JP2024061433A - 光学センサ、受光モジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】解像度と両立させてダイナミックレンジを確保する光学センサの提供。【解決手段】光学センサは、互いに直交する第一基準面S1及び第二基準面S2を基準として、基準面S1,S2上で相異なる正パワーを、第一基準面S1に沿って長手の反射ビームに作用させる受光光学系であって、第二基準面S2に沿って光軸ROAから離間するほど反射ビームの透過率を減衰させる受光光学系と、受光光学系による第二基準面S2上の焦点に位置合わせされ、受光光学系から光学作用を受けた反射ビームを透過させる光学開口を、第一基準面S1に沿って形成するアパーチャユニットと、受光光学系による第一基準面S1上の焦点に位置合わせされ、基準面S1,S2に沿う二次元方向に配列される複数の受光素子により、光学開口を透過した反射ビームを受光する受光ユニットとを、備える。【選択図】図6

Description

本開示は、光学センサ、及びそれに適用される受光モジュールに、関する。
特許文献1に開示される光学センサは、外界のセンシングエリアへ向けて照射ビームを照射し、当該照射ビームに対するセンシングエリアからの反射ビームを受光することで、センシングを遂行している。
米国特許第10663586号明細書
特許文献1に開示される光学センサは、複数光源からドット状に照射した照射ビームに対する反射ビームを、アパーチャの複数開口にそれぞれ透過させて、受光ユニットにおける複数の受光素子に受光させることで、ダイナミックレンジの確保を可能にしている。しかし、各受光素子の配列される配列面において反射ビームを受光可能な受光エリアは、各照射ビームに対応してドット状に分断されるため、解像度が低下してしまう。
本開示の課題は、解像度と両立させてダイナミックレンジを確保する光学センサ、及びそのための受光モジュールを、提供することにある。
以下、課題を解決するための本開示の技術的手段について、説明する。尚、特許請求の範囲及び本欄に記載された括弧内の符号は、後に詳述する実施形態に記載された具体的手段との対応関係を示すものであり、本開示の技術的範囲を限定するものではない。
本開示の第一態様は、
外界のセンシングエリア(SA)へ向けてライン状の照射ビーム(IB)を照射し、照射ビームに対するセンシングエリアからの反射ビーム(RB)を光軸(ROA)上において受光することにより、センシングを遂行する光学センサであって、
互いに直交する第一基準面(S1)及び第二基準面(S2)を基準として、第一基準面上と第二基準面上とで相異なる正パワーを、第一基準面に沿って長手の反射ビームに作用させる受光光学系であって、第二基準面に沿って光軸から離間するほど反射ビームの透過率を減衰させる受光光学系(42,2042)と、
受光光学系による第二基準面上の焦点(PF2)に位置合わせされ、受光光学系から光学作用を受けた反射ビームを透過させる光学開口(411)を、第一基準面に沿って形成するアパーチャユニット(410)と、
受光光学系による第一基準面上の焦点(PF1)に位置合わせされ、第一基準面と第二基準面とに沿う二次元方向に配列される複数の受光素子(46)により、光学開口を透過した反射ビームを受光する受光ユニット(45,3045)とを、備える光学センサである。
本開示の第二態様は、第一態様の光学センサに適用され、
受光光学系が受光ユニット及びアパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、構成される受光モジュールである。
これら第一及び第二態様によると、受光光学系による第二基準面上の焦点に位置合わせされるアパーチャユニットは、受光光学系から光学作用を受けた反射ビームを透過させる光学開口を、第一基準面に沿って形成する。そこで、受光光学系による第一基準面上の焦点に位置合わせされる受光ユニットは、第一基準面と第二基準面とに沿う二次元方向に配列の複数受光素子により、光学開口を透過した反射ビームを受光する。これによれば、ライン状の照射ビームに応じて光学開口を透過した反射ビームを受光可能となる受光エリアは、受光ユニットにおいて第一基準面に沿う方向に連続し得る。故に、受光ユニットでの解像度の確保が可能となる。
しかも、第一及び第二態様による受光光学系は、第二基準面に沿って光軸から離間するほど、反射ビームの透過率を減衰させる。こうして透過率減衰作用を受けた反射ビームは、アパーチャユニットの光学開口を透過するのに伴って、第一基準面に沿う方向では外光混入を抑制されつつ、第二基準面に沿う方向には強度分布して受光ユニットにより受光され得る。故に、受光ユニットでの解像度と両立させたダイナミックレンジの確保も可能となる。
第一実施形態による光学センサの全体構成を示す模式図である。 第一実施形態による照射部及び走査部を示す模式図である。 第一実施形態による受光部及び走査部を示す模式図である。 第一実施形態による照射部を拡大して示す模式図である。 第一実施形態による受光部を拡大して示す模式図である。 第一実施形態による受光部を拡大して示す模式図である。 第一実施形態による受光部の特性を示すグラフである。 第一実施形態による受光部を拡大して示す模式図である。 第一実施形態による受光部を示す模式図である。 第一実施形態による受光部を示す模式図である。 第一実施形態による受光部の特性を示すグラフである。 第二実施形態による光学センサの全体構成を示す模式図である。 第二実施形態による受光部及び走査部を示す模式図である。 第三実施形態による光学センサの全体構成を示す模式図である。 第三実施形態による受光部及び走査部を示す模式図である。 第三実施形態による受光部を拡大して示す模式図である。 第四実施形態による光学センサの全体構成を示す模式図である。 第四実施形態による受光部及び走査部を示す模式図である。 第五実施形態による光学センサの全体構成を示す模式図である。 第五実施形態による受光部及び走査部を示す模式図である。 第二実施形態の変形例による受光部及び走査部を示す模式図である。
以下、本開示の実施形態を図面に基づき複数説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことで、重複する説明を省略する場合がある。また、各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施形態の構成を適用することができる。さらに、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。
(第一実施形態)
