JP2024027963A - ブレーキング装置及びブレーキング方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ワークが分割された否かの確認に係る工数を抑制することができること。【解決手段】ブレーキング装置１は、分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークとワークが貼着されたシートとシートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットのフレームを固定するフレーム固定ユニットと、ワークの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを上下から挟持する挟持ユニットと、分割すべき分割予定ラインを挟んで挟持ユニットの反対側で分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧しワークをブレーキングする押圧部材６０と、押圧部材６０がワークを押圧する荷重を測定する荷重計７１と、荷重計７１で測定された荷重値に基づいて分割すべき分割予定ラインが分割されたか否かの分割結果を判定する制御ユニットとを備える。【選択図】図５

Description

本発明は、ブレーキング装置及びブレーキング方法に関する。
ガラスやサファイア、ＳｉＣ等のワークは、設定された分割予定ラインに沿って分割され、複数のチップが形成される。ワークを分割する場合、例えば分割予定ラインに沿ってレーザビームを照射してワーク内部に改質層を形成した後、従来から種々のブレーキング装置で分割している（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１９－７１３９０号公報
特許文献１に示されたブレーキング装置は、内部に分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークを押圧部材で押圧することで分割している。しかし、ワーク内において分割されない領域が形成されることがある。従来は、全ての分割予定ラインに対して押圧部材で押圧した後、オペレータがワークの全分割予定ラインに沿って分割されたかを確認しており、工数がかかり改善が切望されていた。
本発明の目的は、ワークが分割された否かの確認に係る工数を抑制することができるブレーキング装置及びブレーキング方法を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレーキング装置は、複数の分割予定ラインが設定されるとともに各該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットの該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持する挟持ユニットと、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする押圧部材と、を備えたブレーキング装置であって、該押圧部材がワークを押圧する荷重を測定する荷重計と、該荷重計で測定された荷重値に基づいて該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークが分割されたか否かの分割結果を判定するコントローラと、を備えたことを特徴とする。
前記ブレーキング装置において、該コントローラは、荷重値が上昇してから下降に転じた後、所定時間における荷重値の低下の状態に基づいて該分割結果を判定しても良い。
前記ブレーキング装置において、該コントローラは、該荷重計で測定された荷重値に基づいてワークの全ての分割予定ラインに対して、分割されていない、分割された、一部分割されていない可能性あり、のいずれかを分割結果として判定し、記憶しても良い。
前記ブレーキング装置において、表示ユニットを備え、該表示ユニットは、各該分割予定ラインを含むウェーハ全体マップを表示するとともに各該分割予定ラインに対する分割結果を表示しても良い。
前記ブレーキング装置において、該検出ユニットは、撮像カメラを含み、該フレーム固定ユニットでフレームが固定されたワークユニットのウェーハ全体マップが該表示ユニットに表示された状態で、該表示ユニットに表示された該ウェーハ全体マップ上で指定された分割予定ラインに対応した該ワークユニットの該分割予定ラインに該撮像カメラが位置づけられて該分割予定ラインが撮像されても良い。
本発明のブレーキング方法は、分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットを形成するワークユニット形成ステップと、該ワークユニットの該フレームをフレーム固定ユニットで固定するフレーム固定ステップと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定された該ワークユニットから分割すべき分割予定ラインを検出する検出ステップと、該検出ステップを実施した後、該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持ユニットで挟持する挟持ステップと、該挟持ステップを実施した後、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧部材で押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする分割ステップと、該分割ステップの実施中に該押圧部材がワークを押圧する荷重値を検出する荷重検出ステップと、該荷重検出ステップで検出された荷重値に基づいて該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークが分割されたか否かの分割結果を判定する判定ステップと、を備えたことを特徴とする。
本発明は、ワークが分割された否かの確認に係る工数を抑制することができるという効果を奏する。
図１は、実施形態１に係るブレーキング装置の構成例を模式的に示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係るブレーキング装置の分割対象のワークを備えるワークユニットを模式的に斜視図である。 図３は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの下側挟持ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。 図４は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの上側挟持ユニットの構成を示す一部断面で模式的に示す側面図である。 図５は、図１に示されたブレーキング装置の押圧部材を一部断面で模式的に示す側面図である。 図６は、図５に示された矢印ＶＩ方向からみた荷重計測部を一部断面で模式的に示す正面図である。 図７は、図６に示された荷重計測部の荷重計の測定結果の一例を示す図である。 図８は、図６に示された荷重計測部の荷重計の測定結果の他の例を示す図である。 図９は、図６に示された荷重計測部の荷重計の測定結果の更に他の別の例を示す図である。 図１０は、実施形態１に係るブレーキング方法の流れを示すフローチャートである。 図１１は、図１０に示されたブレーキング方法のフレーム固定ステップ後のブレーキング装置の要部を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１２は、図１０に示されたブレーキング方法の検出ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。 図１３は、図１０に示されたブレーキング方法の挟持ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。 図１４は、図１０に示されたブレーキング方法の分割ステップ及び荷重検出ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。 図１５は、図１に示されたブレーキング装置の表示ユニットが表示画面に表示した分割状況表示情報の一例を模式的に示す図である。 図１６は、図１に示されたブレーキング装置の表示ユニットが表示画面に表示した撮像カメラが撮像したワークの表面の一部を模式的に示す図である。
