JP2024036588A - discharge device - Google Patents

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陽平 石上
Yohei Ishigami
昌治 町
Masaharu Machi
崇史 大森
Takashi Omori
友宏 山口
Tomohiro Yamaguchi
修 今堀
Osamu Imahori
哲典 青野
Tetsunori AONO
隆行 中田
Takayuki Nakada
祐花里 中野
Yukari Nakano
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Abstract

To provide a discharge device for efficiently discharging an active ingredient, while reducing increase in ozone.SOLUTION: A discharge device includes: a discharge electrode 1; and a voltage application part 2 that applies a voltage to the discharge electrode 1 and causes the discharge electrode 1 to discharge progressed from a corona discharge. An electrical capacity of the voltage application part 2 is set so that, when a corona discharge progresses to an insulation breakdown, instantaneous current flows through an insulation-broken discharge path, voltage drops, discharge stops, and the voltage rises again, leading to an insulation breakdown, and repeating the process.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は放電装置に関し、より詳細には、放電電極とこれに電圧を印加する電圧印加部を備えた放電装置に関する。 The present invention relates to a discharge device, and more particularly to a discharge device that includes a discharge electrode and a voltage application section that applies a voltage to the discharge electrode.

従来、放電電極と電圧印加部を備えた放電装置が提供されている。放電装置としては、電圧印加部によって放電電極に電圧を印加し、放電電極でコロナ放電を生じさせて空気イオンを生成する装置や、放電電極に液体を供給したうえでその放電電極でコロナ放電を生じさせ、ラジカルを含んだ帯電微粒子液を生成する装置が知られている(たとえば特許文献1参照)。 Conventionally, a discharge device including a discharge electrode and a voltage application section has been provided. As a discharge device, there is a device that applies a voltage to the discharge electrode using a voltage application part and causes a corona discharge at the discharge electrode to generate air ions, or a device that supplies liquid to the discharge electrode and then uses the discharge electrode to generate corona discharge. An apparatus for generating a charged fine particle liquid containing radicals is known (for example, see Patent Document 1).

特開2011-67738号公報JP2011-67738A

放電装置においては、投入するエネルギーを高めて空気イオン、ラジカル、およびこれを含んだ帯電微粒子液(以下、空気イオン、ラジカルおよび帯電微粒子液を総称して「有効成分」という。)の生成量を増大させたいという要求と、このときにオゾンが生じることを抑えたいという要求がある。しかし、上記した従来の放電装置では、二つの要求をともに満たすことは困難である。 In a discharge device, the input energy is increased to increase the amount of air ions, radicals, and charged particulate liquid containing them (hereinafter, air ions, radicals, and charged particulate liquid are collectively referred to as "active ingredients"). There is a demand to increase the amount of ozone and a demand to suppress the production of ozone at this time. However, with the above-described conventional discharge device, it is difficult to satisfy both of the two requirements.

本発明は、有効成分の生成量を増大させることができ、かつ、このときにオゾンが増大することを抑えることのできる放電装置およびこれの製造方法を提案することを、目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to propose a discharge device and a method for manufacturing the same that can increase the amount of active ingredients produced and suppress the increase in ozone at this time.

前記課題を解決するために、本発明の放電装置は、放電電極と、前記放電電極に電圧を印加し、コロナ放電からさらに進展した放電を前記放電電極に生じさせる電圧印加部と、を具備し、コロナ放電から進展して絶縁破壊に至ると、絶縁破壊された放電経路を通じて瞬間電流が流れ、電圧が低下して放電が停止し、また電圧が上昇して絶縁破壊に至ることを繰り返すように、前記電圧印加部の電気的な容量が設定されている。 In order to solve the above problem, a discharge device of the present invention includes a discharge electrode and a voltage application section that applies a voltage to the discharge electrode and causes the discharge electrode to generate a discharge that is further developed from a corona discharge. When corona discharge progresses to dielectric breakdown, an instantaneous current flows through the dielectric breakdown path, the voltage drops and the discharge stops, and the voltage rises again, leading to dielectric breakdown, which is repeated. , an electrical capacity of the voltage applying section is set.

本発明の放電装置は、有効成分の生成量を増大させることができ、かつ、このときにオゾンが増大することを抑えることができるという効果を奏する。 The discharge device of the present invention has the effect of being able to increase the amount of active ingredients produced and suppressing the increase in ozone at this time.

図1は、第1実施形態の放電装置を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a discharge device according to a first embodiment. 図2Aはコロナ放電で流れる電流を概略的に示すグラフ図であり、図2Bは、リーダ放電で流れる電流を概略的に示すグラフ図である。FIG. 2A is a graph diagram schematically showing a current flowing in a corona discharge, and FIG. 2B is a graph diagram schematically showing a current flowing in a leader discharge. 図3Aは、第2実施形態の放電装置を示す概略図であり、図3Bは、同上の放電装置の変形例を示す概略図である。FIG. 3A is a schematic diagram showing a discharge device of the second embodiment, and FIG. 3B is a schematic diagram showing a modification of the discharge device. 図4Aは、第3実施形態の放電装置を示す概略図であり、図4Bは、同上の放電装置の変形例を示す概略図である。FIG. 4A is a schematic diagram showing a discharge device of the third embodiment, and FIG. 4B is a schematic diagram showing a modification of the discharge device. 図5は、第4実施形態の放電装置を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a discharge device according to a fourth embodiment. 図6Aは、第5実施形態の放電装置の要部を示す斜視図であり、図6Bは、第6実施形態の放電装置の要部を示す斜視図であり、図6Cは、第7実施形態の放電装置の要部を示す斜視図である。FIG. 6A is a perspective view showing a main part of a discharge device according to a fifth embodiment, FIG. 6B is a perspective view showing a main part of a discharge device according to a sixth embodiment, and FIG. 6C is a perspective view showing a main part of a discharge device according to a seventh embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing the main parts of the discharge device of FIG. 図7は、第8実施形態の放電装置を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a discharge device according to an eighth embodiment. 図8は、同上の放電装置を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing the discharge device same as the above. 図9は、同上の放電装置を示す側断面図である。FIG. 9 is a side sectional view showing the discharge device same as the above. 図10Aは、同上の放電装置の変形例を示す平面図であり、図10Bは、同上の放電装置の別の変形例を示す平面図である。FIG. 10A is a plan view showing a modification of the discharge device as described above, and FIG. 10B is a plan view showing another modification of the discharge device as described above. 図11は、同上の放電装置の別の変形例の要部を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing a main part of another modified example of the above discharge device. 図12Aは、同上の放電装置の別の変形例の要部を示す側面図であり、図12Bは、図12AのA部拡大図である。FIG. 12A is a side view showing a main part of another modified example of the discharge device same as the above, and FIG. 12B is an enlarged view of section A in FIG. 12A. 図13は、図12Aと図12Bに示す変形例の針状電極部を成形する工程を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing a process of forming the modified needle-like electrode portion shown in FIGS. 12A and 12B. 図14は、同上の放電装置の別の変形例の要部を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing a main part of another modified example of the discharge device same as the above. 図15Aは、第9実施形態の放電装置を示す下面図であり、図15Bは、同上の放電装置に蓋を設けた場合を示す斜視図である。FIG. 15A is a bottom view showing the discharge device of the ninth embodiment, and FIG. 15B is a perspective view showing the case where the above discharge device is provided with a lid. 図16は、同上の放電装置の変形例を示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing a modification of the above discharge device. 図17は、同上の放電装置の別の変形例を示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing another modification of the above discharge device. 図18Aは、対向電極-抵抗間の配線長さと有効成分量の関係を示すグラフ図であり、図18Bは、電圧印加部-抵抗間の配線長さと有効成分量の関係を示すグラフ図である。FIG. 18A is a graph diagram showing the relationship between the wiring length between the counter electrode and the resistor and the amount of the active ingredient, and FIG. 18B is a graph diagram showing the relationship between the wiring length between the voltage application part and the resistor and the amount of the active ingredient. . 図19は、図18Aと図18Bのグラフ図の測定を行った装置を示す概略図である。FIG. 19 is a schematic diagram showing an apparatus that performed the measurements shown in the graphs of FIGS. 18A and 18B. 第10実施形態の放電装置の要部を示す平面図である。It is a top view which shows the principal part of the discharge device of 10th Embodiment. 図20のa-a線断面図である。21 is a sectional view taken along the line a-a in FIG. 20. FIG. 図20のb-b線断面図である。21 is a sectional view taken along the line bb in FIG. 20. FIG. 図23は、第11実施形態の放電装置の要部を示すブロック図である。FIG. 23 is a block diagram showing the main parts of the discharge device according to the eleventh embodiment. 図24は、同上の放電装置の変形例の要部を示すブロック図である。FIG. 24 is a block diagram showing main parts of a modified example of the discharge device same as the above.

第1の発明は、放電電極と、前記放電電極に電圧を印加し、コロナ放電からさらに進展した放電を前記放電電極に生じさせる電圧印加部を具備する放電装置である。前記放電は、前記放電電極から周囲に伸びるように絶縁破壊された放電経路を、断続的に発生させる放電である。これにより、有効成分の生成量を増大させることができ、かつ、このときにオゾンが増大することは抑えることができる。 A first invention is a discharge device that includes a discharge electrode and a voltage application section that applies a voltage to the discharge electrode and causes the discharge electrode to generate a discharge that is further developed from a corona discharge. The discharge is a discharge that intermittently generates a dielectrically broken discharge path extending from the discharge electrode to the surrounding area. Thereby, the amount of active ingredients produced can be increased, and at the same time, an increase in ozone can be suppressed.

第2の発明は、特に、第1の発明において、前記放電電極に液体を供給する液体供給部をさらに具備する。前記放電によって、前記放電電極に供給された前記液体が静電霧化される。これにより、帯電微粒子液の生成量を増大させることができ、かつ、このときにオゾンが増大することは抑えることができる。 A second invention is particularly based on the first invention, further comprising a liquid supply section that supplies liquid to the discharge electrode. The liquid supplied to the discharge electrode is electrostatically atomized by the discharge. Thereby, it is possible to increase the amount of charged fine particle liquid produced, and at the same time, it is possible to suppress an increase in ozone.

第3の発明は、特に、第1または第2の発明において、前記放電電極と対向して位置する対向電極をさらに具備する。前記放電は、前記放電電極と前記対向電極の間で、両者をつなぐように絶縁破壊された放電経路を、断続的に発生させる。これにより、絶縁破壊された放電経路を断続的に発生させる放電を、前記放電電極と前記対向電極の間で安定的に生じさせることができる。 In a third aspect of the present invention, particularly in the first or second aspect of the present invention, the discharge electrode further includes a counter electrode located opposite to the discharge electrode. The discharge intermittently generates a dielectrically broken discharge path between the discharge electrode and the counter electrode so as to connect the two. Thereby, a discharge that intermittently generates a dielectrically broken discharge path can be stably generated between the discharge electrode and the counter electrode.

