JP2024055319A - Manufacturing method of core board and through-hole printing mask - Google Patents

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Abstract

【課題】コア基板の複数のスルーホールに対し、ペースト材の充填の均一化を図る技術を開示する。【解決手段】複数のスルーホール15を有する製品領域13が、スルーホール15を有しない製品外領域14に包囲されているコア基板10にスルーホール印刷を行って前記スルーホール15が充填部材43Aにて充填されているコア基板10を製造するコア基板10の製造方法であって、前記スルーホール印刷用マスク30に、前記製品領域13と重なる第1領域31に形成されて、前記複数のスルーホール15に連通する複数の第1貫通孔32と、前記製品外領域14と重なる第2領域34に形成される複数の第2貫通孔33とが備えられている。【選択図】図1[Problem] A technology for uniformly filling a plurality of through holes in a core board with a paste material is disclosed. [Solution] A method for manufacturing a core board 10, in which a product area 13 having a plurality of through holes 15 is surrounded by an outside-product area 14 having no through holes 15, is performed through-hole printing on the core board 10 to manufacture the core board 10 in which the through holes 15 are filled with a filling material 43A, and the through-hole printing mask 30 is provided with a plurality of first through holes 32 formed in a first area 31 overlapping the product area 13 and communicating with the plurality of through holes 15, and a plurality of second through holes 33 formed in a second area 34 overlapping the outside-product area 14. [Selected Figure] Figure 1

Description

本開示は、コア基板の製造方法及びスルーホール印刷用マスクに関する。 This disclosure relates to a method for manufacturing a core substrate and a mask for through-hole printing.

従来より知られているスルーホール印刷は、コア基板の複数のスルーホールに対応する複数の貫通孔を有するスルーホール印刷用マスクがコア基板に重ねられ、スルーホール印刷用マスク上に配置されるペースト材が、スキージでならされて、複数の貫通孔から複数のスルーホールへと充填されるという技術である(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally known through-hole printing is a technique in which a through-hole printing mask having multiple through holes corresponding to the multiple through holes in the core board is overlaid on the core board, and a paste material placed on the through-hole printing mask is smoothed with a squeegee and filled into the multiple through holes through the multiple through holes (see, for example, Patent Document 1).

特開2001-298257号公報(段落[0009]、図1~2)JP 2001-298257 A (paragraph [0009], Figures 1-2)

しかしながら、コア基板の複数のスルーホールを有する製品領域が、スルーホールを有しない製品外領域で包囲されているものである場合には、製品領域のうち製品外領域から遠い位置のスルーホールには十分にペースト材が充填されるものの、製品外領域に近い位置のスルーホールには十分にペースト材が充填されず、スルーホール内でペースト材が固化してなるホール充填部材の表面が凹んだ形状になることがある。そこで、本願では、製品外領域を有するコア基板の複数のスルーホールに対し、ペースト材の充填の均一化を図る技術を開示する。 However, when a product area having multiple through holes in a core substrate is surrounded by an outside-product area that does not have through holes, the through holes in the product area that are far from the outside-product area are filled with sufficient paste material, but the through holes close to the outside-product area are not filled with sufficient paste material, and the surface of the hole filling material formed by the paste material solidifying in the through holes may have a concave shape. Therefore, this application discloses a technology for uniformly filling the paste material into multiple through holes in a core substrate having an outside-product area.

上記課題を解決するためになされた請求項1の発明は、複数のスルーホールを有する製品領域が、スルーホールを有しない製品外領域に包囲されているコア基板にスルーホール印刷を行って前記スルーホールが充填部材にて充填されているコア基板を製造するコア基板の製造方法であって、スルーホール印刷用マスクに、前記製品領域と重なる第1領域に形成されて、前記複数のスルーホールに連通する複数の第1貫通孔と、前記製品外領域と重なる第2領域に形成される複数の第2貫通孔とが備えられている。 The invention of claim 1, which has been made to solve the above problem, is a method for manufacturing a core board in which a product area having a plurality of through holes is surrounded by an outside-product area having no through holes, and the through holes are filled with a filling material by performing through-hole printing on the core board, and the through-hole printing mask is provided with a plurality of first through holes formed in a first area overlapping the product area and communicating with the plurality of through holes, and a plurality of second through holes formed in a second area overlapping the outside-product area.

