JP2024077617A - 二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタを提供する。【解決手段】無線周波数信号をフィルタリングするバルク弾性波フィルタ３０は、互いに逆直列にある第１対の第１バルク弾性波共振器Ｓ１Ａ及び第２バルク弾性波共振器Ｓ１Ｂと、互いに逆直列にある第２対の第３バルク弾性波共振器Ｓ１Ｃ及び第４バルク弾性波共振器Ｓ１Ｄが、第１対のバルク弾性波共振器に並列であり、第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する第２対のバルク弾性波共振器と、第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタＣｂ１とを含み、キャパシタは、第１対のバルク弾性波共振器と第２対のバルク弾性波共振器との間の寄生容量の不整合を補償する。【選択図】図３Ａ

Description

優先権出願の相互参照
本願とともに提出される出願データシートにおいて外国又は国内の優先権主張が特定されるすべての出願は、３７Ｃ．Ｆ．Ｒ．§１．５７に基づいて参照によりここに組み込まれる。本願は、２０２２年１１月２８に出願された「二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタ」との名称の米国仮出願第６３／３８５，１５６号、２０２２年１１月２８日に出願された「二次高調波を抑制するバルク弾性波フィルタ」との名称の米国仮出願第６３／３８５，１６３号、及び２０２２年１１月２８日に出願された「二次高調波残留低減のためのバルク弾性波フィルタ」との名称の米国仮出願第６３／３８５，１７７号の優先権の利益を主張し、これらそれぞれの開示は、その全体が参照により、すべての目的のためにここに組み込まれる。

本開示の技術は弾性波デバイスに関する。ここに開示される実施形態は、高調波を抑制するバルク弾性波フィルタに関する。

弾性波フィルタは、無線周波数電子システムに実装することができる。例えば、携帯電話機の無線周波数フロントエンドにおけるフィルタは、一以上の弾性波フィルタを含み得る。複数の弾性波フィルタがマルチプレクサとして配列され得る。例えば、２つの弾性波フィルタをデュプレクサとして配列することができる。

弾性波フィルタは、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列される複数の音響共振器を含み得る。弾性波フィルタの例は、弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタ及びバルク弾性波（ＢＡＷ）フィルタを含む。ＢＡＷフィルタはＢＡＷ共振器を含む。例示的なＢＡＷ共振器は、薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）及びソリッドマウント共振器（ＳＭＲ）を含む。ＢＡＷ共振器において、弾性波は圧電層のバルク内を伝搬する。

ＢＡＷ共振器は、高電力レベルにおいて非線形性を有する。例えば、ＢＡＷ共振器は、高電力レベルにある信号をフィルタリングするときに二次高調波電力放射（Ｈ２）を生成し得る。Ｈ２を低減及び／又は排除することが望ましい。

特許請求の範囲に記載されるイノベーションはそれぞれが、いくつかの側面を有し、そのうちの一つのみがその望ましい属性について全責任を負うものではない。特許請求の範囲を限定することなく、本開示のいくつかの顕著な特徴が以下に簡潔に記載される。

本開示の一側面は、二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタである。この弾性波フィルタは、互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、互いに逆直列にある第２対のバルク弾性波共振器と、キャパシタとを含む。第１対のバルク弾性波共振器は、第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器を含む。第２対のバルク弾性波共振器は、第１対のバルク弾性波共振器と並列である。第２対のバルク弾性波共振器は、第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する。キャパシタは、第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続される。キャパシタは、第１対のバルク弾性波共振器と第２対のバルク弾性波共振器との間の寄生容量の不整合を補償するように構成される。弾性波フィルタは、無線周波数信号をフィルタリングするように構成される。

弾性波フィルタは、複数の追加弾性波共振器を含み得る。弾性波フィルタの、すべての他の弾性波共振器が、第１対及び第２対のバルク弾性波共振器を経由してアンテナノードに結合され得る。複数の追加弾性波共振器は、フィルタ段において互いに逆並列にある一対のシャント共振器を含み得る。複数の追加弾性波共振器は、フィルタ段において互いに逆直列にある一対の直列バルク弾性波共振器を含み得る。弾性波フィルタは、一対の直列バルク弾性波共振器の共通電極に接続された第２キャパシタを含み得る。複数の追加弾性波共振器は、バルク弾性波共振器としてよい。

第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は、直列にあるバルク弾性波共振器としてよい。

弾性波フィルタは送信フィルタとしてよい。

弾性波フィルタは、共通ノードにおいて当該弾性波フィルタに接続された少なくとも一つの追加弾性波フィルタを含むマルチプレクサに含まれてよい。

キャパシタは、０．０３ピコファラッドから０．２ピコファラッドまでの範囲にある容量を有してよい。キャパシタは、インターデジタルトランスデューサ電極キャパシタとしてよい。キャパシタは共振器キャパシタとしてよい。キャパシタは、隣接金属（ｎｅａｒ ｍｅｔａｌ）キャパシタとしてよい。キャパシタは、金属絶縁体金属キャパシタとしてよい。

弾性波フィルタは、互いに逆直列にある一対のシャントバルク弾性波共振器、及び当該一対のシャントバルク弾性波共振器の共通電極に接続される第２キャパシタを含んでよい。

本開示の他側面は、弾性波フィルタと、当該弾性波フィルタに結合される無線周波数回路と、当該弾性波フィルタ及び当該無線周波数回路を封入するパッケージ構造物とを含む無線周波数モジュールである。弾性波フィルタは、互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、互いに逆直列にあって、当該第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する第２対のバルク弾性波共振器と、当該第１対のバルク弾性波共振器の第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタとを含む。

無線周波数回路は、スイッチ及び／又は電力増幅器を含み得る。

弾性波フィルタはマルチプレクサに含まれる。マルチプレクサは、共通ノードにおいて弾性波フィルタに接続される第２フィルタを含み得る。

本開示の他側面は、二次高調波放射を抑制する無線周波数信号処理の方法である。方法は、無線周波数信号を増幅することと、弾性波フィルタによって無線周波数信号をフィルタリングすることとを含む。弾性波フィルタは、互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、互いに逆直列にあって第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する第２対のバルク弾性波共振器と、第１対のバルク弾性波共振器の第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタとを含み、当該キャパシタは、二次高調波放射の抑制を与えるべく第１対のバルク弾性波共振器と第２対のバルク弾性波共振器との間の寄生容量の不整合を補償するように構成される。

本開示の他側面は、二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、フィルタ段において互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、他のフィルタ段において互いに逆直列にある第２対のバルク弾性波共振器とを含む。第２対のバルク弾性波共振器は、第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する。第１対のバルク弾性波共振器は、第２対のバルク弾性波共振器に直列である。弾性波フィルタは、無線周波数信号をフィルタリングするように構成される。

弾性波フィルタは、第１対のバルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタを含み得る。キャパシタは、二次高調波放射を低減させ得る。キャパシタは、０．０３ピコファラッドから０．２ピコファラッドまでの範囲にある容量を有してよい。弾性波フィルタは、第２対のバルク弾性波共振器の共通電極に接続される第２キャパシタを含み得る。

弾性波フィルタは、互いに逆直列にある第３対のバルク弾性波共振器を含み得る。第１対のバルク弾性波共振器は、第３対のバルク弾性波共振器に直列であってよい。第１対のバルク弾性波共振器及び第３対のバルク弾性波共振器は、共通電極極性を有してよい。

弾性波フィルタは、シャントフィルタ段において互いに逆並列にある一対のシャントバルク弾性波共振器を含み得る。弾性波フィルタは、一対のシャントバルク弾性波共振器のうちの一方のシャントバルク弾性波共振器に直列にあるインダクタを含み得る。弾性波フィルタは、一対のシャントバルク弾性波共振器のうちの一方のシャントバルク弾性波共振器に直列にあるキャパシタを含み得る。

弾性波フィルタは、第１対のバルク弾性波共振器と第２対のバルク弾性波共振器との間に結合される複数の直列バルク弾性波共振器を含み得る。

弾性波フィルタは、互いに逆並列にある第３対のバルク弾性波共振器と、第３対のうちの一方のバルク弾性波共振器に直列にある受動インピーダンス素子とを含み、第３対のバルク弾性波共振器は、第１対のバルク弾性波共振器に直列にある。

第１対のバルク弾性波共振器は、アンテナノードからの弾性波フィルタの第１直列フィルタ段に存在してよい。弾性波フィルタの、すべての他の弾性波共振器が、第１対のバルク弾性波共振器を経由してアンテナノードに結合され得る。

弾性波フィルタは送信フィルタとしてよい。

弾性波フィルタは、共通ノードにおいて当該弾性波フィルタに接続された少なくとも一つの追加弾性波フィルタを含むマルチプレクサに含まれてよい。

弾性波フィルタは、互いに逆直列にある一対のシャントバルク弾性波共振器を含み得る。弾性波フィルタは、一対のシャントバルク弾性波共振器の共通電極に接続された第２キャパシタを含み得る。

本開示の他側面は、二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、第１バルク弾性波共振器と、第１バルク弾性波共振器に逆並列の第２バルク弾性波共振器と、第１バルク弾性波共振器に直列の受動インピーダンス素子とを含む。受動インピーダンス素子は、第１バルク弾性波共振器と第２バルク弾性波共振器との間の共振周波数の不均衡が低減されるように構成される。弾性波フィルタは、無線周波数信号をフィルタリングするように構成される。

受動インピーダンス素子はキャパシタとしてよい。受動インピーダンス素子はインダクタとしてよい。

第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は直列共振器としてよい。第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は、アンテナノードからの弾性波フィルタの第１直列段に含まれ得る。弾性波フィルタは送信フィルタとしてよい。

第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器はシャント共振器としてよい。弾性波フィルタはマルチプレクサに含まれてよい。第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は、マルチプレクサの共通ノードからの弾性波フィルタの第１シャント段に含まれてよい。弾性波フィルタは受信フィルタとしてよい。

弾性波フィルタは、複数の追加弾性波共振器を含み得る。

本開示の他側面は、二次高調波放射を抑制するマルチプレクサである。マルチプレクサは、第１弾性波フィルタと、共通ノードにおいて第１弾性波フィルタに結合される第２弾性波フィルタとを含む。第１弾性波フィルタは、第１バルク弾性波共振器と、第１バルク弾性波共振器に逆並列の第２バルク弾性波共振器と、第１バルク弾性波共振器に直列の受動インピーダンス素子とを含む。受動インピーダンス素子は、第１バルク弾性波共振器と第２バルク弾性波共振器との間の共振周波数の不均衡が低減されるように構成される。

受動インピーダンス素子はキャパシタとしてよい。受動インピーダンス素子はインダクタとしてよい。

第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は直列共振器としてよい。第１弾性波フィルタは送信フィルタとしてよい。第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は、共通ノードからの第１弾性波フィルタの第１直列段に含まれ得る。

第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器はシャント共振器としてよい。第１弾性波フィルタは受信フィルタとしてよい。第２弾性波フィルタは送信フィルタとしてよい。第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器は、共通ノードからの第１弾性波フィルタの第１シャント段に存在してよい。

本開示の他側面は、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタと、当該弾性波フィルタに共通ノードにおいて接続される第２フィルタとを含むマルチプレクサである。

本開示の他側面は、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタと、無線周波数回路と、当該弾性波フィルタ及び当該無線周波数回路を封入するパッケージ構造物とを含む無線周波数モジュールである。

本開示の他側面は、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタを含む無線周波数フロントエンドと、当該弾性波フィルタによってフィルタリングされた無線周波数信号を送信するように構成されるアンテナとを含む無線通信デバイスである。

本開示の他側面は、二次高調波放射を抑制する無線周波数信号処理の方法である。方法は、無線周波数信号を増幅することと、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタによって無線周波数信号をフィルタリングすることとを含む。

本開示をまとめることを目的として、本イノベーションの所定の側面、利点、及び新規な特徴がここに記載されてきた。かかる利点の必ずしもすべてが、いずれかの特定の実施形態に従って達成されるわけではないことを理解すべきである。すなわち、本イノベーションは、ここに教示又は示唆され得る他の利点を必ずしも達成することなく、ここに教示される一つの利点又は複数の利点の一群を達成又は最適化する態様で具体化し又は実施することができる。