第4の発明は、特に、第3の発明において、前記対向電極は、前記放電電極に対向する針状電極部を備える。これにより、絶縁破壊された放電経路を断続的に発生させる放電を、前記放電電極と前記針状電極部の間で安定的に生じさせることができる。 In a fourth aspect, particularly in the third aspect, the opposing electrode includes a needle-shaped electrode portion facing the discharge electrode. Thereby, a discharge that intermittently generates a dielectrically broken discharge path can be stably generated between the discharge electrode and the needle-shaped electrode portion.

第5の発明は、特に、第4の発明において、前記針状電極部は、先端部分と基端部分を互いに反対側に有し、前記放電電極は軸方向を有し、前記軸方向における前記先端部分と前記放電電極の距離は、前記軸方向における前記基端部分と前記放電電極の距離よりも小さい。これにより、絶縁破壊された放電経路を断続的に発生させる放電を、前記放電電極と前記針状電極部の間で安定的に生じさせることができる。 In a fifth invention, particularly in the fourth invention, the needle-shaped electrode portion has a distal end portion and a proximal end portion on opposite sides, the discharge electrode has an axial direction, and the discharge electrode has an axial direction, and The distance between the tip end portion and the discharge electrode is smaller than the distance between the base end portion and the discharge electrode in the axial direction. Thereby, a discharge that intermittently generates a dielectrically broken discharge path can be stably generated between the discharge electrode and the needle-like electrode portion.

第6の発明は、特に、第5の発明において、前記対向電極は、前記軸方向に直交する姿勢で保持される支持電極部と、前記支持電極部と前記針状電極部の間に介在する段差部をさらに備える。前記軸方向における前記基端部分と前記放電電極の距離は、前記軸方向における前記支持電極部と前記放電電極の距離よりも大きい。これにより、前記針状電極部の前記先端部分が大きく突出することを抑え、前記針状電極部が変形することを抑制することができる。 In a sixth invention, particularly in the fifth invention, the counter electrode is interposed between a supporting electrode part held in a posture perpendicular to the axial direction, and the supporting electrode part and the needle-shaped electrode part. It further includes a stepped portion. A distance between the base end portion and the discharge electrode in the axial direction is greater than a distance between the support electrode portion and the discharge electrode in the axial direction. Thereby, it is possible to suppress the tip portion of the needle-like electrode portion from protruding greatly and to suppress deformation of the needle-like electrode portion.

第7の発明は、特に、第4~6のいずれか1つの発明において、前記針状電極部は、前記針状電極部の変形を抑制するための溝部を有し、前記溝部は、前記針状電極部の一部が、前記針状電極部の厚み方向に曲がることで形成されている。これにより、前記針状電極部の断面二次モーメントを増大させ、前記針状電極部の変形を抑制することができる。 In a seventh invention, particularly in any one of the fourth to sixth inventions, the needle-like electrode part has a groove part for suppressing deformation of the needle-like electrode part, and the groove part is arranged in the needle-like electrode part. A part of the needle-shaped electrode part is formed by bending in the thickness direction of the needle-shaped electrode part. Thereby, it is possible to increase the moment of inertia of the acicular electrode portion and suppress deformation of the acicular electrode portion.

第8の発明は、特に、第4の発明において、前記対向電極は、前記針状電極部を支持する支持電極部をさらに備え、前記針状電極部と前記支持電極部は、互いに材質が異なる部材である。これにより、コスト増大を抑えながら前記針状電極部のリーダ放電に対する耐性を高めることができる。 In an eighth invention, particularly in the fourth invention, the counter electrode further includes a support electrode part that supports the needle electrode part, and the needle electrode part and the support electrode part are made of different materials. It is a member. Thereby, it is possible to increase the resistance of the needle-shaped electrode portion to leader discharge while suppressing an increase in cost.

第9の発明は、特に、第4~8のいずれか1つの発明において、前記対向電極は、前記針状電極部を複数備える。これにより、生成された有効成分が外部にむけて効率的に放出される。 In a ninth invention, particularly in any one of the fourth to eighth inventions, the opposing electrode includes a plurality of the needle-like electrode parts. As a result, the produced active ingredients are efficiently released to the outside.

第10の発明は、特に、第9の発明において、前記複数の針状電極部のそれぞれの先端部分は、同一円上に位置する。これにより、生成された有効成分が外部にむけてより効率的に放出される。 In a tenth invention, particularly in the ninth invention, the tip portions of each of the plurality of needle-like electrode portions are located on the same circle. This allows the produced active ingredient to be released to the outside more efficiently.

第11の発明は、特に、第10の発明において、前記複数の針状電極部のそれぞれの先端部分は、前記同一円の周方向において、互いに等距離を隔てて位置する。これにより、生成された有効成分が外部にむけてより効率的に放出される。 In an eleventh invention, particularly in the tenth invention, the tip portions of each of the plurality of needle-like electrode portions are located at equal distances from each other in the circumferential direction of the same circle. This allows the produced active ingredient to be released to the outside more efficiently.

第12の発明は、特に、第9~11のいずれか1つの発明において、前記複数の針状電極部はそれぞれ、丸みを帯びた先端部分を有する。これにより、前記複数の針状電極部の製造上のばらつきによって、電界集中の強度に大きなばらつきが生じることが抑えられる。 In a twelfth invention, particularly in any one of the ninth to eleventh inventions, each of the plurality of needle-shaped electrode portions has a rounded tip portion. This prevents large variations in the intensity of electric field concentration from occurring due to manufacturing variations in the plurality of needle-like electrode parts.

第13の発明は、特に、第9~12のいずれか1つの発明において、前記複数の針状電極部はそれぞれ、厚みを有する片状の電極部であり、前記複数の針状電極部のそれぞれの厚み方向の端縁部のうち、前記放電電極に近い部分には、面取りが施されている。これにより、前記複数の針状電極部の製造上のばらつきによって、電界集中の強度に大きなばらつきが生じることが抑えられる。 In a thirteenth invention, in particular, in any one of the ninth to twelfth inventions, each of the plurality of needle-like electrode parts is a thick strip-shaped electrode part, and each of the plurality of needle-like electrode parts is A portion of the edge portion in the thickness direction near the discharge electrode is chamfered. This prevents large variations in the intensity of electric field concentration from occurring due to manufacturing variations in the plurality of needle-like electrode parts.

第14の発明は、特に、第9~13のいずれか1つの発明において、前記複数の針状電極部は、互いに離れて位置する3つ以上の針状電極部である。これにより、生成された有効成分が外部にむけてより効率的に放出される。 In a fourteenth invention, particularly in any one of the ninth to thirteenth inventions, the plurality of needle-like electrode parts are three or more needle-like electrode parts located apart from each other. This allows the produced active ingredient to be released to the outside more efficiently.

第15の発明は、特に、第14の発明において、前記対向電極は、前記3つ以上の針状電極部が配置される開口部をさらに備え、前記開口部の開口面積は、前記3つ以上の針状電極部の総面積よりも大きい。これにより、コロナ放電からリーダ放電に進展しやすくなる。 In a fifteenth invention, particularly in the fourteenth invention, the counter electrode further includes an opening in which the three or more needle-like electrode parts are arranged, and the opening area of the opening is larger than the three or more needle-like electrode parts. is larger than the total area of the needle-like electrode portion. This facilitates the progression from corona discharge to leader discharge.

第16の発明は、特に、第3の発明において、前記対向電極は、前記放電電極に対向する少なくとも1つの先鋭状の凸面と、前記放電電極に対向する対向面を備え、前記対向面は、平坦面、凹曲面、またはこれらが組み合わさった形状を有する。これにより、前記放電電極の前記先端部分で電界集中が生じやすくなる。 In a sixteenth aspect, particularly in the third aspect, the opposing electrode includes at least one sharp convex surface facing the discharge electrode, and an opposing surface facing the discharge electrode, and the opposing surface includes: It has a flat surface, a concave curved surface, or a combination thereof. Thereby, electric field concentration tends to occur at the tip portion of the discharge electrode.

第17の発明は、特に、第1~第16いずれか1つの発明において、前記電圧印加部に対して並列に電気接続されるコンデンサをさらに具備する。これにより、リーダ放電の放電周波数を調整することができる。 A seventeenth invention, particularly in any one of the first to sixteenth inventions, further includes a capacitor electrically connected in parallel to the voltage application section. Thereby, the discharge frequency of the leader discharge can be adjusted.

第18の発明は、特に、第13の発明の放電装置を製造する方法において、前記複数の針状電極部のそれぞれの厚み方向の端縁部を、金型装置の一面上で一度に潰すことにより、前記面取りを施す。これにより、前記複数の針状電極部の前記先端部分の位置が一度に揃えられる。 In an 18th invention, in particular, in the method for manufacturing a discharge device according to the 13th invention, the edge portions in the thickness direction of each of the plurality of needle electrode portions are crushed at one time on one surface of a mold device. The chamfering process is performed using the following steps. Thereby, the positions of the tip portions of the plurality of needle-shaped electrode portions are aligned at once.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に説明する実施形態によって限定されず、以下の各実施形態の構成を適宜に組み合せることも可能である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below, and the configurations of the embodiments described below can be combined as appropriate.

(第1実施形態)
図1には、第1実施形態の放電装置の基本的な構成を示している。本実施形態の放電装置は、放電電極1、電圧印加部2、液体供給部3、対向電極4および通電路5を備える。
(First embodiment)
FIG. 1 shows the basic configuration of the discharge device of the first embodiment. The discharge device of this embodiment includes a discharge electrode 1, a voltage application section 2, a liquid supply section 3, a counter electrode 4, and a current supply path 5.

放電電極1は、細長く形成された針状の電極である。放電電極1は、その軸方向の一端側に先端部分13を有し、軸方向の他端側(先端部分13の反対側)に基端部分15を有する。本文で用いる針状の文言は、先端が鋭く尖っているものに限定されず、先端が丸みを帯びる場合を含む。 The discharge electrode 1 is an elongated needle-like electrode. The discharge electrode 1 has a distal end portion 13 at one end in the axial direction, and a base end portion 15 at the other end in the axial direction (opposite to the distal end portion 13). The term "acicular" used in this text is not limited to those with a sharp tip, but also includes those with a rounded tip.

電圧印加部2は、放電電極1に対して7.0kV程度の高電圧を印加するように、放電電極1に対して電気的に接続されている。本実施形態の放電装置は対向電極4を備えており、電圧印加部2は、放電電極1と対向電極4の間に高電圧を印加するように構成されている。 The voltage application section 2 is electrically connected to the discharge electrode 1 so as to apply a high voltage of about 7.0 kV to the discharge electrode 1. The discharge device of this embodiment includes a counter electrode 4, and the voltage application section 2 is configured to apply a high voltage between the discharge electrode 1 and the counter electrode 4.

液体供給部3は、放電電極1に対して静電霧化用の液体35を供給する手段であり、本実施形態の放電装置では、放電電極1を冷却して結露水を発生させる冷却部30によって液体供給部3が構成されている。冷却部30は放電電極1の基端部分15に接触し、基端部分15を通じて放電電極1全体を冷却する。液体供給部3が放電電極1に供給する液体35は、放電電極1に生じる結露水である。 The liquid supply unit 3 is a means for supplying a liquid 35 for electrostatic atomization to the discharge electrode 1, and in the discharge device of this embodiment, the cooling unit 30 cools the discharge electrode 1 and generates dew condensation water. The liquid supply section 3 is configured by: The cooling unit 30 contacts the base end portion 15 of the discharge electrode 1 and cools the entire discharge electrode 1 through the base end portion 15. The liquid 35 that the liquid supply unit 3 supplies to the discharge electrode 1 is dew condensation water that occurs on the discharge electrode 1 .

