JP2024062537A - センサーモジュール及びセンサーシステム - Google Patents

Abstract

【課題】センサーデバイスの内部で生成される基準電圧の異常を検出することが可能なセンサーモジュールを提供すること。【解決手段】第１センサーデバイスと、処理装置と、を備え、前記第１センサーデバイスは、第１センサー素子と、電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、前記処理装置は、前記電源電圧を生成する電源電圧生成回路と、前記第１検出信号を処理する信号処理回路と、前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する判定回路と、を有する、センサーモジュール。【選択図】図５

Description

本発明は、センサーモジュール及びセンサーシステムに関する。

特許文献１には、Ｘ軸角速度データを出力するＸ軸角速度センサーデバイスと、Ｙ軸角速度データを出力するＹ軸角速度センサーデバイスと、Ｚ軸角速度データを出力するＺ軸角速度センサーデバイスと、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の加速度データを出力する加速度センサーデバイスと、マイクロコントローラーと、Ｘ軸角速度センサーデバイス、Ｙ軸角速度センサーデバイス、及びＺ軸角速度センサーデバイスと、マイクロコントローラーの第１デジタルインターフェースとを電気的に接続する第１デジタルインターフェースバスと、加速度センサーデバイスと、マイクロコントローラーの第２デジタルインターフェースとを電気的に接続する第２デジタルインターフェースバスと、を含むセンサーモジュールが記載されている。

特開２０１９－１６３９５５号公報

一般に、センサーデバイスは、センサー素子と、当該センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための基準電圧を生成する基準電圧生成回路を内蔵しており、基準電圧にずれが生じた場合、異常なデータを出力するおそれがある。しかしながら、特許文献１に記載のセンサーモジュールでは、マイクロコントローラーは、各センサーデバイスの内部で生成される基準電圧の異常を検出することができないため、ホストデバイスが、マイクロコントローラーから異常なデータを取得して誤った演算を行うおそれがある。

本発明に係るセンサーモジュールの一態様は、
第１センサーデバイスと、
処理装置と、を備え、
前記第１センサーデバイスは、
第１センサー素子と、
電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
前記処理装置は、
前記電源電圧を生成する電源電圧生成回路と、
前記第１検出信号を処理する信号処理回路と、
前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する判定回路と、を有する。

本発明に係るセンサーモジュールの他の一態様は、
第１センサーデバイスと、
第１処理装置と、
第２センサーデバイスと、
第２処理装置と、
演算装置と、を備え、
前記第１センサーデバイスは、
第１センサー素子と、
第１電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
前記第１処理装置は、
前記第１電源電圧を生成する第１電源電圧生成回路と、
前記第１検出信号を処理する第１信号処理回路と、
前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第１判定回路と、を有し、
前記第２センサーデバイスは、
第２センサー素子と、
第２電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路と、
前記第２基準電圧が供給され、前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
前記第２処理装置は、
前記第２電源電圧を生成する第２電源電圧生成回路と、
前記第２検出信号を処理する第２信号処理回路と、
前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第２判定回路と、を有し、
前記演算装置は、
前記第１判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にあると判定し、かつ、前記第２判定回路が前記第２基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第２信号処理回路が処理して得られた第２データを用いずに前記第１信号処理回路が処理して得られた第１データを用いて演算し、
前記第１判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定し、かつ、前記第２判定回路が前記第２基準電圧が正常範囲にあると判定した場合、前記第１データを用いずに前記第２データを用いて演算する。

本発明に係るセンサーシステムの一態様は、
第１センサーデバイス及び第１処理装置を含む第１センサーモジュールと、
第２センサーデバイス及び第２処理装置を含む第２センサーモジュールと、
ホストデバイスと、を備え、
前記第１センサーデバイスは、
第１センサー素子と、
第１電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
前記第１処理装置は、
前記第１電源電圧を生成する第１電源電圧生成回路と、
前記第１検出信号を処理する第１信号処理回路と、
前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第１判定回路と、
前記第１信号処理回路が処理して得られた第１データ及び前記第１判定回路の判定結果を示す第１フラグ情報を前記ホストデバイスに出力する第１インターフェース回路と、を有し、
前記第２センサーデバイスは、
第２センサー素子と、
第２電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定
するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路と、
前記第２基準電圧が供給され、前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
前記第２処理装置は、
前記第２電源電圧を生成する第２電源電圧生成回路と、
前記第２検出信号を処理する第２信号処理回路と、
前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第２判定回路と、
前記第２信号処理回路が処理して得られた第２データ及び前記第２判定回路の判定結果を示す第２フラグ情報を前記ホストデバイスに出力する第２インターフェース回路と、を有し、
前記ホストデバイスは、
前記第１フラグ情報が前記第１基準電圧が正常範囲にあることを示し、かつ、前記第２フラグ情報が前記第２基準電圧が正常範囲にないことを示す場合、前記第２データを用いずに前記第１データを用いて演算し、
前記第１フラグ情報が前記第１基準電圧が正常範囲にないことを示し、かつ、前記第２フラグ情報が前記第２基準電圧が正常範囲にあることを示す場合、前記第１データを用いずに前記第２データを用いて演算する。

第１実施形態のセンサーモジュールの被装着面への固定態様を示す斜視図。 センサーモジュールを被装着面側から観察した斜視図。 センサーモジュールの分解斜視図。 回路基板の斜視図。 第１実施形態のセンサーシステムの構成を示す図。 角速度センサーデバイスの構成例を示す図。 加速度センサーデバイスの構成例を示す図。 第１実施形態における処理装置の構成例を示す図。 第１実施形態における判定手順の一例を示すフローチャート図。 第２実施形態における処理装置の構成例を示す図。 第２実施形態における判定手順の一例を示すフローチャート図。 第３実施形態のセンサーシステムの構成を示す図。 ６Ｄｏｆセンサーデバイスの構成例を示す図。 第３実施形態における処理装置の構成例を示す図。 第３実施形態における判定手順の一例を示すフローチャート図。 第４実施形態のセンサーシステムの構成を示す図。 第５実施形態のセンサーシステムの構成を示す図。

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１．第１実施形態
１－１．センサーモジュールの構造
図１は、第１実施形態のセンサーシステムに用いられるセンサーモジュールの被装着面への固定態様を示す斜視図である。図２は、センサーモジュールを被装着面側から観察した斜視図である。まず、第１実施形態におけるセンサーモジュール２の概要について説明する。センサーモジュール２は、例えば、自動車や、ロボットなどの被装着体の挙動を検出する。

図１に示すように、センサーモジュール２は、平面形状が略正方形の直方体をなしており、正方形の一辺の長さが数センチ程度とコンパクトに構成されている。センサーモジュール２の対角線方向には２ヶ所の切欠き穴５２が設けられている。センサーモジュール２は、切欠き穴５２に挿通される２本のネジ８０により、自動車などの被装着体の被装着面８１に固定される。なお、被装着体は自動車などの運動体に限らず、例えば、橋梁や、高架軌道などの建造物であっても良い。建造物に取付けられる場合は、例えば、建造物の健全度をチェックする構造ヘルスモニタリングシステムとして用いられる。

図２に示すように、センサーモジュール２は、直方体状のアウターケース５１の中にインナーケース７０を収納した構成となっている。インナーケース７０には、長方形状の開口部７１が形成されている。以下、この開口部７１の長辺方向をＹ（＋）方向とする。また、Ｙ（＋）方向と直交する方向をＸ（＋）方向とし、アウターケース５１の厚さ方向をＺ（＋）として座標軸で示して説明する。なお、インナーケース７０の開口部７１からは、プラグ型のコネクター６６が露出しており、Ｙ（＋）方向はコネクター６６における複数のピンの配列方向と一致している。また、この座標軸は、センサーモジュール２の検出軸である。

図３は、センサーモジュール２の分解斜視図である。図３に示すように、センサーモジュール２は、アウターケース５１、接合部材６０、回路基板６５、インナーケース７０などから構成される。

アウターケース５１は、外形が直方体をなした箱状の筐体である。アウターケース５１の材質は、例えば、アルミニウムであるが、他の金属やセラミックであってもよい。アウターケース５１の外側には、前述した２つの切欠き穴５２が形成されている。ただし、アウターケース５１に丸穴等の貫通孔が形成され、当該貫通孔がネジ止めされてもよい。あるいは、アウターケース５１の側面にフランジが形成され、フランジ部分がネジ止めされてもよい。

アウターケース５１には、回路基板６５がセットされた状態のインナーケース７０を収納するための収納部５５が設けられている。収納部５５は、底部５３ａを底面とした第１凹部５３と、第１凹部５３を囲う受け部５４ａを有する第２凹部５４とから構成される。第１凹部５３には、回路基板６５が収納される。受け部５４ａは、底部５３ａから階段状に立ち上がったリング状のインナーケース７０の受け部であり、第２凹部５４には、接合部材６０を介してインナーケース７０が収納される。接合部材６０は、アウターケース５１とインナーケース７０との間に配置される樹脂製の緩衝部材である。接合部材６０は、受け部５４ａと同様なリング状の部材であり、受け部５４ａの上にセットされる。

インナーケース７０は、回路基板６５を支持する部材であり、アウターケース５１の第２凹部５４に収納され得る形状に構成されている。インナーケース７０は、アウターケース５１と同じ材質で構成されている。インナーケース７０には、回路基板６５のコネクター６６を外部に露出させるための開口部７１と、回路基板６５に実装された電子部品を収納するための第３凹部７３とが設けられている。なお、実際には、第３凹部７３には樹脂が充填されるが、図３では図示が省略されている。また、アウターケース５１における収納部５５の第１凹部５３にも、同様に樹脂が充填され得るが、図３では図示が省略されている。

このような構成により、アウターケース５１の中に、回路基板６５を含むインナーケース７０が収納され一体化された状態で、図１に示したように、２本のネジ８０により、被装着体の被装着面８１にセンサーモジュール２が固定されて使用される。

図４は、回路基板６５の斜視図である。回路基板６５は、複数のスルーホールが形成された多層基板であり、ガラスエポキシ基板が用いられる。ただし、回路基板６５は、ガラスエポキシ基板に限られず、複数のセンサーデバイスや、電子部品、コネクターなどを実装可能なリジットな基板であればよく、例えば、コンポジット基板やセラミック基板が用いられてもよい。回路基板６５の外形は、平面視において一部が切り掛かれた変形の八角形に形成されている。回路基板６５のＺ（＋）側の面を第１面６５ａ、第１面６５ａとは反対側の面を第２面６５ｂという。

図４に示すように、回路基板６５におけるＸ（＋）方向の一辺の側面には、角速度センサーデバイス１０Ｘが実装されている。角速度センサーデバイス１０Ｘは、Ｘ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサーである。

回路基板６５におけるＹ（＋）方向の一辺の側面には、角速度センサーデバイス１０Ｙが実装されている。角速度センサーデバイス１０Ｙは、Ｙ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサーである。

回路基板６５の第１面６５ａには、コネクター６６、角速度センサーデバイス１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０などが実装されている。コネクター６６は、プラグ型のコネクターであり、複数のピンが等ピッチで配置されている２列の接続端子を備えている。端子数は、設計仕様に応じて適宜変更してもよい。

角速度センサーデバイス１０Ｚは、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサーである。角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、同じ構造のジャイロセンサーであり、例えば、水晶を材料とするセンサー素子を有し、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を検出する高精度なセンサーである。ただし、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、セラミックやシリコン等を材料とするセンサー素子を有してもよい。

加速度センサーデバイス２０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向の加速度を検出するセンサーである。加速度センサーデバイス２０は、例えば、水晶を材料とするセンサー素子を有する高精度なセンサーである。ただし、加速度センサーデバイス２０は、セラミックやシリコン等を材料とするセンサー素子を有してもよい。

回路基板６５の第２面６５ｂには、処理装置３０が実装されている。ただし、処理装置３０は、回路基板６５の第１面６５ａに実装されてもよい。処理装置３０は、例えばＭＣＵであり、１チップのＩＣとして構成されている。ＭＣＵは、Micro Controller Unitの略である。角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０は、それぞれ、回路基板６５に設けられた不図示の配線により処理装置３０と接続されている。なお、回路基板６５には、その他にも、例えば温度センサー等の複数の電子部品が実装されていてもよい。

１－２．センサーシステムの構成
次に、センサーモジュール２を用いた第１実施形態のセンサーシステム１の構成及び機能について説明する。また、センサーモジュール２の機能的な構成についても併せて説明する。図５は、第１実施形態のセンサーシステム１の構成を示す図である。図５に示すように、第１実施形態のセンサーシステム１は、センサーモジュール２とホストデバイス３とを備える。

センサーモジュール２は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚと、加速度センサーデバイス２０と、処理装置３０と、温度センサー４０と、を備える。なお、セン
サーモジュール２は、図５の構成要素の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

前述の通り、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、それぞれＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸回りの角速度を検出する。また、加速度センサーデバイス２０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向の加速度を検出する。角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０の各々は、外部接続用の端子である端子ＴＶＤ、端子ＴＶＬ、端子ＴＣＳ、端子ＴＣＫ、端子ＴＤＩ、端子ＴＤＯ及び端子ＴＲを有する。

角速度センサーデバイス１０Ｘは、所定の周期でＸ軸回りの角速度を検出してＸ軸角速度データを生成し、Ｘ軸角速度データの生成を完了する毎に、Ｘ軸角速度データの準備完了を知らせるデータレディー信号を生成する。このデータレディー信号は、データレディー信号ＤＲＤＹ１として、角速度センサーデバイス１０Ｘの端子ＴＲから出力され、処理装置３０の端子ＴＭＲ１に入力される。

