JP2024055453A - Inkjet device control method and inkjet device - Google Patents

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JP2024055453A JP2022162388A JP2022162388A JP2024055453A JP 2024055453 A JP2024055453 A JP 2024055453A JP 2022162388 A JP2022162388 A JP 2022162388A JP 2022162388 A JP2022162388 A JP 2022162388A JP 2024055453 A JP2024055453 A JP 2024055453A
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幸也 臼井
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Abstract

【課題】塗布対象物に規定数の液滴を着弾させることが可能なインクジェット装置の制御方法及びインクジェット装置を提供すること。【解決手段】インクジェット装置の制御方法は、各ノズルにあらかじめ設定された目標着弾位置に対して各ノズルから吐出された液滴のノズル配列方向における正方向及び負方向への着弾位置ズレを観測する観測工程と、それぞれのノズルの設計位置のデータと、セルの位置のデータと、それぞれのノズルについての着弾位置ズレのデータとに基づいて、複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する生成工程と、ノズル並べ替えデータを用いて、ヘッドユニットを制御して複数のセルのそれぞれに所定数の液滴を吐出させる塗布工程と、を含む。【選択図】図17[Problem] To provide an inkjet device control method and inkjet device capable of landing a specified number of droplets on a coating target. [Solution] The inkjet device control method includes an observation step of observing the deviation in the positive and negative landing positions of droplets ejected from each nozzle relative to a target landing position preset for each nozzle in the nozzle arrangement direction, a generation step of selecting a driven nozzle to be driven from among a plurality of nozzles based on data on the design position of each nozzle, data on the position of the cell, and data on the landing position deviation for each nozzle, and generating nozzle rearrangement data, which is arrangement data for the driven nozzles, and a coating step of controlling a head unit using the nozzle rearrangement data to eject a specified number of droplets onto each of a plurality of cells. [Selected Figure] Figure 17

Description

本開示は、インクジェット装置の制御方法及びインクジェット装置に関する。 This disclosure relates to a control method for an inkjet device and an inkjet device.

近年、インクジェット装置を用いてデバイスを製造する方法が注目されている。 In recent years, the method of manufacturing devices using inkjet equipment has been attracting attention.

特許文献1には、インクジェットヘッドが基板に対して相対的に走査しながらインクを吐出することで、基板上に複数のフィルタエレメントが形成されたカラーフィルタを製造する方法が示されている。この種のインクジェット装置は、R、G、Bのインクを吐出する複数の着色ヘッドを所定の方向に移動させつつ、所定のタイミングでそれぞれの着色ヘッドの吐出口からインクを吐出させている。 Patent Document 1 shows a method for manufacturing a color filter in which multiple filter elements are formed on a substrate by ejecting ink while an inkjet head scans the substrate relative to the substrate. This type of inkjet device moves multiple coloring heads that eject R, G, and B ink in a predetermined direction, ejecting ink from the ejection openings of each coloring head at a predetermined timing.

特開2001-108820号公報JP 2001-108820 A

一般に、インクジェットヘッドユニットの走査回数を少なくするためには、印刷の走査方向と直交する方向の長さが長いインクジェットヘッドユニットが用いられる。この場合、インクジェットユニットは、複数のインクジェットヘッドを組み合わせて構成される。インクジェットヘッドには、複数のノズルが設けられる。 In general, to reduce the number of scans of an inkjet head unit, an inkjet head unit that is long in the direction perpendicular to the printing scan direction is used. In this case, the inkjet unit is composed of a combination of multiple inkjet heads. Each inkjet head is provided with multiple nozzles.

しかしながら、インクジェットヘッドユニットが長くなると、それに伴って伸縮や歪が生じやすくなるので、理想的なノズル位置からの物理的な位置ズレが生じる場合がある。 However, as the inkjet head unit becomes longer, it becomes more susceptible to expansion, contraction, and distortion, which can result in a physical deviation from the ideal nozzle position.

さらに、インクジェットヘッドのノズルは、理想的には、ノズル直下に向けて液滴を吐出する。しかしながら、ノズルの癖などが原因となってノズルから吐出された液滴の飛翔角度にズレが生じる場合がある。 Furthermore, ideally, the nozzles of an inkjet head eject droplets directly below the nozzle. However, nozzle quirks and other factors can cause deviations in the flight angle of droplets ejected from the nozzle.

ノズルの位置ズレおよび液滴の飛翔角度ズレは、液滴の着弾位置ズレ(実際の着弾位置の目標着弾位置からのズレ)を生じさせる。そのため、従来技術では、ディスプレイパネルのセルに対してインクを塗布する場合に、それぞれのセルに規定数の液滴を着弾させるのが困難であった。近年、ディスプレイの高画質化に伴いセルの狭ピッチ化が進んでおり、この問題がより顕著に現れている。 Misalignment of the nozzle and deviation in the flight angle of the droplets cause deviation in the landing position of the droplets (deviation of the actual landing position from the target landing position). For this reason, with conventional technology, it was difficult to land the specified number of droplets on each cell when applying ink to the cells of a display panel. In recent years, as displays have become more highly image quality, the pitch of the cells has become narrower, making this problem more pronounced.

本開示は、以上の点を考慮してなされたものであり、塗布対象物に規定数の液滴を着弾させることが可能なインクジェット装置の制御方法及びインクジェット装置を提供する。 The present disclosure has been made in consideration of the above points, and provides an inkjet device and a control method for the inkjet device that can land a specified number of droplets on a coating target.

本開示のインクジェット装置の制御方法の一つの態様は、
ヘッドユニットに設けられ、前記ヘッドユニットの走査方向と直交する方向に配列された複数のノズルから、塗布対象物上に形成されたセルに液滴を吐出するインクジェット装置の制御方法であって、
前記各ノズルにあらかじめ設定された目標着弾位置に対して前記各ノズルから吐出された液滴の前記配列方向における正方向及び負方向への着弾位置ズレを観測する観測工程と、
それぞれのノズルの設計位置のデータと、前記セルの位置のデータと、それぞれのノズルについての前記着弾位置ズレのデータとに基づいて、前記複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する生成工程と、
前記ノズル並べ替えデータを用いて、前記ヘッドユニットを制御して前記複数のセルのそれぞれに前記所定数の液滴を吐出させる塗布工程と、
を含む。
One aspect of the inkjet device control method of the present disclosure includes:
A method for controlling an inkjet device that ejects droplets from a plurality of nozzles provided in a head unit and arranged in a direction perpendicular to a scanning direction of the head unit, into cells formed on an object to be coated, comprising the steps of:
an observation step of observing a deviation in a landing position of the droplets ejected from each of the nozzles in a positive direction and a negative direction in the arrangement direction with respect to a target landing position previously set for each of the nozzles;
a generating step of selecting driven nozzles to be driven from the plurality of nozzles based on data on the design position of each nozzle, data on the position of the cell, and data on the landing position deviation for each nozzle, and generating nozzle rearrangement data which is data on the arrangement of the driven nozzles;
a coating step of controlling the head unit using the nozzle rearrangement data to eject the predetermined number of droplets onto each of the plurality of cells;
including.

本開示のインクジェット装置の一つの態様は、
ヘッドユニットと、前記ヘッドユニットに設けられ、前記ヘッドユニットの走査方向と直交する配列方向に配列された複数のノズルと、を有し、前記複数のノズルから、塗布対象物上に形成されたセルに液滴を吐出するインクジェット装置であって、
前記各ノズルにあらかじめ設定された目標着弾位置に対して前記各ノズルから吐出された液滴の前記配列方向における正方向及び負方向への着弾位置ズレを算出する算出部と、
それぞれのノズルの設計位置のデータと、前記セルの位置のデータと、それぞれのノズルについての前記着弾位置ズレのデータとに基づいて、前記複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する生成部と、
前記ノズル並べ替えデータを用いて、前記ヘッドユニットを制御して前記複数のセルのそれぞれに前記所定数の液滴を吐出させる駆動制御部と、
を備える。
One aspect of the inkjet device of the present disclosure is
An inkjet device comprising: a head unit; and a plurality of nozzles provided in the head unit and arranged in an arrangement direction perpendicular to a scanning direction of the head unit, the inkjet device ejecting droplets from the plurality of nozzles into cells formed on an object to be coated,
a calculation unit that calculates a landing position deviation in a positive direction and a negative direction in the arrangement direction of droplets ejected from each of the nozzles with respect to a target landing position previously set for each of the nozzles;
a generating unit that selects driven nozzles to be driven from the plurality of nozzles based on data on the design position of each nozzle, data on the position of the cell, and data on the landing position deviation for each nozzle, and generates nozzle rearrangement data which is data on the arrangement of the driven nozzles;
a drive control unit that uses the nozzle rearrangement data to control the head unit to eject the predetermined number of droplets onto each of the plurality of cells;
Equipped with.

本開示によれば、例えば印刷の走査方向と直交する配列方向において、ノズルの物理的な位置ズレや、インクの飛翔角度に起因する着弾位置ズレが生じた場合においても、塗布目標物に規定数の液滴を着弾させることが可能なインクジェット装置の制御方法及びインクジェット装置を実現できる。 According to the present disclosure, it is possible to realize an inkjet device control method and an inkjet device that can land a specified number of droplets on a coating target even when there is a physical misalignment of the nozzles or a misalignment of the landing position due to the ink flight angle, for example, in an array direction perpendicular to the printing scanning direction.