図1に示すように、本開示の第一実施形態による光学センサ10は、移動体としての車両に搭載される、LiDAR(Light Detection and Ranging/Laser Imaging Detection and Ranging)である。尚、以下の説明では断り書きがない限り、前、後、上、下、左、及び右が示す各方向は、水平面上の車両を基準として定義される。また、水平方向は水平面に対する接線方向を示し、鉛直方向は水平面に対する垂直方向を示す。
光学センサ10は、例えば前方部、左右の側方部、後方部、及び上方のルーフ等のうち、車両における少なくとも一箇所に配置される。光学センサ10は、車両の外界のうち、配置箇所に応じたセンシングエリアSAへと向けて、ビームIBを照射する。光学センサ10は、そうしたセンシングエリアSAへの照射ビームIBが同エリアSA内の物標により反射されてくる反射ビームRBを受光することで、センシングを遂行する。そこで、反射ビームRBとなる照射ビームIBには、通常、外界の人間から視認困難な近赤外域の光が、選択される。
光学センサ10は、反射ビームRBを受光することで、センシングエリアSA内の物標をセンシングする。ここで物標のセンシングとは、例えば光学センサ10から物標までの距離、物標が存在する方向、及び物標からの反射ビームRBの反射強度等のうち、少なくとも一種類である。特に、車両に適用される光学センサ10においてセンシング対象となる物標は、例えば歩行者、サイクリスト、人間以外の動物、及び他車両等の移動物体のうち、少なくとも一種類であってもよい。また、車両に適用される光学センサ10においてセンシング対象となる物標は、例えばガードレール、道路標識、道路脇の構造物、及び道路上の落下物等の静止物体のうち、少なくとも一種類であってもよい。
光学センサ10においては、互いに直交する三軸としてのX軸、Y軸、及びZ軸により、三次元直交座標系が定義されている。特に、車両に適用される光学センサ10においてY軸方向は、同車両の鉛直方向に設定されている。また、車両に適用される光学センサ10においてX軸方向及びZ軸方向は、同車両の相異なる水平方向に設定されている。そこで図1,5,6に示すように、光学センサ10において基準となる第一基準面S1は、いわゆるタンジェンシャル面として、Y軸及びZ軸を含んだYZ平面に、規定されている。それと共に図2,3,5,6に示すように、光学センサ10において第一基準面S1とは直交した基準となる第二基準面S2は、X軸及びZ軸を含んだXZ平面に、規定されている。さらに図4~6に示すように、光学センサ10において第一基準面S1及び第二基準面S2とは直交した基準となる第三基準面S3は、X軸及びY軸を含んだXY平面に、規定されている。
図1~3に示すように光学センサ10は、筐体部11、照射部21、走査部31、受光部41、及び制御部51を含んで構成されている。筐体部11は、図1に示すように光学センサ10の外装を形成する。筐体部11は、遮光ケース12、及びカバーパネル15を備えている。尚、図1においては、Y軸方向の一点鎖線よりも左側部分(カバーパネル15側)が実際には、当該一点鎖線よりも右側部分(照射部21側及び受光部41側)に対して直交する断面を図示している。
遮光ケース12は、遮光性を有する、例えば合成樹脂又は金属等により、形成されている。遮光ケース12は、全体として箱状を呈している。遮光ケース12は、単独の部品により、又は複数部品の組み合わせにより、構築されている。遮光ケース12は、照射部21、走査部31、及び受光部41を内部に収容している。さらに遮光ケース12は、図1の如く制御部51を内部に収容していてもよい。
カバーパネル15は、近赤外域での透光性を有する、例えば合成樹脂又はガラス等の基材を主体として、形成されている。カバーパネル15は、全体として平板状又は曲率を持った形状を呈している。カバーパネル15は、遮光ケース12に設けられた貫通口全体を、閉塞している。
図1,2に示すように照射部21は、投光ユニット22、及び照射光学系26を備えている。投光ユニット22は、筐体部11内に配置され、照射ビームIBとなる近赤外域のレーザ光を発する。そのために図4に示すように投光ユニット22は、複数のレーザ発振素子24を投光アレイ基板上に有している。各レーザ発振素子24は、Y軸方向に単列の一次元に配列されている。各レーザ発振素子24は、例えばエッジエミッタレーザ、又は面発光レーザ等である。各レーザ発振素子24は、それぞれ照射ビームIBの一部となるレーザ光を、発する。
投光ユニット22は、擬似的にY軸方向に長手の矩形輪郭をもって規定される投光窓25を、投光アレイ基板の片面側に形成している。投光窓25は、各レーザ発振素子24におけるレーザ発振開口の集合体として、構築されている。これにより、各レーザ発振素子24のレーザ発振開口から出力されるレーザ光は、図1に示すセンシングエリアSAにおいては、Y軸方向に長手のライン状に擬制される照射ビームIBとして、投光窓25から投射される。筐体部11内における照射ビームIBには、Y軸方向において各レーザ発振素子24の配列間隔に応じた非発光部が、含まれていてもよい。この場合でもセンシングエリアSAにおいては、後述する照射光学系26の光学作用によって巨視的に非発光部の解消されたライン状の照射ビームIBが、形成されるとよい。
図1,2に示すように照射光学系26は、筐体部11内において投光ユニット22と走査部31の走査ミラー32との間に、配置されている。照射光学系26は、投光ユニット22からの照射ビームIBを、走査ミラー32へ向かって投光する。そのために照射光学系26は、投光ユニット22から投射された照射ビームIBを、Z軸方向の照射光軸IOA上において走査ミラー32にまで導光する。こうした導光を実現するために照射光学系26は、遮光ケース12によって保持される照射レンズ27を、有している。照射レンズ27は、近赤外域での透光性を有する、例えば合成樹脂又はガラス等のレンズ基材を主体として、形成されている。
ここで特に第一実施形態の照射レンズ27には、前段のシリンドリカルレンズ27aと、後段の回転対称レンズ27bとの、一対が選定されている。シリンドリカルレンズ27aは、母線方向がX軸方向且つ正パワー方向がY軸方向となる、平凸シリンドリカル型である。回転対称レンズ27bは、正パワー方向がZ軸まわりの任意方向となる、両凸型である。照射光学系26は、これらシリンドリカルレンズ27a及び回転対称レンズ27bの組み合わせにより、Y軸方向とX軸方向とで相異なる正パワーを、照射ビームIBに作用させる。
図1~3に示すように走査部31は、走査ミラー32、及び走査モータ35を備えている。走査ミラー32は、筐体部11内においてカバーパネル15と照射光学系26との間から、カバーパネル15と受光部41の受光光学系42との間に跨って配置されている。走査ミラー32は、照射光学系26から投射された照射ビームIBをセンシングエリアSAへ向けて走査し、当該照射ビームIBに対するセンシングエリアSAからの反射ビームRBを受光光学系42へ向けて反射する。