対向電極4は、放電電極1の先端部分13に対向して位置する。対向電極4は、その中央部分に開口部43を有する。開口部43は、対向電極4の厚み方向に貫通する。開口部43は、対向電極4のうち、放電電極1の先端部分13に最も近接した領域に設けられている。開口部43が貫通する方向と、放電電極1の軸方向は、互いに平行である。本文中で用いる平行の文言は、厳密に平行な場合に限定されず、略平行な場合を含む。 The counter electrode 4 is located opposite the tip portion 13 of the discharge electrode 1 . The counter electrode 4 has an opening 43 in its central portion. The opening 43 penetrates the counter electrode 4 in the thickness direction. The opening 43 is provided in a region of the opposing electrode 4 that is closest to the tip portion 13 of the discharge electrode 1 . The penetrating direction of the opening 43 and the axial direction of the discharge electrode 1 are parallel to each other. The term "parallel" used in this text is not limited to strictly parallel, but includes substantially parallel.

通電路5は、対向電極4を放電電極1に対して電気的に接続させる通電路であり、その途中に電圧印加部2が配置されている。つまり通電路5は、電圧印加部2と対向電極4を電気的に接続させる第1通電路51と、電圧印加部2と放電電極1を電気的に接続させる第2通電路52を含む。 The current-carrying path 5 is a current-carrying path that electrically connects the counter electrode 4 to the discharge electrode 1, and the voltage applying section 2 is disposed in the middle thereof. That is, the energization path 5 includes a first energization path 51 that electrically connects the voltage application section 2 and the counter electrode 4, and a second energization path 52 that electrically connects the voltage application section 2 and the discharge electrode 1.

本実施形態の放電装置では、放電電極1に液体35が保持された状態で、電圧印加部2により、放電電極1と対向電極4の間で7.0kV程度の高電圧を印加する。これにより、放電電極1と対向電極4の間で放電が生じる。 In the discharge device of this embodiment, a high voltage of about 7.0 kV is applied between the discharge electrode 1 and the counter electrode 4 by the voltage application unit 2 while the liquid 35 is held in the discharge electrode 1 . As a result, discharge occurs between the discharge electrode 1 and the counter electrode 4.

本実施形態の放電装置では、まず放電電極1の先端部分13(先端部分13に保持される液体35の先端)で局所的なコロナ放電を生じさせ、このコロナ放電を、さらに高エネルギーの放電にまで進展させる。この高エネルギーの放電は、放電電極1から周囲に伸びるように絶縁破壊(全路破壊)された放電経路が、断続的に発生する形態の放電である。本実施形態の放電装置では、放電電極1と対向電極4をつなぐように絶縁破壊された放電経路が、断続的に(パルス状に)発生する。このような形態の放電を「リーダ放電」と称する。 In the discharge device of this embodiment, a local corona discharge is first generated at the tip portion 13 of the discharge electrode 1 (the tip of the liquid 35 held in the tip portion 13), and this corona discharge is further converted into a high-energy discharge. progress to. This high-energy discharge is a type of discharge in which a dielectrically broken (total broken) discharge path extending from the discharge electrode 1 to the surrounding area occurs intermittently. In the discharge device of this embodiment, a dielectrically broken discharge path that connects the discharge electrode 1 and the counter electrode 4 is generated intermittently (in a pulsed manner). This type of discharge is called a "leader discharge."

リーダ放電では、コロナ放電と比較して2~10倍程度の瞬間電流が、放電電極1と対向電極4の間で絶縁破壊された放電経路を通じて流れる。図2Aにはコロナ放電で流れる電流を概略的に示し、図2Bには、コロナ放電から進展したリーダ放電で流れる電流を概略的に示している。リーダ放電では、コロナ放電と比較して大きなエネルギーでラジカルが生成され、コロナ放電と比較して2~10倍程度の大量のラジカルが生成される。 In leader discharge, an instantaneous current about 2 to 10 times that in corona discharge flows through a discharge path broken down between discharge electrode 1 and counter electrode 4. FIG. 2A schematically shows a current flowing in a corona discharge, and FIG. 2B schematically shows a current flowing in a leader discharge developed from a corona discharge. In leader discharge, radicals are generated with greater energy than in corona discharge, and a large amount of radicals about 2 to 10 times as large as in corona discharge is generated.

リーダ放電によってラジカルが生成される際に、オゾンも生成される。しかし、リーダ放電では、コロナ放電と比較して2~10倍程度のラジカルが生成されるのに対して、オゾンが生成される量はコロナ放電の場合と同程度に抑えられる。つまり、コロナ放電をさらに進展させてリーダ放電を生じさせることで、ラジカルの発生量に対するオゾンの発生量が、大幅に抑えられる。これは、生成されたオゾンがリーダ放電に晒されながら放出される際に、高エネルギーのリーダ放電によってオゾンの一部が破壊されるからと考えられる。 When radicals are generated by leader discharge, ozone is also generated. However, in leader discharge, about 2 to 10 times more radicals are generated than in corona discharge, whereas the amount of ozone generated is suppressed to the same level as in corona discharge. In other words, by further developing corona discharge and generating leader discharge, the amount of ozone generated relative to the amount of radicals generated can be significantly suppressed. This is thought to be because when the generated ozone is released while being exposed to the leader discharge, a portion of the ozone is destroyed by the high-energy leader discharge.

ここで、リーダ放電についてさらに説明する。 Here, leader discharge will be further explained.

一般的には、対をなす電極間にエネルギーを投入して放電を生じさせると、投入したエネルギーの量に応じて、放電形態がコロナ放電、グロー放電、アーク放電へと進展する。 Generally, when energy is applied between a pair of electrodes to generate a discharge, the form of the discharge progresses to corona discharge, glow discharge, and arc discharge depending on the amount of input energy.

コロナ放電は、一方の電極で局所的に発生する放電であり、電極間の絶縁破壊を伴わない。グロー放電とアーク放電は、対をなす電極間での絶縁破壊を伴う放電であり、エネルギーが投入されている間は、その絶縁破壊された放電経路が継続的に存在する。 Corona discharge is a discharge that occurs locally at one electrode and is not accompanied by dielectric breakdown between the electrodes. Glow discharge and arc discharge are discharges accompanied by dielectric breakdown between a pair of electrodes, and as long as energy is applied, a discharge path with dielectric breakdown continues to exist.

これに対してリーダ放電は、対をなす電極間での絶縁破壊を伴うが、その絶縁破壊が継続的に存在するのではなく、断続的に発生する。 In contrast, leader discharge is accompanied by dielectric breakdown between a pair of electrodes, but the dielectric breakdown does not exist continuously but occurs intermittently.

本実施形態の放電装置では、放電電極1と対向電極4の間でこのような形態のリーダ放電が生じるように、電圧印加部2の電気的な容量(単位時間に放出可能な電気の容量)を設定している。つまり、本実施形態の放電装置では、コロナ放電から進展して絶縁破壊に至ると、絶縁破壊された放電経路を通じて大きな瞬間電流が流れるが、その直後に電圧が低下して放電が停止し、また電圧が上昇して絶縁破壊に至るということを繰り返すように、電圧印加部2の電気的な容量が設定されている。この容量設定によって、グロー放電やアーク放電のように絶縁破壊が継続されるのではなく、瞬間的な絶縁破壊と放電停止が交互に繰り返されるリーダ放電が、実現される。 In the discharge device of this embodiment, the electrical capacity (capacity of electricity that can be released per unit time) of the voltage application section 2 is adjusted so that this type of leader discharge occurs between the discharge electrode 1 and the counter electrode 4. is set. In other words, in the discharge device of this embodiment, when corona discharge progresses to dielectric breakdown, a large instantaneous current flows through the dielectrically broken discharge path, but immediately after that, the voltage drops and the discharge stops, and then The electrical capacity of the voltage application section 2 is set so that the voltage increases and dielectric breakdown occurs repeatedly. This capacitance setting realizes a leader discharge in which instantaneous dielectric breakdown and discharge stop are alternately repeated, rather than continuous dielectric breakdown as in glow discharge or arc discharge.

現状確認される一例として、リーダ放電における放電周波数(瞬間電流の頻度)は50Hz~10kHz程度であり、1回のパルス幅は大きくて200ns程度である。このように、瞬間的な放電(エネルギーの高い状態)と放電停止(エネルギーの低い状態)を繰り返す点において、グロー放電やアーク放電とは明確に相違する。 As an example currently confirmed, the discharge frequency (frequency of instantaneous current) in leader discharge is about 50 Hz to 10 kHz, and the width of one pulse is about 200 ns at most. In this way, it is clearly different from glow discharge and arc discharge in that it repeats instantaneous discharge (high energy state) and discharge stop (low energy state).

本実施形態の放電装置では、液体供給部3によって放電電極1に液体35が供給される。そのため、断続的な絶縁破壊を伴う高エネルギーのリーダ放電によって、液体35が静電霧化され、内部にラジカルを含有するナノメータサイズの帯電微粒子液が生成される。生成された帯電微粒子液は、開口部43を通じて外部に放出される。 In the discharge device of this embodiment, the liquid 35 is supplied to the discharge electrode 1 by the liquid supply section 3. Therefore, the liquid 35 is electrostatically atomized by high-energy leader discharge accompanied by intermittent dielectric breakdown, and a nanometer-sized charged fine particle liquid containing radicals is generated. The generated charged fine particle liquid is discharged to the outside through the opening 43.

リーダ放電で生成された帯電微粒子液は、コロナ放電で生成された帯電微粒子液と比較して大量のラジカルを含み、しかもオゾンの生成はコロナ放電の場合と同程度に抑えられる。 The charged fine particle liquid generated by leader discharge contains a larger amount of radicals than the charged fine particle liquid generated by corona discharge, and the generation of ozone is suppressed to the same extent as in the case of corona discharge.

以上、図1等に基づいて説明した本実施形態の放電装置は、帯電微粒子液を生成するために液体供給部3を備えた装置(静電霧化装置)であるが、液体供給部3を備えずに構成することも可能である。この場合、放電電極1と対向電極4の間で生じるリーダ放電によって、空気イオンが生成される。 The discharge device of this embodiment described above based on FIG. It is also possible to configure the system without it. In this case, air ions are generated by the leader discharge that occurs between the discharge electrode 1 and the counter electrode 4.