請求項1のコア基板の製造方法で使用されるスルーホール印刷用マスクには、コア基板の製品領域と重なる第1領域に、複数のスルーホールに連通する複数の第1貫通孔が形成されるだけではなく、コア基板の製品外領域と重なる第2領域に複数の第2貫通孔が備えられている。これにより、製品領域のうち製品外領域から遠い位置と近い位置とで、ペースト材の流動に係る条件の均一化が図られ、ペースト材の充填の均一化が図られる。これによりホール充填部材の表面の凹みを抑えることができる。 The through-hole printing mask used in the method for manufacturing a core substrate of claim 1 not only has a plurality of first through holes formed in a first region overlapping the product region of the core substrate, which are connected to a plurality of through holes, but also has a plurality of second through holes formed in a second region overlapping the outside-product region of the core substrate. This makes it possible to equalize the conditions related to the flow of the paste material between positions in the product region far from and near the outside-product region, and to uniformly fill the paste material. This makes it possible to suppress dents in the surface of the hole-filling member.

本開示の一実施形態に係るコア基板、マスク及び支持テーブルの斜視図FIG. 1 is a perspective view of a core substrate, a mask, and a support table according to an embodiment of the present disclosure. コア基板の拡大図Core board enlarged view マスクの拡大図Close-up of the mask コア基板のスクリーン印刷工程Screen printing process for core board 本開示の他の実施形態に係るコア基板、マスク及び支持テーブルの斜視図FIG. 13 is a perspective view of a core substrate, a mask, and a support table according to another embodiment of the present disclosure.

以下、図1~図4を参照して、本開示の一実施形態について説明する。図1に示されたコア基板10は、例えば、ガラスクロスにエポキシ樹脂等を含浸させた樹脂層の両面側に導電層が積層されたものであり、全体が四角形になっている。また、コア基板10は、表裏に図示しない絶縁層と導電層とが交互に積層される。即ち、コア基板10の表裏にビルドアップ層が積層される。そして、コア基板10とビルドアップ層とを含んだ多層配線基板が複数に分割されて最終的な製品となり、市販品に組み込まれる。 Below, an embodiment of the present disclosure will be described with reference to Figures 1 to 4. The core substrate 10 shown in Figure 1 is, for example, a resin layer made of glass cloth impregnated with epoxy resin or the like, with conductive layers laminated on both sides, and has an overall rectangular shape. The core substrate 10 also has insulating layers and conductive layers (not shown) laminated alternately on the front and back of the core substrate 10. That is, build-up layers are laminated on the front and back of the core substrate 10. The multilayer wiring substrate including the core substrate 10 and the build-up layers is then divided into multiple pieces to become the final product, which is then incorporated into a commercially available product.

より具体的には、コア基板10のうち外縁の枠状領域は、最終的には製品にならずに例えば破棄される製品外領域14であり、その製品外領域14の内側が、最終的に製品になる製品領域13になっている。本実施形態では、製品領域13は、例えば、複数の四角形の小領域13Aに区画されていて、最終的にそれら小領域13Aごとに分割される。そして、製品領域13の各小領域13A毎が、製品(即ち、多層配線基板)の一部になる。 More specifically, the outer frame-shaped region of the core substrate 10 is a non-product region 14 that will not ultimately become a product and is discarded, for example, and the inside of the non-product region 14 is a product region 13 that will ultimately become a product. In this embodiment, the product region 13 is partitioned, for example, into a number of rectangular small regions 13A, and is ultimately divided into each of these small regions 13A. Each small region 13A of the product region 13 then becomes part of the product (i.e., the multilayer wiring board).

また、コア基板10の製品領域13には、表裏の導電層にサブトラクティブ法など一般的な方法で回路が形成されている。さらに、コア基板10の製品領域13には、表裏に貫通する複数のスルーホール15が備えられ、そのスルーホール15の内面を被覆するように形成されるホール充填部材43Aにより、コア基板10の表裏の導電層の回路同士や、表裏のビルドアップ層の回路同士が接続されている。そして、複数のスルーホール15は、ホール充填部材43Aで埋められる。 In addition, in the product area 13 of the core substrate 10, circuits are formed in the conductive layers on the front and back by a common method such as a subtractive method. Furthermore, the product area 13 of the core substrate 10 is provided with a plurality of through holes 15 that penetrate from the front to the back, and the circuits in the conductive layers on the front and back of the core substrate 10 and the circuits in the build-up layers on the front and back are connected to each other by hole filling material 43A that is formed to cover the inner surface of the through holes 15. The plurality of through holes 15 are then filled with hole filling material 43A.

