JP2024062137A - Thermal Conductive Materials - Google Patents

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Abstract

【課題】ベーパーチャンバーに使用され、製造時において容器の反りや歪みが少なく、放熱の効率も良い熱伝導部材を提供する。【解決手段】対向する第1シートおよび第2シートの外縁部を、シーラント層を介して加熱圧着して接合し、密封された内部空間を形成した容器と、前記内部空間に封入された作動液と、前記第1シートまたは前記第2シートまたはその両者の内面側に設けられ、毛細管現象によって前記作動液を移動する層であるウィックと、を有する熱伝導部材であって、前記シーラント層は、ポリオレフィン骨格を有するシーラントまたはエポキシ骨格を有するシーラントを含む。【選択図】図1[Problem] To provide a thermally conductive member for use in a vapor chamber, which has little warping or distortion of the container during manufacturing and has good heat dissipation efficiency. [Solution] The thermally conductive member includes a container in which the outer edges of opposing first and second sheets are joined by heat and pressure bonding via a sealant layer to form a sealed internal space, a working fluid sealed in the internal space, and a wick, which is a layer provided on the inner surface of the first sheet or the second sheet or both and which moves the working fluid by capillary action, and the sealant layer includes a sealant having a polyolefin skeleton or a sealant having an epoxy skeleton. [Selected Figure] Figure 1

Description

本発明は、熱伝導部材に関する。 The present invention relates to a thermally conductive member.

近年、電子デバイスの高性能化、小型化、薄型化などが進み、CPUなどの素子からの発熱量が増大していることから、これを効果的に冷却するための熱輸送力の高い熱伝導部材の開発が進められている。なかでも、ヒートパイプの原理を応用した平板状のベーパーチャンバーは、優れた放熱性とスペース効率を有することから注目を集めている。 In recent years, electronic devices have become more powerful, smaller, and thinner, and the amount of heat generated by elements such as CPUs has increased. This has led to the development of thermally conductive materials with high heat transport capacity to effectively cool these elements. In particular, flat vapor chambers that apply the principles of heat pipes have attracted attention due to their excellent heat dissipation properties and space efficiency.

一般的なベーパーチャンバーの動作原理を、ベーパーチャンバーの断面図である図4を参照しながら説明する。ベーパーチャンバー本体は、熱伝導性の良い金属材料、例えば銅やアルミなどの板、箔などを接合して形成され密封された容器となっている。ベーパーチャンバーの内部には、減圧された閉空間があり、熱を移動させるための液体、例えば水が、作動流体として封入されている。また、ウィックと称される多孔質状で毛細管力により作動流体を輸送することができる構造体が容器内面に沿うように設けられている。また内部の空間を確保するためにスペーサが設けられることもある。 The operating principle of a typical vapor chamber will be explained with reference to Figure 4, which is a cross-sectional view of a vapor chamber. The vapor chamber body is a sealed container formed by joining metal materials with good thermal conductivity, such as plates or foils of copper or aluminum. Inside the vapor chamber, there is a closed space with reduced pressure, in which a liquid for transferring heat, such as water, is sealed as the working fluid. In addition, a porous structure called a wick that can transport the working fluid by capillary force is provided along the inner surface of the container. Spacers may also be provided to ensure internal space.

ベーパーチャンバーの一方の面側は吸熱部とされ、CPUやMPUなどの外部の熱源に近接または接触して装着される。熱源から発生する熱を吸熱部で吸収し、その熱で作動流体(例えば水)が吸熱部側のウィックから気化して反対側の放熱部側に移動する。気化した水蒸気が放熱部側のウィックを通過して銅容器に触れて冷却され、再凝集して水になる。この際に銅容器に移行した潜熱は、広い面積の放熱部から容器の外部へと拡散されて容器が冷却される。再凝集した水はウィック内で毛細管現象と重力により吸熱部側に移動し、再度熱源から発生する熱を吸収して気化する。このサイクルを繰り返すことで、熱源から発生した熱を広い面積の放熱部から拡散させることができ、効率的に熱源の冷却が行える。 One side of the vapor chamber is a heat absorption section, which is attached in close proximity to or in contact with an external heat source such as a CPU or MPU. The heat generated from the heat source is absorbed by the heat absorption section, and the working fluid (e.g., water) is vaporized from the wick on the heat absorption section side by the heat and moves to the heat dissipation section on the opposite side. The vaporized water vapor passes through the wick on the heat dissipation section side and is cooled when it comes into contact with the copper container, and re-condenses to become water. The latent heat transferred to the copper container at this time is diffused from the large area of the heat dissipation section to the outside of the container, cooling the container. The re-condensed water moves to the heat absorption section side within the wick due to capillary action and gravity, and once again absorbs heat generated from the heat source and vaporizes. By repeating this cycle, the heat generated from the heat source can be diffused from the large area of the heat dissipation section, allowing the heat source to be cooled efficiently.