角速度センサーデバイス１０Ｙは、所定の周期でＹ軸回りの角速度を検出してＹ軸角速度データを生成し、Ｙ軸角速度データの生成を完了する毎に、Ｙ軸角速度データの準備完了を知らせるデータレディー信号を生成する。このデータレディー信号は、データレディー信号ＤＲＤＹ２として、角速度センサーデバイス１０Ｙの端子ＴＲから出力され、処理装置３０の端子ＴＭＲ２に入力される。

角速度センサーデバイス１０Ｚは、所定の周期でＺ軸回りの角速度を検出してＺ軸角速度データを生成し、Ｚ軸角速度データの生成を完了する毎に、Ｚ軸角速度データの準備完了を知らせるデータレディー信号を生成する。このデータレディー信号は、データレディー信号ＤＲＤＹ３として、角速度センサーデバイス１０Ｚの端子ＴＲから出力され、処理装置３０の端子ＴＭＲ３に入力される。

加速度センサーデバイス２０は、所定の周期でＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の加速度を検出してＸ軸加速度データ、Ｙ軸加速度データ、Ｚ軸加速度データを含む３軸加速度データを生成し、３軸加速度データの生成を完了する毎に、３軸加速度データの準備完了を知らせるデータレディー信号を生成する。このデータレディー信号は、データレディー信号ＤＲＤＹ４として、加速度センサーデバイス２０の端子ＴＲから出力され、処理装置３０の端子ＴＭＲ４に入力される。

センサーモジュール２は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０と処理装置３０とを電気的に接続するデジタルインターフェースバスＢＳを含む。

デジタルインターフェースバスＢＳは、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０が行うインターフェース処理の通信規格に準拠したバスであり、クロック信号線やデータ信号線を含む。本実施形態では、デジタルインターフェースバスＢＳは、ＳＰＩの通信規格に準拠したバスである。ＳＰＩは、Serial Peripheral Interfaceの略である。具体的には、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０は、それぞれ、端子ＴＣＫ、端子ＴＤＩ、端子ＴＤＯを介してデジタルインターフェースバスＢＳに電気的に接続される。また、処理装置３０は、端子ＴＭＣＫ、端子ＴＭＤＯ、端子ＴＭＤＩを介してデジタルインターフェースバスＢＳに電気的に接続される。ここで、電気的に接続とは電気信号が伝達可能に接続されていることであり、電気信号による情報の伝達が可能となる接続である。ただし、デジタルインターフェースバスＢＳは、Ｉ２Ｃの通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃを発展した通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃの規格の一部を改良又は改変した通信規格などに準拠したバスで
あってもよい。Ｉ２Ｃは、Inter-Integrated Circuitの略である。

処理装置３０は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０に対してマスターとなるコントローラーである。処理装置３０は、集積回路装置であり、例えばＭＣＵなどのプロセッサーにより実現される。或いは、処理装置３０は、ゲートアレイなどの自動配置配線によるＡＳＩＣにより実現されてもよい。

処理装置３０は、端子ＴＭＣＳ１からチップセレクト信号ＸＭＣＳ１を出力し、端子ＴＭＣＳ２からチップセレクト信号ＸＭＣＳ２を出力し、端子ＴＭＣＳ３からチップセレクト信号ＸＭＣＳ３を出力し、端子ＴＭＣＳ４からチップセレクト信号ＸＭＣＳ４を出力する。チップセレクト信号ＸＭＣＳ１は角速度センサーデバイス１０Ｘの端子ＴＣＳに入力され、チップセレクト信号ＸＭＣＳ２は角速度センサーデバイス１０Ｙの端子ＴＣＳに入力され、チップセレクト信号ＸＭＣＳ３は角速度センサーデバイス１０Ｚの端子ＴＣＳに入力され、チップセレクト信号ＸＭＣＳ４は加速度センサーデバイス２０の端子ＴＣＳに入力される。

また、処理装置３０は、端子ＴＭＣＫからシリアルクロック信号ＭＳＣＬＫを出力し、端子ＴＭＤＯからシリアルデータ信号ＭＳＤＩを出力する。シリアルクロック信号ＭＳＣＬＫは、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０の端子ＴＣＫに共通に入力される。シリアルデータ信号ＭＳＤＩは、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０の端子ＴＤＩに共通に入力される。

角速度センサーデバイス１０Ｘは、チップセレクト信号ＸＭＣＳ１がアクティブ、例えばローレベルのとき、シリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及びシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、インターフェース処理を行う。例えば、シリアルデータ信号ＭＳＤＩがＸ軸角速度データの読み出しコマンドである場合、角速度センサーデバイス１０Ｘは、端子ＴＤＯにＸ軸角速度データを出力する。

角速度センサーデバイス１０Ｙは、チップセレクト信号ＸＭＣＳ２がアクティブのとき、シリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及びシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、インターフェース処理を行う。例えば、シリアルデータ信号ＭＳＤＩがＹ軸角速度データの読み出しコマンドである場合、角速度センサーデバイス１０Ｙは、端子ＴＤＯにＹ軸角速度データを出力する。

角速度センサーデバイス１０Ｚは、チップセレクト信号ＸＭＣＳ３がアクティブのとき、シリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及びシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、インターフェース処理を行う。例えば、シリアルデータ信号ＭＳＤＩがＺ軸角速度データの読み出しコマンドである場合、角速度センサーデバイス１０Ｚは、端子ＴＤＯにＺ軸角速度データを出力する。

加速度センサーデバイス２０は、チップセレクト信号ＸＭＣＳ４がアクティブのとき、シリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及びシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、インターフェース処理を行う。例えば、シリアルデータ信号ＭＳＤＩが３軸加速度データの読み出しコマンドである場合、加速度センサーデバイス２０は、端子ＴＤＯに３軸加速度データを出力する。

処理装置３０は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データを取得して各種の演算を行い、所定の周期で計測データを生成する。具体的には、処理装置３０は、端子ＴＭＲ１からデータレディー信号ＤＲＤＹ１が入力されると、
角速度センサーデバイス１０ＸにＸ軸角速度データの読み出しコマンドを出力してＸ軸角速度データを読み出し、Ｘ軸角速度データに対して各種の演算処理を行う。また、処理装置３０は、端子ＴＭＲ２からデータレディー信号ＤＲＤＹ２が入力されると、角速度センサーデバイス１０ＹにＹ軸角速度データの読み出しコマンドを出力してＹ軸角速度データを読み出し、Ｙ軸角速度データに対して各種の演算処理を行う。また、処理装置３０は、端子ＴＭＲ３からデータレディー信号ＤＲＤＹ３が入力されると、角速度センサーデバイス１０ＺにＺ軸角速度データの読み出しコマンドを出力してＺ軸角速度データを読み出し、Ｚ軸角速度データに対して各種の演算処理を行う。また、処理装置３０は、端子ＴＭＲ４からデータレディー信号ＤＲＤＹ４が入力されると、加速度センサーデバイス２０に３軸加速度データの読み出しコマンドを出力して３軸加速度データを読み出し、３軸加速度データに対して各種の演算処理を行う。

例えば、処理装置３０は、温度センサー４０から出力されて端子ＴＳＥＮから入力される温度信号ＴＭＰＯに基づいて、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各データに対する温度補正演算を行ってもよい。温度補正演算は、あらかじめ決められた温度範囲において、温度に応じて各データを増加又は減少させることにより、各データの温度依存性を低減させるように補正する演算である。なお、温度センサー４０は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０のいずれかに設けられてもよい。

また、処理装置３０は、各データに対して、感度補正演算、オフセット補正演算、アラインメント補正演算等を行ってもよい。感度補正演算は、各軸の検出感度が基準値となるように補正する演算である。オフセット補正演算は、各軸のゼロ点が基準値となるように補正する演算である。アラインメント補正演算は、各センサー素子の検出軸とセンサーモジュール２のＸ軸、Ｙ軸又はＺ軸とのずれによる誤差を補正する演算である。

また、処理装置３０は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに基づいて、センサーモジュール２の姿勢、速度、角度等を算出する演算を行ってもよい。

なお、処理装置３０は、一連の演算を行う周期がデータレディー信号ＤＲＤＹ１，ＤＲＤＹ２，ＤＲＤＹ３，ＤＲＤＹ４の各周期よりも長い場合、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの一部を間引くダウンサンプリング演算を行ってもよい。

本実施形態では、処理装置３０は、端子ＴＨＣＳ、端子ＴＨＣＫ、端子ＴＨＤＩ、端子ＴＨＤＯ及び端子ＴＨＲを介してホストデバイス３と電気的に接続される。ホストデバイス３は、処理装置３０に対してマスターとなるコントローラーである。処理装置３０は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに対する一連の演算を行って計測データの生成を完了する毎に、端子ＴＨＲから計測データの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹをホストデバイス３に出力する。ホストデバイス３は、データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、ＳＰＩの通信規格に準拠した、チップセレクト信号ＸＨＣＳ、シリアルクロック信号ＨＳＣＬＫ及び出力指示情報としての計測データの読み出しコマンドであるシリアルデータ信号ＨＳＤＩを処理装置３０に出力する。処理装置３０は、端子ＴＨＣＳから入力されるチップセレクト信号ＸＨＣＳがアクティブ、例えばローレベルのとき、端子ＴＨＣＫから入力されるシリアルクロック信号ＨＳＣＬＫ及び端子ＴＨＤＩから入力されるシリアルデータ信号ＨＳＤＩに基づいて、ＳＰＩの通信規格のインターフェース処理を行い、端子ＴＨＤＯに計測データを出力する。処理装置３０の端子ＴＨＤＯから出力された計測データは、シリアルデータ信号ＨＳＤＯとしてホストデバイス３に入力される。ただし、処理装置３０は、Ｉ２Ｃの通信規格や
、ＳＰＩ又はＩ２Ｃを発展した通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃの規格の一部を改良又は改変した通信規格などのインターフェース処理を行ってもよい。

本実施形態では、処理装置３０は、端子ＴＶＩＮに、ホストデバイス３から供給される電圧ＶＩＮが入力され、電圧ＶＩＮに基づいて、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０の電源電圧ＶＤＤを生成し、電源電圧ＶＤＤを端子ＴＶＤから出力する。角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０は、それぞれ、端子ＴＶＤに入力される電源電圧ＶＤＤに基づいて、ゼロ点に対応する基準電圧を生成する。角速度センサーデバイス１０Ｘが生成する基準電圧は、角速度センサーデバイス１０Ｘの端子ＴＶＬから出力され、基準電圧ＶＤＤＬ１として処理装置３０の端子ＴＶＬ１に入力される。また、角速度センサーデバイス１０Ｙが生成する基準電圧は、角速度センサーデバイス１０Ｙの端子ＴＶＬから出力され、基準電圧ＶＤＤＬ２として処理装置３０の端子ＴＶＬ２に入力される。また、角速度センサーデバイス１０Ｚが生成する基準電圧は、角速度センサーデバイス１０Ｚの端子ＴＶＬから出力され、基準電圧ＶＤＤＬ３として処理装置３０の端子ＴＶＬ３に入力される。また、加速度センサーデバイス２０が生成する基準電圧は、加速度センサーデバイス２０の端子ＴＶＬから出力され、基準電圧ＶＤＤＬ４として処理装置３０の端子ＴＶＬ４に入力される。

処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４がそれぞれ正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示すフラグ情報を生成する。基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にない場合は、Ｘ軸角速度データの信頼性が低いことを意味する。また、基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にない場合は、Ｙ軸角速度データの信頼性が低いことを意味する。また、基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にない場合は、Ｚ軸角速度データの信頼性が低いことを意味する。また、基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にない場合は、３軸加速度データの信頼性が低いことを意味する。例えば、ホストデバイス３は、データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、計測データとともにフラグ情報を読み出し、フラグ情報に基づいて、計測データに含まれるＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データのうちの信頼性が低いデータを用いずに各種の演算処理を行ってもよいし、信頼性が低いデータに関する情報を不図示の表示装置や音出力装置を介してユーザーに通知してもよい。

１－３．角速度センサーデバイスの構成
次に、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚの具体的な構成について説明する。なお、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは同じ構成であるものとする。図６は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚの構成例を示す図である。図６に示すように、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚは、それぞれ、センサー素子１１、駆動回路１２、検出回路１３、インターフェース回路１４及びレギュレーター１５を含む。

センサー素子１１は、Ｘ軸、Ｙ軸又はＺ軸を検出軸として角速度を検出するセンサー素子である。センサー素子１１は、例えば、水晶を材料とし、振動する物体に加わるコリオリの力から角速度を高精度に検出する。ただし、センサー素子１１は、セラミックやシリコン等を材料とするセンサー素子であってもよい。

レギュレーター１５は、端子ＴＶＤから入力される電源電圧ＶＤＤに基づいて、センサー素子１１から出力される信号にオフセットを設定するための基準電圧ＶＤＤＬを生成する基準電圧生成回路である。なお、電源電圧ＶＤＤは、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが動作するために必要な電源電圧であり、駆動回路１２、検出回路１３、インターフェース回路１４にも供給される。電源電圧ＶＤＤに代えて他の電源電圧を、駆
動回路２２、検出回路２３やインターフェース回路２４に供給してもよい。

駆動回路１２は、基準電圧ＶＤＤＬが供給され、センサー素子１１が角速度を検出可能な状態になるように、センサー素子１１を駆動する回路である。

検出回路１３は、基準電圧ＶＤＤＬが供給され、センサー素子１１から出力される信号に基づく検出信号ＳＤを生成する。具体的には、検出回路１３は、センサー素子１１から出力される信号を所定の周期で取得し、所定の演算を行って角速度に応じた電圧のアナログ信号を生成する。当該アナログ信号の電圧は、センサー素子１１に加わる角速度がゼロのときに基準電圧ＶＤＤＬとなる。例えば、基準電圧ＶＤＤＬは、電源電圧ＶＤＤの１／２の電圧であってもよい。そして、検出回路１３は、当該アナログ信号をデジタル信号に変換して検出信号ＳＤを生成する。また、検出回路１３は、検出信号ＳＤの生成を完了する毎に検出信号ＳＤの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹを生成する。検出信号ＳＤはインターフェース回路１４に出力され、データレディー信号ＤＲＤＹは、端子ＴＲから出力され、前述のデータレディー信号ＤＲＤＹ１、データレディー信号ＤＲＤＹ２又はデータレディー信号ＤＲＤＹ３として処理装置３０に入力される。