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレーキング装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るブレーキング装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るブレーキング装置の分割対象のワークを備えるワークユニットを模式的に斜視図である。
（ワークユニット）
実施形態１に係る図１に示すブレーキング装置１は、図２に示すワークユニット２００のワーク２０１を個々のチップ２１０に分割する装置である。図２に示されたワークユニット２００は、ワーク２０１と、シート２０２と、フレーム２０３とを備える。
ワーク２０１は、例えば、ガラス、サファイア、ＳｉＣなどを基板２０４とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。ワーク２０１は、図２に示すように、表面２０５に互いに交差する複数の分割予定ライン２０６が設定されるとともに、分割予定ライン２０６によって区画された領域にデバイス２０７が形成されている。なお、本発明では、ワーク２０１は、基板２０４がガラス、サファイア、ＳｉＣ以外の材質で構成されても良く、デバイス２０７が形成されていなくても良い。
デバイス２０７は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＬＥＤ（Light-Emitting Diode）等の光学素子又はメモリ（半導体記憶装置）である。
また、ワーク２０１は、分割予定ライン２０６に沿って分割起点２０８が形成されている。実施形態１では、分割起点２０８は、基板２０４の内部に分割予定ライン２０６に沿って形成された改質層であるが、本発明では、改質層の他に表面２０５から凹の加工溝でも良い。なお、改質層は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。改質層は、基板２０４の他の箇所よりも機械的な強度が低い。
シート２０２は、ワーク２０１よりも大径な円板状に形成され、外周にフレーム２０３が貼着され、中央部にワーク２０１が貼着される。実施形態１では、シート２０２は、ワーク２０１の裏面２０９に貼着されている。シート２０２は、非粘着性と可撓性を有する樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ粘着性と可撓性を有する樹脂により構成された糊層とを備え、糊層がワーク２０１及びフレーム２０３に貼着される粘着テープ、又は、糊層を備えずに熱可塑性樹脂により構成されかつワーク２０１及びフレーム２０３に熱圧着される基材層のみから構成されるシートである。
フレーム２０３は、内径がワーク２０１の外径よりも大径な円環状に形成され、シート２０２の外周が貼着される。フレーム２０３は、非可撓性の硬質な材料により構成され、実施形態１では、磁性を有する金属により構成されている。
ワークユニット２００は、ワーク２０１の裏面２０９にシート２０２が貼着され、シート２０２の外周にフレーム２０３が貼着されて、シート２０２によりフレーム２０３の開口内にワーク２０１を支持して構成される。
（ブレーキング装置）
実施形態１に係るブレーキング装置１は、ワークユニット２００のワーク２０１を分割起点２０８を起点に分割して、ワーク２０１を個々のチップ２１０に分割する装置である。なお、チップ２１０は、基板２０４の一部と基板２０４の表面に形成されたデバイス２０７とを備える。ブレーキング装置１は、図１に示すように、フレーム固定ユニット１０と、検出ユニット２０と、挟持ユニット４０と、押圧部材６０と、コントローラである制御ユニット１００と、表示ユニット１１０と、図示しない入力ユニットとを備える。
フレーム固定ユニット１０は、ワークユニット２００のフレーム２０３を固定するものである。フレーム固定ユニット１０は、装置本体２上にＸ軸移動ユニット３０により水平方向と平行なＸ軸方向に移動自在に設けられた移動フレーム１１と、移動フレーム１１上に配設されたフレーム固定部材１２とを備える。
フレーム固定部材１２は、内外径がフレーム２０３の内外径と同等の円環状に形成され、上面がワークユニット２００のフレーム２０３がシート２０２の外周を介して載置される保持面１３となっている。保持面１３は、水平方向に沿って平坦である。実施形態１では、フレーム固定部材１２は、保持面１３に図示しない吸引源に接続した吸引孔が開口している。
フレーム固定ユニット１０は、吸引孔が吸引源により吸引されることで、保持面１３に載置されたフレーム２０３を保持面１３にシート２０２を介して吸引して固定する。なお、本発明では、フレーム２０３が磁性体により構成されている場合には、フレーム固定ユニット１０は、フレーム固定部材１２内に磁石（永久磁石又は電磁石）を配設しておき、保持面１３に載置されたフレーム２０３を磁力で吸着して固定しても良く、フレーム２０３が非磁性体により構成されている場合には、フレーム固定ユニット１０は、保持面１３との間にフレーム２０３を挟持して、フレーム２０３を固定するクランプ機構を備えても良い。また、フレーム固定ユニット１０は、図示しない回転駆動機構によりＺ軸方向（鉛直方向ともいう）と平行な軸心回りに回転自在である。
なお、Ｘ軸移動ユニット３０は、装置本体２上に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで移動フレーム１１及びフレーム固定部材１２をＸ軸方向に移動させる周知のモータ及び移動フレーム１１をＸ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール３１を備える。
検出ユニット２０は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１の分割予定ライン２０６を検出するものである。検出ユニット２０は、装置本体２からＸ軸移動ユニット３０のガイドレール３１を跨って立設した門型の門型フレーム３にＹ軸移動ユニット３２により水平方向と平行でかつＸ軸方向に対して直交するＹ軸方向に移動される移動テーブル４に設置されている。検出ユニット２０は、移動テーブル４に設置されることで、Ｙ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に移動自在に配設されている。
検出ユニット２０は、対物レンズが鉛直方向と平行なＺ軸方向に対向するものを撮像するＣＣＤ（Charge Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子等の撮像素子を備えた撮像カメラ２１を含む。検出ユニット２０は、撮像素子が撮像した画像を取得し、取得した画像を制御ユニット１００に出力する。また、検出ユニット２０は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１を撮像して、ワーク２０１の分割予定ライン２０６と押圧部材６０等との位置合わせを行うアライメントを遂行するための画像を取得する。