従来のベーパーチャンバーでは、図5に示した様に、容器が第1シートと第2シートの2枚の金属シートを外縁部で接合して構成されるのが一般的であり、第1シートと第2シートの外縁部は一般的にレーザー溶接、拡散接合、ホットプレス、ロウ接合など高温・長時間で接合・封止を行っている。その際の課題として、図6に示した様に、高温・長時間で接合を行う熱の歪みや残留応力の開放によって容器が反ってしまうという問題があった。この対策として、容器を支える支柱を形成する提案がされている(特許文献1)が、形状が複雑になり製造が煩雑になっていた。 In conventional vapor chambers, as shown in Figure 5, the container is generally constructed by joining two metal sheets, a first sheet and a second sheet, at their outer edges, and the outer edges of the first sheet and second sheet are generally joined and sealed at high temperatures for a long period of time using methods such as laser welding, diffusion bonding, hot pressing, and solder bonding. One issue with this is that the container can warp due to the release of thermal distortion and residual stress caused by joining at high temperatures for a long period of time, as shown in Figure 6. As a countermeasure to this, it has been proposed to form supports to support the container (Patent Document 1), but this results in a complex shape and makes manufacturing cumbersome.

また容器は金属製で熱伝導性が良く、外縁部で金属同士を接合しているため、図7に示したように、熱源からの熱が外縁部を通じて放熱部側に伝導し、吸熱部でのウィックからの気化に加わる熱が少なくなってしまうという問題があった。また、放熱部側に熱が伝わりやすいことで、放熱の効率が悪くなってしまう、などの問題もあった。 In addition, the container is made of metal, which has good thermal conductivity, and the metal parts are joined together at the outer edge, so as shown in Figure 7, there is a problem that the heat from the heat source is conducted to the heat dissipation part through the outer edge, and less heat is added to the evaporation from the wick in the heat absorption part. There is also the problem that the heat is easily conducted to the heat dissipation part, which reduces the efficiency of heat dissipation.

特許第6923091号公報Patent No. 6923091

そこで本発明は、ベーパーチャンバーに使用され、製造時において容器の反りや歪みが
少なく、放熱の効率も良い熱伝導部材を提供することを課題とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a thermally conductive member that can be used in a vapor chamber, that causes little warping or distortion of the container during manufacturing, and that dissipates heat efficiently.

上記課題を解決するため、本発明は、
対向する第1シートおよび第2シートの外縁部を、シーラント層を介して加熱圧着して接合し、密封された内部空間を形成した容器と、
前記内部空間に封入された作動液と、
前記第1シートまたは前記第2シートまたはその両者の内面側に設けられ、毛細管現象によって前記作動液を移動する層であるウィックと、
を有する熱伝導部材であって、
前記シーラント層は、ポリオレフィン骨格を有するシーラントまたはエポキシ骨格を有するシーラントを含むことを特徴とする熱伝導部材である。
In order to solve the above problems, the present invention provides
a container in which outer edge portions of a first sheet and a second sheet facing each other are joined by heat and pressure via a sealant layer to form a sealed internal space;
A hydraulic fluid sealed in the internal space; and
a wick, which is a layer provided on the inner surface side of the first sheet, the second sheet, or both of them, and which moves the working fluid by capillary action;
A heat conductive member having
The sealant layer is a heat conductive member characterized in that it contains a sealant having a polyolefin skeleton or a sealant having an epoxy skeleton.

上記熱伝導部材において、
前記前記第1シートおよび第2シートは金属であり、前記シーラント層はポリオレフィン骨格を有するシーラントであり、少なくとも1層以上であって、前記第1シートおよび第2シートと接する層に極性基を有するものであって良い。
In the above-mentioned heat conductive member,
The first sheet and the second sheet may be metal, and the sealant layer may be a sealant having a polyolefin skeleton, and may be at least one layer having polar groups in the layer in contact with the first sheet and the second sheet.

シーラント層が金属と接する面に極性基を有することで金属密着性が向上する。 The sealant layer has polar groups on the surface that comes into contact with the metal, improving metal adhesion.

上記熱伝導部材において、
前記シーラント層はポリオレフィン骨格を有するシーラントであり、前記第1シートおよび第2シートと接する層の融点が90℃以上、170℃以下であって良い。
In the above-mentioned heat conductive member,
The sealant layer is a sealant having a polyolefin skeleton, and the melting point of the layer in contact with the first sheet and the second sheet may be 90°C or higher and 170°C or lower.

