(いわゆる、固定ヘッド機)に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Pが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Pは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
上述した実施形態では、Z方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Z方向を水平方向に沿わせてもよい。
In the above-described embodiment, a configuration in which the inkjet head moves relative to the recording medium during printing (so-called shuttle machine) has been described as an example, but the present disclosure is not limited to this configuration. The configuration according to the present disclosure may be adopted in a configuration in which the inkjet head is fixed and the recording medium is moved relative to the inkjet head (so-called fixed head machine).
In the above embodiment, the recording medium P is paper, but the present invention is not limited to this configuration. The recording medium P is not limited to paper, and may be a metal material, a resin material, or a food product.
In the above-described embodiment, the liquid ejection head is mounted on the liquid ejection recording device, but the present invention is not limited to this configuration. In other words, the liquid ejected from the liquid ejection head is not limited to the liquid that is to be landed on the recording medium, and may be, for example, a medicinal liquid to be mixed in a medicine, a food additive such as a seasoning or a fragrance to be added to food, or an aromatic to be sprayed into the air.
In the above embodiment, the configuration has been described in which the Z direction coincides with the direction of gravity, but the present invention is not limited to this configuration, and the Z direction may be aligned with the horizontal direction.

<第2実施形態>
図9は、第2実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。
上述した第1実施形態では、下地接着層において本接着層が形成される面に平坦面を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図9に示すように、下地接着層211は、下地接着層211において本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状211fを有してもよい。第2実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Second Embodiment
FIG. 9 is an explanatory diagram of a first step of the method for manufacturing a head chip according to the second embodiment.
In the first embodiment described above, an example was given in which the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed is flat, but this is not limited thereto. For example, as shown in Fig. 9, the base adhesive layer 211 may have a curved or bent shape 211f on the surface of the base adhesive layer 211 on which the main adhesive layer is formed. In the second embodiment, the same reference numerals are used to designate the same components as those in the above-mentioned embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

湾曲又は屈曲の形状211fには、湾曲面等の丸みのある形状のみならず、一部あるいは全体で角があるようないびつな形状(例えば、断面が三角形のような形状、鋭角で角のあるような形状)も含まれる。図9の例では、湾曲面を示しているが、これに屈曲(角があるような)形状が含まれてもよい。 The curved or bent shape 211f includes not only rounded shapes such as curved surfaces, but also irregular shapes with corners in part or in whole (for example, a triangular cross section or a shape with acute corners). The example in Figure 9 shows a curved surface, but this may also include a bent (cornered) shape.

例えば、湾曲又は屈曲の形状211fとなる要素の平均長さ(RSm値)は、200μm以下になるような凹凸形状を有していてもよい。RSm値は、JIS(JIS B 0601)で定義される線粗さを意味する。RSm値は、湾曲又は屈曲の形状211fとなる要素である凹凸の平均ピッチ(凹部中心と凸部中心との間の平均の長さ)に相当する。図示はしないが、第2部材において第1部材101が接着される第2部材側接着面は、下地接着層211の湾曲又は屈曲の形状211fに沿うように湾曲している。 For example, the average length (RSm value) of the elements that form the curved or bent shape 211f may be 200 μm or less. The RSm value means the line roughness defined in JIS (JIS B 0601). The RSm value corresponds to the average pitch (average length between the center of the concave portion and the center of the convex portion) of the concaves and convexes that are the elements that form the curved or bent shape 211f. Although not shown, the second member side adhesive surface to which the first member 101 is adhered in the second member is curved to follow the curved or bent shape 211f of the base adhesive layer 211.

本実施形態では、接着に適した接着面が湾曲又は屈曲の形状211fである。そのため、押圧板220は、湾曲又は屈曲の形状211fに沿う曲面状の転写面220fを有する。例えば、第1工程では、凹凸を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、曲面状の転写面220fを有する押圧板220を、下地接着剤の上方(図9の矢印方向)から押し付ける。その後の工程は、上述した第1実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。 In this embodiment, the adhesive surface suitable for adhesion is a curved or bent shape 211f. Therefore, the pressing plate 220 has a curved transfer surface 220f that follows the curved or bent shape 211f. For example, in the first step, after applying a base adhesive to the extent that it fills in the unevenness, the pressing plate 220 having the curved transfer surface 220f is pressed from above the base adhesive (in the direction of the arrow in Figure 9). The subsequent steps are the same as those in the first embodiment described above, so detailed explanations are omitted.

以上説明したように、本実施形態の下地接着層211は、下地接着層211において本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状211fを有する。
この構成によれば、下地接着層211において本接着層が形成される面が平坦面である場合と比較して、被接着部材101,102同士の接着面積が増える。したがって、接着強度が更に向上する。
As described above, the base adhesive layer 211 of this embodiment has a curved or bent shape 211f on the surface of the base adhesive layer 211 on which the main adhesive layer is formed.
According to this configuration, the bonding area between the bonded members 101, 102 is increased compared to when the surface of the base adhesive layer 211 on which the main adhesive layer is formed is a flat surface, and therefore the adhesive strength is further improved.