走査ミラー32は、例えば合成樹脂又はガラス等の基材を主体として、形成されている。走査ミラー32は、全体として平板状を呈している。走査ミラー32は、例えばアルミニウム、銀、又は金等の反射膜がミラー基材の片面側に蒸着されることで、Y軸方向に長手の矩形輪郭に反射面33を形成している。
走査ミラー32は、遮光ケース12により回転自在に保持される、回転軸34を有している。回転軸34は、反射面33が長手となるY軸方向に、延伸配置されている。走査ミラー32は、Y軸方向に延伸設定された回転中心線CMまわりに回転することで、反射面33の法線方向を当該回転中心線CMまわりに調整する。そこで走査ミラー32は、例えば機械的又は電気的なストッパ等により、有限の回転角範囲DR内において揺動運動可能となっている。これにより、走査ミラー32の反射する照射ビームIBは、カバーパネル15の外形輪郭からは外れないように制限されている。
走査ミラー32は、照射部21と受光部41とに共通に設けられている。そこで走査ミラー32における反射面33は、照射ビームIBと反射ビームRBとに共通に設けられている。反射面33において、照射ビームIBを反射する部分と、反射ビームRBを反射する部分とは、互いに離間、又は少なくとも一部ずつが互いに重畳するように、構成される。
図1,2に示すように照射ビームIBは、走査ミラー32の回転駆動に応じて法線方向の調整される反射面33から反射作用を受けることで、カバーパネル15を透過してセンシングエリアSAを時間的及び空間的に走査する。センシングエリアSAに対する照射ビームIBの走査は、回転中心線CMまわりでの走査ミラー32の回転駆動に応じて、水平方向に対する走査に実質制限される。これにより走査ミラー32の回転角範囲DRは、センシングエリアSAでの水平画角を定義付けることになる。
照射ビームIBは、センシングエリアSAに存在する物標により反射されることで、光学センサ10へリターンする反射ビームRBとなる。反射ビームRBは、カバーパネル15を再度透過して、走査ミラー32の反射面33へと入射する。ここで走査ミラー32の回転運動速度に対して、照射ビームIB及び反射ビームRBの速度は十分に大きい。これにより反射ビームRBは、照射ビームIBと略同一回転角度の走査ミラー32において反射面33から反射作用を受けることで、照射ビームIBと逆行するように受光光学系42へ導光されるものとして、擬制可能である。
図1に示すように走査モータ35は、筐体部11内において走査ミラー32の周囲に、配置されている。走査モータ35は、例えばボイスコイルモータ、ブラシ付きDCモータ、又はステッピングモータ等である。走査モータ35の出力軸は、走査ミラー32の回転軸34に直接的に、又は例えば減速機等の駆動機構を介して間接的に、結合される。走査モータ35は、出力軸と共に回転軸34を回転駆動可能に、遮光ケース12によって保持されている。走査モータ35は、回転軸34を回転角範囲DR内にて回転駆動する。
図1,3に示すように受光部41は、受光光学系42、及び受光ユニット45を備えている。受光光学系42は、筐体部11内において走査ミラー32と受光ユニット45との間に、配置されている。受光光学系42は、Y軸方向の照射光学系26よりも下方に、位置決めされている。
受光光学系42は、走査ミラー32からの反射ビームRBを受光ユニット45に結像させる。そのために受光光学系42は、走査ミラー32から反射された反射ビームRBを、Z軸方向の受光光軸ROA上において受光ユニット45に受光させる。このとき反射ビームRBは、照射ビームIBに対応したY軸方向に長手且つ近赤外域のライン状ビームとして、受光光軸ROAに沿った導光作用を走査ミラー32の回転角範囲DR全域に亘って受ける。そこで受光光学系42は、遮光ケース12によって保持される受光レンズ43を、有している。受光レンズ43は、近赤外域での透光性を有する、例えば合成樹脂又はガラス等のレンズ基材を主体として、形成されている。
ここで特に第一実施形態の受光レンズ43には、前段の回転対称レンズ43aと、後段のシリンドリカルレンズ43bとの、一対が選定されている。回転対称レンズ43aは、正パワー方向がZ軸まわりの任意方向となる、両凸型である。シリンドリカルレンズ43bは、母線方向がY軸方向且つ正パワー方向がX軸方向となる、平凸シリンドリカル型である。受光光学系42は、これら回転対称レンズ43a及びシリンドリカルレンズ43bの組み合わせにより、Y軸方向とX軸方向とで相異なる正パワーを、Y軸方向に長手の反射ビームRBに作用させる。即ち、互いに直交する第一基準面S1及び第二基準面S2を基準として受光光学系42は、第一基準面S1上と第二基準面S2上とで相異なる正パワーを、第一基準面S1に沿って長手の反射ビームRBに作用させる。
受光ユニット45は、筐体部11内においてY軸方向の投光ユニット22よりも下方に、位置決めされている。受光ユニット45は、受光光学系42によって結像される反射ビームRBを受光することで、受光信号を出力する。そのために、図5に示すように受光ユニット45は、複数の受光素子46を受光アレイ基板上に有している。各受光素子46は、Y軸方向とX軸方向とに複数列ずつの二次元に配列されている。即ち各受光素子46は、第一基準面S1及び第二基準面S2に沿う二次元方向に配列されている。
図1,3,5に示すように、受光ユニット45において各受光素子46が配列されて反射ビームRBを受光する受光面は、Z軸方向とは直交し且つY軸方向に長手となる矩形輪郭の配列面47として、受光アレイ基板の片面側に形成されている。即ち、第一基準面S1及び第二基準面S2と直交する第三基準面S3を基準として、受光ユニット45における各受光素子46の配列面47は、第三基準面S3に沿う姿勢に位置決めされている。このような配列面47は、各受光素子46における入射面の集合体として、構築される。
受光ユニット45において各受光素子46は、シングルフォトンアバランシェダイオード(SPAD:Single Photon Avalanche Diode)を主体として、構成されている。そこで受光ユニット45では、各受光素子46から受光信号を読み出す単位として図5に太線で囲って示される受光画素48の複数が、それぞれ設定数ずつの受光素子46を含むように構築されている。ここで、Y軸方向とX軸方向とには相異なる複数ずつの受光素子46から各受光画素48が構築されることで、特に第一実施形態では、それら各受光画素48がY軸方向に単列の一次元に配列されている。即ち、受光ユニット45の配列面47において各受光画素48は、第一基準面S1に沿う一次元方向に配列されている。