なお、本実施形態のコア基板10及び製品領域13は、四角形であるが、四角形に限定されるものではなく、それ以外の多角形、円形、半円形、楕円形、異形であってもよい。また、製品領域13は、最終的に複数に分割されるが、分割されないものであってもよい。ホール充填部材43Aは、絶縁性の部材であってもよいし、導電性の部材であってもよい。 In this embodiment, the core substrate 10 and the product area 13 are rectangular, but are not limited to rectangular shapes and may be other polygonal, circular, semicircular, elliptical, or irregular shapes. Additionally, the product area 13 is ultimately divided into multiple parts, but may not be divided. The hole filling material 43A may be an insulating material or a conductive material.

本実施形態のコア基板の製造方法では、コア基板10が、複数のスルーホール15にホール充填部材43Aが備えられていない未完成の状態で用意される。そして、本実施形態のコア基板の製造方法は、用意されたコア基板10に対し、スルーホール印刷を行ってホール充填部材43Aを形成し、コア基板10を完成させるというものである。 In the core substrate manufacturing method of this embodiment, the core substrate 10 is prepared in an incomplete state in which the through holes 15 are not provided with the hole filling material 43A. Then, in the core substrate manufacturing method of this embodiment, through-hole printing is performed on the prepared core substrate 10 to form the hole filling material 43A, thereby completing the core substrate 10.

なお、用意されるコア基板10のスルーホール15は、ドリル等によって形成され、一定の内径でコア基板10を貫通している。また、コア基板10の製品外領域14の3つの角部には、3つの位置決孔18が形成されている。そして、コア基板10の製品外領域14は、位置決孔18以外に孔も凹凸も有しない平坦な板状になっている。 The through holes 15 in the prepared core substrate 10 are formed by a drill or the like, and penetrate the core substrate 10 with a constant inner diameter. Three alignment holes 18 are formed in the three corners of the outer product area 14 of the core substrate 10. The outer product area 14 of the core substrate 10 is a flat plate with no holes or irregularities other than the alignment holes 18.

図1には、スルーホール印刷機の支持テーブル40とスルーホール印刷用マスク30(以下、単に「マスク30」という)とが示されている。支持テーブル40は、コア基板10が載置される平坦な上面を有し、その上面には、コア基板10の製品外領域14に対応する枠状領域40Rの各辺に沿って複数の座繰り孔45が並べられて開口している。また、枠状領域40Rの3つの角部からは位置決ピン48が起立している。そして、コア基板10の3つの位置決孔18に、支持テーブル40の3つの位置決ピン48が通されてコア基板10が支持テーブル40上に位置決めされた状態で載置される。 Figure 1 shows the support table 40 of the through-hole printer and the through-hole printing mask 30 (hereinafter simply referred to as "mask 30"). The support table 40 has a flat upper surface on which the core substrate 10 is placed, and on the upper surface, a number of countersunk holes 45 are arranged along each side of the frame-shaped region 40R corresponding to the outside product region 14 of the core substrate 10. Positioning pins 48 stand upright from three corners of the frame-shaped region 40R. The three positioning pins 48 of the support table 40 are passed through the three positioning holes 18 of the core substrate 10, and the core substrate 10 is placed in a positioned state on the support table 40.

マスク30は、コア基板10と略同一の四角形のシート状をなして、コア基板10の製品領域13と重なる第1領域31と、コア基板10の製品外領域14と重なる枠状の第2領域34とを有する。また、第2領域34の3つの角部には、位置決孔38が形成されている。そして、マスク30の3つの位置決孔38に、支持テーブル40の3つの位置決ピン48が通されて、マスク30がコア基板10上に位置決めされた状態で載置される。 The mask 30 is in the form of a rectangular sheet that is approximately the same as the core substrate 10, and has a first region 31 that overlaps with the product region 13 of the core substrate 10, and a frame-shaped second region 34 that overlaps with the non-product region 14 of the core substrate 10. Positioning holes 38 are formed in three corners of the second region 34. Three positioning pins 48 of the support table 40 are passed through the three positioning holes 38 of the mask 30, and the mask 30 is placed in a positioned state on the core substrate 10.