インクジェット装置の概略構成を示す模式図Schematic diagram showing the general configuration of an inkjet device ヘッドユニットの設計状態におけるノズル位置の一例を示す図FIG. 1 is a diagram showing an example of nozzle positions in a head unit in a designed state. 製造後におけるヘッドユニットのノズル位置の一例を示す図FIG. 1 is a diagram showing an example of nozzle positions of a head unit after manufacture. ノズル吐出角度癖に起因する位置ズレの説明に供する図FIG. 1 is a diagram for explaining positional deviation caused by nozzle discharge angle habit. セルと設計ノズル位置との関係を示した図Diagram showing the relationship between cells and the design nozzle position 目標座標データの例を示す図表A chart showing an example of target coordinate data ノズル配列データの例を示す図表A chart showing an example of nozzle arrangement data 精度保証距離の説明に供する図A diagram explaining the accuracy assurance distance 精度保証距離の説明に供する図A diagram explaining the accuracy assurance distance セル位置と、設計ノズル位置と、実際のノズル位置と、ノズル分類結果と、を示した図A diagram showing cell positions, design nozzle positions, actual nozzle positions, and nozzle classification results. 着弾観測結果の例を示した図表A chart showing an example of impact observation results 図10の各ノズルについての精度保証距離を示す図表FIG. 11 is a table showing the precision guaranteed distance for each nozzle. インクジェット装置による動作の説明に供するフローチャート1 is a flowchart illustrating the operation of an inkjet device. ステップS13で行われるノズル並べ替え処理(生成工程)の詳しい内容を示すフローチャートA flowchart showing the details of the nozzle rearrangement process (generation process) performed in step S13. ノズル並べ替えデータ生成部によって用いられる並べ替え先候補情報、及び、ノズル並べ替えデータ生成部によって生成されるノズル並べ替え情報の例を示す図FIG. 10 is a diagram showing an example of reordering destination candidate information used by a nozzle reordering data generating unit, and nozzle reordering information generated by the nozzle reordering data generating unit; ノズル並べ替えデータ生成部によって用いられる並べ替え先候補情報、及び、ノズル並べ替えデータ生成部によって生成されるノズル並べ替え情報の例を示す図FIG. 10 is a diagram showing an example of reordering destination candidate information used by a nozzle reordering data generating unit, and nozzle reordering information generated by the nozzle reordering data generating unit; 並べ替え後のノズル位置を示した図Diagram showing nozzle positions after rearrangement ノズル並べ替え情報を示す図表Nozzle reordering information chart ステップS13で行われるノズル並べ替え処理(生成工程)の他の例を示すフローチャートA flowchart showing another example of the nozzle sorting process (generation process) performed in step S13. セル位置と、並べ替え後のノズル位置と、ヘッド移動後のノズル位置と、再並べ替え後のノズル位置と、を示した図FIG. 1 is a diagram showing cell positions, nozzle positions after rearrangement, nozzle positions after head movement, and nozzle positions after rearrangement. ヘッド移動後の着弾観測結果を示す図表A chart showing the results of impact observation after moving the head ノズルの再並べ替え情報を示す図表Nozzle reordering information chart セル内のノズル配置の均等化処理の説明に供する図FIG. 13 is a diagram for explaining the process of equalizing the nozzle arrangement in a cell;

以下、本開示の実施形態ついて、図を参照しながら説明する。 Embodiments of the present disclosure will be described below with reference to the drawings.

<1>インクジェット装置の概略構成
図1は、インクジェット装置の概略構成を示す模式図である。インクジェット装置1は、複数のインクジェットヘッド3(図2参照)を備えるヘッドユニット(一般にラインヘッドと呼ばれる)2と、パネル8を載置するためのステージ7とを備える。
<1> Schematic configuration of the inkjet device Fig. 1 is a schematic diagram showing the schematic configuration of an inkjet device 1. The inkjet device 1 includes a head unit (generally called a line head) 2 having a plurality of inkjet heads 3 (see Fig. 2), and a stage 7 on which a panel 8 is placed.

インクジェット装置1は、ステージ7上のパネル8とヘッドユニット2とを走査方向に相対移動させることができるように構成されている。インクジェット装置1は、この相対移動中に、インクジェットヘッド3に形成されたノズルNからパネル8上のセル81にインクを塗布する。例えば、インクジェット装置1は、有機機能材料を含むインクの液滴をセル81に塗布することで有機機能層を形成する。 The inkjet device 1 is configured to be able to move the panel 8 on the stage 7 and the head unit 2 relative to each other in the scanning direction. During this relative movement, the inkjet device 1 applies ink to cells 81 on the panel 8 from nozzles N formed in the inkjet head 3. For example, the inkjet device 1 forms an organic functional layer by applying droplets of ink containing an organic functional material to the cells 81.

本実施形態では、複数のセル81が配列方向(副走査方向と言ってもよい)に配列されることで第1セル列82が形成され、別の複数のセル81が配列方向に配列されることで第2セル列83が形成され、さらに別の複数のセル81が配列方向に配列されることで第3セル列84が形成される。第2セル列83は、走査方向に第1セル列82に隣接している。第3セル列84は、走査方向に第2セル列83に隣接している。第2セル列83及び第3セル列84は、配列方向に第1セル列82に対してオフセットを有しない。ただし、第2セル列83及び第3セル列84は、配列方向に第1セル列82に対してオフセットを有してもよい。 In this embodiment, a first cell row 82 is formed by arranging a plurality of cells 81 in the arrangement direction (which may be called the sub-scanning direction), a second cell row 83 is formed by arranging another plurality of cells 81 in the arrangement direction, and a third cell row 84 is formed by arranging yet another plurality of cells 81 in the arrangement direction. The second cell row 83 is adjacent to the first cell row 82 in the scanning direction. The third cell row 84 is adjacent to the second cell row 83 in the scanning direction. The second cell row 83 and the third cell row 84 are not offset from the first cell row 82 in the arrangement direction. However, the second cell row 83 and the third cell row 84 may be offset from the first cell row 82 in the arrangement direction.

本実施形態では、各セル81は、長円の形状を有している。ただし、各セル81は、円形、四角形、六角形、その他の形状を有してもよい。 In this embodiment, each cell 81 has an oval shape. However, each cell 81 may also have a circular, rectangular, hexagonal, or other shape.

インクジェット装置1は、第1セル列82、第2セル列83及び第3セル列84にRGBストライプ配列でインクを塗布してもよく、第1セル列82、第2セル列83及び第3セル列84にペンタイル配列でインクを塗布してもよい。 The inkjet device 1 may apply ink to the first cell row 82, the second cell row 83, and the third cell row 84 in an RGB stripe arrangement, or may apply ink to the first cell row 82, the second cell row 83, and the third cell row 84 in a pentile arrangement.

なお、本実施形態では、RGB用の3つの種類のセル(異なるインクが吐出される3種類のセル)が含まれており、第1セル列82、第2セル列83及び第3セル列84がそれぞれRGBに対応する。ただし、これに限るものではなく、パネル8が、1種類のセルだけを含んでいてもよいし、複数種類のセルを含んでいてもよい。また、以下では、RGBのそれぞれに対応するセルを、赤色セル、緑色セル、青色セルと称する。 In this embodiment, three types of cells for RGB (three types of cells from which different inks are ejected) are included, with the first cell row 82, the second cell row 83, and the third cell row 84 corresponding to RGB, respectively. However, this is not limited to this, and the panel 8 may include only one type of cell, or may include multiple types of cells. In the following, the cells corresponding to RGB, respectively, are referred to as red cells, green cells, and blue cells.

パネル8上には、配列方向に、所定のピッチ(図2のCP参照)でセル(発色領域)が形成されている。本開示では、配列方向のセルのピッチを「セルピッチCP」と称する。 On the panel 8, cells (color-producing regions) are formed at a predetermined pitch (see CP in FIG. 2) in the arrangement direction. In this disclosure, the cell pitch in the arrangement direction is referred to as the "cell pitch CP."

ステージ7は、インクの塗布対象であるパネル8を載置可能に構成される。ステージ7は、載置されたパネル8を走査方向及び走査方向に直交する配列方向に移動させる移動機構(図示省略)を有する。ステージ7の移動機構は、例えば、後述する駆動制御部から出
力された制御信号に基づいて動作する。ステージ7の移動機構については、従来から一般的に知られている構成が採用できる。
The stage 7 is configured so that a panel 8, which is an object to be coated with ink, can be placed on it. The stage 7 has a movement mechanism (not shown) that moves the placed panel 8 in the scanning direction and an arrangement direction perpendicular to the scanning direction. The movement mechanism of the stage 7 operates, for example, based on a control signal output from a drive control unit, which will be described later. The movement mechanism of the stage 7 can have a configuration that is generally known in the art.