これにより、低温、短時間でのシールが可能となる。 This allows sealing to be done at low temperatures in a short time.

上記熱伝導部材において、
前記シーラント層が酸変性ポリオレフィン/ポリオレフィン/酸変性ポリオレフィンからなる3層構成であり、その融点がポリオレフィン>酸変性ポリオレフィンであって良い。
In the above-mentioned heat conductive member,
The sealant layer may have a three-layer structure of acid-modified polyolefin/polyolefin/acid-modified polyolefin, and the melting point of the layers may be polyolefin>acid-modified polyolefin.

上記熱伝導部材において、
前記ポリオレフィンのメルトフローレートが3g/10min以下であって良い。
In the above-mentioned heat conductive member,
The polyolefin may have a melt flow rate of 3 g/10 min or less.

上記熱伝導部材において、
前記シーラント層の厚みが20μm以上300μm以下であって良い。
In the above-mentioned heat conductive member,
The sealant layer may have a thickness of 20 μm or more and 300 μm or less.

これにより熱伝導部材の薄型化が可能となる。 This allows the thermal conductive material to be made thinner.

上記熱伝導部材において、
前記エポキシ骨格を有するシーラントがキュアにより硬化するものであって良い。
In the above-mentioned heat conductive member,
The sealant having an epoxy backbone may be hardened by curing.

本発明の熱伝導部材によれば、製造時において反りや歪みが発生する恐れがなく、CPUやアプリケーションプロセッサ(AP)などから発生する熱を効率的に放熱部へ運んで冷却することができ、その異常動作の発生を抑えることができる熱伝導部材が得られる。 The thermal conduction member of the present invention is free from the risk of warping or distortion during manufacturing, and can efficiently transport heat generated by a CPU, application processor (AP), etc. to a heat dissipation section for cooling, thereby providing a thermal conduction member that can suppress the occurrence of abnormal operation.

本発明の熱伝導部材の一形態の断面模式図である。1 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of a heat conductive member of the present invention. 本発明の熱伝導部材の外縁部をシールする態様の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of an embodiment of sealing the outer edge of the heat conductive member of the present invention. 本発明の熱伝導部材で熱源を冷却する状況の説明図である。1 is an explanatory diagram of a situation in which a heat source is cooled by the heat conductive member of the present invention. 本発明の熱伝導部材で熱源から放熱する状況の説明図である。1 is an explanatory diagram of a state in which heat is dissipated from a heat source by the heat conductive member of the present invention; 従来の熱伝導部材の例の断面模式図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an example of a conventional heat conductive member. 従来の熱伝導部材の外縁部をシールする態様の説明図である。1 is an explanatory diagram of a conventional method for sealing the outer edge of a heat conductive member. 従来の熱伝導部材で熱源を冷却する状況の説明図である。1 is an explanatory diagram of a situation in which a heat source is cooled by a conventional heat conductive member.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお本発明は以下に説明する実施形態に限定されるものではない。また以下に示す実施形態では、発明を実施するために技術的に好ましい限定がなされているが、この限定は本発明の必須要件ではない。 The following describes in detail the embodiments of the present invention with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, the embodiments described below have technically preferable limitations for implementing the invention, but these limitations are not essential requirements for the present invention.

図1は、本発明の熱伝導部材の一形態の断面模式図である。熱伝導部材1は、第1シート3と第2シート4を外縁部で接合して密封された内部空間を形成した容器2を有している。第1シート3と第2シート4は、外縁部の接合部12でシーラント樹脂からなるシーラント層5を介して熱圧着されて接合されている。容器2の一方の面(図1では第2シート4側の面)は外部の熱源に接して熱を吸収する吸熱部10となっており、それに対向する面(図1では第1シート3側の面)は、吸収した熱を容器2の外部へと拡散させる放熱部9となっている。 Figure 1 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of the thermally conductive member of the present invention. The thermally conductive member 1 has a container 2 in which a first sheet 3 and a second sheet 4 are joined at their outer edges to form a sealed internal space. The first sheet 3 and the second sheet 4 are joined at the joint 12 of the outer edges by thermocompression bonding via a sealant layer 5 made of a sealant resin. One side of the container 2 (the side facing the second sheet 4 in Figure 1) is a heat absorbing part 10 that comes into contact with an external heat source and absorbs heat, and the opposite side (the side facing the first sheet 3 in Figure 1) is a heat dissipating part 9 that diffuses the absorbed heat to the outside of the container 2.