インターフェース回路１４は、端子ＴＣＳから入力されるチップセレクト信号ＸＭＣＳ１、チップセレクト信号ＸＭＣＳ２又はチップセレクト信号ＸＭＣＳ３がアクティブのとき、端子ＴＣＫから入力されるシリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及び端子ＴＤＩから入力されるシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、ＳＰＩの通信規格のインターフェース処理を行う。例えば、インターフェース回路１４は、端子ＴＤＩから入力される読み出しコマンドに応じて、検出回路１３から出力される検出信号ＳＤを取得し、取得した検出信号ＳＤをシリアルデータに変換し、端子ＴＤＯに出力する。この端子ＴＤＯから出力されるシリアルデータは、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ又はＺ軸角速度データとして、処理装置３０に入力される。

１－４．加速度センサーデバイスの構成
次に、加速度センサーデバイス２０の具体的な構成について説明する。図７は、加速度センサーデバイス２０の構成例を示す図である。図７に示すように、加速度センサーデバイス２０は、センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚ、駆動回路２２、検出回路２３、インターフェース回路２４及びレギュレーター２５を含む。

センサー素子２１Ｘは、Ｘ軸を検出軸として加速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子２１Ｙは、Ｙ軸を検出軸として加速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子２１Ｚは、Ｚ軸を検出軸として加速度を検出するセンサー素子である。センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、例えば、水晶を材料とし、加速度を高精度に検出する。ただし、センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、セラミックやシリコン等を材料とするセンサー素子であってもよい。

レギュレーター２５は、端子ＴＶＤから入力される電源電圧ＶＤＤに基づいて、センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚからそれぞれ出力される信号にオフセットを設定するための基準電圧ＶＤＤＬを生成する基準電圧生成回路である。なお、電源電圧ＶＤＤは、加速度センサーデバイス２０が動作するために必要な電源電圧であり、駆動回路２２、検出回路２３、インターフェース回路２４にも供給される。電源電圧ＶＤＤに代えて他の電源電圧を、駆動回路２２、検出回路２３やインターフェース回路２４に供給してもよい。。

駆動回路２２は、基準電圧ＶＤＤＬが供給され、センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚが加速度を検出可能な状態になるように、センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚを駆動する回路である。

検出回路２３は、基準電圧ＶＤＤＬが供給され、センサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚからそれぞれ出力される信号に基づく検出信号ＳＤを生成する。具体的には、検出回路２３は、センサー素子２１Ｘから出力される信号を所定の周期で取得し、所定の演算を行って加速度に応じた電圧のアナログ信号を生成する。当該アナログ信号の電圧は、センサー素子２１Ｘに加わる加速度がゼロのときに基準電圧ＶＤＤＬとなる。例えば、基準電圧ＶＤＤＬは、電源電圧ＶＤＤの１／２の電圧であってもよい。検出回路２３は、当該アナログ信号をデジタル信号に変換してＸ軸検出信号を生成する。また、検出回路２３は、センサー素子２１Ｙから出力される信号を所定の周期で取得し、所定の演算を行って加速度に応じた電圧のアナログ信号を生成する。当該アナログ信号の電圧は、センサー素子２１Ｙに加わる加速度がゼロのときに基準電圧ＶＤＤＬとなる。検出回路２３は、当該アナログ信号をデジタル信号に変換してＹ軸検出信号を生成する。また、検出回路２３は、センサー素子２１Ｚから出力される信号を所定の周期で取得し、所定の演算を行って加速度に応じた電圧のアナログ信号を生成する。当該アナログ信号の電圧は、センサー素子２１Ｚに加わる加速度がゼロのときに基準電圧ＶＤＤＬとなる。検出回路２３は、当該アナログ信号をデジタル信号に変換してＺ軸検出信号を生成する。そして、検出回路２３は、Ｘ軸検出信号、Ｙ軸検出信号及びＺ軸検出信号を含む検出信号ＳＤを生成する。また、検出回路２３は、検出信号ＳＤの生成を完了する毎に検出信号ＳＤの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹを生成する。検出信号ＳＤはインターフェース回路２４に出力され、データレディー信号ＤＲＤＹは、端子ＴＲから出力され、前述のデータレディー信号ＤＲＤＹ４として処理装置３０に入力される。

インターフェース回路２４は、端子ＴＣＳから入力されるチップセレクト信号ＸＭＣＳ４がアクティブのとき、端子ＴＣＫから入力されるシリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及び端子ＴＤＩから入力されるシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、ＳＰＩの通信規格のインターフェース処理を行う。例えば、インターフェース回路２４は、端子ＴＤＩから入力される読み出しコマンドに応じて、検出回路２３から出力される検出信号ＳＤを取得し、取得した検出信号ＳＤをシリアルデータに変換し、端子ＴＤＯに出力する。この端子ＴＤＯから出力されるシリアルデータは、３軸加速度データとして処理装置３０に入力される。

１－５．処理装置の構成
次に、処理装置３０の具体的な構成について説明する。図８は、処理装置３０の構成例を示す図である。図８に示すように、処理装置３０は、デジタルインターフェース回路３１、信号処理回路３２、ホストインターフェース回路３３、Ａ／Ｄ変換回路３４、判定回路３５、メモリー３６及びレギュレーター３７を含む。

デジタルインターフェース回路３１は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０とのインターフェース処理を行う回路である。すなわち、デジタルインターフェース回路３１は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚのインターフェース回路１４及び加速度センサーデバイス２０のインターフェース回路２４との間でマスターとしてのインターフェース処理を行う。デジタルインターフェース回路３１は、端子ＴＭＣＳ、端子ＴＭＣＫ、端子ＴＭＤＯ、端子ＴＭＤＩを介してデジタルインターフェースバスＢＳに接続される。本実施形態では、デジタルインターフェース回路３１は、インターフェース回路１４及びインターフェース回路２４と同様に、ＳＰＩの通信規格のインターフェース処理を行う。ただし、デジタルインターフェース回路３１は、Ｉ２Ｃの通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃを発展した通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃの規格の一部を改良又は改変した通信規格などのインターフェース処理を行ってもよい。デジタルインターフェースバスＢＳ及びデジタルインターフェース回路３１は、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０に対して共通に
設けられていてもよいし、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０に対してそれぞれ個別に設けられていてもよい。

ホストインターフェース回路３３は、ホストデバイス３とのインターフェース処理を行う回路である。すなわち、ホストインターフェース回路３３は、ホストデバイス３との間でスレーブとしてのインターフェース処理を行う。ホストインターフェース回路３３は、端子ＴＨＣＳ、端子ＴＨＣＫ、端子ＴＨＤＯ、端子ＴＨＤＩを介して、ホストデバイス３に対してＳＰＩの通信規格のインターフェース処理を行う。ただし、ホストインターフェース回路３３は、Ｉ２Ｃの通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃを発展した通信規格や、ＳＰＩ又はＩ２Ｃの規格の一部を改良又は改変した通信規格などのインターフェース処理を行ってもよい。

信号処理回路３２は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データを処理する回路であり、これらの各データに対して各種の演算処理等を行う。また、信号処理回路３２は、デジタルインターフェース回路３１やホストインターフェース回路３３の制御処理等を行う。信号処理回路３２は、メモリー３６あるいはその他の記憶部に記憶されているプログラムを実行することにより、演算処理や制御処理を行ってもよい。

例えば、信号処理回路３２は、端子ＴＭＲ１からデータレディー信号ＤＲＤＹ１が入力される毎に、Ｘ軸角速度データの読み出しコマンドを、デジタルインターフェース回路３１を介して角速度センサーデバイス１０Ｘに出力し、角速度センサーデバイス１０Ｘから出力されるＸ軸角速度データを、デジタルインターフェース回路３１を介して取得する。また、信号処理回路３２は、端子ＴＭＲ２からデータレディー信号ＤＲＤＹ２が入力される毎に、Ｙ軸角速度データの読み出しコマンドを、デジタルインターフェース回路３１を介して角速度センサーデバイス１０Ｙに出力し、角速度センサーデバイス１０Ｙから出力されるＹ軸角速度データを、デジタルインターフェース回路３１を介して取得する。また、信号処理回路３２は、端子ＴＭＲ３からデータレディー信号ＤＲＤＹ３が入力される毎に、Ｚ軸角速度データの読み出しコマンドを、デジタルインターフェース回路３１を介して角速度センサーデバイス１０Ｚに出力し、角速度センサーデバイス１０Ｚから出力されるＺ軸角速度データを、デジタルインターフェース回路３１を介して取得する。また、信号処理回路３２は、端子ＴＭＲ４からデータレディー信号ＤＲＤＹ４が入力される毎に、３軸加速度データの読み出しコマンドを、デジタルインターフェース回路３１を介して加速度センサーデバイス２０に出力し、加速度センサーデバイス２０から出力される３軸加速度データを、デジタルインターフェース回路３１を介して取得する。そして、信号処理回路３２は、取得したＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各データに対して、各種の演算を実行する。

例えば、信号処理回路３２は、端子ＴＳＥＮから入力される温度信号ＴＭＰＯに基づいて、各データに対する温度補正演算を行う。また、信号処理回路３２は、各データに対して、感度補正演算、オフセット補正演算、アラインメント補正演算等を行う。なお、信号処理回路３２は、温度補正演算、感度補正演算、オフセット補正演算及びアラインメント補正演算の一部を行わなくてもよいし、他の補正演算を行ってもよい。

信号処理回路３２は、これらの一連の演算により、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに基づく計測データを算出する。なお、信号処理回路３２は、一連の演算を行う周期がデータレディー信号ＤＲＤＹ１，ＤＲＤＹ２，ＤＲＤＹ３，ＤＲＤＹ４の各周期よりも長い場合、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの一部を間引くダウンサンプリング演算を行った後、各種の演算処理を行う。

さらに、信号処理回路３２は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに基づいて、センサーモジュール２の姿勢、速度、角度等を算出する演算を行ってもよい。姿勢は、ロール、ピッチ、ヨーで表現されてもよいし、オイラー角やクォータニオンで表現されてもよい。

信号処理回路３２は、一連の演算が完了すると、データレディー信号ＤＲＤＹを、端子ＴＨＲを介してホストデバイス３に出力する。信号処理回路３２は、ホストデバイス３からの計測データの読み出しコマンドがホストインターフェース回路３３を介して入力されると、生成した計測データを、ホストインターフェース回路３３を介してホストデバイス３に出力する。

レギュレーター３７は、端子ＴＶＩＮから入力される電圧ＶＩＮに基づいて電源電圧ＶＤＤを生成する電源電圧生成回路である。レギュレーター３７が生成した電源電圧ＶＤＤは、端子ＴＶＤから角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０に出力される。なお、レギュレーター３７は、電圧ＶＩＮに基づいて、デジタルインターフェース回路３１、信号処理回路３２、ホストインターフェース回路３３、Ａ／Ｄ変換回路３４、判定回路３５及びメモリー３６が動作するために必要な電源電圧ＶＤＤＸも生成する。

Ａ／Ｄ変換回路３４は、端子ＴＶＬ１から入力される基準電圧ＶＤＤＬ１、端子ＴＶＬ２から入力される基準電圧ＶＤＤＬ２、端子ＴＶＬ３から入力される基準電圧ＶＤＤＬ３及び端子ＴＶＬ４から入力される基準電圧ＶＤＤＬ４を、時分割にデジタル信号に変換する。

判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４がそれぞれ正常範囲にあるか否かを判定する。具体的には、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４が基準電圧ＶＤＤＬ１を変換したデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が所定の範囲に含まれている場合は基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあると判定し、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が所定の範囲に含まれていない場合は基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定する。また、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４が基準電圧ＶＤＤＬ２を変換したデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ２}が所定の範囲に含まれている場合は基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあると判定し、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ２}が所定の範囲に含まれていない場合は基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないと判定する。また、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４が基準電圧ＶＤＤＬ３を変換したデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ３}が所定の範囲に含まれている場合は基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあると判定し、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ３}が所定の範囲に含まれていない場合は基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないと判定する。また、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４が基準電圧ＶＤＤＬ４を変換したデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ４}が所定の範囲に含まれている場合は基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定し、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ４}が所定の範囲に含まれていない場合は基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないと判定する。この所定の範囲の下限値及び上限値に対応する２つの閾値ＴＨＡ，ＴＨＢは、メモリー３６の不図示の不揮発性メモリーに記憶されており、判定回路３５は、当該不揮発性メモリーから閾値ＴＨＡ，ＴＨＢを読み出して、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４に対する判定を行う。

そして、判定回路３５は、それぞれの判定結果を示すフラグ情報を生成する。具体的には、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあると判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ１}を正常値、例えば０に設定し、基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ１}を異常値、例えば１に設定する。同様に、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあると判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ２}を正常値に設定
し、基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないと判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ２}を異常値に設定する。同様に、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあると判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ３}を正常値に設定し、基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないと判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ３}を異常値に設定する。同様に、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ４}を正常値に設定し、基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないと判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ４}を異常値に設定する。このようにして、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ１}，Ｆ_{ＶＤＤＬ２}，Ｆ_{ＶＤＤＬ３}，Ｆ_{ＶＤＤＬ４}を含むフラグ情報を生成する。判定回路３５は、ホストデバイス３からのフラグ情報の読み出しコマンドがホストインターフェース回路３３を介して入力されると、生成したフラグ情報を、ホストインターフェース回路３３を介してホストデバイス３に出力する。