本開示の実施形態が、添付図面を参照する非限定的な例を介して以下に記載される。

逆直列にある２つのバルク弾性波共振器によって実装される直列バルク弾性波共振器の模式図である。 逆並列にあるバルク弾性波の２つの共振器によって実装されるシャントバルク弾性波共振器の模式図である。 並列にある２対のバルク弾性波共振器によって実装されるバルク弾性波共振器の模式図である。各対のバルク弾性波共振器が、逆直列にある２つのバルク弾性波共振器を含む。 直列共振器分割及びシャント共振器分割を含むバルク弾性波フィルタの模式図である。 一実施形態に係る均衡化キャパシタを有するクワッド共振器分割を含むバルク弾性波フィルタの模式図である。 一実施形態に係る均衡化キャパシタを有するクワッド共振器分割を含むバルク弾性波フィルタの模式図である。 図３Ｂのバルク弾性波フィルタの例示レイアウト図である。 二次高調波電力放射（Ｈ２）を図３Ｂのフィルタと他の同様のフィルタとで比較したシミュレーション結果を有するグラフである。 図５Ａ、図５Ｂ、図５Ｃ及び図５Ｄは、実施形態に係る例示の均衡化キャパシタの模式図である。 一実施形態に係る反転極性共振器分割及び均衡化キャパシタを含む一実施形態に係るＨ２抑制バルク弾性波フィルタの模式図である。 図７Ａ及び図７Ｂは、実施形態に係る均衡化キャパシタが共通電極に接続される逆直列バルク弾性波共振器を含むシャントバルク弾性波共振器分割の模式図である。 図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ及び図８Ｄは、実施形態に係るバルク弾性波共振器のうちの一つに受動インピーダンス素子が直列される逆並列バルク弾性波共振器を含む直列バルク弾性波共振器分割の模式図である。 図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ及び図９Ｄは、実施形態に係るバルク弾性波共振器のうちの一つに受動インピーダンス素子が直列される逆並列バルク弾性波共振器を含むシャントバルク弾性波共振器段の模式図である。 弾性波フィルタの模式図である。 一実施形態に係る弾性波フィルタを含むデュプレクサの模式図である。 一実施形態に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサの模式図である。 一実施形態に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサの模式図である。 一実施形態に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサの模式図である。 所定実施形態に係る例示のパッケージ状モジュールの模式的なブロック図である。 所定実施形態に係る例示のパッケージ状モジュールの模式的なブロック図である。 所定実施形態に係る例示のパッケージ状モジュールの模式的なブロック図である。 一実施形態の携帯デバイスの模式的な図である。 通信ネットワークの一例の模式的な図である。

所定実施形態の以下の詳細な説明は、特定の実施形態の様々な記載を提示する。しかしながら、ここに記載されるイノベーションは、例えば特許請求の範囲により画定かつカバーされる数多くの異なる態様で具体化することができる。本明細書において、同じ参照番号が同一の又は機能的に同様の要素を示す図面が参照される。理解されることだが、図面に示される要素は必ずしも縮尺どおりとは限らない。さらに理解されることだが、所定の実施形態は、図面に示されるよりも多くの要素、及び／又は図面に示される要素の部分集合を含み得る。さらに、いくつかの実施形態は、２つ以上の図面からの特徴の任意の適切な組み合わせも含み得る。

バルク弾性波（ＢＡＷ）共振器は、高電力信号により非線形性を被り得る。例えば、無線通信に関連するアプリケーションで高電力送信信号をフィルタリングする送信フィルタにおけるＢＡＷ共振器は、非線形性を被り得る。高調波の放射は、非線形性によりもたらされ得る技術的課題である。

一対のＢＡＷ共振器を互いに逆直列となるように一緒に電気的に接続することにより、二次高調波が抑制され得る。逆直列ＢＡＷ共振器は、極性が反転されて互いに直列に接続されるＢＡＷ共振器である。電極極性が反転された当該逆直列ＢＡＷ共振器対は、ＢＡＷ共振器により生成される二次高調波電力放射（Ｈ２）を抑制及び／又はキャンセルするべく単一の直列ＢＡＷ共振器の代わりに実装することができる。しかしながら、逆直列ＢＡＷ共振器によってもなお、ＢＡＷフィルタは、ある程度の望ましくないＨ２を生成し得る。ＢＡＷフィルタにより生成されるＨ２をさらに低減することに関し、技術的な課題が存在する。

本開示の複数側面が、ＢＡＷフィルタにおける非線形性の抑制に関する。非線形性はＨ２としてよい。ここに開示されるＨ２抑制により、ＢＡＷ共振器により生成されるＨ２の、所定の従前のＨ２抑制技術よりも高度な阻止が得られる。Ｈ２抑制に関して複数の実施形態が開示され得るが、ここに開示されるいずれの適切な原理及び利点も、代替的に及び付加的に、弾性波フィルタにおける他の非線形性の抑制に適用することができる。

一側面において、互いに逆直列にある第１対のＢＡＷ共振器が、互いに逆直列にある第２対のＢＡＷ共振器に並列に配列される。ここで、第１対のＢＡＷ共振器は、第２対のＢＡＷ共振器に対して反転極性を有する。かかるＢＡＷ共振器対により、第２レベルのＨ２抑制を実装するべく常駐Ｈ２を低減及び／又はキャンセルすることができる。この側面において、当該対のＢＡＷ共振器のうちの一対のＢＡＷ共振器の共通電極に均衡化キャパシタを接続してよい。当該対のＢＡＷ共振器のうち一対のＢＡＷ共振器を、例えばシミュレーション及び／又は試験によって、均衡化キャパシタに接続するべく選択することができる。均衡化キャパシタを、一対のＢＡＷ共振器の共通電極とグランド（例えば接地された封止リング）との間に電気的に接続することができる。均衡化キャパシタにより、第３レベルのＨ２抑制を実装することができる。均衡化キャパシタの容量は相対的に小さくてよい。かかる容量は、シミュレーション及び／又は試験によって決定してよい。

他側面において、二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタが、フィルタ段において互いに逆直列にある第１対のＢＡＷ共振器と、他のフィルタ段において互いに逆直列にある第２対のＢＡＷ共振器とを含み、第２対のＢＡＷ共振器は、第１対のＢＡＷ共振器に対して反転電極分極を有する。第１対のＢＡＷ共振器は、第２対のＢＡＷ共振器に直列であってよい。第１対のＢＡＷ共振器の共通電極に均衡化キャパシタを接続してよい。かかる弾性波フィルタにより、望ましいＨ２抑制が得られる。

他側面において、弾性波フィルタが、第１ＢＡＷ共振器と、第１ＢＡＷ共振器に逆並列の第２ＢＡＷ共振器と、第１ＢＡＷ共振器に直列の受動インピーダンス素子とを含む。受動インピーダンス素子により、第１ＢＡＷ共振器と第２ＢＡＷ共振器との間の共振周波数に不均衡がもたらされ得る。これにより、弾性波フィルタが生成するＨ２が抑制される。受動インピーダンス素子はキャパシタを含み得る。受動インピーダンス素子はインダクタを含み得る。第１ＢＡＷ共振器及び第２ＢＡＷ共振器は、弾性波フィルタの直列腕に存在し得る。第１ＢＡＷ共振器及び第２ＢＡＷ共振器は、弾性波フィルタのシャント段に存在し得る。

図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃは、例示のＢＡＷ共振器分割を示す模式図である。一のＢＡＷ共振器を分割して複数のＢＡＷ共振器にすることにより、弾性波フィルタにおけるＨ２が抑制され得る。例えば、一の直列ＢＡＷ共振器を分割して、２つの逆直列ＢＡＷ共振器にすることができる。他例として、一のシャントＢＡＷ共振器を分割して、２つの逆並列ＢＡＷ共振器にすることができる。いくつかのアプリケーションにおいて、一のＢＡＷ共振器を分割して４つのＢＡＷ共振器にすることができる。ＢＡＷ共振器分割によるＨ２キャンセルは理論上、理想的となり得る。しかしながら、電磁（ＥＭ）結合に起因して、かかるＨ２抑制の後にも残留Ｈ２が残ったままとなり得る。残留Ｈ２は、物理的なレイアウトに起因して存在し得る。例えば、物理的レイアウトにおける寄生容量の不整合が残留Ｈ２をもたらし得る。

図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ及び他の図面において、ＢＡＷ共振器の共振器分極を示すべく、太線がＢＡＷ共振器の頂部電極を表し、細線がＢＡＷ共振器の底部電極を表す。これらの図面は、ＢＡＷ共振器が頂部電極と底部電極との間で同じ圧電層ｃ軸配向を有すると仮定している。例えば、図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃに示されるように、２つのＢＡＷ共振器は、当該２つのＢＡＷ共振器が同じｃ軸配向の圧電層を有するとき、反対側の電極（例えば、一方のＢＡＷ共振器の頂部電極及び他方のＢＡＷ共振器の底部電極）が反転電極分極を有し得る。代替的に、２つのＢＡＷ共振器は、当該２つのＢＡＷ共振器が反対のｃ軸配向の圧電層を有するとき、同じ電極（例えば、一方のＢＡＷ共振器の頂部電極及び他方のＢＡＷ共振器の頂部電極）が反転電極分極を有し得る。したがって、反転電極分極は、頂部電極と底部電極とをひっくり返すことにより、又はｃ軸配向を反転することにより、実装することができる。反転電極分極に関連してここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点は、ＢＡＷ共振器の任意の適切な反転電極分極に適用し得る。

図１Ａは、互いに逆直列にある２つのＢＡＷ共振器１０Ａ及び１０Ｂによって実装される直列ＢＡＷ共振器１０の模式図である。図示のように、ＢＡＷ共振器１０ＡとＢＡＷ共振器１０Ｂとは、反転された極性で直列に接続される。２つのＢＡＷ共振器１０Ａ及び１０Ｂは、等価な単数のＢＡＷ共振器１０と比べて近似的に２倍の面積を有し得る。逆直列共振器１０Ａ及び１０Ｂは、単数のＢＡＷ共振器１０の実装よりもＨ２を低減し得る。

図１Ｂは、互いに逆並列にある２つのＢＡＷ共振器１２Ａ及び１２Ｂによって実装されるシャントＢＡＷ共振器１２の模式図である。逆並列ＢＡＷ共振器は、極性が反転されて互いに並列に接続されるＢＡＷ共振器である。図示のように、ＢＡＷ共振器１２ＡとＢＡＷ共振器１２Ｂとは、反転された極性で互いに並列に接続される。２つのＢＡＷ共振器１２Ａ及び１２Ｂは、等価な単数のＢＡＷ共振器１２と比べて近似的に半分の面積を有し得る。逆並列共振器１２Ａ及び１２Ｂは、単数のＢＡＷ共振器１２の実装よりもＨ２を低減し得る。

図１Ｃは、並列にある２対のＢＡＷ共振器によって実装されるＢＡＷ共振器１４の模式図である。ここで、各対のＢＡＷ共振器は、互いに逆直列にある２つのＢＡＷ共振器を含む。図１Ｃは、クワッド共振器分割を示す。ＢＡＷ共振器１４は、分割されてＢＡＷ共振器１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ及び１４Ｄになっている。ＢＡＷ共振器１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ及び１４Ｄの共振器サイズは、単数の等価なＢＡＷ共振器１４と近似的に同じとなり得る。第１対のＢＡＷ共振器１４Ａ及び１４Ｂは、互いに逆直列にあり、かつ、第２対のＢＡＷ共振器１４Ｃ及び１４Ｄとは並列にある。第２対のＢＡＷ共振器１４Ｃ及び１４Ｄは、互いに逆直列にある。各対の逆直列ＢＡＷ共振器は、図１Ｃにおいて、互いに対して同じ分極を有する。

ＥＭ結合に起因して、図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃの共振器分割におけるＨ２キャンセルの後も残留Ｈ２が残ったままとなり得る。かかる常駐Ｈ２は極性を有し得る。残留Ｈ２の極性は、さらなるＨ２キャンセルにおいて使用され得る。クワッドＢＡＷ共振器分割において、互いに対して反転電極極性を有する２つの逆直列対のＢＡＷ共振器を、互いに並列に配列することができる。これにより、二次Ｈ２キャンセルが実装され得る。