第1シート3および第2シート4は、熱伝導性が良く、良好な加工性を有する材料で形成され、典型的には金属箔や金属薄板が使用される。なかでも、熱伝導性に優れる銅、アルミニウムなどが好ましい。なおここで第1シート、第2シートというのは、単に区別のためであってそれ以外の特段の差異はない。ただし、加工上の便宜のために、一方のシート(図1では第2シート4)を平坦なシートとし、もう一方(図1では第1シート3)に、内部空間を形成するために絞り加工などにより凹状部分が形成されている。 The first sheet 3 and the second sheet 4 are made of a material with good thermal conductivity and good workability, typically a metal foil or a thin metal plate. Of these, copper, aluminum, and the like, which have excellent thermal conductivity, are preferred. Note that the terms first sheet and second sheet are used here simply for the purpose of distinction, and there is no other particular difference between them. However, for convenience in processing, one sheet (second sheet 4 in FIG. 1) is made flat, and the other (first sheet 3 in FIG. 1) has a concave portion formed by drawing or the like to form an internal space.

内部空間には、吸熱部10から放熱部9への熱の移動の媒体となる作動液7が封入されている。また第1シート3と第2シート4の内面に沿って、多孔性または毛細管構造が形成された材料からなるウィック6が設けられている。ウィック6は毛細管現象によって作動液7を移動する層であり、作動液7が液状である状態では大半がウィック6に含浸された状態となる。また内部空間は、作動液7の気化を容易にするために、大気圧に対して若干減圧された状態とされるため、容器2が潰れない様に維持するためのスペーサ8が設けられている。 The internal space is filled with working fluid 7, which acts as a medium for transferring heat from the heat absorption section 10 to the heat dissipation section 9. A wick 6 made of a material with a porous or capillary structure is provided along the inner surface of the first sheet 3 and the second sheet 4. The wick 6 is a layer that transfers the working fluid 7 by capillary action, and when the working fluid 7 is in a liquid state, most of it is impregnated in the wick 6. The internal space is kept slightly reduced in pressure relative to atmospheric pressure to facilitate the evaporation of the working fluid 7, and a spacer 8 is provided to keep the container 2 from collapsing.

吸熱部10側の作動液7は、熱源からの熱で気化し、気体となって容器2内を放熱部9側に移動して熱を放出して液体に戻る。液体に戻った作動液7は、ウィック6による毛細管現象により再び吸熱部10側に戻り、熱源からの熱を吸収して再び気化する。このサイクルが繰り返されることで、熱源の熱が外部へ拡散され、熱源が冷却される。従って作動液7は一定の温度範囲で気体から液体へ、またその逆に変化し、金属製の容器2との反応性のない液体が用いられ、例えば純水が好適に用いられる。 The working fluid 7 on the heat absorption section 10 side is vaporized by the heat from the heat source, and as a gas it moves inside the container 2 to the heat dissipation section 9 side, where it releases heat and returns to liquid. The working fluid 7 that has returned to liquid returns to the heat absorption section 10 side again due to capillary action caused by the wick 6, absorbs heat from the heat source, and vaporizes again. By repeating this cycle, the heat of the heat source is diffused to the outside, and the heat source is cooled. Therefore, the working fluid 7 changes from gas to liquid and vice versa within a certain temperature range, and a liquid that is not reactive with the metal container 2 is used; for example, pure water is preferably used.

ウィック6は、気体となった作動液7が通過でき、かつ毛細管現象を利用して液体となった作動液7を移動させるもので、作動液7との濡れ性が良好なものが使用され、具体的には多孔質焼結体や網状金属、極細線束、不織布などが例示できる。ウィック6の形状は、作動液7を移動させることができれば特に限定されず、シート状などとすることができ、またその厚さや構造は、一定であっても、部分的に異なっていてもよい。またウィック6は、容器2の内面全体に形成されていても、部分的に形成されていてもよい。 The wick 6 allows the gaseous working liquid 7 to pass through and uses capillary action to move the liquid working liquid 7. A material with good wettability with the working liquid 7 is used, and specific examples include a porous sintered body, a mesh metal, a bundle of ultrafine wires, and a nonwoven fabric. The shape of the wick 6 is not particularly limited as long as it can move the working liquid 7, and it can be a sheet, etc., and its thickness and structure may be constant or may vary partially. The wick 6 may be formed on the entire inner surface of the container 2, or may be formed partially.

シーラント層5としては、ポリオレフィン骨格またはエポキシ骨格を有するシーラントが用いられる。具体的にはポリオレフィン(PO)フィルム、エポキシフィルムが挙げら
れる。
A sealant having a polyolefin skeleton or an epoxy skeleton is used as the sealant layer 5. Specific examples include a polyolefin (PO) film and an epoxy film.

