JP2024043871A - 制御装置及び振動呈示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】操作機器の振動を開始した後に振動減衰期間を調整するに際して高調波の発生を抑制すること。【解決手段】制御装置は、弾性支持部により弾性振動可能に支持された操作機器をその振動方向の一方向に駆動して振動させる電磁アクチュエーターを制御する制御装置であって、電磁アクチュエーターのコイルに対し、主駆動信号を印加して、操作機器に対する接触操作に応じた操作機器の振動を開始した後、副駆動信号を印加して、振動の減衰期間を調整する回路を有し、副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧を中心値として変動する可変電圧を有し、可変電圧の変動を示す波形が正弦関数的曲線又は余弦関数的曲線であり、回路は、オフセット電圧を周期毎に変えながら、副駆動信号を印加する。【選択図】図２０

Description

本発明は、電磁アクチュエーターを駆動する制御装置及び振動呈示装置に関する。

従来、操作機器であるタッチパネルの操作の際に、タッチパネルに表示された表示画面に接触した操作者の指腹等に対し、接触操作感（接触して操作する感覚）として、電磁アクチュエーターにより振動を付与する構成が知られている。

例えば、特許文献１には、タッチパネル、弾性支持部として機能するバイアス要素、電磁アクチュエーター等を有する触覚インタフェース装置が示されている。特許文献１において、電磁アクチュエーターを制御する制御装置は、電磁アクチュエーターを駆動する電圧として、振動を始動する主駆動パルスの印加後に、キックインパルスやブレーキパルスを印加して、振動減衰期間を延ばしたり、短くしたりしている。

特開２０１０－２８７２３２号公報

特許文献１に示すような触覚インタフェース装置では、主駆動パルスの印加後に、矩形波のキックインパルスやブレーキパルスを電磁アクチュエーターのコイルに印加して、振動減衰期間を延ばしたり、短くしたりしている。しかしながら、矩形波のパルスを印加する場合、例えば、その印加時や停止時にコイルを流れる電流の変動に起因して、振動の加速度波形に高調波が重畳することがある（後述の図１４、図１５を参照）。振動の加速度波形に高調波が重畳すると、振動による接触操作感が不快なものになったり、異音が生じたりする。そのため、このような高調波の発生を抑制することが望まれている。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、操作機器の振動を開始した後に振動減衰期間を調整するに際して高調波の発生を抑制可能な制御装置及び振動呈示装置を提供することを目的とする。

本発明の制御装置は、
弾性支持部により弾性振動可能に支持された操作機器をその振動方向の一方向に駆動して振動させる電磁アクチュエーターを制御する制御装置であって、
前記電磁アクチュエーターのコイルに対し、主駆動信号を印加して、前記操作機器に対する接触操作に応じた前記操作機器の振動を開始した後、副駆動信号を印加して、前記振動の減衰期間を調整する回路を有し、
前記副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧を中心値として変動する可変電圧を有し、前記可変電圧の変動を示す波形が正弦関数的曲線又は余弦関数的曲線であり、
前記回路は、前記オフセット電圧を周期毎に変えながら、前記副駆動信号を印加する。

本発明の振動呈示装置は、
弾性支持部により弾性振動可能に支持された操作機器をその振動方向の一方向に駆動して振動させる電磁アクチュエーターと、
上記の制御装置と、
を備える。

本発明によれば、操作機器の振動を開始した後に振動減衰期間を調整するに際して高調波の発生を抑制することができる。

本発明の実施の形態に係る制御装置を有する振動呈示装置を示す側面図である。 本発明の実施の形態に係る制御装置が駆動制御する一例としての電磁アクチュエーターの表面側外観斜視図である。 同電磁アクチュエーターの裏面側外観斜視図である。 同電磁アクチュエーターの平面図である。 図４のＡ―Ａ線矢視断面図である。 同電磁アクチュエーターの分解斜視図である。 同電磁アクチュエーターにセンサを設けた状態を示す断面図である。 同電磁アクチュエーターの磁気回路構成を示す図である。 同電磁アクチュエーターの動作を説明する図である。 本発明の実施の形態に係る制御装置を説明する図である。 図１０に示した制御装置での駆動信号の生成を説明する図である。 初期位相が０の正弦波を示すグラフである。 初期位相が３／２πの正弦波を示すグラフである。 初期位相がπの余弦波を示すグラフである。 奇数番目の周期の正弦波からなる波列と、偶数番目の周期の正弦波からなる波列と、の合成を説明するグラフである。 矩形波の副駆動信号（減衰追加信号）を制御装置から印加する場合に発生する高調波を説明するグラフである。 矩形波の副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置から印加する場合に発生する高調波を説明するグラフである。 正弦波の副駆動信号（減衰追加信号）を制御装置から印加する場合を説明するグラフである。 正弦波の副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置から印加する場合を説明するグラフである。 本発明の実施の形態の変形例１として、図１６及び図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号を示すグラフである。 本発明の実施の形態の変形例２として、図１６及び図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号を示すグラフである。 本発明の実施の形態の変形例３として、図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置から印加する場合を説明するグラフである。 本発明の実施の形態の変形例４として、図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置から印加する場合を説明するグラフである。 本発明の実施の形態の変形例５として、図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置から印加する場合を説明するグラフである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

本実施の形態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用して説明する。後述する図においても共通の直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で示している。以下において、制御装置１を有する振動呈示装置２００の幅、奥行き、高さは、それぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の長さであり、電磁アクチュエーター１０の幅、奥行き、高さもそれぞれ対応して、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の長さとする。また、Ｚ方向プラス側は、操作者に振動フィードバックを付与する方向であり、「上側」とし、Ｚ方向マイナス側は、操作者が操作する際に押圧する方向であり、「下側」として説明する。

（制御装置１を用いた振動呈示装置２００の基本構成）
図１に示す振動呈示装置２００は、制御装置１、制御装置１が駆動制御する電磁アクチュエーター１０、操作者が接触操作する操作機器（タッチパネル２）等を有する。振動呈示装置２００では、操作者の操作機器への接触操作に対応して、操作機器に振動を付与する。つまり、操作機器を介して、操作機器を接触して操作する操作者に接触操作感（「触感」ともいう）を付与する。

本実施の形態では、操作機器は、画像を画面に表示し、画面に接触することにより操作されるタッチパネル２である。タッチパネル２は、静電式、抵抗膜式、光学式等のタッチパネルである。タッチパネル２は、操作者の接触位置を検知する。タッチパネル２は、制御装置１により制御される。制御装置１は、図示しないタッチパネル制御部を介して、操作者のタッチ位置の情報を得ることができる。また、タッチパネル２の画面は、液晶方式、有機ＥＬ方式、電子ペーパー方式、プラズマ方式等の表示部により構成され、制御装置１により制御されてもよい。制御装置１は、図示しない表示情報制御部を制御し、操作者に対して、呈示される振動の種類に対応する画像を画面に表示する。

なお、ここでは、制御装置１が、操作者のタッチ位置の情報取得、呈示される振動の種類に対応する画像表示等を行っているが、制御装置１とは別の制御装置となるマイコンを設け、マイコンが制御装置１とタッチパネル２との間を接続するようにしてもよい。この場合、マイコンが、タッチパネル制御部を介して、操作者のタッチ位置の情報を取得したり、表示情報制御部を制御して、操作者に対して、呈示される振動の種類に対応する画像を画面に表示したりする。また、マイコンが、取得された操作者のタッチ位置の情報に応じた振動に関する情報（波形データ等）を制御装置１へ出力したり、後述の図１１で説明するトリガー信号を制御装置１へ出力したりしてもよい。なお、マイコンは、マイクロコンピュータのことであり、例えば、半導体チップから構成される。

振動呈示装置２００は、例えば、電子機器として、カーナビゲーションシステムのタッチパネル装置として用いられる。振動呈示装置２００は、タッチパネル２の画面２ａに接触して操作する操作者に振動を呈示する装置として機能する。このとき、振動呈示装置２００としては、振動対象に接触する操作者に対して振動を呈示することにより操作者に触感を付与する電子機器であれば、どのようなものでもよい。例えば、振動呈示装置２００は、スマートフォン、タブレット型コンピュータ、テレビ等の画像表示装置、タッチパネル付きゲーム機或いはタッチパネル付きゲームコントローラ等であってもよい。

本実施の形態では、振動呈示装置２００において、タッチパネル２の画面２ａに操作者の指腹等が接触されて操作される際に、これに対応して、制御装置１が電磁アクチュエーター１０を駆動して振動させる。この振動により、操作者には触感が付与される。本実施の形態の制御装置１は、操作者が操作する表示画像に対応して様々な種類の触感を付与する。制御装置１は、例えば、タクタイルスイッチ、オルタネイト型スイッチ、モーメンタリスイッチ、トグルスイッチ、スライドスイッチ、ロータリースイッチ、ＤＩＰスイッチ、ロッカースイッチ等の機械式スイッチとしての触感を付与する。また、プッシュ式のスイッチにおいては、押し込み度合いが異なるスイッチの触感も付与できる。

なお、振動呈示装置２００では、操作機器としてのタッチパネル２に変えて、表示機能がなく、単に操作者が触れて操作可能な操作機器としてもよい。

図１に示す振動呈示装置２００では、電磁アクチュエーター１０は、タッチパネル２と、タッチパネル２の裏面側に配置される装置裏面部としての基台３と、の間に配置される。制御装置１は、電磁アクチュエーター１０自体に設けられてもよく、基台３に設けられてもよい。

タッチパネル２は、裏面側で、電磁アクチュエーター１０の可動体４０（図２参照）の面部固定部４４に固定されている。また、基台３は、タッチパネル２と対向して配置されており、電磁アクチュエーター１０の固定体３０（図２参照）は、支柱部３ａを介して基台３に固定されている。このように、電磁アクチュエーター１０は、タッチパネル２と基台３の中央部のそれぞれの間で、互いを接続するように配置されている。

タッチパネル２自体は、電磁アクチュエーター１０の可動体４０と一体に駆動する。操作者がタッチパネル２の画面を押圧して操作を行う際に、操作者の指等が画面に接触する方向、例えば、タッチパネル２の画面に対して垂直に押圧する方向は、電磁アクチュエーター１０における可動体４０の振動方向であるＺ方向と同じ方向である。

制御装置１、タッチパネル２、電磁アクチュエーター１０を実装した振動呈示装置２００によれば、タッチパネル２を直接動作させる、つまり、可動体４０と共にタッチパネル２を指の接触方向と同方向で駆動させるため、タッチパネル２を直接振動できる。

よって、タッチパネル２に表示される機械式スイッチ等の画像に接触して操作する際に、可動体４０を可動して、画像に応じた操作感、例えば、実際の機械式スイッチを操作する際の操作感と同様の接触操作感となる振動を付与できる。これにより、使い心地の良い操作を表現することができる。

＜電磁アクチュエーター１０の全体構成＞
図２は、本発明の実施の形態に係る制御装置１が駆動制御する一例としての電磁アクチュエーター１０の表面側外観斜視図であり、図３は、電磁アクチュエーター１０の裏面側外観斜視図であり、図４は、電磁アクチュエーターの平面図である。また、図５は、図４のＡ―Ａ線矢視断面図であり、図６は、本発明の実施の形態に係る制御装置１の電磁アクチュエーター１０の分解斜視図である。また、図７は、電磁アクチュエーター１０にセンサを設けた状態を示す断面図である。

図２～図７に示す電磁アクチュエーター１０は、本実施の形態では、制御装置１を適用した電子機器に実装されて、操作機器の一例であるタッチパネル２（図１参照）の振動発生源として機能する。

電磁アクチュエーター１０は、詳細は後述するが、コイル２２を含む電磁石と磁性体からなるヨークと含む可動体４０とを有する。電磁アクチュエーター１０は、コイル２２を用いて、可動体４０を一方向に駆動させ、付勢力を発生する部材（板状弾性部５０）の付勢力により可動体４０を一方向とは逆方向に移動させることで、可動体４０を直線往復移動（振動）させる。このように、電磁アクチュエーター１０は、振動アクチュエーターとして機能する。

タッチパネル２の画面２ａ上における操作者による接触操作に対応して、振動を操作者に伝達して体感させることで、タッチパネル２を触れた操作者に直感的な操作を可能とする。なお、タッチパネル２は、タッチパネル２上における操作者による接触操作を受け付けて、その接触位置を出力する接触位置出力部を有する。接触位置出力部により出力される接触位置情報及び駆動タイミングに基づいて、制御装置１は、接触操作に対応する振動が発生するように、アクチュエーター駆動信号（以降、駆動信号と呼ぶ）を生成する。そして、制御装置１は、電磁アクチュエーター１０のコイル２２を含む回路に、生成された駆動信号を印加して、コイル２２に駆動電流を供給する。

駆動電流がコイル２２に供給された電磁アクチュエーター１０は、タッチパネル２から出力された接触位置に対応した振動を発生し、タッチパネル２に伝達して、タッチパネル２を直接振動させる。このように、タッチパネル２で受けた操作者の操作を受け付けて、それに対応して電磁アクチュエーター１０は駆動する。

電磁アクチュエーター１０は、駆動電流がコイル２２に供給されることにより、付勢力に抗して、一方向（例えば、Ｚ方向マイナス側）に可動体４０を移動させる。また、電磁アクチュエーター１０は、コイル２２への駆動電流の供給が停止されることにより、付勢力を開放し、当該付勢力により他方向側（Ｚ方向プラス側）に可動体４０を移動させる。電磁アクチュエーター１０は、コイル２２への駆動電流の供給と停止により可動体４０及び操作機器を振動させる。電磁アクチュエーター１０は、マグネットを用いずに可動体４０を駆動して、操作機器を振動させている。