図２は、直列共振器分割及びシャント共振器分割を含むバルク弾性波フィルタ２０の模式図である。図示のように、ＢＡＷフィルタ２０は、送信ノードＴｘとアンテナノードＡｎｔとの間に結合される複数のＢＡＷ共振器を含む送信フィルタである。ここに開示されるＢＡＷ共振器は、任意の適切な圧電層を含み得る。例えば、ここに開示されるＢＡＷ共振器は、窒化アルミニウム（Ａｌ）を含む圧電層を有し得る。ここに開示されるＢＡＷ共振器には、所定のアプリケーションにおいてドープがなされ得る。一例として、ＢＡＷ共振器は、スカンジウム（Ｓｃ）がドープされた窒化アルミニウムを含む圧電層を含み得る。

送信フィルタにおいて、アンテナノードＡｎｔからの第１直列段が、Ｈ２欠損補償に対して最大の貢献を有し得る。ＢＡＷフィルタ２０において、アンテナノードＡｎｔからの第１直列フィルタ段は、他の直列フィルタ段及びシャントフィルタ段に対して追加のＨ２キャンセルを与えるクワッド共振器分割を含む。

ＢＡＷフィルタ２０は、４つのＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ、Ｓ１Ｂ、Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄを備えるクワッド共振器分割を含むアンテナノードＡｎｔからの第１直列段と、一対の逆並列ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａ及びＰ１Ｂを備えるシャント段と、一対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｓ２Ａ及びＳ２Ｂを含むアンテナノードＡｎｔからの第２直列段とを含む。第１直列段において、第１対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂが互いに逆直列に配列され、第２対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄが互いに逆直列に配列される。第１対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂは、第２対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄと比較して反転電極分極を有する。第１対のＢＡＷ共振器と第２対のＢＡＷ共振器とは、互いに並列に配列される。互いに対して反転電極分極を有する２つの逆直列対のＢＡＷ共振器を並列に配列することは、二次Ｈ２キャンセルを目的として残留Ｈ２の極性を使用することができる。

図３Ａは、一実施形態に係る均衡化キャパシタＣｂ１を有するクワッド共振器分割を含むバルク弾性波フィルタ３０の模式図である。均衡化キャパシタＣｂ１は、アンテナノードＡｎｔからの第１直列段において一対の逆直列ＢＡＷ共振器の共通電極に接続され得る。バルク弾性波フィルタ３０は、図２のバルク弾性波フィルタ２０と同様であるが、第１対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂの共通電極に均衡化キャパシタＣｂ１が接続されている点が異なる。共通電極は、ＢＡＷ共振器Ｓ１ＡとＢＡＷ共振器Ｓ１Ｂとが互いに逆直列に接続される電気的な接続部を言及する。共通電極は、図３ＡにおいてＢＡＷ共振器Ｓ１Ａの頂部電極とＢＡＷ共振器Ｓ１Ｂの頂部電極とを含む。

図３Ａに示されるように、均衡化キャパシタＣｂ１は共通電極とグランドとの間に接続される。均衡化キャパシタＣｂ１は、相対的に小さな容量を有し得る。均衡化キャパシタＣｂ１の容量は、寄生容量に関する第１対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂの共通電極と第２対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄの共通電極との不整合を補償するのに十分となり得る。この寄生容量の不整合は、物理的なレイアウトに起因し得る。したがって、均衡化キャパシタＣｂ１により、物理的レイアウトからの残留Ｈ２が補償される。均衡化キャパシタＣｂ１は、例えば、０．０３ピコファラッド（ｐＦ）から０．２ｐＦまでの範囲にある容量を有し得る。均衡化キャパシタＣｂ１は、任意の適切な形態で実装してよい。均衡化キャパシタＣｂ１の例は、図５Ａ～図５Ｄを参照して説明される。

図３Ｂは、一実施形態に係る均衡化キャパシタＣｂ２を有するクワッド共振器分割を含むバルク弾性波フィルタ３２の模式図である。バルク弾性波フィルタ３２は、図３Ａのバルク弾性波フィルタ３０と同様であるが、均衡化キャパシタが第１対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂの共通電極に電気的に接続される代わりに、均衡化キャパシタＣｂ２が第２対のＢＡＷ共振器Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄの共通電極に接続される点が異なる。均衡化キャパシタＣｂ２は、均衡化キャパシタＣｂ１を参照して説明されたいずれかの適切な原理及び利点に従って実装され得る。

所定のアプリケーションにおいて、図３Ａの均衡化キャパシタＣｂ１又は図３Ｂの均衡化キャパシタＣｂ２のいずれかが実装され得る。均衡化キャパシタは、低い容量を有する図２のクワッド共振器分割の逆直列ＢＡＷ共振器の対の共通電極に接続される。均衡化キャパシタにより、三次Ｈ３キャンセルを目的として逆直列対のＢＡＷ共振器の共通電極間の寄生容量の差分が低減され得る。クワッド共振器分割の逆直列ＢＡＷ共振器のどの対を均衡化キャパシタに接続すべきかの決定は、シミュレーション、レイアウト分析、又は任意の他の適切な方法によって決定され得る。

図３Ｃは、図３Ｂのバルク弾性波フィルタ３２の例示レイアウト図である。均衡化キャパシタＣｂ２は、一対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄの共通電極とグランドとの間に接続され得る。図示のレイアウトにおいて、均衡化キャパシタＣｂ２は、一対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄの共通電極と封止リングとの間に接続される。封止リングはグランド電位となり得る。均衡化キャパシタＣｂ２は、封止リングの代わりに、任意の他のグランド接続部又は電位に接続されてよい。均衡化キャパシタＣｂ２は、図５Ａ～図５Ｄのキャパシタのいずれかのような任意の適切なタイプのキャパシタによって実装され得る。

図４は、Ｈ２を図３Ｂのフィルタと他の同様のフィルタとで比較したシミュレーション結果を有するグラフである。シミュレーションにおいて、アンテナノードからの第１直列ＢＡＷ共振器段以外の弾性波共振器の非線形性がオフにされる。第１曲線４１は、第１直列ＢＡＷ共振器段が、図１Ｃに示されるように配列されるＢＡＷ共振器１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ及び１４Ｄによって実装されることに対応する。第２曲線４２は、第１直列ＢＡＷ共振器段が、図１Ａに示されるように配列されるＢＡＷ共振器１０Ａ及び１０Ｂによって実装されることに対応する。第３曲線４３は、第１直列ＢＡＷ共振器段が、それぞれが図１Ａに対する反転極性を有するＢＡＷ共振器１０Ａ及び１０Ｂによって実装されることに対応する。第４曲線４４は、第１直列ＢＡＷ共振器段が、図２に示されるように配列されるＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ、Ｓ１Ｂ、Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄによって実装されることに対応する。第５曲線４５は、第１直列ＢＡＷ共振器段が、図３Ｂに示されるように配列される均衡化キャパシタＣｂ２を有するＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ、Ｓ１Ｂ、Ｓ１Ｃ及びＳ１Ｄによって実装されることに対応する。図４は、並列の互いに対して反転極性を有する２対の逆直列ＢＡＷ共振器を接続することについて、Ｈ２抑制における改善を示す。図４は、均衡化キャパシタＣｂ２によるＨ２抑制における追加の改善を示す。

ここに開示される均衡化キャパシタは、寄生容量よりもむしろキャパシタ構造によって実装される。図５Ａ、図５Ｂ、図５Ｃ及び図５Ｄは、実施形態に係る例示の均衡化キャパシタの模式図である。ここに開示される均衡化キャパシタは、これらのキャパシタのいずれかによって実装されてよい。これらの均衡化キャパシタはいずれも、一対の逆直列ＢＡＷ共振器の共通電極とグランドとの間に電気的に接続される。均衡化キャパシタは、図５Ａ～図５Ｄのキャパシタのうちの一以上によって実装されてよい。

図５Ａは、隣接金属キャパシタ５１を示す。隣接金属キャパシタ５１は、互いに相対的に近くに配置される２枚の金属プレートによって実装され得る。

図５Ｂは、インターデジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）電極キャパシタ５２を示す。ＩＤＴ電極キャパシタ５２は、弾性表面波デバイスのＩＤＴ電極と同様に実装され得るＩＤＴ電極を含む。

図５Ｃは、金属・絶縁体・金属（ＭｉＭ）キャパシタ５３を示す。ＭｉＭキャパシタ５３は、２枚の平坦金属プレートを含み、これら２枚の平坦金属プレートの間に絶縁体が配置される。かかるキャパシタは、平坦プレートキャパシタと称してよい。

図５Ｄは、共振器キャパシタ５４を示す。共振器キャパシタ５４は、ＢＡＷ共振器のような弾性波共振器によって実装され得る。共振器キャパシタ５４は、その容量特性を目的として実装される弾性波共振器であってよい。

均衡化キャパシタが、任意の適切なフィルタ段において一対の逆直列接続ＢＡＷ共振器の共通電極とグランドとの間に接続され得る。２以上の均衡化キャパシタそれぞれが、弾性波フィルタにおいて一対の逆直列接続ＢＡＷ共振器の対応する共通電極に接続され得る。

図６は、一実施形態に係る反転極性共振器分割及び均衡化キャパシタを含む一実施形態に係るＨ２抑制バルク弾性波フィルタ６０の模式図である。ＢＡＷフィルタ６０において、均衡化キャパシタＣｂ１、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４及びＣｂ５が示される。これらの均衡化キャパシタのうち一以上が実装され得る。かかる一以上の均衡化キャパシタの位置は、シミュレーション及び／又は試験によって決定され得る。所定のアプリケーションにおいて、図示される均衡化キャパシタＣｂ１、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４及びＣｂ５のうちのすべて未満に、図６に示される共振器トポロジーが実装される。均衡化キャパシタＣｂ１、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４及びＣｂ５は、特定レベルのＨ２抑制を満たすように所望どおりに実装してよい。

均衡化キャパシタＣｂ１、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４及び／又はＣｂ５の容量は、シミュレーション及び／又は試験によって決定され得る。均衡化キャパシタＣｂ１、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４又はＣｂ５の容量は相対的に小さくてよい。例えば、かかる容量は、０．０３ｐＦから０．２ｐＦまでの範囲にあってよい。均衡化キャパシタＣｂ１、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４又はＣｂ５の容量は、ＢＡＷフィルタ６０の個別のＢＡＷ共振器のいずれかの容量よりも小さくてよい。

図６に示されるように、一対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｓ４Ａ及びＳ４Ｂは、他対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂ、Ｓ２Ａ及びＳ２Ｂ、Ｓ３Ａ及びＳ３Ｂ、Ｓ５Ａ及びＳ５Ｂに対して反転分極を有してよい。少なくとも一対の逆直列ＢＡＷ共振器の分極を、他対の逆直列ＢＡＷ共振器に対して反転させることにより、常駐Ｈ２を抑制することができる。かかる共振器トポロジーは、常駐Ｈ２の極性を利用し得る。電極分極を反転させる逆直列ＢＡＷ共振器対は、シミュレーション及び／又は分析に基づいて決定され得る。最高の全体的Ｈ２キャンセルを与える逆直列ＢＡＷ共振器の電極極性反転を選択することができる。各フィルタは、自身の回路パラメータ及び物理的レイアウトを有し得る。したがって、フィルタ層に関するシミュレーション及び分析によって、いずれの対の逆直列ＢＡＷ共振器の電極分極を、一以上の他対の逆直列ＢＡＷ共振器に対して反転させるべきかが決定され得る。

図示のフィルタ６０は、各直列フィルタ段に対して一対の逆直列ＢＡＷ共振器を含む。いくつかの他のアプリケーションにおいて、サブセットの直列フィルタ段が、一対の逆直列ＢＡＷ共振器を含む。かかるアプリケーションにおいて、異なる直列フィルタ段に第１対の逆直列ＢＡＷ共振器及び第２対の逆直列共振器が存在し得る。ここで、第１対と第２対とは互いに対して反転電極分極を有する。加えて、一以上の直列フィルタ段が単数の直列共振器を含んでよく、及び／又は一以上の直列フィルタ段が一対の逆並列ＢＡＷ共振器を含んでよい。

