JP2024036088A - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024036088A JP2024036088A JP2022140812A JP2022140812A JP2024036088A JP 2024036088 A JP2024036088 A JP 2024036088A JP 2022140812 A JP2022140812 A JP 2022140812A JP 2022140812 A JP2022140812 A JP 2022140812A JP 2024036088 A JP2024036088 A JP 2024036088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- processing chamber
- period
- power
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 156
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 91
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 74
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 230000005347 demagnetization Effects 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 9
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000005292 diamagnetic effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 230000005596 ionic collisions Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】本発明の目的は、磁界の発生の応答性を向上させたうえで、所望の密度分布を有するプラズマを形成することができる技術を提供することにある。【解決手段】本発明のプラズマ処理装置は、被処理基板のプラズマ処理が行われる処理室と、前記処理室内部に配置され、前記被処理基板を保持する試料台と、前記処理室を囲むように配置され、前記処理室内に磁界を形成するソレノイドコイルと、円筒形状であって、中心軸の周りの方向に強磁性体層と絶縁体層が交互に積層された構造を有し、前記ソレノイドコイルを囲むように配置されるヨークと、前記ソレノイドコイルに励磁のための励磁用電力を供給する励磁用電源と、前記励磁用電源を制御し、前記ソレノイドコイルに断続的に前記励磁用電力を供給させる制御部と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、プラズマ処理装置に関する。
半導体集積回路の技術分野では、その性能向上のために、パターニングの微細化が進展し続けている。これまでに、2次元的な微細化の進展によって、配線長短縮などの技術による性能向上が実現し、また被処理基板1枚あたりに製造できる素子数が増加したので素子1個あたりの製造コストもコストダウンが実現されてきた。一方で半導体素子に求められる加工寸法が原子の寸法に近いナノメートルオーダーに近づくに至り、2次元的な微細化の難易度は、技術的かつ物理的に著しく高まっている。
上記のような技術的な要求に対して、新材料や3次元的な素子構造の適用等といった新たな技術が、半導体製造の製造に採用されている。半導体素子の製造には、従来からプラズマを用いてエッチング等処理するプラズマ処理装置が用いられている。しかし、半導体素子の微細化に伴って、プラズマを用いた処理に起因する歩留まりの低下が問題となっている。特に、基板の径方向における加工後の形状のバラつき(不均一さ)が歩留まりの低下の一因となっていた。
プラズマ処理装置としては、マイクロ波の電界と処理室内に形成する磁界を用いて発生する電子サイクロトロン共鳴(Electron Cyclotron Resonance:ECR)を利用してプラズマを生成する、所謂ECRプラズマ処理装置が知られている。ECRプラズマ処理装置では、基板の径方向についての処理の均一性を向上させるために、生成するプラズマの密度分布を均一にすることが検討されてきた。
例えば、特許文献1では、処理の均一性を向上させたプラズマ処理装置または方法を提供するために、真空容器の内部に配置された処理室と、この処理室内に配置されその上面に処理対象のウェハが載せられる試料台と、前記処理室内に供給される電界を形成する電界形成部と、前記電界と作用して前記処理室内にプラズマを形成するための磁界を形成するコイルと、当該コイルが形成する磁界の強度を所定の間隔で繰り返し増減して処理室内のプラズマの強度を増減する制御器とを備え、前記プラズマの形成と拡散とを繰り返して前記ウェハを処理する技術が開示されている。
従来のプラズマ処理装置において、マイクロ波は、処理室上方に配置されたマイクロ波が透過可能な円板を通して処理室内に導入されるものである。また、マイクロ波が内部を伝播する導波管は、処理室内での周方向についての電界の均一性を高めるために、円筒形を有した処理室の中心軸に軸を合わせて設置されている。この配置のため、処理室内に生成されるプラズマは放電の初期の段階から上記中心軸を含む処理室の中央部で局所的に密度が高いものとなる。結果として、プラズマ処理装置において、プラズマの密度は、処理室中央付近で外周側の領域と比べて大きいものとなっていた。
特許文献1では、ソレノイドコイルへの電力の供給を断続または増減して形成される磁界の大きさを制御することにより、プラズマ中の荷電粒子を拡散させて処理室の径方向についての密度分布の不均一を緩和させている。ここで、発明者らの検討によれば、プラズマが基板の径方向に拡散する時間スケールは一般的なプラズマ処理ではミリ秒から数十ミリ秒であるところ、特許文献1に示される技術においては磁界を形成する際に励磁速度が100ミリ秒以上かかることが推察された。特許文献1の技術をプラズマ処理に採用する場合、励磁に関する速度を10倍乃至100倍に向上することが必要であった。先行技術文献1には、このような問題について考慮されていない。