駆動信号は、本実施の形態では、後述する図１０で説明するように、駆動信号生成部１３０から駆動部１４０へ出力して、コイル２２を含む回路に印加する電圧信号である。コイル２２を含む回路である駆動部１４０に駆動信号を印加すると、駆動部１４０で駆動電流が生成されて、コイル２２に供給される。

また、駆動信号は、本実施の形態では、後述する図１１で説明するように、主駆動信号と副駆動信号とからなり、主駆動信号及び副駆動信号にそれぞれ対応する駆動電流が、可動体４０を駆動する駆動電流としてコイル２２に供給される。そして、主駆動信号に対応する主駆動電流がコイル２２に供給されると、可動体４０が一方向に移動して主な振動が始まる。その後、副駆動信号に対応する副駆動電流がコイル２２に供給されると、副駆動信号の供給タイミングに応じて、振動の減衰期間が調整されて、当該期間が延びたり、短くなったりする。

電磁アクチュエーター１０の構成について説明する。電磁アクチュエーター１０は、コイル２２、コア２４を有するコア組立体２０、ベース部３２を有する固定体３０、ヨーク４１を有する可動体４０、板状弾性部（弾性支持部）５０（５０－１、５０－２）等を有する。板状弾性部５０は、固定体３０に対して可動体４０を振動方向に移動可能に弾性支持する。

電磁アクチュエーター１０は、板状弾性部５０で移動可能に支持される可動体４０を、固定体３０に対して、一方向に移動するように駆動する。一方向に移動された可動体４０に対し、一方向とは逆方向への移動は、板状弾性部５０の付勢力により行われる。

具体的には、電磁アクチュエーター１０は、コア組立体２０により、可動体４０のヨーク４１を振動させる。具体的には、通電されるコイル２２及び通電されるコイル２２により励磁されるコア２４の吸引力と、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）による付勢力とにより、可動体４０を振動させる。

電磁アクチュエーター１０は、Ｚ方向を厚み方向とした扁平形状に構成される。電磁アクチュエーター１０は、固定体３０に対して、Ｚ方向、つまり、厚み方向を振動方向として可動体４０を振動させ、電磁アクチュエーター１０において厚み方向で離れて配置される表裏面のうちの一方の面を他方の面に対してＺ方向に接近、離間させる。

電磁アクチュエーター１０は、本実施の形態では、コア２４の吸引力により、一方向としてのＺ方向マイナス側に可動体４０を移動し、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）の付勢力により、一方向とは逆方向としてのＺ方向プラス側に可動体４０を移動する。

本実施の形態の電磁アクチュエーター１０では、可動体４０は、可動体４０の可動中心に対して点対称の位置で、Ｚ方向と直交する方向に沿って複数配置された板状弾性部５０（５０－１、５０－２）により弾性支持されているが、この構成に限らない。

板状弾性部５０は、可動体４０と固定体３０との間に固定され、少なくともコア２４の両端部（磁極部２４２、２４４；図５を参照）のうちの一方の端部と対向する方向で、固定体３０に対して可動体４０を移動自在に弾性支持する構成である。板状弾性部５０は、このような構成であれば、どのように設けられてもよい。

例えば、板状弾性部５０は、固定体３０（コア組立体２０）に対して可動体４０を、コア２４の一方の端部（磁極部２４２或いは磁極部２４４）と対向する方向で移動自在に弾性支持するようにしてもよい。また、板状弾性部５０－１、５０－２は、可動体４０の中心に対し、線対称で配置されてもよく、２つ以上の複数の板状弾性部５０を用いてもよい。それぞれの板状弾性部５０－１、５０－２は、一端側で固定体３０に固定され、他端側で可動体４０に固定され、可動体４０を固定体３０に対して振動方向（Ｚ方向であり、ここでは上下方向）に移動可能に支持している。

＜固定体３０＞
固定体３０は、図５から図９に示すように、コイル２２及びコア２４を有するコア組立体２０と、ベース部３２とを有する。

ベース部３２は、コア組立体２０が固定され、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）を介して可動体４０を振動方向に可動自在に支持する。ベース部３２は、扁平形状の部材であり、電磁アクチュエーター１０の底面を形成する。ベース部３２は、コア組立体２０を挟むように、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）の一端部が固定される取付部３２ａを有する。取付部３２ａは、それぞれコア組立体２０から同じ間隔を空けて配置される。なお、この間隔は板状弾性部５０（５０－１、５０－２）の変形領域となる間隔である。

取付部３２ａは、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）を固定する固定孔３２１と、ベース部３２を、基台３（図１参照）に固定するための固定孔３２２とを有する。固定孔３２２は、固定孔３２１を挟むように、取付部３２ａの両端部に設けられている。これにより、ベース部３２は、基台３（図１参照）に対して全面的に安定して固定される。

ベース部３２は、本実施の形態では、板金を加工して、取付部３２ａである一辺部と他辺部とが底面部３２ｂを挟み、奥行き方向で離れて位置するよう構成されている。取付部３２ａ間には、取付部３２ａよりも高さの低い底面部３２ｂを有する凹状部が設けられている。凹状部内、つまり、底面部３２ｂの表面側の空間は、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）の弾性変形領域を確保するものであり、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）により支持される可動体４０の可動領域を確保するための空間である。

底面部３２ｂは矩形状であり、その中央部には、開口部３６が形成され、この開口部３６内にコア組立体２０が配置されている。

開口部３６は、コア組立体２０の形状に対応した形状である。開口部３６は、本実施の形態では、正方形状に形成されている。これにより、コア組立体２０と可動体４０とを電磁アクチュエーター１０の中央部に配置させて、電磁アクチュエーター１０全体を平面視して略正方形状にすることができる。なお、開口部３６は、矩形状（正方形状を含む）であってもよい。

開口部３６内には、コア組立体２０の下側のボビン２６の分割体２６ｂ及びコイル２２の下側部分が挿入され、側面視して底面部３２ｂ上にコア２４が位置するように固定される。これにより、底面部３２ｂ上にコア組立体２０が取り付けられる構成と比較して、Ｚ方向の長さ（厚み）が薄くなっている。また、コア組立体２０の一部、ここでは底面側の一部が開口部３６内に嵌まり込んだ状態で固定されるので、コア組立体２０は底面部３２ｂから外れにくい状態で強固に固定される。

＜コア組立体２０＞
コア組立体２０は、コア２４の外周にボビン２６を介してコイル２２が巻回されることにより構成されている。

コア組立体２０は、コイル２２に通電されると、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）との協働により、可動体４０のヨーク４１を振動（Ｚ方向に往復直線移動）させる。

コア組立体２０は、本実施の形態では、矩形板状に形成されている。コア組立体２０には、矩形板状の長手方向（Ｘ方向）で離間する両辺部分に磁極部２４２、２４４が配置されている。

これら磁極部２４２、２４４は、Ｘ方向でギャップをあけて可動体４０の被吸引面部４６、４７と対向可能に配置されている。本実施の形態では、上面である対向面（対向面部）２０ａ、２０ｂが、可動体４０の振動方向（Ｚ方向）で、ヨーク４１の被吸引面部４６、４７の下面とはす向かいで近接する。

図２に示すように、ベース部３２において離間する取付部３２ａ同士の対向方向（振動方向と直交するＸ方向）に、コイル２２の巻回軸を向けて、コア組立体２０はベース部３２に固定されている。コア組立体２０は、本実施の形態では、ベース部３２の中央部、具体的には、底面部３２ｂの中央部に配置されている。コア組立体２０は、図３～図９に示すように、コア２４が底面部３２ｂと平行に、底面上に開口部３６を跨いで位置するように、底面部３２ｂに固定されている。コア組立体２０は、コイル２２及びコイル２２に巻回される部位（コア本体２４１）をベース部３２の開口部３６内に位置させた状態で、固定されている。

具体的には、コア組立体２０は、底面部３２ｂに対して、コイル２２を開口部３６内に配置した状態で、ねじ６８を固定孔２８と底面部３２ｂの止着孔３３（図６参照）とを通して締結することで固定されている。コア組立体２０と底面部３２ｂとは、Ｙ方向で離間する開口部３６の両辺部と磁極部２４２、２４４とでコイル２２を挟むように、止着部材であるねじ６８により、コイル２２の軸心上の二箇所で接合された状態となっている。

コイル２２は、電磁アクチュエーター１０の駆動時に通電されて、磁界を発生するソレノイドである。コイル２２は、コア２４及び可動体４０と共に、可動体４０を吸い寄せて移動させる磁気回路（磁路）を構成する。詳細は後述する図１０を参照して説明するが、制御装置１で生成される駆動信号がコイル２２を含む回路に印加されて、コイル２２に駆動電流が供給されることで、電磁アクチュエーター１０が駆動する。

コア２４は、コイル２２が巻回されるコア本体２４１と、コア本体２４１の両端部に設けられ、コイル２２を通電することにより励磁する磁極部２４２、２４４とを有する。コア２４は、コイル２２の通電により両端部が磁極部２４２、２４４となる長さを有する構造であれば、どのような構造でもよい。例えば、ストレート型（Ｉ型）平板状に形成されてもよいが、本実施の形態のコア２４は、平面視Ｈ型の平板状に形成されている。

Ｉ型のコアとした場合、Ｉ型コアの両端部（磁極部）において、エアギャップＧを空けて対向する被吸引面部４６、４７側の面（エアギャップ側面）の面積が狭くなる。これにより、磁気回路における磁気抵抗が高まり、変換効率が低下する恐れがある。また、コアにボビンを取り付ける際に、コアの長手方向におけるボビンの位置決めが無くなる、又は、小さくなるので、別途設ける必要が生じる。

これに対し、コア２４は、Ｈ型であるので、コア本体２４１の両端部でエアギャップ側面を、コイル２２が巻回されるコア本体２４１の幅よりも長く前後方向（Ｙ方向）に拡大することができ、磁気抵抗を低下させて、磁気回路の効率の改善を図ることができる。また、磁極部２４２、２４４においてコア本体２４１から張り出した部位の間に、ボビン２６を嵌め込むだけでコイル２２の位置決めを行うことができ、コア２４に対するボビン２６の位置決め部材を別途設ける必要が無い。

コア２４は、コイル２２が巻回される板状のコア本体２４１の両端部のそれぞれに、磁極部２４２、２４４が、コイル２２の巻回軸と直交する方向に突出して設けられている。

コア２４は、軟磁性材料等からなる磁性体であり、例えば、ケイ素鋼板、パーマロイ、フェライト等により形成される。また、コア２４は、電磁ステンレス、焼結材、ＭＩＭ（メタルインジェクションモールド）材、積層鋼板、電気亜鉛メッキ鋼板（ＳＥＣＣ）等により構成されてもよい。

磁極部２４２、２４４は、コイル２２への通電により励磁されて、振動方向（Ｚ方向）で離間する可動体４０のヨーク４１を吸引し、移動する。具体的には、磁極部２４２、２４４は、発生する磁束により、ギャップＧを介して対向配置された可動体４０の被吸引面部４６、４７を吸引する。

磁極部２４２、２４４は、本実施の形態では、Ｘ方向に延在するコア本体２４１に対して垂直方向であるＹ方向に延在する板状体である。磁極部２４２、２４４は、Ｙ方向に長いため、コア本体２４１の両端部に形成される構成よりも、ヨーク４１に対向する対向面２０ａ、２０ｂの面積が広い。

ボビン２６は、コア２４のコア本体２４１の長手方向の周りを囲むように配置されている。ボビン２６は、例えば、樹脂材料により形成される。これにより、金属製の他の部材（例えば、コア２４）との電気的絶縁を確保することができるので、電気回路としての信頼性が向上する。樹脂材料には、高流動の樹脂を用いることにより成形性が良くなり、ボビン２６の強度を確保しつつ肉厚を薄くすることができる。なお、ボビン２６は、コア本体２４１を挟むように分割体２６ａ、２６ｂを組み付けることにより、コア本体２４１の周囲を覆う筒状体に形成されている。ボビン２６には、筒状体の両端部にフランジが設けられ、コイル２２がコア本体２４１の外周上に位置するように規定している。

＜可動体４０＞
可動体４０は、コア組立体２０に対して、振動方向（Ｚ方向）と直交する方向でギャップを空けて、対向するように配置される。可動体４０は、コア組立体２０に対して、振動方向に往復移動自在に設けられている。

可動体４０は、ヨーク４１を有し、ヨーク４１に固定される板状弾性部５０－１、５０－２の可動体側固定部５４を含む。

可動体４０は、板状弾性部５０（５０－１、５０－２）を介して、底面部３２ｂに対して、接離方向（Ｚ方向）に移動可能に、略平行に離間して吊られた状態（基準常態位置）で配置されている。

ヨーク４１は、コイル２２に通電した際に発生する磁束の磁路であり、電磁ステンレス、焼結材、ＭＩＭ（メタルインジェクションモールド）材、積層鋼板、電気亜鉛メッキ鋼板（ＳＥＣＣ）等の磁性体から構成される板状体である。ヨーク４１は本実施の形態では、ＳＥＣＣ板を加工して形成されている。

ヨーク４１は、Ｘ方向で離間する被吸引面部４６、４７のそれぞれに固定される板状弾性部５０（５０－１、５０－２）により、コア組立体２０に対して、振動方向（Ｚ方向）にギャップＧ（図７参照）を空けて対向するように吊設されている。