図2の上段には、理想状態、すなわち、設計時におけるヘッドユニット2の構成の一例が示されている。ヘッドユニット2は、互いに平行に配置された複数のインクジェットヘッド3を備える。 The upper part of Figure 2 shows an example of the configuration of the head unit 2 in an ideal state, i.e., at the time of design. The head unit 2 has multiple inkjet heads 3 arranged in parallel to each other.

インクジェットヘッド3は、長尺状であり、走査方向に対してそれぞれ所定の角度に傾けた状態で配置されている。それぞれのインクジェットヘッド3には、複数のノズルNが長手方向に沿って等ピッチで形成されている。また、複数のインクジェットヘッド3は、配列方向においてノズルN同士の間隔が等ピッチとなるように配置されている。配列方向におけるノズル間ピッチNPは、例えば、20μm程度である。このように、インクジェットヘッド3を傾けて配置することで、狭ピッチのヘッドユニットを実現することができる。 The inkjet heads 3 are long and are arranged at a predetermined angle with respect to the scanning direction. Each inkjet head 3 has multiple nozzles N formed at equal pitch along the longitudinal direction. The multiple inkjet heads 3 are also arranged so that the nozzles N are spaced at equal pitches in the arrangement direction. The nozzle pitch NP in the arrangement direction is, for example, about 20 μm. In this way, by arranging the inkjet heads 3 at an angle, a head unit with a narrow pitch can be realized.

本開示では、図2に示すように、ノズル間ピッチNPが等ピッチとなるように理想状態で配置されたノズルNの位置を「ノズルNの設計位置」と称する。理想的には、ノズルNから吐出された液滴が真下に着弾される。すなわち、理想状態では、配列方向及び走査方向において、ノズルNの設計位置と、液滴の着弾位置は等しい。 In this disclosure, the position of nozzle N ideally arranged so that the nozzle pitch NP is equal, as shown in FIG. 2, is referred to as the "design position of nozzle N." Ideally, droplets ejected from nozzle N land directly below. In other words, ideally, the design position of nozzle N and the landing position of droplets are equal in the array direction and scanning direction.

なお、以下の説明では、説明の便宜上、それぞれのノズルNを区別して説明する場合に、図面左側から順にN1,N2,N3,・・・の符号を付けて説明する場合がある。そのときに、ノズルと同じ符号を使用して各ノズルの位置についての説明をする場合がある。さらに、N1,N2,N3,・・・からNを除いた数字部分を各ノズルNの論理ノズル番号という。図2以外の図面においても同様とする。 In the following explanation, for the sake of convenience, when each nozzle N is described separately, they may be labeled N1, N2, N3, ... from the left side of the drawing. In doing so, the position of each nozzle may be described using the same reference number as the nozzle. Furthermore, the number portion of N1, N2, N3, ... excluding N is called the logical nozzle number of each nozzle N. The same applies to drawings other than FIG. 2.

図3の上段は、製造後におけるヘッドユニット2の構成(実際の状態)の一例を示している。 The upper part of Figure 3 shows an example of the configuration (actual state) of the head unit 2 after manufacturing.

前述のとおり、ノズルNは、理想状態では、配列方向において等ピッチになるように配置されている。しかし、実際には、図3上段に示すように、ヘッドユニット2の伸縮や歪などによって「ノズルNの設計位置」と実際のノズル位置との間に、位置ズレが生じる場合がある。この位置ズレは、例えば、(1)個々のインクジェットヘッド3の伸縮、(2)複数台のインクジェットヘッド3を固定するプレート(ヘッドユニット2)に取り付ける際のインクジェットヘッド3の取付け誤差、(3)複数台のインクジェットヘッド3を固定するプレートの熱による材料伸縮に伴うインクジェットヘッド3の固定位置の伸縮や歪、により生じる。これにより、実際に組み立てられたノズル位置の精度は、インクジェットヘッド3を取り付けるプレート及びヘッドの絶対精度誤差、及び、組み合わせた際の組み立て精度誤差等の誤差を含んでいる。 As mentioned above, in an ideal state, the nozzles N are arranged at equal pitches in the arrangement direction. However, in reality, as shown in the upper part of FIG. 3, a positional deviation may occur between the "design position of the nozzle N" and the actual nozzle position due to expansion and contraction or distortion of the head unit 2. This positional deviation occurs, for example, due to (1) expansion and contraction of each inkjet head 3, (2) an attachment error of the inkjet head 3 when it is attached to the plate (head unit 2) that fixes the multiple inkjet heads 3, and (3) expansion and contraction or distortion of the fixing position of the inkjet head 3 due to expansion and contraction of the material of the plate that fixes the multiple inkjet heads 3 due to heat. As a result, the accuracy of the actually assembled nozzle position includes errors such as the absolute accuracy error of the plate and head to which the inkjet heads 3 are attached, and the assembly accuracy error when assembled.

さらに、ノズルNから吐出された液滴の飛翔角度にズレが生じてノズル直下に対して着弾位置がズレる場合がある。実際に、インクジェットヘッド3は、ノズルNからインクを吐出する際に、ノズル毎の吐出角度癖をもっている。そのため、インクジェットヘッド3と、塗布対象のパネル8とのギャップGにより、吐出位置が決定する。 Furthermore, deviations in the flight angle of droplets ejected from nozzle N may occur, causing the landing position to deviate from directly below the nozzle. In fact, when ejecting ink from nozzle N, the inkjet head 3 has its own ejection angle habit for each nozzle. Therefore, the ejection position is determined by the gap G between the inkjet head 3 and the panel 8 to be coated.

図4の(a)は、インクジェットヘッド3のノズル位置に基づく吐出角度癖によって位置ズレしたパネル8上での着弾位置を上から見た図であり、図4の(b)は図4の(a)と同じ着弾位置を横から見た図である。なお、図4の(a)において、N1~N5は、各ノズルの設計位置を示している。すなわち、図4では各ノズルN1~N5は、設計位置に配置されているものとする。図4の(a),(b)に示すように、吐出角度癖により、それぞれのノズルの設計位置N1~N5に対して対応する液滴の着弾位置P1~P5が位置ズレしている。本開示の技術は、このようなノズルNの物理的な位置ズレおよびノズルNの吐出角度ズレに起因して液滴の着弾位置ズレが生じた場合においても、塗布目標物に規定数の液滴を着弾させることができる点に特徴がある。詳細は、後術する「インクジェット装置を用いた塗布方法」において説明する。 Figure 4 (a) is a top view of the landing positions on the panel 8 that are displaced due to the ejection angle habit based on the nozzle position of the inkjet head 3, and Figure 4 (b) is a side view of the same landing positions as in Figure 4 (a). In Figure 4 (a), N1 to N5 indicate the design positions of each nozzle. That is, in Figure 4, each nozzle N1 to N5 is assumed to be placed at the design position. As shown in Figures 4 (a) and 4 (b), the landing positions P1 to P5 of the corresponding droplets are displaced from the design positions N1 to N5 of each nozzle due to the ejection angle habit. The technology disclosed herein is characterized in that it is possible to land a specified number of droplets on the coating target even when the landing positions of the droplets are displaced due to such a physical positional displacement of the nozzle N and the ejection angle displacement of the nozzle N. Details will be described later in "Coating method using an inkjet device".

演算処理部4は、インクジェット装置1を制御するための処理を実行する。演算処理部4は、着弾位置算出部41と、ノズル並べ替えデータ生成部42とを含む。演算処理部4は、例えば、1又は複数のチップ構成のマイコン又はCPU(プロセッサ)で実現される。 The calculation processing unit 4 executes processing for controlling the inkjet device 1. The calculation processing unit 4 includes a landing position calculation unit 41 and a nozzle rearrangement data generation unit 42. The calculation processing unit 4 is realized, for example, by a microcomputer or a CPU (processor) configured with one or more chips.

着弾位置算出部41は、各ノズルNから吐出された液滴の着弾位置Pを撮像した撮像結果に基づいて、それぞれの着弾位置Pの目標着弾位置からの位置ズレを算出する。目標着弾位置は、各ノズルNの設計位置から真下に液滴が吐出された場合における各液滴の着弾位置である。 The landing position calculation unit 41 calculates the positional deviation of each landing position P from the target landing position based on the imaging results of the landing position P of the droplets ejected from each nozzle N. The target landing position is the landing position of each droplet when the droplet is ejected directly below the designed position of each nozzle N.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する。 The nozzle sorting data generation unit 42 selects the driven nozzles to be driven from among the multiple nozzles, and generates nozzle sorting data, which is the arrangement data of the driven nozzles.

記憶部5は、CPU(Central Processing Unit)を動作させるためのプログラムやCPUでの処理結果などの情報を記憶する機能を有する。 The memory unit 5 has the function of storing information such as programs for operating the CPU (Central Processing Unit) and the results of processing by the CPU.

なお、記憶部5(メモリ)は、演算処理部4と同じチップ内に設けられてもよいし、演算処理部4とは別チップとして設けられてもよい。また、記憶部5をHDD(Hard Disk Drive)やSSD(Solid State Drive)のような記憶媒体で実現してもよい。 The storage unit 5 (memory) may be provided in the same chip as the arithmetic processing unit 4, or may be provided as a separate chip from the arithmetic processing unit 4. The storage unit 5 may also be realized by a storage medium such as a hard disk drive (HDD) or a solid state drive (SSD).