<第3実施形態>
図10は、第3実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。図11は、図10に続く、第3実施形態に係る第1工程の説明図である。
上述した第1実施形態では、下地接着層の上面は、第2部材の下面(第2部材側接着面)に対して全体的に平行な平面となっている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図10に示すように、下地接着層311は、下地接着層311において本接着層が形成される面に、第2部材において本接着層が形成される部分が食い込む楔形状311wを有してもよい。第3実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Third Embodiment
Fig. 10 is an explanatory diagram of a first step of the method for manufacturing a head chip according to the third embodiment. Fig. 11 is an explanatory diagram of the first step according to the third embodiment, following Fig. 10.
In the above-mentioned first embodiment, the upper surface of the base adhesive layer is a plane generally parallel to the lower surface (the second member side adhesive surface) of the second member, but this is not limited thereto. For example, as shown in Fig. 10, the base adhesive layer 311 may have a wedge shape 311w in which the portion of the second member on which the main adhesive layer is formed bites into the surface of the base adhesive layer 311 on which the main adhesive layer is formed. In the third embodiment, the same components as those in the above-mentioned embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

例えば、第1部材101が矩形板状である場合は、楔形状311wは、第1部材側接着面101fの短辺又は長辺を横断するように延びていてもよい。図10の例では、楔形状311wは、負のテーパ形状(逆台形)を有する。図示はしないが、第2部材において本接着層が形成される部分は、下地接着層311の楔形状311wが食い込む形状を有する。 For example, if the first member 101 is a rectangular plate, the wedge shape 311w may extend across the short side or long side of the first member side adhesive surface 101f. In the example of FIG. 10, the wedge shape 311w has a negative taper shape (inverted trapezoid). Although not shown, the portion of the second member where the main adhesive layer is formed has a shape that allows the wedge shape 311w of the base adhesive layer 311 to bite into it.

本実施形態では、下地接着層311が負のテーパ形状(逆台形)の楔形状311wを有する。そのため、押圧板320は、楔形状311wに対応するテーパ形状(台形)の楔形状320wを有する。例えば、第1工程では、第1部材側接着面101f上の凹凸及び押圧板320の楔形状320w間を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、テーパ形状(台形)の楔形状320wを有する押圧板320を、下地接着剤の上方から押し付ける。 In this embodiment, the base adhesive layer 311 has a wedge shape 311w that is a negative taper shape (inverted trapezoid). Therefore, the pressing plate 320 has a wedge shape 320w that is a tapered shape (trapezoid) that corresponds to the wedge shape 311w. For example, in the first step, after applying the base adhesive to an extent that fills the unevenness on the first member side adhesive surface 101f and the spaces between the wedge shapes 320w of the pressing plate 320, the pressing plate 320 having the wedge shape 320w that is a tapered shape (trapezoid) is pressed from above the base adhesive.

その後、押圧板320を下地接着剤から離反させる。例えば、第1部材側接着面101fに塗布された下地接着剤を、加熱や紫外線照射等で硬化させた後に、押圧板320を図11の矢印方向にスライドさせることで、押圧板320を抜く。これにより、第1部材側接着面101fに、楔形状311wを有する下地接着層311が形成される。その後の工程は、上述した第1実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。 Then, the pressure plate 320 is separated from the base adhesive. For example, the base adhesive applied to the first member side adhesive surface 101f is cured by heating or ultraviolet irradiation, and then the pressure plate 320 is removed by sliding the pressure plate 320 in the direction of the arrow in FIG. 11. As a result, a base adhesive layer 311 having a wedge shape 311w is formed on the first member side adhesive surface 101f. The subsequent steps are the same as those in the first embodiment described above, and therefore a detailed description will be omitted.

以上説明したように、本実施形態の下地接着層311は、下地接着層311において本接着層が形成される面に、第2部材において本接着層が形成される部分が食い込む楔形状311wを有する。
この構成によれば、下地接着層311が有する楔形状311wと第2部材において本接着層が形成される部分とのアンカー効果により、接着強度が向上する。加えて、単純な面同士(例えば平面同士)の接着構造と比較して、楔形状311wの表面積分だけ接着面積が増えるため、接着強度が更に向上する。
As described above, the base adhesive layer 311 of this embodiment has a wedge shape 311w in which the portion of the second member on which the main adhesive layer is formed bites into the surface of the base adhesive layer 311 on which the main adhesive layer is formed.
According to this configuration, the adhesive strength is improved by the anchor effect between the wedge shape 311w of the base adhesive layer 311 and the portion of the second member where the adhesive layer is formed. In addition, compared to an adhesive structure between simple surfaces (e.g., between flat surfaces), the adhesive area increases by the surface area of the wedge shape 311w, further improving the adhesive strength.

