JP2024073963A - アライメント装置、アライメント方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 マークが撮像画像の端部に１つだけ写っているような場合であっても、露光装置が有する撮像装置のレンズ倍率、該露光装置が有するステージの位置、のうち１以上を調整可能な技術を提供すること。
【解決手段】 露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する。該検出されたマークの位置およびサイズを、該撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する。該補正した位置およびサイズに基づいて、該ステージの位置、該撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、アライメント技術に関するものである。

フォトリソグラフィ工程における露光装置では、露光を行う前に、マスクと基板（半導体ウェハやガラス基板など）を精密に位置合わせ（アライメント）する必要がある。近年の半導体素子の微細化に伴って、アライメントには高精度化が求められている。

マスクと基板にはそれぞれ異なるパターンのアライメントマーク（以下、それぞれマスクマークと基板マーク）が形成されており、それらが同時に写るように画像を撮像し、その画像をもとにアライメントを行うのが一般的である。

アライメントマーク（以下、マークとも称する）は決められたパターンをあらかじめ用意しておく場合が多い。マークのパターンとしては、画像処理の容易さや視認性の良さの観点から、矩形パターンがよく用いられる。

撮像画像をもとに、撮像画像内のマークを画像処理によって検出し、マークの位置情報等を得て、それをもとにマスク位置や基板位置を動かしてアライメントを行う。画像内のマークの検出を精度良く行うことはアライメントの精度向上に繋がるため、様々な手法が検討されている。

特許文献１に開示の技術では、テンプレートマッチングを用いてマークを検出し、そのマーク位置に基づいて回帰直線を算出し、画像端に近い領域において限定された領域でさらにテンプレートマッチングを行っている。これにより、画像の中心領域だけでなく画像端の領域においてもマークを精度良く検出する。

特開2010-198089号公報

特許文献１のように複数のマークを規則的に形成するのは、マークをひとつだけ形成するのに比べてコストがかかる。従って、マークがひとつであっても実施可能なアライメントの手法を用いるほうが、コストの観点で望ましい。

特許文献１に開示の技術では、撮像画像内の複数のマークの配置則に従って画像端でのマーク位置を推定している。従って、マスクマークまたは基板マークもしくはそれら両方が撮像画像の画像端に１つだけ写っている場合には、アライメントを行うことができない。

本発明は、マークが撮像画像の端部に１つだけ写っているような場合であっても、露光装置が有する撮像装置のレンズ倍率、該露光装置が有するステージの位置、のうち１以上を調整可能な技術を提供する。

本発明の一様態は、露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する検出手段と、前記検出手段により検出されたマークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する補正手段と、前記補正手段が補正した位置およびサイズに基づいて、前記ステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する調整手段とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、マークが撮像画像の端部に１つだけ写っているような場合であっても、露光装置が有する撮像装置のレンズ倍率、該露光装置が有するステージの位置、のうち１以上を調整可能な技術を提供することができる。

露光装置の構成例を示すブロック図。 マスクステージ１０２の位置、基板ステージ１０４の位置、画像撮像部１０５のレンズ倍率、を正しく調整した場合に画像撮像部１０５により得られる撮像画像の一例を示す図。 マスクステージ１０２の位置、基板ステージ１０４の位置、画像撮像部１０５のレンズ倍率、のうちの１以上の調整が必要な状態において画像撮像部１０５により得られる撮像画像の一例を示す図。 主制御部１０８の機能構成例を示すブロック図。 検出部４０１が図３の撮像画像３０１から検出したマスクマーク３０２および基板マーク３０３のそれぞれのバウンディングボックスの一例を示す図。 それぞれ異なるサイズの３つの基板マークのテンプレートの一例を示す図。 補正部４０２の動作の一例を説明するための図。 （ａ）は主制御部１０８の動作のフローチャート、（ｂ）はステップＳ８９２における処理の詳細を示すフローチャート。 主制御部１０８の構成例を示すブロック図。 選択部９０２の動作の一例を説明するための図。 ステップＳ８９２に適用可能な処理の一例を示すフローチャート。 主制御部１０８の動作のフローチャート。 主制御部１０８の動作のフローチャート。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

［第１の実施形態］
本実施形態では、アライメントマークに対して物体検出を行い、得られたマーク位置とマークサイズの情報をテンプレートマッチングにより補正するアライメント装置を搭載した露光装置について説明する。このようなアライメント装置によれば、マスクマークまたは基板マークもしくはそれら両方が撮像画像の端部に１つだけ写っている場合であっても、アライメントを行うことができる。

先ず、本実施形態に係るアライメント装置によりマスクと基板の位置調整を含むアライメントを実施する露光装置の構成例について、図１のブロック図を用いて説明する。

マスクステージ１０２上にはマスク１０１が置かれており、基板ステージ１０４上には露光対象である基板１０３が置かれている。マスクステージ１０２はマスク１０１を保持して移動するように構成されており、基板ステージ１０４は基板１０３を保持して移動するように構成されている。

マスク１０１には、基板１０３に転写すべきパターンが描画されている。照明光学系１０６からの光は、マスク１０１および投影光学系１０７を介して基板１０３に照射され、これにより、マスク１０１に描画されているパターンが基板１０３に投影される。また、マスク１０１には、アライメントのためのマークであるマスクマークが設けられており、基板１０３には、アライメントのためのマークである基板マークが設けられている。

主制御部１０８は、露光装置全体の動作制御を行うと共に、露光装置が行う処理として説明する各種の処理を実行もしくは制御する。主制御部１０８は、ＣＰＵやＭＰＵなどのプロセッサと、コンピュータプログラムやデータを格納するためのメモリと、を有する。該プロセッサが該メモリに格納されているコンピュータプログラムやデータを用いて処理を実行することで、主制御部１０８は各種の処理を実行もしくは制御することができる。