本発明の目的は、磁界の発生の応答性を向上させたうえで、所望の密度分布を有するプラズマを形成することができる技術を提供することにある。
上記の目的は、被処理基板のプラズマ処理が行われる処理室と、前記処理室内部に配置され、前記被処理基板を保持する試料台と、前記処理室を囲むように配置され、前記処理室内に磁界を形成するソレノイドコイルと、円筒形状であって、中心軸の周りの方向に強磁性体層と絶縁体層が交互に積層された構造を有し、前記ソレノイドコイルを囲むように配置されるヨークと、前記ソレノイドコイルに励磁のための励磁用電力を供給する励磁用電源と、前記励磁用電源を制御し、前記ソレノイドコイルに断続的に前記励磁用電力を供給させる制御部と、を備えるプラズマ処理装置、により達成される。
本発明によれば、磁界の発生の応答性を向上させたうえで、所望の密度分布を有するプラズマを形成することができる。
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施をするための形態における説明により明らかにされる。
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施をするための形態における説明により明らかにされる。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態により本発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付して示している。
図面において示す各構成要素の位置、大きさ、形状、範囲などは、発明の理解を容易にするため、実際の位置、大きさ、形状、範囲などを表していない場合がある。このため、本発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、形状、範囲などに限定されない。
「上方」とは、装置を水平に載置した場合の垂直上方の方向を意味する。「上部」とは、装置の上方に位置する部分のことを指す。
「プラズマの密度」とは、プラズマ中に含まれる電子およびイオン等の荷電粒子の密度のことを言う。
図面において示す各構成要素の位置、大きさ、形状、範囲などは、発明の理解を容易にするため、実際の位置、大きさ、形状、範囲などを表していない場合がある。このため、本発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、形状、範囲などに限定されない。
「上方」とは、装置を水平に載置した場合の垂直上方の方向を意味する。「上部」とは、装置の上方に位置する部分のことを指す。
「プラズマの密度」とは、プラズマ中に含まれる電子およびイオン等の荷電粒子の密度のことを言う。
(実施形態)
本発明の実施形態例を、図1乃至5を用いて、以下に説明する。
本発明の実施形態例を、図1乃至5を用いて、以下に説明する。
図1を用いて、実施形態に係るプラズマ処理装置の構成の概略を説明する。図1は、実施形態に係るプラズマ処理装置の構成を模式的に示す縦断面図である。
(電界発生に関する構成)
図1において、実施形態のプラズマ処理装置100は、プラズマの生成加熱源となるマイクロ波電源101とマイクロ波チューナー102を備える。マイクロ波電源101はプラズマ生成用のマイクロ波を発振する。また、マイクロ波チューナー102は、導波管103を通るマイクロ波の反射波電力を監視し、反射波成分を低減させる機能を有する。マイクロ波導入窓108は、例えば石英から構成された円盤形状の部材であり、導波管103にて伝送されるマイクロ波を処理室107内に導入しかつ処理室107内の気密に維持する。マイクロ波電源101からマイクロ波は、導波管103およびマイクロ波導入窓108を通り、処理室107に導入される。
図1において、実施形態のプラズマ処理装置100は、プラズマの生成加熱源となるマイクロ波電源101とマイクロ波チューナー102を備える。マイクロ波電源101はプラズマ生成用のマイクロ波を発振する。また、マイクロ波チューナー102は、導波管103を通るマイクロ波の反射波電力を監視し、反射波成分を低減させる機能を有する。マイクロ波導入窓108は、例えば石英から構成された円盤形状の部材であり、導波管103にて伝送されるマイクロ波を処理室107内に導入しかつ処理室107内の気密に維持する。マイクロ波電源101からマイクロ波は、導波管103およびマイクロ波導入窓108を通り、処理室107に導入される。
処理室107においては、被処理基板112のプラズマ処理が行われる。また、試料台111は、処理室107の内部に配置され被処理基板112が配置される。処理室107は、円筒形状を有しており、ソレノイドコイル105および106ならびにヨーク104によって囲まれる。処理室107の下方中央には試料台111が設けられており、試料台111上に半導体基板等の被処理基板112(以下、「ウェハ」ともいう。)が置かれ保持される。試料台111の内部には電極が設けられており、この電極には高周波バイアス電力が印加される。高周波バイアス電力は、プラズマ中のイオンを試料台111に向けて加速させるための電界を発生させるための電力であり、高周波電源113から伝送される高周波電力を試料台111と被処理基板112および発生するプラズマに起因するインピーダンスに対して高周波整合器114にて整合される。
制御部115は、高周波電源113、消磁用電源116および励磁用電源118を、目的とするプラズマ処理にあわせて制御する。
(処理ガスに関する構成)
ガス導入口109および110は、プラズマ処理に必要なガスを処理室107に導入する。ガス導入口109および110は、制御部115によって制御される。ガス導入口109および110は、パルス動作およびスイッチ動作が可能であり、また流量が制御される。これらは制御部115によって、目的とするプラズマ処理にあわせて制御される。
ガス導入口109および110は、プラズマ処理に必要なガスを処理室107に導入する。ガス導入口109および110は、制御部115によって制御される。ガス導入口109および110は、パルス動作およびスイッチ動作が可能であり、また流量が制御される。これらは制御部115によって、目的とするプラズマ処理にあわせて制御される。
また、真空ポンプ120は、処理室107内に含まれるガスを排気し、また処理室107内を所定の圧力に調整する。真空ポンプ120は、制御部115によって制御される。