図示のＢＡＷフィルタ６０は、各シャントフィルタ段において一対の逆並列ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａ及びＰ１Ｂ、Ｐ２Ａ及びＰ２Ｂ、Ｐ３Ａ及びＰ３Ｂ、Ｐ４Ａ及びＰ４Ｂを含む。いくつかの実装例において、サブセットのシャントフィルタ段が、一対の逆並列ＢＡＷ共振器を含み得る。かかる実装において、一以上のシャントフィルタ段が単数の弾性波共振器によって実装されてよく、及び／又は一以上のシャントフィルタ段が一対の逆直列ＢＡＷ共振器を含んでよい。

Ｈ２キャンセルを目的とする逆直列ＢＡＷ共振器を超えて、弾性波フィルタは代替的又は付加的に他のＢＡＷ共振器分割を含んでよい。例えば、逆並列ＢＡＷ共振器がシャントフィルタ段に含まれてよい。この一例が図６に示される。他例の共振器分割が、図７Ａ～図９Ｄを参照して説明される。ここに開示される共振器分割のいずれかの適切な原理及び利点が、フィルタ及び／又はフィルタ段において互いに組み合わされてよい。例えば、弾性波フィルタは、異なるフィルタ段においてここに開示される２以上の異なる共振器分割を有するように実装され得る。

所定のアプリケーションにおいて、シャント共振器に対して直列カスケードが実装され得る。例えば、並列共振器分割を実装するべく共振器サイズが、（例えば、送信アプリケーションにおける頑丈性を目的として）望まれるものよりも小さくなり得る。したがって、シャントフィルタ段が、逆直列ＢＡＷ共振器を含み得る。

図７Ａ及び図７Ｂは、実施形態に係る均衡化キャパシタが共通電極に接続される逆直列バルク弾性波共振器を含むシャントバルク弾性波共振器分割の模式図である。図７Ａは、均衡化キャパシタＣｂが当該対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａ及びＰ１Ｂの共通電極とグランドとの間に接続された一対の逆直列ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａ及びＰ１Ｂを含むシャントフィルタ段７０を示す。均衡化キャパシタＣｂは、ＢＡＷ共振器Ｐ１ＡとＢＡＷ共振器Ｐ１Ｂとの間のＦｐ不均衡を低減するべく含まれる。この不均衡の低減により、Ｆｐ不均衡が引き起こすＨ２スパイクが低減される。均衡化キャパシタＣｂは、ここに開示される均衡化キャパシタのいずれかの適切な原理及び利点に従って実装され得る。均衡化キャパシタＣｂは、図５Ａ～図５Ｄのキャパシタのいずれかのような任意の適切なタイプのキャパシタとしてよい。均衡化キャパシタＣｂは、０．０３ｐＦから０．２ｐＦまでの範囲にある容量のような、相対的に小さな容量を有してよい。図７Ｂは、シャントフィルタ段７０と同様のシャントフィルタ段７２を示すが、シャントフィルタ段７２においては、シャントフィルタ段７０に対し、逆直列ＢＡＷ共振器の電極分極が反転され、かつ、均衡化キャパシタＣｂが反対の極性の電極に接続されている点が異なる。

いくつかのアプリケーションにおいて、直列ＢＡＷ共振器を分割して一対の逆直列ＢＡＷ共振器にすることは、所望よりも大きなＢＡＷ共振器をもたらすことになる。かかるアプリケーションにおいて、直列ＢＡＷ共振器は、一対の逆並列ＢＡＷ共振器を含み得る。

図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ及び図８Ｄは、実施形態に係るバルク弾性波共振器のうちの一つに受動インピーダンス素子が直列される逆並列バルク弾性波共振器を含む直列バルク弾性波共振器段の模式図である。逆並列ＢＡＷ共振器のうちの一つに直列のキャパシタ又はインダクタを含むことにより、直列フィルタ段の当該対の逆並列ＢＡＷ共振器におけるＦｓ不均衡が低減され得る。Ｆｓ不均衡を低減することにより、帯域内Ｈ２が低減され得る。直列フィルタ段において一対の逆並列ＢＡＷ共振器と組み合わせられるそのようなインダクタ又はキャパシタの実施例が図８Ａ～図８Ｄに示される。図８Ａ～図８Ｄのフィルタ段は、例えば、送信フィルタに実装されてよい。

図８Ａは、逆並列ＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１ＢとＢＡＷ共振器Ｓ１Ａに直列のインダクタＬとを含む直列フィルタ段８０を示す。インダクタＬは、任意の適切なタイプのインダクタとしてよい。例えば、インダクタＬは、金属トレースインダクタとしてよい。インダクタＬは、Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂ間のＦｓ不均衡を低減し得る。

図８Ｂは、図８Ａの直列フィルタ段８０と同様の直列フィルタ段８２を示すが、インダクタＬが、ＢＡＷ共振器Ｓ１Ａに対して反対の電極分極を有するＢＡＷ共振器Ｓ１Ｂに直列に接続されている点が異なる。インダクタＬは、図８Ａ及び図８ＢにおいてＢＡＷ共振器の、反対の電極分極に直列に接続される。

図８Ｃは、逆並列ＢＡＷ共振器Ｓ１Ａ及びＳ１ＢとＢＡＷ共振器Ｓ１Ａに直列のキャパシタＣとを含む直列フィルタ段８４を示す。キャパシタＣは、任意の適切なタイプのキャパシタとしてよい。例えば、キャパシタＣは、図５Ａ～図５Ｄのキャパシタのいずれかとしてよい。キャパシタＣは、Ｓ１Ａ及びＳ１Ｂ間のＦｓ不均衡を低減し得る。

図８Ｄは、図８Ｃの直列フィルタ段８８と同様の直列フィルタ段８６を示すが、キャパシタＣが、ＢＡＷ共振器Ｓ１Ａに対して反対の電極分極を有するＢＡＷ共振器Ｓ１Ｂに直列に接続されている点が異なる。キャパシタＣは、図８Ｃ及び図８ＤにおいてＢＡＷ共振器の、反対の電極分極に直列に接続される。

図８Ａ～図８Ｄにおいてはキャパシタ又はインダクタのいずれかがＢＡＷ共振器に直列にされるが、いくつかの他のアプリケーションにおいて、キャパシタとインダクタとの直列組み合わせ又は並列組み合わせを、直列フィルタ段においてＢＡＷ共振器に直列にしてもよい。

デュプレクサのようなマルチプレクサに対し、アンテナノードからの第１シャントＢＡＷ共振器段が、一対の逆並列ＢＡＷ共振器によって実装されてよい。ここで、逆並列ＢＡＷ共振器のうちの一方は、インダクタ又はキャパシタのような受動インピーダンス素子に直列である。シャントＢＡＷ共振器のうちの一つに直列のインダクタ又はキャパシタを含むことにより、当該対の逆並列ＢＡＷ共振器間のＦｓ不均衡が低減され得る。これにより、マルチプレクサの他のフィルタにおける帯域エッジＨ２スパイクが低減され得る。所定のアプリケーションにおいて、マルチプレクサの受信フィルタが、アンテナモードからの第１シャントフィルタ段において一対の逆並列ＢＡＷ共振器を含んでよい。ここで、逆並列ＢＡＷ共振器のうちの一方は、キャパシタ又はインダクタに直列である。これにより、逆並列ＢＡＷ共振器におけるＦｓが均衡化されるので、マルチプレクサの送信フィルタにおける帯域エッジＨ２スパイク（例えば、高帯域エッジＨ２スパイク）が低減され得る。送信フィルタ及び受信フィルタは双方とも、同じ動作帯域に関連付けられてよい。

図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ及び図９Ｄは、実施形態に係るＢＡＷ共振器のうちの一つに受動インピーダンス素子が直列される一対の逆並列ＢＡＷ共振器を含むシャントバルク弾性波共振器フィルタ段の模式図である。受動インピーダンス素子はインダクタ又はキャパシタとしてよい。受動インピーダンス素子は、シャントフィルタ段の当該対の逆並列ＢＡＷ共振器におけるＦｓ不均衡を低減し得る。Ｆｓ不均衡を低減することにより、マルチプレクサの他のフィルタの帯域エッジ又はその近くにおけるＨ２スパイクが低減され得る。シャントフィルタ段において一対の逆並列ＢＡＷ共振器と組み合わせられるそのようなインダクタ又はキャパシタの実施例が図９Ａ～図９Ｄに示される。図９Ａ～図９Ｄのフィルタ段は、例えば、マルチプレクサの受信フィルタに実装され得る。

図９Ａは、逆並列ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａ及びＰ１ＢとＢＡＷ共振器Ｐ１Ａに直列のインダクタＬとを含むシャントフィルタ段９０を示す。インダクタＬは、任意の適切なタイプのインダクタとしてよい。例えば、インダクタＬは、金属トレースインダクタとしてよい。インダクタＬは、Ｐ１Ａ及びＰ１Ｂ間のＦｓ不均衡を低減し得る。

図９Ｂは、図９Ａのシャントフィルタ段９０と同様のシャントフィルタ段９２を示すが、インダクタＬが、ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａに対して反対の電極分極を有するＢＡＷ共振器Ｐ１Ｂに直列に接続されている点が異なる。インダクタＬは、図９Ａ及び図９ＢにおいてＢＡＷ共振器の、反対の電極分極に直列に接続される。

図９Ｃは、逆並列ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａ及びＰ１ＢとＢＡＷ共振器Ｐ１Ａに直列のキャパシタＣとを含むシャントフィルタ段９４を示す。キャパシタＣは、任意の適切なタイプのキャパシタとしてよい。例えば、キャパシタＣは、図５Ａ～図５Ｄのキャパシタのいずれかとしてよい。キャパシタＣは、Ｐ１Ａ及びＰ１Ｂ間のＦｓ不均衡を低減し得る。

図９Ｄは、図９Ｃのシャントフィルタ段９９と同様のシャントフィルタ段９６を示すが、キャパシタＣが、ＢＡＷ共振器Ｐ１Ａに対して反対の電極分極を有するＢＡＷ共振器Ｐ１Ｂに直列に接続されている点が異なる。キャパシタＣは、図９Ｃ及び図９ＤにおいてＢＡＷ共振器の、反対の電極分極に直列に接続される。

図９Ａ～図９Ｄにおいてはキャパシタ又はインダクタのいずれかがＢＡＷ共振器に直列にされるが、いくつかの他のアプリケーションにおいて、キャパシタとインダクタとの直列組み合わせ又は並列組み合わせを、シャントフィルタ段においてＢＡＷ共振器に直列にしてもよい。

ここに開示される実施形態は、ＢＡＷ共振器に接続されるキャパシタ又はインダクタのような受動インピーダンス素子を含む。受動インピーダンス素子は、ＢＡＷ共振器の頂部電極又は底部電極のような任意の適切な電極に接続されてよい。受動インピーダンス素子が接続されるＢＡＷ共振器の電極は、当該受動インピーダンス素子に対して補償される不均衡に依存し得る。弾性波フィルタが、それぞれが異なるＢＡＷ共振器に接続される複数の受動インピーダンス素子を含む所定のアプリケーションにおいて、複数の受動インピーダンス素子は、ＢＡＷ共振器のそれぞれの底部電極に接続されてよい。かかる接続は、共通ｚ軸上に存在してよい。

ここに開示される弾性波フィルタは、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列されてよい。所定のアプリケーションにおいて、弾性波フィルタは、無線周波数帯域を通過させて当該無線周波数帯域の外側の周波数を減衰させるべく配列される帯域通過フィルタとしてよい。弾性波フィルタは、帯域阻止フィルタとして実装してよい。ここに開示される原理及び利点が、様々な異なるフィルタトポロジーに実装されてよい。例示的なフィルタトポロジーは、ラダーフィルタ、ラティスフィルタ、ハイブリッドラダーラティスフィルタ等を含む。いくつかのアプリケーションにおいて、ここに開示されるバルク弾性波共振器が、一以上のインダクタ及び一以上のキャパシタも含むフィルタに含まれてよい。例えば、ここに開示されるバルク弾性波共振器は、非弾性インダクタ・キャパシタコンポーネントも含むフィルタに実装されてよい。