また主制御部１０８は、アライメント装置として機能し、画像撮像部１０５を制御して撮像画像の取得動作を行い、該撮像画像に基づいてマスクステージ１０２の位置の調整、基板ステージ１０４の位置の調整、画像撮像部１０５のレンズ倍率の調整、のうち１以上を行う（アライメント）。そして主制御部１０８は、該アライメント後、照明光学系１０６を制御して露光を行う。

ここで、マスクステージ１０２の位置、基板ステージ１０４の位置、画像撮像部１０５のレンズ倍率、を正しく調整した場合に画像撮像部１０５により得られる撮像画像の一例を図２に示す。図２に示す撮像画像２０１には、マスクマーク２０２および基板マーク２０３が所望のサイズ（規定サイズ）で所望の位置（規定位置）に写っている。本実施形態に係る露光装置は、撮像画像中のマスクマークおよび基板マークのそれぞれが所望のサイズで所望の位置に写るように、マスクステージ１０２の位置、基板ステージ１０４の位置、画像撮像部１０５のレンズ倍率、のうち１以上を調整する。

なお、所望のサイズおよび所望の位置は、画像撮像部１０５のレンズ倍率ごとに予め設定されているものとする。マスクマーク２０２および基板マーク２０３の「所望の位置」には、全てのレンズ倍率について同じ位置、例えば、撮像画像の中心位置（中心の画素位置）を設定しておく。一方、マスクマーク２０２および基板マーク２０３の「所望のサイズ」には、より大きいレンズ倍率に対してより大きいサイズを設定し、より小さいレンズ倍率に対してより小さいサイズを設定する。

次に、マスクステージ１０２の位置、基板ステージ１０４の位置、画像撮像部１０５のレンズ倍率、のうちの１以上の調整が必要な状態において画像撮像部１０５により得られる撮像画像の一例を図３に示す。図３に示す撮像画像３０１には、マスクマーク３０２および基板マーク３０３が所望のサイズよりも小さいサイズで写っており、且つマスクマーク３０２および基板マーク３０３は、撮像画像３０１の中心位置から外れた位置に写っている。このような撮像画像３０１が得られた場合、露光装置は、マスクマーク３０２および基板マーク３０３が撮像画像３０１の中心位置（それぞれマスクマーク２０２および基板マーク２０３の位置）に写るように、それぞれマスクステージ１０２および基板ステージ１０４の位置を調整し、且つ、マスクマーク３０２および基板マーク３０３が所望のサイズ（それぞれマスクマーク２０２および基板マーク２０３のサイズ）で撮像画像３０１中に写るように、画像撮像部１０５のレンズ倍率を調整する。

次に、アライメント装置として機能する主制御部１０８の機能構成例について、図４のブロック図を用いて説明する。検出部４０１は、画像撮像部１０５から出力された撮像画像を取得し、該撮像画像からマークを検出して該マークの位置（マーク位置）およびサイズ（マークサイズ）を求める。より詳しくは、検出部４０１は、撮像画像からマークを検出すると、該マークを包含する矩形領域であるバウンディングボックス（Bounding Box）の位置およびサイズをそれぞれマーク位置およびマークサイズとして求める。バウンディングボックスの位置は、該バウンディングボックスにおけるいずれかの位置であり、例えば、該バウンディングボックスの中心位置であっても良いし、該バウンディングボックスの四隅のいずれかの位置であっても良い。バウンディングボックスのサイズは、該バウンディングボックスの水平方向のサイズおよび垂直方向のサイズを含む。なお、マークの一部が撮像画像からはみ出していて、マークの一部が撮像画像に含まれている場合には、検出部４０１は、該撮像画像に含まれている「マークの一部」を包含するバウンディングボックスの位置およびサイズを求める。なお、バウンディングボックスの位置およびサイズは、撮像画像におけるマークの領域を規定するための情報の一例に過ぎず、撮像画像におけるマークの領域を規定できる情報であれば良い。そして検出部４０１は、検出したマークがマスクマークであるのか、それとも基板マークであるのかを判別する（認識する）。撮像画像からマスクマークのバウンディングボックスの位置およびサイズ、基板マークのバウンディングボックスの位置およびサイズ、を求めるための方法には様々な方法が適用可能である。本実施形態では、検出部４０１は、学習済みのニューラルネットワークを用いて、撮像画像からマスクマークのバウンディングボックスの位置およびサイズ、基板マークのバウンディングボックスの位置およびサイズ、を求める。

検出部４０１が図３の撮像画像３０１から検出したマスクマーク３０２および基板マーク３０３のそれぞれのバウンディングボックスの一例について、図５を用いて説明する。

図５に示す如く、バウンディングボックス５０１は、マスクマーク３０２を包含するバウンディングボックスである。また、図５の撮像画像３０１では、基板マーク３０３の一部が撮像画像３０１からはみ出しており、基板マーク３０３の一部が該撮像画像３０１の右下隅に含まれている。この場合、検出部４０１は、撮像画像３０１に含まれている「基板マーク３０３の一部」を包含するバウンディングボックス５０２の位置およびサイズを求める。

ここで、検出部４０１が撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスは、検出部４０１が該マークについて該撮像画像から推定した推定領域である。然るに、該バウンディングボックスの位置およびサイズはそれぞれ、該撮像画像における該マークの位置およびサイズと一致しない場合が多い。アライメントのためには、撮像画像におけるマークの位置およびサイズをより正確に求める必要がある。