こうした構成の受光ユニット45において各受光画素48別には、反射ビームRBに応答する受光素子46の当該応答数に追従して、受光信号の信号値が変化する。そうした受光信号を、各受光画素48別に受光素子46の設定数分ずつ束ねることになる受光ユニット45では、後に説明する詳細構成によってダイナミックレンジを高めることが可能となっている。そこで、図1,3に示すように受光ユニット45は、各受光画素48別に設定数ずつの受光素子46から読み出される受光信号をサンプリングして制御部51へと出力するために、出力回路49を有している。
図1に示す制御部51は、センシングエリアSA内における物標のセンシングを制御する。制御部51は、プロセッサ及びメモリを含むコンピュータの、少なくとも一つを主体として構成されている。制御部51は、その全体が筐体部11内に収容されていてもよい(図1の例)。制御部51は、その全体が筐体部11外の車両に配置されていてもよい。制御装置1は、筐体部11内と筐体部11外の車両とに跨って分散配置されていてもよい。
制御部51は、投光ユニット22、走査モータ35、及び受光ユニット45と接続されている。制御部51は、投光ユニット22からの照射ビームIBの照射タイミングと同期して走査ミラー32を回転駆動しつつ、受光ユニット45における受光信号の読み出し及び出力を制御する。これにより制御部51は、受光ユニット45から出力された受光信号に基づくことで、センシングエリアSA内の物標をセンシングした、例えば画像データ等のセンシングデータを生成する。
(詳細構成)
次に、受光部41の詳細構成を説明する。
図1,3,6に示すように受光部41における受光光学系42は、アポダイゼーションエレメント420を、さらに有している。アポダイゼーションエレメント420は、筐体部11内の受光光学系42において前段の回転対称レンズ43aと後段のシリンドリカルレンズ43bとの間に、配置されている。アポダイゼーションエレメント420は、受光ユニット45における各受光素子46の配列面47に対して共役となる共役点に、位置合わせされている。
アポダイゼーションエレメント420は、近赤外域での透過率を分布させる光学特性の付与された、平板状のアポダイゼーションフィルタである。そこでアポダイゼーションエレメント420は、例えば合成樹脂又はガラス等のフィルタ基材を主体として、近赤外域に対する透過率分布をもって形成されている。アポダイゼーションエレメント420は、遮光ケース12により保持されることで、Z軸方向とは直交して広がっている。即ち、受光光学系42におけるアポダイゼーションエレメント420は、第三基準面S3に沿って位置決めされている。
図6,7に示すようにアポダイゼーションエレメント420では、X軸方向において受光光軸ROA上の中心部から外周部へ向かうほど、反射ビームRBの透過率がガウス分布状に低下する。即ち、受光光学系42におけるアポダイゼーションエレメント420は、第二基準面S2に沿って受光光軸ROAから離間するほど、反射ビームRBの透過率を減衰させる。ここで図6は、反射ビームRBの透過率を、減衰するほど薄くなるグレースケール状に示している。但し、第一実施形態のアポダイゼーションエレメント420では、図6にクロスハッチングを付して示す枠状の最外周部421(図1,3の白塗での図示も参照)が、遮光膜により被覆されることで、反射ビームRBの透過率が実質0に制限されている。
図1,3に示すように受光部41における受光光学系42は、バンドパスエレメント422を、さらに有している。バンドパスエレメント422は、筐体部11内における受光光学系42のシリンドリカルレンズ43bよりも後段側且つ受光ユニット45よりも前段側に、配置されている。
バンドパスエレメント422は、受光光学系42においてレンズ43a,43bから光学作用を受けた反射ビームRBの透過を、照射ビームIBの設定帯域である近赤外域に制限するように光学特性の付与された、平板状のバンドパスフィルタである。そこでバンドパスエレメント422は、例えば合成樹脂又はガラス等のフィルタ基材を主体として、近赤外域に対しては透光性を有する一方で、それ以外の帯域に対しては実質0の透過率をもって形成されている。バンドパスエレメント422は、遮光ケース12により保持されることで、Z軸方向とは直交して広がっている。即ち、受光光学系42におけるバンドパスエレメント422は、第三基準面S3(図5,6参照)に沿って位置決めされている。
図1,3,8,9に示すように受光部41には、アパーチャユニット410がさらに設けられている。アパーチャユニット410は、筐体部11内において受光光学系42の最後段に位置するバンドパスエレメント422と、受光ユニット45との間に配置されている。図9に示すようにアパーチャユニット410は、受光光学系42による第二基準面S2上の焦点PF2として、特に第一実施形態では各レンズ43a,43bによる同面S2上での平行ビームに対する合成焦点に、位置決めされている。
図1,3,8,9に示すようにアパーチャユニット410は、近赤外域での透光性を部分的に付与された光学開口411を有する、平板状の光学絞りである。このようなアパーチャユニット410は、例えば合成樹脂又はガラス等の近赤外域での透光性基材を主体として、光学開口411の外周側では当該透光性基材の表面が例えば金属膜、レジスト膜、誘電体膜又は塗膜等の遮光膜に被覆される状態に、形成されていてもよい。アパーチャユニット410は、例えば合成樹脂又は金属等の遮光性基材を主体として、当該遮光性基材を貫通する光学開口411の外周側では、実質0の透過率をもって形成されていてもよい。
アパーチャユニット410は、遮光ケース12により保持されることで、Z軸方向とは直交して広がっている。即ち、受光光学系42におけるアパーチャユニット410は、第三基準面S3に沿って位置決めされている。こうしたアパーチャユニット410の形成する光学開口411には、受光光学系42において要素43a,420,43b,422から光学作用を受けた反射ビームRBが、入射する。そこで光学開口411は、入射した反射ビームRBを、透過させて後段の受光ユニット45側へと出射する。
アパーチャユニット410における光学開口411は、Y軸方向に長手の矩形輪郭を有している。即ち、アパーチャユニット410における光学開口411は、第一基準面S1に沿って形成されている。そこで図9に示すアパーチャユニット410は、第二基準面S2に沿ったX軸方向での光学開口411のサイズΔa(図8参照)を許容距離と定義すると、受光光学系42による第二基準面S2上の焦点PF2から受光光軸ROAに沿った両側において、それぞれ当該許容距離内に位置合わせされる。この定義下において許容距離となるサイズΔaは、第二基準面S2上での焦点深度以上に設定されているとよい。さらにアパーチャユニット410は、受光光学系42による第二基準面S2上の焦点PF2から受光光軸ROAに沿った両側では、それぞれ同面S2上での焦点深度内に位置合わせされていてもよい。