ここに開示される原理及び利点は、スタンドアロンフィルタに、及び／又は任意の適切なマルチプレクサにおける一以上のフィルタに実装することができる。かかるフィルタは、任意の適切なトポロジーであってよい。フィルタは、第４世代（４Ｇ）ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）帯域及び／又は第５世代（５Ｇ）ニューラジオ（ＮＲ）帯域をフィルタリングするべく配列される帯域通過フィルタとしてよい。ここに開示されるいずれかの原理及び利点が、送信フィルタに実装されてよい。ここに開示されるいずれかの原理及び利点が、送信フィルタに実装されてよい。いくつかのアプリケーションにおいて、マルチプレクサの２以上のフィルタを、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に従って実装することができる。スタンドアロンフィルタ及びマルチプレクサの例が、図１０Ａ～図１０Ｅを参照して説明される。これらのフィルタ及び／又はマルチプレクサの任意の適切な原理及び利点は、互いに一緒に実装することができる。

図１０Ａは、弾性波フィルタ１６０の模式図である。弾性波フィルタ１６０は、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタの弾性波共振器を含み得る。弾性波フィルタ１６０は帯域通過フィルタである。弾性波フィルタ１６０は、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列される。弾性波フィルタ１６０は、第１入力／出力ポートＲＦ＿ＩＮと第２入力／出力ポートＲＦ＿ＯＵＴとの間に結合される一以上の弾性波デバイスを含む。弾性波フィルタ１６０は、一実施形態に係るＨ２抑制を含む。

ここに開示される実施形態は、スタンドアロンフィルタに、及び／又は任意の適切なマルチプレクサのフィルタに、実装してよい。かかるフィルタは、ラダーフィルタトポロジーのような任意の適切なトポロジーであってよい。フィルタは、４ＧＬＴＥ帯域及び／又は５ＧＮＲ帯域をフィルタリングするべく配列される帯域通過フィルタであってよい。例示のマルチプレクサが、図１０Ｂ～図１０Ｅを参照して説明される。これらのマルチプレクサの任意の適切な原理及び利点は、互いに一緒に実装してよい。

図１０Ｂは、一実施形態に係る弾性波フィルタを含むデュプレクサ１６２の模式図である。デュプレクサ１６２は、共通ノードＣＯＭにおいて一緒に結合される第１フィルタ１６０Ａ及び第２フィルタ１６０Ｂを含む。デュプレクサ１６２のフィルタの一方を送信フィルタとしてよく、デュプレクサ１６２のフィルタの他方を受信フィルタとしてよい。いくつかの他例において、ダイバーシティ受信アプリケーションにおいてのように、デュプレクサ１６２が２つの受信フィルタを含んでよい。代替的に、デュプレクサ１６２は２つの送信フィルタを含み得る。共通ノードＣＯＭはアンテナノードとしてよい。

第１フィルタ１６０Ａは、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列される弾性波フィルタである。第１フィルタ１６０Ａは、第１無線周波数ノードＲＦ１と共通ノードＣＯＭとの間に結合される一以上の弾性波共振器を含む。第１無線周波数ノードＲＦ１は送信ノード又は受信ノードとしてよい。第１フィルタ１６０Ａは、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係るＨ２抑制を含む。

第２フィルタ１６０Ｂは、第２無線周波数信号をフィルタリングするべく配列される任意の適切なフィルタとしてよい。第２フィルタ１６０Ｂは、例えば、弾性波フィルタ、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係るＨ２抑制を含む弾性波共振器を含む弾性波フィルタ、ＬＣフィルタ、ハイブリッド弾性波ＬＣフィルタ等であってよい。第２フィルタ１６０Ｂは、第２無線周波数ノードＲＦ２と共通ノードとの間に結合される。第２無線周波数ノードＲＦ２は送信ノード又は受信ノードとしてよい。

例示目的でフィルタ又はデュプレクサを備える例示的な実施形態が説明されるにもかかわらず、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点は、共通ノードにおいて一緒に結合される複数のフィルタを含むマルチプレクサに実装してよい。マルチプレクサの例は、共通ノードにおいて２つのフィルタが一緒に結合されるデュプレクサ、共通ノードにおいて３つフィルタが一緒に結合されるトライプレクサ、共通ノードにおいて４つフィルタが一緒に結合されるクアッドプレクサ、共通ノードにおいて６つフィルタが一緒に結合されるヘキサプレクサ、共通ノードにおいて８つフィルタが一緒に結合されるオクタプレクサ等を含むがこれらに限られない。マルチプレクサは、異なる通過帯域を有するフィルタを含み得る。マルチプレクサは、任意の適切な数の送信フィルタ及び任意の適切な数の受信フィルタを含み得る。例えば、マルチプレクサは、すべての受信フィルタ、すべての送信フィルタ、又は一以上の送信フィルタ及び一以上の受信フィルタを含み得る。マルチプレクサの一以上のフィルタが、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る任意の適切な数の弾性波デバイスを含んでよい。

図１０Ｃは、一実施形態に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサ１６４の模式図である。マルチプレクサ１６４は、共通ノードＣＯＭにおいて一緒に結合される複数のフィルタ１６０Ａ～１６０Ｎを含む。複数のフィルタは、任意の適切な数のフィルタを含み得る。例えば、３つのフィルタ、４つのフィルタ、５つのフィルタ、６つのフィルタ、７つのフィルタ、８つのフィルタ、又はこれよりも多い数のフィルタを含み得る。複数のフィルタのうちの一部又は全部を弾性波フィルタとしてよい。図示のように、フィルタ１６０Ａ～１６０Ｎはそれぞれが、共通ノードＣＯＭとの固定電気接続部を有する。これは、ハードマルチプレクシング又は固定マルチプレクシングと称してよい。フィルタは、ハードマルチプレクシングアプリケーションにおいて、共通ノードとの固定電気接続部を有する。

第１フィルタ１６０Ａは、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列される弾性波フィルタである。第１フィルタ１６０Ａは、第１無線周波数ノードＲＦ１と共通ノードＣＯＭとの間に結合される一以上の弾性波デバイスを含み得る。第１無線周波数ノードＲＦ１は送信ノード又は受信ノードとしてよい。第１フィルタ１６０Ａは、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係るＨ２抑制を有する弾性波フィルタを含む。マルチプレクサ１６４の他のフィルタは、一以上の弾性波フィルタ、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係るＨ２抑制を有する一以上の弾性波フィルタ、一以上のＬＣフィルタ、一以上のハイブリッド弾性波ＬＣフィルタ等、又はこれらの任意の適切な組み合わせを含んでよい。

図１０Ｄは、一実施形態に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサ１６６の模式図である。マルチプレクサ１６６は、図１０Ｃのマルチプレクサ１６４と同様であるが、マルチプレクサ１６６がスイッチ式マルチプレクシングを実装する点が異なる。スイッチ式マルチプレクシングにおいて、フィルタは、スイッチを介して共通ノードに結合される。マルチプレクサ１６６において、スイッチ１６７Ａ～１６７Ｎは、対応するフィルタ１６０Ａ～１６０Ｎを共通ノードＣＯＭに選択的かつ電気的に接続することができる。例えば、スイッチ１６７Ａは、スイッチ１６７Ａを介して第１フィルタ１６０Ａを共通ノードＣＯＭに選択的かつ電気的に接続することができる。スイッチ１６７Ａ～１６７Ｎのうち任意の適切な数が、所与の状態において、対応するフィルタ１６０Ａ～１６０Ｎを共通ノードＣＯＭに電気的に接続することができる。同様に、スイッチ１６７Ａ～１６７Ｎのうち任意の適切な数が、所与の状態において、対応するフィルタ１６０Ａ～１６０Ｎを共通ノードＣＯＭから電気的に分離することができる。スイッチ１６７Ａ～１６７Ｎの機能は、様々なキャリアアグリゲーションをサポートし得る。

図１０Ｅは、一実施形態に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサ１６８の模式図である。マルチプレクサ１６８は、マルチプレクサがハードマルチプレクシングフィルタとスイッチ式マルチプレクシングフィルタとの任意の適切な組み合わせを含み得ることを示す。ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る一以上の弾性波フィルタを、マルチプレクサ１６８の共通ノードＣＯＭにハードマルチプレクシングされるフィルタ（例えばフィルタ１６０Ａ）としてよい。代替的又は付加的に、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る一以上の弾性波フィルタを、マルチプレクサ１６８の共通ノードＣＯＭにスイッチマルチプレクシングされるフィルタ（例えばフィルタ１６０Ｎ）としてよい。

ここに開示される弾性波デバイスは、様々なパッケージモジュールに実装することができる。ここに開示される弾性波デバイスの任意の適切な原理及び利点が実装され得るいくつかの例示のパッケージモジュールが、以下に開示される。例示のパッケージモジュールは、図示の回路素子を封入するパッケージを含んでよい。無線周波数コンポーネントを含むモジュールは、無線周波数モジュールと称してよい。図示の回路素子は、共通パッケージ基板に配置されてよい。パッケージ基板は、例えば積層基板としてよい。図１１～図１３は、所定実施形態に係る例示のパッケージモジュールの模式的なブロック図である。これらのパッケージモジュールの特徴の任意の適切な組み合わせを、互いに実装することができる。

図１１は、一実施形態に係る弾性波コンポーネント１７２を含む無線周波数モジュール１７０の模式図である。図示の無線周波数モジュール１７０は、弾性波コンポーネント１７２及び他の回路１７３を含む。弾性波コンポーネント１７２は、例えば複数の弾性波デバイスを含む弾性波フィルタを含んでよい。弾性波デバイスは、所定のアプリケーションにおいてＢＡＷデバイスとしてよい。

図１１に示される弾性波コンポーネント１７２は、弾性波デバイス１７４と、端子１７５Ａ及び１７５Ｂとを含む。弾性波デバイス１７４は、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタを実装することができる。端子１７５Ａ及び１７４Ｂは、例えば、入力接点及び出力接点としての役割を果たし得る。２つの端子が図示されるにもかかわらず、特定のアプリケーションに対して任意の適切な数の端子を実装してよい。弾性波コンポーネント１７２及び他の回路１７３は、図１１において共通パッケージ基板１７６に存在する。パッケージ基板１７６は、例えば積層基板としてよい。端子１７５Ａ及び１７５Ｂは、パッケージ基板１７６において、電気コネクタ１７８Ａ及び１７８Ｂそれぞれを経由して接点１７７Ａ及び１７７Ｂそれぞれに電気的に接続され得る。電気コネクタ１７８Ａ及び１７８Ｂは、例えばバンプ又はワイヤボンドとしてよい。

他の回路１７３が、任意の適切な付加的回路を含み得る。例えば、他の回路は、一以上の無線周波数増幅器（例えば一以上の電力増幅器及び／又は一以上の低雑音増幅器）、一以上の無線周波数スイッチ、一以上の付加的フィルタ、一以上のＲＦ結合器、一以上の遅延線、一以上の位相シフタ等、又はこれらの任意の適切な組み合わせを含み得る。したがって、他の回路１７３は、一以上の無線周波数回路要素を含み得る。他の回路１７３は、所定のアプリケーションにおいて無線周波数回路と称してよい。他の回路１７３は、弾性波デバイス１７４に電気的に接続され得る。無線周波数モジュール１７０は、例えば、無線周波数モジュール１７０の保護を与え及び／又は取り扱いを容易にする一以上のパッケージ構造物を含み得る。かかるパッケージ構造物は、パッケージ基板１７６の上に形成されるオーバーモールド構造物を含み得る。オーバーモールド構造物は、無線周波数モジュール１７０のコンポーネントの一部又は全部を封止することができる。

図１２は、一実施形態に係るフィルタ２０２Ａ～２０２Ｎ、無線周波数スイッチ２０４及び低雑音増幅器２０６を含むモジュール２００の模式的なブロック図である。フィルタ２０２Ａ～２０２Ｎのうちの一以上のフィルタを、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に従って実装してよい。任意の適切な数のフィルタ２０２Ａ～２０２Ｎを実装してよい。図示のフィルタ２０２Ａ～２０２Ｎは受信フィルタである。フィルタ２０２Ａ～２０２Ｎのうちの一以上が、送信フィルタ及び／又は他の受信フィルタも含むマルチプレクサに含まれてよい。無線周波数スイッチ２０４は多投無線周波数スイッチとしてよい。無線周波数スイッチ２０４は、フィルタ２０２Ａ～２０２Ｎのうちの選択されたフィルタの出力を低雑音増幅器２０６に電気的に結合することができる。いくつかの実施形態において、複数の低雑音増幅器を実装してよい。モジュール２００は、所定のアプリケーションにおいてダイバーシティ受信機能を含んでよい。