(磁界発生に関する構成)
次に、磁界を発生させる構成を説明する。ソレノイドコイル105および106は、処理室107を囲むように配置され、処理室107内に磁界を形成する。ソレノイドコイル105および106は、後述するように発生させる磁場の応答性を確保する観点から、空芯コイルである。また、ヨーク104は、円筒形状であって、中心軸の周りの方向に強磁性体層と絶縁体層が交互に積層された構造を有し、ソレノイドコイル105および106を囲むように配置される。また、ヨーク104は、磁界を形成させたい場所に磁束を導く機能を有し、ソレノイドコイル105および106によって発生した磁束が散逸することを抑制し、処理室107内において密度が高くなるようにする。ヨーク104の構造について、詳細は後述する。
次に、磁界を発生させる構成を説明する。ソレノイドコイル105および106は、処理室107を囲むように配置され、処理室107内に磁界を形成する。ソレノイドコイル105および106は、後述するように発生させる磁場の応答性を確保する観点から、空芯コイルである。また、ヨーク104は、円筒形状であって、中心軸の周りの方向に強磁性体層と絶縁体層が交互に積層された構造を有し、ソレノイドコイル105および106を囲むように配置される。また、ヨーク104は、磁界を形成させたい場所に磁束を導く機能を有し、ソレノイドコイル105および106によって発生した磁束が散逸することを抑制し、処理室107内において密度が高くなるようにする。ヨーク104の構造について、詳細は後述する。
消磁用電源116は、ソレノイドコイル105および106にヨークおよび処理室を消磁するための電力を供給する。詳しく言うと、消磁用電源116は、所定の周期でパルス状の電流(以下、「消磁パルス電流」ともいう。)をソレノイドコイル105および106に供給する。例えば、消磁用電源116は、所定の周期でパルス状の減衰振動波形を有する電流をソレノイドコイル105および106に供給する。ただし、その電流のピーク値は、ヨーク104を構成する強磁性体層201の部材が磁気飽和する電流値を上限として設定されている。また、消磁用電源116から供給される電流の経路は、励磁用電源118からソレノイドコイル105および106に供給される電流の線路と共用されるものであってもよいし、励磁用電源118からの電流の線路とは別に、消磁効率に特化するヨーク表面上に設けられた線路であってもよい。
また、励磁用電源118は、ソレノイドコイル105および106に励磁のための電力を供給する。詳しく言うと、励磁用電源118は、所定の周期でパルス状の電流(以下、「励磁パルス電流」ともいう。)をソレノイドコイル105および106に供給する。例えば、励磁用電源118から供給される電流の波形は、前記の電流立ち上がり時間に対して十分なフラットトップを有する矩形波にされる。このような励磁用電源118の構成の例としては、所謂パルスフォーミングネットワークとサイリスタやIGBTなどゲート制御可能な固体スイッチと充電電源で組む放電回路や、十分なコンデンサバンクを有し同じくゲート制御が可能な固体スイッチ制御の放電回路が挙げられるが、実施形態ではこれに限られない。
消磁用電源116と励磁用電源118を個別に設けることによって、ソレノイドコイル105および106には消磁または励磁の目的に合わせて電流を流すことができ、消磁または励磁を再現性よく実施することができる。また、消磁用電源116の出力パルスの時間幅と励磁用電流源の出力パルスの時間巾は大きく異なるため、高周波フィルタ117を2つの電源の間におくことで絶縁を確保する。
制御部115は、後述するように、ソレノイドコイル105および106が磁界を断続的に形成するように制御する。
このような構成を備えたプラズマ処理装置100において、マイクロ波電源101から発振されマイクロ波チューナー102にて調整される2.45GHzのマイクロ波は、導波管103の内部を伝播してマイクロ波導入窓108を透過して処理室107に供給される。またソレノイドコイル105および106によって形成された磁界は、磁力線119に示されるように、処理室107の中心軸周りに対称であり、かつ処理室107を上部から下部に向かうにつれて処理室107の中心部から外周側に向かう方向に広がる形状である所謂末広がりの向き(配位)を有する。さらに、処理室107には、ガス導入口109および110を介して処理用のガス(以下、「処理ガス」ともいう。)が導入されている。処理用ガスは、マイクロ波の電界および磁界の相互作用により生起されたECRによって加熱される。処理ガス中において解離または電離が発生し、ECR放電によって処理室107内にプラズマが生成される。
(ヨークの構成の詳細)
次に、図1に示すヨーク104の構成について、図2を用いて構造および機能を詳細に説明する。図2は、ヨーク104の構成を模式的に示す斜視図である。
次に、図1に示すヨーク104の構成について、図2を用いて構造および機能を詳細に説明する。図2は、ヨーク104の構成を模式的に示す斜視図である。
実施形態においては、ソレノイドコイル105および106を、消磁用電源116および励磁用電源118からパルス状の電力を供給して動作させる。このような場合においては、ヨーク104および処理室107の構造を、処理室107内での磁界の拡散過渡現象を考慮して設計することが望ましい。図2に示されるように、ヨーク104は、円筒形状を有しており、中心部分に空洞を有している。プラズマ処理装置100においては、空洞部分に処理室107が位置するように配置される。また、ヨーク104は、強磁性体層201と誘電体層202が交互に周方向(中心軸の周りの方向)に積層された構造を有している。層の各々は、ヨーク104を上方から見て中心軸caの周りに所定の角度に相当する幅を占めている。別の言い方をすると、層の各々は、ヨーク104を上方から見た場合、中心軸caの周りに放射状の形状を有している。図2においては、ヨーク104は放射状に2N個に分割されており、N個が強磁性体層201であり、N個が誘電体層202である(Nは正の整数)。なお、強磁性体層201は強磁性材料から構成され、誘電体層202は誘電低材料から構成される。図1に示されるヨーク104の断面視から分かるように、強磁性体層201および誘電体層202の各々の単体は、逆L字形を有している。これらが交互に複数繋ぎ合わされて一体に形成された結果、ヨーク104は、ソレノイドコイル105および106を内部に収納するような円筒形状を有した部材として構成される。なお、数値Nはヨークの外周長さと後述するτmおよびdとの兼ね合いで決定する。