駆動制御部6は、インクジェットヘッド3をパネル8に対して相対的に走査させながらインクを吐出する一連の動作において、パネル8が載置されたステージを移動させたり、ノズルNの駆動を制御する機能を有する。駆動制御部6は、例えば、1又は複数のチップ構成のマイコンまたはCPU(プロセッサ)で実現される。 The drive control unit 6 has the function of moving the stage on which the panel 8 is placed and controlling the drive of the nozzles N in a series of operations in which the inkjet head 3 is scanned relative to the panel 8 to eject ink. The drive control unit 6 is realized, for example, by a microcomputer or CPU (processor) configured with one or more chips.

具体的に、駆動制御部6は、記憶部5から印刷データを読み出し、印刷データに基づいて、駆動波形信号発生器(図示省略)から受け取った駆動波形をインクジェットヘッド3の各ノズルNへ出力する。例えば、印刷データがあるノズルに関してあるタイミングで第1駆動を示す場合、駆動制御部6は、インクを吐出するための駆動波形をそのタイミングでそのノズルに供給する。印刷データがそのノズルに関して別のタイミングで第2駆動を示す場合、駆動制御部6は、インクの吐出を阻止するための駆動波形をそのタイミングでそのノズルに供給する。 Specifically, the drive control unit 6 reads the print data from the memory unit 5 and outputs a drive waveform received from a drive waveform signal generator (not shown) based on the print data to each nozzle N of the inkjet head 3. For example, if the print data indicates a first drive at a certain timing for a certain nozzle, the drive control unit 6 supplies a drive waveform for ejecting ink to that nozzle at that timing. If the print data indicates a second drive at a different timing for that nozzle, the drive control unit 6 supplies a drive waveform for preventing ink ejection to that nozzle at that timing.

また、駆動制御部6は、パネル8又はヘッドユニット2を配列方向に移動させる機能を有する。 The drive control unit 6 also has the function of moving the panel 8 or the head unit 2 in the array direction.

なお、駆動制御部6について、軸(ステージなど)系の駆動制御を行うモジュールと、ヘッドの吐出駆動制御を行うモジュールとに分けて構成してもよい。 The drive control unit 6 may be configured as being divided into a module that controls the drive of the axis (stage, etc.) system and a module that controls the ejection drive of the head.

<2>精度保証距離
ここでは、本実施の形態で用いる精度保証距離について詳しく説明する。
<2> Precision-guaranteed distance Here, the precision-guaranteed distance used in this embodiment will be described in detail.

図5は、セルと設計ノズル位置との関係を示したものである。図5では、説明のために便宜上複数種類のセルを示しているが、一般にはパネル8上のセルの種類は1種類である。ただし、本開示の技術は、パネル上に複数種類(複数幅)のセルが形成されている場合にも適用可能である。例えば走査方向には同一種類(同一幅)のセルが配置され、配列方向には異なる種類(異なる幅)のセルが配置される、といったことが想定し得、そのようなセル配置にも本開示の技術を適用可能である。 Figure 5 shows the relationship between cells and design nozzle positions. For convenience of explanation, multiple types of cells are shown in Figure 5, but generally there is only one type of cell on the panel 8. However, the technology disclosed herein can also be applied to cases where multiple types (multiple widths) of cells are formed on the panel. For example, it is conceivable that cells of the same type (same width) are arranged in the scanning direction, and cells of different types (different widths) are arranged in the array direction, and the technology disclosed herein can also be applied to such cell arrangements.

本実施の形態では、ノズルを、セル左端ノズル、セル右端ノズル、セル内部ノズル、単独セル内ノズル、セル外ノズルに分類する。なお、本実施の形態では、ノズル配列方向を基準にして、負方向、左方向と、正方向、右方向とを定義している。 In this embodiment, the nozzles are classified into the following: nozzles at the left end of the cell, nozzles at the right end of the cell, nozzles inside the cell, nozzles inside a single cell, and nozzles outside the cell. Note that in this embodiment, the negative direction, left direction, positive direction, and right direction are defined based on the nozzle arrangement direction.

セル左端ノズルとは、セル81内に複数のノズルが存在する場合にセル81の左端に存在するノズルである。セル右端ノズルとは、セル81内に複数のノズルが存在する場合にセル81の右端に存在するノズルである。セル内部ノズルとは、セル81内に3つ以上のノズルが存在する場合に、セル81の左端のノズル及びセル81の右端のノズルを除いたノズルである。単独セル内ノズルとは、セル内に1つのノズルが存在する場合にそのノズルでことである。セル外ノズルとは、セル外に存在するノズルである。 The left end nozzle of a cell is a nozzle that exists at the left end of a cell 81 when there are multiple nozzles in the cell 81. The right end nozzle of a cell is a nozzle that exists at the right end of a cell 81 when there are multiple nozzles in the cell 81. The internal nozzle of a cell is a nozzle excluding the left end nozzle of the cell 81 and the right end nozzle of the cell 81 when there are three or more nozzles in the cell 81. The single internal nozzle of a cell is a nozzle that exists in a cell when there is one nozzle. The external nozzle of a cell is a nozzle that exists outside the cell.

演算処理部4のノズル並べ替えデータ生成部42は、ノズルの設計位置のデータと、セル81の位置のデータとに基づいて、各ノズルを、セル左端ノズル、セル右端ノズル、セル内部ノズル、単独セル内ノズル、セル外ノズルに分類する。実際上、記憶部5には、図6に示したような目標座標データ及び図7に示したようなノズル配列データが記憶されており、ノズル並べ替えデータ生成部42は、これらのデータを用いて、ノズルの分類を行う。 The nozzle sorting data generation unit 42 of the calculation processing unit 4 classifies each nozzle into a nozzle at the left end of the cell, a nozzle at the right end of the cell, a nozzle inside the cell, a nozzle inside a single cell, and a nozzle outside the cell based on the data on the design position of the nozzle and the data on the position of the cell 81. In reality, the memory unit 5 stores target coordinate data such as that shown in FIG. 6 and nozzle arrangement data such as that shown in FIG. 7, and the nozzle sorting data generation unit 42 uses these data to classify the nozzles.

精度保証距離とは、各ノズルに対する着弾位置ズレの許容範囲である。本実施の形態では、ノズルの分類種別に対応させて各ノズルの精度保証距離を決定する。簡単に言うと、セル81の左端のノズルから吐出された液滴は左方向(負方向)にズレるとセル81からはみ出してしまうので、左方向(負方向)のズレの許容範囲(精度保証距離)を小さくし、右方向(正方向)のズレの許容範囲(精度保証距離)を大きくする。同様に、セルの右端のノズルから吐出された液滴は右方向(正方向)にズレるとセルからはみ出してしまうので、右方向(正方向)のズレの許容範囲(精度保証距離)を小さくし、左方向(負方向)のズレの許容範囲(精度保証距離)を大きくする。 The precision guarantee distance is the allowable range of deviation of the landing position for each nozzle. In this embodiment, the precision guarantee distance for each nozzle is determined according to the classification type of the nozzle. Simply put, if a droplet ejected from the nozzle at the left end of the cell 81 deviates to the left (negative direction), it will go outside the cell 81, so the allowable range (precision guarantee distance) for deviation in the left direction (negative direction) is reduced, and the allowable range (precision guarantee distance) for deviation in the right direction (positive direction) is increased. Similarly, if a droplet ejected from the nozzle at the right end of the cell deviates to the right (positive direction), it will go outside the cell, so the allowable range (precision guarantee distance) for deviation in the right direction (positive direction) is reduced, and the allowable range (precision guarantee distance) for deviation in the left direction (negative direction) is increased.

本実施の形態では、精度保証距離を、以下のように決定する。 In this embodiment, the accuracy guarantee distance is determined as follows:

●セル左端ノズルについて; 負方向の精度保証距離=セル左端座標とノズル設計位置との距離、正方向の精度保証距離=規定値
●セル内部ノズルについて; 負方向の精度保証距離=正方向の精度保証距離=規定値
●セル右端ノズルについて; 負方向の精度保証距離=規定値、正方向の精度保証距離=セル右端座標とノズル設計位置との距離
●単独セル内ノズについて; 負方向の精度保証距離=セル左端座標とノズル設計位置との距離、正方向の精度保証距離=セル右端座標とノズル設計位置との距離
●セル外ノズルについて; 印刷には使用しないので上記4種のノズルとは異なり、 精度保証距離を定めず不吐出としてもよいし、セル内部ノズルと同様の精度保証距離を定めてもよい。
● Regarding the nozzle at the left edge of the cell; Precision guaranteed distance in the negative direction = distance between the left edge coordinate of the cell and the designed nozzle position, precision guaranteed distance in the positive direction = specified value ● Regarding nozzles inside the cell; Precision guaranteed distance in the negative direction = precision guaranteed distance in the positive direction = specified value ● Regarding nozzles at the right edge of the cell; Precision guaranteed distance in the negative direction = specified value, precision guaranteed distance in the positive direction = distance between the right edge coordinate of the cell and the designed nozzle position ● Regarding nozzles inside a single cell; Precision guaranteed distance in the negative direction = distance between the left edge coordinate of the cell and the designed nozzle position, precision guaranteed distance in the positive direction = distance between the right edge coordinate of the cell and the designed nozzle position ● Regarding nozzles outside the cell; As these are not used for printing, unlike the four types of nozzles above, it is possible to not specify a precision guaranteed distance for these nozzles and have them not eject, or it is possible to specify a precision guaranteed distance similar to that for nozzles inside the cell.