図１３は、一実施形態に係る弾性波フィルタを含む無線周波数モジュール２１０の模式図である。図示のように、無線周波数モジュール２１０は、デュプレクサ１８１Ａ～１８１Ｎと、電力増幅器１９２と、選択スイッチとして構成される無線周波数スイッチ１９４と、アンテナスイッチ１８２とを含む。無線周波数モジュール２１０は、図示の要素を封入するパッケージを含んでよい。図示の要素は、共通パッケージ基板２１７に配置されてよい。パッケージ基板２１７は、例えば積層基板としてよい。電力増幅器を含む無線周波数モジュールは、電力増幅器モジュールと称してよい。無線周波数モジュールは、図１３に示される要素及び／又は付加的な要素の部分集合を含んでよい。無線周波数モジュール２１０は、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る少なくとも一つのバルク弾性波共振器を含む弾性波フィルタのうちのいずれか一つを含んでよい。

デュプレクサ１８１Ａ～１８１Ｎはそれぞれが、共通ノードに結合される２つの弾性波フィルタを含み得る。例えば、２つの弾性波フィルタは、送信フィルタ及び受信フィルタとしてよい。図示のように、送信フィルタ及び受信フィルタはそれぞれが、無線周波数信号をフィルタリングするべく配列される帯域通過フィルタであってよい。送信フィルタのうちの一以上を、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波デバイスとしてよい。同様に、受信フィルタのうちの一以上を、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波デバイスとしてよい。図１３がデュプレクサを示すにもかかわらず、ここに開示される任意の適切な原理及び利点は、他のマルチプレクサ（例えばクアッドプレクサ、ヘキサプレクサ、オクタプレクサ等）及び／又はスイッチ式マルチプレクサに及び／又はスタンドアロンフィルタとともに実装することができる。

電力増幅器１９２は無線周波数信号を増幅することができる。図示の無線周波数スイッチ１９４は多投無線周波数スイッチである。無線周波数スイッチ１９４は、電力増幅器１９２の出力を、デュプレクサ１８１Ａ～１８１Ｎの送信フィルタのうちの選択された送信フィルタに電気的に結合することができる。いくつかの例において、無線周波数スイッチ１９４は、電力増幅器１９２の出力を、送信フィルタのうちの一を超えるものに電気的に接続することができる。アンテナスイッチ１８２は、デュプレクサ１８１Ａ～１８１Ｎのうちの一以上からの信号をアンテナポートＡＮＴに選択的に結合することができる。デュプレクサ１８１Ａ～１８１Ｎは、異なる周波数帯域及び／又は異なる動作モード（例えば異なる電力モード、異なる信号伝達モード等）に関連付けることができる。

ここに開示される弾性波フィルタは、無線通信デバイスに実装することができる。図１４は、一実施形態に係る弾性波フィルタを含む無線通信デバイス２２０の模式的なブロック図である。無線通信デバイス２２０は携帯デバイスとしてよい。無線通信デバイス２２０は任意の適切な無線通信デバイスとしてよい。例えば、無線通信デバイス２２０は、スマートフォンのような携帯電話機としてよい。図示のように、無線通信デバイス２２０は、ベース帯域システム２２１、送受信器２２２、フロントエンドシステム２２３、一以上のアンテナ２２４、電力管理システム２２５、メモリ２２６、ユーザインタフェイス２２７、及び電池２２８を含む。

無線通信デバイス２２０は、２Ｇ、３Ｇ、４Ｇ（ＬＴＥ、ＬＴＥアドバンスト、及びＬＴＥアドバンストプロ）、５ＧＮＲ、ＷＬＡＮ（例えばＷｉＦｉ）、ＷＰＡＮ（例えばＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）及び／又はＺｉｇＢｅｅ（登録商標））、ＷＭＡＮ（例えばＷｉＭａｘ（登録商標））、及び／又はＧＰＳ技術を含むがこれらに限られない多種多様な通信技術を使用して通信するように使用することができる。

送受信器２２２は、送信のためのＲＦ信号を生成し、アンテナ２２４から受信した入来ＲＦ信号を処理する。ＲＦ信号の送信及び受信に関連付けられる様々な機能は、図１４においてまとめて送受信器２２２として代表される一以上のコンポーネントによって達成することができる。一例において、所定タイプのＲＦ信号を取り扱うべく別個のコンポーネント（例えば別個の回路又はダイ）を設けてもよい。

フロントエンドシステム２２３は、アンテナ２２４に与えられ及び／又はアンテナ２２４から受信される信号のコンディショニングを支援する。図示される実施形態において、フロントエンドシステム２２３は、アンテナチューニング回路２３０、複数の電力増幅器（ＰＡｓ）８０１、複数の低雑音増幅器（ＬＮＡｓ）８１２、複数のフィルタ２３３、複数のスイッチ２３４、及び信号分割／結合回路２３５を含む。しかしながら、他の実装例も可能である。フィルタ２３３は、ここに開示される任意の適切な原理及び利点に従う一以上の弾性波フィルタを含み得る。

フロントエンドシステム２２３は、送信のための信号の増幅、受信信号の増幅、信号のフィルタリング、異なる帯域間のスイッチング、異なる電力モード間のスイッチング、送信モード及び受信モード間のスイッチング、信号のデュプレクシング、信号のマルチプレクシング、又はこれらの任意の適切な組み合わせを含むがこれらに限られない一定数の機能を与えることができる。

所定の実装例において、無線通信デバイス２２０は、キャリアアグリゲーションをサポートするので、ピークデータレートを増加させる柔軟性が得られる。キャリアアグリゲーションは、周波数分割デュプレクシング（ＦＤＤ）及び／又は時間分割デュプレクシング（ＴＤＤ）の双方に使用することができるので、複数のキャリア及び／又はチャネルを集約（アグリゲーション）するべく使用してよい。キャリアアグリゲーションは、同じ動作周波数帯域内に連続キャリアが集約される連続アグリゲーションを含む。キャリアアグリゲーションは不連続でもよく、共通帯域内又は異なる帯域内で周波数が分離したキャリアを含んでもよい。

複数のアンテナ２２４は、多種多様なタイプの通信のために使用されるアンテナを含み得る。例えば、アンテナ２２４は、多種多様な周波数及び通信規格に関連付けられる信号の送信及び／又は受信のためのアンテナを含み得る。

所定の実装例において、アンテナ２２４は、ＭＩＭＯ通信及び／又はスイッチ式ダイバーシティ通信をサポートする。例えば、ＭＩＭＯ通信は、単数の無線周波数チャネルを経由して多重データストリームを通信する多重アンテナを使用する。ＭＩＭＯ通信は、無線環境の空間的多重化（マルチプレクシング）の違いゆえに、高い信号対雑音比、改善されたコーディング、及び／又は信号干渉低減からの利益を受ける。スイッチ式ダイバーシティとは、特定の時刻に動作する特定のアンテナが選択される通信を称する。例えば、観測ビット誤り率及び／又は信号強度指標のような様々な因子に基づいて一群のアンテナから特定のアンテナを選択するようにスイッチを使用することができる。

無線通信デバイス２２０は、所定の実装例においてビームフォーミングとともに動作し得る。例えば、フロントエンドシステム２２３は、制御可能利得を有する増幅器と、アンテナ２２４を使用する信号の送信及び／又は受信のためのビームフォーミング及び指向性を与えるべく制御可能な位相を有する位相シフタとを含み得る。例えば、信号送信の文脈において、アンテナ２２４に与えられる送信信号の振幅及び位相が、アンテナ２２４から放射される信号が建設的及び破壊的な干渉を使用して結合されるように、制御され、所与の方向に伝播する強い信号強度を有するビームのような品質を示す集約送信信号が生成される。信号受信の文脈において、振幅及び位相は、信号が特定の方向からアンテナ２２４に到達するときに多くの信号エネルギーが受信されるように制御される。所定の実装例において、アンテナ２２４は、ビームフォーミングを強化するべく一以上のアレイのアンテナ素子を含む。

ベース帯域システム２２１は、音声及びデータのような様々なユーザ入出力（Ｉ／Ｏ）の処理を容易にするユーザインタフェイス２２７に結合される。ベース帯域システム２２１は、送受信器２２２に送信信号のデジタル表現を与え、これを送受信器２２２が処理して送信用のＲＦ信号が生成される。ベース帯域システム２２１はまた、送受信器２２２により与えられる受信信号のデジタル表現も処理する。図１４に示されるように、無線通信デバイス２２０の動作を容易にするべく、ベース帯域システム２２１がメモリ２２６に結合される。

メモリ２２６は、無線通信デバイス２２０の動作を容易にするべく及び／又はユーザ情報の格納を与えるべく、データ及び／又は命令の格納のような多種多様な目的のために使用することができる。

電力管理システム２２５は、無線通信デバイス２２０の、一定数の電力管理機能を与える。所定の実装例において、電力管理システム２２５は、複数の電力増幅器２３１の供給電圧を制御するＰＡ供給制御回路を含む。例えば、電力管理システム２２５は、電力付加効率（ＰＡＥ）のような効率を改善するべく複数の電力増幅器２３１のうちの一以上に与えられる供給電圧を変化させるように構成してよい。

図１４に示されるように、電力管理システム２２５は、電池２２８から電池電圧を受ける。電池２２８は、無線通信デバイス２２０における使用のための、例えばリチウムイオン電池を含む任意の適切な電池としてよい。

ここに開示される技術は、５Ｇアプリケーションでの弾性波フィルタに実装することができる。５Ｇ技術はここでは、５Ｇニューラジオ（ＮＲ）とも称する。５ＧＮＲは、ミリメートル波スペクトルによる通信、ビームフォーミング能力、高スペクトル効率波形、低レイテンシ通信、多重ラジオヌメロロジー、及び／又は非直交多重アクセス（ＮＯＭＡ）のような様々な特徴をサポートし及び／又はサポート予定である。かかるＲＦ機能がネットワークに柔軟性を与えてユーザデータレートを向上させるにもかかわらず、かかる特徴をサポートするには一定数の技術的な課題がある。

ここでの教示は、ＬＴＥアドバンスト、ＬＴＥアドバンストプロ及び／又は５ＧＮＲのようなアドバンストセルラー技術を使用する通信システムを含むがこれらに限られない多種多様な通信システムに適用可能である。ここに開示される特徴の任意の適切な組み合わせを含む弾性波フィルタが、周波数レンジ１（ＦＲ１）内の５ＧＮＲ動作帯域の無線周波数信号をフィルタリングするべく配列され得る。ＦＲ１は、例えば、現行の５ＧＮＲ仕様に特定されるように４１０ＭＨｚ～７．１２５ＧＨｚとしてよい。ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタが、第４世代（４Ｇ）ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）にある無線周波数信号をフィルタリングするべく配列されてよい。ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタが、、４ＧＬＴＥ動作帯域及び５ＧＮＲ動作帯域を含む通過帯域を有してよい。かかるフィルタは、Ｅ－ＵＴＲＡＮニューラジオ・二重接続（ＥＮＤＣ）アプリケーションのような二重接続アプリケーションに実装することができる。

ここに開示される弾性波フィルタがＨ２を抑制し得る。かかる特徴は、５ＧＮＲアプリケーションにおいて有利となり得る。Ｈ２を抑制することにより、フィルタ線形性の向上が得られる。高いフィルタ線形性は、所定の５ＧＮＲアプリケーションにおける厳しいシステムレベル線形性仕様を満たすことに貢献し得る。高いフィルタ線形性により、所定の５ＧＮＲアプリケーションに存在する高いピーク対平均電力比に対応することができる。Ｈ２の抑制及び／又は高いフィルタ線形性は、５Ｇ技術における一以上の他の仕様を満たすべく有利となり得る。

図１５は、通信ネットワーク４１０の一例の模式的な図である。通信ネットワーク４１０は、マクロセル基地局４１１、スモールセル基地局４１３、及びユーザ機器（ＵＥ）の様々な例を含む。ユーザ機器（ＵＥ）は、第１モバイルデバイス４１２ａ、無線接続車両４１２ｂ、ラップトップ４１２ｃ、静止無線デバイス４１２ｄ、無線接続列車４１２ｅ、第２モバイルデバイス４１２ｆ、及び第３モバイルデバイス４１２ｇを含む。ＵＥは無線通信デバイスである。図１５に示されるマクロセル基地局４１１、スモールセル基地局４１３又はＵＥのうちの一以上が、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る弾性波フィルタのうちの一以上を実装してよい。例えば、図１５に示されるＵＥのうちの一以上が、ここに開示されるいずれかの適切な原理及び利点に係る任意の適切な数のＢＡＷ共振器を含む一以上の弾性波フィルタを含んでよい。