判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定した場合、角速度センサーデバイス１０Ｘの動作を停止させてもよい。具体的には、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定した場合、停止信号ＳＰ１をアクティブ、例えばハイレベルやハイパルスに設定して信号処理回路３２に出力する。信号処理回路３２は、停止信号ＳＰ１がアクティブであれば、デジタルインターフェース回路３１を介して、角速度センサーデバイス１０Ｘに動作の停止を指示するコマンドを送信し、角速度センサーデバイス１０Ｘは当該コマンドを受けて動作を停止する。

同様に、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないと判定した場合、停止信号ＳＰ２をアクティブに設定して信号処理回路３２に出力することにより、角速度センサーデバイス１０Ｙの動作を停止させてもよい。同様に、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないと判定した場合、停止信号ＳＰ３をアクティブに設定して信号処理回路３２に出力することにより、角速度センサーデバイス１０Ｚの動作を停止させてもよい。同様に、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないと判定した場合、停止信号ＳＰ４をアクティブに設定して信号処理回路３２に出力することにより、加速度センサーデバイス２０の動作を停止させてもよい。

メモリー３６は、閾値ＴＨＡ，ＴＨＢ等の各種の情報を記憶する不揮発性メモリーを含み、さらに不図示のＲＡＭを含んでもよい。ＲＡＭは、Random Access Memoryの略である。ＲＡＭは、例えば、信号処理回路３２の作業領域として用いられてもよい。ホストデバイス３は、ホストインターフェース回路３３を介してメモリー３６に対する各種情報の読み出しや書き込みが可能であってもよい。

１－６．判定回路の処理手順
次に、判定回路３５による判定手順について説明する。図９は、判定回路３５による判定手順の一例を示すフローチャート図である。

図９に示すように、まず、工程Ｓ１０において、判定回路３５は、閾値ＴＨＡ，ＴＨＢを設定する。具体的には、判定回路３５は、メモリー３６に記憶されている閾値ＴＨＡ，ＴＨＢを読み出し、読み出した閾値ＴＨＡ，ＴＨＢを不図示の内部レジスターに設定する。

次に、工程Ｓ２０において、判定回路３５は、変数ｉを１に設定する。そして、工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ１が非アクティブである場合、工程Ｓ４０において、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４から出力される基準電圧ＶＤＤＬ１のデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}を取得する。

次に、工程Ｓ５０において、判定回路３５は、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が閾値ＴＨＡ以
上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれるか否かを判定する。すなわち、工程Ｓ５０において、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあるか否かを判定する。そして、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれている場合は、工程Ｓ６０において、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ１}を正常値に設定する。

工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、工程Ｓ７０において、判定回路３５は、停止信号ＳＰ１をアクティブに設定する。これにより、信号処理回路３２は、停止信号ＳＰ１を受けて角速度センサーデバイス１０Ｘの動作を停止させる。さらに、工程Ｓ８０において、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ１}を異常値に設定する。

工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ１がアクティブである場合は、判定回路３５は工程Ｓ４０～Ｓ８０の処理を行わない。

次に、変数ｉが１であり、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さいので、工程Ｓ１００において、判定回路３５は、変数ｉを１だけ増やして２に設定する。そして、工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ２が非アクティブである場合、判定回路３５は、工程Ｓ４０において基準電圧ＶＤＤＬ２のデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ２}を取得し、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ２}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれている場合は、工程Ｓ６０においてフラグＦ_{ＶＤＤＬ２}を正常値に設定する。一方、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ２}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、判定回路３５は、工程Ｓ７０において停止信号ＳＰ２をアクティブに設定し、工程Ｓ８０においてフラグＦ_{ＶＤＤＬ２}を異常値に設定する。工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ２がアクティブである場合は、判定回路３５は工程Ｓ４０～Ｓ８０の処理を行わない。

次に、変数ｉが２であり、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さいので、工程Ｓ１００において、判定回路３５は、変数ｉを１だけ増やして３に設定する。そして、工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ３が非アクティブである場合、判定回路３５は、工程Ｓ４０において基準電圧ＶＤＤＬ３のデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ３}を取得し、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ３}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれている場合は、工程Ｓ６０においてフラグＦ_{ＶＤＤＬ３}を正常値に設定する。一方、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ３}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、判定回路３５は、工程Ｓ７０において停止信号ＳＰ３をアクティブに設定し、工程Ｓ８０においてフラグＦ_{ＶＤＤＬ３}を異常値に設定する。工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ３がアクティブである場合は、判定回路３５は工程Ｓ４０～Ｓ８０の処理を行わない。

次に、変数ｉが３であり、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さいので、工程Ｓ１００において、判定回路３５は、変数ｉを１だけ増やして４に設定する。そして、工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ４が非アクティブである場合、判定回路３５は、工程Ｓ４０において基準電圧ＶＤＤＬ４のデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ４}を取得し、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ４}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれている場合は、工程Ｓ６０においてフラグＦ_{ＶＤＤＬ４}を正常値に設定する。一方、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ４}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、判定回路３５は、工程Ｓ７０において停止信号ＳＰ４をアクティブに設定し、工程Ｓ８０においてフラグＦ_{ＶＤＤＬ４}を異常値に設定する。工程Ｓ３０において停止信号ＳＰ４がアクティブである場合は、判定回路３５は工程Ｓ４０～Ｓ８０の処理を行わない。

次に、変数ｉが４であり、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さい条件が満たされず、判定回路３５は、工程Ｓ２００において判定を終了するまで、工程Ｓ２０～Ｓ１００
の処理を繰り返す。

なお、第１実施形態において、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０は、それぞれ、「第１センサーデバイス」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第１センサー素子」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第１基準電圧生成回路」の一例である。また、レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第１基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第１検出回路」の一例である。また、検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、それぞれ、「第１検出信号」の一例である。また、処理装置３０が有するレギュレーター３７は、「電源電圧生成回路」の一例である。

１－７．作用効果
以上に説明したように、第１実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置３０が有する判定回路３５が、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０の各々の内部で生成される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４が正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示すフラグ情報を生成するので、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を検出することができる。そして、ホストデバイス３は、フラグ情報に基づいて、計測データに含まれるＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々の信頼性を判断することができるので、計測データに基づく適切な演算を行うことができる。

また、第１実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々が正常範囲にないと判定した場合、異常なデータを生成するおそれがある角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０の各々の動作を停止させることにより、各センサーデバイスで無駄に消費される電力を削減することができる。

２．第２実施形態
以下、第２実施形態のセンサーシステムについて、第１実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付し、第１実施形態と重複する説明は省略または簡略し、主に第１実施形態と異なる内容について説明する。

第２実施形態のセンサーシステム１の構成は図５と同様であるので、その図示及び説明を省略する。また、第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚの機能的な構成は図６と同様であるので、その図示及び説明を省略する。また、第２実施形態における加速度センサーデバイス２０の機能的な構成は図７と同様であるので、その図示及び説明を省略する。

図１０は、第２実施形態における処理装置３０の構成例を示す図である。図１０において、図８と同様の構成要素には同じ符号が付されており、その説明を省略又は簡略する。図１０に示すように、第２実施形態における処理装置３０は、第１実施形態と同様、デジタルインターフェース回路３１、信号処理回路３２、ホストインターフェース回路３３、Ａ／Ｄ変換回路３４、判定回路３５、メモリー３６及びレギュレーター３７を含む。

第２実施形態では、Ａ／Ｄ変換回路３４は、端子ＴＶＬ１から入力される基準電圧ＶＤＤＬ１、端子ＴＶＬ２から入力される基準電圧ＶＤＤＬ２、端子ＴＶＬ３から入力される基準電圧ＶＤＤＬ３、端子ＴＶＬ４から入力される基準電圧ＶＤＤＬ４及びレギュレーター３７が生成した電源電圧ＶＤＤを、時分割にデジタル信号に変換する。

判定回路３５は、第１実施形態と同様、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４がそれぞれ正常範囲にあるか否かを判定する。さらに、第２実施形態では、判定回路３５は、電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定する。具体的には、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４が電源電圧ＶＤＤを変換したデジタル値Ｄ_ＶＤＤが所定の範囲に含まれている場合は電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあると判定し、デジタル値Ｄ_ＶＤＤが所定の範囲に含まれていない場合は電源電圧ＶＤＤが正常範囲にないと判定する。この所定の範囲の下限値及び上限値に対応する２つの閾値ＴＨＣ，ＴＨＤは、メモリー３６の不図示の不揮発性メモリーに記憶されており、判定回路３５は、当該不揮発性メモリーから閾値ＴＨＣ，ＴＨＤを読み出して、電源電圧ＶＤＤに対する判定を行う。

そして、判定回路３５は、それぞれの判定結果を示すフラグ情報を生成する。具体的には、第１実施形態と同様、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の判定結果に基づいてフラグＦ_{ＶＤＤＬ１}，Ｆ_{ＶＤＤＬ２}，Ｆ_{ＶＤＤＬ３}，Ｆ_{ＶＤＤＬ４}をそれぞれ正常値又は異常値に設定する。さらに、第２実施形態では、判定回路３５は、電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあると判定した場合はフラグＦ_ＶＤＤを正常値、例えば０に設定し、電源電圧ＶＤＤが正常範囲にないと判定した場合はフラグＦ_ＶＤＤを異常値、例えば１に設定する。このようにして、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ１}，Ｆ_{ＶＤＤＬ２}，Ｆ_{ＶＤＤＬ３}，Ｆ_{ＶＤＤＬ４}，Ｆ_ＶＤＤを含むフラグ情報を生成する。判定回路３５は、ホストデバイス３からのフラグ情報の読み出しコマンドがホストインターフェース回路３３を介して入力されると、生成したフラグ情報を、ホストインターフェース回路３３を介してホストデバイス３に出力する。

第２実施形態のセンサーシステム１のその他の構成及び機能は第１実施形態と同様であるため、その説明を省略する。

図１１は、第２実施形態における判定回路３５による判定手順の一例を示すフローチャート図である。図１１において、図９と同じ工程には同じ符号が付されており、その説明を省略又は簡略する。

図１１に示すように、まず、工程Ｓ１２において、判定回路３５は、閾値ＴＨＡ，ＴＨＢ，ＴＨＣ，ＴＨＤを設定する。具体的には、判定回路３５は、メモリー３６に記憶されている閾値ＴＨＡ，ＴＨＢ，ＴＨＣ，ＴＨＤを読み出し、読み出した閾値ＴＨＡ，ＴＨＢ，ＴＨＣ，ＴＨＤを不図示の内部レジスターに設定する。

次に、図９と同様、判定回路３５は、工程Ｓ２０において変数ｉを１に設定し、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さい条件が満たされなくなるまで、工程Ｓ３０～Ｓ１００の処理を行う。

次に、変数ｉが４になると、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さい条件が満たされず、工程Ｓ１１０において、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４から出力される電源電圧ＶＤＤのデジタル値Ｄ_ＶＤＤを取得する。

次に、工程Ｓ１２０において、判定回路３５は、デジタル値Ｄ_ＶＤＤが閾値ＴＨＣ以上閾値ＴＨＤ以下の範囲に含まれるか否かを判定する。すなわち、工程Ｓ１２０において、判定回路３５は、電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定する。そして、工程Ｓ１
２０においてデジタル値Ｄ_ＶＤＤが閾値ＴＨＣ以上閾値ＴＨＤ以下の範囲に含まれている場合は、工程Ｓ１３０において、判定回路３５は、フラグＦ_ＶＤＤを正常値に設定する。

工程Ｓ１２０においてデジタル値Ｄ_ＶＤＤが閾値ＴＨＣ以上閾値ＴＨＤ以下の範囲に含まれていない場合は、工程Ｓ１４０において、判定回路３５は、フラグＦ_ＶＤＤを異常値に設定する。

そして、判定回路３５は、工程Ｓ２００において判定を終了するまで、工程Ｓ２０～Ｓ１４０の処理を繰り返す。

なお、第２実施形態において、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０は、それぞれ、「第１センサーデバイス」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第１センサー素子」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第１基準電圧生成回路」の一例である。また、レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第１基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第１検出回路」の一例である。また、検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、それぞれ、「第１検出信号」の一例である。また、処理装置３０が有するレギュレーター３７は、「電源電圧生成回路」の一例である。

以上に説明した第２実施形態のセンサーシステム１は、第１実施形態のセンサーシステム１と同様の効果を奏する。

さらに、第２実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の元となる電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定するので、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を間接的に検出することができる。そして、ホストデバイス３は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４及び電源電圧ＶＤＤの判定結果を示すフラグ情報に基づいて、計測データに含まれるＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々の信頼性を判断することができるので、計測データに基づく適切な演算を行うことができる。

３．第３実施形態
以下、第３実施形態のセンサーシステムについて、第１実施形態又は第２実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付し、第１実施形態又は第２実施形態と重複する説明は省略または簡略し、主に第１実施形態及び第２実施形態と異なる内容について説明する。

図１２は、第３実施形態のセンサーシステム１の構成を示す図である。図１２において、図５と同様の構成要素には同じ符号が付されており、その説明を省略又は簡略する。図１２に示すように、第３実施形態のセンサーシステム１は、センサーモジュール２とホストデバイス３とを備える。

第３実施形態のセンサーモジュール２は、第１実施形態又は第２実施形態と同様、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚと、加速度センサーデバイス２０と、処理装置３０と、温度センサー４０と、を備える。第３実施形態のセンサーモジュール２は、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００をさらに備える。ＤＯＦは、Degrees Of Freedomの略であ
る。なお、センサーモジュール２は、図１２の構成要素の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、所定の周期でＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の角速度を検出してＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データを含む３軸角速度データを生成する。また、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、所定の周期でＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の加速度を検出してＸ軸加速度データ、Ｙ軸加速度データ、Ｚ軸加速度データを含む３軸加速度データを生成する。そして、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、３軸角速度データ及び３軸加速度データを含む６Ｄｏｆデータの生成を完了する毎に、６Ｄｏｆデータの準備完了を知らせるデータレディー信号を生成する。このデータレディー信号は、データレディー信号ＤＲＤＹ５として、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の端子ＴＲから出力され、処理装置３０の端子ＴＭＲ５に入力される。