図10に示すように受光部41では、受光光学系42による第一基準面S1上の焦点PF1として、特に第一実施形態では各レンズ43a,43bによる同面S1上での平行ビームに対する合成焦点に、受光ユニット45の配列面47が位置決めされている。そこで配列面47は、第二基準面S2に沿ったX軸方向での受光画素48のサイズΔp(図5参照)を許容距離と定義すると、受光光学系42による第一基準面S1上の焦点PF1から受光光軸ROAに沿った両側において、それぞれ当該許容距離内に位置合わせされる。この定義下において許容距離となるサイズΔpは、第一基準面S1上での焦点深度以上に設定されているとよい。さらに配列面47は、受光光学系42による第一基準面S1上の焦点PF1から受光光軸ROAに沿った両側では、それぞれ同面S1上での焦点深度内に位置合わせされていてもよい。
こうした構成により受光ユニット45では、アパーチャユニット410の光学開口411を透過した反射ビームRBが、配列面47上では図11に示すようにアポダイゼーションエレメント420での透過率分布に応じた強度分布をもって、受光される。そこで、第二基準面S2に沿うX軸方向では、反射ビームRBの受光強度分布がピーク強度の1/eとなる範囲に定義される受光エリアRAが、配列面47において上記画素サイズΔp(図5も参照)に応じて有効となる有効エリアEAよりも、小さく調整されているとよい。また、こうした受光強度分布に基づき、ピーク強度の反射ビームRBが遠距離物標又は低反射物標のセンシングに利用される一方、受光エリアRAの両端付近における裾野強度は近距離物標又は高反射物標のセンシングに利用されるとよい。
(作用効果)
以上説明した第一実施形態の作用効果を、以下に説明する。
第一実施形態によると、受光光学系42による第二基準面S2上の焦点PF2に位置合わせされるアパーチャユニット410は、受光光学系42から光学作用を受けた反射ビームRBを透過させる光学開口411を、第一基準面S1に沿って形成する。そこで、受光光学系42による第一基準面S1上の焦点PF1に位置合わせされる受光ユニット45は、第一基準面S1と第二基準面S2とに沿う二次元方向に配列の複数受光素子46により、光学開口411を透過した反射ビームRBを受光する。これによれば、ライン状の照射ビームIBに応じて光学開口411を透過した反射ビームRBを受光可能となる受光エリアRAは、受光ユニット45において第一基準面S1に沿うY軸方向に連続し得る。故に、受光ユニット45での解像度の確保が可能となる。
しかも、第一実施形態による受光光学系42は、第二基準面S2に沿って受光光軸ROAから離間するほど、反射ビームRBの透過率を減衰させる。こうして透過率減衰作用を受けた反射ビームRBは、アパーチャユニット410の光学開口411を透過するのに伴って、第一基準面S1に沿うY軸方向では外光混入を抑制されつつ、第二基準面S2に沿うX軸方向には強度分布して受光ユニット45により受光され得る。故に、受光ユニット45での解像度と両立させたダイナミックレンジの確保も可能となる。
第一実施形態によると、第二基準面S2に沿って受光光軸ROAから離間するほど反射ビームRBの透過率を減衰させるアポダイゼーションエレメント420は、受光ユニット45における受光素子46の配列面47に対しての共役点に、位置合わせされる。これによれば、第二基準面S2に沿うX軸方向に強度分布した反射ビームRBの受光エリアRAが、受光素子46の配列面47上に正確に形成され得る。故に、ダイナミックレンジを確保する効果の信頼性を、高めることが可能となる。
第一実施形態によると、第二基準面S2に沿ったX軸方向での光学開口411のサイズΔaを許容距離として、受光光学系42による第二基準面S2上の焦点PF2からは受光光軸ROAに沿った当該許容距離内に、アパーチャユニット410が位置合わせされる。これによれば、第一基準面S1に沿うY軸方向では外光混入を抑制した反射ビームRBを、第二基準面S2に沿うX軸方向には強度分布させる光学作用が、アパーチャユニット410によって的確に発揮され得る。故に、ダイナミックレンジを確保する効果の信頼性を、高めることが可能となる。
第一実施形態による受光光学系42のバンドパスエレメント422は、照射ビームIBの設定帯域に反射ビームRBの透過を制限する。これによれば、第二基準面S2に沿ったX軸方向には強度分布する反射ビームRBに対して、アパーチャユニット410による第一基準面S1に沿ったY軸方向での外光混入抑制機能だけでなく、バンドパスエレメント422での透過制限による外光混入抑制機能も、発揮され得る。故に、ダイナミックレンジを確保する効果の信頼性を、高めることが可能となる。
第一実施形態によると、受光信号を読み出す単位となる複数の受光画素48は、それぞれ設定数ずつの受光素子46を含んで構成される。そこで、受光ユニット45における受光素子46の配列面47は、第二基準面S2に沿ったX軸方向での受光画素48のサイズΔpを許容距離として、受光光学系42による第一基準面S1上の焦点PF1からは受光光軸ROAに沿った当該許容距離内に、位置合わせされる。これによれば、結像された反射ビームRBを受光可能となる受光エリアRAが、各受光画素48毎に設定数ずつとなる受光素子46の配列面47上において、第一基準面S1に沿うX軸方向に連続して形成され得る。故に、解像度を確保する効果の信頼性を、高めることが可能となる。
第一実施形態によると、第一基準面S1と第二基準面S2とに沿う二次元方向に、受光素子46としてのSPADが配列される。これにより特に第二基準面S2に沿った方向では、強度分布する反射ビームRBに応じた受光素子46を応答させて、ダイナミックレンジを的確に確保することが可能となる。
(第二実施形態)
図12,13に示すように第二実施形態は、第一実施形態の変形例である。
第二実施形態の受光部2041では、筐体部11内の受光光学系2042においてシリンドリカルレンズ43bよりも後段側且つバンドパスエレメント422よりも前段側に、アパーチャユニット410が配置されている。これによりアパーチャユニット410の光学開口411は、受光光学系42において要素43a,420,43bから光学作用を受けた反射ビームRBを、バンドパスエレメント422及び受光ユニット45の側へ向けて透過させる。
第二実施形態の受光光学系2042には、コリメートエレメント2424が追加されている。コリメートエレメント2424は、筐体部11内においてアパーチャユニット410よりも後段側且つバンドパスエレメント422よりも前段側に、配置されている。コリメートエレメント2424は、アパーチャユニット410を透過した反射ビームRBを、実質平行ビーム又はその近似ビームへとコリメートしてからバンドパスエレメント422に入射させる、コリメートレンズである。