なお、図1では、説明のためにマスク30には、第1領域31と第2領域34との間等の境界線が付されているが、そのような境界線がマスク30に付されていていなくてもよい。コア基板10の製品領域13と製品外領域14との間等の境界線に関しても同様である。また、マスク30としてはステンレス等の金属製であることが好ましいが、樹脂製であっても良い。 In FIG. 1, for the purpose of explanation, the mask 30 is shown with a boundary line between the first region 31 and the second region 34, but such a boundary line does not have to be shown on the mask 30. The same applies to the boundary line between the product region 13 and the non-product region 14 of the core substrate 10. In addition, the mask 30 is preferably made of a metal such as stainless steel, but may be made of resin.

スルーホール15の配置や数が異なる複数のコア基板10を製造する場合には、コア基板10毎のマスク30が用意される。その一例として図1に示されたコア基板10の複数のスルーホール15は、例えば、以下のようになっている。即ち、コア基板10では、複数のスルーホール15が密に集まっている場所と疎に離散している場所との多少のばらつきはあるものの、製品領域13の全体に亘って複数のスルーホール15が概ね均等に分散して配置されている。また、コア基板10の製品外領域14は、前述した通り、3つの位置決孔18以外に孔も凹凸も有しない平坦な板状になっている。なお、図1では、複数のスルーホール15の一部のみが示されている。 When manufacturing multiple core boards 10 with different arrangements and numbers of through holes 15, a mask 30 is prepared for each core board 10. As an example, the multiple through holes 15 of the core board 10 shown in FIG. 1 are as follows. That is, in the core board 10, although there is some variation between places where the multiple through holes 15 are densely packed and places where they are sparsely scattered, the multiple through holes 15 are roughly evenly distributed throughout the entire product area 13. Also, as described above, the non-product area 14 of the core board 10 is a flat plate with no holes or irregularities other than the three positioning holes 18. Note that only some of the multiple through holes 15 are shown in FIG. 1.

これに対し、図1のマスク30には、コア基板10の製品領域13の全てのスルーホール15と配置も内径も同じ複数の第1貫通孔32が形成されている。即ち、マスク30には、コア基板10の製品領域13と同様に、その製品領域13に重なる第1領域31の全体に亘って複数の第1貫通孔32が概ね均等に分散して配置されている(図2参照)。これに加え、マスク30には、スルーホール15を有しないコア基板10の製品外領域14に重なる第2領域34に、複数の第2貫通孔33が形成されている。複数の第2貫通孔33は、例えば、第1領域31の一部における複数の第1貫通孔32のコピーであって、第2領域34の全体に概ね均等に分散して配置されている。即ち、マスク30では、第1領域31と第2領域34の区別なく、マスク30の全体に亘って、複数の第1貫通孔32と複数の第2貫通孔33とからなる複数の貫通孔が概ね均等に分散して配置されている(図3参照)。 1, a plurality of first through holes 32 are formed, which have the same arrangement and inner diameter as all the through holes 15 in the product region 13 of the core substrate 10. That is, in the mask 30, a plurality of first through holes 32 are arranged almost evenly throughout the entire first region 31 overlapping the product region 13, similar to the product region 13 of the core substrate 10 (see FIG. 2). In addition, a plurality of second through holes 33 are formed in the second region 34 overlapping the outside product region 14 of the core substrate 10 that does not have through holes 15. The plurality of second through holes 33 are, for example, copies of the plurality of first through holes 32 in a part of the first region 31, and are arranged almost evenly throughout the entire second region 34. That is, in the mask 30, there is no distinction between the first region 31 and the second region 34, and a plurality of through holes, each consisting of a plurality of first through holes 32 and a plurality of second through holes 33, are generally evenly distributed throughout the entire mask 30 (see FIG. 3).