上記の決定規則に従った精度保証距離の決定の具体例について、図8及び図9を用いて説明する。精度保証距離の規定値を10μmとし、セル外ノズルの精度保証距離を正方向及び負方向ともに5μmとした場合について説明する。 A specific example of determining the precision guarantee distance according to the above determination rules will be explained using Figures 8 and 9. The case where the specified value of the precision guarantee distance is 10 μm and the precision guarantee distance of the nozzle outside the cell is 5 μm in both the positive and negative directions will be explained.

図8に示した7~10番ノズルの精度保証距離は、以下の通りである。
7番ノズル:負方向0.002mm、正方向0.01mm
8番ノズル:負方向0.01mm、正方向0.01mm
9番ノズル:負方向0.01mm、正方向0.01mm
10番ノズル:負方向0.01mm、正方向0.006mm
図9に示した19番ノズルの精度保証距離は、負方向0.04mm、正方向0.009mmである。
The precision guaranteed distances for the 7th to 10th nozzles shown in FIG.
Nozzle No. 7: negative 0.002 mm, positive 0.01 mm
Nozzle No. 8: negative 0.01 mm, positive 0.01 mm
Nozzle No. 9: negative 0.01 mm, positive 0.01 mm
No. 10 nozzle: negative 0.01 mm, positive 0.006 mm
The precision guaranteed distance for the 19th nozzle shown in FIG. 9 is 0.04 mm in the negative direction and 0.009 mm in the positive direction.

<3>精度保証距離を用いたノズルの並べ替え
次に、図10-図19を用いて、本実施の形態による、精度保証距離を用いたノズルの並べ替えについて説明する。
<3> Rearrangement of nozzles using distances to ensure precision Next, rearrangement of nozzles using distances to ensure precision according to this embodiment will be described with reference to FIGS.

図10は、セル位置と、設計ノズル位置と、実際のノズル位置と、ノズル分類結果と、を示した図である。図11は着弾観測結果の例を示した図表であり、図10の実際のノズル位置はこの着弾観測結果に対応する。図12は図10の各ノズルについての精度保証距離を示す図表である。 Figure 10 shows the cell position, the design nozzle position, the actual nozzle position, and the nozzle classification results. Figure 11 is a chart showing an example of the impact observation results, and the actual nozzle positions in Figure 10 correspond to these impact observation results. Figure 12 is a chart showing the accuracy assurance distance for each nozzle in Figure 10.

先ず、図13を用いてインクジェット装置1による大まかな動作について説明する。インクジェット装置1は、ステップS11で着弾位置検出用パターンを印刷し、ステップS12で設計位置からの着弾位置ズレを検出する、観測工程を行う。 First, the general operation of the inkjet device 1 will be described with reference to FIG. 13. In step S11, the inkjet device 1 prints a pattern for detecting the landing position, and in step S12, performs an observation process to detect the deviation of the landing position from the design position.

インクジェット装置1は続くステップS13でノズル並べ替えデータを生成する、生成工程を行う。インクジェット装置1は続くステップS14でヘッド移動量を算出する。なお、ステップS14の処理は必ずしも必要ではない。ステップS14の処理は、ステップS13においてセルに割り当てられるノズル数が規定数よりも不足する場合に、オプションとして行われるものである。 The inkjet device 1 then performs a generation process to generate nozzle rearrangement data in step S13. The inkjet device 1 then calculates the head movement amount in step S14. Note that the process of step S14 is not necessarily required. The process of step S14 is performed as an option when the number of nozzles assigned to the cell in step S13 is less than the specified number.

インクジェット装置1は続くステップS15で印刷データを生成し、続くステップS16においてノズル並べ替えデータ及び印刷データを用いてノズルを駆動する、塗布工程を行う。 In the next step S15, the inkjet device 1 generates print data, and in the next step S16, it performs a coating process by driving the nozzles using the nozzle sorting data and the print data.

図14は、ステップS13で行われるノズル並べ替え処理(生成工程)の詳しい内容を示すフローチャートである。 Figure 14 is a flowchart showing the detailed contents of the nozzle sorting process (generation process) performed in step S13.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS21において、すべてのノズルに対してノズル設計位置と着弾位置の距離が、上述したようにノズル種別ごとに定められた精度保証距離の範囲内のノズルを候補として抽出する。 In step S21, the nozzle sorting data generation unit 42 extracts as candidates those nozzles for which the distance between the nozzle design position and the impact position for all nozzles is within the range of the precision assurance distance defined for each nozzle type as described above.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS22において、ノズル番号をNo1から順にインクリメントする。実施の形態の例では、ノズル番号がNo1からNo21までなので、ノズル番号がNo21になるまで順次インクリメントする。これにより、以下のステップS23-S32の処理は各ノズル番号について順次行われる。 In step S22, the nozzle sorting data generation unit 42 increments the nozzle number sequentially from No. 1. In the embodiment, the nozzle numbers range from No. 1 to No. 21, so the nozzle number is incremented sequentially until it reaches No. 21. As a result, the following processing of steps S23-S32 is performed sequentially for each nozzle number.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS23において、並べ替え候補がないかを判断し、並べ替え候補がないと判断した場合(ステップS23;YES)には、ステップS24に移って、現在の処理対象のノズルを不吐出ノズルとする。これに対して、ステップS23において、並べ替え候補があると判断した場合(ステップS23;NO)には、ステップS25に移る。 In step S23, the nozzle rearrangement data generation unit 42 determines whether there are any rearrangement candidates, and if it determines that there are no rearrangement candidates (step S23; YES), it proceeds to step S24 and sets the nozzle currently being processed as a non-ejecting nozzle. On the other hand, if it determines in step S23 that there are rearrangement candidates (step S23; NO), it proceeds to step S25.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS25において、並べ替え候補が1つかを判断し、並べ替え候補が1つでないと判断した場合(ステップS25;NO)には、ステップS26に移り、並べ替え候補が1つであると判断した場合(ステップS25;YES)には、ステップS29に移る。 In step S25, the nozzle rearrangement data generation unit 42 determines whether there is one rearrangement candidate. If it determines that there is not one rearrangement candidate (step S25; NO), it proceeds to step S26. If it determines that there is one rearrangement candidate (step S25; YES), it proceeds to step S29.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS26において、他のセル外ノズル以外のノズルの並べ変え候補となっていない候補があるかを判断し、当該候補があると判断した場合(ステップS26;YES)にはステップS27に移り、当該候補がないと判断した場合(ステップS26;NO)にはステップS28に移る。 In step S26, the nozzle rearrangement data generation unit 42 determines whether there are any candidates that are not candidates for rearrangement of nozzles other than the outside-cell nozzles, and if it determines that such candidates exist (step S26; YES), it proceeds to step S27, and if it determines that such candidates do not exist (step S26; NO), it proceeds to step S28.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS27において、他ノズルの並べ替え候補となっていない候補を並べ替え先に決定する。ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS28において、設計位置に最も近い着弾位置となる候補を並べ替え先に決定する。 In step S27, the nozzle sorting data generation unit 42 determines a candidate that is not a sorting candidate for other nozzles as the sorting destination. In step S28, the nozzle sorting data generation unit 42 determines a candidate that has a landing position closest to the design position as the sorting destination.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS29において、現在の処理対象ノズルがセル外ノズルではないかを判断し、セル外ノズルではないと判断した場合(ステップS29;YES)には、ステップS33に移って、並べ替え候補を並べ替え先に決定する。 In step S29, the nozzle sorting data generation unit 42 determines whether the nozzle currently being processed is an outside-cell nozzle, and if it determines that it is not an outside-cell nozzle (step S29; YES), it proceeds to step S33 and determines the sorting candidate as the sorting destination.

一方、ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS29において、現在の処理対象ノズルがセル外ノズルであると判断した場合(ステップS29;NO)には、ステップS30に移る。ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS30において、他のセル外ノズル以外のノズルの並べ変え候補となっていない候補があるかを判断し、当該候補があると判断した場合(ステップS30;YES)にはステップS31に移り、当該候補がないと判断した場合(ステップS30;NO)にはステップS32に移る。 On the other hand, if the nozzle sorting data generation unit 42 determines in step S29 that the nozzle currently being processed is an outside-cell nozzle (step S29; NO), it proceeds to step S30. In step S30, the nozzle sorting data generation unit 42 determines whether there is a candidate that is not a candidate for sorting nozzles other than other outside-cell nozzles, and if it determines that there is such a candidate (step S30; YES), it proceeds to step S31, and if it determines that there is not such a candidate (step S30; NO), it proceeds to step S32.

ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS31において、他ノズルの並べ替え候補となっていない候補を並べ替え先に決定する。一方、ノズル並べ替えデータ生成部42は、ステップS32において、現在の処理対象ノズルを不吐出ノズルとする。 In step S31, the nozzle sorting data generation unit 42 determines a nozzle that is not a candidate for sorting other nozzles as the sorting destination. On the other hand, in step S32, the nozzle sorting data generation unit 42 sets the nozzle currently being processed as a non-ejecting nozzle.