<第4実施形態>
図12は、第4実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の説明図である。
上述した第1実施形態では、下地接着層の上面は、溝等を有しない平坦面となっている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図12に示すように、下地接着層411は、下地接着層411において本接着層が形成される面(下地接着層411の上面)に、本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝411gを有してもよい。第4実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Fourth Embodiment
FIG. 12 is an explanatory diagram of a first step of the method for manufacturing a head chip according to the fourth embodiment.
In the above-mentioned first embodiment, the upper surface of the base adhesive layer is a flat surface without grooves, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in Fig. 12, the base adhesive layer 411 may have a clearance groove 411g into which an excess portion of the main adhesive layer fits on the surface of the base adhesive layer 411 on which the main adhesive layer is formed (the upper surface of the base adhesive layer 411). In the fourth embodiment, the same reference numerals are used for the same components as those in the above-mentioned embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

例えば、第1部材101が矩形板状である場合は、逃げ溝411gは、第1部材側接着面の短辺又は長辺を横断するように延びていてもよい。図12の例では、逃げ溝411gは、下地接着層411の上面から第1部材101に向かって窪む矩形溝状の凹形状を有する。図示はしないが、第2部材において第1部材101が接着される第2部材側接着面は、下地接着層411の上面(具体的には、下地接着層411において逃げ溝411g以外の上面)に沿う形状を有している。なお、第2部材は、逃げ溝411gの一部に入り込む形状を有していてもよい。 For example, when the first member 101 is a rectangular plate, the escape groove 411g may extend across the short side or long side of the first member side adhesive surface. In the example of FIG. 12, the escape groove 411g has a rectangular groove-like concave shape recessed from the upper surface of the base adhesive layer 411 toward the first member 101. Although not shown, the second member side adhesive surface to which the first member 101 is adhered in the second member has a shape that follows the upper surface of the base adhesive layer 411 (specifically, the upper surface of the base adhesive layer 411 other than the escape groove 411g). The second member may have a shape that fits into part of the escape groove 411g.

本実施形態では、下地接着層411が矩形溝状の逃げ溝411gを有する。そのため、押圧板420は、逃げ溝411gに対応する矩形突状の突起部420pを有する。例えば、第1工程では、第1部材側接着面上の凹凸及び押圧板420の突起部420p間を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、矩形突状の突起部420pを有する押圧板420を、下地接着剤の上方から押し付ける。その後の工程は、上述した第1実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。 In this embodiment, the base adhesive layer 411 has a rectangular groove-shaped escape groove 411g. Therefore, the pressure plate 420 has a rectangular protruding protrusion 420p that corresponds to the escape groove 411g. For example, in the first step, after applying the base adhesive to an extent that fills the unevenness on the first member side adhesive surface and the spaces between the protrusions 420p of the pressure plate 420, the pressure plate 420 having the rectangular protruding protrusions 420p is pressed from above the base adhesive. The subsequent steps are the same as those in the first embodiment described above, and therefore detailed explanations are omitted.

以上説明したように、本実施形態の下地接着層411は、下地接着層411において本接着層が形成される面に、本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝411gを有する。 As described above, the base adhesive layer 411 of this embodiment has a clearance groove 411g into which the excess portion of the adhesive layer fits on the surface of the base adhesive layer 411 on which the adhesive layer is formed.

この構成によれば、本接着層の余剰部分が逃げ溝411gに入るため、本接着層のはみだし量を減少させることができる。加えて、下地接着層411の上面から逃げ溝411gへの気泡の移動が許容されるため、下地接着層411の上面に気泡が残存することを抑制することができる。したがって、下地接着層411において本接着層が形成される面に気泡を含むことによる接着強度の低下を抑制することができる。 With this configuration, the excess portion of the adhesive layer enters the clearance groove 411g, reducing the amount of overflow of the adhesive layer. In addition, air bubbles are permitted to move from the upper surface of the base adhesive layer 411 to the clearance groove 411g, preventing air bubbles from remaining on the upper surface of the base adhesive layer 411. This makes it possible to prevent a decrease in adhesive strength due to air bubbles being present on the surface of the base adhesive layer 411 on which the adhesive layer is formed.

なお、逃げ溝の形状は、上記に限定されない。例えば、逃げ溝の形状を図10のような楔形状とすることで、アンカー効果を有する接着剤逃げ溝としても利用することができる。また、逃げ溝の表面積分だけ接着面積が増えるため、接着強度が更に向上する。 The shape of the escape groove is not limited to the above. For example, by making the escape groove into a wedge shape as shown in FIG. 10, it can also be used as an adhesive escape groove with an anchor effect. In addition, the adhesive area increases by the surface area of the escape groove, further improving the adhesive strength.

<第5実施形態>
図13は、第5実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の一例の説明図である。図14は、第5実施形態に係るヘッドチップの製造方法の第1工程の他の例の説明図である。
上述した第1実施形態では、下地接着層の上面は、凹凸等を有しない平坦面となっている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図13及び図14に示すように、下地接着層511A,511Bは、下地接着層511A,511Bにおいて本接着層が形成される面(下地接着層411の上面)に、第2部材を位置決めする凹部511r又は凸部511cを有していてもよい。第5実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Fifth Embodiment
Fig. 13 is an explanatory diagram of an example of a first step of the method for manufacturing a head chip according to the fifth embodiment. Fig. 14 is an explanatory diagram of another example of the first step of the method for manufacturing a head chip according to the fifth embodiment.
In the above-mentioned first embodiment, the upper surface of the base adhesive layer is a flat surface without any irregularities, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in Fig. 13 and Fig. 14, the base adhesive layers 511A and 511B may have a recess 511r or a protrusion 511c for positioning the second member on the surface of the base adhesive layers 511A and 511B on which the main adhesive layer is formed (the upper surface of the base adhesive layer 411). In the fifth embodiment, the same reference numerals are used for the same configurations as those in the above-mentioned embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