仮に、プラズマ処理装置として、図1に示されるソレノイドコイル105および106によってならびにヨーク104の配置とし、ヨークは、図2に示される態様とは異なり単一の強磁性体によって構成される場合を想定する。パルスもしくは高周波の電力が電磁石に印加されると、ヨークの内部では変位磁界により誘導起電力が発生し、導電性を持つ強磁性体中ではソレノイドコイルによって発生した磁界と逆方向の磁界を発生させようとする反磁性電流がヨークの中心軸caの周りを環状に流れる。この反磁性電流は、ソレノイドコイルによって生成された磁界に影響を与える。このため、ソレノイドコイルによって目的の磁界配位が形成されるまでの時間が長くなり、磁界を形成する応答性が損なわれてしまうという問題が生じる。また、励磁のためのパワーが損失するために、形成される磁界配位が設計値を外れてしまうという問題が生じる。
実施形態におけるプラズマ処理装置100の場合、ヨーク104において、積層構造中に誘電体層202が含まれるため、環状の反磁性電流が発生することを抑制することができる。このため、ソレノイドコイル105および106に電流を流した場合に、磁界を形成する応答性が損なわれることを回避することができるとともに、配位制御精度が向上する。また、誘電体層202内への磁界の進入は光速かつ損失がないため、実施形態のヨーク104において、誘電体層202に挟まれる強磁性体層201に磁束を3次元的に進入させることができ、後述する励磁および消磁の速度と精度を向上させることができる。
(処理室における磁界の拡散現象)
また、実施形態においては、処理室107内に形成される磁界のオン・オフまたはその強度の増減において高い応答性を実現するために、処理室107の構造についても、磁界の拡散現象が考慮される。一般に、導電体(導体)の内部への磁界の浸み込み(磁界の拡散)は、次の磁界拡散方程式に基づく。
また、実施形態においては、処理室107内に形成される磁界のオン・オフまたはその強度の増減において高い応答性を実現するために、処理室107の構造についても、磁界の拡散現象が考慮される。一般に、導電体(導体)の内部への磁界の浸み込み(磁界の拡散)は、次の磁界拡散方程式に基づく。
実施形態において、処理室107を形成する真空容器の部材として金属等の導体を使用する場合、上記の磁界の応答性が損なわれないようにするため、τmが十分に小さくなるように透磁率および導電率等の物性を持つ材質が選択され、また部材の厚み等の構造も設定される。なお、真空容器の部材として誘電体を使用する場合、導電率が非常に小さく浸み込み時間も極めて小さくなるため、部材の厚みの制約がなく任意の形状を選択することができる。
(プラズマの拡散時間)
処理室107内のプラズマの密度分布を考慮するに際し、電磁石にパルス状の電力が供給されて形成される磁界に関して、励磁の時間スケールは、処理室107内でのプラズマの半径方向の運動を考慮して設定される。
処理室107内のプラズマの密度分布を考慮するに際し、電磁石にパルス状の電力が供給されて形成される磁界に関して、励磁の時間スケールは、処理室107内でのプラズマの半径方向の運動を考慮して設定される。
表1にプラズマ処理装置において利用されるプラズマの典型的な寿命と密度拡散時間を示す。
表1に示す例は、アルゴンガスを用いて形成されたプラズマ(アルゴンプラズマ)、処理室107内の圧力が0.1Pa、プラズマの電離度が0.01、イオン温度が0.1eV(電子ボルト)、電子温度が1eVと想定したものである。
現象「寿命」は、目安の時間として30ms(ミリ秒)から300msである。プラズマ中における中性粒子衝突による緩和衝突時間のことをいい、衝突周期の10倍から100倍を緩和衝突時間として見積もりを行った。現象「無磁場下拡散(自由拡散)」は、目安の時間として0.7ms以上である。ウェハ面上を熱速度によって横断する時間のことをいい、実際には衝突が入るため0.7ms以上として見積もりを行った。現象「有磁場下拡散(0.085T)」は、目安の時間として9840msである。0.085Tの磁場下でのイオンの衝突による起動シフトに起因する磁力線からの離脱をする時間、言い換えるとウェハ面上の横断時間として、見積もりを行った。現象「弱有磁場下拡散(0.001T)」は、目安の時間として5.14msである。0.001Tの磁場下でのイオンの衝突による起動シフトに起因する磁力線からの離脱をする時間、言い換えるとウェハ面上の横断時間として、見積もりを行った。
本表から、寿命30msから300msに対して、プラズマ中の荷電粒子の拡散時間は、磁界が供給されない無磁界の条件下では1msの時間スケール程度と見積もられるのに対して、強度0.0875Tの磁界を供給する条件下では1s(秒)近くの時間スケールに増大することが分かる。
このように拡散時間が変動する要因としては、形成された磁界によって、プラズマ中の荷電粒子の処理室107の径方向の運動が影響をうけるためと考えられる。このことから、プラズマの寿命が尽きて消失するまでの間に磁界を消失、もしくは低下させることによって、処理室107の内部でその径方向にプラズマ中の荷電粒子を十分に拡散させることにより、処理室107内の径方向におけるプラズマの密度分布の偏りの低減が実現できると考えられる。
(タイミングチャート)
図3を用いて、実施形態のプラズマ処理装置100の動作について説明する。図3は、実施形態に係るプラズマ処理装置におけるプラズマ処理の流れを示すタイミングチャートである。図3において、時間の経過に伴う処理の様子が示される。ここでは、チャート「マイクロ波出力」は、プラズマ処理装置100のマイクロ波電源101からのマイクロ波の供給をON(オン、供給する)またはOFF(オフ、供給しない)として示す。さらに、チャート「高周波バイアス電流」は、試料台111に供給される高周波バイアス電力(単位W)を示す。チャート「励磁パルス電流(A)」は、励磁用電源118から供給される励磁用パルス電流(単位A)を示す。チャート「消磁パルス電流(A)」は、消磁用電源116から供給される消磁用パルス電流(単位A)を示す。