６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、端子ＴＣＫ、端子ＴＤＩ、端子ＴＤＯを介してデジタルインターフェースバスＢＳに電気的に接続される。処理装置３０は、端子ＴＭＣＳ５からチップセレクト信号ＸＭＣＳ５を出力する。チップセレクト信号ＸＭＣＳ５は６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の端子ＴＣＳに入力される。６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の端子ＴＣＫには、処理装置３０の端子ＴＭＣＫから出力されるシリアルクロック信号ＭＳＣＬＫが入力される。また、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の端子ＴＤＩには、処理装置３０の端子ＴＭＤＯから出力されるシリアルデータ信号ＭＳＤＩが入力される。

６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、チップセレクト信号ＸＭＣＳ５がアクティブのとき、シリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及びシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、インターフェース処理を行う。例えば、シリアルデータ信号ＭＳＤＩが６Ｄｏｆデータの読み出しコマンドである場合、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、端子ＴＤＯに６Ｄｏｆデータを出力する。

第３実施形態では、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定した場合、角速度センサーデバイス１０Ｘから出力されるＸ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＸ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行う。また、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないと判定した場合、角速度センサーデバイス１０Ｙから出力されるＹ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＹ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行う。また、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないと判定した場合、角速度センサーデバイス１０Ｚから出力されるＺ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＺ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行う。また、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないと判定した場合、加速度センサーデバイス２０から出力される３軸加速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれる３軸加速度データを用いて各種の演算処理を行う。

また、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４がいずれも正常範囲にあると判定した場合は、６Ｄｏｆデータを用いずに、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データを用いて各種の演算処理を行い、計測データを生成する。

このように、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、バックアップ用のセンサーであり、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０と比較して計測精度は低いが、比較的安価なセンサーである。例えば、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０は、水晶を材料とするセンサー素子を有する高精度なセンサーであり、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、シリコン基板をＭＥＭＳ技術で加工した静電容量型のセンサーであってもよい。ＭＥＭＳは、Micro
Electro Mechanical Systemsの略である。

６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、端子ＴＶＤに入力される電源電圧ＶＤＤに基づいて、ゼロ点に対応する基準電圧を生成する。６Ｄｏｆセンサーデバイス１００が生成する基準電圧は、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の端子ＴＶＬから出力され、基準電圧ＶＤＤＬ５として処理装置３０の端子ＴＶＬ５に入力される。処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の少なくとも１つが正常範囲ではないと判定した場合、６Ｄｏｆデータの少なくとも一部を用いて各種の演算処理を行うので、基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示すフラグ情報を生成してもよい。基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にない場合は、６Ｄｏｆデータの信頼性が低いことを意味する。例えば、ホストデバイス３は、データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、計測データとともにフラグ情報を読み出し、フラグ情報に基づいて、計測データに含まれる６Ｄｏｆデータの信頼性が低い場合は、当該６Ｄｏｆデータを用いずに各種の演算処理を行ってもよいし、６Ｄｏｆデータの信頼性が低いことを示す情報を不図示の表示装置や音出力装置を介してユーザーに通知してもよい。

なお、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００が基準電圧を出力する端子ＴＶＬを有していない場合は、処理装置３０は、当該基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定しなくてもよい。

図１３は、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の構成例を示す図である。図１３に示すように、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺ、駆動回路１０２、検出回路１０３、インターフェース回路１０４及びレギュレーター１０５を含む。

センサー素子１０１ＧＸは、Ｘ軸を検出軸として角速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子１０１ＧＹは、Ｙ軸を検出軸として角速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子１０１ＧＺは、Ｚ軸を検出軸として角速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子１０１ＡＸは、Ｘ軸を検出軸として加速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子１０１ＡＹは、Ｙ軸を検出軸として加速度を検出するセンサー素子である。また、センサー素子１０１ＡＺは、Ｚ軸を検出軸として加速度を検出するセンサー素子である。センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺは、例えば、シリコン基板をＭＥＭＳ技術で加工して作製されたセンサー素子である。

レギュレーター１０５は、端子ＴＶＤから入力される電源電圧ＶＤＤに基づいて、センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺからそれぞれ出力される信号にオフセットを設定するための基準電圧ＶＤＤＬを生成する基準電圧生成回路である。なお、電源電圧ＶＤＤは、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００が動作するために必要な電源電圧であり、駆動回路１０２、検出回路１０３、インターフェース回路１０４にも供給される。

駆動回路１０２は、基準電圧ＶＤＤＬが供給され、センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺが角速度を検出し、センサー素子１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺが加速度を検出可能な状態になるように、センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺを駆動する回路である。

検出回路１０３は、基準電圧ＶＤＤＬが供給され、センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺからそれぞれ出力される信号に基づく検出信号ＳＤを生成する。具体的には、検出回路１０３は、センサー素子１０１ＧＸ
，１０１ＧＹ，１０１ＧＺからそれぞれ出力される信号を所定の周期で取得し、所定の演算を行って角速度に応じた電圧のアナログ信号を生成する。当該アナログ信号の電圧は、センサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺにそれぞれ加わる角速度がゼロのときに基準電圧ＶＤＤＬとなる。例えば、基準電圧ＶＤＤＬは、電源電圧ＶＤＤの１／２の電圧であってもよい。検出回路１０３は、当該アナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換してＸ軸角速度検出信号、Ｙ軸角速度検出信号及びＺ軸角速度検出信号を生成する。また、検出回路１０３は、センサー素子１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺからそれぞれ出力される信号を所定の周期で取得し、所定の演算を行って加速度に応じた電圧のアナログ信号を生成する。当該アナログ信号の電圧は、センサー素子１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺにそれぞれ加わる加速度がゼロのときに基準電圧ＶＤＤＬとなる。検出回路１０３は、当該アナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換してＸ軸加速度検出信号、Ｙ軸加速度検出信号及びＺ軸加速度検出信号を生成する。そして、検出回路１０３は、Ｘ軸角速度検出信号、Ｙ軸角速度検出信号、Ｚ軸角速度検出信号、Ｘ軸加速度検出信号、Ｙ軸加速度検出信号及びＺ軸加速度検出信号を含む検出信号ＳＤを生成する。また、検出回路１０３は、検出信号ＳＤの生成を完了する毎に検出信号ＳＤの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹを生成する。検出信号ＳＤはインターフェース回路１０４に出力され、データレディー信号ＤＲＤＹは、端子ＴＲから出力され、前述のデータレディー信号ＤＲＤＹ５として処理装置３０に入力される。

インターフェース回路１０４は、端子ＴＣＳから入力されるチップセレクト信号ＸＭＣＳ５がアクティブのとき、端子ＴＣＫから入力されるシリアルクロック信号ＭＳＣＬＫ及び端子ＴＤＩから入力されるシリアルデータ信号ＭＳＤＩに基づいて、ＳＰＩの通信規格のインターフェース処理を行う。例えば、インターフェース回路１０４は、端子ＴＤＩから入力される読み出しコマンドに応じて、検出回路１０３から出力される検出信号ＳＤを取得し、取得した検出信号ＳＤをシリアルデータに変換し、端子ＴＤＯに出力する。この端子ＴＤＯから出力されるシリアルデータは、６Ｄｏｆデータとして処理装置３０に入力される。

図１４は、第３実施形態における処理装置３０の構成例を示す図である。図１４において、図８又は図１０と同様の構成要素には同じ符号が付されており、その説明を省略又は簡略する。図１４に示すように、第３実施形態における処理装置３０は、第１実施形態又は第２実施形態と同様、デジタルインターフェース回路３１、信号処理回路３２、ホストインターフェース回路３３、Ａ／Ｄ変換回路３４、判定回路３５、メモリー３６及びレギュレーター３７を含む。

第３実施形態では、Ａ／Ｄ変換回路３４は、端子ＴＶＬ１から入力される基準電圧ＶＤＤＬ１、端子ＴＶＬ２から入力される基準電圧ＶＤＤＬ２、端子ＴＶＬ３から入力される基準電圧ＶＤＤＬ３、端子ＴＶＬ４から入力される基準電圧ＶＤＤＬ４、端子ＴＶＬ５から入力される基準電圧ＶＤＤＬ５及びレギュレーター３７が生成した電源電圧ＶＤＤを、時分割にデジタル信号に変換する。

判定回路３５は、第２実施形態と同様、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４及び電源電圧ＶＤＤがそれぞれ正常範囲にあるか否かを判定する。さらに、第３実施形態では、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の少なくとも１つが正常範囲ではないと判定した場合、基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にあるか否かを判定する。具体的には、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４が基準電圧ＶＤＤＬ５を変換したデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ５}が所定の範囲に含まれている場合は基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にあると判定し、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ５}が所定の範囲に含まれていない場合は基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にないと判定する。

そして、判定回路３５は、それぞれの判定結果を示すフラグ情報を生成する。具体的には、第２実施形態と同様、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４及び電源電圧ＶＤＤの判定結果に基づいてフラグＦ_{ＶＤＤＬ１}，Ｆ_{ＶＤＤＬ２}，Ｆ_{ＶＤＤＬ３}，Ｆ_{ＶＤＤＬ４}，Ｆ_ＶＤＤをそれぞれ正常値又は異常値に設定する。さらに、第３実施形態では、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にあると判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ５}を正常値、例えば０に設定し、電源電圧ＶＤＤが正常範囲にないと判定した場合はフラグＦ_{ＶＤＤＬ５}を異常値、例えば１に設定する。このようにして、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ１}，Ｆ_{ＶＤＤＬ２}，Ｆ_{ＶＤＤＬ３}，Ｆ_{ＶＤＤＬ４}，Ｆ_{ＶＤＤＬ５}，Ｆ_ＶＤＤを含むフラグ情報を生成する。判定回路３５は、ホストデバイス３からのフラグ情報の読み出しコマンドがホストインターフェース回路３３を介して入力されると、生成したフラグ情報を、ホストインターフェース回路３３を介してホストデバイス３に出力する。

信号処理回路３２は、第１実施形態又は第２実施形態と同様、デジタルインターフェース回路３１を介して、角速度センサーデバイス１０Ｘから出力されるＸ軸角速度データ、角速度センサーデバイス１０Ｙから出力されるＹ軸角速度データ、角速度センサーデバイス１０Ｚから出力されるＺ軸角速度データ及び加速度センサーデバイス２０から出力される３軸加速度データを取得する。さらに、第３実施形態では、信号処理回路３２は、デジタルインターフェース回路３１を介して、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００から出力される６Ｄｏｆデータを取得する。具体的には、信号処理回路３２は、端子ＴＭＲ５からデータレディー信号ＤＲＤＹ５が入力される毎に、６Ｄｏｆデータの読み出しコマンドを、デジタルインターフェース回路３１を介して６Ｄｏｆセンサーデバイス１００に出力し、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００から出力される６Ｄｏｆデータを、デジタルインターフェース回路３１を介して取得する。

第３実施形態では、信号処理回路３２は、判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定した場合、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データを処理し、判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の少なくとも１つが正常範囲にないと判定した場合、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの少なくとも１つに代えて６Ｄｏｆデータを処理する。具体的には、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４がそれぞれ正常範囲ではないと判定した場合、切替信号ＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３，ＳＷ４をそれぞれアクティブ、例えばハイレベルに設定して信号処理回路３２に出力する。信号処理回路３２は、切替信号ＳＷ１がアクティブである場合、角速度センサーデバイス１０Ｘから出力されるＸ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＸ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行って計測データを生成する。また、信号処理回路３２は、切替信号ＳＷ２がアクティブである場合、角速度センサーデバイス１０Ｙから出力されるＹ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＹ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行って計測データを生成する。また、信号処理回路３２は、切替信号ＳＷ３がアクティブである場合、角速度センサーデバイス１０Ｚから出力されるＺ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＺ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行って計測データを生成する。また、信号処理回路３２は、切替信号ＳＷ４がアクティブである場合、加速度センサーデバイス２０から出力される３軸加速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれる３軸加速度データを用いて各種の演算処理を行って計測データを生成する。

第３実施形態のセンサーシステム１のその他の構成及び機能は、第１実施形態又は第２実施形態と同様であるため、その説明を省略する。

図１５は、第３実施形態における判定回路３５による判定手順の一例を示すフローチャ
ート図である。図１５において、図９又は図１１と同じ工程には同じ符号が付されており、その説明を省略又は簡略する。

図１５に示すように、まず、判定回路３５は、図１１と同様、工程Ｓ１２～Ｓ５０の処理を行う。そして、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれている場合は、図１１と同様、工程Ｓ６０において、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ１}を正常値に設定する。

工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ１}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、図１１と同様、工程Ｓ７０において、判定回路３５は、停止信号ＳＰ１をアクティブに設定する。また、工程Ｓ７２において、判定回路３５は、切替信号ＳＷ１をアクティブに設定する。これにより、信号処理回路３２は、角速度センサーデバイス１０Ｘから出力されるＸ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＸ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行う。

そして、判定回路３５は、工程Ｓ９０において変数ｉが４よりも小さい条件が満たされなくなるまで、工程Ｓ１００において変数ｉを１だけ増やしながら、工程Ｓ３０～Ｓ８０の処理を行う。したがって、この間に、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ２}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、工程Ｓ７２において、判定回路３５は、切替信号ＳＷ２をアクティブに設定する。これにより、信号処理回路３２は、角速度センサーデバイス１０Ｙから出力されるＹ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＹ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行う。また、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ３}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、工程Ｓ７２において、判定回路３５は、切替信号ＳＷ３をアクティブに設定する。これにより、信号処理回路３２は、角速度センサーデバイス１０Ｚから出力されるＺ軸角速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれるＺ軸角速度データを用いて各種の演算処理を行う。また、工程Ｓ５０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ４}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、工程Ｓ７２において、判定回路３５は、切替信号ＳＷ４をアクティブに設定する。これにより、信号処理回路３２は、加速度センサーデバイス２０から出力される３軸加速度データに代えて、６Ｄｏｆデータに含まれる３軸加速度データを用いて各種の演算処理を行う。