また、本実施形態の放電装置は対向電極4を備えているが、対向電極4を備えずに構成することも可能である。この場合、放電電極1と、放電電極1の周辺の何らかの部材との間でリーダ放電を生じさせれば、リーダ放電によって帯電微粒子液が生成される。本実施形態の放電装置において、液体供給部3と対向電極4をともに備えないことも可能である。この場合、放電電極1と、放電電極1の周辺の何らかの部材との間でリーダ放電を生じさせれば、リーダ放電によって空気イオンが生成される。 Moreover, although the discharge device of this embodiment is equipped with the counter electrode 4, it is also possible to configure it without the counter electrode 4. In this case, if a leader discharge is generated between the discharge electrode 1 and some member around the discharge electrode 1, a charged fine particle liquid is generated by the leader discharge. In the discharge device of this embodiment, it is also possible not to include both the liquid supply section 3 and the counter electrode 4. In this case, if a leader discharge is caused between the discharge electrode 1 and some member around the discharge electrode 1, air ions are generated by the leader discharge.

(第2実施形態)
第2実施形態の放電装置について、図3A、図3Bに基づいて説明する。なお、第1実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Second embodiment)
The discharge device of the second embodiment will be described based on FIGS. 3A and 3B. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the first embodiment will be omitted.

図3Aには、本実施形態の放電装置の基本的な構成を示している。本実施形態の放電装置は、対向電極4が針状電極部41とこれを支持する支持電極部42を一体に備える点において、第1実施形態と相違する。 FIG. 3A shows the basic configuration of the discharge device of this embodiment. The discharge device of this embodiment is different from the first embodiment in that the counter electrode 4 integrally includes a needle-like electrode section 41 and a supporting electrode section 42 that supports the needle-like electrode section 41 .

針状電極部41は、支持電極部42のうち放電電極1に対向する対向面420から、放電電極1に近づく側にむけて突出する電極部である。針状電極部41は、先鋭状の凸面を有する。対向電極4の全体のうち、針状電極部41の先端が最も放電電極1に近く位置する。針状電極部41は、対向電極4が有する開口部43の近傍に位置する。本実施形態の放電装置では、針状電極部41を一つ備えるが、針状電極部41を複数備えることも可能である。 The needle-like electrode portion 41 is an electrode portion that protrudes from the opposing surface 420 of the support electrode portion 42 that faces the discharge electrode 1 toward the side that approaches the discharge electrode 1 . The needle electrode portion 41 has a sharp convex surface. Of the entire counter electrode 4, the tip of the needle-like electrode portion 41 is located closest to the discharge electrode 1. The needle-like electrode portion 41 is located near the opening 43 that the counter electrode 4 has. Although the discharge device of this embodiment includes one needle-like electrode section 41, it is also possible to include a plurality of needle-like electrode sections 41.

支持電極部42は、平坦な対向面を有する平板状の電極部421と、凹曲した対向面を有するドーム状の電極部422で構成されている。電極部421と電極部422の対向面によって、支持電極部42の対向面420が構成されている。支持電極部42の対向面420は、平坦面と凹曲面が組み合わさった形状を有する。 The supporting electrode section 42 includes a flat electrode section 421 having a flat opposing surface and a dome-shaped electrode section 422 having a concave opposing surface. The opposing surfaces of the electrode section 421 and the electrode section 422 constitute the opposing surface 420 of the supporting electrode section 42 . The opposing surface 420 of the support electrode section 42 has a shape that is a combination of a flat surface and a concave curved surface.

本実施形態の放電装置は、上記構成を備えるので、対向電極4の針状電極部41と放電電極1の先端部分13(つまり先端部分13に保持される液体35の先端)で電界集中が生じ、対向電極4の針状電極部41と放電電極1の先端部分13の間で、絶縁破壊によるリーダ放電が安定的に発生する。加えて、支持電極部42の対向面420によって、放電電極1の先端部分13での電界集中が一層高められる。 Since the discharge device of this embodiment has the above configuration, electric field concentration occurs between the needle-shaped electrode portion 41 of the counter electrode 4 and the tip portion 13 of the discharge electrode 1 (that is, the tip of the liquid 35 held in the tip portion 13). , leader discharge occurs stably between the needle-like electrode portion 41 of the counter electrode 4 and the tip portion 13 of the discharge electrode 1 due to dielectric breakdown. In addition, the opposing surface 420 of the supporting electrode portion 42 further increases the electric field concentration at the tip portion 13 of the discharge electrode 1.

図3Bには、本実施形態の放電装置の変形例を示している。この変形例では、支持電極部42が、凹曲した対向面を有するドーム状の電極部423で構成されている。支持電極部42の対向面420は、放電電極1の先端部分13を中心として凹状に湾曲した凹曲面である。 FIG. 3B shows a modification of the discharge device of this embodiment. In this modification, the support electrode section 42 is comprised of a dome-shaped electrode section 423 having a concave opposing surface. The opposing surface 420 of the supporting electrode portion 42 is a concave curved surface that is concavely curved around the tip portion 13 of the discharge electrode 1 .

この変形例においても、対向電極4の針状電極部41と放電電極1の先端部分13の間で、絶縁破壊によるリーダ放電が安定的に発生するという利点や、放電電極1の先端部分13での電界集中が一層高められるという利点がある。なお、対向電極4の支持電極部42の対向面420は、適宜の平坦面、凹曲面、またはこれらが組み合わされた形状の面であればよい。 This modification also has the advantage that leader discharge occurs stably due to dielectric breakdown between the needle-shaped electrode part 41 of the counter electrode 4 and the tip part 13 of the discharge electrode 1, and This has the advantage that electric field concentration can be further increased. Note that the opposing surface 420 of the supporting electrode portion 42 of the opposing electrode 4 may be any suitable flat surface, concave curved surface, or a combination thereof.

(第3実施形態)
第3実施形態の放電装置について、図4A、図4Bに基づいて説明する。なお、第1実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Third embodiment)
A discharge device of a third embodiment will be described based on FIGS. 4A and 4B. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the first embodiment will be omitted.

図4Aには、本実施形態の放電装置を示している。本実施形態の放電装置においては、放電電極1と対向電極4を電気的に接続させる通電路5の途中に、リーダ放電の電流ピークを調整するための制限抵抗6を設けている。具体的には、通電路5のうち、電圧印加部2と対向電極4を電気的に接続させる第1通電路51の途中に、制限抵抗6を配している。 FIG. 4A shows the discharge device of this embodiment. In the discharge device of this embodiment, a limiting resistor 6 for adjusting the current peak of leader discharge is provided in the middle of a current-carrying path 5 that electrically connects the discharge electrode 1 and the counter electrode 4. Specifically, a limiting resistor 6 is disposed in the middle of a first current conducting path 51 that electrically connects the voltage applying section 2 and the counter electrode 4 in the current conducting path 5 .

リーダ放電では、絶縁破壊された放電経路を通じて瞬間電流が流れ、その際の電流抵抗が非常に小さくなるので、本実施形態の放電装置では、第1通電路51に制限抵抗6を設けて瞬間電流の電流ピークを抑えている。瞬間電流の電流ピークを抑えることで、NOxの発生が抑えられるという利点や、電気的ノイズの影響が大きくなり過ぎることが抑えられるという利点がある。制限抵抗6は、専用の素子を用いて構成されるものに限らず、設定どおりの電気的抵抗を有する構造であれば、適宜の構成が採用可能である。 In leader discharge, an instantaneous current flows through a dielectrically broken discharge path, and the current resistance at that time becomes very small. Therefore, in the discharge device of this embodiment, a limiting resistor 6 is provided in the first current-carrying path 51 to control the instantaneous current. The current peak is suppressed. Suppressing the current peak of the instantaneous current has the advantage of suppressing the generation of NOx and the advantage of suppressing the influence of electrical noise from becoming too large. The limiting resistor 6 is not limited to being constructed using a dedicated element, and may have any suitable structure as long as it has a set electrical resistance.

図4Bには、本実施形態の放電装置の変形例を示している。この変形例では、電圧印加部2と放電電極1を電気的に接続させる第2通電路52の途中に、制限抵抗6を配している。この変形例においても、制限抵抗6によってリーダ放電の瞬間電流のピーク値が抑えられる。 FIG. 4B shows a modification of the discharge device of this embodiment. In this modification, a limiting resistor 6 is disposed in the middle of a second energizing path 52 that electrically connects the voltage application section 2 and the discharge electrode 1. Also in this modification, the peak value of the instantaneous current of the leader discharge is suppressed by the limiting resistor 6.

(第4実施形態)
第4実施形態の放電装置について、図5に基づいて説明する。なお、第3実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Fourth embodiment)
A discharge device according to a fourth embodiment will be described based on FIG. 5. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the third embodiment will be omitted.

本実施形態の放電装置においては、通電路5の途中に、リーダ放電における放電周波数を調整するコンデンサ7を配している。コンデンサ7は、電圧印加部2に対して並列に電気接続されている。上述したように、リーダ放電では、瞬間電流が流れるときの電流抵抗が非常に小さくなるので、通電路5にこのようなコンデンサ7を配置することで、リーダ放電の放電周波数が効果的に調整される。 In the discharge device of this embodiment, a capacitor 7 is disposed in the middle of the energizing path 5 to adjust the discharge frequency in leader discharge. Capacitor 7 is electrically connected in parallel to voltage application section 2 . As mentioned above, in leader discharge, the current resistance when instantaneous current flows becomes very small, so by arranging such a capacitor 7 in the current carrying path 5, the discharge frequency of leader discharge can be effectively adjusted. Ru.

コンデンサ7は、専用の素子を用いて構成されるものに限らず、設定どおりの容量を有する構造であれば、適宜の構成が採用可能である。 The capacitor 7 is not limited to one constructed using a dedicated element, and may have any suitable structure as long as it has a set capacitance.

(第5実施形態)
第5実施形態の放電装置について、図6Aに基づいて説明する。なお、第2実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Fifth embodiment)
A discharge device according to a fifth embodiment will be described based on FIG. 6A. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the second embodiment will be omitted.

本実施形態の放電装置では、絶縁破壊を伴うリーダ放電を安定的に発生させるための手段として、第2実施形態のような先鋭状の凸面を有する針状電極部41を設けるのではなく、互いに平行な2つの棒状電極部46を一体に設けている。対向電極4は、円形状の開口部43を有し、放電電極1の軸方向に沿って視たときに、開口部43の内側に2つの棒状電極部46が位置し、2つの棒状電極部46の間に放電電極1が位置する。2つの棒状電極部46における放電電極1の先端部分13との間の最短距離は、互いに同一である。本文中で用いる同一の文言は、厳密に同一な場合に限定されず、略同一な場合を含む。 In the discharge device of this embodiment, as a means for stably generating leader discharge accompanied by dielectric breakdown, instead of providing the needle-like electrode portion 41 having a sharp convex surface as in the second embodiment, Two parallel rod-shaped electrode portions 46 are integrally provided. The counter electrode 4 has a circular opening 43, and when viewed along the axial direction of the discharge electrode 1, two rod-shaped electrode parts 46 are located inside the opening 43, and two rod-shaped electrode parts 46 are located inside the opening 43. Discharge electrode 1 is located between 46. The shortest distance between the two rod-shaped electrode parts 46 and the tip part 13 of the discharge electrode 1 is the same. The same words used in the text are not limited to strictly the same, but include substantially the same.