そこで補正部４０２は、マークのバウンディングボックスと、該バウンディングボックスの周辺領域と、を含む領域を探索領域として設定する。そして補正部４０２は、該探索領域内の各位置に該マークのテンプレートを配置し、該配置したテンプレートと、該探索領域において該テンプレートと重なる画像領域と、の類似度を求める。類似度を求める方法には、構造的類似性(SSIM, Structural Similarity Index Measure)や正規化相互相関(NCC, Normalized Cross Correlation)等の一般的な手法を用いる。しかし、テンプレートと画像領域との間の類似性を評価できる方法であればその他の手法を採用しても良い。そして補正部４０２は、検出部４０１が求めたマーク位置を、「最大の類似度を求めたテンプレートの配置位置」に補正（更新）し、検出部４０１が求めたマークサイズを、「該テンプレートのサイズ」に補正（更新）する。つまり、補正部４０２は、マークの候補領域から、より正確な該マークの領域を特定する。

補正部４０２は、このような処理を、マスクマークおよび基板マークのそれぞれについて行うことで、マスクマークのマーク位置およびマークサイズ、基板マークのマーク位置およびマークサイズ、を求めることができる。つまり、補正部４０２は、マスクマークの候補領域から、マスクマークのマーク位置およびマークサイズを有する領域を該マスクマークの領域として特定する。また補正部４０２は、基板マークの候補領域から、基板マークのマーク位置およびマークサイズを有する領域を該基板マークの領域として特定する。

補正部４０２の動作について、図７を例に取り説明する。補正部４０２は、撮像画像３０１におけるマスクマーク３０２のバウンディングボックス５０１と、該バウンディングボックス５０１の周辺領域と、を含む領域を探索領域７０１として設定する。ここで、図５に示す如く、「基板マーク３０３の一部」を包含するバウンディングボックス５０２が設定されている場合、バウンディングボックス５０２とその周辺領域とを含む探索領域からは、正確な基板マーク３０３のマーク位置およびマークサイズを取得することはできない。そこで、図７に示す如く、補正部４０２は、バウンディングボックス５０２が撮像画像３０１の右下隅に位置していることから、該バウンディングボックス５０２の右下隅の位置から右下方向に規定距離離間した位置を仮想位置として求める。そして補正部４０２は、該バウンディングボックス５０２の左上隅の位置を左上隅の位置とし、該仮想位置を右下隅の位置とする矩形領域を拡張バウンディングボックスとし、該拡張バウンディングボックスと、その周辺領域と、を含む領域を探索領域７０２として設定する。なお、「基板マーク３０３の一部」を包含するバウンディングボックス５０２に基づいて、該基板マーク３０３に対する探索領域７０２を設定するための方法には様々な方法が考えられ、特定の方法に限らない。

そして補正部４０２は、探索領域７０１内における各位置でマスクマーク３０２のテンプレートとのテンプレートマッチングを行った結果、類似度が最大となるテンプレートの位置およびサイズをそれぞれマスクマーク３０２のマーク位置およびマースサイズとして求める。同様に、補正部４０２は、探索領域７０２内における各位置で基板マーク３０３のテンプレートとのテンプレートマッチングを行った結果、類似度が最大となるテンプレートの位置およびサイズをそれぞれ基板マーク３０３のマーク位置およびマースサイズとして求める。なお、テンプレートと画像領域との類似度の計算を行う際にテンプレートが撮像画像からはみ出る場合は、はみ出た部分について無視し、テンプレートにおいて撮像画像と重なっている部分のみを用いて類似度を求める。

調整実行部４０３は、マスクマークのマーク位置およびマークサイズと、基板マークのマーク位置およびマークサイズと、を用いて、マスクステージ１０２の位置の調整量、基板ステージ１０４の位置の調整量、画像撮像部１０５のレンズ倍率の調整量、のうち１以上を求める。

図３の撮像画像３０１を例に取り説明すると、マスクマーク３０２（マスクマーク３０２のマーク位置およびマークサイズを有する領域）は、撮像画像３０１の中心位置から左上にずれている。よって、調整実行部４０３は、撮像画像３０１の中心位置からマスクマーク３０２の中心位置への水平方向のずれ量Δｘ、撮像画像３０１の中心位置からマスクマーク３０２の中心位置への垂直方向のずれ量Δｙ、のセットをマスクマーク３０２の位置の調整量として求める。そして調整実行部４０３は、マスクマーク３０２の位置の調整量に基づき、マスクマーク３０２の中心位置が撮像画像３０１の中心位置に位置するようにマスクステージ１０２の位置を調整する。マスクマーク３０２の位置の調整量に応じてどれだけマスクステージ１０２を移動させるのかについては予め設定されているものとする。

また、基板マーク３０３（基板マーク３０３のマーク位置およびマークサイズを有する領域）は、撮像画像３０１の中心位置から右下にずれている。よって調整実行部４０３は撮像画像３０１の中心位置から基板マーク３０３の中心位置への水平方向のずれ量Δｘ、撮像画像３０１の中心位置から基板マーク３０３の中心位置への垂直方向のずれ量Δｙ、のセットを基板マーク３０３の位置の調整量として求める。そして調整実行部４０３は、基板マーク３０３の位置の調整量に基づき、基板マーク３０３の中心位置が撮像画像３０１の中心位置に位置するように基板ステージ１０４の位置を調整する。基板マーク３０３の位置の調整量に応じてどれだけ基板ステージ１０４を移動させるのかについては予め設定されているものとする。

また、マスクマーク３０２のサイズおよび基板マーク３０３のサイズはそれぞれ、撮像画像２０１におけるマスクマーク２０２のサイズおよび基板マーク２０３のサイズよりも小さい。よって、補正部４０２は、マスクマーク２０２のサイズに対するマスクマーク３０２のサイズのサイズ比（基板マーク２０３のサイズに対する基板マーク３０３のサイズのサイズ比）に基づき、マスクマーク３０２のサイズがマスクマーク２０２のサイズとなるような（基板マーク３０３のサイズが基板マーク２０３のサイズとなるような）レンズ倍率の調整量を求める。そして調整実行部４０３は、マスクマーク３０２のサイズがマスクマーク２０２のサイズとなるように（基板マーク３０３のサイズが基板マーク２０３のサイズとなるように）、画像撮像部１０５のレンズ倍率を該求めたレンズ倍率の調整量に応じて調整する。