次に、判定回路３５は、図１１と同様、工程Ｓ１１０～Ｓ１４０の処理を行う。

次に、工程Ｓ１５０において、切替信号ＳＷ１～ＳＷ４の少なくとも１つがアクティブである場合、工程Ｓ１６０において、判定回路３５は、Ａ／Ｄ変換回路３４から出力される基準電圧ＶＤＤＬ５のデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ５}を取得する。

次に、工程Ｓ１７０において、判定回路３５は、デジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ５}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれるか否かを判定する。すなわち、工程Ｓ１７０において、判定回路３５は、基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にあるか否かを判定する。そして、工程Ｓ１７０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ５}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれている場合は、工程Ｓ１８０において、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ５}を正常値に設定する。

工程Ｓ１７０においてデジタル値Ｄ_{ＶＤＤＬ５}が閾値ＴＨＡ以上閾値ＴＨＢ以下の範囲に含まれていない場合は、工程Ｓ１９０において、判定回路３５は、フラグＦ_{ＶＤＤＬ５}を異常値に設定する。

工程Ｓ１５０において切替信号ＳＷ１～ＳＷ４がすべて非アクティブである場合は、判
定回路３５は工程Ｓ１６０～Ｓ１９０の処理を行わない。

そして、判定回路３５は、工程Ｓ２００において判定を終了するまで、工程Ｓ２０～Ｓ１９０の処理を繰り返す。

なお、第３実施形態において、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０は、それぞれ、「第１センサーデバイス」の一例である。また、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００は、「第２センサーデバイス」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第１センサー素子」の一例である。また、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００が有するセンサー素子１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺは、それぞれ、「第２センサー素子」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第１基準電圧生成回路」の一例であり、レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第１基準電圧」の一例である。また、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００が有するレギュレーター１０５は、「第２基準電圧生成回路」の一例であり、レギュレーター１０５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、「第２基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第１検出回路」の一例であり、検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、それぞれ、「第１検出信号」の一例である。また、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００が有する検出回路１０３は、「第２検出回路」の一例であり、検出回路１０３が生成する検出信号ＳＤは、「第２検出信号」の一例である。また、処理装置３０が有するレギュレーター３７は、「電源電圧生成回路」の一例である。

以上に説明した第３実施形態のセンサーシステム１は、第１実施形態又は第２実施形態のセンサーシステム１と同様の効果を奏する。

さらに、第３実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出しない場合は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々を用いて正常な信号処理を行うことができる。また、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、６Ｄｏｆデータに含まれる各データを用いて正常な信号処理を行うことができる。また、処理装置３０は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４のいずれかの異常を検出した場合は、６Ｄｏｆセンサーデバイス１００の内部で生成される基準電圧ＶＤＤＬ５が正常範囲にあるか否かを判定するので、基準電圧ＶＤＤＬ５の異常を検出することができる。そして、ホストデバイス３は、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４，ＶＤＤＬ５の判定結果を示すフラグ情報に基づいて、計測データに含まれるＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々の信頼性を判断することができるので、計測データに基づく適切な演算を行うことができる。

４．第４実施形態
以下、第４実施形態のセンサーシステムについて、第１実施形態～第３実施形態のいずれかと同様の構成要素には同じ符号を付し、第１実施形態～第３実施形態のいずれかと重複する説明は省略または簡略し、主に第１実施形態～第３実施形態のいずれとも異なる内容について説明する。

図１６は、第４実施形態のセンサーシステム１の構成を示す図である。図１６に示すように、第４実施形態のセンサーシステム１は、センサーモジュール２とホストデバイス３とを備える。

センサーモジュール２は、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚと、加速度センサーデバイス２２０と、処理装置２３０と、温度センサー２４０と、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚと、加速度センサーデバイス３２０と、処理装置３３０と、温度センサー３４０と、演算装置４００と、を備える。なお、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ、加速度センサーデバイス２２０、処理装置２３０、及び温度センサー２４０を総称してサブモジュール２００と呼び、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ、加速度センサーデバイス３２０、処理装置３３０、及び温度センサー３４０を総称してサブモジュール３００と呼ぶことがある。即ち、センサーモジュール２は、サブモジュール２００と、サブモジュール３００と、演算装置４００と、を備えている。

角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ、加速度センサーデバイス２２０、処理装置２３０及び温度センサー２４０のそれぞれの機能は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０、処理装置３０及び温度センサー４０と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２２０と処理装置２３０との接続関係、及び、処理装置２３０と温度センサー２４０との接続関係は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０と処理装置３０との接続関係、及び、処理装置３０と温度センサー４０との接続関係と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚの具体的な構成は、図６と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、加速度センサーデバイス２２０の具体的な構成は、図７と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、処理装置２３０の具体的な構成は、ホストインターフェース回路３３に代えて演算装置４００とのインターフェース回路を有する点を除いて、図８又は図１０と同様であるため、その図示及び説明を省略する。例えば、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ、加速度センサーデバイス２２０、処理装置２３０及び温度センサー２４０は、第１実施形態又は第２実施形態におけるセンサーモジュール２と同様の構造のサブモジュール２００として一体に構成されていてもよい。

同様に、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ、加速度センサーデバイス３２０、処理装置３３０及び温度センサー３４０のそれぞれの機能は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０、処理装置３０及び温度センサー４０と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ及び加速度センサーデバイス３２０と処理装置３３０との接続関係、及び、処理装置３３０と温度センサー３４０との接続関係は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０と処理装置３０との接続関係、及び、処理装置３０と温度センサー４０との接続関係と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚの具体的な構成は、図６と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、加速度センサーデバイス３２０の具体的な構成は、図７と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、処理装置３３０の具体的な構成は、ホストインターフェース回路３３に代えて演算装置４００とのインターフェース回路を有する点を除いて、図８又は図１０と同様であるため、その図示及び説明を省略する。例えば、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ、加速度センサーデバイス３２０、処理装置３３０及び温度センサー３４０は、第１
実施形態又は第２実施形態におけるセンサーモジュール２と同様の構造のサブモジュール３００として一体に構成されていてもよい。

処理装置２３０の判定回路３５は、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚからそれぞれ出力される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３、加速度センサーデバイス２２０から出力される基準電圧ＶＤＤＬ４がそれぞれ正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示す第１フラグ情報を生成する。そして、処理装置２３０の判定回路３５は、第１フラグ情報を演算装置４００に出力する。

同様に、処理装置３３０の判定回路３５は、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚからそれぞれ出力される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３、加速度センサーデバイス３２０から出力される基準電圧ＶＤＤＬ４がそれぞれ正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示す第２フラグ情報を生成する。そして、処理装置３３０の判定回路３５は、第２フラグ情報を演算装置４００に出力する。

演算装置４００は、第１フラグ情報及び第２フラグ情報に基づいて、処理装置２３０の判定回路３５の判定結果及び処理装置３３０の判定回路３５の判定結果を認識する。そして、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあると判定した場合、処理装置２３０の信号処理回路３２が処理して得られたＸ軸角速度データである第１のＸ軸角速度データ及び処理装置３３０の信号処理回路３２が処理して得られたＸ軸角速度データである第２のＸ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１のＸ軸角速度データと第２のＸ軸角速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータをＸ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定した場合、第２のＸ軸角速度データを用いずに第１のＸ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１のＸ軸角速度データをＸ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないと判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあると判定した場合、第１のＸ軸角速度データを用いずに第２のＸ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第２のＸ軸角速度データをＸ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。

同様に、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあると判定した場合、処理装置２３０の信号処理回路３２が処理して得られたＹ軸角速度データである第１のＹ軸角速度データ及び処理装置３３０の信号処理回路３２が処理して得られたＹ軸角速度データである第２のＹ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１のＹ軸角速度データと第２のＹ軸角速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータをＹ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないと判定した場合、第２のＹ軸角速度データを用いずに第１のＹ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１のＹ軸角速度データをＹ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないと判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあると判定した場合、第１のＹ軸角速度データを用いずに第２のＹ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第２のＹ軸角速度データをＹ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。

同様に、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあると判定した場合、処理装置２３０の信号処理回路３２が処理して得られたＺ軸角速度データである第１のＺ軸角速度データ及び処理装置３３０の信号処理回路３２が処理して得られたＺ軸角速度データである第２のＺ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１のＺ軸角速度データと第２のＺ軸角速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータをＺ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないと判定した場合、第２のＺ軸角速度データを用いずに第１のＺ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１のＺ軸角速度データをＺ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないと判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあると判定した場合、第１のＺ軸角速度データを用いずに第２のＺ軸角速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第２のＺ軸角速度データをＺ軸角速度データとする計測データを生成してもよい。

同様に、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が、加速度センサーデバイス２２０から出力される基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が、加速度センサーデバイス３２０から出力される基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定した場合、処理装置２３０の信号処理回路３２が処理して得られた３軸加速度データである第１の３軸加速度データ及び処理装置３３０の信号処理回路３２が処理して得られた３軸加速度データである第２の３軸加速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１の３軸加速度データと第２の３軸加速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータを３軸加速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないと判定した場合、第２の３軸加速度データを用いずに第１の３軸加速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第１の３軸加速度データを３軸加速度データとする計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないと判定し、かつ、処理装置３３０の判定回路３５が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあると判定した場合、第１の３軸加速度データを用いずに第２の３軸加速度データを用いて演算する。例えば、演算装置４００は、第２の３軸加速度データを３軸加速度データとする計測データを生成してもよい。

演算装置４００は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに対する一連の演算を行って計測データの生成を完了する毎に、計測データの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹをホストデバイス３に出力する。演算装置４００は、図８又は図１０のホストインターフェース回路３３と同様の不図示のホストインターフェース回路を備えており、ホストデバイス３は、データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、計測データの読み出しコマンドを演算装置４００に出力して計測データを取得し、各種の演算処理を行う。ホストデバイス３は、データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、計測データとともに第１フラグ情報及び第２フラグ情報を読み出し、第１フラグ情報及び第２フラグ情報に基づいて、計測データに含まれるＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データのうちの信頼性が低いデータを用いずに各種の演算処理を行ってもよいし、信頼性が低いデータに関する情報を不図示の表示装置や音出力装置を介してユーザーに通知してもよい。

なお、第４実施形態において、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ
、加速度センサーデバイス２２０は、それぞれ、「第１センサーデバイス」の一例である。また、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ、加速度センサーデバイス３２０は、それぞれ、「第２センサーデバイス」の一例である。また、処理装置２３０は、「第１処理装置」の一例であり、処理装置３３０は、「第２処理装置」の一例である。また、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス２２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第１センサー素子」の一例である。また、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス３２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第２センサー素子」の一例である。また、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス２２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第１基準電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第１基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス３２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第２基準電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第２基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス２２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第１検出回路」の一例であり、当該検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、それぞれ、「第１検出信号」の一例である。また、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス３２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第２検出回路」の一例であり、当該検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、「第２検出信号」の一例である。また、処理装置２３０が有するレギュレーター３７は、「第１電源電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター３７が生成する電源電圧ＶＤＤは、「第１電源電圧」の一例である。また、処理装置３３０が有するレギュレーター３７は、「第２電源電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター３７が生成する電源電圧ＶＤＤは、「第２電源電圧」の一例である。また、処理装置２３０が有する信号処理回路３２は、「第１信号処理回路」の一例であり、処理装置３３０が有する信号処理回路３２は、「第２信号処理回路」の一例である。また、処理装置２３０が有する判定回路３５は、「第１判定回路」の一例であり、処理装置３３０が有する判定回路３５は、「第２判定回路」の一例である。また、第１のＸ軸角速度データ、第１のＹ軸角速度データ、第１のＺ軸角速度データ及び第１の３軸加速度データは、それぞれ、「第１データ」の一例であり、第２のＸ軸角速度データ、第２のＹ軸角速度データ、第２のＺ軸角速度データ及び第２の３軸加速度データは、それぞれ、「第２データ」の一例である。

以上に説明したように、第４実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置２３０が有する判定回路３５が、角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２２０の各々の内部で生成される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４が正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示す第１フラグ情報を生成するので、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を検出することができる。また、処理装置３３０が有する判定回路３５が、角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ及び加速度センサーデバイス３２０の各々の内部で生成される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４が正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示す第２フラグ情報を生成するので、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を検出することができる。

そして、演算装置４００は、処理装置２３０，３３０がいずれもＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出しなかった場合は、処理装置２３０がＸ
軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々を処理して得られた第１のＸ軸角速度データ、第１のＹ軸角速度データ、第１のＺ軸角速度データ及び第１の３軸加速度データと処理装置３３０がＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々を処理して得られた第２のＸ軸角速度データ、第２のＹ軸角速度データ、第２のＺ軸角速度データ及び第２の３軸加速度データとの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成することができる。また、演算装置４００は、処理装置３３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、第１のＸ軸角速度データ、第１のＹ軸角速度データ、第１のＺ軸角速度データ及び第１の３軸加速度データの各々を用いて正常な演算を行うことができる。また、処理装置２３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、第２のＸ軸角速度データ、第２のＹ軸角速度データ、第２のＺ軸角速度データ及び第２の３軸加速度データの各々を用いて正常な演算を行うことができる。したがって、ホストデバイス３は、演算装置４００が生成した計測データに基づく適切な演算を行うことができる。