例えば、第1部材101が矩形板状である場合は、凹部511r又は凸部511cは、第1部材側接着面の短辺以下又は長辺以下の範囲に設けられていてもよい。図13の例では、凹部511rは、下地接着層511Aの上面から第1部材101に向かって窪む矩形状の凹形状を有する。この場合、図示はしないが、第2部材において本接着層が形成される部分は、下地接着層511Aの凹部511rに嵌め合わせられる凸部を有する。 For example, if the first member 101 is a rectangular plate, the recess 511r or the protrusion 511c may be provided in a range not exceeding the short side or not exceeding the long side of the adhesive surface on the first member side. In the example of FIG. 13, the recess 511r has a rectangular concave shape recessed from the upper surface of the base adhesive layer 511A toward the first member 101. In this case, although not shown, the portion of the second member where this adhesive layer is formed has a protrusion that fits into the recess 511r of the base adhesive layer 511A.

一方、図14の例では、凸部511cは、下地接着層511Bの上面から突出する矩形状の凸形状を有する。この場合、図示はしないが、第2部材において本接着層が形成される部分は、下地接着層511Bの凸部511cを嵌め合わせる凹部を有する。 On the other hand, in the example of FIG. 14, the convex portion 511c has a rectangular convex shape that protrudes from the upper surface of the base adhesive layer 511B. In this case, although not shown, the portion of the second member where the adhesive layer is formed has a concave portion into which the convex portion 511c of the base adhesive layer 511B fits.

例えば、凹部511r又は凸部511cの形状は、上記に限定されない。例えば、凹部511r又は凸部511cの形状は、平面視で十字や円、矩形等、又は、これらの少なくとも2つを組み合わせた形状であってもよい。例えば、凹部511r又は凸部511cの形状は、第2部材を位置決め可能に互いに嵌め合わせることが可能な形状であればよい。 For example, the shape of the recess 511r or the protrusion 511c is not limited to the above. For example, the shape of the recess 511r or the protrusion 511c may be a cross, a circle, a rectangle, or the like in a plan view, or a shape that combines at least two of these. For example, the shape of the recess 511r or the protrusion 511c may be any shape that allows the second member to be fitted into each other so as to be positioned.

本実施形態では、下地接着層511A,511Bが凹部511r又は凸部511cを有する。そのため、押圧板520A,520Bは、凹部511rに対応する凸部520c、又は、凸部511cに対応する凹部520rを有する。
例えば、押圧板520Aが凸部520cを有する場合、第1工程では、第1部材側接着面上の凹凸及び押圧板520Aの凸部520c間を埋める程度の下地接着剤の塗布後に、凸部520cを有する押圧板520Aを、下地接着剤の上方から押し付ける。その後の工程は、上述した第1実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。
In this embodiment, the base adhesive layers 511A and 511B have a recess 511r or a protrusion 511c, so that the pressing plates 520A and 520B have a protrusion 520c corresponding to the recess 511r or a recess 520r corresponding to the protrusion 511c.
For example, in the case where the pressing plate 520A has the convex portion 520c, in the first step, the base adhesive is applied to the extent that it fills the unevenness on the first member side bonding surface and the gaps between the convex portions 520c of the pressing plate 520A, and then the pressing plate 520A having the convex portions 520c is pressed from above the base adhesive. The subsequent steps are the same as those in the first embodiment described above, and therefore detailed explanations are omitted.

一方、押圧板520Bが凹部520rを有する場合、第1工程では、第1部材側接着面上の凹凸及び押圧板520Bの凹部520rを埋める程度の下地接着剤の塗布後に、凹部520rを有する押圧板520Bを、下地接着剤の上方から押し付ける。その後の工程は、上述した第1実施形態と同様であるため、詳細説明は省略する。 On the other hand, if the pressing plate 520B has a recess 520r, in the first step, after applying a base adhesive to the extent that it fills the unevenness on the first member side adhesive surface and the recess 520r of the pressing plate 520B, the pressing plate 520B having the recess 520r is pressed from above the base adhesive. The subsequent steps are the same as those in the first embodiment described above, so detailed explanations are omitted.

以上説明したように、本実施形態の下地接着層511A,511Bは、下地接着層511A,511Bにおいて本接着層が形成される面に、第2部材を位置決めする凹部511r又は凸部511cを有する。
この構成によれば、下地接着層511A,511Bの凹部511r又は凸部511cにより、第2部材の位置決めのために別のマークを用意する必要がなくなる。さらに、はめあいでの位置決めが可能となることによって、マークを手動で合わせる位置決めが不要となる。したがって、容易に正確な位置決めが可能となる。
As described above, the base adhesive layers 511A, 511B of this embodiment have the recesses 511r or the protrusions 511c for positioning the second member on the surfaces of the base adhesive layers 511A, 511B on which the main adhesive layer is formed.
According to this configuration, the recess 511r or the protrusion 511c of the base adhesive layers 511A and 511B eliminates the need to prepare a separate mark for positioning the second member. Furthermore, since positioning by fitting is possible, positioning by manually aligning the marks is not required. Therefore, accurate positioning can be easily achieved.