本実施形態の放電装置では、対向電極4の各棒状電極部46のうち放電電極1の先端部分13に最も近い部分と、放電電極1の先端部分13との間で、絶縁破壊によるリーダ放電を安定的に発生させることができる。 In the discharge device of this embodiment, leader discharge due to dielectric breakdown occurs between the portion of each rod-shaped electrode portion 46 of the counter electrode 4 that is closest to the tip portion 13 of the discharge electrode 1 and the tip portion 13 of the discharge electrode 1. It can be generated stably.

(第6実施形態)
第6実施形態の放電装置について、図6Bに基づいて説明する。なお、第2実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Sixth embodiment)
A discharge device according to the sixth embodiment will be described based on FIG. 6B. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the second embodiment will be omitted.

本実施形態の放電装置では、リーダ放電を安定的に発生させるための手段として、針状電極部41を設けるのではなく、対向電極4の開口部43の開口縁の形状を多角形状(四角形)に設けている。放電電極1の軸方向に沿って視たときに、開口部43の中央に放電電極1が位置する。開口部43の内周面は、周方向に連続する複数(4つ)の平坦面で構成されている。各平坦面における放電電極1の先端部分13との間の最短距離は、互いに同一である。 In the discharge device of this embodiment, as a means for stably generating leader discharge, the shape of the opening edge of the opening 43 of the counter electrode 4 is polygonal (quadrangular) instead of providing the needle-like electrode part 41. It is set up in When viewed along the axial direction of the discharge electrode 1, the discharge electrode 1 is located at the center of the opening 43. The inner circumferential surface of the opening 43 is composed of a plurality of (four) flat surfaces that are continuous in the circumferential direction. The shortest distance between each flat surface and the tip portion 13 of the discharge electrode 1 is the same.

本実施形態の放電装置では、放電電極1の先端部分13と、開口部43の内周面を構成する各平坦面のうち放電電極1の先端部分13に最も近い部分との間で、リーダ放電を安定的に発生させることができる。 In the discharge device of this embodiment, a leader discharge is generated between the tip portion 13 of the discharge electrode 1 and the portion closest to the tip portion 13 of the discharge electrode 1 among the flat surfaces forming the inner peripheral surface of the opening 43. can be generated stably.

(第7実施形態)
第7実施形態の放電装置について、図6Cに基づいて説明する。なお、第2実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Seventh embodiment)
The discharge device of the seventh embodiment will be described based on FIG. 6C. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the second embodiment will be omitted.

本実施形態の放電装置では、リーダ放電を安定的に発生させるための手段として、針状電極部41を設けるのではなく、対向電極4の開口部43の開口縁の形状を楕円形状に設けている。放電電極1の軸方向に沿って視たときに、開口部43の中央に放電電極1が位置する。 In the discharge device of this embodiment, as a means for stably generating leader discharge, instead of providing the needle-like electrode portion 41, the opening edge of the opening 43 of the counter electrode 4 is provided in an elliptical shape. There is. When viewed along the axial direction of the discharge electrode 1, the discharge electrode 1 is located at the center of the opening 43.

本実施形態の放電装置では、放電電極1の先端部分13と、開口部43の内周面のうち放電電極1の先端部分13に最も近い2箇所の部分との間で、リーダ放電を安定的に発生させることができる。 In the discharge device of this embodiment, leader discharge is stably performed between the tip portion 13 of the discharge electrode 1 and two portions of the inner peripheral surface of the opening 43 that are closest to the tip portion 13 of the discharge electrode 1. can be generated.

(第8実施形態)
第8実施形態の放電装置について、図7~図14に基づいて説明する。なお、第2実施形態や第3実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Eighth embodiment)
The discharge device of the eighth embodiment will be explained based on FIGS. 7 to 14. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the second embodiment and the third embodiment will be omitted.

図7~図9に示すように、本実施形態の放電装置は、放電電極1、電圧印加部2、液体供給部3(冷却部30)、対向電極4および通電路5を備え、さらに制限抵抗6を備えている。放電電極1や対向電極4は、筐体80によって所定の位置および姿勢で保持されている。制限抵抗6は、第3実施形態と同様に、電圧印加部2と対向電極4を電気的に接続させる第1通電路51の途中に配されている。 As shown in FIGS. 7 to 9, the discharge device of this embodiment includes a discharge electrode 1, a voltage application section 2, a liquid supply section 3 (cooling section 30), a counter electrode 4, and a current conduction path 5, and further includes a limiting resistor. It is equipped with 6. The discharge electrode 1 and the counter electrode 4 are held at predetermined positions and postures by a housing 80. As in the third embodiment, the limiting resistor 6 is disposed in the middle of the first energizing path 51 that electrically connects the voltage applying section 2 and the counter electrode 4.

液体供給部3を構成する冷却部30は、一対のペルチェ素子301と、一対のペルチェ素子301に対して一対一で接続された一対の放熱板302を備え、一対のペルチェ素子301への通電によって放電電極1を冷却するように構成された熱交換器である。各放熱板302は、その一部が合成樹脂製の筐体80に埋め込まれ、各放熱板302のうちペルチェ素子301に接続される部分とその周辺部分は、放熱可能に露出している。 The cooling unit 30 constituting the liquid supply unit 3 includes a pair of Peltier elements 301 and a pair of heat sinks 302 connected one-to-one to the pair of Peltier elements 301. This is a heat exchanger configured to cool the discharge electrode 1. A portion of each heat sink 302 is embedded in the synthetic resin casing 80, and a portion of each heat sink 302 connected to the Peltier element 301 and a surrounding portion thereof are exposed to enable heat radiation.

一対のペルチェ素子301のそれぞれの冷却側は、放電電極1の基端部分15に対して、半田を介して機械的にかつ電気的に接続されている。一対のペルチェ素子301のそれぞれの放熱側は、一対一に対応する放熱板302に対して、半田を介して機械的にかつ電気的に接続されている。一対のペルチェ素子301への通電は、一対の放熱板302と放電電極1を通じて行われる。 The cooling side of each of the pair of Peltier elements 301 is mechanically and electrically connected to the base end portion 15 of the discharge electrode 1 via solder. The heat radiation side of each of the pair of Peltier elements 301 is mechanically and electrically connected to the corresponding heat radiation plate 302 via solder. The pair of Peltier elements 301 are energized through the pair of heat sinks 302 and the discharge electrode 1.

対向電極4は、放電電極1の軸方向と直交する姿勢で保持される平板状の支持電極部42と、支持電極部42よりも放電電極1に近く位置するように支持電極部42によって支持される4つの針状電極部41を備える。本文中で用いる直交の文言は、厳密な意味での直交に限定されず、略直交の場合を含む。 The counter electrode 4 is supported by a flat support electrode part 42 held in a posture perpendicular to the axial direction of the discharge electrode 1 and by the support electrode part 42 so as to be located closer to the discharge electrode 1 than the support electrode part 42. It has four needle-like electrode parts 41. The word orthogonal used in this text is not limited to orthogonal in a strict sense, but includes substantially orthogonal.

各針状電極部41は、細長い片状の電極部であり、その長手方向の一側に先鋭状の先端部分413を有し、長手方向の他側(先端部分413の反対側)に基端部分415を有する。各針状電極部41は、対向電極4が備える円形状の開口部43の周縁部から、開口部43の中心に向けて伸びるように形成されている。4つの針状電極部41は、開口部43の周縁部のうち周方向に等間隔を隔てた4箇所の部分から、互いに近づく方向に伸びている。本文中で用いる等間隔の文言は、厳密に等間隔な場合に限定されず、略等間隔な場合を含む。 Each needle-like electrode part 41 is an elongated piece-like electrode part, and has a sharp tip part 413 on one side in the longitudinal direction, and a proximal end on the other side in the longitudinal direction (opposite side of the tip part 413). It has a portion 415. Each needle-shaped electrode portion 41 is formed to extend from the periphery of the circular opening 43 of the counter electrode 4 toward the center of the opening 43 . The four needle-shaped electrode portions 41 extend from four portions of the peripheral edge of the opening 43 that are equally spaced apart in the circumferential direction in a direction toward each other. The words "evenly spaced" used in this text are not limited to strictly evenly spaced, but include substantially equally spaced.

図8に示すように、放電電極1の軸方向に沿って視たときに、各針状電極部41の先端部分413は、放電電極1を中心とした同一円上に位置し、かつ、その同一円の周方向において、互いに等距離を隔てて位置する。 As shown in FIG. 8, when viewed along the axial direction of the discharge electrode 1, the tip portions 413 of each needle-shaped electrode part 41 are located on the same circle centered on the discharge electrode 1, and They are located equidistant from each other in the circumferential direction of the same circle.

図7や図9に示すように、各針状電極部41は、支持電極部42と平行な姿勢(放電電極1の軸方向に直交する姿勢)から、僅かに傾いた姿勢で保持されている。この傾きは、各針状電極部41の先端部分413を放電電極1に近づける方向の傾きである。放電電極1の軸方向において、先端部分413と放電電極1の距離D1は、基端部分415と放電電極1の距離D2よりも小さい。 As shown in FIGS. 7 and 9, each needle electrode part 41 is held in a slightly inclined position from a position parallel to the supporting electrode part 42 (a position perpendicular to the axial direction of the discharge electrode 1). . This inclination is a direction in which the tip portion 413 of each needle-like electrode portion 41 approaches the discharge electrode 1. In the axial direction of the discharge electrode 1, the distance D1 between the distal end portion 413 and the discharge electrode 1 is smaller than the distance D2 between the base end portion 415 and the discharge electrode 1.

各針状電極部41の姿勢をこのように設定することで、各針状電極部41の先端部分413で電界集中が生じやすくなり、その結果、各針状電極部41の先端部分413と放電電極1の先端部分13の間で、リーダ放電が安定的に生じやすくなるという利点がある。 By setting the posture of each needle-like electrode part 41 in this way, electric field concentration tends to occur at the tip part 413 of each needle-like electrode part 41, and as a result, the distal end part 413 of each needle-like electrode part 41 and discharge There is an advantage that leader discharge is more likely to occur stably between the tip portions 13 of the electrodes 1.

さらに対向電極4は、支持電極部42と各針状電極部41の基端部分415の間に介在する段差部45を備える。段差部45は、開口部43の周縁部を構成する。各針状電極部41は、段差部45から開口部43の中心部に向けて伸びている。支持電極部42と各針状電極部41の間に段差部45が介在することで、放電電極1の軸方向において、基端部分415と放電電極1の距離D2は、支持電極部42と放電電極1の距離D3よりも大きく設けられている。 Further, the counter electrode 4 includes a stepped portion 45 interposed between the supporting electrode portion 42 and the base end portion 415 of each needle electrode portion 41. The step portion 45 constitutes a peripheral portion of the opening portion 43 . Each needle-like electrode portion 41 extends from the stepped portion 45 toward the center of the opening 43 . Since the stepped portion 45 is interposed between the supporting electrode portion 42 and each needle electrode portion 41, the distance D2 between the base end portion 415 and the discharge electrode 1 in the axial direction of the discharge electrode 1 is The distance D3 between the electrodes 1 and 1 is greater than the distance D3 between the electrodes 1.