なお、門型フレーム３及び移動テーブル４は、両表面が鉛直方向と平行なＺ軸方向と平行な平板状でかつ互いに間隔をあけて平行に重ねられている。Ｙ軸移動ユニット３２は、門型フレーム３上に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで移動テーブル４をＹ軸方向に移動させる周知のモータ及び移動テーブル４をＹ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール３３を備える。
次に、挟持ユニット４０を説明する。図３は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの下側挟持ユニットの構成を模式的に示す斜視図である。図４は、図１に示されたブレーキング装置の挟持ユニットの上側挟持ユニットの構成を示す一部断面で模式的に示す側面図である。
挟持ユニット４０は、ワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６に隣接した領域のワーク２０１のデバイス２０７をワークユニット２００のＺ軸方向に沿って上下から挟持するものである。挟持ユニット４０は、図１に示すように、下側挟持ユニット４１と、上側挟持ユニット５０とを備える。
下側挟持ユニット４１は、フレーム固定ユニット１０の下方に配置され、フレーム固定ユニット１０にフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣接した領域であるデバイス２０７を下方から押圧するものである。下側挟持ユニット４１は、図３に示すように、Ｚ軸移動ユニット３４によりＺ軸方向に昇降自在に設けられたブラケット４２と、ブラケット４２に軸心回りに回転自在に支持された回転体４３と、回転体４３の外周面から突出した互いに長さの異なる複数の矩形状挟持部材４４とを備える。
回転体４３は、軸心がＹ軸方向と平行に配設され、両端がブラケット４２により回転自在に支持されている。回転体４３は、図示しない回転機構により軸心回りに回転される。複数の矩形状挟持部材２７は、それぞれ厚みが一定のＹ軸方向に直線状の矩形板状に形成され、Ｙ軸方向の長さがそれぞれ異なって様々な長さになるように形成されている。複数の矩形状挟持部材４４のうち最も長い矩形状挟持部材４４の長さは、ワーク２０１の最も長い分割予定ライン２０６の長さと同等であり、最も短い矩形状挟持部材４４の長さは、ワーク２０１の最も短い分割予定ライン２０６の長さと同等である。
複数の矩形状挟持部材２７は、回転体２６の回転によって突出する向きが変更される。複数の矩形状挟持部材２７のうち回転体２６のからＺ軸方向に沿って上向きに配置された矩形状挟持部材２７は、Ｚ軸移動ユニット３４により下降されると、上端がフレーム固定ユニット１０によりフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のシート２０２よりも下方に位置し、Ｚ軸移動ユニット３４により上昇されると、上端がフレーム固定ユニット１０によりフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１よりも上方に位置する。複数の矩形状挟持部材２７のうち回転体２６のからＺ軸方向に沿って上向きに配置された矩形状挟持部材２７は、Ｚ軸移動ユニット３４により上昇されると、上端でワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣のデバイス２０７を裏面２０９側から上方に押圧する。
即ち、下側挟持ユニット４１は、回転体２６の軸心回りの向きを変更することで、上向きとなる矩形状挟持部材２７の長さを選択でき、その選択した矩形状挟持部材２７でワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣のデバイス２０７を裏面２０９側から上方に押圧する。
なお、Ｚ軸移動ユニット３４は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることでブラケット４２をＺ軸方向に昇降させる周知のモータ及びブラケット４２をＺ軸方向に昇降自在に支持する周知のガイドレール３５を備える。
上側挟持ユニット５０は、フレーム固定ユニット１０の上方に配置され、フレーム固定ユニット１０にフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣でかつ下側挟持ユニット４１により下方から押圧されたデバイス２０７を、下側挟持ユニット４１との間に挟持するものである。上側挟持ユニット５０は、移動テーブル４に昇降ユニット３６よりＺ軸方向に移動される移動基台５に設置されている。
移動基台５は、両表面がＺ軸方向と平行な平板状に形成され、移動テーブル４上に間隔をあけて重ねられている。移動基台５には、両表面２０５が水平方向と平行な水平部材６が固定されている。
昇降ユニット３６は、移動テーブル４に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで移動基台５をＺ軸方向に昇降させる周知のモータ３７及び移動基台５をＺ軸方向に昇降自在に支持する周知のガイドレール３８を備える。
上側挟持ユニット５０は、図４に示すように、シリンダユニット５１と、上側挟持部材５２と、スライドユニット５３とを備える。シリンダユニット５１は、水平部材６に固定されたシリンダ５４と、Ｚ軸方向と平行な棒状状に形成され、シリンダ５４から伸縮自在であるとともに、シリンダ５４から伸長すると下端が下降するロッド５５とを備える。
上側挟持部材５２は、厚みが一定のＹ軸方向に直線状でかつ両表面がＺ軸方向と平行な矩形板状に形成され、Ｙ軸方向の長さがワーク２０１の最も長い分割予定ライン２０６の長さと同等である。上側挟持部材５２は、上端にシリンダユニット５１のロッド５５の下端が固定されて、移動基台５に間隔をあけて重ねられている。上側挟持部材５２は、回転体４３から上向きの矩形状挟持部材２７とＺ軸方向に対向する。
また、スライドユニット５３は、上側挟持部材５２を移動基台５に対して相対的にＺ軸方向にスライド自在に支持している。スライドユニット５３は、移動基台５と上側挟持部材５２とのうちの一方である移動基台５に固定されかつＺ軸方向と平行な直線状のガイドレール５６と、移動基台５と上側挟持部材５２とのうちの他方である上側挟持部材５２に固定されかつガイドレール５６にこのガイドレール５６の長手方向即ちＺ軸方向にスライド自在に支持されたスライダ５７とを備える。
上側挟持部材５２は、ロッド５５が伸長した状態で、昇降ユニット３６により上昇されることで、下端がフレーム固定ユニット１０によりフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１よりも上方に位置し、昇降ユニット３６により下降されると、下端が回転体２６のからＺ軸方向に沿って上向きに配置された矩形状挟持部材２７により押圧されたワーク２０１の分割すべき分割予定ライン２０６の隣のデバイス２０７を矩形状挟持部材４４との間に挟持する。
押圧部材６０は、分割すべき分割予定ライン２０６を挟んで挟持ユニット４０の挟持部材４４，５２のＹ軸方向の反対側で分割すべき分割予定ライン２０６に隣接した領域のワーク２０１のデバイス２０７を押圧し、分割すべき分割予定ライン２０６に沿ってワーク２０１をブレーキング（分割ともいう）するものである。押圧部材６０は、図４に示すように、水平部材６に第２Ｘ軸移動ユニット６１によりＸ軸方向に移動自在に設置された押圧移動基台６２に設置されている。