コリメートエレメント2424は、近赤外域での透光性を有する、例えば合成樹脂又はガラス等のレンズ基材を主体として、形成されている。そこでバンドパスエレメント422は、第一実施形態と同様にフィルタ基材を主体とした後段側のバンドパスエレメント422に、重ね合わせて接合されていてもよい。コリメートエレメント2424は、近赤外域に対しては透光性を有する一方で、それ以外の帯域に対しては実質0の透過率となるバンドパスエレメント422としてのフィルタ膜により、被覆されていてもよい。
ここで特に第二実施形態のコリメートエレメント2424には、母線方向がY軸方向且つ正パワー方向がX軸方向となる、平凸シリンドリカル型のコリメートレンズが選定されている。これによりコリメートエレメント2424は、Y軸方向とX軸方向とで相異なる正パワーを、Y軸方向に長手の反射ビームRBに対して作用させる。即ちコリメートエレメント2424は、第一基準面S1上と第二基準面S2上とで相異なる正パワーを、第一基準面S1に沿って長手の反射ビームRBに作用させる。これによりバンドパスエレメント422は、受光光学系2042においてコリメートエレメント2424から光学作用を受けた反射ビームRBの透過を、近赤外域に制限する。
このように第二実施形態による受光光学系2042のコリメートエレメント2424は、アパーチャユニット410を透過した反射ビームRBをコリメートしてバンドパスエレメント422に透過させる。これによれば、第二基準面S2に沿ったX軸方向には強度分布する反射ビームRBが、光学センサ10への入射角度によってはバンドパスエレメント422から透過制限を受けてしまう事態を、抑止することができる。故に、ダイナミックレンジを確保する効果の信頼性を、高めることが可能となる。さらに第二実施形態によっても、第一実施形態と同様な作用効果を発揮することが可能である。
(第三実施形態)
図14~16に示すように第三実施形態は、第一実施形態の変形例である。
第三実施形態の受光ユニット3045においては、Y軸に対して直交すると共に、受光光軸ROA(即ちZ軸)及びX軸の各々に対してY軸まわりの片側に鋭角且つY軸まわりの逆側に鈍角を挟んで傾斜する傾斜軸XZAが、定義されている。この定義下、受光ユニット3045における各受光素子46の配列面3047は、傾斜軸XZAの設定方向とY軸方向とへ広がる姿勢に、位置決めされている。これにより配列面3047は、第一基準面S1に対して、且つ第三基準面S3に対しても、傾斜して配置されている。ここで、Y軸とは直交し且つ受光光軸ROAを含む断面(図15参照)において受光光軸ROAをX軸方向に挟んだ両側のうち、配列面3047が受光光軸ROAに接近している側は、いずれの側であってもよい。
傾斜配置の配列面3047においても図16に示すように各受光素子46は、第一基準面S1と第二基準面S2とに沿う二次元方向としての、傾斜軸XZAの設定方向とY軸方向とに配列された状態となる。それと共に、設定数ずつの受光素子46から構成される各受光画素48は、傾斜配置の配列面3047においても第一基準面S1に沿う一次元方向として、Y軸方向に配列された状態となる。さらに図15に示すように、傾斜配置の配列面47による反射ビームRBの再帰反射成分RCは、当該傾斜配置によって受光光軸ROAから外れるだけでなく、アパーチャユニット410の光学開口411からも外れるように、反射方向を調整されている。
このように第三実施形態の受光ユニット3045において受光素子46の配列面3047は、第一基準面S1に対して傾斜して配置される。これによれば、受光ユニット3045による反射ビームRBの再帰反射成分RCを受光光軸ROAから外れた方向へと導いて、当該再帰反射成分にROAに起因したゴーストビームの発生を抑止することができる。故に、解像度及びダイナミックレンジの確保がゴーストビームによっては阻害され難くなる。
第三実施形態の受光ユニット3045において受光素子46の配列面3047による反射ビームRBの再帰反射成分RCは、当該配列面3047の傾斜配置によりアパーチャユニット410における光学開口411からも外れるように導光される。これによれば、第二基準面S2に沿ったX軸方向に強度分布する反射ビームRBが、受光ユニット3045での再帰反射により光学開口411へと進入してアパーチャユニット410からさらなる反射作用を受けることによる、ゴーストビームとしての混入を抑止することができる。故に、特にダイナミックレンジの確保がゴーストビームによっては阻害され難くなる。
さらに第三実施形態によっても、第一実施形態と同様な作用効果を発揮することが可能である。尚、第三実施形態は、第二実施形態と組み合わせて実施されてもよい。
(第四実施形態)
図17,18に示すように第四実施形態は、第一実施形態の変形例である。
第四実施形態の受光部4041には、モジュールケース4412が設けられている。モジュールケース4412は、遮光性を有する、例えば合成樹脂、金属又はセラミックス等により、形成されている。モジュールケース4412は、全体として遮光ケース12よりも小型の箱状を呈することで、筐体部11内に配置されている。モジュールケース4412は、単独の部品により、又は複数部品の組み合わせにより、構築されている。モジュールケース4412は、受光ユニット45及びアパーチャユニット410を収容して内部に保持している。これにより受光ユニット45は、アパーチャユニット410と共にパッケージングされることで、受光モジュール4450を構成している。
モジュールケース4412に設けられた貫通口は、その全体をモジュールカバー4413によって閉塞されている。これにより受光ユニット45とアパーチャユニット410とは、モジュールケース4412内へのマウント状態にて封止されている。モジュールカバー4413は、近赤外域での透光性を有する、例えば合成樹脂又はガラス等の基材を主体として、形成されている。モジュールカバー4413は、全体として平板状を呈している。モジュールカバー4413において、アパーチャユニット410へ反射ビームRBを出射する出射面には、アパーチャユニット410が重ね合わせて接合されている。モジュールカバー4413においてバンドパスエレメント422から反射ビームRBの入射する入射面は、当該ビームRB等の反射を防止する反射防止膜により、被覆されていてもよい。
このような第四実施形態によっても、第一実施形態と同様な作用効果を発揮することが可能である。尚、第四実施形態は、第二及び第三実施形態の少なくとも一方と組み合わせて実施されてもよい。
(第五実施形態)
図19,20に示すように第五実施形態は、第四実施形態の変形例である。
第五実施形態のモジュールケース5412は、アパーチャユニット410及び受光ユニット45に加え、受光光学系42も収容して内部に保持している。これにより受光光学系42は、アパーチャユニット410及び受光ユニット45と共にパッケージングされることで、受光モジュール5450を構成している。