図3を用いて、実施形態のプラズマ処理装置100の動作について説明する。図3は、実施形態に係るプラズマ処理装置におけるプラズマ処理の流れを示すタイミングチャートである。図3において、時間の経過に伴う処理の様子が示される。ここでは、チャート「マイクロ波出力」は、プラズマ処理装置100のマイクロ波電源101からのマイクロ波の供給をON(オン、供給する)またはOFF(オフ、供給しない)として示す。さらに、チャート「高周波バイアス電流」は、試料台111に供給される高周波バイアス電力(単位W)を示す。チャート「励磁パルス電流(A)」は、励磁用電源118から供給される励磁用パルス電流(単位A)を示す。チャート「消磁パルス電流(A)」は、消磁用電源116から供給される消磁用パルス電流(単位A)を示す。
実施形態において、被処理基板112をエッチング処理するに際して、処理室107に連結された別の真空容器からロボットアーム等の搬送用デバイスによって処理前の被処理基板112が搬送され、処理室107内に配置された試料台111上に受け渡される。ロボットアームが処理室107から退室して真空容器内部の処理室107が密封されると、被処理基板112が試料台111上に静電吸着されて保持される。さらに、真空引きされ所定の真空度まで減圧された処理室107内に、処理の目的に応じたガスが導入され、処理室107内が被処理基板112の処理に適した範囲内の圧力に維持される。このような処理は、実施形態におけるエッチング処理の開始までに行われる。
なお、図3においては、被処理基板をエッチング処理するための処理用のガスは、ガス導入口109および110から処理室107に継続して導入される。
(プレフェーズ)
最初に、被処理基板112が試料台111に保持された状態で、プラズマのECR放電が行われるまでの間の期間がある。この期間をプレ(pre)フェーズとする。プレフェーズにおいては、制御部115は、励磁用電源118が励磁用電力を供給する前に、消磁用電源116に消磁用電力を供給させる。詳しく言うと、チャート「消磁パルス電流(A)」の時刻t1に示されるように、消磁用電源116は、パルス幅τ1の消磁パルス電流を発生させ、ソレノイドコイル105および106に供給する。これにより、ソレノイドコイル105および106、ならびにヨーク104および処理室107内外の壁材の消磁が行われる。これにより、プラズマ処理装置100のこれらの構成の磁化状態は、磁気を帯びていない状態または共通の磁化状態となる。パルス幅τ1は、このような磁化状態が実現されるようにプラズマ処理装置100の構成等に基づいて適宜選択される。
最初に、被処理基板112が試料台111に保持された状態で、プラズマのECR放電が行われるまでの間の期間がある。この期間をプレ(pre)フェーズとする。プレフェーズにおいては、制御部115は、励磁用電源118が励磁用電力を供給する前に、消磁用電源116に消磁用電力を供給させる。詳しく言うと、チャート「消磁パルス電流(A)」の時刻t1に示されるように、消磁用電源116は、パルス幅τ1の消磁パルス電流を発生させ、ソレノイドコイル105および106に供給する。これにより、ソレノイドコイル105および106、ならびにヨーク104および処理室107内外の壁材の消磁が行われる。これにより、プラズマ処理装置100のこれらの構成の磁化状態は、磁気を帯びていない状態または共通の磁化状態となる。パルス幅τ1は、このような磁化状態が実現されるようにプラズマ処理装置100の構成等に基づいて適宜選択される。
なお、制御部115は、後述する以降のフェーズにおいても、励磁用電源118が励磁用電源を供給する前に、消磁用電源116に消磁用電力を供給させる。このようにプラズマ処理装置100の状態を磁気を帯びていない状態(磁化していない状態)または共通の磁化状態とした後に励磁が行われることによって、形成される磁界が外部の影響を受けることを回避し、所望の磁界を形成することができる。
次に、励磁用電源118は、第1電力を供給する。詳しく言うと、チャート「励磁パルス電流(A)」の時刻t2に示されるように、励磁用電源118は、パルス幅τ2の矩形状の励磁パルス電流I1を発生させ、ソレノイドコイル105および106に供給する。一方、消磁用電源116は、時刻t2において、消磁パルス電流の供給を停止する。これにより処理室107内にプラズマを形成するための磁界を形成する。
(フェーズA(第1の期間))
次に、プラズマを生成する期間が設けられる。この期間をフェーズA(第1の期間)とする。フェーズAにおいて、励磁用電源118が第1電力を供給する間、マイクロ波電源101がマイクロ波を出力する。詳しく言うと、チャート「マイクロ波出力」に示されるように、マイクロ波電源101は、期間τ3だけマイクロ波を処理室107内に供給する。これにより、処理室107内の処理用のガスが励起し、電離または解離が進行し、プラズマが生成させる。フェーズAは、期間τ3と同じとする。ここで、マイクロ波は、励磁パルス電流(A)が出力されてから期間Δt1が経過した後に出力されている。これは、励磁パルス電流は矩形波として表示されているものの、実際には指数関数的に立ち上る部分がある。すなわち、期間Δt1は、電磁石として機能するソレノイドコイル105および106と励磁用電源118で構成される回路の放電の時定数として決定する。
次に、プラズマを生成する期間が設けられる。この期間をフェーズA(第1の期間)とする。フェーズAにおいて、励磁用電源118が第1電力を供給する間、マイクロ波電源101がマイクロ波を出力する。詳しく言うと、チャート「マイクロ波出力」に示されるように、マイクロ波電源101は、期間τ3だけマイクロ波を処理室107内に供給する。これにより、処理室107内の処理用のガスが励起し、電離または解離が進行し、プラズマが生成させる。フェーズAは、期間τ3と同じとする。ここで、マイクロ波は、励磁パルス電流(A)が出力されてから期間Δt1が経過した後に出力されている。これは、励磁パルス電流は矩形波として表示されているものの、実際には指数関数的に立ち上る部分がある。すなわち、期間Δt1は、電磁石として機能するソレノイドコイル105および106と励磁用電源118で構成される回路の放電の時定数として決定する。
なお実施形態において、期間τ2の終期と期間τ3の終期は同じにされている。つまり、励磁用電源118の励磁パルス電流の供給あるいはソレノイドコイル105および106の磁界の供給と、マイクロ波電源101のマイクロ波の供給と、が同じ時刻に終了する。これによって、プラズマのECR放電が停止する。
(フェーズB(第2の期間))