基地局及びユーザ機器の特定例が図１５に示されるにもかかわらず、通信ネットワークは、多種多様なタイプ及び／又は数の基地局及びユーザ機器を含んでよい。例えば、図示の例において、通信ネットワーク４１０はマクロセル基地局４１１及びスモールセル基地局４１３を含む。スモールセル基地局４１３は、マクロセル基地局４１１と比べて相対的に低い電力、短い距離、及び／又は少ない同時ユーザで動作し得る。スモールセル基地局４１３、フェムトセル、ピコセル又はマイクロセルとも称してよい。通信ネットワーク４１０が２つの基地局を含むように示されるにもかかわらず、通信ネットワーク４１０は、これよりも多い又は少ない基地局及び／又は他のタイプの基地局を含むように実装してよい。

ユーザ機器の様々な例が示されるにもかかわらず、ここでの教示は、携帯電話機、タブレット、ラップトップ、インターネット・オブ・シングス（ＩｏＴ）デバイス、ウェアラブル電子機器、加入者宅内機器（ＣＰＥ）、無線接続車両、無線リレー、及び／又は多種多様な他の通信デバイスを含むがこれらに限られない多種多様なユーザ機器に適用可能である。さらに、ユーザ機器は、セルラーネットワークにおいて動作する現在利用可能な通信デバイスのみならず、ここに記載されかつ特許請求の範囲に請求される本発明のシステム、プロセス、方法及びデバイスに容易に実装可能な、その後開発される通信デバイスをも含む。

図１５の例示の通信ネットワーク４１０は、例えば４ＧＬＴＥ及び５ＧＮＲを含む様々なセルラー技術を使用する通信をサポートする。所定の実装例において、通信ネットワーク４１０はさらに、ＷｉＦｉのような無線ローカルエリアネットワーク（ＷＬＡＮ）を与えるように適合される。通信技術の様々な例が与えられてきたにもかかわらず、通信ネットワーク４１０は、多種多様な通信技術をサポートするように適合され得る。

通信ネットワーク４１０の様々な通信リンクが図１５に描かれている。通信リンクは、例えば、周波数分割二重化（ＦＤＤ）及び／又は時分割二重化（ＴＤＤ）を使用することを含む多種多様な方法で二重化（デュプレクシング）することができる。ＦＤＤは、信号の送信及び受信に異なる周波数を使用するタイプの無線周波数通信である。ＦＤＤは、高いデータレート及び低いレイテンシのような一定数の利点を与えることができる。これとは対照的に、ＴＤＤは、信号の送信及び受信にほぼ同じ周波数を使用するタイプの無線周波数通信であり、送信通信と受信通信とが時間で切り替わる。ＴＤＤには、スペクトルの効率的な使用、及び送受信方向間のスループットの可変的配分のような一定数の利点を与えることができる。

所定の実装例において、ユーザ機器は、４ＧＬＴＥ、５ＧＮＲ及びＷｉＦｉ技術の一以上を使用して基地局と通信することができる。所定の実装例において、エンハンスト・ライセンス・アシステッド・アクセス（ｅＬＡＡ）が、一以上のライセンスされた周波数キャリア（例えばライセンスされた４ＧＬＴＥ及び／又は５ＧＮＲ周波数）を、一以上の未ライセンスキャリア（例えば未ライセンスＷｉＦｉ周波数）と集約するべく使用される。

図１５に示されるように、通信リンクは、ＵＥと基地局との間の通信リンクのみならず、ＵＥ対ＵＥ通信及び基地局対基地局通信をも含む。例えば、通信ネットワーク４１０は、（例えばモバイルデバイス４１２ｇとモバイルデバイス４１２ｆとの間のような）自己フロントホール及び／又は自己バックホールをサポートするように実装することができる。

通信リンクは、多種多様な周波数にわたって動作することができる。所定の実装例において、通信は、６ＧＨｚ未満の一以上の周波数帯域にわたって及び／又は６ＧＨｚ超過の一以上の周波数帯域にわたって、５ＧＮＲ技術を使用してサポートされる。所定の実装例によれば、通信リンクは、周波数レンジ１（ＦＲ１）、周波数レンジ２（ＦＲ２）、又はこれらの組み合わせに役立ち得る。ここに開示される任意の適切な原理及び利点に従う弾性波フィルタｉは、ＦＲ１内の無線周波数信号をフィルタリングすることができる。一実施形態において、携帯デバイスの一以上が、ＨＰＵＥ電力クラス仕様をサポートする。

所定の実装例において、基地局及び／又はユーザ機器はビームフォーミングを使用して通信する。例えば、ビームフォーミングは、高い信号周波数にわたる通信に関連付けられる高い損失のような、経路損失を克服するべく信号強度を収束させるべく使用することができる。所定の実施形態では、一以上の携帯電話機のようなユーザ機器は、３０ＧＨｚ～３００ＧＨｚの範囲のミリメートル波周波数帯域において、及び／又は６ＧＨｚ～３０ＧＨｚ、詳しくは２４ＧＨｚ～３０ＧＨｚの範囲の上側センチメートル波周波数において、ビームフォーミングを使用して通信する。

通信ネットワーク４１０の異なるユーザが、利用可能な周波数スペクトルのような利用可能なネットワークリソースを、多種多様な態様で共有することができる。一例において、一周波数帯域を分割して多重周波数キャリアにするべく周波数分割多重接続（ＦＤＭＡ）が使用される。加えて、一以上のキャリアが特定の一ユーザに割り当てられる。ＦＤＭＡの例は、シングルキャリアＦＤＭＡ（ＳＣ－ＦＤＭＡ）及び直交ＦＤＭＡ（ＯＦＤＭＡ）を含むがこれらに限られない。ＯＦＤＭＡは、利用可能な帯域幅を多数の相互に直交する狭帯域サブキャリアに分割するマルチキャリア技術であり、異なるユーザに別々に配分することができる。

共有アクセスの他の例は、周波数リソースを使用するべくユーザに特定のタイムスロットが配分される時分割多重接続（ＴＤＭＡ）、各ユーザに固有の符号を配分することにより周波数リソースを異なるユーザ間で共有する符号分割多重接続（ＣＤＭＡ）、空間分割による共有アクセスを与えるべくビームフォーミングが使用される空間分割多重接続（ＳＤＭＡ）、多重アクセスを目的としてパワードメインが使用される非直交多重接続（ＮＯＭＡ）を含むが、これらに限られない。例えば、ＮＯＭＡは、同じ周波数、時間及び／又は符号であるが異なる電力レベルにより多数のユーザにサービスを提供するべく使用され得る。

エンハンストモバイルブロードバンド（ｅＭＢＢ）は、ＬＴＥネットワークのシステムキャパシティを増加させる技術を言及する。例えば、ｅＭＢＢは、各ユーザに対して少なくとも１０Ｇｂｐｓのピークデータレートかつ最小１００Ｍｂｐｓの通信を言及してよい。超高信頼性低レイテンシ通信（ｕＲＬＬＣ）は、例えば３ミリ秒未満の非常に低いレイテンシの通信のための技術を言及する。ｕＲＬＬＣは、自動運転及び／又は遠隔手術アプリケーション目的のようなミッションクリティカルな通信に使用することができる。大規模機械タイプ通信（ｍＭＴＣ）は、日常的な物体との無線接続に関連付けられる低コストかつ低データレートの通信、例えばインターネット・オブ・シングス（ＩｏＴ）アプリケーションに関連付けられる通信を言及する。

図１５の通信ネットワーク４１０は、ｅＭＢＢ、ｕＲＬＬＣ及び／又はｍＭＴＣを含むがこれらに限られない多種多様なアドバンスト通信機能をサポートするべく使用することができる。

上述された実施形態はいずれも、セルラーハンドセットのような携帯デバイスに関連して実装することができる。これらの実施形態の原理及び利点は、ここに記載される実施形態のいずれかから利益が得られる任意のアップリンク無線通信デバイスのような任意のシステム又は装置のために使用することができる。ここでの教示は、様々なシステムに適用可能である。本開示がいくつかの例示的な実施形態を含むにもかかわらず、ここに記載される教示は、様々な構造物に適用することができる。ここに説明された原理及び利点はいずれも、例えば、約４５０ＭＨｚ～５ＧＨｚの周波数範囲、約４００ＭＨｚ～８．５ＧＨｚの周波数範囲若しくはＦＲ１のような、約３０ｋＨｚ～３００ＧＨｚの周波数範囲にある信号を処理するように構成されるＲＦ回路に関連して実装することができる。

本開示の側面は、様々な電子デバイスに実装することができる。電子デバイスの例は、消費者用電子製品、パッケージ状無線周波数モジュールのような消費者用電子製品の部品、アップリンク無線通信デバイス、無線通信インフラストラクチャ、電子試験機器等を含み得るがこれらに限られない。電子デバイスの例は、スマートフォンのような携帯型電話機、スマートウォッチ又はイヤーピースのような装着可能コンピューティングデバイス、電話機、テレビ、コンピュータモニタ、コンピュータ、モデム、ハンドヘルドコンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータ、電子レンジ、冷蔵庫、自動車電子システムのような車載電子システム、産業ロボットのようなロボット、インターネット・オブ・シングス・デバイス、ステレオシステム、デジタル音楽プレーヤー、ラジオ、デジタルカメラのようなカメラ、携帯型メモリーチップ、洗濯機又は乾燥機のような家電製品、周辺デバイス、腕時計、置時計等を含み得るがこれらに限られない。さらに、電子デバイスは未完成の製品も含んでよい。

文脈が明確にそうでないことを示さない限り、明細書及び特許請求の範囲全体を通して、「含む」、「備える」等の用語は一般に、排他的又は網羅的な意味とは逆の、包括的な意味で、すなわち「～を含むがこれに限られない」意味で解釈されるべきである。具体的に記述されない限り、又は使用される文脈内でそうでないと理解されない限り、とりわけ「できる」、「し得る」、「してよい」、「かもしれない」、「例えば」、「のような」等のようなここで使用される条件的言語は一般に、所定の実施形態が所定の特徴、要素、及び／又は状態を含む一方で他の実施形態は含まないことを意図する。ここで一般に使用される用語「結合」は、２つ以上の要素が、直接に接続されるか、又は一以上の中間要素を経由して接続されるかのいずれかとなり得ることを言及する。同様に、ここで一般に使用される用語「接続」も、２以上の要素が、直接に接続されるか、又は一以上の中間要素を経由して接続されるかのいずれかとなり得ることを言及する。加えて、本願において使用される場合、用語「ここで」、「上」、「下」、及び同様の意味の用語は、本願全体を言及するものとし、本願のいずれか特定の部分を言及するわけではない。文脈上許容される場合、単数又は複数の数を使用する上記の詳細な説明における用語は、それぞれ複数又は単数の数も含み得る。

所定の実施形態が記載されてきたが、これらの実施形態は例としてのみ提示され、本開示の範囲を限定する意図はない。実際のところ、ここに記載される新規な弾性フィルタは、様々な他の形態で具体化することができる。さらに、ここに記載される弾性フィルタの形態における様々な省略、置換及び変更が、本開示の要旨から逸脱することなくなし得る。上述の様々な実施形態の要素及び／又は作用の任意の適切な組み合わせを、さらなる実施形態を与えるべく組み合わせることができる。添付の特許請求の範囲及びその均等物が、本開示の範囲及び要旨に収まるかかる形態又は修正をカバーすることが意図される。

Claims (60)