モジュールケース5412に設けられた貫通口は、その全体を受光光学系42における最前段の回転対称レンズ43aによって閉塞されている。これにより、アパーチャユニット410と受光ユニット45と共に、受光光学系42において回転対称レンズ43aよりも後段側の要素420,43b,422は、モジュールケース5412内へのマウント状態にて封止されている。
このような第五実施形態によっても、第一実施形態と同様な作用効果を発揮することが可能である。尚、第五実施形態は、第二及び第三実施形態の少なくとも一方と組み合わせて実施されてもよい。
(他の実施形態)
以上、複数の実施形態について説明したが、本開示は、それらの実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。
変化例では、X軸方向が車両の鉛直方向に設定され、Y軸方向及びZ軸方向が同車両の水平方向に設定されていてもよい。変形例において受光素子46は、例えばSPAD以外のフォトダイオード等を主体として、構成されていてもよい。変形例において設定数ずつの受光素子46から構成される受光画素48は、二次元方向に配列されていてもよい。
変形例の受光光学系42,2042においてアポダイゼーションエレメント420は、回転対称レンズ43aよりも前段側に配置されていてもよい。変形例におけるアポダイゼーションエレメント420では、透過率を実質0に制限する遮光膜が最外周部421から省かれていてもよい。変形例の受光光学系42においてバンドパスエレメント422は、回転対称レンズ43aよりも前段側、回転対称レンズ43a及びアポダイゼーションエレメント420間、並びにアポダイゼーションエレメント420及びシリンドリカルレンズ43b間のうち、いずれかの箇所に配置されていてもよい。変形例においてバンドパスエレメント422は、受光光学系42から省かれていてもよい。変形例においてコリメートエレメント2424は、図21に示すように受光光学系2042から省かれていてもよい。
変形例において回転対称レンズ43aと組み合わされる受光レンズ43には、第一実施形態で説明したY軸方向及びX軸方向での相異なる正パワー且つ焦点位置が当該組み合わせによって可能となる限り、例えばトーリックレンズ等の回転非対称レンズが選定されていてもよい。変形例において受光レンズ43には、第一実施形態で説明したY軸方向及びX軸方向での相異なる正パワー且つ焦点位置が可能となる限り、単レンズ又は三つ以上のレンズが選定されていてもよい。
変形例において回転対称レンズ27bと組み合わされる照射レンズ27には、第一実施形態で説明したY軸方向及びX軸方向での相異なる正パワーが当該組み合わせによって可能となる限り、例えばトーリックレンズ等の回転非対称レンズが選定されていてもよい。変形例において照射レンズ27には、第一実施形態で説明したY軸方向及びX軸方向での相異なる正パワーが可能となる限り、単レンズ又は三つ以上のレンズが選定されていてもよい。
変形例において走査部31は、第一実施形態で説明の如く水平方向に対する走査に制限される機械揺動式の他、鉛直方向に対する走査に制限される機械揺動式、又は水平方向及び鉛直方向双方での機械揺動式等の、各種駆動方式を採用していてもよい。変形例において走査部31は、例えば回転式、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)式、又はリサージュ式等の、各種走査方式を採用していてもよい。
(付言)
本明細書には、以下に列挙する複数の技術的思想と、それらの複数の組み合わせが開示されている。
(技術的思想1)
外界のセンシングエリア(SA)へ向けてライン状の照射ビーム(IB)を照射し、前記照射ビームに対する前記センシングエリアからの反射ビーム(RB)を光軸(ROA)上において受光することにより、センシングを遂行する光学センサであって、
互いに直交する第一基準面(S1)及び第二基準面(S2)を基準として、前記第一基準面上と前記第二基準面上とで相異なる正パワーを、前記第一基準面に沿って長手の前記反射ビームに作用させる受光光学系であって、前記第二基準面に沿って前記光軸から離間するほど前記反射ビームの透過率を減衰させる受光光学系(42,2042)と、
前記受光光学系による前記第二基準面上の焦点(PF2)に位置合わせされ、前記受光光学系から光学作用を受けた前記反射ビームを透過させる光学開口(411)を、前記第一基準面に沿って形成するアパーチャユニット(410)と、
前記受光光学系による前記第一基準面上の焦点(PF1)に位置合わせされ、前記第一基準面と前記第二基準面とに沿う二次元方向に配列される複数の受光素子(46)により、前記光学開口を透過した前記反射ビームを受光する受光ユニット(45,3045)とを、備える光学センサ。
(技術的思想2)
前記受光光学系は、
前記受光ユニットにおける前記受光素子の配列面(47,3047)に対しての共役点に位置合わせされ、前記第二基準面に沿って前記光軸から離間するほど前記反射ビームの透過率を減衰させるアポダイゼーションエレメント(420)を、有する技術的思想1に記載の光学センサ。
(技術的思想3)
前記アパーチャユニットは、
前記第二基準面に沿った方向での前記光学開口のサイズ(Δa)を許容距離として、前記受光光学系による前記第二基準面上の焦点(PF2)から前記光軸に沿った当該許容距離内に、位置合わせされる技術的思想1又は2に記載の光学センサ。
(技術的思想4)
前記受光光学系は、
前記照射ビームの設定帯域に前記反射ビームの透過を制限するバンドパスエレメント(422)を、有する技術的思想1~3のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想5)
前記受光光学系(2042)は、
前記アパーチャユニットを透過した前記反射ビームをコリメートして前記バンドパスエレメントに透過させるコリメートエレメント(2424)を、有する技術的思想4に記載の光学センサ。
(技術的思想6)
前記受光ユニットは、
設定数の前記受光素子を含んで構成されて受光信号を読み出す単位となる受光画素(48)を、複数有し、
前記受光ユニットにおける前記受光素子の配列面(47,3047)は、
前記第二基準面に沿った方向での前記受光画素のサイズ(Δp)を許容距離として、前記受光光学系による前記第一基準面上の焦点(PF1)から前記光軸に沿った当該許容距離内に、位置合わせされる技術的思想1~5のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想7)
前記受光素子としてのシングルフォトンアバランシェダイオードは、
前記第一基準面と前記第二基準面とに沿う二次元方向に配列される技術的思想1~6のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想8)