ここで、１つのサイズのテンプレートで前述のテンプレートマッチングを行うと、画像撮像部１０５のレンズ倍率が誤って設定されている場合、テンプレートマッチングを適切に行うことができないといった問題がある。そこで、本実施形態では、このような問題を解消するために、それぞれ異なるサイズのテンプレートを予め用意しておく。このような複数のテンプレートは、例えば、主制御部１０８が有するメモリに格納されている。

それぞれ異なるサイズの３つの基板マークのテンプレートの一例を図６に示す。テンプレート６０２は、「撮像画像２０１中の基板マーク２０２」と同サイズを有するテンプレートであり、基板マークを基板マーク２０２のサイズで撮像するためのレンズ倍率Ｒに対応するテンプレートである。

テンプレート６０１は、「撮像画像２０１中の基板マーク２０２」よりも大きいサイズを有するテンプレートであり、レンズ倍率Ｒよりも高いレンズ倍率に対応するテンプレートである。

テンプレート６０３は、「撮像画像２０１中の基板マーク２０２」よりも小さいサイズを有するテンプレートであり、レンズ倍率Ｒよりも低いレンズ倍率に対応するテンプレートである。

なお、マスクマークのテンプレートについても同様に、「撮像画像２０１中のマスクマーク２０３」と同サイズを有するテンプレート（レンズ倍率Ｒに対応するテンプレート）、「撮像画像２０１中の基板マーク２０２」よりも大きいサイズを有するテンプレート（レンズ倍率Ｒよりも高いレンズ倍率に対応するテンプレート）、「撮像画像２０１中の基板マーク２０２」よりも小さいサイズを有するテンプレート（レンズ倍率Ｒよりも低いレンズ倍率に対応するテンプレート）を設ける。

次に、主制御部１０８の動作について、図８（ａ）のフローチャートに従って説明する。ステップＳ８９１では、検出部４０１は、画像撮像部１０５から出力された撮像画像を取得し、該撮像画像からマークを検出して該マークのバウンディングボックスの位置およびサイズを、それぞれ該マークのマーク位置およびマークサイズとして求める。

ステップＳ８９２では、補正部４０２は、マーク（マスクマークおよび基板マーク）のバウンディングボックスと、該バウンディングボックスの周辺領域と、を含む領域を探索領域として設定する。そして補正部４０２は、該マークの探索領域に対してテンプレートマッチングを行って、該マークのマーク位置およびマークサイズを補正する。ステップＳ８９２における処理の詳細については、図８（ｂ）を用いて後述する。

ステップＳ８９３では、調整実行部４０３は、マーク（マスクマークおよび基板マーク）のマーク位置およびマークサイズを用いて、マスクステージ１０２の位置の調整量、基板ステージ１０４の位置の調整量、画像撮像部１０５のレンズ倍率の調整量、のうち１以上を求める。

そして調整実行部４０３は、求めた調整量に応じて、調整対象を調整する。例えば調整実行部４０３は、マスクステージ１０２の位置の調整量を求めた場合には、該調整量に基づき、該マスクステージ１０２の位置を調整する。また、調整実行部４０３は、基板ステージ１０４の位置の調整量を求めた場合には、該調整量に基づき、該基板ステージ１０４の位置を調整する。また、補正部４０２は、画像撮像部１０５のレンズ倍率の調整量を求めた場合には、該調整量に基づき、該レンズ倍率を調整する。

次に、上記のステップＳ８９２に適用可能な処理の一例について、図８（ｂ）のフローチャートに従って説明する。なお、図８（ｂ）のフローチャートに従った処理は、１つのマークに対する処理のフローチャートである。然るに、マスクマークおよび基板マークのそれぞれについて図８（ｂ）のフローチャートに従った処理を行うことで、マスクマークおよび基板マークのそれぞれのマーク位置およびマークサイズを求めることができる。

ステップＳ８０１では、補正部４０２は、検出部４０１によりマークがマスクマークであると判別された場合には、マスクマークについてレンズ倍率ごとに用意されているテンプレート群を取得する。一方、補正部４０２は、検出部４０１によりマークが基板マークであると判別された場合には、基板マークについてレンズ倍率ごとに用意されているテンプレート群を取得する。

ステップＳ８０２では、補正部４０２は、ステップＳ８０１で取得したテンプレート群から未選択の１つのテンプレートを、選択テンプレートとして選択する。

ステップＳ８０３では、補正部４０２は、マークのバウンディングボックス（ＢＢｏｘ）と、該バウンディングボックスの周辺領域と、を含む領域を探索領域として設定する。

ステップＳ８０４では、補正部４０２は、マークのバウンディングボックスの位置およびサイズから、該マークが撮像画像の端部に位置しているか否か、該マークが撮像画像からはみ出しているか否かを判断する。例えば、補正部４０２は、マークのバウンディングボックスが撮像画像の端部に位置している場合には、該マークが撮像画像の端部に位置していると判断しても良い。また、例えば、補正部４０２は、マークのバウンディングボックスが撮像画像からはみ出している場合には、該マークが撮像画像からはみ出していると判断しても良い。

この判断の結果、マークが撮像画像の端部に位置している、もしくは該マークが撮像画像からはみ出している場合には、処理はステップＳ８０６に進む。一方、該マークが撮像画像の端部に位置しておらず、且つ撮像画像からはみ出していない場合には、処理はステップＳ８０５に進む。

ステップＳ８０５では、補正部４０２は、探索領域内の各位置に選択テンプレートを配置し、該配置した選択テンプレートと、該探索領域において該選択テンプレートと重なる画像領域と、の類似度を求める。そして補正部４０２は、最大の類似度を求めた選択テンプレートの配置位置をマーク位置として特定し、該選択テンプレートのサイズをマークサイズとして特定する。