また、第４実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置２３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々が正常範囲にないと判定した場合、異常なデータを生成するおそれがある角速度センサーデバイス２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２２０の各々の動作を停止させることにより、各センサーデバイスで無駄に消費される電力を削減することができる。同様に、処理装置３３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々が正常範囲にないと判定した場合、異常なデータを生成するおそれがある角速度センサーデバイス３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ及び加速度センサーデバイス３２０の各々の動作を停止させることにより、各センサーデバイスで無駄に消費される電力を削減することができる。

また、第４実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール２において、処理装置２３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の元となる電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定することにより、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を間接的に検出することができる。同様に、処理装置２３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の元となる電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定することにより、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を間接的に検出することができる。そして、演算装置４００は、適切な演算を行うことができる。

第４実施形態のセンサーシステム１において、センサーモジュール２は、サブモジュール２００及びサブモジュール３００の２つサブモジュールを有していたが、これに加えて他のサブモジュールを備えることで３つ以上のサブモジュールを有していてもよい。この場合、演算装置４００は、いずれもＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出しなかった場合は、サブモジュール２００、サブモジュール３００、及び他のサブモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成することができる。また、演算装置４００は、処理装置３３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、サブモジュール２００及び他のサブモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、サブモジュール３００及び他のサブモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成してもよい。また、演算装置４００は、処理装置２３０及び処理装置３３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々
の異常を検出した場合は、他のサブモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成してもよい。

５．第５実施形態
以下、第５実施形態のセンサーシステムについて、第１実施形態～第４実施形態のいずれかと同様の構成要素には同じ符号を付し、第１実施形態～第４実施形態のいずれかと重複する説明は省略または簡略し、主に第１実施形態～第４実施形態のいずれとも異なる内容について説明する。

図１７は、第５実施形態のセンサーシステム１の構成を示す図である。図１７に示すように、第５実施形態のセンサーシステム１は、センサーモジュール５００と、センサーモジュール６００と、ホストデバイス３と、を備える。

センサーモジュール５００は、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚと、加速度センサーデバイス５２０と、処理装置５３０と、温度センサー５４０と、を備える。角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚ、加速度センサーデバイス５２０、処理装置５３０及び温度センサー５４０のそれぞれの機能は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０、処理装置３０及び温度センサー４０と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚ及び加速度センサーデバイス５２０と処理装置５３０との接続関係、及び、処理装置５３０と温度センサー５４０との接続関係は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０と処理装置３０との接続関係、及び、処理装置３０と温度センサー４０との接続関係と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚの具体的な構成は、図６と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、加速度センサーデバイス５２０の具体的な構成は、図７と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、処理装置５３０の具体的な構成は、図８又は図１０と同様であるため、その図示及び説明を省略する。すなわち、センサーモジュール５００の構成及び機能は、図５又は図１０に示した第１実施形態又は第２実施形態におけるセンサーモジュール２と同じであるので、その説明を省略する。

センサーモジュール６００は、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚと、加速度センサーデバイス６２０と、処理装置６３０と、温度センサー６４０と、を備える。角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚ、加速度センサーデバイス６２０、処理装置６３０及び温度センサー６４０のそれぞれの機能は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ、加速度センサーデバイス２０、処理装置３０及び温度センサー４０と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚ及び加速度センサーデバイス６２０と処理装置６３０との接続関係、及び、処理装置６３０と温度センサー６４０との接続関係は、第１実施形態又は第２実施形態における角速度センサーデバイス１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２０と処理装置３０との接続関係、及び、処理装置３０と温度センサー４０との接続関係と同様であるため、その説明を省略する。また、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚの具体的な構成は、図６と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、加速度センサーデバイス６２０の具体的な構成は、図７と同様であるため、その図示及び説明を省略する。また、処理装置６３０の具体的な構成は、図８又は図１０と同様であるため、その図示及び説明を省略する。すなわち、センサーモジュール６００の構成及び機能は、図５又は図１０に示した第１実施形態又は第２実施形態におけるセンサーモジュール２と同じであるので、その説明を省略する。

処理装置５３０は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに対する一連の演算を行って計測データの生成を完了する毎に、計測データの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹをホストデバイス３に出力する。ホストデバイス３は、当該データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、処理装置５３０から計測データ及びフラグ情報を読み出し、第１計測データ及び第１フラグ情報として取得する。

処理装置６３０は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データに対する一連の演算を行って計測データの生成を完了する毎に、計測データの準備完了を知らせるデータレディー信号ＤＲＤＹをホストデバイス３に出力する。ホストデバイス３は、当該データレディー信号ＤＲＤＹが入力される毎に、処理装置６３０から計測データ及びフラグ情報を読み出し、第２計測データ及び第２フラグ情報として取得する。

ホストデバイス３は、第１フラグ情報及び第２フラグ情報に基づいて、処理装置５３０の判定回路３５の判定結果及び処理装置６３０の判定回路３５の判定結果を認識する。そして、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が角速度センサーデバイス５１０Ｘから出力される基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が角速度センサーデバイス６１０Ｘから出力される基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあることを示す場合、第１計測データに含まれるＸ軸角速度データである第１のＸ軸角速度データ及び第２計測データに含まれるＸ軸角速度データである第２のＸ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１のＸ軸角速度データと第２のＸ軸角速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータをＸ軸角速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないことを示す場合、第２のＸ軸角速度データを用いずに第１のＸ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１のＸ軸角速度データをＸ軸角速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にないことを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ１が正常範囲にあることを示す場合、第１のＸ軸角速度データを用いずに第２のＸ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第２のＸ軸角速度データをＸ軸角速度データとしてもよい。

同様に、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が角速度センサーデバイス５１０Ｙから出力される基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が角速度センサーデバイス６１０Ｙから出力される基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあることを示す場合、第１計測データに含まれるＹ軸角速度データである第１のＹ軸角速度データ及び第２計測データに含まれるＹ軸角速度データである第２のＹ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１のＹ軸角速度データと第２のＹ軸角速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータをＹ軸角速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないことを示す場合、第２のＹ軸角速度データを用いずに第１のＹ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１のＹ軸角速度データをＹ軸角速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にないことを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ２が正常範囲にあることを示す場合、第１のＹ軸角速度データを用いずに第２のＹ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第２のＹ軸角速度データをＹ軸角速度データとしてもよい。

同様に、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が角速度センサーデバイス５１０Ｚから
出力される基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が角速度センサーデバイス６１０Ｚから出力される基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあることを示す場合、第１計測データに含まれるＺ軸角速度データである第１のＺ軸角速度データ及び第２計測データに含まれるＺ軸角速度データである第２のＺ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１のＺ軸角速度データと第２のＺ軸角速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータをＺ軸角速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないことを示す場合、第２のＺ軸角速度データを用いずに第１のＺ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１のＺ軸角速度データをＺ軸角速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にないことを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ３が正常範囲にあることを示す場合、第１のＺ軸角速度データを用いずに第２のＺ軸角速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第２のＺ軸角速度データをＺ軸角速度データとしてもよい。

同様に、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が加速度センサーデバイス５２０から出力される基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が加速度センサーデバイス６２０から出力される基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあることを示す場合、第１計測データに含まれる３軸加速度データである第１の３軸加速度データ及び第２計測データに含まれる３軸加速度データである第２の３軸加速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１の３軸加速度データと第２の３軸加速度データとの平均値を算出し、当該平均値のデータを３軸加速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあることを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないことを示す場合、第２の３軸加速度データを用いずに第１の３軸加速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第１の３軸加速度データを３軸加速度データとしてもよい。また、ホストデバイス３は、第１フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にないことを示し、かつ、第２フラグ情報が基準電圧ＶＤＤＬ４が正常範囲にあることを示す場合、第１の３軸加速度データを用いずに第２の３軸加速度データを用いて演算する。例えば、ホストデバイス３は、第２の３軸加速度データを３軸加速度データとしてもよい。

そして、ホストデバイス３は、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データを用いて各種の演算処理を行う。ホストデバイス３は、第１フラグ情報及び第２フラグ情報に基づいて、Ｘ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データのうちの信頼性が低いデータを用いずに各種の演算処理を行ってもよいし、信頼性が低いデータに関する情報を不図示の表示装置や音出力装置を介してユーザーに通知してもよい。

なお、第５実施形態において、センサーモジュール５００は、「第１センサーモジュール」の一例であり、センサーモジュール６００は、「第２センサーモジュール」の一例である。また、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚ、加速度センサーデバイス５２０は、それぞれ、「第１センサーデバイス」の一例である。また、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚ、加速度センサーデバイス６２０は、それぞれ、「第２センサーデバイス」の一例である。また、処理装置５３０は、「第１処理装置」の一例であり、処理装置６３０は、「第２処理装置」の一例である。また、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス５２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第１センサー素子」の一例である。また、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚが有するセンサー素子１１、加速度センサーデバイス６２０が有するセンサー素子２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚは、それぞれ、「第２センサー素子」の一例である。また、角速度セン
サーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス５２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第１基準電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第１基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚが有するレギュレーター１５、加速度センサーデバイス６２０が有するレギュレーター２５は、それぞれ、「第２基準電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター１５，２５が生成する基準電圧ＶＤＤＬは、それぞれ、「第２基準電圧」の一例である。また、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス５２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第１検出回路」の一例であり、当該検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、それぞれ、「第１検出信号」の一例である。また、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚが有する検出回路１３、加速度センサーデバイス６２０が有する検出回路２３は、それぞれ、「第２検出回路」の一例であり、当該検出回路１３，２３が生成する検出信号ＳＤは、「第２検出信号」の一例である。また、処理装置５３０が有するレギュレーター３７は、「第１電源電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター３７が生成する電源電圧ＶＤＤは、「第１電源電圧」の一例である。また、処理装置６３０が有するレギュレーター３７は、「第２電源電圧生成回路」の一例であり、当該レギュレーター３７が生成する電源電圧ＶＤＤは、「第２電源電圧」の一例である。また、処理装置５３０が有する信号処理回路３２は、「第１信号処理回路」の一例であり、処理装置６３０が有する信号処理回路３２は、「第２信号処理回路」の一例である。また、処理装置５３０が有する判定回路３５は、「第１判定回路」の一例であり、処理装置６３０が有する判定回路３５は、「第２判定回路」の一例である。また、処理装置５３０が有するホストインターフェース回路３３は、「第１インターフェース回路」の一例であり、処理装置６３０が有するホストインターフェース回路３３は、「第２インターフェース回路」の一例である。また、第１のＸ軸角速度データ、第１のＹ軸角速度データ、第１のＺ軸角速度データ及び第１の３軸加速度データは、それぞれ、「第１データ」の一例であり、第２のＸ軸角速度データ、第２のＹ軸角速度データ、第２のＺ軸角速度データ及び第２の３軸加速度データは、それぞれ、「第２データ」の一例である。

以上に説明したように、第５実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール５００において、処理装置５３０が有する判定回路３５が、角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚ及び加速度センサーデバイス５２０の各々の内部で生成される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４が正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示す第１フラグ情報を生成するので、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を検出することができる。また、センサーモジュール６００において、処理装置６３０が有する判定回路３５が、角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚ及び加速度センサーデバイス６２０の各々の内部で生成される基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４が正常範囲にあるか否かを判定し、判定結果を示す第２フラグ情報を生成するので、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を検出することができる。

ホストデバイス３は、処理装置５３０，６３０がいずれもＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出しなかった場合は、処理装置５３０がＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々を処理して得られた第１のＸ軸角速度データ、第１のＹ軸角速度データ、第１のＺ軸角速度データ及び第１の３軸加速度データと処理装置６３０がＸ軸角速度データ、Ｙ軸角速度データ、Ｚ軸角速度データ及び３軸加速度データの各々を処理して得られた第２のＸ軸角速度データ、第２のＹ軸角速度データ、第２のＺ軸角速度データ及び第２の３軸加速度データとの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成することができる。また、ホストデバイス３は、処理装置６３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，
ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、第１のＸ軸角速度データ、第１のＹ軸角速度データ、第１のＺ軸角速度データ及び第１の３軸加速度データの各々を用いて正常な演算を行うことができる。また、処理装置５３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、第２のＸ軸角速度データ、第２のＹ軸角速度データ、第２のＺ軸角速度データ及び第２の３軸加速度データの各々を用いて正常な演算を行うことができる。したがって、ホストデバイス３は、適切な演算を行うことができる。

第５実施形態のセンサーシステム１は、センサーモジュール５００及びセンサーモジュール６００の２つセンサーモジュールを有していたが、これに加えて他のセンサーモジュールを備えることで３つ以上のセンサーモジュールを有していてもよい。この場合、ホストデバイス３は、いずれもＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出しなかった場合は、センサーモジュール５００、センサーモジュール６００、及び他のセンサーモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成することができる。また、ホストデバイス３は、処理装置５３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、センサーモジュール６００及び他のセンサーモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成してもよい。また、ホストデバイス３は、処理装置６３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、センサーモジュール５００及び他のセンサーモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成してもよい。また、ホストデバイス３は、処理装置５３０及び処理装置６３０がＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々の異常を検出した場合は、他のセンサーモジュールの各軸の角速度データ及び加速度データの平均値のデータを算出することにより、Ｓ／Ｎ比の高い計測データを生成してもよい。

また、第５実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール５００において、処理装置５３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々が正常範囲にないと判定した場合、異常なデータを生成するおそれがある角速度センサーデバイス５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚ及び加速度センサーデバイス２２０の各々の動作を停止させることにより、各センサーデバイスで無駄に消費される電力を削減することができる。同様に、センサーモジュール６００において、処理装置６３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の各々が正常範囲にないと判定した場合、異常なデータを生成するおそれがある角速度センサーデバイス６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚ及び加速度センサーデバイス６２０の各々の動作を停止させることにより、各センサーデバイスで無駄に消費される電力を削減することができる。