対向電極4が段差部45を備えることで、針状電極部41の先端部分413が大きく突出することが抑えられる。そのため、搬送や組み立ての際に対向電極4を何らかの平面上に置いたときに、その平面に先端部分413が押し当たって針状電極部41が変形するというリスクが低減される。 By providing the counter electrode 4 with the stepped portion 45, the tip portion 413 of the needle electrode portion 41 is prevented from protruding greatly. Therefore, when the counter electrode 4 is placed on some plane during transportation or assembly, the risk that the tip portion 413 will be pressed against the plane and the needle-like electrode part 41 will be deformed is reduced.

さらに各針状電極部41には、基端部分415から先端部分413に向けて伸びるような外形の溝部417が設けられている。溝部417は、針状電極部41の一部が、針状電極部41の厚み方向に押し曲げられることで形成されている。各針状電極部41は、溝部417を備えることで断面二次モーメントが高められ、これにより変形が生じ難くなるとともに曲げ強度が高められている。 Further, each needle-shaped electrode portion 41 is provided with a groove portion 417 having an outer shape extending from the base end portion 415 toward the distal end portion 413. The groove portion 417 is formed by pressing and bending a part of the needle electrode portion 41 in the thickness direction of the needle electrode portion 41 . Each acicular electrode portion 41 has a groove portion 417, thereby increasing the moment of inertia of the area, thereby making deformation less likely to occur and increasing bending strength.

以上説明した本実施形態の放電装置は、針状電極部41を4つ備え、各針状電極部41の先端部分413と、放電電極1の先端部分13との間で、絶縁破壊された放電経路をそれぞれ断続的に形成し、リーダ放電を生じさせる。ここで生じるリーダ放電は、針状電極部41が1つだけの場合と比較して、放電電極1と対向電極4の間の三次元的に広範な領域で発生する。このリーダ放電によって生成された帯電微粒子液は、4つの針状電極部41と放電電極1の間に形成される電界の向きに沿って、開口部43を通じて効率的に外部に放出される。 The discharge device of the present embodiment described above is provided with four needle-shaped electrode parts 41, and a discharge caused by dielectric breakdown between the tip part 413 of each needle-shaped electrode part 41 and the tip part 13 of the discharge electrode 1 is provided. Each path is formed intermittently to generate a leader discharge. The leader discharge that occurs here occurs in a three-dimensionally wider area between the discharge electrode 1 and the counter electrode 4, compared to the case where there is only one needle-like electrode portion 41. The charged fine particle liquid generated by this leader discharge is efficiently discharged to the outside through the opening 43 along the direction of the electric field formed between the four needle-shaped electrode parts 41 and the discharge electrode 1.

加えて、本実施形態の放電装置では、4つの針状電極部41のそれぞれの先端部分413が同一円上に位置し、かつ、その同一円の周方向において互いに等距離を隔てて位置するので、生成された帯電微粒子液は、開口部43を通じてより効率的に外部に放出される。 In addition, in the discharge device of this embodiment, the tip portions 413 of the four needle-like electrode portions 41 are located on the same circle and are spaced from each other at equal distances in the circumferential direction of the same circle. The generated charged fine particle liquid is more efficiently discharged to the outside through the opening 43.

なお、針状電極部41は4つに限定されず、複数であればよいが、帯電微粒子液を効率的に外部に放出するためには、針状電極部41は3つ以上であることが好ましい。 Note that the number of needle-like electrode parts 41 is not limited to four, and may be a plurality, but in order to efficiently discharge the charged fine particle liquid to the outside, the number of needle-like electrode parts 41 should be three or more. preferable.

図10Aと図10Bには、それぞれ変形例を示している。図10Aに示す変形例は、対向電極4が3つの針状電極部41を備える変形例であり、図10Bに示す変形例は、対向電極4が8つの針状電極部41を備える変形例である。これらの変形例において、溝部417と段差部45は省略されている。 Modifications are shown in FIGS. 10A and 10B, respectively. The modification shown in FIG. 10A is a modification in which the counter electrode 4 has three needle-like electrode parts 41, and the modification shown in FIG. 10B is a modification in which the counter electrode 4 has eight needle-like electrode parts 41. be. In these modifications, the groove portion 417 and the stepped portion 45 are omitted.

開口部43に3つ以上の針状電極部41が配置された対向電極4においては、放電電極1の軸方向に沿って視たときに、開口部43の開口面積が、3つ以上の針状電極部41の総面積よりも大きく設定されることが好ましい。このように開口面積を設定すれば、各針状電極部41の先端部分413に電界が集中しやすくなり、リーダ放電が安定的に生じやすくなる。 In the counter electrode 4 in which three or more needle-like electrode parts 41 are arranged in the opening 43, when viewed along the axial direction of the discharge electrode 1, the opening area of the opening 43 is the same as that of the three or more needles. It is preferable that the area is set larger than the total area of the shaped electrode portion 41. If the opening area is set in this manner, the electric field is likely to concentrate on the tip portion 413 of each needle-shaped electrode portion 41, and leader discharge is likely to occur stably.

ところで、本実施形態の放電装置のように、対向電極4が複数の針状電極部41を備える場合に、各針状電極部41の先端部分413での電界集中の強度は、なるべく均一であることが望ましい。電界集中の強度に大きなばらつきが生じれば、帯電微粒子液が、開口部43を通じて効率的に放出されにくくなる。 By the way, when the counter electrode 4 includes a plurality of needle-like electrode parts 41 as in the discharge device of this embodiment, the intensity of electric field concentration at the tip portion 413 of each needle-like electrode part 41 is as uniform as possible. This is desirable. If large variations occur in the intensity of electric field concentration, it becomes difficult for the charged fine particle liquid to be efficiently discharged through the opening 43.

図11には、各針状電極部41の先端部分413の突端4135に、丸みを帯びさせた変形例を示している。突端4135は、各針状電極部41をその厚み方向から視たときに最も先端に位置する角部である。各針状電極部41の先端部分413が丸みを帯びた形状となることで、電界集中が或る程度緩和される。そのため、各針状電極部41を成形する際の製造上のばらつきによって、電界集中の強度に大きなばらつきが生じることが抑えられる。 FIG. 11 shows a modified example in which the tip end 4135 of the tip portion 413 of each needle electrode portion 41 is rounded. The tip 4135 is a corner located at the tip end when each needle-like electrode portion 41 is viewed from the thickness direction. Since the tip portion 413 of each needle electrode portion 41 has a rounded shape, electric field concentration is alleviated to some extent. Therefore, large variations in the intensity of electric field concentration due to manufacturing variations in forming each needle-like electrode part 41 can be suppressed.

図12A、図12Bには、各針状電極部41の先端部分413の端縁部4137に、面取りを施した変形例を示している。端縁部4137は、先端部分413の厚み方向T1(図12B参照)の両側の端縁部のうち、放電電極1に近い部分の端縁部である。各針状電極部41の端縁部4137に面取りが施されることで、電界集中が或る程度緩和される。そのため、各針状電極部41を成形する際の製造上のばらつきによって、電界集中の強度に大きなばらつきが生じることが抑えられる。 12A and 12B show a modification in which the end edge 4137 of the tip portion 413 of each needle-shaped electrode portion 41 is chamfered. The edge portion 4137 is an edge portion of a portion near the discharge electrode 1 among the edge portions on both sides of the tip portion 413 in the thickness direction T1 (see FIG. 12B). By chamfering the edge portion 4137 of each needle electrode portion 41, electric field concentration is alleviated to some extent. Therefore, large variations in the intensity of electric field concentration due to manufacturing variations in forming each needle-like electrode part 41 can be suppressed.

図13には、各針状電極部41の端縁部4137に面取りを施す金型装置9の要部を示している。金型装置9は、曲げ加工用の上型91と下型92を備える。金型装置9は、上型91と下型92の間で各針状電極部41に曲げ加工を施す際に、下型92の側に設けられた平坦な一面93上で、各針状電極部41の端縁部4137を一括して押し潰し、面取りを施す。この金型装置9によれば、各針状電極部41に曲げ加工を施す際に、あわせて端縁部4137の面取りを施すことができる。加えて、各針状電極部41に面取りを施すときに、各針状電極部41の先端部分413の位置(端縁部4137の位置)が揃えられ、その結果、各針状電極部41の先端部分413と放電電極1との距離が均一化されるという利点がある。 FIG. 13 shows a main part of the mold device 9 that chamfers the end edge 4137 of each needle electrode part 41. The mold device 9 includes an upper mold 91 and a lower mold 92 for bending. The mold device 9 bends each needle electrode part 41 on a flat surface 93 provided on the side of the lower mold 92 when bending each needle electrode part 41 between the upper mold 91 and the lower mold 92. The edge portion 4137 of the portion 41 is crushed all at once and chamfered. According to this mold device 9, when bending each needle-shaped electrode portion 41, the end edge portion 4137 can be chamfered at the same time. In addition, when chamfering each needle electrode portion 41, the positions of the tip portions 413 of each needle electrode portion 41 (positions of edge portions 4137) are aligned, and as a result, the positions of the tip portions 413 of each needle electrode portion 41 are aligned. There is an advantage that the distance between the tip portion 413 and the discharge electrode 1 is made uniform.

これらの変形例では、各針状電極部41の先端部分413での電界集中が緩和され、電界集中の強度のばらつきが抑えられるが、電界集中が緩和されるとリーダ放電に進展しにくくなるという傾向もある。しかし、上述したように、開口部43の開口面積を、複数の針状電極部41の総面積よりも大きく設定したことによって、リーダ放電への進展は安定的に促進される。 In these modified examples, the electric field concentration at the tip portion 413 of each needle electrode part 41 is relaxed, and variations in the strength of the electric field concentration are suppressed, but when the electric field concentration is relaxed, it becomes difficult to develop into a leader discharge. There are also trends. However, as described above, by setting the opening area of the opening 43 to be larger than the total area of the plurality of needle-like electrode parts 41, the progression to leader discharge is stably promoted.

図14には、対向電極4が備える針状電極部41と支持電極部42を、別の材質で形成した変形例を示している。この変形例では、リーダ放電に晒される針状電極部41を、放電に対する耐性が高いチタン、タングステン等の材質で形成し、支持電極部42は、針状電極部41よりも放電に対する耐性の低いステンレス鋼等の材質で形成することができる。この変形例によれば、対向電極4のリーダ放電に対する耐性が、安価な構造で高められるという利点がある。 FIG. 14 shows a modification in which the needle-like electrode part 41 and the supporting electrode part 42 of the counter electrode 4 are formed of different materials. In this modification, the needle electrode part 41 exposed to leader discharge is made of a material such as titanium or tungsten that has high resistance to discharge, and the support electrode part 42 has lower resistance to discharge than the needle electrode part 41. It can be made of a material such as stainless steel. According to this modification, there is an advantage that the resistance of the counter electrode 4 to leader discharge can be increased with an inexpensive structure.

(第9実施形態)
第9実施形態の放電装置について、図15A~図19に基づいて説明する。なお、第8実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Ninth embodiment)
A discharge device according to the ninth embodiment will be described based on FIGS. 15A to 19. Note that detailed explanations of the same configurations as those described in the eighth embodiment will be omitted.