続いて、生成されたプラズマ中の荷電粒子を処理室の中心部から外周側に向かって拡散させる期間が設けられる。この期間をフェーズB(第2の期間)という。フェーズBはフェーズAの後の期間であって、フェーズBにおいて、励磁用電源118、第1電力の供給を停止する。詳しく言うと、チャート「励磁パルス電流(A)」に示されるように、プラズマ生成用のマイクロ波の供給が停止してから期間Δt2だけ、励磁用電源118は、ソレノイドコイル105および106に、励磁パルス電流の供給を停止する。処理室107内は磁界が形成されない状態であるため、プラズマ中の荷電粒子は、処理室107の中央部から外周側に向かって、言い換えると径方向に拡散する。このことにより、プラズマ中の荷電粒子の密度分布が、フェーズAにおける処理室107の中心部が大きく外周側が小さい所謂中高の状態から、中心部が低下し外周側が増大して密度分布の偏りが低減された状態になる。
続いて、生成されたプラズマ中の荷電粒子を処理室の中心部から外周側に向かって拡散させる期間が設けられる。この期間をフェーズB(第2の期間)という。フェーズBはフェーズAの後の期間であって、フェーズBにおいて、励磁用電源118、第1電力の供給を停止する。詳しく言うと、チャート「励磁パルス電流(A)」に示されるように、プラズマ生成用のマイクロ波の供給が停止してから期間Δt2だけ、励磁用電源118は、ソレノイドコイル105および106に、励磁パルス電流の供給を停止する。処理室107内は磁界が形成されない状態であるため、プラズマ中の荷電粒子は、処理室107の中央部から外周側に向かって、言い換えると径方向に拡散する。このことにより、プラズマ中の荷電粒子の密度分布が、フェーズAにおける処理室107の中心部が大きく外周側が小さい所謂中高の状態から、中心部が低下し外周側が増大して密度分布の偏りが低減された状態になる。
なお、フェーズBにおいては、チャート「励磁パルス電流(A)」の破線に示されるように、励磁パルス電流の電流値を、フェーズAにおける電流値よりも小さい値にしてもよい。これによって、処理室107内は弱い磁界が供給された状態であるため磁界の拘束が緩められ、プラズマ中の荷電粒子は、処理室107の中央部から外周側に向かって拡散する。このことにより、励磁パルス電流の供給を停止する場合と同様に、プラズマの密度分布の偏りを低減させることが可能になる。また、期間Δt2の間に、消磁用電源116は、消磁用パルス電流をソレノイドコイル105および106に供給する。
(フェーズC(第3の期間))
続いて、拡散した状態のプラズマに磁界を形成する期間が設けられる。この期間をフェーズC(第3の期間)という。フェーズCは、フェーズBの後の期間であって、フェーズCにおいて、励磁用電源118は、第2電力を供給する。詳しく言うと、チャート「励磁パルス電流(A)」に示されるように、Δt2の経過後である時刻t4において、励磁用電源118は励磁パルス電流I2の供給を開始する。なお、チャート「消磁パルス電流(A)」およびに示されるように、Δt2の経過後である時刻t4において、消磁用電源116は消磁パルス電流の供給を停止する。励磁用電源118から再度、励磁パルス電流がソレノイドコイル105および106に供給されることによって、ソレノイドコイル105および106によって形成された磁力線119によって示される磁界が処理室107内に提供される。この磁界は、フェーズBにおいて生じたプラズマの拡散を抑制し、径方向においてプラズマの密度分布を維持するように働く。
続いて、拡散した状態のプラズマに磁界を形成する期間が設けられる。この期間をフェーズC(第3の期間)という。フェーズCは、フェーズBの後の期間であって、フェーズCにおいて、励磁用電源118は、第2電力を供給する。詳しく言うと、チャート「励磁パルス電流(A)」に示されるように、Δt2の経過後である時刻t4において、励磁用電源118は励磁パルス電流I2の供給を開始する。なお、チャート「消磁パルス電流(A)」およびに示されるように、Δt2の経過後である時刻t4において、消磁用電源116は消磁パルス電流の供給を停止する。励磁用電源118から再度、励磁パルス電流がソレノイドコイル105および106に供給されることによって、ソレノイドコイル105および106によって形成された磁力線119によって示される磁界が処理室107内に提供される。この磁界は、フェーズBにおいて生じたプラズマの拡散を抑制し、径方向においてプラズマの密度分布を維持するように働く。
なお、フェーズAにおいてはプラズマの生成が行われる一方、フェーズCにおいてはプラズマの密度分布の維持が行われる。言い換えると、フェーズAにおいて供給される第1電力は、処理ガスからプラズマを生成させる強度の磁界を形成するための電力である。また、フェーズCにおいて供給される第2電力は、処理室107内の荷電粒子の密度分布が固定される強度または荷電粒子の拡散が抑制される強度の磁界を形成するための電力である。詳しく言うと、チャート「励磁パルス電流(A)」に示されるように、フェーズAにおいて供給される電流I1とフェーズCにおいて供給される電流I2は異なる値に設定されており、実施形態においては、フェーズAの電流値のほうがフェーズCにおける電流値よりも高く設定される。
さらに、試料台111の内部に配置された電極に、高周波電源113から高周波バイアス電力が期間τ4だけ供給される。このことにより、密度分布の偏りが低減された状態でプラズマ中のイオンが被処理基板112に誘引され、被処理基板112の処理対象膜のエッチング処理が進行する。
(プラズマの密度分布)
実施形態では、上記プレフェーズ、フェーズA、フェーズBおよびフェーズCまでの工程を1つのサイクルとして少なくとも1回実施して、被処理基板112の処理対象膜のエッチング処理を行う。図4は、実施形態におけるエッチング処理の複数のフェーズにおいて、処理室内のプラズマの密度分布を模式的に示す図である。
実施形態では、上記プレフェーズ、フェーズA、フェーズBおよびフェーズCまでの工程を1つのサイクルとして少なくとも1回実施して、被処理基板112の処理対象膜のエッチング処理を行う。図4は、実施形態におけるエッチング処理の複数のフェーズにおいて、処理室内のプラズマの密度分布を模式的に示す図である。