ヨーク４１は、操作機器（図１に示すタッチパネル２参照）を取り付ける面部固定部４４と、磁極部２４２、２４４に対向配置される被吸引面部４６、４７とを有する。

ヨーク４１は、中央部に開口部４８を有する矩形枠状に形成され、開口部４８を囲む面部固定部４４と被吸引面部４６、４７を有する。

開口部４８は、コイル２２と対向する。本実施の形態では、開口部４８は、コイル２２の真上に位置し、開口部４８の開口形状は、ヨーク４１が底面部３２ｂ側に移動した際に、コア組立体２０のコイル２２部分が挿入可能な形状に形成されている。

ヨーク４１は開口部４８を有する構成にすることより、開口部４８が無い場合と比較して、電磁アクチュエーター全体の厚みを薄くできる。

また、開口部４８内に、コア組立体２０を位置させるため、コイル２２近傍にヨーク４１が配置されることがなく、コイル２２から漏れる漏えい磁束による変換効率の低下を抑制でき、高出力を図ることができる。

面部固定部４４は、操作機器の一例であるタッチパネル２を面接触して固定する固定面４４ａを有する。固定面４４ａは平面視台形状をなしており、面部固定孔４２に挿入されるねじ等の止着部材を介して面部固定部４４に固定されるタッチパネル２と面接触する。

被吸引面部４６、４７には、それぞれ、板状弾性部５０－１、５０－２の可動体側固定部５４が積層された状態で固定される。被吸引面部４６、４７には、底面部３２ｂ側に移動した際に、コア組立体２０のねじ６４の頭部を逃げる切欠部４９が設けられている。

これにより、可動体４０が底面部３２ｂ側に移動して、被吸引面部４６、４７が磁極部２４２、２４４に接近しても、磁極部２４２、２４４を底面部３２ｂに固定するねじ６８に接触することがなく、その分のＺ方向のヨーク４１の可動領域を確保できる。

＜板状弾性部５０（５０－１、５０－２）＞
板状弾性部５０（５０－１、５０－２）は、固定体３０に対して可動体４０を可動自在に支持する。板状弾性部５０（５０－１、５０－２）は、可動体４０の上面を、コア組立体２０の上面と同じ高さ、もしくは、固定体３０の上面（本実施の形態では、コア組立体２０の上面）よりも下面側で、互いに平行となるように支持する。なお、板状弾性部５０－１、５０－２は、可動体４０の中心に対して対称の形状を有し、本実施の形態では、同様に形成された部材である。

板状弾性部５０は、ヨーク４１を、コア組立体２０のコア２４の磁極部２４２、２４４に対してギャップＧを空けて対向するように、略平行に配置される。板状弾性部５０は、可動体４０の下面をコア組立体２０の上面の高さレベルと略同じレベルよりも、底面部３２ｂ側の位置で、振動方向に移動自在に支持する。

板状弾性部５０は、板バネであり、固定体側固定部５２、可動体側固定部５４、固定体側固定部５２と可動体側固定部５４とを連絡する蛇行形状の弾性アーム部５６を有する。

板状弾性部５０は、取付部３２ａの表面に固定体側固定部５２を取り付け、ヨーク４１の被吸引面部４６、４７の表面に、可動体側固定部５４を取り付けて、弾性アーム部５６を底面部３２ｂと平行にして、可動体４０を取り付ける。

固定体側固定部５２は、取付部３２ａに面接触してねじ６２により接合して固定され、可動体側固定部５４は、被吸引面部４６、４７に面接触してねじ６４により接合して固定されている。

弾性アーム部５６は、弾性変形する蛇行形状部を有するアーム部である。弾性アーム部５６は、本実施の形態では、固定体側固定部５２と可動体側固定部５４との対向方向に伸びて折り返された形状を有する。弾性アーム部５６において、固定体側固定部５２と可動体側固定部５４とにそれぞれ接合される端部は、Ｙ方向でずれた位置に形成されている。弾性アーム部５６は、可動体４０の中心に対して、点対称或いは線対称の位置に配置されている。

これにより、可動体４０は、蛇行形状のばねを有する弾性アーム部５６により両側方で支持されるため、弾性変形する際の応力分散が可能となる。すなわち、板状弾性部５０は、可動体４０を、コア組立体２０に対して傾斜することなく、振動方向（Ｚ方向）に移動させることができ、振動状態の信頼性の向上を図ることができる。

板状弾性部５０は、それぞれ、少なくとも２つ以上の弾性アーム部５６を有している。これにより、板状弾性部５０は、弾性アーム部をそれぞれ一つずつ有する場合と比較して、弾性変形する際の応力が分散され、信頼性の向上を図ることができると共に、可動体４０に対する支持のバランスが良くなり、安定性の改善を図ることができる。

板状弾性部５０は、本実施の形態では、磁性体からなる。また、板状弾性部５０の可動体側固定部５４は、コアの両端部（磁極部２４２、２４４）とのコイル巻回軸方向で対向する位置ないしその上側に配置され、磁路となる。

本実施の形態では、可動体側固定部５４は被吸引面部４６、４７の上側に積層した状態で固定されている。これによりコア組立体の磁極部２４２、２４４に対向する被吸引面部４６、４７の厚み（Ｚ方向、振動方向の長さ）Ｈ（図７参照）を磁性体の厚みとして大きくできる。板状弾性部５０の厚みと、ヨーク４１の厚みとが同じであるので、磁極部２４２、２４４に対向する磁性体の部位の断面積を２倍にできる。これにより、板ばねが非磁性の場合と比較して、磁気回路の磁路を拡張して、磁気回路における磁気飽和による特性の低下を緩和し、出力向上を図ることができる。

なお、本実施の形態の電磁アクチュエーター１０では、面部固定部４４に固定される操作機器が操作された際の可動体４０の押し込み量や押し込みに関連する量を検出する検出部を設けてもよい。本実施の形態では、例えば、図６から図７に示すように、押し込みに関連する量の検出部として、板状弾性部５０の歪みを検出する歪み検出センサ７０を設けていてもよい。

歪み検出センサ７０は、面部固定部４４が、底面部３２ｂ側に押し込まれた際に変形する板状弾性部５０の歪みを検出する。検出された歪みは、検出信号として制御装置１に出力される。制御装置１は、後述の図１１で説明するように、検出信号に基づいて、駆動信号（副駆動信号）を生成して、コイル２２を含む回路に印加する。これにより、コイル２２は、通電され、ヨーク４１を吸引して、可動体４０を移動（振動）させる。

このように、歪み検出センサ７０を用いて、操作者の接触操作、つまり、可動体４０の押し込みに関連する量を検出するセンサの検出結果に基づいて、可動体４０（操作機器）の振動周期を制御装置１が調整するようにしてもよい。また、歪み検出センサ７０とは別に、操作機器で検知した操作者の接触位置の表示形態に連動して、その表示形態に対応する振動を発生させる操作信号を制御装置１に出力し、それに応じて、可動体４０の振動周期を制御装置１が制御するようにしてもよい。

本実施の形態では、制御装置１は、操作される操作機器の変位量（例えば、押し込み量）を判定しなくても、操作機器への操作者の接触が検出できれば、接触に対する振動フィードバックは実現できる。加えて、制御装置１は、実際の操作機器の変位量を判定できれば、例えば、当該変位量に対応する量として、板状弾性部５０に対する押し込み量を検出できれば、この検出結果を用いて、より自然な感触の表現を実現できる。

ここでは、歪み検出センサ７０は、板状弾性部５０の弾性アーム部５６において、歪みの大きい付け根付近に取り付けられており、また、他部材の邪魔にならない領域である、所謂、デッドスペースに配置されている。

なお、歪み検出センサ７０は、１箇所に限らず、複数箇所に取り付けてもよい。この場合、歪み検出センサ７０は、操作機器の操作面の中心に対して、放射状に等間隔で囲むように、少なくとも３箇所以上に配置されることが好ましい。例えば、図６を参照して一例を説明すると、歪み検出センサ７０は、板状弾性部５０－１、５０－２の弾性アーム部５６にそれぞれ配置され、合計４箇所配置される。これにより、電磁アクチュエーター１０は、操作機器が操作された際の操作機器の変位を面で受けることになり、歪み検出センサ７０は、変位に伴う板状弾性部５０の歪みを精度よく検出することができる。

また、ここでは、電磁アクチュエーター１０は、固定体３０側に固定されたコア組立体２０が、板状弾性部５０を介して固定体３０に支持された可動体４０（ヨーク４１）を振動させるヨーク振動型の構成である。これに代えて、板状弾性部を介して固定体に支持された可動体がコア組立体を有し、固定体に対して可動体自体が振動するコア振動型の構成の電磁アクチュエーターでもよい。このような構成の場合、操作機器が操作された際の押し込みに関連する量（歪み）を検出する歪み検出センサを、板状弾性部に取り付けてもよいし、また、可動体側の部材（例えば、操作機器と可動体とを接続するフレーム等）に取り付けてもよい。

また、歪み検出センサ７０に代えて、板状弾性部５０の下方で、板状弾性部５０の変形部分と対向する底面部３２ｂ上に、押し込まれて変位する板状弾性部５０との間の距離を測定する静電容量センサ等の押し込み量検出用の検出部を配置してもよい。

図８は、電磁アクチュエーター１０の磁気回路を示す図である。なお、図８は、図４のＡ－Ａ線で切断した電磁アクチュエーター１０の斜視図であり、磁気回路は、図示しない部分も図示された部分と同様の磁束の流れＭを有する。また、図９は、磁気回路による可動体の移動を模式的に示す断面図である。詳細には、図９Ａは板状弾性部５０により、可動体４０が、コア組立体２０から離間した位置に保持されている状態の図であり、図９Ｂは、磁気回路による起磁力によりコア組立体２０側に吸引されて移動した可動体４０を示す。

具体的には、コイル２２を通電すると、コア２４が励磁されて磁場が発生し、コア２４の両端部が磁極となる。例えば、図８では、コア２４において、磁極部２４２がＮ極となり、磁極部２４４がＳ極となっている。すると、コア組立体２０とヨーク４１との間には、磁束の流れＭで示す磁気回路が形成される。この磁気回路における磁束の流れＭは、磁極部２４２から対向するヨーク４１の被吸引面部４６に流れ、ヨーク４１の面部固定部４４を通り、被吸引面部４７から、被吸引面部４７に対向する磁極部２４４に至る。本実施の形態では、板状弾性部５０も磁性体である。よって、被吸引面部４６に流れた磁束（磁束の流れＭで示す）は、ヨーク４１の被吸引面部４６及び可動体側固定部５４を通り、被吸引面部４６の両端から、面部固定部４４を介して被吸引面部４６及び、板状弾性部５０－２の可動体側固定部５４の両端に至る。

これにより、電磁ソレノイドの原理により、コア組立体２０の磁極部２４２、２４４は、ヨーク４１の被吸引面部４６、４７を吸引する吸引力Ｆを発生する。すると、ヨーク４１の被吸引面部４６、４７は、コア組立体２０の磁極部２４２、２４４の双方で引き寄せられる。これにより、ヨーク４１の開口部４８内に、コイル２２が挿入されて、ヨーク４１を含む可動体４０は、板状弾性部５０の付勢力に抗して、Ｆ方向に移動する（図９Ａ及び図９Ｂ参照）。

また、コイル２２への通電を解除すると、磁界は消滅し、コア組立体２０による可動体４０の吸引力Ｆは無くなり、板状弾性部５０の付勢力により、元の位置に移動（－Ｆ方向に移動）する。

これを繰り返すことで、電磁アクチュエーター１０は、可動体４０を往復直線移動して振動方向（Ｚ方向）の振動を発生することができる。

可動体４０を往復直線移動させることにより、可動体４０が固定される操作機器であるタッチパネル２も、可動体４０に追従してＺ方向に変位する。本実施の形態では、駆動による可動体４０の変位、つまり、タッチパネル２の変位量Ｇ１（図１参照）は、０．０３ｍｍ～０．３ｍｍの範囲としている。この変位量の範囲は、操作機器であるタッチパネル２の画面２ａにおいて、操作者が押圧した表示に対応する振動を付与できる範囲である。

例えば、画面２ａにおいて操作者の押圧対象となる表示が、機械式のボタン或いは各種スイッチである場合、これら機械式のボタン或いは各種スイッチを実際に押圧した際と同じ触感を付与できる振幅の範囲である。この範囲は、可動体４０の振幅の変位が小さいと触感が不十分となったり、また、大きいと不快に感じたりする。

電磁アクチュエーター１０では、コア組立体２０の磁極部２４２、２４４に、ヨーク４１の被吸引面部４６、４７を近接設置することで、磁気回路効率を上げ、高出力を図ることができる。また、電磁アクチュエーター１０では、マグネットを用いることがないので、低コストの構造となる。板状弾性部５０（５０－１、５０－２）である蛇行形状のばねにより、応力分散が可能となり、信頼性の向上を図ることができる。特に、複数の板状弾性部５０（５０－１、５０－２）により可動体４０を支持しているため、より効果的に応力分散を可能にしている。このように、電磁アクチュエーター１０は、上下方向駆動により上下方向で画面２ａに接触する操作者に対してダイレクトな感触を提供できる。