押圧移動基台６２は、両表面がＺ軸方向と平行で、かつ上端側の厚肉部６３と下端側の薄肉部６４とを一体に備えて形成され、上側挟持部材５２上に間隔をあけて重ねられている。実施形態１では、押圧移動基台６２は、厚肉部６３と薄肉部６４の上側挟持部材５２から離れた側の表面が同一平面状に形成され、上側挟持部材５２側に厚肉部６３と薄肉部６４との間の段差が形成されている、また、実施形態１では、押圧移動基台６２は、薄肉部６４を貫通した平面形状が矩形の開口６５が設けられている。
第２Ｘ軸移動ユニット６１は、水平部材６に設置され、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させることで押圧移動基台６２をＸ軸方向に移動させる周知のモータ６６及び押圧移動基台６２をＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール６７を備える。
次に、押圧部材６０を説明する。図５は、図１に示されたブレーキング装置の押圧部材を一部断面で模式的に示す側面図である。図６は、図５に示された矢印ＶＩ方向からみた荷重計測部を一部断面で模式的に示す正面図である。図７は、図６に示された荷重計測部の荷重計の測定結果の一例を示す図である。図８は、図６に示された荷重計測部の荷重計の測定結果の他の例を示す図である。図９は、図６に示された荷重計測部の荷重計の測定結果の更に他の別の例を示す図である。
押圧部材６０は、Ｙ軸方向に直線状でかつ両表面がＺ軸方向と平行な矩形板状に形成され、Ｙ軸方向の長さがワーク２０１の最も長い分割予定ライン２０６の長さと同等である。押圧部材６０は、下端部に下方に向かうにしたがって徐々に厚みを薄くする先細部６８が形成されている。実施形態１では、先細部６８は、上側挟持部材５２側の表面がＺ軸方向に沿って平坦に形成され、上側挟持部材５２から離れた側の表面が下方に向かうにしたがって徐々に上側挟持部材５２に近付く方向に水平方向とＺ軸方向との双方に対して傾斜している。
また、押圧部材６０は、一対のスライドユニット６９により押圧移動基台６２にＺ軸方向にスライド自在に支持されている。一対のスライドユニット６９は、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置されている。スライドユニット６９は、押圧移動基台６２と押圧部材６０とのうちの一方である押圧移動基台６２に固定されかつＺ軸方向と平行な直線状のガイドレール６９１と、押圧移動基台６２と押圧部材６０とのうちの他方である押圧部材６０に固定されかつガイドレール６９１にこのガイドレール６９１の長手方向即ちＺ軸方向にスライド自在に支持されたスライダ６９２とを備える。
押圧部材６０は、昇降ユニット３６により上昇されることで、下端がフレーム固定ユニット１０によりフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のワーク２０１よりも上方に位置し、昇降ユニット３６により下降されると、Ｙ軸方向に、分割すべき分割予定ライン２０６を挟持部材４４，５２との間に位置付けるワーク２０１のデバイス２０７を下方に押圧する。実施形態１では、押圧部材６０は、ワーク２０１の上側挟持部材５２とのＹ軸方向の距離がチップ２１０の幅の７５％～８５％程度となる位置を下方に押圧する。なお、本発明では、押圧部材６０は、ワーク２０１の上側挟持部材５２とのＹ軸方向の距離がチップ２１０の幅の６５％～９５％程度となる位置を下方に押圧すれば良い。なお、押圧部材６０が押圧する位置が上側挟持部材５２からのＹ軸方向の距離が近すぎても割れにくく、遠すぎても押圧部材６０がすでに割れた分割予定ライン２０６側に逃げて割れないので、押圧部材６０が、ワーク２０１の上側挟持部材５２とのＹ軸方向の距離がチップ２１０の幅の６５％～９５％程度となる位置、望ましくはチップ２１０の幅の７５％～８５％程度となる位置を下方に押圧するのが望ましい。押圧部材６０は、昇降ユニット３６により下降されると、Ｙ軸方向に、分割すべき分割予定ライン２０６を挟持部材４４，５２との間に位置付けるワーク２０１のデバイス２０７を下方に押圧して、この分割すべき分割予定ライン２０６を分割する。
また、押圧部材６０は、図５に示す荷重測定部７０により押圧移動基台６２に固定されている。荷重測定部７０は、一対のスライドユニット６９間に配置されている。荷重測定部７０は、図５及び図６に示すように、押圧部材６０がワーク２０１を押圧する荷重の値（以下、荷重値と記す）を測定する荷重計７１と、保持部材７２と、支持部材７３と、バネ７５と、支持部７４（図６のみに示す）とを備える。
荷重計７１は、Ｚ軸方向の押圧部材６０がワーク２０１を押圧する荷重値を測定するものであり、実施形態１では、周知のロードセルであるが、ロードセルに限定されない。荷重計７１は計測結果である荷重値を制御ユニット１００に出力する。荷重計７１は、押圧移動基台６２の開口６５内に配置されている。
保持部材７２は、押圧部材６０に一端部が固定され、押圧部材６０から押圧移動基台６２に向かって延在して他端部が押圧移動基台６２の開口６５内に配置されている。保持部材７２は、他端部に荷重計７１の下端を支持している。
支持部材７３は、押圧移動基台６２の開口６５内に配置され、上端が開口６５の上側の内面に固定され、下端が荷重計７１の上端を支持している。支持部７４は、押圧移動基台６２の開口６５内に配置され、下端が開口６５の下側の内面に固定され、上端が保持部材７２の下端部を支持している。
バネ７５は、開口６５の下側の内面と保持部材７２の他端部との間に配置され、保持部材７２の他端部を介して、押圧移動基台６２に対して相対的に押圧部材６０を上方に付勢している。実施形態１では、バネ７５は、押圧部材６０と保持部材７２と荷重計７１とを合わせた質量に対応した力で、保持部材７２及び押圧部材６０を上方に付勢している。バネ７５が前述した力で付勢することで、押圧部材６０と保持部材７２と荷重計７１とを合わせた質量が相殺されて、荷重計７１は、押圧部材６０と保持部材７２と荷重計７１とを合わせた質量よりも小さい荷重値を測定することができる。このように、ブレーキング装置１は、押圧部材６０がワーク２０１を押圧する荷重値を測定する荷重計７１を備える。
なお、荷重計７１の測定結果の荷重値は、図７、図８及び図９に示すように、昇降ユニット３６により上側挟持部材５２及び押圧部材６０が下降される際に、押圧部材６０がワーク２０１に接触するまでは零であり、押圧部材６０がワーク２０１に接触すると上昇する。荷重計７１の測定結果の荷重値は、押圧部材６０が分割すべき分割予定ライン２０６を分割すると、最大値３００となり、分割して以降、最大値３００から下降する。荷重計７１の測定結果の荷重値は、一定時間の間、押圧部材６０が等速で下降してワーク２０１を押圧し、一定時間経過後に押圧部材６０が退避すると零になる。なお、図７、図８及び図９の横軸は、経過時間を示し、縦軸は、荷重計７１の測定結果である荷重値を示している。
また、荷重計７１の測定結果の荷重値は、分割すべき分割予定ライン２０６全体が分割される（以下、完全分割と記す）と、図７に示すように、分割後の荷重値が第１の所定値３０１未満となる。なお、第１の所定値３０１は、実施形態１では、最大値３００の第１の所定パーセント（例えば、３０％）であり、本発明では、最大値３００よりも低い第１の所定荷重値（例えば、６Ｎ）でも良い。