例えば、凹部511r又は凸部511cが第1部材側接着面の短辺以下又は長辺以下の範囲に設けられている場合は、押圧板520A,520Bは第1部材101よりも大きいため、第1部材101の固定や保持が容易となる。そのため、第1部材側接着面に対して下地接着剤を押圧する際に、押圧板520A,520Bの精密な位置決めも容易となる。 For example, if the recess 511r or the protrusion 511c is provided in a range equal to or less than the short side or long side of the adhesive surface on the first member side, the pressing plates 520A, 520B are larger than the first member 101, making it easier to fix and hold the first member 101. Therefore, when pressing the base adhesive against the adhesive surface on the first member side, precise positioning of the pressing plates 520A, 520B is also easy.

なお、下地接着層の凹部又は凸部の形状は、上記に限定されない。例えば、1軸方向の位置決めであれば、凹部又は凸部の形状を図12のような第1部材側接着面の短辺又は長辺を横断する形状とすることで、接着剤逃げ溝としても利用することができる。 The shape of the recesses or protrusions of the base adhesive layer is not limited to the above. For example, in the case of uniaxial positioning, the shape of the recesses or protrusions can be made to cross the short or long side of the adhesive surface on the first component side as shown in Figure 12, and can also be used as an adhesive escape groove.

<第6実施形態>
図15は、第6実施形態に係る第1部材及び第2部材を接着する接着剤層の説明図である。
上述した第1実施形態では、下地接着層及び本接着層の形成材料は限定されない例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図15に示すように、下地接着層611及び本接着層612の形成材料は、互いに同じ接着剤であってもよい。第6実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Sixth Embodiment
FIG. 15 is an explanatory diagram of an adhesive layer that bonds a first member and a second member according to the sixth embodiment.
In the first embodiment described above, an example was given in which the materials for forming the base adhesive layer and the main adhesive layer were not limited, but this is not limiting. For example, as shown in Fig. 15, the materials for forming the base adhesive layer 611 and the main adhesive layer 612 may be the same adhesive. In the sixth embodiment, the same reference numerals are used for the same components as those in the above-mentioned embodiments, and detailed description thereof will be omitted.

例えば、下地接着層611及び本接着層612の形成材料は、完全に同一であることに限らず、実質的に同一であってもよい。例えば、下地接着剤の粘度(下地接着層611の未硬化時の粘度に相当)が本接着剤の粘度(本接着層612の未硬化時の粘度に相当)よりも低くなるように、下地接着層611及び本接着層612の形成材料の成分を調整してもよい。 For example, the materials forming the base adhesive layer 611 and the main adhesive layer 612 do not have to be completely the same, and may be substantially the same. For example, the components of the materials forming the base adhesive layer 611 and the main adhesive layer 612 may be adjusted so that the viscosity of the base adhesive (corresponding to the viscosity of the base adhesive layer 611 when uncured) is lower than the viscosity of the main adhesive (corresponding to the viscosity of the main adhesive layer 612 when uncured).

以上説明したように、本実施形態の下地接着層611及び本接着層612の形成材料は、互いに同じ接着剤である。
この構成によれば、下地接着層611及び本接着層612が互いに近い物質同士の接着剤で構成されるため、互いに相性が良くなり、接着剤同士の馴染みが向上する。このため、第1部材601に対して下地接着層611を薄く塗布することが可能となり、気泡等を塗布後に逃がすことが容易となる。また、塗布した下地接着剤を押圧板で押し込むことで、第1部材601表面の湾曲形状の凹凸(粗面凹凸)の奥まで下地接着剤を行き渡らせることができる。このため、厚塗り等の塗布方法よりも、第1部材601と下地接着剤との馴染みを向上させることができる。
As described above, the materials forming the base adhesive layer 611 and the main adhesive layer 612 in this embodiment are the same adhesive.
According to this configuration, the base adhesive layer 611 and the main adhesive layer 612 are made of adhesives of similar substances, so that they are compatible with each other and the adhesives are more compatible with each other. Therefore, the base adhesive layer 611 can be applied thinly to the first member 601, and air bubbles and the like can be easily released after application. In addition, by pressing the applied base adhesive with a pressure plate, the base adhesive can be spread to the depths of the curved unevenness (rough surface unevenness) of the surface of the first member 601. Therefore, the compatibility between the first member 601 and the base adhesive can be improved compared to application methods such as thick coating.