従来の金属同士を直接接合する接合方法では、高いものでは数100℃、長いもので数10分の加熱が必要となっており、容器に加わる熱量が大きいことが反りや歪みの発生の原因となっていた。本発明の熱伝導部材では、第1シートと第2シートの外縁部の間にシーラント層5を設け、比較的低温でかつ、数秒のヒートシールで封止することでこの反りや歪みを防ぐことができる。 Conventional methods for directly joining metals together require heating to several hundred degrees Celsius at the highest and several tens of minutes at the longest, and the large amount of heat applied to the container causes warping and distortion. With the thermally conductive member of the present invention, a sealant layer 5 is provided between the outer edges of the first and second sheets, and this warping and distortion can be prevented by sealing at a relatively low temperature with a heat seal that lasts for several seconds.

ポリオレフィンフィルムまたはエポキシフィルムを使用することで、図2に示す様に、接合部12でのヒートシールは数秒~数10秒の加熱で融着が完了するため、従来の様に高温・長時間の接合が不要であり、低温・短時間のヒートシールで残留応力による歪みを小さくでき、反りの発生を防止できる。また、製造上のタクトタイムも大きく短縮できる。またこれらのフィルムは熱伝導率が低く、第1シート3と第2シート4の間にシーラント層5の厚み分の間隔ができることも合わせて、図3に示す様に、熱源11で発生した熱に対して、外縁部から放熱部9側へ伝わる熱量を低くすることが可能となり、その分がウィック6での作動液7の気化に加わる熱量が増えることになり、放熱の効率を高めることができる。 By using polyolefin film or epoxy film, as shown in Figure 2, heat sealing at the joint 12 is completed by heating for several to several tens of seconds, so high temperature and long time joining is not necessary as in the past. Heat sealing at low temperature and for a short time can reduce distortion due to residual stress and prevent warping. In addition, the manufacturing takt time can be significantly shortened. In addition, these films have low thermal conductivity, and a gap of the thickness of the sealant layer 5 is formed between the first sheet 3 and the second sheet 4. As shown in Figure 3, this makes it possible to reduce the amount of heat transferred from the outer edge to the heat dissipation part 9 side with respect to the heat generated by the heat source 11, and the amount of heat added to the vaporization of the working fluid 7 in the wick 6 increases, improving the efficiency of heat dissipation.

また、構造上、容器2中では作動液7が熱源によって気化されるため、シーラント層5にバリア性がないと気化した作動液7が徐々に外へ出て行ってしまい性能を発揮しなくなることから、バリア性が重要となる。これに対し、ポリオレフィン骨格、またはエポキシ骨格はバリア性が高く、安定して使用することができる。 In addition, due to the structure, the working fluid 7 in the container 2 is vaporized by the heat source, so if the sealant layer 5 does not have barrier properties, the vaporized working fluid 7 will gradually escape to the outside and will no longer perform its function, so barrier properties are important. In contrast, polyolefin skeletons or epoxy skeletons have high barrier properties and can be used stably.

シーラント層5は1層に限らず、複数層の構成としても良い。またシーラント層5の第1シート3および第2シート4と接する層に極性基を有するものとすると好ましい。第1シート3および第2シート4は熱伝導の関係から銅またはアルミが使用されるが、熱伝導を妨げることがあるため、極力これらの表層には処理がされない。このため、通常のシーラントでは金属との密着性が低くなってしまう場合があることから、酸変性基などの極性基をもつシーラントを使用することで密着性が向上し、内圧が上がったときに破裂しなくなる。この場合においても、シーラント層5は単層でも複数層としても良い。 The sealant layer 5 is not limited to a single layer, and may be multiple-layered. It is also preferable that the layer of the sealant layer 5 that contacts the first sheet 3 and the second sheet 4 has a polar group. The first sheet 3 and the second sheet 4 are made of copper or aluminum due to their thermal conductivity, but these surfaces are not treated as much as possible because they may hinder thermal conduction. For this reason, a normal sealant may have low adhesion to metals, so by using a sealant with a polar group such as an acid-modified group, adhesion is improved and the sealant will not burst when the internal pressure increases. Even in this case, the sealant layer 5 may be a single layer or multiple layers.

またシーラント層5の第1シート3および第2シート4と接する層の融点が90℃以上、170℃以下とすると好ましい。ヒートシールの温度・時間は用いるシーラントの融点でコントロールが可能であり、低温短時間シールにするためには、170℃以下の融点が好ましい。一方で熱伝導部材であるため耐熱性が必要となるが、携帯電話などの電子機器では半導体の耐熱性は80℃であるため、融点を90℃以上とすることで、電子機器の耐熱温度範囲内ではシーラント層5が溶融することなく、強度を担保しつつ比較低温かつ短時間シールが可能となる。 The melting point of the layer of the sealant layer 5 that contacts the first sheet 3 and the second sheet 4 is preferably 90°C or higher and 170°C or lower. The temperature and time of heat sealing can be controlled by the melting point of the sealant used, and a melting point of 170°C or lower is preferable for low-temperature, short-time sealing. On the other hand, since it is a thermally conductive material, heat resistance is required. However, since the heat resistance of semiconductors in electronic devices such as mobile phones is 80°C, by setting the melting point to 90°C or higher, the sealant layer 5 does not melt within the heat resistance temperature range of the electronic device, and it is possible to seal at a relatively low temperature and in a short time while maintaining strength.