コイル２２が巻回されるコア２４を有するコア組立体２０が固定体３０に固定され、このコア組立体２０は、板状弾性部５０により固定体３０に対してＺ方向に可動自在に支持された可動体４０のヨーク４１の開口部４８内に配置されている。これにより、磁気を発生してＺ方向に可動体を駆動させるために固定体及び可動体のそれぞれに設ける部材をＺ方向で重ねて設ける（例えば、コイルとマグネットをＺ方向で対向して配置）必要がないので、電磁アクチュエーターとしてＺ方向の厚みを薄くできる。また、マグネットを用いることなく、可動体４０を往復直線移動させることで、操作機器に、触覚フィーリングとしての振動を付与できる。このように、支持構造が単純であるため設計がシンプルになり、省スペース化を図ることができ、電磁アクチュエーター１０の薄型化を図ることができる。また、マグネットを用いたアクチュエーターではないので、マグネットを用いる構成と比較してコストの低廉化を図ることができる。

以下に、電磁アクチュエーター１０の駆動原理について簡単に説明する。電磁アクチュエーター１０は、下記の運動方程式及び回路方程式を用いて共振現象を発生させて駆動することもできる。なお、動作としては共振駆動ではなく、操作機器としてのタッチパネル２に表示される機械式スイッチの操作感を表現するものであり、本実施の形態では、制御装置１を介してコイル２２に駆動電流を供給することにより駆動する。機械式スイッチとしては、例えば、タクタイルスイッチ、オルタネイト型スイッチ、モーメンタリスイッチ、トグルスイッチ、スライドスイッチ、ロータリースイッチ、ＤＩＰスイッチ、ロッカースイッチが挙げられる。

なお、電磁アクチュエーター１０における可動体４０は、式（１）、（２）に基づいて往復運動を行う。

すなわち、電磁アクチュエーター１０における質量ｍ［Ｋｇ］、変位ｘ（ｔ）［ｍ］、推力定数Ｋ_ｆ［Ｎ／Ａ］、電流ｉ（ｔ）［Ａ］、ばね定数Ｋ_ｓｐ［Ｎ／ｍ］、減衰係数Ｄ［Ｎ／（ｍ／ｓ）］等は、式（１）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧ｅ（ｔ）［Ｖ］、抵抗Ｒ［Ω］、インダクタンスＬ［Ｈ］、逆起電力定数Ｋ_ｅ［Ｖ／（ｒａｄ／ｓ）］は、式（２）を満たす範囲内で適宜変更できる。

このように、電磁アクチュエーター１０における可動体４０の往復運動は、基本的には、可動体４０の質量ｍと、板状弾性部５０としての金属ばね（弾性体、本実施の形態では板ばね）のばね定数Ｋ_ｓｐにより決まる。

また、電磁アクチュエーター１０では、ベース部３２と板状弾性部５０との固定、及び、板状弾性部５０と可動体４０との固定には、ねじ６２、６４が用いられている。これにより、可動体４０が駆動するために、固定体３０及び可動体４０に対して強固に固定する必要がある板状弾性部５０を、リワークを可能とした状態で機械的に強固に固定することができる。

なお、板状弾性部５０は、可動体４０の中心に対して対称な位置に複数固定されていることが好ましいが、上述したように、一つの板状弾性部５０で、可動体４０を固定体３０に対して振動可能に支持するようにしてもよい。板状弾性部５０は、可動体４０と固定体３０とを連結し、且つ、弾性アーム部５６を有するアーム部を少なくとも２つ以上備えてもよい。板状弾性部５０は、磁性体で構成されてもよい。この場合、板状弾性部５０の可動体側固定部５４は、コア２４の両端部に対して、それぞれコイル２２の巻回軸方向、又は、巻回軸方向と直交する方向に配置され、コイル２２に通電された際に、コア２４と共に磁路を構成する。

また、電磁アクチュエーター１０の構成において、ベース部３２と板状弾性部５０との固定、及び、板状弾性部５０と可動体４０との固定に用いたねじ６２、６４、６８に変えて、リベットを用いてもよい。リベットは、それぞれ頭部とねじ部のない胴部からなり、穴を空けた部材に差し込み、反対側の端部をかしめて塑性変形させることで穴を空けた部材同士を接合する。かしめは、例えば、プレス加工機や専用の工具等を用いておこなってもよい。

＜制御装置１＞
制御装置１（本発明における回路）は、弾性振動可能に支持された操作機器（図１ではタッチパネル２）をその振動方向の一方向に駆動する電磁アクチュエーター１０を制御する。

制御装置１は、操作機器の接触操作に応じて、電磁アクチュエーター１０のコイル２２に駆動電流を供給して、磁界を発生させ、固定体３０に対して、可動体４０を一方向に（ここでは、Ｚ方向マイナス側に）移動させて、弾性振動させる。これにより、制御装置１は、操作者に操作機器に接触した際に、振動を触感として付与する。なお、接触操作は、例えば、タッチパネル２から入力される接触状態を示す信号であってもよいし、歪み検出センサ７０で検出した信号であってもよい。

制御装置１は、本実施の形態では、駆動信号を生成し、電磁アクチュエーター１０のコイル２２を含む回路に、生成された駆動信号を印加して、コイル２２に駆動電流を供給する。

制御装置１は、駆動信号を印加して駆動電流をコイル２２に供給することにより、可動体４０は、板状弾性部５０の付勢力に抗して、磁気吸引力により、コイル２２側、つまり、Ｚ方向マイナス側に引き込まれて変位する。これに追従して、タッチパネル２も、固定体３０が固定される基台３に対してＺ方向マイナス側に移動する。

また、コイル２２への駆動電流の供給を停止することにより、付勢力は開放されて、可動体４０は、基準位置に対するＺ方向マイナス側での位置での保持状態が解除される。これにより、可動体４０は、板状弾性部５０の付勢力により、Ｚ方向マイナス側での最大変位位置から、引き込まれた方向（Ｚ方向マイナス側）と逆方向（Ｚ方向プラス側）に付勢されて移動し、振動をフィードバックする。

駆動信号は、主駆動信号と副駆動信号とからなる。主駆動信号は、接触操作に応じた主な振動を発生させる。副駆動信号は、主駆動信号により発生した振動の減衰期間を調整する。

主駆動信号は、操作者が操作機器（図１ではタッチパネル２の画面２ａ）に接触したときに制御装置１で生成される。生成された主駆動信号がコイル２２を含む回路に印加されると、主駆動信号に対応する主駆動電流がコイル２２に供給されて、電磁アクチュエーター１０を駆動する。主駆動信号に応じて、電磁アクチュエーター１０を駆動することにより、接触操作に応じて操作者にフィードバックする主な振動を発生させる。

副駆動信号は、主駆動信号の印加後に制御装置１で生成される。生成された副駆動信号がコイル２２を含む回路に印加されると、副駆動信号に対応する副駆動電流がコイル２２に供給されて、電磁アクチュエーター１０を駆動する。副駆動信号に応じて、電磁アクチュエーター１０を駆動することにより、主駆動信号により発生した振動の減衰期間の振動、つまり、接触操作に応じて操作者にフィードバックされた主な振動の残りの減衰期間の振動を形成する。

このように、制御装置１は、電磁アクチュエーター１０のコイル２２に対し、主駆動信号を印加して、操作機器に対する接触操作に応じた操作機器の振動を開始し、その後、副駆動信号を印加して、振動の減衰期間を調整する。

主駆動信号は、接触操作した操作者に、フィードバックされる主な振動を構成するものであれば、どのような大きさの振動を発生させてもよく、また、複数のパルス（パルス列）により形成されてもよい。

副駆動信号は、主駆動信号の印加後に印加される電圧信号であって、後述する波形（例えば、正弦波等）を有する電圧信号であり、１つの波形又は複数の波形（波列）からなる電圧信号により形成される。

副駆動信号は、本実施の形態では、主駆動信号によるフィードバック振動後の減衰する振動（振動の減衰期間）を短くするためのブレーキ信号と、当該減衰期間を継続するための減衰追加信号とを有する。なお、副駆動信号は、ブレーキ信号と、減衰追加信号のうちの少なくとも一方を有していればよい。

制御装置１は、主駆動信号及び副駆動信号について、それぞれの振幅、それぞれの波長、それぞれの供給タイミング等により、様々な種類の振動形態を生成し、駆動信号として電磁アクチュエーター１０側へ出力する。このような駆動信号により、制御装置１は、様々な種類の振動形態を操作者に体感として付与する。

図１０は、本発明の実施の形態に係る制御装置１を説明する図である。また、図１１は、図１０に示した制御装置１での駆動信号の生成を説明する図である。

制御装置１は、図１０に示すように、電源部１１０、検出信号処理部１２０、駆動信号生成部１３０及び駆動部１４０を有する。

電源部１１０は、電力供給線等の図示は省略しているが、検出信号処理部１２０、駆動信号生成部１３０及び駆動部１４０に電力を供給する。なお、駆動部１４０においては、外部電源から供給された電力により、電磁アクチュエーター１０の電源電圧Ｖａｃｔが供給される。

検出信号処理部１２０には、電磁アクチュエーター１０に設けられた歪み検出センサ７０で検出された検出信号が入力される。歪み検出センサ７０は、接触操作に伴う可動体４０の押し込み量や振動に伴う可動体４０の変位量に関連する板状弾性部５０の歪みを検出し、検出信号として、検出信号処理部１２０に入力する。

検出信号処理部１２０は、入力された検出信号の処理を行う。検出信号処理部１２０は、ＨＰＦ（High Pass Filter）１２１、ＬＰＦ（Low Pass Filter）１２２等を有しており、歪み検出センサ７０で検出された検出信号にオフセット除去処理やノイズ除去処理を行って、駆動信号生成部１３０へ入力する。

なお、ここでは、歪み検出センサ７０で検出された検出信号を検出信号処理部１２０に入力しているが、可動体４０の押し込み力や加速度、変位量を検出できれば、歪み検出センサ７０以外の検出部で検出された検出信号を検出信号処理部１２０に入力してもよい。

駆動信号生成部１３０は、詳細は図１１を参照して後述するが、電磁アクチュエーター１０を駆動して振動を始動する主駆動信号と、主駆動信号の印加後に印加する副駆動信号を生成する。

駆動部１４０は、ゲートドライバ１４１、ＭＯＳＦＥＴ（metal-oxide-semiconductor field-effect transistor）１４２、ＳＢＤ（Schottky Barrier Diodes：ショットキーバリアダイオード）１４３を有する。

ゲートドライバ１４１は、ＭＯＳＦＥＴ１４２の駆動制御を行うための回路である。ゲートドライバ１４１は、駆動信号生成部１３０からの駆動信号を増幅して出力して、ＭＯＳＦＥＴ１４２のゲートＧの電圧を制御することで、ＭＯＳＦＥＴ１４２を駆動する。

ＭＯＳＦＥＴ１４２は、ゲートＧとソースＳとの間に電圧が印加されると、ソースＳとドレインＤとの間を導通状態として電流を流して、コイル２２に供給する電流のスイッチングや増幅を行う。ＳＢＤ１４３は、整流素子であり、コイル２２に発生するフライバック電圧を防止する。

駆動部１４０では、駆動信号生成部１３０は、ゲートドライバ１４１を介して、ＭＯＳＦＥＴ１４２のゲートＧへ接続される。また、ＳＢＤ１４３はコイル２２と並列に接続され、並列に接続されたＳＢＤ１４３及びコイル２２の一端側に電源電圧Ｖａｃｔが供給され、他端側にＭＯＳＦＥＴ１４２のドレインＤが接続される。ＭＯＳＦＥＴ１４２のソースＳはグランドＧＮＤへ接続される。

制御装置１での駆動信号の生成について、図１１を参照して説明する。

操作者がタッチパネル２の接触操作を行うと、接触操作のトリガー信号が制御装置１に入力される。トリガー信号は、接触操作されたタッチパネル２から入力される信号でもよいし、タッチパネル２の接触操作に伴って歪み検出センサ７０で検出された信号でもよい。また、上述したように、制御装置１とは別の制御装置であるマイコンから、接触操作のトリガー信号を制御装置１に入力するようにしてもよい。

タッチパネル２等から入力されたトリガー信号は、駆動信号生成部１３０の主駆動信号生成部Ｂ２１へ入力される。主駆動信号生成部Ｂ２１は、トリガー信号が入力されると、電磁アクチュエーター１０を駆動して可動体４０の振動を始動する主駆動信号を生成する。生成された主駆動信号は、出力部Ｂ２５へ入力され、出力部Ｂ２５を介して、駆動部１４０のゲートドライバ１４１へ入力される。

主駆動信号は、後述の図１６～図２２に示すように、矩形波である。矩形波のパルス幅やピーク電圧値は、制御装置１の記憶部に予めパラメータとして入力されている。主駆動信号生成部Ｂ２１は、トリガー信号が入力されると、記憶部にパラメータとして入力された矩形波のパルス幅やピーク電圧値を参照して、主駆動信号を生成する。振動呈示装置２００が、上述したように、制御装置１とは別の制御装置であるマイコンを有する場合には、マイコン側に矩形波のパルス幅やピーク電圧値を予め設定しておき、制御装置１の記憶部にパラメータとして入力するようにしてもよい。

駆動信号生成部１３０から駆動部１４０へ主駆動信号が入力されると、駆動部１４０は、ゲートドライバ１４１、ＭＯＳＦＥＴ１４２を用いて、コイル２２に主駆動電流を供給して、可動体４０の振動を始動する、

可動体４０の振動が始動すると、可動体４０の振動に伴う板状弾性部５０の歪みを歪み検出センサ７０で検出し、検出された検出信号が検出信号処理部１２０に入力される。板状弾性部５０の歪みは、可動体４０が板状弾性部５０に加える力に起因し、可動体４０の加速度に相関する。