ステップＳ８０６では、補正部４０２は、拡張バウンディングボックスを求め、該拡張バウンディングボックスと、その周辺領域と、を含む領域を探索領域として設定する。そして補正部４０２は、ステップＳ８０５と同様にして、探索領域内の各位置に選択テンプレートを配置し、該配置した選択テンプレートと、該探索領域において該選択テンプレートと重なる画像領域と、の類似度を求める。その際、上記の如く、選択テンプレートと画像領域との類似度の計算を行う際に選択テンプレートが撮像画像からはみ出る場合は、はみ出た部分について無視し、選択テンプレートにおいて撮像画像と重なっている部分のみを用いて類似度を求める。そして補正部４０２は、最大の類似度を求めた選択テンプレートの配置位置をマーク位置として特定し、該選択テンプレートのサイズをマークサイズとして特定する。

このような処理により、マークの一部が撮像画像からはみ出ているような場合であっても、該マークについてより正確に、マーク位置およびマークサイズを求めることができる。

ステップＳ８０７では、補正部４０２は、テンプレート群における全てのテンプレートを選択テンプレートとして選択したか否かを判断する。この判断の結果、テンプレート群における全てのテンプレートを選択テンプレートとして選択した場合には、処理はステップＳ８０８に進む。一方、テンプレート群において未だ選択テンプレートとして選択していないテンプレートが残っている場合には、処理はステップＳ８０２に進む。

ステップＳ８０８では、補正部４０２は、テンプレート群におけるそれぞれのテンプレートについて上記の処理により特定したマーク位置およびマークサイズのうち、最大の類似度を求めたテンプレートについて上記の処理により特定したマーク位置およびマークサイズを、それぞれ最終マーク位置および最終マークサイズとして特定する。そして補正部４０２は、検出部４０１が求めたマーク位置を該最終マーク位置に補正し、検出部４０１が求めたマークサイズを該最終マークサイズに補正する。

調整実行部４０３は、ステップＳ８０８で補正されたマーク位置およびマークサイズを用いて、マスクステージ１０２、の位置の調整、基板ステージ１０４の位置の調整、画像撮像部１０５のレンズ倍率の調整、のうち１以上を行う。

［第２の実施形態］
本実施形態を含む以下の各実施形態では、第１の実施形態との差分について説明し、以下で特に触れない限りは、第１の実施形態と同様であるものとする。第１の実施形態では、補正部４０２は、撮像画像から検出されたマーク（マスクマークおよび基板マーク）の全てについてテンプレートマッチングを行っていた。これに対し、本実施形態では、テンプレートマッチングの回数を減らすべく、補正部４０２は、撮像画像から検出されたマーク（マスクマークおよび基板マーク）のうち条件を満たすマークについてテンプレートマッチングを行う。

本実施形態に係る主制御部１０８の構成例について、図９のブロック図を用いて説明する。図９において、図４に示した機能部と同じ機能部には同じ参照番号を付しており、該機能部に係る説明は省略する。

選択部９０２は、検出部４０１が検出したマーク位置やマークサイズに基づいて、補正部４０２にてテンプレートマッチングを行う対象となるマークを選択する。選択部９０２の動作について、図１０を例に取り説明する。

撮像画像１００１には、基板マーク１００２、マスクマーク１００３、基板マーク１００４が含まれている。そして基板マーク１００２に対してはバウンディングボックス１００５が設定されており、マスクマーク１００３に対してはバウンディングボックス１００６が設定されており、基板マーク１００４に対してはバウンディングボックス１００７が設定されている。

バウンディングボックス１００５のサイズおよびバウンディングボックス１００６のサイズはいずれも、上記の「所望のサイズ」に近い（サイズの差が規定値未満、サイズの比が１に近い）。しかし、バウンディングボックス１００７のサイズは、上記の「所望のサイズ」よりも小さい。このような場合、選択部９０２は、バウンディングボックス１００５とバウンディングボックス１００６を選択する。補正部４０２は、選択部９０２によって選択されたバウンディングボックス１００５およびバウンディングボックス１００６に基づいてマーク位置およびマークサイズを補正する。そして調整実行部４０３は、補正部４０２により補正されたマークのマーク位置およびマークサイズに基づいてアライメントを行う。

また、上記の「条件」には他の条件も適用可能であり、例えば、「撮像画像の中心位置からの距離が閾値距離未満となる位置のバウンディングボックス」、であっても良い。また、上記の「条件」には複数の条件（例えば上記のサイズに関する条件と上記の位置に関する条件）を含めても良い。

このような構成により、本実施形態によれば、処理の対象となるバウンディングボックスの数を絞り込むことができるため、例えば、補正部４０２でテンプレートマッチングを行う回数を削減することができる。

［第３の実施形態］
第１の実施形態では、補正部４０２は、それぞれ異なるサイズのテンプレートを用いてテンプレートマッチングを行っている。これに対し、本実施形態では、補正部４０２は、同一のサイズのテンプレートを用いて同様の処理を実現するべく、撮像画像およびバウンディングボックスを拡大縮小してテンプレートマッチングを行う。

上記のステップＳ８９２に適用可能な処理の一例について、図１１のフローチャートに従って説明する。なお、図１１のフローチャートに従った処理は、１つのマークについての処理のフローチャートである。然るに、マスクマークおよび基板マークのそれぞれについて図１１のフローチャートに従った処理を行うことで、マスクマークおよび基板マークのそれぞれのマーク位置およびマークサイズを求めることができる。

ステップＳ１１０１では、補正部４０２は、検出部４０１によりマークがマスクマークであると判別された場合には、マスクマークの１つのテンプレートを取得する。一方、補正部４０２は、検出部４０１によりマークが基板マークであると判別された場合には、基板マークの１つのテンプレートを取得する。