また、荷重計７１の測定結果の荷重値は、分割すべき分割予定ライン２０６全体の一部が分割され、残りが未分割のままだ（以下、不完全分割と記す）と、図８に示すように、分割後の荷重値が第１の所定値３０１以上でかつ第２の所定値３０２未満となる。なお、第２の所定値３０２は、第１の所定値３０１よりも高い値であり、実施形態１では、最大値３００の第２の所定パーセント（例えば、８０％）であり、本発明では、最大値３００よりも低くかつ第１の所定荷重値よりも高い第２の所定荷重値（例えば、１６Ｎ）でも良い。
また、荷重計７１の測定結果の荷重値は、分割すべき分割予定ライン２０６全体が未分割の状態だ（以下、未分割と記す）と、図９に示すように、分割後の荷重値が略最大値３００となって、第２の所定値３０２以上となる。
制御ユニット１００は、ブレーキング装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２０１の各分割予定ライン２０６を分割する分割動作をブレーキング装置１に実施させるものである。制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、ブレーキング装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してブレーキング装置１の上述した各ユニットに出力する。
表示ユニット１１０は、制御ユニット１００に接続し、各種の情報を表示する表示画面１１１を備える。入力ユニットは、オペレータがブレーキング装置１の制御ユニット１００に情報などを入力する際に用いられる。入力ユニットは、制御ユニット１００に接続し、入力された情報を制御ユニット１００に向けて出力する。入力ユニットは、表示ユニット１１０の表示画面１１１に重ねられたタッチパネルを備える。
また、制御ユニット１００は、動作制御部１０１と、判定部１０２と、記憶部１０３とを備える。動作制御部１０１は、ブレーキング装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２０１の各分割予定ライン２０６を分割する分割動作をブレーキング装置１に実施させるものである。
判定部１０２は、荷重計７１で測定された荷重値に基づいて分割すべき分割予定ライン２０６に沿ってワーク２０１が分割されたか否かの分割結果を判定し、分割結果を記憶部１０３に記憶するものである。具体的には、判定部１０２は、荷重計７１の測定結果である荷重値が上昇して最大値３００から下降に転じた後、最大値３００から所定時間４００（図７、図８及び図９に示す）経過後の荷重値に基づいて、分割すべき分割予定ライン２０６の分割結果を判定する。
なお、実施形態１では、所定時間４００は、昇降ユニット３６が押圧部材６０を下降する時間よりも短い時間であり、実施形態１では、例えば、昇降ユニット３６が上側挟持部材５２及び押圧部材６０を下降する時間の３０％の時間である。また、本発明では、所定時間４００は、昇降ユニット３６が押圧部材６０を下降する時間と同じでも良い。
実施形態１では、判定部１０２は、例えば、最大値３００から所定時間４００経過後の荷重値が、第１の所定値３０１未満であると、分割すべき分割予定ライン２０６が完全分割されたと判定する。また、実施形態１では、判定部１０２は、例えば、最大値３００から所定時間４００（図７、図８及び図９に示す）経過後の荷重値が、第１の所定値３０１以上でかつ第２の所定値３０２未満であると、分割すべき分割予定ライン２０６が不完全分割の状態であると判定する。また、実施形態１では、判定部１０２は、例えば、最大値３００から所定時間４００（図７、図８及び図９に示す）経過後の荷重値が、第１の所定値３０１以上でかつ第２の所定値３０２未満であると、分割すべき分割予定ライン２０６が不完全分割の状態であると判定する。
なお、所定値３０１，３０２は、シート２０２の品種やワーク２０１の材質に応じて適宜設定しておくのが望ましい。また、所定値３０１，３０２は、同一のワーク２０１内であっても、分割予定ライン２０６の位置に応じて（分割予定ライン２０６の長さに比例するよう）設定するようにしてもよい。
こうして、判定部１０２は、荷重計７１の測定結果である荷重値が上昇して最大値３００から下降に転じた後、所定時間４００における荷重値の低下の状態に基づいて、各分割予定ライン２０６の分割結果を判定し、各分割予定ライン２０６と分割結果とを１対１で紐付けて記憶部１０３に記憶する。また、判定部１０２は、荷重計７１で測定された荷重値に基づいてワーク２０１の全ての分割予定ライン２０６に対して、未分割（分割されていないに相当）、完全分割（分割されたに相当）、不完全分割（一部分割されていない可能性ありに相当）のいずれかを分割結果として判定し、各分割予定ライン２０６と紐付けて記憶部１０３に記憶する。
なお、記憶部１０３の機能は、前述した記憶装置により実現される。動作制御部１０１及び判定部１０２の機能は、前述した演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。
（ブレーキング方法）
次に、実施形態１に係るブレーキング方法を説明する。図１０は、実施形態１に係るブレーキング方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係るブレーキング方法は、前述したブレーキング装置１がワーク２０１の各分割予定ライン２０６を分割する分割動作を含む。実施形態１に係るブレーキング方法は、図１０に示すように、ワークユニット形成ステップ１００１と、フレーム固定ステップ１００２と、検出ステップ１００３と、挟持ステップ１００４と、分割ステップ１００５と、荷重検出ステップ１００６と、判定ステップ１００７とを備える。
（ワークユニット形成ステップ）
ワークユニット形成ステップ１００１は、分割予定ライン２０６に沿って分割起点２０８が形成されたワーク２０１と、ワーク２０１が貼着されたシート２０２と、シート２０２の外周が貼着されたフレーム２０３とからなるワークユニット２００を形成するステップである。実施形態１において、ワークユニット形成ステップ１００１では、ワーク２０１の裏面２０９にシート２０２を貼着し、シート２０２の外周にフレーム２０３を貼着して、図２に示すワークユニット２００を形成する。
（フレーム固定ステップ）
図１１は、図１０に示されたブレーキング方法のフレーム固定ステップ後のブレーキング装置の要部を一部断面で模式的に示す側面図である。フレーム固定ステップ１００２は、ワークユニット２００のフレーム２０３をフレーム固定ユニット１０で固定するステップである。
実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、先ず、オペレータ等が入力ユニットを操作して分割条件を入力し、制御ユニット１００が分割要件を受け付けて登録する。なお、分割条件は、ワークユニット２００のワーク２０１の外径、分割予定ライン２０６の数、分割予定ライン２０６の幅方向の中央間の距離、分割時の昇降ユニット３６の押圧部材６０の下降量及び下降時間、分割後のチップ２１０の幅、分割予定ライン２０６の分割する順番等を含む。
実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００がオペレータ等からの分割動作の開始指示を受け付けると、分割動作、即ち実施形態１では、フレーム固定ステップ１００２と、検出ステップ１００３と、挟持ステップ１００４と、分割ステップ１００５と、荷重検出ステップ１００６と、判定ステップ１００７等を順に開始する。