図15Aに示すように、本実施形態の放電装置が備える制限抵抗6は、専用の素子を用いて形成された高圧用の抵抗器60である。抵抗器60は、抵抗素子601と、抵抗素子601に電気的にかつ機械的に接続された一対のリード線602と、各リード線602の端部に電気的にかつ機械的に接続された端子603を有する。高圧用の抵抗器60において、各リード線602は単線で構成されることが一般的であり、曲げに弱い性質(特に繰り返しの曲げに弱い性質)を有するが、これに対して各リード線602は屈曲を抑制することのできる可撓性のカバー605で覆われている。カバー605に覆われたリード線602は、曲げたときの曲率半径が大きく保たれるので、曲げによる応力集中が緩和される。 As shown in FIG. 15A, the limiting resistor 6 included in the discharge device of this embodiment is a high voltage resistor 60 formed using a dedicated element. The resistor 60 includes a resistance element 601, a pair of lead wires 602 electrically and mechanically connected to the resistance element 601, and a terminal electrically and mechanically connected to the end of each lead wire 602. 603. In the high voltage resistor 60, each lead wire 602 is generally composed of a single wire, and has a property of being weak against bending (particularly a property of being weak against repeated bending). is covered with a flexible cover 605 that can suppress bending. Since the lead wire 602 covered by the cover 605 maintains a large radius of curvature when bent, stress concentration due to bending is alleviated.

図15A、図15Bに示すように、本実施形態の放電装置は、抵抗器60を固定するための固定台81をさらに備える。固定台81は、放電電極1や対向電極4を支持する筐体80に対して、一体に装着されている。 As shown in FIGS. 15A and 15B, the discharge device of this embodiment further includes a fixing base 81 for fixing the resistor 60. The fixing base 81 is integrally attached to a housing 80 that supports the discharge electrode 1 and the counter electrode 4.

固定台81には、抵抗素子601と各端子603がそれぞれの所定位置に固定される。これにより、各リード線602は固定台81の所定位置に保持され、各リード線602が繰り返し曲げられるリスクが抑えられる。固定台81の周縁部からは、周壁811が起立している。周壁811は、抵抗器60の少なくとも抵抗素子601と一対のリード線602を囲むように位置する。 A resistive element 601 and each terminal 603 are fixed to the fixed base 81 at respective predetermined positions. Thereby, each lead wire 602 is held at a predetermined position on the fixing base 81, and the risk of each lead wire 602 being repeatedly bent is suppressed. A peripheral wall 811 stands up from the peripheral edge of the fixed base 81. The peripheral wall 811 is located so as to surround at least the resistance element 601 and the pair of lead wires 602 of the resistor 60.

図15Bに示すように、固定台81には蓋82を着脱自在に被せることが可能である。抵抗素子601と一対のリード線602は、周壁811と蓋82によって、外部から触ることができないように覆われる。 As shown in FIG. 15B, the fixing base 81 can be removably covered with a lid 82. The resistance element 601 and the pair of lead wires 602 are covered by the peripheral wall 811 and the lid 82 so that they cannot be touched from the outside.

図16と図17には、図15A、図15Bに示すような固定台81を備えずに抵抗器60を設置した変形例を、それぞれ示している。図16の変形例では、対向電極4に対して抵抗器60の一方のリード線602を、電気的にかつ機械的に直接接続させている。 16 and 17 respectively show a modification in which the resistor 60 is installed without the fixing base 81 as shown in FIGS. 15A and 15B. In the modification shown in FIG. 16, one lead wire 602 of the resistor 60 is directly electrically and mechanically connected to the counter electrode 4.

図17の変形例では、対向電極4に対して抵抗器60を、電気的にかつ機械的に直接接続させ、さらに抵抗器60を筐体80の外面に固定している。この変形例では、筐体80の裏面側(対向電極4が位置する側と反対側)の部分が、固定台81を兼ねている。 In the modification shown in FIG. 17, a resistor 60 is electrically and mechanically directly connected to the counter electrode 4, and furthermore, the resistor 60 is fixed to the outer surface of the casing 80. In this modification, a portion on the back side of the casing 80 (the side opposite to the side where the counter electrode 4 is located) also serves as the fixing base 81.

図16と図17の変形例は、対向電極4に対して制限抵抗6を直付けした例であり、言い換えれば、対向電極4と制限抵抗6の間の配線の長さを0mmに設定した例である。制限抵抗6を第1通電路51中に配置する場合、対向電極4と制限抵抗6の間の配線の長さは、0~30mmの範囲内で設定されることが好ましい。これは、絶縁破壊された放電経路を通じて瞬間電流が流れるときは電流抵抗が非常に小さくなるので、対向電極4と制限抵抗6の間の配線の長さが30mmを超えると、その配線の浮遊容量の影響によって放電が不安定化するからである。 The modified examples shown in FIGS. 16 and 17 are examples in which the limiting resistor 6 is directly attached to the counter electrode 4. In other words, the length of the wiring between the counter electrode 4 and the limiting resistor 6 is set to 0 mm. It is. When the limiting resistor 6 is disposed in the first energizing path 51, the length of the wiring between the counter electrode 4 and the limiting resistor 6 is preferably set within the range of 0 to 30 mm. This is because when the instantaneous current flows through a dielectrically broken discharge path, the current resistance becomes very small, so if the length of the wiring between the counter electrode 4 and the limiting resistor 6 exceeds 30 mm, the stray capacitance of that wiring This is because the discharge becomes unstable due to the influence of

図18Aのグラフに示す測定結果からも、対向電極4と制限抵抗6の間の配線の長さが30mmを超えると、リーダ放電により生成される有効成分量(ラジカル量)が低下することが確認される。図18Aの縦軸には数値を示していないが、発生するラジカル量の上限は5兆個/sec程度である。 The measurement results shown in the graph of FIG. 18A also confirm that when the length of the wiring between the counter electrode 4 and the limiting resistor 6 exceeds 30 mm, the amount of active ingredients (radical amount) generated by leader discharge decreases. be done. Although no numerical value is shown on the vertical axis of FIG. 18A, the upper limit of the amount of generated radicals is about 5 trillion/sec.

また、制限抵抗6を第1通電路51中に配置する場合、第1通電路51における電圧印加部2と制限抵抗6の間の長さは、0~200mmの範囲内で設定されることが好ましい。これは、瞬間電流が流れるときは電流抵抗が非常に小さくなるので、電圧印加部2と制限抵抗6の間の配線の長さが200mmを超えると、その配線の浮遊容量の影響によって放電が不安定化するからである。 Further, when the limiting resistor 6 is disposed in the first energizing path 51, the length between the voltage application section 2 and the limiting resistor 6 in the first energizing path 51 may be set within a range of 0 to 200 mm. preferable. This is because when an instantaneous current flows, the current resistance becomes very small, so if the length of the wiring between the voltage application section 2 and the limiting resistor 6 exceeds 200 mm, the discharge will not be possible due to the influence of the stray capacitance of the wiring. This is because it stabilizes.

図18Bのグラフに示す測定結果からも、印加電極部2と制限抵抗6の間の配線の長さが200mmを超えると、リーダ放電により生成される有効成分量(ラジカル量)が低下することが確認される。図18Bにおいても、発生するラジカル量の上限は5兆個/sec程度である。 The measurement results shown in the graph of FIG. 18B also show that when the length of the wiring between the application electrode section 2 and the limiting resistor 6 exceeds 200 mm, the amount of active ingredients (radical amount) generated by leader discharge decreases. It is confirmed. Also in FIG. 18B, the upper limit of the amount of generated radicals is about 5 trillion/sec.

図18Aと図18Bのグラフに示す測定結果は、図19に概略的に示す装置を用いて測定された結果である。この装置では、対向電極4と電圧印加部2を電気的に接続させる配線中に制限抵抗6を配置し、制限抵抗6から距離D4(=4mm)だけ隔てた箇所にグラウンドとなる金属板89を配置して、図示略の放電電極との間に7.0kVの高電圧を印加し、リーダ放電により生成されるラジカル量を測定した。 The measurement results shown in the graphs of FIGS. 18A and 18B were measured using the apparatus schematically shown in FIG. 19. In this device, a limiting resistor 6 is arranged in the wiring that electrically connects the counter electrode 4 and the voltage applying section 2, and a metal plate 89 serving as a ground is placed at a distance D4 (=4 mm) from the limiting resistor 6. A high voltage of 7.0 kV was applied between the leader and a discharge electrode (not shown), and the amount of radicals generated by leader discharge was measured.

以上の結果は、第1通電路51に制限抵抗6が配置される場合の結果であるが、放電電極1と電圧印加部2を電気的につなぐ第2通電路52に制限抵抗6が配置される場合(図4B参照)も、同様の結果が得られる。 The above results are the results when the limiting resistor 6 is arranged in the first energizing path 51, but when the limiting resistor 6 is arranged in the second energizing path 52 that electrically connects the discharge electrode 1 and the voltage application section 2. A similar result can be obtained when (see FIG. 4B).

つまり、制限抵抗6が第2通電路52中に配置される場合、第2通電路52における放電電極1と制限抵抗6の間の長さを30mm以内で設定することが、リーダ放電を安定的に生じさせるために好ましい。また、第2通電路52における電圧印加部2と制限抵抗6の間の長さは、200mm以内で設定することが、リーダ放電を安定的に生じさせるために好ましい。 In other words, when the limiting resistor 6 is disposed in the second energizing path 52, setting the length between the discharge electrode 1 and the limiting resistor 6 in the second energizing path 52 to within 30 mm stabilizes the leader discharge. It is preferable to cause this to occur. Furthermore, it is preferable to set the length between the voltage application section 2 and the limiting resistor 6 in the second energizing path 52 to within 200 mm in order to stably generate the leader discharge.

(第10実施形態)
第10実施形態の放電装置について、図20~図22に基づいて説明する。なお、第8実施形態で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(10th embodiment)
The discharge device of the tenth embodiment will be explained based on FIGS. 20 to 22. Note that detailed explanations of configurations similar to those described in the eighth embodiment will be omitted.

図20は、本実施形態の放電装置の要部を示す平面図である。図21は図20のa-a線断面図、図22は図20のb-b線断面図である。 FIG. 20 is a plan view showing the main parts of the discharge device of this embodiment. 21 is a sectional view taken along line aa in FIG. 20, and FIG. 22 is a sectional view taken along line bb in FIG. 20.

図20では、放電電極1、対向電極4、一対のペルチェ素子301等を省略して示している。本実施形態の放電装置では、各放熱板302の露出部分(筐体80に埋められていない部分)のうち、ペルチェ素子301が搭載される部分3025の周辺領域において、コーナー部分に面取りが施されている。具体的には、図20~図22に矢印Cで示す部分に、面取りが施されている。ペルチェ素子301が搭載されるステージ状の部分3025には、面取りが施されていない。 In FIG. 20, the discharge electrode 1, the counter electrode 4, the pair of Peltier elements 301, etc. are omitted. In the discharge device of this embodiment, among the exposed portions (portions not buried in the housing 80) of each heat sink 302, corner portions are chamfered in the area around the portion 3025 where the Peltier element 301 is mounted. ing. Specifically, the portion indicated by arrow C in FIGS. 20 to 22 is chamfered. The stage-shaped portion 3025 on which the Peltier element 301 is mounted is not chamfered.