ステップＳ１１０２では、補正部４０２は、撮像画像と、マークのバウンディングボックスと、を拡大する（倍率が１未満の拡大は「縮小」となる）。例えば、ステップＳ１１０３～Ｓ１１０６の処理を、拡大倍率範囲における拡大倍率０．５、０．６、０．７、…、１．８、１．９、～２．０（１６種類）のそれぞれについて行う場合を考える。このとき、１回目のステップＳ１１０２では、補正部４０２は、撮像画像と、マークのバウンディングボックスと、を０．５倍に拡大する。そして２回目のステップＳ１１０２では、補正部４０２は、撮像画像と、マークのバウンディングボックスと、を０．６倍に拡大する。なお、拡大前と拡大後で撮像画像におけるバウンディングボックスの位置関係は変わらないものとする。

ステップＳ１１０３では、補正部４０２は、上記のステップＳ８０３と同様にして、拡大後のバウンディングボックス（ＢＢｏｘ）と、該拡大後のバウンディングボックスの周辺領域と、を含む領域を探索領域として設定する。

ステップＳ１１０４では補正部４０２は、拡大後のバウンディングボックスの位置およびサイズから、該拡大後の撮像画像の端部に位置しているか否か、該拡大後の撮像画像からはみ出しているか否かを、上記のステップＳ８０４と同様にして判断する。

この判断の結果、拡大後の撮像画像の端部に位置している、もしくは拡大後の撮像画像からはみ出している場合には、処理はステップＳ１１０６に進む。一方、拡大後の撮像画像の端部に位置しておらず、且つ拡大後の撮像画像からはみ出していない場合には、処理はステップＳ１１０５に進む。

ステップＳ１１０５では、補正部４０２は、上記のステップＳ８０５と同様にして、最大の類似度を求めたテンプレートの配置位置をマーク位置として特定する。そして補正部４０２は、該類似度と、該マーク位置と、ステップＳ１１０２における拡大倍率と、のセットをメモリに格納する。

ステップＳ１１０６では、補正部４０２は、上記のステップＳ８０６と同様にして、最大の類似度を求めたテンプレートの配置位置をマーク位置として特定する。そして補正部４０２は、該類似度と、該マーク位置と、ステップＳ１１０２における拡大倍率と、のセットをメモリに格納する。

ステップＳ１１０７では、補正部４０２は、上記の拡大倍率範囲における全ての拡大倍率についてステップＳ１１０２～Ｓ１１０６の処理を行ったか否かを判断する。この判断の結果、上記の拡大倍率範囲における全ての拡大倍率についてステップＳ１１０２～Ｓ１１０６の処理を行った場合には、処理はステップＳ１１０８に進む。一方、上記の拡大倍率範囲における拡大倍率のうち未だステップＳ１１０２～Ｓ１１０６の処理を行っていない拡大倍率が残っている場合には、処理はステップＳ１１０２に進む。

ステップＳ１１０８では、補正部４０２は、メモリに格納されているそれぞれのセット中の「類似度」のうち最大の「類似度」を含むセットを選択セットとして選択する。そして補正部４０２は、選択セット中のマーク位置に、選択セット中の「拡大倍率」の逆数を掛けて得られる位置を、最終マーク位置として求める。また、補正部４０２は、テンプレートのサイズに、選択セット中の「拡大倍率」の逆数を掛けて得られるサイズを、最終マークサイズとして求める。そして補正部４０２は、検出部４０１が求めたマーク位置を該最終マーク位置に補正し、検出部４０１が求めたマークサイズを該最終マークサイズに補正する。ただし、マーク位置とマークサイズの補正は、テンプレートの位置とサイズおよび拡大倍率に基づいていれば他の方法で行ってもよい。

調整実行部４０３は、ステップＳ１１０８で補正されたマーク位置およびマークサイズを用いて、マスクステージ１０２の位置の調整、基板ステージ１０４の位置の調整、画像撮像部１０５のレンズ倍率の調整、のうち１以上を行う。

なお、本実施形態においてそれぞれ異なるサイズのテンプレートを用いる場合には、ステップＳ１１０８に加えて上記のステップＳ８０８と同様の処理を行い、マーク位置とマークサイズの補正を行うためのテンプレートと類似度を選択する。

［第４の実施形態］
第１の実施形態では、補正部４０２は、あらかじめ用意されたテンプレートを用いてテンプレートマッチングを行っている。これに対し、本実施形態では、補正部４０２により補正されたマーク位置およびマークサイズ（一方のみが補正されているケースも含む）を有する画像領域内の画像を新たなテンプレートとして「主制御部１０８が有するメモリ」に登録する。

例えば、補正部４０２は、撮像画像から、上記のステップＳ８０８において補正したマーク位置およびマークサイズ（一方のみが補正されているケースも含む）を有する画像領域内の画像を抽出する。そして補正部４０２は、該抽出した画像を新たなテンプレートとして「主制御部１０８が有するメモリ」に登録する。

これにより、同一条件下での撮像が続く場合には、画像の特性が近いテンプレートでテンプレートマッチングを行うことができるため、テンプレートマッチングの精度の向上が期待できる。

［第５の実施形態］
本実施形態では、検出部４０１が検出したマークのうち、マークとしての確度（マーク確度）が高いマークについてのみマーク位置およびマークサイズを出力し、マーク確度が低いマークについてはマーク位置およびマークサイズは出力しない。つまり、バウンディングボックスは、マーク確度が高いマークについてのみ設定されることになる。

例えば、検出部４０１は、撮像画像からマークを検出するために用いたニューラルネットワークにおける最終層であるソフトマックス層の出力値（学習したマークに対する尤度）をマーク確度として取得する。そして検出部４０１は、該マーク確度が閾値以上のマークのマーク位置およびマークサイズを出力し、該マーク確度が閾値未満のマークのマーク位置およびマークサイズは出力しない。なお、検出部４０１がマーク確度を取得するための方法は、ニューラルネットワークを用いた上記の方法に限らない。