<第7実施形態>
図16は、第7実施形態に係る第1部材及び第2部材を接着する接着剤層の説明図である。図17は、第7実施形態に係る接着剤層のはみ出し部の説明図である。
上述した第4実施形態では、下地接着層において本接着層が形成される面に本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図16及び図17に示すように、第1部材701及び第2部材702に加工された溝内部に接着剤のはみ出し部713ができるように構成されていてもよい。第7実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Seventh Embodiment
Fig. 16 is an explanatory diagram of an adhesive layer that bonds a first member and a second member according to the seventh embodiment. Fig. 17 is an explanatory diagram of a protruding portion of the adhesive layer according to the seventh embodiment.
In the above-mentioned fourth embodiment, an example was described in which the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed has a clearance groove into which the excess portion of the main adhesive layer fits, but this is not limited to this. For example, as shown in Figures 16 and 17, a configuration may be made in which an adhesive protrusion portion 713 is formed inside the grooves machined in the first member 701 and the second member 702. In the seventh embodiment, the same components as those in the above-mentioned embodiments are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図16及び図17の例では、ポンプ室として機能する第1溝701gを有する第1部材701と、共通流路として機能する第2溝702gを有する第2部材702と、を示す。例えば、第1部材側接着面及び第2部材側接着面に対して押圧板により下地接着剤を塗布して硬化させた後、本接着層712を介して第1部材701及び第2部材702を接着させる。すると、第1部材701及び第2部材702に加工された溝701g,702g内部にはみ出し部713が形成される。 The examples in Figures 16 and 17 show a first member 701 having a first groove 701g that functions as a pump chamber, and a second member 702 having a second groove 702g that functions as a common flow path. For example, a base adhesive is applied to the first member side bonding surface and the second member side bonding surface using a pressure plate and cured, and then the first member 701 and the second member 702 are bonded via the main adhesive layer 712. Then, a protruding portion 713 is formed inside the grooves 701g, 702g machined in the first member 701 and the second member 702.

例えば、下地接着層711が硬化した後に本接着剤を塗布した場合、溝701g,702g内部で硬化した部分(下地接着層711のはみ出し部)に沿うようにして本接着剤が流れてはみ出す。そのため、第1部材701及び第2部材702における溝701g,702g内部の壁面に本接着剤が回り込む量が減少し、はみ出し部713が立体的に成長する。これにより、溝701g,702g内部の壁面には接着剤が形成されにくいため、硬化したはみ出し部713は後工程で除去することが容易になる。 For example, if the adhesive is applied after the base adhesive layer 711 has hardened, the adhesive will flow and overflow along the hardened portions (overflowing portions of the base adhesive layer 711) inside the grooves 701g, 702g. This reduces the amount of adhesive that wraps around the walls inside the grooves 701g, 702g in the first member 701 and the second member 702, causing the overflowing portions 713 to grow three-dimensionally. This makes it difficult for adhesive to form on the walls inside the grooves 701g, 702g, making it easier to remove the hardened overflowing portions 713 in a later process.

以上説明したように、本実施形態のヘッドチップは、第1部材701及び第2部材702に加工された溝701g,702g内部に、接着剤のはみ出し部713ができるように構成されている。
この構成によれば、接着剤の余剰部分は溝701g,702g内部にはみ出し部713として形成される。したがって、第1部材701及び第2部材702同士の接着面に対する接着剤(下地接着剤及び本接着剤)の塗布量を可及的に少量に抑えることができる。
As described above, the head chip of this embodiment is configured so that the adhesive protrusion portion 713 is formed inside the grooves 701 g and 702 g machined in the first member 701 and the second member 702 .
According to this configuration, the excess portion of the adhesive is formed inside the grooves 701g and 702g as a protruding portion 713. Therefore, the amount of adhesive (base adhesive and main adhesive) applied to the bonding surfaces between the first member 701 and the second member 702 can be kept as small as possible.

<第8実施形態>
図18は、第8実施形態に係るヘッドチップの斜視図である。図19は、第8実施形態に係るヘッドチップの製造方法の一工程の斜視図である。図20は、第8実施形態に係るヘッドチップの平面図である。
上述した第1実施形態では、ヘッドチップがアクチュエータプレート51及びカバープレート52を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図18に示すように、ヘッドチップ840は、アクチュエータプレート851(第1部材に相当)と、一対の流路部材852(第2部材に相当)と、ノズルプレート844と、を備えていてもよい。第8実施形態において、上述した実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。
Eighth Embodiment
Fig. 18 is a perspective view of the head chip according to the eighth embodiment. Fig. 19 is a perspective view of a step of a method for manufacturing the head chip according to the eighth embodiment. Fig. 20 is a plan view of the head chip according to the eighth embodiment.
In the above-described first embodiment, an example in which the head chip includes the actuator plate 51 and the cover plate 52 has been described, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in Fig. 18, the head chip 840 may include an actuator plate 851 (corresponding to a first member), a pair of flow path members 852 (corresponding to a second member), and a nozzle plate 844. In the eighth embodiment, the same reference numerals are used for configurations similar to those in the above-described embodiments, and detailed description thereof will be omitted.

図18から図20の例では、アクチュエータプレート851は、電極が形成されるACT溝851gを有する。一対の流路部材852は、インク流路及びポンプ室として機能するCOM溝852gを有する。例えば、両面蒸着等で電極を形成した場合は、一対の流路部材852の形成部材852Mの切断面に対してアクチュエータプレート851の形成部材851Mの切断面を接着した後、図19の下部の厚肉部分(溝以外の部分)を研磨してもよい。 In the examples of Figures 18 to 20, the actuator plate 851 has an ACT groove 851g in which an electrode is formed. The pair of flow path members 852 have a COM groove 852g that functions as an ink flow path and a pump chamber. For example, if the electrodes are formed by double-sided deposition or the like, the cut surface of the forming member 851M of the actuator plate 851 may be bonded to the cut surface of the forming member 852M of the pair of flow path members 852, and then the thick portion (part other than the groove) at the bottom of Figure 19 may be polished.