また、第５実施形態のセンサーシステム１によれば、センサーモジュール５００において、処理装置２３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の元となる電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定することにより、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を間接的に検出することができる。同様に、センサーモジュール６００において、処理装置６３０が、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の元となる電源電圧ＶＤＤが正常範囲にあるか否かを判定することにより、基準電圧ＶＤＤＬ１，ＶＤＤＬ２，ＶＤＤＬ３，ＶＤＤＬ４の異常を間接的に検出することができる。そして、ホストデバイス３は、適切な演算を行うことができる。

６．変形例
本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、上記の各実施形態では、センサーモジュール２は３軸角速度及び３軸加速度を検出しているが、センサーモジュール２は、１軸又は２軸の角速度を検出してもよいし、１軸又は２軸の加速度を検出してもよい。また、センサーモジュール２は、角速度を検出しなくてもよいし、加速度を検出しなくてもよい。また、センサーモジュール２が検出する物理量は、角速度や加速度に限られず、例えば、角加速度、速度、距離、圧力、音圧又は磁気量等であってもよい。

また、上記の各実施形態では、処理装置３０がセンサーモジュール２の姿勢、速度、角度等を演算する例を挙げたが、ホストデバイス３がセンサーモジュール２の姿勢、速度、角度等を演算してもよい。

また、上記の各実施形態では、ホストデバイス３が、フラグ情報に基づいて、センサーモジュール２，５００，６００から取得した各データの信頼性を判断する例を挙げたが、センサーモジュール２，５００，６００が信頼性の低いデータをホストデバイス３に出力しないようにしてもよい。

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成、例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

上述した実施形態および変形例から以下の内容が導き出される。

センサーモジュールの一態様は、
第１センサーデバイスと、
処理装置と、を備え、
前記第１センサーデバイスは、
第１センサー素子と、
電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
前記処理装置は、
前記電源電圧を生成する電源電圧生成回路と、
前記第１検出信号を処理する信号処理回路と、
前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する判定回路と、を有する。

このセンサーモジュールによれば、処理装置が有する判定回路が、第１センサーデバイスの内部で生成される第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定するので、第１基準電圧の異常を検出することができる。

前記センサーモジュールの一態様において、
前記判定回路は、前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第１センサーデバイスの動作を停止させてもよい。

このセンサーモジュールによれば、異常な第１検出信号を生成するおそれがある第１センサーデバイスの動作を停止させることにより、第１センサーデバイスで無駄に消費される電力を削減することができる。

前記センサーモジュールの一態様において、
前記判定回路は、前記電源電圧が正常範囲にあるか否かをさらに判定してもよい。

このセンサーモジュールによれば、処理装置が有する判定回路が、第１基準電圧の元となる電源電圧が正常範囲にあるか否かを判定するので、第１基準電圧の異常を間接的に検出することができる。

前記センサーモジュールの一態様は、
第２センサーデバイスをさらに備え、
前記第２センサーデバイスは、
第２センサー素子と、
前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
前記信号処理回路は、前記判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にあると判定した場合、前記第１検出信号を処理し、前記判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第１検出信号に代えて前記第２検出信号を処理してもよい。

このセンサーモジュールによれば、処理装置は、第１基準電圧の異常を検出しない場合は第１検出信号を用いて正常な信号処理を行い、第１基準電圧の異常を検出した場合は第２検出信号を用いて正常な信号処理を行うことができる。

前記センサーモジュールの一態様において、
前記第２センサーデバイスは、前記電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路を有し、前記第２検出回路は、前記第２基準電圧が供給されて前記第２検出信号を生成し、
前記判定回路は、前記第１基準電圧が正常範囲ではないと判定した場合、前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定してもよい。

このセンサーモジュールによれば、第１基準電圧の異常を検出した場合に、第２センサーデバイスの内部で生成される第２基準電圧の異常を検出することができる。

センサーモジュールの他の一態様は、
第１センサーデバイスと、
第１処理装置と、
第２センサーデバイスと、
第２処理装置と、
演算装置と、を備え、
前記第１センサーデバイスは、
第１センサー素子と、
第１電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
前記第１処理装置は、
前記第１電源電圧を生成する第１電源電圧生成回路と、
前記第１検出信号を処理する第１信号処理回路と、
前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第１判定回路と、を有し、
前記第２センサーデバイスは、
第２センサー素子と、
第２電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路と、
前記第２基準電圧が供給され、前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
前記第２処理装置は、
前記第２電源電圧を生成する第２電源電圧生成回路と、
前記第２検出信号を処理する第２信号処理回路と、
前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第２判定回路と、を有し、
前記演算装置は、
前記第１判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にあると判定し、かつ、前記第２判定回路が前記第２基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第２信号処理回路が処理して得られた第２データを用いずに前記第１信号処理回路が処理して得られた第１データを用いて演算し、
前記第１判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定し、かつ、前記第２判定回路が前記第２基準電圧が正常範囲にあると判定した場合、前記第１データを用いずに前記第２データを用いて演算する。

このセンサーモジュールによれば、演算装置は、第２処理装置が第２基準電圧の異常を検出した場合は第１信号処理回路が第１検出信号を処理して得られた第１データを用いて正常な演算を行い、第１処理装置が第１基準電圧の異常を検出した場合は第２信号処理回路が第２検出信号を処理して得られた第２データを用いて正常な演算を行うことができる。

センサーシステムの一態様は、
第１センサーデバイス及び第１処理装置を含む第１センサーモジュールと、
第２センサーデバイス及び第２処理装置を含む第２センサーモジュールと、
ホストデバイスと、を備え、
前記第１センサーデバイスは、
第１センサー素子と、
第１電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
前記第１処理装置は、
前記第１電源電圧を生成する第１電源電圧生成回路と、
前記第１検出信号を処理する第１信号処理回路と、
前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第１判定回路と、
前記第１信号処理回路が処理して得られた第１データ及び前記第１判定回路の判定結果を示す第１フラグ情報を前記ホストデバイスに出力する第１インターフェース回路と、を有し、
前記第２センサーデバイスは、
第２センサー素子と、
第２電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路と、
前記第２基準電圧が供給され、前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２
検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
前記第２処理装置は、
前記第２電源電圧を生成する第２電源電圧生成回路と、
前記第２検出信号を処理する第２信号処理回路と、
前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第２判定回路と、
前記第２信号処理回路が処理して得られた第２データ及び前記第２判定回路の判定結果を示す第２フラグ情報を前記ホストデバイスに出力する第２インターフェース回路と、を有し、
前記ホストデバイスは、
前記第１フラグ情報が前記第１基準電圧が正常範囲にあることを示し、かつ、前記第２フラグ情報が前記第２基準電圧が正常範囲にないことを示す場合、前記第２データを用いずに前記第１データを用いて演算し、
前記第１フラグ情報が前記第１基準電圧が正常範囲にないことを示し、かつ、前記第２フラグ情報が前記第２基準電圧が正常範囲にあることを示す場合、前記第１データを用いずに前記第２データを用いて演算する。

このセンサーシステムによれば、ホストデバイスは、第２処理装置が第２基準電圧の異常を検出した場合は第１信号処理回路が第１検出信号を処理して得られた第１データを用いて正常な演算を行い、第１処理装置が第１基準電圧の異常を検出した場合は第２信号処理回路が第２検出信号を処理して得られた第２データを用いて正常な演算を行うことができる。

１…センサーシステム、２…センサーモジュール、３…ホストデバイス、１０Ｘ，１０Ｙ，１０Ｚ…角速度センサーデバイス、１１…センサー素子、１２…駆動回路、１３…検出回路、１４…インターフェース回路、１５…レギュレーター、２０…加速度センサーデバイス、２０…加速度センサーデバイス、２１Ｘ，２１Ｙ，２１Ｚ…センサー素子、２２…駆動回路、２３…検出回路、２４…インターフェース回路、２５…レギュレーター、３０…処理装置、３１…デジタルインターフェース回路、３２…信号処理回路、３３…ホストインターフェース回路、３４…Ａ／Ｄ変換回路、３５…判定回路、３６…メモリー、３７…レギュレーター、４０…温度センサー、１００…６Ｄｏｆセンサーデバイス、１０１ＧＸ，１０１ＧＹ，１０１ＧＺ，１０１ＡＸ，１０１ＡＹ，１０１ＡＺ…センサー素子、１０２…駆動回路、１０３…検出回路、１０４…インターフェース回路、１０５…レギュレーター、２００…サブモジュール、２１０Ｘ，２１０Ｙ，２１０Ｚ…角速度センサーデバイス、２２０…加速度センサーデバイス、２３０…処理装置、２４０…温度センサー、３００…サブモジュール、３１０Ｘ，３１０Ｙ，３１０Ｚ…角速度センサーデバイス、３２０…加速度センサーデバイス、３３０…処理装置、３４０…温度センサー、４００…演算装置、５００…センサーモジュール、５１０Ｘ，５１０Ｙ，５１０Ｚ…角速度センサーデバイス、５２０…加速度センサーデバイス、５３０…処理装置、５４０…温度センサー、６００…センサーモジュール、６１０Ｘ，６１０Ｙ，６１０Ｚ…角速度センサーデバイス、６２０…加速度センサーデバイス、６３０…処理装置、６４０…温度センサー

Claims (7)

1. 第１センサーデバイスと、
   処理装置と、を備え、
   前記第１センサーデバイスは、
   第１センサー素子と、
   電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
   前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
   前記処理装置は、
   前記電源電圧を生成する電源電圧生成回路と、
   前記第１検出信号を処理する信号処理回路と、
   前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する判定回路と、を有する、センサーモジュール。
2. 請求項１において、
   前記判定回路は、前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第１センサーデバイスの動作を停止させる、センサーモジュール。
3. 請求項１において、
   前記判定回路は、前記電源電圧が正常範囲にあるか否かをさらに判定する、センサーモジュール。
4. 請求項１において、
   第２センサーデバイスをさらに備え、
   前記第２センサーデバイスは、
   第２センサー素子と、
   前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
   前記信号処理回路は、前記判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にあると判定した場合、前記第１検出信号を処理し、前記判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第１検出信号に代えて前記第２検出信号を処理する、センサーモジュール。
5. 請求項４において、
   前記第２センサーデバイスは、前記電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路を有し、前記第２検出回路は、前記第２基準電圧が供給されて前記第２検出信号を生成し、
   前記判定回路は、前記第１基準電圧が正常範囲ではないと判定した場合、前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する、センサーモジュール。
6. 第１センサーデバイスと、
   第１処理装置と、
   第２センサーデバイスと、
   第２処理装置と、
   演算装置と、を備え、
   前記第１センサーデバイスは、
   第１センサー素子と、
   第１電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
   前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
   前記第１処理装置は、
   前記第１電源電圧を生成する第１電源電圧生成回路と、
   前記第１検出信号を処理する第１信号処理回路と、
   前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第１判定回路と、を有し、
   前記第２センサーデバイスは、
   第２センサー素子と、
   第２電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路と、
   前記第２基準電圧が供給され、前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
   前記第２処理装置は、
   前記第２電源電圧を生成する第２電源電圧生成回路と、
   前記第２検出信号を処理する第２信号処理回路と、
   前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第２判定回路と、を有し、
   前記演算装置は、
   前記第１判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にあると判定し、かつ、前記第２判定回路が前記第２基準電圧が正常範囲にないと判定した場合、前記第２信号処理回路が処理して得られた第２データを用いずに前記第１信号処理回路が処理して得られた第１データを用いて演算し、
   前記第１判定回路が前記第１基準電圧が正常範囲にないと判定し、かつ、前記第２判定回路が前記第２基準電圧が正常範囲にあると判定した場合、前記第１データを用いずに前記第２データを用いて演算する、センサーモジュール。
7. 第１センサーデバイス及び第１処理装置を含む第１センサーモジュールと、
   第２センサーデバイス及び第２処理装置を含む第２センサーモジュールと、
   ホストデバイスと、を備え、
   前記第１センサーデバイスは、
   第１センサー素子と、
   第１電源電圧に基づいて前記第１センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第１基準電圧を生成する第１基準電圧生成回路と、
   前記第１基準電圧が供給され、前記第１センサー素子から出力される信号に基づく第１検出信号を生成する第１検出回路と、を有し、
   前記第１処理装置は、
   前記第１電源電圧を生成する第１電源電圧生成回路と、
   前記第１検出信号を処理する第１信号処理回路と、
   前記第１基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第１判定回路と、
   前記第１信号処理回路が処理して得られた第１データ及び前記第１判定回路の判定結果を示す第１フラグ情報を前記ホストデバイスに出力する第１インターフェース回路と、を有し、
   前記第２センサーデバイスは、
   第２センサー素子と、
   第２電源電圧に基づいて前記第２センサー素子から出力される信号にオフセットを設定するための第２基準電圧を生成する第２基準電圧生成回路と、
   前記第２基準電圧が供給され、前記第２センサー素子から出力される信号に基づく第２検出信号を生成する第２検出回路と、を有し、
   前記第２処理装置は、
   前記第２電源電圧を生成する第２電源電圧生成回路と、
   前記第２検出信号を処理する第２信号処理回路と、
   前記第２基準電圧が正常範囲にあるか否かを判定する第２判定回路と、
   前記第２信号処理回路が処理して得られた第２データ及び前記第２判定回路の判定結果を示す第２フラグ情報を前記ホストデバイスに出力する第２インターフェース回路と、を有し、
   前記ホストデバイスは、
   前記第１フラグ情報が前記第１基準電圧が正常範囲にあることを示し、かつ、前記第２フラグ情報が前記第２基準電圧が正常範囲にないことを示す場合、前記第２データを用いずに前記第１データを用いて演算し、
   前記第１フラグ情報が前記第１基準電圧が正常範囲にないことを示し、かつ、前記第２フラグ情報が前記第２基準電圧が正常範囲にあることを示す場合、前記第１データを用いずに前記第２データを用いて演算する、センサーシステム。

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