ここに示されるように、実施形態において実施されるエッチング処理は、図3に示すプレフェーズ、フェーズA、フェーズBおよびフェーズCまでの工程を1つのサイクルとし、被処理基板112の処理において、当該サイクルが少なくとも1回実施される。なお、制御部115が被処理基板112の残り膜厚をモニタし、終了条件を満たすことを判定した場合、プラズマ処理のサイクルが停止される。
上記の通り、フェーズAはプラズマのECR放電を生じさせ、プラズマを形成する工程である。図5(a)に示されるように、マイクロ波とソレノイドコイル105および106によって形成された磁界とから生じるECRによる放電が生じ、プラズマが生成される。なお、図のグラフに関し、「半径」は処理室107の中心部から外周部への距離を示し、「プラズマ密度」は処理室107におけるプラズマの密度を示す。また、縦縞の模様は、磁界が形成されている状態であることを示す。
また、フェーズBは、生成されたプラズマを拡散させる工程である。図5(b)に示されるように、フェーズBにおいて、磁界が消失または強度が低減され、プラズマ中の荷電粒子が処理室107の中心部から外周側の領域に向けて拡散して、中心部が大きいプラズマの密度分布の偏りが低減される。
さらにフェーズCは、プラズマの密度分布を維持および基板のプラズマ処理を行う工程である。図5(c)に示されるように、偏りが低減されたプラズマの密度を維持する磁界が形成される。また、被処理基板112に高周波バイアス電力が供給されて、被処理基板112のエッチング処理が進行する。
以上の実施形態により、フェーズAにおいて生成されたプラズマ中の荷電粒子は、フェーズBにおいて、処理室107の中心部から外周側に向かって拡散した状態となる。フェーズCにおいて、プラズマ中の荷電粒子が拡散した状態において、磁界が形成される。このようにすることで、処理室107内のプラズマの密度分布の偏りが低減された状態でプラズマ処理を行うことができ、被処理基板112の径方向における形状のバラつきが低減され、処理の歩留まりが向上する。
(実施形態の変更例)
本開示は、実施形態に限るものではなく、種々の変更を含むことが可能である。
本開示は、実施形態に限るものではなく、種々の変更を含むことが可能である。
例えば、励磁パルス電流および消磁パルス電流に関して、実施形態においては、ソレノイドコイル105および106に、共通の励磁パルス電流を流し、また、共通の消磁パルス電流を流していた。これに対し、第1変形例として、ソレノイドコイル105に供給する電流とソレノイドコイル106に供給する電流の比率を変化させることによって、形成する磁界の形状を変化させてもよい。
また、処理ガスに関して、実施形態においては、ガス導入口109および110から導入される処理ガスは、プレフェーズからフェーズCの間、継続して供給することとしていた。これに対し、第2変形例として、プレフェーズからフェーズCにかけて断続的に供給する形態としてもよい。
また、第1変形例と第2変形例を組み合わせてプラズマ中のイオンの拡散速度とラジカルの拡散速度を制御し、さらに磁界発生の制御とを組み合わせることによって、被処理基板における処理の分布均一性をさらに向上できうる。
(作用・効果)
本開示において、ソレノイドコイル105および106は、空芯コイルとした。また、処理室107の部材は、磁界の浸み込み時間τmおよび導体の厚みdの観点に基づき構造及び材質を選択した。これによって、ソレノイドコイル105および106を用いて励磁を行う場合、形成される磁場の応答性を確保することができる。
本開示において、ソレノイドコイル105および106は、空芯コイルとした。また、処理室107の部材は、磁界の浸み込み時間τmおよび導体の厚みdの観点に基づき構造及び材質を選択した。これによって、ソレノイドコイル105および106を用いて励磁を行う場合、形成される磁場の応答性を確保することができる。
また、プラズマ中の荷電粒子の寿命を考慮したうえで、フェーズBにおけるプラズマの拡散工程およびフェーズCにおけるプラズマの密度分布の維持、を設定している。プラズマの動的な振舞いを考慮したうえで磁界を制御しているため、プラズマ処理に用いるプラズマの密度分布を最適なものとすることができる。
また、ヨーク104は、強磁性体層と誘電体層とが積層された構造を有する。これによって、ソレノイドコイル105および106によって形成された磁束の散逸を低減させるともに、版磁性電流の発生を抑制することができる。また、強磁性体層には3次元方向から磁界を侵入させることができるため、励磁および消磁の速度と精度を向上することができる。
上述のように、磁界の発生の応答性を向上させたうえで、所望の密度分布を有するプラズマを形成することができる。
以上、発明の実施形態について説明したが、本開示は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
101・・・マイクロ波電源、
102・・・マイクロ波チューナー、
103・・・導波管、
104・・・ヨーク、
105・・・ソレノイドコイル、
106・・・ソレノイドコイル、
107・・・処理室、
108・・・マイクロ波導入窓、
109・・・ガス導入口、
110・・・ガス導入口、
111・・・試料台、
112・・・被処理基板、
113・・・高周波電源、
114・・・高周波整合器、
115・・・制御部、
116・・・消磁用電源、
117・・・高周波フィルタ、
118・・・励磁用電源、
119・・・磁力線、
120・・・真空ポンプ
201・・・強磁性体層、
202・・・誘電体層。
102・・・マイクロ波チューナー、
103・・・導波管、
104・・・ヨーク、
105・・・ソレノイドコイル、
106・・・ソレノイドコイル、
107・・・処理室、
108・・・マイクロ波導入窓、
109・・・ガス導入口、
110・・・ガス導入口、
111・・・試料台、
112・・・被処理基板、
113・・・高周波電源、
114・・・高周波整合器、
115・・・制御部、
116・・・消磁用電源、
117・・・高周波フィルタ、
118・・・励磁用電源、
119・・・磁力線、
120・・・真空ポンプ
201・・・強磁性体層、
202・・・誘電体層。
Claims (6)
- 被処理基板のプラズマ処理が行われる処理室と、
前記処理室内部に配置され、前記被処理基板を保持する試料台と、
前記処理室を囲むように配置され、前記処理室内に磁界を形成するソレノイドコイルと、
円筒形状であって、中心軸の周りの方向に強磁性体層と絶縁体層が交互に積層された構造を有し、前記ソレノイドコイルを囲むように配置されるヨークと、