実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１がＺ軸移動ユニット３４を制御して下側挟持ユニット４１を下降させ、上側挟持ユニット５０のシリンダユニット５１を制御してロッド５５を伸長し、昇降ユニット３６を制御して上側挟持ユニット５０及び押圧部材６０を上昇させる。また、実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が第２Ｘ軸移動ユニット６１を制御して上側挟持部材５２の下端と押圧部材６０の下端のＸ軸方向の距離を、分割条件に含まれるチップ２１０の幅の７５％～８５％となるように、押圧部材６０のＸ軸方向の位置を調整する。なお、本発明では、上側挟持部材５２の下端と押圧部材６０の下端のＸ軸方向の距離を、チップ２１０の幅の６５％～９５％となるように、押圧部材６０のＸ軸方向の位置を調整すれば良い。
また、実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０を制御して、フレーム固定ユニット１０を挟持ユニット４１，５０間から退避させる。実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、フレーム固定ユニット１０の保持面１３上にワーク２０１の表面２０５上がフィルム等の図示しない保護部材で覆われたワークユニット２００のフレーム２０３が載置される。実施形態１において、フレーム固定ステップ１００２では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が吸引源を動作させて、図１１に示すように、フレーム固定ユニット１０の保持面１３にフレーム２０３を吸引して固定する。
（検出ステップ）
図１２は、図１０に示されたブレーキング方法の検出ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。検出ステップ１００３は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワークユニット２００から分割すべき分割予定ライン２０６を検出するステップである。
実施形態１において、検出ステップ１００３では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０とＹ軸移動ユニット３２とを制御して、分割条件の分割する順番に基づいて、図１２に示すように、分割すべき分割予定ライン２０６（以下、符号２０６－１で記す）の上方に検出ユニット２０を位置付けて、検出ユニット２０の撮像カメラ２１でワーク２０１の分割予定ライン２０６－１を含んだ分割予定ライン２０６－１の周囲を撮像する。実施形態１において、検出ステップ１００３では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が検出ユニット２０の撮像カメラ２１で撮像して得た画像に基づいて、分割予定ライン２０６－１を検出する。
（挟持ステップ）
図１３は、図１０に示されたブレーキング方法の挟持ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。挟持ステップ１００４は、検出ステップ１００３を実施した後、分割すべき分割予定ライン２０６－１に隣接した領域のワーク２０１のデバイス２０７をワークユニット２００の上下から挟持ユニット４１，５０で挟持するステップである。
実施形態１において、挟持ステップ１００４では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が回転機構を制御して、分割予定ライン２０６に対応した長さの矩形状挟持部材４４を回転体４３から上向きに配置し、回転駆動機構を制御して、ワーク２０１の分割予定ライン２０６－１をＹ軸方向と平行に位置付ける。実施形態１において、挟持ステップ１００４では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０を制御して、分割予定ライン２０６－１に図１中Ｘ軸方向の奥側に隣接するデバイス２０７（領域に相当し、以下、図１３に示す符号２０７－１と記す）の上方に上側挟持部材５２の下端を位置付け、分割予定ライン２０６－１に図１中Ｘ軸方向の奥側に隣接するデバイス２０７－１の下方に矩形状挟持部材４４の上端を位置付けるとともに、分割予定ライン２０６－１に図１中Ｘ軸方向の手前側に隣接するデバイス２０７（領域に相当し、以下、図１３に示す符号２０７－２と記す）の上方に押圧部材６０の下端を位置付ける。
実施形態１において、挟持ステップ１００４では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１がＺ軸移動ユニット３４を制御して、回転体４３及び矩形状挟持部材４４を上昇させてシート２０２を介してワーク２０１の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－１を上方に押圧させて、図１３に示すように、ワーク２０１の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－１を図示しない保護部材を介して挟持部材４４，５２間に挟持する。このとき、実施形態１では、押圧部材６０の下端は、ワーク２０１の表面２０５よりも上方に位置している。挟持ステップ１００４後、分割ステップ１００５及び荷重検出ステップ１００６に進む。
（分割ステップ及び荷重検出ステップ）
図１４は、図１０に示されたブレーキング方法の分割ステップ及び荷重検出ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。分割ステップ１００５は、挟持ステップ１００４を実施した後、分割すべき分割予定ライン２０６を挟んで挟持ユニット４１，５０の反対側で分割すべき分割予定ライン２０６に隣接した領域のワーク２０１のデバイス２０７を押圧部材６０で押圧し分割すべき分割予定ライン２０６に沿ってワーク２０１をブレーキングするステップである。荷重検出ステップ１００６は、分割ステップ１００５の実施中に押圧部材６０がワーク２０１を押圧する荷重値を検出するステップである。
実施形態１において、分割ステップ１００５では、ブレーキング装置１は、分割条件に基づいて、制御ユニット１００の動作制御部１０１が昇降ユニット３６を制御して、上側挟持ユニット５０の移動基台５及び押圧部材６０を下降させる。すると、上側挟持部材５２が矩形状挟持部材４４との間に図示しない保護部材を介してワーク２０１の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－１を挟持しているので、上側挟持部材５２が下降することなく、シリンダユニット５１のロッド５５が縮小して、スライドユニット５３により移動基台５に対して相対的に上側挟持部材５２が上昇する。
また、上側挟持ユニット５０の移動基台５及び押圧部材６０が下降すると、押圧部材６０が下降して、押圧部材６０の下端がワーク２０１の表面２０５の挟持ユニット４１，５０の反対側の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－２に図示しない保護部材を介して当接するとともに、更に押圧部材６０が下降して、図１４に示すように、押圧部材６０の下端が上側挟持部材５２の下端よりも下方に位置して、挟持部材４４，５２と押圧部材６０との間の分割予定ライン２０６－１を分割する。実施形態１において、分割ステップ１００５では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が分割条件とおりに移動基台５及び押圧部材６０を下降した後、昇降ユニット３６を制御して、移動基台５及び押圧部材６０を上昇させるとともに、Ｚ軸移動ユニット３４を制御して、回転体４３及び矩形状挟持部材４４を下降させる。