前記受光ユニット(3045)における前記受光素子の配列面(3047)は、
前記第一基準面に対して傾斜して配置される技術的思想1~7のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想9)
前記受光ユニットにおいて前記受光素子の配列面(3047)による前記反射ビームの再帰反射成分(RC)は、当該配列面の傾斜配置により前記光学開口から外れる技術的思想8に記載の光学センサ。
(技術的思想10)
前記照射ビームを前記センシングエリアへ向けて走査し、前記反射ビームを前記受光光学系へ向けて反射する走査部(31)を、備える技術的思想1~9のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想11)
前記受光ユニットは、前記アパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、受光モジュール(4450)を構成する技術的思想1~10のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想12)
前記受光光学系は、前記受光ユニット及び前記アパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、受光モジュール(5450)を構成する技術的思想1~10のいずれか一項に記載の光学センサ。
(技術的思想13)
技術的思想1~12のいずれか一項に記載の光学センサに適用され、
前記受光光学系が前記受光ユニット及び前記アパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、構成される受光モジュール。
10:光学センサ、31:走査部、42,2042:受光光学系、45,3045:受光ユニット、46:受光素子、47,3047:配列面、48:受光画素、410:アパーチャユニット、411:光学開口、420:アポダイゼーションエレメント、422:バンドパスエレメント、2424:コリメートエレメント、4450,5450:受光モジュール、IB:照射ビーム、PF1,PF2:焦点、RB:反射ビーム、RC:再帰反射成分、ROA:受光光軸、S1:第一基準面、S2:第二基準面、SA:センシングエリア、Δa:サイズ、Δp:サイズ

Claims (13)

  1. 外界のセンシングエリア(SA)へ向けてライン状の照射ビーム(IB)を照射し、前記照射ビームに対する前記センシングエリアからの反射ビーム(RB)を光軸(ROA)上において受光することにより、センシングを遂行する光学センサであって、
    互いに直交する第一基準面(S1)及び第二基準面(S2)を基準として、前記第一基準面上と前記第二基準面上とで相異なる正パワーを、前記第一基準面に沿って長手の前記反射ビームに作用させる受光光学系であって、前記第二基準面に沿って前記光軸から離間するほど前記反射ビームの透過率を減衰させる受光光学系(42,2042)と、
    前記受光光学系による前記第二基準面上の焦点(PF2)に位置合わせされ、前記受光光学系から光学作用を受けた前記反射ビームを透過させる光学開口(411)を、前記第一基準面に沿って形成するアパーチャユニット(410)と、
    前記受光光学系による前記第一基準面上の焦点(PF1)に位置合わせされ、前記第一基準面と前記第二基準面とに沿う二次元方向に配列される複数の受光素子(46)により、前記光学開口を透過した前記反射ビームを受光する受光ユニット(45,3045)とを、備える光学センサ。
  2. 前記受光光学系は、
    前記受光ユニットにおける前記受光素子の配列面(47,3047)に対しての共役点に位置合わせされ、前記第二基準面に沿って前記光軸から離間するほど前記反射ビームの透過率を減衰させるアポダイゼーションエレメント(420)を、有する請求項1に記載の光学センサ。
  3. 前記アパーチャユニットは、
    前記第二基準面に沿った方向での前記光学開口のサイズ(Δa)を許容距離として、前記受光光学系による前記第二基準面上の焦点(PF2)から前記光軸に沿った当該許容距離内に、位置合わせされる請求項1又は2に記載の光学センサ。
  4. 前記受光光学系は、
    前記照射ビームの設定帯域に前記反射ビームの透過を制限するバンドパスエレメント(422)を、有する請求項1又は2に記載の光学センサ。
  5. 前記受光光学系(2042)は、
    前記アパーチャユニットを透過した前記反射ビームをコリメートして前記バンドパスエレメントに透過させるコリメートエレメント(2424)を、有する請求項4に記載の光学センサ。
  6. 前記受光ユニットは、
    設定数の前記受光素子を含んで構成されて受光信号を読み出す単位となる受光画素(48)を、複数有し、
    前記受光ユニットにおける前記受光素子の配列面(47,3047)は、
    前記第二基準面に沿った方向での前記受光画素のサイズ(Δp)を許容距離として、前記受光光学系による前記第一基準面上の焦点(PF1)から前記光軸に沿った当該許容距離内に、位置合わせされる請求項1又は2に記載の光学センサ。
  7. 前記受光素子としてのシングルフォトンアバランシェダイオードは、
    前記第一基準面と前記第二基準面とに沿う二次元方向に配列される請求項1又は2に記載の光学センサ。
  8. 前記受光ユニット(3045)における前記受光素子の配列面(3047)は、
    前記第一基準面に対して傾斜して配置される請求項1又は2に記載の光学センサ。
  9. 前記受光ユニットにおいて前記受光素子の配列面(3047)による前記反射ビームの再帰反射成分(RC)は、当該配列面の傾斜配置により前記光学開口から外れる請求項8に記載の光学センサ。
  10. 前記照射ビームを前記センシングエリアへ向けて走査し、前記反射ビームを前記受光光学系へ向けて反射する走査部(31)を、備える請求項1又は2に記載の光学センサ。
  11. 前記受光ユニットは、前記アパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、受光モジュール(4450)を構成する請求項1又は2に記載の光学センサ。
  12. 前記受光光学系は、前記受光ユニット及び前記アパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、受光モジュール(5450)を構成する請求項1又は2に記載の光学センサ。
  13. 請求項1又は2に記載の光学センサに適用され、
    前記受光光学系が前記受光ユニット及び前記アパーチャユニットと共にパッケージングされることにより、構成される受光モジュール。
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