例えば、第1工程では、ヘッドチップ840を構成するアクチュエータプレート851及び流路部材852の表面(切断面)に下地として下地接着層を形成する。第1工程の後、第2工程では、アクチュエータプレート851及び流路部材852の各下地接着層の間に本接着層を形成する。第1工程では、押圧板を用いて下地接着剤をアクチュエータプレート851及び流路部材852の各表面(切断面)に押し付ける。 For example, in the first step, a base adhesive layer is formed as a base on the surfaces (cut surfaces) of the actuator plate 851 and the flow path member 852 that constitute the head chip 840. After the first step, in the second step, a main adhesive layer is formed between the base adhesive layers of the actuator plate 851 and the flow path member 852. In the first step, a pressure plate is used to press the base adhesive against the surfaces (cut surfaces) of the actuator plate 851 and the flow path member 852.

以上説明したように、本実施形態の構成によれば、ヘッドチップ840を構成するアクチュエータプレート851及び流路部材852の表面(切断面)が上記の粗面となっている場合であっても、上述した押圧板を用いて下地接着剤をアクチュエータプレート851及び流路部材852の各表面に押し付けることで、各表面の凹凸の奥まで下地接着層を入り込ませることができる。このため、被接着部材同士(アクチュエータプレート851及び流路部材852)の接着面積が減少することを抑制することができる。したがって、接着強度の低下を抑制する上で実益が大きい。例えば、アクチュエータプレート851及び流路部材852においてACT溝851g及びCOM溝852gが互いに直線状になるような厳しい位置合わせが行われる部位であっても、接着強度の低下を抑制することができる。 As described above, according to the configuration of this embodiment, even if the surfaces (cut surfaces) of the actuator plate 851 and the flow path member 852 constituting the head chip 840 are rough as described above, the base adhesive layer can be made to penetrate deep into the unevenness of each surface by pressing the base adhesive against each surface of the actuator plate 851 and the flow path member 852 using the above-mentioned pressing plate. Therefore, it is possible to suppress the reduction in the adhesion area between the adherend members (actuator plate 851 and flow path member 852). Therefore, there is a great practical benefit in suppressing the decrease in adhesive strength. For example, even in a region where strict alignment is performed so that the ACT groove 851g and the COM groove 852g are linear with each other in the actuator plate 851 and the flow path member 852, the decrease in adhesive strength can be suppressed.

なお、第1工程では、ヘッドチップ840を構成するアクチュエータプレート851及び各流路部材852の表面(切断面)に下地として下地接着層を形成することに限らない。例えば、第1工程では、ヘッドチップ840を構成するアクチュエータプレート851及びノズルプレート844の表面に下地として下地接着層を形成してもよい。この場合、第1工程の後、第2工程では、アクチュエータプレート851及びノズルプレート844の各下地接着層の間に本接着層を形成してもよい。第1工程では、押圧板を用いて下地接着剤をアクチュエータプレート851及びノズルプレート844の各表面に押し付けてもよい。 In the first step, the base adhesive layer is not limited to being formed as a base on the surfaces (cut surfaces) of the actuator plate 851 and each flow path member 852 constituting the head chip 840. For example, in the first step, a base adhesive layer may be formed as a base on the surfaces of the actuator plate 851 and the nozzle plate 844 constituting the head chip 840. In this case, after the first step, in the second step, the main adhesive layer may be formed between the base adhesive layers of the actuator plate 851 and the nozzle plate 844. In the first step, the base adhesive may be pressed against the surfaces of the actuator plate 851 and the nozzle plate 844 using a pressure plate.

なお、ヘッドチップは、アクチュエータプレート、一対の流路部材、及び、ノズルプレートを備える構成に限らない。例えば、ヘッドチップは、ノズルプレートを備えず、アクチュエータプレート及びカバープレートを備える構成であってもよい。例えば、ヘッドチップは、アクチュエータプレート、カバープレート及びノズルプレーを備える構成であってもよい。例えば、ヘッドチップは、ルーフトップ(天井駆動)やサーマル型の構成であってもよい。例えば、ヘッドチップの構成態様は、設計仕様に応じて変更することができる。 The head chip is not limited to a configuration including an actuator plate, a pair of flow path members, and a nozzle plate. For example, the head chip may be configured to include an actuator plate and a cover plate without including a nozzle plate. For example, the head chip may be configured to include an actuator plate, a cover plate, and a nozzle plate. For example, the head chip may be configured as a rooftop (ceiling-driven) or thermal type. For example, the configuration of the head chip can be changed according to the design specifications.

以上、本開示の好ましい実施形態を記載し説明してきたが、これらは本開示の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、及びその他の変更は、本開示の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本開示は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。 Although preferred embodiments of the present disclosure have been described and illustrated above, it should be understood that these are illustrative of the present disclosure and should not be considered as limiting. Additions, omissions, substitutions, and other modifications can be made without departing from the scope of the present disclosure. Thus, the present disclosure should not be considered as limited by the foregoing description, but rather by the scope of the claims.