1. 二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタであって、
   互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器であって、第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器を含む第１対のバルク弾性波共振器と、
   互いに逆直列にある第２対のバルク弾性波共振器であって、前記第１対のバルク弾性波共振器に並列あり、前記第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する第２対のバルク弾性波共振器と、
   前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタと
   を含み、
   前記キャパシタは、前記第１対のバルク弾性波共振器と前記第２対のバルク弾性波共振器との間の寄生容量の不整合を補償するように構成され、前記弾性波フィルタは無線周波数信号をフィルタリングするように構成される、弾性波フィルタ。
2. 複数の追加弾性波共振器をさらに含む、請求項１の弾性波フィルタ。
3. 前記弾性波フィルタの、すべての他の弾性波共振器が、前記第１対のバルク弾性波共振器及び前記第２対のバルク弾性波共振器を経由してアンテナノードに結合される、請求項２の弾性波フィルタ。
4. 前記複数の追加弾性波共振器は、フィルタ段において互いに逆並列にある一対のシャント共振器を含む、請求項２の弾性波フィルタ。
5. 前記複数の追加弾性波共振器は、フィルタ段において互いに逆直列にある一対の直列バルク弾性波共振器を含む、請求項２の弾性波フィルタ。
6. 前記一対の直列バルク弾性波共振器の共通電極に接続される第２キャパシタをさらに含む、請求項５の弾性波フィルタ。
7. 前記複数の追加弾性波共振器はバルク弾性波共振器である、請求項２の弾性波フィルタ。
8. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は直列バルク弾性波共振器である、請求項１の弾性波フィルタ。
9. 前記弾性波フィルタは送信フィルタである、請求項１の弾性波フィルタ。
10. 前記弾性波フィルタは、共通ノードにおいて前記弾性波フィルタに接続される少なくとも一つの追加弾性波フィルタを含むマルチプレクサに含まれる、請求項１の弾性波フィルタ。
11. 前記キャパシタは、０．０３ピコファラッドから０．２ピコファラッドまでの範囲にある容量を有する、請求項１の弾性波フィルタ。
12. 前記キャパシタはインターデジタルトランスデューサ電極キャパシタである、請求項１の弾性波フィルタ。
13. 前記キャパシタは共振器キャパシタである、請求項１の弾性波フィルタ。
14. 前記キャパシタは隣接金属キャパシタである、請求項１の弾性波フィルタ。
15. 前記キャパシタは金属・絶縁体・金属キャパシタである、請求項１の弾性波フィルタ。
16. 互いに逆直列にある一対のシャントバルク弾性波共振器と、前記一対のシャントバルク弾性波共振器の共通電極に接続される第２キャパシタとをさらに含む、請求項１の弾性波フィルタ。
17. 無線周波数モジュールであって、
    弾性波フィルタと、
    前記弾性波フィルタに結合される無線周波数回路と、
    前記弾性波フィルタ及び前記無線周波数回路を封入するパッケージ構造物と
    を含み、
    前記弾性波フィルタは、
    互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、
    互いに逆直列にあって、前記第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する第２対のバルク弾性波共振器と、
    前記第１対のバルク弾性波共振器の第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタと
    を含む、無線周波数モジュール。
18. 前記無線周波数回路は、スイッチ及び電力増幅器を含む、請求項１７の無線周波数モジュール。
19. 前記弾性波フィルタはマルチプレクサに含まれ、
    前記マルチプレクサは、共通ノードにおいて前記弾性波フィルタに接続される第２フィルタを含む、請求項１７の無線周波数モジュール。
20. 二次高調波放射を抑制する無線周波数信号処理の方法であって、
    無線周波数信号を増幅することと、
    前記無線周波数信号を弾性波フィルタによってフィルタリングすることと
    を含み、
    前記弾性波フィルタは、
    互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、
    互いに逆直列にあって前記第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有する第２対のバルク弾性波共振器と、
    前記第１対のバルク弾性波共振器の第１バルク弾性波共振器及び第２バルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタと
    を含み、
    前記キャパシタは、二次高調波放射の抑制を与えるべく前記第１対のバルク弾性波共振器と前記第２対のバルク弾性波共振器との間の寄生容量の不整合を補償するように構成される、方法。
21. 二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタであって、
    一のフィルタ段において互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、
    他のフィルタ段において互いに逆直列にある第２対のバルク弾性波共振器と
    を含み、
    前記第２対のバルク弾性波共振器は、前記第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有し、
    前記第１対のバルク弾性波共振器は前記第２対のバルク弾性波共振器に直列であり、
    前記弾性波フィルタは無線周波数信号をフィルタリングするように構成される、弾性波フィルタ。
22. 前記第１対のバルク弾性波共振器の共通電極に接続されるキャパシタをさらに含む、請求項２１の弾性波フィルタ。
23. 前記キャパシタは、０．０３ピコファラッドから０．２ピコファラッドまでの範囲にある容量を有する、請求項２２の弾性波フィルタ。
24. 前記第２対のバルク弾性波共振器の共通電極に接続される第２キャパシタをさらに含む、請求項２２の弾性波フィルタ。
25. 互いに逆直列にある第３対のバルク弾性波共振器をさらに含み、
    前記第１対のバルク弾性波共振器は、前記第３対のバルク弾性波共振器に直列であり、
    前記第１対のバルク弾性波共振器と前記第３対のバルク弾性波共振器とは共通電極分極を有する、請求項２１の弾性波フィルタ。
26. シャントフィルタ段において互いに逆並列にある一対のシャントバルク弾性波共振器をさらに含む、請求項２１の弾性波フィルタ。
27. 前記一対のシャントバルク弾性波共振器のうちの一方のシャントバルク弾性波共振器に直列のインダクタをさらに含む、請求項２６の弾性波フィルタ。
28. 前記一対のシャントバルク弾性波共振器のうちの一方のシャントバルク弾性波共振器に直列のキャパシタをさらに含む、請求項２６の弾性波フィルタ。
29. 前記第１対のバルク弾性波共振器と前記第２対のバルク弾性波共振器との間に結合される複数の直列バルク弾性波共振器をさらに含む、請求項２１の弾性波フィルタ。
30. 互いに逆並列にある第３対のバルク弾性波共振器と、
    前記第３対のバルク弾性波共振器のうちの一方のバルク弾性波共振器に直列の受動インピーダンス素子と
    をさらに含み、
    前記第３対のバルク弾性波共振器は前記第１対のバルク弾性波共振器に直列にある、請求項２１の弾性波フィルタ。
31. 前記第１対のバルク弾性波共振器は、アンテナノードからの前記弾性波フィルタの第１直列フィルタ段に存在する、請求項２１の弾性波フィルタ。
32. 前記弾性波フィルタの、すべての他の弾性波共振器が、前記第１対のバルク弾性波共振器を経由してアンテナノードに結合される、請求項２１の弾性波フィルタ。
33. 前記弾性波フィルタは送信フィルタである、請求項２１の弾性波フィルタ。
34. 互いに逆直列にある一対のシャントバルク弾性波共振器をさらに含む、請求項２１の弾性波フィルタ。
35. 前記一対のシャントバルク弾性波共振器の共通電極に接続される第２キャパシタをさらに含む、請求項３４の弾性波フィルタ。
36. 無線周波数モジュールであって、
    弾性波フィルタと、
    前記弾性波フィルタに結合される無線周波数回路と、
    前記弾性波フィルタ及び前記無線周波数回路を封入するパッケージ構造物と
    を含み、
    前記弾性波フィルタは、
    互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、
    互いに逆直列にある第２対のバルク弾性波共振器と
    を含み、
    前記第２対のバルク弾性波共振器は、前記第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有し、
    前記第１対のバルク弾性波共振器は、前記第２対のバルク弾性波共振器に直列にあって前記第２対のバルク弾性波共振器とは異なるフィルタ段に存在する、無線周波数モジュール。
37. 前記無線周波数回路は、スイッチ及び電力増幅器を含む、請求項３６の無線周波数モジュール。
38. 前記弾性波フィルタはマルチプレクサに含まれ、
    前記マルチプレクサは、共通ノードにおいて前記弾性波フィルタに接続される第２フィルタを含む、請求項３６の無線周波数モジュール。
39. 無線通信デバイスであって、
    無線周波数信号をフィルタリングするべく構成される弾性波フィルタを含む無線周波数フロントエンドと、
    前記無線周波数信号を送信するべく構成されるアンテナと
    を含み、
    前記弾性波フィルタは、
    互いに逆直列にある第１対のバルク弾性波共振器と、
    互いに逆直列にある第２対のバルク弾性波共振器と
    を含み、
    前記第２対のバルク弾性波共振器は、前記第１対のバルク弾性波共振器に対して反転電極分極を有し、
    前記第１対のバルク弾性波共振器は、前記第２対のバルク弾性波共振器に直列にあって前記第２対のバルク弾性波共振器とは異なるフィルタ段に存在する、無線通信デバイス。
40. ベース帯域システム及び送受信器をさらに含み、
    前記送受信器は、前記ベース帯域システム及び前記無線周波数フロントエンドと通信する、請求項３９の無線通信デバイス。
41. 二次高調波放射を抑制する弾性波フィルタであって、
    第１バルク弾性波共振器と、
    前記第１バルク弾性波共振器に逆並列の第２バルク弾性波共振器と、
    前記第１バルク弾性波共振器に直列の受動インピーダンス素子と
    を含み、
    前記受動インピーダンス素子は、前記第１バルク弾性波共振器と前記第２バルク弾性波共振器との間の共振周波数における不均衡が低減されるように構成され、
    前記弾性波フィルタは無線周波数信号をフィルタリングするように構成される、弾性波フィルタ。
42. 前記受動インピーダンス素子はキャパシタである、請求項４１の弾性波フィルタ。
43. 前記受動インピーダンス素子はインダクタである、請求項４１の弾性波フィルタ。
44. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は直列共振器である、請求項４１の弾性波フィルタ。
45. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は、前記弾性波フィルタのアンテナノードからの前記弾性波フィルタの第１直列段に含まれる、請求項４４の弾性波フィルタ。
46. 前記弾性波フィルタは送信フィルタである、請求項４４の弾性波フィルタ。
47. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器はシャント共振器である、請求項４１の弾性波フィルタ。
48. 前記弾性波フィルタはマルチプレクサに含まれ、
    前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は、前記マルチプレクサの共通ノードからの前記弾性波フィルタの第１シャント段に含まれる、請求項４７の弾性波フィルタ。
49. 前記弾性波フィルタは受信フィルタである、請求項４７の弾性波フィルタ。
50. 複数の追加バルク弾性波共振器をさらに含む、請求項４１の弾性波フィルタ。
51. 二次高調波放射を抑制するマルチプレクサであって、
    第１弾性波フィルタと、
    共通ノードにおいて前記第１弾性波フィルタに結合される第２弾性波フィルタと
    を含み、
    前記第１弾性波フィルタは、
    第１バルク弾性波共振器と、
    前記第１バルク弾性波共振器に逆並列の第２バルク弾性波共振器と、
    前記第１バルク弾性波共振器に直列の受動インピーダンス素子と
    を含み、
    前記受動インピーダンス素子は、前記第１バルク弾性波共振器と前記第２バルク弾性波共振器との間の共振周波数における不均衡が低減されるように構成される、マルチプレクサ。
52. 前記受動インピーダンス素子はキャパシタである、請求項５１のマルチプレクサ。
53. 前記受動インピーダンス素子はインダクタである、請求項５１のマルチプレクサ。
54. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は直列共振器である、請求項５１のマルチプレクサ。
55. 前記第１弾性波フィルタは送信フィルタである、請求項５４のマルチプレクサ。
56. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は、前記共通ノードからの前記第１弾性波フィルタの第１直列段に含まれる、請求項５４のマルチプレクサ。
57. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器はシャント共振器である、請求項５１のマルチプレクサ。
58. 前記第１弾性波フィルタは受信フィルタであり、
    前記第２弾性波フィルタは送信フィルタである、請求項５７のマルチプレクサ。
59. 前記第１バルク弾性波共振器及び前記第２バルク弾性波共振器は、前記共通ノードからの前記第１弾性波フィルタの第１シャント段に存在する、請求項５７のマルチプレクサ。
60. 二次高調波放射を抑制する無線周波数信号処理の方法であって、
    無線周波数信号を増幅することと、
    弾性波フィルタによって二次高調波放射を抑制するように前記無線周波数信号をフィルタリングすることと
    を含み、
    前記弾性波フィルタは、
    第１バルク弾性波共振器と、
    前記第１バルク弾性波共振器に逆並列の第２バルク弾性波共振器と、
    前記第１バルク弾性波共振器に直列の受動インピーダンス素子と
    を含む、方法。
    

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