検出信号処理部１２０は、入力された検出信号を適切な波形に整形する処理を行っている。検出信号処理部１２０は、上述したように、ＨＰＦ１２１、ＬＰＦ１２２等を有し、検出信号に対し、ＨＰＦ１２１のＨＰＦ部Ｂ１１によりオフセット除去処理を行い、ＬＰＦ１２２のＬＰＦ部Ｂ１２によりノイズ除去処理を行っている。検出信号処理部１２０は、以上のようなフィルタリング処理等を行った後、処理後の検出信号を駆動信号生成部１３０のタイミング検出部Ｂ２２へ入力する。

駆動信号生成部１３０は、上述した主駆動信号生成部Ｂ２１、出力部Ｂ２５に加えて、タイミング検出部Ｂ２２、振幅設定部Ｂ２３、副駆動信号生成部Ｂ２４等を有する。

タイミング検出部Ｂ２２は、検出信号処理部１２０から入力された検出信号の波形から、検出信号のピークタイミング、ボトムタイミングを検出する。ピークタイミング、ボトムタイミングに代えて、又は、ピークタイミング、ボトムタイミングに加えて、検出信号のゼロクロスタイミングを検出してもよい。

タイミング検出部Ｂ２２で、検出信号のピークタイミング、ボトムタイミング、ゼロクロスタイミングを検出することで、後述する副駆動信号を適切な供給タイミングで供給することができる。供給タイミングの違いにより、副駆動信号は、振動の減衰期間を短くするためのブレーキ信号、又は、減衰期間を継続するための減衰追加信号となる。供給タイミングについては、図１６、図１７を参照して後述する。

タイミング検出部Ｂ２２は、検出された上記のタイミングを、振幅設定部Ｂ２３を介して（又は、直接）、副駆動信号生成部Ｂ２４へ入力する。

振幅設定部Ｂ２３は、タイミング検出部Ｂ２２から入力された検出信号のピークタイミング、ボトムタイミング、ゼロクロスタイミングに基づいて、副駆動信号の振幅を設定する。振幅設定部Ｂ２３は、例えば、制御装置１の記憶部に記憶されたデータテーブルを参照して、副駆動信号の振幅を設定してもよい。振幅設定部Ｂ２３は、設定された振幅を副駆動信号生成部Ｂ２４へ入力する。

副駆動信号の振幅は、電磁アクチュエーター１０の構成によっては、大きくしても、所定のブレーキング力以上にブレーキング力が大きくならなかったり、加速度波形が歪んだりする場合がある。このような場合は、電源電圧Ｖａｃｔを基準にして、副駆動信号の振幅の上限値を設定してもよい。例えば、副駆動信号の振幅の上限値を電源電圧Ｖａｃｔの２０％等と設定する。これにより、副駆動信号によるブレーキングや減衰追加を効率よく行うことができる。

副駆動信号生成部Ｂ２４は、タイミング検出部Ｂ２２から入力された上記のタイミングや振幅設定部Ｂ２３で設定された振幅等に基づいて、副駆動信号を生成する。

副駆動信号生成部Ｂ２４は、周期カウント部Ｂ２４１、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２（本発明における第１波形生成部）、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３（本発明における第２波形生成部）、合成部Ｂ２４４等を有する。

周期カウント部Ｂ２４１は、タイミング検出部Ｂ２２から入力された上記のタイミングに基づいて、副駆動信号の周期をカウントする。そして、周期カウント部Ｂ２４１は、例えば、奇数番目の周期の場合、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２に副駆動信号を生成させ、偶数番目の周期の場合、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３に副駆動信号を生成させる。

１つの第１副駆動信号生成部Ｂ２４２を用いて、奇数番目の周期の副駆動信号と、偶数番目の周期の副駆動信号と、を生成する場合、先行する副駆動信号から次の副駆動信号への切り換えが難しい。例えば、切り換え時に、副駆動信号が途切れたり、急激な変動が起こったりする可能性がある。

そこで、本実施の形態では、副駆動信号生成部Ｂ２４は、２つの第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３及び合成部Ｂ２４４を有している。詳細は図１３を参照して説明するが、２つの第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３でそれぞれ生成された奇数番目と偶数番目の周期の副駆動信号は、合成部Ｂ２４４で合成される。このようにして、奇数番目と偶数番目の周期の副駆動信号を合成することで、先行する副駆動信号と次の副駆動信号とが重なる期間があっても、先行する副駆動信号から次の副駆動信号への切り換えがスムーズな変化となる。例えば、可動体４０の振動の周期をＴとすると、副駆動信号の周期を１Ｔより大きくする場合に、以下に説明する合成により、先行する副駆動信号から次の副駆動信号への切り換えをスムーズな変化とすることができる。

また、本実施の形態では、２つの第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は、共に、正弦波ジェネレーターである。第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は、副駆動信号として正弦波（サイン波）を生成する。

なお、正弦波は副駆動信号の一例であり、正弦波に準じる波形、例えば、余弦波（コサイン波）等の波形でもよい。このような副駆動信号としては、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧を中心値として変動する可変電圧を有し、可変電圧の変動を示す波形が曲線的であること、例えば、当該波形が正弦関数的曲線又は余弦関数的曲線であることが望ましい。更に、副駆動信号は、極性が変化しない範囲で可変電圧が変動するものが望ましい。

詳細は後述の図１６～図２２を参照して説明するが、本実施の形態で示す例では、副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧を中心値とし、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波又は余弦波としている。

このように、副駆動信号は、オフセット電圧を中心値として、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動するので、当該副駆動信号に対応する副駆動電流も曲線的に変動してコイル２２に流れる。このように、副駆動電流に不連続な変動は存在しない。そのため、振動周期の全ての期間において、コイル２２による吸引力（駆動力）が所定値以上で曲線的に変動することになる。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波振動の発生やそれに伴う異音の発生を抑制することができる。ここで、「不連続な変動」とは、副駆動電流や吸引力において、電流や力が途切れたり、三角波状に変動したりすることである。

合成部Ｂ２４４は、上述したように、２つの第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３でそれぞれ生成された奇数番目と偶数番目の周期の副駆動信号を合成し、副駆動信号の波列を生成して、出力部Ｂ２５へ入力する。

ここで、本実施の形態において、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成する正弦波、余弦波について、図１２Ａ～図１２Ｃを参照して説明する。図１２Ａは、初期位相が０の正弦波を示すグラフである。また、図１２Ｂは、初期位相が３／２πの正弦波を示すグラフである。また、図１２Ｃは、初期位相がπの余弦波を示すグラフである。

本実施の形態では、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は、副駆動信号を構成する基本波形として、図１２Ａに太線で示す初期位相が０の１周期分の正弦波を生成する。そして、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２が奇数番目の周期の正弦波の波列を生成し、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３が偶数番目の周期の正弦波の波列を生成する。合成部Ｂ２４４は、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２で生成された奇数番目の周期の正弦波の波列と、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成された偶数番目の周期の正弦波の波列と、を合成して、後述する図１６、図１７に示すような副駆動信号の波列を生成する。上記の基本波形は、図１２Ａに示す初期位相が０の１周期分の正弦波に代えて、これと同等な波形でもよい。例えば、電圧が２階微分で負となる波形（例：図１２Ａでの０～πの期間）と、これと逆に、電圧が２階微分で正となる波形（例：図１２Ａでのπ～２πの期間）と、を両方含む波形でもよい。

また、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は、副駆動信号を構成する基本波形として、図１２Ｂに太線で示す初期位相が３／２πの１周期分の正弦波を生成してもよい。つまり、正弦波の谷から谷までを、基本波形としてもよい。そして、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２が奇数番目の周期の正弦波の波列を生成し、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３が偶数番目の周期の正弦波の波列を生成する。合成部Ｂ２４４は、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２で生成された奇数番目の周期の正弦波の波列と、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成された偶数番目の周期の正弦波の波列と、を合成して、以下に説明する図１３に示すような副駆動信号の波列を生成する。上記の基本波形は、図１２Ｂに示す初期位相が３／２πの１周期分の正弦波に代えて、これと同等な波形でもよい。例えば、電圧が２階微分で負となる波形（例：図１２Ｂでの２π～３πの期間）と、これと逆に、電圧が２階微分で正となる波形（例：図１２Ｂでの３／２π～２πの期間と３π～７／２πの期間）と、を両方含む波形でもよい。

なお、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は、副駆動信号を構成する基本波形として、図１２Ｂに示す初期位相３／２πの１周期分の正弦波に代えて、図１２Ｃに太線で示す初期位相がπの１周期分の余弦波を生成してもよい。つまり、余弦波の谷から谷までを、基本波形としてもよい。この場合の基本波形は、図１２Ｃに示す初期位相がπの１周期分の余弦波に代えて、これと同等な波形でもよい。例えば、電圧が２階微分で負となる波形（例：図１２Ｃでの３／２π～５／２πの期間）と、これと逆に、電圧が２階微分で正となる波形（例：図１２Ｃでのπ～３／２πの期間と５／２π～３πの期間）と、を両方含む波形でもよい。

図１３を参照して、２つの第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３でそれぞれ生成された奇数番目と偶数番目の周期の正弦波の波列の合成を説明する。図１３は、奇数番目の周期の正弦波からなる波列と、偶数番目の周期の正弦波からなる波列と、の合成を説明するグラフである。ここでは、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成する副駆動信号の基本波形は、図１２Ｂに示す初期位相３／２πの１周期分の正弦波とする。

図１３において、グラフ中段は第１副駆動信号生成部Ｂ２４２で生成された奇数番目の周期の正弦波からなる波列（第１副駆動信号）を示すグラフである。グラフ下段は第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成された偶数番目の周期の正弦波からなる波列（第２副駆動信号）を示すグラフである。

第１副駆動信号生成部Ｂ２４２は奇数番目の周期の正弦波からなる波列を生成し、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は偶数番目の周期の正弦波からなる波列を生成する。そして、合成部Ｂ２４４は、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２で生成された奇数番目の周期の正弦波からなる波列と、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成された偶数番目の周期の正弦波からなる波列と、を合成して、グラフ上段に示す副駆動信号の波列を生成する。合成部Ｂ２４４は、奇数番目の周期の正弦波からなる波列と偶数番目の周期の正弦波からなる波列とを重ね合わせる。これにより、奇数番目の周期の正弦波から偶数番目の周期の正弦波に切り替わる部分や偶数番目の周期の正弦波から奇数番目の周期の正弦波に切り替わる部分（図１３中の円の部分）を滑らかな波形とすることができる。

出力部Ｂ２５は、駆動信号となる主駆動信号及び副駆動信号を駆動部１４０へ出力する。出力部Ｂ２５は、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）回路を含み、主駆動信号を出力する場合は、設定された振幅となるよう矩形波のデュ－ティ比を制御する。そして、出力部Ｂ２５は、振幅やパルス幅が設定された主駆動信号を駆動部１４０へ出力する。一方、出力部Ｂ２５は、副駆動信号を出力する場合は、副駆動信号生成部Ｂ２４で生成された副駆動信号を駆動部１４０へ出力する。

制御装置１は、以上の構成により、操作機器（タッチパネル２）の接触操作に応じて、操作機器を駆動する駆動信号を生成し、駆動信号に対応する駆動電流を電磁アクチュエーター１０のコイル２２に供給する。

なお、制御装置１において、駆動信号生成部１３０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、記憶部等を備えてもよい。ＣＰＵは、ＲＯＭから処理内容に応じたプログラムを読み出してＲＡＭに展開し、展開したプログラムと協働して、主駆動信号及び副駆動信号の生成を行う。

記憶部は、例えば、不揮発性の半導体メモリ（所謂、フラッシュメモリ）等で構成してもよく、ＣＰＵは、記憶部に格納されている各種データを参照して、主駆動信号、副駆動信号を生成してもよい。各種データは、上述した、副駆動信号の振幅の設定に用いるデータテーブル等を含み、また、後述の図１６～図２２に示すような副駆動信号の波形データを含んでもよい。

また、ＲＯＭは、主駆動信号及び副駆動信号の生成用のプログラムだけでなく、電磁アクチュエーター１０を駆動して振動を呈示する振動呈示装置としての振動呈示プログラム等の各種プログラムが格納されている。

振動呈示プログラムは、タッチパネル２や歪み検出センサ７０から接触操作の接触状態を示す接触情報が入力された際に、接触情報に対応する振動を発生する駆動信号を生成し、駆動部１４０を介して、電磁アクチュエーター１０に出力するプログラムを含む。例えば、当該プログラムに従って、接触情報に対応する主駆動信号のパルス幅やピーク電圧値等や副駆動信号のタイミングや振幅等が設定される。そして、これらの設定により生成された主駆動信号、副駆動信号が駆動部１４０を介して、電磁アクチュエーター１０に出力される。

＜制御装置１による振動動作＞
制御装置１は、主駆動信号に対応する主駆動電流をコイル２２に供給して可動体４０を振動方向の一方向に駆動する。主駆動電流をコイル２２に供給すると、コイル２２による吸引力が発生し、この吸引力により、可動体４０は、板状弾性部５０の付勢力に抗して、振動方向の一方向に変位する。主駆動電流を供給し続けると、可動体４０は、振動方向の一方向へ変位し続けようとするが、コイル２２による吸引力より板状弾性部５０の付勢力が大きくなると、当該付勢力により、上記一方向と逆方向に変位しようとする。このタイミングで、主駆動電流の供給を停止することにより、上記一方向へ変位させる吸引力は解放され、可動体４０は、付勢力により、逆方向に変位する。これにより、主駆動電流による主な振動が可動体４０に発生する。