1 … プリンタ(液体噴射記録装置)
5 … インクジェットヘッド(液体噴射ヘッド)
33 … キャリッジ
40A,40B … ヘッドチップ
51 … アクチュエータプレート
54 … 吐出チャネル(液体が通過するチャネル)
101 … 第1部材
101f … 第1部材側接着面(第1部材において前記第2部材が接着される接着面)
102 … 第2部材
111 … 下地接着層
111f … 平坦面
112 … 本接着層
120 … 押圧板
211 … 下地接着層
211f … 湾曲又は屈曲の形状
220 … 押圧板
311 … 下地接着層
311w … 楔形状
320 … 押圧板
411 … 下地接着層
411g … 逃げ溝
420 … 押圧板
511A,B … 下地接着層
511c … 凸部
511r … 凹部
520A,B … 押圧板
601 … 第1部材
611 … 下地接着層
612 … 本接着層
701 … 第1部材
702 … 第2部材
711 … 下地接着層
712 … 本接着層
840 … ヘッドチップ
851 … アクチュエータプレート(第1部材)
852 … 流路部材(第2部材)
844 … ノズルプレート
1 ... Printer (liquid jet recording device)
5... Inkjet head (liquid jet head)
33 ... carriage 40A, 40B ... head chip 51 ... actuator plate 54 ... ejection channel (channel through which liquid passes)
101 ... first member 101f ... first member side adhesive surface (adhesive surface of the first member to which the second member is adhered)
102 ... second member 111 ... base adhesive layer 111f ... flat surface 112 ... main adhesive layer 120 ... pressure plate 211 ... base adhesive layer 211f ... curved or bent shape 220 ... pressure plate 311 ... base adhesive layer 311w ... wedge shape 320 ... pressure plate 411 ... base adhesive layer 411g ... relief groove 420 ... pressure plates 511A, B ... base adhesive layer 511c ... convex portion 511r ... concave portion 520A, B ... pressure plate 601 ... first member 611 ... base adhesive layer 612 ... main adhesive layer 701 ... first member 702 ... second member 711 ... base adhesive layer 712 ... main adhesive layer 840 ... head chip 851 ... actuator plate (first member)
852 ... Flow path member (second member)
844 ... Nozzle plate

Claims (9)

複数の部材を備え、
前記複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材及び第2部材とし、
前記第1部材において前記第2部材が接着される接着面に下地として形成される下地接着層と、
前記下地接着層と前記第2部材との間に形成される本接着層と、を備え、
前記下地接着層の未硬化時の粘度は、前記本接着層の未硬化時の粘度よりも低い、
ヘッドチップ。
A plurality of members are provided,
Two members to be bonded to each other among the plurality of members are a first member and a second member,
a base adhesive layer formed as a base on an adhesive surface of the first member to which the second member is adhered;
a main adhesive layer formed between the base adhesive layer and the second member,
The viscosity of the base adhesive layer when uncured is lower than the viscosity of the main adhesive layer when uncured.
Head chip.
前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、平坦面を有する、
請求項1に記載のヘッドチップ。
The base adhesive layer has a flat surface on the surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.
The head chip according to claim 1 .
前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、湾曲又は屈曲の形状を有する、
請求項1に記載のヘッドチップ。
The base adhesive layer has a curved or bent shape on a surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.
The head chip according to claim 1 .
前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第2部材において前記本接着層が形成される部分が食い込む楔形状を有する、
請求項1から3の何れか一項に記載のヘッドチップ。
The base adhesive layer has a wedge shape in which a portion of the second member on which the main adhesive layer is formed is wedged into a surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.
The head chip according to claim 1 .
前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記本接着層の余剰部分が入り込む逃げ溝を有する、
請求項1から3の何れか一項に記載のヘッドチップ。
The base adhesive layer has a clearance groove into which an excess portion of the main adhesive layer fits on a surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.
The head chip according to claim 1 .
前記下地接着層は、前記下地接着層において前記本接着層が形成される面に、前記第2部材を位置決めする凹部又は凸部を有する、
請求項1から3の何れか一項に記載のヘッドチップ。
The base adhesive layer has a concave or convex portion for positioning the second member on a surface of the base adhesive layer on which the main adhesive layer is formed.
The head chip according to claim 1 .
請求項1から3の何れか一項に記載のヘッドチップを備える、
液体噴射ヘッド。
The head chip according to any one of claims 1 to 3 is provided.
Liquid injection head.
請求項7に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが取り付けられるキャリッジと、を備える、
液体噴射記録装置。
The liquid jet head according to claim 7 ,
A carriage to which the liquid ejection head is attached.
Liquid jet recording device.
複数の部材を備えるヘッドチップの製造方法であって、
前記複数の部材のうち互いに接着される2つの部材を第1部材及び第2部材とし、
前記第1部材において前記第2部材が接着される接着面に下地として下地接着層を形成する第1工程と、
前記第1工程の後、前記下地接着層と前記第2部材との間に本接着層を形成する第2工程と、を含み、
前記第1工程では、押圧板を用いて前記下地接着層となる接着剤を前記第1部材の前記接着面に押し付ける、
ヘッドチップの製造方法。
A method for manufacturing a head chip having a plurality of members,
Two members to be bonded to each other among the plurality of members are a first member and a second member,
a first step of forming a base adhesive layer as a base on an adhesive surface of the first member to which the second member is adhered;
A second step of forming a main adhesive layer between the base adhesive layer and the second member after the first step,
In the first step, the adhesive that will become the base adhesive layer is pressed against the adhesive surface of the first member using a pressing plate.
A method for manufacturing a head chip.
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