また、実施形態１において、分割ステップ１００５の実施中の荷重検出ステップ１００６では、押圧部材６０の下端がワーク２０１の表面２０５の挟持ユニット４１，５０の反対側の分割予定ライン２０６－１に隣接したデバイス２０７－２に保護部材を介して当接すると、荷重計７１の測定結果である荷重値が零から上昇する。実施形態１において、分割ステップ１００５の実施中の荷重検出ステップ１００６では、押圧部材６０が分割予定ラインを分割すると、荷重計７１の測定結果である荷重値が最大値３００から下降する。実施形態１において、分割ステップ１００５の実施中の荷重検出ステップ１００６では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が荷重計７１の測定結果である荷重値を経過時間、及び分割予定ライン２０６－１と紐付けて記憶部１０３に一旦記憶する。
（判定ステップ）
判定ステップ１００７は、荷重検出ステップ１００６で検出された荷重値に基づいて分割すべき分割予定ライン２０６－１に沿ってワーク２０１が分割されたか否かの分割結果を判定するステップであある。
実施形態１において、判定ステップ１００７では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が、記憶部１０３に一旦記憶した経過時間とともに変化する荷重値の最大値３００を算出する。最大値３００を算出する際には、制御ユニット１００の判定部１０２は、経過時間とともに変化する荷重値を時間で微分し、この微分して求められた値即ち荷重値の変化量が最も大きな時間の荷重値を最大値３００と算出する。また、本発明では、制御ユニット１００の動作制御部１０１は、荷重値が上昇から下降に転じた時間の荷重値を最大値３００と算出しても良い。
実施形態１において、判定ステップ１００７では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が最大値３００から所定時間４００経過後の荷重値が第１の所定値３０１未満であるか、第１の所定値３０１以上でかつ第２の所定値３０２未満であるか、第２の所定値３０２以上であるかのいずれかであるかを判定する。実施形態１において、判定ステップ１００７では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が最大値３００から所定時間４００経過後の荷重値が第１の所定値３０１未満であると、分割予定ライン２０６の分割結果が完全分割と判定する。
実施形態１において、判定ステップ１００７では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が最大値３００から所定時間４００経過後の荷重値が第１の所定値３０１以上でかつ第２の所定値３０２未満であると、分割予定ライン２０６の分割結果が不完全分割と判定する。実施形態１において、判定ステップ１００７では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が最大値３００から所定時間４００経過後の荷重値が第２の所定値３０２以上であると、分割予定ライン２０６の分割結果が未分割と判定する。実施形態１において、判定ステップ１００７では、ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の判定部１０２が判定した分割結果と分割予定ライン２０６とを紐付けて記憶部１０３に記憶する。
その後、制御ユニット１００の動作制御部１０１が、分割条件に基づいて全ての分割予定ライン２０６の分割動作が完了したか否かを判定する（ステップ１００８）。制御ユニット１００の動作制御部１０１が、全ての分割予定ライン２０６の分割動作が完了していないと判定する（ステップ１００８：Ｎｏ）と、検出ステップ１００３に戻り、分割条件に基づいて次に分割すべき分割予定ライン２０６に対する分割動作即ち検出ステップ１００３、挟持ステップ１００４、分割ステップ１００５及び荷重検出ステップ１００６を実施する。なお、実施形態１では、ブレーキング装置１は、ワーク２０１の分割予定ライン２０６のうち端の分割予定ライン２０６から順に分割動作を実施する。制御ユニット１００の動作制御部１０１が、全ての分割予定ライン２０６の分割動作が完了したと判定する（ステップ１００８：Ｙｅｓ）と、ブレーキング装置１は、分割動作を終了する。
なお、実施形態１において、分割動作中、分割予定ライン２０６のうち互いに平行な一方の全ての分割予定ライン２０６の分割動作が終了するとフレーム固定部材１２を軸心回りに９０度回転して、分割予定ライン２０６のうち互いに平行な他方の分割予定ライン２０６の分割動作を実施する。このとき、他方の分割予定ライン２０６に分割動作を実施する際には、一方の分割予定ライン２０６が分割されているため、不完全分割となる分割予定ライン２０６が生じやすい。このために、実施形態１において、ブレーキング装置１は、未分割又は不完全分割と判定された２０３に再度分割動作を実施するのが好ましい。
また、実施形態１において、分割動作中、ブレーキング装置１の表示ユニット１１０は、図１５に示す分割状況表示情報５００を表示画面１１１に表示することができる。なお、図１５は、図１に示されたブレーキング装置の表示ユニットが表示画面に表示した分割状況表示情報の一例を模式的に示す図である。
実施形態１において、分割状況表示情報５００は、表示画面１１１の下部に設定されたメニュー領域５０１の複数の操作領域５０２のうち任意の一つの操作領域５０２が押下されることで、表示画面１１１に表示される。実施形態１において、分割状況表示情報５００は、ウェーハ全体マップ表示領域５１０と、分割結果表示領域５２０とが設定されている。
ウェーハ全体マップ表示領域５１０は、制御ユニット１００の動作制御部１０１により生成されたウェーハ全体マップ５１１を表示する。ウェーハ全体マップ５１１は、分割条件に基づいて制御ユニット１００の動作制御部１０１が生成したワーク２０１の外形と、ワーク２０１の各分割予定ライン２０６の位置の各分割予定ライン２０６の分割結果とを表示する。なお、図１５は、分割動作未実施の分割予定ライン２０６を例えば破線で示す白色で示し、分割結果が完全分割である分割予定ライン２０６を例えば実線で示す青色で示し、分割結果が不完全分割である分割予定ライン２０６を例えば一点鎖線で示す黄色で示し、分割結果が未分割である分割予定ライン２０６を例えば二点鎖線で示す赤色で示している。
分割結果表示領域５２０は、荷重計７１の測定結果を示す測定結果表示領域５２１と、最近に分割動作が実施された複数の分割予定ライン２０６の最大値３００を棒グラフで示す第１最大値表示領域５２２と、最近に分割動作が実施された複数の分割予定ライン２０６の荷重値の変化を示す荷重値表示領域５２３と、最近に分割動作が実施された１本の分割予定ライン２０６の最大値３００を示す第２最大値表示領域５２４とが設定されている。このように、表示ユニット１１０は、分割状況表示情報５００を表示することで、各分割予定ライン２０６を含むウェーハ全体マップ５１１を表示するとともに各分割予定ライン２０６に対する分割結果を表示する。
また、実施形態１に係るブレーキング装置１は、一時停止中や分割動作完了後の分割動作を実施していない状態で、表示ユニット１１０のウェーハ全体マップ５１１上の任意の位置が押下されると、制御ユニット１００の動作制御部１０１がＸ軸移動ユニット３０及びＹ軸移動ユニット３２を制御して、検出ユニット２０をワーク２０１の押下された位置の上方に位置付ける。ブレーキング装置１は、制御ユニット１００の動作制御部１０１が検出ユニット２０の撮像カメラ２１でワーク２０１の押下された位置を撮像して、図１６に一例を示す画像６００を取得する。実施形態１に係るブレーキング装置１は、メニュー領域５０１の操作領域５０２が押下されることなどによって表示ユニット１１０の表示画面１１１にワーク２０１の押下された位置を撮像して取得された画像６００を表示する。