本実施の形態において、主駆動信号は矩形波であり、対応する主駆動電流の供給停止は、当該駆動電流を生成する主駆動信号の電圧がオフになったタイミング、つまり、主駆動信号の矩形波が立ち下がったタイミングを意味する。電圧がオフになった時点では、駆動電流は完全にオフではなく減衰している状態である。可動体４０は、引き込み方向（Ｚ方向マイナス側）の最大変位可能位置で蓄積された板状弾性部５０の付勢力により、振動方向のうちの他方向（Ｚ方向プラス側）へ移動して変位する。操作機器側である他方向側へ移動した可動体４０を介して操作機器に強い振動が伝播され、操作者に触感が付与される。

操作者がタッチパネル２の画面２ａに接触して操作すると、操作者による画面２ａへの接触に応じて、例えば、上述したマイコンがトリガー信号を生成して、制御装置１に入力する。制御装置１は、トリガー信号の入力により、最初に、主駆動信号に対応する主駆動電流をコイル２２に供給し、その後、副駆動信号（ブレーキ信号、減衰追加信号）に対応する副駆動電流をコイル２２に供給する。制御装置１は、主駆動信号に対応する主駆動電流をコイル２２に供給し、加えて、主駆動電流を供給した後に供給する副駆動信号に対応する副駆動電流によって、主駆動電流の供給の停止後も残って継続する可動体４０の振動、所謂、振動減衰期間を調整する。

＜主駆動信号に対応する主駆動電流の供給＞
上述したように、操作者がタッチパネル２の画面２ａに接触して操作すると、操作者の画面２ａへ接触に応じて、例えば、マイコンがトリガー信号を生成して、制御装置１に入力する。制御装置１は、トリガー信号の入力により、主駆動信号に対応する主駆動電流をコイル２２に供給する。これにより、可動体４０は、主駆動電流に応じて駆動し、振動して、振動減衰期間が発生する。制御装置１は、主駆動信号により、振動減衰期間における強弱、振動減衰期間の長さ、或いは、振動減衰期間の有無等を調整することにより、操作者が操作機器に接触した際に様々な種類の触感を付与する。

ここで、可動部分である可動体４０（タッチパネル２も含むが、ここでは、便宜上、可動体４０で説明する）の質量をｍ、可動体４０を弾性支持する板状弾性部５０である板ばねのばね定数をＫ_ｓｐとする。電磁アクチュエーター１０における振動周期Ｔは、下記式（３）で示される。

振動周期Ｔは、本実施の形態では、負側の最大変位のタイミングから次の負側の最大変位のタイミングまでの時間の間隔である。

＜副駆動信号に対応する副駆動電流の供給＞
制御装置１は、主駆動信号に対応する主駆動電流をコイル２２に供給した後、所定の供給タイミングで、副駆動信号（ブレーキ信号、減衰追加信号）に対応する副駆動電流をコイル２２に供給する。言い換えれば、制御装置１は、弾性振動を始動可能な主駆動電流をコイル２２に供給した後、弾性振動の減衰期間を調整可能な副駆動電流をコイル２２に供給する。所定の供給タイミングについては後述する。

副駆動電流をコイル２２に供給することにより、主駆動電流による振動の減衰期間を調整する。すなわち、副駆動信号に対応する副駆動電流は、主駆動信号に対応する主駆動電流による主となる振動後に続く、振動の大きさ、長さを調整する。

主駆動電流による主な振動の減衰期間における振動の振動周期Ｔ_ｄは、固有角周波数をω_０、減衰比をζとすると、下記式（４）で示される。

振動周期Ｔ_ｄは、上述した振動周期Ｔより大きくなる。そして、副駆動信号としてブレーキ信号を印加する場合には、実質的に減衰比ζが大きくなり、振動周期Ｔ_ｄは更に大きくなる。そのため、その振動周期Ｔ_ｄに合うように、副駆動信号による振動周期Ｔ_ｄを振動周期Ｔより大きくする。例えば、Ｔ_ｄ＝ｎＴとすると、ｎを１より大きくする。

一方、副駆動信号として減衰追加信号を印加する場合には、実質的に減衰比ζが小さくなり、振動周期Ｔ_ｄは振動周期Ｔより小さくなる。そのため、その振動周期Ｔ_ｄに合うように、副駆動信号による振動周期Ｔ_ｄを振動周期Ｔより小さくする。例えば、Ｔ_ｄ＝ｎＴとすると、ｎを１より小さくする。

ここで、副駆動信号として矩形波を用いる場合について、図１４、図１５を参照して説明を行う。図１４は、矩形波の副駆動信号（減衰追加信号）を制御装置１から印加する場合に発生する高調波を説明するグラフである。また、図１５は、矩形波の副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置１から印加する場合に発生する高調波を説明するグラフである。

図１４は、制御装置１から、接触操作に対応する主駆動信号を矩形波として印加し、減衰追加信号となる副駆動信号も矩形波として印加したとき、コイル２２を流れる電流と可動体４０の加速度とを示すグラフである。副駆動信号は、振動の減衰期間を継続する減衰追加信号となる供給タイミングで供給される。また、可動体４０の加速度は、歪み検出センサ７０で検出された検出信号から算出される。

図１４に示すように、矩形波の主駆動信号が制御装置１から印加されると、矩形波の主駆動信号に対応する主駆動電流がコイル２２に流れて、可動体４０に主な振動が発生する。可動体４０の振動に伴い、その加速度も図１４のように変化する。

そして、図１４中の楕円内に示すように、減衰追加信号となる矩形波の副駆動信号が制御装置１から印加されると、矩形波の副駆動信号に対応する副駆動電流がコイル２２に流れる。このとき、矩形波の副駆動信号の印加時や停止時にコイル２２を流れる電流が不連続に変動し、電流の不連続な変動に起因して、可動体４０の振動の加速度波形に高調波が重畳する。このような高調波が振動の加速度波形に重畳すると、不快な触感や異音の原因となる。

副駆動信号としてブレーキ信号を印加する場合も同様である。図１５は、制御装置１から、接触操作に対応する主駆動信号を矩形波として印加し、ブレーキ信号となる副駆動信号も矩形波として印加したとき、コイル２２を流れる電流と可動体４０の加速度とを示すグラフである。副駆動信号は、振動の減衰期間を短くするブレーキ信号となる供給タイミングで供給される。

図１５に示すように、矩形波の主駆動信号が制御装置１から印加されると、矩形波の主駆動信号に対応する主駆動電流がコイル２２に流れて、可動体４０に主な振動が発生する。可動体４０の振動に伴い、その加速度も図１５のように変化する。

そして、図１５中の楕円内に示すように、ブレーキ信号となる矩形波の副駆動信号が制御装置１から印加されると、矩形波の副駆動信号に対応する副駆動電流がコイル２２に流れる。このとき、矩形波の副駆動信号の印加時や停止時にコイル２２を流れる電流が変動し、この電流変動に起因して、可動体４０の振動の加速度波形に高調波が重畳する。このような高調波が振動の加速度波形に重畳すると、不快な触感や異音の原因となる。

このように、副駆動信号として矩形波を用いると、高調波が発生し、振動の加速度波形に高調波が重畳して、不快な触感や異音の原因となる。

副駆動信号として矩形波を用いる場合、減衰追加信号やブレーキ信号として機能させるためには、可動体４０の振動の周期をＴとすると、そのパルス幅は０．５Ｔ以下である。そして、０．５Ｔ以下の範囲内でパルス幅を広くしたり、狭くしたりしても、高調波の発生は抑制できなかった。

高調波の発生の抑制に関し、本発明者等の検討の結果、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧を中心値として曲線的な波形で変動する可変電圧を有する副駆動信号、例えば、正弦波の副駆動信号を用いることで、高調波の発生を抑制できることが分かった。

図１６は、正弦波の副駆動信号（減衰追加信号）を制御装置１から印加する場合を説明するグラフである。また、図１７は、正弦波の副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置１から印加する場合を説明するグラフである。以降では、オフセット電圧を中心値として曲線的な波形で変動する可変電圧を有する副駆動信号として、正弦波又は余弦波の副駆動信号を例にとって説明を行う。

図１６は、制御装置１から、接触操作に対応する主駆動信号として矩形波を印加し、減衰追加信号となる副駆動信号として正弦波の波列を印加したとき、コイル２２を流れる電流と可動体４０の加速度とを示すグラフである。

副駆動信号は、振動の減衰期間を継続する減衰追加信号となる供給タイミングで供給される。供給タイミングとしては、副駆動信号の１周期内の波形の最大値（山側のピーク値）の位置が、可動体４０の振動時における加速度の負のピーク位置（可動体４０がコイル２２から最も遠ざかる位置）と同時となるようにする（図１６中の一点鎖線の矢印を参照）。また、これらの位置は、同時に限らず、略同時でもよい。制御装置１は、このような供給タイミングとなるように、副駆動信号を制御する。

また、副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧Ｖ１を中心値とする正弦波の波列であり、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列であり、その基本波形は初期位相０の１周期分の正弦波である（図１２Ａを参照）。ここでは、各周期の副駆動信号の振幅を同じ振幅としている。また、オフセット電圧Ｖ１は、主駆動信号と副駆動信号との間の期間も印加されている。

図１６に示すように、矩形波の主駆動信号が制御装置１から印加されると、矩形波の主駆動信号に対応する主駆動電流がコイル２２に流れて、可動体４０に主な振動が発生する。可動体４０の振動に伴い、その加速度も図１６のように変化する。

そして、図１６中の楕円内に示すように、減衰追加信号となる正弦波の副駆動信号が制御装置１から印加されると、正弦波の副駆動信号に対応する副駆動電流がコイル２２に流れる。

コイル２２に流れる副駆動電流は、正弦波の副駆動信号における可変電圧の変動に応じて、オフセット電圧Ｖ１に対応するオフセット電流Ｉ１を中心値として変化する可変電流となり、可変電流の変化を示す波形は曲線的であり、不連続な変動はない。実際、図１６に示す副駆動電流は、図１４に示す副駆動電流とは異なり、可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このような副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。このような吸引力は、例えば、正弦的関数で表されるものでよい。そして、図１６では、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波は表れておらず、高調波の発生を抑制できることが分かる。

可動体４０の振動には、上述した副駆動電流により、振動周期の全期間に渡って所定値上の吸引力が働いている。言い換えると、可動体４０が振動周期の全期間に渡ってコイル２２側に吸引された状態であり、この場合の振動中心は、可動体４０が自由振動する場合の振動中心からコイル２２側にシフトした状態である。

そして、ここでは、このような状態において、オフセット電圧Ｖ１を中心値とする正弦波の副駆動信号を、１周期内の最大値の位置が可動体４０の振動時における加速度の負のピーク位置と同時又は略同時となるように、コイル２２に印加している。つまり、振動を開始した可動体４０がコイル２２へ向かう方向に変位しているときに、オフセット電圧Ｖ１より高い副駆動信号の電圧をコイル２２に印加している。そのため、コイル２２は、コイル２２へ向かう方向に変位している可動体４０を吸引し、可動体４０の変位を加速して、振動減衰期間を延ばすことができる。

副駆動信号としてブレーキ信号を印加する場合も同様である。図１７は、制御装置１から、接触操作に対応する主駆動信号として矩形波を印加し、ブレーキ信号となる副駆動信号として正弦波の波列を印加したとき、コイル２２を流れる電流と可動体４０の加速度とを示すグラフである。

副駆動信号は、振動の減衰期間を短くするブレーキ信号となる供給タイミングで供給される。供給タイミングとしては、副駆動信号の１周期内の波形の最大値（山側のピーク値）の位置が、可動体４０の振動時における加速度の正のピーク位置（可動体４０がコイル２２に最も近づく位置）と同時となるようにする（図１７中の一点鎖線の矢印を参照）。また、これらの位置は、同時に限らず、略同時でもよい。制御装置１は、このような供給タイミングとなるように、副駆動信号を制御する。

また、副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧Ｖ１を中心値とする正弦波の波列であり、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列であり、その基本波形は初期位相０の１周期分の正弦波である（図１２Ａを参照）。ここでは、各周期の副駆動信号の振幅を徐々に小さくしている。また、オフセット電圧Ｖ１は、主駆動信号と副駆動信号との間の期間も印加されている。

図１７に示すように、矩形波の主駆動信号が制御装置１から印加されると、矩形波の主駆動信号に対応する主駆動電流がコイル２２に流れて、可動体４０に主な振動が発生する。可動体４０の振動に伴い、その加速度も図１７のように変化する。

そして、図１７中の楕円内に示すように、ブレーキ信号となる正弦波の副駆動信号が制御装置１から印加されると、正弦波の副駆動信号に対応する副駆動電流がコイル２２に流れる。

コイル２２に流れる副駆動電流は、正弦波の副駆動信号の可変電圧の変動に応じて、オフセット電圧Ｖ１に対応するオフセット電流Ｉ１を中心値として変化する可変電流となり、可変電流の変化を示す波形は曲線的であり、不連続な変動はない。実際、図１７に示す副駆動電流は、図１４に示す副駆動電流とは異なり、可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このような副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。図１７では、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波は表れておらず、高調波の発生を抑制できることが分かる。