各放熱板302の面取りは、各放熱板302を樹脂(たとえばウレタン系の紫外線硬化樹脂)等のコーティング剤にディップしてコーティングを施すときに、このコーティングによって各放熱板302のコーナー部分をより確実に覆わせるために行う。というのも、各放熱板302は、板金を型抜きして製造されるので、型抜き後にはそのエッジに略直角なコーナー部分が形成される。各放熱板302が略直角なコーナー部分を有すると、そのコーナー部分ではコーティングが十分な膜厚で形成され難く、各放熱板302のコーナー部分が露出しやすくなる。 The chamfering of each heat sink 302 is done when coating each heat sink 302 by dipping it in a coating agent such as a resin (for example, urethane-based ultraviolet curing resin). It is done to cover the This is because each heat dissipation plate 302 is manufactured by die-cutting a sheet metal, so after die-cutting, a corner portion that is substantially perpendicular to the edge thereof is formed. If each heat sink 302 has a substantially right-angled corner portion, it is difficult to form a coating with a sufficient thickness at the corner portion, and the corner portion of each heat sink 302 is likely to be exposed.

本実施形態の放電装置では、コロナ放電と比較して高エネルギーのリーダ放電を生じさせるので、放電電極1に供給された液体35(結露水)の酸性がより強められる傾向がある。そのため各放熱板302の一部がコーティングから露出すると、その部分から酸化(腐食)して耐久性が低下する。 In the discharge device of this embodiment, a leader discharge with higher energy than corona discharge is generated, so that the acidity of the liquid 35 (condensed water) supplied to the discharge electrode 1 tends to be further strengthened. Therefore, if a portion of each heat sink 302 is exposed from the coating, that portion will oxidize (corrode) and its durability will decrease.

これに対する別の対策として、コーティングの膜厚を全体的に大きく設定して露出を抑えるという対策も考えられる。しかし、コーティングは各放熱板302と、これに搭載されるペルチェ素子301の冷却側から放熱側に至る全体を覆うように施されるので、コーティングの膜厚が全体に大きくなると、ペルチェ素子301の冷却性能が低下することになる。本実施形態の放電装置によれば、コーティングの膜厚を抑えながら、各放熱板302や半田の劣化を抑制することが可能である。 Another possible countermeasure to this problem is to increase the overall thickness of the coating to suppress exposure. However, since the coating is applied to cover each heat dissipation plate 302 and the entire Peltier element 301 mounted thereon from the cooling side to the heat dissipation side, if the overall thickness of the coating increases, the Peltier element 301 Cooling performance will deteriorate. According to the discharge device of this embodiment, it is possible to suppress deterioration of each heat sink 302 and solder while suppressing the thickness of the coating.

(第11実施形態)
第11実施形態の放電装置について、図23、図24に基づいて説明する。なお、第8実施形で説明した構成と同様の構成については、詳しい説明を省略する。
(Eleventh embodiment)
A discharge device according to an eleventh embodiment will be described based on FIGS. 23 and 24. Note that detailed explanations of the same configurations as those described in the eighth embodiment will be omitted.

本実施形態の放電装置では、リーダ放電における放電周波数(瞬間電流の頻度)を調整するために、第4実施形態の放電装置のように高圧側にコンデンサを配置するのではなく、低圧側に帰還時間制御部85を配置している。 In the discharge device of this embodiment, in order to adjust the discharge frequency (frequency of instantaneous current) in leader discharge, instead of placing a capacitor on the high voltage side as in the discharge device of the fourth embodiment, the capacitor is returned to the low voltage side. A time control section 85 is arranged.

図23は、本実施形態の放電装置の要部を示すブロック図である。図23に示すように、本実施形態の放電装置は、電圧印加部2を構成する高圧発生回路20に加えて、電圧制御部83、電流制御部84、帰還時間制御部85、高圧駆動回路86および入力部87を備える。 FIG. 23 is a block diagram showing the main parts of the discharge device of this embodiment. As shown in FIG. 23, the discharge device of this embodiment includes, in addition to the high voltage generation circuit 20 constituting the voltage application section 2, a voltage control section 83, a current control section 84, a feedback time control section 85, and a high voltage drive circuit 86. and an input section 87.

入力部87に電源が供給されると、高圧駆動回路86が動作して高圧発生回路20から高電圧が出力される。この出力に関する制御信号が電圧制御部83と電流制御部84に入力されると、電圧制御部83と電流制御部84は、帰還時間制御部85を介して、電圧と電流を所定の値に制御するための制御信号を発生させる。高圧駆動回路86は、この制御信号に基づいて、所定の放電電圧に至るまで出力電圧を上昇させ、絶縁破壊を伴う放電が生じて出力電圧が低下すると、再び出力電圧を所定の放電電圧まで上昇させるといった作業を繰り返す。これにより、リーダ放電が生じる。 When power is supplied to the input section 87, the high voltage drive circuit 86 operates and a high voltage is output from the high voltage generation circuit 20. When the control signal regarding this output is input to the voltage control section 83 and the current control section 84, the voltage control section 83 and the current control section 84 control the voltage and current to predetermined values via the feedback time control section 85. Generates a control signal to Based on this control signal, the high voltage drive circuit 86 increases the output voltage until it reaches a predetermined discharge voltage, and when a discharge accompanied by dielectric breakdown occurs and the output voltage decreases, the output voltage is increased again to the predetermined discharge voltage. Repeat the task of This causes leader discharge.

本実施形態の放電装置では、出力電圧が低下してから再び所定の放電電圧に復帰するまでの帰還時間を、帰還時間制御部85でコントロールすることができる。帰還時間をコントロールすることで、リーダ放電の放電周波数が調整される。 In the discharge device of this embodiment, the feedback time control section 85 can control the feedback time from when the output voltage decreases until it returns to a predetermined discharge voltage. By controlling the feedback time, the discharge frequency of the leader discharge can be adjusted.

図24には、本実施形態の放電装置の変形例を示している。この変形例では、高圧駆動回路86がマイクロコンピュータ861と周辺回路部862を含み、マイクロコンピュータ861で帰還時間制御部85を構成している。さらに、マイクロコンピュータ861で電圧制御部83と電流制御部84の少なくとも一方を兼ねるように構成することも可能である。 FIG. 24 shows a modification of the discharge device of this embodiment. In this modification, the high voltage drive circuit 86 includes a microcomputer 861 and a peripheral circuit section 862, and the microcomputer 861 constitutes a feedback time control section 85. Furthermore, it is also possible to configure the microcomputer 861 to serve as at least one of the voltage control section 83 and the current control section 84.

本実施形態の放電装置では、低圧側に配置した帰還時間制御部85でリーダ放電の放電周波数を調整することができるので、放電特性の調整幅が広いという利点や、高圧側の部材が増加することが抑えられ、その結果としてコストが抑制されるという利点がある。 In the discharge device of this embodiment, the discharge frequency of the leader discharge can be adjusted by the feedback time control unit 85 arranged on the low voltage side, so there is an advantage that the discharge characteristics can be adjusted over a wide range, and the number of components on the high voltage side is increased. This has the advantage of reducing costs, and as a result, reducing costs.

以上のように、本発明に係る放電装置は、リーダ放電によって有効成分を生成し、オゾンの増大は抑えることができるので、冷蔵庫、洗濯機、ドライヤー、空気調和機、扇風機、空気清浄機、加湿器、美顔器、自動車等の多様な用途に適用することができる。 As described above, the discharge device according to the present invention generates active ingredients through leader discharge and can suppress the increase in ozone. It can be applied to a variety of uses such as utensils, facial beauty devices, and automobiles.

1 放電電極
13 先端部分
15 基端部分
2 電圧印加部
3 液体供給部
35 液体
4 対向電極
41 針状電極部
410 凸面
413 先端部分
415 基端部分
417 溝部
42 支持電極部
420 対向面
43 開口部
45 段差部
5 通電路
51 第1通電路
52 第2通電路
6 制限抵抗
7 コンデンサ
9 金型装置
91 上型
92 下型
9 金型装置
93 一面
T1 厚み方向
D1 針状電極部の先端部分と放電電極の間の距離
D2 針状電極部の基端部分と放電電極の間の距離
D3 支持電極部と放電電極の間の距離
1 Discharge electrode 13 Tip part 15 Base end part 2 Voltage application part 3 Liquid supply part 35 Liquid 4 Opposed electrode 41 Needle electrode part 410 Convex surface 413 Tip part 415 Base end part 417 Groove part 42 Support electrode part 420 Opposing surface 43 Opening part 45 Step portion 5 Current conducting path 51 First current conducting path 52 Second current conducting path 6 Limiting resistor 7 Capacitor 9 Mold device 91 Upper mold 92 Lower mold 9 Mold device 93 One side T1 Thickness direction D1 Tip portion of needle electrode portion and discharge electrode D2 Distance between the proximal end of the needle electrode part and the discharge electrode D3 Distance between the supporting electrode part and the discharge electrode

Claims (4)

放電電極と、
前記放電電極に電圧を印加し、コロナ放電からさらに進展した放電を前記放電電極に生じさせる電圧印加部と、を具備し、
コロナ放電から進展して絶縁破壊に至ると、絶縁破壊された放電経路を通じて瞬間電流が流れ、電圧が低下して放電が停止し、また電圧が上昇して絶縁破壊に至ることを繰り返すように、前記電圧印加部の電気的な容量が設定されている
ことを特徴とする放電装置。
a discharge electrode;
a voltage application unit that applies a voltage to the discharge electrode to cause the discharge electrode to generate a discharge that progresses further from corona discharge,
When corona discharge develops and reaches dielectric breakdown, an instantaneous current flows through the dielectrically broken discharge path, the voltage drops and the discharge stops, and the voltage increases and dielectric breakdown occurs, repeating this cycle. A discharge device, characterized in that the voltage application section has a predetermined electrical capacity.
前記放電電極に液体を供給する液体供給部をさらに具備し、
前記放電によって、前記放電電極に供給された前記液体が静電霧化される
ことを特徴とする請求項1に記載の放電装置。
further comprising a liquid supply unit that supplies liquid to the discharge electrode,
The discharge device according to claim 1, wherein the liquid supplied to the discharge electrode is electrostatically atomized by the discharge.
前記放電電極と対向して位置する対向電極をさらに具備し、
前記放電は、
前記放電電極と前記対向電極の間で、両者をつなぐように絶縁破壊された放電経路を、断続的に発生させる放電である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の放電装置。
further comprising a counter electrode located opposite to the discharge electrode,
The discharge is
The discharge device according to claim 1 or 2, wherein the discharge is an electric discharge that intermittently generates a dielectrically broken discharge path between the discharge electrode and the counter electrode so as to connect the two.
前記対向電極は、前記放電電極に対向する針状電極部を備える
ことを特徴とする請求項3に記載の放電装置。
The discharge device according to claim 3, wherein the counter electrode includes a needle-like electrode portion facing the discharge electrode.
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