前記ソレノイドコイルに励磁のための励磁用電力を供給する励磁用電源と、
前記励磁用電源を制御し、前記ソレノイドコイルに断続的に前記励磁用電力を供給させる制御部と、
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記励磁用電源は、
第1電力を供給する第1の期間と、
前記第1の期間の後であって、前記第1電力の供給を停止する第2の期間と、
前記第2の期間の後であって、第2電力を供給する第3の期間と、を繰り返しながら前記ソレノイドコイルに断続的に電力を供給する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1電力は、プラズマを生成させる強度の磁界を形成するための電力であり、
前記第2電力は、前記プラズマ中の荷電粒子の密度分布が固定される強度または前記荷電粒子の拡散が抑制される強度の前記磁界を形成するための電力である、請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第3の期間において、前記試料台の内部に配置された電極に高周波バイアス電力が供給される、請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマ処理装置は、前記制御部によって制御され、前記ソレノイドコイルに消磁のための消磁用電力を供給する消磁用電源をさらに備え、
前記制御部は、前記励磁用電源が前記励磁用電力を供給する前に、前記消磁用電源に前記消磁用電力を供給させる、請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の期間、前記第2の期間および前記第3の期間を含む期間を1つのサイクルとし、
前記制御部は、前記被処理基板の処理において、前記サイクルの期間を少なくとも1回実施させるように制御する、請求項2に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022140812A JP2024036088A (ja) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022140812A JP2024036088A (ja) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | プラズマ処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024036088A true JP2024036088A (ja) | 2024-03-15 |
Family
ID=90198356
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022140812A Pending JP2024036088A (ja) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2024036088A (ja) |
-
2022
- 2022-09-05 JP JP2022140812A patent/JP2024036088A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3905502B2 (ja) | 誘導結合プラズマ発生装置 | |
US5435881A (en) | Apparatus for producing planar plasma using varying magnetic poles | |
KR101387067B1 (ko) | 드라이 에칭 장치 및 드라이 에칭 방법 | |
JP2004501277A (ja) | マグネトロンスパッタリングを向上させる誘導プラズマループ | |
WO2003054912A1 (en) | Method and apparatus comprising a magnetic filter for plasma processing a workpiece | |
KR890003266A (ko) | 플라즈마 처리방법 및 그 장치 | |
KR20070010628A (ko) | 다중 안테나 코일군이 구비된 유도결합 플라즈마 반응장치 | |
JP4601104B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US20090181526A1 (en) | Plasma Doping Method and Apparatus | |
JP3254069B2 (ja) | プラズマ装置 | |
JP7001456B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
WO2017206786A1 (zh) | 一种电感耦合等离子体装置 | |
EP0637054B1 (en) | Discharge plasma processing device | |
US5519213A (en) | Fast atom beam source | |
JPH11288798A (ja) | プラズマ生成装置 | |
KR100751535B1 (ko) | 다중 주파수 유도 코일을 갖는 페라이트 코어를 구비한플라즈마 발생기 및 이를 구비한 플라즈마 처리 장치 | |
JP2024036088A (ja) | プラズマ処理装置 | |
US5470426A (en) | Plasma processing apparatus | |
JP4554117B2 (ja) | 表面処理装置 | |
JPH02312231A (ja) | ドライエッチング装置 | |
JP3685461B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR102553385B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100980288B1 (ko) | 자기 조절 메커니즘을 구비한 플라즈마 처리 장치 | |
KR20040021809A (ko) | 부위별로 단면적이 다른 안테나를 구비한 유도결합플라즈마 발생장치 | |
KR100739959B1 (ko) | 반도체 장치 제조용 식각 챔버 |