また、シーラント層5の構成を、酸変性ポリオレフィン(PO)/ポリオレフィン(PO)/酸変性ポリオレフィンからなる3層構成とし、その融点がポリオレフィン>酸変性ポリオレフィンとすると好ましい。3層構成で中間層に酸変性POより高い融点のPO樹脂を構成することで、ヒートシールによる厚み変動を少なくすることができる。ヒートシールによる接合を行うと、熱によりシーラント樹脂が流れてしまい、厚みが変動しやすい。しかし、上記のように酸変性POより融点が高いPO層を設けることで、POは溶けず、または溶けづらく、樹脂が流れづらくなり、厚みを維持することができる。このようにシーラント層5の厚みを維持することで、接合部12での第1シート3と第2シート4の間の熱伝導を安定的に少なくすることができる。 It is also preferable that the sealant layer 5 is a three-layer structure consisting of acid-modified polyolefin (PO)/polyolefin (PO)/acid-modified polyolefin, with the melting point being polyolefin > acid-modified polyolefin. By configuring a PO resin with a higher melting point than the acid-modified PO in the middle layer of the three-layer structure, thickness fluctuation due to heat sealing can be reduced. When joining by heat sealing, the sealant resin flows due to heat, and the thickness is likely to vary. However, by providing a PO layer with a melting point higher than the acid-modified PO as described above, the PO does not melt or melts less easily, the resin does not flow easily, and the thickness can be maintained. By maintaining the thickness of the sealant layer 5 in this way, the heat conduction between the first sheet 3 and the second sheet 4 at the joint 12 can be stably reduced.

またシーラント層5を上記の3層構成としたときの中間層のポリオレフィンのメルトフ
ローレート(MFR)が3g/10min以下とすると好ましい。中間層のPOのMFRを小さくすることでヒートシールによって溶融しても樹脂が流れづらくなるため、厚み変動を小さくすることができる。
When the sealant layer 5 has the above three-layer structure, it is preferable that the polyolefin in the intermediate layer has a melt flow rate (MFR) of 3 g/10 min or less. By reducing the MFR of the PO in the intermediate layer, the resin is less likely to flow even when melted by heat sealing, so that thickness variation can be reduced.

またシーラント層5の厚みは、20μm以上、300μm以下であると好ましい。厚みを厚くしすぎると薄膜化が難しくなり、薄すぎると強度が弱くなる。 The thickness of the sealant layer 5 is preferably 20 μm or more and 300 μm or less. If the thickness is too thick, it becomes difficult to make it thin, and if it is too thin, the strength will be weakened.

またシーラント層5がエポキシ系シーラントであるとき、該エポキシ系シーラントがキュアによる硬化するものであると好ましい。キュア効果によって耐熱性と密着性を付与することができる。 When the sealant layer 5 is an epoxy sealant, it is preferable that the epoxy sealant is cured. The curing effect can impart heat resistance and adhesion.

以下に実施例により本発明をさらに具体的に説明する。
下記の部材を使用し、表1に示す各条件の様に、シーラント層を単層または3層とし、またその融点、厚みなどを変えた試料を作成し、実施例1~17の試料とした。またシーラント層を設けない構成の比較例1、シーラント層をアモルファスPET(A-PET)とした比較例2の試料を作成した。
第1シート : 90mm×100mmの電解銅箔(厚さ20μm)を、成型ポケットが
70mm×80mmの成型機で冷間成型し深さ300μmの凹部を形成。
第2シート : 90mm×100mmの電解銅箔(厚さ20μm)
作動媒体 : 純水
ウィック : 銅メッシュ
支柱 : 銅支柱
シーラント層: 表1参照
比較例1以外は、第1シートの外縁部に10mm幅にカットしたシーラントフィルムを置き、3辺をヒートシーラーにて190℃×0.65MPa×2sでヒートシールし、残りの未シール部から純水3gを内部に入れ、真空シーラーにて-90kPaまで減圧した状態でヒートシールを上記と同一条件で行った。比較例1は、一般的な金属接合の条件で接合した。各資料につき、下記の様に評価を行った。
The present invention will now be described more specifically with reference to examples.
Using the following materials, samples were prepared under the conditions shown in Table 1, with a single or three-layer sealant layer, and with different melting points, thicknesses, etc., to give samples of Examples 1 to 17. Additionally, samples were prepared as Comparative Example 1, which had no sealant layer, and Comparative Example 2, which had an amorphous PET (A-PET) sealant layer.
First sheet: 90 mm x 100 mm electrolytic copper foil (thickness 20 μm) with a molded pocket
Cold forming was performed using a 70 mm x 80 mm molding machine to form a recess with a depth of 300 μm.
Second sheet: 90 mm x 100 mm electrolytic copper foil (thickness 20 μm)
Working medium: Pure water Wick: Copper mesh Support: Copper support Sealant layer: See Table 1 Except for Comparative Example 1, a sealant film cut to a width of 10 mm was placed on the outer edge of the first sheet, and three sides were heat sealed with a heat sealer at 190°C x 0.65 MPa x 2 s. 3 g of pure water was poured into the remaining unsealed part, and heat sealing was performed under the same conditions as above while reducing the pressure to -90 kPa with a vacuum sealer. Comparative Example 1 was bonded under general metal bonding conditions. Each material was evaluated as follows.