図15は、ノズル並べ替えデータ生成部42によって、ノズルNo1~No3の並べ替えに用いられる並べ替え先候補情報C0~C3、及び、ノズル並べ替えデータ生成部42によって生成されるノズル並べ替え情報D1~D3の例を示す。 Figure 15 shows an example of sorting destination candidate information C0 to C3 used by the nozzle sorting data generation unit 42 to sort nozzles No. 1 to No. 3, and nozzle sorting information D1 to D3 generated by the nozzle sorting data generation unit 42.

図中の並べ替え先候補情報C0は、ステップS21の処理結果として抽出された情報である。並べ替え先候補情報C0は、ステップS33においてノズルNo1の並べ替え候補先情報として用いられ、ステップS33においてノズルNo1のノズル並べ替え情報D1が生成される。同様に、候補ノズルとしてノズルNo1が除外された並べ替え先候補情報C1は、ステップS28においてノズルNo2の並べ替え候補先情報として用いられ、ステップS28においてノズルNo2のノズル並べ替え情報D2が生成される。同様に、候補ノズルとしてノズルNo1及びノズルNo2が除外された並べ替え先候補情報C2は、ステップS27においてノズルNo3の並べ替え候補先情報として用いられ、ステップS27においてノズルNo3のノズル並べ替え情報D3が生成される。 The sorting destination candidate information C0 in the figure is information extracted as a processing result of step S21. The sorting destination candidate information C0 is used as sorting destination candidate information for nozzle No. 1 in step S33, and nozzle sorting information D1 for nozzle No. 1 is generated in step S33. Similarly, the sorting destination candidate information C1 from which nozzle No. 1 is excluded as a candidate nozzle is used as sorting destination candidate information for nozzle No. 2 in step S28, and nozzle sorting information D2 for nozzle No. 2 is generated in step S28. Similarly, the sorting destination candidate information C2 from which nozzle No. 1 and nozzle No. 2 are excluded as candidate nozzles is used as sorting destination candidate information for nozzle No. 3 in step S27, and nozzle sorting information D3 for nozzle No. 3 is generated in step S27.

図16は、ノズル並べ替えデータ生成部42によって、ノズルNo7~No9の並べ替えに用いられる並べ替え先候補情報C4~C7、及び、ノズル並べ替えデータ生成部42によって生成されるノズル並べ替え情報D4~D7の例を示す。 Figure 16 shows examples of candidate sorting destination information C4 to C7 used by the nozzle sorting data generation unit 42 to sort nozzles No. 7 to No. 9, and examples of nozzle sorting information D4 to D7 generated by the nozzle sorting data generation unit 42.

並べ替え先候補情報C4は、ステップS33においてノズルNo7の並べ替え候補先情報として用いられ、ステップS33においてノズルNo7のノズル並べ替え情報D5が生成される。同様に、処理済みであるノズルNoが除外された並べ替え先候補情報C5は、ステップS33においてノズルNo8の並べ替え候補先情報として用いられ、ステップS33においてノズルNo8のノズル並べ替え情報D6が生成される。同様に、処理済みであるノズルNoが除外された並べ替え先候補情報C6は、ステップS33においてノズルNo9の並べ替え候補先情報として用いられ、ステップS33においてノズルNo9のノズル並べ替え情報D7が生成される。 The reordering candidate information C4 is used as the reordering candidate information for nozzle No. 7 in step S33, and nozzle reordering information D5 for nozzle No. 7 is generated in step S33. Similarly, the reordering candidate information C5, from which the processed nozzle Nos. are excluded, is used as the reordering candidate information for nozzle No. 8 in step S33, and nozzle reordering information D6 for nozzle No. 8 is generated in step S33. Similarly, the reordering candidate information C6, from which the processed nozzle Nos. are excluded, is used as the reordering candidate information for nozzle No. 9 in step S33, and nozzle reordering information D7 for nozzle No. 9 is generated in step S33.

図17は並べ替え後のノズル位置を示した図であり、図18はノズル並べ替え情報を示す図表である。 Figure 17 shows the nozzle positions after rearrangement, and Figure 18 is a chart showing the nozzle rearrangement information.

なお、ステップS23以降のノズル並べ替えデータの生成処理は、必ずしも図14に示した処理に限らず、例えば図14との対応部分に同一符号を付した図19の処理によって実施してもよい。図19の処理は、図14の処理と比較して、ステップS29の処理をステップS23の処理の前に行う点で図14の処理と異なる。図19の処理を行った場合でも図14の処理と同様のノズル並べ替えデータを得ることができる。 Note that the process of generating nozzle rearrangement data from step S23 onwards is not necessarily limited to the process shown in FIG. 14, and may be performed, for example, by the process of FIG. 19, in which the same reference numerals are used for corresponding parts in FIG. 14. The process of FIG. 19 differs from the process of FIG. 14 in that the process of step S29 is performed before the process of step S23. Even when the process of FIG. 19 is performed, it is possible to obtain nozzle rearrangement data similar to that of FIG. 14.

要は、ノズル並べ替えデータ生成部42は、ノズル設計位置と、観測された着弾位置の距離が、ノズル種別ごとに定められた精度保証距離の範囲内のノズルを候補として抽出し、この抽出したノズルに対してノズル並べ替え処理を行うようにすればよい。 In essence, the nozzle sorting data generation unit 42 extracts as candidates nozzles where the distance between the nozzle design position and the observed landing position is within the range of the precision guarantee distance defined for each nozzle type, and performs nozzle sorting processing on these extracted nozzles.

<4>ヘッドの移動、及び、再並べ替え
ノズル並び替え情報生成の結果、セルに割り当てられるノズル数が規定数よりも不足する場合には、ヘッドをノズル配列方向に移動し、再度ノズル並び替えを行うことでノズル並び替え情報を更新するとよい。
<4> Moving the head and rearrangement If, as a result of generating the nozzle rearrangement information, the number of nozzles assigned to a cell is less than a specified number, it is advisable to update the nozzle rearrangement information by moving the head in the nozzle array direction and rearranging the nozzles again.

図20は、セル位置と、並べ替え後のノズル位置と、ヘッド移動後のノズル位置と、再並べ替え後のノズル位置と、を示した図である。また、図21はヘッド移動後の着弾観測結果を示す図表であり、図22はノズルの再並べ替え情報を示す図表である。 Figure 20 shows the cell position, the nozzle position after rearrangement, the nozzle position after head movement, and the nozzle position after rearrangement. Also, Figure 21 is a chart showing the landing observation results after head movement, and Figure 22 is a chart showing nozzle rearrangement information.

図20のセルサイズが大きいセル81に割り当てられるノズル数の規定数が4、図20のセルサイズが小さいセル81に割り当てられるノズル数の規定数が1とすると、上述したノズル並べ替えだけではノズル数が不足するセル81が存在する。そこで、ノズル配列方向にヘッドを移動させ、さらにノズルの再並べ替えを行う。 If the prescribed number of nozzles to be assigned to cell 81 with a large cell size in FIG. 20 is 4, and the prescribed number of nozzles to be assigned to cell 81 with a small cell size in FIG. 20 is 1, there will be cells 81 for which the number of nozzles is insufficient with just the nozzle rearrangement described above. Therefore, the head is moved in the nozzle arrangement direction, and the nozzles are rearranged again.

例えば、ヘッドをノズル配列方向の正方向に0.004mm移動すると、図20のヘッド移動後ノズル位置に示されるような位置にノズル全体がシフトし、図21に示したように、着弾観測結果が更新され、セル81に割り当てられるノズル数が規定数を満たすようになる。ノズル並べ替えデータ生成部42は、この更新後の着弾観測結果と精度保証距離とを用いて、上述したのと同様の方法によりノズル並び替え情報を更新し、再並べ替え情報を生成する。 For example, when the head is moved 0.004 mm in the positive direction of the nozzle arrangement, the entire nozzle shifts to the position shown in the nozzle position after head movement in FIG. 20, and the landing observation results are updated as shown in FIG. 21, so that the number of nozzles assigned to cell 81 satisfies the specified number. The nozzle sorting data generation unit 42 uses the updated landing observation results and the accuracy assurance distance after the update to update the nozzle sorting information in the same manner as described above, and generates re-sorting information.

このように、配列方向にヘッドユニット2を移動する移動工程と、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成工程とを再帰的に実行することにより、塗布対象物に規定数の液滴をより着弾させることができるようになる。 In this way, by recursively executing the movement process of moving the head unit 2 in the array direction and the process of generating nozzle rearrangement data, which is the array data for the driven nozzles, it becomes possible to land a specified number of droplets on the object to be coated.

ここで、ヘッド移動量の算出例について説明する。 Here we explain an example of how to calculate the head movement amount.