本実施形態のコア基板の製造方法では、上述した支持テーブル40及びマスク30が使用されて、以下のようにしてコア基板10が製造される。 In the core substrate manufacturing method of this embodiment, the support table 40 and mask 30 described above are used to manufacture the core substrate 10 as follows.

(1)複数のスルーホール15を有し、それらスルーホール15にホール充填部材43Aが備えられていない未完成のコア基板10が用意される。 (1) An unfinished core substrate 10 is prepared, which has multiple through holes 15, but does not have hole filling material 43A in the through holes 15.

(2)コア基板10の製品領域13に対応する大きさにカットされた剥離シート50が、支持テーブル40の上面の枠状領域40Rより内側に敷設される。そして、その上に、コア基板10が重ねられて前述の通り支持テーブル40に位置決めされた状態で載置され、さらにその上にマスク30が位置決めされた状態で載置される。(図4(A)参照)。 (2) A release sheet 50 cut to a size corresponding to the product area 13 of the core substrate 10 is laid inside the frame-shaped area 40R on the upper surface of the support table 40. The core substrate 10 is then placed on top of the release sheet 50 in a positioned state on the support table 40 as described above, and the mask 30 is then placed on top of the release sheet 50 in a positioned state. (See FIG. 4(A)).

(3)マスク30の4辺の外縁部のうち一辺の外縁部上にペースト材43が乗せられる。そして、スキージ46が、マスク30の一辺の外縁部から水平方向で離れた位置からマスク30の一辺の外縁部に乗り上がるように移動され、さらに、スキージ46がマスク30に押し付けられた状態で、マスク30上を通過するように移動される。これにより、マスク30の第1貫通孔32を通して複数のスルーホール15に向けてペースト材43が充填される。この時、第1貫通孔32及び第2貫通孔33にも、マスク30の厚み分のペースト材43が充填される(図4(B)参照)。なお、ペースト材43としては、エポキシ系樹脂が用いられるが、銀ペーストや導電性インキ等であってもよい。 (3) The paste material 43 is placed on the outer edge of one of the four sides of the mask 30. Then, the squeegee 46 is moved so as to climb onto the outer edge of one side of the mask 30 from a position horizontally away from the outer edge of one side of the mask 30, and further, the squeegee 46 is moved to pass over the mask 30 while being pressed against the mask 30. As a result, the paste material 43 is filled through the first through hole 32 of the mask 30 toward the multiple through holes 15. At this time, the first through hole 32 and the second through hole 33 are also filled with the paste material 43 to the thickness of the mask 30 (see FIG. 4B). Note that an epoxy resin is used as the paste material 43, but it may be silver paste, conductive ink, or the like.

(4)コア基板10は、下面に剥離シート50が付着した状態で支持テーブル40から取り外される。そして、コア基板10の上面全体に剥離シート50が重ねられ、加圧装置により厚さ方向で挟まれた状態で加熱される。これによりペースト材43が硬化されて、スルーホール15内部にホール充填部材43Aが形成され、コア基板10が完成する。 (4) The core substrate 10 is removed from the support table 40 with the release sheet 50 attached to its underside. The release sheet 50 is then placed over the entire upper surface of the core substrate 10, and the substrate is heated while sandwiched in the thickness direction by a pressure device. This hardens the paste material 43, forming the hole filling material 43A inside the through-holes 15, and the core substrate 10 is completed.

本実施形態のコア基板10の製造方法で使用されるマスク30には、コア基板10の製品領域13と重なる第1領域31に、複数のスルーホール15に連通する複数の第1貫通孔32が形成されるだけではなく、コア基板10の製品外領域14と重なる第2領域34に複数の第2貫通孔33が備えられている。これにより、製品領域13のうち製品外領域14から遠い位置と近い位置とで、ペースト材43の流動に係る条件の均一化が図られる。 The mask 30 used in the manufacturing method of the core substrate 10 of this embodiment not only has a plurality of first through holes 32 that communicate with a plurality of through holes 15 formed in a first region 31 that overlaps with the product region 13 of the core substrate 10, but also has a plurality of second through holes 33 in a second region 34 that overlaps with the outside-product region 14 of the core substrate 10. This makes it possible to equalize the conditions related to the flow of the paste material 43 between positions in the product region 13 that are far from and close to the outside-product region 14.