このような構成により、マーク確度が高いマークに対応するバウンディングボックスに基づいて得られたマーク位置およびマークサイズを用いて、アライメント実施することができる。

なお、撮像画像から閾値以上のマーク確度のマークが検出されなかった場合には、該撮像画像にはバウンディングボックスが設定されないことになるので、該撮像画像はアライメントには使用されず、主制御部１０８は、次に取得する撮像画像を対象に動作する。このような主制御部１０８の動作について、図１２のフローチャートに従って説明する。

ステップＳ１２０１では、検出部４０１は、撮像画像から検出したマークのマーク確度を信頼度として取得し、該信頼度が閾値以上であるか否かを判断する。この判断の結果、信頼度が閾値以上のマークがあれば、処理はステップＳ１２０２に進み、信頼度が閾値以上のマークがない場合には、図１２のフローチャートに従った処理は終了する。

ステップＳ１２０２では、検出部４０１より後段の機能部において、信頼度が閾値以上のマークに対応するバウンディングボックスに基づく処理が行われ、その結果、信頼度が閾値以上のマークのマーク位置およびマークサイズに基づくアライメントが行われる。

このように、本実施形態によれば、信頼度が閾値以上のマークのマーク位置およびマークサイズに基づくアライメントが行われ、信頼度が閾値未満のマークについてはアライメントには関与しない。そのため、信頼度の低いマークの検出結果に基づく精度の悪いアライメントを防ぐことができる。

［第６の実施形態］
本実施形態では、テンプレートマッチングにおける最大類似度が高いマークについてのみマーク位置およびマークサイズを補正し、該補正したマーク位置およびマークサイズに基づいてアライメントを行う。

例えば、補正部４０２は、最大類似度が閾値以上のマークについてのみ、マーク位置およびマークサイズの補正を行い、最大類似度が閾値未満のマークについては、マーク位置およびマークサイズの補正は行わない。調整実行部４０３は、補正部４０２により補正されたマーク位置およびマークサイズに基づいてアライメントを行い、補正部４０２によって補正されていないマーク位置およびマークサイズはアライメントには使用しない。

つまり、撮像画像において、最大類似度が閾値以上のマークがなければ、マーク位置およびマークサイズの補正は行われないため、該撮像画像はアライメントには使用されず、主制御部１０８は、次に取得する撮像画像を対象に動作する。このような主制御部１０８の動作について、図１３のフローチャートに従って説明する。

ステップＳ１３０１では、補正部４０２は、撮像画像から検出したマークについて求めた最大類似度が閾値以上であるか否かを判断する。この判断の結果、最大類似度が閾値以上のマークがあれば、処理はステップＳ１３０２に進み、最大類似度が閾値以上のマークがない場合には、図１３のフローチャートに従った処理は終了する。

ステップＳ１３０２では、調整実行部４０３は、最大類似度が閾値以上のマークについて補正部４０２により補正されたマーク位置およびマークサイズに基づいてアライメントを行う。

また、上記の各実施形態では、マスクマークおよび基板マーク（つまり２個のマーク）を含む撮像画像を用いてアライメントを行うケースについて説明した。しかし、上記のアライメント装置は、１個のマーク（マスクマークのみ、基板マークのみ、もしくはその他の種類のマークのみ）を含む撮像画像を用いたアライメントを行うケースにも同様に適用可能である。この場合、アライメント装置は、露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する。そしてアライメント装置は、該検出されたマークの位置およびサイズを、該撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する。そしてアライメント装置は、該補正した位置およびサイズに基づいて、該ステージの位置、該撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する。

また、上記の各実施形態で使用した数値、処理タイミング、処理順、処理の主体、データ（情報）の取得方法／送信先／送信元／格納場所などは、具体的な説明を行うために一例として挙げたもので、このような一例に限定することを意図したものではない。

また、以上説明した各実施形態の一部若しくは全部を適宜組み合わせて使用しても構わない。また、以上説明した各実施形態の一部若しくは全部を選択的に使用しても構わない。

（その他の実施形態）
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

本明細書の発明は、以下のアライメント装置、アライメント方法、コンピュータプログラムを含む。

（項目１）
露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する検出手段と、
前記検出手段により検出されたマークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する補正手段と、
前記補正手段が補正した位置およびサイズに基づいて、前記ステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する調整手段と
を備えることを特徴とするアライメント装置。

（項目２）
前記補正手段は、前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスおよび該バウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、前記検出手段により検出されたマークのバウンディングボックスの位置およびサイズを、該探索領域に対するテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする項目１に記載のアライメント装置。

（項目３）
前記補正手段は、前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスが前記撮像画像の端部に位置するかを判断し、該端部に位置すると判断されたバウンディングボックスを拡張した拡張バウンディングボックスを設定し、該拡張バウンディングボックスおよび該拡張バウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、テンプレートにおいて前記撮像画像と重なる部分を用いて該探索領域に対するテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする項目１または２に記載のアライメント装置。

（項目４）
前記補正手段は、前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスのうち条件を満たすマークのバウンディングボックスおよび該条件を満たすマークのバウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、該条件を満たすマークのバウンディングボックスの位置およびサイズを、該探索領域に対するテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする項目１に記載のアライメント装置。

（項目５）
前記補正手段は、それぞれ異なるサイズのテンプレートを用いて、前記探索領域に対するテンプレートマッチングを行い、最も高い類似度のテンプレートマッチングにより得られるマークの位置およびサイズに補正することを特徴とする項目２ないし４のいずれか１項目に記載のアライメント装置。

（項目６）
前記補正手段は、前記撮像画像および前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスをそれぞれ異なるサイズに拡大し、該拡大したバウンディングボックスおよび該拡大したバウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、１つのテンプレートを用いて、該探索領域に対するテンプレートマッチングを行い、前記検出手段により検出されたマークの位置およびサイズを、該テンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに基づいて補正することを特徴とする項目１に記載のアライメント装置。