先ず、第1ステップにおいて、並べ替え結果が規定の必要セル内ノズル数を満たすか判定する。第1ステップで必要セル内ノズル数を満たさないと判定すると、第2ステップにおいて、規定のヘッド移動範囲内でのすべてのヘッド移動量にて並べ替え結果を再計算する。 First, in the first step, it is determined whether the sorting result meets the specified required number of nozzles in the cell. If it is determined in the first step that the required number of nozzles in the cell is not met, in the second step, the sorting result is recalculated for all head movement amounts within the specified head movement range.

第2ステップで算出した並べ替え結果の中で必要セル内ノズル数を満たすものがあればそのヘッド移動量と並べ替え結果を採用する。必要セル内ノズル数を満たすものが複数ある場合、もしくは必要セル内ノズル数を満たすものがない場合は以下の条件でヘッド移動量を決定する。 If any of the rearrangement results calculated in the second step satisfy the required number of nozzles in a cell, then that head movement amount and rearrangement result are used. If there are multiple results that satisfy the required number of nozzles in a cell, or if none of the results satisfy the required number of nozzles in a cell, then the head movement amount is determined according to the following conditions.

a.セル種(実施の形態では2種類)ごとにセル内ノズル数の最小値を算出する。
b.優先するセル種(例えば規定の必要セル内ノズル数が最も少ないもの等)のセル内ノズル数の最小値が最大となるヘッド移動量での並べ替え結果を採用する。
c.b.で1つに定まらない場合には次の優先順位のセル種でb.を行う。
d.c.で1つに定まらない場合にはヘッド移動量が最小となるものを採用する。
a. Calculate the minimum number of nozzles in a cell for each cell type (two types in this embodiment).
b. The sorting result for the head movement amount that maximizes the minimum number of nozzles in a cell of a prioritized cell type (for example, the type that requires the fewest number of nozzles in a cell by regulation) is adopted.
If c and b do not determine one cell type, then b is performed with the cell type of the next priority.
If it is not possible to determine one by dc, the one that results in the smallest amount of head movement is adopted.

<5>セル内のノズル配置の均等化処理
図23に示したように、並べ替え後のノズル位置で不吐出ノズル等の影響により、セル中心の座標と、割り当てられるノズルの重心との距離が閾値を超える場合、セル内の膜厚の均一性への影響を考え、ヘッドを配列方向に移動し、再度ノズルの並べ替えを行うとよい。
<5> Processing to equalize nozzle arrangement within a cell As shown in Figure 23, if the distance between the coordinates of the cell center and the center of gravity of the assigned nozzle at the nozzle position after rearrangement exceeds a threshold value due to the influence of non-ejecting nozzles, etc., it is advisable to consider the impact on the uniformity of the film thickness within the cell and move the head in the arrangement direction and rearrange the nozzles again.

図23の例では、ノズル番号7,8,9の重心座標とセルの中心座標との距離が閾値を超えているためヘッドを配列方向における負方向に移動し、再度ノズル並べ替えを行う。 In the example of Figure 23, the distance between the center coordinates of the center of gravity of nozzle numbers 7, 8, and 9 and the center coordinates of the cell exceeds the threshold, so the head is moved in the negative direction in the array direction and the nozzles are rearranged again.

詳しく説明する。 explain in detail.

第1ステップで全セルのセル内ノズルの重心座標を算出する。 The first step is to calculate the center of gravity coordinates of the nozzles in all cells.

第2ステップでセルの中心座標とセル内ノズルの重心座標との距離が閾値を超えるものがある場合には、以下のステップでヘッド移動を行い再度ノズル並べ替えを行う。 If in the second step the distance between the center coordinates of a cell and the center of gravity coordinates of a nozzle within the cell exceeds a threshold, the head is moved in the following step and the nozzles are rearranged again.

つまり、第3ステップで規定のヘッド移動範囲内で現在のヘッド移動量を除くすべてのヘッド移動量にて並べ替え結果を再計算する。 In other words, in the third step, the sorting results are recalculated for all head movement amounts within the specified head movement range, excluding the current head movement amount.

第4ステップでは、第3ステップで算出した並べ替え結果の中で必要セル内ノズル数を満たすものがあればそのヘッド移動量と並べ替え結果を採用する。必要セル内ノズル数を満たすものが複数ある場合、もしくは必要セル内ノズル数を満たすものがない場合は以下の条件でヘッド移動量を決定する。 In the fourth step, if any of the rearrangement results calculated in the third step satisfy the required number of nozzles in a cell, then that head movement amount and rearrangement result are used. If there are multiple results that satisfy the required number of nozzles in a cell, or if none of the results satisfy the required number of nozzles in a cell, then the head movement amount is determined according to the following conditions.

a.セル種ごとにセル内ノズル数の最小値を算出する。
b.優先するセル種(例えば規定の必要セル内ノズル数が最も少ないもの等)のセル内ノズル数の最小値が最大となるヘッド移動量での並べ替え結果を採用する。
c.b.で1つに定まらない場合には次の優先順位のセル種でb.を行う。
d.c.で1つに定まらない場合にはヘッド移動量が最小となるものを採用する。
a. Calculate the minimum number of nozzles in a cell for each cell type.
b) The rearrangement result for the head movement amount that maximizes the minimum number of nozzles in a cell of a prioritized cell type (e.g., the type that requires the fewest number of nozzles in a cell, etc.) is adopted.
If one cell type cannot be determined by steps c and b, step b is carried out with the cell type having the next highest priority.
If it is not possible to determine one by d.c., the one that results in the smallest amount of head movement is adopted.

<6>まとめ
以上説明したように、本実施の形態によれば、それぞれのノズルの設計位置のデータと、セルの位置のデータと、それぞれのノズルについての着弾位置ズレのデータとに基づいて、複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する生成工程を含む。
<6> Summary As described above, according to this embodiment, a generation process is included in which driven nozzles to be driven are selected from a plurality of nozzles based on data on the design position of each nozzle, data on the cell position, and data on the landing position deviation for each nozzle, and nozzle rearrangement data, which is array data for the driven nozzles, is generated.

また、本実施の形態によれば、生成工程では、ノズルの設計位置のデータとセルの位置のデータとから得られるセルに対するノズルの関係に基づいて、ノズルに対する着弾位置ズレの許容範囲である精度保証距離を設定し、ノズルの着弾位置ズレと、精度保証距離とに基づいて、駆動ノズルを選定する。 In addition, according to this embodiment, in the generation process, a precision guarantee distance, which is the allowable range of deviation in the landing position for the nozzle, is set based on the relationship of the nozzle to the cell obtained from data on the design position of the nozzle and data on the position of the cell, and a driven nozzle is selected based on the deviation in the landing position of the nozzle and the precision guarantee distance.

また、精度保証距離は、セルとノズルの設計位置との関係が1つのセルに1つのノズルが対応する関係の場合と、セルとノズルの設計位置との関係が1つのセルに複数のノズルが対応する関係の場合と、で異なる。つまり、セルとノズルの設計位置との関係が1つのセルに1つのノズルが対応する関係の場合には、精度保証距離は、単にセルの座標とノズルの設計位置とによって決まる。これに対して、セルとノズルの設計位置との関係が1つのセルに複数のノズルが対応する関係の場合には、セル内のノズル位置(ノズルが左端にあるか、右端にあるか、それ以外の位置にあるか)によって各ノズルの精度保証距離の決め方が異なる。 The precision assurance distance also differs depending on whether the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that one nozzle corresponds to one cell, or whether the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that multiple nozzles correspond to one cell. In other words, when the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that one nozzle corresponds to one cell, the precision assurance distance is determined simply by the cell coordinates and the design position of the nozzle. In contrast, when the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that multiple nozzles correspond to one cell, the way in which the precision assurance distance for each nozzle is determined differs depending on the nozzle position within the cell (whether the nozzle is at the left end, the right end, or somewhere else).

また、セルの端部から所定の位置にノズルの設計位置がある場合、当該ノズルに対する精度保障距離は、当該ノズルの設計位置からセルの端部までに設定してもよい。例えば、設計上、セル内において最も左側に位置するノズルの精度保証距離は、ノズルの設計位置からセルの左端までに設定してもよい。このノズルの右側の精度保証距離は、例えば、予め定めた値に設定してもよい。すなわち、セルにおけるノズルの設計位置に応じて、当該ノズルの精度保障距離を変えてもよい。 In addition, if the design position of a nozzle is at a specified position from the end of a cell, the precision guarantee distance for that nozzle may be set from the design position of that nozzle to the end of the cell. For example, the precision guarantee distance for a nozzle located at the leftmost position in a cell in terms of design may be set from the design position of the nozzle to the left end of the cell. The precision guarantee distance to the right of this nozzle may be set to, for example, a predetermined value. In other words, the precision guarantee distance for that nozzle may be changed depending on the design position of the nozzle in the cell.

上述の実施の形態は、本発明を実施するにあたっての具体化の一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその要旨、またはその主要な特徴から逸脱することの無い範囲で、様々な形で実施することができる。 The above-described embodiments are merely examples of the implementation of the present invention, and the technical scope of the present invention should not be interpreted in a limiting manner based on these. In other words, the present invention can be implemented in various forms without departing from its gist or main characteristics.