ここでも、可動体４０の振動中心は、上述したように、可動体４０が自由振動する場合の振動中心からコイル２２側にシフトした状態である。

そして、ここでは、このような状態において、オフセット電圧Ｖ１を中心値とする正弦波の副駆動信号を、１周期内の最大値の位置が可動体４０の振動時における加速度の正のピーク位置と同時又は略同時となるように、コイル２２に印加している。つまり、振動を開始した可動体４０がコイル２２から離れる方向に変位しているときに、オフセット電圧Ｖ１より高い副駆動信号の電圧をコイル２２に印加している。そのため、コイル２２は、コイル２２から離れる方向に変位している可動体４０を吸引し、可動体４０の変位にブレーキをかけて、振動減衰期間を短くすることができる。

また、本実施の形態の場合、副駆動信号がゼロ電圧からオフセットした電圧Ｖ１を中心値とする正弦波であるので、矩形波の場合よりも、１周期分の副駆動信号を印加する期間を長くすることができる。例えば、本実施の形態において、可動体４０の振動周期をＴとすると、副駆動信号の１周期分を、０．７Ｔ以上かつ１．３Ｔ以下とすることができる。言い換えると、１周期分の副駆動信号を印加する期間を、０．７Ｔ以上かつ１．３Ｔ以下の範囲内の期間とすることができる。副駆動信号が矩形波である場合は、０．５Ｔ以下の範囲内の期間に限られたが、オフセットした正弦波である場合は、副駆動信号を印加可能な範囲が広くなるので、振動の減衰期間の調整の自由度が広がる。

以上説明したように、本実施の形態において、制御装置１は、電磁アクチュエーター１０のコイル２２に対し、主駆動信号を印加した後に、オフセット電圧Ｖ１を中心値として曲線的な波形で変動する可変電圧を有する、正弦波等の副駆動信号を印加する。

このように構成した本実施の形態によれば、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働くので、吸引力が不連続に変動することはなく、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。このようにして、振動の加速度波形に重畳する高調波を抑制するので、不快な触感や異音の発生を抑制することができる。

なお、電磁アクチュエーターには、コイルとマグネットとを有し、正弦波の駆動信号をコイルに供給し、マグネットとの協働により、共振周波数でリニアに可動体を往復駆動させるＬＲＡ（Linear Resonant Actuator；リニア共振アクチュエーター）がある。本実施の形態において、制御装置１が駆動する電磁アクチュエーター１０は、ＬＲＡとは異なり、マグネットを有していない。しかしながら、制御装置１は、ＬＲＡと同様に、正弦波等の副駆動信号を電磁アクチュエーター１０側に印加するので、ＬＲＡと同等の加速特性を得ることができる。

また、本実施の形態によれば、電磁アクチュエーター１０がマグネット等を用いていないので、コストの低廉化を図ることができ、装置全体の低コスト化を図りつつ、様々な接触操作感の振動を表現することができる。また、本実施の形態によれば、効率的な駆動により小型な製品でも出力増加を図ることができる。そして、装置の低コスト化を図りつつ、操作機器を操作する操作者への触感に好適な可動体４０の推力を効率良く発生できる。

また、本実施の形態では、様々な接触操作感となる振動を、ゴム等の減衰材で調整していないため、減衰材のように、単一な振動減衰期間となることがなく、振動減衰期間のバリエーションが乏しく表現する操作感の種類が限定されることもない。また、減衰材の個体差による共振周波数の変化もなく、その特性が製品毎に異なることもない。

なお、上述した例では、制御装置１は、副駆動信号として、ブレーキ信号又は減衰追加信号を用いているが、ブレーキ信号と減衰追加信号とを組み合わせて用いるようにしてもよい。この場合、ブレーキ信号と減衰追加信号の順番や回数等は、接触操作に応じて、様々なパターンの組み合わせが可能である。更に、主駆動信号も含めて、ブレーキ信号及び減衰追加信号の振幅や印加時間等も、接触操作に応じて変更してもよく、これらも含めて、様々なパターンの組み合わせが可能である。

［変形例１］
図１８は、上記実施の形態の変形例１として、図１６及び図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号を示すグラフである。

図１８に示す例において、主駆動信号は、図１６及び図１７に示した主駆動信号と同様の矩形波である。

図１８に示す例において、副駆動信号は、基本的には、図１７に示した副駆動信号と同様の正弦波の波列である。具体的には、副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧Ｖ１を中心値とする正弦波の波列であり、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列であり、その基本波形は初期位相０の１周期分の正弦波である（図１２Ａを参照）。

また、図１８では、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号と同様に、各周期の副駆動信号の振幅を徐々に小さくしているが、副駆動信号を印加しない期間において、オフセット電圧Ｖ１を印加しないようにしている。

図１６及び図１７においては、副駆動信号を印加しない期間、例えば、主駆動信号と副駆動信号との間の期間もオフセット電圧Ｖ１が印加されている。このようなオフセット電圧Ｖ１が印加されると、その期間は、対応するオフセット電流Ｉ１がコイル２２に流れることになり、消費電力が増え、コイル２２の発熱が大きくなる。

本変形例では、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えるため、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間、例えば、主駆動信号と副駆動信号との間の期間や副駆動信号同士の間の期間は、オフセット電圧Ｖ１の印加を停止するようにしている。

制御装置１は、上記実施の形態で説明した通りの構成でよいが（図１０、図１１を参照）、本変形例では、制御装置１は、上述したように、副駆動信号を印加しない期間は、オフセット電圧Ｖ１の印加を停止するようにしている。

このように、本変形例では、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間中、オフセット電圧の印加を停止するので、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えることができる。

また、本変形例においても、主駆動信号を印加した後に、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧Ｖ１を中心値として変動する可変電圧を有する正弦波の波列を副駆動信号として印加している。

本変形例では、図１８に示すように、１周期目の副駆動信号と２周期目の副駆動信号との間の期間は、オフセット電圧Ｖ１の印加を停止している。この期間において、コイル２２を流れる電流は、１周期目の副駆動信号の印加により生成された副駆動電流から徐々に減少している状態であり、ゼロではない。また、本変形例における副駆動電流においても、その可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このような副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。従って、上記実施の形態と同様に、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波の発生を抑制できる。このように、本変形例も、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。

なお、本変形例の場合、副駆動信号を印加しない期間中、オフセット電圧の印加を停止するので、可動体４０の振動周期をＴとすると、副駆動信号の１周期分を０．５Ｔより大きく、かつ、１．０Ｔ未満とする。もし、仮に、副駆動信号の１周期分を０．５Ｔ以下とすると、副駆動信号の印加により生成された副駆動電流は、徐々に減少し、次の副駆動信号が印加されるまでにゼロになる可能性がある。そのため、副駆動信号の１周期分を、０．５Ｔより大きく、かつ、１．０Ｔ未満とすることが望ましく、更には、０．７Ｔ以上、かつ、１．０Ｔ未満とすることが望ましい。

［変形例２］
図１９は、上記実施の形態の変形例２として、図１６及び図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号を示すグラフである。

図１９に示す例において、主駆動信号は、図１６及び図１７に示した主駆動信号と同様の矩形波である。

図１９に示す例において、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号とは位相等が異なる正弦波の波列である。具体的には、副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧Ｖ１を中心値とする正弦波の波列であり、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列である。一方、本変形例において、副駆動信号の基本波形は初期位相３／２πの１周期分の正弦波である（図１２Ｂを参照）。

また、図１９では、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号と同様に、各周期の副駆動信号の振幅を徐々に小さくしているが、副駆動信号を印加しない期間において、オフセット電圧Ｖ１を印加しないようにしている。

このように、本変形例でも、変形例１と同様に、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えるため、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間は、オフセット電圧Ｖ１を印加しないようにしている。

制御装置１は、上記実施の形態で説明した通りの構成でよいが（図１０、図１１を参照）、本変形例でも、制御装置１は、上述したように、副駆動信号を印加しない期間は、オフセット電圧Ｖ１の印加を停止するようにしている。

そして、本変形例でも、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間中、例えば、主駆動信号と副駆動信号との間の期間や副駆動信号同士の間の期間は、オフセット電圧の印加を停止するので、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えることができる。

また、本変形例においても、主駆動信号を印加した後に、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧Ｖ１を中心値として変動する可変電圧を有する正弦波の波列を副駆動信号として印加している。

本変形例でも、図１９に示すように、１周期目の副駆動信号と２周期目の副駆動信号との間の期間は、オフセット電圧Ｖ１の印加を停止している。この期間において、コイル２２を流れる電流は、１周期目の副駆動信号の印加により生成された副駆動電流から徐々に減少している状態であり、ゼロではない。また、本変形例における副駆動電流においても、その可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このような副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。従って、上記実施の形態と同様に、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波の発生を抑制できる。このように、本変形例も、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。

なお、本変形例の場合も、上記の変形例１と同様に、可動体４０の振動周期をＴとすると、副駆動信号の１周期分を、０．５Ｔより大きく、かつ、１．０Ｔ未満とすることが望ましく、更には、０．７Ｔ以上、かつ、１．０Ｔ未満とすることが望ましい。

［変形例３］
図２０は、上記実施の形態の変形例３として、図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置１から印加する場合を説明するグラフである。

図２０に示す例において、主駆動信号は、図１７に示した主駆動信号と同様の矩形波である。

図２０に示す例において、副駆動信号は、基本的には、図１７に示した副駆動信号と同様の正弦波の波列である。具体的には、副駆動信号は、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列であり、その基本波形は初期位相０の１周期分の正弦波である（図１２Ａを参照）。一方、本変形例において、副駆動信号は、各周期で異なるオフセット電圧Ｖ１～Ｖ４を中心値とする正弦波の波列である。

また、図２０では、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号と同様に、各周期の副駆動信号の振幅を徐々に小さくしている。

制御装置１は、基本的には、上記実施の形態で説明した通りの構成でよい（図１０、図１１を参照）。一方、本変形例において、駆動信号生成部１３０の第１副駆動信号生成部Ｂ２４２及び第２副駆動信号生成部Ｂ２４３は、上記実施の形態とは異なり、それぞれ、オフセット電圧が周期毎に変わる正弦波の波列を形成するようにしている。

図２０に示す例では、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２が、奇数番目の周期の正弦波（本発明における第１波形）の波列を、当該正弦波のオフセット電圧をＶ１→Ｖ３と周期毎に変えながら生成している。また、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３が、偶数番目の周期の正弦波（本発明における第２波形）の波列を、当該正弦波のオフセット電圧をＶ２→Ｖ４と周期毎に変えながら生成している。そして、合成部Ｂ２４４は、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２で生成された奇数番目の周期の正弦波の波列と、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３で生成された偶数番目の周期の正弦波の波列と、を合成して、図２０に示すような副駆動信号の波列を生成している。

このように、本変形例では、制御装置１は、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３及び合成部Ｂ２４４により、オフセット電圧が周期毎に変わる副駆動信号の波列を生成している。これは、以下に説明する変形例４、変形例５でも同様である。

本変形例でも、変形例１、２と同様に、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えるようにしているが、そのために、本変形例では、上述したように、オフセット電圧を副駆動信号の周期毎に下げるようにしている。

具体的には、図２０に示す例では、主駆動信号から１周期目の副駆動信号までのオフセット電圧をＶ１としている。また、１周期目の副駆動信号から２周期目の副駆動信号までのオフセット電圧を、Ｖ１より低い電圧Ｖ２としている。また、２周期目の副駆動信号から３周期目の副駆動信号までのオフセット電圧を、Ｖ２より低い電圧Ｖ３としている。また、３周期目の副駆動信号から４周期目の副駆動信号までのオフセット電圧を、Ｖ３より低い電圧Ｖ４としている。

このように、制御装置１は、Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ３＞Ｖ４となるように、副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げながら、正弦波の波列の副駆動信号をコイル２２側へ印加する。制御装置１は、例えば、オフセット電圧が最終的にゼロになるように、オフセット電圧を段階的に下げてもよい。

周期毎に副駆動信号のオフセット電圧を下げることにより、オフセット電圧に対応するオフセット電流も、図２０に示すように、Ｉ１＞Ｉ２＞Ｉ３＞Ｉ４と徐々に下がることになる。

このように、本変形例では、制御装置１は、副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げるので、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えることができる。

本変形例は、副駆動信号がブレーキ信号である場合に好適である。
そのため、制御装置１は、供給タイミングとして、副駆動信号の１周期内の波形の最大値（山側のピーク値）の位置が、可動体４０の振動時における加速度の正のピーク位置と同時又は略同時となるようにしている（図２０中の一点鎖線の矢印を参照）。

また、本変形例においても、主駆動信号を印加した後に、それぞれのオフセット電圧Ｖ１～Ｖ４を中心値として変動する可変電圧を有する正弦波の波列を副駆動信号として印加している。

そのため、図２０に示すように、コイル２２に流れる副駆動電流は、正弦波の副駆動信号における可変電圧の変動に応じて、それぞれのオフセット電圧Ｖ１～Ｖ４に対応するオフセット電流Ｉ１～Ｉ４を中心値として変化する可変電流となる。図２０において、この可変電流の変化を示す波形は曲線的であり、不連続な変動はない。実際、図２０に示す副駆動電流は、図１４に示す副駆動電流とは異なり、可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このように、オフセット電流Ｉ１～Ｉ４を中心値として変化する可変電流を有する副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。図２０では、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波は表れておらず、高調波の発生を抑制できる。このように、本変形例も、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。

［変形例４］
図２１は、上記実施の形態の変形例４として、図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置１から印加する場合を説明するグラフである。