（項目７）
さらに、
前記撮像画像から、前記補正手段が補正した位置およびサイズを有する画像領域内の画像を抽出し、該抽出した画像を新たなテンプレートとして登録する登録手段を備えることを特徴とする項目１ないし６のいずれか１項目に記載のアライメント装置。

（項目８）
前記マークは、基板に設けられた基板マークと、該基板に転写すべきパターンが描画されているマスクに設けられているマスクマークと、を含むことを特徴とする項目１ないし７のいずれか１項目に記載のアライメント装置。

（項目９）
前記調整手段は、前記補正手段が補正した前記基板マークの位置およびサイズ、前記補正手段が補正した前記マスクマークの位置およびサイズ、に基づいて、前記基板を保持する基板ステージの位置、前記マスクを保持するマスクステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整することを特徴とする項目８に記載のアライメント装置。

（項目１０）
前記補正手段は、前記テンプレートマッチングにおける類似度が閾値以上となるマークについて、前記検出手段により検出された該マークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする項目１に記載のアライメント装置。

（項目１１）
前記検出手段は、ニューラルネットワークを用いて前記撮像画像から前記マークを検出することを特徴とする項目１ないし１０のいずれか１項目に記載のアライメント装置。

（項目１２）
前記アライメント装置は、前記露光装置に搭載されていることを特徴とする項目１ないし１１のいずれか１項目に記載のアライメント装置。

（項目１３）
アライメント装置が行うアライメント方法であって、
前記アライメント装置の検出手段が、露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する検出工程と、
前記アライメント装置の補正手段が、前記検出工程で検出されたマークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する補正工程と、
前記アライメント装置の調整手段が、前記補正工程で補正した位置およびサイズに基づいて、前記ステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する調整工程と
を備えることを特徴とするアライメント方法。

（項目１４）
コンピュータを、項目１ないし１２のいずれか１項目に記載のアライメント装置の各手段として機能させるためのコンピュータプログラム。

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

１０１：マスク １０２：マスクステージ １０３：基板 １０４：基板ステージ １０５：画像撮像部 １０６：照明光学系 １０７：投影光学系 １０８：主制御部

Claims (14)

1. 露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する検出手段と、
   前記検出手段により検出されたマークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する補正手段と、
   前記補正手段が補正した位置およびサイズに基づいて、前記ステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する調整手段と
   を備えることを特徴とするアライメント装置。
2. 前記補正手段は、前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスおよび該バウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、前記検出手段により検出されたマークのバウンディングボックスの位置およびサイズを、該探索領域に対するテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
3. 前記補正手段は、前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスが前記撮像画像の端部に位置するかを判断し、該端部に位置すると判断されたバウンディングボックスを拡張した拡張バウンディングボックスを設定し、該拡張バウンディングボックスおよび該拡張バウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、テンプレートにおいて前記撮像画像と重なる部分を用いて該探索領域に対するテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
4. 前記補正手段は、前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスのうち条件を満たすマークのバウンディングボックスおよび該条件を満たすマークのバウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、該条件を満たすマークのバウンディングボックスの位置およびサイズを、該探索領域に対するテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
5. 前記補正手段は、それぞれ異なるサイズのテンプレートを用いて、前記探索領域に対するテンプレートマッチングを行い、最も高い類似度のテンプレートマッチングにより得られるマークの位置およびサイズに補正することを特徴とする請求項２に記載のアライメント装置。
6. 前記補正手段は、前記撮像画像および前記撮像画像から検出したマークのバウンディングボックスをそれぞれ異なるサイズに拡大し、該拡大したバウンディングボックスおよび該拡大したバウンディングボックスの周辺領域を含む領域を探索領域として設定し、１つのテンプレートを用いて、該探索領域に対するテンプレートマッチングを行い、前記検出手段により検出されたマークの位置およびサイズを、該テンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに基づいて補正することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
7. さらに、
   前記撮像画像から、前記補正手段が補正した位置およびサイズを有する画像領域内の画像を抽出し、該抽出した画像を新たなテンプレートとして登録する登録手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
8. 前記マークは、基板に設けられた基板マークと、該基板に転写すべきパターンが描画されているマスクに設けられているマスクマークと、を含むことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
9. 前記調整手段は、前記補正手段が補正した前記基板マークの位置およびサイズ、前記補正手段が補正した前記マスクマークの位置およびサイズ、に基づいて、前記基板を保持する基板ステージの位置、前記マスクを保持するマスクステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整することを特徴とする請求項８に記載のアライメント装置。
10. 前記補正手段は、前記テンプレートマッチングにおける類似度が閾値以上となるマークについて、前記検出手段により検出された該マークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
11. 前記検出手段は、ニューラルネットワークを用いて前記撮像画像から前記マークを検出することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
12. 前記アライメント装置は、前記露光装置に搭載されていることを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
13. アライメント装置が行うアライメント方法であって、
    前記アライメント装置の検出手段が、露光装置が有する撮像装置により撮像された、該露光装置が有するステージに保持されている対象物に設けられているマークを含む撮像画像を取得し、該撮像画像から該マークを検出する検出工程と、
    前記アライメント装置の補正手段が、前記検出工程で検出されたマークの位置およびサイズを、前記撮像画像における該マークの領域を用いたテンプレートマッチングにより得られる該マークの位置およびサイズに補正する補正工程と、
    前記アライメント装置の調整手段が、前記補正工程で補正した位置およびサイズに基づいて、前記ステージの位置、前記撮像装置のレンズ倍率、のうち１以上を調整する調整工程と
    を備えることを特徴とするアライメント方法。
14. コンピュータを、請求項１ないし１２のいずれか１項に記載のアライメント装置の各手段として機能させるためのコンピュータプログラム。

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