より具体的には、本実施形態のマスク30では、第2領域34の複数の第2貫通孔33に、第1領域31の一部の複数の第1貫通孔32をコピーして使用したことで、複数の第1貫通孔32の平均の孔径と、複数の第2貫通孔33の平均の孔径とが略同一になり、第1領域31における単位面積当りの複数の第1貫通孔32の数と、第2領域34における単位面積当りの複数の第2貫通孔33の数とが略同一になって、ペースト材43の流動に係る条件の均一化が図られ、ペースト材43の充填の均一化が図られる。これによりホール充填部材43Aの表面の凹みを抑えることができる。 More specifically, in the mask 30 of this embodiment, the multiple second through holes 33 in the second region 34 are made by copying the multiple first through holes 32 in a portion of the first region 31, so that the average hole diameter of the multiple first through holes 32 and the average hole diameter of the multiple second through holes 33 are approximately the same, and the number of multiple first through holes 32 per unit area in the first region 31 and the number of multiple second through holes 33 per unit area in the second region 34 are approximately the same, which results in uniform conditions related to the flow of the paste material 43 and uniform filling of the paste material 43. This makes it possible to suppress depressions on the surface of the hole filling member 43A.

また、支持テーブル40のうちコア基板10の製品外領域14が重なる枠状領域40Rに複数の座繰り孔45を設けたことによっても、ペースト材43の流動に係る条件の均一化が図られる。具体的には、コア基板10のうち製品領域13は、複数のスルーホール15を備えることで、それらスルーホール15を有しない製品外領域14より剛性は低い。即ち、剛性の相違により、コア基板10のうち製品領域13は、製品外領域14に比べてスキージ46による押圧力によって下方に変形し易くなっている。これに対し、支持テーブル40のうちコア基板10の製品外領域14を下方から支持する枠状領域40Rには、複数の座繰り孔45が設けられる一方、コア基板10の製品領域13を下方から支持する領域には複数の座繰り孔45は設けられていないから、支持テーブル40による支持の相違から、コア基板10のうち製品外領域14は、製品領域13に比べてスキージ46の押圧力によって下方に変形し易くなり、製品外領域14及び製品領域13の下方への変形量の差が抑えられて、ペースト材43の流動に係る条件の均一化が図られる。 In addition, by providing multiple countersinks 45 in the frame region 40R of the support table 40 where the outside-product region 14 of the core substrate 10 overlaps, the conditions for the flow of the paste material 43 are also made uniform. Specifically, the product region 13 of the core substrate 10 has multiple through holes 15, and is therefore less rigid than the outside-product region 14 which does not have these through holes 15. In other words, due to the difference in rigidity, the product region 13 of the core substrate 10 is more likely to deform downwardly due to the pressing force of the squeegee 46 than the outside-product region 14. In contrast, the frame-shaped region 40R of the support table 40 that supports the non-product region 14 of the core substrate 10 from below has multiple countersunk holes 45, while the region that supports the product region 13 of the core substrate 10 from below does not have multiple countersunk holes 45. Therefore, due to the difference in support by the support table 40, the non-product region 14 of the core substrate 10 is more likely to deform downwardly due to the pressure of the squeegee 46 than the product region 13, and the difference in the amount of downward deformation between the non-product region 14 and the product region 13 is reduced, resulting in uniform conditions related to the flow of the paste material 43.

なお、上述した「ペースト材43の流動に係る条件」の相違により、マスク30の変形量やスキージ46のマスク30上での滑り具合等が相違するため、従来のコア基板10の製造方法では、コア基板10の製品領域13のうち製品外領域14に近い位置のスルーホール15において、遠い位置のスルーホール15よりもペースト材43が十分に充填されにくいという問題が生じていたと推測され、本開示の技術により、「ペースト材43の流動に係る条件」の均一化が図られるので、従来の問題が解消されると推測される。 It is assumed that, because the amount of deformation of the mask 30 and the degree to which the squeegee 46 slides on the mask 30 differ due to differences in the "conditions related to the flow of the paste material 43" described above, a problem occurred in the conventional manufacturing method of the core substrate 10 in that the through-holes 15 located closer to the non-product area 14 of the product area 13 of the core substrate 10 were less likely to be filled sufficiently with the paste material 43 than the through-holes 15 located further away. The technology disclosed herein is expected to uniformize the "conditions related to the flow of the paste material 43," thereby solving the conventional problem.