◇反り
全辺を封止後に平滑面に作成した試料を第2シートが下になる様に置き、四隅の平滑面からの高さを定規にて測定。その全ての高さの合計値を反り値として算出。
10mm未満 :〇
10mm以上 :×
⇒ 〇以上を合格とした。
◇After sealing all warped sides, place the sample on the smooth surface with the second sheet facing down, and measure the height of the four corners from the smooth surface with a ruler. The total value of all these heights is calculated as the warpage value.
Less than 10mm: 〇 10mm or more: ×
⇒ A score of 〇 or above is considered a pass.

◇バリア性
作成した試料を60℃湿度フリーの環境に1w保管し、サンプルの重量変化から作動液の減少量を測定。このときのシール幅は3mmとした。
減少量が0.1%未満 :〇
減少量が0.1~0.2%未満 :△
減少量が0.2%以上 :×
⇒ 〇以上を合格とした。
◇Barrier properties: The prepared sample was stored in a humidity-free environment at 60°C for 1 week, and the amount of working fluid lost was measured from the change in weight of the sample. The seal width was 3 mm.
Reduction amount is less than 0.1%: 〇 Reduction amount is 0.1 to 0.2%: △
Reduction of 0.2% or more: ×
⇒ A score of 〇 or above is considered a pass.

◇熱伝導
作成した試料の第2シート側に80℃の発熱体を取付け、発熱体より10mm離れた第1シートの10s後の温度を測定。
40℃未満 :◎
40℃~50℃未満 :〇
50℃以上 :×
⇒ 〇以上を合格とした。
◇Heat conduction An 80℃ heating element was attached to the second sheet side of the prepared sample, and the temperature of the first sheet, 10 mm away from the heating element, was measured after 10 seconds.
Below 40℃: ◎
40℃ to less than 50℃: 〇 50℃ or more: ×
⇒ A score of 〇 or above is considered a pass.

◇シール残存
シーラント層が厚いほど外縁部の熱伝導が低下するため、外縁部の厚みを接触式膜厚計で測定し、シーラント層の厚みを測定。
50μm以上 :◎
30μm~50μm未満 :〇~◎
10μm~30μm未満 :〇
5μm~10μm未満 :△
5μm未満 :×
⇒ △以上を合格とした。
◇The thicker the remaining sealant layer, the lower the thermal conductivity of the outer edge. Therefore, measure the thickness of the outer edge with a contact type film thickness gauge, and then measure the thickness of the sealant layer.
50μm or more: ◎
30μm to less than 50μm: 〇~◎
10μm to less than 30μm: 〇 5μm to less than 10μm: △
Less than 5 μm: ×
⇒ △ or above is considered a pass.

◇シートとの密着性
引張試験機にて、第1シートと第2シートをチャッキングでつかみ速度50mm/minで引張り、剥離する強度を測定。
3N/15mm以上 :〇
3N/15mm未満 :×
⇒ 〇以上を合格とした。
Adhesion to sheets: Using a tensile tester, the first and second sheets were gripped with a chuck and pulled at a speed of 50 mm/min to measure the peel strength.
3N/15mm or more: 〇 Less than 3N/15mm: ×
⇒ A score of 〇 or above is considered a pass.