図２１に示す例において、主駆動信号は、図１７に示した主駆動信号と同様の矩形波である。

図２１に示す例において、副駆動信号は、基本的には、図１７に示した副駆動信号と同様の正弦波である。具体的には、副駆動信号は、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列であり、その基本波形は初期位相０の１周期分の正弦波である（図１２Ａを参照）。一方、本変形例において、副駆動信号は、各周期で異なるオフセット電圧Ｖ１～Ｖ４を中心値とする正弦波の波列である。

また、図２１では、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号と同様に、各周期の副駆動信号の振幅を徐々に小さくしているが、副駆動信号を印加しない期間において、オフセット電圧を印加しないようにしている。

制御装置１は、基本的には、上記実施の形態で説明した通りの構成でよい（図１０、図１１を参照）。そして、本変形例でも、制御装置１は、上記変形例３と同様に、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３及び合成部Ｂ２４４により、オフセット電圧が周期毎に変わる（下がる）副駆動信号の波列を生成している。

更に、本変形例では、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間、例えば、主駆動信号と副駆動信号との間の期間や副駆動信号同士の間の期間は、オフセット電圧を印加しないようにしている。

このように、本変形例では、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えるようにするため、制御装置１は、オフセット電圧を副駆動信号の周期毎に下げ、更に、所定期間はオフセット電圧を印加しないようにしている。

具体的には、図２１に示す例では、主駆動信号と１周期目の副駆動信号との間の期間のオフセット電圧の印加を停止し、１周期目の副駆動信号のオフセット電圧をＶ１としている。また、１周期目の副駆動信号と２周期目の副駆動信号との間の期間のオフセット電圧の印加を停止し、２周期目の副駆動信号のオフセット電圧を、Ｖ１より低い電圧Ｖ２としている。また、２周期目の副駆動信号と３周期目の副駆動信号との間の期間のオフセット電圧の印加を停止し、３周期目の副駆動信号のオフセット電圧を、Ｖ２より低い電圧Ｖ３としている。また、３周期目の副駆動信号と４周期目の副駆動信号との間の期間のオフセット電圧の印加を停止し、４周期目の副駆動信号のオフセット電圧を、Ｖ３より低い電圧Ｖ４としている。

このように、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間のオフセット電圧の印加を停止すると共に、Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ３＞Ｖ４となるように、副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げながら、正弦波の波列の副駆動信号をコイル２２側へ印加する。制御装置１は、例えば、オフセット電圧が最終的にゼロになるように、オフセット電圧を段階的に下げてもよい。

周期毎に副駆動信号のオフセット電圧を下げることにより、オフセット電圧に対応するオフセット電流も、図２１に示すように、Ｉ１＞Ｉ２＞Ｉ３＞Ｉ４と徐々に下がることになる。

加えて、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間、例えば、主駆動信号と副駆動信号との間の期間や副駆動信号同士の間の期間は、オフセット電圧を印加していない。

このように、本変形例では、制御装置１は、副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げ、かつ、副駆動信号を印加しない期間中、オフセット電圧の印加を停止するので、更に、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えることができる。

本変形例は、副駆動信号がブレーキ信号である場合に好適である。そのため、制御装置１は、供給タイミングとして、副駆動信号の１周期内の波形の最大値（山側のピーク値）の位置が、可動体４０の振動時における加速度の正のピーク位置と同時又は略同時となるようにしている（図２１中の一点鎖線の矢印を参照）。

また、本変形例においても、主駆動信号を印加した後に、周期毎に異なるオフセット電圧を中心値として変動する可変電圧を有する正弦波の波列を副駆動信号として印加している。

本変形例でも、図２１に示すように、主駆動信号と１周期目の副駆動信号との間の期間や副駆動信号同士の間の期間は、オフセット電圧の印加を停止している。この期間において、コイル２２を流れる電流は、主駆動信号、副駆動信号の印加により生成された副駆動電流から徐々に減少している状態であり、ゼロではない。また、本変形例における副駆動電流においても、その可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このような副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。従って、上記実施の形態と同様に、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波の発生を抑制できる。このように、本変形例も、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。

［変形例５］
図２２は、上記実施の形態の変形例５として、図１７に示した副駆動信号とは異なる副駆動信号（ブレーキ信号）を制御装置１から印加する場合を説明するグラフである。

図２２に示す例において、主駆動信号は、図１７に示した主駆動信号と同様の矩形波である。

図２２に示す例において、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号とは位相等が異なる正弦波である。具体的には、副駆動信号は、極性が変化しない範囲で可変電圧が曲線的に変動する正弦波の波列である。一方、本変形例において、副駆動信号は、各周期で異なるオフセット電圧Ｖ１～Ｖ４を中心値とする正弦波の波列であり、その基本波形は初期位相３／２πの１周期分の正弦波である（図１２Ｂを参照）。

また、図２２では、副駆動信号は、図１７に示した副駆動信号と同様に、各周期の副駆動信号の振幅を徐々に小さくしているが、副駆動信号を印加しない期間において、オフセット電圧を印加しないようにしている。

制御装置１は、基本的には、上記実施の形態で説明した通りの構成でよい（図１０、図１１を参照）。そして、本変形例でも、制御装置１は、上記変形例３と同様に、第１副駆動信号生成部Ｂ２４２、第２副駆動信号生成部Ｂ２４３及び合成部Ｂ２４４により、オフセット電圧が周期毎に変わる（下がる）副駆動信号の波列を生成している。

また、本変形例の場合、制御装置１は、副駆動信号の基本波形として、初期位相３／２πの１周期分の正弦波を用いて、副駆動信号の波列を生成する。そのため、図１３で説明したように、奇数番目の周期の正弦波から偶数番目の周期の正弦波に切り替わる部分や偶数番目の周期の正弦波から奇数番目の周期の正弦波に切り替わる部分を滑らかな波形とすることができる（図１３を参照）。

本変形例でも、変形例４と同様に、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えるようにするため、制御装置１は、オフセット電圧を副駆動信号の周期毎に下げ、更に、所定期間はオフセット電圧を印加しないようにしている。

具体的には、図２２に示す例では、主駆動信号と１周期目の副駆動信号との間の期間のオフセット電圧の印加を停止し、１周期目の副駆動信号のオフセット電圧をＶ１としている。また、２周期目の副駆動信号のオフセット電圧を、Ｖ１より低い電圧Ｖ２としている。また、３周期目の副駆動信号のオフセット電圧を、Ｖ２より低い電圧Ｖ３としている。また、４周期目の副駆動信号のオフセット電圧を、Ｖ３より低い電圧Ｖ４としている。

このように、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間のオフセット電圧の印加を停止すると共に、Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ３＞Ｖ４となるように、副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げながら、正弦波の波列の副駆動信号をコイル２２側へ印加する。制御装置１は、例えば、オフセット電圧が最終的にゼロになるように、オフセット電圧を段階的に下げてもよい。

副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げることにより、オフセット電圧に対応するオフセット電流も、図２２に示すように、Ｉ１＞Ｉ２＞Ｉ３＞Ｉ４と徐々に下がることになる。

加えて、制御装置１は、副駆動信号を印加しない期間、例えば、主駆動信号と副駆動信号との間の期間は、オフセット電圧を印加していない。

このように、本変形例では、制御装置１は、副駆動信号の周期毎にオフセット電圧を下げ、かつ、副駆動信号を印加しない期間中、オフセット電圧の印加を停止するので、更に、消費電力を減らし、コイル２２の発熱を抑えることができる。

本変形例は、副駆動信号がブレーキ信号である場合に好適である。そのため、制御装置１は、供給タイミングとして、副駆動信号の１周期内の波形の最大値（山側のピーク値）の位置が、可動体４０の振動時における加速度の正のピーク位置と同時又は略同時となるようにしている（図２２中の一点鎖線の矢印を参照）。

また、本変形例においても、主駆動信号を印加した後に、周期毎に異なるオフセット電圧を中心値として変動する可変電圧を有する正弦波の波列を副駆動信号として印加している。

本変形例では、図１３で説明したように、初期位相３／２πの１周期分の正弦波を用いて、副駆動信号の波列を生成するので、図２２に示すように、副駆動信号同士の間の電圧はゼロ又は略ゼロとなる。このように、副駆動信号同士の間の電圧がゼロ又は略ゼロになっても、コイル２２を流れる電流は、副駆動信号の印加により生成された副駆動電流から徐々に減少している状態であり、ゼロではない。また、本変形例における副駆動電流においても、その可変電流の変化を示す波形に不連続な変動は存在しない。

このような副駆動電流がコイル２２に流れると、可動体４０には、振動周期の全期間に渡って、所定値以上で曲線的に変動する吸引力が働く。このように、吸引力が所定値以上で曲線的に変動するので、つまり、吸引力の不連続な変動が生じないようにしているので、吸引力の不連続な変動に起因する高調波の発生を抑制することができる。従って、上記実施の形態と同様に、可動体４０の振動の加速度波形に重畳する高調波の発生を抑制できる。このように、本変形例も、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明した。なお、以上の説明は本発明の好適な実施の形態の例証であり、本発明の範囲はこれに限定されない。つまり、上記装置の構成や各部分の形状についての説明は一例であり、本発明の範囲においてこれらの例に対する様々な変更や追加が可能であることは明らかである。

本実施の形態において制御装置１により駆動制御される電磁アクチュエーターの駆動方向はＺ方向とした。これに限らず、操作者の接触面と平行の方向、具体的には、Ｘ方向ないしＹ方向においても、上述した効率的な駆動や振動の強化等の効果を得ることができる。

本発明に係る電磁アクチュエーターは、様々な接触操作感の振動を表現可能であるという効果を有する。例えば、車載製品や産業機器において、画面上の画像に指等を接触させることにより操作を入力する操作機器に有用なものである。特に、例えば、画像に表示した機械式スイッチ等の様々な画像に触れた際の操作感と同様の操作感をフィードバックできるタッチパネル装置が搭載されるタッチディスプレイ装置等の操作機器に有用なものである。

１ 制御装置
１０ 電磁アクチュエーター
２０ コア組立体
２０ａ、２０ｂ 対向面（対向面部）
２２ コイル
２４ コア
２６ ボビン
３０ 固定体
３２ ベース部
３２ａ 取付部
３２ｂ 底面部
３３ 止着孔
３６ 開口部
４０ 可動体
４１ ヨーク
４２ 面部固定孔
４４ 面部固定部
４４ａ 固定面
４６、４７ 被吸引面部
４８ 開口部
４９ 切欠部
５０ 板状弾性部（弾性支持部）
５２ 固定体側固定部
５４ 可動体側固定部
５６ 弾性アーム部
７０ 歪み検出センサ
８２ スイッチング素子
８４ 信号発生部
１１０ 電源部
１２０ 検出信号処理部
１２１ ＨＰＦ
１２２ ＬＰＦ
１３０ 駆動信号生成部
１４０ 駆動部
１４１ ゲートドライバ
１４２ ＭＯＳＦＥＴ
１４３ ＳＢＤ
２００ 振動呈示装置
２４１ コア本体
２４２、２４４ 磁極部
３２１、３２２ 固定孔
Ｂ２１ 主駆動信号生成部
Ｂ２２ タイミング検出部
Ｂ２３ 振幅設定部
Ｂ２４ 副駆動信号設定部
Ｂ２４１ 周期カウント部
Ｂ２４２ 第１副駆動信号設定部
Ｂ２４３ 第２副駆動信号設定部
Ｂ２４４ 合成部
Ｂ２５ 出力部

Claims (7)

1. 弾性支持部により弾性振動可能に支持された操作機器をその振動方向の一方向に駆動して振動させる電磁アクチュエーターを制御する制御装置であって、
   前記電磁アクチュエーターのコイルに対し、主駆動信号を印加して、前記操作機器に対する接触操作に応じた前記操作機器の振動を開始した後、副駆動信号を印加して、前記振動の減衰期間を調整する回路を有し、
   前記副駆動信号は、ゼロ電圧からオフセットしたオフセット電圧を中心値として変動する可変電圧を有し、前記可変電圧の変動を示す波形が正弦関数的曲線又は余弦関数的曲線であり、
   前記回路は、前記オフセット電圧を周期毎に変えながら、前記副駆動信号を印加する、
   制御装置。
2. 前記回路は、前記オフセット電圧を段階的に下げる、
   請求項１に記載の制御装置。
3. 前記回路は、奇数番目の周期の前記副駆動信号となる第１波形を、当該第１波形の前記オフセット電圧を周期毎に変えながら生成する第１波形生成部と、偶数番目の周期の前記副駆動信号となる第２波形を、当該第２波形の前記オフセット電圧を周期毎に変えながら生成する第２波形生成部と、前記第１波形と前記第２波形とを合成して、前記副駆動信号を生成する合成部と、を有する、
   請求項１に記載の制御装置。
4. 前記第１波形及び前記第２波形は、極性が変化しない範囲で前記可変電圧が変動する正弦波又は余弦波である、
   請求項３に記載の制御装置。
5. 前記第１波形及び前記第２波形は、初期位相３／２πから始まる正弦波又は初期位相πから始まる余弦波である、
   請求項４に記載の制御装置。
6. 弾性支持部により弾性振動可能に支持された操作機器をその振動方向の一方向に駆動して振動させる電磁アクチュエーターと、
   請求項１から５のいずれか一項に記載の制御装置と、
   を備える振動呈示装置。
7. 前記電磁アクチュエーターは、前記コイルを含む電磁石と磁性体からなるヨークとを含み、前記コイルへの駆動信号の印加により生じる前記電磁石と前記ヨークとの磁気吸引により前記操作機器を前記一方向に駆動する、
   請求項６に記載の振動呈示装置。

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