本開示は、ノズルの物理的な位置ズレや、インクの飛翔角度に起因する着弾位置ズレが生じた場合においても、塗布目標物に規定数の液滴を着弾させることができるといった効果を有し、例えば有機ELの発光体、ホール輸送層、電子輸送層の印刷、カラーフィルターの印刷、あるいは、均一な膜の形成のための印刷等に用いられるインクジェット装置に好適である。 The present disclosure has the effect of being able to land a specified number of droplets on a coating target even when there is a physical misalignment of the nozzle or a misalignment of the landing position due to the ink flight angle, and is suitable for inkjet devices used for printing organic electroluminescent emitters, hole transport layers, electron transport layers, color filter printing, or printing to form uniform films.

1 インクジェット装置
2 ヘッドユニット
3 インクジェットヘッド
4 演算処理部
41 着弾位置算出部
42 ノズル並べ替えデータ生成部
5 記憶部
6 駆動制御部
7 ステージ
8 パネル
81 セル
N ノズル
REFERENCE SIGNS LIST 1 Inkjet device 2 Head unit 3 Inkjet head 4 Arithmetic processing unit 41 Landing position calculation unit 42 Nozzle sorting data generation unit 5 Storage unit 6 Drive control unit 7 Stage 8 Panel 81 Cell N Nozzle

Claims (9)

ヘッドユニットに設けられ、前記ヘッドユニットの走査方向と直交する配列方向に配列された複数のノズルから、塗布対象物上に形成されたセルに液滴を吐出するインクジェット装置の制御方法であって、
前記各ノズルにあらかじめ設定された目標着弾位置に対して前記各ノズルから吐出された液滴の前記配列方向における正方向及び負方向への着弾位置ズレを観測する観測工程と、
それぞれのノズルの設計位置のデータと、前記セルの位置のデータと、それぞれのノズルについての前記着弾位置ズレのデータとに基づいて、前記複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する生成工程と、
前記ノズル並べ替えデータを用いて、前記ヘッドユニットを制御して前記複数のセルのそれぞれに所定数の液滴を吐出させる塗布工程と、
を含む、インクジェット装置の制御方法。
A method for controlling an inkjet device that ejects droplets from a plurality of nozzles provided in a head unit and arranged in an arrangement direction perpendicular to a scanning direction of the head unit, into cells formed on an object to be coated, comprising the steps of:
an observation step of observing a deviation in a landing position of the droplets ejected from each of the nozzles in a positive direction and a negative direction in the arrangement direction with respect to a target landing position previously set for each of the nozzles;
a generating step of selecting driven nozzles to be driven from the plurality of nozzles based on data on the design position of each nozzle, data on the position of the cell, and data on the landing position deviation for each nozzle, and generating nozzle rearrangement data which is data on the arrangement of the driven nozzles;
a coating step of controlling the head unit using the nozzle rearrangement data to eject a predetermined number of droplets onto each of the plurality of cells;
A method for controlling an inkjet device, comprising:
前記生成工程では、
前記ノズルの設計位置のデータと前記セルの位置のデータとから得られる前記セルに対する前記ノズルの関係に基づいて、前記ノズルに対する前記着弾位置ズレの許容範囲である精度保証距離を設定し、
前記ノズルの着弾位置ズレと、前記精度保証距離とに基づいて、前記駆動ノズルを選定する、
請求項1に記載のインクジェット装置の制御方法。
In the generating step,
setting a precision guarantee distance, which is a permissible range of deviation of the impact position with respect to the nozzle, based on a relationship of the nozzle with respect to the cell obtained from data on a design position of the nozzle and data on a position of the cell;
selecting the driven nozzle based on the landing position deviation of the nozzle and the accuracy guaranteed distance;
The method of controlling the ink jet device according to claim 1 .
前記精度保証距離は、
前記セルと前記ノズルの設計位置との関係が1つのセルに1つのノズルが対応する関係の場合と、前記セルと前記ノズルの設計位置との関係が1つのセルに複数のノズルが対応する関係の場合と、で異なる、
請求項2に記載のインクジェット装置の制御方法。
The accuracy assurance distance is
the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is different between a case where one nozzle corresponds to one cell and a case where a plurality of nozzles correspond to one cell;
The method for controlling the ink jet device according to claim 2.
前記セルの端部から所定の位置に前記ノズルの設計位置がある場合、当該ノズルに対する精度保障距離は、当該ノズルの設計位置から当該セルの端部までに設定される、
請求項2に記載のインクジェット装置の制御方法。
When the design position of the nozzle is at a predetermined position from an end of the cell, the precision assurance distance for the nozzle is set from the design position of the nozzle to the end of the cell.
The method for controlling the ink jet device according to claim 2.
前記セルと前記ノズルの設計位置との関係が1つのセルに1つのノズルが対応する関係の場合、
当該ノズルの前記配列方向における負方向の前記精度保証距離は、前記セルの負方向の端の座標と当該ノズルの設計位置との距離であり、かつ、当該ノズルの前記配列方向における正方向の前記精度保証距離は、前記セルの正方向の端の座標と当該ノズルの設計位置との距離である、
請求項2に記載のインクジェット装置の制御方法。
When the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that one nozzle corresponds to one cell,
the precision assurance distance in a negative direction in the arrangement direction of the nozzle is the distance between the coordinate of the end of the cell in the negative direction and the design position of the nozzle, and the precision assurance distance in a positive direction in the arrangement direction of the nozzle is the distance between the coordinate of the end of the cell in the positive direction and the design position of the nozzle.
The method for controlling the ink jet device according to claim 2.
前記セルと前記ノズルの設計位置との関係が1つのセルに2つ以上のノズルが対応する関係の場合、
前記2つ以上のノズルのうち前記配列方向における最も負方向に位置するノズルの前記精度保証距離は、前記セルの負方向の端の座標と当該ノズルの設計位置との距離であり、かつ、前記2つ以上のノズルのうち前記配列方向における最も正方向に位置するノズルの前記精度保証距離は、前記セルの正方向の端の座標と当該ノズルの設計位置との距離である、
請求項2に記載のインクジェット装置の制御方法。
When the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that two or more nozzles correspond to one cell,
the precision assurance distance of a nozzle located in the most negative direction in the arrangement direction among the two or more nozzles is the distance between the coordinate of the end of the cell in the negative direction and a design position of the nozzle, and the precision assurance distance of a nozzle located in the most positive direction in the arrangement direction among the two or more nozzles is the distance between the coordinate of the end of the cell in the positive direction and a design position of the nozzle.
The method for controlling the ink jet device according to claim 2.
前記セルと前記ノズルの設計位置との関係が1つのセルに3つ以上のノズルが対応する関係の場合、
前記3つ以上のノズルのうち前記配列方向における最も負方向及び最も正方向に位置するノズルを除くノズルの前記精度保証距離は、予め決められた規定値である、
請求項2又は6に記載のインクジェット装置の制御方法。
When the relationship between the cells and the design positions of the nozzles is such that three or more nozzles correspond to one cell,
the precision assurance distance of each of the three or more nozzles, excluding the nozzles positioned in the most negative direction and the most positive direction in the arrangement direction, is a predetermined specified value;
A method for controlling the ink jet device according to claim 2 or 6.
前記配列方向に前記ヘッドユニットを移動する移動工程を、さらに含み、
前記生成工程と前記移動工程を再帰的に実行する、
請求項1に記載のインクジェット装置の制御方法。
The method further includes a moving step of moving the head unit in the arrangement direction,
The generating step and the moving step are executed recursively.
The method of controlling the ink jet device according to claim 1 .
ヘッドユニットと、前記ヘッドユニットに設けられ、前記ヘッドユニットの走査方向と直交する配列方向に配列された複数のノズルと、を有し、前記複数のノズルから、塗布対象物上に形成されたセルに液滴を吐出するインクジェット装置であって、
前記各ノズルにあらかじめ設定された目標着弾位置に対して前記各ノズルから吐出された液滴の前記配列方向における正方向及び負方向への着弾位置ズレを算出する算出部と、
それぞれのノズルの設計位置のデータと、前記セルの位置のデータと、それぞれのノズルについての前記着弾位置ズレのデータとに基づいて、前記複数のノズルの中から駆動対象となる駆動ノズルを選定し、駆動ノズルの配列データであるノズル並べ替えデータを生成する生成部と、
前記ノズル並べ替えデータを用いて、前記ヘッドユニットを制御して前記複数のセルのそれぞれに所定数の液滴を吐出させる駆動制御部と、
を備える、インクジェット装置。
An inkjet device comprising: a head unit; and a plurality of nozzles provided in the head unit and arranged in an arrangement direction perpendicular to a scanning direction of the head unit, the inkjet device ejecting droplets from the plurality of nozzles into cells formed on an object to be coated,
a calculation unit that calculates a landing position deviation in a positive direction and a negative direction in the arrangement direction of droplets ejected from each of the nozzles with respect to a target landing position previously set for each of the nozzles;
a generating unit that selects driven nozzles to be driven from the plurality of nozzles based on data on the design position of each nozzle, data on the position of the cell, and data on the landing position deviation for each nozzle, and generates nozzle rearrangement data which is data on the arrangement of the driven nozzles;
a drive control unit that uses the nozzle rearrangement data to control the head unit to eject a predetermined number of droplets from each of the plurality of cells;
An inkjet device comprising:
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