<他の実施形態>
(1)前記実施形態では第2領域34の全面に第2貫通孔33が形成される構成になっているが、第1領域31と隣接する一部分にのみ設けられる構成になっていてもよい。また、第2領域34の幅方向のうち第1領域31に近い側のみに複数の第2貫通孔33が形成されていてもよい。
<Other embodiments>
(1) In the above embodiment, the second through holes 33 are formed over the entire surface of the second region 34, but the second through holes 33 may be formed only in a portion adjacent to the first region 31. Also, a plurality of second through holes 33 may be formed only on the side of the second region 34 that is closer to the first region 31 in the width direction.

(2)前記実施形態では第2領域34の複数の第2貫通孔33は、第1領域31の一部の複数の第1貫通孔32をコピーしたものであったが、第1領域31の複数の第1貫通孔32とは全く無関係の配置及び大きさの複数の第2貫通孔33が第2領域34に形成されていてもよい。 (2) In the above embodiment, the multiple second through holes 33 in the second region 34 were copies of some of the multiple first through holes 32 in the first region 31, but multiple second through holes 33 having an arrangement and size completely unrelated to the multiple first through holes 32 in the first region 31 may be formed in the second region 34.

(3)前記実施形態のコア基板10では、製品外領域14に包囲される製品領域13が1つであったが、図5に示したコア基板10Aのように、製品外領域14に包囲される製品領域13が複数備えられていてもよく、そのようなコア基板10Aに対応させてマスク30A及び支持テーブル40Aを形成してもよい。具体的には、同図に示したコア基板10Aは、例えば、4つの製品領域13を有し、製品外領域14がそれら4つの製品領域13の全体を包囲すると共に製品領域13同士の間を仕切るように設けられて、各製品領域13がそれぞれ製品外領域14によって包囲されている。これに対し、支持テーブル40Aには、コア基板10Aの製品外領域14全体が重なる枠状領域40Rに座繰り孔45が形成されている。また、マスク30Aには、コア基板10Aの4つの製品領域13と重なる4つのマスク内第1領域31Qにそれぞれ複数の第1貫通孔32が形成されると共に、製品外領域14全体が重なるマスク内第2領域34の全体に複数の第2貫通孔33が形成されている。このような構成としても、前記実施形態と同様の作用効果を奏する。 (3) In the core substrate 10 of the above embodiment, there is one product region 13 surrounded by the product outside region 14, but as in the core substrate 10A shown in FIG. 5, there may be multiple product regions 13 surrounded by the product outside region 14, and the mask 30A and the support table 40A may be formed to correspond to such a core substrate 10A. Specifically, the core substrate 10A shown in the figure has, for example, four product regions 13, and the product outside region 14 surrounds the entirety of the four product regions 13 and is provided to separate the product regions 13 from each other, so that each product region 13 is surrounded by the product outside region 14. In contrast, the support table 40A has a countersunk hole 45 formed in the frame-shaped region 40R where the entire product outside region 14 of the core substrate 10A overlaps. In addition, in the mask 30A, a plurality of first through holes 32 are formed in each of the four first mask regions 31Q that overlap the four product regions 13 of the core substrate 10A, and a plurality of second through holes 33 are formed throughout the second mask region 34 that overlaps the entire non-product region 14. Even with this configuration, the same effects as those of the above embodiment are achieved.

なお、本明細書及び図面には、特許請求の範囲に含まれる技術の具体例が開示されているが、特許請求の範囲に記載の技術は、これら具体例に限定されるものではなく、具体例を様々に変形、変更したものも含み、また、具体例から一部を単独で取り出したものも含む。 Note that although specific examples of the technology included in the scope of the claims are disclosed in this specification and drawings, the technology described in the claims is not limited to these specific examples, but includes various modifications and variations of the specific examples, as well as parts of the specific examples taken separately.