◇耐熱性
熱源によりより加熱されるため、高温環境下でもシートとの密着性が必要になる。80℃環境下に5min放置後、引張試験機で第1シートと第2シートをチャッキングでつかみ速度50mm/minで引張り、剥離する強度を測定。
1N/15mm以上 :〇
1N/15mm未満 :×
⇒ 〇以上を合格とした。
◇Heat resistance
Since the sheet is heated by the heat source, it is necessary for the sheet to adhere to the sheet even in a high-temperature environment. After leaving the sheet in an 80°C environment for 5 minutes, the first sheet and the second sheet are gripped by a chucking machine and pulled at a speed of 50 mm/min to measure the peel strength.
1N/15mm or more: 〇 Less than 1N/15mm: ×
⇒ A score of 〇 or above is considered a pass.

評価結果を合わせて表1に示す。本発明の熱伝導部材によれば、反り、バリア性、熱伝導、シール残存、密着性、耐熱性のいずれの項目においても良好な結果であった。一方比較例においては、シーラント層がないものは反り、熱伝導、シール残存において不合格であり、シーラント層をA-PETとしたものはバリア性が不十分であった。 The evaluation results are shown in Table 1. The thermally conductive member of the present invention achieved good results in all areas including warping, barrier properties, thermal conduction, seal residue, adhesion, and heat resistance. On the other hand, in the comparative examples, the one without the sealant layer failed in warping, thermal conduction, and seal residue, and the one with the A-PET sealant layer had insufficient barrier properties.

1・・・熱伝導部材
2・・・容器
3・・・第1シート
4・・・第2シート
5・・・シーラント層
6・・・ウィック
7・・・作動液
8・・・スペーサ
9・・・放熱部
10・・・吸熱部
11・・・熱源
12・・・接合部
Reference Signs List 1: Heat conductive member 2: Container 3: First sheet 4: Second sheet 5: Sealant layer 6: Wick 7: Working fluid 8: Spacer 9: Heat dissipation section 10: Heat absorption section 11: Heat source 12: Joint section

Claims (7)

対向する第1シートおよび第2シートの外縁部を、シーラント層を介して加熱圧着して接合し、密封された内部空間を形成した容器と、
前記内部空間に封入された作動液と、
前記第1シートまたは前記第2シートまたはその両者の内面側に設けられ、毛細管現象によって前記作動液を移動する層であるウィックと、
を有する熱伝導部材であって、
前記シーラント層は、ポリオレフィン骨格を有するシーラントまたはエポキシ骨格を有するシーラントを含むことを特徴とする熱伝導部材。
a container in which outer edge portions of a first sheet and a second sheet facing each other are joined by heat and pressure via a sealant layer to form a sealed internal space;
A hydraulic fluid sealed in the internal space; and
a wick, which is a layer provided on the inner surface side of the first sheet, the second sheet, or both of them, and which moves the working fluid by capillary action;
A heat conductive member having
The heat conductive member, wherein the sealant layer contains a sealant having a polyolefin skeleton or a sealant having an epoxy skeleton.
前記前記第1シートおよび第2シートは金属であり、前記シーラント層はポリオレフィン骨格を有するシーラントであり、少なくとも1層以上であって、前記第1シートおよび第2シートと接する層に極性基を有するものであることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導部材。 The thermal conductive member according to claim 1, characterized in that the first sheet and the second sheet are metal, the sealant layer is a sealant having a polyolefin skeleton, there is at least one layer, and the layer in contact with the first sheet and the second sheet has a polar group. 前記シーラント層はポリオレフィン骨格を有するシーラントであり、前記第1シートおよび第2シートと接する層の融点が90℃以上、170℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導部材。 The heat conductive member according to claim 1, characterized in that the sealant layer is a sealant having a polyolefin skeleton, and the melting point of the layer in contact with the first sheet and the second sheet is 90°C or higher and 170°C or lower. 前記シーラント層が酸変性ポリオレフィン/ポリオレフィン/酸変性ポリオレフィンからなる3層構成であり、その融点がポリオレフィン>酸変性ポリオレフィンであることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導部材。 The heat conductive member according to claim 1, characterized in that the sealant layer has a three-layer structure consisting of acid-modified polyolefin/polyolefin/acid-modified polyolefin, and the melting point of the layer is polyolefin > acid-modified polyolefin. 前記ポリオレフィンのメルトフローレートが3g/10min以下であることを特徴とする請求項4に記載の熱伝導部材。 The heat transfer member according to claim 4, characterized in that the melt flow rate of the polyolefin is 3 g/10 min or less. 前記シーラント層の厚みが20μm以上300μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導部材。 The heat conductive member according to claim 1, characterized in that the thickness of the sealant layer is 20 μm or more and 300 μm or less. 前記エポキシ骨格を有するシーラント層がキュアにより硬化するものであることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導部材。 The heat conductive member according to claim 1, characterized in that the sealant layer having an epoxy skeleton is hardened by curing.
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