なお、図１６は、図１に示されたブレーキング装置の表示ユニットが表示画面に表示した撮像カメラが撮像したワークの表面の一部を模式的に示す図である。なお、図１６に示された画像６００は、分割予定ライン２０６に形成されたワーク２０１を分割した溝２１１を含んでいる。こうして、ブレーキング装置１は、フレーム固定ユニット１０でフレーム２０３が固定されたワークユニット２００のウェーハ全体マップ５１１が表示ユニット１１０に表示された状態で、表示ユニット１１０に表示されたウェーハ全体マップ５１１上で指定された分割予定ライン２０６に対応したワークユニット２００の分割予定ライン２０６に撮像カメラ２１が位置づけられて、分割予定ライン２０６が撮像される。
以上説明した実施形態１に係るブレーキング装置１及びブレーキング方法は、押圧部材６０がワーク２０１を押圧する荷重を測定する荷重計７１と、荷重計７１で測定された荷重値に基づいて分割すべき分割予定ライン２０６－１に沿ってワーク２０１が分割されたか否かの分割結果を判定する判定部１０２とを備えるので、ワーク２０１が分割された否かの確認に係るオペレータの工数を抑制することができるという効果を奏する。
また、実施形態１に係るブレーキング装置１及びブレーキング方法は、制御ユニット１００の判定部１０２が荷重計７１の測定結果である荷重値が上昇してから下降に転じた後、所定時間４００における荷重値の低下の状態に基づいて分割結果を判定するので、ワーク２０１の分割結果を正確に判定できる。
また、実施形態１に係るブレーキング装置１及びブレーキング方法は、制御ユニット１００の判定部１０２が荷重計７１で測定された荷重値に基づいてワーク２０１の全ての分割予定ライン２０６に対して、未分割、完全分割、不完全分割のいずれかを分割結果として判定し、記憶するので、各分割予定ライン２０６の分割結果を把握することができる。
また、実施形態１に係るブレーキング装置１及びブレーキング方法は、表示ユニット１１０が各分割予定ライン２０６に分割結果を表示したウェーハ全体マップ５１１を表示するので、オペレータが各分割予定ライン２０６の分割結果を容易に把握することができる。
また、実施形態１に係るブレーキング装置１及びブレーキング方法は、ウェーハ全体マップ５１１が表示ユニット１１０に表示された状態で、表示ユニット１１０に表示されたウェーハ全体マップ５１１上で指定された分割予定ライン２０６を撮像カメラ２１が撮像するので、オペレータが任意の位置の分割予定ライン２０６の分割結果を把握することができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、シート２０２にワーク２０１の表面２０５を貼着しても良い。この場合、ブレーキング装置１は、検出ユニット２０をフレーム固定ユニット１０によりフレーム２０３が固定されるワークユニット２００よりも下方に配置するのが望ましい。
１ ブレーキング装置
１０ フレーム固定ユニット
２０ 検出ユニット
２１ 撮像カメラ
４０ 挟持ユニット
６０ 押圧部材
７１ 荷重計
１００ 制御ユニット（コントローラ）
１０２ 判定部
１０３ 記憶部
１１０ 表示ユニット
２００ ワークユニット
２０１ ワーク
２０２ シート
２０３ フレーム
２０６ 分割予定ライン
２０６－１ 分割すべき分割予定ライン
２０７ デバイス
２０７－１ デバイス（領域）
２０７－２ デバイス（領域）
２０８ 分割起点
４００ 所定時間
５１１ ウェーハ全体マップ
１００１ ワークユニット形成ステップ
１００２ フレーム固定ステップ
１００３ 検出ステップ
１００４ 挟持ステップ
１００５ 分割ステップ
１００６ 荷重検出ステップ
１００７ 判定ステップ

Claims (6)

  1. 複数の分割予定ラインが設定されるとともに各該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットの該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで該フレームが固定されたワークユニットの分割予定ラインを検出する検出ユニットと、分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持する挟持ユニットと、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする押圧部材と、を備えたブレーキング装置であって、
    該押圧部材がワークを押圧する荷重を測定する荷重計と、
    該荷重計で測定された荷重値に基づいて該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークが分割されたか否かの分割結果を判定するコントローラと、
    を備えたブレーキング装置。
  2. 該コントローラは、荷重値が上昇してから下降に転じた後、所定時間における荷重値の低下の状態に基づいて該分割結果を判定する、請求項１に記載のブレーキング装置。
  3. 該コントローラは、該荷重計で測定された荷重値に基づいてワークの全ての分割予定ラインに対して、分割されていない、分割された、一部分割されていない可能性あり、のいずれかを分割結果として判定し、記憶する、請求項１に記載のブレーキング装置。
  4. 表示ユニットを備え、
    該表示ユニットは、各該分割予定ラインを含むウェーハ全体マップを表示するとともに各該分割予定ラインに対する分割結果を表示する、請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のブレーキング装置。
  5. 該検出ユニットは、撮像カメラを含み、
    該フレーム固定ユニットでフレームが固定されたワークユニットのウェーハ全体マップが該表示ユニットに表示された状態で、該表示ユニットに表示された該ウェーハ全体マップ上で指定された分割予定ラインに対応した該ワークユニットの該分割予定ラインに該撮像カメラが位置づけられて該分割予定ラインが撮像される、請求項４に記載のブレーキング装置。
  6. 分割予定ラインに沿って分割起点が形成されたワークと該ワークが貼着されたシートと該シートの外周が貼着されたフレームとからなるワークユニットを形成するワークユニット形成ステップと、
    該ワークユニットの該フレームをフレーム固定ユニットで固定するフレーム固定ステップと、
    該フレーム固定ユニットで該フレームが固定された該ワークユニットから分割すべき分割予定ラインを検出する検出ステップと、
    該検出ステップを実施した後、該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを該ワークユニットの上下から挟持ユニットで挟持する挟持ステップと、
    該挟持ステップを実施した後、該分割すべき分割予定ラインを挟んで該挟持ユニットの反対側で該分割すべき分割予定ラインに隣接した領域のワークを押圧部材で押圧し該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークをブレーキングする分割ステップと、
    該分割ステップの実施中に該押圧部材がワークを押圧する荷重値を検出する荷重検出ステップと、
    該荷重検出ステップで検出された荷重値に基づいて該分割すべき分割予定ラインに沿ってワークが分割されたか否かの分割結果を判定する判定ステップと、
    を備えたブレーキング方法。
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