10,10A コア基板
13 製品領域
14 製品外領域
15 スルーホール
30,30A スルーホール印刷用マスク
31 第1領域
32 第1貫通孔
33 第2貫通孔
34 第2領域
43 ペースト材
43A ホール充填部材
46 スキージ
REFERENCE SIGNS LIST 10, 10A Core substrate 13 Product area 14 Non-product area 15 Through hole 30, 30A Through hole printing mask 31 First area 32 First through hole 33 Second through hole 34 Second area 43 Paste material 43A Hole filling member 46 Squeegee

Claims (8)

複数のスルーホールを有する製品領域が、スルーホールを有しない製品外領域に包囲されているコア基板にスルーホール印刷を行って前記スルーホールが充填部材にて充填されているコア基板を製造するコア基板の製造方法であって、
スルーホール印刷用マスクに、
前記製品領域と重なる第1領域に形成されて、前記複数のスルーホールに連通する複数の第1貫通孔と、
前記製品外領域と重なる第2領域に形成される複数の第2貫通孔とが備えられている。
A method for manufacturing a core substrate, the method comprising the steps of: performing through-hole printing on a core substrate, the product region having a plurality of through-holes being surrounded by an outside-product region having no through-holes, to manufacture a core substrate in which the through-holes are filled with a filling material, the method comprising the steps of:
For through-hole printing masks,
a plurality of first through holes formed in a first region overlapping the product region and communicating with the plurality of through holes;
A plurality of second through holes are formed in a second region overlapping the outside-product region.
請求項1に記載のコア基板の製造方法であって、
前記複数の第1貫通孔の平均の孔径と、前記複数の第2貫通孔の平均の孔径とが略同一になっている。
A method for manufacturing a core substrate according to claim 1,
The average diameter of the plurality of first through holes and the average diameter of the plurality of second through holes are substantially the same.
請求項1に記載のコア基板の製造方法であって、
前記第1領域における単位面積当りの前記複数の第1貫通孔の数と、前記第2領域のうち少なくとも幅方向の半分より前記第1領域側における単位面積当りの前記複数の第2貫通孔の数とが略同一になっている。
A method for manufacturing a core substrate according to claim 1,
The number of the first through holes per unit area in the first region is approximately the same as the number of the second through holes per unit area in at least the width half of the second region closer to the first region.
請求項1に記載のコア基板の製造方法であって、
前記複数の第2貫通孔は、前記第1領域の一部における前記複数の第1貫通孔のコピーである。
A method for manufacturing a core substrate according to claim 1,
The second plurality of through holes are copies of the first plurality of through holes in a portion of the first region.
複数のスルーホールを有する製品領域が、スルーホールを有しない製品外領域に包囲されているコア基板に使用されるスルーホール印刷用マスクであって、
前記製品領域と重なる第1領域に形成されて、前記複数のスルーホールに連通する複数の第1貫通孔と、
前記製品外領域と重なる第2領域に形成される複数の第2貫通孔と、を備える。
A through-hole printing mask for use on a core substrate having a product area having a plurality of through-holes surrounded by a non-product area having no through-holes,
a plurality of first through holes formed in a first region overlapping the product region and communicating with the plurality of through holes;
and a plurality of second through holes formed in a second region overlapping the outside-product region.
請求項5に記載のスルーホール印刷用マスクであって、
前記複数の第1貫通孔の平均の孔径と、前記複数の第2貫通孔の平均の孔径とが略同一になっている。
6. The through-hole printing mask according to claim 5,
The average diameter of the plurality of first through holes and the average diameter of the plurality of second through holes are substantially the same.
請求項5に記載のスルーホール印刷用マスクであって、
前記第1領域における単位面積当りの前記複数の第1貫通孔の数と、前記第2領域のうち少なくとも幅方向の半分より前記第1領域側における単位面積当りの前記複数の第2貫通孔の数とが略同一になっている。
6. The through-hole printing mask according to claim 5,
The number of the first through holes per unit area in the first region is approximately the same as the number of the second through holes per unit area in at least the width half of the second region closer to the first region.
請求項5に記載のスルーホール印刷用マスクであって、
前記複数の第2貫通孔は、前記第1領域の一部における前記複数の第1貫通孔のコピーである。
6. The through-hole printing mask according to claim 5,
The second plurality of through holes are copies of the first plurality of through holes in a portion of the first region.
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